JP5033432B2 - 摺動部品 - Google Patents

Description

本発明は摺動部品に関する。

特許文献１〜５に従来の摺動部品の一例である圧縮機用斜板が開示されている。これらの斜板は、基材と、この基材の表面に形成され、シューが摺動する摺動面を構成する摺動層とを有している。

特許文献１〜３に開示の斜板は、基材上に形成された第１層と、この第１層上に形成された第２層とからなる摺動層を採用している。一般的な斜板の基材は球状黒鉛鋳鉄（ＦＣＤ）、軸受鋼（ＳＵＪ２）等の鉄系材料からなる。これらの斜板は、第１層がめっきによって形成されたＳｎであったり、溶射によって形成されたＣｕ−Ｓｎ−Ｐｂ等であり、第２層がＭｏＳ₂を含有するポリアミドイミド（ＰＡＩ）からなる。

一方、特許文献４、５には、基材に非晶質硬質炭素（ダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ））膜からなる摺動層を形成して斜板とすることが開示されている。特許文献４には、ＤＬＣ膜がケイ素（Ｓｉ）を含み得ることも開示されている。

これらの斜板は斜板式圧縮機に用いられる。斜板式圧縮機は、内部にシリンダボア、クランク室、吸入室及び吐出室を形成するハウジングと、シリンダボア内に往復動可能に収容されてシリンダボア内に圧縮室を区画するピストンと、外部駆動源により駆動され、ハウジングに回転可能に支承された駆動軸と、クランク室内に設けられ、自己の前後の面と当接する対をなすシューを介して駆動軸の回転運動をピストンの往復運動に変換する斜板とを備えている。一般的な斜板は単一のものであり、これは自己の前後の面を駆動軸に対して傾斜させた状態で駆動軸とともに回転可能とされている。一方、各シューはそれぞれ略半球状をしており、各シューの略平面が斜板の前後の面と当接している。

このような構成である斜板式圧縮機では、外部駆動源により駆動軸が回転すると、斜板も回転し、シューを介して各ピストンがシリンダボア内で往復動する。これにより、この斜板式圧縮機は、吸入室から圧縮室に冷媒を吸入し、圧縮室において冷媒を圧縮して吐出室に吐出する。

このような斜板式圧縮機は、蒸発器、膨張弁、凝縮器及び配管とともに用いられて車両用等の冷凍回路を構成し、車室内等を空調することができる。

特開平１０−２０５４４２号公報 特開平１１−１３６３８号公報 特開平１１−１９３７８０号公報 特開２００１−２８０２３６号公報 特開２００２−５０１３号公報

しかし、例えば斜板式圧縮機をより高速で駆動する等、摺動部品の使用環境はますます厳しくなってきており、従来よりも優れた摺動性を発揮可能な摺動部品が求められている。また、自然環境上の理由から、摺動層に鉛を含有しない斜板が望まれている。発明者らは、上記要望の下、従来の斜板について以下の現象を確認した。

まず、従来の摺動層におけるＭｏＳ₂を含有するＰＡＩからなる第２層は、斜板式圧縮機のクランク室内に存在し得る不可避の異物により、長期使用時に剥げるおそれがある。そして、これによって剥き出しとなるめっきや溶射によるＳｎやＣｕ−Ｓｎ−Ｐｂ等からなる第１層は、貧潤滑条件の下での耐久性の向上が望まれる。

一方、従来のＤＬＣ膜からなる摺動層は、ＤＬＣ膜が貧潤滑条件において低い摩擦係数を示すことから、めっきや溶射によるＳｎやＣｕ−Ｓｎ−Ｐｂ等からなる第１層よりも優れた摺動性を発揮できるものの、潤滑油がほとんど存在しないような条件になると、相手側のシューとの直接摺動となり、耐久性の低下が懸念される。

このため、発明者らは、摺動層の第１層をＤＬＣ膜とし、第２層をＭｏＳ₂を含有するＰＡＩからなるものとすることを検討した。

しかしながら、このような摺動層は第２層の密着性が十分でなかった。このため、ＤＬＣ膜からなる第１層上の第２層の密着性を向上させるため、基材表面を粗くすることが考えられるが、そうすると長期使用時に第２層が剥げた場合に硬質の突起物がシューを攻撃し易く、シューの斜板に対する摺動性が阻害され、シューがピストンに焼き付く等の不具合を生じ、斜板式圧縮機の耐久性が懸念される。

本発明は、上記従来の実情に鑑みてなされたものであって、より優れた耐久性を発揮し、かつ鉛を含有しない摺動部品を提供することを解決すべき課題としている。

発明者らは、第２層の密着性に優れたＤＬＣ膜からなる第１層を見出すべく、鋭意研究を行った。そして、Ｓｉを含有するＤＬＣ（ＤＬＣ−Ｓｉ）膜からなる第１層が第２層と高い密着性を発揮し、上述の課題を解決できることを発見した。

すなわち、本発明の摺動部品は、基材と、該基材の表面に形成される摺動面を少なくとも構成する摺動層とを有する摺動部品において、
前記摺動層は、前記基材上に形成され、Ｓｉを含有する非晶質硬質炭素膜からなる第１層と、該第１層上に形成され、固体潤滑剤を含有するアミド基及び／又はイミド基を含有する高分子からなる第２層とからなることを特徴とする。

摺動部品は圧縮機に用いられる斜板であり得、摺動層はシューが摺動する摺動面を少なくとも構成し得る。

発明者らの試験結果によれば、本発明の摺動部品は、厳しい潤滑条件の下、シューとの間で焼付きまでの時間の長期化を実現する。本発明の斜板は、Ｓｉを含有しないＤＬＣ膜からなる第１層を採用した摺動層をもつ斜板よりも、第２層を好適に密着し、シューとの間で焼付きまでの時間の長期化を実現するのである。

発明者らは本発明の作用効果を以下のように考えている。すなわち、本発明に係るＤＬＣ膜は、炭素（Ｃ）及び水素（Ｈ）の他、Ｓｉを含む。本発明の摺動部品では、例えば斜板式圧縮機のクランク室内に不可避の異物が存在しても、ＤＬＣ−Ｓｉ膜からなる第１層が第２層を好適に密着しているため、第２層に剥げを生じ難い。第１層の１００ｎｍ程度の微細な表面凹凸が第２層に対してアンカーとして作用するものと考えられる。また、ＤＬＣ−Ｓｉ膜は、ＳｉにＯＨ基が結合したシラノール（ＳｉＯＨ）基を表面に有する。このシラノール基は極性を有し、樹脂に含まれる同様の極性をもつアミド結合やイミド結合と強く相互作用するため、樹脂−ＤＬＣ−Ｓｉ間が強固に密着すると考えられる。特に、ＤＬＣ−Ｓｉ膜は、ＳｉにＯＨ基が結合したシラノール（ＳｉＯＨ）基を表面に有し、このシラノール基が境界膜の摩擦力を低減することから、より一層摩耗し難い。なお、シラノール基の生成は例えば誘導体化法を利用したＸＰＳ分析により確認することができる。

例えば、特開平６−３４６０７４号公報及び特開平７−７５１５０号公報には、Ｓｉ及び窒素（Ｎ）を含有するＤＬＣ膜が摺動性及び耐摩耗性に優れる材料であることが開示されている。しかしながら、これらは斜板式圧縮機のクランク室内に存在し得る異物も考慮すべき摺動部品に限ったものではない。また、摺動部品において実績のある固体潤滑剤を含有するＰＡＩからなる第２層について密着性の問題を確認し、その対策とより一層の耐久性の向上とのため、ＤＬＣ−Ｓｉ膜を第１層として採用することは、本発明者らの着想によるものである。

したがって、本発明の摺動部品は、より優れた耐久性を発揮し、かつ鉛を含有しないことにより優れた自然環境を実現することができる。このため、この斜板を用いた斜板式圧縮機は、優れた環境性能を発揮するとともに、長寿命を実現することができる。

基材はＦＣＤ、ＳＵＪ２等の鉄系材料からなり得る。基材の表面は粗面化されていることが好ましい。

摺動層は、基材の表面に形成され、シューが摺動する摺動面を構成する。摺動層は摺動面以外、すなわち斜板の他の部分を構成していることも可能である。発明者らの知見によれば、摺動層の厚みは３〜５０μｍが適切である。このうち、第１層の厚みは０．５〜５μｍが適切であり、第２層の厚みは３〜５０μｍが適切である。

第１層のＤＬＣ膜は、プラズマＣＶＤ法、イオンプレーティング法、スパッタリング法等により形成することができる。但し、スパッタリング法に代表されるＰＶＤ法では、成膜原料に指向性があるため、均一に成膜するためには、装置内に複数のターゲットを配置したり、成膜する基材を回転させることが好ましい。その結果、成膜装置の構造が複雑化し、高価になる。また、ＰＶＤ法では、摺動部品の基材の周面に成膜し難い場合がある。この点、プラズマＣＶＤ法は、反応ガスにより成膜するものであるため、摺動部品の基材に容易に成膜することができる。また、プラズマＣＶＤ法は、成膜装置の構造も単純で安価である。プラズマＣＶＤ法には、例えば、高周波放電を利用する高周波プラズマＣＶＤ法や、直流放電を利用する直流プラズマＣＶＤ法等があるが、直流プラズマＣＶＤ法は、成膜装置を真空炉と直流電源とから簡易に構成することができるため好適である。また、直流プラズマＣＶＤ法は、摺動部品の基材の一面側の周縁と他面側の周縁とを同時に成膜でき、好適である。

例えば、直流プラズマＣＶＤ法によりＤＬＣ膜を成膜する場合には、まず、真空容器内に基材を配置して、反応ガス及びキャリアガスを導入する。そして、放電によりプラズマを生成させ、反応ガス中のプラズマイオン化されたＣ、ＣＨ、Ｓｉ等を基材に付着させればよい。反応ガスには、メタン（ＣＨ₄）、アセチレン（Ｃ₂Ｈ₂）等の炭化水素ガスと、Ｓｉ（ＣＨ₃）₄（ＴＭＳ）、ＳｉＨ₄、ＳｉＣｌ₄、ＳｉＨ₂Ｆ₄等の珪素化合物ガスと、水素ガスとを用いることができる。キャリアガスにはアルゴンガスを用いることができる。

第１層の表面粗さはＲｚ３μｍ以下であることが好ましい。このＤＬＣ膜の表面粗さは非常に小さいため、第２層が剥げた場合にシューとの間の境界膜の摩擦力が低減し、摩擦係数が低減する。また、第１層の表面粗さがＲｚ３μｍを超えると、ＤＬＣの突起物が大きく、長期使用時に第２層が剥げた場合にこの突起物がシューを攻撃し易く、シューの斜板に対する摺動性が阻害され、シューがピストンに焼き付く等の不具合を生じ、斜板式圧縮機の耐久性が懸念される。表面粗さの算出方法は、ＪＩＳＢ０６０１（１９９４）に規定された方法に従う。

ＤＬＣ膜自体の摩擦係数のためには、Ｓｉ含有量は１〜２０質量％であることが好ましいことは知られている（特開２００６−２２６６６号公報）。本発明の摺動部品においては、発明者らの試験によれば、第１層のＳｉ含有量は５〜４４質量％であることが好ましい。Ｓｉ含有量が５質量％未満では、第２層の密着性がさほど向上せず、焼付き時間が実用的でない。Ｓｉ含有量が４４質量％を超えれば、ＤＬＣ膜の摩耗量が大きすぎる。

第２層は固体潤滑剤を含有するＰＡＩ等のアミド基及び／又はイミド基を含有する高分子からなる。第２層は、未硬化のＰＡＩ樹脂及び固体潤滑剤を含んで混練されてなる塗料組成物を基材上の第１層上に塗布した後、加熱することにより形成される。こうして形成される第２層は、硬化したＰＡＩからなるバインダ樹脂中に固体潤滑剤を含む。この第２層では、固体潤滑剤が従来と同様にバインダ樹脂によって内部に結合された状態で耐焼付き性、耐摩耗性等を向上させる。発明者らの試験によれば、ガラス転移温度が高いＰＡＩ樹脂、引張強度が大きいＰＡＩ樹脂、又はイミド基がアミド基より多いＰＡＩ樹脂からなる第２層は、より苛酷な条件下における一層の摺動特性を発揮する。特に、発明者らの試験結果によれば、ガラス転移温度が２７０°Ｃ以上のＰＡＩ樹脂を採用することが好ましい。ガラス転移温度が２９０°Ｃ以上のＰＡＩ樹脂を採用することが特に好ましい。また、常温での引張強度が２００ＭＰａ以上のＰＡＩ樹脂を採用することも好ましい。発明者らによれば、これらのＰＡＩ樹脂としては、イミド基がアミド基より多いものであることが好ましい。ＰＡＩ樹脂の数平均分子量は２００００以上であることが好ましい。発明者らはこれらのＰＡＩ樹脂について本発明の効果を確認している。

固体潤滑剤としては、ＭｏＳ₂、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、エチレンテトラフルオロエチレン（ＥＴＦＥ）、テトラフルオロエチレンヘキサフルオロプロピレンコポリマー（ＦＥＰ）、グラファイト等を採用することができる。

発明者らの試験によれば、第２層はエポキシ樹脂を含有する高分子からなることが好ましい。第２層がエポキシ樹脂を含有しておれば、第２層の密着性がより向上し、より長い焼付き時間を実現できる。

斜板の相手材であるシューとしては、ＳＵＪ２等の鉄系材料やアルミ系材料からなるものを採用し得る。発明者らの試験結果によれば、本発明の斜板はシューがＳＵＪ２等の鉄系材料からなる場合に大きな効果を奏する。アルミ系材料からなるシューは表面にＮｉからなるメッキ層を有するものであってもよい。

斜板式圧縮機は、Ｒ１３４ａ等の一般的な冷媒の他、ＣＯ₂冷媒を使用するものであり得る。特に、ＣＯ₂を冷媒とする場合には、本発明の効果を顕著に享受することができる。なぜなら、ＣＯ₂が冷媒である場合には、圧縮時の圧力が１５ＭＰａ程度の非常に高い圧力となり、ピストンからシューを介して斜板に作用する圧縮反力も非常に高くなるからである。また、冷媒としてのＣＯ₂は、潤滑成分を添加したとしても、他の一般的な冷媒に比べて潤滑性能が非常に低いからである。

また、本発明の摺動部品は、斜板を用いた種々の斜板式圧縮機に採用することが可能である。例えば、斜板が単一のものである一般的な斜板式圧縮機の他、駆動軸とともに回転可能な第１斜板と、この第１斜板に相対回転可能に支持された第２斜板とを採用した斜板式圧縮機等に採用することが可能である。斜板が単一の斜板式圧縮機の場合、本発明の斜板は、駆動軸に対する傾斜角が変化する斜板に採用してもよいし、駆動軸に対する傾斜角が変化しない斜板に採用してもよい。斜板が第１斜板及び第２斜板からなる斜板式圧縮機の場合、本発明の斜板は第２斜板に採用され得る。

始めに、実施例１の摺動部品である圧縮機用斜板を採用する容量可変型斜板式圧縮機について説明する。この圧縮機は、図１に示すように、シリンダブロック１の前端にフロントハウジング２が接合されているとともに、シリンダブロック１の後端には弁ユニット３を介してリヤハウジング４が接合されている。シリンダブロック１及びフロントハウジング２には軸方向に延びる軸孔１ａ、２ａが貫設されており、軸孔１ａ、２ａにはそれぞれ軸受装置等を介して駆動軸５が回転可能に支承されている。なお、図１における下側を前側、上側を後側としている。

フロントハウジング２内はクランク室６とされている。クランク室６では、フロントハウジング２との間に軸受装置を介し、ラグプレート７が駆動軸５に固定されている。また、クランク室６には、斜板８がラグプレート７の後方に設けられている。斜板８は、駆動軸５によって挿通され、この状態でラグプレート７との間に設けられたリンク機構９によって傾斜角が変化するようになっている。

シリンダブロック１には、軸方向に延びる複数個のシリンダボア１ｂが同心円状に貫設されている。各シリンダボア１ｂ内には片頭のピストン１０が往復動可能に収納されている。各ピストン１０のクランク室６側は首部とされており、各ピストン１０の首部にはそれぞれ球面で凹設された受け座１０ａが互いに対面して設けられている。

斜板８と各ピストン１０との間には、前後一対のシュー２１が設けられている。斜板８は、図２に示すように、基材８１と、この基材８１の前後表面の周縁に形成された摺動層８２、８２とからなる。基材８１はＦＣＤ、ＳＵＪ２等の鉄系材料からなる。摺動層８２は、図３（Ｃ）に示すように、基材８１上に形成された第１層８２ａと、第１層８２ａ上に形成された第２層８２ｂとからなる。第１層８２ａはＤＬＣ−Ｓｉ膜からなり、第２層８２ｂはＭｏＳ₂及びエポキシ樹脂を含有するＰＡＩからなる。

各摺動層８２の表面は、図２に示すように、各シュー２１が摺動する平坦な摺動面８ａ、８ａを構成している。各シュー２１は略半球状をしており、各シュー２１の半球面がピストン１０の受け座１０ａと当接し、略平面が斜板８の各摺動面８ａ、８ａと当接している。

リヤハウジング４には吸入室４ａ及び吐出室４ｂが形成されている。シリンダボア１ｂは、弁ユニット３の吸入弁機構を介して吸入室４ａに連通可能になっているとともに、弁ユニット３の吐出弁機構を介して吐出室４ｂに連通可能になっている。

また、リヤハウジング４には容量制御弁１１が収納されている。容量制御弁１１は、検知通路４ｃにより吸入室４ａに連通し、給気通路４ｄにより吐出室４ｂとクランク室６とを連通させている。容量制御弁１１は、吸入室４ａの圧力を検知することにより、給気通路４ｄの開度を変更し、圧縮機の吐出容量を変更している。また、クランク室６と吸入室４ａとは抽気通路４ｅによって連通している。吐出室４ｂには配管１２によって凝縮器１３、膨張弁１４及び蒸発器１５が接続されており、蒸発器１５は配管１２によって吸入室４ａに接続されている。

フロントハウジング２の前端には軸受装置を介してプーリ１６が回転可能に設けられており、プーリ１６は駆動軸５に固定されている。プーリ１６にはエンジン１７によって回転駆動されるベルト１８が巻き掛けられている。

上記斜板８は下記のようにして製造される。まず、図３（Ａ）に示すように、ＦＣＤ、ＳＵＪ２等の鉄系材料からなる基材８１が鋳造、切削等によって用意される。

一方、図４に示す直流プラズマＣＶＤ（ＰＣＶＤ）成膜装置５０を用い、以下のように、基材８１の表面にＤＬＣ−Ｓｉ膜を形成する。ＰＣＶＤ成膜装置５０は、ステンレス製の容器４０と、容器４０内に設けられた基台４１と、外部から容器４０内に導かれたガス導入管４２と、容器４０内を外部に連通させるガス導出管４３とを備えている。ガス導入管４２は、バルブ（図略）を介して各種ガスボンベ（図略）に接続されている。ガス導出管４３は、バルブ（図略）を介してロータリーポンプ（図略）及び拡散ポンプ（図略）に接続されている。

まず、基台４１上に基材８１を配置する。次に、容器４０を密閉し、ガス導出管４３に接続されたロータリーポンプ及び拡散ポンプにより、容器４０内の空気を排気する。そして、容器４０内にガス導入管４２から水素ガスを導入する。その後、容器４０の内側に設けたステンレス製陽極板４４と基台４１との間に直流電圧を印加し、放電を開始した。基材８１の温度が一定温度になるまでイオン衝撃による昇温を行った。

次に、ガス導入管４２から反応ガスとしてメタンガス及びＴＭＳガスを導入し、さらに水素ガス及びアルゴンガスを導入し、図３（Ｂ）に示すように、基材８１上に厚みが２μｍ、表面粗さがＲｚ３μｍ以下のＤＬＣ−Ｓｉ膜からなる第１層８２ａを成膜する。

また、以下の原料を用意する。
固体潤滑剤：ＭｏＳ₂
バインダ樹脂：ＰＡＩ樹脂ワニス（ＰＡＩ樹脂３０質量％、溶剤（ｎ−メチル−２−ピロリドン５６質量％、キシレン１４質量％）７０質量％）
エポキシ樹脂
ＰＡＩ樹脂は、数平均分子量が２００００以上であり、イミド基がアミド基より多く、ガラス転移温度が３０７．１°Ｃ、引張強度が２４９ＭＰａ（２５０°Ｃの貯蔵弾性率は３．３９×１０⁹Ｐａ）である。

そして、ＰＡＩ樹脂ワニス、ＭｏＳ₂及びエポキシ樹脂を配合する。これをよく攪拌後、３本ロールミルに通し、塗料組成物を作製する。この塗料組成物を基材８１の第１層８２ａ上にコーティングする。この際、塗料組成物をロールコート転写によって基材８１に塗布し、その基材８１を２００°Ｃ×６０分の大気条件下で加熱し、未硬化のバインダ樹脂を硬化させる。なお、エアスプレー法により塗料組成物をコーティングすることもできる。こうして、図３（Ｃ）に示すように、第１層８２ａ上に厚みが１０μｍの第２層８２ｂを形成する。

上記のように構成された圧縮機では、図１に示す駆動軸５が回転することにより斜板８が同期回転し、シュー２１を介してピストン１０がシリンダボア１ｂ内を往復動する。これにより、ピストン１０のヘッド側に形成される圧縮室が容積変化をする。このため、吸入室４ａ内の冷媒ガスは圧縮室内に吸入されて圧縮された後、吐出室４ｂ内に吐出される。こうして圧縮機、凝縮器１３、膨張弁１４及び蒸発器１５からなる冷凍回路で冷凍作用が行われる。この間、シュー２１は、略平面が斜板８の摺動面８ａと摺接するとともに、半球面がピストン１０の受け座１０ａと摺接する。

実施例１の圧縮機の耐久性を評価するため、下記の試験を行った。まず、図５に示すように、斜板８を模した斜板供試体８８とシュー２５とを用意する。斜板供試体８８は、斜板８と同種の基材８８ａの上面に種々の摺動層８８ｂを形成したものである。摺動層８８ｂの表面は、各シュー２５が摺動する平坦な摺動面８８ｃを構成している。シュー２５は、斜板供試体８８の摺動層８８ｂに略平面を当接するように載置される。そして、シュー２５の半球面に対応するシュー座３８ａが凹設された押し付け治具９９により、シュー２５を斜板供試体８８に所定の荷重で押し付ける。こうして、斜板供試体８８とシュー２５とを当接させた状態で斜板供試体８８を周速７．８ｍ／秒、荷重５８００Ｎ、冷凍機油７５ｍｇ／分の条件下で回転させ、シュー２５との間で焼付きが発生するまでの時間を測定した。

試験例１の斜板供試体８８の摺動層８８ｂは、表１に示すように、Ｓｉ含有量が０質量％のＤＬＣ膜を第１層８２ａとしたものである。試験例２〜９の斜板供試体８８の摺動層８８ｂは、Ｓｉ含有量が５〜４４質量％のＤＬＣ−Ｓｉ膜を第１層８２ａとしたものである。また、試験例７〜９の斜板供試体８８の摺動層８８ｂは、エポキシ樹脂を含有する第２層８２ｂを採用したものである。結果を表２に示す。

表２に示すように、試験例２〜９の斜板供試体８８は、試験例１の斜板供試体８８よりも、シュー２１との間で焼付きまでの時間の長期化を実現できていることがわかる。試験例２〜９の斜板供試体８８では第１層８２ａのＳｉがアンカー効果を促進すると考えられ、第２層８２ｂを好適に密着しているからである。

このため、実施例１の斜板８は、厳しい潤滑条件の下、シュー２１との間で焼付きまでの時間の長期化を実現することがわかる。また、表２より、第１層８２ａのＳｉ含有量は５〜４４質量％であることが好ましいことがわかる。

したがって、実施例１の斜板８は、より優れた耐久性を発揮し、かつ鉛を含有しないことにより優れた自然環境を実現することができる。このため、この斜板８を用いた斜板式圧縮機は、優れた環境性能を発揮するとともに、長寿命を実現することができる。

以上において、本発明を実施例１に即して説明したが、本発明は上記実施例１に制限されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更して適用できることはいうまでもない。

本発明は斜板式圧縮機に利用可能である。

実施例１の斜板式圧縮機の縦断面図である。 実施例１の斜板式圧縮機の要部拡大縦断面図である。 実施例１の圧縮機用斜板の製造方法を示す断面図である。 実施例１の圧縮機用斜板の製造方法を示す断面図である。 斜板供試体とシューとの焼付き荷重の測定方法を示す概略模式図である。

符号の説明

８１…基材
２１、２５…シュー
８ａ、８８ｃ…摺動面
８２、８８ｂ…摺動層
８２ａ…第１層
８２ｂ…第２層
８…圧縮機用斜板（摺動部品）

Claims (5)

1. 基材と、該基材の表面に形成される摺動面を少なくとも構成する摺動層とを有する摺動部品において、
   前記摺動層は、前記基材上に形成され、Ｓｉを含有する非晶質硬質炭素膜からなる第１層と、該第１層上に形成され、固体潤滑剤を含有するアミド基及び／又はイミド基を含有する高分子からなる第２層とからなることを特徴とする摺動部品。
2. 前記摺動部品は圧縮機に用いられる圧縮機用斜板であり、前記摺動層はシューが摺動する前記摺動面を少なくとも構成している請求項１記載の摺動部品。
3. 前記第１層の表面粗さはＲｚ３μｍ以下である請求項１又は２記載の摺動部品。
4. 前記第１層のＳｉ含有量は５〜４４質量％である請求項１乃至３のいずれか１項記載の摺動部品。
5. 前記第２層はエポキシ樹脂を含有する高分子からなる請求項１乃至４のいずれか１項記載の摺動部品。

Images