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JP5116506B2 - Sticking device and sticking method - Google Patents
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JP5116506B2 JP2008044570A JP2008044570A JP5116506B2 JP 5116506 B2 JP5116506 B2 JP 5116506B2 JP 2008044570 A JP2008044570 A JP 2008044570A JP 2008044570 A JP2008044570 A JP 2008044570A JP 5116506 B2 JP5116506 B2 JP 5116506B2
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Description

本発明は、切断装置にて切断された粘着部のうち不要な部分を剥離する剥離装置を有する貼着装置と、このような貼着装置を用いた貼着方法に関する。   The present invention relates to a sticking device having a peeling device for peeling an unnecessary portion of an adhesive portion cut by a cutting device, and a sticking method using such a sticking device.

従来、粘着部と離型紙とを有するテープ部材を送り出す送り装置と、離型紙に貼り付けられた粘着部を離型紙を残して切断する切断部と、切断部にて切断された粘着部が貼着される基板を粘着部の貼着位置へ位置付ける基板支持部と、貼着位置に位置付けられた基板に対して切断された粘着部を圧着する加圧部と、切断部にて切断された粘着部のうち、不要な粘着部を離型紙から剥離する剥離装置と、を有する貼着装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。   Conventionally, a feeding device for feeding out a tape member having an adhesive part and a release paper, a cutting part for cutting the adhesive part pasted on the release paper leaving the release paper, and an adhesive part cut by the cutting part are pasted. A substrate support part that positions the substrate to be attached to the sticking position of the adhesive part, a pressure part that presses the adhesive part cut to the substrate located at the sticking position, and an adhesive that is cut at the cutting part A sticking device having a peeling device that peels an unnecessary adhesive part from a release paper among the parts is known (for example, see Patent Document 1).

このうち、剥離装置は、エアシリンダなどの昇降装置にて上下動するベース部材に設けられ、粘着性を有する抜取テープを供給するための抜取テープ供給リールと、抜取テープを支持する剥離ヘッドと、抜取テープを巻き取る抜取テープ回収リールとを有している。
特開2003−51517号公報
Among these, the peeling device is provided on a base member that moves up and down by an elevating device such as an air cylinder, a sampling tape supply reel for supplying a sampling tape having adhesiveness, a peeling head that supports the sampling tape, A sampling tape collecting reel for winding the sampling tape;
JP 2003-51517 A

このようなテープ剥離装置においては、抜取テープ供給リールに巻き付けられている抜取テープが無くなると、当該抜取テープ供給リールに新しい抜取テープを取り付ける必要がある。そして、このときには、貼着装置の稼働を停止させる必要がある。このため、抜取テープの交換頻度を低くすることによって、貼着装置の稼働効率を向上させることが望まれている。   In such a tape peeling device, when the extraction tape wound around the extraction tape supply reel disappears, it is necessary to attach a new extraction tape to the extraction tape supply reel. At this time, it is necessary to stop the operation of the sticking device. For this reason, it is desired to improve the operating efficiency of the sticking device by reducing the replacement frequency of the sampling tape.

本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、抜取テープを有効に利用することによって、抜取テープの交換頻度を低くして、稼働効率を向上させることができる貼着装置および貼着方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in consideration of such points, and by effectively using the extraction tape, the frequency of replacement of the extraction tape can be reduced, and the attaching device capable of improving the operation efficiency and It aims at providing the sticking method.

本発明による貼着装置は、
基板を支持する基板支持部と、
粘着部と離型紙とを有するテープ部材を、前記基板支持部に支持された基板上に送り出すテープ部材供給部と、
前記テープ部材供給部の下流側に配置され、テープ部材の離型紙を残して粘着部を切断する切断部と、
前記切断部の下流側に配置されるとともに、該切断部によって切断された粘着部のうち不要な部分を離型紙から剥離する抜取テープと、該抜取テープを支持する剥離支持部と、を有する剥離装置と、
前記剥離装置の下流側に配置され、該剥離装置によって不要な部分が剥離されたテープ部材を、前記基板に押しつけて粘着部を圧着する加圧部と、
前記加圧部の下流側に配置され、該加圧部によって加圧された後のテープ部材を回収するテープ部材回収部と、を備え、
前記剥離装置が、前記抜取テープを所定の供給方向に沿って送り出す抜取テープ供給部と、該抜取テープ供給部によって送り出された該抜取テープを回収する抜取テープ回収部とを有し、
前記抜取テープおよび前記剥離支持部の一方が、他方に対して、該抜取テープの供給方向に直交する方向において相対的に移動可能になっている。
The sticking device according to the present invention comprises:
A substrate support for supporting the substrate;
A tape member supply unit for feeding a tape member having an adhesive part and a release paper onto a substrate supported by the substrate support part;
A cutting unit that is arranged on the downstream side of the tape member supply unit, and cuts the adhesive unit leaving the release paper of the tape member;
A peeling unit that is arranged on the downstream side of the cutting part and has a sampling tape that peels an unnecessary part of the adhesive part cut by the cutting part from the release paper, and a peeling support part that supports the sampling tape. Equipment,
A pressure unit that is arranged on the downstream side of the peeling device and presses the tape member from which unnecessary portions are peeled off by the peeling device against the substrate, thereby pressing the adhesive portion;
A tape member collecting unit that is disposed on the downstream side of the pressurizing unit and collects the tape member after being pressurized by the pressurizing unit;
The peeling device includes a sampling tape supply unit that sends out the sampling tape along a predetermined supply direction, and a sampling tape recovery unit that collects the sampling tape sent out by the sampling tape supply unit,
One of the extraction tape and the peeling support portion is movable relative to the other in a direction perpendicular to the supply direction of the extraction tape.

本発明による貼着装置において、
前記抜取テープは、該抜取テープの供給方向に直交する方向において移動可能であることが好ましい。
In the sticking device according to the present invention,
The extraction tape is preferably movable in a direction perpendicular to the supply direction of the extraction tape.

本発明による貼着装置において、
前記剥離支持部は、前記抜取テープの供給方向に直交する方向において移動可能であることが好ましい。
In the sticking device according to the present invention,
It is preferable that the said peeling support part is movable in the direction orthogonal to the supply direction of the said extraction tape.

本発明による貼着装置において、
前記剥離装置は、前記抜取テープ供給部によって送り出された抜取テープの送出量を検出する送出量検出部をさらに有することが好ましい。
In the sticking device according to the present invention,
It is preferable that the peeling device further includes a delivery amount detection unit that detects a delivery amount of the extraction tape delivered by the extraction tape supply unit.

本発明による貼着装置において、
前記抜取テープと前記剥離支持部との間の相対的な位置を制御する制御部をさらに備え、
前記制御部は、前記抜取テープ供給部からの前記抜取テープの送り出しを停止させた後、該抜取テープおよび前記剥離装置の一方を他方に対して該抜取テープの供給方向に直交する方向に相対的に移動させ、その後、前記抜取テープ供給部からの前記抜取テープの送り出しを再開させることが好ましい。
In the sticking device according to the present invention,
A control unit for controlling a relative position between the sampling tape and the peeling support unit;
The control unit stops the delivery of the extraction tape from the extraction tape supply unit, and then makes one of the extraction tape and the peeling device relative to the other in a direction orthogonal to the supply direction of the extraction tape. After that, it is preferable to resume delivery of the extraction tape from the extraction tape supply unit.

本発明による貼着装置において、
前記抜取テープと前記剥離支持部との間の相対的な位置を制御する制御部をさらに備え、
前記制御部は、前記抜取テープ供給部から前記抜取テープを送り出すときに、該抜取テープおよび前記剥離装置の一方を他方に対して該抜取テープの供給方向に直交する方向に相対的に移動させことが好ましい。
In the sticking device according to the present invention,
A control unit for controlling a relative position between the sampling tape and the peeling support unit;
When the control unit sends out the extraction tape from the extraction tape supply unit, the control unit moves one of the extraction tape and the peeling device relative to the other in a direction orthogonal to the supply direction of the extraction tape. Is preferred.

本発明による貼着方法は、
基板支持部と、粘着部と離型紙とを有するテープ部材を送り出すテープ部材供給部と、該テープ部材供給部の下流側に配置された切断部と、該切断部の下流側に配置されて抜取テープを有する剥離装置と、該剥離装置の下流側に配置された加圧部と、該加圧部の下流側に配置されたテープ部材回収部と、を有し、該剥離装置が、該抜取テープを送り出す抜取テープ供給部と、該抜取テープ供給部によって送り出された該抜取テープを回収する抜取テープ回収部と、該抜取テープを支持する剥離支持部と、を含む、貼着装置を用いた貼着方法において、
前記基板支持部によって、基板を支持する基板支持工程と、
前記テープ部材供給部によって、前記テープ部材を前記基板支持部に支持された基板上に送り出すテープ部材供給工程と、
前記切断部によって、テープ部材の離型紙を残して粘着部を切断する切断工程と、
前記剥離装置の前記抜取テープによって、前記切断部により切断された粘着部のうち不要な部分を離型紙から剥離する剥離工程と、
前記加圧部によって、不要な部分が剥離されたテープ部材を前記基板に押しつけて粘着部を圧着する加圧工程と、
前記テープ部材回収部によって、加圧部により加圧された後のテープ部材を回収するテープ部材回収工程と、
前記抜取テープ供給部によって、前記抜取テープが所定の供給方向に沿って送り出される抜取テープ供給工程と、
前記抜取テープ回収部によって、抜取テープが回収される抜取テープ回収工程と、
前記抜取テープおよび前記剥離支持部の一方を、他方に対して、該抜取テープの供給方向に直交する方向において相対的に移動させる抜取テープ移動工程と、
を備えている。
The sticking method according to the present invention comprises:
A tape member supply section for feeding out a tape member having a substrate support section, an adhesive section and a release paper, a cutting section disposed on the downstream side of the tape member supply section, and a sampling section disposed on the downstream side of the cutting section. A peeling device having a tape, a pressure unit disposed on the downstream side of the peeling device, and a tape member collecting unit disposed on the downstream side of the pressure unit, and the peeling device includes the extraction device. A pasting device including a sampling tape supply unit for feeding out a tape, a sampling tape recovery unit for recovering the sampling tape sent out by the sampling tape supply unit, and a peeling support unit for supporting the sampling tape was used. In the sticking method,
A substrate supporting step for supporting the substrate by the substrate supporting portion;
A tape member supply step of feeding the tape member onto a substrate supported by the substrate support portion by the tape member supply portion;
A cutting step of cutting the adhesive portion leaving the release paper of the tape member by the cutting portion,
A peeling step of peeling an unnecessary part from the release paper of the adhesive part cut by the cutting part by the sampling tape of the peeling device;
A pressing step of pressing the adhesive member against the substrate by pressing the tape member from which unnecessary portions are peeled off by the pressing unit;
A tape member recovery step of recovering the tape member after being pressurized by the pressure unit by the tape member recovery unit;
A sampling tape supply step in which the sampling tape is fed out along a predetermined supply direction by the sampling tape supply unit,
A sampling tape recovery process in which the sampling tape is recovered by the sampling tape recovery unit,
A sampling tape moving step of moving one of the sampling tape and the peeling support portion relative to the other in a direction perpendicular to the supply direction of the sampling tape;
It has.

本発明によれば、抜取テープおよび剥離支持部の一方が、他方に対して、抜取テープの供給方向に直交する方向において相対的に移動可能となっているので、抜取テープを有効に利用することができる。このため、抜取テープの交換頻度を低くして、稼働効率を向上させることができる。また、抜取テープの有効利用を図ることができる。   According to the present invention, one of the extraction tape and the peeling support portion can be moved relative to the other in the direction orthogonal to the supply direction of the extraction tape, so that the extraction tape can be used effectively. Can do. For this reason, the exchanging frequency of the sampling tape can be lowered to improve the operation efficiency. In addition, it is possible to effectively use the sampling tape.

発明を実施するための形態BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION

第1の実施の形態
以下、本発明に係る貼着装置および貼着方法の第1の実施の形態について、図面を参照して説明する。ここで、図1乃至図6は本発明の第1の実施の形態を示す図である。
First Embodiment Hereinafter, a first embodiment of a sticking apparatus and a sticking method according to the present invention will be described with reference to the drawings. Here, FIG. 1 thru | or FIG. 6 is a figure which shows the 1st Embodiment of this invention.

図1に示すように、貼着装置は、基板60を支持する基板支持部1と、粘着部66と離型紙67とを有するテープ部材65(図5参照)を、基板支持部1に支持された基板60上に送り出すテープ部材供給リール(テープ部材供給部)2と、テープ部材供給リール2の下流側に配置され、テープ部材65の離型紙67を残して粘着部66を切断する切断部35と、切断部35の下流側に配置され、切断部35によって切断された粘着部66のうち不要な部分を離型紙67から剥離する抜取テープ15を有する剥離装置10と、を備えている。   As shown in FIG. 1, the adhering apparatus is supported by the substrate support unit 1 with a substrate support unit 1 that supports the substrate 60, and a tape member 65 (see FIG. 5) having an adhesive unit 66 and a release paper 67. The tape member supply reel (tape member supply unit) 2 to be fed onto the substrate 60, and the cutting unit 35 which is disposed on the downstream side of the tape member supply reel 2 and cuts the adhesive portion 66 while leaving the release paper 67 of the tape member 65. And a peeling device 10 that has a removal tape 15 that is arranged on the downstream side of the cutting portion 35 and peels an unnecessary portion of the adhesive portion 66 cut by the cutting portion 35 from the release paper 67.

なお、テープ部材供給リール2から供給されるテープ部材65は、基板60上において、下方側に粘着部66が位置し上方側に離型紙67が位置するようになっており(図5参照)、このような粘着部66としてはACFなどを例に挙げることができる。また、抜取テープ15は、粘着性を有している。   The tape member 65 supplied from the tape member supply reel 2 has an adhesive portion 66 located on the lower side and a release paper 67 located on the upper side on the substrate 60 (see FIG. 5). As such an adhesive part 66, ACF etc. can be mentioned as an example. Moreover, the extraction tape 15 has adhesiveness.

また、図1に示すように、剥離装置10の下流側には、剥離装置10によって不要な部分が剥離されたテープ部材65を基板60に押しつけて、残った粘着部66を圧着する加圧部6が配置されている。また、この加圧部6の下流側には、加圧部6によって加圧された後の離型紙67のみが残っているテープ部材65を回収するテープ部材回収リール(テープ部材回収部)3が配置されている。   Further, as shown in FIG. 1, on the downstream side of the peeling device 10, a pressure unit that presses the tape member 65 from which unnecessary portions are peeled off by the peeling device 10 against the substrate 60 and presses the remaining adhesive portion 66. 6 is arranged. A tape member collection reel (tape member collection unit) 3 that collects the tape member 65 in which only the release paper 67 that has been pressurized by the pressure unit 6 remains is provided downstream of the pressure unit 6. Has been placed.

また、図1に示すように、剥離装置10は、ベース部材17と、ベース部材17を上下動させるエアシリンダなどの昇降部材18と、ベース部材17に設けられ、抜取テープ15を所定の供給方向に沿って送り出す抜取テープ供給リール(抜取テープ供給部)11と、ベース部材17に設けられ、抜取テープ供給リール11によって送り出された抜取テープ15を回収する抜取テープ回収リール(抜取テープ回収部)12と、抜取テープ15を下方から支持する剥離ヘッド(剥離支持部)14と、を有している。   As shown in FIG. 1, the peeling device 10 is provided on a base member 17, an elevating member 18 such as an air cylinder that moves the base member 17 up and down, and the base member 17. The extraction tape supply reel (extraction tape supply unit) 11 that is sent out along with the extraction tape collection reel (extraction tape collection unit) 12 that is provided on the base member 17 and collects the extraction tape 15 that is sent out by the extraction tape supply reel 11. And a peeling head (peeling support portion) 14 that supports the extraction tape 15 from below.

なお、抜取テープ供給リール11と抜取テープ回収リール12とは、ベース部材17に対して、抜取テープ15の幅方向に移動可能となっている(図2参照)。この結果、抜取テープ15は、テープ部材供給リール2とテープ部材回収部3との間に位置するテープ部材65の幅方向(供給方向に直交する方向)に、移動可能となっている(図2参照)。なお本願で、供給方向に直交する方向に移動可能になっているとは、供給方向に直交する方向に移動することができればどのようなものでもよいことを意味する。すなわち、抜取テープ15は、供給方向に直交する方向に移動できるようになっていてもよいし(図4(a)参照)、供給方向に対して斜め方向に移動できるようになっていてもよい(図4(b)参照)。   The extraction tape supply reel 11 and the extraction tape collection reel 12 are movable with respect to the base member 17 in the width direction of the extraction tape 15 (see FIG. 2). As a result, the extraction tape 15 can be moved in the width direction of the tape member 65 located between the tape member supply reel 2 and the tape member recovery part 3 (direction perpendicular to the supply direction) (FIG. 2). reference). In the present application, the phrase “being movable in the direction orthogonal to the supply direction” means that any object can be used as long as it can move in the direction orthogonal to the supply direction. That is, the extraction tape 15 may be movable in a direction orthogonal to the supply direction (see FIG. 4A) or may be movable in an oblique direction with respect to the supply direction. (See FIG. 4 (b)).

また、図1に示すように、剥離装置10の上方には、テープ部材65の離型紙67を吸着して保持する吸着部40が設けられている。また、テープ部材供給リール2の下流側には、テープ部材供給リール2から送り出されたテープ部材65を案内する案内リール21,22が設けられている。また、テープ部材回収リール3の上流側には、加圧部6によって加圧された後のテープ部材65(離型紙67)を案内する案内リール31,32が設けられている。   Further, as shown in FIG. 1, an adsorption unit 40 that adsorbs and holds the release paper 67 of the tape member 65 is provided above the peeling device 10. Further, guide reels 21 and 22 for guiding the tape member 65 fed from the tape member supply reel 2 are provided on the downstream side of the tape member supply reel 2. Further, guide reels 31 and 32 for guiding the tape member 65 (release paper 67) after being pressurized by the pressure unit 6 are provided on the upstream side of the tape member collection reel 3.

また、図1に示すように、剥離装置10には、抜取テープ供給リール11と抜取テープ回収リール12の動きを制御する制御部50が設けられている。具体的には、この制御部50は、抜取テープ供給リール11からの抜取テープ15の送り出しを停止させた後、抜取テープ供給リール11と抜取テープ回収リール12をベース部材17に対して抜取テープ15の幅方向に二回移動させ、その後、抜取テープ供給リール11からの抜取テープ15の送り出しを再開させるように、抜取テープ供給リール11と抜取テープ回収リール12の動きを制御するように構成されている(図4(a)参照)。なお、図4(a)に示された矢印は、剥離された粘着部66の抜取テープ15に貼り着けられた順序を示している。   Further, as shown in FIG. 1, the peeling device 10 is provided with a control unit 50 that controls the movement of the extraction tape supply reel 11 and the extraction tape collection reel 12. Specifically, the control unit 50 stops the delivery of the extraction tape 15 from the extraction tape supply reel 11, and then moves the extraction tape supply reel 11 and the extraction tape collection reel 12 to the base member 17. The movement of the extraction tape supply reel 11 and the extraction tape collection reel 12 is controlled so as to resume the feeding of the extraction tape 15 from the extraction tape supply reel 11. (See FIG. 4A). In addition, the arrow shown by Fig.4 (a) has shown the order affixed on the extraction tape 15 of the peeled adhesion part 66. FIG.

次に、このような構成からなる本実施の形態の作用について述べる。   Next, the operation of the present embodiment having such a configuration will be described.

まず、基板支持部1によって、基板60が支持される(基板支持工程81)(図1および図3参照)。   First, the board | substrate 60 is supported by the board | substrate support part 1 (board | substrate support process 81) (refer FIG. 1 and FIG. 3).

次に、テープ部材供給リール2によって、テープ部材65が基板支持部1に支持された基板60上に送り出される(テープ部材供給工程82)(図1および図3参照)。   Next, the tape member 65 is fed by the tape member supply reel 2 onto the substrate 60 supported by the substrate support portion 1 (tape member supply step 82) (see FIGS. 1 and 3).

次に、切断部35によって、テープ部材65の離型紙67を残して粘着部66が切断される(切断工程83)(図1および図3参照)。   Next, the adhesive portion 66 is cut by the cutting portion 35 leaving the release paper 67 of the tape member 65 (cutting step 83) (see FIGS. 1 and 3).

次に、剥離装置10の抜取テープ15によって、切断部35により切断された粘着部66のうち不要な部分が離型紙67から剥離される(剥離工程84)(図3および図5参照)。このとき、剥離装置10の上方に位置する吸着部40によって、テープ部材65の離型紙67が吸着されて保持されている(図1参照)。   Next, an unnecessary portion of the adhesive portion 66 cut by the cutting portion 35 is peeled off from the release paper 67 by the sampling tape 15 of the peeling device 10 (peeling step 84) (see FIGS. 3 and 5). At this time, the release paper 67 of the tape member 65 is sucked and held by the suction portion 40 located above the peeling device 10 (see FIG. 1).

この剥離工程84においては、まず、抜取テープ供給リール11によって、抜取テープ15が所定の供給方向に沿って、所定の量だけ送り出されて停止される(抜取テープ供給工程91)(図3および図4(a)参照)。このとき、抜取テープ回収リール12によって、抜取テープ15が回収される(抜取テープ回収工程97)。   In the peeling step 84, first, the extraction tape 15 is sent out by a predetermined amount along the predetermined supply direction by the extraction tape supply reel 11 and stopped (extraction tape supply step 91) (FIG. 3 and FIG. 3). 4 (a)). At this time, the extraction tape 15 is recovered by the extraction tape recovery reel 12 (extraction tape recovery step 97).

次に、昇降部材18によって、ベース部材17が上方に位置づけられる(上方位置づけ工程92)(図3および図5参照)。このとき、抜取テープ15が、切断部35により切断された粘着部66のうち不要な部分に接着される。その後、昇降部材18によって、ベース部材17が下方に位置づけられる(下方位置づけ工程93)(図3および図5参照)。このとき、粘着部66のうち不要な部分が、離型紙67から剥離される。   Next, the base member 17 is positioned upward by the elevating member 18 (upper positioning step 92) (see FIGS. 3 and 5). At this time, the extraction tape 15 is adhered to an unnecessary portion of the adhesive portion 66 cut by the cutting portion 35. Thereafter, the elevating member 18 positions the base member 17 downward (downward positioning step 93) (see FIGS. 3 and 5). At this time, an unnecessary portion of the adhesive portion 66 is peeled off from the release paper 67.

このように不要な部分が剥離されたテープ部材65は、次に、加圧部6によって基板60に押しつけられ、残った粘着部66が基板60に圧着される(加圧工程85)(図1および図3参照)。その後、テープ部材回収部3によって、加圧部6により加圧された後の離型紙67のみからなるテープ部材65が回収される(テープ部材回収工程86)(図1および図3参照)。   The tape member 65 from which the unnecessary portion has been peeled is pressed against the substrate 60 by the pressurizing unit 6, and the remaining adhesive portion 66 is pressure-bonded to the substrate 60 (pressurizing step 85) (FIG. 1). And FIG. 3). Thereafter, the tape member collection unit 3 collects the tape member 65 composed only of the release paper 67 after being pressurized by the pressure unit 6 (tape member collection step 86) (see FIGS. 1 and 3).

次に、別の基板60が基板支持部1に支持される(基板支持工程81)(図1および図3参照)。その後、上述したのと同様に、テープ部材供給工程82および切断工程83が行われる(図3参照)。   Next, another substrate 60 is supported by the substrate support portion 1 (substrate support step 81) (see FIGS. 1 and 3). Thereafter, as described above, a tape member supply step 82 and a cutting step 83 are performed (see FIG. 3).

次に、抜取テープ供給リール11と抜取テープ回収リール12は、ベース部材17に対して抜取テープ15の幅方向(抜取テープ15の供給方向に直交する方向)に移動させられる(図2参照)。この結果、抜取テープ15が、その幅方向に移動させられることとなる(抜取テープ移動工程95)(図2、図3および図4(a)参照)。なお、このとき、剥離ヘッド14はベース部材17に対して固定されており、テープ部材65も抜取テープ15の幅方向に移動されない。   Next, the extraction tape supply reel 11 and the extraction tape collection reel 12 are moved in the width direction of the extraction tape 15 (direction perpendicular to the supply direction of the extraction tape 15) with respect to the base member 17 (see FIG. 2). As a result, the extraction tape 15 is moved in the width direction (extraction tape moving step 95) (see FIGS. 2, 3, and 4A). At this time, the peeling head 14 is fixed to the base member 17, and the tape member 65 is not moved in the width direction of the extraction tape 15.

その後は、加圧工程85およびテープ部材回収工程86が順次行われる(図3参照)。そして、上述した工程が、所定の回数(本実施の形態では二回)だけ繰り返されるまで(抜取テープ15がその幅方向に所定の回数だけ移動されるまで)、剥離工程84において抜取テープ移動工程95が行われる(図3および図4(a)参照)。他方、上述した工程が、所定の回数だけ繰り返されると、剥離工程84において抜取テープ移動工程95が行われる代わりに、抜取テープ供給工程91が行われる(図3および図4(a)参照)。   Thereafter, a pressurizing step 85 and a tape member collecting step 86 are sequentially performed (see FIG. 3). Then, until the above-described steps are repeated a predetermined number of times (twice in the present embodiment) (until the extraction tape 15 is moved a predetermined number of times in the width direction), the extraction tape moving step in the peeling step 84 is performed. 95 is performed (see FIGS. 3 and 4A). On the other hand, when the process described above is repeated a predetermined number of times, a sampling tape supply process 91 is performed instead of the sampling tape moving process 95 in the peeling process 84 (see FIGS. 3 and 4A).

上述のように、本実施の形態によれば、粘着部66のうち不要な部分を剥離した後の抜取テープ15が、剥離ヘッド14およびテープ部材65に対して、抜取テープ15の幅方向に移動させられる。このため、抜取テープ15を有効に利用することができる。   As described above, according to the present embodiment, the extraction tape 15 after peeling an unnecessary portion of the adhesive portion 66 moves in the width direction of the extraction tape 15 with respect to the peeling head 14 and the tape member 65. Be made. For this reason, the extraction tape 15 can be used effectively.

すなわち、従来技術では、粘着部のうち不要な部分を剥離した後の抜取テープは、抜取テープ供給リール側から抜取テープ回収リール側へと送られるだけであったので、幅方向で余った未使用部分もそのまま抜取テープ回収リールで回収されていた。   In other words, in the prior art, the extraction tape after peeling unnecessary portions of the adhesive portion was only sent from the extraction tape supply reel side to the extraction tape collection reel side, so that the remaining unused in the width direction The part was recovered as it was with a sampling tape recovery reel.

これに対して、本発明によれば、抜取テープ供給リール11と抜取テープ回収リール12が、ベース部材17に対して抜取テープ15の幅方向に移動可能となっているので、抜取テープ15を、剥離ヘッド14およびテープ部材65に対して、抜取テープ15の幅方向に移動させることができる。このため、従来では使用できなかった幅方向で余った部分を有効に利用することができる(図4(a)参照)。   On the other hand, according to the present invention, the extraction tape supply reel 11 and the extraction tape collection reel 12 are movable in the width direction of the extraction tape 15 with respect to the base member 17. The peeling head 14 and the tape member 65 can be moved in the width direction of the extraction tape 15. For this reason, the surplus part in the width direction which could not be used conventionally can be used effectively (see FIG. 4A).

このように、本実施の形態によれば、抜取テープ15を有効に利用することができるので、抜取テープの交換頻度を低くすることができ、粘着装置の稼働効率を向上させることができる。また、抜取テープ15の有効利用を図ることもできる。   Thus, according to this Embodiment, since the extraction tape 15 can be used effectively, the replacement frequency of a extraction tape can be made low and the operating efficiency of an adhesion apparatus can be improved. In addition, the extraction tape 15 can be effectively used.

なお、上述した剥離装置10の一連の駆動は、制御部50からの指示に従って行われる。   The series of driving of the peeling device 10 described above is performed according to an instruction from the control unit 50.

ところで、上記では、制御部50が、抜取テープ供給リール11からの抜取テープ15の送り出しを停止させた後、抜取テープ15を、剥離ヘッド14およびテープ部材65に対して、抜取テープ15の幅方向に移動させ、その後、抜取テープ供給リール11からの抜取テープ15の送り出しを再開させる態様を用いて説明したが(図4(a)参照)、これに限られない。   By the way, in the above, after the control part 50 stops sending out the extraction tape 15 from the extraction tape supply reel 11, the width direction of the extraction tape 15 is set with respect to the peeling head 14 and the tape member 65. Although it demonstrated using the aspect which restarts sending out of the extraction tape 15 from the extraction tape supply reel 11 after that (refer Fig.4 (a)), it is not restricted to this.

制御部50は、例えば、抜取テープ供給リール11から抜取テープ15を送り出すときに、抜取テープ15を、剥離ヘッド14およびテープ部材65に対して、抜取テープ15の幅方向に移動させるような態様であってもよい(図4(b)参照)。なお、抜取テープ供給リール11から抜取テープ15を送り出すときに、抜取テープ15が抜取テープ15の幅方向に移動させられるので、剥離された粘着部66の順序を示す矢印は斜め方向を向くこととなる。   For example, when the extraction tape 15 is sent from the extraction tape supply reel 11, the control unit 50 moves the extraction tape 15 in the width direction of the extraction tape 15 with respect to the peeling head 14 and the tape member 65. It may be present (see FIG. 4B). Note that when the extraction tape 15 is sent out from the extraction tape supply reel 11, the extraction tape 15 is moved in the width direction of the extraction tape 15. Therefore, the arrow indicating the order of the peeled adhesive portions 66 is directed obliquely. Become.

なお、図6に示すように、剥離装置10は、制御部50に接続されるとともに、抜取テープ供給リール11によって送り出された抜取テープ15の送出量を検出する送出量検出部45を有していてもよい。このような送出量検出部45を用いることによって、抜取テープ15を正確な量だけ送ることができるようになるので、好ましい。なお、送出量検出部45としては、検尺ローラを有する検知円検やエンコーダなどを用いることができる。   As shown in FIG. 6, the peeling device 10 is connected to the control unit 50 and has a delivery amount detection unit 45 that detects the delivery amount of the extraction tape 15 delivered by the extraction tape supply reel 11. May be. By using such a delivery amount detection unit 45, it is possible to feed the sampling tape 15 by an accurate amount, which is preferable. As the delivery amount detection unit 45, a detection circle detection or encoder having a measuring roller can be used.

また、本実施の形態では、上方位置づけ工程92、下方位置づけ工程93および抜取テープ移動工程95を順次行う態様を用いて説明したが、これに限られない。例えば、下方位置づけ工程93と抜取テープ移動工程95を同時に行い、ベース部材17を下方に位置づける際に、抜取テープ15を幅方向に移動させたり、また、上方位置づけ工程92と抜取テープ移動工程95を同時に行い、ベース部材17を上方に位置づける際に、抜取テープ15を幅方向に移動させたりしてもよい。このように、下方位置づけ工程93と抜取テープ移動工程95を同時に行ったり、上方位置づけ工程92と抜取テープ移動工程95を同時に行ったりすることによって、さらに稼働効率を向上させることができる。   In the present embodiment, the upper positioning process 92, the lower positioning process 93, and the extraction tape moving process 95 are described in order. However, the present invention is not limited to this. For example, the lower positioning step 93 and the extraction tape moving step 95 are performed simultaneously, and when the base member 17 is positioned downward, the extraction tape 15 is moved in the width direction, or the upper positioning step 92 and the extraction tape moving step 95 are performed. Simultaneously, when the base member 17 is positioned upward, the extraction tape 15 may be moved in the width direction. Thus, the operation efficiency can be further improved by performing the lower positioning step 93 and the sampling tape moving step 95 at the same time or performing the upper positioning step 92 and the sampling tape moving step 95 at the same time.

第2の実施の形態
次に、図7により、本発明の第2の実施の形態について説明する。図7に示す第2の実施の形態は、抜取テープ15が、抜取テープ15の幅方向において移動可能となる代わりに、剥離ヘッド14およびテープ部材65が、抜取テープ15の幅方向において移動可能となっているものであり、その他の構成は図1乃至図6に示す第1の実施の形態と略同一である。
Second Embodiment Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In the second embodiment shown in FIG. 7, instead of the extraction tape 15 being movable in the width direction of the extraction tape 15, the peeling head 14 and the tape member 65 are movable in the width direction of the extraction tape 15. The other configurations are substantially the same as those of the first embodiment shown in FIGS.

図7に示す第2の実施の形態において、図1乃至図6に示す第1の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。   In the second embodiment shown in FIG. 7, the same parts as those in the first embodiment shown in FIGS. 1 to 6 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.

本実施の形態では、剥離ヘッド14およびテープ部材65が、抜取テープ15の幅方向において移動可能となっている(図7参照)。なお、本実施の形態では、テープ部材供給リール2とテープ部材回収リール3の各々が、テープ部材65の幅方向(抜取テープ15の幅方向)において移動可能となることによって(図1参照)、テープ部材65が抜取テープ15の幅方向において移動可能となっている。ここで、案内リール21,22,31,32はテープ部材65の幅方向に延在しており、テープ部材供給リール2とテープ部材回収リール3がテープ部材65の幅方向に移動しても、このテープ部材65を案内することができるようになっている。   In the present embodiment, the peeling head 14 and the tape member 65 are movable in the width direction of the extraction tape 15 (see FIG. 7). In the present embodiment, each of the tape member supply reel 2 and the tape member recovery reel 3 is movable in the width direction of the tape member 65 (width direction of the sampling tape 15) (see FIG. 1). The tape member 65 is movable in the width direction of the extraction tape 15. Here, the guide reels 21, 22, 31, 32 extend in the width direction of the tape member 65, and even if the tape member supply reel 2 and the tape member collection reel 3 move in the width direction of the tape member 65, The tape member 65 can be guided.

本実施の形態でも、第1の実施の形態と同様の効果を奏することができ、主たる効果としては、以下の効果を奏することができる。   Also in this embodiment, the same effects as those of the first embodiment can be obtained, and the following effects can be obtained as main effects.

すなわち、上述のように、剥離ヘッド14およびテープ部材65が、抜取テープ15の幅方向において移動可能となっているので、剥離ヘッド14およびテープ部材65を、抜取テープ15に対して、抜取テープ15の幅方向に移動させることができる。このため、従来では使用できなかった幅方向で余った部分を有効に利用することができ、ひいては、抜取テープの交換頻度を低くすることができ、粘着装置の稼働効率を向上させることができる。   That is, as described above, since the peeling head 14 and the tape member 65 are movable in the width direction of the extraction tape 15, the separation head 14 and the tape member 65 are moved with respect to the extraction tape 15. It can be moved in the width direction. For this reason, the surplus part in the width direction which could not be used conventionally can be used effectively, and the replacement frequency of the sampling tape can be lowered, and the operating efficiency of the adhesive device can be improved.

本発明の第1の実施の形態による貼着装置の構成を示す概略側方図。The schematic side view which shows the structure of the sticking apparatus by the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1の実施の形態による剥離装置の一部を示す概略斜視図。The schematic perspective view which shows a part of peeling apparatus by the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1の実施の形態による貼着方法の流れを示すフロー図。The flowchart which shows the flow of the sticking method by the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1の実施の形態による剥離装置の抜取テープに貼り着いた粘着部を示した概略平面図。The schematic plan view which showed the adhesion part stuck to the extraction tape of the peeling apparatus by the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1の実施の形態による剥離装置によって、粘着部の不要な部分が剥離される様子を示した概略側方図。The schematic side view which showed a mode that the unnecessary part of the adhesion part was peeled by the peeling apparatus by the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1の実施の形態の変形例による剥離装置の構成を示す概略側方図。The schematic side view which shows the structure of the peeling apparatus by the modification of the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第2の実施の形態による剥離装置の一部を示す概略斜視図。The schematic perspective view which shows a part of peeling apparatus by the 2nd Embodiment of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1 基板支持部
2 テープ部材供給部
3 テープ部材回収部
6 加圧部
10 剥離装置
11 抜取テープ供給リール(抜取テープ供給部)
12 抜取テープ回収リール(抜取テープ回収部)
14 剥離ヘッド(剥離支持部)
15 抜取テープ
60 基板
65 テープ部材
66 粘着部
67 離型紙
35 切断部
45 送出量検出部
50 制御部
81 基板支持工程
82 テープ部材供給工程
83 切断工程
84 剥離工程
85 加圧工程
86 テープ部材回収工程
91 抜取テープ供給工程
92 上方位置づけ工程
93 下方位置づけ工程
95 抜取テープ移動工程
97 抜取テープ回収工程
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Board | substrate support part 2 Tape member supply part 3 Tape member collection | recovery part 6 Pressure part 10 Peeling apparatus 11 Extraction tape supply reel (extraction tape supply part)
12 Extraction tape recovery reel (extraction tape recovery part)
14 Peeling head (peeling support part)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 15 Extraction tape 60 Board | substrate 65 Tape member 66 Adhesive part 67 Release paper 35 Cutting part 45 Delivery amount detection part 50 Control part 81 Substrate support process 82 Tape member supply process 83 Cutting process 84 Separation process 85 Pressurization process 86 Tape member collection process 91 Extraction tape supply process 92 Upper positioning process 93 Lower positioning process 95 Extraction tape moving process 97 Extraction tape recovery process

Claims (7)

基板を支持する基板支持部と、
粘着部と離型紙とを有するテープ部材を、前記基板支持部に支持された基板上に送り出すテープ部材供給部と、
前記テープ部材供給部の下流側に配置され、テープ部材の離型紙を残して粘着部を切断する切断部と、
前記切断部の下流側に配置されるとともに、該切断部によって切断された粘着部のうち不要な部分を離型紙から剥離する抜取テープと、該抜取テープを支持する剥離支持部と、を有する剥離装置と、
前記剥離装置の下流側に配置され、該剥離装置によって不要な部分が剥離されたテープ部材を、前記基板に押しつけて粘着部を圧着する加圧部と、
前記加圧部の下流側に配置され、該加圧部によって加圧された後のテープ部材を回収するテープ部材回収部と、を備え、
前記剥離装置は、前記抜取テープを所定の供給方向に沿って送り出す抜取テープ供給部と、該抜取テープ供給部によって送り出された該抜取テープを回収する抜取テープ回収部とを有し、
前記抜取テープおよび前記剥離支持部の一方は、他方に対して、該抜取テープの供給方向に直交する方向において相対的に移動可能であることを特徴とする貼着装置。
A substrate support for supporting the substrate;
A tape member supply unit for feeding a tape member having an adhesive part and a release paper onto a substrate supported by the substrate support part;
A cutting unit that is arranged on the downstream side of the tape member supply unit, and cuts the adhesive unit leaving the release paper of the tape member;
A peeling unit that is arranged on the downstream side of the cutting part and has a sampling tape that peels an unnecessary part of the adhesive part cut by the cutting part from the release paper, and a peeling support part that supports the sampling tape. Equipment,
A pressure unit that is arranged on the downstream side of the peeling device and presses the tape member from which unnecessary portions are peeled off by the peeling device against the substrate, thereby pressing the adhesive portion;
A tape member collecting unit that is disposed on the downstream side of the pressurizing unit and collects the tape member after being pressurized by the pressurizing unit;
The peeling apparatus includes a sampling tape supply unit that sends out the sampling tape along a predetermined supply direction, and a sampling tape recovery unit that collects the sampling tape sent out by the sampling tape supply unit,
One of the said extraction tape and the said peeling support part can move relatively in the direction orthogonal to the supply direction of this extraction tape with respect to the other.
前記抜取テープは、該抜取テープの供給方向に直交する方向において移動可能であることを特徴とする請求項1に記載の貼着装置。   The sticking apparatus according to claim 1, wherein the extraction tape is movable in a direction orthogonal to a supply direction of the extraction tape. 前記剥離支持部および前記テープ部材は、前記抜取テープの供給方向に直交する方向において移動可能であることを特徴とする請求項1に記載の貼着装置。 The said peeling support part and the said tape member are movable in the direction orthogonal to the supply direction of the said extraction tape, The sticking apparatus of Claim 1 characterized by the above-mentioned. 前記剥離装置は、前記抜取テープ供給部によって送り出された抜取テープの送出量を検出する送出量検出部をさらに有することを特徴とする請求項1に記載の貼着装置。   The sticking apparatus according to claim 1, wherein the peeling device further includes a delivery amount detection unit that detects a delivery amount of the extraction tape delivered by the extraction tape supply unit. 前記抜取テープと前記剥離支持部との間の相対的な位置を制御する制御部をさらに備え、
前記制御部は、前記抜取テープ供給部からの前記抜取テープの送り出しを停止させた後、該抜取テープおよび前記剥離装置の一方を他方に対して該抜取テープの供給方向に直交する方向に相対的に移動させ、その後、前記抜取テープ供給部からの前記抜取テープの送り出しを再開させることを特徴とする請求項1に記載の貼着装置。
A control unit for controlling a relative position between the sampling tape and the peeling support unit;
The control unit stops the delivery of the extraction tape from the extraction tape supply unit, and then makes one of the extraction tape and the peeling device relative to the other in a direction orthogonal to the supply direction of the extraction tape. The sticking apparatus according to claim 1, wherein the feeding of the extraction tape from the extraction tape supply unit is resumed.
前記抜取テープと前記剥離支持部との間の相対的な位置を制御する制御部をさらに備え、
前記制御部は、前記抜取テープ供給部から前記抜取テープを送り出すときに、該抜取テープおよび前記剥離装置の一方を他方に対して該抜取テープの供給方向に直交する方向に相対的に移動させことを特徴とする請求項1に記載の貼着装置。
A control unit for controlling a relative position between the sampling tape and the peeling support unit;
When the control unit sends out the extraction tape from the extraction tape supply unit, the control unit moves one of the extraction tape and the peeling device relative to the other in a direction orthogonal to the supply direction of the extraction tape. The sticking apparatus according to claim 1.
基板支持部と、粘着部と離型紙とを有するテープ部材を送り出すテープ部材供給部と、該テープ部材供給部の下流側に配置された切断部と、該切断部の下流側に配置されて抜取テープを有する剥離装置と、該剥離装置の下流側に配置された加圧部と、該加圧部の下流側に配置されたテープ部材回収部と、を有し、該剥離装置が、該抜取テープを送り出す抜取テープ供給部と、該抜取テープ供給部によって送り出された該抜取テープを回収する抜取テープ回収部と、該抜取テープを支持する剥離支持部と、を含む、貼着装置を用いた貼着方法において、
前記基板支持部によって、基板を支持する基板支持工程と、
前記テープ部材供給部によって、前記テープ部材を前記基板支持部に支持された基板上に送り出すテープ部材供給工程と、
前記切断部によって、テープ部材の離型紙を残して粘着部を切断する切断工程と、
前記剥離装置の前記抜取テープによって、前記切断部により切断された粘着部のうち不要な部分を離型紙から剥離する剥離工程と、
前記加圧部によって、不要な部分が剥離されたテープ部材を前記基板に押しつけて粘着部を圧着する加圧工程と、
前記テープ部材回収部によって、加圧部により加圧された後のテープ部材を回収するテープ部材回収工程と、
前記抜取テープ供給部によって、前記抜取テープが所定の供給方向に沿って送り出される抜取テープ供給工程と、
前記抜取テープ回収部によって、抜取テープが回収される抜取テープ回収工程と、
前記抜取テープおよび前記剥離支持部の一方を、他方に対して、該抜取テープの供給方向に直交する方向において相対的に移動させる抜取テープ移動工程と、
を備えたことを特徴とする貼着方法。
A tape member supply section for feeding out a tape member having a substrate support section, an adhesive section and a release paper, a cutting section disposed on the downstream side of the tape member supply section, and a sampling section disposed on the downstream side of the cutting section. A peeling device having a tape, a pressure unit disposed on the downstream side of the peeling device, and a tape member collecting unit disposed on the downstream side of the pressure unit, and the peeling device includes the extraction device. A pasting device including a sampling tape supply unit for feeding out a tape, a sampling tape recovery unit for recovering the sampling tape sent out by the sampling tape supply unit, and a peeling support unit for supporting the sampling tape was used. In the sticking method,
A substrate supporting step for supporting the substrate by the substrate supporting portion;
A tape member supply step of feeding the tape member onto a substrate supported by the substrate support portion by the tape member supply portion;
A cutting step of cutting the adhesive portion leaving the release paper of the tape member by the cutting portion,
A peeling step of peeling an unnecessary part from the release paper of the adhesive part cut by the cutting part by the sampling tape of the peeling device;
A pressing step of pressing the adhesive member against the substrate by pressing the tape member from which unnecessary portions are peeled off by the pressing unit;
A tape member recovery step of recovering the tape member after being pressurized by the pressure unit by the tape member recovery unit;
A sampling tape supply step in which the sampling tape is fed out along a predetermined supply direction by the sampling tape supply unit,
A sampling tape recovery process in which the sampling tape is recovered by the sampling tape recovery unit,
A sampling tape moving step of moving one of the sampling tape and the peeling support portion relative to the other in a direction perpendicular to the supply direction of the sampling tape;
A sticking method characterized by comprising:
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