Deprecated: The each() function is deprecated. This message will be suppressed on further calls in /home/zhenxiangba/zhenxiangba.com/public_html/phproxy-improved-master/index.php on line 456
JP4611682B2 - 浸漬式冷却装置 - Google Patents
[go: Go Back, main page]

JP4611682B2 - 浸漬式冷却装置 - Google Patents

浸漬式冷却装置 Download PDF

Info

Publication number
JP4611682B2
JP4611682B2 JP2004229053A JP2004229053A JP4611682B2 JP 4611682 B2 JP4611682 B2 JP 4611682B2 JP 2004229053 A JP2004229053 A JP 2004229053A JP 2004229053 A JP2004229053 A JP 2004229053A JP 4611682 B2 JP4611682 B2 JP 4611682B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cooling tank
cooling
tank body
connecting rod
immersion type
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP2004229053A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2006046815A (ja
Inventor
恒雄 磯部
聡 安達
智至 菊池
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yamaha Motor Co Ltd
Original Assignee
Yamaha Motor Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yamaha Motor Co Ltd filed Critical Yamaha Motor Co Ltd
Priority to JP2004229053A priority Critical patent/JP4611682B2/ja
Publication of JP2006046815A publication Critical patent/JP2006046815A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4611682B2 publication Critical patent/JP4611682B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Shafts, Cranks, Connecting Bars, And Related Bearings (AREA)

Description

本発明は、物品を冷媒中に浸漬させて冷却する浸漬式冷却装置に関するものである。
従来、例えば機械部品を製造する生産ラインの途中でワークを冷却する場合には、例えば冷媒を貯留した冷却槽にワークを浸漬させて行うことがある。
従来の浸漬式の冷却装置としては、例えば特許文献1に開示されたものがある。この特許文献に示された浸漬式冷却装置は、液体窒素からなる冷媒を貯留する冷却槽と、この冷却槽内で被冷却物を冷却槽の搬入口側から排出口側へ移動させる回転式移動部材などを備えている。この浸漬式冷却装置においては、前記搬入口から冷却槽内に供給された被冷却物が液体窒素を排出口側へ移動することによって冷却され、冷却後に前記排出口から排出される。
なお、本出願人は、本明細書に記載した先行技術文献情報で特定される先行技術文献以外には、本発明に密接に関連する先行技術文献を出願時までに見付け出すことはできなかった。
特開平6−273026号公報(図1)
上述したように構成された従来の浸漬式冷却装置は、冷却槽に搬入口と排出口とが形成されているから、これらの二箇所の開口を通って大量の窒素ガスが大気中に放出されてしまい、液体窒素の消費量(蒸発量)が多くなるとい問題があった。また、この浸漬式冷却装置においては、冷却槽内を被冷却物が移動することにより液体窒素が攪拌されることも液体窒素の消費量が多くなる理由の一つになっていた。
本発明はこのような問題を解消するためになされたもので、冷媒の消費量を可及的少なく抑えながら冷却槽内でワークを充分に冷却することができる浸漬式冷却装置を提供することを目的とする。
この目的を達成するため、本発明に係る浸漬式冷却装置は、上方が開放する有底筒状に形成されて内部に冷媒を貯留する冷却槽本体と、この冷却槽本体の内部に固定されてワークを着脱自在に保持するホルダーと、このホルダーの上方にワーク出入口が形成されかつ前記冷却槽本体の上端部の開口を上方から覆う蓋体と、前記冷却槽本体を上下方向の軸線回りに回転させる回転駆動装置と、前記蓋体を前記冷却槽本体から上方へ離間させて静止した状態に支持する支持部材とを備え、前記ホルダーを冷却槽本体が回転する方向に沿わせて複数設け、前記回転駆動装置に前記ホルダーを蓋体のワーク出入口の下方に位置決めする位置決め手段を設けたものである。
請求項2に記載した発明に係る浸漬式冷却装置は、請求項1に記載した発明に係る浸漬式冷却装置において、冷却槽本体を上下方向に移動させる昇降装置を備えたものである。
請求項に記載した発明に係る浸漬式冷却装置は、請求項1または請求項2に記載した発明に係る浸漬式冷却装置において、冷媒を液体窒素とし、エンジン用コンロッドからなるワークを上下方向に長くなる状態で装填可能にホルダーを形成したものである。
本発明に係る浸漬式冷却装置は、蓋体のワーク出入口を通してワークを冷却槽本体内に挿入し、このワークを冷媒に浸漬させてホルダーに保持させることによって、ワークの冷却が開始される。さらに、この浸漬式冷却装置は、上述したようにワークをホルダーに保持させた状態で冷却槽本体を1周または複数周回転させることによって、ワークを所定の温度に冷却することができる。この冷却後のワークは、前記ワーク出入口を通して冷却槽本体から槽外に搬出される。
したがって、本発明に係る浸漬式冷却装置は、冷却槽本体内の冷媒が一つのワーク出入口から大気中に放出されるようになるから、ワーク入口とワーク出口とを有する従来の冷却装置に較べて冷媒の消費量(蒸発量)を低減することができる。
また、本発明に係る浸漬式冷却装置は、冷却槽本体が回転することによってワークと冷媒とが一体的に回転するから、冷却中に冷媒が不必要に攪拌されることがない。このため、冷媒の蒸発量をより一層少なく抑えることができる。
また、本発明に係る浸漬式冷却装置は、ワークを間欠的に送りながら冷却することができる。このため、この浸漬式冷却装置を製造ラインに組込むことによって、冷却工程が途中にある製造ラインの生産性を向上させることができる。
請求項2記載の発明によれば、冷却槽本体を昇降装置によって下降させることにより、冷却槽本体の上端部の開口が蓋体の下方で周囲に広く開放される。このため、冷却槽本体内のワーク保持用ホルダーを装填可能なワークの種類が異なるものに交換する作業を容易に行うことができるから、メンテナンスが容易な浸漬式冷却装置を提供することができる。
請求項記載の発明によれば、冷却槽本体の小型化を図りながら、多くのコンロッドを冷却槽本体内に装填することができる。このため、エンジン用コンロッドをいわゆる流れ作業によって冷却することができる浸漬式冷却装置をコンパクトに形成することができる。
以下、本発明に係る浸漬式冷却装置の一実施の形態を図1ないし図6によって詳細に説明する。
図1および図2は本発明に係る浸漬式冷却装置の要部を破断して示す正面図で、図1は冷却状態を示し、図2は冷却槽本体を下降させた状態を示す。図3は冷却槽の平面図、図4は冷却槽本体の平面図、図5は図3における冷却槽のV−V線断面図、図6はホルダーにコンロッドを保持させた状態を示す断面図で、同図(a)はコンロッドのクランクピン孔の軸線方向から見た断面図であり、同図(b)は(a)図におけるB−B線断面図である。
これらの図において、符号1で示すものは、この実施の形態による浸漬式冷却装置を示す。この浸漬式冷却装置1は、図1および図2に示すように、上方が開口する有底円筒状に形成された冷却槽本体2と、この冷却槽本体2の上端部の開口を塞ぐ蓋体3とからなる冷却槽4を備えている。
前記冷却槽本体2は、冷媒として液化窒素5を貯留するもので、底壁2aと周壁2bとが断熱構造となるように形成されており、後述する回転駆動装置6と昇降装置7とによって支持されている。前記断熱構造を採る底壁2aと周壁2bは、図示してはいないが、それぞれ二重壁となるように形成され、この二重壁の外壁と内壁との間に真空の断熱用空間が形成されたものである。
冷却槽本体2の内部には、ワークとしてのコンロッド8を保持するためのホルダー9が冷却槽本体2の周方向に等間隔おいて複数設けられている。このコンロッド8は、自動二輪車用エンジン(図示せず)に用いられるもので、この実施の形態による浸漬式冷却装置1によって冷却された後にコンロッド大端部8aが破断によって二分割される。
前記各ホルダー9は、図6に示すように、前記コンロッド大端部8aの二箇所に形成されたボルト挿通孔11に嵌入する位置決め用ピン12が上方に向けて突設され、これらのピン12,12によってコンロッド8を位置決めするとともに保持する。コンロッド8は、このホルダー9によって、上下方向に長くなる状態で冷却槽本体2内に保持される。
前記ホルダー9は、図1、図2および図5に示すように、前記冷却槽本体2の内側底部に二つの脚部材13によって支持された支持用円板14に取付けられている。この実施の形態による前記ホルダー9は、図4に示すように、コンロッド8が冷却槽本体2の内周面に沿って並ぶように前記円板14上に設けられている。前記円板14は、種類の異なるコンロッドを保持する他のホルダーが取付けられたものと交換することができるように、前記支柱13に着脱可能に取付けられている。
前記冷却槽本体2の底壁2aは、図1、図2および図5に示すように、皿状のトレー15を有する回転板16に着脱可能に取付けられ、この回転板16を介して回転駆動装置6に接続されている。この冷却槽本体2は、液体窒素5を排出して内部のメンテナンスを行うときなどで底部に残存した液体窒素5を速く排出するために、前記回転板16から単体で取外される。このときには、冷却槽本体2の外周部に設けられた把手17を把持して冷却槽本体2を持ち上げる。
前記回転板16は、円板状に形成されており、上面に前記冷却槽本体2が着脱可能に取付けられるとともに、下部の中央部に回転駆動装置6の回転軸6aが固着されている。
前記回転駆動装置6は、前記回転軸6aを上下方向の軸線回りに回転させる構成のもので、昇降装置7を介して図示していない基台に支持されている。また、この回転駆動装置6は、図1および図2中に符号21で示す制御装置に接続されており、この制御装置21によって、前記回転軸6aが間欠的に回転するように回転動作が制御される。回転軸6aが間欠的に回転するときの回転角度は、前記複数のホルダー9の並設間隔に対応させて設定されている。詳述すると、この浸漬式冷却装置1においては、図3に示すように、後述する蓋体3に形成されたワーク出入口22の下方に各ホルダー9が順次位置決めされるように構成されている。前記制御装置21によって、請求項に記載した発明でいう位置決め手段が構成されている。
この回転駆動装置6を支持する前記昇降装置7は、前記回転駆動装置6と前記冷却槽本体2とを図1に示す上昇位置と、図2に示す下降位置との間で昇降させる構成が採られている。この昇降装置7は、コンロッド8を冷却槽本体2内に浸漬して冷却する冷却運転時には回転駆動装置6と冷却槽本体2とを前記上昇位置に保持し、冷却運転後に冷却槽本体2を回転駆動装置6から取外すときなどに回転駆動装置6および冷却槽本体2を前記下降位置に下降させる。
冷却槽本体2の上端部の開口部を塞ぐ前記蓋体3は、図1〜図3に示すように、円板状に形成された主板部23と、この主板部23に一体に形成されて下方に突出する外筒24および内筒25とから構成されており、図3および図5中に符号26で示す梁状部材と支柱27とによって、図示していない基台に対して移動することがないように(静止状態を保つように)支持されている。
前記梁状部材26は、蓋体3の上面に固着し、両端部が前記支柱27に支持されている。この支柱27は、前記基台に上方へ延びるように立設されている。これらの梁状部材26と支柱27とによって、本発明でいう支持部材が構成されている。この蓋体3を梁状部材26と支柱27とによって支持する位置は、図1に示すように、冷却槽本体2が前記上昇位置に移動した状態で冷却槽本体2より僅か上方に離間するように位置付けられている。なお、冷却槽本体2と蓋体3との間の隙間は、図2に示すように、冷却槽本体2が下降位置に移動することによって大きく拡がる。この下降状態では、前記ホルダー9の交換作業や冷却槽4内の清掃作業を行うことができる。なお、冷却槽本体2を回転板16から取外す場合にも、このように冷却槽本体2を下降させる。
前記蓋体3の主板部23と前記梁状部材26には、図3に示すように、コンロッド8を挿通させるための前記ワーク出入口22と、液面センサ挿入用貫通穴28とが形成されるとともに、冷却槽本体2内に液体窒素5を供給するための供給用パイプ29が取付けられている。前記ワーク出入口22と供給用パイプ29の下流側端部は、図3に示すように、平面視円形の蓋体3の径方向の一方と他方とに振り分けられるような位置に形成され、液面センサ挿入用貫通穴28は、蓋体3の軸心部に形成されている。この液面センサ挿入用貫通穴28には、筒状に形成されたセンサ用ホルダー30が装着されている。このホルダー30内には、図5に示すように、液体窒素5の液面を検出するための液面検出用センサ31が挿入されている。
前記ワーク出入口22は、コンロッド8を把持して移動させる搬送用アーム(図示せず)を挿通させることができる程度の最小限の大きさに形成されている。この搬送用アームは、コンロッド大端部8aが下に位置する状態でコンロッド小端部8bを把持するように構成されている。
前記供給用パイプ29は、図5に示すように、一端部(下流側端部)が蓋体3の一側部を上下方向に貫通し、下方に向けて開口する状態で梁状部材26に図示していないステーなどによって保持されている。この供給用パイプ29の他端部は、図示していない冷媒供給装置に接続されている。この冷媒供給装置は、前記液面センサ31によって検出された液体窒素5の液面の高さが一定になるように液体窒素5を供給用パイプ29から冷却槽本体2内に供給する。前記液体窒素5の液面の高さは、図1および図5に示すように、冷却槽本体2内でホルダー9に保持されて起立するコンロッド8の小端部より下に、すなわちコンロッド小端部8bを把持する前記搬送用アームが液体窒素5中に浸漬することがない位置に設定されている。
前記蓋体3の主板部23に下方へ突設された前記外筒24は、前記冷却槽本体2の周壁2bを外側から囲むように形成され、前記内筒25は、前記周壁2bの内側に上方から臨むように形成されている。これらの外筒24と前記周壁2bの外周面との間と、内筒25と前記周壁2bの内周面との間と、蓋体3の主板部23の下面と前記周壁2bの上端面との間には、図1および図5に示すように、前記昇降装置7によって冷却槽本体2が上昇位置に位置付けられている状態で、それぞれ隙間Sが形成されている。
このように隙間Sをおいて蓋体3が冷却槽本体2から離間することにより、冷却槽本体2を蓋体3によって規制されることなく回転させることができ、前記蓋体3は、冷却槽本体2から上方へ離間する状態で静止することになる。また、前記外筒24と内筒25とによって冷却槽本体2の周壁2bが非接触の状態で挟まれることにより、これらの部材によって実質的にラビリンスシールが構成されるから、冷却槽本体2と蓋体3との間の前記隙間Sを通って大気中に放散する窒素ガスを可及的少なく抑えることができる。
このように構成された浸漬式冷却装置1は、図1に示すように、冷却槽本体2に液体窒素5を貯留させ、かつこの冷却槽本体2を前記上昇位置に移動させてその上端部の開口が蓋体3によって閉塞された状態で使用される。ワークとしてのコンロッド8は、上述した状態にある冷却槽本体2内に搬送用アームによってワーク出入口22を通して搬入され、冷却槽本体2内で下降する。このコンロッド8が冷却槽本体2の底部まで下降することにより、コンロッド大端部8aのボルト挿通孔11にホルダー9の位置決め用ピン12が嵌合する。このコンロッド8は、このように位置決めピン12がボルト挿通孔11に嵌合することによって、前記ホルダー9に位置決めされた状態で保持される。
このようにコンロッド8をホルダー9に保持させた後、冷却槽本体2は、前記ホルダー9に隣接するホルダー9がワーク出入口22の下方に位置付けられるように、前記回転駆動装置6によって所定角度だけ回転させられる。そして、次のコンロッド8が前記同様にホルダー9に保持される。この冷却槽本体2の間欠回転動作と、コンロッド8のピン12による保持とからなるコンロッド装填動作は、全てのホルダー9にコンロッド8が装填されるまで繰り返される。
全てのホルダー9にコンロッド8が装填された後、最初に装填されたコンロッド8がワーク出入口22の下方に位置するように冷却槽本体2が回転し、搬送用アームが単体でワーク出入口22から冷却槽本体2内に挿入されて下降し、前記最初に装填されたコンロッド8の小端部8bを把持する。この搬送用アームは、コンロッド小端部8bを把持した後に上昇し、コンロッド8を冷却槽4の外に搬出する。その後は、未装填状態となったホルダー9に新たにコンロッド8を装填するか、または、排出動作を継続させて隣のホルダー9に装填されたコンロッド8を搬出させる。このため、この浸漬式冷却装置1によれば、冷却槽本体2が1回転する間にコンロッド8を所定温度となるように充分に冷却することができる。この実施の形態による浸漬式冷却装置1においては、自動二輪車用エンジンのコンロッド8を冷却時間が数分で−80℃〜−100℃に冷却することができた。
上述したように構成された浸漬式冷却装置1においては、冷媒としての液体窒素5がコンロッド8を冷却する代わりに気化し蒸発する。この浸漬式冷却装置1において、液体窒素5が気化してなる窒素ガスが冷却槽4から外部に漏洩するときの通路は主にワーク出入口22になる。したがって、冷却槽本体2内の液体窒素5が一つのワーク出入口22から大気中に放出されることになるから、ワーク入口とワーク出口とを有する従来の冷却装置に較べると液体窒素5の消費量(蒸発量)を低減することができる。
また、この実施の形態による浸漬式冷却装置1は、冷却槽本体2が回転することによってコンロッド8と液体窒素5とが一体的に回転するから、冷却中に液体窒素5が不必要に攪拌されることがない。このため、液体窒素5の蒸発量をより一層少なく抑えることができる。
さらに、この実施の形態による浸漬式冷却装置1は、コンロッド8を間欠的に送りながら冷却することができるから、この浸漬式冷却装置1を製造ラインに組込むことによって、冷却工程が途中にある製造ラインの生産性を向上させることができる。
加えて、この実施の形態による浸漬式冷却装置1は、コンロッド8を長手方向が上下方向となり、かつ冷却槽本体2の周方向に並ぶように複数保持するから、冷却槽本体2の小型化を図りながら、多くのコンロッド8を冷却槽本体2内に装填することができる。このため、エンジン用コンロッド8をいわゆる流れ作業によって冷却する浸漬式冷却装置をコンパクトに形成することができる。
この実施の形態による浸漬式冷却装置1は、液体窒素5の液面がコンロッド小端部8bより低くなるように構成し、コンロッド小端部8bを搬送用アームに把持させるものであるから、搬送用アームが液体窒素5に接触することがない。このため、液体窒素5が搬送用アームに接触して不必要に蒸発することがないから、液体窒素5の消費量をより一層低減することができる。しかも、搬送用アームは、冷却され難くなるから、冷却槽の外を移動するときに霜が付着し難くなる。
この実施の形態による冷却槽本体2は、有底円筒状に形成されているため、周壁2bを断熱構造とするためにいわゆる真空引きを施しているにもかかわらず変形することがない。しかも、回転時の軌跡が一定になるから、蓋体3との気密を高く保つことが容易である。
この実施の形態による浸漬式冷却装置1は、冷却槽本体2の回転中心に液面検出用センサ31が配設されているから、冷却槽本体2内の外周側に装填されたコンロッド8に液面検出用センサ31が接触することを確実に防ぐことができる。
この実施の形態による浸漬式冷却装置1は、コンロッド大端部8aに形成されたボルト挿通孔11を位置決め用として利用しているから、専ら位置決めをするための穴を穿設するする場合に較べて、製造コストを低減することができる。
なお、この実施の形態では、冷却槽本体2にコンロッド8を装填してから冷却槽本体2が1回転した後に前記コンロッド8を取出す構成が採られているが、コンロッド8を装填した冷却槽本体2の回転数は適宜変更することができる。
上述した実施の形態では、ワークとしてエンジン用コンロッド8を使用する浸漬式冷却装置1を示したが、本発明に係る浸漬式冷却装置は、ある程度の長さをもつワークであればどのようなものでも冷却することができる。このようなワークの他の例としては、例えばいわゆる冷却曲げ法によって曲げられる自動二輪車用排気管を挙げることができる。この冷却曲げ法は、排気管を外管と内管とからなる二重管構造となるように形成し、前記外管と前記内管との間に氷を充填した状態で曲げることにより実施する。この場合は、前記外管と前記内管との間に水が充填された二重管構造の排気管をワークとして本発明に係る浸漬式冷却装置1に装填し、水を氷らせて曲げ加工前の排気管を形成する。
本発明に係る浸漬式冷却装置の要部を破断して示す正面図である。 本発明に係る浸漬式冷却装置の要部を破断して示す正面図である。 冷却槽の平面図である。 冷却槽本体の平面図である。 図3における冷却槽のV−V線断面図である。 ホルダーにコンロッドを保持させた状態を示す断面図である。
符号の説明
1…浸漬式冷却装置、2…冷却槽本体、3…蓋体、5…液化窒素、6…回転駆動装置、8…コンロッド、9…ホルダー、22…ワーク出入口、26…梁状部材、27…支柱。

Claims (3)

  1. 上方が開放する有底筒状に形成されて内部に冷媒を貯留する冷却槽本体と、この冷却槽本体の内部に固定されてワークを着脱自在に保持するホルダーと、このホルダーの上方にワーク出入口が形成されかつ前記冷却槽本体の上端部の開口を上方から覆う蓋体と、前記冷却槽本体を上下方向の軸線回りに回転させる回転駆動装置と、前記蓋体を前記冷却槽本体から上方へ離間させて静止した状態に支持する支持部材とを備え
    前記ホルダーを冷却槽本体が回転する方向に沿わせて複数設け、前記回転駆動装置に前記ホルダーを蓋体のワーク出入口の下方に位置決めする位置決め手段を設けたことを特徴とする浸漬式冷却装置。
  2. 請求項1記載の浸漬式冷却装置において、冷却槽本体を上下方向に移動させる昇降装置を備えてなる浸漬式冷却装置。
  3. 請求項1または請求項2記載の浸漬式冷却装置において、冷媒を液体窒素とし、エンジン用コンロッドからなるワークを上下方向に長くなる状態で装填可能にホルダーを形成してなる浸漬式冷却装置。
JP2004229053A 2004-08-05 2004-08-05 浸漬式冷却装置 Expired - Lifetime JP4611682B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004229053A JP4611682B2 (ja) 2004-08-05 2004-08-05 浸漬式冷却装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004229053A JP4611682B2 (ja) 2004-08-05 2004-08-05 浸漬式冷却装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2006046815A JP2006046815A (ja) 2006-02-16
JP4611682B2 true JP4611682B2 (ja) 2011-01-12

Family

ID=36025564

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004229053A Expired - Lifetime JP4611682B2 (ja) 2004-08-05 2004-08-05 浸漬式冷却装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4611682B2 (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4760338B2 (ja) * 2005-11-29 2011-08-31 日産自動車株式会社 低温成形加工における素材冷却方法、およびその装置
CN113511426B (zh) * 2021-05-18 2024-05-28 四川沃文特生物技术有限公司 一种可降低热损失的试剂盘及保冷系统

Also Published As

Publication number Publication date
JP2006046815A (ja) 2006-02-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6208768B2 (ja) 低温保存装置、およびその作動方法
JP4426518B2 (ja) 処理装置
US20160289000A1 (en) Cryogenic freezer
US20070228596A1 (en) Hot isostatic pressing method and apparatus
CN101399173A (zh) 热处理方法以及热处理装置
AU6783298A (en) Storage apparatus, particularly with automatic insertion and retrieval
JP2012062512A (ja) 焼入れ装置
RU2004126943A (ru) Вакуумная печь для пайки давлением и способ ее использования
JP4611682B2 (ja) 浸漬式冷却装置
KR20120075342A (ko) 액 처리 장치 및 액 처리 방법
CN107022733B (zh) 一种熔盐热扩散处理设备及其应用
JPH02138728A (ja) 熱処理方法及びその装置
JP4454901B2 (ja) ドリルのホルダ及びドリルのコーティング方法
CN109722620B (zh) 热处理设备
JP5770042B2 (ja) 熱処理装置
JP4132932B2 (ja) 縦型熱処理装置
JP3881567B2 (ja) 熱処理用ボート及び縦型熱処理装置
US8220179B2 (en) Disc drying device and disc drying method
TW201933531A (zh) 頂銷單元的移動方法以及基板處理裝置
KR101419389B1 (ko) 기판 지지 어셈블리 및 이를 포함하는 기판 처리 장치
JP2018024904A (ja) 冷却装置、並びに、冷却方法
KR101867695B1 (ko) 열처리장치
JP2007224424A (ja) 真空熱処理装置
JP2006019320A (ja) 縦型熱処理装置及びその運用方法
WO2006107089A1 (ja) 冷却方法及び冷却装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20070515

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20090202

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090303

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20090415

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20090714

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20101014

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131022

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4611682

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

EXPY Cancellation because of completion of term