JP5061324B2 - ウエハの保護テープの剥離方法及び装置 - Google Patents

Description

この発明は、半導体ウエハに貼り付けられた保護テープの剥離方法及び装置に関するもので、更に詳しくは、ダイシングフレームにダイシングテープを介してマウントされた半導体ウエハ表面の保護テープに剥離テープを熱圧着し、前記保護テープを剥離テープと一体に巻き取って剥離する保護テープの剥離方法と装置に関する。

従来より、半導体機器の小型化の要請から、半導体チップの製造工程において、表面に回路パターンを形成した半導体ウエハ（以下、単にウエハという）の回路パターン形成面上に保護テープを貼り付けた状態でウエハの裏面を研削して薄厚化することが行われている。この薄厚化したウエハの回路パターン形成面を上にしてダイシングフレームにダイシングテープを介してマウントした後、表面の保護テープを剥離し、ダイシング工程を行ってチップ化されている。

上記の保護テープの剥離は、ウエハ表面の保護テープ上に剥離テープを貼り付け、保護テープと剥離テープとを一体に巻き取って行なったり、短冊状の剥離テープを半導体ウエハ表面の保護テープ上に熱圧着し、短冊状の剥離テープを引っ張りながら保護テープを剥離することが行われている。

この保護テープへの剥離テープの貼り付けは、ダイシングフレームとウエハ外周との間に露出するダイシングテープの粘着面と剥離テープの粘着面が接触して接着する可能性があるため、ダイシングテープの粘着面を非粘着性の板バネで覆い、ダイシングテープの粘着面と剥離テープが接触しないようにすることが行われている（例えば、特許文献１中図１乃至図８参照）。

また、ウエハ表面の保護テープ上に剥離テープを貼り付ける際に、ダイシングフレームをウエハに対して位置を押し下げることで剥離テープとダイシングテープの接着を回避する方法もある（例えば、特許文献１中図９乃至図１１参照）。

また、剥離テープの一端をテープチャックで保持しておき、剥離テープを保護テープにヒータで熱圧着した後、剥離テープの後端を切断し、剥離テープの一端をテープチャックで引っ張って保護テープを剥離することが行われている（例えば特許文献２参照）。
特許第３７３７１１８号公報 特開２０００−６８２９３号公報

ところで、剥離テープを保護テープの一部に接着して巻き取ったり、短冊状の剥離テープを保護テープに熱圧着して引っ張ったりする場合、剥離された保護テープの剥離後端部分がダイシングテープの粘着面に垂れて接着し、ウエハが持ち上がって破損する場合がある。

また、保護テープが剥離される際、剥離テープの幅が保護テープよりも細いため、剥離テープに引っ張られることで保護テープに絞り込みの力が掛かり易く、その結果、剥離テープからはみ出した保護テープが波打ったりカールしたりしてダイシングテープの粘着面に接し、ウエハが持ち上がって破損する場合がある。

また、特許文献１の保護テープの剥離方法では、ダイシングテープの粘着面まで非粘着性の板バネを駆動する機構が必要であり、装置のコストがかかるという問題がある。

また、貼付ローラで剥離テープをウエハ上の保護テープに押圧して貼り付けながら剥離させてゆくために、貼付ローラでの押圧による負荷がかかり、最近の１００μｍ以下に薄厚化されたウエハではこのような負荷で破損する場合がある。

また、ウエハの位置決め精度が悪いと板バネの貼り付け又は回動時に板バネがウエハと接触してウエハを破損する場合もある。

また、板バネを利用しており、貼付ローラで板バネを押圧した際に弾性力で復帰するようにはなっているが、使用頻度が増えると貼付ローラでの押圧による変形が起こり、板バネを交換しなければならないという問題もある。

また、ウエハよりも板バネが厚い場合、剥離ローラが板バネの段差に乗り上げて剥離テープを剥離始端部一杯に貼り付けることができず、剥離の際、ウエハ先端が持ち上がって破損する場合がある。特に最近の１００μｍ以下のウエハでは板バネの弾性力維持と厚みのバランスを取ることが困難になってきている。

また、特許文献１中ダイシングフレームを押し下げてウエハ部分を突出するようにする構成は、ダイシングフレームを押し下げる機構が必要となり装置が複雑化すると共にコストがかかる問題がある。さらに、ダイシングフレーム押し下げ時にダイシングテープに負荷がかかりダイシングテープの破れが発生する場合がある。

特許文献２では、熱圧着ヒータが直線状であり、ウエハ外周端を熱圧着した際にウエハからはみ出した部分をダイシングテープの粘着面に圧着してしまい、保護テープの剥離時にダイシングテープと共にウエハが持ち上がってウエハを破損するという問題がある。

また、上記破損を防止するためウエハからはみ出さない外周端よりも内側部分を圧着するようにすると、ウエハの回路形成面に接触したり、ウエハ外周端に剥離テープが接着されていないため、剥離時にウエハ先端に負荷がかかってウエハを破損する問題がある。

また、ヒータ前方部のテープ押さえにより、ダイシングテープの粘着面近辺に剥離テープを押し下げることと、チャックで剥離テープ片を把持する際にテープの弛みを防止する機構がないため、ダイシングテープの粘着面と剥離テープが接触して接着し、剥離時にウエハを破損する問題がある。

また、剥離テープの巻き取りではなく、短冊状の剥離テープを圧着して剥離テープの後端部を切断し、短冊状に接着した剥離テープの一端を引っ張って剥離するため、剥離テープの切断機構や剥離した保護テープを廃棄するスペースが必要となり、装置の複雑化と装置面積が大きくなる問題がある。

また、従来の剥離テーブルは、ダイシングテープを介してウエハを吸着保持する際に、テーブル全面を吸着する場合は、ダイシングフレームの下面にて、ダイシングテープ最外周部とダイシングフレームの段差部分にて、吸着部とダイシングフレームとの隙間が発生し、この隙間にて吸着のための吸気リークが発生し、吸着力が弱まり、ダイシングテープが浮き上がり易くなる。

一方、ウエハとほぼ同径の部分を吸着するものは、ウエハより外側部分でのダイシングテープの保持が不十分となり、ダイシングテープが波打ってしまうことがあった。

更に、吸着部分を、ウエハ外形よりも大きく、ダイシングフレーム内径よりも小さく吸着した場合、ウエハよりはみ出した部分の吸着は、柔軟なダイシングテープを吸着するため、真空度が高まり難く、全体の吸着力が弱まるという問題がある。

上記のような剥離テーブルでの吸着時の現象により吸着力が弱まり、ダイシングテープの浮き上がりや波打ちが発生していると、剥離テープや剥がされた保護テープとダイシングテープの粘着面が接し易くなり、ウエハの持ち上がりによる破損に繋がることになる。また、吸着力の低下によりウエハが容易に持ち上がり易くなる。

そこで、本発明の課題は、裏面側をダイシングテープを介してダイシングフレームにマウントされたウエハの表面側に貼り付けられた保護テープに剥離テープを貼り付けてから保護テープを剥離テープと一体に取り去るウエハの保護テープの剥離方法及び装置において、保護テープに剥離テープを圧着する際に剥離テープがダイシングテープに接着することや、剥離済みの保護テープがダイシングテープに接着することがなく、剥離テープの巻き取りに伴ってダイシングテープと共にウエハが跳ね上がることを防止し、１００μｍ以下に薄厚化されたウエハであってもウエハを破損せずに保護テープを剥離できる剥離方法と装置を提供することにある。

上記のような課題を解決するため、請求項１の発明は、裏面側をダイシングテープを介してダイシングフレームにマウントされたウエハの表面側に貼り付けられた保護テープに剥離テープを貼り付けてから前記保護テープを剥離テープと一体に取り去るウエハの保護テープの剥離方法において、
長尺状で前記ウエハよりも細幅の剥離テープをウエハ表面の外周縁部に接近させ、
前記ウエハの外側に位置する剥離テープをダイシングテープより離反するよう傾斜した状態で保持しながら、前記保護テープの剥離始端部の外周縁部に沿って剥離テープをそのほぼ全幅にわたって熱圧着し、
熱圧着ヒータの圧着後、ウエハの外側に位置する剥離テープを下から支えつつその張力を緩和させた状態で熱圧着ヒータの圧着を解き、
前記剥離テープとウエハの少なくとも一方を剥離テープの長さ方向に沿って水平動させて、前記剥離テープの熱圧着部付近を略１８０°に折り返し、
続いて前記剥離テープの供給側と回収側部分を固定した後、
前記剥離ユニットとウエハを剥離テープの長さ方向に沿って相対的に移動させて、ウエハ上から保護テープを剥離し、
前記保護テープの剥離途中で前記剥離テープの固定状態を解除した後、前記剥離テープと保護テープとを巻き取って回収し、
前記保護テープの剥離終端部付近で前記保護テープをウエハに対して離反させる構成を採用したものである。

請求項２の発明は、裏面側をダイシングテープを介してダイシングフレームにマウントされたウエハを吸着保持する剥離テーブルと、前記剥離テーブル上のウエハの表面側に貼り付けられた保護テープに剥離テープを貼り付けてから前記保護テープを剥離テープと一体に取り去る剥離ユニットとからなるウエハの保護テープの剥離装置において、
前記剥離テーブルと剥離ユニットとは、前記ウエハ表面に対しての相対的な接近離反動と、前記剥離テープの長さ方向に沿った相対的な水平動が自在に設けられ、
前記剥離ユニットは、長尺状で前記ウエハよりも細幅の剥離テープを供給及び回収する剥離テープ走行機構と、
前記剥離テープをウエハ表面の外周縁部に接近させた際、剥離テープをウエハより外側の位置でダイシングテープより離反するよう傾斜させた状態で保持すると共に、前記保護テープの剥離を開始する際に、前記剥離テープの供給側と回収側を固定する剥離テープ保持機構と、
前記保護テープの剥離始端部の外周縁部に沿って前記剥離テープのほぼ全幅にわたって熱圧着する熱圧着ヒータと、
前記剥離テープに対して進退動可能に構成され、進出位置では、前記ウエハの外側に位置する剥離テープの下側に位置して剥離テープを下方から支持すると共に、前記剥離ユニットと剥離テーブルを剥離テープの長さ方向に沿って相対的に水平動させる際に、前記ウエハ外側に位置する剥離テープをウエハ上面側に押し戻して、剥離テープに略１８０°の折り返しを形成し、退去位置では、前記剥離テープの幅方向外側に向けて退去するガイドピンとを有する構成を採用したものである。

請求項３の発明は、上記請求項２に記載の発明において、ウエハの剥離後端側から剥離工程中の保護テープに向けてエアブローを行い、保護テープを浮かせてダイシングテープに接しないようにしたエアブロー装置を有する構成を採用したものである。

請求項４の発明は、上記請求項２又は３に記載の発明において、剥離テーブルは、ウエハ載置部分が傾斜面を有して周囲より盛り上がっている構成を採用したものである。

請求項５の発明は、上記請求項２乃至４のいずれか１項に記載の発明において、剥離テーブルの吸着部分は、ダイシングテープの外径よりも小さく、且つ、ダイシングフレームのダイシングテープ貼付下面の一部に跨るように形成されている構成を採用したものである。

以上説明したこの発明は、保護テープ剥離のきっかけを熱圧着ヒータによる保護テープと剥離テープとの熱圧着部の形成のみで行い、その後の剥離は剥離テーブルと剥離ユニットの相対移動と剥離テープの巻き取り力で行うものである。

この発明における剥離テープとしては、粘着性、非粘着性のどちらでも使用可能であり、熱圧着により保護テープと接着するものであれば良い。

熱圧着により形成される熱圧着部は熱圧着ヒータの圧着部形状により決定され、ウエハ外周縁部に合わせたＲを有する形状で剥離テープ幅のほぼ全幅にわたって形成される。その際、全体を１つの熱圧着部としたり、剥離テープ両端と中央の少なくとも３点に熱圧着部を形成するようにしても良い。

なお、熱圧着部は剥離テープのほぼ全幅にわたって形成するとしたが、熱圧着ヒータが剥離テープよりはみ出すと保護テープ部分も加熱してしまい、保護テープが耐熱性を有しない場合は溶けてしまってウエハにダメージを与えるため、熱圧着ヒータの形状は剥離テープ幅より少し狭い範囲で圧着するものが好ましい。

熱圧着時には、剥離テープとウエハ外周側に露出したダイシングテープの粘着面とが接触しないように、剥離テープをウエハより外側では、ダイシングテープより離反するよう傾斜させている。

剥離時の剥離テープを引っ張る際には、熱圧着部が剥離テープ幅のほぼ全体を使っており、ウエハ表面と平行方向に剥離することで剥離テープの１点に引っ張り力を集中させずに剥離できるので薄厚ウエハに無理な力がかからない。また、保護テープの剥離開始がウエハ外周縁部から順に剥離させることでスムーズな剥離を得られる。

剥離テーブルと剥離ユニットの相対的移動により、ガイドピンで剥離テープをウエハ側に食い込ませて剥離テープ先端を略１８０°方向に折り返す。略１８０°方向に剥離テープを折り返した状態で更に剥離テーブルと剥離ユニットの相対的移動により、保護テープの剥離を開始し、剥離始端部を越えた後、チャックを解放して保護テープを剥離テープの巻き取りにより剥離テープと保護テープとを一体に剥離してゆく。

保護テープの剥離終端部付近では、回収側の剥離テープを更にウエハに対して離反させることにより、保護テープの剥離テープよりはみ出した部分が、剥離終端部付近のダイシングテープの粘着面に接触してしまうことを防ぐ。

また、熱圧着後にウエハより外側にある剥離テープに張力が残存していると、熱圧着ヒータの離反に伴い熱圧着部に上方向の力が働くので、剥離テープが外れたり、ウエハの跳ね上がりによる破損が生じるため、剥離テープのテンションを緩和させた状態で熱圧着ヒータの圧着を解くようにするのが好ましい。

また、保護テープが剥離される際、剥離テープの幅が保護テープよりも細いため、剥離テープに引っ張られることで保護テープに絞り込みの力が掛かり易く、剥離後の保護テープのうち剥離テープからはみ出した部分が波打ったりカールしたりして重力でダイシングテープの粘着面に接して接着する事故が生じるのを防ぐために、ウエハの剥離後端側から保護テープに向けて、エアブローを行い、保護テープを浮かせてダイシングテープに接しないようにするのが好ましい。

なお、エアブローは、熱圧着の際にするとヒータの熱を下げてしまい、また、剥離当初の剥離テープの１８０°折り返し作業の邪魔になるので、保護テープの剥離工程が開始してから行うのが良く、特に、剥離後の保護テープの剥離テープからはみ出た部分が垂れ下がる剥離工程の中盤から終盤にかけて行うのが好ましい。

また、エアブローは保護テープを浮かせるためのものであるが、必ずしも保護テープの全幅に亘って当てる必要はなく、エアブローの送風の角度や強さと共に適宜決定すれば良く、要するに、保護テープの剥離工程の際に、保護テープをダイシングテープに接しないように十分に浮かせることができるようなエアブローであれば良い。

また、剥離テーブルのウエハ載置部分が周囲より盛り上がる構成を採用し、ウエハをダイシングテープ面より突出させれば、剥離テープとダイシングテープの粘着面との距離をかせぐことができる。なお、ダイシングテープの破れ防止の面からウエハ載置部分を砲台状テーブルとしウエハ外周部分の段差部分はテーパー形状に下方に傾斜させることが好ましい。

また、剥離テーブルの吸着部分は、ダイシングテープの外径よりも小さく、且つ、ダイシングフレームのダイシングテープ貼付下面の一部に跨るように形成するのが、吸着のエア漏れが生じにくくなり、ダイシングテープやウエハをしっかり保持でき、ダイシングテープの浮き上がりや波打ちを防止し、ウエハの持ち上がりにより破損事故を生じないので好ましい。

以上のように、この発明によると、ウエハ表面上に貼り付けられた保護テープの剥離始端部に外周縁部に沿った形状の熱圧着部を形成し、熱圧着部よりウエハの外側の剥離テープをテープ保持手段で傾斜させてウエハ外周側に露出したダイシングテープの粘着面から離れるようにして保持するようにしたので、熱圧着時に剥離テープがダイシングテープの粘着面と接着することがない。

剥離テープと保護テープの接着を熱圧着のみで行い、従来技術のような板バネや貼付ローラを使用せずに行うので、ウエハに貼付ローラ等での押圧による負担を掛けずに剥離でき、薄厚化されたウエハであってもウエハを破損することがないと共に、ウエハ先端一杯の保護テープ上にまで剥離テープを圧着でき、剥離の際にウエハ先端の接着不足によるウエハの持ち上がりが起こらずウエハを破損することがない。

剥離テープに長尺状の連続したテープを用い、剥離した保護テープを巻き取るので剥離テープを短冊状にする切断機構や保護テープの廃棄部を設ける必要がなく、装置を簡素化及び小型化できる。

熱圧着による熱圧着部の幅を広くし、剥離テープ幅のほぼ全体を熱圧着するようにしたので、安定した圧着ができ剥離ミスが起こらない。また、剥離テープ幅のほぼ全体で剥離力を受け止めるので、剥離力が１点に集中せず、平行に剥離ができ、ウエハ上への保護テープの粘着剤残りもなくなる。

剥離テープの保護テープへの熱圧着後にガイドピンで略１８０°方向に剥離きっかけを与えるようにしたので、ウエハ表面に対して垂直方向へ働く力を防止でき、特に薄厚ウエハ（１００μｍ以下）から保護テープを剥離する場合にウエハを破損しない。

なお、この発明は、ウエハの裏面にダイボンドテープが貼り付けられている場合や、ダイシングテープ上にダイボンドテープが形成されている場合でも同様に適用でき、剥離テープとダイボンドテープが接着してしまうのを防ぐことができる。

また、熱圧着ヒータの圧着後、ウエハより外側の剥離テープの張力を緩和させた状態で熱圧着ヒータの圧着を解くものは、熱圧着ヒータの離反に伴い、熱圧着部に剥離テープの張力が加わることが無く、剥離テープが外れたり、ウエハの跳ね上がりによる破損が生じたりしない。

また、ウエハからの剥離テープに接着した保護テープの剥離工程にて、ウエハの剥離後端側から保護テープに向けてエアブローを行い、保護テープを浮かせてダイシングテープに接しないようにしたものは、剥離後の保護テープのうち剥離テープからはみ出した部分が波打ったりカールしたりして重力でダイシングテープの粘着面に接してしまうのを、このエアブローにより保護テープを吹き上げて、ダイシングテープの粘着面と接触することを無くし、接着に伴うウエハの破損が生じることがなくなる。

また、剥離テーブルの形状を予めウエハ載置部分が周囲より盛り上がった形状としたものについては、剥離テープとダイシングテープの粘着面に隙間が保たれ両者が接する事故がより少なくなると共に、ダイシングフレームの押し下げ機構等が必要なく、装置の簡素化とコストダウンが図れ、ダイシングテープに必要以上の引っ張り力が働かずダイシングテープが破れることがない。

また、吸着部をダイシングテープの外径より小さく、且つダイシングフレームのダイシングテープ貼り付け下面の一部に跨るようにしたものについては、ダイシングテープの外周部分で生じる段差部分に吸着部が無く、この部分での吸気リークが発生しない。

また、吸着部の最外周は硬度のあるダイシングフレームを吸着していることにより吸着部のシール性が高まり、吸着力の強いダイシングフレームとウエハの吸着部に挟まれたその間のダイシングテープが波打つことがなく、ダイシングテープと剥離テープや保護テープが接着することがないと共に、ウエハ及びダイシングテープの保持力が高まるので、ウエハの持ち上がりが発生せず、ウエハを破損することがない。

以下、この発明の実施の形態を図１乃至図２１に基づいて説明する。

図１乃至図３は、この発明を適用したダイシングフレーム１にダイシングテープ２を介して貼り付けられたウエハ３の回路パターン４を有する上面に貼り付けられた保護テープ５をウエハ３から剥離する剥離装置の一実施形態を示すものであり、この装置を第１の実施形態として説明する。

機台６上の前方には、前工程にて保護テープ５が貼付されたウエハ３がダイシングテープ２を介してダイシングフレーム１にマウントされた状態（以下、マウントウエハ７という）で収納されている保護テープ剥離前マウントウエハ収納部８と、保護テープ剥離済マウントウエハ収納部９が設けられ、その間には吸着ハンド１０を有する搬送ロボット１１が設けられている。

アライメント部１２は、吸着テーブル１３とアライメントセンサ１４からなり、特にその構造を詳細に図示していないが、吸着テーブル１３は上面にマウントウエハ７を吸着して上下動と回転が自在となり、アライメントセンサ１４は、吸着テーブル１３と共に回転するマウントウエハ７におけるウエハ３のノッチやオリフラを検知することでウエハ３の正確な位置決めを行う。

この際、ダイシングフレーム１に対してウエハ３が正確にマウントされていれば、ダイシングフレーム１のフレーム切欠部４８を利用して位置決めを行ってもよいが、ウエハ３に対して正確な位置決めを行う方が好ましい。

機台６上の後方には水平かつ平行な２本のレール１５、１５が設けられ、それぞれのレール１５に摺動自在に嵌合された一対のスライダ１６上には剥離テーブル１７が固定されており、この剥離テーブル１７は図示しない適宜な駆動手段にてレール１５に沿った左右方向への移動が自在となっている。

該剥離テーブル１７上面は、多数の吸引孔からなる吸着部１８が設けられており、この吸着部１８上にはマウントウエハ７のウエハ３が適宜手段にて位置決めを行った後に載置され、吸着部１８の吸引孔からの吸引作用によりウエハ３をダイシングテープ２の側から吸着・固定するようになっている。

なお、ダイシングテープ２はダイシングフレーム１の外周一杯まで貼り付けられておらず、ダイシングフレーム１の途中の部分でテープ厚み分の段差が生じているので、この部分にまで吸着部１８があると段差部分で吸着漏れが生じるため、ウエハ３部分のみを吸着するようにしている。

機台６の後端部には機枠１９が立設され、この機枠１９には図示しないが例えば垂直方向に延びるレールとそれに昇降動自在に嵌合されたスライダ等の昇降手段が設けられ、この昇降手段により昇降動自在となった支持枠２０が設けられており、機枠１９に設けられた昇降シリンダ２１のシリンダ軸は支持枠２０に接続されており、支持枠２０全体は昇降シリンダ２１の作用により、図２中矢印に示すように機枠１９に対する昇降動が自在となっている。

前記機枠１９には、剥離テープ２２の供給と回収を行う剥離テープ供給リール２３、保護テープ巻き込み防止ガイドロール２４、及び剥離テープ回収リール２５とが設けられている。

剥離テープ供給リール２３は回動自在でその外周部に剥離テープ２２を巻回しており、回転することで剥離テープ２２を供給してゆき、この剥離テープ供給リール２３に対してシリンダ２６の作用により進退動自在となるテープ固定チャック２７が設けられている。このテープ固定チャック２７は、進行により剥離テープ供給リール２３に巻回された剥離テープ２２上から押圧してその回動を停止させて剥離テープ２２の供給を停止させ、後退により剥離テープ２２を供給可能とすることができるようになっている。なお、テープ供給方式やテープ固定チャックはこれらの構成に限定されることなく適宜機構を用いることができる。

前記支持枠２０には、剥離テーブル１７上に臨む剥離ユニット２８が設けられている。剥離ユニット２８の構成部材としては、剥離テープ２２の走行順に、テンションローラ２９、ガイドローラ３０群、熱圧着ヒータ３１、ガイドピン３２、ガイドローラ３３、ガイドローラ３４、テープチャック３５、ガイドローラ３６群が配置される。

また、ガイドローラ３６群より回収側に支持枠２０に設けられた反射板３７に反射する光によって保護テープの有無を検出する保護テープ後端検知センサ３８が、支持枠２０又は機枠１９のいずれかに設けられている。

前記テンションローラ２９は、支持枠２０に取り付けられたシリンダ３９の作用軸先端に取り付けられて剥離テープ２２に接触しており、シリンダ３９の伸縮作用を制御することにより、剥離テープ２２の張力を調整するようになっている。なお、このテンションローラ２９に代えて、ダンサローラ等を用いて剥離テープ２２の張力を調整するようにしてもよい。

前記熱圧着ヒータ３１は、支持枠２０の正面側に垂直方向に延設されたガイド４０に昇降動自在に嵌合されたレール４１と一体に設けられており、支持枠２０に本体側をレール４１に作用軸側を接続したシリンダ４２の作用により支持枠２０に対して昇降動自在となっており、下降状態では剥離テープ２２をウエハ３上の保護テープ５に接触させ、この状態でヒータ線４３で電気を通じて加熱することで保護テープ５に対する剥離テープ２２の加熱圧着を行なうようになっている。

前記ガイドピン３２は、図３に示すように剥離テープ２２を挟んで両側に設けられている支持枠２０から剥離テープ２２側に進退動自在となった一対の支持枠４４のそれぞれに回動自在に設けられている。前記ガイドピン３２は、支持枠４４がピストン４５の作用により進行した時に剥離テープ２２の両側部を下から保持するようになっており、ピストン４５の収縮によりガイドピン３２は剥離テープ２２と干渉しない図示二点鎖線の位置まで後退するようになっている。なお、ガイドピン３２は、剥離テープ２２が粘着性のものである時は、離型処理等を施しておけばよい。

前記テープチャック３５は、剥離テープ２２の保持機構であり、剥離テープ２２を両側から挟むことで保持するよう２つの部材からなり、一方が凹部を有しガイドローラ３３と３６の間で走行する剥離テープ２２に沿って固定され、もう片方が前記凹部に合致する凸部を有し支持枠２０に固定されたシリンダ４６の作用軸に取り付けられて、シリンダ４６の伸縮作用により一方に対して進退動するようになっている。

剥離テープ供給リール２３から供給される剥離テープ２２の走行機構としては、テンションローラ２９、ガイドローラ３０群、ガイドローラ３３、ガイドローラ３６、保護テープ巻き込み防止ガイドローラ２４に順次巻回され、剥離テープ回収リール２５を図示しない巻取モータ等の適宜駆動手段にて回転させて回収してゆくことで剥離テープ２２の供給側から回収側への走行を行うが、必要に応じて剥離テープ供給リール２３を図示しないモータ等の適宜手段により回転させたり、剥離テープ２２を挟んで回転するピンチローラのような図示しない適宜駆動手段を用いて行う。

なお、ウエハ３から剥離され剥離テープ２２と共に巻き取られていく剥離済みとなった保護テープ５は、剥離テープ２２の両側部からはみ出た部分が反ってカールしているので、一対の保護テープ巻き込み防止ガイドローラ２４に隙間を取っておくことで、ここを通過する保護テープ５の曲がった両側部を広げ、他の部分に巻き込んだりしないようにしてある。

図４は、本発明の第１の実施形態の熱圧着ヒータを示すもので、剥離テーブル１７上に、載置されたウエハ３の回路パターン４を有する表面に対して、剥離テープ２２が臨み、熱圧着ヒータ３１により熱圧着部４７が形成される。

この場合の熱圧着部４７は、ウエハ３の保護テープ５の剥離始端部に外周端部の円形状に沿って形成されており、また、剥離テープ２２の幅より若干狭い範囲で形成されている。なお、図中４８はダイシングフレームの位置決め用の切り欠き部である。

図５は、本発明の第２の実施形態の熱圧着ヒータを示すもので、この場合の熱圧着部４７は、剥離テープ２２の両端部と中央の３点で形成されている。

図４や図５で示す熱圧着部４７を形成すれば、剥離の際の力が剥離テープ２２のほぼ全幅にわたってかかり、ウエハ３に無理な力がかからず剥離が行えると共に、熱圧着部４７がウエハの外周縁部に沿って形成されているので、ウエハ３の端部から保護テープ５を剥離することができ、スムーズな剥離を行うことができる。

図６は、本発明の第３の実施形態の熱圧着ヒータを示すもので、この場合の熱圧着部４７は第１の実施形態と同じ形状であるが、剥離テープ２２には粘着性のものを用い、熱圧着部４７の両側部付近のウエハ内側でスポンジ等の押さえ部材で軽く押圧して接着した剥離テープ後端押さえ部４９を形成した。

剥離テープ後端押さえ部４９の形成により、剥離テープ２２の引き剥がし時に力が加わって圧着部４７の外れやすい両端部を補強することができ、圧着部４７の圧着の外れによる剥離ミスを極力無くすことができる。

また、剥離テープ２２が粘着性を有するため、スポンジ等の部材で軽く押圧するだけで剥離テープ後端押さえ部４９を形成することができ、ウエハ３に無理な負担がかからない。

次に、ウエハ３表面の保護テープ５の剥離方法を、第１の実施形態を例にして図７乃至図１１の（ａ）〜（ｉ）に示す動作図を中心にして説明する。

まず、アライメント部１２にて位置決めされたマウントウエハ７を、搬送ロボット１１の吸着ハンド１０で吸着して剥離テーブル１７上に移し替えた後、昇降シリンダ２１の延伸作用により、支持枠２０が二点鎖線で示す位置から実線で示す下降位置まで下降する（図７（ａ）参照）。

この時、剥離テープ２２のウエハ３より外側は、傾斜して保持されているので、ダイシングテープ２の粘着面に垂れ下がって接着してしまうことがない。

次に、シリンダ４２の延伸作用により熱圧着ヒータ３１が下降動し、ウエハ３上面における剥離テープ２２の回収側端部付近上の保護テープ５に接触し、この状態で加熱圧着を行う（図７（ｂ）参照）。

次に、剥離テープ巻き取りリール２５を巻き戻し側に回転させると、剥離テープ２２は熱圧着ヒータ３１により圧着された部分との間で弛みを生じさせる。この時、剥離テープ２２が弛んでも、剥離テープ２２の下面はガイドピン３２により保持されているので、剥離テープ２２はガイドピン３２とガイドローラ３４との間で垂れ下がった状態となり、直下にあるダイシングテープ２に接触して接着しまうことはない。なお、理解が容易なように図面は誇張して示している（図８（ｃ）参照）。

次に、シリンダ４６を延伸させて緩んで垂れ下がった状態の剥離テープ２２をテープチャック３５がチャックして保持し、剥離テープ２２の弛み状態を保持した後、熱圧着ヒータ３１をシリンダ４２の伸縮作用により引き上げる（図８（ｄ）参照）。

この剥離テープ２２の弛み状態を予め形成しておくのは、剥離テープ２２に張力が残存していると、熱圧着後に熱圧着ヒータ３１を上昇させる際に、剥離テープ２２が張力で跳ねて上昇してしまい、これに釣られてウエハ３に跳ね上がり力が加わり破損するおそれがあるからである。

剥離テーブル１７を剥離テープ回収側（右側）に移動させ、支持枠２０と一体となった剥離ユニット２８はこの剥離テーブル１７に対して相対的にテープ供給側（左側）に移動することなる。すると、ウエハ３のテープ回収側端部で剥離テープ２２がウエハ３の保護テープ５の剥離始端部に熱圧着により接着されているので、熱圧着部がガイドピン３２下側のウエハ３との隙間に引き込まれ、更にガイドローラ３４に挟まれてウエハ３端部にて略１８０°の角度で折り返された状態を形成する（図９（ｅ）参照）。

その後、ガイドピン３２を退去させ、昇降シリンダ２１の伸縮作用によって支持枠２０と共に剥離ユニット２８を若干上昇させ、シリンダ２６の延伸作用によりテープ固定チャック２７を剥離テープ供給リール２３の外側の剥離テープ２２に圧接させて剥離テープ２２の供給を停止する（図９（ｆ）参照）。

ここで剥離ユニット２８を若干上昇させて剥離テープ２２を保持固定するのは、剥離テープ２２に発生させていた弛みを取り除くためと、剥離テープ２２に熱圧着以外でも接着する粘着テープを利用した場合剥離テープ２２がウエハ３上の保護テープ５に接着してしまうことを避けるためである。

更に、剥離テーブル１７を剥離テープ回収側に移動させると、ウエハ３上の保護テープ５は、剥離テープ２２の折り返し部分で熱圧着されてくっついたまま、ウエハ３上面から略１８０°の角度を保持したまま剥がれてゆく（図１０（ｇ）参照）。

保護テープ５は剥離テープ２２との熱圧着部分に引かれて、略１８０°の剥離角度を有して剥がれてゆくので、ウエハ３の表面と平行な方向に力が加わりウエハ３に対する垂直に加わる力がほぼゼロとなり、極薄なウエハ３であっても保護テープ５の剥離の際の持ち上がり等によるチッピング等の破損が生じない。

保護テープ５の剥離が進んだら、剥離ユニット２８を上昇させ、テープチャック３５を解放すると共に、テープ固定チャック２７を解放し、剥離テープ巻き取りリール２５を回転させて剥離テープ２２を巻き取ることで、ウエハ３上面から保護テープ５が剥がれてゆく（図１０（ｈ）参照）。

このウエハ３の左側の剥離最終端においては、前述の剥離ユニット２８が上昇位置にあるので、剥離テープ２２の両側端部からはみ出た保護テープ５は、剥離最終端においてもダイシングテープ２に接触して貼り付いたりしない。

保護テープ５が剥離テープ２２の巻き上げに従い、剥離テープ巻き取りリール２５に巻き取られていくと、保護テープ後端検知センサ３８が、反射板３７に反射して戻る光の透過率を観測しており、剥離テープ２２のみの場合と、剥離テープ２２に保護テープ５が貼り付いた状態での光の透過率が相違することを利用して、保護テープ５の後端部を検知すれば、テープ供給を停止する（図１１（ｉ）参照）。

この場合、保護テープ５は剥離テープ２２より幅広であり、幅広部分が垂れたりカールしたりするが、若干の間隔を空けて設けられた一対の保護テープ巻き込み防止ガイドローラ２４を通過することでカール部分が矯正されてから剥離テープ回収リール２５に巻き取られることになる。

保護テープ５の剥離工程を終了したマウントウエハ７は、搬送ロボット１１にて剥離テーブル１７から保護テープ剥離済マウントウエハ収納部９に送られて、その後次工程のダイシング装置等に移送され、剥離テーブル１７は左側に移動した後、表面に保護テープ５の貼り付けられた状態で別のマウントウエハ７が渡され、図７（ａ）の位置に戻って、次の剥離作業を行うことになる。

以上、第１の実施形態の剥離装置を例としてその動作を説明したが、熱圧着ヒータ４７の部分が第２、第３の実施形態のものであってもその動作は同様である。

図１２及び図１３は、この発明を適用したウエハの保護テープの剥離装置の第４の実施形態を示すものであり、図１乃至図３で示した第１実施形態と同一の部分は同一の符号を付してある。

先の第１の実施形態に係る図１で示されていた、機台６上の保護テープ剥離前マウントウエハ収納部８、保護テープ剥離済マウントウエハ収納部９、吸着ハンド１０を有する搬送ロボット１１、吸着テーブル１３とアライメントセンサ１４からなるアライメント部１２等は、この第４の実施形態についても同様に配置されている。

図１２において、機台６、レール１５、１５、スライダ１６、吸着部１８を有する剥離テーブル１７、機枠１９、支持枠２０、昇降シリンダ２１、剥離テープ２２、剥離テープ供給リール２３、保護テープ巻き込み防止ガイドロール２４、剥離テープ回収リール２５、シリンダ２６により進退動するテープ固定チャック２７、剥離ユニット２８、反射板３７、保護テープ後端検知センサ３８、前記剥離ユニット２８上に設けられたテンションローラ２９、ガイドローラ３０群、熱圧着ヒータ３１、ガイドピン３２、ガイドローラ３３、ガイドローラ３４、テープチャック３５、ガイドローラ３６群については、その機能は第１の実施形態と全く同様であるので説明を省略する。

この第４の実施形態では、エアブロー装置として、剥離テーブル１７の剥離後端側に設けられて剥離テーブル１７と一体に移動する断面Ｌ字状の支持枠６０の上端部に水平方向で且つ剥離テープ２２の剥離走行方向に直交する方向に設けられた長尺状のエアーパイプ６１が、剥離テーブル１７から若干離れて、剥離テーブル１７の上面より若干上の位置となるように固定されている。

このエアーパイプ６１は中空状態で、図１３に示すように、剥離テーブル１７の剥離後端側の一辺とほぼ同じ長さに亘って設けられ、剥離テーブル１７側に向かって等間隔で複数の孔６２が、剥離テーブル１７上に載置されたウエハ３の少なくとも全幅以上にわたって設けられている。

このエアーパイプ６１は、図示しない適宜手段により中空となっている内部にエアーを送り込まれ、送り込まれたエアーは孔６２から剥離テーブル１７の上面側にエアブローとして噴出するようになっている。

エアーパイプ６１に対する孔６２の角度は、例えば、全ての孔６２が剥離テーブル１７側に向かって斜め上方向に約４５°としているが、これに限定されることなく、要するに、保護テープ５の剥離工程の際、保護テープ５を浮かせてダイシングテープ２に接しないようなエアブローが可能になっていれば良い。

また、孔６２の形状も、上記目的を達成できる範囲であれば、図示のような丸孔に限定されず、他の形状の孔、或いはスリット状にする等、適宜変更することができる。

なお、この第４の実施形態における熱圧着ヒータ３１についても、第１の実施形態と同様、図１３の形状のものに限定されるものではなく、図５や図６で示した、第２の実施形態、第３の実施形態の形状の熱溶着を行う熱圧着ヒータ３１を用いることができる。

次に、第４の実施形態の装置を使ったウエハ３表面の保護テープ５の剥離方法を、図１４乃至図１８の（ａ）〜（ｊ）に示す動作図を中心にして説明するが、図７乃至図１１の第１の実施形態における動作図と同一の作用となる部分は説明を簡略にする。

まず、剥離テーブル１７上に載置されたダイシングフレーム１へマウント済みのウエハ３に対して、昇降シリンダ２１の延伸作用により、支持枠２０が二点鎖線で示す位置から実線で示す下降位置まで下降し（図１４（ａ）参照）、続けて、シリンダ４２の延伸作用により熱圧着ヒータ３１が下降動し、ウエハ３上面における剥離テープ２２の回収側端部付近上の保護テープ５に接触し、加熱圧着を行う（図１４（ｂ）参照）。

次に、剥離テープ巻き取りリール２５を巻き戻し側に回転させ、剥離テープ２２に弛みを生じさせ（図１５（ｃ）参照）、この状態で、剥離テープ２２をテープチャック３５がチャックして保持した後、熱圧着ヒータ３１をシリンダ４２の伸縮作用により引き上げることで剥離テープ２２の残存張力でウエハ３が跳ね上がりにより破損したりするのを防止する（図１５（ｄ）参照）。

次に、剥離テーブル１７を剥離テープ回収側（右側）に移動させることで剥離ユニット２８を相対的にテープ供給側に移動させ、剥離テープ２２の保護テープ５との熱圧着部をガイドピン３２下側のウエハ３との隙間に引き込まれるようにし、更にガイドローラ３４に挟まれてウエハ３端部にて略１８０°の角度で折り返された状態を形成し（図１６（ｅ）参照）、その後、ガイドピン３２を退去させ、昇降シリンダ２１の伸縮作用によって支持枠２０と共に剥離ユニット２８を若干上昇させ、シリンダ２６の延伸作用によりテープ固定チャック２７を剥離テープ供給リール２３の外側の剥離テープ２２に圧接させて剥離テープ２２の供給を停止する（図１６（ｆ）参照）。

更に、剥離テーブル１７を剥離テープ回収側に移動させると、ウエハ３上の保護テープ５は、剥離テープ２２の折り返し部分で熱圧着されてくっついたまま、ウエハ３上面から略１８０°の角度を保持したまま剥がれてゆく（図１７（ｇ）参照）。

保護テープ５の剥離が進んだら、剥離ユニット２８を上昇させ、テープチャック３５を解放すると共に、テープ固定チャック２７を解放し、剥離テープ巻き取りリール２５を回転させて剥離テープ２２を巻き取ることで、ウエハ３上面から保護テープ５が剥がれてゆく。

更に、保護テープ５の剥離点がウエハの中央部に達する剥離中盤となったのを、例えば剥離テーブル１７を移動させるパルスモータからの位置信号や、各種センサーを用いた剥離テーブル１７の位置情報より判断し、この時点でエアーパイプ６１から図示矢印で示すエアブローを行う（図１７（ｈ）参照）。

剥離中盤では保護テープ５の後端部はまだウエハ３に接着しているが、剥離中盤からエアブローを行うことで、ウエハ３から剥離されカールする等によって垂れ下がった保護テープ５をエアブローにより浮かせて、ダイシングテープ２に接着するのを防止することができる。

剥離終盤にて、ウエハ３の左側の剥離最終端では、エアーパイプ６１からのエアブローが継続しているので、ウエハ３から完全に剥がされた保護テープ５の後端部は浮き上がり、ダイシングテープ２に接触して貼り付いたりしない（図１８（ｉ）参照）。

保護テープ５が剥離テープ２２の巻き上げに従い、剥離テープ巻き取りリール２５に巻き取られていくと、保護テープ後端検知センサ３８が保護テープ５の後端部を検知し、テープ供給及びエアブローを停止し（図１８（ｊ）参照）その後、保護テープ剥離済みマウントウエハ７は保護テープ剥離済マウントウエハ収納部９に送られ、表面に保護テープ５が貼り付いた状態で別のマウントウエハ７が渡され、図１４（ａ）の位置に戻って、次の剥離作業を行う。

図１９は、剥離テーブル１７における吸着部の構造の他の例を示す第５の実施形態であり、吸着部５０をウエハ３の載置面を砲台状に盛り上げたものである。この実施形態の吸着部５０は、マウントウエハ７のウエハ３の載置部分は平坦であるが、その外周部に傾斜を設けている。なお、この図のようにテーパー状にするのがより好ましいが、段差を設けるだけでもよい。

吸着部をこのような形状としておけば、ウエハ３に負担を与えることなく、また、複雑な移動機構を設けることなく、ダイシングテープ２の載置位置を下げて剥離テープ２２との距離を取ることができ、剥離テープとダイシングテープとの接触による事故をより防ぐことができる。なお、理解が容易なように図示のものは誇張されているが、段差の高低差としては１〜２ｍｍ程度が好ましい。

図２０は、剥離テーブル１７における吸着部の構造の他の例を採用した第６の実施形態であり、吸着部６３は、その範囲が、ダイシングテープ２の外径よりも小さく、且つ、ダイシングフレーム１のダイシングテープ２貼付下面の一部に跨るように形成されている。

この実施形態のものにおいては、吸着部が６３がダイシングテープ２の外径よりも小さいため、ダイシングテープ２の最外周部分で生じる段差の外側に生じている剥離テーブル１７とダイシングフレーム６との隙間部分に吸着部６３が無く、この段差部分での吸気リークが発生しない。

また、吸着部６３はダイシングフレーム１のダイシングテープ２貼付下面の一部に跨るように形成されており、硬度のあるダイシングフレーム１とウエハ３の下面に位置するダイシングテープ２を吸着することができるので、吸着部６３のシール性が高まって、吸着部６３全体の吸着力が高まった状態となり、ダイシングフレーム１とウエハ３の間のダイシングテープ２は吸着部６３に密着して吸着され、浮き上がったり、波打つことがないと共に、ウエハ３及びダイシングテープ２の保持力が高まるので、剥離テープ２２や保護テープ５がダイシングテープ２に接着したりすることがなく、仮に接着が生じても、ウエハ３の持ち上がりによる破損事故が発生することがない。

図２１は、剥離ユニット２８のテープ保持機構として、図７乃至図１１や図１４乃至図１８で示したテープチャック３５に替えて、剥離テープ回収リール２５の回転を止めるテープ固定チャック５１と、テンションローラ５２を設けた第７の実施形態であり、図１乃至図３に示す実施形態と一致する部分は同一の符号を付してある。

この実施形態の場合、剥離テープ２２の固定保持は、シリンダ５３の延伸作用によりテープ固定チャック５１が剥離テープ回収リール２５に当接することにより行われ、また、剥離テープ２２の熱圧着時の弛み状態を得るには、シリンダ５４の延伸又は収縮作用によりテンションローラ５２を移動させ、更に必要に応じて剥離テープ回収リール２５を正逆回転させることで剥離テープ２２の張力を調整することによって行われる。

この発明の実施形態は以上のようなものであるが、この発明は各実施形態を可能な範囲で組み合わせて実施することができるのはもちろん、上記実施形態のものに限定されること無く、この発明の目的の範囲内で適宜変更して実施することができる。

例えば、上記した実施形態では、剥離テーブル１７と剥離ユニット２８のウエハ表面と垂直方向での接近離反は、剥離ユニット２８側のみの昇降動で行っていたが、剥離テーブル１７と剥離ユニット２８が相対的に接近離反動すれば良く、剥離テーブル１７側のみ、又は剥離テーブル１７と剥離ユニット２８の両者を昇降動させて行うこともできる。

また、保護テープ５の剥離は、ウエハ３等を吸着して保持している剥離テーブル１７を水平方向に移動させることにより行っていたが、剥離テーブル１７と剥離ユニット２８が相対的に移動すれば良く、剥離ユニット２８側のみ、又は、剥離テーブル１７と剥離ユニット２８の両者を水平移動させることで保護テープ５を剥離することもできる。

また、剥離テープ供給リール２３の固定にテープ固定チャック２７を設けたり、剥離テープ回収リール２５にテープ固定チャック５１を設けたりしているが、これに限定されるものではなく、例えばリールそのものにブレーキ機構を設けたり、トルクモータを設けたりしても良い。

本発明装置を適用した剥離装置の第１の実施形態を表す平面図。 図１のII−II方向矢視断面図。 第１の実施形態の要部拡大平面図。 第１の実施形態の熱圧着ヒータ部を示す平面図。 第２の実施形態の熱圧着ヒータ部を示す平面図。 第３の実施形態の熱圧着ヒータ部を示す平面図。 （ａ）（ｂ）は第１の実施形態の保護テープ剥離方法の動作図。 （ｃ）（ｄ）は第１の実施形態の保護テープ剥離方法の動作図。 （ｅ）（ｆ）は第１の実施形態の保護テープ剥離方法の動作図。 （ｇ）（ｈ）は第１の実施形態の保護テープ剥離方法の動作図。 （ｉ）は第１の実施形態の保護テープ剥離方法の動作図。 本発明装置の第４の実施形態を示す正面図。 第４の実施形態の要部拡大平面図。 （ａ）（ｂ）は第４の実施形態の保護テープ剥離方法の動作図。 （ｃ）（ｄ）は第４の実施形態の保護テープ剥離方法の動作図。 （ｅ）（ｆ）は第４の実施形態の保護テープ剥離方法の動作図。 （ｇ）（ｈ）は第４の実施形態の保護テープ剥離方法の動作図。 （ｉ）（ｊ）は第４の実施形態の保護テープ剥離方法の動作図。 第５の実施形態の剥離テーブルを示す正面図。 第６の実施形態の剥離テーブルを示す正面図。 第７の実施形態のテープ保持機構を示す正面図。

符号の説明

１ ダイシングフレーム
２ ダイシングテープ
３ ウエハ
４ 回路パターン
５ 保護テープ
６ 機台
７ マウントウエハ
８ 保護テープ剥離前マウントウエハ収納部
９ 保護テープ剥離済マウントウエハ収納部
１０ 吸着ハンド
１１ 搬送ロボット
１２ アライメント部
１３ 吸着テーブル
１４ アライメントセンサ
１５ レール
１６ スライダ
１７ 剥離テーブル
１８ 吸着部
１９ 機枠
２０ 支持枠
２１ 昇降シリンダ
２２ 剥離テープ
２３ 剥離テープ供給リール
２４ 保護テープ巻き込み防止ガイドローラ
２５ 剥離テープ回収リール
２６ シリンダ
２７ テープ固定チャック
２８ 剥離ユニット
２９ テンションローラ
３０ ガイドローラ
３１ 熱圧着ヒータ
３２ ガイドピン
３３ ガイドローラ
３４ ガイドローラ
３５ テープチャック
３６ ガイドローラ
３７ 反射板
３８ 保護テープ後端検知センサ
３９ シリンダ
４０ ガイド
４１ レール
４２ シリンダ
４３ ヒータ線
４４ 支持枠
４５ シリンダ
４６ シリンダ
４７ 熱圧着部
４８ フレーム切欠部
４９ 剥離テープ後端押さえ部
５０ 吸着部
５１ テープ固定チャック
５２ テンションローラ
５３ シリンダ
５４ シリンダ
６０ 支持枠
６１ エアーパイプ
６２ 孔
６３ 吸着部

Claims (5)

1. 裏面側をダイシングテープを介してダイシングフレームにマウントされたウエハの表面側に貼り付けられた保護テープに剥離テープを貼り付けてから前記保護テープを剥離テープと一体に取り去るウエハの保護テープの剥離方法において、
   長尺状で前記ウエハよりも細幅の剥離テープをウエハ表面の外周縁部に接近させ、
   前記ウエハの外側に位置する剥離テープをダイシングテープより離反するよう傾斜した状態で保持しながら、前記保護テープの剥離始端部の外周縁部に沿って剥離テープをそのほぼ全幅にわたって熱圧着し、
   熱圧着ヒータの圧着後、ウエハの外側に位置する剥離テープを下から支えつつその張力を緩和させた状態で熱圧着ヒータの圧着を解き、
   前記剥離テープとウエハの少なくとも一方を剥離テープの長さ方向に沿って水平動させて、前記剥離テープの熱圧着部付近を略１８０°に折り返し、
   続いて前記剥離テープの供給側と回収側部分を固定した後、
   前記剥離ユニットとウエハを剥離テープの長さ方向に沿って相対的に移動させて、ウエハ上から保護テープを剥離し、
   前記保護テープの剥離途中で前記剥離テープの固定状態を解除した後、前記剥離テープと保護テープとを巻き取って回収し、
   前記保護テープの剥離終端部付近で前記保護テープをウエハに対して離反させることを特徴とするウエハの保護テープの剥離方法。
2. 裏面側をダイシングテープを介してダイシングフレームにマウントされたウエハを吸着保持する剥離テーブルと、前記剥離テーブル上のウエハの表面側に貼り付けられた保護テープに剥離テープを貼り付けてから前記保護テープを剥離テープと一体に取り去る剥離ユニットとからなるウエハの保護テープの剥離装置において、
   前記剥離テーブルと剥離ユニットとは、前記ウエハ表面に対しての相対的な接近離反動と、前記剥離テープの長さ方向に沿った相対的な水平動が自在に設けられ、
   前記剥離ユニットは、長尺状で前記ウエハよりも細幅の剥離テープを供給及び回収する剥離テープ走行機構と、
   前記剥離テープをウエハ表面の外周縁部に接近させた際、剥離テープをウエハより外側の位置でダイシングテープより離反するよう傾斜させた状態で保持すると共に、前記保護テープの剥離を開始する際に、前記剥離テープの供給側と回収側を固定する剥離テープ保持機構と、
   前記保護テープの剥離始端部の外周縁部に沿って前記剥離テープのほぼ全幅にわたって熱圧着する熱圧着ヒータと、
   前記剥離テープに対して進退動可能に構成され、進出位置では、前記ウエハの外側に位置する剥離テープの下側に位置して剥離テープを下方から支持すると共に、前記剥離ユニットと剥離テーブルを剥離テープの長さ方向に沿って相対的に水平動させる際に、前記ウエハ外側に位置する剥離テープをウエハ上面側に押し戻して、剥離テープに略１８０°の折り返しを形成し、退去位置では、前記剥離テープの幅方向外側に向けて退去するガイドピンとを有することを特徴とするウエハの保護テープの剥離装置。
3. ウエハの剥離後端側から剥離工程中の保護テープに向けてエアブローを行い、保護テープを浮かせてダイシングテープに接しないようにしたエアブロー装置を有することを特徴とする請求項２に記載のウエハの保護テープの剥離装置。
4. 剥離テーブルは、ウエハ載置部分が周囲より盛り上がっていることを特徴とする請求項２又は３に記載のウエハの保護テープの剥離装置。
5. 剥離テーブルの吸着部分は、ダイシングテープの外径よりも小さく、且つ、ダイシングフレームのダイシングテープ貼付下面の一部に跨るように形成されていることを特徴とする請求項２乃至４のいずれか１項に記載のウエハの保護テープの剥離装置。

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