JP4849680B2 - Photosensitive resin composition and photosensitive resin laminate using the same - Google Patents
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Description
本発明は、プリント配線板形成用のフォトレジストやプリント配線板保護膜であるソルダーレジストに用いられる液状レジスト、ドライフィルムの材料となる感光性樹脂組成物、及び当該感光性樹脂組成物をフォトレジスト層とする感光性樹脂積層体に関する。さらに詳しくは、ハードディスクドライブ(HDD)のサスペンジョン用回路基板として好適に用いることができるノンフィラーの液状タイプ及びドライフィルムタイプのソルダーマスクレジストを提供できる感光性樹脂組成物およびそれを用いてなる感光性樹脂積層体に関する。 The present invention relates to a liquid resist used for a photoresist for forming a printed wiring board and a solder resist that is a protective film for a printed wiring board, a photosensitive resin composition used as a material for a dry film, and the photosensitive resin composition as a photoresist. The present invention relates to a photosensitive resin laminate as a layer. More specifically, a photosensitive resin composition capable of providing a non-filler liquid type and dry film type solder mask resist that can be suitably used as a circuit board for suspension of a hard disk drive (HDD), and a photosensitivity using the same The present invention relates to a resin laminate.
印刷板やフォトレジストの材料として感光性樹脂が用いられている。近年、感光性樹脂は、プリント配線板の製造加工プロセス用としてだけでなく、プリント配線板の永久保護膜であるソルダーレジストとしても用いられるようになっている。
ソルダーレジストとしては、回路基板形成用フォトレジストとして求められる特性、即ち感度、解像力といった感光性、現像性、耐エッチング性だけでなく、さらに半田付けに耐える半田耐熱性や、フレキシブルプリント配線板用には折り曲げ時にクラックなどがはいらないように高い可撓性(回路追随性)が要求される。
Photosensitive resins are used as materials for printing plates and photoresists. In recent years, photosensitive resins have been used not only for printed wiring board manufacturing processes, but also as solder resists that are permanent protective films for printed wiring boards.
As a solder resist, not only the characteristics required as a photoresist for circuit board formation, that is, sensitivity, resolution, photosensitivity such as resolving power, developability, and etching resistance, but also solder heat resistance that can withstand soldering, and for flexible printed circuit boards High flexibility (circuit followability) is required so that cracks do not enter when bent.
ソルダーレジストとしては、回路製造現場で塗工されるレジストインクとして提供される液状タイプと、回路基板上にラミネートするドライフィルムタイプに大別される。 The solder resist is roughly classified into a liquid type provided as a resist ink applied at a circuit manufacturing site and a dry film type laminated on a circuit board.
液状レジストでは、回路のスルーホールをテンティングすることができないことや、特に、回路製造現場で、塗工、乾燥してコートを形成しなければならないことから、膜厚の管理が難しいこと、ピンホールができてしまいやすいことなど、品質管理に面倒な点が多いため、製造現場ではドライフィルムとして提供されることが好まれる傾向にある。 With liquid resists, it is difficult to control the thickness of the film because it cannot be used for tenting circuit through-holes, and it must be coated and dried to form a coating, especially at the circuit manufacturing site. Since there are many troubles in quality control, such as being easy to form a hole, it tends to be preferred to be provided as a dry film at the manufacturing site.
ドライフィルムタイプの場合、銅配線パターンのように段差がある回路基板に対して綺麗に密着した状態でラミネートする必要があり、通常、真空ラミネータを用いて、好ましくはドライフィルムを加熱して柔軟性を付与した後に真空ラミネータを用いることにより、銅配線パターン上にラミネートしている。
しかしながら、真空ラミネータを用いたラミネートの際には、真空引きによりドライフィルムの取扱いが困難になりやすく、ドライフィルムと回路基板の間のエア抜きが不十分となってラミネート作業がうまく行えないといった問題が生じやすい傾向がある。このような問題は、感光性樹脂組成物の表面タック(べたつき)が大きい程、生じやすい。そのため、ドライフィルム用の感光性樹脂組成物には、ソルダーレジスト用感光性樹脂一般に求められる上記特性に加えて、ラミネート作業が容易になり、且つ綺麗に密着させることができるように、表面タック(べたつき)が小さいことが要求される。
In the case of the dry film type, it is necessary to laminate it in a state where it is in close contact with a circuit board having a step such as a copper wiring pattern. Usually, a vacuum laminator is used, and the dry film is preferably heated to be flexible. Is applied to the copper wiring pattern by using a vacuum laminator.
However, when laminating with a vacuum laminator, it is difficult to handle the dry film due to vacuuming, and the air is not sufficiently vented between the dry film and the circuit board. Tend to occur. Such a problem is more likely to occur as the surface tack (stickiness) of the photosensitive resin composition increases. Therefore, in addition to the above-mentioned properties generally required for solder resist photosensitive resins, the surface tack (surface tack) can be easily applied to the photosensitive resin composition for dry film so that the laminating operation can be easily performed. The stickiness is required to be small.
ドライフィルムレジストのべたつきを低減させる方法としては、主として、(1)ポリマー成分比率を高める方法、及び(2)フィラーを添加する方法などがある。
(1)の方法では、相対的に光重合可能なモノマーの含有比率を低減することになるため、結果として、解像度、現像性といったフォトレジストとしての基本的特性が低下することになり、また、硬化体に空隙が形成されやすくなって絶縁性が劣るなど、ソルダーレジストとしての特性を満足できなくなってしまう。
As a method for reducing the stickiness of the dry film resist, there are mainly (1) a method for increasing the polymer component ratio and (2) a method for adding a filler.
In the method (1), since the content ratio of the relatively photopolymerizable monomer is reduced, as a result, basic characteristics as a photoresist such as resolution and developability are deteriorated. As a result, voids are likely to be formed in the cured body, resulting in poor insulation properties.
(2)の方法としては、シリカやリン系化合物、ハロゲン化合物、アンチモン化合物等の無機フィラーが、耐熱性・難燃性も付与することができるという理由から、一般に用いられている。例えば、特許文献1(特開平2000−47381号公報)に開示されているソルダーレジストドライフィルムに使用している感光性樹脂組成物には、ヒュームドシリカ(Syloid(登録商標)7000)が含有されている。 As the method (2), inorganic fillers such as silica, phosphorus compounds, halogen compounds, and antimony compounds are generally used because they can impart heat resistance and flame retardancy. For example, the photosensitive resin composition used in the solder resist dry film disclosed in Patent Document 1 (Japanese Unexamined Patent Publication No. 2000-47381) contains fumed silica (Syloid (registered trademark) 7000). ing.
ところが、シリカなどの無機フィラーは、樹脂組成物の架橋反応に関与することがないため、硬化体ポリマーの構成単位の一部となることができず、また、一般にポリマーとの相溶性が低いことから、硬化体中に物理的に分散された状態として存在することになる。このため、無機フィラーを含有させたフォトレジストは、HDDサスペンジョン用回路基板のように、高度な清浄性が要求されるソルダーレジストとして使用することができないという問題がある。つまり、HDDサスペンジョン用回路基板では、清浄性の要求を充足するために、通常、超音波洗浄が行なわれるが、この超音波洗浄中に、フォトレジストの硬化物中に分散しているフィラーが脱落してしまう場合があり、製品の清浄性を阻害してしまうおそれがある。 However, since inorganic fillers such as silica do not participate in the crosslinking reaction of the resin composition, they cannot be a part of the structural unit of the cured polymer and generally have low compatibility with the polymer. Therefore, it exists as a state physically dispersed in the cured body. For this reason, there is a problem that a photoresist containing an inorganic filler cannot be used as a solder resist that requires high cleanliness like a circuit board for HDD suspension. In other words, the HDD suspension circuit board is usually subjected to ultrasonic cleaning in order to satisfy the requirements for cleanliness. During this ultrasonic cleaning, the filler dispersed in the cured photoresist is removed. There is a risk that the cleanliness of the product may be hindered.
一方、モノマーの種類やベースポリマーの種類を工夫することにより、表面タックを小さくした感光性樹脂組成物及び感光性フィルムが提案されている。
例えば、特許文献2(特開2003−149803号公報)では、特殊な変性ポリイミド樹脂をベースポリマーとして用いることを提案している。また、特許文献3(特開2006−293264号公報)では、光重合するモノマーとしてα位にメチル基を持つエチレン性不飽和結合含有化合物を使用することが提案されている。
On the other hand, a photosensitive resin composition and a photosensitive film with a reduced surface tack have been proposed by devising the type of monomer and the type of base polymer.
For example, Patent Document 2 (Japanese Patent Laid-Open No. 2003-149803) proposes to use a special modified polyimide resin as a base polymer. Patent Document 3 (Japanese Patent Laid-Open No. 2006-293264) proposes the use of an ethylenically unsaturated bond-containing compound having a methyl group at the α-position as a monomer for photopolymerization.
しかしながら、上記特許文献2,3では、いずれも表面タック(べたつき)の評価にとどまっており、得られるドライフィルムの真空ラミネート性、さらには可撓性、回路基板の追随性については評価されていない。特にフレキシブル基板に用いられるソルダーレジストドライフィルムでは、可撓性、回路基板追随性が重要な特性となる。 However, in the above Patent Documents 2 and 3, the evaluation of the surface tack (stickiness) is limited, and the vacuum laminating property of the obtained dry film, further flexibility, and the followability of the circuit board are not evaluated. . In particular, in a solder resist dry film used for a flexible substrate, flexibility and circuit board followability are important characteristics.
本発明は、このような事情に鑑みなされたもので、その目的は、フィラーを含有しなくても耐溶剤性、難燃性、可撓性、導体回路に対する追従性、現像性、半田耐熱性を確保することができる樹脂組成物で、さらに真空ラミネート性をも満足するソルダーレジストドライフィルムに有用な感光性樹脂組成物及びこれを用いてなる感光性樹脂積層体を提供することにある。 The present invention has been made in view of such circumstances, and its purpose is to provide solvent resistance, flame retardancy, flexibility, followability to conductor circuits, developability, solder heat resistance without containing fillers. It is providing the photosensitive resin composition useful for the soldering resist dry film which is a resin composition which can ensure the above, and also satisfy | fills a vacuum laminating property, and the photosensitive resin laminated body using this.
本発明は、ベースポリマー(A)、光重合可能なエチレン性不飽和結合含有化合物(B)、及び光重合開始剤(C)を含有してなる感光性樹脂組成物において、前記エチレン性不飽和結合含有化合物(B)として、特定構造のリン含有エチレン性不飽和化合物(B1)及び分子内に水酸基を2個以上有するエポキシ(メタ)アクリレート系化合物(B2)を使用することで、フィラーのような無機物を添加しなくても、べたつきが少なく、真空ラミネート性に優れたドライフィルムを提供でき、更に、耐溶剤性、難燃性、可撓性、導体回路に対する追従性、現像性、半田耐熱性に優れたソルダーレジストを提供できることを見出してなされたものもである。
The present invention relates to a photosensitive resin composition comprising a base polymer (A), a photopolymerizable ethylenically unsaturated bond-containing compound (B), and a photopolymerization initiator (C). By using a phosphorus-containing ethylenically unsaturated compound (B1) having a specific structure and an epoxy (meth) acrylate compound (B2) having two or more hydroxyl groups in the molecule as the bond-containing compound (B), Even without the addition of any inorganic material, it can provide a dry film with less stickiness and excellent vacuum laminating properties, solvent resistance, flame resistance, flexibility, followability to conductor circuits, developability, solder heat resistance Some have been made by finding that a solder resist having excellent properties can be provided.
すなわち、本発明の要旨は、ベースポリマー(A)、光重合可能なエチレン性不飽和結合含有化合物(B)、及び光重合開始剤(C)を含有してなる感光性樹脂組成物において、前記エチレン性不飽和結合含有化合物(B)が、リン含有エチレン性不飽和化合物(B1)及び分子内に水酸基を2個以上有するエポキシ((メタ)アクリレート系化合物(B2)を含んでなり、
前記リン含有エチレン性不飽和化合物(B1)が、多価カルボン酸、多価アルコール、及びエステル形成性官能基を有するリン化合物を重縮合してなるポリエステルオリゴマー(a)と、水酸基及び/又はカルボキシル基を有するエチレン性不飽和化合物(b)との反応生成物であることを特徴とする感光性樹脂組成物、及びそれを用いて形成される感光性樹脂積層体に関するものである。
That is, the gist of the present invention is a photosensitive resin composition comprising a base polymer (A), a photopolymerizable ethylenically unsaturated bond-containing compound (B), and a photopolymerization initiator (C). The ethylenically unsaturated bond-containing compound (B) comprises a phosphorus-containing ethylenically unsaturated compound (B1) and an epoxy ((meth) acrylate compound (B2) having two or more hydroxyl groups in the molecule,
Polyester oligomer (a) in which the phosphorus-containing ethylenically unsaturated compound (B1) is a polycondensation of a polyvalent carboxylic acid, a polyhydric alcohol, and a phosphorus compound having an ester-forming functional group, a hydroxyl group and / or a carboxyl The present invention relates to a photosensitive resin composition which is a reaction product with an ethylenically unsaturated compound (b) having a group , and a photosensitive resin laminate formed using the same.
本発明の感光性樹脂組成物は、無機フィラーを含有していなくても、耐溶剤性、難燃性、可撓性、導体回路に対する追従性、現像性、半田耐熱性などのソルダーレジストとして要求される特性を満足することができ、しかも真空ラミネート性に優れたドライフィルムを提供することができる。 The photosensitive resin composition of the present invention is required as a solder resist for solvent resistance, flame retardancy, flexibility, followability to conductor circuits, developability, solder heat resistance, etc., even without containing an inorganic filler. The dry film excellent in vacuum laminating property can be provided.
以下、本願発明を詳細に説明する。
なお、本願明細書において、「(メタ)アクリル」とは、アクリル、メタクリルの双方を意味しており、「(メタ)アクリレート」とはアクリレート、メタクリレートの双方を意味しており、これらを特に区別することのない場合に、総称する。
また、本願明細書でいう「フィラー」とは、硬化体を構成するポリマー系の構成要素となっていないもので、且つポリマー系との相溶性が低いために、ポリマー系内に溶解することなく、物理的に分散しただけの状態にあるものをいう。
Hereinafter, the present invention will be described in detail.
In the present specification, “(meth) acryl” means both acryl and methacryl, and “(meth) acrylate” means both acrylate and methacrylate. When there is nothing to do, it is a general term.
In addition, the “filler” as used in the specification of the present application is a component that does not constitute a polymer system constituting the cured body, and has low compatibility with the polymer system, so that it does not dissolve in the polymer system. The one that is only physically dispersed.
本発明の感光性樹脂組成物は、ベースポリマー(A)、光重合可能なエチレン性不飽和結合含有化合物(B)、及び光重合開始剤(C)を含有する感光性樹脂組成物において、前記エチレン性不飽和結合含有化合物(B)として、リン含有エチレン性不飽和化合物(B1)を含むことを特徴とする。 The photosensitive resin composition of the present invention is a photosensitive resin composition containing a base polymer (A), a photopolymerizable ethylenically unsaturated bond-containing compound (B), and a photopolymerization initiator (C). A phosphorus-containing ethylenically unsaturated compound (B1) is included as the ethylenically unsaturated bond-containing compound (B).
本発明におけるベースポリマー(A)としては、感光性樹脂組成物に用いられている従来からのポリマーを使用することができ、特にレジストドライフィルムのベースポリマーとして好適であるカルボキシル基含有(メタ)アクリル系ポリマーを主体とするポリマーが好ましく用いられる。 As the base polymer (A) in the present invention, a conventional polymer used in a photosensitive resin composition can be used, and in particular, a carboxyl group-containing (meth) acrylic suitable as a base polymer for a resist dry film. A polymer mainly composed of a polymer is preferably used.
かかるカルボキシル基含有(メタ)アクリル系ポリマーとしては、重量平均分子量が100,000〜250,000で且つ酸価が50〜250mgKOH/gのカルボキシル基含有ポリマー(A1)(以下、「高分子量のカルボキシル基含有ポリマー(A1)」と略記することがある)、及び、重量平均分子量が5,000〜80,000で且つ酸価が50〜300mgKOH/gのカルボキシル基含有(メタ)アクリル系ポリマー(A2)(以下、「中分子量のカルボキシル基含有ポリマー(A2)」と略記することがある)の組合わせが好ましく用いられる。 As such a carboxyl group-containing (meth) acrylic polymer, a carboxyl group-containing polymer (A1) having a weight average molecular weight of 100,000 to 250,000 and an acid value of 50 to 250 mgKOH / g (hereinafter referred to as “high molecular weight carboxyl”). Group-containing polymer (A1) ”), and a carboxyl group-containing (meth) acrylic polymer (A2) having a weight average molecular weight of 5,000 to 80,000 and an acid value of 50 to 300 mgKOH / g ) (Hereinafter sometimes abbreviated as “medium molecular weight carboxyl group-containing polymer (A2)”) is preferably used.
カルボキシル基含有(メタ)アクリル系ポリマーは、後述の熱架橋剤との併用により、三次元架橋硬化体を形成することができるため、より優れた耐熱性、耐溶剤性を付与することができる。そして、カルボキシル基含有(メタ)アクリル系ポリマーとして、高分子量のカルボキシル基含有ポリマー(A1)は、成形性に優れ、可撓性を付与することができる。一方、高分子量のカルボキシル基含有ポリマー(A1)だけでは、他の成分との相溶性が得難く、現像性が悪くなる傾向にあるが、中分子量のカルボキシル基含有ポリマー(A2)と併用することにより、回路基板への追従性、現像性を付与できることとなり好ましい。 Since the carboxyl group-containing (meth) acrylic polymer can form a three-dimensional cross-linked cured body when used in combination with a thermal cross-linking agent described later, more excellent heat resistance and solvent resistance can be imparted. And as a carboxyl group containing (meth) acrylic-type polymer, a high molecular weight carboxyl group containing polymer (A1) is excellent in a moldability, and can provide flexibility. On the other hand, high molecular weight carboxyl group-containing polymer (A1) alone is difficult to obtain compatibility with other components and tends to deteriorate developability, but should be used in combination with medium molecular weight carboxyl group-containing polymer (A2). Thus, it is possible to provide followability to the circuit board and developability.
高分子量のカルボキシル基含有ポリマー(A1)としては、例えば、(メタ)アクリル酸と(メタ)アクリル酸エステルの共重合体があげられ、より好ましくは(メタ)アクリル酸と(メタ)アクリル酸エステルとスチレンとの共重合体である。これらの共重合体のうち、ホモポリマーの場合にガラス転移温度(Tg)20℃以下となる(メタ)アクリル酸エステルと、メチルメタクリレートと、メタクリル酸を含んだ共重合体が好ましく、さらには、これらの共重合成分とスチレンを含んだ共重合成分を共重合してなる共重合体が特に好ましい。ホモポリマーの場合にガラス転移温度(Tg)20℃以下となる(メタ)アクリル酸エステル単位を含有させることにより可撓性、導体回路への追随性を付与することができ、メチルメタクリレート単位を含有させることにより、透明性、現像性を付与することができる。 Examples of the high molecular weight carboxyl group-containing polymer (A1) include a copolymer of (meth) acrylic acid and (meth) acrylic acid ester, more preferably (meth) acrylic acid and (meth) acrylic acid ester. And a copolymer of styrene. Among these copolymers, in the case of a homopolymer, a copolymer containing (meth) acrylic acid ester, methyl methacrylate, and methacrylic acid having a glass transition temperature (Tg) of 20 ° C. or lower is preferable. A copolymer obtained by copolymerizing these copolymer components and a copolymer component containing styrene is particularly preferable. In the case of a homopolymer, by adding a (meth) acrylate unit having a glass transition temperature (Tg) of 20 ° C. or less, flexibility and followability to a conductor circuit can be imparted, and a methyl methacrylate unit is contained. Therefore, transparency and developability can be imparted.
本発明に用いられる(メタ)アクリル酸エステルとしては、例えば、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、プロピル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、ヘキシル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート等のアルキル基の炭素数が1〜20、好ましくは1〜10の脂肪族(メタ)アクリレート;ベンジル(メタ)アクリレート等の芳香族(メタ)アクリレート;ジメチルアミノエチル(メタ)アクリレート等のアミノ基含有(メタ)アクリレート;ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート等の水酸基含有(メタ)アクリレート;グリシジル(メタ)アクリレート等のエポキシ基含有(メタ)アクリレート等が挙げられ、これらは単独で又は2種以上併せて用いることができる。 Examples of the (meth) acrylic acid ester used in the present invention include methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, propyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, hexyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl ( Aliphatic (meth) acrylates having 1 to 20, preferably 1 to 10 carbon atoms of alkyl groups such as meth) acrylate and cyclohexyl (meth) acrylate; aromatic (meth) acrylates such as benzyl (meth) acrylate; dimethylamino Amino group-containing (meth) acrylates such as ethyl (meth) acrylate; hydroxyl-containing (meth) acrylates such as hydroxyethyl (meth) acrylate and hydroxypropyl (meth) acrylate; epoxy groups containing glycidyl (meth) acrylate (meta Acrylate, and the like. These may be used in combination either alone or in combination.
上記(メタ)アクリル酸エステルのうち、ホモポリマーの場合にガラス転移温度(Tg)20℃以下となる(メタ)アクリル酸エステルとしては、メチルアクリレート、エチルアクリレート、n−ブチル(メタ)アクリレート、i−ブチルアクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレート、ヒドロキシエチルアクリレート、ヒドロキシプロピルアクリレート等があげられる。 Among the above (meth) acrylic acid esters, (meth) acrylic acid esters having a glass transition temperature (Tg) of 20 ° C. or lower in the case of homopolymers include methyl acrylate, ethyl acrylate, n-butyl (meth) acrylate, i -Butyl acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, lauryl (meth) acrylate, hydroxyethyl acrylate, hydroxypropyl acrylate and the like.
高分子量のカルボキシル基含有ポリマー(A1)の重量平均分子量(Mw)は、好ましくは100,000〜250,000であり、より好ましくは120,000〜200,000である。重量平均分子量(Mw)が小さすぎると可撓性に劣る傾向がみられ、大きすぎると現像性が低下して解像度の低下を招いたり、現像後に残渣が出やすくなる傾向がみられるからである。 The weight average molecular weight (Mw) of the high molecular weight carboxyl group-containing polymer (A1) is preferably 100,000 to 250,000, more preferably 120,000 to 200,000. If the weight average molecular weight (Mw) is too small, flexibility tends to be inferior, while if it is too large, developability tends to decrease and resolution tends to decrease, or residues tend to appear after development. .
また、高分子量のカルボキシル基含有ポリマー(A1)の酸価は、好ましくは50〜250mgKOH/gであり、より好ましくは120〜240mgKOH/gである。酸価が低すぎるとレジスト現像性が不充分となる傾向がみられ、高すぎるとレジストパターンの細線密着性が悪くなる傾向がみられるからである。 The acid value of the high molecular weight carboxyl group-containing polymer (A1) is preferably 50 to 250 mgKOH / g, and more preferably 120 to 240 mgKOH / g. This is because if the acid value is too low, the resist developability tends to be insufficient, and if it is too high, the fine line adhesion of the resist pattern tends to be poor.
中分子量のカルボキシル基含有ポリマー(A2)としては、例えば、(メタ)アクリル酸と(メタ)アクリル酸エステルの共重合体、スチレンと(メタ)アクリル酸と(メタ)アクリル酸エステルの共重合体、スチレンと(メタ)アクリル酸の共重合体等があげられるが、中でもスチレンと(メタ)アクリル酸と(メタ)アクリル酸エステルの共重合体、スチレンと(メタ)アクリル酸の共重合体が好適に用いられる。 As the medium molecular weight carboxyl group-containing polymer (A2), for example, a copolymer of (meth) acrylic acid and (meth) acrylic acid ester, a copolymer of styrene, (meth) acrylic acid and (meth) acrylic acid ester , A copolymer of styrene and (meth) acrylic acid, and the like. Among them, a copolymer of styrene, (meth) acrylic acid and (meth) acrylic acid ester, and a copolymer of styrene and (meth) acrylic acid. Preferably used.
中分子量のカルボキシル基含有ポリマー(A2)を構成する(メタ)アクリル酸エステルとしては、高分子量のカルボキシル基含有ポリマー(A1)を構成するモノマーと同様のモノマー、すなわちメチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、プロピル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、ヘキシル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート等のアルキル基の炭素数が1〜20、好ましくは1〜10の脂肪族(メタ)アクリレート;ベンジル(メタ)アクリレート等の芳香族(メタ)アクリレート;ジメチルアミノエチル(メタ)アクリレート等のアミノ基含有(メタ)アクリレート;ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート等の水酸基含有(メタ)アクリレート;グリシジル(メタ)アクリレート等を、単独で又は2種以上併せて用いることができる。 As the (meth) acrylic acid ester constituting the medium molecular weight carboxyl group-containing polymer (A2), monomers similar to those constituting the high molecular weight carboxyl group-containing polymer (A1), that is, methyl (meth) acrylate, ethyl ( The alkyl group such as (meth) acrylate, propyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, hexyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate and cyclohexyl (meth) acrylate has 1 to 20 carbon atoms, preferably 1 Aliphatic (meth) acrylate of -10; aromatic (meth) acrylate such as benzyl (meth) acrylate; amino group-containing (meth) acrylate such as dimethylaminoethyl (meth) acrylate; hydroxyethyl (meth) acrylate, hydroxyp Pill (meth) hydroxyl group-containing acrylates such as (meth) acrylate; glycidyl (meth) acrylate, can be used in conjunction alone or.
中分子量のカルボキシル基含有ポリマー(A2)の重量平均分子量(Mw)は、好ましくは5,000〜80,000であり、より好ましくは10,000〜70,000である。重量平均分子量(Mw)が小さすぎると可撓性に劣る傾向がみられ、大きすぎると導体回路への追従性が劣ったり、前記高分子量のカルボキシル基含有ポリマー(A1)との相溶性に劣り、レジストパターンの平滑性が劣る傾向がみられたり、導体回路へ埋め込み後の表面平滑性に劣る傾向がみられるからである。 The weight average molecular weight (Mw) of the medium molecular weight carboxyl group-containing polymer (A2) is preferably 5,000 to 80,000, more preferably 10,000 to 70,000. If the weight average molecular weight (Mw) is too small, the flexibility tends to be inferior. If it is too large, the followability to the conductor circuit is poor, or the compatibility with the high molecular weight carboxyl group-containing polymer (A1) is poor. This is because the smoothness of the resist pattern tends to be inferior, or the surface smoothness after embedding in the conductor circuit tends to be inferior.
中分子量のカルボキシル基含有ポリマー(A2)の酸価は、好ましくは50〜300mgKOH/gであり、より好ましくは酸価120〜280mgKOH/gである。酸価が低すぎるとレジスト現像性に劣る傾向がみられ、高すぎると高分子量のカルボキシル基含有ポリマー(A1)との相溶性が悪くなり、レジストパターンの平滑性が劣る傾向や、基材との密着性に劣る傾向がみられるからである。 The acid value of the medium molecular weight carboxyl group-containing polymer (A2) is preferably 50 to 300 mgKOH / g, more preferably 120 to 280 mgKOH / g. If the acid value is too low, the resist developability tends to be inferior, and if it is too high, the compatibility with the high molecular weight carboxyl group-containing polymer (A1) becomes poor, and the smoothness of the resist pattern tends to be inferior. This is because there is a tendency to have poor adhesion.
高分子量のカルボキシル基含有ポリマー(A1)と中分子量のカルボキシル基含有ポリマー(A2)との併用割合は、重量比で、(A1)/(A2)=20/80〜75/25の範囲に設定することが好ましく、より好ましくは(A1)/(A2)=30/70〜65/35の範囲であり、さらに好ましくは(A1)/(A2)=40/60〜60/40、特に好ましくは50/50〜60/40の範囲である。かかる併用割合の範囲から外れる場合は、耐薬品性に劣ったり、導体回路への追従性に劣る傾向がある。 The combined ratio of the high molecular weight carboxyl group-containing polymer (A1) and the medium molecular weight carboxyl group-containing polymer (A2) is set in the range of (A1) / (A2) = 20/80 to 75/25 in weight ratio. More preferably, it is in the range of (A1) / (A2) = 30/70 to 65/35, more preferably (A1) / (A2) = 40/60 to 60/40, particularly preferably It is in the range of 50/50 to 60/40. When it is out of the range of the combined use ratio, it tends to be inferior in chemical resistance or in conformity to the conductor circuit.
ベースポリマー(A)として、高分子量のカルボキシル基含有ポリマー(A1)と中分子量のカルボキシル基含有ポリマー(A2)の混合ポリマーを用いる場合、各ポリマーは1種類に限定されず、2種以上の高分子量のカルボキシル基含有ポリマー(A1)と2種以上の中分子量のカルボキシル基含有ポリマー(A2)との組み合わせであっても構わない。また、ポリマー成分(A)としては、上記の高分子量のカルボキシル基含有ポリマー(A1)と中分子量のカルボキシル基含有ポリマー(A2)のブレンドのみに限られることなく、膜形成可能なポリマー、例えば、重量平均分子量50,000〜250,000程度のカルボキシル基含有(メタ)アクリル系ポリマーを用いてもよい。 When a mixed polymer of a high molecular weight carboxyl group-containing polymer (A1) and a medium molecular weight carboxyl group-containing polymer (A2) is used as the base polymer (A), each polymer is not limited to one type, but two or more types of high polymers A combination of a molecular weight carboxyl group-containing polymer (A1) and two or more kinds of medium molecular weight carboxyl group-containing polymers (A2) may be used. The polymer component (A) is not limited to a blend of the high molecular weight carboxyl group-containing polymer (A1) and the medium molecular weight carboxyl group-containing polymer (A2). A carboxyl group-containing (meth) acrylic polymer having a weight average molecular weight of about 50,000 to 250,000 may be used.
ベースポリマー(A)の含有量は、溶剤を除く感光性樹脂組成物全体の15〜45重量%の範囲に設定することが好ましく、より好ましくは導体回路への追従性の点から20〜40重量%である。含有量が少なすぎると、導体回路間への感光性樹脂組成物の埋め込み性は良好になる傾向があるが、相対的に光重合させるエチレン性不飽和結合含有化合物(B)の含有率を高くせざるを得ず、感光性樹脂組成物をドライフィルムとして用いた場合、感光性樹脂層のべたつきが大きくなる傾向がある。このことは、導体回路へのラミネート時に空気が入り易くなる傾向にあり、感光性樹脂積層体をロール状で保管する際に皺がつき易い傾向にあり、また、端面から感光性樹脂組成物層が滲み出し易い等の理由から保管に不便であったり、スルーホールをテンティングするための充分な強度を確保できずに破れてしまう傾向がある。
また、液状レジストとして用いる場合であっても、レジストが柔らか過ぎて、塗工時にレジストが流れてしまい、配線上に絶縁層の厚さを充分に形成することが困難となる傾向がある。さらに、ドライフィルム、液状レジストいかんにかかわらず、半田耐熱性、耐溶剤性、耐アルカリ性等が低下する等の傾向がみられる。
The content of the base polymer (A) is preferably set in the range of 15 to 45% by weight of the entire photosensitive resin composition excluding the solvent, and more preferably 20 to 40% from the viewpoint of followability to the conductor circuit. %. If the content is too small, the embedding property of the photosensitive resin composition between the conductor circuits tends to be good, but the content of the ethylenically unsaturated bond-containing compound (B) to be relatively photopolymerized is increased. When the photosensitive resin composition is used as a dry film, the stickiness of the photosensitive resin layer tends to increase. This is because air tends to enter easily when laminating to a conductor circuit, and it tends to be wrinkled when the photosensitive resin laminate is stored in a roll shape, and the photosensitive resin composition layer from the end face. Tends to ooze out, which is inconvenient for storage, and tends to be broken without securing sufficient strength for tenting the through hole.
Even when the resist is used as a liquid resist, the resist is too soft and the resist flows during coating, and it tends to be difficult to sufficiently form the insulating layer on the wiring. Furthermore, regardless of whether it is a dry film or a liquid resist, there is a tendency that solder heat resistance, solvent resistance, alkali resistance, etc. are reduced.
逆に、ベースポリマー(A)の含有量が多くなり、相対的にエチレン性不飽和結合含有化合物(B)の含有率が少なくなると、べたつきは解消できるが、基板と感光性樹脂組成物との間に空隙が形成され易くなり、充分な絶縁性を確保することが困難となったり、この空隙が原因となって、感光性樹脂層が基材から剥がれ易くなったりする傾向がみられる。また、現像性、可撓性に劣る傾向にある。 Conversely, when the content of the base polymer (A) is increased and the content of the ethylenically unsaturated bond-containing compound (B) is relatively decreased, the stickiness can be eliminated, but the substrate and the photosensitive resin composition There is a tendency that voids are easily formed between them, making it difficult to ensure sufficient insulation, or that the photosensitive resin layer is easily peeled off from the substrate due to the voids. Further, it tends to be inferior in developability and flexibility.
前記エチレン性不飽和結合含有化合物(B)は、分子内にリンを含有している化合物、すなわちリン含有エチレン性不飽和化合物(B1)を含む。リン含有エチレン性不飽和化合物(B1)としては、好ましくは多価カルボン酸、多価アルコール、及びエステル形成性官能基を有するリン化合物を重縮合してなるポリエステルオリゴマー(a)と、水酸基及び/又はカルボキシル基を有するエチレン性不飽和化合物(b)との反応生成物が用いられる。 The ethylenically unsaturated bond-containing compound (B) includes a compound containing phosphorus in the molecule, that is, a phosphorus-containing ethylenically unsaturated compound (B1). The phosphorus-containing ethylenically unsaturated compound (B1) is preferably a polyester oligomer (a) obtained by polycondensation of a polyvalent carboxylic acid, a polyhydric alcohol, and a phosphorus compound having an ester-forming functional group; Alternatively, a reaction product with an ethylenically unsaturated compound (b) having a carboxyl group is used.
前記多価カルボン酸としては、特に限定されないが、例えば、炭素数2〜10のアルキル又はアリール基に2個以上のカルボキシル基が結合してなる多価カルボン酸が用いられ、アルキル基は直鎖型でも分岐型でもよい。具体的には、シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、テレフタル酸、セバシン酸、デカンジカルボン酸、フマール酸、マレイン酸、イタコン酸、テトラヒドロフタル酸、テトラクロルフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、イソフタル酸、オルトフタル酸、1,5−ナフタレンジカルボン酸、2,6−ナフタレンジカルボン酸等のジカルボン酸;トリメシン酸、ヘミメリット酸、トリメリット酸、ピロメリット酸、1,2,4−ブタントリカルボン酸、1,2,5−ヘキサトリカルボン酸等のトリカルボン酸などが挙げられる。 Although it does not specifically limit as said polyvalent carboxylic acid, For example, the polyvalent carboxylic acid which two or more carboxyl groups couple | bond with the C2-C10 alkyl or aryl group is used, and an alkyl group is linear. Type or branch type. Specifically, oxalic acid, malonic acid, succinic acid, glutaric acid, adipic acid, pimelic acid, suberic acid, azelaic acid, terephthalic acid, sebacic acid, decanedicarboxylic acid, fumaric acid, maleic acid, itaconic acid, tetrahydrophthalic acid Dicarboxylic acids such as acid, tetrachlorophthalic acid, hexahydrophthalic acid, isophthalic acid, orthophthalic acid, 1,5-naphthalenedicarboxylic acid, 2,6-naphthalenedicarboxylic acid; trimesic acid, hemimellitic acid, trimellitic acid, pyro Examples include melicic acid, tricarboxylic acid such as 1,2,4-butanetricarboxylic acid, and 1,2,5-hexatricarboxylic acid.
前記多価アルコールとしては、特に限定されないが、例えば、炭素数2〜10のアルキル基又はアリール基に水酸基が2個以上結合してなるポリオールが用いられ、アルキル基は直鎖型でも分岐型でもよい。具体的には、1,2−エタンジオール、1,2−プロパンジオール、1,3−プロパンジオール、1,4−ブタンジオール、1,6−ヘキサンジオール、ピナコール、1,8−オクタンジオール、1,9−ノナンジオール、1,10−デカンジオール、ネオペンチルグリコール、2−メチル−1,3−プロパンジオール、2−メチル−2−プロピル−1,3−プロパンジオール、2−ブチル−2−エチル−1,3−プロパンジオール、3−メチル−1,5−ペンタンジオール、2−メチル−2,4−ペンタンジオール、2,4−ジエチル−1,5−ペンタンジオール、1,3,5−トリメチル−1,3−ペンタンジオール、2−メチル−1,6−ヘキサンジオール等のジオール;グリセリン、トリメチロールエタン、トリメチロールプロパン、グリセリン、ペンタエリスリトール、1,2,4−ブタントリオール、1,2,5−ペンタントリオール、1,2,6−ヘキサントリオール等のトリオールなどが用いられる。 Although it does not specifically limit as said polyhydric alcohol, For example, the polyol which couple | bonds two or more hydroxyl groups with a C2-C10 alkyl group or an aryl group is used, and an alkyl group is linear or branched type. Good. Specifically, 1,2-ethanediol, 1,2-propanediol, 1,3-propanediol, 1,4-butanediol, 1,6-hexanediol, pinacol, 1,8-octanediol, 1 , 9-nonanediol, 1,10-decanediol, neopentyl glycol, 2-methyl-1,3-propanediol, 2-methyl-2-propyl-1,3-propanediol, 2-butyl-2-ethyl -1,3-propanediol, 3-methyl-1,5-pentanediol, 2-methyl-2,4-pentanediol, 2,4-diethyl-1,5-pentanediol, 1,3,5-trimethyl Diols such as -1,3-pentanediol and 2-methyl-1,6-hexanediol; glycerin, trimethylolethane, trimethylolpropane Glycerol, pentaerythritol, 1,2,4-butanetriol, 1,2,5-pentane triol, such triol such as 1,2,6-hexanetriol is used.
前記エステル形成性官能基を有するリン化合物は、エステルを形成できる水酸基、カルボキシル基、又はエステル交換反応可能なエステル原子団を有し、且つリン原子を有する化合物で、具体的には、下記一般式(1)で表されるホスフィンオキシド、一般式(2)で表されるホスフィン酸エステル、一般式(3)で表されるホスホン酸エステルが挙げられる。 The phosphorus compound having an ester-forming functional group is a compound having a hydroxyl group capable of forming an ester, a carboxyl group, or an ester atomic group capable of transesterification, and having a phosphorus atom. The phosphine oxide represented by (1), the phosphinic acid ester represented by General formula (2), and the phosphonic acid ester represented by General formula (3) are mentioned.
一般式(1)〜(3)中、R1、R2、R3、R4は、それぞれ互いに独立して、炭素数1〜20の炭化水素基であり、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基等のアルキル基;フェニル基、トシル基等のアリール基などである。また、(1)式において、R1とR2が結合により環を形成していていもよく、(2)式において、R1とR3が環を形成していてもよく、(3)式において、R3とR4が互いに環を形成していてもよい。式中、Aは、下記一般式(4)で表されるエステル形成性官能有機基である。 In the general formulas (1) to (3), R 1 , R 2 , R 3 and R 4 are each independently a hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, such as a methyl group, an ethyl group, An alkyl group such as a propyl group; an aryl group such as a phenyl group and a tosyl group; In the formula (1), R 1 and R 2 may form a ring by bonding. In the formula (2), R 1 and R 3 may form a ring, and the formula (3) , R 3 and R 4 may form a ring with each other. In the formula, A is an ester-forming functional organic group represented by the following general formula (4).
一般式(4)中、R5はエステル形成官能基であり、具体的には、例えば、水酸基、カルボキシル基、又はエステル原子団である。Xは、3価の有機基であり、例えば、R5をカルボキシル基とする2−メチルプロパン二酸残基、テレフタル酸残基等のジカルボン酸残基であったり、R5を水酸基とするメチルプロパンジオール残基、ハイドロキノン残基やビス(ヒドロキシメチル)フェニルエーテル残基等のジオール残基などが挙げられる。 In General Formula (4), R 5 is an ester-forming functional group, and specifically, for example, a hydroxyl group, a carboxyl group, or an ester atomic group. X is a trivalent organic group, for example, a dicarboxylic acid residue such as 2-methylpropanedioic acid residue or terephthalic acid residue having R 5 as a carboxyl group, or methyl having R 5 as a hydroxyl group. Examples thereof include diol residues such as propanediol residue, hydroquinone residue and bis (hydroxymethyl) phenyl ether residue.
このようなエステル形成性官能基を有するリン化合物としては、例えば、下記(5)〜(8)式で示されるようなものが挙げられる。
以上のような多価カルボン酸、多価アルコール、及びエステル形成性官能基を有するリン化合物を、エステル形成に好適なモル比率で混合して重縮合することにより、末端が水酸基又はカルボキシル基又はエステル交換反応可能なエステル原子団となったポリエステルオリゴマー(a)が得られる。 By mixing the polyhydric carboxylic acid, polyhydric alcohol, and phosphorus compound having an ester-forming functional group at a molar ratio suitable for ester formation and polycondensing, the terminal is a hydroxyl group, a carboxyl group or an ester. A polyester oligomer (a) having ester atom groups capable of exchange reaction is obtained.
水酸基及び/又はカルボキシル基を有するエチレン性不飽和化合物(b)としては、例えばアリルアルコール、クロチルアルコール、オレイルアルコール等の不飽和アルコール、あるいはアクリル酸、メタクリル酸、ビニル酢酸、クロトン酸等の不飽和カルボン酸が用いられるが、好ましくは炭素数3〜10、更には4〜8の不飽和モノカルボン酸又は不飽和モノアルコールが好適に用いられる。 Examples of the ethylenically unsaturated compound (b) having a hydroxyl group and / or a carboxyl group include unsaturated alcohols such as allyl alcohol, crotyl alcohol, and oleyl alcohol, and unsaturated acids such as acrylic acid, methacrylic acid, vinyl acetic acid, and crotonic acid. Although saturated carboxylic acid is used, Preferably it is C3-C10, Furthermore, the C4-C8 unsaturated monocarboxylic acid or unsaturated monoalcohol is used suitably.
本発明で用いられるリン含有エチレン性不飽和化合物(B1)は、上記ポリエステルオリゴマー(a)とエチレン性不飽和化合物(b)との反応生成物であり、好ましくは1分子当たりリン原子を1〜5個、特には1〜3個有するポリエステルオリゴマーで、末端にエチレン性不飽和結合を有する化合物である。ポリエステルオリゴマー(a)の原料としてトリカルボン酸、トリオール等の3価以上の多価カルボン酸又はポリオールを用いた場合、遊離のカルボキシル基及び/又は水酸基を含有している場合もある。 The phosphorus-containing ethylenically unsaturated compound (B1) used in the present invention is a reaction product of the polyester oligomer (a) and the ethylenically unsaturated compound (b), preferably 1 to 1 phosphorus atom per molecule. It is a polyester oligomer having 5, especially 1 to 3, and having a terminal ethylenically unsaturated bond. When a trivalent or higher polyvalent carboxylic acid or polyol such as tricarboxylic acid or triol is used as a raw material for the polyester oligomer (a), it may contain a free carboxyl group and / or hydroxyl group.
このようなリン含有エチレン性不飽和化合物(B1)の数平均分子量は800〜2000、特には1000〜1500であることが好ましく、さらに当該化合物中におけるリン原子の含有率は、1〜10重量%、特には3〜8重量%であることが好ましい。かかる数平均分子量が小さすぎると表面タックが大きくなる傾向があり、大きすぎると現像性、回路への追従性に劣る傾向がある。また、リン原子の含有率が小さすぎると難燃性に劣る傾向があり、大きすぎるとリン含有エチレン性不飽和化合物(B1)自体が不安定となる傾向がある。 The number average molecular weight of such phosphorus-containing ethylenically unsaturated compound (B1) is preferably 800 to 2000, particularly 1000 to 1500, and the phosphorus atom content in the compound is 1 to 10% by weight. In particular, the content is preferably 3 to 8% by weight. If the number average molecular weight is too small, the surface tack tends to be large, and if it is too large, the developability and the circuit following property tend to be poor. Moreover, when the content rate of a phosphorus atom is too small, there exists a tendency for it to be inferior in a flame retardance, and when too large, there exists a tendency for phosphorus containing ethylenically unsaturated compound (B1) itself to become unstable.
具体的には、コハク酸、アジピン酸等の炭素数4〜6のジカルボン酸と、1,6−ヘキサンジオール等の炭素数3〜6のジオールと、上記一般式(6)に示すようなホスフィンオキシド又は一般式(7)に示すようなホスフィン酸エステルを重縮合して得られた、エステル結合単位が5〜20個を含有しているポリエステルオリゴマーの末端にエチレン性不飽和結合を有するリン含有エチレン性不飽和化合物がより好ましく用いられる。このようなリン含有エチレン性不飽和化合物としては、例えば、ダイセルサイテック社のRaylock(商品名)などが挙げられる。 Specifically, dicarboxylic acids having 4 to 6 carbon atoms such as succinic acid and adipic acid, diols having 3 to 6 carbon atoms such as 1,6-hexanediol, and phosphine as shown in the general formula (6). Phosphorus containing an ethylenically unsaturated bond at the terminal of a polyester oligomer containing 5 to 20 ester bond units obtained by polycondensation of phosphinic acid ester as shown in oxide or general formula (7) An ethylenically unsaturated compound is more preferably used. Examples of such phosphorus-containing ethylenically unsaturated compounds include Raylock (trade name) manufactured by Daicel Cytec.
このようなリン含有エチレン性不飽和化合物(B1)は、組成物の状態においてべたつきが少なく、べたつき解消のための無機フィラーを組成物に添加しなくても、レジストドライフィルムとして、真空ラミネート性を充足することができる。また、このようなリン含有エチレン性不飽和化合物(B1)は、光重合によりリン原子が取り込まれたポリマーを生成することができるので、従来より添加されていた難燃剤等の無機フィラーを含有させなくても難燃性を充足させることができる。従って、HDDサスペンジョン用回路基板に用いられるレジストとして、ソルダーレジストに要求される特性、すなわち可撓性、絶縁性に加えて、超音波洗浄にも耐えられる清浄性に優れたソルダーレジストの提供を可能にする。 Such a phosphorus-containing ethylenically unsaturated compound (B1) has little stickiness in the composition state, and can be vacuum laminated as a resist dry film without adding an inorganic filler for eliminating stickiness to the composition. Can be satisfied. Moreover, since such a phosphorus containing ethylenically unsaturated compound (B1) can produce | generate the polymer in which the phosphorus atom was taken in by photopolymerization, it is made to contain inorganic fillers, such as a flame retardant added conventionally. Even if not, flame retardancy can be satisfied. Therefore, it is possible to provide solder resists with excellent cleanliness that can withstand ultrasonic cleaning in addition to the characteristics required for solder resists, that is, flexibility and insulation, as resists used for HDD suspension circuit boards. To.
リン含有エチレン性不飽和化合物(B1)は、溶剤を除く感光性樹脂組成物全重量に対する含有率が5〜50重量%となる範囲で含有することが好ましく、より好ましくは15〜45重量%、更には20〜40重量%が好ましい。含有量が少なすぎると樹脂組成物の粘着性低減効果が得られない傾向があり、含有量が多すぎるとベースポリマー含有率が相対的に少なくなるため、リン含有エチレン性不飽和化合物(B1)の添加によるべたつき低減効果だけでは、ドライフィルムとしたときの真空ラミネート性を充足させられない傾向がある。 The phosphorus-containing ethylenically unsaturated compound (B1) is preferably contained within a range of 5 to 50% by weight, more preferably 15 to 45% by weight, based on the total weight of the photosensitive resin composition excluding the solvent. Furthermore, 20 to 40 weight% is preferable. If the content is too small, there is a tendency that the effect of reducing the tackiness of the resin composition cannot be obtained. If the content is too large, the content of the base polymer is relatively reduced, so that the phosphorus-containing ethylenically unsaturated compound (B1) There is a tendency that the vacuum laminating property when a dry film is formed cannot be satisfied only by the stickiness reducing effect due to the addition of.
また、リン含有エチレン性不飽和化合物(B1)は、エチレン性不飽和結合含有化合物(B)に対する含有量が10〜70重量%となる範囲で含有することが好ましく、より好ましくは20〜60重量%、更には30〜50重量%が好ましい。含有量が少なすぎると表面タック低減の効果が得られない傾向があり、含有量が多すぎると耐薬品性、半田耐熱性に劣る傾向がある。 Further, the phosphorus-containing ethylenically unsaturated compound (B1) is preferably contained in a range where the content with respect to the ethylenically unsaturated bond-containing compound (B) is 10 to 70% by weight, more preferably 20 to 60% by weight. %, More preferably 30 to 50% by weight. If the content is too small, the effect of reducing the surface tack tends to be not obtained, and if the content is too large, the chemical resistance and the solder heat resistance tend to be inferior.
光重合可能なエチレン性不飽和結合含有化合物(B)としては、上記リン含有エチレン性不飽和化合物(B1)の他に、1分子中に水酸基を2個以上含有するエポキシ(メタ)アクリレート系化合物(B2)(以下、「エポキシ(メタ)アクリレート系モノマー(B2)」と略記することがある)を含有することが好ましい。エチレン性不飽和結合含有化合物(B)として、エポキシ(メタ)アクリレート系モノマー(B2)を併用することにより、ベースポリマー中のカルボキシル基、あるいは後述の熱架橋剤と加熱処理により反応して結合を形成することができる。これにより、架橋密度を上げることができ、より優れた耐熱性、耐溶剤性を付与することができる。 As the photopolymerizable ethylenically unsaturated bond-containing compound (B), in addition to the phosphorus-containing ethylenically unsaturated compound (B1), an epoxy (meth) acrylate compound containing two or more hydroxyl groups in one molecule It is preferable to contain (B2) (hereinafter sometimes abbreviated as “epoxy (meth) acrylate monomer (B2)”). By combining the epoxy (meth) acrylate monomer (B2) as the ethylenically unsaturated bond-containing compound (B), it reacts with a carboxyl group in the base polymer or a thermal crosslinking agent described later by heat treatment to form a bond. Can be formed. Thereby, a crosslinking density can be raised and more excellent heat resistance and solvent resistance can be provided.
エポキシ(メタ)アクリレート系モノマー(B2)としては、耐熱性の点から、ビスフェノールA変性タイプのエポキシ(メタ)アクリレートが好ましく用いられる。このような、ビスフェノールA変性タイプのエポキシ(メタ)アクリレートとしては、具体的には、ダイセルサイテック社製の「Ebecryl」シリーズの600系統である645,648や3412,3500、3700系統の3701等、新中村化学工業社製のEA−1020、1025、1026、1028等が挙げられる。これらの化合物は、単独でもしくは2種以上併せて用いられる。 As the epoxy (meth) acrylate monomer (B2), bisphenol A-modified epoxy (meth) acrylate is preferably used from the viewpoint of heat resistance. As such a bisphenol A-modified type epoxy (meth) acrylate, specifically, “Ebecryl” series 600 series made by Daicel Cytec Co., Ltd., 645,648, 3412,3500, 3700 series 3701, etc. Examples include EA-1020, 1025, 1026, 1028 manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd. These compounds are used alone or in combination of two or more.
エチレン性不飽和結合含有化合物(B)としては、リン含有エチレン性不飽和化合物(B1)、エポキシ(メタ)アクリレート系モノマー(B2)以外に、さらに他のエチレン性不飽和基を有する(メタ)アクリル系モノマーを用いてもよい。他のアクリル系モノマーとしては、特に限定するものではないが、耐熱性および耐溶剤性、耐薬品性を考慮すると、2官能以上の多官能の化合物を用いることが好ましい。具体的には、ウレタン(メタ)アクリレート系化合物、トリメチロールプロパントリプロポキシトリ(メタ)アクリレート、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、テトラエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ブチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサングリコールジ(メタ)アクリレート、グリセリンジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、エチレングリコールジグリシジルエーテルジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジグリシジルエーテルジ(メタ)アクリレート、フタル酸ジグリシジルエステルジ(メタ)アクリレート、ヒドロキシピバリン酸変性ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサメチルジグリシジルエーテルジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、グリセリンポリグリシジルエーテルポリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、2,2'−ビス(4−(メタ)アクリロキシジエトキシフェニル)プロパン、2,2'−ビス(4−(メタ)アクリロキシペンタエトキシフェニル)プロパン、2,2'−ビス(4−(メタ)アクリロキシポリエトキシフェニル)プロパン、2−ヒドロキシ−3−(メタ)アクリロイルオキシプロピルアクリレート、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテルトリ(メタ)アクリレート等の多官能モノマーがあげられる。また、上記多官能モノマーとともに単官能モノマーを適当量併用することもでき、このような単官能モノマーとしては、例えば、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、2−フェノキシ−2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2−(メタ)アクリロイルオキシ−2−ヒドロキシプロピルフタレート、3−クロロ−2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、グリセリンモノ(メタ)アクリレート、2−(メタ)アクリロイルオキシエチルアシッドホスフェート、フタル酸誘導体のハーフ(メタ)アクリレート、N−メチロール(メタ)アクリルアミド等があげられる。これらは単独でもしくは2種以上併せて用いられる。 In addition to the phosphorus-containing ethylenically unsaturated compound (B1) and the epoxy (meth) acrylate monomer (B2), the ethylenically unsaturated bond-containing compound (B) further has another ethylenically unsaturated group (meth). An acrylic monomer may be used. The other acrylic monomer is not particularly limited, but it is preferable to use a bifunctional or higher polyfunctional compound in consideration of heat resistance, solvent resistance, and chemical resistance. Specifically, urethane (meth) acrylate compounds, trimethylolpropane tripropoxy tri (meth) acrylate, ethylene glycol di (meth) acrylate, diethylene glycol di (meth) acrylate, tetraethylene glycol di (meth) acrylate, polyethylene glycol Di (meth) acrylate, propylene glycol di (meth) acrylate, polypropylene glycol di (meth) acrylate, butylene glycol di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, 1,6-hexane glycol di (meth) acrylate Glycerin di (meth) acrylate, pentaerythritol di (meth) acrylate, ethylene glycol diglycidyl ether di (meth) acrylate, die Lenglycol diglycidyl ether di (meth) acrylate, diglycidyl phthalate di (meth) acrylate, hydroxypivalic acid modified neopentyl glycol di (meth) acrylate, trimethylolpropane di (meth) acrylate, 1,6-hexamethyl Diglycidyl ether di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, glycerin polyglycidyl ether poly (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) ) Acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, 2,2′-bis (4- (meth) acryloxydiethoxyphenyl) propane, 2,2 ′ -Bis (4- (meth) acryloxypentaethoxyphenyl) propane, 2,2'-bis (4- (meth) acryloxypolyethoxyphenyl) propane, 2-hydroxy-3- (meth) acryloyloxypropyl acrylate, Examples thereof include polyfunctional monomers such as trimethylolpropane triglycidyl ether tri (meth) acrylate. In addition, an appropriate amount of a monofunctional monomer can be used in combination with the polyfunctional monomer. Examples of such a monofunctional monomer include 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 2- Hydroxybutyl (meth) acrylate, 2-phenoxy-2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 2- (meth) acryloyloxy-2-hydroxypropyl phthalate, 3-chloro-2-hydroxypropyl (meth) acrylate, glycerin mono ( Examples include meth) acrylate, 2- (meth) acryloyloxyethyl acid phosphate, phthalic acid derivative half (meth) acrylate, and N-methylol (meth) acrylamide. These may be used alone or in combination of two or more.
上記エチレン性不飽和結合含有化合物(B)全体の含有量は、溶剤を除く感光性樹脂組成物全体の15〜75重量%であることが好ましく、より好ましくは25〜65重量%の範囲とする。感光性樹脂組成物全体に対するエチレン性不飽和結合含有化合物(B)の含有量が少なすぎると、解像度、感度、現像性に劣る傾向があり、また硬化後の架橋密度が十分でないために、半田耐熱性、耐溶剤性、耐薬品性に劣る傾向があり、多すぎると感光性樹脂組成物層のべたつきが大きくなり過ぎるため、特にドライフィルムとして使用する場合に、導体回路へのラミネート時に空気が入り易くなったり、ロール状で保管する際に皺がつき易くなる等、保管にも不便となる傾向がある。 The total content of the ethylenically unsaturated bond-containing compound (B) is preferably 15 to 75% by weight, more preferably 25 to 65% by weight, based on the entire photosensitive resin composition excluding the solvent. . If the content of the ethylenically unsaturated bond-containing compound (B) in the entire photosensitive resin composition is too small, the resolution, sensitivity, and developability tend to be inferior, and the crosslinking density after curing is not sufficient. Heat resistance, solvent resistance, and chemical resistance tend to be inferior, and if too much, the photosensitive resin composition layer becomes too sticky. It tends to be inconvenient for storage, such as being easy to enter, and being prone to wrinkling when stored in roll form.
上記ベースポリマー(A)およびエチレン性不飽和結合含有化合物(B)とともに用いられる光重合開始剤(C)としては、特に限定するものではなく従来公知のものが用いられる。例えば、ベンゾインエーテル、ベンジルケタール類、アセトフェノン類、ベンゾフェノン類、チオキサントン類(2−イソプロピルチオキサントン、2−エチルチオキサントン、2−メチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン等)、キノン類、2−メチル−1−〔4−(メチルチオ)フェニル〕−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−(ジメチルアミノ)−4−モルフォリノブチルフェノン、9−フェニルアクリジン等があげられる。これらは単独でもしくは2種以上併せて用いられる。これらのなかでも、2−メチル−1−〔4−(メチルチオ)フェニル〕−2−モルフォリノプロパン−1−オン、9−フェニルアクリジン、2,4−ジエチルチオキサントン、ベンジルジメチルケタール、2,4−ジエチルチオキサントンが好適であり、特には2−メチル−1−〔4−(メチルチオ)フェニル〕−2−モルフォリノプロパン−1−オンと9−フェニルアクリジンと2,4−ジエチルチオキサントンの併用、2−メチル−1−〔4−(メチルチオ)フェニル〕−2−モルフォリノプロパン−1−オンとベンジルジメチルケタールと2,4−ジエチルチオキサントンの併用が好ましい。 As a photoinitiator (C) used with the said base polymer (A) and an ethylenically unsaturated bond containing compound (B), it does not specifically limit and a conventionally well-known thing is used. For example, benzoin ether, benzyl ketals, acetophenones, benzophenones, thioxanthones (2-isopropylthioxanthone, 2-ethylthioxanthone, 2-methylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, etc.), quinones, 2-methyl-1 -[4- (Methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one, 2-benzyl-2- (dimethylamino) -4-morpholinobutylphenone, 9-phenylacridine and the like. These may be used alone or in combination of two or more. Among these, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one, 9-phenylacridine, 2,4-diethylthioxanthone, benzyldimethyl ketal, 2,4- Diethylthioxanthone is preferred, particularly 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one, 9-phenylacridine and 2,4-diethylthioxanthone, A combination of methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one, benzyldimethyl ketal and 2,4-diethylthioxanthone is preferred.
上記光重合開始剤(C)の含有量は、溶剤を除く感光性樹脂組成物全体の0.5〜15重量%とすることが好ましく、より好ましくは1〜10重量%である。少なすぎると感度が不充分となり上記エチレン性不飽和結合含有化合物(B)の充分な硬化が行われない傾向がみられ、逆に、多すぎると、解像性に劣る等の不良がみられる傾向がみられるからである。 It is preferable to make content of the said photoinitiator (C) into 0.5 to 15 weight% of the whole photosensitive resin composition except a solvent, More preferably, it is 1 to 10 weight%. If the amount is too small, the sensitivity becomes insufficient, and there is a tendency that the above-mentioned ethylenically unsaturated bond-containing compound (B) is not sufficiently cured. Conversely, if the amount is too large, defects such as poor resolution are observed. This is because there is a tendency.
本発明の感光性樹脂組成物は、さらに、耐薬品性、耐熱性を高めるために、熱架橋剤(D)を含有することが好ましく、熱架橋剤(D)としては、ベースポリマー(A)やエチレン性不飽和結合含有化合物(B)と相溶性のよい化合物を使用することが好ましく、具体的にはブロック化イソシアネート系化合物(D1)を含有することが好ましい。 The photosensitive resin composition of the present invention preferably further contains a thermal crosslinking agent (D) in order to enhance chemical resistance and heat resistance. As the thermal crosslinking agent (D), the base polymer (A) It is preferable to use a compound having good compatibility with the ethylenically unsaturated bond-containing compound (B), and specifically it is preferable to contain the blocked isocyanate compound (D1).
本発明に用いられるブロック化イソシアネート系化合物とは、イソシアネートプレポリマー分子内に活性基であるイソシアネート基が2つ以上存在し、それぞれをフェノールやオキシム等でマスクし安定化したもので、加熱によりフェノールやオキシム等が脱離して、イソシアネート基が露出し、ポリマー中の水酸基、カルボキシル基と反応し、三次元架橋構造を形成することができる。つまり、イソシアネート基の活性化により、熱架橋剤として作用することができるものである。このようなブロック化イソシアネート系化合物としては、旭化成ケミカルズ社製のデュラネート、三井武田ケミカル製のタケネート等を挙げることができる。 The blocked isocyanate compound used in the present invention is one in which two or more isocyanate groups which are active groups exist in the isocyanate prepolymer molecule, each of which is stabilized by masking with phenol, oxime, etc. Or an oxime can be eliminated to expose an isocyanate group and react with a hydroxyl group or a carboxyl group in the polymer to form a three-dimensional crosslinked structure. That is, it can act as a thermal crosslinking agent by activation of the isocyanate group. Examples of such blocked isocyanate compounds include Duranate manufactured by Asahi Kasei Chemicals, Takenate manufactured by Takeshi Mitsui Chemicals, and the like.
従って、ベースポリマー(A)としてカルボキシル基含有(メタ)アクリル系ポリマーを用いた場合には、加熱処理により、当該カルボキシル基含有(メタ)アクリル系ポリマーとブロック化イソシアネート系化合物(D1)とが反応して、三次元架橋構造を形成できることから、耐熱性、耐溶剤性に優れた硬化体が得られる。また、エチレン性不飽和結合含有化合物(B)の光重合により生成されたポリマー中に存在する反応性基、例えば、エポキシ(メタ)アクリレート系モノマー(B2)由来のエポキシ基や水酸基、リン含有エチレン性不飽和化合物(B1)が遊離の水酸基又はカルボキシル基を有していた場合には当該水酸基又はカルボキシル基と反応して、三次元架橋構造を形成できる。熱架橋剤(D)としては、上記のブロックイソシアネート系化合物(D1)の他にも、メラミン樹脂などが挙げられる。 Therefore, when a carboxyl group-containing (meth) acrylic polymer is used as the base polymer (A), the carboxyl group-containing (meth) acrylic polymer and the blocked isocyanate compound (D1) react by heat treatment. Thus, since a three-dimensional crosslinked structure can be formed, a cured product having excellent heat resistance and solvent resistance can be obtained. Moreover, the reactive group which exists in the polymer produced | generated by photopolymerization of the ethylenically unsaturated bond containing compound (B), for example, the epoxy group derived from an epoxy (meth) acrylate type monomer (B2), a hydroxyl group, phosphorus containing ethylene When the unsaturated compound (B1) has a free hydroxyl group or carboxyl group, it can react with the hydroxyl group or carboxyl group to form a three-dimensional crosslinked structure. Examples of the thermal crosslinking agent (D) include melamine resins in addition to the above-mentioned blocked isocyanate compound (D1).
熱架橋剤(D)の含有量は、ベースポリマー(A)の種類及び含有率、エチレン性不飽和結合含有化合物(B)の構造及びその含有率、さらに熱架橋剤(D)の種類により適宜決定されるが、ブロック化イソシアネート系化合物(D1)を用いた場合、その含有量は、溶剤を除く感光性樹脂組成物全体の1〜10重量%であることが好ましく、より好ましくは3〜7重量%である。かかる含有量が少なすぎると耐薬品性、耐熱向上がなくなる傾向があり、多すぎると可撓性に劣る傾向にある。 The content of the thermal crosslinking agent (D) is appropriately determined depending on the type and content of the base polymer (A), the structure and content of the ethylenically unsaturated bond-containing compound (B), and the type of the thermal crosslinking agent (D). Although it is determined, when the blocked isocyanate compound (D1) is used, its content is preferably 1 to 10% by weight of the entire photosensitive resin composition excluding the solvent, more preferably 3 to 7%. % By weight. When the content is too small, chemical resistance and heat resistance tend to be lost, and when the content is too large, flexibility tends to be inferior.
本発明の感光性樹脂組成物は、高い難燃性を付与したい場合、光重合に関与しないリン化合物として、1分子中にフェノキシ基を少なくとも4個含有するリン系化合物(E)(以下、「リン系化合物(E)」と記載することがある)を含有してもよい。しかしながら、本発明における樹脂組成物では、リン含有エチレン性不飽和化合物(B1)が光重合してなるポリマーが難燃剤としての役割を果たすこともできるため、リン系化合物(E)を含有しなくても、必要な難燃性(難燃性試験におけるV−0評価レベル)を確保することができる。 In the photosensitive resin composition of the present invention, when it is desired to impart high flame retardancy, a phosphorus compound (E) containing at least four phenoxy groups in one molecule (hereinafter referred to as “ (It may be described as “phosphorus compound (E)”). However, in the resin composition of the present invention, the polymer formed by photopolymerization of the phosphorus-containing ethylenically unsaturated compound (B1) can also serve as a flame retardant, and therefore does not contain the phosphorus compound (E). However, the necessary flame retardancy (V-0 evaluation level in the flame retardancy test) can be ensured.
リン系化合物(E)に結合しているフェノキシ基には、ベンゼン環に酸素以外の置換基が結合していてもよい。このようなリン系化合物(E)としては、リン酸エステル化合物、ホスファゼン化合物等があげられる。上記リン酸エステル化合物としては、芳香族縮合リン酸エステル類を用いることが好ましく、上記ホスファゼン化合物としては、ビス(フェノキシ)ホスファゼンの3〜7員環構造の化合物、ポリ〔ビス(フェノキシ)ホスファゼン〕等を用いることが好ましい。これらのリン酸エステル化合物、ホスファゼン化合物は、単独で又は2種以上併せて用いられる。 Substituents other than oxygen may be bonded to the benzene ring in the phenoxy group bonded to the phosphorus compound (E). Examples of such phosphorus compounds (E) include phosphate ester compounds and phosphazene compounds. As the phosphoric acid ester compound, aromatic condensed phosphoric acid esters are preferably used. As the phosphazene compound, a compound having a 3- to 7-membered ring structure of bis (phenoxy) phosphazene, poly [bis (phenoxy) phosphazene] Etc. are preferably used. These phosphate ester compounds and phosphazene compounds are used alone or in combination of two or more.
本発明の感光性樹脂組成物は、更に、必要に応じて、顔料、染料、酸化防止剤、密着付与剤、光吸収剤、レベリング剤、上記リン系化合物(E)以外の難燃剤、充填剤、消泡剤等の他の添加剤(F)を適宜配合することができる。 The photosensitive resin composition of the present invention may further include a pigment, a dye, an antioxidant, an adhesion promoter, a light absorber, a leveling agent, a flame retardant other than the phosphorus compound (E), and a filler as necessary. Other additives (F) such as an antifoaming agent can be appropriately blended.
しかしながら、本発明の樹脂組成物をHDDサスペンジョン用回路基板に用いる場合には、超音波洗浄による高度な清浄性の要求を充足すべく、ポリマー硬化体の一部とならないフィラー、ポリマー硬化体との相溶性がよくないためにポリマー硬化体の三次元架橋構造、ポリマーの島内にとりこまれない可能性が高いフィラーは含有しないことが好ましい。 However, when the resin composition of the present invention is used for a circuit board for HDD suspension, a filler that does not become a part of the polymer cured body, or a polymer cured body, in order to satisfy a high cleanliness requirement by ultrasonic cleaning. Since the compatibility is not good, it is preferable not to contain a three-dimensional cross-linked structure of the polymer cured body and a filler that is highly likely not to be taken into the polymer island.
本発明の樹脂組成物は、ノンフィラーであっても上述のように難燃性を確保することができ、HDDサスペンジョン用ソルダーレジストに要求される特性、すなわち感度、解像度、現像性、可撓性、半田耐熱性、耐溶剤性、電気マイグレーション耐性、回路追随性、真空ラミネート性を充足することができる。 Even if the resin composition of the present invention is a non-filler, flame retardancy can be ensured as described above, and characteristics required for a solder resist for HDD suspension, that is, sensitivity, resolution, developability, flexibility Solder heat resistance, solvent resistance, electrical migration resistance, circuit followability, and vacuum laminating properties can be satisfied.
本発明の感光性樹脂組成物は、上記ベースポリマー(A)、エチレン性不飽和結合含有化合物(B)、光重合開始剤(C)、熱架橋剤(D)さらに必要に応じて添加されるリン系化合物等の添加剤(E及び/又はF)を配合し、混合することにより調製することができる。そして、後述の感光性樹脂積層体を作製する場合には、有機溶剤を所定の濃度となるように混合して用いられる。 The photosensitive resin composition of the present invention is added to the base polymer (A), the ethylenically unsaturated bond-containing compound (B), the photopolymerization initiator (C), the thermal cross-linking agent (D) as necessary. It can prepare by mix | blending and mixing additives (E and / or F), such as a phosphorus compound. And when producing the below-mentioned photosensitive resin laminated body, an organic solvent is mixed and used so that it may become a predetermined density | concentration.
上記有機溶剤としては、特に限定するものではないが、例えば、アセトン、メチルエチルケトン、メタノール、イソプロピルアルコール、プロピレングリコールモノエチルエーテル、酢酸エチル、酢酸ブチル等があげられ、これらは単独で又は2種以上併せて用いられる。そして、その濃度としては、後述の感光性樹脂積層体の作製に際して適用される工法、粘度に応じて適宜設定されるが、通常、固形分35〜60重量%の範囲である。 Examples of the organic solvent include, but are not limited to, acetone, methyl ethyl ketone, methanol, isopropyl alcohol, propylene glycol monoethyl ether, ethyl acetate, butyl acetate, and the like. These may be used alone or in combination of two or more. Used. And as the density | concentration, although suitably set according to the construction method applied at the time of preparation of the below-mentioned photosensitive resin laminated body, and a viscosity, it is the range of 35 to 60 weight% of solid content normally.
以上のような構成を有する本発明の感光性樹脂組成物は、そのまま回路基板に塗布するインク(液状レジスト)として用いてもよいし、真空ラミネート性に優れているので、ドライフィルムレジストとしても好適に用いることができる。フレキシブルプリント配線板(FPC)のカバーレイ、ソルダーレジストとしても有用で、リードフレーム等の製造や、金属の精密加工等にも用いられる。特に、本発明の樹脂組成物は、耐熱性に優れ、電気マイグレーション耐性、回路追随性といった、回路基板の永久保護膜に要求される特性も満足することができるので、ソルダーレジストドライフィルムとして非常に有用である。 The photosensitive resin composition of the present invention having the above-described configuration may be used as an ink (liquid resist) applied to a circuit board as it is, or because it is excellent in vacuum laminating properties, and therefore suitable as a dry film resist. Can be used. It is also useful as a flexible printed wiring board (FPC) coverlay and solder resist, and is also used in the manufacture of lead frames and the like, and precision metal processing. In particular, the resin composition of the present invention has excellent heat resistance, and can satisfy the characteristics required for a permanent protective film of a circuit board such as electric migration resistance and circuit followability. Useful.
本発明の感光性樹脂組成物を用いてなるドライフィルムレジストは、単独でフィルムとしたものであってもよいし、支持フィルム(キャリアフィルム)に本発明の感光性樹脂組成物層を形成し、さらに保護フィルム(カバーフィルム)を積層した感光性樹脂積層体として用いてもよい。 The dry film resist formed using the photosensitive resin composition of the present invention may be a single film, or may form the photosensitive resin composition layer of the present invention on a support film (carrier film), Furthermore, you may use as the photosensitive resin laminated body which laminated | stacked the protective film (cover film).
上記支持フィルムとしては、透明で可撓性を有し、塗工乾燥に耐えうるものであれば特に限定するものではなく、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム等のポリエステルフィルムや、延伸ポリプロピレン(OPP)フィルム等があげられ、好ましくはPETフィルムである。 The support film is not particularly limited as long as it is transparent and flexible and can withstand coating drying. For example, a polyester film such as a polyethylene terephthalate (PET) film, or a stretched polypropylene (OPP) ) A film etc. are mentioned, Preferably it is a PET film.
保護フィルムは、感光性樹脂積層体をロール状にしたときに、粘着性を有する感光性樹脂組成物層の支持フィルムへの転着等を防止する役割があり、例えば、ポリエチレン(PE)フィルム、ポリプロピレン(PP)フィルム等のポリオレフィンフィルム、PETフィルム、フッ素樹脂(PTFE)フィルム、ポリビニルアルコールフィルム、ナイロンフィルム等が用いられ、好ましくはポリオレフィンフィルム、中でもPEフィルムが好適に用いられる。本発明の感光性樹脂組成物を用いて形成される組成物層は真空ラミネート性に優れているので、組成物層の表面粗さを確保するための保護フィルムの表面粗さは特に限定されない。とりわけ、保護フィルムの表面粗さは、平均粗さ(Ra)が1以上の保護フィルムを用いることで、より確実で優れた真空ラミネート性を付与することができる。なお、上記表面平均粗さ(Ra)は、JIS B 0601 1994に示されるように、粗さ曲線の面積を測定長さで除した平均高さである。 The protective film has a role to prevent transfer of the photosensitive resin composition layer having adhesiveness to the support film when the photosensitive resin laminate is rolled, for example, a polyethylene (PE) film, A polyolefin film such as a polypropylene (PP) film, a PET film, a fluororesin (PTFE) film, a polyvinyl alcohol film, a nylon film, or the like is used, and a polyolefin film, particularly a PE film is preferably used. Since the composition layer formed using the photosensitive resin composition of this invention is excellent in vacuum laminating property, the surface roughness of the protective film for ensuring the surface roughness of the composition layer is not particularly limited. In particular, the surface roughness of the protective film can provide more reliable and excellent vacuum laminating properties by using a protective film having an average roughness (Ra) of 1 or more. In addition, the said surface average roughness (Ra) is an average height which remove | divided the area of the roughness curve by the measurement length, as shown by JISB06011994.
本発明の感光性樹脂積層体は、例えば、上記支持フィルムの一面に、本発明の上記感光性樹脂組成物を均一に塗工した後、乾燥して感光性樹脂組成物層を形成し、次いで保護フィルムを積層することにより作製することができる。 In the photosensitive resin laminate of the present invention, for example, the photosensitive resin composition of the present invention is uniformly coated on one surface of the support film, and then dried to form a photosensitive resin composition layer. It can produce by laminating | stacking a protective film.
本発明の感光性樹脂積層体において、感光性樹脂組成物層の厚みは、銅配線の厚みにより変わるが、通常100μm以下が好ましく、より好ましくは80μm以下、特に好ましくは20〜60μmである。感光性樹脂組成物層の厚みが厚すぎると、レジスト下部において、パターン露光による硬化が不十分となりやすいため、密着不良を生じたり、充分な解像度を得ることが困難となる傾向がある。 In the photosensitive resin laminate of the present invention, the thickness of the photosensitive resin composition layer varies depending on the thickness of the copper wiring, but is usually preferably 100 μm or less, more preferably 80 μm or less, and particularly preferably 20 to 60 μm. If the photosensitive resin composition layer is too thick, curing by pattern exposure tends to be insufficient at the lower part of the resist, so that there is a tendency that poor adhesion occurs or it is difficult to obtain sufficient resolution.
支持フィルムの厚みは、10〜25μmであることが好ましい。フィルムの厚みが薄すぎると感光性樹脂積層体自体の耐性に劣り、支持フィルム引き剥がしの際に破れやすくなる傾向がみられ、厚すぎると、支持フィルムが硬くなり、その硬さに起因して、導体回路に対する感光性樹脂組成物層の追従性に劣る傾向がみられる。また、保護フィルムの厚みは、通常、10〜50μmであり、好ましくは15〜35μmである。 The thickness of the support film is preferably 10 to 25 μm. If the thickness of the film is too thin, the resistance of the photosensitive resin laminate itself is inferior, and the support film tends to be broken when peeled off, and if it is too thick, the support film becomes hard, due to its hardness. There is a tendency that the followability of the photosensitive resin composition layer to the conductor circuit is inferior. Moreover, the thickness of a protective film is 10-50 micrometers normally, Preferably it is 15-35 micrometers.
次に、上記本発明の感光性樹脂積層体を、ソルダーレジストドライフィルムとして用いた場合のフレキシブルプリント配線板の製法について、以下に説明する。
〔ラミネート〕
感光性樹脂積層体の保護フィルムを剥離し、感光性樹脂組成物層の表面を、FPC等の導体回路形成された基板の配線面にラミネータを用いて貼り合わせる。導体回路への追従性の観点から真空ラミネータを用いることが好ましく、本発明の積層体の感光性樹脂組成物層はエア等を巻き込むことなく、きれいにラミネートすることができる。
Next, the manufacturing method of the flexible printed wiring board at the time of using the photosensitive resin laminated body of the said this invention as a soldering resist dry film is demonstrated below.
〔laminate〕
The protective film of the photosensitive resin laminate is peeled off, and the surface of the photosensitive resin composition layer is bonded to a wiring surface of a substrate on which a conductor circuit such as FPC is formed using a laminator. A vacuum laminator is preferably used from the viewpoint of followability to a conductor circuit, and the photosensitive resin composition layer of the laminate of the present invention can be neatly laminated without involving air or the like.
〔露光〕
ついで、上記感光性樹脂組成物層の反対側面の支持フィルム上にパターンマスクを直接接触(密着)させて露光する。また、プロキシミティ露光、投影露光の場合は、パターンマスクを非接触状態として露光する。さらに、パターンマスクを使用せずにレーザーを用いたダイレクトイメージング(直接露光)を行ってもよい。上記露光は、通常、紫外線(UV)照射により行い、その際の光源としては、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、カーボンアーク灯、キセノン灯、メタルハライドランプ、ケミカルランプ、アルゴンレーザー等が用いられる。
〔exposure〕
Next, the pattern mask is directly contacted (adhered) on the support film on the opposite side of the photosensitive resin composition layer and exposed. In the case of proximity exposure and projection exposure, the pattern mask is exposed in a non-contact state. Furthermore, direct imaging (direct exposure) using a laser may be performed without using a pattern mask. The exposure is usually performed by ultraviolet (UV) irradiation, and as a light source at that time, a high pressure mercury lamp, an ultrahigh pressure mercury lamp, a carbon arc lamp, a xenon lamp, a metal halide lamp, a chemical lamp, an argon laser, or the like is used.
〔現像〕
露光後は、上記感光性樹脂組成物層上の支持フィルムを引き剥がしてから未露光部分(未硬化部)を現像によって溶解・分散除去する。上記感光性樹脂組成物が稀アルカリ現像型である場合、現像液には、炭酸ソーダ、炭酸カリウム等のアルカリ濃度0.3〜2重量%程度の稀薄水溶液を用いる。上記現像に際しては、均一圧力でスプレーする方法が、解像、密着の安定性の観点から好ましい。なお、上記アルカリ水溶液中には、界面活性剤,消泡剤や、現像を促進させるための少量の有機溶剤等を混入させてもよい。そして、現像後は、水洗を充分に行い、乾燥させる。現像により、未露光のレジスト部分を溶解して、下のめっきまたは半田付けが必要な銅パターン部分を露出させる。
〔developing〕
After the exposure, the support film on the photosensitive resin composition layer is peeled off, and then the unexposed portion (uncured portion) is dissolved and dispersed by development. When the photosensitive resin composition is a dilute alkali development type, a dilute aqueous solution having an alkali concentration of about 0.3 to 2% by weight such as sodium carbonate or potassium carbonate is used as the developer. In the development, a method of spraying at a uniform pressure is preferable from the viewpoint of resolution and adhesion stability. In the alkaline aqueous solution, a surfactant, an antifoaming agent, a small amount of an organic solvent for promoting development, and the like may be mixed. And after development, it is sufficiently washed with water and dried. By developing, the unexposed resist portion is dissolved to expose the lower copper pattern portion that requires plating or soldering.
〔熱キュア〕
表面硬化性、半田耐熱性、耐薬品性等の特性をさらに高めるために、さらなる架橋反応工程を経由させる。この熱キュアとなる架橋反応工程は、通常150〜180℃で30〜120分程度で行なわれる。
尚、熱キュアの前に、表面硬化性、半田耐熱性、耐薬品性等の特性を高めるために、現像後の乾燥を充分に行った後、UVキュア(後露光)を行ってもよい。UVキュアは、通常、0.5〜10J/cm2 にて使用される。
[Heat cure]
In order to further enhance characteristics such as surface curability, solder heat resistance, and chemical resistance, a further crosslinking reaction step is performed. The cross-linking reaction step that becomes heat curing is usually performed at 150 to 180 ° C. for about 30 to 120 minutes.
Before heat curing, UV curing (post-exposure) may be performed after sufficiently drying after development in order to improve characteristics such as surface curability, solder heat resistance, and chemical resistance. UV cure is usually used at 0.5 to 10 J / cm 2 .
以下、実施例を挙げて本発明を更に具体的に説明するが、本発明はその要旨を越えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。尚、下記実施例において、「部」「%」とあるのは、断りない限り、重量基準を意味する。 EXAMPLES Hereinafter, although an Example is given and this invention is demonstrated further more concretely, this invention is not limited to a following example, unless the summary is exceeded. In the following examples, “parts” and “%” mean weight basis unless otherwise specified.
〔測定評価方法〕
はじめに、下記実施例、比較例で行なった測定評価方法について説明する。
(1)感度
保護フィルムとして梨地加工されたPEフィルム(フィルムロールの横断方向(TD方向)に10.0mm長を、接触子の先端2μmR、測定荷重0.07gfにて測定したときの表面平均粗さRa=1.51)を使用して、後述の方法で作製した感光性樹脂組成物積層体の保護フィルムを剥がし、感光性樹脂組成物層を、厚み25μmのポリイミドフィルムに厚み18μmの銅箔を貼り合わせてなるFPC用銅張ポリイミドフィルム(大きさ150mm×150mm)の銅箔表面に載置して仮付けし、ダイヤフラム式真空ラミネート機(ニチゴー・モートン社製、「V−130」)を用いて、減圧時間30秒、プラテン温度55℃、スラップダウン8秒という条件にて積層した。この積層品を2時間、20℃にて放置し、PETフィルムの上にStouffer社製の21段ステップタブレットを密着させ、2kWの水銀ショートアーク灯(平行灯)にて露光した後、30℃の1%Na2CO3水溶液にて最小現像時間の2倍の時間スプレー現像(スプレー圧0.15MPa)し、水洗、乾燥した。そして、金属部分が出ているステップタブレットの数値が8となるとき(8段)の露光量を感度として表示した。
[Measurement evaluation method]
First, measurement evaluation methods performed in the following examples and comparative examples will be described.
(1) Sensitivity PE film that has been satin-finished as a protective film (average surface roughness when measuring 10.0 mm in the transverse direction (TD direction) of the film roll with a contact tip of 2 μmR and a measurement load of 0.07 gf) Ra = 1.51), the protective film of the photosensitive resin composition laminate produced by the method described later is peeled off, and the photosensitive resin composition layer is applied to a polyimide film having a thickness of 25 μm and a copper foil having a thickness of 18 μm. The FPC copper-clad polyimide film for FPC (size 150 mm x 150 mm) is placed on a copper foil surface and temporarily attached, and a diaphragm-type vacuum laminating machine (Nichigo Morton, “V-130”) is attached. It was laminated under the conditions of a decompression time of 30 seconds, a platen temperature of 55 ° C., and a slap down of 8 seconds. This laminated product was allowed to stand at 20 ° C. for 2 hours, and a 21-step tablet made by Stouffer was in close contact with the PET film, exposed to a 2 kW mercury short arc lamp (parallel light), and then heated to 30 ° C. Spray development (spray pressure 0.15 MPa) was performed for 2 times the minimum development time with a 1% Na 2 CO 3 aqueous solution, followed by washing with water and drying. And the exposure amount when the numerical value of the step tablet in which the metal part has come out is 8 (8 steps) was displayed as sensitivity.
(2)解像性
上記感度測定で用いたものと同様の感光性樹脂組成物積層体を作製した。Stouffer社製の21段ステップタブレットに代えて、ライン/スペース=20μm/20μm〜120μm/120μmのパターンマスク(銀塩−PETフィルム)を用いた以外は感度測定の場合と同様にして、FPC用銅張ポリイミドフィルムに、感光性樹脂組成物層を貼り合せ、上記2kW超高圧水銀ショートアーク灯(平行光)でStouffer社製の21段ステップタブレットの8段相当の露光量を照射し、現像した。このときの、解像を示した最小ライン幅の値(現像して形成された硬化ライン間の最小幅(μm)の値)を解像性とした。
(2) Resolution The same photosensitive resin composition laminate as that used in the sensitivity measurement was prepared. In place of the Stouffer 21-step tablet, line / space = 20 μm / 20 μm to 120 μm / 120 μm pattern mask (silver salt-PET film) was used in the same manner as in the sensitivity measurement, and copper for FPC was used. A photosensitive resin composition layer was bonded to a stretched polyimide film, and the 2 kW ultra-high pressure mercury short arc lamp (parallel light) was irradiated with an exposure amount equivalent to 8 steps of a 21-step tablet made by Stouffer and developed. At this time, the value of the minimum line width indicating the resolution (the value of the minimum width (μm) between the cured lines formed by development) was defined as the resolution.
(3)現像性
銅基板(FR−4、厚み1.6mm)を準備し、銅箔表面をバフロール研磨(#600の後、#1000)し、水洗した後、10%の硫酸に常温(25℃)で1分間浸漬して、水洗、乾燥し、24時間室温にて放置した。感光性樹脂積層体の保護フィルムを剥がし、感光性樹脂組成物層(厚み30μm)を、上記銅基板上に、ダイヤフラム式真空ラミネート機(ニチゴー・モートン社製、「V−130」)を用い、上記感度測定時と同様にして、積層した。ここで用いた感光性樹脂積層体は、上記厚み30μmの感光性樹脂組成物層を有する大きさ100mm×100mmのものである。未露光のまま20℃にて20分間放置した後、30℃の1重量%Na2CO3水溶液にて最小現像時間の2倍の時間スプレー現像(スプレー圧0.15MPa)し、水洗、乾燥した。この後、再度、25℃の水に浸漬し、ラックに角度約85°となるよう立て掛け、ラックに立て掛けた基板表面の水のはじき度合いをストップウォッチにて計測し、水のはじき性によって現像性を評価した。すなわち、水はじきテストによって、銅基板上の現像残渣(有機物の残渣)の程度をつぎのようにして判定した。
◎・・・15秒以上水をはじかない(現像性良好)。
○・・・10秒以上15秒未満にて水をはじく。
×・・・10秒未満で水をはじく(有機物残渣がある)。
(3) Developability A copper substrate (FR-4, thickness 1.6 mm) was prepared, the copper foil surface was subjected to buffalo polishing (after # 600, # 1000), washed with water, and then washed with 10% sulfuric acid at room temperature (25 (° C.) for 1 minute, washed with water, dried and allowed to stand at room temperature for 24 hours. The protective film of the photosensitive resin laminate is peeled off, and the photosensitive resin composition layer (thickness 30 μm) is used on the copper substrate using a diaphragm type vacuum laminating machine (Nichigo Morton, “V-130”), Lamination was performed in the same manner as in the sensitivity measurement. The photosensitive resin laminate used here has a size of 100 mm × 100 mm having the photosensitive resin composition layer having a thickness of 30 μm. After leaving unexposed at 20 ° C. for 20 minutes, spray development (spray pressure 0.15 MPa) for 2 times the minimum development time with a 1 wt% Na 2 CO 3 aqueous solution at 30 ° C., washing with water and drying. . After that, immerse it again in water at 25 ° C., lean it on the rack at an angle of about 85 °, measure the degree of water repelling on the surface of the substrate leaning on the rack with a stopwatch, and develop it by repelling water. Evaluated. That is, the degree of development residue (organic residue) on the copper substrate was determined by a water repellency test as follows.
A: Does not repel water for 15 seconds or longer (good developability).
○ ... Repels water in 10 seconds or more and less than 15 seconds.
X: Water is repelled in less than 10 seconds (there is an organic residue).
(4)可撓性
感光性樹脂積層体の保護フィルムを剥がし、感光性樹脂組成物層(厚み30μm)を、上記感度測定時と同様、ダイヤフラム式真空ラミネート機(ニチゴー・モートン社製、「V−130」)を用い、同条件にて、厚み25μmのポリイミドフィルムの両面に積層した。ついで、上記2kW超高圧水銀ショートアーク灯(平行光)でStouffer社製の21段ステップタブレットの8段相当の露光量を両面に全面照射し、UVキュア3J/cm2(International Light社製、「IL−390A」での測定値)を両面行い、続いて180℃にて60分間熱キュアを行うことにより硬化フィルムを作製した。そして、この硬化フィルムの同一箇所を、山折〜谷折〜山折〜(折り曲げ半径0°)という操作を行い、可撓性を下記のようにして評価した。なお、折り曲げ条件として、23℃×50%RHの室内にて行った。
◎・・・10回以上の操作においても割れなかった。
○・・・6〜9回の操作において割れた。
△・・・2〜5回の操作において割れた。
×・・・1回の操作において割れた。
(4) Flexibility The protective film of the photosensitive resin laminate is peeled off, and the photosensitive resin composition layer (thickness 30 μm) is subjected to a diaphragm type vacuum laminating machine (Nichigo Morton, “V” as in the sensitivity measurement). -130 ") and laminated on both sides of a polyimide film having a thickness of 25 µm under the same conditions. Next, the entire surface was irradiated with an exposure amount equivalent to 8 steps of a 21-step tablet made by Stouffer with the 2 kW ultra-high pressure mercury short arc lamp (parallel light), and UV cure 3 J / cm 2 (made by International Light, “ IL-390A "was measured on both sides, followed by heat curing at 180 ° C for 60 minutes to prepare a cured film. And the same location of this cured film was operated as a mountain fold to a valley fold to a mountain fold (folding radius 0 °), and the flexibility was evaluated as follows. The bending was performed in a room at 23 ° C. × 50% RH.
A: No cracking was observed even after 10 or more operations.
○: Cracked in 6 to 9 operations.
Δ: Cracked in 2 to 5 operations.
X: Cracked in one operation.
(5)真空ラミネート性
保護フィルムとして梨地加工していないPEフィルムを用いて形成された感光性樹脂組成物積層体を使用し、上記感度の評価に準じて、FPC用銅張ポリイミドフィルムに同真空ラミネート機を用いて積層した。スラップダウン時間を15秒に変更し、プラテン温度を65℃、55℃、45℃でラミネートし、各温度におけるエアの巻き込みの有無を観察して、以下の基準に従って、評価した。
◎・・・65℃でもエアを巻き込まない(良好)。
○・・・65℃ではエアを巻き込むが、55℃では巻き込まない。
△・・・55℃でもエアを巻き込むが、45℃では巻き込まない。
×・・・45℃でもエアを巻き込む。
(5) Vacuum laminating property Using a photosensitive resin composition laminate formed using a PE film that has not been satin-finished as a protective film, the vacuum is applied to the copper-clad polyimide film for FPC according to the evaluation of the sensitivity. Lamination was performed using a laminating machine. The slap down time was changed to 15 seconds, the platen temperature was laminated at 65 ° C., 55 ° C., and 45 ° C., and the presence or absence of air entrainment at each temperature was observed and evaluated according to the following criteria.
A: Air is not caught even at 65 ° C (good).
○ Air is entrained at 65 ° C, but not at 55 ° C.
Δ: Air is entrained at 55 ° C, but not at 45 ° C.
X: Air is involved even at 45 ° C.
(6)導体回路への追従性
感光性樹脂組成物層の厚みを25μmに変更した以外は、感度測定に用いたものと同様の感光性樹脂組成物積層体を、前記感度測定時と同様にして、銅厚35μm厚の銅張ポリイミドフィルムにIPC−B25A(IPC規格)の銅配線を形成した基板に貼り合せ積層し、150mJ/cm2にて露光した。真空ラミネート時の温度を、50℃,55℃,65℃と変更したときの基板表面を顕微鏡により観察し、導体回路への追従性を下記のように評価した。
◎・・・50℃で完全に導体回路に追従し、感光性樹脂組成物層と導体回路との間に空隙は無かった。
○・・・50℃では完全に導体回路に追従しなかったが、55℃にて完全に導体回路に追従し感光性樹脂組成物層と導体回路との間に空隙は無かった。
△・・・55℃では完全に導体回路に追従しなかったが、65℃にて完全に導体回路に追従し感光性樹脂組成物層と導体回路との間に空隙は無かった。
×・・・65℃でも完全に導体回路に追従しなかった。
(6) Followability to conductor circuit Except that the thickness of the photosensitive resin composition layer was changed to 25 μm, the same photosensitive resin composition laminate as that used for sensitivity measurement was the same as that during the sensitivity measurement. Then, a copper-clad polyimide film having a copper thickness of 35 μm was laminated and laminated on a substrate in which copper wiring of IPC-B25A (IPC standard) was formed, and exposed at 150 mJ / cm 2 . The substrate surface when the temperature at the time of vacuum lamination was changed to 50 ° C., 55 ° C., and 65 ° C. was observed with a microscope, and the followability to the conductor circuit was evaluated as follows.
A: The conductor circuit was completely followed at 50 ° C., and there was no gap between the photosensitive resin composition layer and the conductor circuit.
○: The conductor circuit was not completely followed at 50 ° C., but the conductor circuit was completely followed at 55 ° C., and there was no void between the photosensitive resin composition layer and the conductor circuit.
Δ: The conductor circuit was not completely followed at 55 ° C., but the conductor circuit was completely followed at 65 ° C., and there was no gap between the photosensitive resin composition layer and the conductor circuit.
X: The conductor circuit was not completely followed even at 65 ° C.
(7)半田耐熱性
上記感度測定で用いたものと同様の感光性樹脂組成物積層体を作製した。銅厚18μm厚の銅張ポリイミドフィルムを用いて、IPC−B25A(IPC規格)の銅配線を形成した基板に、上記感度測定時と同様にして、感光性樹脂組成物層を貼り合わせた。ついで、この回路のDパターンの端子が半田付けできるパターンマスクを用いて、上記2kW超高圧水銀ショートアーク灯(平行光)でStouffer社製の21段ステップタブレットの8段相当の露光量を照射し、現像、乾燥を行った。続いて、搬送式UV露光機「モデルUVCS923」を用いて3J/cm2のUVキュアを行った(International Light 社製、「IL−390A」での測定値)。このときの基板温度は120℃であった。この後、160℃にて60分間熱キュアを行い、感光性樹脂組成物層からなるカバーレイが形成されたフレキシブルプリント配線板(FPC)を作製した。
(7) Solder heat resistance A photosensitive resin composition laminate similar to that used in the sensitivity measurement was prepared. A photosensitive resin composition layer was bonded to a substrate on which a copper wiring of IPC-B25A (IPC standard) was formed using a copper-clad polyimide film having a copper thickness of 18 μm in the same manner as in the sensitivity measurement. Next, using a pattern mask to which the D pattern terminals of this circuit can be soldered, the above-described 2 kW ultra-high pressure mercury short arc lamp (parallel light) is irradiated with an exposure amount equivalent to 8 steps of a 21-step tablet made by Stouffer. Development and drying were performed. Subsequently, UV curing of 3 J / cm 2 was performed using a transport UV exposure machine “model UVCS 923” (measurement value of “IL-390A” manufactured by International Light). The substrate temperature at this time was 120 ° C. Thereafter, heat curing was performed at 160 ° C. for 60 minutes to produce a flexible printed wiring board (FPC) on which a coverlay made of a photosensitive resin composition layer was formed.
作製したFPC表面にタムラ化研社製の「フラックスULF−500VS」を塗布した後、100℃で1分間乾燥を行い、260℃の半田付け処理を10秒間行った。このフラックス塗布〜半田付け操作を計3回繰り返し行ったときの、カバーレイのクラック発生状態、Dパターンの半田もぐりの発生状態、膨れの発生状態を目視により観察し総合して、半田耐熱性を下記のように評価した。
◎・・・3回ともクラック、半田もぐり、膨れの発生がみられなかった。
○・・・2回とも何ら問題はなかったが、3回目に若干の半田もぐりが確認された。
△・・・2回目に若干の半田もぐりが確認され、3回目には膨れが発生した。
×・・・1回目ですでに半田付け操作に耐えられなかった。
After applying “Flux ULF-500VS” manufactured by Tamura Kaken Co., Ltd. on the surface of the produced FPC, drying was performed at 100 ° C. for 1 minute, and soldering treatment at 260 ° C. was performed for 10 seconds. When this flux application to soldering operation is repeated a total of three times, the coverlay cracking state, the D pattern solder flaking state, and the swollenness state are visually observed and combined to ensure solder heat resistance. Evaluation was performed as follows.
◎ ... No cracks, solder flaking, or blistering was observed in all three times.
○: There was no problem in both cases, but some solder peeling was confirmed in the third time.
Δ: Slight soldering was confirmed at the second time, and swelling occurred at the third time.
X: The soldering operation could not be already performed in the first time.
(8)耐薬品性
上記半田耐熱性の測定に従って作製した基板を、40℃の10%NaOH水溶液に15分間浸漬し、続いて水中に浸漬した後の基板のレジスト浮き、剥がれの発生状態を観察するとともに、レジストが濡れている所をキムワイプで擦ることでのレジストの剥がれ性を確認し、下記基準に従って評価をした。
◎・・・浮き、剥がれが発生なく、キムワイプでも問題なかった。
○・・・浮き、剥がれが発生していないが、キムワイプで傷がついた。
×・・・浮きまたは剥がれが発生した。
(8) Chemical resistance Substrate prepared according to the above solder heat resistance measurement is immersed in a 10% NaOH aqueous solution at 40 ° C. for 15 minutes and then immersed in water, and the state of occurrence of resist floating and peeling of the substrate is observed. In addition, the peelability of the resist by rubbing the wet resist with Kimwipe was confirmed and evaluated according to the following criteria.
◎ ・ ・ ・ No floating or peeling, no problem with Kimwipe.
○: No floating or peeling occurred, but it was damaged by Kimwipe.
X: Floating or peeling occurred.
(9)電気マイグレーション耐性
上記半田耐熱性の評価に従って作製した基板を用いて、IPC−SM−840C3.9.1(IPC規格)の電気マイグレーション試験を行った。すなわち、Dパターンを用い、85℃×90%RHにて168時間、10VDCバイアス電位、45−100VDC試験電位とし、168時間後の抵抗を調べ、電気絶縁性を下記のように評価した。規格では2MΩ以上が合格とされる。
◎・・・200MΩを超え、顕微鏡観察においてもデンドライドの発生がなかった。
○・・・200MΩを超えたが、デンドライドらしきものが顕微鏡で観察された。
△・・・2〜200MΩであった。
×・・・2MΩ未満であった。
(9) Electrical migration resistance An electrical migration test of IPC-SM-840C3.9.1 (IPC standard) was performed using the substrate prepared according to the evaluation of the solder heat resistance. That is, using the D pattern, the resistance after 168 hours was examined at 85 ° C. × 90% RH for 168 hours, 10 VDC bias potential, and 45-100 VDC test potential, and the electrical insulation was evaluated as follows. According to the standard, 2 MΩ or more is accepted.
A: Over 200 MΩ, no dendride was observed even under microscopic observation.
○: It exceeded 200 MΩ, but what seemed to be dendrid was observed with a microscope.
Δ: 2 to 200 MΩ.
X: Less than 2 MΩ.
(10)難燃性
FR−4〔絶縁基材厚み0.3mmの銅張積層板(新神戸電機社製のCEL475SD)の銅箔を両面エッチングしたもの〕に、感光性樹脂組成物層を、感度測定の場合と同様にして貼り合せた後、両面を150mJ/cm2にて露光した(ORC「UV−351」積算光量計)。次いで、30℃の1%Na2CO3水溶液の現像槽内を、0.15MPaで25秒のパス時間で通し、水洗、乾燥を充分に行った。その後、モデルUVCS923を用いて、両面UVキュアを3J/cm2(International Light 社製、「IL−390A」での測定値)にて実施した後、熱キュア(160℃×60分間)を行って評価用基板を作製した。
(10) Flame retardant FR-4 [A copper-clad laminate (CEL475SD manufactured by Shin-Kobe Electric Co., Ltd.) having a thickness of 0.3 mm is etched on both sides] After pasting in the same manner as in the measurement, both surfaces were exposed at 150 mJ / cm 2 (ORC “UV-351” integrating actinometer). Subsequently, the inside of the developing tank of 1% Na 2 CO 3 aqueous solution at 30 ° C. was passed at 0.15 MPa in a pass time of 25 seconds, and sufficiently washed and dried. Thereafter, using a model UVCS 923, double-sided UV curing was performed at 3 J / cm 2 (measured with “IL-390A” manufactured by International Light), and then heat curing (160 ° C. × 60 minutes) was performed. An evaluation substrate was prepared.
作製した基板を、長さ125±5mm、幅13.0mm±0.5mmに切り出し、米国のUnderwriters Laboratories Inc.(以下「UL」と称す)の高分子材料の難燃性試験規格UL−94にしたがって、垂直燃焼性試験を行った。難燃性評価は、この規格に従い、難燃性が良好なものから、V−0、V−1、V−2、NOT−Vとして表記した。 The produced substrate was cut into a length of 125 ± 5 mm and a width of 13.0 mm ± 0.5 mm, and conformed to UL-94, a flame retardant test standard for polymer materials of US Underwriters Laboratories Inc. (hereinafter referred to as “UL”). Therefore, a vertical flammability test was performed. In accordance with this standard, the flame retardancy evaluation was expressed as V-0, V-1, V-2, and NOT-V from those having good flame retardancy.
〔感光性樹脂組成物の調製及び積層体の作製〕
感光性樹脂組成物No.1:
表1に示す組成に従って各成分を混合した組成物No.1を、溶剤(メチルエチルケトン:イソプロパノール=75:25〔重量比〕)に溶解して、濃度55%の感光性樹脂組成物溶液を調製した。調製した感光性樹脂組成物溶液を、アプリケーター用いて厚み19μmのPETフィルム(支持フィルム)上に均一に塗工し、室温にて1分30秒放置した後、130℃のオーブンで3分間乾燥して、厚み30μmの感光性樹脂組成物層を形成した。つぎに、厚み30μmのPEフィルム(保護フィルム)を、30℃にて、0.2MPaにて、上記感光性樹脂組成物層に積層し、厚み30μmの感光性樹脂組成物層を有する感光性樹脂積層体を作製し、作製した積層体を用いて、上記測定評価方法にしたがって評価した。
[Preparation of photosensitive resin composition and production of laminate]
Photosensitive resin composition No. 1:
In accordance with the composition shown in Table 1, the composition No. 1 was dissolved in a solvent (methyl ethyl ketone: isopropanol = 75: 25 [weight ratio]) to prepare a photosensitive resin composition solution having a concentration of 55%. The prepared photosensitive resin composition solution was uniformly coated on a 19 μm-thick PET film (support film) using an applicator, allowed to stand at room temperature for 1 minute and 30 seconds, and then dried in an oven at 130 ° C. for 3 minutes. Thus, a photosensitive resin composition layer having a thickness of 30 μm was formed. Next, a PE film (protective film) having a thickness of 30 μm is laminated on the photosensitive resin composition layer at 30 ° C. and 0.2 MPa, and the photosensitive resin having the photosensitive resin composition layer having a thickness of 30 μm. A laminate was prepared and evaluated according to the above-described measurement evaluation method using the prepared laminate.
感光性樹脂組成物No.2〜8:
組成物No.1におけるベースポリマー(A)、エチレン性不飽和結合含有化合物(B)、光重合開始剤(C)、熱架橋剤(D)、又は添加剤(E又はF)を、表2に示すように変えた組成物No.2〜8を調製し、組成物No.1と同様にして評価した。
すなわち、組成物No.2は、中分子量のカルボキシル基含有ポリマーA2−aに代えて、A2−bを用いた。
組成物No.3は、ブロック化イソシアネート系化合物の種類をD1からD2に変更した。
組成物No.4は、リン含有エチレン性不飽和化合物(B1)を減量し、難燃剤としてリン系化合物(E1)を添加した。
組成物No.5は、リン含有エチレン性不飽和化合物(B1)を減量し、難燃剤としてリン系化合物(E2)を添加した。
組成物No.6は、リン含有エチレン性不飽和化合物(B1)を含有させずに、エチレン性不飽和結合含有化合物(B3)の含有量を高めた。
組成物No.7は、リン含有エチレン性不飽和化合物(B1)を含有させずに、エチレン性不飽和結合含有化合物(B2)及び(B3)の含有量を高めた。
組成物No.8は、リン含有エチレン性不飽和化合物(B1)を含有させずに、高分子量カルボキシル基含有ポリマー(A1)、中分子量カルボキシル基含有ポリマーA2−a、及びエチレン性不飽和結合含有化合物(B2)、(B3)の含有量を高めた。
Photosensitive resin composition No. 2-8:
Composition No. As shown in Table 2, the base polymer (A), the ethylenically unsaturated bond-containing compound (B), the photopolymerization initiator (C), the thermal crosslinking agent (D), or the additive (E or F) in 1 Composition No. changed 2-8 were prepared and composition No. Evaluation was performed in the same manner as in 1.
That is, the composition No. 2 used A2-b instead of the medium molecular weight carboxyl group-containing polymer A2-a.
Composition No. 3 changed the kind of blocked isocyanate compound from D1 to D2.
Composition No. 4 reduced the amount of phosphorus-containing ethylenically unsaturated compound (B1) and added phosphorus compound (E1) as a flame retardant.
Composition No. 5 reduced the amount of phosphorus-containing ethylenically unsaturated compound (B1) and added phosphorus compound (E2) as a flame retardant.
Composition No. 6 increased the content of the ethylenically unsaturated bond-containing compound (B3) without containing the phosphorus-containing ethylenically unsaturated compound (B1).
Composition No. 7 increased the contents of the ethylenically unsaturated bond-containing compounds (B2) and (B3) without containing the phosphorus-containing ethylenically unsaturated compound (B1).
Composition No. 8 is a high molecular weight carboxyl group-containing polymer (A1), a medium molecular weight carboxyl group-containing polymer A2-a, and an ethylenically unsaturated bond-containing compound (B2) without containing the phosphorus-containing ethylenically unsaturated compound (B1). , (B3) content was increased.
評価結果を、まとめて表2に示す。尚、表1及び表2に示す各成分は、下記の通りである。
(1)高分子量のカルボキシル基含有ポリマー(A1)
メチルメタクリレート/n−ブチルメタクリレート/スチレン/メタクリル酸=45/15/15/25(重量比)の割合で重合させてなるカルボキシル基含有ポリマー(重量平均分子量Mw=168,000、酸価163mgKOH/g)。なお、重量平均分子量Mwは、GPC(ゲル浸透クロマトグラフィー)装置を用い、乾燥ポリマーのTHF(テトラヒドロフラン)溶解液を、ポリスチレン基準で測定した値である。
(2)中分子量のカルボキシル基含有ポリマー(A2)
(2−1)A2−a:
メチルメタクリレート/スチレン/2−エチルヘキシルアクリレート/メタクリル酸=31/30/15/24(重量比)の割合で重合させてなるカルボキシル基含有ポリマー(重量平均分子量Mw=45,000、酸価156mgKOH/g)
(2−2)A2−b:
スチレン/アクリル酸=75/25(重量比)の割合で重合させてなるカルボキシル基含有ポリマー(重量平均分子量Mw=20,000、酸価195mgKOH/g)
The evaluation results are collectively shown in Table 2. In addition, each component shown in Table 1 and Table 2 is as follows.
(1) High molecular weight carboxyl group-containing polymer (A1)
Carboxyl group-containing polymer polymerized at a ratio of methyl methacrylate / n-butyl methacrylate / styrene / methacrylic acid = 45/15/15/25 (weight ratio) (weight average molecular weight Mw = 168,000, acid value 163 mgKOH / g ). The weight average molecular weight Mw is a value obtained by measuring a THF (tetrahydrofuran) solution of a dry polymer on a polystyrene basis using a GPC (gel permeation chromatography) apparatus.
(2) Medium molecular weight carboxyl group-containing polymer (A2)
(2-1) A2-a:
Carboxyl group-containing polymer polymerized at a ratio of methyl methacrylate / styrene / 2-ethylhexyl acrylate / methacrylic acid = 31/30/15/24 (weight ratio) (weight average molecular weight Mw = 45,000, acid value 156 mgKOH / g )
(2-2) A2-b:
Carboxyl group-containing polymer obtained by polymerization at a ratio of styrene / acrylic acid = 75/25 (weight ratio) (weight average molecular weight Mw = 20,000, acid value 195 mgKOH / g)
(3)エチレン性不飽和結合含有化合物(B)
B1:ダイセルサイテック社の「RAYLOCK1722」(これは、前記(7)式で示すようなエステル形成官能基を有するリン化合物を用いたリン含有エチレン性不飽和化合物である。C−NMR(Zgig)から計算される数平均分子量は1200で、リン含有率は4.5%である。)
B2:ダイセルサイテック社製の「Ebecryl 648」(これは、OH基を1分子中に2個以上含有するビスフェノールAエポキシアクリレートである。)
B3:エチレンオキサイド変性ビスフェノールAジアクリレート(エチレンオキサイドの繰返し数:10)
B4:サートマー社製の「SR492」(これは、トリメチロールプロパントリプロポキシトリアクリレートである。)
(3) Compound containing ethylenically unsaturated bond (B)
B1: “RAYLOCK 1722” manufactured by Daicel Cytec Co., Ltd. (This is a phosphorus-containing ethylenically unsaturated compound using a phosphorus compound having an ester-forming functional group as shown in the above formula (7). From C-NMR (Zgig) (The calculated number average molecular weight is 1200 and the phosphorus content is 4.5%.)
B2: “Ebecryl 648” manufactured by Daicel Cytec Co., Ltd. (This is a bisphenol A epoxy acrylate containing two or more OH groups in one molecule.)
B3: Ethylene oxide modified bisphenol A diacrylate (Number of ethylene oxide repeats: 10)
B4: “SR492” manufactured by Sartomer (this is trimethylolpropane tripropoxytriacrylate)
(4)光重合開始剤(C)
C1:Ciba社製の「Irgacure 907」(これは、2−メチル−1−〔4−(メチルチオ)フェニル〕−2−モルフォリノプロパン−1−オンである。)
C2:Ciba社製の「Irgacure 651」(これは、ベンジルジメチルケタールである。)
C3:2,4−ジエチルチオキサントン
(4) Photopolymerization initiator (C)
C1: “Irgacure 907” manufactured by Ciba (this is 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one)
C2: “Irgacure 651” manufactured by Ciba (this is benzyldimethyl ketal)
C3: 2,4-diethylthioxanthone
(5)熱架橋剤(D)として下記ブロック化イソシアネート
D1:旭化成ケミカルズ株式会社製の「デュラネート TPA-B80E」
D2:三井武田ケミカル株式会社製の「タケネート B−882N」
(5) The following blocked isocyanate as the thermal crosslinking agent (D) D1: “Duranate TPA-B80E” manufactured by Asahi Kasei Chemicals Corporation
D2: “Takenate B-882N” manufactured by Mitsui Takeda Chemical Co., Ltd.
(6)添加剤
E1:ビスフェノールAビス(ジフェニル)ホスフェート
E2:ビスフェノールAビス(ジクレジルホスフェート)
F:Surface Specialties 社製の「Modaflow」
(6) Additive E1: Bisphenol A bis (diphenyl) phosphate E2: Bisphenol A bis (dicresyl phosphate)
F: “Modaflow” manufactured by Surface Specialties
表2からわかるように、リン含有エチレン性不飽和化合物(B1)を含有しない場合(No.6,7)、真空ラミネート性が悪く、可撓性にも劣るものであり、また難燃剤(E1)又は(E2)を添加しないと難燃性を充足させることもできなかった。またNo.8からわかるように、ベースポリマーの含有量を高めることにより、べたつきを低減させて真空ラミネート性を充足させることができても、エポキシ(メタ)アクリレート系モノマー(B2)が多くなると、現像性が低下し、また、リン含有エチレン性不飽和化合物(B1)を含有しないことで、可撓性が低下し、難燃性も満足することができなかった。
一方、リン含有エチレン性不飽和化合物(B1)をエチレン性不飽和結合含有化合物として含有させると、べたつきがおさえられて優れた真空ラミネート性を有し(No.1〜5)、難燃剤(E1)、(E2)の有無にかかわらず、難燃性を満足させることができた(No.1〜3)。
As can be seen from Table 2, when the phosphorus-containing ethylenically unsaturated compound (B1) is not contained (No. 6, 7), the vacuum laminating property is poor and the flexibility is poor, and the flame retardant (E1 ) Or (E2) was not added, the flame retardancy could not be satisfied. No. As can be seen from FIG. 8, by increasing the content of the base polymer, the stickiness can be reduced and the vacuum laminating property can be satisfied, but if the epoxy (meth) acrylate monomer (B2) increases, the developability is increased. In addition, by not containing the phosphorus-containing ethylenically unsaturated compound (B1), flexibility was lowered and flame retardancy could not be satisfied.
On the other hand, when the phosphorus-containing ethylenically unsaturated compound (B1) is contained as an ethylenically unsaturated bond-containing compound, stickiness is suppressed and excellent vacuum laminating properties are obtained (No. 1 to 5), and the flame retardant (E1 ) And (E2) were able to satisfy flame retardancy regardless of the presence or absence (No. 1 to 3).
本発明の感光性樹脂組成物は、難燃剤やヒュームドシリカ等の無機フィラーを含有させなくても、難燃性を満足でき、べたつきを抑制して真空ラミネート性を満足させることができ、更に、耐溶剤性、難燃性、可撓性、導体回路に対する追従性、現像性、半田耐熱性などのソルダーレジストとして要求される特性を満足することができるので、高度な清浄性が要求されるHDDサスペンジョン用回路基板に用いられるソルダーレジストドライフィルム、又は当該ドライフィルムを提供できる感光性樹脂組成物として利用できる。 The photosensitive resin composition of the present invention can satisfy the flame retardancy without containing an inorganic filler such as a flame retardant or fumed silica, and can satisfy the vacuum laminating property by suppressing stickiness. It can satisfy the characteristics required for solder resists such as solvent resistance, flame retardancy, flexibility, followability to conductor circuits, developability, solder heat resistance, etc., so high cleanliness is required It can be used as a solder resist dry film used for a circuit board for HDD suspension or a photosensitive resin composition capable of providing the dry film.
Claims (11)
前記エチレン性不飽和結合含有化合物(B)が、リン含有エチレン性不飽和化合物(B1)及び分子内に水酸基を2個以上有するエポキシ((メタ)アクリレート系化合物(B2)を含んでなり、
前記リン含有エチレン性不飽和化合物(B1)が、
多価カルボン酸、多価アルコール、及びエステル形成性官能基を有するリン化合物を重縮合してなるポリエステルオリゴマー(a)と、
水酸基及び/又はカルボキシル基を有するエチレン性不飽和化合物(b)との反応生成物であることを特徴とする感光性樹脂組成物。 In the photosensitive resin composition comprising the base polymer (A), the photopolymerizable ethylenically unsaturated bond-containing compound (B), and the photopolymerization initiator (C),
The ethylenically unsaturated bond-containing compound (B) comprises a phosphorus-containing ethylenically unsaturated compound (B1) and an epoxy ((meth) acrylate compound (B2) having two or more hydroxyl groups in the molecule,
The phosphorus-containing ethylenically unsaturated compound (B1) is
A polyester oligomer (a) obtained by polycondensation of a polyvalent carboxylic acid, a polyhydric alcohol, and a phosphorus compound having an ester-forming functional group;
A photosensitive resin composition which is a reaction product with an ethylenically unsaturated compound (b) having a hydroxyl group and / or a carboxyl group .
(式中、R1〜R4は、それぞれ炭素数1〜20の炭化水素基であり、同一であっても異なっていてもよく、またR1とR2、R1とR3、R3とR4は互いに環を形成していてもよく、Aは下記一般式(4)で表される構造を有する。)
(式中、Xは3価の有機基であり、R5はエステル形成性官能基である。) The photosensitive resin composition according to claim 1 , wherein the phosphorus compound having an ester-forming functional group is a compound represented by any one of the following general formulas (1) to (3).
(Wherein, R 1 to R 4 are each a hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, which may be the same or different and also R 1 and R 2, R 1 and R 3, R 3 And R 4 may form a ring with each other, and A has a structure represented by the following general formula (4).
(In the formula, X is a trivalent organic group, and R 5 is an ester-forming functional group.)
重量平均分子量が100,000〜250,000で、且つ酸価が50〜250mgKOH/gのカルボキシル基を有する(メタ)アクリル系ポリマー(A1)と、
重量平均分子量が5,000〜80,000で、且つ酸価が50〜300mgKOH/gのカルボキシル基を有する(メタ)アクリル系ポリマー(A2)との混合物である請求項6に記載の感光性樹脂組成物。 The (meth) acrylic polymer having the carboxyl group is
A (meth) acrylic polymer (A1) having a carboxyl group having a weight average molecular weight of 100,000 to 250,000 and an acid value of 50 to 250 mgKOH / g;
The photosensitive resin according to claim 6 , which is a mixture with a (meth) acrylic polymer (A2) having a carboxyl group having a weight average molecular weight of 5,000 to 80,000 and an acid value of 50 to 300 mgKOH / g. Composition.
該支持フィルム上に積層された請求項1〜9のいずれかに記載の感光性樹脂組成物層;及び
該感光性樹脂組成物層上に積層された保護フィルム
を含む感光性樹脂積層体。 Support film;
And a photosensitive resin laminate comprising a protective film laminated to the photosensitive resin composition layer; the photosensitive resin composition layer according to any one of claims 1 to 9 which is laminated on the support film.
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