Deprecated: The each() function is deprecated. This message will be suppressed on further calls in /home/zhenxiangba/zhenxiangba.com/public_html/phproxy-improved-master/index.php on line 456
JP4842549B2 - Short detection device - Google Patents
[go: Go Back, main page]

JP4842549B2 - Short detection device - Google Patents

Short detection device Download PDF

Info

Publication number
JP4842549B2
JP4842549B2 JP2005063522A JP2005063522A JP4842549B2 JP 4842549 B2 JP4842549 B2 JP 4842549B2 JP 2005063522 A JP2005063522 A JP 2005063522A JP 2005063522 A JP2005063522 A JP 2005063522A JP 4842549 B2 JP4842549 B2 JP 4842549B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
short
voltage
measurement position
plate electrode
measurement
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2005063522A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2006250547A (en
Inventor
健二 小林
史郎 秋山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toyota Motor Corp
Hioki EE Corp
Original Assignee
Toyota Motor Corp
Hioki EE Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toyota Motor Corp, Hioki EE Corp filed Critical Toyota Motor Corp
Priority to JP2005063522A priority Critical patent/JP4842549B2/en
Publication of JP2006250547A publication Critical patent/JP2006250547A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4842549B2 publication Critical patent/JP4842549B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E60/00Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
    • Y02E60/30Hydrogen technology
    • Y02E60/50Fuel cells

Landscapes

  • Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
  • Fuel Cell (AREA)

Description

本発明は、対向して配置された一対の平板電極間のショート箇所の位置を検出するショート検出装置に関するものである。   The present invention relates to a short detection device that detects the position of a short portion between a pair of opposed flat plate electrodes.

この種のショート検出装置として、本願発明者は、特開2003−215190号公報に記載されたショート検出装置を既に提案している。このショート検出装置では、対向して配置された一対の平板電極のうちの一方の平板電極における所定の部位と他方の平板電極における所定の部位との間に電流供給部が電流を供給している状態において、電圧測定部が、所定のパターンで一方の平板電極上に規定された複数の測定位置と一方の平板電極上に規定された一つの基準点との間の各電位差を測定し、検出部が、各測定位置と所定の方向に沿って隣接する他の測定位置との間の各電圧勾配を、電圧測定部によって測定された各電位差に基づいて算出すると共に、算出した各電圧勾配に基づいて電圧極小点となる測定位置を一対の平板電極間におけるショート箇所の位置として検出する。したがって、このショート検出装置では、一対の平板電極間に複数のショート箇所が存在していたとしても、これらの各ショート箇所の位置を確実かつ同時に検出することが可能となっている。
特開2003−215190号公報(第4−7頁、第1図)
As this type of short detection device, the present inventor has already proposed a short detection device described in Japanese Patent Laid-Open No. 2003-215190. In this short detection device, the current supply unit supplies current between a predetermined part of one flat plate electrode and a predetermined part of the other flat plate electrode of a pair of flat plate electrodes arranged to face each other. In the state, the voltage measurement unit measures and detects each potential difference between a plurality of measurement positions defined on one plate electrode and one reference point defined on one plate electrode in a predetermined pattern. The unit calculates each voltage gradient between each measurement position and another measurement position adjacent in a predetermined direction based on each potential difference measured by the voltage measurement unit. Based on this, the measurement position that becomes the voltage minimum point is detected as the position of the shorted portion between the pair of plate electrodes. Therefore, in this short detection device, even if there are a plurality of short portions between the pair of flat plate electrodes, the positions of these short portions can be reliably and simultaneously detected.
JP 2003-215190 A (page 4-7, FIG. 1)

ところが、発明者は、上述したショート検出装置について検討を行った結果、改善すべき点を発見した。すなわち、このショート検出装置では、隣接する2つの測定位置間の電圧勾配に基づいて電圧極小点となる測定位置を検出することにより、電圧極小点となる測定位置をショート位置と判別している。したがって、複数の測定位置のうちの一方の平板電極の外縁部に位置している測定位置では、その外側に他の測定位置が存在しないため、一対の平板電極が互いの外縁部でショートしているときであっても、極小点とはならないことがある。特に、平面形状が四角形等の多角形に形成されている一対の平板電極の場合、一方の平板電極の隅部に位置している測定位置では、一対の平板電極がこの隅部でショートしていたとしても極小点とはならない。このため、このショート検出装置には、一対の平板電極が互いの外縁部でショートしているときに、このショート箇所の位置を検出するのが困難であり、この点を解決するのが好ましい。   However, as a result of studying the above-described short detection device, the inventor has found a point to be improved. That is, in this short detection device, the measurement position that becomes the voltage minimum point is detected as the short position by detecting the measurement position that becomes the voltage minimum point based on the voltage gradient between two adjacent measurement positions. Therefore, at the measurement position located at the outer edge of one of the plurality of measurement positions, there is no other measurement position on the outer side, so the pair of plate electrodes are short-circuited at the outer edge of each other. Even when you are, it may not be a local minimum. In particular, in the case of a pair of flat electrodes whose planar shape is formed in a polygon such as a quadrangle, the pair of flat electrodes are short-circuited at the corner at the measurement position located at the corner of one flat electrode. Even if it does, it will not be a local minimum. For this reason, in this short detection device, it is difficult to detect the position of the shorted portion when the pair of flat plate electrodes are short-circuited at the outer edges of each other, and it is preferable to solve this point.

本発明は、かかる課題を解決するためになされたものであり、一対の平板電極が互いの外縁部でショートしていたとしても、ショート箇所の位置を確実に検出し得るショート検出装置を提供することを主目的とする。   The present invention has been made to solve such a problem, and provides a short detection device capable of reliably detecting the position of a shorted portion even if a pair of flat plate electrodes are short-circuited at the outer edge portions of each other. The main purpose.

上記目的を達成すべく請求項1記載のショート検出装置は、対向して配置された一対の平板電極のうちの一方の平板電極における所定の部位と他方の平板電極における所定の部位との間に電流を供給する電流供給部と、前記電流供給部によって電流が供給されている状態において、所定のパターンで前記一方の平板電極上に規定された複数の測定位置と当該一方の平板電極上に規定された一つの基準点との間の各電位差を電圧分布として測定する電圧測定部と、前記測定された電圧分布に基づいて前記各測定位置と所定の方向に沿って隣接する他の測定位置との間の各電圧勾配を算出すると共に当該算出した各電圧勾配に基づいて電圧極小点となる当該測定位置を前記一対の平板電極間における1つのショート箇所の位置として検出する検出部とを備え、前記検出部が1つのショート箇所の位置を検出した後に他のショート箇所の位置を検出するときに、前記電流供給部は、前記一方の平板電極における当該1つのショート箇所としての前記測定位置を新たな前記所定の部位として、当該新たな所定の部位と前記他方の平板電極における前記所定の部位との間に前記電流を供給し、前記電圧測定部は、前記新たな所定の部位を前記一つの基準点として、当該電流供給部によって前記電流が供給されている状態での前記電圧分布を測定し、当該検出部は、当該測定された電圧分布に基づいて最も低い電圧の前記測定位置を検出すると共に、当該検出した測定位置が前記一方の平板電極の外縁部に位置するときに、当該検出した測定位置を前記一対の平板電極間における前記他のショート箇所の位置として検出する。 In order to achieve the above object, a short detection device according to claim 1 is provided between a predetermined portion of one flat plate electrode and a predetermined portion of the other flat plate electrode of a pair of opposed flat plate electrodes. A plurality of measurement positions defined on the one plate electrode in a predetermined pattern, and a current supply unit for supplying a current, and a state defined on the one plate electrode in a state in which the current is supplied by the current supply unit; A voltage measuring unit that measures each potential difference between the reference point as a voltage distribution, and another measurement position adjacent to each measurement position along a predetermined direction based on the measured voltage distribution; And detecting the measurement position that becomes the voltage minimum point as a position of one short point between the pair of plate electrodes based on the calculated voltage gradient When the detection unit detects the position of one short part after the detection part detects the position of one short part, the current supply unit is configured as the one short part in the one plate electrode. The current is supplied between the new predetermined portion and the predetermined portion of the other plate electrode, with the measurement position as the new predetermined portion, and the voltage measuring unit is configured to supply the new predetermined portion. As the one reference point , the voltage distribution in a state where the current is supplied by the current supply unit is measured, and the detection unit measures the lowest voltage based on the measured voltage distribution. When the detected measurement position is located at the outer edge of the one flat plate electrode, the detected measurement position is detected between the pair of flat plate electrodes and the other show. Detecting a position of the point.

請求項2記載のショート検出装置は、対向して配置された一対の平板電極のうちの一方の平板電極における所定の部位と他方の平板電極における所定の部位との間に電流を供給する電流供給部と、前記電流供給部によって電流が供給されている状態において、所定のパターンで前記一方の平板電極上に規定された複数の測定位置と当該一方の平板電極上に規定された一つの基準点との間の各電位差を電圧分布として測定する電圧測定部と、前記測定された電圧分布に基づいて最も低い電圧の前記測定位置を検出すると共に当該検出した測定位置が前記一方の平板電極の外縁部に位置するときに、当該検出した測定位置を前記一対の平板電極間における1つのショート箇所の位置として検出する検出部とを備え、前記検出部が1つのショート箇所の位置を検出した後に他のショート箇所の位置を検出するときに、前記電流供給部は、前記一方の平板電極における当該1つのショート箇所としての前記測定位置を新たな前記所定の部位として、当該新たな所定の部位と前記他方の平板電極における前記所定の部位との間に前記電流を供給し、前記電圧測定部は、前記新たな所定の部位を前記一つの基準点として、当該電流供給部によって前記電流が供給されている状態での前記電圧分布を測定し、当該検出部は、当該測定された電圧分布に基づいて最も低い電圧の前記測定位置を検出すると共に、当該検出した測定位置が前記一方の平板電極の外縁部に位置するときに、当該検出した測定位置を前記一対の平板電極間における前記他のショート箇所の位置として検出する。 The short detection device according to claim 2, wherein a current supply for supplying a current between a predetermined portion of one flat plate electrode and a predetermined portion of the other flat plate electrode of a pair of opposed flat plate electrodes is provided. And a plurality of measurement positions defined on the one plate electrode in a predetermined pattern and one reference point defined on the one plate electrode in a state where current is supplied by the current supply unit A voltage measurement unit that measures each potential difference between the first and second plate electrodes as a voltage distribution, and detects the measurement position of the lowest voltage based on the measured voltage distribution, and the detected measurement position is an outer edge of the one plate electrode A detection unit that detects the detected measurement position as the position of one short point between the pair of flat plate electrodes when the detection unit is located at one part, When detecting the position of another short portion after detecting the position of the current, the current supply unit uses the measurement position as the one short portion in the one plate electrode as the new predetermined portion, The current is supplied between a new predetermined part and the predetermined part of the other flat plate electrode, and the voltage measuring unit uses the new predetermined part as the one reference point and the current supply unit The voltage distribution in a state where the current is supplied is measured, and the detection unit detects the measurement position of the lowest voltage based on the measured voltage distribution, and the detected measurement position is When located at the outer edge portion of the one flat plate electrode, the detected measurement position is detected as the position of the other short portion between the pair of flat plate electrodes.

請求項1記載のショート検出装置によれば、検出部が、電圧勾配に基づいて電圧極小点となる測定位置を1つのショート位置として検出した後に他のショート位置を検出するときに、検出した1つのショート位置としての測定位置を新たな所定の部位として電流供給部に対して直流定電流を供給させている状態において電圧測定部によって測定されたこの新たな所定の部位を一つの基準点とする一方の平板電極表面の電圧分布に基づいて最も低い電圧の測定位置を検出すると共に、検出した測定位置が一方の平板電極の外縁部に位置するときに、その測定位置を一対の平板電極間における他のショート位置とすることにより、一対の平板電極同士が外縁部における1箇所でショートし、かつ非外縁部における1箇所でショートしているときであっても、両ショート位置を確実に検出することができる。 According to the short detection device of claim 1, when the detection unit detects another short position after detecting a measurement position that is a voltage minimum point as one short position based on the voltage gradient, The new predetermined part measured by the voltage measurement unit in a state where the DC constant current is supplied to the current supply unit with the measurement position as the two short positions as the new predetermined part is used as one reference point. The measurement position of the lowest voltage is detected based on the voltage distribution on the surface of one plate electrode, and when the detected measurement position is located at the outer edge of one plate electrode, the measurement position is determined between the pair of plate electrodes. By setting the other short-circuited position, the pair of flat plate electrodes are short-circuited at one place on the outer edge and short-circuited at one place on the non-outer edge. It also, it is possible to reliably detect both short position.

請求項2記載のショート検出装置によれば、検出部が、電圧測定部によって測定された電圧分布に基づいて最も低い電圧の測定位置を検出すると共にこの検出した測定位置が一方の平板電極の外縁部に位置するときには、検出した測定位置を1つのショート箇所の位置として検出し、さらに、検出した1つのショート位置としての測定位置を新たな所定の部位として電流供給部に対して直流定電流を供給させている状態において電圧測定部によって測定されたこの新たな所定の部位を一つの基準点とする一方の平板電極表面の電圧分布に基づいて最も低い電圧の測定位置を検出すると共に、検出した測定位置が一方の平板電極の外縁部に位置するときに、その測定位置対の一対の平板電極間における他のショート位置とすることにより、一対の平板電極同士が外縁部における2箇所でショートしているときであっても、両ショート位置を確実に検出することができる。 According to the short detection device of claim 2, the detection unit detects the measurement position of the lowest voltage based on the voltage distribution measured by the voltage measurement unit, and the detected measurement position is an outer edge of one plate electrode. When the position is located in the section, the detected measurement position is detected as a position of one short-circuited portion, and a DC constant current is supplied to the current supply section with the detected position as one short-circuited position as a new predetermined portion. The measurement position of the lowest voltage is detected and detected based on the voltage distribution on the surface of one plate electrode with the new predetermined portion measured by the voltage measuring unit in the supplied state as one reference point . When the measurement position is located at the outer edge of one flat plate electrode, the other short position between the pair of flat plate electrodes of the measurement position pair Even when the plate electrodes to each other are short-circuited at two locations at the outer edge portion, it is possible to reliably detect both short position.

以下、添付図面を参照して、本発明に係るショート検出装置の最良の形態について説明する。   Hereinafter, the best mode of a short detection device according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

最初に、図1,2を参照して、ショート検出装置1の構成について説明する。   First, the configuration of the short detection device 1 will be described with reference to FIGS.

このショート検出装置1は、図1に示すように、電流供給部2、電圧測定部3、駆動機構4、演算制御部(本発明における検出部)5、表示部6、複数のプローブ(電圧検出端子)7,7・・、および支持板8を備え、燃料電池内に配設された一対の平板電極EL1,EL2間にショート箇所が存在するときには、一対の平板電極EL1,EL2の面内におけるショート箇所の位置(以下、「ショート位置」ともいう)を検出可能に構成されている。本例では、各平板電極EL1,EL2は一例として同じ大きさの長方形にそれぞれ形成されているものとする。また、平板電極EL1,EL2間に介在する電解質膜ELFは、燃料電池内に実際に配置された状態では導電性を有するが、ショート位置検出対象体の状態では、乾燥して絶縁性を有している。   As shown in FIG. 1, the short detection device 1 includes a current supply unit 2, a voltage measurement unit 3, a drive mechanism 4, an arithmetic control unit (detection unit in the present invention) 5, a display unit 6, a plurality of probes (voltage detection). Terminals) 7, 7... And a support plate 8, and when a short-circuit portion exists between the pair of flat plate electrodes EL 1 and EL 2 disposed in the fuel cell, it is within the plane of the pair of flat plate electrodes EL 1 and EL 2. The position of the short portion (hereinafter also referred to as “short position”) can be detected. In this example, it is assumed that the plate electrodes EL1 and EL2 are formed in rectangular shapes having the same size as an example. The electrolyte membrane ELF interposed between the flat plate electrodes EL1 and EL2 is electrically conductive when it is actually disposed in the fuel cell, but is dry and insulative in the state of the short position detection object. ing.

電流供給部2は、演算制御部5の制御下で、電解質膜ELFを挟んで対向配置される一対の平板電極EL1,EL2のうちの一方の平板電極EL1における所定の部位と他方の平板電極EL2における所定の部位(一例として電流供給点B)との間に直流定電流を供給する。この場合、ショート検出装置1は、平板電極EL1に対する電流供給点である所定の部位については、後述するように、電流供給点Aまたは電流供給点A1など、平板電極EL1の表面における任意の位置に設定できるように構成されている。平板電極EL1に対する電流供給点を任意の位置に設定できるようにするための構成としては、電流供給部2に例えば3次元(X−Y−Z)移動機構(図示せず)を設けると共に、平板電極EL1に電流を供給するためのプローブ(図示せず)をこの3次元移動機構に取り付けて自動で移動させる構成を採用することができる。   Under the control of the arithmetic control unit 5, the current supply unit 2 includes a predetermined portion of the one plate electrode EL1 and the other plate electrode EL2 of the pair of plate electrodes EL1 and EL2 disposed to face each other with the electrolyte membrane ELF interposed therebetween. A constant DC current is supplied to a predetermined part of (a current supply point B as an example). In this case, the short detection device 1 has a predetermined portion that is a current supply point for the plate electrode EL1 at an arbitrary position on the surface of the plate electrode EL1, such as the current supply point A or the current supply point A1, as described later. It is configured to be configurable. As a configuration for enabling the current supply point for the plate electrode EL1 to be set at an arbitrary position, the current supply unit 2 is provided with, for example, a three-dimensional (XYZ) moving mechanism (not shown) and a flat plate. It is possible to adopt a configuration in which a probe (not shown) for supplying a current to the electrode EL1 is automatically moved by being attached to the three-dimensional movement mechanism.

電圧測定部3は、基準点としての平板電極EL1における所定の部位(一例として電流供給点A(またはA1))と、各プローブ7をそれぞれ接触させた各部位との間の各電位差をそれぞれ測定して電圧データDvとして出力する。この場合、プローブ7を接触させる測定位置MPは、図2に示すように、本発明における所定のパターンの一例として、マトリックスにおける各交点位置に対応させて平板電極EL1上に合計121個(MP(i,j):i=1,2,3,・・・,9,a,b、j=1,2,3,・・・,9,a,b、以下、区別しないときには「測定位置MP」ともいう。)規定されている。これに対応して、これらの交点位置の数と同数のプローブ7が、各交点位置に対応するように同一平面上にマトリックス状に並設された状態で、平板電極EL1と平行に配置された支持板8に取り付けられている。   The voltage measuring unit 3 measures each potential difference between a predetermined part (for example, the current supply point A (or A1)) of the flat plate electrode EL1 as a reference point and each part where the probes 7 are in contact with each other. And output as voltage data Dv. In this case, as shown in FIG. 2, the measurement positions MP with which the probe 7 is brought into contact are, as an example of the predetermined pattern in the present invention, a total of 121 (MP ( i, j): i = 1, 2, 3,..., 9, a, b, j = 1, 2, 3,..., 9, a, b. "It is also referred to as"). Correspondingly, the same number of probes 7 as the number of intersection positions are arranged in parallel with the plate electrode EL1 in a matrix on the same plane so as to correspond to each intersection position. It is attached to the support plate 8.

駆動機構4は、複数のプローブ7が取り付けられた支持板8を支持するためのアーム4aを備え、アーム4aを上下動させて支持板8を平板電極EL1に対して接離動させることにより、全プローブ7を平板電極EL1上の対応する測定位置MPに同時に接触させる。   The drive mechanism 4 includes an arm 4a for supporting a support plate 8 to which a plurality of probes 7 are attached. By moving the arm 4a up and down to move the support plate 8 to and away from the plate electrode EL1, All probes 7 are simultaneously brought into contact with corresponding measurement positions MP on the plate electrode EL1.

演算制御部5は、電流供給部2、電圧測定部3および駆動機構4を制御する。また、演算制御部5は、電圧測定部3から出力される電圧データDvに基づいて第1および第2のショート位置検出処理を実行して、各平板電極EL1,EL2間のショート位置を検出する。また、演算制御部5は、演算制御部5によるショート位置検出の結果を表示部6に表示させる。   The arithmetic control unit 5 controls the current supply unit 2, the voltage measurement unit 3, and the drive mechanism 4. In addition, the arithmetic control unit 5 performs first and second short position detection processing based on the voltage data Dv output from the voltage measurement unit 3 to detect a short position between the plate electrodes EL1 and EL2. . In addition, the calculation control unit 5 causes the display unit 6 to display the result of short position detection by the calculation control unit 5.

次に、ショート検出装置1による一対の平板電極EL1,EL2間のショート検出処理について、図3〜図5を参照して説明する。一例として図2において黒丸印で表示された測定位置MP(6,8)および測定位置MP(b,1)の2点においてショートしているときのショート位置の検出処理動作について説明する。なお、電解質膜ELFを挟んで対向して配置された一対の平板電極EL1,EL2は、図1に示す位置(測定位置)に予め配設されているものとする。   Next, short detection processing between the pair of flat plate electrodes EL1 and EL2 by the short detection device 1 will be described with reference to FIGS. As an example, a short position detection processing operation when there is a short at two points of the measurement position MP (6, 8) and the measurement position MP (b, 1) indicated by black circles in FIG. 2 will be described. It is assumed that the pair of flat plate electrodes EL1 and EL2 disposed so as to face each other with the electrolyte membrane ELF interposed therebetween is previously disposed at the position (measurement position) shown in FIG.

まず、図3に示すように、演算制御部5は、駆動機構4を制御することにより、支持板8に取り付けた各プローブ7を、対応する平板電極EL1表面の各測定位置MPに接触させる(ステップ31)。続いて、演算制御部5は、図外の放電回路を作動させることにより、平板電極EL1,EL2に充電されている電荷を放電させる(ステップ32)。   First, as shown in FIG. 3, the arithmetic control unit 5 controls the drive mechanism 4 to bring each probe 7 attached to the support plate 8 into contact with each measurement position MP on the surface of the corresponding plate electrode EL1 ( Step 31). Subsequently, the arithmetic control unit 5 operates the discharge circuit (not shown) to discharge the charges charged in the plate electrodes EL1 and EL2 (step 32).

次いで、演算制御部5は、第1のショート位置検出処理を実行する(ステップ33)。この処理では、図4に示すように、演算制御部5は、電流供給部2を定電流動作させて、平板電極EL1の電流供給点Aと平板電極EL2の電流供給点Bとの間への直流定電流の供給を開始させる(ステップ41)。この場合、各電流供給点A,Bは、一例として、図1,2に示すように、各平板電極EL1,EL2における対向する一つの隅部(左下の隅部)にそれぞれ設定されている。次いで、演算制御部5は、電圧測定部3をスキャニング動作させて平板電極EL1表面の電圧分布を測定する(ステップ42)。具体的には、電圧測定部3は、各プローブ7を順次スキャニングして基準点(電流供給点A)と各測定位置MPとの間の電位差(基準点の電位を基準とした各測定位置MPの電圧)を電圧分布として測定し、測定した各測定位置MPにおける電位差を電圧データDvとして演算制御部5に出力する。演算制御部5は、この電圧データDvを順次取り込み、取り込んだ電圧データDvをその測定位置MPの位置に関連付けて内部メモリに順次記憶する。また、演算制御部5は、電圧分布の測定を完了した後、電流供給部2の定電流動作を停止させると共に、図外の放電回路を作動させることにより、平板電極EL1,EL2に充電されている電荷を放電させる。   Next, the arithmetic control unit 5 executes a first short position detection process (step 33). In this processing, as shown in FIG. 4, the arithmetic control unit 5 operates the current supply unit 2 at a constant current, so that the current supply point A between the plate electrode EL1 and the current supply point B of the plate electrode EL2 Supply of DC constant current is started (step 41). In this case, as an example, each of the current supply points A and B is set at one opposing corner (lower left corner) in each of the plate electrodes EL1 and EL2, as shown in FIGS. Next, the arithmetic control unit 5 scans the voltage measuring unit 3 to measure the voltage distribution on the surface of the plate electrode EL1 (step 42). Specifically, the voltage measuring unit 3 sequentially scans each probe 7 to detect a potential difference between the reference point (current supply point A) and each measurement position MP (each measurement position MP based on the potential of the reference point). ) Is measured as a voltage distribution, and the measured potential difference at each measurement position MP is output to the arithmetic control unit 5 as voltage data Dv. The arithmetic control unit 5 sequentially captures the voltage data Dv, and stores the captured voltage data Dv in the internal memory in association with the position of the measurement position MP. In addition, after completing the measurement of the voltage distribution, the arithmetic control unit 5 stops the constant current operation of the current supply unit 2 and operates the discharge circuit (not shown) to charge the plate electrodes EL1 and EL2. Discharge the charge.

演算制御部5は、すべての測定位置MPに対する電圧データDvの取り込みを完了した後に、隣接する測定位置MP,MP同士間の電圧勾配Vs(Vs1,Vs2)を算出する(ステップ43)。具体的には、まず、演算制御部5は、すべての電圧データDvのうちの最大値(絶対値が最大となる値)を検索し、検索した最大値を−100とする規格化を各電圧データDvに対して実行して規格化データDsを求めると共に、求めた規格化データDsを電圧データDvと同様にして、測定位置MP(i,j)に対応した行列形式で内部メモリに記憶する。次いで、演算制御部5は、所定の方向に沿って隣接する測定位置MP,MP同士の規格化データDsの差分と相互間の距離Lとに基づき、隣接する測定位置MP,MP同士間の電圧勾配Vsを算出する。一例として、演算制御部5は、まず、図2における左右方向(行方向)に沿って隣接する測定位置MP,MP同士間の電圧勾配Vs1を所定の方向に位置する測定位置MPの規格化データDsを基準として算出する。具体的には、演算制御部5は、左方向に位置する測定位置MPの規格化データDsを基準として電圧勾配Vs1を算出する。つまり、演算制御部5は、測定位置MP(i,j+1)の規格化データDsから左隣の測定位置MP(i,j)の規格化データDsを減算し、この減算値を距離Lで除算して電圧勾配Vs1を求め、行列形式(本例では値(i,j)に対応させた10行10列の行列形式)で内部メモリに記憶する。また、演算制御部5は、図2における上下方向(列方向)に沿って隣接する測定位置MP,MP同士間の電圧勾配Vs2を所定の方向に位置する測定位置MPの規格化データDsを基準として算出する。具体的には、演算制御部5は、下方向に位置する測定位置MPの規格化データDsを基準として電圧勾配Vsを算出する。つまり、演算制御部5は、測定位置MP(i+1,j)の規格化データDsから下隣の測定位置MP(i,j)の規格化データDsを減算し、この減算値を距離Lで除算して電圧勾配Vs2を求め、行列形式(本例では値(i,j)に対応させた10行10列の行列形式)で内部メモリに記憶する。 The calculation control unit 5 calculates the voltage gradient Vs (Vs1, Vs2) between the adjacent measurement positions MP, MP after completing the acquisition of the voltage data Dv for all the measurement positions MP (step 43). Specifically, first, the arithmetic control unit 5 searches for the maximum value (value in which the absolute value is maximum) among all the voltage data Dv, and standardizes the searched maximum value as −100 for each voltage. The normalized data Ds is obtained by executing the data Dv, and the obtained normalized data Ds is stored in the internal memory in a matrix format corresponding to the measurement position MP (i, j) in the same manner as the voltage data Dv. . Next, the arithmetic control unit 5 determines the voltage between the adjacent measurement positions MP and MP based on the difference between the normalized data Ds between the measurement positions MP and MP adjacent in the predetermined direction and the distance L between them. The gradient Vs is calculated. As an example, the arithmetic control unit 5 firstly standardizes data of the measurement position MP in which the voltage gradient Vs1 between the measurement positions MP adjacent to each other along the horizontal direction (row direction) in FIG. Calculation is based on Ds. Specifically, the arithmetic control unit 5 calculates the voltage gradient Vs1 with reference to the normalized data Ds of the measurement position MP positioned in the left direction. That is, the arithmetic control unit 5 subtracts the normalized data Ds of the measurement position MP (i, j) on the left side from the normalized data Ds of the measurement position MP (i, j + 1), and divides this subtracted value by the distance L. Thus, the voltage gradient Vs1 is obtained and stored in the internal memory in a matrix format (in this example, a matrix format of 10 rows and 10 columns corresponding to the values (i, j)). Further, the arithmetic control unit 5 uses the standardized data Ds of the measurement position MP positioned in a predetermined direction as the voltage gradient Vs2 between the measurement positions MP adjacent to each other along the vertical direction (column direction) in FIG. Calculate as Specifically, the arithmetic control unit 5 calculates the voltage gradient Vs 2 with reference to the normalized data Ds of the measurement position MP located in the downward direction. That is, the arithmetic control unit 5 subtracts the normalized data Ds of the lower measurement position MP (i, j) from the normalized data Ds of the measurement position MP (i + 1, j), and divides this subtraction value by the distance L. Thus, the voltage gradient Vs2 is obtained and stored in the internal memory in a matrix format (in this example, a matrix format of 10 rows and 10 columns corresponding to the values (i, j)).

次いで、演算制御部5は、各電圧勾配Vs1,Vs2に基づき、電圧極小点となる測定位置MP(ショート位置)を検出する(ステップ44)。具体的には、演算制御部5は、行列形式で記憶されている電圧勾配Vs1に対して、行毎に例えば左方向から右方向に順次検索して、電圧勾配Vs1の極性が反転する測定位置MP(電圧極小点となる測定位置MP)を検出すると共に、行列形式で記憶されている電圧勾配Vs2に対して、列毎に例えば下方向から上方向に順次検索して、電圧勾配Vsの極性が反転する測定位置MP(電圧極小点となる測定位置MP)を検出し、左右方向および上下方向の両方向の検索において共にショート位置として検出された測定位置MPを最終的なショート位置として特定する。 Next, the arithmetic control unit 5 detects the measurement position MP (short position) that is the voltage minimum point based on the voltage gradients Vs1 and Vs2 (step 44). Specifically, the arithmetic control unit 5 sequentially searches, for example, from the left direction to the right direction for each row with respect to the voltage gradient Vs1 stored in the matrix format, and the measurement position where the polarity of the voltage gradient Vs1 is inverted. detects the MP (measurement position MP as a voltage minimum point), the voltage gradient Vs2 stored in matrix form, are sequentially searched in the upward direction for each column for example from below, the voltage gradient Vs 2 The measurement position MP where the polarity is inverted (measurement position MP that becomes the voltage minimum point) is detected, and the measurement position MP that is detected as the short position in both the left and right direction and the vertical direction search is specified as the final short position. .

この場合、電流供給点Aの電位が電流供給点Bの電位よりも高電位のときには、電流供給点Aから供給された電流は平板電極EL1上において電流供給点Aからショート位置に流れ込む。このため、ショート位置の周囲に位置する複数の測定位置MPについての電圧データDvの内ではショート位置に最も近接する特定の測定位置MPの規格化データDsが最も小さくなる。したがって、この特定の測定位置MPの規格化データDsから特定の測定位置MPの左隣に位置する測定位置MPの規格化データDsを減算して得られる差分と距離Lとに基づいて算出される電圧勾配Vs1の極性は常にマイナス極性となり、特定の測定位置MPの右隣に位置する測定位置MPの規格化データDsから特定の測定位置MPの規格化データDsを減算して得られる差分と距離Lとに基づいて算出される電圧勾配Vs1の極性は常にプラス極性となる。同様にして、この特定の測定位置MPの規格化データDsから特定の測定位置MPの下隣に位置する測定位置MPの規格化データDsを減算して得られる差分と距離Lとに基づいて算出される電圧勾配Vs1の極性は常にマイナス極性となり、特定の測定位置MPの上隣に位置する測定位置MPの規格化データDsから特定の測定位置MPの規格化データDsを減算して得られる差分と距離Lとに基づいて算出される電圧勾配Vs1の極性は常にプラス極性となる。したがって、演算制御部5は、電流供給点Aの電位が電流供給点Bの電位よりも高電位のときには、電圧勾配Vs1に対しては、行毎に左方向から右方向に順次検索して、電圧勾配Vs1の極性がマイナス極性からプラス極性に転じる測定位置MPを検出する。また、電圧勾配Vs2に対しては、列毎に下方向から上方向に順次検索して、電圧勾配Vs2の極性がマイナス極性からプラス極性に転じる測定位置MPを検出する。   In this case, when the potential at the current supply point A is higher than the potential at the current supply point B, the current supplied from the current supply point A flows from the current supply point A to the short position on the plate electrode EL1. For this reason, the normalized data Ds of the specific measurement position MP closest to the short position is the smallest among the voltage data Dv for the plurality of measurement positions MP located around the short position. Therefore, it is calculated based on the difference obtained by subtracting the normalized data Ds of the measurement position MP located on the left side of the specific measurement position MP from the normalized data Ds of the specific measurement position MP and the distance L. The polarity of the voltage gradient Vs1 is always negative, and the difference and distance obtained by subtracting the standardized data Ds of the specific measurement position MP from the standardized data Ds of the measurement position MP located immediately to the right of the specific measurement position MP. The polarity of the voltage gradient Vs1 calculated based on L is always positive. Similarly, calculation is performed based on the difference obtained by subtracting the normalized data Ds of the measurement position MP located immediately below the specific measurement position MP from the normalized data Ds of the specific measurement position MP and the distance L. The polarity of the applied voltage gradient Vs1 is always negative, and the difference obtained by subtracting the normalized data Ds of the specific measurement position MP from the normalized data Ds of the measurement position MP located immediately above the specific measurement position MP. The polarity of the voltage gradient Vs1 calculated based on the distance L is always positive. Therefore, when the potential at the current supply point A is higher than the potential at the current supply point B, the arithmetic control unit 5 sequentially searches for the voltage gradient Vs1 from the left direction to the right direction for each row. A measurement position MP at which the polarity of the voltage gradient Vs1 changes from negative polarity to positive polarity is detected. Further, the voltage gradient Vs2 is sequentially searched from the lower direction to the upper direction for each column, and the measurement position MP where the polarity of the voltage gradient Vs2 changes from the negative polarity to the positive polarity is detected.

一方、電流供給点Aの電位が電流供給点Bの電位よりも低電位のときには、逆に、平板電極EL1には平板電極EL2側からショート位置を介して電流が流れ込む。このため、平板電極EL1上におけるショート位置の周囲に位置する複数の測定位置MPの電圧データDvの内では、ショート位置に最も近接する特定の測定位置MPの規格化データDsが最も大きくなる。その結果、特定の測定位置MPの左右方向および上下方向に隣接する4つの測定位置MPと特定の測定位置MPとの間の電圧勾配Vs1,Vs2の各極性は、電流供給点Aの電位が電流供給点Bの電位よりも高電位のときとはそれぞれ逆極性になる。したがって、演算制御部5は、電流供給点Aの電位が電流供給点Bの電位よりも低電位のときには、電圧勾配Vs1に対しては、行毎に例えば左方向から右方向に順次検索して、電圧勾配Vs1の極性がプラス極性からマイナス極性に転じる測定位置MPを検出する。また、電圧勾配Vs2に対しては、列毎に例えば下方向から上方向に順次検索して、電圧勾配Vs2の極性がプラス極性からマイナス極性に転じる測定位置MPを検出する。この場合、電流供給点Aの電位が電流供給点Bの電位よりも高電位のため、演算制御部5は、電圧勾配Vs1,Vs2に対して、マイナス極性からプラス極性に転じる測定位置MPを検出する。   On the other hand, when the potential at the current supply point A is lower than the potential at the current supply point B, conversely, current flows into the plate electrode EL1 from the plate electrode EL2 side through the short position. For this reason, among the voltage data Dv of the plurality of measurement positions MP located around the short position on the plate electrode EL1, the standardized data Ds of the specific measurement position MP closest to the short position is the largest. As a result, the polarities of the voltage gradients Vs1 and Vs2 between the four measurement positions MP adjacent to the specific measurement position MP in the left-right direction and the vertical direction and the specific measurement position MP are as follows. The polarity is opposite to that when the potential is higher than the potential at the supply point B. Therefore, when the potential at the current supply point A is lower than the potential at the current supply point B, the arithmetic control unit 5 sequentially searches for the voltage gradient Vs1 from the left direction to the right direction for each row. Then, the measurement position MP where the polarity of the voltage gradient Vs1 changes from the positive polarity to the negative polarity is detected. Further, for the voltage gradient Vs2, for example, the search is sequentially performed from the lower direction to the upper direction for each column, and the measurement position MP where the polarity of the voltage gradient Vs2 changes from the positive polarity to the negative polarity is detected. In this case, since the potential at the current supply point A is higher than the potential at the current supply point B, the arithmetic control unit 5 detects the measurement position MP that changes from the negative polarity to the positive polarity with respect to the voltage gradients Vs1 and Vs2. To do.

また、この例では、測定位置MP(6,8)において平板電極EL1,EL2同士がショートしているため、電圧勾配Vs1に対しては、10行10列の行列形式における6行目(i=6)において、7列目の電圧勾配Vs1(図2における7列目と8列目との間の電圧勾配Vs1)がマイナス極性になり、8列目の電圧勾配Vs1(図2における8列目と9列目との間の電圧勾配Vs1)がプラス極性になる。したがって、演算制御部5は、電圧勾配Vs1に関する電圧極小点として測定位置MP(6,8)を検出し、この測定位置MP(6,8)をショート位置の候補とする。また、電圧勾配Vs2に対しては、10行10列の行列形式における8列目(j=8)において、5行目の電圧勾配Vs2(図2における5行目と6行目との間の電圧勾配Vs2)がマイナス極性になり、6行目の電圧勾配Vs2(図2における6行目と7行目との間の電圧勾配Vs2)がプラス極性になる。したがって、演算制御部5は、電圧勾配Vs2に関する電圧極小点として測定位置MP(6,8)を検出し、この測定位置MP(6,8)をショート位置の候補とする。演算制御部5は、異なる2方向(互いに直交する左右方向および上下方向)に沿った電圧極小点(ショート位置)の検出結果を比較して、測定位置MP(6,8)が両方向の検索において共にショート位置として検出されているため、この測定位置MP(6,8)を最終的なショート位置として特定する。   In this example, since the plate electrodes EL1 and EL2 are short-circuited at the measurement position MP (6, 8), the sixth row (i = 10) in the 10 × 10 matrix format with respect to the voltage gradient Vs1. 6), the voltage gradient Vs1 in the seventh column (voltage gradient Vs1 between the seventh column and the eighth column in FIG. 2) has a negative polarity, and the voltage gradient Vs1 in the eighth column (the eighth column in FIG. 2). And the voltage gradient Vs1) between the 9th column becomes positive polarity. Therefore, the calculation control unit 5 detects the measurement position MP (6, 8) as a voltage minimum point related to the voltage gradient Vs1, and sets the measurement position MP (6, 8) as a short position candidate. For the voltage gradient Vs2, in the eighth column (j = 8) in the 10 × 10 matrix format, the voltage gradient Vs2 in the fifth row (between the fifth and sixth rows in FIG. 2). The voltage gradient Vs2) has a negative polarity, and the voltage gradient Vs2 of the sixth row (the voltage gradient Vs2 between the sixth and seventh rows in FIG. 2) has a positive polarity. Therefore, the arithmetic control unit 5 detects the measurement position MP (6, 8) as a voltage minimum point related to the voltage gradient Vs2, and sets the measurement position MP (6, 8) as a short position candidate. The arithmetic control unit 5 compares the detection result of the voltage minimum point (short position) along two different directions (right and left direction and vertical direction perpendicular to each other), and the measurement position MP (6, 8) is searched in both directions. Since both are detected as a short position, this measurement position MP (6, 8) is specified as the final short position.

次いで、演算制御部5は、検出した電圧極小点となる測定位置MP(6,8)に関する情報(位置や数の情報)を表示部6に表示させ(ステップ45)、第1のショート位置検出処理を終了する。なお、測定位置の分解能の関係上、電圧極小点となる測定位置MPそのものがショート位置となるとは限らないものの、少なくとも電圧極小点となる測定位置MPがすべての測定位置MPの中で実際のショート位置に最も近接している。したがって、両方向の検索において共にショート位置として検出した測定位置MPをショート位置と特定することにより、実質的に、この測定位置MPの極く近傍に存在する実際のショート位置が特定される。なお、測定位置MP(b,1)は平板電極EL1の外縁部(具体的には隅部)に位置しているため、隣接する測定位置MP(b,2),MP(a,1)よりも常に低電位となる。したがって、電圧極小点を検索する第1のショート位置検出処理では、測定位置MP(b,1)はショート位置として検出されない。   Next, the calculation control unit 5 displays information (position and number information) on the measurement position MP (6, 8), which is the detected voltage minimum point, on the display unit 6 (step 45) to detect the first short position. The process ends. Although the measurement position MP itself that is the voltage minimum point is not necessarily a short position because of the resolution of the measurement position, at least the measurement position MP that is the voltage minimum point is an actual short circuit among all the measurement positions MP. Closest to the location. Therefore, by specifying the measurement position MP detected as the short position in both directions of search as the short position, the actual short position that is present in the immediate vicinity of the measurement position MP is substantially specified. Since the measurement position MP (b, 1) is located at the outer edge (specifically, the corner) of the plate electrode EL1, the measurement positions MP (b, 2) and MP (a, 1) are adjacent to each other. Is always at a low potential. Therefore, in the first short position detection process for searching for the voltage minimum point, the measurement position MP (b, 1) is not detected as a short position.

次いで、演算制御部5は、図3に示すように、第1のショート位置検出処理においてショート位置を検出したか否か(ショート位置の有無)を判別し(ステップ34)、ショート位置を検出したときにはステップ35を実行して電流供給点を変更した後、ショート位置を検出しないときにはステップ35を実行することなく第2のショート位置検出処理(ステップ36)を実行することにより、平板電極EL1,EL2の外縁部に位置するショート位置を検出する。   Next, as shown in FIG. 3, the arithmetic control unit 5 determines whether or not the short position is detected in the first short position detection process (the presence or absence of the short position) (step 34), and detects the short position. Sometimes step 35 is executed to change the current supply point, and when the short position is not detected, the second short position detection process (step 36) is executed without executing step 35, thereby obtaining the plate electrodes EL1, EL2. The short position located at the outer edge of the is detected.

本例では、第1のショート位置検出処理において測定位置MP(6,8)がショート位置として検出されているため、まず、第1のショート位置検出処理における電流供給点Aに代えて、図1,2に示すように、この第1のショート位置検出処理においてショート位置として検出した測定位置MP(6,8)を平板電極EL1に対する新たな電流供給点(本発明における新たな所定の部位)A1とする(ステップ35)。次いで、演算制御部5は、第2のショート位置検出処理(ステップ36)を実行する。具体的には、演算制御部5は、電流供給部2を定電流動作させて、図5に示すように、平板電極EL1の電流供給点A1と平板電極EL2の電流供給点Bとの間に対する直流定電流の供給を開始させる(ステップ51)。次いで、演算制御部5は、電圧測定部3をスキャニング動作させて平板電極EL1表面の電圧分布を測定する(ステップ52)。具体的には、電圧測定部3は、平板電極EL1の電流供給点A1を新たな基準点とすると共に、各プローブ7を順次スキャニングして新たな基準点(電流供給点A1)と各測定位置MPとの間の電位差(基準点を基準とした各測定位置MPの電圧)を電圧分布として測定し、測定した各測定位置MPの電位差を電圧データDvとして演算制御部5に出力する。演算制御部5は、この電圧データDvを順次取り込み、取り込んだ電圧データDvをその測定位置MPの位置に関連付けて内部メモリに順次記憶する。また、演算制御部5は、電圧分布の測定を完了した後に、電流供給部2の定電流動作を停止させると共に、図外の放電回路を作動させることにより、平板電極EL1,EL2に充電されている電荷を放電させる。   In this example, since the measurement position MP (6, 8) is detected as the short position in the first short position detection process, first, instead of the current supply point A in the first short position detection process, FIG. , 2, the measurement position MP (6, 8) detected as the short position in the first short position detection processing is used as a new current supply point (new predetermined portion in the present invention) A1 for the plate electrode EL1. (Step 35). Next, the arithmetic control unit 5 executes a second short position detection process (step 36). Specifically, the arithmetic control unit 5 operates the current supply unit 2 at a constant current, and as illustrated in FIG. 5, the operation control unit 5 performs a current supply between the current supply point A1 of the plate electrode EL1 and the current supply point B of the plate electrode EL2. Supply of DC constant current is started (step 51). Next, the arithmetic control unit 5 causes the voltage measurement unit 3 to perform a scanning operation to measure the voltage distribution on the surface of the plate electrode EL1 (step 52). Specifically, the voltage measurement unit 3 sets the current supply point A1 of the plate electrode EL1 as a new reference point, and sequentially scans each probe 7 to obtain a new reference point (current supply point A1) and each measurement position. The potential difference from MP (the voltage at each measurement position MP with reference to the reference point) is measured as a voltage distribution, and the measured potential difference at each measurement position MP is output to the arithmetic control unit 5 as voltage data Dv. The arithmetic control unit 5 sequentially captures the voltage data Dv, and stores the captured voltage data Dv in the internal memory in association with the position of the measurement position MP. Further, after completing the measurement of the voltage distribution, the arithmetic control unit 5 stops the constant current operation of the current supply unit 2 and operates the discharge circuit (not shown) to charge the plate electrodes EL1 and EL2. Discharge the charge.

続いて、演算制御部5は、内部メモリに記憶した電圧データDvに基づいてショート位置を検出する(ステップ53)。具体的には、演算制御部5は、各測定位置MPについての電圧データDvを相互に比較して、電圧データDvの最も低い測定位置MPを検索する。ショート位置が存在しないときには、各測定位置MPの電圧データDvは若干ばらつくもののほぼ同じ値になる。したがって、演算制御部5は、各測定位置MPの電圧データDvがこのばらつきの範囲内にあるときにはショート位置が存在しないと判別し、このばらつきの範囲よりもさらに低い電圧データDvの測定位置MPが存在するときには、これらの測定位置MPのうちの最も低い電圧データDvの測定位置MPを検索する。次いで、演算制御部5は、このような測定位置MPを検索したときには、この測定位置MPが平板電極EL1の外縁部に位置する測定位置MPであるか否かを判別し、外縁部に位置する測定位置MPのときには、検索した測定位置MPをショート位置として検出する。この例では、電流供給部2は、ショート位置である測定位置MP(6,8)を電流供給点A1として平板電極EL1に電流を供給する。したがって、平板電極EL1から平板電極EL2への電流供給経路としては、電流供給点A1である最も電圧の高い測定位置MP(6,8)から平板電極EL2に直接的に流れる経路と、測定位置MP(6,8)から他のショート位置である測定位置MP(b,1)まで平板電極EL1上を流れた後にこの測定位置MP(b,1)から平板電極EL2に流れる経路との2つが存在する。このため、平板電極EL1の表面における電圧分布は、測定位置MP(6,8)がショート位置であるにも拘わらず電圧が最も高くなり、もう一つのショート位置である測定位置MP(b,1)の電圧が常に最も低くなる。したがって、演算制御部5は、平板電極EL1の外縁部に位置して、電圧の最も低い測定位置MP(b,1)をショート位置として検出する。   Subsequently, the arithmetic control unit 5 detects a short position based on the voltage data Dv stored in the internal memory (step 53). Specifically, the arithmetic control unit 5 searches for the lowest measurement position MP of the voltage data Dv by comparing the voltage data Dv for each measurement position MP with each other. When there is no short position, the voltage data Dv at each measurement position MP is almost the same value although it varies slightly. Therefore, the arithmetic control unit 5 determines that there is no short position when the voltage data Dv at each measurement position MP is within this variation range, and the measurement position MP of the voltage data Dv that is lower than the variation range is When it exists, the measurement position MP of the lowest voltage data Dv among these measurement positions MP is searched. Next, when searching for such a measurement position MP, the arithmetic control unit 5 determines whether or not the measurement position MP is the measurement position MP located at the outer edge of the plate electrode EL1, and is located at the outer edge. At the measurement position MP, the searched measurement position MP is detected as a short position. In this example, the current supply unit 2 supplies a current to the plate electrode EL1 with the measurement position MP (6, 8), which is a short-circuit position, as a current supply point A1. Therefore, the current supply path from the plate electrode EL1 to the plate electrode EL2 includes a path directly flowing from the measurement position MP (6, 8) having the highest voltage, which is the current supply point A1, to the plate electrode EL2, and the measurement position MP. There are two paths: (6, 8) to a measurement position MP (b, 1), which is another short position, and then a flow path from the measurement position MP (b, 1) to the plate electrode EL2 after flowing on the plate electrode EL1. To do. Therefore, the voltage distribution on the surface of the plate electrode EL1 has the highest voltage even though the measurement position MP (6, 8) is a short position, and the measurement position MP (b, 1) which is another short position. ) Voltage is always the lowest. Therefore, the arithmetic control unit 5 detects the measurement position MP (b, 1) having the lowest voltage located at the outer edge of the plate electrode EL1 as a short position.

一方、平板電極EL1,EL2が、測定位置MP(6,8)以外でショートしていないときには、平板電極EL1から平板電極EL2への電流供給経路は、電流供給点A1である測定位置MP(6,8)から平板電極EL2に直接的に流れる経路のみとなる。この状態では、平板電極EL1上の電圧分布は、すべての測定位置MPにおける電位がほぼ同じ電位となる。したがって、演算制御部5は、検索の結果、最も電圧データDvの小さい測定位置MPが存在しないとき、言い換えれば、すべての測定位置MPにおける電圧データDvがほぼ等しいときには、測定位置MP(6,8)以外のショート位置が存在しないと判別する。次いで、演算制御部5は、ショート位置として検出した測定位置MPに関する情報を表示部6に表示させ(ステップ54)、第2のショート位置検出処理を終了する。この例では、演算制御部5は、測定位置MPに関する情報として、測定位置MP(b,1)の位置を表示部6に表示させ、ショート位置が存在しないと判別したときには、その旨を表示させる。なお、ステップ34においてショート位置を検出しないときには第2のショート位置検出処理(ステップ36)のステップ51,52を実行することなく上記のショート位置の検出(ステップ53)を実行することもできる。   On the other hand, when the plate electrodes EL1 and EL2 are not short-circuited except at the measurement position MP (6, 8), the current supply path from the plate electrode EL1 to the plate electrode EL2 is the measurement position MP (6) which is the current supply point A1. 8), and only the path that flows directly to the plate electrode EL2. In this state, the voltage distribution on the plate electrode EL1 has substantially the same potential at all measurement positions MP. Accordingly, when the measurement position MP having the smallest voltage data Dv does not exist as a result of the search, in other words, when the voltage data Dv at all the measurement positions MP is substantially equal, the arithmetic control unit 5 determines the measurement position MP (6, 8 It is determined that there is no short position other than). Next, the calculation control unit 5 displays information on the measurement position MP detected as the short position on the display unit 6 (step 54), and ends the second short position detection process. In this example, the calculation control unit 5 displays the position of the measurement position MP (b, 1) on the display unit 6 as information on the measurement position MP, and when it is determined that there is no short position, displays that fact. . When the short position is not detected in step 34, the short position detection (step 53) can be executed without executing steps 51 and 52 of the second short position detection process (step 36).

この第2のショート位置検出処理を終了した後、演算制御部5は、図3に示すように、第2のショート位置検出処理においてショート位置を検出したか否か(ショート位置の有無)を判別し(ステップ37)、ショート位置を検出していないと判別したきには各プローブ7を平板電極EL1から離間させる(ステップ39)。一方、演算制御部5は、ステップ37において、ショート位置を検出したと判別したときには、さらに電流供給点の変更を実施したか否かを判別し(ステップ38)、実施したと判別したときには各プローブ7を平板電極EL1から離間させ(ステップ39)、実施していないと判別したときには、ステップ35,36を再度実行することにより、平板電極EL1,EL2の外縁部に位置する他のショート位置を検出する。本例では、平板電極EL1,EL2は、測定位置MP(6,8)および測定位置MP(b,1)の2つの位置においてショートしているため、ステップ35において電流供給点が既に変更され、最初の第2のショート位置検出処理においてショート位置が既に検出されている。したがって、演算制御部5は、ステップ37においてショート位置を検出したと判別してステップ38に移行し、ステップ38において電流供給点が既に変更されたと判別してステップ39に移行する。最後に、演算制御部5は、ステップ39において、駆動機構4を制御することにより、各プローブ7を平板電極EL1から離間させる。これにより、すべてのショート検査が完了する。   After completing the second short position detection process, the arithmetic control unit 5 determines whether or not a short position is detected in the second short position detection process (presence / absence of a short position), as shown in FIG. When it is determined that the short position has not been detected (step 37), each probe 7 is separated from the plate electrode EL1 (step 39). On the other hand, when it is determined in step 37 that the short position has been detected, the arithmetic control unit 5 further determines whether or not the current supply point has been changed (step 38). 7 is separated from the plate electrode EL1 (step 39), and when it is determined that it has not been performed, steps 35 and 36 are executed again to detect other short positions located at the outer edge portions of the plate electrodes EL1 and EL2. To do. In this example, since the plate electrodes EL1 and EL2 are short-circuited at two positions of the measurement position MP (6, 8) and the measurement position MP (b, 1), the current supply point is already changed in step 35, The short position has already been detected in the first second short position detection process. Therefore, the arithmetic control unit 5 determines that the short position has been detected in Step 37 and proceeds to Step 38, and determines that the current supply point has already been changed in Step 38 and proceeds to Step 39. Finally, in step 39, the arithmetic control unit 5 controls the drive mechanism 4 to separate each probe 7 from the plate electrode EL1. This completes all short inspections.

なお、一対の平板電極EL1,EL2が外縁部のみでショートしている場合、例えば、図2に示すように、黒三角印で表示された測定位置MP(3,b)および測定位置MP(b,b)の2点で各平板電極EL1,EL2がショートしているときには、第1のショート位置検出処理(ステップ33)では、ショート位置は検出されない。このようなときには、上記したように、ステップ35を実行することなく(電流供給点を変更することなく)、演算制御部5が第2のショート位置検出処理(ステップ36)を実行する。一例として、演算制御部5は、第2のショート位置検出処理により、測定位置MP(3,b)を最初のショート位置として検出したとする。次いで、演算制御部5は、ステップ37においてショート位置を検出したと判別すると共に、続くステップ38において電流供給点の変更を実施していないと判別してステップ35に移行する。ステップ35においては、最初に実行した第2のショート位置検出処理において最初のショート位置として検出された測定位置MP(3,b)を電流供給点Aに代えて平板電極EL1に対する新たな電流供給点とする。次いで、演算制御部5は、2回目の第2のショート位置検出処理を実行する(ステップ36)。演算制御部5は、この2回目の第2のショート位置検出処理において、測定位置MP(3,b)を平板電極EL1に対する新たな電流供給点として電流供給部2に直流定電流の供給を実施させ、この状態において最も電圧データDvの小さい測定位置MPを検出することにより、測定位置MP(b,b)を次のショート位置として検出する。次いで、演算制御部5は、ステップ37においてショート位置を検出したと判別すると共に、続くステップ38において電流供給点の変更を実施したと判別してステップ39に移行し、各プローブ7を平板電極EL1から離間させてすべてのショート検査を完了させる。   When the pair of plate electrodes EL1 and EL2 are short-circuited only at the outer edge portion, for example, as shown in FIG. 2, the measurement position MP (3, b) and the measurement position MP (b) displayed by black triangle marks , B) When the plate electrodes EL1, EL2 are short-circuited at two points, the short position is not detected in the first short position detection process (step 33). In such a case, as described above, the calculation control unit 5 executes the second short position detection process (step 36) without executing step 35 (without changing the current supply point). As an example, it is assumed that the arithmetic control unit 5 detects the measurement position MP (3, b) as the first short position by the second short position detection process. Next, the arithmetic control unit 5 determines that the short position has been detected in Step 37 and determines that the current supply point has not been changed in the subsequent Step 38 and proceeds to Step 35. In step 35, a new current supply point for the plate electrode EL1 is replaced with the current supply point A instead of the measurement position MP (3, b) detected as the first short position in the second short position detection process executed first. And Next, the arithmetic control unit 5 executes a second short position detection process for the second time (step 36). In the second short position detection process for the second time, the arithmetic control unit 5 supplies a constant DC current to the current supply unit 2 with the measurement position MP (3, b) as a new current supply point for the plate electrode EL1. In this state, the measurement position MP (b, b) is detected as the next short position by detecting the measurement position MP having the smallest voltage data Dv. Next, the arithmetic control unit 5 determines that the short position has been detected in Step 37, determines that the current supply point has been changed in the subsequent Step 38, and proceeds to Step 39 to connect each probe 7 to the plate electrode EL1. To complete all short inspections.

また、一対の平板電極EL1,EL2が外縁部でショートしていない場合、第1のショート位置検出処理においてショート位置が検出されて電流供給点の変更が実施されたときであったとしても、また第1のショート位置検出処理においてショート位置が検出されずに電流供給点の変更が実施されないときであったとしても、演算制御部5が第2のショート位置検出処理(ステップ36)を実行したときの平板電極EL1上の電圧分布は、すべての測定位置MPにおける電位がほぼ同じ電位となり、第2のショート位置検出処理においてショート位置は検出されない。したがって、演算制御部5は、最初に第2のショート位置検出処理を実行した後のステップ37においてショート位置を検出していないと判別して、ステップ39に移行し、各プローブ7を平板電極EL1から離間させてすべてのショート検査を完了させる。   Further, when the pair of plate electrodes EL1 and EL2 are not short-circuited at the outer edge portion, even if the short-circuit position is detected and the current supply point is changed in the first short-position detection process, Even when the short-circuit position is not detected in the first short-position detection process and the current supply point is not changed, the calculation control unit 5 executes the second short-position detection process (step 36). In the voltage distribution on the flat plate electrode EL1, the potentials at all the measurement positions MP are substantially the same, and the short position is not detected in the second short position detection process. Accordingly, the arithmetic control unit 5 determines that the short position is not detected in Step 37 after the second short position detection process is first executed, and proceeds to Step 39 to connect each probe 7 to the plate electrode EL1. To complete all short inspections.

このように、このショート検出装置1によれば、演算制御部5が、1つのショート位置を検出した後に他のショート位置を検出するときに、一方の平板電極EL1における1つのショート位置に対応する測定位置MPを新たな所定の部位として電流供給部2に対して直流定電流を供給させている状態において電圧測定部3によって測定された一方の平板電極EL1表面の電圧分布に基づいて最も低い電圧の測定位置MPを検出すると共に、検出した測定位置MPが一方の平板電極EL1の外縁部に位置するときに、その測定位置MPを一対の平板電極EL1,EL2間における他のショート位置とすることにより、他のショート位置を確実に検出することができる。   Thus, according to this short detection device 1, when the arithmetic control unit 5 detects one short position and then detects another short position, it corresponds to one short position in one plate electrode EL1. The lowest voltage based on the voltage distribution on the surface of one plate electrode EL1 measured by the voltage measurement unit 3 in a state where a constant DC current is supplied to the current supply unit 2 with the measurement position MP as a new predetermined portion. The measurement position MP is detected, and when the detected measurement position MP is located at the outer edge portion of one plate electrode EL1, the measurement position MP is set as another short position between the pair of plate electrodes EL1 and EL2. Thus, other short positions can be reliably detected.

また、このショート検出装置1によれば、演算制御部5が、電圧勾配Vs1,Vs2に基づいて電圧極小点となる測定位置MPをショート位置として検出したときには、検出したショート位置に対応する測定位置MPを新たな所定の部位として電流供給部2に対して直流定電流を供給させている状態において電圧測定部3によって測定された平板電極EL1表面の電圧分布に基づいて最も低い電圧の測定位置MPを検出すると共に、検出した測定位置MPが一方の平板電極EL1の外縁部に位置するときに、その測定位置MPを一対の平板電極EL1,EL2間における他のショート位置とすることにより、一対の平板電極EL1,EL2同士が外縁部における1箇所でショートし、かつ非外縁部における1箇所でショートしているときであっても、両ショート位置にそれぞれ対応する測定位置MPを確実に検出することができる。   Further, according to the short detection device 1, when the calculation control unit 5 detects the measurement position MP that becomes the voltage minimum point as the short position based on the voltage gradients Vs1 and Vs2, the measurement position corresponding to the detected short position. The measurement position MP of the lowest voltage based on the voltage distribution on the surface of the plate electrode EL1 measured by the voltage measurement unit 3 in a state where a constant DC current is supplied to the current supply unit 2 with MP as a new predetermined portion. When the detected measurement position MP is located at the outer edge of one plate electrode EL1, the measurement position MP is set as another short position between the pair of plate electrodes EL1 and EL2. When the flat plate electrodes EL1, EL2 are short-circuited at one place on the outer edge and short-circuited at one place on the non-outer edge Also, it is possible to reliably detect the measurement position MP corresponding respectively to both short position.

さらに、このショート検出装置1によれば、演算制御部5が、電圧測定部3によって測定された電圧分布に基づいて最も低い電圧の測定位置MPを検出すると共にこの検出した測定位置MPが平板電極EL1の外縁部に位置するときには、検出した測定位置MPを1つのショート箇所の位置として検出し、さらに、検出したショート位置に対応する測定位置MPを新たな所定の部位として電流供給部2に対して直流定電流を供給させている状態において電圧測定部3によって測定された一方の平板電極EL1表面の電圧分布に基づいて最も低い電圧の測定位置MPを検出すると共に、検出した測定位置MPが一方の平板電極EL1の外縁部に位置するときに、その測定位置MPを一対の平板電極EL1,EL2間における他のショート位置とすることにより、一対の平板電極EL1,EL2同士が外縁部における2箇所でショートしているときであっても、両ショート位置にそれぞれ対応する測定位置MPを確実に検出することができる。   Furthermore, according to the short detection device 1, the calculation control unit 5 detects the measurement position MP of the lowest voltage based on the voltage distribution measured by the voltage measurement unit 3, and the detected measurement position MP is the plate electrode. When located at the outer edge of EL1, the detected measurement position MP is detected as the position of one short location, and the measurement position MP corresponding to the detected short location is set as a new predetermined location to the current supply unit 2. In the state where the DC constant current is supplied, the lowest voltage measurement position MP is detected based on the voltage distribution on the surface of one plate electrode EL1 measured by the voltage measurement unit 3, and the detected measurement position MP is one When the measurement position MP is positioned at the outer edge of the flat plate electrode EL1, the short-circuit position between the pair of flat plate electrodes EL1 and EL2 Rukoto, even when the pair of plate electrodes EL1, EL2 each other is short-circuited at two locations at the outer edge portion, it is possible to reliably detect the measurement position MP corresponding respectively to both short position.

なお、本発明は、上記の構成に限定されず、適宜変更することが可能である。例えば、ショート検出装置1では、第1のショート位置検出処理と第2のショート位置検出処理とを実行する構成を採用したが、平板電極EL1,EL2が常に外縁部のみでショートするときには、第1のショート位置検出処理を実行せずに、第2のショート位置検出処理だけを実行する構成を採用することもできる。また、上記のショート検出装置1では、複数の測定位置MPに対応してプローブ7を複数配置する構成を採用しているが、1本のプローブ7を各測定位置MPに順次接触させて各測定位置MPにおける電位差を測定する構成を採用することもできる。この構成によれば、ショート位置を特定するまでの時間が長くなるものの、ショート検出装置1の構成を簡略化することができる結果、装置コストを低減することができる。また、ショート検出装置1では、左右、上下の2方向に沿った電圧勾配Vs1,Vs2に基づいて電圧極小点を検出してショート位置を特定しているが、斜め方向に沿った電圧勾配に基づいて電圧極小点を検出してショート位置を特定する構成を採用することもできる。また、左右、上下の2方向の電圧勾配Vs1,Vs2と斜め方向の電圧勾配との両者に基づいてショート位置を検出する構成を採用することもできる。この構成によれば、ショート位置の検出精度を一層高めることができる。   In addition, this invention is not limited to said structure, It can change suitably. For example, the short detection device 1 employs a configuration in which the first short position detection process and the second short position detection process are performed. However, when the plate electrodes EL1 and EL2 are always short-circuited only at the outer edge, the first short position detection process is performed. It is also possible to adopt a configuration in which only the second short position detection process is executed without executing the short position detection process. Further, the short detection device 1 employs a configuration in which a plurality of probes 7 are arranged corresponding to a plurality of measurement positions MP. However, a single probe 7 is sequentially brought into contact with each measurement position MP to perform each measurement. A configuration for measuring the potential difference at the position MP can also be adopted. According to this configuration, although the time until the short position is specified becomes long, the configuration of the short detection device 1 can be simplified, and as a result, the device cost can be reduced. Further, in the short detection device 1, the voltage minimum point is detected based on the voltage gradients Vs1 and Vs2 along the left, right, and upper and lower directions, and the short position is specified, but based on the voltage gradient along the oblique direction. It is also possible to adopt a configuration in which the short position is specified by detecting the voltage minimum point. Further, it is also possible to adopt a configuration in which the short position is detected based on both the left and right, upper and lower voltage gradients Vs1, Vs2 and the diagonal voltage gradient. According to this configuration, the detection accuracy of the short position can be further increased.

また、ショート検出装置1では、異なる2方向に沿った電圧勾配Vs1,Vs2に基づいてショート位置を検出する構成を採用して検出精度を高めているが、検出精度よりも検出速度を優先するときには、一方向に沿った電圧勾配Vsのみに基づいてショート位置を検出することもできる。また、ショート検出装置1では、電圧測定部3によって測定された電圧データDvを規格化した規格化データDsに基づいて電圧勾配Vs1,Vs2を算出する構成が採用されているが、この規格化処理を省いて、電圧データDvから電圧勾配Vs1,Vs2を直接的に算出する構成を採用することもできる。   The short detection device 1 employs a configuration in which the short position is detected based on the voltage gradients Vs1 and Vs2 along two different directions to improve the detection accuracy. However, when priority is given to the detection speed over the detection accuracy. The short position can also be detected based only on the voltage gradient Vs along one direction. The short detection device 1 employs a configuration that calculates the voltage gradients Vs1 and Vs2 based on the normalized data Ds obtained by standardizing the voltage data Dv measured by the voltage measuring unit 3. It is also possible to adopt a configuration that directly calculates the voltage gradients Vs1 and Vs2 from the voltage data Dv.

また、ショート検出装置1では、プローブ7を接触させる複数の測定位置MP,MP・・を図2に示すようにマトリックス状のパターンで平板電極EL1上に規定しているが、正三角形、正方形、平行四辺形および正六角形などの多角形を隣接して配置し、各多角形の頂点に各測定位置MPを対応させることで、規則性を有するパターン上に各測定位置MPを配置することもできる。また、ショート検出装置1では、電圧測定部3による電圧データDvの測定時における基準点を平板電極EL1における電流供給点Aに設定する構成を採用しているが、この基準点を電流供給点Aとは異なる任意の点に設定することもできる。また、燃料電池における平板電極EL1,EL2間のショート位置を検出する例について説明したが、本発明は他の分野における一対の平板電極間に対するショート位置検出にも有効に適用することができる。また、ショート検出装置1では、電流供給部2と電圧測定部3とを別体に設ける構成を採用しているが、例えば、電圧測定部3内に直流定電流源として電流供給部2を配設すると共に、一点鎖線で示すように電圧測定部3内の電流供給部2と電流供給点Bとを接続し、かつ複数のプローブ7のうちの1本を電流供給用として電流供給部2に接続することにより、電圧測定部3から平板電極EL1,EL2間に直流定電流を供給する構成を採用することもできる。   Further, in the short detection device 1, a plurality of measurement positions MP, MP,... With which the probe 7 is brought into contact are defined on the plate electrode EL1 in a matrix pattern as shown in FIG. It is also possible to arrange each measurement position MP on a regular pattern by arranging polygons such as parallelograms and regular hexagons adjacent to each other and making each measurement position MP correspond to the vertex of each polygon. . Further, the short detection device 1 employs a configuration in which the reference point at the time of measurement of the voltage data Dv by the voltage measurement unit 3 is set to the current supply point A in the plate electrode EL1, but this reference point is used as the current supply point A. It can also be set to any point different from. Moreover, although the example which detects the short position between flat electrode EL1, EL2 in a fuel cell was demonstrated, this invention can be applied effectively also to the short position detection with respect to between a pair of flat plate electrodes in another field | area. The short detection device 1 employs a configuration in which the current supply unit 2 and the voltage measurement unit 3 are provided separately. For example, the current supply unit 2 is arranged as a DC constant current source in the voltage measurement unit 3. And connecting the current supply unit 2 and the current supply point B in the voltage measurement unit 3 as shown by a one-dot chain line, and one of the plurality of probes 7 is used for current supply to the current supply unit 2. By connecting, it is also possible to adopt a configuration in which a DC constant current is supplied from the voltage measuring unit 3 between the plate electrodes EL1, EL2.

ショート検出装置1の構成を示す構成図である。1 is a configuration diagram showing a configuration of a short detection device 1. FIG. 複数のプローブ7が取り付けられた状態の支持板8の平面図である。It is a top view of the support plate 8 in the state where the some probe 7 was attached. ショート検出装置1におけるショート検出処理のフローチャートである。3 is a flowchart of a short detection process in the short detection device 1. 図3に示す第1のショート位置検出処理のフローチャートである。It is a flowchart of the 1st short position detection process shown in FIG. 図3に示す第2のショート位置検出処理のフローチャートである。It is a flowchart of the 2nd short position detection process shown in FIG.

符号の説明Explanation of symbols

1 ショート検出装置
2 電流供給部
3 電圧測定部
4 駆動機構
5 演算制御部(本発明における検出部)
7 プローブ
A,A1 電流供給点(平板電極EL1の所定の部位)
Dv 電圧データ
EL1,EL2 平板電極
MP 測定位置
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Short detection apparatus 2 Current supply part 3 Voltage measurement part 4 Drive mechanism 5 Calculation control part (detection part in this invention)
7 Probe A, A1 Current supply point (predetermined part of the plate electrode EL1)
Dv voltage data EL1, EL2 Plate electrode MP Measurement position

Claims (2)

対向して配置された一対の平板電極のうちの一方の平板電極における所定の部位と他方の平板電極における所定の部位との間に電流を供給する電流供給部と、
前記電流供給部によって電流が供給されている状態において、所定のパターンで前記一方の平板電極上に規定された複数の測定位置と当該一方の平板電極上に規定された一つの基準点との間の各電位差を電圧分布として測定する電圧測定部と、
前記測定された電圧分布に基づいて前記各測定位置と所定の方向に沿って隣接する他の測定位置との間の各電圧勾配を算出すると共に当該算出した各電圧勾配に基づいて電圧極小点となる当該測定位置を前記一対の平板電極間における1つのショート箇所の位置として検出する検出部とを備え、
前記検出部が1つのショート箇所の位置を検出した後に他のショート箇所の位置を検出するときに、前記電流供給部は、前記一方の平板電極における当該1つのショート箇所としての前記測定位置を新たな前記所定の部位として、当該新たな所定の部位と前記他方の平板電極における前記所定の部位との間に前記電流を供給し、前記電圧測定部は、前記新たな所定の部位を前記一つの基準点として、当該電流供給部によって前記電流が供給されている状態での前記電圧分布を測定し、当該検出部は、当該測定された電圧分布に基づいて最も低い電圧の前記測定位置を検出すると共に、当該検出した測定位置が前記一方の平板電極の外縁部に位置するときに、当該検出した測定位置を前記一対の平板電極間における前記他のショート箇所の位置として検出するショート検出装置。
A current supply section for supplying a current between a predetermined portion of one flat plate electrode and a predetermined portion of the other flat plate electrode of the pair of flat plate electrodes disposed opposite to each other;
Between a plurality of measurement positions defined on the one plate electrode in a predetermined pattern and one reference point defined on the one plate electrode in a state where current is supplied by the current supply unit A voltage measuring unit for measuring each potential difference of the voltage as a voltage distribution;
A voltage gradient between each measurement position and another measurement position adjacent along a predetermined direction is calculated based on the measured voltage distribution, and a voltage minimum point is calculated based on the calculated voltage gradient. A detection unit that detects the measurement position as a position of one short portion between the pair of plate electrodes,
When the detection unit detects the position of one short part after detecting the position of one short part, the current supply unit newly sets the measurement position as the one short part in the one plate electrode. As the predetermined portion, the current is supplied between the new predetermined portion and the predetermined portion of the other flat plate electrode, and the voltage measuring unit assigns the new predetermined portion to the one predetermined portion. As a reference point , the voltage distribution in a state where the current is supplied by the current supply unit is measured, and the detection unit detects the measurement position of the lowest voltage based on the measured voltage distribution. In addition, when the detected measurement position is located at the outer edge portion of the one flat plate electrode, the detected measurement position is the position of the other shorted portion between the pair of flat plate electrodes. Short-circuit detection device that detected.
対向して配置された一対の平板電極のうちの一方の平板電極における所定の部位と他方の平板電極における所定の部位との間に電流を供給する電流供給部と、
前記電流供給部によって電流が供給されている状態において、所定のパターンで前記一方の平板電極上に規定された複数の測定位置と当該一方の平板電極上に規定された一つの基準点との間の各電位差を電圧分布として測定する電圧測定部と、
前記測定された電圧分布に基づいて最も低い電圧の前記測定位置を検出すると共に当該検出した測定位置が前記一方の平板電極の外縁部に位置するときに、当該検出した測定位置を前記一対の平板電極間における1つのショート箇所の位置として検出する検出部とを備え、
前記検出部が1つのショート箇所の位置を検出した後に他のショート箇所の位置を検出するときに、前記電流供給部は、前記一方の平板電極における当該1つのショート箇所としての前記測定位置を新たな前記所定の部位として、当該新たな所定の部位と前記他方の平板電極における前記所定の部位との間に前記電流を供給し、前記電圧測定部は、前記新たな所定の部位を前記一つの基準点として、当該電流供給部によって前記電流が供給されている状態での前記電圧分布を測定し、当該検出部は、当該測定された電圧分布に基づいて最も低い電圧の前記測定位置を検出すると共に、当該検出した測定位置が前記一方の平板電極の外縁部に位置するときに、当該検出した測定位置を前記一対の平板電極間における前記他のショート箇所の位置として検出するショート検出装置。
A current supply section for supplying a current between a predetermined portion of one flat plate electrode and a predetermined portion of the other flat plate electrode of the pair of flat plate electrodes disposed opposite to each other;
Between a plurality of measurement positions defined on the one plate electrode in a predetermined pattern and one reference point defined on the one plate electrode in a state where current is supplied by the current supply unit A voltage measuring unit for measuring each potential difference of the voltage as a voltage distribution;
Based on the measured voltage distribution, the measurement position of the lowest voltage is detected, and when the detected measurement position is located at an outer edge portion of the one plate electrode, the detected measurement position is set to the pair of flat plates. A detection unit that detects the position of one short spot between the electrodes,
When the detection unit detects the position of one short part after detecting the position of one short part, the current supply unit newly sets the measurement position as the one short part in the one plate electrode. As the predetermined portion, the current is supplied between the new predetermined portion and the predetermined portion of the other flat plate electrode, and the voltage measuring unit assigns the new predetermined portion to the one predetermined portion. As a reference point , the voltage distribution in a state where the current is supplied by the current supply unit is measured, and the detection unit detects the measurement position of the lowest voltage based on the measured voltage distribution. In addition, when the detected measurement position is located at the outer edge portion of the one flat plate electrode, the detected measurement position is the position of the other shorted portion between the pair of flat plate electrodes. Short-circuit detection device that detected.
JP2005063522A 2005-03-08 2005-03-08 Short detection device Expired - Fee Related JP4842549B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005063522A JP4842549B2 (en) 2005-03-08 2005-03-08 Short detection device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005063522A JP4842549B2 (en) 2005-03-08 2005-03-08 Short detection device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2006250547A JP2006250547A (en) 2006-09-21
JP4842549B2 true JP4842549B2 (en) 2011-12-21

Family

ID=37091232

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005063522A Expired - Fee Related JP4842549B2 (en) 2005-03-08 2005-03-08 Short detection device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4842549B2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11913782B2 (en) 2019-12-09 2024-02-27 Lg Energy Solution, Ltd. Method and device for evaluating dispersion of binder in electrode mixture layer

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW201805647A (en) * 2016-03-18 2018-02-16 日本電產理德股份有限公司 Inspection apparatus

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01182764A (en) * 1988-01-14 1989-07-20 Seiko Instr & Electron Ltd Short-circuiting position detector for printed wiring board
JP2539081B2 (en) * 1990-06-05 1996-10-02 富士通株式会社 Printed circuit board short-circuit position detection method
JP2002043721A (en) * 2000-07-28 2002-02-08 Sadao Goto Inspection method and inspection equipment for printed circuit boards
JP2003215190A (en) * 2001-11-16 2003-07-30 Hioki Ee Corp Short detection device

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11913782B2 (en) 2019-12-09 2024-02-27 Lg Energy Solution, Ltd. Method and device for evaluating dispersion of binder in electrode mixture layer

Also Published As

Publication number Publication date
JP2006250547A (en) 2006-09-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2003215190A (en) Short detection device
CN102253550B (en) Method and apparatus for inspecting liquid crystal display device
KR100799161B1 (en) Non-contact single side probe and device for detecting disconnection and short circuit of pattern electrode using same and method
CN103858017B (en) Distribution defect detecting method and distribution flaw detection apparatus
US10802063B2 (en) Detection device and detection method
TW201443443A (en) Probe device
JP2008102031A (en) Pattern inspection device
WO2014190639A1 (en) Method and apparatus for detecting wire failure of display panel
CN1511262A (en) Circuit layout inspection device, circuit layout inspection method, and recording medium
JP4842549B2 (en) Short detection device
CN106601159A (en) Array substrate detection device and detection method
JP4568623B2 (en) Short detection device
CN110660361B (en) Display screen and method for improving brightness uniformity of display screen
JP2006250546A (en) Short detection device
WO2015058528A1 (en) Short circuit detection method for optical grating substrate
KR101384518B1 (en) Electrical conduction pattern inspection apparatus and inspection method
JP4822545B2 (en) Nugget diameter measuring method and nugget diameter measuring apparatus
CN102081244A (en) Method for detecting pixels
CN111312130B (en) Array substrate detection method and system
JP4856698B2 (en) Inspection method for conductor track structure
JP5432213B2 (en) Pattern inspection device
TW200537112A (en) Circuit pattern testing apparatus and circuit pattern testing method
JP4663918B2 (en) Capacitance measurement method, circuit board inspection method, and circuit board inspection apparatus
JP2012209360A (en) Device, method, and program for defect detection
CN103913667B (en) Circuit layout checks device

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20080303

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100727

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100921

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20110224

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110418

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20110920

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20111006

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4842549

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141014

Year of fee payment: 3

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees