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JP4855595B2 - Method for manufacturing glass substrate for plasma display panel - Google Patents
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JP4855595B2 - Method for manufacturing glass substrate for plasma display panel - Google Patents

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光洋 山下
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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ディスプレイ用ガラス基板の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
フラットパネルディスプレイであるプラズマディスプレイパネル(以下、PDPという場合がある)は、一般に、対向する2枚のガラス基板にそれぞれ規則的に配列した一対の電極を設け、その間にNeやXe等の不活性ガスを主体とするガスを封入した構造になっている。そして、これらの電極間に電圧を印加し、電極周辺の微小なセル内で放電を発生させることによって、各セルを発光させて表示を行っている。
【0003】
PDPに用いられる表示側のガラス基板として、従来から、ガラス基板上に黒色耐熱層を形成し、その黒色耐熱層上に配線電極を形成したガラス基板が用いられてきた。この基板では、黒色耐熱層によって画面のコントラストを高めることができる。このようなガラス基板は、ペーストを用いて形成することができる。具体的には、まず、焼成によって黒色耐熱層となるペーストからなる第1の膜と、焼成によって配線電極となるペーストからなる第2の膜とを所定のパターンに形成する。膜のパターニングは、たとえば感光性のペーストを用いたフォトリソ法で行うことができる。その後、第1の膜と第2の膜とを焼成することによって黒色耐熱層と配線電極とを形成する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、フォトリソ法でパターニングを行う場合には、露光の時に配線電極側から光を入射させるために、第1の膜が第2の膜よりも狭く形成される。その結果、焼成時に、第2の膜の幅方向の両端部が浮き上がる現象(エッジカール)が生じる。以上のように発生したエッジカールは、その上に形成する誘電体層の形成に悪影響を与え、均一な膜形成を阻害し、ディスプレイ点灯中に異常放電を発生させるという問題がある。また、上記方法では、最終的な配線電極の幅が黒色耐熱層の幅よりも広くなってしまうが、このことも誘電体層の形成に悪影響を与える。
【0005】
本発明は、上記のような問題点に鑑みてなされたものであり、特性が高いフラットパネルディスプレイを構成できるディスプレイ用ガラス基板の製造方法を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明のプラズマディスプレイパネル用ガラス基板の製造方法は、ガラス基板と黒色耐熱層と配線電極とを備えるプラズマディスプレイパネル用ガラス基板の製造方法であって、
(i)前記ガラス基板上に、焼成によって前記黒色耐熱層となる第1の層と、前記第1の層上に積層され焼成によって前記配線電極となる第2の層とを形成する工程と、
(ii)前記第1および第2の層を焼成することによって、前記ガラス基板上に形成された前記黒色耐熱層と、前記黒色耐熱層上に形成され前記黒色耐熱層よりも幅が狭い前記配線電極とを形成する工程とを含み、
前記第2の層は、前記第1の層と比べて焼成による収縮率が大きく、
前記(i)の工程において、前記第2の層を前記第1の層と同じ幅または前記第1の層よりも広い幅で形成することを特徴とする。
【0008】
上記製造方法では、前記(i)の工程において、前記第2の層を前記第1の層よりも狭い幅で形成してもよい。この構成によれば、一般的な材料を用いて第1および第2の層を形成することによって、黒色耐熱層よりも幅が狭い配線電極を形成できる。
【0009】
上記製造方法では、前記第2の層は、前記第1の層と比べて焼成による収縮率が大きく、前記(i)の工程において、前記第2の層を前記第1の層と同じ幅または前記第1の層よりも広い幅で形成してもよい。この構成では、たとえば、フォトリソ法を用いて第1および第2の層を形成できる。
【0010】
上記製造方法では、前記第1の層が第1の固体を含む第1のペーストによって形成され、前記第2の層が第2の固体を含む第2のペーストによって形成され、前記第2のペースト中の前記第2の固体の体積含有率が、前記第1のペースト中の前記第1の固体の体積含有率よりも低くてもよい。この構成によれば、第1および第2の層の収縮率を容易に制御できる。
【0011】
上記製造方法では、前記第1のペースト中の前記第1の固体の体積含有率が、前記第2のペースト中の前記第2の固体の体積含有率の1.2倍以上であってもよい。
【0012】
上記製造方法では、前記(i)の工程ののちであって前記(ii)の工程の前に、焼成によって誘電体層となる第3の層を、前記第1および第2の層を覆うように形成する工程をさらに含み、前記(ii)の工程は、前記第1、第2および第3の層を焼成することによって、前記ガラス基板上に形成された前記黒色耐熱層と、前記黒色耐熱層上に形成され前記黒色耐熱層よりも幅が狭い前記配線電極と、前記黒色耐熱層と前記配線電極とを覆うように形成された誘電体層とを形成する工程であってもよい。この構成によれば、焼成が一回ですむため、低コストにディスプレイ用ガラス基板を製造できる。
【0013】
上記製造方法では、前記第1および第2の層が、有機溶媒を分散媒とするペーストによって形成され、前記第3の層が、水を分散媒とするペーストによって形成されてもよい。この構成によれば、第1および第2の層と、第3の層とが相溶することを防止できる。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【0017】
(実施形態1)
実施形態1では、本発明のディスプレイ用ガラス基板について説明する。実施形態1のディスプレイ用ガラス基板10について、断面図を図1に示す。
【0018】
図1を参照して、ディスプレイ用ガラス基板10は、ガラス基板11と、ガラス基板11上の一部に配置された黒色耐熱層12と、黒色耐熱層12上に配置された配線電極13と、黒色耐熱層12および配線電極13を覆うようにガラス基板11上に形成された誘電体層14とを備える。
【0019】
ガラス基板11には、透明なガラス基板を用いることができる。黒色耐熱層12は、黒色で耐熱性が高い(PDPの動作時の温度で変質がない)材料からなる層である。黒色耐熱層12は、たとえば、白金黒や酸化ルテニウムの粉末、Fe、Cr、Co、Cu、Mn、Al等を主成分とする金属酸化物、または黒色のガラスなどによって形成できる。黒色耐熱層12の幅は特に限定がないが、たとえば、30μm〜150μmの範囲内である。黒色耐熱層12の厚さは、たとえば1μm〜4μm程度である。
【0020】
配線電極13は、放電を生じさせるために形成される。配線電極13は、抵抗率が低い銀、銅、アルミニウムまたはこれらの合金で形成でき、銀または銅で形成することが特に好ましい。中でも、銀は、耐酸化性を有するため好ましい。図1に示すように、配線電極13の幅は黒色耐熱層12の幅よりも狭い。配線電極13の厚さは、たとえば2μm〜10μm程度である。
【0021】
誘電体層14は、ガラスなどの誘電体材料によって形成できる。なお、誘電体層14上に、MgOなどからなる保護層をさらに形成してもよい。
【0022】
実施形態1のディスプレイ用ガラス基板10では、配線電極13の幅が黒色耐熱層12の幅よりも狭いため、誘電体層14を均一に形成することが容易であり特性が高いフラットパネルディスプレイを構成できる。
【0023】
(実施形態2)
実施形態2では、ディスプレイ用ガラス基板を製造するための本発明の製造方法について一例を説明する。実施形態2の製造方法について製造工程を図2に示す。なお、実施形態1で説明した部分と同様の部分については、同一の符号を付して重複する説明を省略する。
【0024】
まず、図2(a)に示すように、ガラス基板11上に、焼成によって黒色耐熱層12となる第1の層21と、第1の層21上に積層され焼成によって配線電極13となる第2の層22とを形成する(工程(i))。実施形態2の方法では、このとき、第2の層22を第1の層21よりも狭い幅で形成する。第1の層21は、焼成によって黒色耐熱層12となる材料からなる。また、第2の層22は、焼成によって配線電極13となる材料からなる。具体的には、実施形態1で説明した材料に、樹脂および有機溶媒を加えて形成したペーストなどを用いることができる。
【0025】
第1の層21と第2の層22とを形成する方法としては、どのような方法でもよいが、たとえば以下の2つの方法で形成できる。
【0026】
第1の方法は、スクリーン印刷法によって第1の層21と第2の層22とを形成する方法である。この方法によれば、所望のパターンを直接形成することができる。
【0027】
第2の方法では、ペーストの代わりに、第1の層21となるスラリーと第2の層22となるスラリーとを、ドクターブレード法などによってテープ状にしたものを用いる。具体的には、得られたテープ状のものを、ガラス基板11上に順に積層し、さらに所定のパターンに露光する。その後、現像によって不要な部分を除去してパターニングされた第1の層21と第2の層22とを得る。
【0028】
次に、第1の層21および第2の層22を焼成することによって、図2(b)に示すように、ガラス基板11上に形成された黒色耐熱層12と、黒色耐熱層12上に形成され黒色耐熱層12よりも幅が狭い配線電極13とを形成する(工程(ii))。焼成の条件については特に限定がなく、たとえば500℃〜600℃の温度で焼成を行うことができる。実施形態2の方法では、工程(i)において、第2の層22を第1の層21よりも狭い幅で形成するため、一般的な材料を用いて第1の層21および第2の層22を形成することによって、配線電極13の幅を、黒色耐熱層12の幅よりも狭くできる。
【0029】
誘電体層14は、工程(i)ののちであって工程(ii)の前、または工程(ii)の後に形成できる。工程(ii)の後に形成する場合には、一般的な方法で形成できる。
【0030】
工程(ii)の前に形成する場合には、図3(a)に示すように、焼成によって誘電体層14となる第3の層31を、第1の層21および第2の層22を覆うように形成する。第3の層31は、たとえば、誘電体ガラスと、水に溶解する高分子化合物(ポリビニルアルコールや水溶性エチルセルロースなど)と、水とを含むペーストで形成できる。このペーストは、さらに水溶性の分散剤を含んでもよい。
【0031】
第1および第2の層と、第3の層とをともに有機溶媒を用いたペーストで形成すると、それらが相溶し、パターンの剥離が生じる。これに対し、第1の層21および第2の層22は、水を分散媒とするペーストで形成し、第3の層31を有機溶媒を分散媒とするペーストで形成することによって、第1および第2の層と第3の層とが相溶することを防止できる。
【0032】
第3の層31を形成したのち、第1〜第3の層を同時に焼成することによって、図3(b)に示すように、黒色耐熱層12と配線電極13と誘電体層14とを同時に形成できる。
【0033】
(実施形態3)
実施形態3では、ディスプレイ用ガラス基板を製造するための本発明の製造方法について一例を説明する。実施形態3の製造方法について製造工程を図4に示す。なお、実施形態1または2で説明した部分と同様の部分については、同一の符号を付して重複する説明を省略する。
【0034】
まず、図4(a)に示すように、ガラス基板11上に、焼成によって黒色耐熱層12となる第1の層41と、第1の層41上に積層され焼成によって配線電極13となる第2の層42とを形成する(工程(i))。実施形態3の方法では、たとえば、以下の2つの方法で、第1の層41と第2の層42とを形成する。
【0035】
第1の方法は、感光性ペーストを用いて第1の層41と第2の層42とを形成する方法である。この方法では、まず、第1の層41(最終的には黒色耐熱層)となる感光性の第1のペーストと、第2の層42(最終的には配線電極)となる感光性の第2のペーストとをガラス基板11上に順に塗布したのち、所定のパターンに露光する。その後、現像によって不要な部分を除去し、所定の形状にパターニングされた第1の層41と第2の層42とを得る。
【0036】
第2の方法は、感光性ペーストを用いて第2の層42を形成する方法である。この方法では、まず、第1の層41となる感光性でない第1のペーストと、第2の層42となる感光性の第2のペーストとをガラス基板11上に順に塗布したのち、感光性の第2のペーストを所定のパターンに露光する。その後、現像によって不要な部分を除去し、所定の形状にパターニングされた第2の層42を得る。第1の層41は、第2の層42をマスクとして不要な部分を除去することによってパターニングできる。この場合、第1のペーストは感光性がないため、ペースト中の樹脂の量を減らすことができ、黒色の耐熱粒子の含有率を上げることができるのでき、また樹脂の焼成時の分解により発生するエッジカールの防止にも効果がある。
【0037】
露光によってパターニングを行うこれらの方法では、一般的に、第1の層41の幅が、第2の層42の幅と等しいかまたはより狭くなる。したがって、実施形態3の方法では、第2の層42を、第1の層41と比べて焼成による収縮率が大きくなるように形成する。具体的には、第1の層41を第1の固体と樹脂とを含む第1のペーストで形成し、同様に、第2の層42を第2の固体と樹脂とを含む第2のペーストで形成し、第2のペースト中の第2の固体の体積含有率が、第1のペースト中の第1の固体の体積含有率よりも低くなるようにすればよい。固体の体積含有率が小さいほど焼成時の収縮率が大きくなるため、これを調整することによって、各層の収縮率を制御できる。特に、第1のペースト中の第1の固体の体積含有率は、第2のペースト中の第2の固体の体積含有率の1.2倍以上とすることが好ましい。
【0038】
次に、第1の層41および第2の層42を焼成することによって、図4(b)に示すように、ガラス基板11上に形成された黒色耐熱層12と、黒色耐熱層12上に形成され黒色耐熱層12よりも幅が狭い配線電極13とを形成する(工程(ii))。焼成の条件については特に限定がなく、たとえば500℃〜600℃の温度で焼成を行うことができる。この焼成の際における第2の層42の収縮率が大きいため、配線電極13の幅が、黒色耐熱層12の幅よりも狭くなる。
【0039】
なお、誘電体層14は、実施形態2と同様に、工程(i)ののちであって工程(ii)の前、または工程(ii)ののちに形成できる。形成方法は、実施形態2で説明した方法と同様である。
【0040】
(実施形態4)
実施形態4では、本発明のフラットパネルディスプレイについて説明する。本発明のフラットパネルディスプレイは、たとえばPDPであり、実施形態1で説明したディスプレイ用ガラス基板を含む。
【0041】
(実施形態5)
実施形態5では、本発明のフラットパネルディスプレイの製造方法について説明する。この方法は、ディスプレイ用ガラス基板を含むフラットパネルディスプレイ(たとえばPDP)の製造方法であり、実施形態2または3で説明した方法でディスプレイ用ガラス基板を製造する工程を含む。
【0042】
【実施例】
以下に、実施例を用いて本発明をさらに詳細に説明する。なお、実施例では、配線電極の材料として銀を用い、第1の層および第2の層をスクリーン印刷で形成する場合について説明するが、本発明はこれに限定されない。実施の形態で説明したように、銅からなる配線電極を用いても同様の効果が得られ、また、第1の層、第2の層、誘電体層をテープ状のもので形成した場合でも同様の効果が得られる。
【0043】
(実施例1)
実施例1では、実施形態2の製造方法でディスプレイ用ガラス基板を製造した一例について説明する。
【0044】
まず、酸化ルテニウム粉末、軟化点が500℃以下の鉛系ガラス、エチルセルロース、および溶剤を三本ロールによって混合し、ペースト化した。このペーストを用いて、スクリーン印刷法によって、厚さ5μmで幅100μmのストライプ状の第1の層21を、100μm間隔でガラス基板上に形成し、70℃で乾燥させた。
【0045】
次に、銀粉末に、樹脂としてエチルセルロース、溶剤としてαターピネオールを加えて三本ロールによって混合し、ペースト化した。このペーストを用いて、スクリーン印刷法によって、第1の層21上に、厚さ10μm、幅70μmの第2の層22を100μm間隔で形成した。このようにして得られたサンプルを70℃で乾燥させた後、空気中において、570℃で10分間焼成して、黒色耐熱層12と、配線電極13とが形成されたガラス基板を得た。
【0046】
実施例1では、配線電極の幅を黒色耐熱層の幅よりも狭く形成でき、また、配線電極にエッジカールが生じなかった。
【0047】
(実施例2)
実施例2では、実施形態3の製造方法でディスプレイ用ガラス基板を製造した一例について説明する。
【0048】
まず、黒色耐熱層および配線電極となる感光性ペーストを作製した。具体的には、酸化ルテニウム粉と軟化点が500℃以下の鉛系ガラスに、アクリル系カルボン酸変性感光性バインダ、感光性モノマ、光重合開始剤および溶剤を加えて三本ロールによって混合し、第1のペーストを作製した。この第1のペーストをスクリーン印刷法によってガラス基板の全面に印刷し、70℃で乾燥させた。
【0049】
次に、銀粉末に、アクリル系カルボン酸変性感光性バインダと、感光性モノマと、光重合開始剤と、溶剤とを加えて三本ロールによって混合し、第2のペーストを作製した。この第2のペーストをスクリーン印刷法によって、第1のペーストで形成された膜の全面に印刷し、70℃で乾燥させた。
【0050】
次に、得られた基板に対して、幅100μmのストライプ状のパターンのマスクを用いて紫外線を部分的に照射し、紫外線の照射部分を硬化させた。次に、露光した基板を炭酸ナトリウム水溶液で現像し、第1の層41と第2の層42とを形成した。
【0051】
このようにして得られたサンプルを70℃で乾燥させた後、空気中において、570℃で10分間焼成して、黒色耐熱層12と配線電極13とが形成されたガラス基板を得た。
【0052】
実施例2の製造方法では、配線電極となる第2のペーストにおける固体の含有率(体積比)を、黒色耐熱層となる第1のペーストにおける固体の含有率(体積比)よりも低くすることによって、配線電極を黒色耐熱層よりも狭く形成できた。また、エッジカールの発生を防止できた。
【0053】
現像の条件を様々に変化させた場合においても、黒色耐熱層となる第1のペーストの固体の含有率(体積比)を、配線電極となる第2のペーストの固体の含有率(体積比)の1.2倍以上とすることによって、配線電極を黒色耐熱層よりも安定して狭く形成でき、エッジカールのない電極構造が実現できた。
【0054】
(実施例3)
実施例3では、実施例1および2の方法で得られたガラス基板に誘電体層を形成した一例について説明する。
【0055】
まず、誘電体粉とエチルセルロースと有機溶媒とを三本ロールで混練することによって、誘電体層となるペーストを作製した。実施例1または2で得られたガラス基板上に、黒色耐熱層と配線電極とを覆うように上記ペーストを100μmの厚さで塗布した。その後、このペーストを70℃で乾燥させたのち、空気中において570℃で10分間焼成することによって、黒色耐熱層と配線電極とを覆うように誘電体層が形成されたディスプレイ用ガラス基板を得た。
【0056】
このディスプレイ用ガラス基板を用いてフラットパネルディスプレイを作製し、ディスプレイを点灯させたが、放電中に異常放電は発生しなかった。
【0057】
(実施例4)
実施例4では、実施例1および2の方法で得られたガラス基板に誘電体層を形成した他の一例について説明する。
【0058】
まず、誘電体粉と水溶性エチルセルロースと水とを三本ロールで混練することによって、誘電体層となるペーストを作製した。実施例1または2で得られたガラス基板上に、黒色耐熱層と配線電極とを覆うように上記ペーストを100μmの厚さで塗布した。その後、このペーストを70℃で乾燥させたのち、空気中において570℃で10分間焼成することによって、黒色耐熱層と配線電極とを覆うように誘電体層が形成されたディスプレイ用ガラス基板を得た。
【0059】
このディスプレイ用ガラス基板を用いてフラットパネルディスプレイを作製し、ディスプレイを点灯させたが、放電中に異常放電は発生しなかった。
【0060】
(実施例5)
実施例5では、ディスプレイ用ガラス基板を製造した他の一例について説明する。
【0061】
まず、実施例1または2と同様の方法によって、第1の層41と第2の層42とが形成されたガラス基板(すなわち、焼成前のガラス基板)を作製した。
【0062】
一方、誘電体粉と水溶性エチルセルロースと水とを三本ロールで混練することによって、誘電体層となるペーストを作製した。このペーストを上記ガラス基板上に塗布して、70℃で乾燥させた。その後、空気中において570℃で10分間焼成することによって、黒色耐熱層と配線電極と誘電体層とを同時に形成した。このようにして、黒色耐熱層と配線電極とを覆うように形成された誘電体層を備えるディスプレイ用ガラス基板を得た。
【0063】
このディスプレイ用ガラス基板を用いてフラットパネルディスプレイを作製し、ディスプレイを点灯させたが、放電中に異常放電は発生しなかった。
【0064】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のディスプレイ用ガラス基板およびその製造方法によれば、特性が高いフラットパネルディスプレイ(PDPなど)を構成できるディスプレイ用ガラス基板が得られる。
【0065】
また、本発明のフラットパネルディスプレイおよびその製造方法によれば、特性が高いフラットパネルディスプレイが得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明のディスプレイ用ガラス基板について一例を示す断面図である。
【図2】 本発明のディスプレイ用ガラス基板の製造方法について一例を示す工程断面図である。
【図3】 本発明のディスプレイ用ガラス基板の製造方法について一例の一工程を示す工程断面図である。
【図4】 本発明のディスプレイ用ガラス基板の製造方法について他の一例を示す工程断面図である。
【符号の説明】
10 ディスプレイ用ガラス基板
11 ガラス基板
12 黒色耐熱層
13 配線電極
14 誘電体層
21、41 第1の層
22、42 第2の層
31 第3の層
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a glass substrate manufacturing method for a display.
[0002]
[Prior art]
A plasma display panel (hereinafter sometimes referred to as a PDP), which is a flat panel display, is generally provided with a pair of electrodes regularly arranged on two opposing glass substrates, and an inert such as Ne or Xe between them. It has a structure in which gas mainly composed of gas is enclosed. Then, a voltage is applied between these electrodes, and discharge is generated in minute cells around the electrodes, thereby causing each cell to emit light and performing display.
[0003]
Conventionally, a glass substrate in which a black heat-resistant layer is formed on a glass substrate and a wiring electrode is formed on the black heat-resistant layer has been used as a display-side glass substrate used for PDP. In this substrate, the contrast of the screen can be increased by the black heat-resistant layer. Such a glass substrate can be formed using a paste. Specifically, first, a first film made of a paste that becomes a black heat-resistant layer by firing and a second film made of a paste that becomes a wiring electrode by firing are formed in a predetermined pattern. The patterning of the film can be performed, for example, by a photolithography method using a photosensitive paste. Then, a black heat-resistant layer and a wiring electrode are formed by baking the first film and the second film.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
However, when patterning is performed by a photolithography method, the first film is formed narrower than the second film in order to allow light to enter from the wiring electrode side during exposure. As a result, a phenomenon (edge curl) in which both end portions in the width direction of the second film are lifted occurs during firing. The edge curl generated as described above has a problem that it adversely affects the formation of the dielectric layer formed thereon, obstructs uniform film formation, and causes abnormal discharge during display lighting. In the above method, the width of the final wiring electrode becomes wider than the width of the black heat-resistant layer. This also adversely affects the formation of the dielectric layer.
[0005]
This invention is made | formed in view of the above problems, and it aims at providing the manufacturing method of the glass substrate for displays which can comprise a flat panel display with a high characteristic.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
To achieve the above object, a manufacturing method of a plasma display panel glass substrate of the present invention is a manufacturing method of a plasma display glass substrate panel and a wiring electrode glass substrate and the black heat-resistant layer,
(I) forming on the glass substrate a first layer that becomes the black heat-resistant layer by firing, and a second layer that is laminated on the first layer and becomes the wiring electrode by firing;
(Ii) The black heat-resistant layer formed on the glass substrate by firing the first and second layers, and the wiring formed on the black heat-resistant layer and having a narrower width than the black heat-resistant layer Forming an electrode, and
The second layer has a larger shrinkage ratio due to firing than the first layer,
In the step (i), the second layer is formed to have the same width as the first layer or a width wider than the first layer.
[0008]
In the manufacturing method, in the step (i), the second layer may be formed with a narrower width than the first layer. According to this configuration, it is possible to form a wiring electrode having a width smaller than that of the black heat-resistant layer by forming the first and second layers using a general material.
[0009]
In the manufacturing method, the second layer has a larger shrinkage ratio due to firing than the first layer, and in the step (i), the second layer has the same width as the first layer or You may form in width wider than the said 1st layer. In this configuration, for example, the first and second layers can be formed using a photolithography method.
[0010]
In the manufacturing method, the first layer is formed of a first paste containing a first solid, the second layer is formed of a second paste containing a second solid, and the second paste The volume content of the second solid in the inside may be lower than the volume content of the first solid in the first paste. According to this configuration, the shrinkage rates of the first and second layers can be easily controlled.
[0011]
In the manufacturing method, the volume content of the first solid in the first paste may be 1.2 times or more the volume content of the second solid in the second paste. .
[0012]
In the manufacturing method, after the step (i) and before the step (ii), the third layer that becomes a dielectric layer by firing is covered with the first and second layers. The step (ii) further includes the step of forming the black heat-resistant layer formed on the glass substrate by firing the first, second and third layers. It may be a step of forming the wiring electrode formed on the layer and having a narrower width than the black heat-resistant layer, and a dielectric layer formed so as to cover the black heat-resistant layer and the wiring electrode. According to this structure, since the baking is required only once, a glass substrate for display can be manufactured at low cost.
[0013]
In the manufacturing method, the first and second layers may be formed of a paste using an organic solvent as a dispersion medium, and the third layer may be formed of a paste using water as a dispersion medium. According to this configuration, it is possible to prevent the first and second layers and the third layer from being compatible with each other.
[0016]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
[0017]
(Embodiment 1)
Embodiment 1 demonstrates the glass substrate for a display of this invention. A cross-sectional view of the glass substrate for display 10 of Embodiment 1 is shown in FIG.
[0018]
Referring to FIG. 1, a display glass substrate 10 includes a glass substrate 11, a black heat-resistant layer 12 disposed on a part of the glass substrate 11, a wiring electrode 13 disposed on the black heat-resistant layer 12, And a dielectric layer formed on the glass substrate 11 so as to cover the black heat-resistant layer 12 and the wiring electrode 13.
[0019]
As the glass substrate 11, a transparent glass substrate can be used. The black heat-resistant layer 12 is a layer made of a black material having high heat resistance (no change in temperature at the time of operation of the PDP). The black heat-resistant layer 12 can be formed of, for example, platinum black or ruthenium oxide powder, metal oxide mainly composed of Fe, Cr, Co, Cu, Mn, Al, or black glass. Although the width | variety of the black heat resistant layer 12 does not have limitation in particular, For example, it exists in the range of 30 micrometers-150 micrometers. The thickness of the black heat-resistant layer 12 is, for example, about 1 μm to 4 μm.
[0020]
The wiring electrode 13 is formed to cause discharge. The wiring electrode 13 can be formed of silver, copper, aluminum, or an alloy thereof having a low resistivity, and is particularly preferably formed of silver or copper. Among these, silver is preferable because it has oxidation resistance. As shown in FIG. 1, the width of the wiring electrode 13 is narrower than the width of the black heat-resistant layer 12. The thickness of the wiring electrode 13 is about 2 μm to 10 μm, for example.
[0021]
The dielectric layer 14 can be formed of a dielectric material such as glass. A protective layer made of MgO or the like may be further formed on the dielectric layer 14.
[0022]
In the glass substrate 10 for display of Embodiment 1, since the width | variety of the wiring electrode 13 is narrower than the width | variety of the black heat-resistant layer 12, it is easy to form the dielectric material layer 14 uniformly, and comprises a flat panel display with a high characteristic. it can.
[0023]
(Embodiment 2)
Embodiment 2 demonstrates an example about the manufacturing method of this invention for manufacturing the glass substrate for displays. The manufacturing process of the manufacturing method of Embodiment 2 is shown in FIG. In addition, about the part similar to the part demonstrated in Embodiment 1, the same code | symbol is attached | subjected and the overlapping description is abbreviate | omitted.
[0024]
First, as shown in FIG. 2A, a first layer 21 which becomes a black heat-resistant layer 12 by firing on a glass substrate 11, and a first layer 21 which is laminated on the first layer 21 and becomes a wiring electrode 13 by firing. The second layer 22 is formed (step (i)). In the method of the second embodiment, at this time, the second layer 22 is formed with a narrower width than the first layer 21. The first layer 21 is made of a material that becomes the black heat-resistant layer 12 by firing. The second layer 22 is made of a material that becomes the wiring electrode 13 by firing. Specifically, a paste formed by adding a resin and an organic solvent to the material described in Embodiment 1 can be used.
[0025]
As a method of forming the first layer 21 and the second layer 22, any method may be used. For example, the first layer 21 and the second layer 22 can be formed by the following two methods.
[0026]
The first method is a method of forming the first layer 21 and the second layer 22 by screen printing. According to this method, a desired pattern can be directly formed.
[0027]
In the second method, instead of the paste, a slurry in which the slurry to be the first layer 21 and the slurry to be the second layer 22 are formed into a tape shape by a doctor blade method or the like is used. Specifically, the obtained tape-shaped thing is laminated | stacked in order on the glass substrate 11, and also it exposes to a predetermined pattern. Thereafter, unnecessary portions are removed by development to obtain a patterned first layer 21 and second layer 22.
[0028]
Next, by firing the first layer 21 and the second layer 22, as shown in FIG. 2B, the black heat-resistant layer 12 formed on the glass substrate 11 and the black heat-resistant layer 12 are formed. A wiring electrode 13 that is formed and narrower than the black heat-resistant layer 12 is formed (step (ii)). There are no particular limitations on the firing conditions, and for example, firing can be performed at a temperature of 500 ° C to 600 ° C. In the method of the second embodiment, in the step (i), the second layer 22 is formed with a narrower width than the first layer 21, and therefore the first layer 21 and the second layer are formed using a general material. By forming 22, the width of the wiring electrode 13 can be made narrower than the width of the black heat-resistant layer 12.
[0029]
The dielectric layer 14 can be formed after step (i) and before step (ii) or after step (ii). When forming after process (ii), it can form by a general method.
[0030]
In the case of forming before the step (ii), as shown in FIG. 3A, the third layer 31 that becomes the dielectric layer 14 by firing, the first layer 21 and the second layer 22 are formed. Form to cover. The third layer 31 can be formed of, for example, a paste containing dielectric glass, a polymer compound that dissolves in water (such as polyvinyl alcohol or water-soluble ethyl cellulose), and water. This paste may further contain a water-soluble dispersant.
[0031]
When both the first and second layers and the third layer are formed of a paste using an organic solvent, they are compatible with each other and pattern peeling occurs. On the other hand, the first layer 21 and the second layer 22 are formed of a paste using water as a dispersion medium, and the third layer 31 is formed of a paste using an organic solvent as a dispersion medium. In addition, the second layer and the third layer can be prevented from being compatible.
[0032]
After the third layer 31 is formed, the first to third layers are fired simultaneously, so that the black heat-resistant layer 12, the wiring electrode 13, and the dielectric layer 14 are simultaneously formed as shown in FIG. Can be formed.
[0033]
(Embodiment 3)
In Embodiment 3, an example of the manufacturing method of the present invention for manufacturing a glass substrate for display will be described. The manufacturing process of the manufacturing method of Embodiment 3 is shown in FIG. In addition, about the part similar to the part demonstrated in Embodiment 1 or 2, the same code | symbol is attached | subjected and the overlapping description is abbreviate | omitted.
[0034]
First, as shown in FIG. 4A, a first layer 41 which becomes a black heat-resistant layer 12 by firing on a glass substrate 11 and a first layer 41 which is laminated on the first layer 41 and becomes a wiring electrode 13 by firing. The second layer 42 is formed (step (i)). In the method of the third embodiment, for example, the first layer 41 and the second layer 42 are formed by the following two methods.
[0035]
The first method is a method of forming the first layer 41 and the second layer 42 using a photosensitive paste. In this method, first, a photosensitive first paste that becomes a first layer 41 (finally a black heat-resistant layer) and a photosensitive first paste that becomes a second layer 42 (finally a wiring electrode). The two pastes are sequentially applied onto the glass substrate 11 and then exposed to a predetermined pattern. Thereafter, unnecessary portions are removed by development, and a first layer 41 and a second layer 42 patterned into a predetermined shape are obtained.
[0036]
The second method is a method of forming the second layer 42 using a photosensitive paste. In this method, first, a non-photosensitive first paste that becomes the first layer 41 and a photosensitive second paste that becomes the second layer 42 are sequentially applied on the glass substrate 11, and then the photosensitivity. The second paste is exposed to a predetermined pattern. Thereafter, unnecessary portions are removed by development to obtain a second layer 42 patterned into a predetermined shape. The first layer 41 can be patterned by removing unnecessary portions using the second layer 42 as a mask. In this case, since the first paste has no photosensitivity, the amount of the resin in the paste can be reduced, the content of the black heat-resistant particles can be increased, and it is generated by decomposition during firing of the resin. It is also effective in preventing edge curling.
[0037]
In these methods of patterning by exposure, the width of the first layer 41 is generally equal to or narrower than the width of the second layer 42. Therefore, in the method of the third embodiment, the second layer 42 is formed so that the shrinkage rate due to firing is larger than that of the first layer 41. Specifically, the first layer 41 is formed of a first paste containing a first solid and a resin, and similarly, the second layer 42 is a second paste containing a second solid and a resin. And the volume content of the second solid in the second paste may be lower than the volume content of the first solid in the first paste. Since the shrinkage ratio at the time of firing increases as the volume content of the solid decreases, the shrinkage ratio of each layer can be controlled by adjusting this. In particular, the volume content of the first solid in the first paste is preferably 1.2 times or more the volume content of the second solid in the second paste.
[0038]
Next, by firing the first layer 41 and the second layer 42, as shown in FIG. 4B, the black heat-resistant layer 12 formed on the glass substrate 11 and the black heat-resistant layer 12 are formed. A wiring electrode 13 that is formed and narrower than the black heat-resistant layer 12 is formed (step (ii)). There are no particular limitations on the firing conditions, and for example, firing can be performed at a temperature of 500 ° C to 600 ° C. Since the shrinkage rate of the second layer 42 during the firing is large, the width of the wiring electrode 13 becomes narrower than the width of the black heat-resistant layer 12.
[0039]
As in the second embodiment, the dielectric layer 14 can be formed after the step (i) and before the step (ii) or after the step (ii). The formation method is the same as the method described in the second embodiment.
[0040]
(Embodiment 4)
In Embodiment 4, a flat panel display of the present invention will be described. The flat panel display of the present invention is, for example, a PDP, and includes the display glass substrate described in the first embodiment.
[0041]
(Embodiment 5)
In Embodiment 5, a method for manufacturing a flat panel display of the present invention will be described. This method is a method for manufacturing a flat panel display (for example, PDP) including a glass substrate for display, and includes a step of manufacturing a glass substrate for display by the method described in the second or third embodiment.
[0042]
【Example】
Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples. In this embodiment, silver is used as the material for the wiring electrode and the first layer and the second layer are formed by screen printing. However, the present invention is not limited to this. As described in the embodiment, the same effect can be obtained even when a wiring electrode made of copper is used, and even when the first layer, the second layer, and the dielectric layer are formed in a tape shape. Similar effects can be obtained.
[0043]
Example 1
In Example 1, an example in which a glass substrate for display is manufactured by the manufacturing method of Embodiment 2 will be described.
[0044]
First, ruthenium oxide powder, lead-based glass having a softening point of 500 ° C. or lower, ethyl cellulose, and a solvent were mixed by a three-roll to form a paste. Using this paste, stripe-shaped first layers 21 having a thickness of 5 μm and a width of 100 μm were formed on a glass substrate by a screen printing method at intervals of 100 μm and dried at 70 ° C.
[0045]
Next, ethyl cellulose as a resin and α-terpineol as a solvent were added to the silver powder and mixed with three rolls to form a paste. Using this paste, the second layer 22 having a thickness of 10 μm and a width of 70 μm was formed at an interval of 100 μm on the first layer 21 by screen printing. The sample thus obtained was dried at 70 ° C. and then baked in the air at 570 ° C. for 10 minutes to obtain a glass substrate on which the black heat-resistant layer 12 and the wiring electrode 13 were formed.
[0046]
In Example 1, the width of the wiring electrode could be formed narrower than the width of the black heat-resistant layer, and no edge curl occurred in the wiring electrode.
[0047]
(Example 2)
In Example 2, an example in which a glass substrate for display is manufactured by the manufacturing method of Embodiment 3 will be described.
[0048]
First, the photosensitive paste used as a black heat-resistant layer and a wiring electrode was produced. Specifically, to ruthenium oxide powder and lead-based glass having a softening point of 500 ° C. or less, an acrylic carboxylic acid-modified photosensitive binder, a photosensitive monomer, a photopolymerization initiator and a solvent are added and mixed by three rolls A first paste was prepared. This first paste was printed on the entire surface of the glass substrate by a screen printing method and dried at 70 ° C.
[0049]
Next, an acrylic carboxylic acid-modified photosensitive binder, a photosensitive monomer, a photopolymerization initiator, and a solvent were added to the silver powder and mixed with three rolls to prepare a second paste. This second paste was printed on the entire surface of the film formed of the first paste by a screen printing method and dried at 70 ° C.
[0050]
Next, the obtained substrate was partially irradiated with ultraviolet rays using a mask having a stripe pattern with a width of 100 μm, and the irradiated portion was cured. Next, the exposed substrate was developed with an aqueous sodium carbonate solution to form a first layer 41 and a second layer 42.
[0051]
The sample thus obtained was dried at 70 ° C. and then baked in the air at 570 ° C. for 10 minutes to obtain a glass substrate on which the black heat-resistant layer 12 and the wiring electrode 13 were formed.
[0052]
In the manufacturing method of Example 2, the solid content (volume ratio) in the second paste to be the wiring electrode is made lower than the solid content (volume ratio) in the first paste to be the black heat-resistant layer. Thus, the wiring electrode could be formed narrower than the black heat-resistant layer. Moreover, the occurrence of edge curl could be prevented.
[0053]
Even when the development conditions are variously changed, the solid content (volume ratio) of the first paste that becomes the black heat-resistant layer is changed to the solid content (volume ratio) of the second paste that becomes the wiring electrode. As a result, the wiring electrode could be formed more stably and narrower than the black heat-resistant layer, and an electrode structure without edge curl could be realized.
[0054]
(Example 3)
In Example 3, an example in which a dielectric layer is formed on the glass substrate obtained by the methods of Examples 1 and 2 will be described.
[0055]
First, a dielectric powder, ethyl cellulose, and an organic solvent were kneaded with three rolls to prepare a paste that would be a dielectric layer. On the glass substrate obtained in Example 1 or 2, the paste was applied with a thickness of 100 μm so as to cover the black heat-resistant layer and the wiring electrode. Thereafter, the paste is dried at 70 ° C. and then baked in air at 570 ° C. for 10 minutes to obtain a display glass substrate on which a dielectric layer is formed so as to cover the black heat-resistant layer and the wiring electrode. It was.
[0056]
A flat panel display was produced using the glass substrate for display and the display was turned on, but no abnormal discharge occurred during the discharge.
[0057]
(Example 4)
In Example 4, another example in which a dielectric layer is formed on the glass substrate obtained by the methods of Examples 1 and 2 will be described.
[0058]
First, the dielectric powder, water-soluble ethyl cellulose, and water were kneaded with three rolls to produce a paste that would be a dielectric layer. On the glass substrate obtained in Example 1 or 2, the paste was applied with a thickness of 100 μm so as to cover the black heat-resistant layer and the wiring electrode. Thereafter, the paste is dried at 70 ° C. and then baked in air at 570 ° C. for 10 minutes to obtain a display glass substrate on which a dielectric layer is formed so as to cover the black heat-resistant layer and the wiring electrode. It was.
[0059]
A flat panel display was produced using the glass substrate for display and the display was turned on, but no abnormal discharge occurred during the discharge.
[0060]
(Example 5)
In Example 5, another example of manufacturing a glass substrate for display will be described.
[0061]
First, a glass substrate on which the first layer 41 and the second layer 42 were formed (that is, a glass substrate before firing) was produced by the same method as in Example 1 or 2.
[0062]
On the other hand, the dielectric powder, water-soluble ethyl cellulose, and water were kneaded with three rolls to produce a paste that would be a dielectric layer. This paste was applied onto the glass substrate and dried at 70 ° C. Then, the black heat-resistant layer, the wiring electrode, and the dielectric layer were simultaneously formed by baking at 570 ° C. for 10 minutes in the air. Thus, a glass substrate for display provided with a dielectric layer formed so as to cover the black heat-resistant layer and the wiring electrode was obtained.
[0063]
A flat panel display was produced using the glass substrate for display and the display was turned on, but no abnormal discharge occurred during the discharge.
[0064]
【The invention's effect】
As described above, according to the glass substrate for display and the manufacturing method thereof of the present invention, a glass substrate for display that can constitute a flat panel display (such as PDP) having high characteristics can be obtained.
[0065]
Further, according to the flat panel display and the manufacturing method thereof of the present invention, a flat panel display having high characteristics can be obtained.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a cross-sectional view showing an example of a glass substrate for display according to the present invention.
FIG. 2 is a process cross-sectional view illustrating an example of a method for producing a glass substrate for display according to the present invention.
FIG. 3 is a process cross-sectional view showing an example of the process for producing a glass substrate for display according to the present invention.
FIG. 4 is a process cross-sectional view showing another example of the method for producing a glass substrate for display according to the present invention.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Display glass substrate 11 Glass substrate 12 Black heat-resistant layer 13 Wiring electrode 14 Dielectric layer 21, 41 1st layer 22, 42 2nd layer 31 3rd layer

Claims (5)

ガラス基板と黒色耐熱層と配線電極とを備えるプラズマディスプレイパネル用ガラス基板の製造方法であって、
(i)前記ガラス基板上に、焼成によって前記黒色耐熱層となる第1の層と、前記第1の層上に積層され焼成によって前記配線電極となる第2の層とを形成する工程と、
(ii)前記第1および第2の層を焼成することによって、前記ガラス基板上に形成された前記黒色耐熱層と、前記黒色耐熱層上に形成され前記黒色耐熱層よりも幅が狭い前記配線電極とを形成する工程とを含み、
前記第2の層は、前記第1の層と比べて焼成による収縮率が大きく、
前記(i)の工程において、前記第2の層を前記第1の層と同じ幅または前記第1の層よりも広い幅で形成することを特徴とするプラズマディスプレイパネル用ガラス基板の製造方法。
A method for producing a glass substrate for a plasma display panel comprising a glass substrate, a black heat-resistant layer and a wiring electrode,
(I) forming on the glass substrate a first layer that becomes the black heat-resistant layer by firing, and a second layer that is laminated on the first layer and becomes the wiring electrode by firing;
(Ii) The black heat-resistant layer formed on the glass substrate by firing the first and second layers, and the wiring formed on the black heat-resistant layer and having a narrower width than the black heat-resistant layer Forming an electrode, and
The second layer has a larger shrinkage ratio due to firing than the first layer,
The method of manufacturing a glass substrate for a plasma display panel , wherein in the step (i), the second layer is formed to have the same width as the first layer or a width wider than the first layer.
前記第1の層が第1の固体を含む第1のペーストによって形成され、前記第2の層が第2の固体を含む第2のペーストによって形成され、
前記第2のペースト中の前記第2の固体の体積含有率が、前記第1のペースト中の前記第1の固体の体積含有率よりも低い請求項1に記載のプラズマディスプレイパネル用ガラス基板の製造方法。
The first layer is formed by a first paste containing a first solid, the second layer is formed by a second paste containing a second solid;
2. The glass substrate for a plasma display panel according to claim 1, wherein the volume content of the second solid in the second paste is lower than the volume content of the first solid in the first paste. Production method.
前記第1のペースト中の前記第1の固体の体積含有率が、前記第2のペースト中の前記第2の固体の体積含有率の1.2倍以上である請求項2に記載のプラズマディスプレイパネル用ガラス基板の製造方法。3. The plasma display according to claim 2, wherein a volume content of the first solid in the first paste is 1.2 times or more a volume content of the second solid in the second paste. Manufacturing method of glass substrate for panels . 前記(i)の工程ののちであって前記(ii)の工程の前に、焼成によって誘電体層となる第3の層を、前記第1および第2の層を覆うように形成する工程をさらに含み、
前記(ii)の工程は、前記第1、第2および第3の層を焼成することによって、前記ガラス基板上に形成された前記黒色耐熱層と、前記黒色耐熱層上に形成され前記黒色耐熱層よりも幅が狭い前記配線電極と、前記黒色耐熱層と前記配線電極とを覆うように形成された誘電体層とを形成する工程である請求項1ないし3のいずれかに記載のプラズマディスプレイパネル用ガラス基板の製造方法。
After the step (i) and before the step (ii), a step of forming a third layer to be a dielectric layer by firing so as to cover the first and second layers. In addition,
In the step (ii), the black, heat-resistant layer formed on the glass substrate and the black heat-resistant layer formed on the glass substrate by firing the first, second, and third layers. 4. The plasma display according to claim 1, which is a step of forming the wiring electrode having a narrower width than the layer and a dielectric layer formed so as to cover the black heat-resistant layer and the wiring electrode. Manufacturing method of glass substrate for panels .
前記第1および第2の層が、有機溶媒を分散媒とするペーストによって形成され、
前記第3の層が、水を分散媒とするペーストによって形成される請求項4に記載のプラズマディスプレイパネル用ガラス基板の製造方法。
The first and second layers are formed by a paste using an organic solvent as a dispersion medium,
The manufacturing method of the glass substrate for plasma display panels of Claim 4 with which the said 3rd layer is formed with the paste which uses water as a dispersion medium.
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