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JP4872299B2 - Semiconductor memory device - Google Patents
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Description

本発明はワンチップマイクロコンピュータなどに用いられる半導体記憶装置、特にROM(Read Only Memory)に関する。   The present invention relates to a semiconductor memory device used for a one-chip microcomputer, and more particularly to a ROM (Read Only Memory).

半導体記憶装置のひとつであるROMの記憶内容の切り替えに関する従来技術としては、アルミ(アルミニウム)マスクによるものがある(例えば、特許文献1参照)。図2にそのメモリセルのマスクパターンの例を示す。N型拡散層FとポリシリコンX1〜X5の交差する部分にNMOSトランジスタT1〜T5が形成されている。該NMOSトランジスタT1〜T5のソースとドレインにはコンタクトC0〜C5がとられアルミ(アルミニウム)パターンA0〜A5と接続されている。また、アルミパターンA0は、負電極VSSに接続されている。NMOSトランジスタT1〜T5は1個あたり1ビットの情報を記憶でき、その方法はソースとドレインをアルミパターンで接続するか否かによる。NMOSトランジスタT1,T4,T5がアルミパターンで接続しない例、T2,T3がそれぞれアルミパターンA12,A23で接続した例である。
図3は図2に対応する回路図であり、これに基づいて図2のマスクパターン図で実現されるデバイスについて説明する。図3において、NMOSトランジスタT1に記憶されている情報を読み出すときはゲートX1に対するゲート信号X1’のみをLレベルにし、他のゲートX2〜X5に対するゲート信号X2’〜X5’をHレベルにする。図示しない手段により、NMOSトランジスタT5のドレインすなわちC5の電位をあらかじめHレベルにプリチャージしておけば、NMOSトランジスタT2〜T5はオンし、NMOSトランジスタT1はオフしているのでC5の電位はHレベルとなる。次にNMOSトランジスタT2に記憶されている情報を読み出すときはゲート信号X2’のみをLレベルにし、他のゲート信号X1’,X3’〜X5’をHレベルにする。このときNMOSトランジスタT1,T3〜T5はオンし、T2はオフするが、NMOSトランジスタT2のソースとドレインはアルミパターンA12で接続されているのでトランジスタがオンしているのと同じ状態になり、C5の電位はあらかじめHレベルにプリチャージしておいても読み出し時にはLレベルになる。
図4は図2,3のようなメモリセル構造を使用した半導体記憶装置(ROM回路)の一実施例であり、ソースが正電極VDDに接続されそれぞれのゲートに充電信号S1が共通に接続された複数のPMOSトランジスタからなる充電トランジスタ回路10、メモリを構成する複数の列および行から所定の列および行を選択する列デコーダ回路20および行デコーダ回路30、ソースが負電極VSSに接続されそれぞれのゲートに放電信号S2が共通に接続された複数のNMOSトランジスタからなる放電トランジスタ回路40、メモリセルとなる複数のNMOSトランジスタ、およびセンスアンプ50から構成される。メモリセルとしてはNMOSトランジスタを1列あたり16個を直列に、例えば一列目ではM1〜M16を直列に接続している。なお、以下便宜的に、メモリセルM1〜M16を構成する各トランジスタもM1〜M16と呼ぶことにする。また、センスアンプ50への入力ラインに繋がっている全ての寄生容量および浮遊容量をひとつにまとめて容量51として示してある。また、図4のROM回路における読み出しのタイミングチャートを図5に示す。
図4のROM回路の読み出し動作について、M11のデータ読み出しを例に説明する。充電トランジスタ回路10に入力される充電信号S1が時刻T1でLレベルになると充電回路10中のPMOSトランジスタがオンし、容量51が正電極VDDに接続されてHレベルに充電される。容量51のプリチャージが終了し時刻T2になると信号S1はHレベルになって充電トランジスタ回路中のPMOSトランジスタがオフするとともにアドレス信号ADDRESSが入力される。また、放電トランジスタ回路40に入力される放電信号S2は充電信号S1と同じ信号であるが、放電トランジスタ回路40がNMOSトランジスタで構成されているため、そのオン・オフ動作は充電トランジスタ回路10のオン・オフ動作の逆転したものになっている。アドレス信号ADDRESSがM11を選択するものであると、列デコーダ回路20中のスイッチのうちM11の存在する列に接続するものだけが導通する。また行デコーダ回路30は各行に対する選択信号として、図4に示すようにM11の存在する行にだけ信号Lを出力し、その他の行には信号Hを出力する。これらの信号はメモリセルM1〜M16を構成するそれぞれのNMOSトランジスタのゲートに入力され、M11のトランジスタのみオフし、M1〜M10およびM12〜M16のトランジスタはオンする。このとき、放電信号S2により放電トランジスタ回路40中のトランジスタはオンしているから、容量51にプリチャージされた電荷が、列デコーダ20,M1〜M16,放電トランジスタ回路40という経路で放電されるか否かは、M11のソース・ドレインがアルミパターンで短絡されているかによる。すなわち、M11のソース・ドレインがアルミで短絡されていなければ容量51の電荷は放電されないのでセンスアンプ50はそれを受けてM11に記憶された情報としてHを出力するし、アルミで短絡されていれば容量51の電荷が放電されて、センスアンプ50はM11に記憶された情報としてLを出力する。図4の例ではM11のソース・ドレインがアルミで短絡されているので、センスアンプ50はLを出力する。
As a conventional technique related to switching of stored contents of a ROM which is one of semiconductor memory devices, there is a technique using an aluminum (aluminum) mask (for example, see Patent Document 1). FIG. 2 shows an example of the mask pattern of the memory cell. NMOS transistors T1 to T5 are formed at the intersections of the N type diffusion layer F and the polysilicons X1 to X5. Contacts C0 to C5 are connected to the sources and drains of the NMOS transistors T1 to T5 and connected to aluminum (aluminum) patterns A0 to A5. The aluminum pattern A0 is connected to the negative electrode VSS. Each of the NMOS transistors T1 to T5 can store 1 bit of information, and the method depends on whether the source and drain are connected by an aluminum pattern. In this example, NMOS transistors T1, T4, and T5 are not connected by an aluminum pattern, and T2 and T3 are connected by aluminum patterns A12 and A23, respectively.
FIG. 3 is a circuit diagram corresponding to FIG. 2. Based on this, a device realized by the mask pattern diagram of FIG. 2 will be described. In FIG. 3, when reading the information stored in the NMOS transistor T1, only the gate signal X1 ′ for the gate X1 is set to L level, and the gate signals X2 ′ to X5 ′ for the other gates X2 to X5 are set to H level. If the drain of the NMOS transistor T5, that is, the potential of C5 is precharged to H level by means not shown, the NMOS transistors T2 to T5 are turned on and the NMOS transistor T1 is turned off, so that the potential of C5 is H level. It becomes. Next, when reading the information stored in the NMOS transistor T2, only the gate signal X2 ′ is set to L level, and the other gate signals X1 ′ and X3 ′ to X5 ′ are set to H level. At this time, the NMOS transistors T1, T3 to T5 are turned on, and T2 is turned off. However, since the source and drain of the NMOS transistor T2 are connected by the aluminum pattern A12, the state is the same as when the transistor is turned on. Even if the potential is precharged to H level in advance, it becomes L level during reading.
FIG. 4 shows an embodiment of a semiconductor memory device (ROM circuit) using the memory cell structure as shown in FIGS. 2 and 3. The source is connected to the positive electrode VDD, and the charge signal S1 is commonly connected to each gate. A charge transistor circuit 10 comprising a plurality of PMOS transistors, a column decoder circuit 20 and a row decoder circuit 30 for selecting a predetermined column and row from a plurality of columns and rows constituting the memory, and a source connected to the negative electrode VSS. It includes a discharge transistor circuit 40 including a plurality of NMOS transistors having a gate connected to a discharge signal S2, a plurality of NMOS transistors serving as memory cells, and a sense amplifier 50. As memory cells, 16 NMOS transistors per row are connected in series, for example, M1 to M16 are connected in series in the first row. For convenience, the transistors constituting the memory cells M1 to M16 are also referred to as M1 to M16. Further, all the parasitic capacitances and stray capacitances connected to the input line to the sense amplifier 50 are collectively shown as a capacitance 51. Further, FIG. 5 shows a timing chart of reading in the ROM circuit of FIG.
The read operation of the ROM circuit of FIG. When the charging signal S1 input to the charging transistor circuit 10 becomes L level at time T1, the PMOS transistor in the charging circuit 10 is turned on, and the capacitor 51 is connected to the positive electrode VDD and charged to H level. When the precharge of the capacitor 51 ends and at time T2, the signal S1 becomes H level, the PMOS transistor in the charging transistor circuit is turned off, and the address signal ADDRESS is input. The discharge signal S2 input to the discharge transistor circuit 40 is the same signal as the charge signal S1. However, since the discharge transistor circuit 40 is composed of an NMOS transistor, the on / off operation is performed when the charge transistor circuit 10 is turned on. • The off operation is reversed. If the address signal ADDRESS selects M11, only the switch in the column decoder circuit 20 that is connected to the column where M11 exists is turned on. Further, as shown in FIG. 4, the row decoder circuit 30 outputs a signal L only to a row where M11 exists, and outputs a signal H to the other rows, as shown in FIG. These signals are input to the gates of the NMOS transistors constituting the memory cells M1 to M16, only the transistor M11 is turned off, and the transistors M1 to M10 and M12 to M16 are turned on. At this time, since the transistor in the discharge transistor circuit 40 is turned on by the discharge signal S2, whether the charge precharged in the capacitor 51 is discharged through the path of the column decoder 20, M1 to M16, the discharge transistor circuit 40. No depends on whether the source and drain of M11 are short-circuited with an aluminum pattern. That is, if the source and drain of M11 are not short-circuited with aluminum, the charge of the capacitor 51 is not discharged. Therefore, the sense amplifier 50 receives this and outputs H as information stored in M11, and is short-circuited with aluminum. For example, the charge of the capacitor 51 is discharged, and the sense amplifier 50 outputs L as information stored in M11. In the example of FIG. 4, since the source and drain of M11 are short-circuited with aluminum, the sense amplifier 50 outputs L.

図4のROM回路においては、M11のデータ読み出しを行う際にそのデータが安定するまでの待ち時間(=図5のディレイTd)を必要とする。容量51にプリチャージされている電荷が放電されない場合はセンスアンプ50の入出力とも変化がないので、待ち時間を規定するのは容量51にプリチャージされた電荷を放電する場合の放電時間であり、その放電時間は容量51の容量値Cと読み出される素子の属する列全体のオン抵抗により規定される。列全体のオン抵抗は列デコーダ回路20中のスイッチのオン抵抗、M1〜M16の各抵抗および行デコーダ回路30中のPMOSトランジスタのオン抵抗の合計となる。M1〜M16全体の抵抗については、読み出しの対象となったトランジスタのみソース・ドレインがアルミパターンで短絡されていて、他のトランジスタが全て短絡されていない場合が最大のオン抵抗となる。その場合の最大オン抵抗RMAXは次式で表される。   The ROM circuit of FIG. 4 requires a waiting time (= delay Td in FIG. 5) until the data is stabilized when reading data of M11. When the charge precharged in the capacitor 51 is not discharged, there is no change in the input / output of the sense amplifier 50. Therefore, what defines the waiting time is the discharge time when discharging the charge precharged in the capacitor 51. The discharge time is defined by the capacitance value C of the capacitor 51 and the on-resistance of the entire column to which the element to be read belongs. The on-resistance of the entire column is the sum of the on-resistance of the switch in the column decoder circuit 20, the respective resistances of M 1 to M 16 and the on-resistance of the PMOS transistor in the row decoder circuit 30. Regarding the resistance of the whole M1 to M16, the maximum on-resistance is obtained when the source / drain is short-circuited with an aluminum pattern only in the transistor to be read and all other transistors are not short-circuited. In this case, the maximum on-resistance RMAX is expressed by the following equation.

(数1)
RMAX=15Ron+Rm ・・・ (1)
ここでRonはM1〜M16を構成するNMOSトランジスタのオン抵抗、Rmはトランジスタのソースース・ドレインを短絡するアルミパターンの抵抗値であり、RonはRmに比べて非常に大きいため、Rmを無視すると(1)式は次式となる。
(Equation 1)
RMAX = 15Ron + Rm (1)
Here, Ron is the on-resistance of the NMOS transistors constituting M1 to M16, Rm is the resistance value of the aluminum pattern that short-circuits the source and drain of the transistor, and Ron is much larger than Rm, so if Rm is ignored ( The formula 1) becomes the following formula.

(数2)
RMAX=15Ron ・・・ (2)
待ち時間もしくはディレイTdはこの最大オン抵抗値で規定され、(1)式もしくは(2)式に示されるように列中のトランジスタの個数およびそのオン抵抗で規制されるため、高速読み出しには適さないものになっている。さらに、列中のメモリセル数を増やそうとするとその分だけ列全体のオン抵抗が増えるため、記憶容量を増大しようとするとアクセスタイムが増大するという問題があった。
この問題に対処するために、本出願人は特許文献2において上記のディレイTdを規定する総合オン抵抗RMAXを低減させることのできる半導体記憶装置を提案した。以下、その内容について説明する。
(Equation 2)
RMAX = 15Ron (2)
The waiting time or delay Td is defined by this maximum on-resistance value, and is regulated by the number of transistors in the column and the on-resistance as shown in the equation (1) or (2), so it is suitable for high-speed reading. It is not something. Further, if the number of memory cells in the column is increased, the on-resistance of the entire column increases accordingly, and there is a problem that access time increases when the storage capacity is increased.
In order to cope with this problem, the present applicant has proposed a semiconductor memory device capable of reducing the total on-resistance RMAX that defines the delay Td in Patent Document 2. The contents will be described below.

図6は、特許文献2に開示されている半導体記憶装置の実施形態を示す回路図である。充電トランジスタ回路10,列デコーダ回路20,行デコーダ回路30,放電トランジスタ回路40,センスアンプ50,容量51,メモリセルM1〜M16および信号S1,S2,ADDRESSについては図4で説明したものと同じである。図6の回路は図4のものに対し、4入力ANDゲート60,61,62,63およびバイパス回路70,71,72,73が付加されたものになっている。図6のROM回路では、メモリセルが4行毎にグループ化されていて、ANDゲート60は行デコーダ回路から出力されて最初のグループに入力される4つの選択信号をその入力としている。同様にANDゲート61,62,63は、それぞれ2番目,3番目,4番目のグループに入力される4つの選択信号を入力としている。バイパス回路70は、それぞれが前記最初のグループ内におけるメモリセル各列の両端とソース・ドレインが接続された複数のNMOSトランジスタから構成されていて、これらのNMOSトランジスタのゲートはANDゲート60の出力に接続されている。同様にバイパス回路61,62,63は、それぞれが2番目,3番目,4番目のグループ内におけるメモリセル各列の両端とソース・ドレインが接続された複数のNMOSトランジスタから構成されていて、NMOSトランジスタのゲートはバイパス回路毎にそれぞれANDゲート61,62,63の出力に接続されている。   FIG. 6 is a circuit diagram showing an embodiment of a semiconductor memory device disclosed in Patent Document 2. In FIG. The charge transistor circuit 10, the column decoder circuit 20, the row decoder circuit 30, the discharge transistor circuit 40, the sense amplifier 50, the capacitor 51, the memory cells M1 to M16, and the signals S1, S2, and ADDRESS are the same as those described in FIG. is there. The circuit shown in FIG. 6 is different from that shown in FIG. 4 in that 4-input AND gates 60, 61, 62, and 63 and bypass circuits 70, 71, 72, and 73 are added. In the ROM circuit of FIG. 6, the memory cells are grouped every four rows, and the AND gate 60 receives four selection signals output from the row decoder circuit and input to the first group. Similarly, the AND gates 61, 62, 63 receive four selection signals input to the second, third, and fourth groups, respectively. The bypass circuit 70 is composed of a plurality of NMOS transistors each connected to both ends of each column of memory cells in the first group and the source / drain, and the gates of these NMOS transistors are connected to the output of the AND gate 60. It is connected. Similarly, each of the bypass circuits 61, 62, and 63 is composed of a plurality of NMOS transistors in which both ends of each column of memory cells in the second, third, and fourth groups are connected to the source / drain. The gates of the transistors are connected to the outputs of AND gates 61, 62, 63 for each bypass circuit.

図6のROM回路の読み出し動作について、図4と同様にM11の読み出しを例に説明する。タイミングチャートは図5と共通である。なお、最大のオン抵抗を考えるため、読み出しの対象となったM11のみソース・ドレインがアルミパターンで短絡されていて、他のM1〜M10およびM12〜16のトランジスタのソース・ドレインは全て短絡されてないものとする。時刻T2までの動作は図4のものと同じである。時刻T2を過ぎて行デコーダ回路30からメモリセルの各行に選択信号を出力すると、選択信号は読み出し対象のM11の存在する行に対してのみLになり、それ以外の行に対してはHになるから、それを受けてANDゲート60,61,63の出力がHに、ANDゲート62の出力がLになる。次にANDゲート60〜63の出力信号により、バイパス回路70,71,73中のNMOSトランジスタが全てオンし、逆にバイパス回路72中のNMOSトランジスタが全てオフする。バイパストランジスタ回路中のNMOSトランジスタがオンすると、対応するグループ内におけるメモリセル各列の両端が電気的に接続されるために、総合オン抵抗が小さくなる。M1〜M4を例にとって具体的に説明すると、M1〜M4のNMOSトランジスタのゲート入力が全てHのときはANDゲート60の出力Hとなって、バイパス回路70中のNMOSトランジスタT20がオンする。これにより、M1のNMOSトランジスタのドレインとM4のNMOSトランジスタのソースがT20により接続される。T20がない場合は、M1〜M4の総合オン抵抗R4は4Ronであり、T20のオン抵抗もRonだとすると、T20がある場合の総合オン抵抗R4は4RonとRonの並列抵抗であるから次式となる。   The read operation of the ROM circuit of FIG. 6 will be described by taking M11 read as an example as in FIG. The timing chart is common to FIG. In order to consider the maximum on-resistance, the source and drain of only M11 to be read are short-circuited with an aluminum pattern, and the sources and drains of the other transistors M1 to M10 and M12 to 16 are all short-circuited. Make it not exist. The operation up to time T2 is the same as that in FIG. When the selection signal is output from the row decoder circuit 30 to each row of the memory cells after the time T2, the selection signal becomes L only for the row where M11 to be read exists, and becomes H for the other rows. Therefore, in response to this, the outputs of the AND gates 60, 61, 63 become H, and the output of the AND gate 62 becomes L. Next, all the NMOS transistors in the bypass circuits 70, 71, 73 are turned on by the output signals of the AND gates 60 to 63, and conversely, all the NMOS transistors in the bypass circuit 72 are turned off. When the NMOS transistor in the bypass transistor circuit is turned on, both ends of each column of memory cells in the corresponding group are electrically connected, so that the total on-resistance is reduced. Specifically, taking M1 to M4 as an example, when all the gate inputs of the NMOS transistors M1 to M4 are H, the output of the AND gate 60 becomes H, and the NMOS transistor T20 in the bypass circuit 70 is turned on. Thereby, the drain of the NMOS transistor of M1 and the source of the NMOS transistor of M4 are connected by T20. When there is no T20, the total on-resistance R4 of M1 to M4 is 4Ron, and if the on-resistance of T20 is also Ron, the total on-resistance R4 when T20 is present is a parallel resistance of 4Ron and Ron, and thus .

(数3)
R4=(4Ron×Ron)/(4Ron+Ron)=0.8Ron ・・・ (3)
図6では、M10に対する選択信号のみLで、それ以外は全てHであるため、上で説明したようにM5〜M8のグループとM13〜M16のグループがバイパス回路により同様に短絡されているので、M1〜M16の総合抵抗R16は次式となる。
(Equation 3)
R4 = (4Ron × Ron) / (4Ron + Ron) = 0.8 Ron (3)
In FIG. 6, since only the selection signal for M10 is L and all other signals are H, the groups M5 to M8 and the groups M13 to M16 are similarly short-circuited by the bypass circuit as described above. The total resistance R16 of M1 to M16 is as follows.

(数4)
R16=3×0.8Ron+3Ron=5.4Ron ・・・ (4)
ここで、M11についてはそのNMOSトランジスタのソース・ドレイン間がアルミパターンで短絡されていてその抵抗Rmが非常に小さいため無視した。一方、バイパス回路が存在しない従来技術においては(2)式で示されるようにR16はRMAX=15Ronである。
さらに、1列あたりのメモリセル数、すなわちNMOSトランジスタの数が2倍になった場合を考える。バイバス回路が存在する場合は、その総合オン抵抗R32は上と同様の計算により次式のようになる。
(Equation 4)
R16 = 3 × 0.8Ron + 3Ron = 5.4Ron (4)
Here, M11 is ignored because the source and drain of the NMOS transistor are short-circuited with an aluminum pattern and the resistance Rm is very small. On the other hand, in the prior art in which no bypass circuit exists, R16 is RMAX = 15 Ron as shown by the equation (2).
Further, consider a case where the number of memory cells per column, that is, the number of NMOS transistors is doubled. When a bypass circuit exists, the total on-resistance R32 is calculated as follows by the same calculation as above.

(数5)
R32=7×0.8Ron+3Ron=8.6Ron
これは、メモリセルが半分の16個の場合に対し、
(Equation 5)
R32 = 7 × 0.8Ron + 3Ron = 8.6Ron
This is because the number of memory cells is half that of 16

(数6)
8.6Ron/5.4Ron=1.6
の増加率となる。一方、バイパス回路がない場合はR32=31Ronとなり、この場合の増加率は
(Equation 6)
8.6Ron / 5.4Ron = 1.6
Increase rate. On the other hand, when there is no bypass circuit, R32 = 31Ron, and the increase rate in this case is

(数7)31Ron/15Ron=2.1となる。すなわち、図5に示す半導体記憶装置は図のものより、総合オン抵抗およびその増加率を小さくすることができる。
特開平11−307653号公報 特開2004−148567号公報[発明の開示][発明が解決しようとする課題]
(Expression 7) 31Ron / 15Ron = 2.1. That is, the semiconductor memory device shown in FIG. 5 can be made smaller than that of FIG. 6, the total on-resistance and increase rate thereof.
JP 11-307653 A JP 2004-148567 A [Disclosure of the Invention] [Problems to be Solved by the Invention]

に示す半導体記憶装置は、一旦アドレス信号ADDRESSをデコードして生成したメモリセルM1〜M16に対する選択信号(トランジスタM1〜M16のゲート駆動信号)を、ANDゲート60〜63により再度エンコードしてトランジスタT20〜T23のゲート駆動信号を生成する構成となっている。半導体記憶装置の信頼性,動作スピード(もしくはディレイタイム)を考えると、ゲート駆動信号の生成回路は出来るだけシンプルなものが望ましく、その観点からすると図5に示す半導体記憶装置はまだ改良の余地があるものになっている。また、上記総合オン抵抗はさらに小さくすることが望ましい。
そこで、本発明は上記課題を解決するためになされたものであり、その目的はよりシンプルな回路構成でより総合オン抵抗を小さくすることのできる半導体記憶装置を提供することにある。
[課題を解決するための手段]
The semiconductor memory device shown in FIG. 6 re-encodes selection signals (gate drive signals of the transistors M1 to M16) for the memory cells M1 to M16 once generated by decoding the address signal ADDRESS by using AND gates 60 to 63 to convert the transistors. It is configured to generate a gate drive signal of T20 to T23. Considering the reliability and operation speed (or delay time) of the semiconductor memory device, it is desirable that the gate drive signal generation circuit be as simple as possible. From this point of view, the semiconductor memory device shown in FIG. 5 still has room for improvement. There is something. Further, it is desirable to further reduce the total on-resistance.
Accordingly, the present invention has been made to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a semiconductor memory device capable of further reducing the total on-resistance with a simpler circuit configuration.
[Means for solving problems]

そこで上記課題を解決するために、請求項1に係る発明は、MOSトランジスタのソース・ドレイン間の短絡の有無により1ビットのデータを記憶するメモリセルが複数直列に接続された複数のメモリ列と、外部より入力されたnビット(nは整数)のアドレス信号をデコードして前記メモリ列中の複数の前記MOSトランジスタのそれぞれのゲートに対し選択信号を出力する行デコーダ回路を有する半導体記憶装置において、前記メモリ列中の複数の前記MOSトランジスタは、それぞれのMOSトランジスタを選択するアドレスが連続になるような順番で前記メモリ列中に配列されていて、前記行デコーダ回路に入力される前記アドレス信号の最上位の1ビットないしmビット(mはnより小さい整数)に対し、それぞれのビットごとに自己のアドレスの該ビットから最上位ビットまでの値が等しくかつ該ビットより下位のアドレスが0から最大値までの連続した複数のメモリセルからなる複数のグループを設定するとともに、それぞれのグループにおいて該グループのグループ分けに用いられたアドレス信号のビットが該グループを選択しないものであるときは該グループの両端を電気的に接続するバイパス手段を設けたことを特徴とする。 In order to solve the above problem, the invention according to claim 1 is directed to a plurality of memory columns in which a plurality of memory cells storing 1-bit data are connected in series according to the presence or absence of a short circuit between the source and drain of a MOS transistor. In a semiconductor memory device having a row decoder circuit that decodes an n-bit (n is an integer) address signal input from the outside and outputs a selection signal to each gate of the plurality of MOS transistors in the memory column The plurality of MOS transistors in the memory column are arranged in the memory column in an order such that addresses for selecting the respective MOS transistors are continuous, and the address signal input to the row decoder circuit the relative 1 to the most significant bit to m bits (m is an integer smaller than n), for each bit And equal value from the bits of his own address to the most significant bits along with the address of the lower than the bit to set a plurality of groups comprising a plurality of memory cells continuous in from 0 to the maximum value, the in each group When the bit of the address signal used for grouping is not to select the group, a bypass means for electrically connecting both ends of the group is provided.

請求項2に係る発明は、請求項1に係る発明において、前記MOSトランジスタのソース・ドレイン間の短絡の有無を、ソース・ドレイン間を接続する配線パターンの有無により実現することを特徴とする。
請求項に係る発明は、請求項1または2に係る発明において、前記半導体装置が、予めプリチャージしておいた電荷を前記アドレス信号が選択するメモリセルを含むメモリ列を放電経路として放電するか否かでその出力データを決定し、前記行デコーダ回路からの出力が前記メモリ列中の前記アドレス信号に該当するメモリセルのMOSトランジスタのみをオフさせ、前記メモリ列中のそれ以外の全てのトランジスタをオンさせるものであることを特徴とする。
The invention according to claim 2 is characterized in that, in the invention according to claim 1, the presence or absence of a short circuit between the source and drain of the MOS transistor is realized by the presence or absence of a wiring pattern connecting the source and drain.
According to a third aspect of the present invention, in the first or second aspect of the invention, the semiconductor device discharges a memory column including a memory cell in which the address signal selects a precharged charge in advance as a discharge path. Whether or not the output data is determined, and the output from the row decoder circuit turns off only the MOS transistors of the memory cells corresponding to the address signal in the memory column, and all the other transistors in the memory column The transistor is turned on.

この発明の半導体記憶装置は、複数のメモリセルからなるグループの両端を電気的に接続するバイパス手段を、アドレス信号の所定のビットにより直接制御するようにしたため、単純な構造で信頼性を保ち易くかつ動作スピードを向上させることのできる半導体記憶装置を提供できる。また、アドレス信号を複数ビット用いることにより総合オン抵抗をさらに小さくすることができる。   In the semiconductor memory device according to the present invention, the bypass means for electrically connecting the both ends of the group of a plurality of memory cells is directly controlled by a predetermined bit of the address signal, so that it is easy to maintain reliability with a simple structure. In addition, a semiconductor memory device that can improve the operation speed can be provided. Further, the total on-resistance can be further reduced by using a plurality of bits of the address signal.

以下、図1に沿って本発明の実施形態を説明する。図4,6と同じ部位には同じ符号を付して詳細な説明は省略する。なお、以下は図1に示す半導体記憶装置の左端のメモリセル列を例に挙げて説明を行うが、2列目以降についても同様である。
図1に示す半導体記憶装置は、図に示す半導体記憶装置のバイパストランジスタT20〜T23の代わりにバイパストランジスタM17〜M22を配したものになっている。バイパストランジスタM17〜M22はNMOSトランジスタであり、そのゲート端子の電位がHのときにオン(導通)する。バイパストランジスタM17,M18,M20,M22のソース・ドレイン端子の接続はそれぞれバイパストランジスタT20〜T23と同じであるが、ゲート端子への接続が異なるため、異なる符合を付してある。また、バイパストランジスタM19のソース・ドレイン端子はメモリセルM1〜M8からなるメモリセルグループの両端とそれぞれ接続され、バイパストランジスタM22のソース・ドレイン端子はメモリセルM9〜M16からなるメモリセルグループの両端とそれぞれ接続されている。そして、バイパストランジスタM17〜M22のゲート端子には、アドレス信号adrs[2],アドレス信号adrs[2]の反転信号,アドレス信号adrs[3],アドレス信号adrs[2],アドレス信号adrs[2]の反転信号,アドレス信号adrs[3]の反転信号がそれぞれ入力されている。ここで、adrs[7]〜adrs[0]はアドレスバスADDRESSを構成する8ビットのアドレス信号であり、adrs[7]が最上位ビット、adrs[0]が最下位ビットである。また、図における表記、adrs[X:Y]はadrs[X]〜adrs[Y]の(X−Y+1)ビットのアドレス信号を意味する。
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. The same parts as those in FIGS. 4 and 6 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted. The following description will be made by taking the leftmost memory cell column of the semiconductor memory device shown in FIG. 1 as an example, but the same applies to the second and subsequent columns.
The semiconductor memory device shown in FIG. 1 has to those arranged bypass transistor M17~M22 instead of the bypass transistor T20~T23 of the semiconductor memory device shown in FIG. The bypass transistors M17 to M22 are NMOS transistors, and are turned on (conducted) when the potential of their gate terminals is H. The connection of the source / drain terminals of the bypass transistors M17, M18, M20, and M22 is the same as that of the bypass transistors T20 to T23, but the connection to the gate terminal is different, and therefore, different signs are given. The source / drain terminal of the bypass transistor M19 is connected to both ends of the memory cell group consisting of the memory cells M1 to M8, respectively, and the source / drain terminal of the bypass transistor M22 is connected to both ends of the memory cell group consisting of the memory cells M9 to M16. Each is connected. The gate terminals of the bypass transistors M17 to M22 have an address signal adrs [2], an inverted signal of the address signal adrs [2], an address signal adrs [3], an address signal adrs [2], and an address signal adrs [2]. And an inverted signal of the address signal adrs [3] are input. Here, adrs [7] to adrs [0] are 8-bit address signals constituting the address bus ADDRESS, where adrs [7] is the most significant bit and adrs [0] is the least significant bit. Further, the notation in FIG. 1 , adrs [X: Y] means an (XY) bit address signal from adrs [X] to adrs [Y].

におけるINV1,INV2はそれぞれアドレス信号adrs[2],adrs[3]の反転信号を得るためのインバータである。
次に本実施の形態の動作、特にバイパストランジスタトランジスタM17〜M22の動作、および本実施の形態から得られる総合オン抵抗について説明する。
アドレス信号のうち上位4ビットadrs[7:4]は列デコーダ20に入力され、列デコーダ20はアドレス信号adrs[7:4]に基づきデータを読み出す列を選択する。以下、列デコーダ20がアドレス信号adrs[7:4]により左端の列を選択した場合について説明を行う。
アドレスバスのうち下位4ビットadrs[3:0]は行デコーダ30に入力され、行デコーダ30はアドレス信号adrs[3:0]に基づきデータを読み出す行を選択する。これ以外に、アドレス信号adrs[3]とアドレス信号adrs[2]はトランジスタM17〜M21のオンオフ制御に用いられる。トランジスタM17,M18,M20,M21はアドレス信号adrs[2]に対応してメモリセルM1〜M16をグループA〜グループDの4つのグループに分割している。すなわち、アドレス信号adrs[2]に対応する自己のアドレスデータが等しく(アドレス信号adrs[2]がHのときにアクティブになるもの同士、もしくはLのときにアクティブになるもの同士)かつアドレスが連続したメモリセルがそれぞれのグループを形成している。具体的には、アドレス信号adrs[3:0]=0000〜0011を自己のアドレスとするものがグループAを、0100〜0111を自己のアドレスとするものがグループBを、1000〜1011を自己のアドレスとするものがグループCを、1100〜1111を自己のアドレスとするものがグループDを構成している。同様に、アドレス信号adrs[3]はメモリセルM1〜M16を2つのグループ、すなわちアドレス信号adrs[3:0]=0000〜0111を自己のアドレスとするもの(グループA+グループB)と1000〜1111を自己のアドレスとするもの(グループC+グループD)の2つのグループに分割している。
INV1 and INV2 in FIG. 1 are inverters for obtaining inverted signals of the address signals adrs [2] and adrs [3], respectively.
Next, the operation of the present embodiment, particularly the operation of the bypass transistor transistors M17 to M22, and the total on-resistance obtained from the present embodiment will be described.
Among the address signals, the upper 4 bits adrs [7: 4] are input to the column decoder 20, and the column decoder 20 selects a column from which data is read based on the address signal adrs [7: 4]. Hereinafter, a case where the column decoder 20 selects the leftmost column by the address signal adrs [7: 4] will be described.
Of the address bus, the lower 4 bits adrs [3: 0] are input to the row decoder 30, and the row decoder 30 selects a row from which data is read based on the address signal adrs [3: 0]. In addition, the address signal adrs [3] and the address signal adrs [2] are used for on / off control of the transistors M17 to M21. The transistors M17, M18, M20, and M21 divide the memory cells M1 to M16 into four groups A to D corresponding to the address signal adrs [2]. That is, the own address data corresponding to the address signal adrs [2] is equal (one that becomes active when the address signal adrs [2] is H, or one that becomes active when the address signal adrs [2] is L), and the addresses are continuous. The memory cells formed in each group. Specifically, the address signal adrs [3: 0] = 0000 to 0011 having its own address is group A, the address having 0100 to 0111 is its own address, group B, and 1000 to 1011 is its own address. Those having addresses constitute group C, and those having 1100 to 1111 as their own addresses constitute group D. Similarly, the address signal adrs [3] includes memory cells M1 to M16 in two groups, that is, address signals adrs [3: 0] = 0000 to 0111 as its own addresses (group A + group B) and 1000 to 1111. Are grouped into two groups (group C + group D).

それぞれのグループは、対応するアドレス信号がHかLかによってトランジスタM17〜M21によりグループの両端が短絡される。例えば、アドレス信号adrs[2]がHのときトランジスタM17,M20がオンしてグループA,Cの両端がそれぞれ短絡される。また、アドレス信号adrs[2]がLのときトランジスタM18,M21がオンしてグループB,Dの両端がそれぞれ短絡される。
これは、次に対応しているものである。すなわち、アドレス信号adrs[3]がLのときにアクティブになるメモリセルのグループA,Bは、アドレス信号adrs[3]がHのときはデータを読み出す必要がない。そこで、アドレス信号adrs[3]をバイパストランジスタM19のゲート端子に接続して、アドレス信号adrs[3]がHのときはバイパストランジスタM19をオンさせ、グループA+グループBの両端を短絡させてバイパスするこれにより、読み出し動作に関係のないグループA+グループBの部分の総合オン抵抗を低下させる。同様に、グループC+グループDに対するバイパストランジスタM22のゲートにはアドレス信号adrs[3]の反転信号を入力し、アドレス信号adrs[3]がLのときはバイパストランジスタM22をオンさせ、グループC+グループDの両端を短絡させてバイパスする。これにより、読み出し動作に関係のないグループC+グループDの部分の総合オン抵抗を低下させる。
In each group, both ends of the group are short-circuited by the transistors M17 to M21 depending on whether the corresponding address signal is H or L. For example, when the address signal adrs [2] is H, the transistors M17 and M20 are turned on and both ends of the groups A and C are short-circuited. Further, when the address signal adrs [2] is L, the transistors M18 and M21 are turned on and both ends of the groups B and D are short-circuited.
This corresponds to the following. That is, the memory cell groups A and B that become active when the address signal adrs [3] is L do not need to read data when the address signal adrs [3] is H. Therefore, the address signal adrs [3] is connected to the gate terminal of the bypass transistor M19. When the address signal adrs [3] is H, the bypass transistor M19 is turned on, and both ends of the group A + group B are short-circuited to bypass. As a result, the overall on-resistance of the portion of group A + group B that is not related to the read operation is reduced. Similarly, the gate of the bypass transistor M22 for group C + Group D inputs an inverted signal of the address signal adrs [3], address signal adrs [3] is to turn on the bypass transistor M22 when the L, Group C + Group D Bypass by shorting both ends. As a result, the overall on-resistance of the group C + group D, which is not related to the read operation, is reduced.

また、グループAのメモリセルはアドレス信号adrs[2]がLのときにアクティブとなり、Hのときに読み出しは行われない。そこで、アドレス信号adrs[2]をグループAのバイパストランジスタM17のゲート端子に接続して、アドレス信号adrs[2]がHのときはバイパストランジスタM17をオンさせて、読み出し動作に関係のないグループAの両端をバイパスする。これにより、グループAの総合オン抵抗を低下させる。同様に、バイパストランジスタM20のゲート端子にはアドレス信号adrs[2]が接続され、バイパストランジスタM18,M21のゲート端子にはアドレス信号adrs[2]の反転信号が接続されている。
次に、バイパストランジスタM17〜M22の効果により、総合オン抵抗がどれだけ低下するか考察する。例として、アドレス信号adrs[3:0]として1001が入力されていて、メモリセル(トランジスタ)M10の行が選択されている場合を考える。トランジスタM17〜M22はトランジスタM1〜M16と同サイズで、オン抵抗もトランジスタM17〜M22と同じRonであるとする。
The memory cells in group A are active when the address signal adrs [2] is L, and are not read when the address signal is H. Therefore, the address signal adrs [2] is connected to the gate terminal of the bypass transistor M17 of the group A, and when the address signal adrs [2] is H, the bypass transistor M17 is turned on, and the group A that is not related to the read operation. Bypass both ends. As a result, the overall on-resistance of group A is reduced. Similarly, an address signal adrs [2] is connected to the gate terminal of the bypass transistor M20, and an inverted signal of the address signal adrs [2] is connected to the gate terminals of the bypass transistors M18 and M21.
Next, how much the total on-resistance decreases due to the effects of the bypass transistors M17 to M22 will be considered. As an example, consider a case where 1001 is input as the address signal adrs [3: 0] and the row of the memory cell (transistor) M10 is selected. The transistors M17 to M22 are the same size as the transistors M1 to M16, and the on-resistance is the same Ron as the transistors M17 to M22.

アドレス信号adrs[3:0]=1001であると、バイパストランジスタはM18,M19,M21がオンし、M17,M20,M22がオフする。この場合、グループAの総合オン抵抗はトランジスタM1〜M4の4つのオン抵抗Ronが直列接続された抵抗4Ronとなる。グループBの総合オン抵抗はトランジスタM5〜M8の4つのオン抵抗Ronが直列接続された抵抗4Ronと、トランジスタM18のオン抵抗Ronが並列接続されたものになり、(3)式と同様0.8Ronとなる。そして、グループA+グループBの総合オン抵抗RA+Bは、グループAの総合オン抵抗4RonとグループBの総合オン抵抗0.8Ronが直列接続された4.8Ronと、トランジスタM19のオン抵抗Ronが並列接続されたものになるから、次式となる。 When the address signal adrs [3: 0] = 1001, the bypass transistors M18, M19, and M21 are turned on, and M17, M20, and M22 are turned off. In this case, the total on resistance of the group A is the resistance 4Ron in which the four on resistances Ron of the transistors M1 to M4 are connected in series. The total on-resistance of group B is a resistance 4Ron in which the four on-resistances Ron of the transistors M5 to M8 are connected in series and an on-resistance Ron of the transistor M18 are connected in parallel. It becomes. The total on-resistance RA + B of group A + group B is 4.8Ron in which the total on-resistance 4Ron of group A and 0.8Ron of group B are connected in series, and the on-resistance Ron of transistor M19 is connected in parallel. Therefore, the following equation is obtained.

(数8)
A+B=(4.8Ron×Ron)/(4.8Ron+Ron)=0.83Ron ・・・ (5)
また、読み出しの対象となるトランジスタM10のみソース・ドレイン端子間がアルミパターンで短絡されている場合の最大オン抵抗を考えているから、グループCの総合オン抵抗は3Ronとなる。グループDの総合オン抵抗は、グループBと同様0.8Ronとなる。そして、グループC+グループDの総合オン抵抗RC+Dは次式となる。
(Equation 8)
R A + B = (4.8 Ron × Ron) / (4.8 Ron + Ron) = 0.83 Ron (5)
In addition, since the maximum on-resistance is considered when only the transistor M10 to be read is short-circuited between the source and drain terminals with an aluminum pattern, the total on-resistance of the group C is 3Ron. The total on-resistance of group D is 0.8 Ron as in group B. The total on-resistance RC + D of the group C + group D is expressed by the following equation.

(数9)
C+D=3Ron+0.8Ron=3.8Ron ・・・ (6)
(5),(6)式より、メモリセルM1〜M16の総合オン抵抗RA+B+C+Dは次式となる。
(Equation 9)
R C + D = 3Ron + 0.8Ron = 3.8Ron (6)
From the equations (5) and (6), the total on-resistance R A + B + C + D of the memory cells M1 to M16 is expressed by the following equation.

(数10)
A+B+C+D=RA+B+RC+D=4.63Ron ・・・ (7)
これは、背景技術にて説明した、バイパストランジスタがない場合の最大オン抵抗RMAX=15Ronや、特許文献2に開示されている発明による総合オン抵抗R16=5.4Ron((4)式)より小さな値となっている。
また、バイパストランジスタは、アドレス信号adrs[3]によりオン・オフが制御されるトランジスタM19,M22と、アドレス信号adrs[2]によりオン・オフが制御されるトランジスタM17,M18,M20,M21の2セットが設けられているが、2セットに限定するものではない。列を構成するメモリセル(トランジスタ)数によりセット数(見方を変えれば、バイパストランジスタのオン・オフ制御を行うアドレス信号数)を増減させるようにしてもよい。
(Equation 10)
RA + B + C + D = RA + B + RC + D = 4.63 Ron (7)
This is smaller than the maximum on-resistance RMAX = 15 Ron when there is no bypass transistor described in the background art and the total on-resistance R16 = 5.4 Ron according to the invention disclosed in Patent Document 2 (Equation (4)). It is a value.
The bypass transistors are two transistors M19 and M22 whose on / off is controlled by the address signal adrs [3] and transistors M17, M18, M20 and M21 whose on / off is controlled by the address signal adrs [2]. A set is provided, but is not limited to two sets. Depending on the number of memory cells (transistors) constituting the column, the number of sets (in other words, the number of address signals for performing on / off control of bypass transistors) may be increased or decreased.

次に、列を構成するトランジスタが32個の場合を考える。この場合、行デコーダ30には5ビットのアドレス信号が入力されることになる。この5ビットのうち上位2ビットによりグループ分けをしてバイパストランジスタのオン・オフ制御を行う場合の総合オン抵抗は、詳細は省略するが、上記と同様の計算により8.79Ronとなる。また、行デコーダ30に入力される5ビットのアドレス信号のうち上位3ビットによりグループ分けをしてバイパストランジスタのオン・オフ制御を行う場合、その総合オン抵抗は5.48Ronとなる。これらの、総合オン抵抗およびメモリセルが16から32になった場合のオン抵抗増加率をまとめると表1のようになる。   Next, consider a case where the number of transistors constituting the column is 32. In this case, a 5-bit address signal is input to the row decoder 30. The total on-resistance in the case of performing the on / off control of the bypass transistor by grouping by the upper 2 bits among these 5 bits is 8.79 Ron by the same calculation as described above, though details are omitted. Further, when the on / off control of the bypass transistor is performed by grouping by the upper 3 bits of the 5-bit address signal input to the row decoder 30, the total on-resistance is 5.48 Ron. Table 1 shows a summary of the on-resistance increase rate when the total on-resistance and the memory cells are changed from 16 to 32.

Figure 0004872299
表1から明らかなように、列を構成するトランジスタ数に応じて適宜バイパストランジスタのセット数を調整することにより、従来の半導体記憶装置より容易に総合オン抵抗およびその増加率を下げることができる。
Figure 0004872299
As can be seen from Table 1, by adjusting the number of bypass transistors as appropriate according to the number of transistors constituting the column, the total on-resistance and the rate of increase thereof can be reduced more easily than conventional semiconductor memory devices.

本発明による半導体記憶装置の構成を示す回路図である。1 is a circuit diagram showing a configuration of a semiconductor memory device according to the present invention. 従来技術によるメモリセルのマスクパターンの例である。It is an example of the mask pattern of the memory cell by a prior art. 図2のマスクパターンに対応する回路図である。FIG. 3 is a circuit diagram corresponding to the mask pattern of FIG. 2. 図2,3のメモリセルを適用した半導体記憶装置の回路図である。FIG. 4 is a circuit diagram of a semiconductor memory device to which the memory cell of FIGS. 2 and 3 is applied. 図4の回路の動作タイミングチャートである。6 is an operation timing chart of the circuit of FIG. 特許文献2に開示されている半導体記憶装置の実施の形態を示す回路図である。10 is a circuit diagram showing an embodiment of a semiconductor memory device disclosed in Patent Document 2. FIG.

符号の説明Explanation of symbols

10 充電トランジスタ回路
20 列デコーダ回路
30 行デコーダ回路
40 放電トランジスタ回路
50 センスアンプ
51 容量
60〜63 ANDゲート
70〜73 バイパス回路
INV1,INV2 インバータ
M1〜M16 メモリセル
M17〜M21 バイパストランジスタ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Charge transistor circuit 20 Column decoder circuit 30 Row decoder circuit 40 Discharge transistor circuit 50 Sense amplifier 51 Capacity | capacitance 60-63 AND gate 70-73 Bypass circuit INV1, INV2 Inverter M1-M16 Memory cell M17-M21 Bypass transistor

Claims (3)

MOSトランジスタのソース・ドレイン間の短絡の有無により1ビットのデータを記憶するメモリセルが複数直列に接続された複数のメモリ列と、外部より入力されたnビット(nは整数)のアドレス信号をデコードして前記メモリ列中の複数の前記MOSトランジスタのそれぞれのゲートに対し選択信号を出力する行デコーダ回路を有する半導体記憶装置において、
前記メモリ列中の複数の前記MOSトランジスタは、それぞれのMOSトランジスタを選択するアドレスが連続になるような順番で前記メモリ列中に配列されていて、
前記行デコーダ回路に入力される前記アドレス信号の最上位の1ビットないしmビット(mはnより小さい整数)に対し、それぞれのビットごとに自己のアドレスの該ビットから最上位ビットまでの値が等しくかつ該ビットより下位のアドレスが0から最大値までの連続した複数のメモリセルからなる複数のグループを設定するとともに、それぞれのグループにおいて該グループのグループ分けに用いられたアドレス信号のビットが該グループを選択しないものであるときは該グループの両端を電気的に接続するバイパス手段を設けたことを特徴とする半導体記憶装置。
A plurality of memory columns in which a plurality of memory cells storing 1-bit data are connected in series according to the presence or absence of a short circuit between the source and drain of the MOS transistor, and an n-bit (n is an integer) address signal input from the outside. In a semiconductor memory device having a row decoder circuit which decodes and outputs a selection signal to each gate of the plurality of MOS transistors in the memory column,
The plurality of MOS transistors in the memory column are arranged in the memory column in an order such that addresses for selecting each MOS transistor are continuous,
For the most significant 1 to m bits (m is an integer smaller than n) of the address signal input to the row decoder circuit, the value from the bit to the most significant bit of its own address is determined for each bit. A plurality of groups consisting of a plurality of continuous memory cells having the same and lower addresses from 0 to the maximum value are set, and the bits of the address signal used for grouping the group in each group A semiconductor memory device comprising a bypass means for electrically connecting both ends of a group when a group is not selected.
前記MOSトランジスタのソース・ドレイン間の短絡の有無を、ソース・ドレイン間を接続する配線パターンの有無により実現することを特徴とする請求項1に記載の半導体記憶装置。2. The semiconductor memory device according to claim 1, wherein the presence or absence of a short circuit between the source and drain of the MOS transistor is realized by the presence or absence of a wiring pattern connecting the source and drain. 前記半導体装置が、予めプリチャージしておいた電荷を前記アドレス信号が選択するメモリセルを含むメモリ列を放電経路として放電するか否かでその出力データを決定し、前記行デコーダ回路からの出力が前記メモリ列中の前記アドレス信号に該当するメモリセルのMOSトランジスタのみをオフさせ、前記メモリ列中のそれ以外の全てのトランジスタをオンさせるものであることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体記憶装置。The semiconductor device determines the output data depending on whether or not the precharged charge is discharged using a memory column including a memory cell selected by the address signal as a discharge path, and an output from the row decoder circuit 3. The method according to claim 1, wherein only a MOS transistor of a memory cell corresponding to the address signal in the memory column is turned off and all other transistors in the memory column are turned on. The semiconductor memory device described.
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