JP4789162B2 - 櫛歯を用いたアクチュエータ - Google Patents

Description

本発明は、例えば走査型プローブメモリー装置などへの利用に適したアクチュエータに関する。

小型で情報を高密度に記録することができる情報記憶装置として、走査型プローブメモリー装置がある。

走査型プローブメモリー装置の記録再生原理には、トンネル効果を用いたもの、原子間力を用いたもの、磁気力を用いたもの、静電力を用いたもの、非線形誘電率を用いたもの、および記録媒体の熱変形を用いたものなど、様々な種類がある。

走査型プローブメモリー装置は、通常、数十ナノメートルないし数マイクロメートル程度の先端径を有するプローブと、表面に記録面が形成された平板状の記録媒体とを備えている。走査型プローブメモリー装置は、プローブの先端を記録媒体の記録面に接近または接触させることにより、記録媒体に対し情報の記録または読み取りを行う。

また、走査型プローブメモリー装置は、プローブまたは記録媒体を記録面に対し平行な方向に移動させ、プローブと記録媒体との間の位置を変更する。これにより、プローブにより記録媒体の記録面を走査することが可能となり、多量の情報を記録面に高密度に配列することが可能となり、あるいは記録面に配列された多量の情報を連続的にまたはランダムに読み取ることが可能になる。

また、走査型プローブメモリー装置の多くは、マルチプローブ方式を採用している。すなわち、走査型プローブメモリー装置の多くは、数十個あるいは数百個、さらには数千個以上のプローブを例えばマトリクス状に配置した２次元プローブヘッドを備えている。このようなプローブヘッドを用いることにより、多量の情報を記録媒体に迅速に記録することが可能となり、あるいは多量の情報を記録媒体から迅速に読み取ることが可能となる。

上述したように、走査型プローブメモリー装置では、プローブによる記録面の走査を実現するために、プローブヘッドまたは記録媒体を記録面に対し平行な方向に移動させる。

プローブヘッドまたは記録媒体を記録面に対し平行な方向に移動させる１つの方法として、プローブヘッドまたは記録媒体を記録面に沿って左右方向または前後方向に概ね直線状に移動させる方法がある。

そして、この方法により、プローブヘッドまたは記録媒体を移動させるための駆動力を作り出すためのアクチュエータの１つとして、静電駆動式アクチュエータがある。この静電駆動式アクチュエータは、ＭＥＭＳ技術を用いた超小型のアクチュエータであり、空隙を介して互いに対向する櫛歯状の電極間に生じる静電力を利用して、プローブヘッドまたは記録媒体を移動させるための駆動力を作り出す。

ここで、静電駆動式アクチュエータによって記録媒体を記録面に沿って左右方向に直線状に往復移動させるための一般的なシステムを紹介する。以下、これを「静電駆動式アクチュエータの一般的システム」という。なお、以下の説明は、図１０中の静電駆動式アクチュエータの一般的システム２００を参照することにより理解が深まるであろう。

まず、中空のハウジングを形成する。そして、ハウジング内に記録媒体を配置する。

記録媒体の往復移動を可能にするためには、記録媒体をハウジング内で浮上させる必要がある。これを実現するために、記録媒体の側面にいくつかの支持点を設定する。そして、例えばシリコンを板状に加工した細い板ばねなどをいつくか用意する。そして、板ばねの一端を記録媒体の支持点に接続し、一方、板ばねの他端をハウジングの内壁面に接続する。このようにして、記録媒体をハウジング内で実質的に浮上させる。

また、記録媒体の往復移動の方向を直線状の左右方向に規制する必要がある。これを実現するために、記録媒体を板ばねで支持するための支持点の配置、板ばねの伸縮方向ないし屈曲方向の規制などを綿密に設定する。

例えば、記録媒体が往復移動する直線方向に関し線対称となるように記録媒体の支持点を高精度に配置する。また、記録媒体が往復移動する直線方向に関し線対称となるように板ばねを高精度に配置する。さらには、板ばねの形状やばね定数などを高精度に均一化する。

また、記録媒体を往復移動させるための駆動力を作り出すために、櫛歯電極機構を形成する必要がある。これを実現するために、記録媒体の左側に位置する側面に櫛歯電極を取り付ける。一方、記録媒体の左側側面に対向するハウジングの内壁面にも櫛歯電極を取り付ける。そして、記録媒体に取り付けた櫛歯電極とハウジングに取り付けた櫛歯電極とを微少な空隙を介して噛み合うように配置する。このような櫛歯電極機構を記録媒体の右側にも設ける。

各櫛歯電極は、記録媒体の往復移動の方向に沿って直線状に伸びるような形状とする。

記録媒体を左方向に移動させるときには、記録媒体の左側に設けられた櫛歯電極機構において、互いに対向する櫛歯電極間に電圧を印加する。これにより、これら櫛歯電極間に静電力が生じ、この静電力により記録媒体が左方向に引っ張られる。

一方、記録媒体を右方向に移動させるときには、記録媒体の右側に設けられた櫛歯電極機構において、互いに対向する櫛歯電極間に電圧を印加する。これにより、これら櫛歯電極間に静電力が生じ、この静電力により記録媒体が右方向に引っ張られる。

記録媒体の左側に設けられた櫛歯電極間への電圧印加と、記録媒体の右側に設けられた櫛歯電極間への電圧印加とを交互に繰り返すことにより、記録媒体を左右方向に直線状に往復移動させることができる。

ところで、このような静電駆動式アクチュエータの一般的システムには次のような問題点がある。

静電駆動式アクチュエータの一般的システムでは、記録媒体の往復移動の方向を直線状の左右方向に規制するために、記録媒体を板ばねで支持するための支持点の配置や、板ばねの伸縮方向ないし屈曲方向の規制などを綿密に設定している。

しかし、互いに対向する櫛歯電極間の静電力は、記録媒体が往復移動する方向と交わる方向にも生じる。このため、板ばねなどによる規制に逆らって記録媒体が例えば前後方向に移動してしまうことがある。

記録媒体が前後方向に移動すると、互いに対向している櫛歯電極同士が接触してしまうことがある。櫛歯電極同士が接触すると記録媒体を左右方向に往復移動させるための駆動力が損なわれてしまう（プル・イン現象）。

また、このような現象は、記録媒体の往復移動の距離を長くすると発生しやすくなる。このため、静電駆動式アクチュエータを用いる場合には、記録媒体の往復移動距離（ストローク量）を大きくすることが難しいという問題がある。

本発明は上記に例示したような問題点に鑑みなされたものであり、本発明の第１の課題は、互いに空隙を介して対向する櫛歯電極同士が接触してしまうのを防止することができる静電駆動式アクチュエータを提供することにある。

また、本発明の第２の課題は、プローブヘッドまたは記録媒体などといった被移動対象の往復移動のストローク量を大きくすることができる静電駆動式アクチュエータを提供することにある。

上記課題を解決するために本発明の第１アクチュエータは、固定部に対して移動部を所定の方向に移動させるアクチュエータであって、前記固定部に設けられた第１接続点に一端側が回転可能に接続され、前記移動部に設けられた第２接続点に他端側が回転可能に接続された第１連結部と、前記固定部に設けられた第３接続点に一端側が回転可能に接続され、前記移動部に設けられた第４接続点に他端側が回転可能に接続された第２連結部と、前記第１連結部に設けられた第１櫛歯基点と、基端側が前記第１櫛歯基点に接続され、先端側が、前記第１連結部の第１接続点を中心とした回転により描かれる前記第１櫛歯基点の旋回軌道に沿って伸びる第１櫛歯と、基端側が前記固定部に接続され、先端側が前記第１櫛歯の湾曲に対応するように伸び、前記第１櫛歯と所定の間隔をもって対向する第２櫛歯とを備え、前記第１接続点から第２接続点までの長さと、前記第３接続点から第４接続点までの長さとが等しく、かつ第１接続点から第３接続点までの長さと第２接続点から第４接続点までの長さが等しい。

上記課題を解決するために本発明の第２アクチュエータは、固定部に対して移動部を所定の方向に移動させるアクチュエータであって、前記固定部に設けられた第１接続点に一端側が回転可能に接続され、前記移動部に設けられた第２接続点に他端側が回転可能に接続された連結部と、前記連結部に設けられた第１櫛歯基点と、基端側が前記第１櫛歯基点に接続され、先端側が、前記連結部の第１接続点を中心とした回転により描かれる前記第１櫛歯基点の旋回軌道に沿って伸びる第１櫛歯と、基端側が前記固定部に接続され、先端側が前記第１櫛歯の湾曲に対応するように伸び、前記第１櫛歯と所定の間隔をもって対向する第２櫛歯と、前記連結部に設けられた第２櫛歯基点と、基端側が前記第２櫛歯基点に接続され、先端側が、前記連結部の第２接続点を中心とした回転により描かれる前記第２櫛歯基点の旋回軌道に沿って伸びる第３櫛歯と、基端側が前記移動部に接続され、先端側が前記第３櫛歯の湾曲に対応するように伸び、前記第３櫛歯と所定の間隔をもって対向する第４櫛歯とを備えている。

上記課題を解決するために本発明のアクチュエータシステムは、固定部と、固定ブロックおよび移動ブロックを有する移動部と、前記固定部に対し前記移動部を第１の方向に移動させる第１アクチュエータと、前記固定ブロックに対して前記移動ブロックを前記第１の方向と同一平面内において交わる第２方向に移動させる第２アクチュエータとを備え、前記第１アクチュエータおよび前記第２アクチュエータはそれぞれ請求項１ないし２２のいずれかに記載のアクチュエータである。

本発明の作用及び他の利得は次に説明する実施形態から明らかにされよう。

本発明のアクチュエータを搭載した走査型プローブメモリー装置の内部を示す平面図である。 図１中の走査型プローブメモリー装置を矢示Ｓ−Ｓ方向から見た断面図である。 図１中のアクチュエータの一部を示す拡大図である。 図１中の固定部に対する移動部の移動を模式的に示す説明図である。 図１中の固定部に対する移動部の移動を模式的に示す説明図である。 櫛歯基点の旋回軌道を示す説明図である。 本発明のアクチュエータの他の実施形態を示す平面図である。 本発明のアクチュエータのさらなる別の実施形態を示す平面図である。 本発明のアクチュエータシステムの実施形態を搭載した走査型プローブメモリー装置の内部を示す平面図である。 静電駆動式アクチュエータの一般的システムを示す説明図である。

符号の説明

３、８１ 固定部
４、８２ 移動部
６、１００、１２０ アクチュエータ
７、８、１０１、１０２、１２１、１２２ 連結部
１２、１３、２２、２３、３２、３３、４２、４３、７１、７２ 櫛歯電極

以下、本発明を実施するための最良の形態について実施形態毎に順に図面に基づいて説明する。

（アクチュエータの実施形態）
図１は、本発明のアクチュエータの実施形態を搭載した走査型プローブメモリー装置の内部を示している。図２は図１中のプローブメモリー装置１を矢示Ｓ−Ｓ方向から見た断面を示している。図３は図１中のアクチュエータ６の一部を拡大して示している。なお、図１は、図２中の蓋部５１およびプローブヘッド５２を取り外した状態のプローブメモリー装置１を示している。

プローブメモリー装置１は、その外形の長さおよび幅（図１中の左右方向および上下方向の長さ）がそれぞれ例えば数ミリメートルないし数センチメートルであり、厚さ（図２中の上下方向の長さ）が例えば数ミリメートルである小型の装置である。

図１に示すように、プローブメモリー装置１は、ハウジング２、固定部３、移動部４および記録媒体５およびアクチュエータ６を備えている。さらに図２に示すように、プローブメモリー装置１は、蓋部５１、プローブヘッド５２およびプローブ５３を備えている。

ハウジング２は、例えばシリコン材料によりカップ状に形成され、その内側には空間が形成されている。

固定部３は、ハウジング２の側壁の一部と一体的に形成されている。

移動部４は、例えばシリコン材料により平板状に形成されている。移動部４は、ハウジング２の内側に形成された空間内に収容されている。また、移動部４は、当該移動部４の上面４Ａに対し平行な方向（図１中の矢示Ａ方向）に移動可能に固定部３に支持されている。図２に示すように、移動部４の下面は、ハウジング２の底板上面から離れている。また、移動部４の各側面は、固定部３に支持されている部分を除き、ハウジング２の側壁内面から離れている。また、移動部４の上面４Ａのほぼ中央には記録媒体５が固定されている。記録媒体５の外形は例えば各辺の長さがおよそ20mmの正方形である。移動部４は、アクチュエータ６の駆動により、矢示Ａ方向に移動する。

一方、図２に示すように、蓋部５１は、ハウジング２の上部には固定されている。

プローブヘッド５２は、記録媒体５の上方に位置し、蓋部５１の下面に固定されている。プローブヘッド５２には、例えば数百個のプローブ５３が設けられている。プローブヘッド５２において互いに隣接するプローブ５３の先端の間隔は例えば数十μmないし数百μmである。また、各プローブ５３の先端径は例えば数十nmである。

プローブメモリー装置１は、プローブ５３を介して記録媒体５に情報を高密度に記録することができ、小型であるにもかかわらず、膨大な記憶容量を有する。記録媒体５に情報を記録するときには、プローブメモリー装置１は、プローブ５３の先端を記録媒体５の記録面に接近ないし接触させ、当該プローブメモリー装置１が採用している情報記録原理に応じて、プローブ５３の先端から記録媒体５に電圧または熱などを加える。

また、記録媒体５に情報を記録するときには、プローブメモリー装置１は、アクチュエータ６を駆動し、固定部３に対し移動部４を矢示Ａ方向に移動させる。これにより、固定されているプローブ５３に対し、記録媒体５がその記録面に対し平行な方向に移動する。これによりプローブ５３による記録媒体５の記録面の走査が実現される。

なお、一般に、プローブメモリー装置が採用し得る情報記録再生原理には、例えば、トンネル効果を用いたもの、原子間力を用いたもの、磁気力を用いたもの、静電力を用いたもの、非線形誘電率を用いたもの、および記録媒体の熱変形を用いたものなど、様々な種類がある。プローブメモリー装置１は、これら情報記録再生原理のうちのいずれをも採用することができる。

図１に示すように、本発明の実施形態であるアクチュエータ６は、２つの連結部７、８および４つの櫛歯電極機構１０、２０、３０、４０を備えている。

連結部７は、プローブメモリー装置１の左側に配置され、固定部３と移動部４とを連結している。すなわち、固定部３は接続点Ｃ１を有し、移動部４は接続点Ｃ２を有する。連結部７の一端側は固定部３の接続点Ｃ１に回転可能に接続されている。一方、連結部７の他端側は移動部４の接続点Ｃ２に回転可能に接続されている。

具体的には、連結部７の一端と接続点Ｃ１とは板ばね１１を介して相互に接続されている。板ばね１１は、実質的に見て、連結部７を、移動部４の上面４Ａに対し平行な方向において、接続点Ｃ１を中心として所定角度回転させる。この回転は板ばね１１の変形により実現される。板ばね１１は連結部７がこの方向に回転することだけを許し、連結部７がこれ以外の方向に動くことを許さない。なお、連結部７が回転したときの板ばね１１のひずみにより連結部７の回転中心が回転に伴って若干移動することが生じるが、これは問題とならない。このような回転中心の偏倚も含めた意味で、板ばね１１は連結部７を回転させる（後述する板ばね２１、３１、４１についても同様である）。

また、連結部７の他端と接続点Ｃ２とは板ばね２１を介して相互に接続されている。板ばね２１は、実質的に見て、連結部７を、移動部４の上面４Ａに対し平行な方向において、接続点Ｃ２を中心として所定角度回転させる。この回転は板ばね２１の変形により実現される。板ばね２１は連結部７がこの方向に回転することだけを許し、連結部７がこれ以外の方向に動くことを許さない。

連結部８は、プローブメモリー装置１の右側に配置され、固定部３と移動部４とを連結している。すなわち、固定部３は接続点Ｃ３を有し、移動部４は接続点Ｃ４を有する。連結部８の一端側は固定部３の接続点Ｃ３に回転可能に接続されている。一方、連結部９の他端側は移動部４の接続点Ｃ４に回転可能に接続されている。

具体的には、連結部８の一端と接続点Ｃ３とは板ばね３１を介して相互に接続されている。板ばね３１は、実質的に見て、連結部８を、移動部４の上面４Ａに対し平行な方向において、接続点Ｃ３を中心として所定角度回転させる。板ばね３１は連結部８がこの方向に回転することだけを許し、連結部８がこれ以外の方向に動くことを許さない。

また、連結部８の他端と接続点Ｃ４とは板ばね４１を介して相互に接続されている。板ばね４１は、実質的に見て、連結部８を、移動部４の上面４Ａに対し平行な方向において、接続点Ｃ４を中心として所定角度回転させる。板ばね４１は連結部８がこの方向に回転することだけを許し、連結部８がこれ以外の方向に動くことを許さない。

連結部７および板ばね１１、２１は、例えばシリコン材料をエッチングすることにより一体的に形成されている。また、連結部８および板ばね３１、４１も、例えばシリコン材料をエッチングすることにより一体的に形成されている。連結部７、８は、移動部４が矢示Ａ方向に往復移動するときに受ける荷重などによって撓ることのないように十分な強度を持っている。

また、図１に示すように、接続点Ｃ１から接続点Ｃ２までの長さと、接続点Ｃ３から接続点Ｃ４までの長さは互いに等しい。さらに、接続点Ｃ１から接続点Ｃ３までの長さと、接続点Ｃ２から接続点Ｃ４までの長さは互いに等しい。すなわち、接続点Ｃ１、Ｃ２間、接続点Ｃ２、Ｃ４間、接続点Ｃ４、Ｃ３間および接続点Ｃ３、Ｃ１間をそれぞれ直線で結ぶと、平行四辺形が形成される。

櫛歯電極機構１０は、図１に示すように、固定部３と連結部７との間に配置されている。また、櫛歯電極機構１０は接続点Ｃ１と接続点Ｃ２との間に配置されている。また、櫛歯電極機構１０は、複数の櫛歯電極１２および複数の櫛歯電極１３を備えている。

図３に示すように、櫛歯電極機構１０が配置されている連結部７の部位には、複数の櫛歯基点Ｂ１が設けられている。各櫛歯基点Ｂ１は観念的な基準点である。複数の櫛歯基点Ｂ１は連結部７の伸張方向に沿って等間隔に配置されている。互いに隣接する櫛歯基点Ｂ１の間隔は、連結部７の伸張方向において互いに隣接する櫛歯電極１２の間隔に一致する。

各櫛歯電極１２は連結部７の側面に設けられている。各櫛歯電極１２の基端側は櫛歯基点Ｂ１に接続されている。一方、各櫛歯電極１２の先端側は、連結部７の接続点Ｃ１を中心とした回転により描かれる櫛歯基点Ｂ１の旋回軌道Ｒ（図６参照）に沿って伸びている。

他方、各櫛歯電極１３は、その基端側が固定部３に接続されている。一方、各櫛歯電極１３の先端側は、櫛歯電極１２の湾曲に対応するように伸び、各櫛歯電極１２と所定の間隔をもって対向している。具体的には、各櫛歯電極１３の先端側は、連結部７の伸張方向において対向する櫛歯電極１２と櫛歯電極１３との間隔を一定に保つような湾曲形状をもって伸びている。

また、各櫛歯電極１２は、連結部７の左右両側から伸びている。そして、各櫛歯電極１３も連結部７の左方および右方にそれぞれ配置されている。

また、各櫛歯電極１２の伸張方向の長さは、当該櫛歯電極１２に対応する櫛歯基点Ｂ１から接続点Ｃ１までの距離が長くなるほど長くなる。また、各櫛歯電極１３の伸張方向の長さも、当該櫛歯電極１３から接続点Ｃ１までの距離が長くなるほど長くなる。これにより、櫛歯電極構造１０の外形はスカート状である。

櫛歯電極機構２０は、図１に示すように、移動部４と連結部７との間に配置されている。また、櫛歯電極機構２０は櫛歯電極機構１０と接続点Ｃ２との間に配置されている。また、櫛歯電極機構２０は、複数の櫛歯電極２２および複数の櫛歯電極２３を備えている。

櫛歯電極機構２０が配置されている連結部７の部位には、複数の櫛歯基点Ｂ２が設けられている。各櫛歯基点Ｂ２は観念的な基準点である。複数の櫛歯基点Ｂ２は連結部７の伸張方向に沿って等間隔に配置されている。互いに隣接する櫛歯基点Ｂ２の間隔は、連結部７の伸張方向において互いに隣接する櫛歯電極２２の間隔に一致する。

各櫛歯電極２２は連結部７の側面に設けられている。各櫛歯電極２２の基端側は櫛歯基点Ｂ２に接続されている。一方、各櫛歯電極２２の先端側は、連結部７の接続点Ｃ２を中心とした回転により描かれる櫛歯基点Ｂ２の旋回軌道に沿って伸びている。

他方、各櫛歯電極２３は、その基端側が移動部４に接続されている。一方、各櫛歯電極２３の先端側は、櫛歯電極２２の湾曲に対応するように伸び、各櫛歯電極２２と所定の間隔をもって対向している。具体的には、各櫛歯電極２３の先端側は、連結部７の伸張方向において対向する櫛歯電極２２と櫛歯電極２３との間隔を一定に保つような湾曲形状をもって伸びている。

また、各櫛歯電極２２は、連結部７の左右両側から伸びている。そして、各櫛歯電極２３も連結部７の左方および右方にそれぞれ配置されている。

また、各櫛歯電極２２の伸張方向の長さは、当該櫛歯電極２２に対応する櫛歯基点Ｂ２から接続点Ｃ２までの距離が長くなるほど長くなる。また、各櫛歯電極２３の伸張方向の長さも、当該櫛歯電極２３から接続点Ｃ２までの距離が長くなるほど長くなる。これにより、櫛歯電極構造２０の外形はスカート状である。

櫛歯電極機構３０は、図１に示すように、固定部３と連結部８との間に配置されている。また、櫛歯電極機構３０は接続点Ｃ３と接続点Ｃ４との間に配置されている。また、櫛歯電極機構３０は、複数の櫛歯電極３２および複数の櫛歯電極３３を備えている。

櫛歯電極機構３０が配置されている連結部８の部位には、複数の櫛歯基点Ｂ３が設けられている。各櫛歯基点Ｂ３は観念的な基準点である。複数の櫛歯基点Ｂ３は連結部８が伸びる方向に沿って等間隔に配置されている。互いに隣接する櫛歯基点Ｂ３の間隔は、連結部８の伸張方向において互いに隣接する櫛歯電極３２の間隔に一致する。

各櫛歯電極３２は連結部８の側面に設けられている。各櫛歯電極３２の基端側は櫛歯基点Ｂ３に接続されている。一方、各櫛歯電極３２の先端側は、連結部８の接続点Ｃ３を中心とした回転により描かれる櫛歯基点Ｂ３の旋回軌道に沿って伸びている。

他方、各櫛歯電極３３は、その基端側が固定部３に接続されている。一方、各櫛歯電極３３の先端側は、櫛歯電極３２の湾曲に対応するように伸び、各櫛歯電極３２と所定の間隔をもって対向している。具体的には、各櫛歯電極３３の先端側は、連結部８の伸張方向において対向する櫛歯電極３２と櫛歯電極３３との間隔を一定に保つような湾曲形状をもって伸びている。

また、各櫛歯電極３２は、連結部８の左右両側から伸びている。そして、各櫛歯電極３３も連結部８の左方および右方にそれぞれ配置されている。

また、各櫛歯電極３２の伸張方向の長さは、当該櫛歯電極３２に対応する櫛歯基点Ｂ３から接続点Ｃ３までの距離が長くなるほど長くなる。また、各櫛歯電極３３の伸張方向の長さも、当該櫛歯電極３３から接続点Ｃ３までの距離が長くなるほど長くなる。これにより、櫛歯電極構造３０の外形はスカート状である。

櫛歯電極機構４０は、図１に示すように、移動部４と連結部８との間に配置されている。また、櫛歯電極機構４０は櫛歯電極機構３０と接続点Ｃ４との間に配置されている。また、櫛歯電極機構４０は、複数の櫛歯電極４２および複数の櫛歯電極４３を備えている。

櫛歯電極機構４０が配置されている連結部８の部位には、複数の櫛歯基点Ｂ４が設けられている。各櫛歯基点Ｂ４は観念的な基準点である。複数の櫛歯基点Ｂ４は連結部８の伸張方向に沿って等間隔に配置されている。互いに隣接する櫛歯基点Ｂ４の間隔は、連結部８の伸張方向において互いに隣接する櫛歯電極４２の間隔に一致する。

各櫛歯電極４２は連結部８の側面に設けられている。各櫛歯電極４２の基端側は櫛歯基点Ｂ４に接続されている。一方、各櫛歯電極４２の先端側は、連結部８の接続点Ｃ４を中心とした回転により描かれる櫛歯基点Ｂ４の旋回軌道に沿って伸びている。

他方、各櫛歯電極４３は、その基端側が移動部４に接続されている。一方、各櫛歯電極４３の先端側は、櫛歯電極４２の湾曲に対応するように伸び、各櫛歯電極４２と所定の間隔をもって対向している。具体的には、各櫛歯電極４３の先端側は、連結部８の伸張方向において対向する櫛歯電極４２と櫛歯電極４３との間隔を一定に保つような湾曲形状をもって伸びている。

また、各櫛歯電極４２は、連結部８の左右両側から伸びている。そして、各櫛歯電極４３も連結部８の左方および右方にそれぞれ配置されている。

また、各櫛歯電極４２の伸張方向の長さは、当該櫛歯電極４２に対応する櫛歯基点Ｂ４から接続点Ｃ４までの距離が長くなるほど長くなる。また、各櫛歯電極４３の伸張方向の長さも、当該櫛歯電極４３から接続点Ｃ４までの距離が長くなるほど長くなる。これにより、櫛歯電極構造４０の外形はスカート状である。

各櫛歯電極１２、１３は、連結部７の伸張方向における長さ（幅）が例えばおよそ50μmであり、厚さ（図２中の上下方向の長さ）は例えばおよそ300μmである。各櫛歯電極１２、１３、２２、２３、３２、３３、４２、４３は、例えばエッチングなどのＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical System）技術において一般的に利用されている方法により形成されている。各櫛歯電極１２、１３、３２、３３は、例えばシリコン材料により固定部３と一体的に形成されている。各櫛歯電極２２、２３、４２、４３は、例えばシリコン材料により移動部４と一体的に形成されている。

図４および図５は、固定部３に対する移動部４の移動を模式的に示している。

上述したように、固定部３と移動部４とは２つの連結部７、８を介して連結されている。連結部７は固定部３に対し接続点Ｃ１を中心に回転可能であり、かつ連結部７は移動部４に対し接続点Ｃ２を中心に回転可能である。そして、連結部８は固定部３に対し接続点Ｃ３を中心に回転可能であり、かつ連結部８は移動部４に対し接続点Ｃ４を中心に回転可能である。さらに、接続点Ｃ１から接続点Ｃ２までの長さと接続点Ｃ３から接続点Ｃ４までの長さとが互いに等しく、かつ接続点Ｃ１から接続点Ｃ３までの長さと接続点Ｃ２から接続点Ｃ４までの長さとが互いに等しい。

したがって、図４に示すように、移動部４は固定部３に対し、矢示Ａに示すように緩やかなカーブを描くように移動することができる。そして、移動部４が固定部３に対して矢示Ａ方向に移動しても、移動部４自体は傾かない。つまり、移動体４は矢示Ａに示す緩やかなカーブに沿って平行移動する。図５は移動部４が矢示Ａに沿って左側に平行移動した状態を示しているが、もちろん移動部４は矢示Ａに沿って右側に平行移動することもできる。

図６は、移動部４が固定部３に対し矢示Ａ方向に移動したときの、接続点Ｃ１を中心とする連結部７の回転を示している。

移動部４が固定部３に対し矢示Ａ方向に移動したとき、図６に示すように、連結部７は接続点Ｃ１を中心に所定角度回転する。連結部７が接続点Ｃ１を中心に所定角度回転したとき、連結部７に設けられた櫛歯基点Ｂ１は、旋回軌道Ｒを描くように移動する。櫛歯電極１２の先端は、この旋回軌道Ｒに沿って伸びている。

図１に戻り、アクチュエータ６の動作について説明する。

連結部７の左下側に配置された櫛歯電極１２、１３間に電圧を印加し、連結部７の右上側に配置された櫛歯電極２２、２３間に電圧を印加し、連結部８の左下側に配置された櫛歯電極３２、３３間に電圧を印加し、そして連結部８の右上側に配置された櫛歯電極４２、４３間に電圧を印加する。これにより、これら電圧が印加された櫛歯電極間に静電力が生じ、対向する櫛歯電極同士が引き合う。

連結部７の左下側に配置された櫛歯電極１２、１３が互いに引き合う力により、連結部７が接続点Ｃ１を中心に左回りに所定角度回転する。これと同時に、連結部７の右上側に配置された櫛歯電極２２、２３が互いに引き合う力により、連結部７が接続点Ｃ２を中心に左回りに所定角度回転する。これにより、連結部７が固定部３に対して左方向に所定角度傾くと同時に、移動部４が連結部７に対して右回りに所定角度回転する。連結部７の固定部３に対する傾き量と、移動部４の連結部７に対する回転量は同じである。

連結部８の左下側に配置された櫛歯電極３２、３３が互いに引き合う力により、連結部８が接続点Ｃ３を中心に左回りに所定角度回転する。これと同時に、連結部８の右上側に配置された櫛歯電極４２、４３が互いに引き合う力により、連結部８が接続点Ｃ４を中心に左回りに所定角度回転する。これにより、連結部８が固定部３に対して左方向に所定角度傾くと同時に、移動部４が連結部８に対して右回りに所定角度回転する。連結部８の固定部３に対する傾き量と、移動部４の連結部８に対する回転量は同じである。

以上のような４組の櫛歯電極間の協働により、移動部４は矢示Ａに示す緩やかなカーブに沿って左側に平行移動する。

一方、連結部７の右下側に配置された櫛歯電極１２、１３間に電圧を印加し、連結部７の左上側に配置された櫛歯電極２２、２３間に電圧を印加し、連結部８の右下側に配置された櫛歯電極３２、３３間に電圧を印加し、そして連結部８の左上側に配置された櫛歯電極４２、４３間に電圧を印加する。これにより、これら電圧が印加された櫛歯電極間に静電力が生じ、対向する櫛歯電極同士が引き合う。

連結部７の右下側に配置された櫛歯電極１２、１３が互いに引き合う力により、連結部７が接続点Ｃ１を中心に右回りに所定角度回転する。これと同時に、連結部７の左上側に配置された櫛歯電極２２、２３が互いに引き合う力により、連結部７が接続点Ｃ２を中心に右回りに所定角度回転する。これにより、連結部７が固定部３に対して右方向に所定角度傾くと同時に、移動部４が連結部７に対して左回りに所定角度回転する。連結部７の固定部３に対する傾き量と、移動部４の連結部７に対する回転量は同じである。

これと同時に、連結部８の右下側に配置された櫛歯電極３２、３３が互いに引き合う力により、連結部８が接続点Ｃ３を中心に右回りに所定角度回転する。これと同時に、連結部８の左上側に配置された櫛歯電極４２、４３が互いに引き合う力により、連結部８が接続点Ｃ４を中心に右回りに所定角度回転する。これにより、連結部８が固定部３に対して右方向に所定角度傾くと同時に、移動部４が連結部８に対して左回りに所定角度回転する。連結部８の固定部３に対する傾き量と、移動部４の連結部８に対する回転量は同じである。

以上のような４組の櫛歯電極の協働により、移動部４は矢示Ａに示す緩やかなカーブに沿って右側に移動する。

以上説明したとおり、アクチュエータ６は、一端側が固定部３の接続点Ｃ１に回転可能に接続され、他端側が移動部４の接続点Ｃ２に回転可能に接続された連結部７と、一端側が固定部３の接続点Ｃ３に回転可能に接続され、他端側が移動部４の接続点Ｃ４に回転可能に接続された連結部８と、基端側が櫛歯基点Ｂ１に接続され、先端側が櫛歯基点Ｂ１の旋回軌道に沿って伸びる櫛歯電極１２と、基端側が固定部３に接続され、先端側が櫛歯電極１２の湾曲に対応するように伸び、櫛歯電極１２と所定の間隔をもって対向する櫛歯電極１３とを備えている。そして、アクチュエータ６において、接続点Ｃ１から接続点Ｃ２までの長さと、接続点Ｃ３から接続点Ｃ４までの長さとが等しく、かつ接続点Ｃ１から接続点Ｃ３までの長さと、接続点Ｃ２から接続点Ｃ４までの長さとが等しい。

このような構成により、櫛歯電極１２、１３間に電圧を印加し、これにより移動部４を固定部３に対して移動させても、連結部７の伸張方向において互いに対向する櫛歯電極１２、１３間の間隔は変わらない。

すなわち、櫛歯電極１２は連結部７に設けられている。連結部７の両端は接続点Ｃ１と接続点Ｃ２にそれぞれ接続されている。そして、接続点Ｃ１から接続点Ｃ２までの長さは常に変化しない。したがって、櫛歯電極１２は、櫛歯基点Ｂ１の旋回軌道Ｒ（図６参照）を外れることがない。

そして、櫛歯電極１２は、櫛歯基点Ｂ１の旋回軌道Ｒに沿って伸び、櫛歯電極１３は、櫛歯電極１２の湾曲に対応するように伸びている。したがって、櫛歯電極１２が旋回基点Ｂ１の旋回軌道Ｒ上を移動しても、櫛歯電極１２、１３間の間隔は常に一定である。

このように、アクチュエータ６によれば、連結部７の伸張方向において互いに対向する櫛歯電極１２、１３間の間隔が変わらないので、互いに対向する櫛歯電極１２、１３同士が接触する現象、いわゆるプル・イン現象は生じない。したがって、アクチュエータ６のストローク量を大きくすることができ、移動部４の固定部３に対する往復移動距離を長くすることができる。

ここで、本実施形態のアクチュエータ６を、図１０に示す静電駆動式アクチュエータの静電駆動式アクチュエータの一般的システム２００と比較する。

静電駆動式アクチュエータの一般的システム２００は、固定部２０１と移動部２０２がばね２０３で図１０に示すように接続されている。図１０中の前後方向において互いに対向する櫛歯電極２０４、２０５の間隔を一定に保ったまま移動部２０２を左右方向に移動させると、ばね２０３が伸張する。このため、ばね２０３は前後方向に伸縮するように形成されている。それゆえ、移動部２０２が前後方向に位置ずれし、正規の軌道を外れることがある。この結果、互いに対向する櫛歯電極２０４、２０５が接触してしまうというプル・イン現象が生じる場合がある。移動部２０２の前後方向の位置ずれは、移動部２０２の左右方向の往復移動距離（ストローク量）を長くすると生じやすくなる。このため、移動部２０２のストローク量を長くすると、プル・イン現象の発生する可能性が高くなり、アクチュエータの安定性・信頼性が低くなる。

これに対し、本実施形態のアクチュエータ６では、図１に示すように、固定部３と移動部４が連結部７、８および板ばね１１、２１、３１、４１により接続されている。連結部７、８は十分な強度を有しており、前後方向に伸縮したり、左右方向に湾曲したりしない。そして、板ばね１１、３１は、接続点Ｃ１、Ｃ３を中心に連結部７、８を固定部３に対し回転させるように変形するのみである。同様に、板ばね２１、４１は、接続点Ｃ２、Ｃ４を中心に連結部７、８を移動部４に対し回転させるように変形するのみである。したがって、連結部７、８や板ばね１１、２１，３１、４１が例えば熱などによって膨張するなど、機構的観点とは別の観点で不具合が生じない限り、移動部４の固定部３に対する移動が、正規の軌道（つまり矢示Ａに示す緩やかなカーブを描く軌道）を外れることがない。したがって、図１中の前後方向において互いに対向する櫛歯電極１２と櫛歯電極１３とは常に一定の距離を保つ。同様に、櫛歯電極２２、２３間、櫛歯電極３２、３３間、櫛歯電極４２、４３間のそれぞれの距離も常に一定であり続ける。それゆえ、これらの櫛歯電極同士が接触することがなく、よってプル・イン現象は生じない。プル・イン現象が生じないので、アクチュエータ６のストローク量を大きくすることができ、移動部４の固定部３に対する往復移動距離を長くすることができる。

また、アクチュエータ６は、櫛歯基点Ｂ１の旋回軌道に沿って伸びる櫛歯電極１２と、この櫛歯電極１２に対応して湾曲した櫛歯電極１３とを有する。さらに、櫛歯基点Ｂ２の旋回軌道に沿って伸びる櫛歯電極２２と、この櫛歯電極２２に対応して湾曲した櫛歯電極２３とを有する。さらに、櫛歯基点Ｂ３の旋回軌道に沿って伸びる櫛歯電極３３と、この櫛歯電極３３に対応して湾曲した櫛歯電極３４とを有する。さらに、櫛歯基点Ｂ４の旋回軌道に沿って伸びる櫛歯電極４２と、この櫛歯電極４２に対応して湾曲した櫛歯電極４３とを有する。つまり、アクチュエータ４は４つの櫛歯電極機構１０、２０、３０、４０を有する。

したがって、アクチュエータ６によれば、移動部４を移動させるための大きな駆動力を得ることができ、かつ、移動部４を正確に移動させることができる。

さらに、アクチュエータ６の連結部７、８にそれぞれ設けられた櫛歯電極１２、２２、３２、４２は連結部７、８の左右両側からそれぞれ伸びている。

したがって、アクチュエータ６によれば、移動部４を移動させるための大きな駆動力を得ることができ、かつ、移動部４を正確に移動させることができる。

また、櫛歯基点Ｂ１は、接続点Ｃ１と接続点Ｃ２との間に配置され、櫛歯基点Ｂ２は、櫛歯基点Ｂ１と接続点Ｃ２との間に配置されている。これにより、櫛歯電極１２、１３、２２、２３を接続点Ｃ１と接続点Ｃ２との間に配置することができる。したがって、櫛歯電極１２、１３、２２、２３を連結部７の中央付近に集めることができる。また、櫛歯基点Ｂ３は、接続点Ｃ３と接続点Ｃ４との間に配置され、櫛歯基点Ｂ４は、櫛歯基点Ｂ３と接続点Ｃ４との間に配置されている。これにより、櫛歯電極３２、３３、４２、４３を接続点Ｃ３と接続点Ｃ４との間に配置することができる。したがって、櫛歯電極３２、３３、４２、４３を連結部８の中央付近に集めることができる。よって、アクチュエータ６の小型化を図ることができる。

また、アクチュエータ６の各櫛歯電極１２の長さは、当該櫛歯電極１２に対応する櫛歯基点Ｂ１から接続点Ｃ１までの距離が長くなるほど長くなる。これにより、櫛歯電極１２、１３間に印加する電圧が小さくても、大きな駆動力を作り出すことができる。また、このような構成により、ストローク量を大きくすることができる。櫛歯電極２２、３２、４２についても同様である。

なお、図１中のアクチュエータ６は、４つの櫛歯電極機構１０、２０、３０、４０を有する。しかし、櫛歯電極機構は１つ、２つまたは３つでもよい。すなわち、接続点Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３、Ｃ４はそれぞれ固定されており、これらの位置関係は常に変わらない。したがって、接続点Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３、Ｃ４以外の点であって、連結部７または連結部８上のどこか１箇所の点に所定方向の力を加えれば、移動部４を固定部３に対して矢示Ａに沿って平行移動させることができる。それゆえ、櫛歯電極機構は１つでよい。

ただ、櫛歯電極機構を複数設けることにより、大きな駆動力を得ることができ、または移動部４の移動の精度を高めることができる。図１に示すように、固定部３のほぼ中心に対し対称にほぼ同様の構造を有する４つの櫛歯電極機構１０、２０、３０、４０を配置することにより、駆動力をバランスよく発生させることができ、これら駆動力を合わせた大きな駆動力を作り出すことができる。これにより、移動部４を固定部３に対し、安定にかつ高精度に移動させることができる。

また、図１中のアクチュエータ６の櫛歯電極機構１０において、各櫛歯電極１２、１３の伸張方向の長さは、当該櫛歯電極１２に対応する櫛歯基点Ｂ１から接続点Ｃ１までの距離が長くなるほど長くなる。これにより、櫛歯電極構造１０の外形はスカート状である。しかし、各櫛歯電極１２、１３の伸張方向の長さは一定でもよい。また、図７に示す櫛歯電極機構７０のように、各櫛歯電極７１、７２の伸張方向の長さを部分的に一定にしてもよい。これにより、櫛歯電極機構７０を図７中の左右方向に小さくすることができ、小さいスペースに櫛歯電極機構７０を設けることが可能になる。図１中の櫛歯電極機構２０、３０、４０についても同様である。

また、図１中のアクチュエータ６では、連結部７、８と固定部３との接続、および連結部７、８と移動部４との接続に、板ばね１１、２１、３１、４１を用いている。しかし、板ばね１１、２１、３１、４１に代えて、図８に示すような回転ばね６１を用いてもよい。

また、図１中のアクチュエータ６は、２つの連結部７、８により固定部３と移動部４とを連結している。しかし、連結部は１つでもよいし、３つ以上でもよい。

ただ、連結部が１つの場合には、固定部３に対して連結部を回転させるための第１櫛歯電極機構と、移動部４を連結部に対して回転させるための第２櫛歯電極機構をそれぞれ設ける。そして、移動部４の平行移動を実現するためには、第１櫛歯電極機構により、連結部を固定部３に対して所定角度回転させるのと同時に、第２櫛歯電極機構により、移動部４を連結部に対して反対の方向に所定角度回転させる。

また、図１中のアクチュエータ６は、プローブヘッド５２に対して記録媒体５を移動させるための駆動源として用いられている。しかし、記録媒体に対してプローブヘッドを移動させるための駆動源としても用いることができる。さらに、アクチュエータ６は、走査型プローブメモリー装置に限らず、他の装置にも適用することができる。

また、図１中のアクチュエータ６の櫛歯電極機構１０、２０、３０、４０は、固定部３に対し移動部４を移動させるための駆動力を作り出すために用いられている。しかし、本発明はこれに限られない。例えば、連結部７、８の固定部３に対する回転運動（傾き運動）および移動部４の連結部７、８に対する回転運動を実現するための他の駆動機構をアクチュエータ６に追加し、櫛歯電極機構１０、２０、３０、４０は、連結部７、８の回転角度（傾き角度）や、移動部４の回転角度、固定部３に対する移動部４の移動量などを測定するのに用いてもよい。

（アクチュエータシステムの実施形態）
図９は、本発明のアクチュエータシステムの実施形態を搭載した走査型プローブメモリー装置の内部を示している。

図９に示すように、アクチュエータシステム８０は、固定部８１と、固定ブロック８３および移動ブロック８４を有する移動部８２と、固定ブロック８３に対し移動ブロック８４を移動ブロック８４の上面に対し平行なＸ方向に移動させる第１アクチュエータ１００と、固定部８１に対し移動部８２をＸ方向と同一平面内において交わるＹ方向に移動させる第２アクチュエータ１２０とを備えている。なお、矢示Ｘは緩やかなカーブを描き、矢示Ｙも緩やかなカーブを描く。

第１アクチュエータ１００および第２アクチュエータ１２０はそれぞれ、図１中のアクチュエータ６とほぼ同じ構成を備えている。すなわち、第１アクチュエータ１００は、連結部１０１および櫛歯電極機構１１１、１１２、並びに連結部１０２および櫛歯電極機構１１３、１１４を備えている。

第２アクチュエータ１２０は、連結部１２１および櫛歯電極機構１３１、１３２、並びに連結部１２２および櫛歯電極機構１３３、１３４を備えている。もっとも、第２アクチュエータ１２０の櫛歯電極機構１３１、１３２、１３３、１３４は、図７に示す櫛歯電極機構７０と同様の構成を採用している。

第１アクチュエータ１００は、スカート状の櫛歯電極機構１１１、１１２、１１３、１１４により、固定ブロック８３に対し移動ブロック８４を比較的大きく安定した駆動力で矢示Ｘ方向に移動させる。一方、第２アクチュエータ１２０は、固定部８１に対し移動部８２を矢示Ｙ方向に移動させる。

アクチュエータシステム８０を走査型プローブメモリー装置に適用する場合には、移動ブロック８４の中央に記録媒体１３０を配置する。これにより、第１アクチュエータ１００の駆動によって記録媒体１３０を矢示Ｘ方向に移動させることができる。また、第２アクチュエータ１２０の駆動により記録媒体１３０を矢示Ｙ方向に移動させることができる。

第１アクチュエータ１００は、スカート状の櫛歯電極機構１１１、１１２、１１３、１１４により、固定ブロック８３に対し移動ブロック８４を比較的大きく安定した駆動力で移動させることができるので、記録媒体１３０をトラックの伸張方向に沿って定常的に往復移動させるのに適している。一方、第２アクチュエータ１２０は、記録媒体１３０をトラックの伸張方向と交わる方向に間欠的または一時的に移動させるのに適している。

アクチュエータシステム８０によれば、第１アクチュエータ１００の連結部１０１、１０２の伸張方向において互いに対向する櫛歯電極同士が接触するプル・イン現象の発生を防止することができる。したがって、移動ブロック８４ないし記録媒体１３０の矢示Ｘ方向の移動量（ストローク量）を大きくすることができる。

さらに、アクチュエータシステム８０によれば、第２アクチュエータ１２０の連結部１２１、１２２の伸張方向において互いに対向する櫛歯電極同士が接触するプル・イン現象の発生を防止することができる。したがって、移動部８２ないし記録媒体１３０の矢示Ｙ方向の移動量（ストローク量）を大きくすることができる。

なお、本発明は、請求の範囲および明細書全体から読み取るこのできる発明の要旨または思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴うアクチュエータもまた本発明の技術思想に含まれる。

本発明に係る櫛歯を用いたアクチュエータは、例えば走査型プローブメモリー装置などへの利用に適したアクチュエータに利用可能である。

Claims (23)

1. 固定部に対して移動部を所定の方向に移動させるアクチュエータであって、
   前記固定部に設けられた第１接続点に一端側が回転可能に接続され、前記移動部に設けられた第２接続点に他端側が回転可能に接続された第１連結部と、
   前記固定部に設けられた第３接続点に一端側が回転可能に接続され、前記移動部に設けられた第４接続点に他端側が回転可能に接続された第２連結部と、
   前記第１連結部に設けられた第１櫛歯基点と、
   基端側が前記第１櫛歯基点に接続され、先端側が、前記第１連結部の第１接続点を中心とした回転により描かれる前記第１櫛歯基点の旋回軌道に沿って伸びる第１櫛歯と、
   基端側が前記固定部に接続され、先端側が前記第１櫛歯の湾曲に対応するように伸び、前記第１櫛歯と所定の間隔をもって対向する第２櫛歯とを備え、
   前記第１接続点から第２接続点までの長さと、前記第３接続点から第４接続点までの長さとが等しく、かつ第１接続点から第３接続点までの長さと第２接続点から第４接続点までの長さが等しいことを特徴とするアクチュエータ。
2. 前記第１連結部に設けられた第２櫛歯基点と、
   基端側が前記第２櫛歯基点に接続され、先端側が、前記第１連結部の第２接続点を中心とした回転により描かれる前記第２櫛歯基点の旋回軌道に沿って伸びる第３櫛歯と、
   基端側が前記移動部に接続され、先端側が前記第３櫛歯の湾曲に対応するように伸び、前記第３櫛歯と所定の間隔をもって対向する第４櫛歯とを備えていることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
3. 前記第２連結部に設けられた第３櫛歯基点と、
   基端側が前記第３櫛歯基点に接続され、先端側が、前記第２連結部の第３接続点を中心とした回転により描かれる前記第３櫛歯基点の旋回軌道に沿って伸びる第５櫛歯と、
   基端側が前記固定部に接続され、先端側が前記第５櫛歯の湾曲に対応するように伸び、前記第５櫛歯と所定の間隔をもって対向する第６櫛歯とを備えていることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
4. 前記第２連結部に設けられた第４櫛歯基点と、
   基端側が前記第４櫛歯基点に接続され、先端側が、前記第２連結部の第４接続点を中心とした回転により描かれる前記第４櫛歯基点の旋回軌道に沿って伸びる第７櫛歯と、
   基端側が前記移動部に接続され、先端側が前記第７櫛歯の湾曲に対応するように伸び、前記第７櫛歯と所定の間隔をもって対向する第８櫛歯とを備えていることを特徴とする請求項３に記載のアクチュエータ。
5. 前記第１櫛歯は、前記第１連結部の両側からそれぞれ伸びていることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
6. 前記第３櫛歯は、前記第１連結部の両側からそれぞれ伸びていることを特徴とする請求項２に記載のアクチュエータ。
7. 前記第５櫛歯は、前記第２連結部の両側からそれぞれ伸びていることを特徴とする請求項３に記載のアクチュエータ。
8. 前記第７櫛歯は、前記第２連結部の両側からそれぞれ伸びていることを特徴とする請求項４に記載のアクチュエータ。
9. 前記第１櫛歯基点は、前記第１接続点と前記第２接続点との間に配置され、
   前記第２櫛歯基点は、前記第１櫛歯基点と前記第２接続点との間に配置されていることを特徴とする請求項２に記載のアクチュエータ。
10. 前記第３櫛歯基点は、前記第３接続点と前記第４接続点との間に配置され、
    前記第４櫛歯基点は、前記第３櫛歯基点と前記第４接続点との間に配置されていることを特徴とする請求項４に記載のアクチュエータ。
11. 前記第１連結部には複数の前記第１櫛歯基点が設けられ、
    前記複数の第１櫛歯基点には複数の前記第１櫛歯がそれぞれ接続され、
    前記各第１櫛歯の長さは、当該第１櫛歯に対応する前記第１櫛歯基点から前記第１接続点までの距離が長くなるほど長くなることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
12. 前記第１連結部には複数の前記第２櫛歯基点が設けられ、
    前記複数の第２櫛歯基点には複数の前記第３櫛歯がそれぞれ接続され、
    前記各第３櫛歯の長さは、当該第３櫛歯に対応する前記第２櫛歯基点から前記第２接続点までの距離が長くなるほど長くなることを特徴とする請求項２に記載のアクチュエータ。
13. 前記第２連結部には複数の前記第３櫛歯基点が設けられ、
    前記複数の第３櫛歯基点には複数の前記第５櫛歯がそれぞれ接続され、
    前記各第５櫛歯の長さは、当該第５櫛歯に対応する前記第３櫛歯基点から前記第３接続点までの距離が長くなるほど長くなることを特徴とする請求項３に記載のアクチュエータ。
14. 前記第２連結部には複数の前記第４櫛歯基点が設けられ、
    前記複数の第４櫛歯基点には複数の前記第７櫛歯がそれぞれ接続され、
    前記各第７櫛歯の長さは、当該第７櫛歯に対応する前記第４櫛歯基点から前記第４接続点までの距離が長くなるほど長くなることを特徴とする請求項４に記載のアクチュエータ。
15. 前記第１櫛歯と前記第２櫛歯との間に電位差を与え、これによって生じる静電力により、前記固定部に対して前記移動部を移動させることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
16. 固定部に対して移動部を所定の方向に移動させるアクチュエータであって、
    前記固定部に設けられた第１接続点に一端側が回転可能に接続され、前記移動部に設けられた第２接続点に他端側が回転可能に接続された連結部と、
    前記連結部に設けられた第１櫛歯基点と、
    基端側が前記第１櫛歯基点に接続され、先端側が、前記連結部の第１接続点を中心とした回転により描かれる前記第１櫛歯基点の旋回軌道に沿って伸びる第１櫛歯と、
    基端側が前記固定部に接続され、先端側が前記第１櫛歯の湾曲に対応するように伸び、前記第１櫛歯と所定の間隔をもって対向する第２櫛歯と、
    前記連結部に設けられた第２櫛歯基点と、
    基端側が前記第２櫛歯基点に接続され、先端側が、前記連結部の第２接続点を中心とした回転により描かれる前記第２櫛歯基点の旋回軌道に沿って伸びる第３櫛歯と、
    基端側が前記移動部に接続され、先端側が前記第３櫛歯の湾曲に対応するように伸び、前記第３櫛歯と所定の間隔をもって対向する第４櫛歯とを備えていることを特徴とするアクチュエータ。
17. 前記第１櫛歯は、前記連結部の両側からそれぞれ伸びていることを特徴とする請求項１６に記載のアクチュエータ。
18. 前記第３櫛歯は、前記連結部の両側からそれぞれ伸びていることを特徴とする請求項１６に記載のアクチュエータ。
19. 前記第１櫛歯基点は、前記第１接続点と前記第２接続点との間に配置され、
    前記第２櫛歯基点は、前記第１櫛歯基点と前記第２接続点との間に配置されていることを特徴とする請求項１６に記載のアクチュエータ。
20. 前記連結部には複数の前記第１櫛歯基点が設けられ、
    前記複数の第１櫛歯基点には複数の前記第１櫛歯がそれぞれ接続され、
    前記各第１櫛歯の長さは、当該第１櫛歯に対応する前記第１櫛歯基点から前記第１接続点までの距離が長くなるほど長くなることを特徴とする請求項１６に記載のアクチュエータ。
21. 前記連結部には複数の前記第２櫛歯基点が設けられ、
    前記複数の第２櫛歯基点には複数の前記第３櫛歯がそれぞれ接続され、
    前記各第３櫛歯の長さは、当該第３櫛歯に対応する前記第２櫛歯基点から前記第２接続点までの距離が長くなるほど長くなることを特徴とする請求項１６に記載のアクチュエータ。
22. 前記第１櫛歯と前記第２櫛歯との間および前記第３櫛歯と前記第４櫛歯との間にそれぞれ電位差を与え、これによって生じる静電力により、前記固定部に対して前記移動部を移動させることを特徴とする請求項１６に記載のアクチュエータ。
23. 固定部と、
    固定ブロックおよび移動ブロックを有する移動部と、
    前記固定部に対し前記移動部を第１の方向に移動させる第１アクチュエータと、
    前記固定ブロックに対して前記移動ブロックを前記第１の方向と同一平面内において交わる第２方向に移動させる第２アクチュエータとを備え、
    前記第１アクチュエータおよび前記第２アクチュエータはそれぞれ請求項１に記載のアクチュエータであることを特徴とするアクチュエータシステム。

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