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JP5219633B2 - High frequency measurement probe - Google Patents
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Description

本発明は、高周波測定用プローブに関し、さらに詳しくは、インピーダンスの変化を抑制できる構造とした高周波測定用プローブおよび外来ノイズを拾い難い構造とした高周波測定用プローブに関する。   The present invention relates to a high-frequency measurement probe, and more particularly to a high-frequency measurement probe having a structure capable of suppressing a change in impedance and a high-frequency measurement probe having a structure that hardly picks up external noise.

従来、導体を誘電体で担持したコプレーナ導体構造物の導体の第１端を同軸ケーブルに接続し、導体の第２端を誘電体より突出させて被測定物に対する接触部とし、誘電体の一面に金属をコーティングしてシールドとした高周波測定プローブが知られている（例えば、特許文献１参照。）。
特表２００３−５１０５７４号公報 Conventionally, the first end of a conductor of a coplanar conductor structure in which a conductor is supported by a dielectric is connected to a coaxial cable, and the second end of the conductor protrudes from the dielectric to form a contact portion to the object to be measured. There is known a high-frequency measurement probe in which a metal is coated on a shield as a shield (see, for example, Patent Document 1).
Special table 2003-510574 gazette

上記従来の高周波測定プローブでは、コプレーナ導体構造物の導体を用いており、例えばマイクロストリップライン構造の被測定物に接触させるのに好適であった。また、誘電体の一面がシールドになっており、外来ノイズを拾い難くなっていた。
しかし、被測定物に対する接触部においては誘電体が無いため、インピーダンスが変化してしまう問題点がある。また、シールドが無いため、外来ノイズを拾ってしまう問題点がある。
そこで、本発明の目的は、インピーダンスの変化を抑制できる構造とした高周波測定用プローブおよび外来ノイズを拾い難い構造とした高周波測定用プローブを提供することにある。 The conventional high-frequency measurement probe uses a conductor of a coplanar conductor structure, and is suitable for contacting a measurement object having a microstrip line structure, for example. Also, one side of the dielectric is a shield, making it difficult to pick up external noise.
However, since there is no dielectric at the contact portion with the object to be measured, there is a problem that the impedance changes. Moreover, since there is no shield, there is a problem of picking up external noise.
Accordingly, an object of the present invention is to provide a high-frequency measurement probe having a structure capable of suppressing a change in impedance and a high-frequency measurement probe having a structure difficult to pick up external noise.

第１の観点では、本発明は、同軸コネクタ（１０）と、複数の導体ストリップ（３ａ，３ｂ，３ｃ）を第１絶縁フィルム（３ｄ）と第２絶縁フィルム（３ｅ）とで挟んだ構造であり且つ前記同軸コネクタ（１０）に第１端（３１）を接続され且つ前記導体ストリップ（３ａ，３ｂ，３ｃ）の第２端（３２）の前記第１絶縁フィルム（３ｄ）側面が露出し被測定物に対する接触部（３３）になっており且つ前記導体ストリップ（３ａ，３ｂ，３ｃ）の第２端（３２）の前記第２絶縁フィルム（３ｅ）側面は前記第２絶縁フィルム（３ｅ）で被覆されたフレキシブル・フラット・ケーブル（３０）とを具備したことを特徴とする高周波測定用プローブ（１０１，１０２）を提供する。
上記第１の観点による高周波測定用プローブ（１０１，１０２）では、フレキシブル・フラット・ケーブル（３０）の導体を用いており、例えばマイクロストリップライン構造の被測定物に接触させるのに好適である。そして、被測定物に対する接触部（３３）の裏面にも第２絶縁フィルム（３ｅ）があるので、インピーダンスの変化を抑制できる。 In a first aspect, the present invention has a structure in which a coaxial connector (10) and a plurality of conductor strips (3a, 3b, 3c) are sandwiched between a first insulating film (3d) and a second insulating film (3e). And the first end (31) is connected to the coaxial connector (10) and the side surface of the first insulating film (3d) of the second end (32) of the conductor strip (3a, 3b, 3c) is exposed and covered. The side surface of the second insulating film (3e) at the second end (32) of the conductor strip (3a, 3b, 3c) is the second insulating film (3e) which is a contact portion (33) for the object to be measured. Provided is a high-frequency measurement probe (101, 102) comprising a coated flexible flat cable (30).
The high-frequency measurement probe (101, 102) according to the first aspect uses the conductor of the flexible flat cable (30), which is suitable for contacting with a measurement object having a microstrip line structure, for example. And since the 2nd insulating film (3e) also exists in the back surface of the contact part (33) with respect to a to-be-measured object, the change of an impedance can be suppressed.

第２の観点では、本発明は、同軸コネクタ（１０）と、前記同軸コネクタ（１０）に第１端（２１）を接続された同軸ケーブル（２０）と、複数の導体ストリップ（３ａ，３ｂ，３ｃ）を第１絶縁フィルム（３ｄ）と第２絶縁フィルム（３ｅ）とで挟んだ構造であり且つ前記同軸ケーブル（２０）の第２端（２２）に第１端（３１）を接続され且つ前記導体ストリップ（３ａ，３ｂ，３ｃ）の第２端（３２）の前記第１絶縁フィルム（３ｄ）側面が露出し被測定物に対する接触部（３３）になっており且つ前記導体ストリップ（３ａ，３ｂ，３ｃ）の第２端（３２）の前記第２絶縁フィルム（３ｅ）側面は前記第２絶縁フィルム（３ｅ）で被覆されたフレキシブル・フラット・ケーブル（３０）とを具備したことを特徴とする高周波測定用プローブ（２００）を提供する。
上記第２の観点による高周波測定用プローブ（２００）では、フレキシブル・フラット・ケーブル（３０）の導体を用いており、例えばマイクロストリップライン構造の被測定物に接触させるのに好適である。そして、被測定物に対する接触部（３３）の裏面にも第２絶縁フィルム（３ｅ）があるので、被測定物に対する接触部（３３）においてもインピーダンスの変化を抑制できる。さらに、同軸コネクタ（１０）とフレキシブル・フラット・ケーブル（３０）の間に同軸ケーブル（２０）を介在させるので、被測定物に対する接触部（３３）から同軸コネクタ（１０）までの長さを容易に伸張することが出来る。 In a second aspect, the present invention relates to a coaxial connector (10), a coaxial cable (20) having a first end (21) connected to the coaxial connector (10), and a plurality of conductor strips (3a, 3b, 3c) is sandwiched between the first insulating film (3d) and the second insulating film (3e), and the first end (31) is connected to the second end (22) of the coaxial cable (20); The side surface of the first insulating film (3d) at the second end (32) of the conductor strip (3a, 3b, 3c) is exposed to be a contact portion (33) for the object to be measured, and the conductor strip (3a, 3 The side surface of the second insulating film (3e) at the second end (32) of 3b, 3c) comprises a flexible flat cable (30) covered with the second insulating film (3e). High frequency measurement To provide over Breakfast (200).
In the high-frequency measurement probe (200) according to the second aspect, the conductor of the flexible flat cable (30) is used, which is suitable, for example, for contacting a measurement object having a microstrip line structure. And since the 2nd insulating film (3e) also exists in the back surface of the contact part (33) with respect to a to-be-measured object, the change of an impedance can be suppressed also in the contact part (33) with respect to a to-be-measured object. Furthermore, since the coaxial cable (20) is interposed between the coaxial connector (10) and the flexible flat cable (30), the length from the contact portion (33) to the object to be measured to the coaxial connector (10) is easy. Can be stretched.

第３の観点では、本発明は、前記第１または第２の観点による高周波測定用プローブ（１０１，１０２，２００）において、前記第２絶縁フィルム（３ｅ）に貼着されたシールド箔（４１）を具備したことを特徴とする高周波測定用プローブ（１０１，１０２，２００）を提供する。
上記第３の観点による高周波測定用プローブ（１０１，１０２，２００）では、第２絶縁フィルム（３ｅ）側にシールド箔（４１）があるので、外来ノイズを拾い難くなる。 In a third aspect, the present invention provides a shield foil (41) attached to the second insulating film (3e) in the high-frequency measurement probe (101, 102, 200) according to the first or second aspect. The high-frequency measurement probe (101, 102, 200) is provided.
In the high frequency measurement probe (101, 102, 200) according to the third aspect, since the shield foil (41) is provided on the second insulating film (3e) side, it is difficult to pick up external noise.

第４の観点では、本発明は、前記第１から第３のいずれかの観点による高周波測定用プローブ（１０１，１０２，２００）において、前記第１絶縁フィルム（３ｄ）に貼着されたシールド箔（４２）を具備したことを特徴とする高周波測定用プローブ（１０１，１０２，２００）を提供する。
上記第４の観点による高周波測定用プローブ（１０１，１０２，２００）では、第１絶縁フィルム（３ｄ）側にシールド箔（４２）があるので、外来ノイズを拾い難くなる。 In a fourth aspect, the present invention provides a shielding foil adhered to the first insulating film (3d) in the high-frequency measurement probe (101, 102, 200) according to any one of the first to third aspects. A high-frequency measurement probe (101, 102, 200) characterized by comprising (42) is provided.
In the high frequency measurement probe (101, 102, 200) according to the fourth aspect, since the shield foil (42) is provided on the first insulating film (3d) side, it is difficult to pick up external noise.

第５の観点では、本発明は、前記第１から第４のいずれかの観点による高周波測定用プローブ（１０１，１０２，２００）において、前記接触部（３３）に凸部（３４）を設けたことを特徴とする高周波測定用プローブ（１０１，１０２，２００）を提供する。
上記第５の観点による高周波測定用プローブ（１０１，１０２，２００）では、被測定物に対する接触部（３３）に凸部（３４）を設けたので、被測定物に対する接触性を良好かつ安定に出来る。 In a fifth aspect, the present invention provides the high-frequency measurement probe (101, 102, 200) according to any one of the first to fourth aspects, wherein a convex portion (34) is provided on the contact portion (33). A high-frequency measurement probe (101, 102, 200) is provided.
In the high frequency measurement probe (101, 102, 200) according to the fifth aspect, since the convex portion (34) is provided on the contact portion (33) with respect to the object to be measured, the contact with the object to be measured is excellent and stable. I can do it.

本発明の高周波測定用プローブによれば、被測定物に対する接触部の裏面にも絶縁フィルムがあるので、インピーダンスの変化を抑制でき、インピーダンス整合を向上できる。。また、シールド箔があるので、外来ノイズを拾い難くすることが出来る。さらに、柔軟で薄いフレキシブル・フラット・ケーブルを用いるので、同軸ケーブルやリジッドな電極では接触させることが困難な部分にも容易に接触させることが可能になり、高周波測定対象を大きく広げることが可能となった。   According to the high frequency measurement probe of the present invention, since there is an insulating film on the back surface of the contact portion with respect to the object to be measured, a change in impedance can be suppressed and impedance matching can be improved. . Moreover, since there is a shield foil, it is difficult to pick up external noise. In addition, since flexible and thin flexible flat cables are used, it is possible to easily contact parts that are difficult to contact with coaxial cables and rigid electrodes, which can greatly expand the range of high-frequency measurement objects. became.

以下、図に示す実施の形態により本発明をさらに詳細に説明する。なお、これにより本発明が限定されるものではない。   Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to embodiments shown in the drawings. Note that the present invention is not limited thereby.

図１は、実施例１に係る高周波測定用プローブ１０１を示す上面図である。図２は、同一部破断正面図である。   FIG. 1 is a top view illustrating the high-frequency measurement probe 101 according to the first embodiment. FIG. 2 is a front view of the same part broken away.

この高周波測定用プローブ１０１は、同軸コネクタ１０と、フレキシブル・フラット・ケーブル３０と、シールド箔４１，４２とを具備してなる。   The high frequency measurement probe 101 includes a coaxial connector 10, a flexible flat cable 30, and shield foils 41 and 42.

フレキシブル・フラット・ケーブル３０は、中心導体ストリップ３ａと両側導体ストリップ３ｂ，３ｃとを、第１絶縁フィルム３ｄと第２絶縁フィルム３ｅとで挟んで、接着した構造である。
フレキシブル・フラット・ケーブル３０の第１端３１では、露出した導体ストリップ３ａ，３ｂ，３ｃが、半田付けにより、同軸コネクタ１０に接続されている。
フレキシブル・フラット・ケーブル３０の第２端３２では、第１絶縁フィルム３ｄ側面のみ導体ストリップ３ａ，３ｂ，３ｃが露出し、半田被覆され、被測定物に対する接触部３３になっている。接触部３３には、凸部３４が設けられている。一方、第２絶縁フィルム３ｅ側面は第２絶縁フィルム３ｅで被覆されており、導体ストリップ３ａ，３ｂ，３ｃは露出していない。 The flexible flat cable 30 has a structure in which a central conductor strip 3a and both side conductor strips 3b and 3c are sandwiched and bonded between a first insulating film 3d and a second insulating film 3e.
At the first end 31 of the flexible flat cable 30, the exposed conductor strips 3a, 3b, 3c are connected to the coaxial connector 10 by soldering.
At the second end 32 of the flexible flat cable 30, the conductor strips 3a, 3b, 3c are exposed only on the side surface of the first insulating film 3d, and are covered with solder to form a contact portion 33 for the object to be measured. The contact portion 33 is provided with a convex portion 34. On the other hand, the side surface of the second insulating film 3e is covered with the second insulating film 3e, and the conductor strips 3a, 3b, 3c are not exposed.

シールド箔４１は第２絶縁フィルム３ｅに貼着され、シールド箔４２は第１絶縁フィルム３ｄに貼着されている。   The shield foil 41 is attached to the second insulating film 3e, and the shield foil 42 is attached to the first insulating film 3d.

具体例を示すと、導体ストリップ３ａ，３ｂ，３ｃは、幅０．４ｍｍの銅箔である。導体ストリップ３ａと３ｂの間のギャップ幅および導体ストリップ３ａと３ｃの間のギャップ幅は０．３ｍｍである。第１絶縁フィルム３ｄおよび第２絶縁フィルム３ｅは、幅２．１ｍｍのＰＥＴフィルムである。シールド箔４１，４２はアルミ箔である。フレキシブル・フラット・ケーブル３０のインピーダンスは５０Ωである。   As a specific example, the conductor strips 3a, 3b, 3c are copper foils having a width of 0.4 mm. The gap width between the conductor strips 3a and 3b and the gap width between the conductor strips 3a and 3c are 0.3 mm. The first insulating film 3d and the second insulating film 3e are PET films having a width of 2.1 mm. The shield foils 41 and 42 are aluminum foils. The impedance of the flexible flat cable 30 is 50Ω.

実施例１の高周波測定用プローブ１０１によれば、被測定物に対する接触部３３の裏面にも第２絶縁フィルム３ｅがあるので、インピーダンスの変化を抑制できる。また、シールド箔４１があるので、外来ノイズを拾い難くすることが出来る。さらに、被測定物に対する接触部３３に凸部３４を設けたので、被測定物に対する接触性を良好かつ安定に出来る。   According to the high frequency measurement probe 101 of the first embodiment, since the second insulating film 3e is also provided on the back surface of the contact portion 33 with respect to the object to be measured, a change in impedance can be suppressed. Further, since there is the shield foil 41, it is difficult to pick up external noise. Furthermore, since the convex part 34 is provided in the contact part 33 with respect to a to-be-measured object, the contact property with respect to a to-be-measured object can be made favorable and stable.

図３は、実施例２に係る高周波測定用プローブ１０２を示す上面図である。図４は、同一部破断正面図である。
この高周波測定用プローブ１０２は、フレキシブル・フラット・ケーブル３０の第１端３１で、露出した導体ストリップ３ａ，３ｂ，３ｃが、挟み込みにより、同軸コネクタ１０に接続されている。それ以外の構成は、実施例１に係る高周波測定用プローブ１０１と同じである。 FIG. 3 is a top view illustrating the high-frequency measurement probe 102 according to the second embodiment. FIG. 4 is a front view of the same part broken away.
In the high-frequency measurement probe 102, the exposed conductor strips 3a, 3b, and 3c are connected to the coaxial connector 10 at the first end 31 of the flexible flat cable 30 by being sandwiched. Other configurations are the same as those of the high-frequency measurement probe 101 according to the first embodiment.

図５は、実施例３に係る高周波測定用プローブ２００を示す上面図である。図６は、同一部破断正面図である。   FIG. 5 is a top view illustrating the high-frequency measurement probe 200 according to the third embodiment. FIG. 6 is a front view of the same part broken away.

この高周波測定用プローブ２００は、同軸コネクタ（ＳＭＡコネクタ）１０と、同軸ケーブル２０と、フレキシブル・フラット・ケーブル３０と、シールド箔４１，４２とを具備してなる。   The high-frequency measurement probe 200 includes a coaxial connector (SMA connector) 10, a coaxial cable 20, a flexible flat cable 30, and shield foils 41 and 42.

同軸コネクタ１０には、同軸ケーブル２０の第１端２１の中心導体とシールド導体とが挟み込みにより接続されている。   A central conductor of the first end 21 of the coaxial cable 20 and a shield conductor are connected to the coaxial connector 10 by being sandwiched.

フレキシブル・フラット・ケーブル３０は、中心導体ストリップ３ａと両側導体ストリップ３ｂ，３ｃとを、第１絶縁フィルム３ｄと第２絶縁フィルム３ｅとで挟んで、接着した構造である。
フレキシブル・フラット・ケーブル３０の第１端３１では、露出した導体ストリップ３ａ，３ｂ，３ｃが、半田付けにより、同軸ケーブル２０の第２端２２の中心導体とシールド導体とに接続されている。
フレキシブル・フラット・ケーブル３０の第２端３２では、第１絶縁フィルム３ｄ側面のみ導体ストリップ３ａ，３ｂ，３ｃが露出し、被測定物に対する接触部３３になっている。接触部３３には、凸部３４が設けられている。一方、第２絶縁フィルム３ｅ側面は第２絶縁フィルム３ｅで被覆されており、導体ストリップ３ａ，３ｂ，３ｃは露出していない。 The flexible flat cable 30 has a structure in which a central conductor strip 3a and both side conductor strips 3b and 3c are sandwiched and bonded between a first insulating film 3d and a second insulating film 3e.
At the first end 31 of the flexible flat cable 30, the exposed conductor strips 3a, 3b, 3c are connected to the center conductor and the shield conductor at the second end 22 of the coaxial cable 20 by soldering.
At the second end 32 of the flexible flat cable 30, the conductor strips 3 a, 3 b, 3 c are exposed only on the side surface of the first insulating film 3 d and serve as a contact portion 33 for the object to be measured. The contact portion 33 is provided with a convex portion 34. On the other hand, the side surface of the second insulating film 3e is covered with the second insulating film 3e, and the conductor strips 3a, 3b, 3c are not exposed.

シールド箔４１は第２絶縁フィルム３ｅに貼着され、シールド箔４２は第１絶縁フィルム３ｄに貼着されている。   The shield foil 41 is attached to the second insulating film 3e, and the shield foil 42 is attached to the first insulating film 3d.

具体例を示すと、導体ストリップ３ａ，３ｂ，３ｃは、幅０．４ｍｍの銅箔である。導体ストリップ３ａと３ｂの間のギャップ幅および導体ストリップ３ａと３ｃの間のギャップ幅は０．３ｍｍである。第１絶縁フィルム３ｄおよび第２絶縁フィルム３ｅは、幅２．１ｍｍのＰＥＴフィルムである。シールド箔４１，４２はアルミ箔である。フレキシブル・フラット・ケーブル３０のインピーダンスは５０Ωである。同軸ケーブル２０のインピーダンスは５０Ωである。   As a specific example, the conductor strips 3a, 3b, 3c are copper foils having a width of 0.4 mm. The gap width between the conductor strips 3a and 3b and the gap width between the conductor strips 3a and 3c are 0.3 mm. The first insulating film 3d and the second insulating film 3e are PET films having a width of 2.1 mm. The shield foils 41 and 42 are aluminum foils. The impedance of the flexible flat cable 30 is 50Ω. The impedance of the coaxial cable 20 is 50Ω.

実施例３の高周波測定用プローブ２００によれば、被測定物に対する接触部３３の裏面にも第２絶縁フィルム３ｅがあるので、インピーダンスの変化を抑制できる。また、シールド箔４１があるので、外来ノイズを拾い難くすることが出来る。また、被測定物に対する接触部３３に凸部３４を設けたので、被測定物に対する接触性を良好かつ安定に出来る。さらに、同軸ケーブル２０の長さを変えることにより、接触部３３から同軸コネクタ１０までの長さを容易に伸張することが出来る。   According to the high frequency measurement probe 200 of the third embodiment, since the second insulating film 3e is also provided on the back surface of the contact portion 33 with respect to the object to be measured, a change in impedance can be suppressed. Further, since there is the shield foil 41, it is difficult to pick up external noise. Moreover, since the convex part 34 is provided in the contact part 33 with respect to a to-be-measured object, the contact property with respect to a to-be-measured object can be made favorable and stable. Furthermore, by changing the length of the coaxial cable 20, the length from the contact portion 33 to the coaxial connector 10 can be easily extended.

フレキシブル・フラット・ケーブル３０のインピーダンスは、導体ストリップ３ａ，３ｂ，３ｃや第１絶縁フィルム３ｄや第２絶縁フィルム３ｅの材料や寸法を変えることにより、また、導体ストリップ３ａ，３ｂ，３ｃに第１絶縁フィルム３ｄや第２絶縁フィルム３ｅを接着する接着剤の材料や厚さを変えることにより変更でき、被測定物のインピーダンスとマッチングさせることが出来る。導体ストリップ３ａ，３ｂ，３ｃの材料としては、銅の他、銀やニッケルを用いてもよい。   The impedance of the flexible flat cable 30 can be changed by changing the materials and dimensions of the conductor strips 3a, 3b, 3c, the first insulating film 3d, and the second insulating film 3e, and also to the conductor strips 3a, 3b, 3c. It can be changed by changing the material and thickness of the adhesive that bonds the insulating film 3d and the second insulating film 3e, and can be matched with the impedance of the object to be measured. As a material of the conductor strips 3a, 3b, and 3c, silver or nickel may be used in addition to copper.

なお、導体ストリップ３ａ，３ｂ，３ｃの寸法、導体ストリップ３ａと３ｂの間のギャップ幅、導体ストリップ３ａと３ｃの間のギャップ幅は、被測定物の寸法（例えば配線パターン幅やギャップ幅、ＩＣチップのピン幅やピッチ）に合わせる必要があるため、選択の自由度は制限される。   The dimensions of the conductor strips 3a, 3b, 3c, the gap width between the conductor strips 3a and 3b, and the gap width between the conductor strips 3a and 3c are the dimensions of the object to be measured (for example, the wiring pattern width, gap width, IC The degree of freedom of selection is limited because it is necessary to match the chip pin width and pitch.

本発明の高周波測定用プローブは、例えば１０ＧＨｚ程度までの高周波の測定に利用できる。   The probe for high frequency measurement of the present invention can be used for high frequency measurement up to about 10 GHz, for example.

実施例１に係る高周波測定用プローブを示す上面図である。1 is a top view showing a high-frequency measurement probe according to Example 1. FIG. 実施例１に係る高周波測定用プローブを示す一部破断正面図である。1 is a partially broken front view showing a high-frequency measurement probe according to Example 1. FIG. 実施例２に係る高周波測定用プローブを示す上面図である。6 is a top view showing a high-frequency measurement probe according to Embodiment 2. FIG. 実施例２に係る高周波測定用プローブを示す一部破断正面図である。6 is a partially broken front view showing a high-frequency measurement probe according to Example 2. FIG. 実施例３に係る高周波測定用プローブを示す上面図である。6 is a top view showing a high-frequency measurement probe according to Example 3. FIG. 実施例３に係る高周波測定用プローブを示す一部破断正面図である。6 is a partially broken front view showing a high-frequency measurement probe according to Example 3. FIG.

符号の説明Explanation of symbols

３ａ，３ｂ，３ｃ 導体ストリップ
３ｄ 第１絶縁フィルム
３ｅ 第２絶縁フィルム
１０ 同軸コネクタ
２０ 同軸ケーブル
３０ フレキシブル・フラット・ケーブル
３３ 接触部
３４ 凸部
４１，４２ シールド箔
１０１，１０２，２００ 高周波測定用プローブ 3a, 3b, 3c Conductor strip 3d First insulating film 3e Second insulating film 10 Coaxial connector 20 Coaxial cable 30 Flexible flat cable 33 Contact portion 34 Convex portion 41, 42 Shield foil 101, 102, 200 High frequency measurement probe

Claims (4)

同軸コネクタ（１０）と、複数の導体ストリップ（３ａ，３ｂ，３ｃ）を第１絶縁フィルム（３ｄ）と第２絶縁フィルム（３ｅ）とで挟んだ構造であり且つ前記同軸コネクタ（１０）に前記導体ストリップ（３ａ，３ｂ，３ｃ）の第１端（３１）を接続され且つ前記導体ストリップ（３ａ，３ｂ，３ｃ）の第２端（３２）の前記第１絶縁フィルム（３ｄ）側面が露出し被測定物に対する接触部（３３）になっており且つ前記導体ストリップ（３ａ，３ｂ，３ｃ）の第２端（３２）の前記第２絶縁フィルム（３ｅ）側面は前記第２絶縁フィルム（３ｅ）で被覆されているフレキシブル・フラット・ケーブル（３０）とを具備した高周波測定用プローブ（１０１，１０２）であって、前記接触部（３３）に、前記露出した導体ストリップ（３ａ，３ｂ，３ｃ）の第２端（３２）が凸面側になるように該露出した前記導体ストリップ（３ａ，３ｂ，３ｃ）の第２端（３２）を曲げて凸部（３４）を設けたことを特徴とする高周波測定用プローブ（１０１，１０２）。 The coaxial connector (10), a plurality of conductor strips (3a, 3b, 3c) in the first insulating film (3d) and the second insulating film (3e) and a sandwiched de and said coaxial connector (10) conductive strip (3a, 3b, 3c) the first connected end (31) and said conductor strips (3a, 3b, 3c) said first insulating film (3d) side surface of the second end (32) exposed in The side surface of the second insulating film (3e) at the second end (32) of the conductor strip (3a, 3b, 3c) is a contact portion (33) for the object to be measured and the second insulating film (3e). in a coated and has flexible flat cable (30) high-frequency measuring probe and a (101, 102), said contact portion (33), conductive strip (3a that the exposed, b, the second end (32 3c)) that is provided with the conductor strips out the exposed so that the convex side (3a, 3b, the second end (32) of the bent protrusions of 3c) (34) A probe for high-frequency measurement (101, 102) characterized by: 同軸コネクタ（１０）と、前記同軸コネクタ（１０）に第１端（２１）を接続された同軸ケーブル（２０）と、複数の導体ストリップ（３ａ，３ｂ，３ｃ）を第１絶縁フィルム（３ｄ）と第２絶縁フィルム（３ｅ）とで挟んだ構造であり且つ前記同軸ケーブル（２０）の第２端（２２）に前記導体ストリップ（３ａ，３ｂ，３ｃ）の第１端（３１）を接続され且つ前記導体ストリップ（３ａ，３ｂ，３ｃ）の第２端（３２）の前記第１絶縁フィルム（３ｄ）側面が露出し被測定物に対する接触部（３３）になっており且つ前記導体ストリップ（３ａ，３ｂ，３ｃ）の第２端（３２）の前記第２絶縁フィルム（３ｅ）側面は前記第２絶縁フィルム（３ｅ）で被覆されているフレキシブル・フラット・ケーブル（３０）とを具備した高周波測定用プローブ（２００）であって、前記接触部（３３）に、前記露出した導体ストリップ（３ａ，３ｂ，３ｃ）の第２端（３２）が凸面側になるように該露出した前記導体ストリップ（３ａ，３ｂ，３ｃ）の第２端（３２）を曲げて凸部（３４）を設けたことを特徴とする高周波測定用プローブ（２００）。 A coaxial connector (10), a coaxial cable (20) having a first end (21) connected to the coaxial connector (10), and a plurality of conductor strips (3a, 3b, 3c) are connected to a first insulating film (3d). And the second insulating film (3e) and the first end (31) of the conductor strip (3a, 3b, 3c ) is connected to the second end (22) of the coaxial cable (20). The side surface of the first insulating film (3d) at the second end (32) of the conductor strip (3a, 3b, 3c) is exposed to be a contact portion (33) for the object to be measured, and the conductor strip (3a , 3b, 3c the second insulating film of the second end (32) of) (3e) side high-frequency measurements and a second flexible flat cable is covered with an insulation film (3e) (30) for A lobe (200), wherein the exposed conductor strip (3a) is placed on the contact portion (33) such that the second end (32) of the exposed conductor strip (3a, 3b, 3c) is on the convex side. , 3b, 3c), the second end (32) is bent to provide a convex portion (34), and a high frequency measurement probe (200). 請求項１または請求項２に記載の高周波測定用プローブ（１０１，１０２，，２００）において、前記第２絶縁フィルム（３ｅ）に貼着されたシールド箔（４１）を具備したことを特徴とする高周波測定用プローブ（１０１，１０２，２００）。 The high-frequency measurement probe (101, 102, 200) according to claim 1 or 2, further comprising a shield foil (41) attached to the second insulating film (3e). High frequency measurement probes (101, 102, 200). 請求項１から請求項３のいずれかに記載の高周波測定用プローブ（１０１，１０２，２００）において、前記第１絶縁フィルム（３ｄ）に貼着されたシールド箔（４２）を具備したことを特徴とする高周波測定用プローブ（１０１，１０２，２００）。 The high-frequency measurement probe (101, 102, 200) according to any one of claims 1 to 3, further comprising a shield foil (42) attached to the first insulating film (3d). A probe for high frequency measurement (101, 102, 200).
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102182860B1 (en) * 2015-07-20 2020-11-26 한국전자통신연구원 Radio frequency probe apparatus
IT201700017061A1 (en) * 2017-02-15 2018-08-15 Technoprobe Spa Improved measurement card for high frequency applications
WO2020022085A1 (en) * 2018-07-27 2020-01-30 日置電機株式会社 Measurement device
JP2020016626A (en) * 2018-07-27 2020-01-30 日置電機株式会社 Measuring apparatus
KR102118618B1 (en) * 2020-02-26 2020-06-04 주식회사 엠시스 Cantilever probe pin card with function of the noise filter and EMI protection
JP2020115155A (en) * 2020-05-07 2020-07-30 日置電機株式会社 measuring device

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60260861A (en) * 1984-06-08 1985-12-24 Hitachi Ltd probe
JPH0669055B2 (en) * 1986-05-28 1994-08-31 田中貴金属工業株式会社 Probe needle for measuring electrical characteristics of semiconductor wafers
JPH0810234B2 (en) * 1987-02-24 1996-01-31 東京エレクトロン株式会社 Inspection equipment
JP2769015B2 (en) * 1990-03-08 1998-06-25 株式会社神戸製鋼所 Prober pin head for electronic circuit board inspection and method of manufacturing the same
JP4984769B2 (en) * 2006-09-13 2012-07-25 株式会社村田製作所 Method for calibrating high-frequency characteristic measuring probe and method for measuring high-frequency characteristic of electronic device using this probe

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