JP5033766B2 - 永電磁チャック - Google Patents

Description

本発明は永電磁チャックに関し、更に詳細にはコイルと永久磁石とを具備し、吸着物品が載置された作業面に前記永久磁石の磁力を導いて吸着力が発生するように、前記コイルに直流電流を通電する着磁手段と、前記作業面に導かれている磁力を消磁するように、前記コイルに減衰交番磁界を発生する消磁手段とが設けられている永電磁チャックに関する。

コイルと永久磁石とが設けられた永電磁チャックについては、例えば下記特許文献１に記載されている。かかる永電磁チャックを図９に示す。図９において、図９（ａ）は永電磁チャックの平面図であり、図９（ｂ）はその縦断面図である。
図９に示す永電磁チャックでは、底板１００の一面側に載置された複数の永久磁石１０２，１０２・・の各々に、コイル１０６が巻回された鉄芯１０４が立設されている。鉄芯１０４の上端面は、吸着物品１１０を載置する作業面となる。
かかる永久磁石１０２、鉄芯１０４及びコイル１０６は、隣接するものと仕切板１０８によって仕切られている。この仕切板１０８の上端面も、吸着物品１１０を載置する作業面となる。
実開平７−１１２４３号公報

図９に示す永電磁チャックでは、吸着物品１１０が載置された作業面に永久磁石１０２，１０２・・の磁力を導いて吸着力が発生するように、コイル１０６，１０６・・の各々に直流電流を通電することによって、吸着物品１１０を吸着できる。
この様に、作業面に吸着物品１１０を吸着した後に、コイル１０６，１０６・・への直流電流の通電を停止しても、吸着物品１１０の吸着状態を保持できる。
他方、作業面に導かれた磁力の消磁は、コイル１０６，１０６・・への直流電流の通電方向を交互に切り換えて、コイル１０６，１０６・・の各々に減衰交番磁界を発生させることによって行っている。

しかしながら、図９に示す永電磁チャックでは、作業面に載置された吸着物品に対する吸着力を調整することは、極めて困難である。
つまり、永電磁チャックの磁化曲線を図１０に示す。かかる磁化曲線を呈する永電磁チャックにおいて、その吸着力を調整するには、図１０に示す磁化曲線のうち、左上に示す減磁範囲で調整可能である。
しかし、かかる減磁範囲において、磁化曲線の傾斜は直線状ではなく、その調整は困難である。
但し、永電磁チャックでは、吸着物品を吸着した後に、コイルに通電する直流電流を停止しても、その吸着を維持でき、停電時でも吸着を維持できる利点がある。また、コイルへの通電は短時間ですみ、コイルへの長時間の通電による発熱に因る精度の低下を回避できる利点もある。
そこで、本発明の課題は、吸着物品の吸着力の調整を容易に行うことができないという従来の永電磁チャックの課題を解決し、吸着物品の吸着力の調整を容易に行うことができる永電磁チャックを提供することにある。

本発明者等は、前記課題を解決すべく、コイルに直流電流を通電して、最大吸着力を作業面に発生させた後、コイルに対して、載置板に導かれた磁力を減ずる方向（最大吸着力を発生させた直流電流のコイルへの通電方向に対して反対方向）に直流電流を所定時間通電することによって、永電磁チャックの吸着力を調整可能であることを知った。
しかし、コイルに対して、作業面に導かれた磁力を減ずる方向に通電する直流電流の通電時間を、タイマーによって調整することは、図１０の磁化曲線に示す如く、永電チャックの減磁範囲では、磁化曲線の傾斜が直線状ではなく、所望の吸着力を得ることは極めて困難であり、且つ調整した吸着力にバラツキが発生し易いことが判明した。
このため、本発明者等は、永電磁チャックの吸着力を容易に調整でき且つ調整した吸着力にバラツキの少なくできないか検討した。その結果、交流電流の周期と同期したパルス信号を受信して、交流電流を全波整流する整流回路を駆動する整流回路駆動回路を設け、最大吸着力を作業面に発生させるように着磁した永電磁チャックに対し、交流電流の周期と同期した所定数のパルス信号を整流回路駆動回路に送信して整流回路を駆動し、整流回路から平滑化することなく出力した直流電流を、その通電方向を切り換えてコイルに通電して、作業面に導かれた磁力を減磁することによって、所望の吸着力を容易に得ることができることを見出し、本発明に到達した。

すなわち、本発明は、コイルと永久磁石とを具備し、吸着物品が載置される作業面に前記永久磁石の磁力を導いて吸着力が発生するように、前記コイルに直流電流を通電する着磁手段と、前記作業面に導かれている磁力を消磁するように、前記コイルに減衰交番磁界を発生する消磁手段とが設けられている永電磁チャックであって、交流電流を全波整流した直流電流を平滑化することなく出力する整流回路と、前記交流電流の周期と同期して、前記整流回路から出力された直流電流のコイルへの通電方向を切り換える極性切換回路と、前記交流電流の周期と同期したパルス信号を受信して、前記整流回路を駆動する整流回路駆動回路と、前記極性切換回路と整流回路駆動回路とを制御する制御部とが設けられ、前記制御部では、前記コイルに整流回路から直流電流を通電して、最大吸着力が発生した前記作業面の磁力に対し、その磁力を減じる方向の逆磁力が前記コイルに発生するように、前記整流回路からの直流電流のコイルへの通電方向を、前記極性切換回路によって交流電流の周期に同期して切り換え、且つ前記整流回路駆動回路に向けて交流電流の周期に同期した所定数のパルス信号を発信し、前記パルス信号に対応する直流電流を前記整流回路から極性切換回路を経由してコイルに通電して、前記作業面の磁力を減磁して所望の吸着力に調整するように、前記極性切換回路と整流回路駆動回路とを制御することを特徴とする永電磁チャックにある。

かかる本発明において、制御部に、交流電流の周期と同期して極性切換回路と整流回路駆動回路との各々に所定の信号を発信する出力同期部を設け、前記出力同期部からは、前記極性切換回路に対して、整流回路から出力した直流電流のコイルへの通電方向を切り換える切換信号を発信し、前記整流回路駆動回路に対して、前記整流回路を駆動する所定数のパルス信号を発信することによって、極性切換回路と整流回路駆動回路とを容易に制御できる。
更に、制御部に、吸着力と等間隔に目盛られた磁力調整目盛との関係を示す減磁パターンであって、前記磁力調整目盛に対応して、整流回路駆動回路に送信されるパルス信号数が定められた減磁パターンを記憶した記憶部と、前記磁力調整目盛の目盛を制御部に入力する入力手段とを設け、最大吸着力から前記入力手段より入力した磁力調整目盛の目盛に対応する吸着力に調整するように、前記減磁パターンに従って、前記制御部から整流回路駆動回路に交流電流の周期に同期して所定数のパルス信号を送信することによって、所望の吸着力を簡単に得ることができる。
この記憶部に、複数の減磁パターンを記憶し、前記減磁パターンの一つを選択して制御部に入力する減磁パターンの選択手段を設けることによって、所望の吸着力を最も安定して得られる減磁パターンを選択できる。

本発明に係る永電磁チャックでは、整流回路で交流電流を全波整流して平滑化することなく出力した直流電流をコイルに通電し、最大吸着力を発生した吸着物品の作業面に導かれた磁力に対して、その磁力を減じる逆磁力をコイルに発生するように、整流回路から出力した直流電流のコイルへの通電方向を、極性切換回路によって交流電流の周囲と同期して切り換え、且つ交流電流の周期と同期して所定数のパルス信号を整流回路駆動回路に向けて発信して整流回路を駆動する。このため、整流回路から交流電流の周期と同期して出力された直流電流を、極性切換回路を経由してコイルに通電することによって、作業面の磁力を減磁して所望の吸着力に調整できる。
この様に、作業面の磁力の減磁を、交流電流の周期と同期されたパルス信号に対応して駆動される整流回路から平滑化することなく出力される直流電流をコイルに通電して行うことによって、コイルに通電する直流電流の通電時間をタイマーで規制する場合に比較して、作業面での吸着力を正確に調整できる。

本発明に係る永電磁チャックの一例を図１に示す。図１において、図１（ａ）は永電磁チャックの部分断面正面図、図１（ｂ）は図１（ａ）のＯ−Ａ線での断面図、及び図１（ｃ）は図１（ａ）のＯ−Ｂ線での断面図である。
図１に示す永電磁チャックは、円形状の本体部１６に、磁石部１０，１０・・が放射状に配設されている。この磁石部１０は、図１（ａ）（ｂ）に示す様に、永久磁石としてのアルニコ磁石１２をコイル１４が巻回されている。かかるアルニコ磁石１２上には、スぺーサ１８が載置され、更に磁石部１０，１０・・の全面は、載置板２０が載置されている。
かかる載置板２０には、磁石部１０に対応する部分は、セパレータ２２によって囲まれている。
尚、隣接する磁石部１０，１０は、図１（ｃ）に示す様に、本体部１６に形成された仕切部２４によって仕切られている。

図１に示すコイル１４には、図２に示す様に、交流電流を整流回路３０で全波整流して平滑化することなく出力された直流電流が極性切換回路３２を経由して通電される。
この整流回路３０は、サイリスタによって構成されており、整流回路駆動回路３４よって駆動される。
また、極性切換回路３２は、整流回路３０から平滑化されることなく出力された直流電流を、載置板２０の作業面に吸着力を発生させるように、アルニコ磁石１２の磁力を増磁する正磁力をコイル１４に発生させる通電方向と、載置板２０の作業面に発生した吸着力を減少するように、アルニコ磁石１２の磁力を減磁する逆磁力を発生させる通電方向とに切り換える。
かかる極性切換回路３２及び整流回路駆動回路３４は、制御部３６によって制御されている。
この制御部３６には、周期検出回路３５によって検出された整流回路３０で整流される交流電流の周期をカウントする周期カウント部３８と、周期カウント部３８でカウントされた周期と同期して、整流回路駆動回路３４と極性切換回路３２とに所定の信号を発信する出力同期部４０とが設けられている。更に、制御部３６には、減磁パターンデータが記憶された第1記憶部４２と、消磁パターンデータが記憶された第２記憶部４４とが設けられている。
かかる制御部３６に入力する入力手段として、後述する様に、第1記憶部４２に記憶された減磁パターンの磁力調整目盛を指定し且つ着磁指令を入力する入力手段４５と、第1記憶部４２に記憶された複数の減磁パターンの一つを選択する減磁パターン選択指令を入力する入力手段４６と、消磁指令を入力する入力手段４８が設けられている。

図２に示すブロック図に示す（Ａ）〜（Ｅ）に示す箇所の電流波形を図３に示す。図２のブロック図の整流回路３０では、図３（Ａ）に示す交流電流を全波整流して、平滑化することなく図３（Ｂ）に示す波形の直流電流（以下、単に直流電流と称することがある）を出力する。この整流回路３０は、整流回路駆動回路３４によって駆動される。かかる整流回路駆動回路３４は、周期検出回路３５によって検出されて周期カウント部３８でカウントされた交流電流の周期と同期して、出力同期部４０から発信された、図３（Ｃ）に示すパルス信号を受信したときに、整流回路３０を駆動する。このため、図３（Ｃ）に示す様に、出力同期部４０からパルス信号が整流回路駆動回路３４に向けて発信されないときには、図３（Ｂ）に示す様に、整流回路３０から直流電流は出力されない。
また、出力同期部４０からは、図３（Ｅ）に示す様に、極性切換回路３２に対し、整流回路３０から出力された直流電流のコイル１４への通電方向を切り換える切換信号が、交流電流の周期と同期して発信される。この切換信号が、アルニコ磁石１２の磁力を増磁する方向に直流電流をコイル１４に通電（正通電）する正信号であった場合、極性切換回路３２を経由した直流電流の波形は、図３（Ｄ）に示す様に、整流回路３０から出力された直流電流の波形と同一向きである。他方、出力同期部４０から送信された切換信号が、図３（Ｅ）に示す様に、アルニコ磁石１２の磁力を減磁する方向に直流電流をコイル１４に通電（逆通電）する逆信号であった場合、極性切換回路３２を経由した直流電流の波形は、図３（Ｄ）に示す様に、整流回路３０から出力された直流電流の波形と逆向きとなる。

図１及び図２に示す永電磁チャックでは、コイル１４に整流回路３０から出力された直流電流を正通電して最高吸着力が載置板２０の作業面に付与されるように着磁した後、その磁力を減磁する際に、出力同期部４０から整流回路駆動回路３４に送信されたパルス信号数に対応する直流電流を、極性切換回路３２によって通電方向を切り換えて、コイル１４に逆通電している。
この様に、出力同期部４０からのパルス信号に対応する直流電流をコイル１４に逆通電することによって、載置板２０の作業面での吸着力を容易に調整できる。このことを図４に示す。図４は、コイル１４に整流回路３０から出力された直流電流を正通電して載置板２０の作業面に最高吸着力を付与した後、極性切換回路３２によって通電方向を逆通電に切り換え、載置板２０の作業面での吸着力を調整する際に、出力同期部４０からのパルス信号数と載置板２０の作業面での吸着力との関係を示すグラフである。この際に、直流電流の電圧は一定とした。このパルス信号に対して、整流回路３０から出力される直流電流の波形は、図３に示す様に、１：１で対応している。

一方、載置板２０の作業面での吸着力を調整する際に、コイル１４に逆通電する整流回路３０からの直流電流の電流値（又は電圧値）を変更して調整した場合を、図５（ａ）に示す。図５（ａ）において、コイル１４に逆通電して惹起した起磁力［ＡＴ（アンペア・ターン）］を横軸に示した。また、吸着力が最小値を呈した後、起磁力を更に増加すると、永電磁チャックでは、極性が反転して再着磁されて吸着力が再上昇している。
かかる図５（ａ）から明らかな様に、吸着力調整領域での起磁力と吸着力との関係は直線関係にはなく、起磁力の変化に対する吸着力の変化割合が小さい領域と大きい領域とが併存する。このため、コイル１４に逆通電する直流電流の電流値（又は電圧値）を変更して吸着力を調整することは困難である。
また、タイマーによって、整流回路３０から平滑化することなく出力された直流電流の通電時間を調整して、載置板２０の作業面での吸着力を調整する場合には、図５（ｂ）に示す様に、タイマーがＯＮされた時点及びＵＰされた時点の一方又は両方において、直流電流の一部（直流電流の山の一部）がカットされることがある。この様に、直流電流の山の一部がカットされると、図４に示す様に、パルス数の少ない領域でのパルス１個当たりの吸着力の変化割合（換言すれば、直流電流の１山当たりの変化割合）が大きい領域では、吸着量に対する影響が大きくなる。このため、図５（ｂ）に示す如く、直流電流の波形の一部がカットされるタイマーによってコイル１４への通電量を調整する場合には、調整した吸着力にバラツキが発生し易くなる。
この点、出力同期部４０からのパルス信号に対して、整流回路３０から平滑されることなく出力される直流電流は、図３に示す様に、１：１で対応している。このため、パルス信号数によってコイル１４に逆通電する直流電流量を正確に制御でき、図５（ｂ）に示す如く、直流電流の一部がカットされることを回避して、調整された吸着力のバラツキを可及的に少なくできる。

図１及び図２に示す永電磁チャックでは、第１記憶部４２には、図６に示す様に、複数の減磁パターンが記憶されている。この減磁パターンの各々は、吸着力と等間隔に目盛られた磁力調整目盛との関係を示す減磁パターンであって、磁力調整目盛に対応して、整流回路駆動回路３４に送信されるパルス信号数が定められている。このパルス信号数は、図４に示す吸着力とパルス信号数との関係から定めることができる。
従って、図６に示す複数の減磁パターンから所定のパターンを選択し、磁力調整目盛を指定することによって、載置板２０の作業面での吸着力を決定できる。この磁力調整目盛は、目盛と目盛との中間領域は指定できない。
かかるパターンの選択は図２に示す入力手段４６から行うことができ、磁力調整目盛の指定は入力手段４５から行うことができる。入力手段４５では、着磁指令も制御部３６に向けて発信できる。

入力手段４５から入力された着磁指令を受信した制御部３６では、出力同期部４０から極性切換回路３２に切換信号としての正信号を発信し、整流回路３０に入力される交流電流の周期と同期して、整流回路３０から平滑されることなく出力される直流電流のコイル１４への通電方向を正通電に切り換え、載置板２０の作業面に磁力を導く方向の正磁力をコイル１４に発生するようにする。
更に、制御部３６では、出力同期部４０から、整流回路３０に入力される交流電流の周期と同期して、整流回路駆動回路３４にパルス信号を発信して整流回路３０を駆動し、整流回路３０から平滑化されることなく出力される直流電流を、極性切換回路３２を経由してコイル１４に正通電して、コイル１４に正磁力を発生させる。かかる正磁力によって載置板２０の作業面の吸着力を最高吸着力まで高める。
この様に、載置板２０の作業面の吸着力を最大吸着力とすることによって、載置板２０等に残留磁気が存在していても、得られる最大吸着力は一定しているからである。

次いで、制御部３６では、第１記憶部４２に記憶されている減磁パターンのうちから、入力手段４６から入力されたパターンを選出して、入力手段４５から入力された磁力調整目盛に対応するパルス信号数を特定する。
更に、制御部３６では、出力同期部４０から極性切換回路３２に切換信号としての逆信号を発信し、整流回路３０に入力される交流電流の周期と同期して、整流回路３０から平滑化することなく出力される直流電流の通電方向を逆通電に切り換え、載置板２０の作業面に導かれている磁力を減磁する逆磁力がコイル１４から出力されるようにする。
また、特定されたパルス信号数に対応して、出力同期部４０からは、整流回路３０に向けて、整流回路３０に入力される交流電流の周期と同期して、整流回路３０を駆動するパルス信号を発信し、整流回路３０からは出力同期部４０から発信されたパルス信号に対応する直流電流が出力される。この直流電流は、極性切換回路３２を経由してコイル１４に逆通電され、載置板２０の作業面に導かれている磁力を減磁する逆磁力をコイル１４から発生させる。
かかる出力同期部４０からのパルス信号は、選択された減磁パターンによって特定されたパルス信号数に到達するまで発信される。このパルス信号数は、周期カウント部３８によってカウントされており、所定数のパルス信号数が発信されたとき、周期カウント部３８からの停止信号によって、出力同期部４０からのパルス信号の発信は停止する。
この様にして、載置板２０の作業面の吸着力を、選択した減磁パターンの磁力調整目盛に対応する吸着力とすることができる。

図１及び図２に示す永電磁チャックの第１記憶部４２には、図６に示す様に、三種類の減磁パターンが記憶されている。パターン１は磁力調整目盛と吸着力とが直線的な関係のパターンである。また、パターン２は、吸着力が高い領域では、吸着力と磁力調整目盛とが傾斜の緩い直線的な関係にあり、吸着力が低くなる領域では、吸着力と磁力調整目盛とが急激に変化する曲線状となる関係のパターンである。他方、パターン３は、吸着力が高い領域では、吸着力と磁力調整目盛とが急激に変化する曲線状となる関係にあり、吸着力が低くなる領域では、吸着力と磁力調整目盛とが傾斜の緩い直線的な関係のパターンである。かかるパターンのうち、パターン２は、比較的吸着力の高い領域で使用する場合に適しており、パターン３は、比較的吸着力が低い領域で使用する場合に適している。
尚、図６には、三種類の減磁パターンを示したが、一種類の減磁パターンであっても、三種類以上の多数の減磁パターンであってもよい。

図１及び図２に示す永電磁チャックでは、載置板２０の作業面に載置されている吸着物品を取り出す際等には、載置板２０の作業面に導かれている磁力を吸着物品の残留磁気と共に消磁する。
かかる消磁は、入力手段４８から消磁開始の指令が入力された制御部３６では、載置板２０の作業面に導かれている磁力を、コイル１４に減衰交番磁界を発生して消磁するように、極性切換回路３２と整流回路駆動回路３４とを制御する。この制御は、第２記憶部４４に記憶されている消磁パターンに従って行われる。
この消磁パターンによる消磁の際に、図２に示すブロック図の（Ｂ）〜（Ｅ）の箇所での電流波形を図７に示す。図７においては、整流回路３０に入力される交流電流の波形は、図３に示されており省略した。
消磁の際に、出力同期部４０からは、整流回路駆動回路３４に対しては、図７（Ｃ）に示す様に、交流電流の周期と同期してパルス信号が連続して発信され、整流回路３０からは、図７（Ｂ）に示す様に、平滑化することなく直流電流が連続して出力される。
一方、極性切換回路３２には、図７（Ｅ）に示す様に、アルニコ磁石１２の磁力を増磁する方向に直流電流をコイル１４に正通電する切換信号としての正信号と、アルニコ磁石１２の磁力を減磁する方向に直流電流をコイル１４に逆通電する切換信号としての逆信号とが、出力同期部４０から交流電流の周期と同期して交互に発信される。この正信号と逆信号との発信時間は徐々に短くなる。
このため、コイル１４に通電される直流電流は、図７（Ｄ）に示す様に、アルニコ磁石１２の磁力を減磁する方向とアルニコ磁石１２の磁力を増磁する方向とに、交互に切り換えられて、コイル１４に減衰交番磁界が発生する。
その結果、載置板２０の作業面の磁力を、図８に示す様に、（１）→（２）→（３）→（４）→（５）→（６）→（７）→（８）→（９）の順序で徐々に減少させて消磁できる。

以上、説明してきた、図１及び図２に示す永電磁チャックでは、第１記憶部４２に複数種の減磁パターンを記憶しているが、一種の減磁パターンを記憶しているものであってもよい。或いは、第１記憶部４２に、図４に示す載置板２０の作業面での吸着力と出力同期部４０から整流回路駆動回路３４へのパルス信号数との関係を示すものであってもよい。
また、図１及び図２に示す永電磁チャックでは、永久磁石として、アルニコ磁石１２を採用しているが、フェライト系磁石であってもよい。
尚、永電磁チャックの形状も、図９に示す様に、長方形状であってもよいことは勿論のことである。

本発明に係る永電磁チャックの部分断面正面図及び部分断面図である。 図１に示す永電磁チャックの電気回路を説明するブロック図である。 図２に示すブロック図での電流波形を示す波形図である。 作業面での吸着力と出力同期部４０から整流回路駆動回路３４に発信されるパルス信号との関係を示すグラフである。 作業面での吸着力と起磁力との関係を示すグラフである。 図１に示す第１記憶部４２に記憶されている減磁パターンを示す。 図１に示す永電磁チャックの作業面の磁力を消磁する際に、図２に示すブロック図での電流波形を示す波形図である。 図１に示す永電磁チャックの作業面の磁力の消磁を説明する説明図である。 従来の永電磁チャックを説明する部分断面平面図及び縦断面図である。 従来の永電磁チャックの磁化曲線を示す。

符号の説明

１０ 磁石部
１２ アルニコ磁石
１４ コイル
１６ 本体部
１８ スペーサ
２０ 載置板
２２ セパレータ
２４ 仕切部
３０ 整流回路
３２ 極性切換回路
３４ 整流回路駆動回路
３５ 周期検出回路
３６ 制御部
３８ 周期カウント部
４０ 出力同期部
４２ 第１記憶部
４４ 第２記憶部
４５，４６，４８ 入力手段

Claims (4)

1. コイルと永久磁石とを具備し、吸着物品が載置される作業面に前記永久磁石の磁力を導いて吸着力が発生するように、前記コイルに直流電流を通電する着磁手段と、前記作業面に導かれている磁力を消磁するように、前記コイルに減衰交番磁界を発生する消磁手段とが設けられている永電磁チャックであって、
   交流電流を全波整流した直流電流を平滑化することなく出力する整流回路と、前記交流電流の周期と同期して、前記整流回路から出力された直流電流のコイルへの通電方向を切り換える極性切換回路と、前記交流電流の周期と同期したパルス信号を受信して、前記整流回路を駆動する整流回路駆動回路と、前記極性切換回路と整流回路駆動回路とを制御する制御部とが設けられ、
   前記制御部では、前記コイルに整流回路から直流電流を通電して、最大吸着力が発生した前記作業面の磁力に対し、その磁力を減じる方向の逆磁力が前記コイルに発生するように、前記整流回路からの直流電流のコイルへの通電方向を、前記極性切換回路によって交流電流の周期に同期して切り換え、
   且つ前記整流回路駆動回路に向けて交流電流の周期に同期した所定数のパルス信号を発信し、前記パルス信号に対応する直流電流を前記整流回路から極性切換回路を経由してコイルに通電して、前記作業面の磁力を減磁して所望の吸着力に調整するように、前記極性切換回路と整流回路駆動回路とを制御することを特徴とする永電磁チャック。
2. 制御部には、交流電流の周期と同期して極性切換回路と整流回路駆動回路との各々に所定の信号を発信する出力同期部が設けられ、
   前記出力同期部からは、前記極性切換回路に対して、整流回路から出力した直流電流のコイルへの通電方向を切り換える切換信号を発信し、前記整流回路駆動回路に対して、前記整流回路を駆動する所定数のパルス信号を発信する請求項１記載の永電磁チャック。
3. 制御部には、吸着力と等間隔に目盛られた磁力調整目盛との関係を示す減磁パターンであって、前記磁力調整目盛に対応して、整流回路駆動回路に送信されるパルス信号数が定められた減磁パターンが記憶された記憶部と、前記磁力調整目盛の目盛を制御部に入力する入力手段とが設けられ、
   最大吸着力から前記入力手段より入力された磁力調整目盛の目盛に対応する吸着力に調整されるように、前記減磁パターンに従って、前記制御部から整流回路駆動回路に交流電流の周期に同期して所定数のパルス信号が送信される請求項１又は請求項２記載の永電磁チャック。
4. 記憶部には、複数の減磁パターンが記憶され、前記減磁パターンの一つを選択して制御部に入力する減磁パターンの選択手段が設けられている請求項３記載の永電磁チャック。

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