JP5196738B2 - カラーフィルタ用着色硬化性組成物、カラーフィルタ、及びその製造方法 - Google Patents
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Description
液晶ディスプレイは、表示装置としてCRTと比較すると、コンパクトであり、且つ、性能面では同等以上であることから、テレビ画面、パソコン画面、その他の表示装置としてCRTに置き換わりつつある。また、近年では、液晶ディスプレイの開発の動向は、画面が比較的小面積であった従来のモニター用途から、画面が大型で高度な画質が求められるTV用途に向かいつつある。
さらに、本発明の他の目的は、本発明の硬化性組成物を用いてなる解像力と支持体との密着性に優れた着色パターンを備えるカラーフィルタ、及び、該カラーフィルタを高い生産性で製造しうる製造方法を提供することにある。
<2> 前記一般式(A)におけるXが、加水分解によりシラノール基を生成する置換基である<1>に記載のカラーフィルタ用着色硬化性組成物。
<3> 前記硬質材料が、ガラス基板またはシリコン基板である<1>又は<2>に記載のカラーフィルタ用着色硬化性組成物。
<4> 前記(C)400nmから700nmの可視波長領域に極大吸収を有する着色剤の含有量が硬化性組成物の全固形分中、20質量%〜80質量%であることを特徴とする<1>乃至<3>のいずれか1つに記載のカラーフィルタ用着色硬化性組成物。
<5> 前記(C)400nmから700nmの可視波長領域に極大吸収を有する着色剤が、染料であるか、或いは、C.I.ピグメント イエロー 11, 24, 31, 53, 83, 93, 99, 108, 109, 110, 138, 139, 147, 150, 151, 154, 155, 167, 180, 185, 199, ;C.I.ピグメント オレンジ36, 38, 43, 71;C.I.ピグメント レッド81, 105, 122, 149, 150, 155, 171, 175, 176, 177,209, 220, 224, 242, 254, 255, 264, 270;C.I.ピグメント バイオレット 19, 23, 32, 39;C.I.ピグメント ブルー 1, 2, 15, 15:1, 15:3, 15:6, 16, 22, 60, 66;C.I.ピグメント グリーン 7, 36, 37;及びC.I.ピグメント ブラウン 25, 28から選ばれる有機顔料であることを特徴とする<1>乃至<4>のいずれか1つに記載のカラーフィルタ用着色硬化性組成物。
<6> (A)分子内に、複数のエチレン性不飽和二重結合と、酸基、酸のエステル基、酸オニウム塩、酸金属塩、加水分解によりシラノール基を生成する置換基、オニウム基、フェノール性水酸基、両性イオン性基、及びキレート性基からなる群から選ばれる部分構造を有する硬質材料への密着性基の1種以上と、を有する後述の一般式(A)で表されるラジカル重合性化合物、(B)トリハロメチルトリアジン系化合物、及びオキシム系化合物から選ばれる光重合開始剤、及び(C)400nmから700nmの可視波長領域に極大吸収を有する溶剤可溶性染料を含有することを特徴とするカラーフィルタ用着色硬化性組成物(但し、黒色顔料を含有するブラックマトリックス用着色硬化性組成物を除く。)。
<7> 前記一般式(A)におけるXが、加水分解によりシラノール基を生成する置換基である<6>に記載のカラーフィルタ用着色硬化性組成物。
<8> 前記硬質材料が、ガラス基板またはシリコン基板である<6>又は<7>に記載のカラーフィルタ用着色硬化性組成物。
<9> 前記(C)400nmから700nmの可視波長領域に極大吸収を有する溶剤可溶性染料の含有量が硬化性組成物の全固形分中、20質量%〜80質量%であることを特徴とする<6>乃至<8>のいずれか1つに記載のカラーフィルタ用着色硬化性組成物。
<10> (A)分子内に、複数のエチレン性不飽和二重結合と、加水分解によりシラノール基を生成する置換基であるガラス基板またはシリコン基板への密着性基と、を有するラジカル重合性化合物、(B)トリハロメチルトリアジン系化合物、及びオキシム系化合物から選ばれる光重合開始剤、及び(C)400nmから700nmの可視波長領域に極大吸収を有する着色剤を含有することを特徴とするカラーフィルタ用着色硬化性組成物。
<11> 前記(C)400nmから700nmの可視波長領域に極大吸収を有する着色剤の含有量が硬化性組成物の全固形分中、20質量%〜80質量%であることを特徴とする<10>に記載のカラーフィルタ用着色硬化性組成物。
<12> 前記(C)400nmから700nmの可視波長領域に極大吸収を有する着色剤が、染料であるか、或いは、C.I.ピグメント イエロー 11, 24, 31, 53, 83, 93, 99, 108, 109, 110, 138, 139, 147, 150, 151, 154, 155, 167, 180, 185, 199, ;C.I.ピグメント オレンジ36, 38, 43, 71;C.I.ピグメント レッド81, 105, 122, 149, 150, 155, 171, 175, 176, 177,209, 220, 224, 242, 254, 255, 264, 270;C.I.ピグメント バイオレット 19, 23, 32, 39;C.I.ピグメント ブルー 1, 2, 15, 15:1, 15:3, 15:6, 16, 22, 60, 66;C.I.ピグメント グリーン 7, 36, 37;C.I.ピグメント ブラウン 25, 28;C.I.ピグメント ブラック 1, 7;及びカーボンブラックから選ばれる有機顔料であることを特徴とする<10>又は<11>に記載のカラーフィルタ用着色硬化性組成物。
<13> 支持体上に<1>から<12>のいずれか1つに記載のカラーフィルタ用着色硬化性組成物を用いてなる着色パターンを有することを特徴とするカラーフィルタ。
<14> 支持体上に、<1>から<12>のいずれか1つに記載のカラーフィルタ用着色硬化性組成物を塗布して着色硬化性組成物層を形成する工程と、前記着色硬化性組成物層をマスクを介して露光する工程と、露光後の前記着色硬化性組成物層を現像して着色パターンを形成する工程と、を含むことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
さらに、本発明によれば、前記本発明の硬化性組成物を用いることで、解像力と支持体との密着性に優れた着色パターンを備えるカラーフィルタ、及び、該カラーフィルタを高い生産性で製造しうる製造方法を提供することができる。
[硬化性組成物]
本発明の硬化性組成物は、分子内に、複数のエチレン性不飽和二重結合と、酸基、酸のエステル基、酸オニウム塩、酸金属塩、加水分解によりシラノール基を生成する置換基、オニウム基、フェノール性水酸基、両性イオン性基、及びキレート性基からなる群から選ばれる部分構造を有する硬質材料への密着性基の1種以上を有するラジカル重合性化合物(以下、適宜、(A)特定重合性化合物と称する)と、(B)トリハロメチルトリアジン系化合物、及びオキシム系化合物から選ばれる光重合開始剤と、(C)400nmから700nmの可視波長領域に極大吸収を有する着色剤と、を含有することを特徴とする。
先ず、本発明の硬化性組成物の必須成分である、上記(A)及び(B)成分について説明する。
本発明に用いることができる(A)特定重合性化合物は、少なくとも1個のエチレン性不飽和二重結合を有する付加重合性化合物であり、かつ、分子内に前記硬質材料への密着性基を有する化合物である。
エチレン性不飽和結合としてはビニル基、不飽和カルボン酸(例えば、(メタ)アクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、イソクロトン酸、マレイン酸など)や不飽和ホスホン酸のエステル類やアミド類、スチレン、ビニルエーテル等が挙げられ、中でも(メタ)アクリル酸が好ましい。
本発明の(A)特定重合性化合物は、上記エチレン性不飽和結合を少なくとも1個、好ましくは2個以上、より好ましくは3個以上、更に好ましくは4個以上、最も好ましくは5個以上有する化合物であり、かつ、以下に詳述する硬質材料への密着性基を少なくとも1つ有する化合物である。
即ち、(A)特定重合性化合物は、エチレン性不飽和二重結合基に加えて、この本発明の硬化性組成物が適用される硬質材料表面との密着性を向上しうる前記特定の密着性基を有することを特徴とする。
(A)特定重合性化合物は硬化性組成物が適用される硬質材料の特性により、どのような密着性基を導入するかを適宜選択する。
なかでも、相互作用の強度の観点からイオン結合、多点水素結合、共有結合を形成可能な置換基が好ましい。なかでも、アンモニウム基、ホスホン酸基およびそのエステル基、アルコキシシリル基からなる群から選ばれる官能基を有することが、基板との相互作用の強度に由来する基板密着性の観点に加え、未露光部の現像性、露光部の膜強度の観点から好ましい。
このような連結基には、さらに置換基を有していてもよく、Lの連結基に導入可能な置換基としては、例えば脂肪族基、芳香族基、ヘテロ環基、ハロゲン原子、ヒドロキシル基、チオール基、シアノ基、ニトロ基、脂肪族オキシ基、芳香族オキシ基、ヘテロ環オキシ基、脂肪族チオ基、芳香族チオ基、ヘテロ環チオ基、脂肪族スルホンアミド基、芳香族スルホンアミド基、ヘテロ環スルホンアミド基、アシル基、アシルオキシ基、アシルアミノ基、脂肪族オキシカルボニル基、芳香族オキシカルボニル基、ヘテロ環オキシカルボニル基、脂肪族オキシカルボニルアミノ基、芳香族オキシカルボニルアミノ基、ヘテロ環オキシカルボニルアミノ基、脂肪族チオカルボニルアミノ基、芳香族チオカルボニルアミノ基、ヘテロ環チオカルボニルアミノ基、脂肪族アミノカルボニルアミノ基、芳香族アミノカルボニルアミノ基、ヘテロ環アミノカルボニルアミノ基、カルバモイル基、カルバモイルオキシ基、カルバモイルアミノ基、脂肪族スルホニル基、芳香族スルホニル基、ヘテロ環スルホニル基、脂肪族オキシアミノ基、芳香族オキシアミノ基、ヘテロ環オキシアミノ基、シリル基、脂肪族オキシシリル基、シリルオキシ基、脂肪族オキシカルボニルオキシ基、芳香族オキシカルボニルオキシ基、ヘテロ環オキシカルボニルオキシ基、スルファモイルオキシ基、脂肪族スルホニルオキシ基、芳香族スルホニルオキシ基、アニリノ基、脂肪族アゾ基、芳香族アゾ基、ヘテロ環アゾ基、脂肪族スルフィニル基、芳香族スルフィニル基、ヘテロ環スルフィニル基、脂肪族スルホニルオキシ基、芳香族スルホニルオキシ基、ヘテロ環スルホニルオキシ基、スルファモイル基、スルホ基、ホスホニル基、ホスフィノイルアミノ基が挙げられる。
Mで表される構造の中で、特にエチレン性二重結合性基をアクリロイル基とした場合の具体例〔(M−1)〜(M−11)〕を以下に示すが、これに限られるものではない。さらに、アクリロイル基は上記のアクリロイル基以外の置換基に置き換えることができる。また、Mで表される構造内に互いに異なる2以上のエチレン性二重結合性基を有していてもよい。
前記一般式(A)におけるXは、mが2である場合には、下記式で表される2価の官能基からなる群より選択されることが好ましい。
前記一般式(A)におけるXは、mが3である場合には、下記式で表される3価の官能基からなる群より選択されることが好ましい。
前記一般式(A)のXが部分構造としてカウンターアニオンを有する場合、これらのカウンターアニオンX−としては、例えば、フッ素アニオン、塩素アニオン、臭素アニオン、ヨウ素アニオン、などのハロゲンアニオン;酢酸アニオン、トリフルオロ酢酸アニオン、硫酸アニオン、硫酸水素アニオン、メタンスルホン酸アニオン、トリフルオロメタン硫酸アニオン、過塩素酸アニオン、テトラフルオロボレートアニオン、ヘキサフルオロホスフェートアニオン、ヘキサクロロアンチモネートアニオン、ヘキサフルオロアンチモネートアニオン、などを挙げることができる。これらの中でも、当該化合物の溶解性および安定性の点から、ハロゲンアニオン、トリフルオロメタンスルホン酸アニオン、メタンスルホン酸アニオン、硫酸アニオン、硫酸水素アニオン、テトラフルオロボレートアニオン、およびヘキサフルオロホスフェートアニオン等が好ましい。カウンターアニオンX−としては、mが1〜3のいずれの場合であっても同様のものが例示される。
次に、一般式(A)で表される(A)特定重合性化合物の合成法の例を示すが、合成法はこれに限定されるものではない。
一般式(A)で表される(A)特定重合性化合物の合成法としては、イソシアネート基や、エポキシ基等の親電子性置換基を有する不飽和カルボン酸エステル或いはアミド類と、密着性基を有する単官能若しくは多官能のアルコール類、アミン類、チオール類との付加反応、更にハロゲン基や、トシルオキシ基等の脱離性置換基を有する不飽和カルボン酸エステル或いはアミド類と、密着性基を有する単官能若しくは多官能のアルコール類、アミン類、チオール類との置換反応が挙げられる。また、イソシアネート基や、エポキシ基等の親電子性置換基を有し、かつ密着性基を有する化合物と、水酸基、アミノ基またはメルカプト基を有し、かつ、少なくとも1個以上のエチレン性二重結合を有する化合物との付加反応が挙げられる。更に、一般式(A)で表される(A)特定重合性化合物は、密着性基を有するアミン類、チオール類の、2個以上のエチレン性二重結合を有する化合物へのマイケル付加反応によっても合成できる。
感度の点では1分子あたりの不飽和基含量が多い構造が好ましく、多くの場合、2官能以上が好ましい。また、硬化膜の強度を高くするためには、3官能以上のものがよく、更に、異なる官能数・異なる重合性基(例えばアクリル酸エステル、メタクリル酸エステル、スチレン系化合物、ビニルエーテル系化合物)のものを併用することで、感度と強度の両方を調節する方法も有効である。
また、二酢酸セルロース、三酢酸セルロース、プロピオン酸セルロース、酪酸セルロース、酢酸酪酸セルロース、硝酸セルロースなどのセルロース系素材を用いるには、アンモニウム基、ホスホン酸またはそのエステル基などの密着性基を、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン、ポリスチレン、ポリプロピレン、ポリカーボネート、ポリビニルアセタールなどの合成樹脂を硬質材料として用いる場合には、ホスホン酸またはそのエステル基などの密着性基を選択することが好ましい。
本発明に用いることができる、密着性基を有しない一般的なラジカル重合性化合物(E)としては、当該産業分野においてエチレン性不飽和二重結合を有する化合物として広く知られる化合物を特に限定無く用いることができる。これらは、例えばモノマー、プレポリマー、すなわち2量体、3量体及びオリゴマー、又はそれらの混合物ならびにそれらの共重合体などの化学的形態をもつ。モノマー及びその共重合体の例としては、不飽和カルボン酸(例えば、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、イソクロトン酸、マレイン酸など)や、そのエステル類、アミド類が挙げられ、好ましくは、不飽和カルボン酸と脂肪族多価アルコール化合物とのエステル、不飽和カルボン酸と脂肪族多価アミン化合物とのアミド類が用いられる。また、ヒドロキシル基やアミノ基、メルカプト基等の求核性置換基を有する不飽和カルボン酸エステル或いはアミド類と単官能若しくは多官能イソシアネート類或いはエポキシ類との付加反応物、及び単官能若しくは、多官能のカルボン酸との脱水縮合反応物等も好適に使用される。また、イソシアネート基や、エポキシ基等の親電子性置換基を有する不飽和カルボン酸エステル或いはアミド類と単官能若しくは多官能のアルコール類、アミン類、チオール類との付加反応物、更にハロゲン基や、トシルオキシ基等の脱離性置換基を有する不飽和カルボン酸エステル或いはアミド類と単官能若しくは多官能のアルコール類、アミン類、チオール類との置換反応物も好適である。また、別の例として、上記の不飽和カルボン酸の代わりに、不飽和ホスホン酸、スチレン、ビニルエーテル等に置き換えた化合物群を使用することも可能である。
(ただし、R1及びR2は、H又はCH3を示す。)
特に、本発明の硬化性組成物をカラーフィルタの着色パターン形成に使用する場合には前記含有量の範囲において5〜50%であることが好ましく、7〜40%であることがより好ましく、10〜35%であることが更に好ましい。
また、(E)エチレン性二重結合を有する併用可能な重合性化合物と(A)特定重合性化合物との合計質量に対する(B)光重合開始剤質量比〔(B)/(A)+(E)〕が、0.1以上0.8以下であることが好ましく、0.2以上0.7以下であることがより好ましく、0.3以上0.6以下であることが最も好ましい。
これら(A)成分及び(E)その他のラジカル重合性化合物は、酸素に対する重合阻害の大小、解像度、かぶり性、屈折率変化、表面粘着性等の観点から適切な構造、配合、添加量を任意に選択できる。
本発明の硬化性組成物は、(B)トリハロメチルトリアジン系化合物、及びオキシム系化合物から選ばれる光重合開始剤を含有する。
本発明における光重合開始剤は、光により分解し、前記(A)特定ラジカル重合性化合物の重合を開始、促進する化合物であり、波長300〜500nmの領域に吸収を有するものであることが好ましい。また、光重合開始剤は、単独で、又は2種以上を併用して用いることができる。
本発明の着色硬化性組成物は(C)着色剤を含有する。着色硬化性組成物に着色剤を用いることで、硬化性組成物からなる有色の硬化体を形成することができ、カラーフィルタの着色パターン形成に適用される。
本発明の硬化性組成物に所望により添加される着色剤には特に制限はなく、従来公知の種々の染料や顔料を1種又は2種以上混合して用いることができる。該着色剤としては、
耐熱性、耐光性等の耐久性の観点から、顔料であることが好ましい。
C.I.ピグメント イエロー 11, 24, 31, 53, 83, 93, 99, 108, 109, 110, 138, 139, 147, 150, 151, 154, 155, 167, 180, 185, 199, ;
C.I.ピグメント オレンジ36, 38, 43, 71;
C.I.ピグメント レッド81, 105, 122, 149, 150, 155, 171, 175, 176, 177,209, 220, 224, 242, 254, 255, 264, 270;
C.I.ピグメント バイオレット 19, 23, 32, 39;
C.I.ピグメント ブルー 1, 2, 15, 15:1, 15:3, 15:6, 16, 22, 60, 66;
C.I.ピグメント グリーン 7, 36, 37;
C.I.ピグメント ブラウン 25, 28;
C.I.ピグメント ブラック 1, 7;
カーボンブラック等を挙げることができる。
C.I.ピグメント オレンジ36, 71,
C.I.ピグメント レッド 122, 150, 171, 175, 177, 209, 224, 242, 254, 255, 264,
C.I.ピグメント バイオレット 19, 23, 32,
C.I.ピグメント ブルー 15:1, 15:3, 15:6, 16, 22, 60, 66,
C.I.ピグメント ブラック 1
本発明の硬化性組成物に含有される着色剤として使用できる染料は、特に制限はなく、従来カラーフィルタ用として公知の染料が使用できる。例えば、特開昭64−90403号公報、特開昭64−91102号公報、特開平1−94301号公報、特開平6−11614号公報、特登2592207号、米国特許第4,808,501号明細書、米国特許第5,667,920号明細書、米国特許第5,059,500号明細書、特開平5−333207号公報、特開平6−35183号公報、特開平6−51115号公報、特開平6−194828号公報、特開平8−211599号公報、特開平4−249549号公報、特開平10−123316号公報、特開平11−302283号公報、特開平7−286107号公報、特開2001−4823号公報、特開平8−15522号公報、特開平8−29771号公報、特開平8−146215号公報、特開平11−343437号公報、特開平8−62416号公報、特開2002−14220号公報、特開2002−14221号公報、特開2002−14222号公報、特開2002−14223号公報、特開平8−302224号公報、特開平8−73758号公報、特開平8−179120号公報、特開平8−151531号公報等に開示されている色素が使用できる。
その他、直接染料、塩基性染料、媒染染料、酸性媒染染料、アゾイック染料、分散染料、油溶染料、食品染料、および/または、これらの誘導体等も有用に使用することができる。
acid alizarin violet N;
acid black 1,2,24,48;
acid blue 1,7,9,15,18,23,25,27,29,40,42,45,51,62,70,74,80,83,86,87,90,92,96,103,112,113,120,129,138,147,150,158,171,182,192,210,242,243,256,259,267,278,280,285,290,296,315,324:1,335,340;
acid chrome violet K;
acid Fuchsin;
acid green 1,3,5,9,16,25,27,50,58,63,65,80,104,105,106,109;
acid orange 6,7,8,10,12,26,50,51,52,56,62,63,64,74,75,94,95107,108,169,173;
acid violet 6B,7,9,17,19;
acid yellow 1,3,7,9,11,17,23,25,29,34,36,38,40,42,54,65,72,73,76,79,98,99,111,112,113,114,116,119,123,128,134,135,138,139,140,144,150,155,157,160,161,163,168,169,172,177,178,179,184,190,193,196,197,199,202,203,204,205,207,212,214,220,221,228,230,232,235,238,240,242,243,251;
Direct Orange 34,39,41,46,50,52,56,57,61,64,65,68,70,96,97,106,107;
Direct Red 79,82,83,84,91,92,96,97,98,99,105,106,107,172,173,176,177,179,181,182,184,204,207,211,213,218,220,221,222,232,233,234,241,243,246,250;
Direct Violet 47,52,54,59,60,65,66,79,80,81,82,84,89,90,93,95,96,103,104;
Direct Green 25,27,31,32,34,37,63,65,66,67,68,69,72,77,79,82;
Mordant Yellow 5,8,10,16,20,26,30,31,33,42,43,45,56,50,61,62,65;
Mordant Orange 3,4,5,8,12,13,14,20,21,23,24,28,29,32,34,35,36,37,42,43,47,48;
Mordant Violet 2,4,5,7,14,22,24,30,31,32,37,40,41,44,45,47,48,53,58;
Mordant Blue 2,3,7,8,9,12,13,15,16,19,20,21,22,23,24,26,30,31,32,39,40,41,43,44,48,49,53,61,74,77,83,84;
Mordant Green 1,3,4,5,10,15,19,26,29,33,34,35,41,43,53;
Food Yellow 3;
及びこれらの染料の誘導体が挙げられる。
acid blue 23,25,29,62,80,86,87,92,138,158,182,243,324:1;
acid orange 8,51,56,74,63;
acid red 1,4,8,34,37,42,52,57,80,97,114,143,145,151,183,217,249;
acid violet 7;
acid yellow 17,25,29,34,42,72,76,99,111,112,114,116,134,155,169,172,184,220,228,230,232,243;
Acid Green 25等の染料およびこれらの染料の誘導体が好ましい。
また、上記以外の、アゾ系、キサンテン系、フタロシアニン系の酸性染料も好ましく、C.I.Solvent Blue 44、38;C.I.Solvent orange 45;Rhodamine B、Rhodamine 110等の酸性染料およびこれらの染料の誘導体も好ましく用いられる。
本発明の硬化性組成物はカラーフィルタの着色パターン形成に使用するため、着色剤の含有量は前記含有量の範囲において、20質量%以上であることが好ましく、さらに好ましくは、30質量%以上である。
着色剤が少なすぎると、本発明の硬化性組成物によるカラーフィルタは適度な色度が得られなくなる傾向がある。一方、多すぎると光硬化が充分に進まず膜としての強度が低下したり、また、アルカリ現像の際の現像ラチチュードが狭くなる傾向がある。
本発明の硬化性組成物が(C)着色剤として顔料を含有する場合、該顔料の分散性を向上させる観点から、(D)分散剤を添加することが好ましい。
高分子分散剤は、その構造からさらに直鎖状高分子、末端変性型高分子、グラフト型高分子、ブロック型高分子に分類することができる。
具体的には、高分子分散剤を用いる場合であれば、その使用量としては、顔料に対して、5〜100質量%の範囲が好ましく、10〜80質量%の範囲がより好ましい。また、顔料誘導体を使用する場合であれば、その使用量としては、顔料に対し1〜30質量%の範囲にあることが好ましく、3〜20質量%の範囲にあることがより好ましく、5〜15質量%の範囲にあることが特に好ましい。
本発明の硬化性組成物は、ラジカル開始剤のラジカル発生効率の向上、感光波長の長波長化の目的で、(F)増感剤を含有していてもよい。本発明に用いることができる増感剤としては、前記した光重合開始剤に対し、電子移動機構又はエネルギー移動機構で増感させるものが好ましい。
好ましい増感剤の例としては、以下の化合物類に属しており、かつ330nmから450nm域に吸収波長を有するものを挙げることができる。
例えば、多核芳香族類(例えば、フェナントレン、アントラセン、ピレン、ペリレン、トリフェニレン、9,10−ジアルコキシアントラセン)、キサンテン類(例えば、フルオレッセイン、エオシン、エリスロシン、ローダミンB、ローズベンガル)、チオキサントン類(イソプロピルチオキサントン、ジエチルチオキサントン、クロロチオキサントン)、シアニン類(例えばチアカルボシアニン、オキサカルボシアニン)、メロシアニン類(例えば、メロシアニン、カルボメロシアニン)、フタロシアニン類、チアジン類(例えば、チオニン、メチレンブルー、トルイジンブルー)、アクリジン類(例えば、アクリジンオレンジ、クロロフラビン、アクリフラビン)、アントラキノン類(例えば、アントラキノン)、スクアリウム類(例えば、スクアリウム)、アクリジンオレンジ、クマリン類(例えば、7−ジエチルアミノ−4−メチルクマリン)、ケトクマリン、フェノチアジン類、フェナジン類、スチリルベンゼン類、アゾ化合物、ジフェニルメタン、トリフェニルメタン、ジスチリルベンゼン類、カルバゾール類、ポルフィリン、スピロ化合物、キナクリドン、インジゴ、スチリル、ピリリウム化合物、ピロメテン化合物、ピラゾロトリアゾール化合物、ベンゾチアゾール化合物、バルビツール酸誘導体、チオバルビツール酸誘導体、アセトフェノン、ベンゾフェノン、チオキサントン、ミヒラーズケトンなどの芳香族ケトン化合物、N−アリールオキサゾリジノンなどのヘテロ環化合物などが挙げられる。
等が挙げられ、更に欧州特許第568,993号明細書、米国特許第4,508,811号明細書、同5,227,227号明細書、特開2001−125255号公報、特開平11−271969号公報等に記載の化合物等などが挙げられる。
本発明の硬化性組成物中における増感剤の含有量は、深部への光吸収効率と開始分解効率の観点から、固形分換算で、0.1〜20質量%であることが好ましく、0.5〜15質量%がより好ましい。
本発明の硬化性組成物においては、皮膜特性向上などの目的で、必要に応じて、さらにバインダーポリマーを使用することができる。バインダーとしては線状有機ポリマーを用いることが好ましい。このような「線状有機ポリマー」としては、公知のものを任意に使用できる。好ましくは水現像あるいは弱アルカリ水現像を可能とするために、水あるいは弱アルカリ水に可溶性又は膨潤性である線状有機ポリマーが選択される。線状有機ポリマーは、皮膜形成剤としてだけでなく、水、弱アルカリ水あるいは有機溶剤現像剤としての用途に応じて選択使用される。例えば、水可溶性有機ポリマーを用いると水現像が可能になる。このような線状有機ポリマーとしては、側鎖にカルボン酸基を有するラジカル重合体、例えば特開昭59−44615号、特公昭54−34327号、特公昭58−12577号、特公昭54−25957号、特開昭54−92723号、特開昭59−53836号、特開昭59−71048号に記載されているもの、すなわち、カルボキシル基を有するモノマーを単独あるいは共重合させた樹脂、酸無水物を有するモノマーを単独あるいは共重合させ酸無水物ユニットを加水分解もしくはハーフエステル化もしくはハーフアミド化させた樹脂、エポキシ樹脂を不飽和モノカルボン酸および酸無水物で変性させたエポキシアクリレート等が挙げられる。カルボキシル基を有するモノマーとしては、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、マレイン酸、フマル酸、4-カルボキシルスチレン等があげられ、酸無水物を有するモノマーとしては、無水マレイン酸等が挙げられる。
また同様に側鎖にカルボン酸基を有する酸性セルロース誘導体がある。この他に水酸基を有する重合体に環状酸無水物を付加させたものなどが有用である。
(2)アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル酸プロピル、アクリル酸ブチル、アクリル酸イソブチル、アクリル酸アミル、アクリル酸ヘキシル、アクリル酸2-エチルヘキシル、アクリル酸オクチル、アクリル酸ベンジル、アクリル酸−2−クロロエチル、グリシジルアクリレート、3,4−エポキシシクロヘキシルメチルアクリレート、ビニルアクリレート、2−フェニルビニルアクリレート、1−プロペニルアクリレート、アリルアクリレート、2−アリロキシエチルアクリレート、プロパルギルアクリレート等のアルキルアクリレート。
(4)アクリルアミド、メタクリルアミド、N−メチロールアクリルアミド、N−エチルアクリルアミド、N−ヘキシルメタクリルアミド、N−シクロヘキシルアクリルアミド、N−ヒドロキシエチルアクリルアミド、N−フェニルアクリルアミド、N−ニトロフェニルアクリルアミド、N−エチル−N−フェニルアクリルアミド、ビニルアクリルアミド、ビニルメタクリルアミド、N,N−ジアリルアクリルアミド、N,N−ジアリルメタクリルアミド、アリルアクリルアミド、アリルメタクリルアミド等のアクリルアミド若しくはメタクリルアミド。
(6)ビニルアセテート、ビニルクロロアセテート、ビニルブチレート、安息香酸ビニル等のビニルエステル類。
(7)スチレン、α−メチルスチレン、メチルスチレン、クロロメチルスチレン、p−アセトキシスチレン等のスチレン類。
(8)メチルビニルケトン、エチルビニルケトン、プロピルビニルケトン、フェニルビニルケトン等のビニルケトン類。
(9)エチレン、プロピレン、イソブチレン、ブタジエン、イソプレン等のオレフィン類。
(11)マレイミド、N−アクリロイルアクリルアミド、N−アセチルメタクリルアミド、N−プロピオニルメタクリルアミド、N−(p−クロロベンゾイル)メタクリルアミド等の不飽和イミド。
(12)α位にヘテロ原子が結合したメタクリル酸系モノマー。例えば、特願2001−115595号明細書、特願2001−115598号明細書等に記載されている化合物を挙げる事ができる。
また、欧州特許993966、欧州特許1204000、特開2001−318463等に記載の酸基を有するアセタール変性ポリビニルアルコール系バインダーポリマーは、膜強度、現像性のバランスに優れており、好適である。
さらにこの他に水溶性線状有機ポリマーとして、ポリビニルピロリドンやポリエチレンオキサイド等が有用である。また硬化皮膜の強度を上げるためにアルコール可溶性ナイロンや2,2−ビス−(4−ヒドロキシフェニル)−プロパンとエピクロロヒドリンのポリエーテル等も有用である。
これらのバインダーポリマーは、ランダムポリマー、ブロックポリマー、グラフトポリマー等いずれでもよい。
本発明において用いうるバインダーポリマーを合成する際に用いられるラジカル重合開始剤としては、アゾ系開始剤、過酸化物開始剤等公知の化合物が挙げられる。
本発明の硬化性組成物は、共増感剤を含有することも好ましい。本発明において共増感剤は、増感色素や開始剤の活性放射線に対する感度を一層向上させる、あるいは酸素による重合性化合物の重合阻害を抑制する等の作用を有する。
この様な共増感剤の例としては、アミン類、例えばM. R. Sanderら著「Journal of Polymer Society」第10巻3173頁(1972)、特公昭44−20189号公報、特開昭51−82102号公報、特開昭52−134692号公報、特開昭59−138205号公報、特開昭60−84305号公報、特開昭62−18537号公報、特開昭64−33104号公報、Research Disclosure 33825号記載の化合物等が挙げられ、具体的には、トリエタノールアミン、p−ジメチルアミノ安息香酸エチルエステル、p−ホルミルジメチルアニリン、p−メチルチオジメチルアニリン等が挙げられる。
本発明においては、硬化性組成物の製造中あるいは保存中において重合可能なエチレン性不飽和二重結合を有する化合物の不要な熱重合を阻止するために少量の熱重合防止剤を添加することが望ましい。
本発明に用いうる熱重合防止剤としては、ハイドロキノン、p−メトキシフェノール、ジ−t−ブチル−p−クレゾール、ピロガロール、t−ブチルカテコール、ベンゾキノン、4,4'−チオビス(3−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,2'−メチレンビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、N−ニトロソフェニルヒドロキシアミン第一セリウム塩等が挙げられる。
さらに、本発明においては、硬化皮膜の物性を改良するために無機充填剤や、可塑剤、感光層表面のインク着肉性を向上させうる感脂化剤等の公知の添加剤を加えてもよい。
可塑剤としては例えばジオクチルフタレート、ジドデシルフタレート、トリエチレングリコールジカプリレート、ジメチルグリコールフタレート、トリクレジルホスフェート、ジオクチルアジペート、ジブチルセバケート、トリアセチルグリセリン等があり、結合剤を使用した場合、エチレン性不飽和二重結合を有する化合物と結合剤との合計質量に対し10質量%以下添加することができる。
次に、本発明のカラーフィルタ及びその製造方法について説明する。
本発明のカラーフィルタは、支持体上に、本発明の硬化性組成物を用いてなる着色パターンを有することを特徴とする。
以下、本発明のカラーフィルタについて、その製造方法(本発明のカラーフィルタの製造方法)を通じて詳述する。
以下、本発明の製造方法における各工程について説明する。
硬化性組成物層形成工程では、支持体上に、本発明の硬化性組成物を塗布して硬化性組成物層を形成する。
また、これらの支持体上には、必要により、上部の層との密着改良、物質の拡散防止或いは基板表面の平坦化のために下塗り層を設けてもよい。
露光工程では、前記硬化性組成物層形成工程において形成された硬化性組成物層を、所定のマスクパターンを有するマスクを介して露光する。
本工程における露光は、塗布膜のパターン露光は、所定のマスクパターンを介して露光し、光照射された塗布膜部分だけを硬化させ、現像液で現像して、各色(3色あるいは4色)の画素からなるパターン状皮膜を形成することにより行うことができる。露光に際して用いることができる放射線としては、特に、g線、i線等の紫外線が好ましく用いられる。照射量は5〜1500mJ/cm2が好ましく10〜1000mJ/cm2がより好ましく、10〜500mJ/cm2が最も好ましい。
本発明のカラーフィルタが液晶表示素子用である場合は、上記範囲の中で5〜200mJ/cm2が好ましく10〜150mJ/cm2がより好ましく、10〜100mJ/cm2が最も好ましい。また、本発明のカラーフィルタが固体撮像素子用である場合は、上記範囲の中で30〜1500mJ/cm2が好ましく50〜1000mJ/cm2がより好ましく、80〜500mJ/cm2が最も好ましい。
次いでアルカリ現像処理を行うことにより、上記露光により光未照射部分をアルカリ水
溶液に溶出させ、光硬化した部分だけが残る。現像液としては、下地の回路などにダメー
ジを起さない、有機アルカリ現像液が望ましい。現像温度としては通常20℃〜30℃であり、現像時間は20〜90秒である。
次いで、余剰の現像液を洗浄除去し、乾燥を施した後に加熱処理(ポストベーク)を行う。このように各色ごとに前記工程を順次繰り返して硬化皮膜を製造することができる。
これによりカラーフィルターが得られる。
ポストベークは、硬化を完全なものとするための現像後の加熱処理であり、通常100℃〜240℃の熱硬化処理を行う。基板がガラス基板またはシリコン基板の場合は上記温度範囲の中でも200℃〜240℃が好ましい。
このポストベーク処理は、現像後の塗布膜を、上記条件になるようにホットプレートやコンベクションオーブン(熱風循環式乾燥機)、高周波加熱機等の加熱手段を用いて、連続式あるいはバッチ式で行うことができる。
以下に、前記例示化合物(1)の具体的な合成方法を示す。本発明に使用しうる他の(A)特定重合性化合物も同様のスキームで合成することができる。なお、合成方法は以下の方法に限定されるものではない。
ジペンタエリスリトールペンタアクリレート12g(0.023mol)にアセトニトリル20mlを加えて溶解させた後、ビスマストリス(2−エチルヘキサノエート)0.16g(0.25mmol)およびトリエトキシ(3−イソシアネートプロピル)シラン5.9g(0.23mol)を加えて55℃〜65℃で3時間攪拌した。反応終了後、反応液を室温に冷却してからn−ヘキサン50mlを加えて3回洗浄し、下層を分取した。溶媒を留去し、化合物(1)17g(0.022mol(収率:95%))を得た。
(実施例1)
〔1.硬化性組成物の調製〕
ここでは、液晶表示素子用途のカラーフィルタ形成用として着色剤(顔料)を含有する硬化性組成物を調整した例を挙げて説明する。
1−1.顔料の混練分散処理
まず、下記各成分を2本ロールで混練分散処理をした。
・C.I.ピグメント レッド 254 22質量部
・C.I.ピグメント イエロー 139 8質量部
・樹脂溶液(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸/ヒドロキシエチル
メタクリレート共重合体、mol比:80/10/10、
Mw:10000、溶剤:プロピレングリコールメチルエ
ーテルアセテート60%、樹脂固形分濃度:40%) 40質量部
・溶剤:プロピレングリコールメチルエーテルアセテート 20質量部
・分散剤:(商品名:BY−161、BYK社) 2質量部
・溶剤:プロピレングリコールメチルエーテルアセテート(PGMEA)
200質量部
前記分散処理した顔料に、更に下記成分を添加し、撹拌混合して硬化性組成物溶液を調製した。
・前記例示化合物(1)〔(A)特定重合性化合物〕 12質量部
・4−ベンズオキソラン−2,6−ジ(トリクロロメチル)−
s−トリアジン〔(B)光重合開始剤〕 0.5質量部
・界面活性剤(商品名:テトラニック150R1、BASF社) 0.2質量部
・溶剤:PGMEA 100質量部
2−1.硬化性組成物層の形成
上記顔料を含有する硬化性組成物をレジスト溶液として、550mm×650mmのガラス基板に下記条件でスリット塗布した後、10分間そのままの状態で待機させ、真空乾燥とプレベーク(prebake)(100℃80秒)を施して硬化性組成物塗膜(硬化性組成物層)を形成した。
(スリット塗布条件)
塗布ヘッド先端の開口部の間隙:50μm
塗布速度:100mm/秒
基板と塗布ヘッドとのクリヤランス:150μm
塗布厚(乾燥厚):2μm
塗布温度:23℃
その後、2.5kwの超高圧水銀灯を用いて光硬化性塗布膜を、線幅20μmのテスト用フォトマスクを用いてパターン状に露光し、露光後、塗布膜の全面を有機系現像液(商品名:CD、富士フイルムアーチ(株)製)の10%水溶液で被い、60秒間静止した。
静止後、純水をシャワー状に噴射して現像液を洗い流し、かかる光硬化処理及び現像処理を施した塗布膜を220℃のオーブンにて1時間加熱した(ポストベーク)。これにより、ガラス基板上に着色樹脂皮膜(カラーフィルタ)を形成した。
上記で調整された着色硬化性組成物塗布液の保存安定性、及び該着色硬化性組成物を用いてガラス基板上に形成された硬化性組成物塗布膜(着色層)の露光感度、基板密着性、現像性、さらに、パターン断面形状を下記のようにして評価した。結果を表1に示す。
前記塗布液を室温で1ケ月保存した後、異物の析出度合いを目視により下記判定基準に従って評価した。
<判定基準>
○:析出は認められなかった。
△:僅かに析出が認められた。
×:析出が認められた。
露光量を10〜100mJ/cm2の種々の露光量に変更して露光し、ポストベイク後のパターン線幅が20μmとなる露光量を露光感度として評価した。露光感度の値が小さいほど感度が高いことを示す。
ポストベイク後の基板表面および断面形状を光学顕微鏡およびSEM写真観察により通常の方法で確認した。
露光工程において、光が照射されなかった領域(未露光部)の残渣の有無を観察し、現像性を評価した。
<現像性>
○:未露光部には、残渣がまったく確認されなかった。
△:未露光部に、残渣がわずかに確認されたが、実用上問題のない程度であった。
×:未露光部に、残渣が著しく確認された。
基板密着性の評価として、パターン欠損が発生しているか否かを観察した。これらの評価項目については、下記基準に基づいて評価を行った
<基板密着性>
○:パターン欠損がまったく観察されなかった。
△:パターン欠損がほとんど観察されなかったが、一部分欠損が観察された。
×:パターン欠損が著しく観察された。
実施例1の硬化性組成物において、(A)特定重合性化合物である例示化合物(1)を、下記表1に示される例示化合物に代えた以外は、すべて実施例1と同様に行い着色パターンを得て、実施例1と同様の評価を行った。結果を表1に示した。
〔実施例10〕
実施例1の硬化性組成物において、(A)特定重合性化合物である例示化合物(1)を、下記表1に示される例示化合物に代え、基板をガラス基板を同一の大きさのポリエチレンテレフタレート基板(表中に「PET基板」と記載)に変更し、ポストベイク工程を高圧水銀灯での10000mJ/cm2の照射工程に変更した以外は、すべて実施例1と同様に行い着色パターンを得て、実施例1と同様の評価を行った。結果を表1に示した。
実施例1の硬化性組成物において、(A)特定重合性化合物である例示化合物(1)を下記表1に示される比較重合性化合物に代えた以外は、すべて実施例1と同様に行った。結果を表1に示した。
〔比較例2〕
実施例1の硬化性組成物において、(A)特定重合性化合物である例示化合物(1)を、下記表1に示される例示化合物に代え、基板として、ガラス基板を同一の大きさのポリエチレンテレフタレート基板に変更し、ポストベイク工程を高圧水銀灯での10000mJ/cm2の照射工程に変更した以外は、すべて実施例1と同様に行い着色パターンを得て、実施例1と同様の評価を行った。結果を表1に示した。
(実施例11)
〔1.レジスト液の調製〕
下記組成の成分を混合して溶解し、レジスト液を調製した。
〈組成〉
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート …19.20部
(PGMEA:溶剤)
・乳酸エチル …36.67部
・バインダーポリマー …30.51部
〔メタクリル酸ベンジル/メタクリル酸/メタクリル酸−2−
ヒドロキシエチル共重合体(モル比=60/22/18)の
40%PGMEA溶液〕
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート …12.20部
(光重合性化合物)
・重合禁止剤(p−メトキシフェノール) … 0.0061部
・フッ素系界面活性剤 … 0.83部
(F−475、大日本インキ化学工業(株)製)
・光重合開始剤 … 0.586部
(TAZ−107(トリハロメチルトリアジン系の光重合開始剤)、
みどり化学社製)
6inchシリコンウエハーをオーブン中で200℃のもと30分加熱処理した。次いで、このシリコンウエハー上に前記レジスト液を乾燥膜厚が2μmになるように塗布し、更に220℃のオーブン中で1時間加熱乾燥させて下塗り層を形成し、下塗り層付シリコンウエハー基板を得た。
下記組成A−1の化合物を混合して溶解し、着色感光性樹脂組成物A−1を調製した。
〈組成A−1〉
・シクロヘキサノン(溶剤) …80部
・Valifast Yellow 1101(染料(C)) … 5.0部
・Acid Red 57(染料(C)) … 5.0部
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
密着性基を有しない一般的なラジカル重合性化合物(E) … 5.0部
・前記例示化合物(1)〔(A)特定重合性化合物〕 … 2.0部
・光重合開始剤(B) … 2.5部
(CGI−124、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製;
オキシム系光重合開始剤)
・グリセロールプロポキシレート … 0.5部
(数平均分子量Mn:1500、モル吸光係数ε=0、無色化合物)
−パターンの形成と感度の評価−
前記3.で調製した着色剤含有硬化性組成物A−1を、前記2.で得られた下塗り層付シリコンウエハー基板の下塗り層上に塗布し、硬化性組成物層(塗布膜)を形成した。そして、この塗布膜の乾燥膜厚が0.9μmになるように、100℃のホットプレートを用いて120秒間加熱処理(プリベーク)を行なった。
次いで、i線ステッパー露光装置FPA−3000i5+(Canon(株)製)を使用して365nmの波長でパターンが2μm四方のIslandパターンマスクを通して100〜1600mJ/cm2の種々の露光量で露光した。
その後、照射された塗布膜が形成されているシリコンウエハー基板をスピン・シャワー現像機(DW−30型、(株)ケミトロニクス製)の水平回転テーブル上に載置し、CD−2000(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製)を用いて23℃で60秒間パドル現像を行ない、シリコンウエハー基板に着色パターンを形成した。
<現像性>
○:未露光部には、残渣がまったく確認されなかった。
△:未露光部に、残渣がわずかに確認されたが、実用上問題のない程度であった。
×:未露光部に、残渣が著しく確認された。
基板密着性の評価として、パターン欠損が発生しているか否かを観察した。これらの評価項目については、下記基準に基づいて評価を行った
<基板密着性>
○:パターン欠損がまったく観察されなかった。
△:パターン欠損がほとんど観察されなかったが、一部分欠損が観察された。
×:パターン欠損が著しく観察された。
実施例11の前記〔3.着色剤含有硬化性組成物の調製〕において用いた、例示化合物(1)を下記表2に示される化合物に代えた以外は、すべて実施例11と同様に行い着色パターンを得て、実施例11と同様の評価を行った。結果を表2に示した。
[比較例3]
実施例11の前記〔3.着色剤含有硬化性組成物の調製〕において用いた、例示化合物(1)を下記表2に示される比較重合性化合物に代えた以外は、すべて実施例11と同様に行った。結果を表2に示した。
固体撮像素子用途のカラーフィルター用硬化性組成物(顔料系)の調整
1−1.顔料の混練分散処理
まず、下記各成分を2本ロールで混練分散処理をした。
・C.I.ピグメント レッド 254 22質量部
・C.I.ピグメント イエロー 139 8質量部
・樹脂溶液(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸/ヒドロキシエチル
メタクリレート共重合体、mol比:80/10/10、
Mw:10000、溶剤:プロピレングリコールメチルエ
ーテルアセテート60%、樹脂固形分濃度:40%) 40質量部
・溶剤:プロピレングリコールメチルエーテルアセテート 20質量部
・分散剤:(商品名:BY−161、BYK社) 2質量部
・溶剤:プロピレングリコールメチルエーテルアセテート(PGMEA)
200質量部
前記分散処理した顔料に、更に下記成分を添加し、撹拌混合して硬化性組成物溶液を調製した。
・前記例示化合物(1)〔(A)特定重合性化合物〕 12質量部
・4−ベンズオキソラン−2,6−ジ(トリクロロメチル)−
s−トリアジン〔(B)光重合開始剤〕 0.5質量部
・界面活性剤(商品名:テトラニック150R1、BASF社) 0.2質量部
・溶剤:PGMEA 100質量部
〔比較例4〕
実施例16の前記〔1−2.硬化性組成物(塗布液)の調製〕において用いた、例示化合物(1)を下記表2に示される様に変えた以外は、すべて実施例16と同様に行った。結果を表2にまとめた。
また、支持体上で画像形成した場合においても、本発明の範囲外の多官能アクリレート系比較重合性化合物のみを用いた比較例に対して、現像性、基板密着性、パターン断面形状のいずれにも優れていることがわかる。さらに、これらの結果より、基板付近の二重結合密度および、基板密着性を向上させたことで現像液による浸食を抑制し、結果として露光感度が改善されたことがわかる。
Claims (14)
- (A)分子内に、複数のエチレン性不飽和二重結合と、酸基、酸のエステル基、酸オニウム塩、酸金属塩、加水分解によりシラノール基を生成する置換基、オニウム基、フェノール性水酸基、両性イオン性基、及びキレート性基からなる群から選ばれる部分構造を有する硬質材料への密着性基の1種以上と、を有する下記一般式(A)で表されるラジカル重合性化合物、(B)1‐[4‐(フェニルチオ)フェニル]‐1,2‐オクタンジオン−2‐(O‐ベンゾイルオキシム)である光重合開始剤、(E)ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、及び(C)400nmから700nmの可視波長領域に極大吸収を有する着色剤を含有することを特徴とするカラーフィルタ用着色硬化性組成物(但し、黒色顔料を含有するブラックマトリックス用着色硬化性組成物を除く。)。
前記一般式(A)において、Mは下記(M−1)〜(M−11)から選ばれる部位を表し、Lは構造中に酸素原子、窒素原子、硫黄原子または炭素数3〜10で成る炭化水素環構造、芳香環、ヘテロ環、ウレタン結合、チオウレタン結合、エステル結合、アミド結合、尿素結合、チオ尿素結合からなる群より選択される部分構造を有し、これらが単独で、或いは複数種組み合わさって構成されるn+1価の有機連結基を表し、Xは酸基、酸のエステル基、酸オニウム塩、酸金属塩、加水分解によりシラノール基を生成する置換基、オニウム基、フェノール性水酸基、両性イオン性基、及びキレート性基からなる群から選ばれる部分構造を有する硬質材料への密着性基を表す。nは1〜5の整数を表し、mは1〜3の整数を表す。但し、Mが下記(M−1)を表す場合、nが1であるときは、mは2又は3の整数を表し、mが1であるときは、nは2〜5の整数を表す。
- 前記一般式(A)におけるXが、加水分解によりシラノール基を生成する置換基である請求項1に記載のカラーフィルタ用着色硬化性組成物。
- 前記硬質材料が、ガラス基板またはシリコン基板である請求項1又は請求項2に記載のカラーフィルタ用着色硬化性組成物。
- 前記(C)400nmから700nmの可視波長領域に極大吸収を有する着色剤の含有量が硬化性組成物の全固形分中、20質量%〜80質量%であることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載のカラーフィルタ用着色硬化性組成物。
- 前記(C)400nmから700nmの可視波長領域に極大吸収を有する着色剤が、染料であるか、或いは、C.I.ピグメント イエロー 11, 24, 31, 53, 83, 93, 99, 108, 109, 110, 138, 139, 147, 150, 151, 154, 155, 167, 180, 185, 199, ;C.I.ピグメント オレンジ36, 38, 43, 71;C.I.ピグメント レッド81, 105, 122, 149, 150, 155, 171, 175, 176, 177,209, 220, 224, 242, 254, 255, 264, 270;C.I.ピグメント バイオレット 19, 23, 32, 39;C.I.ピグメント ブルー 1, 2, 15, 15:1, 15:3, 15:6, 16, 22, 60, 66;C.I.ピグメント グリーン 7, 36, 37;及びC.I.ピグメント ブラウン 25, 28から選ばれる有機顔料であることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載のカラーフィルタ用着色硬化性組成物。
- (A)分子内に、複数のエチレン性不飽和二重結合と、酸基、酸のエステル基、酸オニウム塩、酸金属塩、加水分解によりシラノール基を生成する置換基、オニウム基、フェノール性水酸基、両性イオン性基、及びキレート性基からなる群から選ばれる部分構造を有する硬質材料への密着性基の1種以上と、を有する下記一般式(A)で表されるラジカル重合性化合物、(B)トリハロメチルトリアジン系化合物、及びオキシム系化合物から選ばれる光重合開始剤、及び(C)400nmから700nmの可視波長領域に極大吸収を有する溶剤可溶性染料を含有することを特徴とするカラーフィルタ用着色硬化性組成物(但し、黒色顔料を含有するブラックマトリックス用着色硬化性組成物を除く。)。
前記一般式(A)において、Mは下記(M−1)〜(M−11)から選ばれる部位を表し、Lは構造中に酸素原子、窒素原子、硫黄原子または炭素数3〜10で成る炭化水素環構造、芳香環、ヘテロ環、ウレタン結合、チオウレタン結合、エステル結合、アミド結合、尿素結合、チオ尿素結合からなる群より選択される部分構造を有し、これらが単独で、或いは複数種組み合わさって構成されるn+1価の有機連結基を表し、Xは酸基、酸のエステル基、酸オニウム塩、酸金属塩、加水分解によりシラノール基を生成する置換基、オニウム基、フェノール性水酸基、両性イオン性基、及びキレート性基からなる群から選ばれる部分構造を有する硬質材料への密着性基を表す。nは1〜5の整数を表し、mは1〜3の整数を表す。但し、Mが下記(M−1)を表す場合、nが1であるときは、mは2又は3の整数を表し、mが1であるときは、nは2〜5の整数を表す。
- 前記一般式(A)におけるXが、加水分解によりシラノール基を生成する置換基である請求項6に記載のカラーフィルタ用着色硬化性組成物。
- 前記硬質材料が、ガラス基板またはシリコン基板である請求項6又は請求項7に記載のカラーフィルタ用着色硬化性組成物。
- 前記(C)400nmから700nmの可視波長領域に極大吸収を有する溶剤可溶性染料の含有量が硬化性組成物の全固形分中、20質量%〜80質量%であることを特徴とする請求項6乃至請求項8のいずれか1項に記載のカラーフィルタ用着色硬化性組成物。
- (A)分子内に、複数のエチレン性不飽和二重結合と、加水分解によりシラノール基を生成する置換基であるガラス基板またはシリコン基板への密着性基と、を有するラジカル重合性化合物、(B)トリハロメチルトリアジン系化合物、及びオキシム系化合物から選ばれる光重合開始剤、及び(C)400nmから700nmの可視波長領域に極大吸収を有する着色剤を含有することを特徴とするカラーフィルタ用着色硬化性組成物。
- 前記(C)400nmから700nmの可視波長領域に極大吸収を有する着色剤の含有量が硬化性組成物の全固形分中、20質量%〜80質量%であることを特徴とする請求項10に記載のカラーフィルタ用着色硬化性組成物。
- 前記(C)400nmから700nmの可視波長領域に極大吸収を有する着色剤が、染料であるか、或いは、C.I.ピグメント イエロー 11, 24, 31, 53, 83, 93, 99, 108, 109, 110, 138, 139, 147, 150, 151, 154, 155, 167, 180, 185, 199, ;C.I.ピグメント オレンジ36, 38, 43, 71;C.I.ピグメント レッド81, 105, 122, 149, 150, 155, 171, 175, 176, 177,209, 220, 224, 242, 254, 255, 264, 270;C.I.ピグメント バイオレット 19, 23, 32, 39;C.I.ピグメント ブルー 1, 2, 15, 15:1, 15:3, 15:6, 16, 22, 60, 66;C.I.ピグメント グリーン 7, 36, 37;C.I.ピグメント ブラウン 25, 28;C.I.ピグメント ブラック 1, 7;及びカーボンブラックから選ばれる有機顔料であることを特徴とする請求項10又は請求項11に記載のカラーフィルタ用着色硬化性組成物。
- 支持体上に請求項1から請求項12のいずれか1項に記載のカラーフィルタ用着色硬化性組成物を用いてなる着色パターンを有することを特徴とするカラーフィルタ。
- 支持体上に、請求項1から請求項12のいずれか1項に記載のカラーフィルタ用着色硬化性組成物を塗布して着色硬化性組成物層を形成する工程と、前記着色硬化性組成物層をマスクを介して露光する工程と、露光後の前記着色硬化性組成物層を現像して着色パターンを形成する工程と、を含むことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
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