JP5332142B2

JP5332142B2 - 浮上搬送装置

Info

Publication number: JP5332142B2
Application number: JP2007173425A
Authority: JP
Inventors: 賢輔平田; 刈入田中
Original assignee: IHI Corp
Current assignee: IHI Corp
Priority date: 2007-06-29
Filing date: 2007-06-29
Publication date: 2013-11-06
Anticipated expiration: 2027-06-29
Also published as: TWI445654B; TW200920674A; KR20100018615A; CN101711219A; KR101214888B1; JP2009012873A; WO2009004883A1; CN101711219B

Description

本発明は、例えばガラス基板等の薄板を浮上させた状態の下で搬送方向へ搬送する浮上搬送装置に関する。

近年、浮上搬送装置について種々の開発がなされており、一般的な浮上搬送装置の構成は、次のようになる。

即ち、一般的な浮上搬送装置は、基台を具備しており、基台には、ガラス基板等の薄板を搬送方向へ搬送する搬送ユニットが設けられている。また、基台には、薄板を浮上させる複数の浮上ユニットが搬送方向に間隔を置いて配設されており、各浮上ユニットの上面には、浮上ガスとしての圧縮空気を噴出するノズルがそれぞれ形成されている。

したがって、各ノズルから圧縮空気をそれぞれ噴出しつつ、搬送ユニットを適宜に動作させることにより、浮上搬送装置に搬入された薄板を浮上させた状態の下で搬送方向へ搬送することができる。

ところで、ガラス基板等の薄板はたわみ易く、搬送方向に隣接関係にある浮上ユニット間において、薄板が先行の浮上ユニットから後続の浮上ユニットへ乗り継ぐ際に、薄板の一部が後続の浮上ユニットにおける搬送方向からみて上流側の縁部に干渉して、浮上搬送装置による薄板の搬送作業に支障が生じる。そのため、従来の浮上搬送装置においては、(i)薄板の浮上量を大きくすること、(ii)後続の浮上ユニットにおける搬送方向からみて上流側のノズル（複数のノズルのうち上流側の位置しているノズル、又はノズルの一部分であって上流側に位置している部分）からの圧縮空気の噴出量を大きくすること、(iii)薄板が先行の浮上ユニットから後続の浮上ユニットへ乗り継ぐ際に、後続の浮上ユニットを先行の浮上ユニットに対して相対的に低くすること等の対策を採っている（特許文献１参照）。
特開２００６−３２４５１０号公報

しかしながら、前述の(i)(ii)の対策を採る場合には、圧縮空気の消費量が増えて、浮上搬送装置のランニングコストが高くなるという問題がある。

また、前述の(iii)の対策を採る場合には、後続の浮上ユニットを先行の浮上ユニットに対して相対的に昇降させる昇降機構が必要になり、浮上搬送装置の構成が複雑化するという問題がある。

そこで、本発明は、前述の問題を解決することができる、新規な構成の浮上搬送装置を提供することを目的とをする。

本発明の特徴は、薄板を浮上させた状態の下で搬送方向へ搬送する浮上搬送装置において、基台と、該基台に設けられかつ薄板を搬送方向へ搬送する搬送ユニットと、前記基台に搬送方向に間隔を置いて配設されかつ薄板を浮上させる複数の平面視矩形の浮上ユニットとを具備し、各浮上ユニットの上面に浮上ガスを噴出する平面視矩形枠状のノズルがそれぞれ形成され、各ノズルが垂直方向に対してユニット中心側へ傾斜するように構成され、搬送方向に隣接関係のある前記浮上ユニット間において、後続の前記浮上ユニットにおける搬送方向からみて上流側の縁部に下り段差が形成され、前記下り段差が前記ノズルの上流側の縁部に連通するように構成され、前記下り段差の高さが前記ノズルの入口の高さよりも高くなっていることを要旨とする。

本発明の特徴によると、各ノズルから浮上ガスをそれぞれ噴出しつつ、前記搬送ユニットを適宜に動作させることにより、前記浮上搬送装置に搬入された薄板を浮上させた状態の下で搬送方向へ搬送することができる（前記浮上搬送装置の一般的な作用）。

前記浮上搬送装置の一般的な作用の他に、後続の前記浮上ユニットにおける上流側の縁部に前記下り段差が形成され、前記下り段差が前記ノズルに連通するように構成されているため、薄板が先行の前記浮上ユニットから後続の前記浮上ユニットへ乗り継ぐ際に、薄板は前記下り段差から噴出された浮上ガスによって支持され、薄板の一部と後続の前記浮上ユニットにおける上流側の縁部との干渉を回避することができる。これにより、浮上ガスの消費量を増やしたり、後続の前記浮上ユニットを先行の前記浮上ユニットに対して相対的に昇降させる昇降機構を用いたりすることなく、前記浮上搬送装置によって薄板の搬送作業を適切に行うことができる。

本発明によれば、浮上ガスの消費量を増やしたり、後続の前記浮上ユニットを先行の前記浮上ユニットに対して相対的に昇降させる昇降機構を用いたりすることなく、前記浮上搬送装置によって薄板の搬送作業を適切に行うことができるため、前記浮上搬送装置のランニングコストの低下及び前記浮上搬送装置の構成の簡略化を図ることができる。

（第１実施形態）
本発明の第１実施形態について図１から図７を参照して説明する。

ここで、図１は、第１実施形態に係る浮上搬送装置の部分平面図、図２は、図１におけるII-II線に沿った拡大図、図３は、第１実施形態に係る浮上ユニットの平面図、図４は、図３におけるIV-IV線に沿った断面図、図５は、図３におけるV-V線に沿った断面図、図６は、図１におけるVI-VI線に沿った拡大図、図７は、第１実施形態の浮上ユニットの別態様を示す側面図である。なお、本願の図面中、「ＦＦ」は、前方向を、「ＦＲ」は、後方向を、「Ｌ」は、左方向を、「Ｒ」は、右方向をそれぞれ指している。

図１及び図２に示すように、本発明の実施形態に係る浮上搬送装置１は、例えばガラス基板等の薄板Ｗを浮上させた状態の下で搬送方向へ搬送する装置であって、前後方向へ延びた基台３を具備している。なお、搬送方向は、原則として前方向であって、例外的に前方向から後方向に逆転する場合がある。

基台３には、薄板Ｗを搬送方向へ搬送する搬送ユニット５が設けられている。そして、搬送ユニット５の具体的な構成は、次のようになる。

即ち、基台３の左端部付近及び右端部付近には、薄板Ｗの端部を支持する回転可能な複数の支持ローラ７（複数の左寄りの支持ローラ７と複数の右寄りの支持ローラ７）がブラケット９を介して前後方向へ間隔を置いてそれぞれ設けられており、各支持ローラ７の回転軸７ｓには、ウォームホイール１１がそれぞれ一体的に設けられている。また、基台３の左端部及び右端部には、前後方向へ延びた駆動軸１３が軸受（図示省略）等を介して回転可能にそれぞれ設けられており、各駆動軸１３は、外周部に、対応するウォームホイール１１に噛合した複数のウォーム１５をそれぞれ有している。そして、基台３の前側左部及び前側右部には、対応する駆動軸１３を回転させる搬送モータ１７がブラケット１９を介してそれぞれ設けられており、各搬送モータ１７の出力軸１７ｓは、対応する駆動軸１３の前端部にカップリング等を介して一体的に連結されている。

なお、２本の駆動軸１３を２つ搬送モータ１７で回転させる代わりに、１つの搬送モータ１７で回転させるようにしても構わない。また、複数の支持ローラ７及び搬送モータ１７等を備えた搬送ユニット５の代わりに、薄板Ｗの端部を把持しかつ搬送方向へ移動可能なクランパを備えた別の搬送ユニット等を用いても構わない。

基台３における複数の左寄り支持ローラ７と複数の右寄りの支持ローラ７との間には、薄板Ｗを基準の浮上高さ位置まで浮上させる複数の浮上ユニット２１が前後方向及び左右方向（換言すれば、搬送方向及び搬送方向に直交する方向）に間隔を置いて配設されている。そして、各浮上ユニット２１の具体的な構成は、次のようになる。

即ち、図３から図５に示すように、基台３には、浮上ユニット２１のユニットベース部材２３がブラケット２５を介して設けられており、このユニットベース部材２３は、内側に、浮上ガスとしての圧縮空気を供給可能なチャンバー２７を有している。なお、ユニットベース部材２３のチャンバー２７は、ブロワ等の圧縮空気供給源（図示省略）に接続されている。

ユニットベース部材２３の上側には、枠状の下部外郭部材２９が設けられており、この下部外郭部材２９の内側には、島部材３１が一体的に設けられている。また、島部材３１の上部は、下部外郭部材２９から上方向へ突出してあって、島部材３１は、上部外側に、垂直方向に対してユニット中心側（浮上ユニット２１の中心側）へ略４５度傾斜した外側傾斜面３１ａを有している。

下部外郭部材２９の上側には、枠状の上部外郭部材３３が島部材３１を囲むように設けられており、上部外郭部材３３は、内側に、垂直方向に対してユニット中心側へ略４５度傾斜した内側傾斜面３３ａを有している。また、上部外郭部材３３の内側傾斜面３３ａには、島部材３１の外側傾斜面３１ａに当接可能な複数の位置決め突起３５が一体的に設けられている。なお、上部外郭部材３３の内側傾斜面３３ａに位置決め突起３５が一体的に設けられる代わりに、島部材３１の外側傾斜面３１ａに上部外郭部材３３の内側傾斜面３３ａに当接可能な位置決め突起が一体的に設けられるようにしても構わない。

上部外郭部材３３の内側傾斜面３３ａと島部材３１の外側傾斜面３１ａとの間には、圧縮空気を噴出する枠状のノズル３７が区画形成されており、換言すれば、浮上ユニット２１の上面には、枠状のノズル３７が形成されており、ノズル３７は、チャンバー２７に連通してある。また、前述のように、島部材３１の外側傾斜面３１ａ及び上部外郭部材３３の内側傾斜面３３ａが垂直方向に対してユニット中心側へ略４５度傾斜しているため、ノズル３７は、垂直方向に対してユニット中心側へ略４５度傾斜するように構成されている。

そして、図６に示すように、搬送方向（前方向）に隣接関係のある浮上ユニット２１間において、後続の浮上ユニット２１の上部外郭部材３３における後側の縁部（換言すれば、搬送方向からみて上流側の縁部）には、下り段差３９が形成されており、後続の浮上ユニット２１の上部外郭部材３３における下り段差３９は、ノズル３７に連通するように構成されている。

また、搬送方向が前方向から後方向に逆転するような場合には、図７に示すように、前後方向に隣接関係のある浮上ユニット２１間において、浮上ユニット２１の上部外郭部材３３における隣接側の縁部に下り段差３９がそれぞれ形成されるようになっている。

続いて、第１実施形態の作用及び効果について説明する。

圧縮空気供給源によって各ユニットベース部材２３のチャンバー２７へ圧縮空気をそれぞれ供給して、各ノズル３７から圧縮空気をそれぞれ噴出させる。また、２つの搬送モータ１７の駆動により２本の駆動軸１３を同期して回転させることにより、ウォームホイール１１とウォーム１５の噛合作用によって複数の左寄りの支持ローラ７及び複数の右寄りの支持ローラ７を一方向へ回転させる。これにより、浮上搬送装置１に搬入された薄板Ｗを浮上させた状態の下で搬送方向へ搬送することができる。ここで、各ノズル３７が垂直方向に対してユニット中心側へ４５度傾斜するようにそれぞれ構成されているため、各島部材３１の上面と薄板Ｗの裏面との間に略均一な圧力のガス溜まり層（圧縮空気溜まり層）Ｓをそれぞれ発生させて、各浮上ユニット２１の浮上性能を十分に発揮させることができる（浮上搬送装置１の一般的な作用）。

浮上搬送装置１の一般的な作用の他に、後続の浮上ユニット２１の上部外郭部材３３における上流側の縁部に下り段差３９が形成され、下り段差３９がノズル３７に連通するように構成されているため、薄板Ｗが先行の浮上ユニット２１から後続の浮上ユニット２１へ乗り継ぐ際に、薄板Ｗは下り段差３９から噴出された浮上ガスによって支持され、薄板Ｗの一部と後続の浮上ユニット２１における上流側の縁部との干渉を回避することができる。これにより、浮上ガスの消費量を増やしたり、後続の浮上ユニット２１を先行の浮上ユニット２１に対して相対的に昇降させる昇降機構を用いたりすることなく、浮上搬送装置１によって薄板Ｗの搬送作業を適切に行うことができる。

よって、第１実施形態によれば、浮上搬送装置１のランニングコストの低下及び浮上搬送装置１の構成の簡略化を図ることができる。

（第２実施形態）
本発明の第２実施形態について図８から図１２を参照して説明する。

ここで、図８は、第２実施形態に係る浮上搬送装置の部分平面図、図９は、第２実施形態に係る浮上ユニットの平面図、図１０は、図９におけるX-X線に沿った断面図、図１１は、図８におけるXI-XI線に沿った拡大図、図１２は、第２実施形態の浮上ユニットの別態様を示す側面図である。

図８から図１０に示すように、第２実施形態に係る浮上搬送装置４１は、薄板Ｗを浮上させた状態の下で搬送方向へ搬送する装置であって、第１実施形態に係る浮上搬送装置１と略同じ構成を有しており、第２の実施形態の係る浮上搬送装置４１の具体的な構成のうち、第１の実施形態に係る浮上搬送装置１の具体的な構成と異なる部分（第２実施形態に係る浮上ユニット４３の特徴部分）について説明する。なお、第２の実施形態に係る浮上搬送装置４１における複数の構成要素のうち、第１の実施形態に係る浮上搬送装置１における構成要素と対応するものについては、図中に同一番号を付して、説明を省略する。

即ち、図１１に示すように、搬送方向（前方向）に隣接関係のある浮上ユニット４３間において、後続の浮上ユニット４３の上部外郭部材３３における後側の縁部（換言すれば、搬送方向からみて上流側の縁部）には、下り段差４５が形成されており、後続の浮上ユニット４３の上部外郭部材３３における下り段差４５には、薄板Ｗの接触を許容する接触許容ローラ４７がブラケット４９を介して回転自在に設けられている。また、各接触許容ローラ４７の支持高さ位置は、それぞれ浮上ユニット４３の上面（上部外郭部材３３の上面）の高さ位置以上で（望ましくは、浮上ユニット４３の上面の高さ位置よりも高く）かつ浮上ユニット４３による基準の浮上高さ位置よりも低くなっており、各接触許容ローラ４７の回転軸心は、搬送方向に直交する方向をそれぞれ指向している。

また、搬送方向が前方向から後方向に逆転するような場合には、図１２に示すように、前後方向に隣接関係のある浮上ユニット４３間において、浮上ユニット４３の上部外郭部材３３における隣接側の縁部に下り段差４５が形成され、浮上ユニット４３の上部外郭部材３３における下り段差４５に接触許容ローラ４７がブラケット４９を介して回転自在にそれぞれ設けられている。

続いて、第２実施形態の作用及び効果について説明する。

前述の浮上搬送装置１の一般的な作用と同様に、浮上搬送装置４１を動作させることにより、浮上搬送装置４１に搬入された薄板Ｗを浮上させた状態の下で搬送方向へ搬送することができる（浮上搬送装置４１の一般的な作用）。

浮上搬送装置４１の一般的な作用の他に、後続の浮上ユニット４３における上流側の縁部に薄板Ｗの接触を許容する接触許容ローラ４７が回転自在に設けられ、接触許容ローラ４７の支持高さ位置が浮上ユニット４３の上面の高さ位置以上でかつ浮上ユニット４３による基準の浮上高さ位置よりも低くなっているため、薄板Ｗが先行の浮上ユニット２１から後続の浮上ユニット２１へ乗り継ぐ際に、薄板Ｗは接触許容ローラ４７によって支持され、薄板Ｗの一部と後続の浮上ユニット２１における上流側の縁部との干渉を回避することができる。これにより、浮上ガスの消費量を増やしたり、後続の浮上ユニット２１を先行の浮上ユニット２１に対して相対的に昇降させる昇降機構を用いたりすることなく、浮上搬送装置によって薄板の搬送作業を適切に行うことができる。

よって、第２実施形態によれば、浮上搬送装置４１のランニングコストの低下及び浮上搬送装置４１の構成の簡略化を図ることができる。

なお、本発明は、前述の実施形態の説明に限られるものではなく、その他、種々の態様で実施可能である。また、本発明に包含される権利範囲は、これらの実施形態に限定されないものである。

第１実施形態に係る浮上搬送装置の部分平面図である。図１におけるII-II線に沿った拡大図である。第１実施形態に係る浮上ユニットの平面図である。図３におけるIV-IV線に沿った断面図であって、薄板を浮上させた状態を示している。図３におけるV-V線に沿った断面図であって、薄板を浮上させた状態を示している。図１におけるVI-VI線に沿った拡大図である。第１実施形態の浮上ユニットの別態様を示す側面図である。第２実施形態に係る浮上搬送装置の部分平面図である。第２実施形態に係る浮上ユニットの平面図である。図９におけるX-X線に沿った断面図であって、薄板を浮上させた状態を示している。図８におけるXI-XI線に沿った拡大図である。第２実施形態の浮上ユニットの別態様を示す側面図である。

符号の説明

Ｗ薄板
Ｓガス溜まり層
１浮上搬送装置
３基台
５搬送ユニット
２１浮上ユニット
３７ノズル
３９下り段差
４１浮上搬送装置
４３浮上ユニット
４７接触許容ローラ

Claims

薄板を浮上させた状態の下で搬送方向へ搬送する浮上搬送装置において、
基台と、該基台に設けられかつ薄板を搬送方向へ搬送する搬送ユニットと、前記基台に搬送方向に間隔を置いて配設されかつ薄板を浮上させる複数の平面視矩形の浮上ユニットとを具備し、
各浮上ユニットの上面に浮上ガスを噴出する平面視矩形枠状のノズルがそれぞれ形成され、各ノズルが垂直方向に対してユニット中心側へ傾斜するように構成され、搬送方向に隣接関係のある前記浮上ユニット間において、後続の前記浮上ユニットにおける搬送方向からみて上流側の縁部に下り段差が形成され、前記下り段差が前記ノズルの上流側の縁部に連通するように構成され、前記下り段差の高さが前記ノズルの入口の高さよりも高くなっていることを特徴とする浮上搬送装置。