JP4895005B2 - Liquid crystal injection device - Google Patents
Liquid crystal injection device Download PDFInfo
- Publication number
- JP4895005B2 JP4895005B2 JP2006047182A JP2006047182A JP4895005B2 JP 4895005 B2 JP4895005 B2 JP 4895005B2 JP 2006047182 A JP2006047182 A JP 2006047182A JP 2006047182 A JP2006047182 A JP 2006047182A JP 4895005 B2 JP4895005 B2 JP 4895005B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shutter
- liquid crystal
- shutter plate
- plate
- lifting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
Description
本発明は、真空チャンバ内において液晶セルに液晶を注入する液晶注入装置に関する。 The present invention relates to a liquid crystal injection apparatus for injecting liquid crystal into a liquid crystal cell in a vacuum chamber.
液晶注入は、一対の電極基板を貼り合わせて液晶セルを形成しておき、真空引きした真空チャンバ内において、液晶セルを収納したカセットを液晶皿に収納した液晶に接液させることによって、液晶セルの液晶注入口から内部に液晶を注入させる。(特許文献1参照) In liquid crystal injection, a pair of electrode substrates are bonded together to form a liquid crystal cell, and in a vacuum chamber that is evacuated, the cassette containing the liquid crystal cell is brought into contact with the liquid crystal stored in the liquid crystal dish, thereby liquid crystal cell Liquid crystal is injected from the liquid crystal injection port. (See Patent Document 1)
この液晶注入において、タクト時間を短縮するために、真空チャンバの真空引きを急速に行う場合がある。このような場合には、液晶内に含まれる空気が気泡となって液晶外に放出される。この気泡が破裂して周囲に飛び散ると、真空チャンバ内が汚染される他、液晶セルの注入口に付着すると、セル内の真空が不十分となって、液晶の注入に支障が生じる場合がある。 In this liquid crystal injection, the vacuum chamber may be evacuated rapidly in order to shorten the tact time. In such a case, the air contained in the liquid crystal is released as bubbles in the liquid crystal. If this bubble bursts and scatters around, the inside of the vacuum chamber is contaminated, and if it is attached to the injection port of the liquid crystal cell, the vacuum in the cell becomes insufficient, which may hinder liquid crystal injection. .
このような課題を解決する機構として、液晶浴槽の上方を覆う開閉可能なシャッターが提案されている。図5,図6は、シャッターを備えた液晶注入装置の一構成例を説明するための正面図および側面図である。 As a mechanism for solving such problems, an openable / closable shutter that covers the upper side of the liquid crystal bathtub has been proposed. 5 and 6 are a front view and a side view for explaining a configuration example of a liquid crystal injection apparatus provided with a shutter.
図5,図6において、液晶注入装置101は、真空チャンバ104内の上方位置に液晶セル(図示していない)を収納したカセット106を備え、下方位置に液晶を収納した液晶皿105を昇降させる昇降部102を備え、この昇降部102によって液晶皿105を上昇させて、液晶皿105の液晶を液晶セルに接液させることで、液晶セル内への液晶注入を行う。
5 and 6, the liquid
昇降部102は、液晶皿105を支持する昇降テーブル102eと、この昇降テーブル102eを支持する昇降シャフト102cとを備え、駆動モータ102aと駆動軸102bとによって昇降駆動する。真空チャンバ104には昇降シャフト102cが通る部分に真空シール102dが設けられている。
The
カセット106と昇降部102との間には、シャッター部103が設けられる。シャッター部103はシャッター板103aを備え、このシャッター板103aによって、液晶皿105内への不純物の混入を防ぐと共に、液晶の気泡による汚染を防いでいる。シャッター板103aの開閉動作は、シャッター板103aに設けたシャッター駆動軸103bおよびこのシャッター駆動軸103を駆動するシャッター駆動用アクチュエータ103cによって行う。シャッター駆動軸103bは真空チャンバ104に設けた真空シール103dを通して、真空チャンバ104の外部に設けたシャッター駆動用アクチュエータ103cと連結される。シャッター板103aは、シャッター駆動用アクチュエータ103cの駆動によって開閉動作を行う。
図5,図6で示した構成のシャッター機構では、シャッター板103aを駆動軸102bを回転軸として回動させることで開閉を行う構成であるため、真空チャンバ104のチャンバ内の高さは、少なくともシャッター板103aが開いた状態の空間を確保するために、シャッター板103aの長さ分を必要とする。このチャンバ内の高さは、真空チャンバ104を大型化させる要因となる。
The shutter mechanism having the configuration shown in FIGS. 5 and 6 is configured to open and close by rotating the
図5,図6では、昇降部に対して1対のシャッター板103aを設ける構成であるため、シャッター板が1枚の構成の場合と比較してチャンバ内の高さは低くなるものの、昇降部を覆う長さの半分の長さのシャッター板が必要であるため、そのシャッター板の長さ分の高さが必要となる。
5 and 6, since the pair of
また、シャッター板103aを開閉動作させるために、シャッター駆動用アクチュエータ103cが必要であり、また、シャッター駆動軸103bを真空チャンバ104内に通すために真空シール103dが必要である。そのため、シャッター駆動用アクチュエータによりコストがかかり、また、真空シールの真空導入部はメンテナンスが必要であるという問題もある。
Further, in order to open and close the
シャッター板による真空チャンバの大型化を抑える構成として、シャッター板の枚数をさらに増やすことによって、一枚当たりのシャッター板の長さを短くし、これによって真空チャンバの大型化を抑えることが考えられる。図7は、このシャッター板の枚数を増やした場合の構成例を示している。 As a configuration for suppressing the enlargement of the vacuum chamber by the shutter plate, it is conceivable to further increase the number of shutter plates to shorten the length of the shutter plate per sheet, thereby suppressing the enlargement of the vacuum chamber. FIG. 7 shows a configuration example when the number of shutter plates is increased.
しかしながら、シャッター板の枚数を増やした場合には、シャッター板を回動させるためのシャッター駆動軸およびシャッター駆動用アクチュエータを増やす必要となり、さらに、シャッター駆動軸を真空チャンバの中央部分に通す必要があることから、昇降部を分割する必要がある。図7において、シャッター部103は、シャッター板を103a1〜103a4の4枚に分割し、各シャッター板をシャッター駆動用アクチュエータ103c1〜103c4で駆動する構成とし、シャッター板103a2,103a4及びシャッター駆動用アクチュエータ103c2,103c4は、真空チャンバ104のほぼ中央部分に配置し、さらに、昇降部102を2つの昇降テーブル102e1,102e2に分割し、駆動モータ102aで駆動する昇降シャフト102c1,102c2によって昇降させる構成としている。
However, when the number of shutter plates is increased, it is necessary to increase the number of shutter drive shafts and shutter drive actuators for rotating the shutter plates, and it is necessary to pass the shutter drive shafts through the central portion of the vacuum chamber. Therefore, it is necessary to divide the elevating part. In FIG. 7, the
この構成によれば、シャッター板を4つに分割することによって、真空チャンバの高さを低く抑えることができるものの、昇降テーブルが2つ必要となる他、真空チャンバの中央部分にシャッター駆動用アクチュエータを設ける必要があることから、真空チャンバにはシャッター駆動軸を通すための真空シールをさらに増設させる必要があるなど、構成要素が増加してコストが嵩むと共に、メンテナンスを要する真空導入部分が増加するという問題が発生する。 According to this configuration, although the height of the vacuum chamber can be kept low by dividing the shutter plate into four parts, two lift tables are required, and a shutter driving actuator is provided in the central portion of the vacuum chamber. Since it is necessary to provide a vacuum seal for passing the shutter drive shaft in the vacuum chamber, the number of components increases, the cost increases, and the number of vacuum introduction parts requiring maintenance increases. The problem occurs.
したがって、従来の液晶注入装置では、シャッター板を回動駆動させるためにシャッター駆動用アクチュエータが必要であるという課題、シャッター板が回動することによるシャッター動作範囲を確保するために真空チャンバが大型化するという課題、シャッター板が回動させるシャッター駆動軸の真空導入部のメンテナンスが必要であるという課題等を有している。 Therefore, the conventional liquid crystal injection apparatus has a problem that an actuator for driving the shutter is necessary to rotate the shutter plate, and the vacuum chamber is enlarged in order to secure a shutter operating range by rotating the shutter plate. And a problem that maintenance of the vacuum introduction part of the shutter drive shaft that the shutter plate rotates is necessary.
そこで、本発明は上記課題を解決して、シャッター駆動用アクチュエータを要することなくシャッター板の開閉を行うことを目的とし、また、真空チャンバの大型化を抑制することを目的とし、また、シャッター板を回動させるシャッター駆動軸の真空導入部を不要とすることを目的とする。 SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention has been made to solve the above-mentioned problems and to open and close the shutter plate without requiring an actuator for driving the shutter, and to suppress the enlargement of the vacuum chamber. It is an object of the present invention to eliminate the need for a vacuum introducing portion of the shutter drive shaft that rotates the shutter.
本発明は、シャッターの開閉動作をシャッター駆動用アクチュエータによらずに、液晶皿を昇降させるための昇降部の昇降動作を利用することで、シャッター駆動用アクチュエータを要することなくシャッター板の開閉を可能とし、また、真空チャンバの大型化を抑制する。また、シャッター板を回動させるシャッター駆動軸の真空導入部を不要とする。 The present invention enables the opening and closing of the shutter plate without the need for a shutter driving actuator by utilizing the lifting and lowering operation of the lifting and lowering unit for raising and lowering the liquid crystal dish without using the shutter driving actuator for the shutter opening and closing operation. Moreover, the enlargement of a vacuum chamber is suppressed. Moreover, the vacuum introduction part of the shutter drive shaft for rotating the shutter plate is unnecessary.
また、シャッター駆動用アクチュエータを要することなくシャッター板の枚数を増やすことができるため、シャッター板の長さを短くすることができるため、真空チャンバの大型化を抑えることができる。 In addition, since the number of shutter plates can be increased without requiring a shutter driving actuator, the length of the shutter plates can be shortened, so that an increase in size of the vacuum chamber can be suppressed.
本発明の液晶注入装置は、液晶セルを収納するカセットと液晶を収納する液晶皿とを内部に装填する真空チャンバと、この真空チャンバ内に設けられ、液晶皿を昇降させる昇降部とを備え、さらに、昇降部の昇降動作によって、カセットと液晶皿との間を開閉するシャッターを備える。本発明のシャッターは、昇降部の上昇動作時に開放動作し、昇降部の下降動作時に閉鎖動作する。 The liquid crystal injection device of the present invention includes a vacuum chamber in which a cassette for storing liquid crystal cells and a liquid crystal dish for storing liquid crystal are loaded, and an elevating unit provided in the vacuum chamber for raising and lowering the liquid crystal dish. Furthermore, the shutter which opens and closes between a cassette and a liquid crystal dish by the raising / lowering operation | movement of an raising / lowering part is provided. The shutter according to the present invention opens when the lifting unit moves up and closes when the lifting unit moves down.
本発明の液晶注入装置のシャッターは分割した複数のシャッター板を備える。分割した各シャッター板の一端はヒンジにより回動自在に支持され、昇降部の昇降動作に連動してよってヒンジを中心として開閉動作する。これにより、シャッター板は、シャッター駆動用アクチュエータを要することなく昇降部の昇降動作に連動して開閉することができる。 The shutter of the liquid crystal injection device of the present invention includes a plurality of divided shutter plates. One end of each divided shutter plate is rotatably supported by a hinge, and opens / closes around the hinge in conjunction with the lifting / lowering operation of the lifting / lowering unit. Thus, the shutter plate can be opened and closed in conjunction with the lifting / lowering operation of the lifting / lowering unit without requiring a shutter driving actuator.
また、シャッターは分割した一対のシャッター板を備えた構成とすることができ、この一対のシャッター板は、カセットと液晶皿との間を開閉する。カセットと液晶皿の対は複数対備えることができ、各カセットと液晶皿の対に対して、一対のシャッター板を設け、開閉させることができる。 Further, the shutter may be configured to include a pair of divided shutter plates, and the pair of shutter plates opens and closes between the cassette and the liquid crystal dish. A plurality of pairs of cassettes and liquid crystal dishes can be provided, and a pair of shutter plates can be provided for each cassette and liquid crystal dish pair to be opened and closed.
本発明によれば、シャッター駆動用アクチュエータを要することなくシャッター板の開閉を行うことができる。 According to the present invention, the shutter plate can be opened and closed without requiring an actuator for driving the shutter.
また、本発明によれば、真空チャンバの大型化を抑制することができる。 In addition, according to the present invention, an increase in the size of the vacuum chamber can be suppressed.
また、本発明によれば、シャッター板を回動させるシャッター駆動軸の真空導入部を不要とすることができる。 Further, according to the present invention, the vacuum introduction part of the shutter drive shaft for rotating the shutter plate can be made unnecessary.
以下、本発明の実施の形態について、図を参照しながら詳細に説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
図1,図2は、本発明の液晶注入装置の構成を説明するための概略図であり、図1は正面図を示し、図2は側面図を示している。図1において、液晶注入装置1は、真空チャンバ4内の上方位置に液晶セル(図示していない)を収納したカセット6(図1には示していない)を備え、下方位置に液晶を収納した液晶皿5を昇降させる昇降部2を備える。昇降部2は、液晶皿5を上昇させて、液晶皿5の液晶を液晶セルに接液させることで、液晶セル内への液晶注入を行う。 1 and 2 are schematic views for explaining the configuration of the liquid crystal injection apparatus of the present invention. FIG. 1 shows a front view, and FIG. 2 shows a side view. In FIG. 1, a liquid crystal injection apparatus 1 includes a cassette 6 (not shown in FIG. 1) containing a liquid crystal cell (not shown) in an upper position in a vacuum chamber 4 and stores liquid crystal in a lower position. An elevating part 2 for elevating and lowering the liquid crystal dish 5 is provided. The elevating unit 2 raises the liquid crystal dish 5 to inject the liquid crystal into the liquid crystal cell by bringing the liquid crystal in the liquid crystal dish 5 into contact with the liquid crystal cell.
昇降部2は、液晶皿5を固定する液晶皿固定用アダプタプレート2fと、この液晶皿固定用アダプタプレート2fを支持する昇降テーブル2eと、この昇降テーブル2eを支持する昇降シャフト2cとを備え、駆動モータ2aと駆動軸2bとによって昇降駆動する。真空チャンバ4には昇降シャフト2cが通る部分に真空シール2dが設けられ、真空導入部を構成している。
The elevating unit 2 includes a liquid crystal dish
カセット6と昇降部2との間には、シャッター部3が設けられる。シャッター部3は、複数枚のシャッター板3aを備え、このシャッター板3aによって、液晶皿5内への不純物の混入を防ぐと共に、液晶の気泡による汚染を防ぐ。
A shutter unit 3 is provided between the
シャッター部3は、真空チャンバ4に対して固定して設置されたシャッターベース3bを備える。このシャッターベース3b上には、上方に向かって突出して設けられたシャッターヒンジ3cと、このシャッターヒンジ3cにコイルバネ等によって一回転方向に付勢されて開閉自在に取り付けられたシャッター板3aを備える。
The shutter unit 3 includes a
一方、昇降テーブル2e上には、ローラー3eが設けられる。このローラー3eは、シャッター板3aを下方から接触して押し上げることによって、シャッター板3aを回動させて、開動作させるものである。なお、シャッター板3aは、前記したシャッターヒンジ3cに設けられたコイルバネによってローラー3eと接触する方向に付勢されており、シャッター板3aとローラー3eとは常に接触状態となるように保持されている。
On the other hand, a
昇降テーブル2eが上昇すると、昇降テーブル2eに設けられたローラー3eがシャッター板3aの下面と接触しながら押し上げる。シャッター板3aの一端は、シャッターヒンジ3cに回動自在に取り付けられているため、ローラー3eによってシャッター板3aが押し上げられることによって、シャッター板3aはシャッターヒンジ3cを回転中心として回動して開く。
When the lifting table 2e rises, the
逆に、昇降テーブル2eが下降すると、シャッター板3aはコイルバネによってローラー3eと接触する方向に付勢されているため、ローラー3eが下降するに伴ってシャッターヒンジ3cを回転中心として前記と逆方向に回動して、シャッター板は閉じる。なお、図1において、下降時の昇降テーブル及び閉じた状態のシャッターを実線で示し、上昇時の昇降テーブル及び開いた状態のシャッターを鎖線で示している。
On the contrary, when the elevating table 2e is lowered, the
なお、ローラー3eは、回転することによってシャッター板3aとの接触を円滑にするための構成であり、シャッター板3aと円滑に接触する構成であれば、ローラーに限られるものではない。
The
また、図2に示す真空チャンバ4の一方は、ゲートや開閉扉等によって開口可能とする開口部4aを備え、この開口部4aと通してカセット6の搬送を行う他、真空チャンバ4内のメンテナンスを行うことができる。
Further, one of the vacuum chambers 4 shown in FIG. 2 includes an
図3、図4は、昇降部の一構成例の一部を説明するための斜視図である。図3に示す構成例は、昇降テーブルを2つに分割した構成を示し、図4(a)は昇降テーブル上に液晶皿を載置した状態を示している。また、図4(b)は、昇降部が下降してシャッター板が閉じている状態を示し、図4(c)は、昇降部が上昇してシャッター板が開いた状態を示している。 3 and 4 are perspective views for explaining a part of one configuration example of the elevating unit. The configuration example shown in FIG. 3 shows a configuration in which the lifting table is divided into two, and FIG. 4A shows a state in which the liquid crystal dish is placed on the lifting table. FIG. 4B shows a state where the elevating part is lowered and the shutter plate is closed, and FIG. 4C shows a state where the elevating part is raised and the shutter plate is opened.
2つの昇降テーブル2e1,2e2の各4隅にはローラー3e1〜3e8が設けられている。 Rollers 3e1 to 3e8 are provided at each of the four corners of the two lifting tables 2e1 and 2e2.
例えば、昇降テーブル2e1の周囲にはローラー3e1〜3e4が設けられ、昇降テーブル2e1の外側位置にはローラー3e1,3e2が設けられ、昇降テーブル2e1の内側位置にはローラー3e3,3e4が設けられる。同様に、昇降テーブル2e2の周囲にはローラー3e5〜3e8が設けられ、昇降テーブル2e2の外側位置にはローラー3e5,3e6が設けられ、昇降テーブル2e1の内側位置にはローラー3e7,3e8が設けられている。なお、ここでは、各昇降テーブル2eの両側にローラー3eを設けた構成を示しているが、ローラー3e1あるいは3e2の何れか一方というように、昇降テーブル2eの片側にのみローラー3eを設ける構成としてもよい。
For example, rollers 3e1 to 3e4 are provided around the lifting table 2e1, rollers 3e1 and 3e2 are provided at positions outside the lifting table 2e1, and rollers 3e3 and 3e4 are provided at positions inside the lifting table 2e1. Similarly, rollers 3e5 to 3e8 are provided around the lifting table 2e2, rollers 3e5 and 3e6 are provided at the outer position of the lifting table 2e2, and rollers 3e7 and 3e8 are provided at the inner position of the lifting table 2e1. Yes. In addition, although the structure which provided the
ここで、2つの昇降テーブル2e1と昇降テーブル2e2とは、所定の間隔を開けて設置される。この2つの昇降テーブル2e1,2e2が挟む隙間が形成する角穴の開口部3fは、昇降テーブル2e1,2e2が昇降した際に、内側に設けられたシャッター板3a2、シャッター板3a4、及びシャッターヒンジ(図示していない)が通過する開口部3fを形成している。この開口部3fを設けることによって、内側に設けたシャッター板3a2及びシャッター板3a4の開閉動作を可能とすることができる。
Here, the two lifting tables 2e1 and the lifting table 2e2 are installed at a predetermined interval. A
図4(a)は、昇降テーブル2e1,2e2上に液晶皿5a,5bが載置された状態を示し、図4(b)は、この液晶皿5a,5bの上方を、シャッター部3を構成するシャッター板3a1〜3a4で閉じた状態を示している。ここで、シャッター板3a1,3a2は、昇降テーブル2e1上に載置した液晶皿5aを覆い、シャッター板3a3,3a4は、昇降テーブル2e2上に載置した液晶皿5bを覆っている。
4A shows a state in which the
昇降テーブル2e1,2e2が上昇し、この上昇によってシャッターベース3bとの間で高さ方向に相対的な位置ずれが生じることで、シャッター板3a1〜3a4は開いた状態となる。図4(c)はこの状態を示している。昇降テーブル2e1上に載置した液晶皿5aを覆っているシャッター板3a1,3a2の内、シャッター板3a1は、ローラー3e1,3e2の押し上げによってヒンジを中心にして回動し、シャッター板3a2は、ローラー3e3,3e4の押し上げによってヒンジを中心にして回動する。
The lift tables 2e1 and 2e2 are lifted, and the lift causes relative displacement in the height direction with the
また、昇降テーブル2e2上に載置した液晶皿5bを覆っているシャッター板3a3,3a4の内、シャッター板3a3は、ローラー3e5,3e6の押し上げによってヒンジを中心にして回動し、シャッター板3a4は、ローラー3e7,3e8の押し上げによってヒンジを中心にして回動する。
Of the shutter plates 3a3 and 3a4 covering the
このとき、シャッター板3a2とシャッター板3a4、及びシャッターヒンジ(図示してない)は、前記した角穴の開口部3f内で回動する。
At this time, the shutter plate 3a2, the shutter plate 3a4, and the shutter hinge (not shown) rotate within the
この構成によれば、シャッター板は、昇降部の昇降テーブルの昇降動作に連動して開閉するため、シャッター駆動用アクチュエータを要することなくシャッター板の開閉を行うことができる。 According to this configuration, since the shutter plate opens and closes in conjunction with the lifting operation of the lifting table of the lifting unit, the shutter plate can be opened and closed without requiring a shutter driving actuator.
また、この構成によれば、液晶皿5を覆うシャッター3は、シャッター板3a1〜3a4に分割することによって、シャッター板の長さを短くすることができ、これによって、真空チャンバ4の高さを抑えて、液晶注入装置の高さが高くならないように抑え、真空チャンバの大型化を抑制することができる。 Further, according to this configuration, the shutter 3 covering the liquid crystal dish 5 can be shortened by dividing the shutter plate 3a1 to 3a4 into shutter plates 3a1 to 3a4, thereby reducing the height of the vacuum chamber 4. Thus, the height of the liquid crystal injection device is prevented from becoming high, and the enlargement of the vacuum chamber can be suppressed.
なお、ここでは、シャッター板の長さは、閉じた状態で液晶皿を覆った時の横方向の長さであり、開いた状態においては、真空チャンバ4に高さに相当する。 Here, the length of the shutter plate is the horizontal length when the liquid crystal dish is covered in the closed state, and corresponds to the height of the vacuum chamber 4 in the opened state.
また、本発明によれば、シャッター板を回動させるための構成として、シャッター駆動軸、シャッター駆動用アクチュエータ、シャッター駆動軸を真空チャンバに通すための真空導入部を不要とすることができる。 In addition, according to the present invention, as a configuration for rotating the shutter plate, a shutter drive shaft, a shutter drive actuator, and a vacuum introducing portion for passing the shutter drive shaft through the vacuum chamber can be eliminated.
1…液晶注入装置、2…昇降部、2a…駆動モータ、2b…駆動軸、2c…昇降シャフト、2d…真空シール、2e…昇降テーブル、2f…液晶皿固定用アダプタプレート、3…シャッター部、3a,3a1〜3a4…シャッター板、3b…シャッターベース、3c…シャッターヒンジ、3d…シャッター軸、3e,3e1〜3e8…ローラー、3f…開口部、4…真空チャンバ、4a…開口部、5,5a,5b…液晶皿、6…カセット、7…スライド機構。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Liquid crystal injection apparatus, 2 ... Elevating part, 2a ... Drive motor, 2b ... Drive shaft, 2c ... Elevating shaft, 2d ... Vacuum seal, 2e ... Elevating table, 2f ... Adapter plate for liquid crystal dish fixing, 3 ... Shutter part, 3a, 3a1-3a4 ... shutter plate, 3b ... shutter base, 3c ... shutter hinge, 3d ... shutter shaft, 3e, 3e1-3e8 ... roller, 3f ... opening, 4 ... vacuum chamber, 4a ... opening, 5, 5a , 5b ... Liquid crystal dish, 6 ... Cassette, 7 ... Slide mechanism.
Claims (6)
前記昇降部の昇降動作によって、カセットと液晶皿との間を開閉するシャッターを備え、
前記シャッターは、
シャッター板と、
前記シャッター板の一端を回動自在に支持するシャッターヒンジと、
前記真空チャンバに固定されるとともに、前記シャッターヒンジを上方に突出して設けるシャッターベースと、
前記昇降部が備える昇降テーブルの周囲に設けられるとともに、前記シャッター板と接触して当該シャッター板を下方から押し上げる押し上げ部材とを備え、
前記シャッター板は、
前記昇降部の上昇動作時において、前記押し上げ部材の押し上げ動作によって、前記シャッターヒンジを回転中心として回動して開放動作を行い、
前記昇降部の下降動作時において、前記押し上げ部材に支持されるとともに、前記シャッターヒンジを回転中心として前記開放動作と逆方向に回動して閉鎖動作を行うことを特徴とする、液晶注入装置。 A vacuum chamber in which a cassette for storing a liquid crystal cell and a liquid crystal dish for storing liquid crystal are loaded, and an elevating part provided in the vacuum chamber for raising and lowering the liquid crystal dish are provided, and liquid crystal is injected into the liquid crystal cell. In the liquid crystal injection device
A shutter that opens and closes between the cassette and the liquid crystal dish by the lifting operation of the lifting unit,
The shutter is
A shutter plate,
A shutter hinge that rotatably supports one end of the shutter plate;
A shutter base fixed to the vacuum chamber and provided with the shutter hinge protruding upward;
A lifting member provided around the lifting table provided in the lifting unit, and a push-up member that contacts the shutter plate and pushes up the shutter plate from below;
The shutter plate is
During the raising operation of the elevating unit, by the pushing-up operation of the push-up member, the shutter hinge is rotated around the rotation center to perform the opening operation,
The liquid crystal injection apparatus, wherein the liquid crystal injection device is supported by the push-up member during the lowering operation of the elevating unit and rotates in the opposite direction to the opening operation around the shutter hinge as a rotation center.
前記シャッター板と前記押し上げ部材とは、常に接触状態に保持されることを特徴とする、請求項1又は2に記載の液晶注入装置。 The shutter hinge is biased in one rotation direction by a biasing means in a direction in which the shutter plate comes into contact with the push-up member,
The liquid crystal injection device according to claim 1, wherein the shutter plate and the push-up member are always kept in contact with each other.
前記分割した各シャッター板の一端は、それぞれシャッターヒンジにより回動自在に支持され、昇降部の昇降動作に連動して前記シャッターヒンジを回転中心として開閉動作することを特徴とする、請求項1から3の何れか一つに記載の液晶注入装置。 The shutter includes a plurality of divided shutter plates,
One end of the divided each shutter plate is rotatably supported by the respective shutter hinges, characterized by opening and closing as the center of rotation of the shutter hinge in conjunction with the lifting operation of the lifting unit, from claim 1 4. The liquid crystal injection device according to any one of 3 .
前記シャッターは、分割した2枚のシャッター板からなるシャッター対を複数対備え、各対のシャッター板は、それぞれカセットと液晶皿との間を開閉することを特徴とする、請求項4に記載の液晶注入装置。 A plurality of the cassette and the liquid crystal dish are provided,
The shutter is divided two shutters pairs shutter pair consisting plate with the shutter plate of each pair, and wherein the opening and closing between the cassette and the liquid crystal dish, respectively, according to claim 4 Liquid crystal injection device.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2006047182A JP4895005B2 (en) | 2006-02-23 | 2006-02-23 | Liquid crystal injection device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2006047182A JP4895005B2 (en) | 2006-02-23 | 2006-02-23 | Liquid crystal injection device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2007225915A JP2007225915A (en) | 2007-09-06 |
| JP4895005B2 true JP4895005B2 (en) | 2012-03-14 |
Family
ID=38547800
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2006047182A Expired - Fee Related JP4895005B2 (en) | 2006-02-23 | 2006-02-23 | Liquid crystal injection device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4895005B2 (en) |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0968711A (en) * | 1995-08-31 | 1997-03-11 | Hitachi Ltd | Liquid crystal display board manufacturing equipment |
| JP2001343656A (en) * | 2000-05-31 | 2001-12-14 | Optrex Corp | Liquid crystal injecting device |
| JP2005221901A (en) * | 2004-02-09 | 2005-08-18 | Okubo Seisakusho:Kk | Liquid crystal filling system and liquid crystal filling method |
-
2006
- 2006-02-23 JP JP2006047182A patent/JP4895005B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2007225915A (en) | 2007-09-06 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN100444311C (en) | Vacuum processing apparatus | |
| JP4630994B1 (en) | Vacuum gate valve | |
| US12240686B2 (en) | Cassette for accommodating glass, method for loading glass into cassette, and method for manufacturing cover window | |
| US7931145B2 (en) | Cassette and handling system | |
| US8979463B2 (en) | Load port apparatus | |
| CN100458515C (en) | Load Lock Chamber Unit | |
| KR20110095014A (en) | Door apparatus of the vacuum chamber and substrate processing apparatus having the same | |
| JP3350234B2 (en) | Object buffer device, processing device using the same, and method of transporting the same | |
| JP4895005B2 (en) | Liquid crystal injection device | |
| JP4364001B2 (en) | Transfer robot | |
| KR101003725B1 (en) | Vacuum processing equipment | |
| CN101121108A (en) | Vacuum treatment device | |
| JP7175735B2 (en) | Substrate carrier | |
| KR20110079241A (en) | Flat panel display device manufacturing apparatus equipped with a substrate alignment device | |
| KR20100002938A (en) | Vacuum chamber of side open type | |
| KR100606566B1 (en) | Flat panel display device manufacturing device | |
| KR100841942B1 (en) | Sliding Door of Substrate Processing Equipment | |
| KR100773263B1 (en) | Vacuum processing equipment | |
| KR100965515B1 (en) | Flat panel display device manufacturing device | |
| KR20190094868A (en) | A appraratus for opening the lower lid of vacuum chamber | |
| CN113119441A (en) | Defoaming device | |
| JP2006179548A (en) | Opening / closing mechanism for vacuum processing apparatus and vacuum processing apparatus | |
| TW201428876A (en) | Substrate transfer device and substrate processing system | |
| KR102315008B1 (en) | Heat Treatment Apparatus for Manufacturing Display Panel and Shutter Device of Heat Treatment Apparatus | |
| KR100622847B1 (en) | Flat Panel Display Manufacturing System |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080411 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110128 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110201 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110907 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111031 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20111130 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20111213 |
|
| R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 4895005 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150106 Year of fee payment: 3 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |