JP4776090B2

JP4776090B2 - Optical fiber preform manufacturing method

Info

Publication number: JP4776090B2
Application number: JP2001149558A
Authority: JP
Inventors: 潔有馬
Original assignee: Furukawa Electric Co Ltd
Current assignee: Furukawa Electric Co Ltd
Priority date: 2001-05-18
Filing date: 2001-05-18
Publication date: 2011-09-21
Anticipated expiration: 2021-05-18
Also published as: JP2002338287A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、気相軸付法（ＶＡＤ法）を利用して光ファイバ母材を製造する光ファイバ母材の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図６には光ファイバ母材の製造装置の主要構成の一例が模式的に示されている。この図６に示す光ファイバ母材の製造装置１は、ＶＡＤ法により光ファイバ母材を製造するものであり、反応室２と、バーナ３と、原料ガス供給配管４と、複数（図６の例では３本）の燃焼用ガス供給配管５と、回転軸６と、この回転軸６を回転させる機能と昇降させる機能を備えた駆動手段（図示せず）とを有して構成されている。
【０００３】
この光ファイバ母材の製造装置１において、バーナ３の基端部には上記原料ガス供給配管４と、複数の燃焼用ガス供給配管５とがそれぞれ接続されており、このバーナ３の基端部には原料ガス供給配管４から光ファイバ母材の原料ガスが供給されると共に、各燃焼用ガス供給配管５からそれぞれ燃焼用ガスが供給される。なお、この明細書においては、燃焼用ガスとは、酸水素火炎を作り出すための酸素ガスと水素ガスを少なくとも含む複数種のガスの総称として使用している。
【０００４】
上記複数の燃焼用ガス供給配管５のうちの１本は酸素ガスを専用に通す酸素供給配管として機能し、また、他の１本は水素ガスを専用に通す水素供給配管として機能し、残りのものは酸素ガスおよび水素ガス以外の例えばアルゴンガス等のガスを専用に通す配管として機能している。このような構成により、バーナ３には各種燃焼用ガスがそれぞれ別々の燃焼用ガス供給配管５を通して供給される構成と成している。
【０００５】
上記バーナ３の先端部は例えば図３に示されるような同心円状多重管構造と成しており、複数のガス通路８（８ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄ）が形成されている。例えば、中心のガス通路８ａは原料ガスを通す原料ガス通路として機能し、その外側のガス通路８ｂは水素ガスを通す燃焼用ガス通路として機能し、さらにその外側のガス通路８ｃはアルゴンガスを通す燃焼用ガス通路として機能し、さらにその外側のガス通路８ｄは酸素ガスを通す燃焼用ガス通路として機能する。
【０００６】
各燃焼用ガス供給配管５をそれぞれ通って別々にバーナ３に供給された各種燃焼用ガスは、バーナ３の内部においても、それぞれ専用の通路を通って、バーナ３の噴出口から反応室２の内部に向けて噴出する構成と成している。そして、そのバーナ３から噴出した複数種の燃焼用ガスの燃焼により酸水素火炎９が作り出される。また、その酸水素火炎９に向けてバーナ３から原料ガスが噴出する構成と成している。
【０００７】
前記反応室２の上方側から回転軸６が挿通されており、この回転軸６の先端部には出発母材が取り付けられる。この回転軸６は前記駆動手段に接続されており、この駆動手段の駆動によって回転軸６は回転しながら軸方向に上昇することができる。
【０００８】
このような光ファイバ母材の製造装置１では、バーナ３は各種燃焼用ガスを噴出して酸水素火炎９を作り出すと共に、この酸水素火炎９に原料ガスを供給し、この原料ガスを火炎加水分解させてガラス微粒子を生成する。そして、このガラス微粒子を回転軸６の先端の出発母材に堆積させ光ファイバ母材を成長させていく。その堆積体（光ファイバ母材）１２はスートと呼ばれている。このような光ファイバ母材の製造中には、回転軸６を回転しながら、上記スート１２の先端とバーナ３との間の間隔が予め定めた一定の間隔となるように、回転軸６を引き上げている。
【０００９】
ところで、光ファイバ母材の原料は沸点が室温よりも高いことから、原料ガス供給配管４を室温の環境下にそのままの状態で置いたのでは、原料ガス供給配管４の内部で原料ガスの液化が起こってしまう。そこで、その原料ガス供給配管４にはヒータ１０が設けられており、このヒータ１０による原料ガス供給配管４の加熱によって、原料ガス供給配管４の内部の原料ガスの温度が沸点よりも低下するのを防止して原料ガスの液化を回避している。なお、図６に示す符号７は、原料ガス供給配管４の温度を検出する温度センサを示し、符号１１は上記温度センサ７の検出温度に基づいてヒータ１０の制御を行うヒータ制御器を示している。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
従来では、上記スート（光ファイバ母材）１２の成長速度が変動するという問題があった。そのようにスート１２の成長速度が変動した場合には、スート１２に含有されるドーパントの量が変動し、これにより、所望の特性の光ファイバ母材を製造することができないという問題や、製造された各光ファイバ母材毎に特性が異なるという問題や、同じ光ファイバ母材の中でも場所によって特性が異なるという問題が生じてしまう。
【００１１】
本発明は上記課題を解決するために成されたものであり、その目的は、光ファイバ母材の成長速度を一定にすることが可能な光ファイバ母材の製造方法を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、この発明は次に示す構成をもって前記課題を解決する手段としている。すなわち、第１の発明は、バーナの酸水素火炎に光ファイバ母材の原料ガスを供給し、その光ファイバ母材の原料ガスを火炎加水分解させてガラス微粒子を生成し、このガラス微粒子を、前記バーナの近傍に配設されている出発母材に堆積させ光ファイバ母材を成長させていく光ファイバ母材の製造方法において、前記原料ガスの供給経路を構成する配管に加熱手段を設けて前記原料ガスを加熱し、前記原料ガスの供給経路に当該供給経路の配管内部のガスの流れを乱して前記加熱手段から原料ガスへ加えられる熱の熱交換効率を向上させる熱交換効率上昇手段を設け、該熱交換効率上昇手段により前記配管内部のガスの流れを乱して前記酸水素火炎に供給される直前の原料ガスの温度を直接的に検出し、検出された前記原料ガスの温度に基づき前記加熱手段を制御して酸水素火炎に供給される前記原料ガスの温度を予め定めた一定の温度に維持する構成をもって前記課題を解決する手段としている。
【００１３】
第２の発明は、第１の発明の構成を備え、バーナには、酸素を供給するための酸素供給配管と、水素を供給するための水素供給配管とを少なくとも含む複数の燃焼用ガス供給配管を接続すると共に、原料ガスの供給経路である原料ガス供給配管を接続し、バーナの内部には前記各燃焼用ガス供給配管から供給された燃焼用ガスをそれぞれ別々に通す複数の燃焼用ガス通路と、原料ガス供給配管から供給された原料ガスを通す原料ガス通路とを形成し、バーナは酸水素火炎を作り出すと共に、酸水素火炎に向けて原料ガスを噴出する構成と成し、少なくとも前記バーナ内部の原料ガス通路の隣の燃焼用ガス通路に連通接続する燃焼用ガス供給配管を含む燃焼用ガス供給配管には燃焼用ガスを加熱する燃焼用ガス加熱手段を設け、また、燃焼用ガス加熱手段により加熱された燃焼用ガスの温度を検出する燃焼用ガス温度検出手段を設け、前記燃焼用ガス温度検出手段の検出温度に基づいて、燃焼用ガスの温度が予め定めた一定の温度となるように前記燃焼用ガス加熱手段を制御する燃焼用ガス温度制御部を設けたことを特徴として構成されている。
【００１４】
第３の発明は、第１又は第２の発明の構成を備え、バーナには光ファイバ母材の原料ガスを供給するための原料ガスの供給経路である原料ガス供給配管を接続し、また、バーナの内部には前記原料ガス供給配管から供給された原料ガスを酸水素火炎に導くための原料ガス通路を形成し、前記原料ガスはバーナから酸水素火炎に向けて供給される構成と成し、前記バーナの温度を検出するバーナ温度検出手段と；前記バーナを加熱するバーナ加熱手段と；前記バーナ温度検出手段の検出温度に基づき、その検出温度が予め定めた一定の温度となるように前記バーナ加熱手段の制御を行うバーナ温度制御部と；を設けることを特徴として構成されている。
【００１５】
第４の発明は、第２又は第３の発明の構成を備え、少なくともバーナ内部の原料ガス通路の隣の燃焼用ガス通路に連通接続する燃焼用ガス供給配管を含む燃焼用ガス供給配管には、該燃焼用ガス供給配管内部のガスの流れを乱して燃焼用ガス加熱手段から燃焼用ガスへ加えられる熱の熱交換効率を高めるための熱交換効率上昇手段を設けたことを特徴として構成されている。
【００１７】
本発明者が光ファイバ母材の成長速度変動の原因を調査したところ、その光ファイバ母材の成長速度には、バーナの酸水素火炎に供給される直前（つまり、反応直前）の原料ガスの温度が大きく関与し、その反応直前の原料ガスの温度が変動すると、光ファイバ母材の成長速度も変動することが分かった。
【００１８】
このことに着目し、本発明では、反応直前の原料ガスの温度を予め定めた一定の温度に制御するための構成を備えた。これにより、光ファイバ母材の成長速度をほぼ一定とすることができることとなり、上記成長速度変動に起因した問題の発生を抑制することができ、高品質な光ファイバ母材を製造することが可能となる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下に、この発明に係る実施形態例を図面に基づいて説明する。
【００２０】
図１には第１実施形態例の光ファイバ母材の製造装置において特徴的な構成部分が抜き出されて模式的に示されている。なお、この第１実施形態例の説明において、前記従来例と同一構成部分には同一符号を付し、その共通部分の重複説明は省略する。
【００２１】
前述したように、本発明者は、スート１２の成長速度には、酸水素火炎９に供給される直前（反応直前）の原料ガスの温度が大きく関与していることに気付いた。図２には、本発明者の実験により得られたスート１２の成長速度と反応直前の原料ガス温度との関係例が示されている。本発明者は、その反応直前の原料ガスの温度を一定に制御することによって、スート１２の成長速度を一定にすることができることに気付いた。
【００２２】
これにより、本発明者は、スート１２の成長速度を一定とするための次に示すような装置構成を考え出した。つまり、この第１実施形態例では、原料ガス供給配管４には、原料ガスの温度を検出するための原料ガス温度検出手段１４が設けられている。また、その原料ガス温度検出手段１４の検出温度に基づいて、その検出温度が予め定めた一定の温度となるようにヒータ１０を制御する原料ガス温度制御部１５が設けられている。
【００２３】
ところで、従来においても、原料ガス供給配管４の温度センサ７およびヒータ１０と、温度センサ７の検出温度に基づいてヒータ１０を制御するヒータ制御器１１とが設けられていた。しかしながら、従来では、温度センサ７は原料ガス供給配管４の外表面に設けられて原料ガス供給配管４の温度を検出するものであった。原料ガス供給配管４の温度は、配管内部の原料ガスだけでなく、周囲の環境温度の影響も受けるので、この原料ガス供給配管４の温度は配管内部の原料ガスの温度に必ずしも対応するものではなかった。これにより、従来の温度センサ７により検出された温度は、配管内部の原料ガスの温度と等価ではなかった。しかも、ヒータ制御器１１は、その温度センサ７の検出温度に基づいてヒータ１０を制御して、原料ガス供給配管４の温度が原料ガスの沸点以上の設定の温度よりも低下することを防止するにすぎないものであった。
【００２４】
これらのことから、従来では、酸水素火炎９に供給される直前（反応直前）の原料ガスには、光ファイバ母材の特性に悪影響を与える程の温度変動が生じていた。
【００２５】
そこで、この第１実施形態例では、原料ガス温度検出手段１４は原料ガス供給配管４の内部に配設されており、原料ガスの温度を直接的に検出する構成とした。また、反応直前の原料ガスの温度にできるだけ近い温度を検出するために、原料ガス温度検出手段１４は原料ガス供給配管４のガス出側部位（例えばバーナ３との接続部から３００mm以内の部位）の配管内部に設けた。
【００２６】
原料ガス温度制御部１５は、上記原料ガス温度検出手段１４の検出温度に基づいて、該検出温度が設定温度となるようにヒータ１０の制御を行って、反応直前の原料ガスの温度が予め定めた一定の温度となるための制御構成を備えている。
【００２７】
この第１実施形態例では、さらに、原料ガス温度検出手段１４の近傍には熱交換効率上昇手段１６が設けられている。この熱交換効率上昇手段１６は配管内部のガスの流れを乱すことにより、ヒータ１０から原料ガスへの熱交換効率を高めるものである。このように、熱交換効率が高まることによって、上記原料ガス温度制御部１５による加熱制御の応答速度を速めることができて、より精度の良い原料ガスの温度制御を行うことができることとなる。
【００２８】
また、熱交換効率上昇手段１６によってガスの流れが乱れることにより、配管内部の原料ガスの温度を均一化することができる。この第１実施形態例では、この温度均一化された原料ガスの温度を原料ガス温度検出手段１４によって検出する構成としている。これにより、反応直前の原料ガスの温度がより精度良く設定温度となるように制御することができる。
【００２９】
この第１実施形態例では、光ファイバ母材の製造中には、原料ガス温度制御部１５が、原料ガス温度検出手段１４の検出温度を時々刻々と取り込み、その検出温度が予め定めた一定の温度に安定するようにヒータ１０の加熱制御を行う。これにより、バーナ３から噴出される反応直前の原料ガスの温度をほぼ一定に維持することができる。本発明者はその効果を実験により確認している。なお、その実験では、原料ガスの代わりに、アルゴンガスを使用した。
【００３０】
その発明者の実験の結果、従来の装置構成では、バーナ３から噴出するガスの温度変動幅が１．６℃であったのに対して、この第１実施形態例の装置構成では、バーナ３から噴出するガスの温度変動幅を０．５℃に抑制することができた。
【００３１】
このように、反応直前の原料ガスの温度変動を抑制することができることから、スート（光ファイバ母材）１２の成長速度を一定に維持することができることとなり、特性のばらつきが殆ど無い高品質な光ファイバ母材を製造することができる。
【００３２】
以下に、第２実施形態例を説明する。なお、この第２実施形態例の説明において、第１実施形態例と同一構成部分には同一符号を付し、その共通部分の重複説明は省略する。
【００３３】
ところで、バーナ３の内部において、例えば、図３に示されるように、原料ガス通路８ａを囲んで燃焼用ガス通路８ｂ，８ｃ，８ｄが形成されている。このため、バーナ３の内部で、原料ガスと燃焼用ガスとの間で熱交換が行われる。これにより、燃焼用ガスの温度が変動すると、原料ガスと燃焼用ガスとの間の熱交換の状態が変化して、原料ガスの温度が変動してしまう。つまり、バーナ３の内部を流れる燃焼用ガスの温度変動は、反応直前の原料ガスの温度変動の原因となる虞がある。
【００３４】
このことを考慮して、この第２実施形態例では、第１実施形態例の構成に加えて、図４に示すように、各燃焼用ガス供給配管５には、燃焼用ガス加熱手段であるヒータ２０と、燃焼用ガス温度検出手段２１とがそれぞれ設けられ、また、ヒータ２０の制御を行う燃焼用ガス温度制御部２２が設けられている。
【００３５】
上記燃焼用ガス温度検出手段２１は各燃焼用ガス供給配管５の出側部位の配管内部に設けられて、原料ガス温度検出手段１４と同様に、燃焼用ガスの温度を直接的に検出する構成を備えている。
【００３６】
燃焼用ガス温度制御部２２は、各燃焼用ガス温度検出手段２１の検出温度を取り込んで、これら検出温度が予め定めた一定の温度となるように各ヒータ２０を制御する構成を備えている。
【００３７】
さらに、この第２実施形態例においても、第１実施形態例と同様に、各燃焼用ガス供給配管５の内部には、燃焼用ガス温度検出手段２１の近傍に熱交換効率上昇手段２３が設けられている。その熱交換効率上昇手段２３によって、ヒータ２０から配管内部の燃焼用ガスへの熱効率を高めて、燃焼用ガス温度制御部２２による加熱制御の応答性を向上させる構成と成している。これにより、燃焼用ガス温度制御部２２の加熱制御によって、燃焼用ガスの温度をより安定化させることができる。
【００３８】
この第２実施形態例では、バーナ３の内部に供給される燃焼用ガスの温度も一定の温度に安定化させるための構成を備えたので、バーナ３の内部において原料ガスと燃焼用ガスとの間での熱交換を抑制したり、また、原料ガスと燃焼用ガスとの熱交換の状態を常に一定の状態とすることができる。これにより、より確実に、反応直前の原料ガスの温度を一定の温度に維持することができることとなる。本発明者の実験によれば、従来の装置構成では、バーナ３から噴出するガスの温度の変動幅が１．６℃であったのに対して、この第２実施形態例の装置構成では、バーナ３から噴出するガスの温度の変動幅が０．３℃となり、反応直前の原料ガスの温度安定化の効果が実験により確認されている。
【００３９】
このように、反応直前の原料ガスの温度をより確実に一定に維持することができるために、スート（光ファイバ母材）１２の成長速度のより一層の安定化が達成できて、より高品質な光ファイバ母材を提供することができる。
【００４０】
以下に、第３実施形態例を説明する。なお、この第３実施形態例の説明において、前記各実施形態例と同一構成部分には同一符号を付し、その共通部分の重複説明は省略する。
【００４１】
この第３実施形態例では、図５に示されるように、第２実施形態例の構成に加えて、バーナ加熱手段であるヒータ２５と、バーナ温度検出手段２６と、バーナ温度制御部２７とが設けられている。
【００４２】
バーナ温度検出手段２６はバーナの温度を検出するものである。バーナ温度制御部２７はそのバーナ温度検出手段２６の検出温度が予め定めた温度となるように、ヒータ２５の制御を行ってバーナ３の温度制御を行う構成を備えている。
【００４３】
このような構成を備えていない場合には、バーナ３の温度は周囲の環境温度の影響を受けて変動し、そのバーナ３の温度変動によってバーナ３の内部を通る原料ガスの温度が変化することが考えられる。これに対して、この第３実施形態例では、バーナ３の温度がほぼ一定となるようにバーナ３の加熱制御を行う構成を備えたので、バーナ３の温度の変動を抑制することができて、バーナ温度変動に起因した原料ガスの温度変動を防止することができる。
【００４４】
このように第３実施形態例では、第２実施形態例の構成に加えて、バーナ３の温度制御を行う構成を備えたので、より一層確実に、反応直前の原料ガスの温度を一定に維持することが可能となる。これにより、スート１２の成長速度をより一層確実に安定化することができる。
【００４５】
本発明者の実験によれば、バーナ３から噴出するガスの温度変動幅を０．２℃という非常に狭い幅に抑えることができたことが確認されている。また、スート１２の成長速度の標準偏差が、従来の装置構成では、３．４mm／時であったのに対して、この第３実施形態例の装置構成では、０．７mm／時となり、スート１２の成長速度がかなり精度良く安定化できることが確認されている。
【００４６】
このように、この第３実施形態例では、スート１２の成長速度を精度良く一定に維持することができることから、より一層、高品質な光ファイバ母材を製造して提供することができることとなる。
【００４７】
なお、この発明は上記各実施形態例に限定されるものではなく、様々な実施の形態を採り得る。例えば、第２実施形態例では、複数の燃焼用ガス供給配管５の全てにそれぞれヒータ２０と燃焼用ガス温度検出手段２１が設けられていたが、バーナ３の内部において原料ガス通路８ａの隣の燃焼用ガス通路８ｂに連通接続する燃焼用ガス供給配管５にヒータ２０と燃焼用ガス温度検出手段２１が設けられていれば、全ての燃焼用ガス供給配管５にそれぞれヒータ２０と燃焼用ガス温度検出手段２１を設けなくともよい。この場合にも、バーナ３の内部において原料ガスと燃焼用ガスとの熱交換を抑制する、あるいは、熱交換の状態を常に一定の状態とすることができるので、第２実施形態例とほぼ同様な効果を奏することができる。
【００４８】
また、第３実施形態例では、各燃焼用ガス供給配管５にはヒータ２０と燃焼用ガス温度検出手段２１が設けられていたが、例えば、バーナ温度制御部２７によるバーナ３の温度制御によって、バーナ３の内部の温度をほぼ一定にして原料ガスと燃焼用ガスとの間の熱交換を抑制する構成とした場合には、各燃焼用ガス供給配管５にヒータ２０と燃焼用ガス温度検出手段２１を設けなくともよい。
【００４９】
さらに、上記第２、第３の各実施形態例では、熱交換効率上昇手段２３が設けられていたが、燃焼用ガス温度制御部２２等による加熱手段の制御応答性が満足のいくものである場合には、熱交換効率上昇手段２３は省略してもよい。
【００５０】
【発明の効果】
この発明によれば、原料ガス供給配管の配管内部に原料ガスの温度を直接的に検出する原料ガス温度検出手段を設け、この原料ガス温度検出手段の検出温度を利用して酸水素火炎に供給される原料ガスの温度が一定となるように原料ガス供給配管の加熱手段を制御する原料ガス温度制御部を設けたので、酸水素火炎に供給される原料ガスの温度変動を抑制することができて、光ファイバ母材の成長速度をほぼ一定にすることが可能となる。これにより、成長速度変動に起因した問題の発生を防止することができ、高品質な光ファイバ母材を製造することができる。
【００５１】
少なくともバーナの内部の原料ガス通路の隣の燃焼用ガス通路に連通接続する燃焼用ガス供給配管を含む燃焼用ガス供給配管にも、温度検出手段と加熱手段を設け、燃焼用ガス供給配管の加熱制御を行う構成を備えたものにあっては、バーナの内部での原料ガスと燃焼用ガスとの間の熱交換をほぼ抑制したり、あるいは、原料ガスと燃焼用ガスとの間の熱交換の状態を常にほぼ同じ状態にすることができることから、バーナから酸水素火炎に供給される原料ガスの温度をより精度良く一定に維持することができることとなり、光ファイバ母材の成長速度がより安定して、より高品質な光ファイバ母材を提供することができる。
【００５２】
バーナの温度が一定の温度となるようにバーナの加熱制御を行う構成を備えたものにあっては、バーナの温度変動に起因した原料ガスの温度変動を確実に防止することができて、より一層精度良く、酸水素火炎に供給される原料ガスの温度を一定に維持することができることとなる。これにより、光ファイバ母材の成長速度をより確実に一定にすることができることから、より一層高品質な光ファイバ母材を製造することができる。
【００５３】
原料ガス供給配管又は燃焼用ガス供給配管に、加熱手段から配管内部のガスへの熱効率を高めるための熱交換効率上昇手段が設けられているものにあっては、原料ガス温度制御部又は燃焼用ガス温度制御部による加熱手段の制御の応答性を高めることができて、より一層確実に原料ガスの温度を一定に維持することができ、非常に高品質な光ファイバ母材を製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１実施形態例の光ファイバ母材の製造装置において特徴的な構成部分を抜き出して示したモデル図である。
【図２】光ファイバ母材の成長速度と、反応直前の原料ガスの温度との関係例を示したグラフである。
【図３】バーナの構成の一例を示した説明図である。
【図４】第２実施形態例の特徴的な構成部分を抜き出して示したモデル図である。
【図５】第３実施形態例の特徴的な構成部分を抜き出して示したモデル図である。
【図６】従来の光ファイバ母材の製造装置の一例を示したモデル図である。
【符号の説明】
１光ファイバ母材の製造装置
３バーナ
４原料ガス供給配管
５燃焼用ガス供給配管
８バーナ内部のガス通路
９酸水素火炎
１０，２０，２５ヒータ
１４原料ガス温度検出手段
１５原料ガス温度制御部
１６，２３熱交換効率上昇手段
２１燃焼用ガス温度検出手段
２２燃焼用ガス温度制御部
２６バーナ温度検出手段
２７バーナ温度制御部[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a method of manufacturing an optical fiber preform you producing an optical fiber preform by using vapor axial deposition to (VAD method).
[0002]
[Prior art]
FIG. 6 schematically shows an example of the main configuration of the optical fiber preform manufacturing apparatus. The optical fiber preform manufacturing apparatus 1 shown in FIG. 6 manufactures an optical fiber preform by the VAD method, and includes a reaction chamber 2, a burner 3, a source gas supply pipe 4, and a plurality of (in FIG. 6). In the example, three combustion gas supply pipes 5, a rotating shaft 6, and a driving means (not shown) having a function of rotating the rotating shaft 6 and a function of moving up and down are configured. .
[0003]
In the optical fiber preform manufacturing apparatus 1, the source gas supply pipe 4 and a plurality of combustion gas supply pipes 5 are connected to the base end of the burner 3, respectively. The raw material gas for the optical fiber preform is supplied from the raw material gas supply pipe 4 and the combustion gas is supplied from the respective combustion gas supply pipes 5. In this specification, the combustion gas is used as a general term for a plurality of types of gases including at least oxygen gas and hydrogen gas for producing an oxyhydrogen flame.
[0004]
One of the plurality of combustion gas supply pipes 5 functions as an oxygen supply pipe through which oxygen gas is dedicated, and the other one functions as a hydrogen supply pipe through which hydrogen gas is dedicated. The thing functions as piping which passes gases, such as argon gas other than oxygen gas and hydrogen gas, for exclusive use. With such a configuration, various combustion gases are supplied to the burner 3 through separate combustion gas supply pipes 5.
[0005]
The tip of the burner 3 has, for example, a concentric multiple tube structure as shown in FIG. 3, and a plurality of gas passages 8 (8a, 8b, 8c, 8d) are formed. For example, the central gas passage 8a functions as a raw material gas passage through which raw material gas passes, the outer gas passage 8b functions as a combustion gas passage through which hydrogen gas passes, and the outer gas passage 8c passes through argon gas. It functions as a combustion gas passage, and the gas passage 8d outside thereof functions as a combustion gas passage through which oxygen gas passes.
[0006]
Various combustion gases supplied separately to the burner 3 through the respective combustion gas supply pipes 5 pass through dedicated passages in the burner 3 from the outlet of the burner 3 to the reaction chamber 2. It is configured to erupt toward the inside. Then, an oxyhydrogen flame 9 is created by the combustion of a plurality of types of combustion gases ejected from the burner 3. Further, the raw material gas is ejected from the burner 3 toward the oxyhydrogen flame 9.
[0007]
A rotating shaft 6 is inserted from above the reaction chamber 2, and a starting base material is attached to the tip of the rotating shaft 6. The rotating shaft 6 is connected to the driving means, and the rotating shaft 6 can be raised in the axial direction while rotating by the driving of the driving means.
[0008]
In such an optical fiber preform manufacturing apparatus 1, the burner 3 injects various combustion gases to create an oxyhydrogen flame 9, supplies a raw material gas to the oxyhydrogen flame 9, and converts the raw material gas to flame hydrolysis. Decompose to produce fine glass particles. Then, the glass fine particles are deposited on the starting base material at the tip of the rotating shaft 6 to grow the optical fiber base material. The deposit (optical fiber preform) 12 is called soot. During the manufacture of such an optical fiber preform, the rotary shaft 6 is rotated so that the interval between the tip of the soot 12 and the burner 3 is a predetermined constant interval while rotating the rotary shaft 6. Raised.
[0009]
By the way, since the raw material of the optical fiber preform has a boiling point higher than room temperature, if the raw material gas supply pipe 4 is left in the room temperature environment, the raw material gas is liquefied inside the raw material gas supply pipe 4. Will happen. Therefore, a heater 10 is provided in the source gas supply pipe 4, and the temperature of the source gas inside the source gas supply pipe 4 is lowered below the boiling point by heating the source gas supply pipe 4 by the heater 10. To prevent liquefaction of the raw material gas. 6 indicates a temperature sensor that detects the temperature of the source gas supply pipe 4, and 11 indicates a heater controller that controls the heater 10 based on the temperature detected by the temperature sensor 7. Yes.
[0010]
[Problems to be solved by the invention]
Conventionally, there has been a problem that the growth rate of the soot (optical fiber preform) 12 fluctuates. When the growth rate of the soot 12 fluctuates in such a manner, the amount of dopant contained in the soot 12 fluctuates, thereby causing a problem that an optical fiber preform having desired characteristics cannot be produced, There arises a problem that the characteristics are different for each optical fiber preform, and that the characteristics are different depending on the location even in the same optical fiber preform.
[0011]
The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a method of manufacturing an optical fiber preform capable of keeping the growth rate of the optical fiber preform constant.
[0012]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, the present invention has the following configuration as means for solving the above problems. That is, in the first invention, the raw material gas of the optical fiber preform is supplied to the oxyhydrogen flame of the burner, and the raw material gas of the optical fiber preform is flame-hydrolyzed to generate glass fine particles. in the manufacturing method of the preceding Symbol optical fiber preform gradually grown an optical fiber preform by depositing on the starting base material is disposed in the vicinity of the burner, a heating means provided in the piping that constitutes the supply path of the material gas The heat exchange efficiency is increased by heating the raw material gas and disturbing the gas flow in the piping of the supply passage in the raw material gas supply passage to improve the heat exchange efficiency of the heat applied from the heating means to the raw material gas. means is provided, the temperature of the feed gas just before disturbing the flow of the gas inside the pipe by heat exchange efficiency lifting means is supplied to the oxyhydrogen flame directly detected, the detected pre-Symbol feed gas temperature on the basis of And a means for solving the problem with a configuration that maintains a constant temperature that defines the temperature before Symbol raw material gas in advance before SL is supplied to the control to oxyhydrogen flame heating means can.
[0013]
A second invention has the configuration of the first invention, and the burner includes a plurality of combustion gas supply pipes including at least an oxygen supply pipe for supplying oxygen and a hydrogen supply pipe for supplying hydrogen. connecting a Rutotomoni, connect the source gas supply pipe is a supply passage of the raw material gas, a plurality of combustion inside the burner through the combustion gas supplied from the previous SL gas supply pipe for each combustion in each separately forms a gas passage, to form a raw material gas passage through the supplied raw material gas from the material gas supply pipe, burner with produce oxyhydrogen flame, configuring to eject the raw material gas toward the oxyhydrogen flame, at least the combustion gas supply pipe containing a pre Symbol combustion gas supply pipe for communicatively connected to the combustion gas passage adjacent to the feed gas passage of the internal burner is provided for combustion gas heating means for heating the combustion gases and the combustion For The combustion gas temperature detecting means for detecting the temperature of the combustion gases heated by the heating means is provided, based on the detected temperature of the pre-Symbol combustion gas temperature detecting means, a constant temperature at which the temperature of the combustion gas is predetermined is configured as characterized in that pre-Symbol provided combustion gas temperature control section for controlling the combustion gas heating means so that the.
[0014]
The third invention is a structure of the first or second invention, the burner is connected to the source gas supply pipe is a supply path of the source gas for supplying a material gas of the optical fiber preform, also, inside the burner to form a feed gas passage for guiding the raw material gas supplied from the previous SL raw material gas supply pipe to the oxyhydrogen flame, before Symbol raw material gas and configured to be supplied toward the oxyhydrogen flame from the burner form, the burner temperature detecting means and for detecting the temperature of the pre-Symbol burner; burner heating means and for heating the pre-Symbol burner; based on the detected temperature of the pre-Symbol burner temperature detecting means, a constant temperature at which the detected temperature is a predetermined is configured as characterized Rukoto provided; and the burner temperature control unit for controlling the pre-Symbol burner heating means so that the.
[0015]
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a combustion gas supply pipe including the structure of the second or third aspect of the invention, including at least a combustion gas supply pipe communicating with a combustion gas passage adjacent to a raw material gas passage inside the burner. , configured as characterized in that a heat exchange efficiency raising means for increasing the heat exchange efficiency of the heat added to the combustion gas from the combustion gas heating means disturbing the flow of the combustion gas supply pipe inside the gas Has been.
[0017]
When the present inventor investigated the cause of fluctuations in the growth rate of the optical fiber preform, the growth rate of the optical fiber preform was determined by the source gas immediately before being supplied to the oxyhydrogen flame of the burner (that is, immediately before the reaction). It was found that the growth rate of the optical fiber preform also fluctuates when the temperature is greatly involved and the temperature of the raw material gas immediately before the reaction fluctuates.
[0018]
Focusing on this, the present invention has a configuration for controlling the temperature of the raw material gas immediately before the reaction to a predetermined constant temperature. As a result, the growth rate of the optical fiber preform can be made almost constant, the occurrence of problems due to the above growth rate fluctuation can be suppressed, and a high-quality optical fiber preform can be manufactured. It becomes.
[0019]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Embodiments according to the present invention will be described below with reference to the drawings.
[0020]
FIG. 1 schematically shows extracted characteristic components in the optical fiber preform manufacturing apparatus of the first embodiment. In the description of the first embodiment, the same components as those in the conventional example are denoted by the same reference numerals, and overlapping description of common portions is omitted.
[0021]
As described above, the present inventor has realized that the growth rate of the soot 12 is greatly related to the temperature of the raw material gas immediately before being supplied to the oxyhydrogen flame 9 (immediately before the reaction). FIG. 2 shows an example of the relationship between the growth rate of the soot 12 and the raw material gas temperature immediately before the reaction obtained by the experiment of the present inventor. The inventor has realized that the growth rate of the soot 12 can be made constant by controlling the temperature of the raw material gas immediately before the reaction to be constant.
[0022]
As a result, the present inventor has devised the following apparatus configuration for keeping the growth rate of the soot 12 constant. That is, in the first embodiment, the raw material gas supply pipe 4 is provided with the raw material gas temperature detecting means 14 for detecting the temperature of the raw material gas. Further, a source gas temperature control unit 15 that controls the heater 10 based on the detected temperature of the source gas temperature detecting means 14 is provided so that the detected temperature becomes a predetermined constant temperature.
[0023]
By the way, conventionally, the temperature sensor 7 and the heater 10 of the source gas supply pipe 4 and the heater controller 11 for controlling the heater 10 based on the temperature detected by the temperature sensor 7 have been provided. However, conventionally, the temperature sensor 7 is provided on the outer surface of the source gas supply pipe 4 to detect the temperature of the source gas supply pipe 4. Since the temperature of the source gas supply pipe 4 is affected not only by the source gas inside the pipe but also by the ambient environmental temperature, the temperature of the source gas supply pipe 4 does not necessarily correspond to the temperature of the source gas inside the pipe. There wasn't. Thus, the temperature detected by the conventional temperature sensor 7 is not equivalent to the temperature of the raw material gas inside the pipe. In addition, the heater controller 11 controls the heater 10 based on the temperature detected by the temperature sensor 7 to prevent the temperature of the source gas supply pipe 4 from lowering than a temperature set higher than the boiling point of the source gas. It was just something.
[0024]
For these reasons, conventionally, the source gas immediately before being supplied to the oxyhydrogen flame 9 (immediately before the reaction) has undergone temperature fluctuations that adversely affect the characteristics of the optical fiber preform.
[0025]
Therefore, in the first embodiment, the raw material gas temperature detection means 14 is disposed inside the raw material gas supply pipe 4 and directly detects the temperature of the raw material gas. Further, in order to detect the temperature as close as possible to the temperature of the raw material gas immediately before the reaction, the raw material gas temperature detecting means 14 is a gas outlet side portion of the raw material gas supply pipe 4 (for example, a portion within 300 mm from the connection portion with the burner 3). Provided inside the pipe.
[0026]
The source gas temperature control unit 15 controls the heater 10 based on the detected temperature of the source gas temperature detecting means 14 so that the detected temperature becomes a set temperature, and the temperature of the source gas immediately before the reaction is determined in advance. It has a control structure for achieving a certain temperature.
[0027]
In the first embodiment, a heat exchange efficiency increasing means 16 is further provided in the vicinity of the raw material gas temperature detecting means 14. The heat exchange efficiency increasing means 16 increases the heat exchange efficiency from the heater 10 to the source gas by disturbing the gas flow inside the pipe. Thus, by increasing the heat exchange efficiency, the response speed of the heating control by the raw material gas temperature control unit 15 can be increased, and the temperature control of the raw material gas can be performed with higher accuracy.
[0028]
Further, since the gas flow is disturbed by the heat exchange efficiency increasing means 16, the temperature of the raw material gas inside the pipe can be made uniform. In the first embodiment, the temperature of the uniformed source gas is detected by the source gas temperature detection means 14. Thereby, it is possible to control the temperature of the raw material gas immediately before the reaction to be the set temperature with higher accuracy.
[0029]
In the first embodiment, during the production of the optical fiber preform, the source gas temperature control unit 15 takes in the detected temperature of the source gas temperature detecting means 14 every moment, and the detected temperature is a predetermined constant. Heating control of the heater 10 is performed so as to stabilize the temperature. Thereby, the temperature of the raw material gas immediately before the reaction ejected from the burner 3 can be maintained substantially constant. The inventor has confirmed the effect by experiments. In the experiment, argon gas was used instead of the source gas.
[0030]
As a result of the inventor's experiment, in the conventional apparatus configuration, the temperature fluctuation range of the gas ejected from the burner 3 was 1.6 ° C., whereas in the apparatus configuration of the first embodiment, the burner 3 The temperature fluctuation range of the gas ejected from the gas could be suppressed to 0.5 ° C.
[0031]
As described above, since the temperature fluctuation of the raw material gas immediately before the reaction can be suppressed, the growth rate of the soot (optical fiber preform) 12 can be kept constant, and the quality is almost free from variations in characteristics. An optical fiber preform can be manufactured.
[0032]
The second embodiment will be described below. In the description of the second embodiment, the same components as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and duplicate descriptions of common portions are omitted.
[0033]
Meanwhile, in the burner 3, for example, as shown in FIG. 3, combustion gas passages 8b, 8c, and 8d are formed surrounding the raw material gas passage 8a. For this reason, heat exchange is performed between the source gas and the combustion gas inside the burner 3. As a result, when the temperature of the combustion gas varies, the state of heat exchange between the source gas and the combustion gas changes and the temperature of the source gas varies. That is, the temperature fluctuation of the combustion gas flowing inside the burner 3 may cause the temperature fluctuation of the raw material gas immediately before the reaction.
[0034]
In consideration of this, in the second embodiment, in addition to the configuration of the first embodiment, as shown in FIG. 4, each combustion gas supply pipe 5 is a combustion gas heating means. A heater 20 and a combustion gas temperature detection means 21 are provided, respectively, and a combustion gas temperature control unit 22 that controls the heater 20 is provided.
[0035]
The combustion gas temperature detecting means 21 is provided inside the piping at the outlet side portion of each combustion gas supply pipe 5 and, like the raw material gas temperature detecting means 14, directly detects the temperature of the combustion gas. It has.
[0036]
The combustion gas temperature control unit 22 has a configuration that takes in the detection temperatures of the combustion gas temperature detection means 21 and controls the heaters 20 so that these detection temperatures become a predetermined constant temperature.
[0037]
Further, in the second embodiment, similarly to the first embodiment, the heat exchange efficiency increasing means 23 is provided in the vicinity of the combustion gas temperature detecting means 21 in each combustion gas supply pipe 5. It has been. The heat exchange efficiency increasing means 23 increases the thermal efficiency from the heater 20 to the combustion gas inside the pipe, thereby improving the responsiveness of the heating control by the combustion gas temperature control unit 22. Thereby, the temperature of the combustion gas can be further stabilized by the heating control of the combustion gas temperature control unit 22.
[0038]
In the second embodiment, since the temperature of the combustion gas supplied to the inside of the burner 3 is also stabilized at a constant temperature, the raw material gas and the combustion gas are mixed inside the burner 3. It is possible to suppress heat exchange between them, and to keep the state of heat exchange between the raw material gas and the combustion gas constant. Thereby, the temperature of the raw material gas immediately before the reaction can be maintained at a constant temperature more reliably. According to the experiment of the present inventor, in the conventional apparatus configuration, the fluctuation range of the temperature of the gas ejected from the burner 3 was 1.6 ° C., whereas in the apparatus configuration of the second embodiment, The fluctuation range of the temperature of the gas ejected from the burner 3 is 0.3 ° C., and the effect of stabilizing the temperature of the raw material gas immediately before the reaction has been confirmed by experiments.
[0039]
In this way, since the temperature of the raw material gas immediately before the reaction can be maintained more reliably and constant, the growth rate of the soot (optical fiber preform) 12 can be further stabilized, resulting in higher quality. An optical fiber preform can be provided.
[0040]
The third embodiment will be described below. In the description of the third embodiment, the same reference numerals are given to the same components as those in each of the above embodiments, and the overlapping description of the common portions will be omitted.
[0041]
In the third embodiment, as shown in FIG. 5, in addition to the configuration of the second embodiment, a heater 25 as a burner heating means, a burner temperature detecting means 26, and a burner temperature control unit 27 are provided. Is provided.
[0042]
The burner temperature detection means 26 detects the temperature of the burner. The burner temperature control unit 27 has a configuration for controlling the temperature of the burner 3 by controlling the heater 25 so that the temperature detected by the burner temperature detecting means 26 becomes a predetermined temperature.
[0043]
When such a configuration is not provided, the temperature of the burner 3 fluctuates due to the influence of the surrounding environmental temperature, and the temperature of the raw material gas passing through the burner 3 changes due to the temperature fluctuation of the burner 3. Can be considered. On the other hand, in the third embodiment, since the heating control of the burner 3 is performed so that the temperature of the burner 3 becomes substantially constant, fluctuations in the temperature of the burner 3 can be suppressed. The temperature fluctuation of the raw material gas due to the burner temperature fluctuation can be prevented.
[0044]
As described above, in the third embodiment, in addition to the configuration of the second embodiment, the temperature control of the burner 3 is provided, so that the temperature of the raw material gas immediately before the reaction can be maintained more reliably. It becomes possible to do. As a result, the growth rate of the soot 12 can be more reliably stabilized.
[0045]
According to the experiments by the present inventors, it has been confirmed that the temperature fluctuation range of the gas ejected from the burner 3 can be suppressed to a very narrow width of 0.2 ° C. In addition, the standard deviation of the growth rate of the soot 12 was 3.4 mm / hour in the conventional apparatus configuration, whereas in the apparatus configuration of the third embodiment, it was 0.7 mm / hour. It has been confirmed that the growth rate of 12 can be stabilized with considerable accuracy.
[0046]
As described above, in the third embodiment, the growth rate of the soot 12 can be maintained at a constant value with high accuracy, so that a higher quality optical fiber preform can be manufactured and provided. .
[0047]
The present invention is not limited to the above embodiments, and various embodiments can be adopted. For example, in the second embodiment, all of the plurality of combustion gas supply pipes 5 are provided with the heater 20 and the combustion gas temperature detection means 21 respectively. However, the inside of the burner 3 is adjacent to the raw material gas passage 8a. If the heater 20 and the combustion gas temperature detection means 21 are provided in the combustion gas supply pipe 5 that is connected to the combustion gas passage 8b, the heater 20 and the combustion gas temperature are respectively connected to all the combustion gas supply pipes 5. The detection means 21 may not be provided. Also in this case, heat exchange between the raw material gas and the combustion gas can be suppressed inside the burner 3, or the heat exchange state can be always kept constant, so that it is almost the same as in the second embodiment. Can produce various effects.
[0048]
In the third embodiment, each of the combustion gas supply pipes 5 is provided with the heater 20 and the combustion gas temperature detecting means 21. For example, by the temperature control of the burner 3 by the burner temperature control unit 27, When the internal temperature of the burner 3 is made substantially constant and the heat exchange between the raw material gas and the combustion gas is suppressed, the heater 20 and the combustion gas temperature detecting means are provided in each combustion gas supply pipe 5. 21 may not be provided.
[0049]
Further, the second, the third preferred embodiments, the heat exchange efficiency rises hand stage 23 is provided, which control response of the heating means using combustion gas temperature control section 22 and the like satisfactory If it is, the heat exchange efficiency rises hand stage 23 may be omitted.
[0050]
【The invention's effect】
According to the present invention, the distribution tube portion of the source gas supply pipe to the raw material gas temperature detection means for directly detecting the temperature of the raw material gas is provided, the oxyhydrogen flame by using the detected temperature of the raw material gas temperature detecting means Since the raw material gas temperature control unit that controls the heating means of the raw material gas supply pipe is provided so that the temperature of the supplied raw material gas becomes constant, it is possible to suppress the temperature fluctuation of the raw material gas supplied to the oxyhydrogen flame. Thus, the growth rate of the optical fiber preform can be made substantially constant. As a result, it is possible to prevent the occurrence of problems due to growth rate fluctuations and to manufacture a high-quality optical fiber preform.
[0051]
The combustion gas supply pipe including the combustion gas supply pipe connected to at least the combustion gas passage adjacent to the raw material gas passage inside the burner is also provided with a temperature detection means and a heating means to heat the combustion gas supply pipe. For those equipped with a control structure, heat exchange between the source gas and the combustion gas inside the burner is substantially suppressed, or heat exchange between the source gas and the combustion gas is performed. The temperature of the raw material gas supplied from the burner to the oxyhydrogen flame can be maintained more accurately and constantly, and the growth rate of the optical fiber preform is more stable. Thus, a higher quality optical fiber preform can be provided.
[0052]
For those equipped with a structure that controls the heating of the burner so that the temperature of the burner becomes a constant temperature, the temperature fluctuation of the source gas due to the temperature fluctuation of the burner can be reliably prevented, and more The temperature of the source gas supplied to the oxyhydrogen flame can be kept constant with higher accuracy. As a result, the growth rate of the optical fiber preform can be more reliably made constant, so that a higher quality optical fiber preform can be manufactured.
[0053]
If the source gas supply pipe or the combustion gas supply pipe is provided with a heat exchange efficiency increasing means for increasing the thermal efficiency from the heating means to the gas inside the pipe, the source gas temperature control unit or the combustion gas supply pipe Responsiveness of control of the heating means by the gas temperature control unit can be improved, the temperature of the raw material gas can be maintained more reliably, and a very high quality optical fiber preform can be manufactured. it can.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a model diagram showing characteristic components extracted from an optical fiber preform manufacturing apparatus according to a first embodiment.
FIG. 2 is a graph showing an example of the relationship between the growth rate of the optical fiber preform and the temperature of the raw material gas immediately before the reaction.
FIG. 3 is an explanatory diagram showing an example of the configuration of a burner.
FIG. 4 is a model diagram showing extracted characteristic components of the second embodiment.
FIG. 5 is a model diagram showing extracted characteristic components of the third embodiment.
FIG. 6 is a model diagram showing an example of a conventional optical fiber preform manufacturing apparatus.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Optical fiber preform manufacturing apparatus 3 Burner 4 Raw gas supply pipe 5 Combustion gas supply pipe 8 Gas passage 9 inside burner Oxyhydrogen flame 10, 20, 25 Heater 14 Raw material gas temperature detection means 15 Raw material gas temperature controller 16 , 23 Heat exchange efficiency increasing means 21 Combustion gas temperature detection means 22 Combustion gas temperature control section 26 Burner temperature detection means 27 Burner temperature control section

Claims

Supplying a raw material gas of the optical fiber preform in oxyhydrogen flame of the burner, provided the raw material gas for the optical fiber preform by flame hydrolysis to generate glass particles, the glass particles, in the vicinity of the front Symbol burner In the method of manufacturing an optical fiber preform in which an optical fiber preform is grown by being deposited on a starting preform, the raw material gas is heated by providing a heating means in a pipe constituting the raw material gas supply path, A heat exchange efficiency increasing means is provided in the source gas supply path to improve the heat exchange efficiency of heat added to the source gas from the heating means by disturbing the gas flow inside the pipe of the supply path, and the heat exchange efficiency lifting means the temperature of the raw material gas immediately before being supplied to the oxyhydrogen flame disturbs the flow of the pipe inside the gas directly detected by, the detected pre-Symbol heating means based on the temperature of the pre-Symbol feed gas Control Method for manufacturing an optical fiber preform which is characterized by maintaining a constant temperature predetermined temperature before Symbol raw material gas supplied to the oxyhydrogen flame.

Material gas burner, an oxygen supply pipe, The rewritable connection including at least a plurality of combustion gas supply pipe and a hydrogen supply pipe for supplying hydrogen supply path of the source gas for supplying oxygen connect the supply pipe, and a plurality of combustion gas passage in the interior of the burner through the front Symbol combustion gas supplied from the combustion gas supply piping separately, the raw material gas supplied from the source gas supply pipe passed to form a raw material gas passage, the burner produces a oxyhydrogen flame, forms a structure for ejecting a raw material gas toward the oxyhydrogen flame, at least before Symbol combustion gas passage adjacent to the feed gas passage of the internal burner the combustion gas supply pipe containing a combustion gas supply pipe that connects communication is provided a combustion gas heating means for heating the combustion gases, also heated by the combustion gas heating means the combustion gas The combustion gas temperature detecting means for detecting the degree provided, before SL on the basis of the detected temperature of the combustion gas temperature detecting means, so that the constant temperature at which the temperature of the combustion gas is predetermined before Symbol combustion gas heating method for manufacturing an optical fiber preform according to claim 1 wherein characterized in that a combustion gas temperature control section for controlling the means.

The burner is connected a source gas supply pipe is a supply path of the source gas for supplying a material gas of the optical fiber preform, also the raw material gas to the interior of the burner supplied from the pre SL material gas supply pipe forming a raw material gas passage for guiding the oxyhydrogen flame, before Symbol raw gas configuration and form to be supplied toward the oxyhydrogen flame from the burner, and the burner temperature detecting means for detecting the temperature of the pre-Symbol burner; before a burner heating means for heating the serial burner; based on the detected temperature of the pre-Symbol burner temperature detecting means, and the burner temperature control unit for controlling the pre-Symbol burner heating means so that the predetermined temperature at which the detected temperature is a predetermined ; the provided method according to claim 1 or claim 2 the optical fiber preform according to said Rukoto.

At least a combustion gas supply pipe including a combustion gas supply pipe connected in communication with the combustion gas passage adjacent to the raw material gas passage inside the burner is used for combustion by disturbing the gas flow inside the combustion gas supply pipe. method for manufacturing an optical fiber preform 請 Motomeko 2 or claim 3, wherein the characterized in that a heat exchange efficiency raising means for increasing the heat exchange efficiency of the heat added to the combustion gas from the gas heating means.