JP5116506B2 - 貼着装置および貼着方法 - Google Patents
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Description
基板を支持する基板支持部と、
粘着部と離型紙とを有するテープ部材を、前記基板支持部に支持された基板上に送り出すテープ部材供給部と、
前記テープ部材供給部の下流側に配置され、テープ部材の離型紙を残して粘着部を切断する切断部と、
前記切断部の下流側に配置されるとともに、該切断部によって切断された粘着部のうち不要な部分を離型紙から剥離する抜取テープと、該抜取テープを支持する剥離支持部と、を有する剥離装置と、
前記剥離装置の下流側に配置され、該剥離装置によって不要な部分が剥離されたテープ部材を、前記基板に押しつけて粘着部を圧着する加圧部と、
前記加圧部の下流側に配置され、該加圧部によって加圧された後のテープ部材を回収するテープ部材回収部と、を備え、
前記剥離装置が、前記抜取テープを所定の供給方向に沿って送り出す抜取テープ供給部と、該抜取テープ供給部によって送り出された該抜取テープを回収する抜取テープ回収部とを有し、
前記抜取テープおよび前記剥離支持部の一方が、他方に対して、該抜取テープの供給方向に直交する方向において相対的に移動可能になっている。
前記抜取テープは、該抜取テープの供給方向に直交する方向において移動可能であることが好ましい。
前記剥離支持部は、前記抜取テープの供給方向に直交する方向において移動可能であることが好ましい。
前記剥離装置は、前記抜取テープ供給部によって送り出された抜取テープの送出量を検出する送出量検出部をさらに有することが好ましい。
前記抜取テープと前記剥離支持部との間の相対的な位置を制御する制御部をさらに備え、
前記制御部は、前記抜取テープ供給部からの前記抜取テープの送り出しを停止させた後、該抜取テープおよび前記剥離装置の一方を他方に対して該抜取テープの供給方向に直交する方向に相対的に移動させ、その後、前記抜取テープ供給部からの前記抜取テープの送り出しを再開させることが好ましい。
前記抜取テープと前記剥離支持部との間の相対的な位置を制御する制御部をさらに備え、
前記制御部は、前記抜取テープ供給部から前記抜取テープを送り出すときに、該抜取テープおよび前記剥離装置の一方を他方に対して該抜取テープの供給方向に直交する方向に相対的に移動させことが好ましい。
基板支持部と、粘着部と離型紙とを有するテープ部材を送り出すテープ部材供給部と、該テープ部材供給部の下流側に配置された切断部と、該切断部の下流側に配置されて抜取テープを有する剥離装置と、該剥離装置の下流側に配置された加圧部と、該加圧部の下流側に配置されたテープ部材回収部と、を有し、該剥離装置が、該抜取テープを送り出す抜取テープ供給部と、該抜取テープ供給部によって送り出された該抜取テープを回収する抜取テープ回収部と、該抜取テープを支持する剥離支持部と、を含む、貼着装置を用いた貼着方法において、
前記基板支持部によって、基板を支持する基板支持工程と、
前記テープ部材供給部によって、前記テープ部材を前記基板支持部に支持された基板上に送り出すテープ部材供給工程と、
前記切断部によって、テープ部材の離型紙を残して粘着部を切断する切断工程と、
前記剥離装置の前記抜取テープによって、前記切断部により切断された粘着部のうち不要な部分を離型紙から剥離する剥離工程と、
前記加圧部によって、不要な部分が剥離されたテープ部材を前記基板に押しつけて粘着部を圧着する加圧工程と、
前記テープ部材回収部によって、加圧部により加圧された後のテープ部材を回収するテープ部材回収工程と、
前記抜取テープ供給部によって、前記抜取テープが所定の供給方向に沿って送り出される抜取テープ供給工程と、
前記抜取テープ回収部によって、抜取テープが回収される抜取テープ回収工程と、
前記抜取テープおよび前記剥離支持部の一方を、他方に対して、該抜取テープの供給方向に直交する方向において相対的に移動させる抜取テープ移動工程と、
を備えている。
以下、本発明に係る貼着装置および貼着方法の第1の実施の形態について、図面を参照して説明する。ここで、図1乃至図6は本発明の第1の実施の形態を示す図である。
次に、図7により、本発明の第2の実施の形態について説明する。図7に示す第2の実施の形態は、抜取テープ15が、抜取テープ15の幅方向において移動可能となる代わりに、剥離ヘッド14およびテープ部材65が、抜取テープ15の幅方向において移動可能となっているものであり、その他の構成は図1乃至図6に示す第1の実施の形態と略同一である。
2 テープ部材供給部
3 テープ部材回収部
6 加圧部
10 剥離装置
11 抜取テープ供給リール(抜取テープ供給部)
12 抜取テープ回収リール(抜取テープ回収部)
14 剥離ヘッド(剥離支持部)
15 抜取テープ
60 基板
65 テープ部材
66 粘着部
67 離型紙
35 切断部
45 送出量検出部
50 制御部
81 基板支持工程
82 テープ部材供給工程
83 切断工程
84 剥離工程
85 加圧工程
86 テープ部材回収工程
91 抜取テープ供給工程
92 上方位置づけ工程
93 下方位置づけ工程
95 抜取テープ移動工程
97 抜取テープ回収工程
Claims (7)
- 基板を支持する基板支持部と、
粘着部と離型紙とを有するテープ部材を、前記基板支持部に支持された基板上に送り出すテープ部材供給部と、
前記テープ部材供給部の下流側に配置され、テープ部材の離型紙を残して粘着部を切断する切断部と、
前記切断部の下流側に配置されるとともに、該切断部によって切断された粘着部のうち不要な部分を離型紙から剥離する抜取テープと、該抜取テープを支持する剥離支持部と、を有する剥離装置と、
前記剥離装置の下流側に配置され、該剥離装置によって不要な部分が剥離されたテープ部材を、前記基板に押しつけて粘着部を圧着する加圧部と、
前記加圧部の下流側に配置され、該加圧部によって加圧された後のテープ部材を回収するテープ部材回収部と、を備え、
前記剥離装置は、前記抜取テープを所定の供給方向に沿って送り出す抜取テープ供給部と、該抜取テープ供給部によって送り出された該抜取テープを回収する抜取テープ回収部とを有し、
前記抜取テープおよび前記剥離支持部の一方は、他方に対して、該抜取テープの供給方向に直交する方向において相対的に移動可能であることを特徴とする貼着装置。 - 前記抜取テープは、該抜取テープの供給方向に直交する方向において移動可能であることを特徴とする請求項1に記載の貼着装置。
- 前記剥離支持部および前記テープ部材は、前記抜取テープの供給方向に直交する方向において移動可能であることを特徴とする請求項1に記載の貼着装置。
- 前記剥離装置は、前記抜取テープ供給部によって送り出された抜取テープの送出量を検出する送出量検出部をさらに有することを特徴とする請求項1に記載の貼着装置。
- 前記抜取テープと前記剥離支持部との間の相対的な位置を制御する制御部をさらに備え、
前記制御部は、前記抜取テープ供給部からの前記抜取テープの送り出しを停止させた後、該抜取テープおよび前記剥離装置の一方を他方に対して該抜取テープの供給方向に直交する方向に相対的に移動させ、その後、前記抜取テープ供給部からの前記抜取テープの送り出しを再開させることを特徴とする請求項1に記載の貼着装置。 - 前記抜取テープと前記剥離支持部との間の相対的な位置を制御する制御部をさらに備え、
前記制御部は、前記抜取テープ供給部から前記抜取テープを送り出すときに、該抜取テープおよび前記剥離装置の一方を他方に対して該抜取テープの供給方向に直交する方向に相対的に移動させことを特徴とする請求項1に記載の貼着装置。 - 基板支持部と、粘着部と離型紙とを有するテープ部材を送り出すテープ部材供給部と、該テープ部材供給部の下流側に配置された切断部と、該切断部の下流側に配置されて抜取テープを有する剥離装置と、該剥離装置の下流側に配置された加圧部と、該加圧部の下流側に配置されたテープ部材回収部と、を有し、該剥離装置が、該抜取テープを送り出す抜取テープ供給部と、該抜取テープ供給部によって送り出された該抜取テープを回収する抜取テープ回収部と、該抜取テープを支持する剥離支持部と、を含む、貼着装置を用いた貼着方法において、
前記基板支持部によって、基板を支持する基板支持工程と、
前記テープ部材供給部によって、前記テープ部材を前記基板支持部に支持された基板上に送り出すテープ部材供給工程と、
前記切断部によって、テープ部材の離型紙を残して粘着部を切断する切断工程と、
前記剥離装置の前記抜取テープによって、前記切断部により切断された粘着部のうち不要な部分を離型紙から剥離する剥離工程と、
前記加圧部によって、不要な部分が剥離されたテープ部材を前記基板に押しつけて粘着部を圧着する加圧工程と、
前記テープ部材回収部によって、加圧部により加圧された後のテープ部材を回収するテープ部材回収工程と、
前記抜取テープ供給部によって、前記抜取テープが所定の供給方向に沿って送り出される抜取テープ供給工程と、
前記抜取テープ回収部によって、抜取テープが回収される抜取テープ回収工程と、
前記抜取テープおよび前記剥離支持部の一方を、他方に対して、該抜取テープの供給方向に直交する方向において相対的に移動させる抜取テープ移動工程と、
を備えたことを特徴とする貼着方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2008044570A JP5116506B2 (ja) | 2008-02-26 | 2008-02-26 | 貼着装置および貼着方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2008044570A JP5116506B2 (ja) | 2008-02-26 | 2008-02-26 | 貼着装置および貼着方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2009202963A JP2009202963A (ja) | 2009-09-10 |
| JP5116506B2 true JP5116506B2 (ja) | 2013-01-09 |
Family
ID=41145617
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2008044570A Active JP5116506B2 (ja) | 2008-02-26 | 2008-02-26 | 貼着装置および貼着方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| JP (1) | JP5116506B2 (ja) |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP4273023B2 (ja) * | 2004-03-09 | 2009-06-03 | 株式会社日立プラントテクノロジー | フィルム貼付方法とその装置 |
| JP4727513B2 (ja) * | 2006-06-26 | 2011-07-20 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 粘着性テープの貼着装置及び貼着方法 |
-
2008
- 2008-02-26 JP JP2008044570A patent/JP5116506B2/ja active Active
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