JP4871582B2

JP4871582B2 - 基板の処理装置

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Publication number: JP4871582B2
Application number: JP2005357672A
Authority: JP
Inventors: 治道廣瀬
Original assignee: Shibaura Mechatronics Corp
Current assignee: Shibaura Mechatronics Corp
Priority date: 2005-12-12
Filing date: 2005-12-12
Publication date: 2012-02-08
Anticipated expiration: 2025-12-12
Also published as: KR101372975B1; CN100582886C; CN1982970A; KR20070062443A; TW200732229A; JP2007165452A; TWI405701B

Description

この発明は基板を所定の角度で傾斜させて搬送しながら処理する基板の処理装置に関する。

液晶表示装置に用いられるガラス製の基板には回路パターンが形成される。基板に回路パターンを形成するにはリソグラフィープロセスが採用される。リソグラフィープロセスは周知のように上記基板にレジストを塗布し、このレジストに回路パターンが形成されたマスクを介して光を照射する。

つぎに、レジストの光が照射されない部分或いは光が照射された部分を除去し、基板のレジストが除去された部分をエッチングする。そして、エッチング後にレジストを除去するという一連の工程を複数回繰り返すことで、上記基板に回路パターンを形成する。

このようなリソグラフィープロセスにおいては、上記基板に現像液、エッチング液或いはエッチング後にレジストを除去する剥離液などの処理液によって基板を処理する工程、さらにリンス液によって洗浄する工程、洗浄後に基板に付着残留したリンス液を除去する乾燥工程が必要となる。

従来、基板に対して上述した一連の処理を行う場合、上記基板は軸線を水平にして配置された搬送ローラによってほぼ水平な状態でそれぞれの処理を行なう処理チャンバに順次搬送し、各処理チャンバで基板を処理液によって処理したり、処理後に圧縮気体を噴射して乾燥処理するようにしている。

ところで、最近では液晶表示装置に用いられるガラス製の基板が大型化及び薄型化する傾向にある。そのため、基板を水平搬送すると、搬送ローラ間における基板の撓みが大きくなるため、各処理チャンバでの処理が基板の板面全体にわたって均一に行えなくなるということが生じる。

さらに、基板が大型化すると、その基板を搬送する搬送ローラが設けられた搬送軸が長尺化する。しかも、基板が大型化することで、基板上に供給される処理液が増大し、基板上の処理液の量に応じて上記搬送軸に加わる荷重が大きくなるから、それらのことによって搬送軸の撓みが増大する。そのため、基板は搬送軸が撓むことによっても撓みが生じ、均一な処理が行えなくなるということがある。

そこで、処理液によって基板を処理する際、上記基板が処理液の重量によって撓むのを防止するため、基板を所定の傾斜角度、たとえば７５度の角度で傾斜させて搬送するということが考えられている。基板を傾斜させて搬送すれば、処理液は基板の板面に溜まらず、上方から下方へ円滑に流れるから、処理液の重量によって基板が撓むのを防止することができる。

ところで、基板を所定の角度で傾斜させて搬送しながら処理する処理装置の場合、基板は傾斜方向の下側の面が支持ローラによって支持され、下端が駆動ローラによって支持される。駆動ローラは駆動軸に取付けられ、その駆動軸は駆動源によって回転駆動される。上記処理装置には、複数の上記支持ローラと上記駆動ローラが上記基板の搬送方向に沿って所定間隔で配置される。それによって、上記基板は上記支持ローラによって支持されながら、上記駆動ローラによって駆動されることになる。したがって、処理装置には、この処理装置に設けられる複数の駆動ローラの数に応じた駆動軸が設けられることになる。

従来、上述した構成の処理装置を組み立てる場合、複数の駆動軸を処理装置に１本ずつ組み込むということが行なわれていた。つまり、処理装置のチャンバには、この処理装置に設けられる駆動軸の数に応じた取付け部が形成されている。そして、各取付け部に軸受を設け、この軸受に上記駆動軸を回転可能に支持して取付けると同時に、それぞれの駆動軸が互いに平行かつ基板の傾斜角度に対応する角度に傾斜するよう位置決めするということが行なわれていた。

しかしながら、チャンバに対して複数の駆動軸を位置決めしながら取付けるという作業は非常に多くの手間が掛かるということがあるばかりか、駆動軸はチャンバの上下方向の下部に設けられるため、作業者は低い体勢で作業を行なわなければならないために作業性が悪く、作業者に掛かる負担が大きくなるということもある。

この発明は、チャンバに対して駆動軸の取付け作業を容易に、しかも精度よく組み付けることができるようにした基板の処理装置を提供することにある。

この発明は、基板を所定の角度で傾斜させて搬送しながら処理する基板の処理装置において、
チャンバと、
このチャンバに設けられ、前記所定の角度と同じ角度で傾斜し、かつ前記基板の搬送方向に沿って複数設けられた搬送軸であって、それぞれの軸方向には上記基板の傾斜方向の下側の面を支持する回転可能な複数の支持ローラを有する搬送軸と、
上記基板の搬送方向に沿って所定間隔で設けられ前記所定の角度で傾斜した上記基板の下端を支持する複数の駆動ローラと、
上記駆動ローラを回転駆動して上記支持ローラに支持された上記基板を所定方向に搬送する駆動機構を具備し、
上記駆動機構は、
前記基板の搬送方向に沿って長尺で上記チャンバの外面に形成された取付け面に取付けられるベース部材と、
このベース部材に、このベース部材の長手方向に沿って前記搬送軸の配置間隔と同じ間隔で形成された複数の取付け孔と、
この取付け孔にそれぞれ挿入され、前記ベース部材にねじで取付け固定される外部外筒体と、
各外部外筒体に回転可能に支持され上記チャンバ内に突出した先端に上記駆動ローラが着脱可能に設けられる複数の駆動軸と、
この駆動軸の上記チャンバの外部に位置する後端に設けられ駆動源からの動力を上記駆動軸に伝達してこの駆動軸を回転させる動力伝達部材とを具備し、
前記チャンバの前記取付け面には、前記ベース部材に形成された前記取付け孔と対応する間隔で挿通孔が形成され、
前記ベース部材は、前記搬送軸が前記挿通孔を挿通する状態で前記チャンバの取付け面に取付け固定されてなり、
上記ベース部材は、上記駆動軸が予め組み付けられた状態で上記チャンバの前記取付け面に取付けられることを特徴とする基板の処理装置にある。

上記駆動軸の上記チャンバ内に突出した先端部分はこのチャンバに上記外部外筒体と連通して支持された内部外筒体に挿通支持されていて、上記各外筒体にはこれら外筒体の内部を通して上記チャンバ内に流出する気体を供給する気体供給管が接続されていることが好ましい。

上記駆動ローラは、上記駆動軸の先端に着脱可能に取付けられる盤状体と、この盤状体の盤面に着脱可能に取付けられる取付けリングと、この取付けリングの外周面に着脱可能に設けられ上記基板の下端を受ける弾性リングとによって構成されていることが好ましい。

この発明によれば、駆動ローラを回転駆動する駆動機構を構成する複数の駆動軸をベース部材に取付け、このベース部材をチャンバに取付けるようにした。そのため、複数の駆動軸を所定の精度で予めベース部材に取付けておけば、このベース部材を介して複数の駆動軸を一度にチャンバに取付けることができるから、複数の駆動軸を１本ずつチャンバに取付けるという手間の掛かる作業をせずにすむ。

以下、この発明の一実施の形態を図面を参照して説明する。
図１はこの発明の処理装置の概略的構成を示す斜視図であって、この処理装置は装置本体１を有する。この装置本体１は分割された複数の処理ユニット、この実施の形態では第１乃至第５の処理ユニット１Ａ〜１Ｅを分解可能に一列に連結してなる。

各処理ユニット１Ａ〜１Ｅは架台２を有する。この架台２の前面には箱型状の処理部３が所定の角度で傾斜して保持されている。上記架台２と処理部３の上面には上部搬送部４が設けられている。上記架台２の下端の幅方向両端には板状の一対の脚体５（一方のみ図示）が分解可能に設けられる。この脚体５によって上記架台２の下面側に空間部６が形成される。

上記空間部６には、上記処理部３で後述するように行なわれる基板Ｗの処理に用いられる薬液やリンス液などの処理液を供給するタンクやポンプ或いは処理液の供給を制御するための制御装置などの機器７をフレーム８に載置した機器部９が収納されるようになっている。つまり、各処理ユニット１Ａ〜１Ｅは架台２を脚体５で支持して処理部３の下方に空間部６を形成することで、上下方向に位置する処理部３、上部搬送部４及び機器部９の３つの部分に分割されている。

上記構成の処理装置は、複数の処理ユニット１Ａ〜１Ｅに分割可能であるばかりか、各処理ユニットは処理部３、上部搬送部４及び機器部９に分割可能である。そのため、処理装置が大型化した場合であっても、運搬時などには複数の処理ユニット１Ａ〜１Ｅに分解するだけでなく、さらに各処理ユニット１Ａ〜１Ｅを処理部３、上部搬送部４及び機器部９に分割して取り扱うことができる。

つまり、処理装置の装置本体１は長さ寸法だけでなく、高さ寸法も小さくして取り扱えるから、トラックの荷台に積んだときに、制限高さをオーバすることなく、運搬することが可能である。

上記処理部３は図１に示すように前面に蓋体１１が開閉可能に設けられたチャンバ１２を有する。このチャンバ１２は上記架台２に所定の角度である、たとえば垂直線に対して７５度の角度で傾斜して保持されていて、幅方向の両側面には７５度の角度で傾斜して搬送される基板Ｗが通過するスリット１３（図１に一箇所だけ図示）が形成されている。

上記チャンバ１２の内部には、図２に示すように傾斜搬送手段を構成する複数の搬送軸１５（１つのみ図示）がチャンバ１２の幅方向に所定間隔で設けられている。この搬送軸１５には、複数の支持ローラ１４が軸方向に所定間隔で回転可能に設けられている。

上記搬送軸１５は、軸線が上記スリット１３と同じ角度で傾斜するよう、下端が下部ブラケット１５ａに支持され、上端が上部ブラケット１５ｂに支持されている。各ブラケット１５ａ，１５ｂは一端が上記チャンバ１２に固定され、他端に上記搬送軸１５の下端部と上端部が支持されている。

上記チャンバ１２内には上記スリット１３から基板Ｗが図１に鎖線で示す第１の姿勢変換部１６によって水平状態から７５度の角度に変換されて搬入される。チャンバ１２内に搬入された基板Ｗは上記搬送軸１５に設けられた支持ローラ１４によって非デバイス面である背面が支持される。この基板Ｗの下端は駆動ローラ１７によって支持される。この駆動ローラ１７は駆動機構１８によって回転駆動さるようになっている。それによって、駆動ローラ１７に下端が支持され背面が上記支持ローラ１４に支持された上記基板Ｗは上記駆動ローラ１７の回転方向に搬送される。

なお、各処理ユニット１Ａ〜１Ｅの処理部３内には、図２に示すように基板Ｗを処理する、たとえば処理液を基板Ｗに噴射するシャワーユニットなどの処理手段２０が設けられている。

各処理ユニット１Ａ〜１Ｅを順次通過して処理された基板Ｗは７５度の傾斜した状態で搬出される。最終段の処理ユニット１Ｅから搬出された基板Ｗは、図１に鎖線で示す第２の姿勢変換部１９で傾斜状態から水平状態に姿勢が変換されて次工程に受け渡される。

上記駆動機構１８は、図３と図４に示すように上記基板Ｗの搬送方向に沿って長尺なベース部材２１を有する。このベース部材２１にはその長手方向に対して所定間隔、つまり上記搬送軸１５と同じ間隔で複数の第１の取付け孔２２が穿設されている。この実施の形態では１つの処理部３に１０本の搬送軸１５が設けられているとすると、その処理部３のチャンバ１２には２つのベース部材２１が一列に並んで設けられ、各ベース部材２１にはそれぞれ５つの第１の取付け孔２２が形成されている。

図３に示すように、上記第１の取付け孔２２には軸方向両端部内に一対の軸受２３が設けられた外部外筒体２４の先端部が挿入されている。この外部外筒体２４の先端部には鍔２５が設けられている。この鍔２５は上記ベース部材２１に形成された図示しない第２の取付け孔にねじ２６によって取付け固定されている。

上記外部外筒体２４には駆動軸２７が挿通されている。駆動軸２７は上記一対の軸受２３によって後端部側が回転可能に支持されている。この駆動軸２７の上記外部外筒体２４から突出した後端部には動力伝達部材としての第１の歯車２８が嵌着固定されている。

上記ベース部材２１には図４に示すように第３の取付け孔２９が形成されていて、その第３の取付け孔２９を介して上記チャンバ１２の下端部外面の取付け面１２ａに図示しないねじによって取付け固定される。

上記取付け面１２ａには上記ベース部材２１に形成された第１の取付け孔２２と対応する間隔で挿通孔３１が形成されている。各挿通孔３１には上記取付け面１２ａにベース部材２１を取付ける前に内部外筒体３２が挿通支持されている。この内部外筒体３２は後端に上記挿通孔３１よりも大径な鍔３３が設けられている。この鍔３３の一側面には上記取付け面１２ａとの間に介在するＯリングからなるパッキング３４が設けられ、他側面には径方向に沿う通気溝３５が形成されている。

そして、上記ベース部材２１は、上記内部外筒体３２が各挿通孔３１に挿入支持された状態で、上記駆動軸２７の先端部を上記内部外筒体３２に挿入しながら、上記取付け面１２ａに取付け固定される。それによって、上記内部外筒体３２はその鍔３３の他側面が外部外筒体２４の先端面に押圧されて軸方向に移動不能に保持される。

さらに、駆動軸２７の上記内部外筒体３２に挿入支持される先端部側には、上記内部外筒体３２の内径寸法よりもわずかに小径な複数の大径部３６が形成されている。それによって、上記内部外筒体３２は上記大径部３６によって径方向にがたつくことなく保持される。

上記駆動軸２７のチャンバ１２内に突出した先端部にはブッシュ３７を介して上記駆動ローラ１７が装着されている。この駆動ローラ１７は図３と図５に示すように盤状体４２を有する。この盤状体４２には反割りのボス部４１が設けられているとともに、径方向周辺部に周方向に沿って長い４つの通孔４３が９０度間隔で形成されている。通孔４３の長手方向中途部には大径部４３ａが形成されている。

そして、上記盤状体４２は、上記ボス部４１を上記駆動軸２７の先端部に装着し、その反割りのボス部４１に半円形状の固定部材４４をねじ４４ａで固定することで、上記駆動軸２７に着脱可能に取付け固定されている。

上記盤状体４２の盤面には取付けリング４５が上記通孔４３の大径部４３ａから挿通されたねじ４６によって着脱可能に取付け固定されている。上記取付けリング４５の外周面には超高分子量ポリエチレンやＥＰＤＭ（ゴム材の一種）などの弾性材料によって形成された弾性リング４７が着脱可能に装着されている。そして、上記弾性リング４７によって図３に示すように基板Ｗの下端が支持されるようになっている。

なお、ねじ４６の頭部の外形寸法は、上記通孔４３の大径部４３ａより小さく、大径部４３ａ以外の部分より大きくなっている。したがって、取付けリング４５に取付けられたねじ４６は上記通孔４３の大径部４３ａだけから挿脱することができる。

図３と図４に示すように、上記駆動軸２７の上記外部外筒体２４から突出した後端に嵌着された第１の歯車２８には第２の歯車５１が噛合している。複数の第１の歯車２８に噛合した複数の第２の歯車５１は取付け軸５２に所定間隔で取付けられている。この取付け軸５２は回転可能に支持されていて、中途部には従動プーリ５３が嵌着されている。

上記従動プーリ５３と駆動源５４の出力軸５５に設けられた駆動プーリ５６とにはベルト５７が張設されている。それによって、上記駆動源５４が作動して上記出力軸５５が回転すれば、その回転が上記取付け軸５２を介して上記駆動軸２７に伝達されるから、この駆動軸２７の先端に設けられた駆動ローラ１７が回転する。駆動ローラ１７が回転すれば、この駆動ローラ１７の弾性リング４７によって下端が支持された基板Ｗが上記駆動ローラ１７の回転方向に搬送されることになる。

図３に示すように、上記ベース部材２１には第１の取付け孔２２と対応する部位の下端面に、この第１の取付け孔２２に連通する給気孔５８が穿設されている。この給気孔５８には上記第１の取付け孔２２内に清浄な空気や窒素などの気体を供給する気体供給管５９が接続されている。

上記気体供給管５９から第１の取付け孔２２内に供給された気体は、図３に矢印で示すように内部外筒体３２の鍔３３に形成された通気溝３５から内部外筒体３２の内部と外部外筒体２４の内部とに流入する。

内部外筒体３２に流入した気体はその先端開口から流出する。それによって、チャンバ１２内の処理液を含む雰囲気が内部外筒体３２を通じてチャンバ１２の外部に流出するのを防止するようになっている。外部外筒体２４に流入した気体はその後端開口から流出する。それによって、駆動軸２７を支持した一対の軸受２３から塵埃が生じても、その塵埃が内部外筒体２を通ってチャンバ１２内に流入するのを阻止するようになっている。

このような構成の処理装置において、チャンバ１２に駆動機構１８を組み付ける場合には、まず、ベース部材２１に複数の外部外筒体２４を取付け固定する。ついで、各外部外筒体２４には後端に第１の歯車２８が嵌着された駆動軸２７を挿入し、その後端部側を上記外部外筒体２４内に設けられた一対の軸受２３によって回転可能に支持する。

外部外筒体２４に駆動軸２７を挿通支持したならば、チャンバ１２の下端部外面の取付け面１２ａに形成された挿通孔３１に内部外筒体３２を挿通支持する。ついで、駆動軸２７が保持された上記ベース部材２１を上記取付け面１２ａに取付け固定する。このとき、駆動軸２７の後端に設けられた第１の歯車２８を、取付け軸５２に設けられた第２の歯車５１に噛合させる。

上記ベース部材２１を上記取付け面１２ａに取付け固定するとき、上記内部外筒体３２内に駆動軸２７を挿入するとともに、上記挿通孔３１に挿通支持された上記内部外筒体３２の鍔３３をベース部材２１に形成された第１の取付け孔２２内に嵌め込む。それによって、駆動軸２７は先端部が上記内部外筒体３２の先端面から突出し、内部外筒体３２は後端の鍔３３が外部外筒体２４の先端面によって押圧保持される。

ベース部材２１をチャンバ１２の取付け面１２ａに取付け固定したならば、駆動軸２７の内部外筒体３２から突出した先端部に駆動ローラ１７を取付け固定する。また、ベース部材２１の給気孔５８に気体供給管５９を接続する。それによって、チャンバ１２に駆動機構１８を組み付けることができる。

上記ベース部材２１には複数の駆動軸２７を予め組み付けておき、このベース部材２１をチャンバ１２の取付け面１２ａに取付け固定することで、上記複数の駆動軸２７をチャンバ１２に一度に組み付けることができる。

そのため、複数の駆動軸２７を１本ずつチャンバ１２に組み付ける場合に比べ、駆動軸２７の組み付け作業を容易かつ迅速に行なうことが可能となる。しかも、ベース部材２１に複数の駆動軸２７を取付けるため、互いの駆動軸２７の軸線の平行度や取付け角度を精度よく確実に設定することが比較的容易に行なえる。そのため、複数の駆動軸２７をチャンバ１２に対して精度よく組み付けることができる。

駆動ローラ１７は盤状体４２、この盤状体４２に着脱可能に取付けられた取付けリング４５、この取付けリング４５に着脱可能に取付けられた弾性材料によって作られた弾性リング４７から構成されている。

チャンバ１２内を搬送される基板Ｗの下端は上記弾性リング４７によって支持される。そのため、上記弾性リング４７によって基板Ｗの下端が破損するのを防止することができる反面、長期の使用によって上記弾性リング４７が磨耗することが避けられない。

弾性リング４７が磨耗したならば、弾性リング４７が設けられた取付けリング４５を盤状体４２に固定したねじ４６を緩め、取付けリング４５を周方向に回転させてねじ４６を通孔４３の大径部４３ａに位置させる。そして、ねじ４６を大径部４３ａに通すことで、取付けリング４５をねじ４６とともに盤状体４２から取外すことができる。

取付けリング４５を盤状体４２から取外せば、取付けリング４５に保持された上記弾性リング４７を容易に交換することができる。すなわち、駆動ローラ１７を盤状体４２、取付けリング４５及びこの取付けリング４５に取付けられる弾性リング４７に分割したことで、この弾性リング４７が使用によって磨耗したならば、容易に交換することが可能となる。

しかも、取付けリング４５からねじ４６を外すことなく、この取付けリング４５を盤状体４２から取外すことができるから、その取外し作業を容易に行なうことができるばかりか、取付け作業も容易に行なうことができる。

上記通孔４３は周方向に長く形成され、中途部にねじ４６が挿脱可能な大径部４３ａが形成されている。そのため、盤状体４２に取付けリング４５を固定する際、ねじ４６を通孔４３の駆動ローラ１７の回転方向と反対側の端部に位置させておけば、使用中にねじ４６が緩むことがあっても、取付けリング４５が盤状体４２の回転方向と逆方向に回転してねじ４６が通孔４３の大径部４３ａに対応する位置にくることがない。したがって、ねじ４６が取付けリング４６から外れない限りは、その取付けリング４５が盤状体４２から外れることもない。

駆動軸２７は、チャンバ１２の外部に位置する外部外筒体２４と、チャンバ１２の内部に位置する内部外筒体３２とに挿通支持されている。そして、外部外筒体２４の先端と内部外筒体３２の後端との接続部分からこれら外筒体２４，３２内に気体を供給し、その気体を内部外筒体３２の先端開口と、外部外筒体２４の後端開口から流出させるようにしている。

そのため、チャンバ１２内のミスト状の処理液を含む雰囲気が内部外筒体３２内に流入してチャンバ１２の外部に流出するのを防止することができるばかりか、外部外筒体２４に設けられた軸受２３から塵埃が生じても、その塵埃が内部外筒体３２を通ってチャンバ１２内に流入するのを防止することができる。

上記一実施の形態では外筒体を外部外筒体と内部外筒体とに分割し、これらの外筒体内に駆動軸を挿通支持するようにしたが、外筒体は２つに分割せず、外部外筒体と内部外筒体とが一体となった構造であってもよい。

この発明の一実施の形態の処理装置の概略的構成を示す斜視図。上記処理装置のチャンバの断面図。チャンバの下端部に設けられた駆動機構を示す拡大図。ベース部材に駆動軸を組み付けた斜視図。駆動ローラの分解斜視図。

符号の説明

１２…チャンバ、１４…支持ローラ、１７…駆動ローラ（傾斜搬送手段）、１８…駆動機構、２１…ベース部材、２７…駆動軸、２８…第１の歯車（動力伝達部材）、５４…駆動源。

Claims

基板を所定の角度で傾斜させて搬送しながら処理する基板の処理装置において、
チャンバと、
このチャンバに設けられ、前記所定の角度と同じ角度で傾斜し、かつ前記基板の搬送方向に沿って複数設けられた搬送軸であって、それぞれの軸方向には上記基板の傾斜方向の下側の面を支持する回転可能な複数の支持ローラを有する搬送軸と、
上記基板の搬送方向に沿って所定間隔で設けられ前記所定の角度で傾斜した上記基板の下端を支持する複数の駆動ローラと、
上記駆動ローラを回転駆動して上記支持ローラに支持された上記基板を所定方向に搬送する駆動機構を具備し、
上記駆動機構は、
前記基板の搬送方向に沿って長尺で上記チャンバの外面に形成された取付け面に取付けられるベース部材と、
このベース部材に、このベース部材の長手方向に沿って前記搬送軸の配置間隔と同じ間隔で形成された複数の取付け孔と、
この取付け孔にそれぞれ挿入され、前記ベース部材にねじで取付け固定される外部外筒体と、
各外部外筒体に回転可能に支持され上記チャンバ内に突出した先端に上記駆動ローラが着脱可能に設けられる複数の駆動軸と、
この駆動軸の上記チャンバの外部に位置する後端に設けられ駆動源からの動力を上記駆動軸に伝達してこの駆動軸を回転させる動力伝達部材とを具備し、
前記チャンバの前記取付け面には、前記ベース部材に形成された前記取付け孔と対応する間隔で挿通孔が形成され、
前記ベース部材は、前記搬送軸が前記挿通孔を挿通する状態で前記チャンバの取付け面に取付け固定されてなり、
上記ベース部材は、上記駆動軸が予め組み付けられた状態で上記チャンバの前記取付け面に取付けられることを特徴とする基板の処理装置。
上記駆動軸の上記チャンバ内に突出した先端部分はこのチャンバに上記外部外筒体と連通して支持された内部外筒体に挿通支持されていて、上記各外筒体にはこれら外筒体の内部を通して上記チャンバ内に流出する気体を供給する気体供給管が接続されていることを特徴とする請求項１記載の基板の処理装置。
上記駆動ローラは、上記駆動軸の先端に着脱可能に取付けられる盤状体と、この盤状体の盤面に着脱可能に取付けられる取付けリングと、この取付けリングの外周面に着脱可能に設けられ上記基板の下端を受ける弾性リングとによって構成されていることを特徴とする請求項１記載の基板の処理装置。