JP4613800B2

JP4613800B2 - 浮上装置および搬送装置

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Publication number: JP4613800B2
Application number: JP2005328674A
Authority: JP
Inventors: 晋村山; 国煥都; 刈入田中; 幸三濱田; 賢輔平田
Original assignee: IHI Corp
Current assignee: IHI Corp
Priority date: 2004-12-01
Filing date: 2005-11-14
Publication date: 2011-01-19
Anticipated expiration: 2025-11-14
Also published as: JP2006182563A

Description

本発明は、浮上装置および搬送装置に係り、特に、圧縮空気等の流体を用いて物体を浮上させ搬送するものに関する。

従来、特殊なノズルや多孔質の部材を介して圧縮された流体（たとえば圧縮空気）をワーク（物体）と浮上ユニット（浮上装置；ベース部材）との間に噴出し、ワークを浮上させる構成のワーク浮上装置やこの浮上装置を用いたワーク搬送装置が知られている（たとえば、特許文献１、特許文献２参照）。
国際公開第ＷＯ０３／０６０９６１号パンフレット特開２０００−６２９５０号公報

ところで、前記従来の浮上装置では、ワークを浮上させるための圧力の形成をワークと浮上ユニットとの間の流路圧損に依存しているので、すなわち、浮上ユニット（ノズルや多孔質の部材）から噴出した圧縮空気が大気に開放されるまでの間でワークと浮上ユニットとの間を流れるときに、この流れる圧縮空気により前記ワークを支持しているので、ワークの部位が異なるとこのワークを支える空気の圧力が異なり、均一な力でワークを浮上させることが困難であるという問題がある。

本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、流体を用いて物体を浮上させる物体の浮上装置や物体を浮上させつつ搬送する搬送装置において、物体をほぼ均一な力で浮上させることができる浮上装置と、物体をほぼ均一な力で浮上させつつ搬送することができる搬送装置とを提供することを目的とする。

請求項１に記載の発明は、平面状の部位を備えた物体を浮上させつつ搬送方向へ搬送する搬送装置にあって、前記搬送方向に並んであって、流体を用いて浮上させる複数の浮上装置と、前記浮上装置で浮上する物体を搬送するために、前記物体に力を加える搬送力付与手段と、を有し、各浮上装置は、平面状の上面を備えたベース部材と、前記ベース部材の上面に設けられ、流体を噴出する環状の流体噴出孔と、を有し、各浮上装置の前記流体噴出孔における少なくとも前記ベース部材の上面側は、前記流体噴出孔の全周に亘って、前記ベース部材の上面のうち前記流体噴出孔の開口部によって囲まれる領域の内側を向くようになってあって、更に、各浮上装置の前記ベース部材は、下側部材と、前記下側部材の上面中央部に設けられかつ平坦な下面を有した内側部材と、前記下側部材の上面に前記内側部材を囲むように設けられた外側部材とを備え、前記流体噴出孔が前記内側部材と前記外側部材の間に形成され、前記内側部材の下面と前記下側部材の上面の間であって前記流体噴出孔の流入側の高さ寸法が前記流体噴出孔の幅寸法よりも大きくなっていることを特徴とする。

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の搬送装置において、前記内側部材、前記外側部材のうちの少なくとも一方の部材に設けられた突起により、前記流体噴出孔の幅が規定されるように構成されていることを特徴とする。

請求項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載の搬送装置において、各浮上装置における前記流体噴出孔に絞り要素が設けられていることを特徴とする。

請求項４に記載の発明は、平面状の部位を備えた物体を、流体を用いて浮上させる浮上装置において、平面状の上面を備えたベース部材と、前記ベース部材の上面に前記ベース部材の上面外縁に沿って設けられ、流体を噴出する環状の流体噴出孔と、を有し、前記流体噴出孔における少なくとも前記ベース部材の上面側は、前記流体噴出孔の全周に亘って、前記ベース部材の上面のうち前記流体噴出孔の開口部によって囲まれる領域の内側を向くようになってあって、前記ベース部材は、下側部材と、前記下側部材の上面中央部に設けられかつ平坦な下面を有した内側部材と、前記下側部材の上面に前記内側部材を囲むように設けられた外側部材とを備え、前記流体噴出孔が前記内側部材と前記外側部材の間に形成され、前記内側部材の下面と前記下側部材の上面の間であって前記流体噴出孔の流入側の高さ寸法が前記流体噴出孔の幅寸法よりも大きくなっていることを特徴とする。

請求項５に記載の発明は、請求項４に記載の浮上装置において、前記内側部材、前記外側部材のうちの少なくとも一方の部材に設けられた突起により、前記流体噴出孔の幅が規定されるように構成されていることを特徴とする。

請求項６に記載の発明は、請求項４又は請求項５に記載の搬送装置において、前記流体噴出孔に絞り要素が設けられていることを特徴とする。

本発明によれば、流体を用いて物体を浮上させる物体の浮上装置や物体を浮上させつつ搬送する搬送装置において、物体をほぼ均一な力で浮上させることができるという効果を奏する。

［第１の実施形態］
図１は、本発明の第１の実施形態に係る搬送装置１の概略構成を示す斜視図であり、図２は、搬送装置１の概略構成を示す平面図であり、図３は、図２におけるＩＩＩ矢視を示す図である。

搬送装置１は、平面状の部位を備えた物体（たとえば、ＬＣＤ（液晶表示器）用の薄い矩形状のガラス基板等のワーク）Ｗを、流体（たとえば空気）を用いて浮上させつつ、水平方向の一方向（矢印ＡＲ１の方向）に搬送する装置であり、浮上装置３と搬送力付与手段５とを備えている。

前記搬送装置１が搬送する物体が、ＬＣＤ用の薄いガラス基板等、クリーンな環境下で搬送する必要があるものである場合には、前記搬送装置１はクリーンルーム内等のクリーンな環境下で使用される。以下、搬送する物体としてガラス基板Ｗを例に掲げて説明する。

前記浮上装置３は、平面状の上面を備えたベース部材７を備えており、このベース部材７には、圧縮空気を噴出する環状の流体噴出孔９が設けられている。

流体噴出孔９は、この開口部１１が前記ベース部材７の上面のうちの所定の領域（図２に斜線で示す領域）１３をほぼ囲むように、前記ベース部材７の上面に設けられている。

ここで、浮上装置３についてさらに詳しく説明する。

図４（ａ）は、浮上装置３の断面図（図２におけるＩＶＡ―ＩＶＢ断面を示す図）であり、図４（ｂ）は、図４（ａ）に対応した浮上装置３の圧力の分布を示す図である。

前記流体噴出孔９は、図１、図２、図４（ａ）に示すように、前記開口部１１から所定の深さのところまで、狭い幅で長く延びて環状に形成されている。

また、前記流体噴出孔９は、前記ベース部材７の少なくとも上面側（少なくとも上面近傍）では、図７に示すように、流体噴出孔９の全周に沿って、前記所定の領域１３の内側を向くようになっている。換言すれば、平面視した場合、前記流体噴出孔９の深い箇所のほうが浅い箇所よりも、前記所定の領域１３から離れたところに存在している。

さらに、前記所定の領域１３の外側に存在している環状の部位である前記ベース部材縁部１５は、平面視したときに狭い幅に形成されている。

また、搬送装置１は、複数の浮上装置３を備えており、前記各ベース部材７は、図示しない基台（搬送装置１の基台）に、たとえば互いが近接し上面の平面状部が１つの平面状に存在するようにして水平方向に複数個並べて設けられている。

なお、前記ベース部材７の縁部１５は、少なくとも前記ガラス基板Ｗの搬送方向の各端部のところで狭い幅に形成され、前記各ベース部材７は、少なくとも前記ガラス基板Ｗの搬送方向において、互いに近接していればよい。

より詳しく説明すると、平面視した場合、浮上装置３のベース部材７は矩形状に形成され、ベース部材７の長手方向が前記ガラス基板Ｗの搬送方向に一致し、ベース部材７の幅方向が前記搬送装置１の幅方向に一致するように設けられている（図１、図２参照）。

また、図４（ａ）に示すように、ベース部材７は、上面に環状の溝１７を備えた下側部材１９と、この下側部材１９の上面で前記下側部材１９の中央部に一体的に設けられかつ平坦な下面を有した内側部材２１と、前記下側部材１９の上面で前記内側部材２１を囲むように前記内側部材２１から僅かに離れて設けられている外側部材２３とによって構成されている。

なお、図２におけるＩＶＣ−ＩＶＤ断面も、図４に示す断面と同様に構成されている。

そして、前記内側部材２１と前記外側部材２３との間の隙間によって、細長く内側を向いた環状の流体噴出孔９が形成されている。図４に明確に示されるように、内側部材２１の下面と下側部材１９の上面の間であって流体噴出孔９の流入側の高さ寸法は、流体噴出孔９の幅寸法よりも大きくなっている。

また、図示しない圧縮空気供給装置から前記下側部材１９の溝１７に圧縮空気が供給され、この供給された圧縮空気が、前記流体噴出孔９から噴出されるようになっている。

次に、前記浮上装置３で浮上しているガラス基板Ｗを搬送するために、前記ガラス基板Ｗに水平方向の力を加えるための前記搬送力付与手段５について詳しく説明する。

前記搬送力付与手段５は、図１や図２に示すように、複数のローラ２７を備えている。これらの各ローラ２７は、前記搬送装置１の両側で、ガラス基板Ｗの搬送方向に並び、前記搬送装置１の前記基台に対して回転自在に設けられている。また、これらの各ローラ２７は、チェーン等の動力伝達部材（図示せず）を介して図示しないモータ等のアクチュエータによって同じ回転速度で回転するようになっている。

前記各ローラ２７の上端部は１つの水平面上に存在しており、前記各ローラ２７にガラス基板Ｗが載置され前記各ローラ２７が回転して前記ガラス基板Ｗを搬送するようになっている。

また、図３に示すように、前記各ローラ２７の上端部は、前記ベース部材７の上面よりも僅かに上側に設けられている。

なお、搬送力付与手段５を、前述したようにローラで構成する代わりに、ベルトコンベヤで構成し、または、ガラス基板Ｗをクランプして搬送するように構成してもよい。

次に、搬送装置１の動作について説明する。

図１に示すように、搬送装置１でガラス基板Ｗを搬送している状態においては、前記浮上装置３によってガラス基板Ｗが浮上している。

この浮上している状態について詳しく説明する。

図４（ａ）に示すように、流体噴出孔９を通って圧縮空気がベース部材７の上面に噴出する。

環状の流体噴出孔９から噴出した圧縮空気によって、環状のエアーカーテンが形成され、図４（ｂ）に示すように、前記所定の領域１３において圧力がほぼ一定な圧力形成部Ａが形成される。そしてこの圧力形成部Ａで支持され前記ガラス基板Ｗが浮上する。

浮上装置３によれば、流体噴出孔９の開口部１１が前記ベース部材７の上面のうちの所定の領域１３をほぼ囲むように設けられているので、ガラス基板Ｗを前記ベース部材７上に載置し前記開口部１１から圧縮空気を噴出した場合、前記流体噴出孔９によって環状のエアーカーテンが形成される。

そして、従来のように、前記ガラス基板Ｗを浮上させるための圧力の生成をガラス基板Ｗとベース部材との間の流路圧損に依存することがほとんど無くなり、代わりに、前記ガラス基板Ｗをほぼ一定の流体圧力で支持する領域である圧力形成部Ａが、前記所定の領域１３で前記ガラス基板Ｗと前記ベース部材７との間に形成されるので、前記ガラス基板Ｗをほぼ均一な力で浮上させることができる。

このようにガラス基板Ｗをほぼ均一な力で浮上させることができることにより、剛性の小さいガラス基板Ｗが浮上している際、このガラス基板Ｗの撓みを小さくすることができる。

また、従来のように流路圧損に依存してガラス基板を支持している場合とは異なり、空気圧力がほぼ一定である圧力形成部Ａによってガラス基板Ｗを支持しているので、少ない圧縮空気の噴出量で、ガラス基板Ｗとベース部材７との間の距離を大きくすることが容易になり、ガラス基板Ｗを大きく浮上させることができる。

このようにガラス基板Ｗとベース部材７との間の距離を大きくすることができることにより、前記ガラス基板Ｗが前記ベース部材７に接触するおそれを回避することができる。

また、浮上装置３によれば、圧力形成部Ａによってほぼ均一な力でガラス基板Ｗを支持しているので、剛性の小さな薄い板状のガラス基板Ｗの端部が、前記圧力形成部Ａから外れても、前記端部が、前記ベース部材７に接触しにくくなっている。

また、浮上装置３によれば、流体噴出孔９の開口部１１を、前記ベース部材７の上面のうちの所定の領域１３をほぼ囲むように設けた簡素な構成の装置によって、圧力形成部Ａを形成することができる。

さらに、浮上装置３によれば、前記流体噴出孔９が、前記ベース部材７の少なくとも上面近傍では、前記所定の領域１３の内側を向くように前記ベース部材７にあけられているので、前記所定の領域１３に圧力形成部Ａが形成されやすく、効率良く圧力形成部Ａを形成することができる。

また、浮上装置３によれば、前記流体噴出孔９が狭い幅で長く延び環状に形成されているので、前記流体噴出孔９を形成するためのベース部材７の加工が容易になると共に、流体噴出孔９が異物によって詰まりにくくなっている。

また、浮上装置３によれば、ガラス基板Ｗがほぼ均一な圧力を発生する圧力形成部Ａで支持されており、しかも、圧力形成部Ａが形成されていない前記ベース部材縁部１５が狭い幅に形成されており、前記ベース部材７が、互いに近接して設けられているので、ベース部材７上で圧縮空気により支持されている剛性の小さいガラス基板Ｗが次のベース部材７に載り移る際であっても、前記ガラス基板Ｗの端部の撓みを小さくすることができ、前記ガラス基板Ｗが前記ベース部材７に接触することを回避することができる。

また、搬送装置１によれば、ガラス基板Ｗがほぼ均一な圧力を発生する圧力形成部Ａで支持されており、しかも、圧力形成部Ａが形成されていない前記ベース部材縁部１５が、前記ガラス基板Ｗの搬送方向の各端部のところで狭い幅に形成されており、前記ベース部材７が、前記ガラス基板Ｗの搬送方向に互いに近接して設けられているので、ベース部材７上で圧縮空気により支持されている剛性の小さいガラス基板Ｗが搬送されて次のベース部材７に載り移る際であっても、前記ガラス基板Ｗの端部の撓みを小さくすることができ、前記ガラス基板Ｗが前記ベース部材７に接触することを回避することができる。

ところで、前記浮上装置３における流体噴出孔９は、開口部が前記ベース部材の上面に設けられ、被浮上物体が前記平面状の部位を下向きにして前記ベース部材上に載置されたときに、前記物体をほぼ一定の流体圧力で支持する領域（平面視したときに所定の面積を有する領域）である圧力形成部が（前記物体と前記ベース部材との間に）形成されるように、流体を噴出する流体噴出孔の例である。

つまり、図５（流体噴出孔の変形例を示す図）に示すように、流体噴出孔９ａの設置角度をベース部材７ａの上面（ガラス基板Ｗの下面）に対して、ほぼ直角にしてもよいし、図６（流体噴出孔の変形例を示す図）に示すように、小さな円形状の流体噴出孔９ｂを複数個互いが隣接するようにして環状に設け圧力形成部を形成するようにしてもよい。

また、前記搬送装置１では、ガラス基板Wを水平方向に搬送する場合を例に掲げて説明したが、水平方向に対して若干傾斜した方向にガラス基板Ｗを搬送する場合にも、前記搬送装置１を適用することができる。

［第２の実施形態］
図７は、本発明の第２の実施形態に係る搬送装置に使用される浮上装置５０の概略構成を示す斜視図であり、図８は、図７におけるＶＩＩＩＡ−ＶＩＩＩＡ断面、ＶＩＩＩＢ−ＶＩＩＩＢ断面を示す図であり、図４（ａ）に対応した図である。図９は、浮上装置５０を分解した状態を示す斜視図である。

第２の実施形態に係る搬送装置の浮上装置５０は、突起５１により流体噴出孔９の幅を規定した点が、第１の実施形態に係る搬送装置の浮上装置３とは異なり、その他の点は、浮上装置３とほぼ同様に構成されており、ほぼ同様の効果を奏する。

すなわち、浮上装置５０の流体噴出孔９は、第１の部材（内側部材２１）と第２の部材（外側部材２３ａ）との間に形成されており、内側部材２１、外側部材２３ａのうちの少なくとも一方の部材に設けられた微小な突起５１により、流体噴出孔９の幅が規定されるように構成されている。

例を掲げて説明すると、下側部材（第１の実施形態に係る下側部材と同様に構成された下側部材）１９は、矩形な板状に形成されており、この下側部材１９の上面には、矩形な環状の溝１７が設けられている。

内側部材（第１の実施形態に係る内側部材と同様に構成された内側部材）２１は、各脚の長さ（４つの斜辺の長さ）が互いに等しい等脚四角錐台の形状に形成されている。

外側部材２３ａは、内側部材２１と同じ厚さ（高さ）で「ロ」字状に形成されている。外側部材２３ａの４つの内側の斜面５３には、微小な突起５１が一体的に設けられている。

より詳しく説明すると、外側部材２３ａの１つ目の斜面５３Ａの長手方向のほぼ中央部には、斜面の高さ方向（空気の流れる方向）に細長く延びた幅の狭い突起５１Ａが設けられている。同様にして、１つ目の斜面５３Ａに隣接している２つ目の斜面５３Ｂにも突起５１Ｂが設けられており、２つ目の斜面５３Ｂに隣接している３つ目の斜面５３Ｃにも突起５１Ｃが設けられており、１つ目の斜面５３Ａおよび３つ目の斜面５３Ｃに隣接している４つ目の斜面５３Ｄにも突起５１Ｄが設けられている。

そして、下側部材１９に内側部材２１と外側部材２３ａとを、ボルト等の締結部材を用いて組み付けて浮上装置５０を完成させた状態では、内側部材２１の各斜面５５（５５Ａ、５５Ｂ、５５Ｃ、５５Ｄ）に対して、外側部材２３ａの内側の各斜面５３（５３Ａ、５３Ｂ、５３Ｃ、５３Ｄ）が、所定の僅かな距離（各突起５１の高さに相当する距離）を隔てて、平行な位置に存在する。すなわち、各突起５１の先端部が、内側部材２１の各斜面５５に接触し、流体噴出孔９の幅（内側部材２１の斜面５５と外側部材２３ａの斜面５３との間の距離）が決まるようになっている。

図７から理解されるように、下側部材１９に内側部材２１と外側部材２３ａとを組み付け構成された浮上装置５０（ベース部材７）の外観は、上面の中央部に矩形な環状の開口部（流体噴出孔９の開口部）１１が形成された直方体状になっている。

なお、浮上装置５０では、各突起５１が細長い四角柱状に形成されているが、他の形態（たとえば小さい直方体状や円柱状）に形成されていてもよく、突起の位置が斜面の中央部ではなく端部であってもよく、１つの斜面に複数の突起が設けられていてもよい。

さらには、下側部材１９に内側部材２１と外側部材２３ａとを組み付けたときに、流体噴出孔９の幅（内側部材２１の斜面５５と外側部材２３ａの斜面５３との間の距離）を精度良くすることができる必要最小限の突起が設けてあればよい。たとえば、図９に示す外側部材２３ａにおいて、３つ目の斜面５３Ｃの突起５１Ｃを削除し４つ目の斜面５３Ｄの突起５１Ｄを削除してあってもよい。

また、浮上装置５０では、外側部材２３ａにのみ突起を設けたが、内側部材２１（斜面５５）にのみ突起を設けてもよいし、外側部材２３ａと内側部材２１の両方に突起を設けてもよい。すなわち、前述したように、外側部材２３ａ、内側部材２１のうちの少なくとも一方に突起を設けてもよい。

浮上装置５０によれば、突起５１により流体噴出孔９の幅が規定されているので、流体噴出孔９の幅を精度の良いものにすることが容易になり、組み立て容易な浮上装置５０を提供することができる。

すなわち、本件発明に係る浮上装置において、流体噴出孔９の幅の精度が悪くばらつきがあると、流体噴出孔９から噴出するエアー量に偏りが発生する等して、安定した圧力形成部Ａを形成することが困難になる。つまり、流体噴出孔９の幅の精度が物体を浮上させるときの性能に大きく影響する。

第１の実施形態に係る浮上装置３では、流体噴出孔９の幅の精度を良くすべく、下側部材１９に内側部材２１と外側部材２３を組み付ける際、たとえば、シムを流体噴出孔９の部分に設置しておき、下側部材１９に内側部材２１と外側部材２３を組み付けた後に、前記シムを取り去り、幅精度の良好な流体噴出孔９を備えた浮上装置３を得ていたが、このようなシムを用いる方法では、組み立てに多くの時間を要する。

浮上装置５０では、外側部材２３ａに突起５１を設け、突起５１により流体噴出孔９の幅を決めるようにしてあるので、組み立て時にシムを用いる必要が無くなり、流体噴出孔９の幅を精度の良いものにすることが容易になる。

なお、外側部材２３ａは、たとえば樹脂を射出成形することによって形成されているが、外側部材２３ａの各突起５１は、アンダーカットの生じない形態になっている。

射出成形で形成することによって、斜面５３や突起５１を備えた外側部材２３ａを一体で構成することが容易になり、浮上装置５０の部品点数が少なくなり、組み立て工数を一層低減することができる。なお、内側部材２１や下側部材１９も樹脂を射出成形することにより構成されていることが望ましい。

続いて、第２の実施形態に係る浮上装置５０の変形例である浮上装置６１について説明する。

図１０、図１１は、浮上装置６１を分解した状態を示す図であり、図１２は、図１１におけるＸＩＩ矢視を示すと共に浮上装置６１を組み付けた状態を示す図であり、図１３は、図１２におけるＸＩＩＩ矢視を示す図である。

浮上装置６１は、浮上装置５０の下側部材１９と内側部材２１とを一体化した内側部材６２を備えて構成されている。内側部材６２においては、溝１７の代わりに、浮上装置５０の下側部材１９に相当する部位であって浮上装置５０の内側部材２１の裾野に相当部位に、流体噴出孔９に空気を供給するための貫通孔６３が設けられている。

また、浮上装置６１は、長手方向に対して垂直な平面による断面が「コ」字状である支持部材６５を備えて構成されている。そして、支持部材６５の上部の開口溝６６を塞ぐように、内側部材６２と外側部材２３ａとが一体的に設置され、この設置された内側部材６２と外側部材２３ａとの間（支持部材６５の長手方向における間）にスペーサ６７が一体的に設置され、支持部材６５の長手方向の端部が蓋部材６９で塞がれることにより、支持部材６５の内部に空間６８が形成されている。

この空間６８に図示しない空気圧供給源から圧縮空気が供給されると、流体噴出孔９から圧縮空気が噴出し、図１２に示すように、ワークＷを浮上させることができるものである。

なお、スペーサ６７を削除し、内側部材６２および外側部材２３ａだけを、支持部材６５に並べて設けてもよい。

このように支持部材６５に内側部材６２等を組みつけて構成することで、汎用性の高い長尺な浮上装置６１を形成することが容易になる。すなわち、長さの異なる標準化された何種類かの浮上装置を用意しなくても、製作時に長さを容易に変更して種々の搬送装置等に使用することができる。

ところで、前記各浮上装置３、５０、６１では、図１４（外側部材の概略の形態を示す図）に示すように、外側部材２３ａを「ロ」字状に形成してあるが、図１５に示すように、「Ｌ」字状のものを２つ組み合わせて外側部材２３ａを構成してもよいし、図１６に示すように、「Ｉ」字状のものを４つ組み合わせて外側部材２３ａを構成してもよい。さらには、「コ」字状のもの１つと「Ｉ」字状のもの１つとを組み合わせる等して外側部材２３ａを構成してもよい。

［第３の実施形態］
図１７は、本発明の第３の実施形態に係る搬送装置に使用される浮上装置８０の概略構成を示す断面図であり、図８に対応した図である。図１８は、中間部材８１の概略構成を示す斜視図である。

第３の実施形態に係る搬送装置の浮上装置８０は、流体噴出孔９に絞り要素８２が設けられている点が、第１の実施形態に係る搬送装置の浮上装置３とは異なり、その他の点は、浮上装置３とほぼ同様に構成されており、ほぼ同様の効果を奏する。

例を掲げて説明すると、浮上装置８０では、内側部材２１および外側部材２３と下側部材１９との間に、薄い板状の中間部材（樹脂等の非通気性の中間部材）８１が挟み込まれて設けられており、中間部材８１の流体噴出孔９に対応する位置には、流体噴出孔９の幅よりも径の小さい貫通孔８３が複数「ロ」字状に並んで設けられており、これらの各貫通孔８３により、前記絞り要素８２が構成されている。前記各貫通孔８３は、小径であるので、たとえばフォトエッチングで加工されている。

なお、前記中間部材８１として、多孔質材等の通気性にある部材を採用し、絞り要素８２を構成してもよい。前記多孔質材は柔らかいものであることが好ましい。

浮上装置８０によれば、流体噴出孔９に絞り要素８２が設けられているので、流体噴出孔９の幅の精度が若干悪くなっていても、流体噴出孔９から噴出するエアー量に偏りが発生することを回避することができ、安定した圧力形成部Ａを形成することができる。

したがって、シムを用いることなく、下側部材１９に中間部材８１と内側部材２１と外側部材２３を組み付けることで、浮上装置８０を容易に組み立てることができる。

ところで、第２の実施形態の浮上装置５０において変形例である浮上装置６１が存在するように、第３の実施形態の浮上装置８０においても、変形例である浮上装置９０が存在する。

図１９は、第３の実施形態に係る浮上装置８０の変形例である浮上装置９０を示す断面図であり、図１３に対応した図である。

浮上装置９０では、支持部材６５の上部の開口溝６６を塞ぐように、中間部材８１が一体的に設置され、この中間部材８１の上に内側部材６２が一体的に設置され、この内側部材６２に外側部材２３が一体的に設置されている。また、必要に応じてスペーサ６７が使用される。

なお、浮上装置８０や浮上装置９０においても、図１５や図１６に示すように、外側部材２３を分割して構成してもよい。また、第１の実施形態に係る浮上装置３においても、図１３に示すような変形例を考えることができる。さらに、突起５１と絞り要素８２とを備えた浮上装置を考えることもできる。

本発明の第１の実施形態に係る搬送装置の概略構成を示す斜視図である。搬送装置の概略構成を示す平面図である。図２におけるＩＩＩ矢視を示す図である。図４（ａ）は、浮上装置の断面図（図２におけるＩＶＡ―ＩＶＢ断面を示す図）であり、図４（ｂ）は、図４（ａ）に対応した浮上装置の圧力の分布を示す図である。流体噴出孔の変形例を示す図である。流体噴出孔の変形例を示す図である。本発明の第２の実施形態に係る搬送装置に使用される浮上装置の概略構成を示す斜視図である。図７におけるＶＩＩＩＡ−ＶＩＩＩＡ断面、ＶＩＩＩＢ−ＶＩＩＩＢ断面を示す図であり、図４（ａ）に対応した図である。浮上装置を分解した状態を示す斜視図である。浮上装置を分解した状態を示す図である。浮上装置を分解した状態を示す図である。図１１におけるＸＩＩ矢視を示すと共に浮上装置を組み付けた状態を示す図である。図１２におけるＸＩＩＩ矢視を示す図である。外側部材の概略の形態を示す図である。外側部材の概略の形態を示す図である。外側部材の概略の形態を示す図である。本発明の第３の実施形態に係る搬送装置に使用される浮上装置の概略構成を示す断面図であり、図８に対応した図である。中間部材の概略構成を示す斜視図である。第３の実施形態に係る浮上装置の変形例である浮上装置を示す断面図であり、図１３に対応した図である。

符号の説明

１搬送装置
３、５０、６１、８０、９０浮上装置
５搬送力付与手段
７、７ａベース部材
９、９ａ、９ｂ流体噴出孔
１１開口部
１３領域
１５ベース部材縁部
２１内側部材
２３、２３ａ外側部材
５１突起
８２絞り要素

Claims

平面状の部位を備えた物体を浮上させつつ搬送方向へ搬送する搬送装置にあって、
前記搬送方向に並んであって、流体を用いて浮上させる複数の浮上装置と、
前記浮上装置で浮上する物体を搬送するために、前記物体に力を加える搬送力付与手段と、を有し、
各浮上装置は、
平面状の上面を備えたベース部材と、
前記ベース部材の上面に設けられ、流体を噴出する環状の流体噴出孔と、を有し、
各浮上装置の前記流体噴出孔における少なくとも前記ベース部材の上面側は、前記流体噴出孔の全周に亘って、前記ベース部材の上面のうち前記流体噴出孔の開口部によって囲まれる領域の内側を向くようになってあって、
更に、各浮上装置の前記ベース部材は、下側部材と、前記下側部材の上面中央部に設けられかつ平坦な下面を有した内側部材と、前記下側部材の上面に前記内側部材を囲むように設けられた外側部材とを備え、前記流体噴出孔が前記内側部材と前記外側部材の間に形成され、前記内側部材の下面と前記下側部材の上面の間であって前記流体噴出孔の流入側の高さ寸法が前記流体噴出孔の幅寸法よりも大きくなっていることを特徴とする搬送装置。
請求項１に記載の搬送装置において、
前記内側部材、前記外側部材のうちの少なくとも一方の部材に設けられた突起により、前記流体噴出孔の幅が規定されるように構成されていることを特徴とする搬送装置。
請求項１又は請求項２に記載の搬送装置において、
各浮上装置における前記流体噴出孔に絞り要素が設けられていることを特徴とする搬送装置。
平面状の部位を備えた物体を、流体を用いて浮上させる浮上装置において、
平面状の上面を備えたベース部材と、
前記ベース部材の上面に前記ベース部材の上面外縁に沿って設けられ、流体を噴出する環状の流体噴出孔と、を有し、
前記流体噴出孔における少なくとも前記ベース部材の上面側は、前記流体噴出孔の全周に亘って、前記ベース部材の上面のうち前記流体噴出孔の開口部によって囲まれる領域の内側を向くようになってあって、
前記ベース部材は、下側部材と、前記下側部材の上面中央部に設けられかつ平坦な下面を有した内側部材と、前記下側部材の上面に前記内側部材を囲むように設けられた外側部材とを備え、前記流体噴出孔が前記内側部材と前記外側部材の間に形成され、前記内側部材の下面と前記下側部材の上面の間であって前記流体噴出孔の流入側の高さ寸法が前記流体噴出孔の幅寸法よりも大きくなっていることを特徴とする浮上装置。
請求項４に記載の浮上装置において、
前記内側部材、前記外側部材のうちの少なくとも一方の部材に設けられた突起により、前記流体噴出孔の幅が規定されるように構成されていることを特徴とする浮上装置。
請求項４又は請求項５に記載の搬送装置において、
前記流体噴出孔に絞り要素が設けられていることを特徴とする浮上装置。