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JP5286679B2 - Adhesive composition for electronic parts and adhesive sheet for electronic parts using the same - Google Patents
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Adhesive composition for electronic parts and adhesive sheet for electronic parts using the same Download PDF

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JP5286679B2 JP2007066241A JP2007066241A JP5286679B2 JP 5286679 B2 JP5286679 B2 JP 5286679B2 JP 2007066241 A JP2007066241 A JP 2007066241A JP 2007066241 A JP2007066241 A JP 2007066241A JP 5286679 B2 JP5286679 B2 JP 5286679B2
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Description

本発明は、電子部品用接着剤組成物に関する。さらに詳しくは、半導体集積回路を実装する際に用いられる、テープオートメーテッドボンディング(TAB)方式のパターン加工テープ、ボールグリッドアレイ(BGA)パッケージ用インターポーザ等の半導体集積回路接続用基板、リードフレーム固定テープ、LOC固定テープ、半導体素子等の電子部品とリードフレームや絶縁性支持基板などの支持部材との接着剤すなわちダイボンディング材、ヒートスプレッダ、補強板、シールド材の接着剤、ソルダーレジスト、光路結合用接着剤、光部品組み立て接着剤、LED用封止剤等の光学用接着剤、異方導電性フィルム、銅張り積層板、カバーレイ等を作製するために適した電子部品用接着剤組成物およびそれを用いた電子部品用接着シート、電子部品用接着剤付きテープ、半導体集積回路接続用基板、銅張り積層板に関する。   The present invention relates to an adhesive composition for electronic parts. More specifically, a tape automated bonding (TAB) pattern processing tape, a substrate for connecting a semiconductor integrated circuit such as an interposer for a ball grid array (BGA) package, and a lead frame fixing tape, which are used when mounting a semiconductor integrated circuit. Adhesives between electronic parts such as LOC fixing tapes and semiconductor elements and supporting members such as lead frames and insulating support substrates, ie die bonding materials, heat spreaders, reinforcing plates, shielding material adhesives, solder resists, optical path bonding adhesives Adhesives for electronic parts suitable for producing adhesives, optical part assembly adhesives, optical adhesives such as LED sealants, anisotropic conductive films, copper-clad laminates, coverlays, and the like Adhesive sheet for electronic parts, tape with adhesive for electronic parts, semiconductor integration Road connection substrate relates to a copper-clad laminate.

近年、電子機器の小型化・高密度化が急速に進んでいる。電子機器に用いられる電子部品用接着剤組成物は、最終的に接着剤としてパッケージ内に残留することが多いため、接着性、耐熱性、絶縁耐久性等の諸特性を満たすことが要求されている。   In recent years, downsizing and increasing the density of electronic devices are rapidly progressing. Since the adhesive composition for electronic parts used in electronic devices often remains in the package as an adhesive, it is required to satisfy various properties such as adhesiveness, heat resistance, and insulation durability. Yes.

これまでに、電子部品用接着シートとして、例えばエポキシ樹脂およびポリアミド樹脂を含む接着剤層を有する接着剤付きテープ(例えば、特許文献1〜2参照)が提案されているが、絶縁耐久性が不十分であった。   Until now, as adhesive sheets for electronic parts, for example, tapes with an adhesive having an adhesive layer containing an epoxy resin and a polyamide resin (for example, see Patent Documents 1 and 2) have been proposed, but insulation durability is poor. It was enough.

高温高湿下での絶縁耐久性を向上させる方法として、接着剤の架橋密度を高くすることが挙げられるが、接着剤硬化時の収縮が大きくなり、反りが発生する課題があった。そこで、反りを低減するため、可撓性を有するポリエーテルエステルアミド樹脂を用いた接着剤が提案されている(例えば、特許文献3参照)。この方法により反りは低減されるものの、回路パターンの細線化が進む中、高温高湿条件下での絶縁耐久性が不足する課題があった。
特開平9−321094号公報(請求項1) 特開2002−33354号公報(請求項1) 特開2001−354938号公報(請求項2)
As a method for improving the insulation durability under high temperature and high humidity, the crosslink density of the adhesive is increased. However, there is a problem that the shrinkage at the time of curing the adhesive is increased and warping occurs. Therefore, an adhesive using a flexible polyether ester amide resin has been proposed in order to reduce warpage (see, for example, Patent Document 3). Although the warpage is reduced by this method, there is a problem that the insulation durability under high temperature and high humidity conditions is insufficient as the circuit pattern becomes thinner.
JP 9-321094 A (Claim 1) JP 2002-33354 A (Claim 1) JP 2001-354938 A (Claim 2)

本発明は、上記課題に鑑み、高温下における接着耐久性および高温高湿下における絶縁耐久性に優れ、反りの少ない接着剤層を形成する電子部品用接着剤組成物を提供することを目的とする。   In view of the above problems, an object of the present invention is to provide an adhesive composition for electronic components that forms an adhesive layer that has excellent adhesion durability at high temperatures and insulation durability at high temperatures and high humidity, and has little warpage. To do.

本発明は、ビス(3−アミノプロピル)フォスフェイト、フォスフォリックアシッドビスアミノブチルエステル、ビス(4−アミノフェニル)フェオスフェイト、ビス(4−アミノフェニル)フォスフィン、ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル)フォスフィン、ビス(3−アミノプロピル)サルファイド、ビス(4−アミノフェニル)サルファイド、ビス(4−アミノフェニル)サルフォン、ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル)サルフォン、4,4’−ビス(2−アミノ−6−メトキシピリミジル)ジサルフォン、1,2−ビス(2−アミノエトキシ)エタン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、ビス(3−アミノプロピル)エーテルおよび4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニルから選ばれる1以上のアミンとダイマー酸とから構成される構造単位と、エチレンジアミン、ヘキサメチレンジアミン、ピペラジンおよび1,4−ビス(アミノメチル)シクロヘキサンから選ばれる1以上のジアミンならびにジエチレントリアミン、N、N’−ビス(3−アミノプロピル)エチレンジアミン、N、N’ −ビス(2−アミノエチル)−1,3−プロパンジアミンおよびエチレンジアミンヘキサメチレンテトラミンから選ばれる1以上のポリアミンから選ばれる1以上の脂肪族アミンとダイマー酸とから構成される構造単位とを有するブロック共重合体であるポリアミド樹脂と、熱硬化性樹脂を含有することを特徴とする電子部品用接着剤組成物である。 The present invention relates to bis (3-aminopropyl) phosphate, phosphoric acid bisaminobutyl ester, bis (4-aminophenyl) pheosphate, bis (4-aminophenyl) phosphine, bis (3-amino-4) -Hydroxyphenyl) phosphine, bis (3-aminopropyl) sulfide, bis (4-aminophenyl) sulfide, bis (4-aminophenyl) sulfone, bis (3-amino-4-hydroxyphenyl) sulfone, 4,4 ' -Bis (2-amino-6-methoxypyrimidyl) disulfone, 1,2-bis (2-aminoethoxy) ethane, 1,4-bis (4-aminophenoxy) benzene, bis (3-aminopropyl) ether And 4,4′-bis (4-aminophenoxy) biphenyl A structural unit composed of the above amine and dimer acid, one or more diamines selected from ethylenediamine, hexamethylenediamine, piperazine and 1,4-bis (aminomethyl) cyclohexane, and diethylenetriamine, N, N′-bis ( One or more aliphatic amines selected from one or more polyamines selected from 3-aminopropyl) ethylenediamine, N, N′-bis (2-aminoethyl) -1,3-propanediamine and ethylenediaminehexamethylenetetramine and dimer acid It is the adhesive composition for electronic components characterized by containing the polyamide resin which is a block copolymer which has a structural unit comprised from these, and a thermosetting resin.

本発明によれば、高温下における接着耐久性および高温高湿下における絶縁耐久性に優れ、反りの少ない接着剤層を形成する電子部品用接着剤組成物およびそれを用いた電子部品用接着シートを得ることができる。本発明の電子部品用接着シートを用いることで、高温加工可能な電子部品用接着剤付きテープ、半導体集積回路接続用基板、銅張り積層板ならびに半導体装置を工業的に有利に製造することができ、得られる半導体装置の信頼性を向上させることができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the adhesive composition for electronic components which is excellent in the adhesive durability in high temperature, and the insulation durability in high temperature, high humidity, and forms an adhesive layer with few curvature, and an adhesive sheet for electronic components using the same Can be obtained. By using the adhesive sheet for electronic parts of the present invention, a tape with an adhesive for electronic parts, a substrate for connecting a semiconductor integrated circuit, a copper-clad laminate, and a semiconductor device that can be processed at high temperatures can be produced industrially advantageously. Thus, the reliability of the obtained semiconductor device can be improved.

以下、本発明について詳細に説明する。   The present invention will be described in detail below.

本発明の電子部品用接着剤組成物(以下、接着剤組成物ということもある)は、ビス(3−アミノプロピル)フォスフェイト、フォスフォリックアシッドビスアミノブチルエステル、ビス(4−アミノフェニル)フェオスフェイト、ビス(4−アミノフェニル)フォスフィン、ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル)フォスフィン、ビス(3−アミノプロピル)サルファイド、ビス(4−アミノフェニル)サルファイド、ビス(4−アミノフェニル)サルフォン、ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル)サルフォン、4,4’−ビス(2−アミノ−6−メトキシピリミジル)ジサルフォン、1,2−ビス(2−アミノエトキシ)エタン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、ビス(3−アミノプロピル)エーテルおよび4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニルから選ばれる1以上のアミンとダイマー酸とから構成される構造単位と、エチレンジアミン、ヘキサメチレンジアミン、ピペラジンおよび1,4−ビス(アミノメチル)シクロヘキサンから選ばれる1以上のジアミンならびにジエチレントリアミン、N、N’−ビス(3−アミノプロピル)エチレンジアミン、N、N’ −ビス(2−アミノエチル)−1,3−プロパンジアミンおよびエチレンジアミンヘキサメチレンテトラミンから選ばれる1以上のポリアミンから選ばれる1以上の脂肪族アミンとダイマー酸とから構成される構造単位とを有するブロック共重合体であるポリアミド樹脂を含有する。かかる構造単位を、ポリアミド樹脂の全構造単位中3モル%以上有することが好ましい。 The adhesive composition for electronic parts of the present invention (hereinafter sometimes referred to as an adhesive composition) includes bis (3-aminopropyl) phosphate, phosphoric acid bisaminobutyl ester, and bis (4-aminophenyl). Feosfate, bis (4-aminophenyl) phosphine, bis (3-amino-4-hydroxyphenyl) phosphine, bis (3-aminopropyl) sulfide, bis (4-aminophenyl) sulfide, bis (4-aminophenyl) ) Sulfone, bis (3-amino-4-hydroxyphenyl) sulfone, 4,4′-bis (2-amino-6-methoxypyrimidyl) disulfone, 1,2-bis (2-aminoethoxy) ethane, 1 , 4-bis (4-aminophenoxy) benzene, bis (3-aminopropyl) ether and And a structural unit composed of one or more amines selected from 4,4′-bis (4-aminophenoxy) biphenyl and dimer acid, ethylenediamine, hexamethylenediamine, piperazine and 1,4-bis (aminomethyl) From one or more diamines selected from cyclohexane and diethylenetriamine, N, N′-bis (3-aminopropyl) ethylenediamine, N, N′-bis (2-aminoethyl) -1,3-propanediamine and ethylenediaminehexamethylenetetramine It contains a polyamide resin that is a block copolymer having a structural unit composed of one or more aliphatic amines selected from one or more selected polyamines and a dimer acid . It is preferable to have such a structural unit in an amount of 3 mol% or more in all structural units of the polyamide resin.

ポリアミド樹脂は、酸とアミンの重縮合により得られるが、本発明においては、酸成分にダイマー酸を用いることが必要である。ダイマー酸を含むポリアミド樹脂は、可撓性、低吸湿性および溶解性の点において優れている。このため、得られる接着剤組成物の接着性、高温下における接着耐久性および高温高湿下における絶縁耐久性が向上する。ダイマー酸は、炭素数20〜50の不飽和脂肪酸から得られるものが好ましく、例えば、パルミチン酸、オレイン酸、リノール酸、リノレン酸等の不飽和脂肪酸を2量体化したものが挙げられる。これらを2種以上用いてもよい。また、ダイマー酸以外のアジピン酸、アゼライン酸、セバシン酸等のジカルボン酸を共重合してもかまわない。その場合、ダイマー酸の含有量は全酸成分中60重量%以上が好ましい。   The polyamide resin is obtained by polycondensation of an acid and an amine. In the present invention, it is necessary to use dimer acid as the acid component. The polyamide resin containing dimer acid is excellent in terms of flexibility, low hygroscopicity, and solubility. For this reason, the adhesiveness of the obtained adhesive composition, the adhesive durability under high temperature, and the insulation durability under high temperature and high humidity are improved. The dimer acid is preferably obtained from an unsaturated fatty acid having 20 to 50 carbon atoms, and examples thereof include dimerized unsaturated fatty acids such as palmitic acid, oleic acid, linoleic acid, and linolenic acid. Two or more of these may be used. Further, dicarboxylic acids other than dimer acid such as adipic acid, azelaic acid, and sebacic acid may be copolymerized. In that case, the content of dimer acid is preferably 60% by weight or more in the total acid component.

一方、アミン成分はリン、硫黄、酸素から選ばれる少なくとも一種の原子を有することが必要である。リン、硫黄はその原子の大きさからポリアミド樹脂の自由体積を増大することにより、分子運動が活性化されるため、その結果として可撓性が向上し、接着性、低反り性に優れた接着剤組成物を得ることができる。また、酸素原子の場合は、ポリアミド主鎖に酸素原子を有することで分子の回転運動を促進するため、同様の効果を得ることができる。また、本発明においては、リン、硫黄または酸素をアミン成分に有することが重要である。このようなアミン成分とダイマー酸を用いることにより、高温高湿下における高い絶縁耐久性と、接着耐久性、低反り性を両立することができる。   On the other hand, the amine component needs to have at least one atom selected from phosphorus, sulfur, and oxygen. Phosphorus and sulfur are activated by increasing the free volume of the polyamide resin due to the size of the atoms, and as a result, the molecular motion is activated. As a result, the flexibility is improved, and adhesion with excellent adhesion and low warpage is achieved. An agent composition can be obtained. In the case of oxygen atoms, since the rotation of the molecules is promoted by having oxygen atoms in the polyamide main chain, the same effect can be obtained. In the present invention, it is important to have phosphorus, sulfur or oxygen in the amine component. By using such an amine component and dimer acid, it is possible to achieve both high insulation durability under high temperature and high humidity, adhesion durability, and low warpage.

また、アミン成分は一分子中にアミノ基を2以上有することが必要であり、トリアミン、テトラミン等のポリアミンも使用することができる。本発明に用いられる、リン、硫黄、酸素から選ばれる少なくとも一種の原子および2以上のアミノ基を有するアミン成分としては、ビス(3−アミノプロピル)フォスフェイト、フォスフォリックアシッドビスアミノブチルエステル、ビス(4−アミノフェニル)フェオスフェイト、ビス(4−アミノフェニル)フォスフィン、ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル)フォスフィン、ビス(3−アミノプロピル)サルファイド、ビス(4−アミノフェニル)サルファイド、ビス(4−アミノフェニル)サルフォン、ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル)サルフォン、4,4’−ビス(2−アミノ−6−メトキシピリミジル)ジサルフォン、1,2−ビス(2−アミノエトキシ)エタン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、ビス(3−アミノプロピル)エーテルおよび4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニルから選ばれる1以上のアミンである。これらを2種以上用いてもよい。 Further, the amine component needs to have two or more amino groups in one molecule, and polyamines such as triamine and tetramine can also be used. The need use in the present invention, phosphorus, sulfur, as the amine component having at least one atom and 2 or more amino groups selected from oxygen, bis (3-aminopropyl) phosphate, phosphoenolpyruvate butyric acid bis-amino-butyl ester Bis (4-aminophenyl) pheosphate, bis (4-aminophenyl) phosphine, bis (3-amino-4-hydroxyphenyl) phosphine, bis (3-aminopropyl) sulfide, bis (4-aminophenyl) Sulfide, bis (4-aminophenyl) sulfone, bis (3-amino-4-hydroxyphenyl) sulfone, 4,4′-bis (2-amino-6-methoxypyrimidyl) disulfone, 1,2-bis ( 2-aminoethoxy) ethane, 1,4-bis (4-aminophenoxy) One or more amines selected from benzene, bis (3-aminopropyl) ether and 4,4′-bis (4-aminophenoxy) biphenyl. Two or more of these may be used.

これらの中でも、芳香環を有さない脂肪族炭化水素系で構成されるアミン成分が好ましい。脂肪族炭化水素系で構成されるアミン成分は可撓性を有するため、接着力、低反り性をより向上させることができる。   Among these, the amine component comprised by the aliphatic hydrocarbon type which does not have an aromatic ring is preferable. Since the amine component composed of an aliphatic hydrocarbon system has flexibility, the adhesive force and the low warpage can be further improved.

前記、ビス(3−アミノプロピル)フォスフェイト、フォスフォリックアシッドビスアミノブチルエステル、ビス(4−アミノフェニル)フェオスフェイト、ビス(4−アミノフェニル)フォスフィン、ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル)フォスフィン、ビス(3−アミノプロピル)サルファイド、ビス(4−アミノフェニル)サルファイド、ビス(4−アミノフェニル)サルフォン、ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル)サルフォン、4,4’−ビス(2−アミノ−6−メトキシピリミジル)ジサルフォン、1,2−ビス(2−アミノエトキシ)エタン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、ビス(3−アミノプロピル)エーテルおよび4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニルから選ばれる1以上のアミンとダイマー酸とから構成される構造単位を有する樹脂は、エチレンジアミン、ヘキサメチレンジアミン、ピペラジンおよび1,4−ビス(アミノメチル)シクロヘキサンから選ばれる1以上のジアミンならびにジエチレントリアミン、N、N’−ビス(3−アミノプロピル)エチレンジアミン、N、N’ −ビス(2−アミノエチル)−1,3−プロパンジアミンおよびエチレンジアミンヘキサメチレンテトラミンから選ばれる1以上のポリアミンから選ばれる1以上の脂肪族アミンとダイマー酸とから構成される構造単位とのブロック共重合体である。エチレンジアミン、ヘキサメチレンジアミン、ピペラジンおよび1,4−ビス(アミノメチル)シクロヘキサンから選ばれる1以上のジアミンならびにジエチレントリアミン、N、N’−ビス(3−アミノプロピル)エチレンジアミン、N、N’ −ビス(2−アミノエチル)−1,3−プロパンジアミンおよびエチレンジアミンヘキサメチレンテトラミンから選ばれる1以上のポリアミンから選ばれる1以上の脂肪族アミンとダイマー酸とから構成される構造単位を有することにより、分子配列性が向上し、高温高湿条件下における絶縁耐久性および熱変形耐性を向上させることができる。この場合、ビス(3−アミノプロピル)フォスフェイト、フォスフォリックアシッドビスアミノブチルエステル、ビス(4−アミノフェニル)フェオスフェイト、ビス(4−アミノフェニル)フォスフィン、ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル)フォスフィン、ビス(3−アミノプロピル)サルファイド、ビス(4−アミノフェニル)サルファイド、ビス(4−アミノフェニル)サルフォン、ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル)サルフォン、4,4’−ビス(2−アミノ−6−メトキシピリミジル)ジサルフォン、1,2−ビス(2−アミノエトキシ)エタン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、ビス(3−アミノプロピル)エーテルおよび4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニルから選ばれる1以上のアミンとダイマー酸とから構成される構造単位(I)と、エチレンジアミン、ヘキサメチレンジアミン、ピペラジンおよび1,4−ビス(アミノメチル)シクロヘキサンから選ばれる1以上のジアミンならびにジエチレントリアミン、N、N’−ビス(3−アミノプロピル)エチレンジアミン、N、N’ −ビス(2−アミノエチル)−1,3−プロパンジアミンおよびエチレンジアミンヘキサメチレンテトラミンから選ばれる1以上のポリアミンから選ばれる1以上の脂肪族アミンとダイマー酸とから構成される構造単位(II)との共重合比は、0.4≦(II/I)≦32(モル比)であることが好ましい。共重合比(II/I)が0.4以上であれば、絶縁耐久性および熱変形耐性がより向上し、32以下であれば、接着性、低反り性がより向上する。より好ましくは1.0≦(II/I)≦9.0である。 Bis (3-aminopropyl) phosphate, phosphoric acid bisaminobutyl ester, bis (4-aminophenyl) pheosphate, bis (4-aminophenyl) phosphine, bis (3-amino-4-hydroxy) Phenyl) phosphine, bis (3-aminopropyl) sulfide, bis (4-aminophenyl) sulfide, bis (4-aminophenyl) sulfone, bis (3-amino-4-hydroxyphenyl) sulfone, 4,4′-bis (2-amino-6-methoxypyrimidyl) disulfone, 1,2-bis (2-aminoethoxy) ethane, 1,4-bis (4-aminophenoxy) benzene, bis (3-aminopropyl) ether and 4 , 4′-bis (4-aminophenoxy) biphenyl The resin having a structural unit composed of an amine and dimer acid, ethylene diamine, hexamethylene diamine, piperazine and 1,4-bis one or more diamines and diethylenetriamine selected from (aminomethyl) cyclohexane, N, N' One or more aliphatic amines selected from one or more polyamines selected from bis (3-aminopropyl) ethylenediamine, N, N′ -bis (2-aminoethyl) -1,3-propanediamine and ethylenediaminehexamethylenetetramine ; Ru block copolymer der the structural unit composed of a dimer acid. One or more diamines selected from ethylenediamine, hexamethylenediamine, piperazine and 1,4-bis (aminomethyl) cyclohexane, and diethylenetriamine, N, N′-bis (3-aminopropyl) ethylenediamine, N, N′-bis (2 -By having a structural unit composed of one or more aliphatic amines selected from one or more polyamines selected from one or more polyamines selected from -aminoethyl) -1,3-propanediamine and ethylenediaminehexamethylenetetramine , And the insulation durability and heat deformation resistance under high temperature and high humidity conditions can be improved. In this case, bis (3-aminopropyl) phosphate, phosphoric acid bisaminobutyl ester, bis (4-aminophenyl) pheospheate, bis (4-aminophenyl) phosphine, bis (3-amino-4-) Hydroxyphenyl) phosphine, bis (3-aminopropyl) sulfide, bis (4-aminophenyl) sulfide, bis (4-aminophenyl) sulfone, bis (3-amino-4-hydroxyphenyl) sulfone, 4,4′- Bis (2-amino-6-methoxypyrimidyl) disulfone, 1,2-bis (2-aminoethoxy) ethane, 1,4-bis (4-aminophenoxy) benzene, bis (3-aminopropyl) ether and Selected from 4,4'-bis (4-aminophenoxy) biphenyl Structural units (I) composed of the above amines with a dimer acid, ethylene diamine, hexamethylene diamine, piperazine and 1,4-bis one or more diamines and diethylenetriamine selected from (aminomethyl) cyclohexane, N, N ' One or more aliphatic amines selected from one or more polyamines selected from -bis (3-aminopropyl) ethylenediamine, N, N' -bis (2-aminoethyl) -1,3-propanediamine and ethylenediaminehexamethylenetetramine The copolymerization ratio of the structural unit (II) comprising dimer acid is preferably 0.4 ≦ (II / I) ≦ 32 (molar ratio). When the copolymerization ratio (II / I) is 0.4 or more, the insulation durability and heat distortion resistance are further improved, and when it is 32 or less, the adhesiveness and the low warpage are further improved. More preferably, 1.0 ≦ (II / I) ≦ 9.0.

リン、硫黄、酸素をいずれも有しない脂肪族アミンとしては、エチレンジアミン、ヘキサメチレンジアミン、ピペラジンおよび1,4−ビス(アミノメチル)シクロヘキサンから選ばれる1以上のジアミン、ジエチレントリアミン、N、N’−ビス(3−アミノプロピル)エチレンジアミン、N、N’ −ビス(2−アミノエチル)−1,3−プロパンジアミンおよびエチレンジアミンヘキサメチレンテトラミンから選ばれる1以上のポリアミンから選ばれる1以上の脂肪族アミンである。これらを2種以上用いてもよい。 Examples of the aliphatic amine having no phosphorus, sulfur, or oxygen include one or more diamines selected from ethylenediamine, hexamethylenediamine, piperazine and 1,4-bis (aminomethyl) cyclohexane, diethylenetriamine, N, N′-bis. It is one or more aliphatic amines selected from one or more polyamines selected from (3-aminopropyl) ethylenediamine, N, N′ -bis (2-aminoethyl) -1,3-propanediamine and ethylenediaminehexamethylenetetramine. . Two or more of these may be used.

本発明において、ポリアミド樹脂のアミン価は5以下が好ましく、3以下がより好ましいアミン価が5以下であると、後述する熱硬化性樹脂との相溶性が低下し、微細な相分離構造を形成するために、ポリアミド樹脂に由来する接着性および低反り性と、熱硬化性樹脂に由来する耐変形熱性とのバランスを向上することができる。ここで、ポリアミド樹脂のアミン価は、ポリアミド樹脂1gをトルエン/n−ブタノール(1/1重量比)混合液に溶解した溶液を0.1N塩酸および0.1N水酸化カリウムで滴定することにより測定できる。   In the present invention, the amine value of the polyamide resin is preferably 5 or less, and more preferably 3 or less. When the amine value is 5 or less, the compatibility with the thermosetting resin described later is lowered and a fine phase separation structure is formed. Therefore, the balance between the adhesiveness and low warpage derived from the polyamide resin and the deformation heat resistance derived from the thermosetting resin can be improved. Here, the amine value of the polyamide resin is measured by titrating a solution obtained by dissolving 1 g of polyamide resin in a toluene / n-butanol (1/1 weight ratio) mixed solution with 0.1N hydrochloric acid and 0.1N potassium hydroxide. it can.

また、ポリアミド樹脂を構成するダイマー酸のヨウ素価は20以下が好ましく、10以下がより好ましい。ヨウ素価とは、1gの不飽和脂肪酸中における不飽和結合基を中和するために要するヨウ素のmg数で示される。ヨウ素価が20以下であれば、反りをより低減することができる。ダイマー酸のヨウ素価を20以下にする方法としては、例えば、ヨウ素価が20以下の原料脂肪酸を使用する以外に、高ヨウ素価のダイマー酸を用いて合成したポリアミド樹脂の不飽和結合基部分に水添反応する方法が挙げられる。なお、2種以上のポリアミド樹脂を含有する場合、全ポリアミド樹脂に含まれる全ダイマー酸の平均のヨウ素価を20以下とすることが好ましい。   Further, the iodine value of the dimer acid constituting the polyamide resin is preferably 20 or less, and more preferably 10 or less. The iodine value is indicated by the number of mg of iodine required for neutralizing an unsaturated bond group in 1 g of an unsaturated fatty acid. If the iodine value is 20 or less, warpage can be further reduced. Examples of the method for reducing the iodine value of dimer acid to 20 or less include, for example, the use of a raw fatty acid having an iodine value of 20 or less for the unsaturated bond group portion of a polyamide resin synthesized using dimer acid having a high iodine value. The method of hydrogenating reaction is mentioned. When two or more polyamide resins are contained, the average iodine value of all dimer acids contained in all polyamide resins is preferably 20 or less.

また、ポリアミド樹脂の重量平均分子量が6万以上であることが絶縁性の向上に有効である。高分子量のポリアミド樹脂を使用することにより電気伝導性を低減できるためであり、ポリアミド樹脂の溶解性の点から重量平均分子40万以下であることが好ましい。重量平均分子量とはGPC(ゲル・パーミッション・クロマトグラフィ)によるポリスチレン換算から算出される重量平均分子量を示す。   Moreover, it is effective for the insulation improvement that the weight average molecular weight of a polyamide resin is 60,000 or more. This is because the electrical conductivity can be reduced by using a high molecular weight polyamide resin, and the weight average molecule is preferably 400,000 or less from the viewpoint of the solubility of the polyamide resin. The weight average molecular weight is a weight average molecular weight calculated from polystyrene conversion by GPC (gel permeation chromatography).

本発明の接着剤組成物は、熱硬化性樹脂を含有する。熱硬化樹脂の含有量は、接着剤組成物中20〜80重量%が好ましく、30〜70重量%がより好ましい。   The adhesive composition of the present invention contains a thermosetting resin. The content of the thermosetting resin is preferably 20 to 80% by weight, more preferably 30 to 70% by weight in the adhesive composition.

熱硬化性樹脂としては、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、尿素樹脂、シアナート樹脂、マレイミド樹脂、アセタール樹脂等が挙げられる。熱変形耐性、絶縁性の観点から、フェノール樹脂およびエポキシ樹脂を含むことが好ましい。   Examples of the thermosetting resin include phenol resin, epoxy resin, urea resin, cyanate resin, maleimide resin, and acetal resin. From the viewpoint of heat distortion resistance and insulation, it is preferable to include a phenol resin and an epoxy resin.

フェノール樹脂は、レゾール型およびノボラック型のいずれであってもよい。また、ストレート以外にクレゾール、ターシャリブチルあるいはノニルなど種々の置換基を有したフェノール樹脂であってもよく、これらを2種以上用いてもよい。   The phenol resin may be either a resol type or a novolac type. In addition to straight, it may be a phenol resin having various substituents such as cresol, tertiary butyl or nonyl, and two or more of these may be used.

これらの中でも、特に架橋性を有するレゾール樹脂が、熱変形耐性および絶縁耐久性を向上させるため好ましい。架橋性を有するレゾール樹脂とは、レゾール樹脂同士が自己縮合して高分子量化していく上で三次元のネットワーク構造を形成できる構造単位を有するレゾール樹脂のことである。具体的には、フェノール性水酸基を除いた反応点を3箇所以上有するレゾール樹脂であり、例えば、ストレートレゾール、m−アルキル置換レゾール、ビスフェノールAレゾール、ビスフェノールSレゾール、ビスフェノールFレゾール等が挙げられる。これらの架橋性を有するレゾール樹脂を2種以上用いてもよい。また、熱変形耐性と低反り性および接着性を両立するために、特に架橋性を有するフェノールと線状性を有するフェノールをモノマー状態であらかじめ混合、共重合されたものにメチロール基を付加したレゾールを使用することが有効である。共重合したレゾール樹脂中における架橋性を有するレゾール樹脂の含有量は5〜70重量%であることが好ましく、更に好ましくは10〜50重量%である。5重量%以上であると熱変形耐性に優れ、70重量%以下であれば接着性、低反り性の低下を極力抑制するができる。また、フェノール樹脂における架橋性を有するレゾール樹脂の含有量は5〜70重量%が好ましく、さらには10〜50重量%であることが好ましい。   Among these, a resol resin having crosslinkability is particularly preferable because it improves heat distortion resistance and insulation durability. The resol resin having crosslinkability is a resol resin having a structural unit capable of forming a three-dimensional network structure when the resole resins are self-condensed to increase the molecular weight. Specifically, it is a resole resin having three or more reaction points excluding the phenolic hydroxyl group, and examples thereof include straight resole, m-alkyl substituted resole, bisphenol A resole, bisphenol S resole, and bisphenol F resole. Two or more kinds of these crosslinkable resole resins may be used. In addition, in order to achieve both heat distortion resistance, low warpage and adhesiveness, a resole in which a methylol group is added to a copolymer obtained by previously mixing and copolymerizing a phenol having crosslinkability and a phenol having linearity in a monomer state in advance. It is effective to use The content of the crosslinkable resole resin in the copolymerized resole resin is preferably 5 to 70% by weight, and more preferably 10 to 50% by weight. If it is 5% by weight or more, it is excellent in heat deformation resistance, and if it is 70% by weight or less, it is possible to suppress the decrease in adhesiveness and low warpage as much as possible. Moreover, 5-70 weight% is preferable and, as for content of the resol resin which has crosslinkability in a phenol resin, it is preferable that it is 10-50 weight%.

フェノール樹脂の含有量は、ポリアミド樹脂100重量部に対して好ましくは5〜200重量部であり、より好ましくは20〜160重量部である。   The content of the phenol resin is preferably 5 to 200 parts by weight, more preferably 20 to 160 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the polyamide resin.

また、熱硬化性樹脂としてエポキシ樹脂を使用することは接着性を付与するためには有効である。   Moreover, using an epoxy resin as a thermosetting resin is effective for imparting adhesiveness.

エポキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA、ビスフェノールF、ビスフェノールS、レゾルシノール、ジヒドロキシナフタレン、ジシクロペンタジエンジフェノール、ジシクロペンタジエンジキシレノール等のジグリシジルエーテル、エポキシ化フェノールノボラック、エポキシ化クレゾールノボラック、エポキシ化トリスフェニロールメタン、エポキシ化テトラフェニロールエタン、エポキシ化メタキシレンジアミン等が挙げられる。これらを2種以上用いてもよい。   Examples of the epoxy resin include diglycidyl ethers such as bisphenol A, bisphenol F, bisphenol S, resorcinol, dihydroxynaphthalene, dicyclopentadiene diphenol, dicyclopentadiene dixylenol, epoxidized phenol novolac, epoxidized cresol novolak, and epoxidized. Trisphenylol methane, epoxidized tetraphenylol ethane, epoxidized metaxylene diamine and the like can be mentioned. Two or more of these may be used.

本発明の電子部品用接着剤組成物において、ポリアミド樹脂100重量部に対してエポキシ樹脂を10〜200重量部含有することが好ましく、より好ましくは20〜180重量部、更に好ましくは30〜160重量部である。10重量部以上であれば、絶縁信頼性、接着耐久性がより向上し、200重量部以下であれば可撓性が損なわれることがない。   In the adhesive composition for electronic parts of the present invention, the epoxy resin is preferably contained in an amount of 10 to 200 parts by weight, more preferably 20 to 180 parts by weight, still more preferably 30 to 160 parts by weight based on 100 parts by weight of the polyamide resin. Part. If it is 10 parts by weight or more, insulation reliability and adhesion durability are further improved, and if it is 200 parts by weight or less, flexibility is not impaired.

本発明の接着剤組成物は、エポキシ樹脂用硬化剤を含有してもよい。エポキシ樹脂用硬化剤は、エポキシ樹脂と反応するものであれば特に限定されず、アミン化合物、フェノール樹脂、酸無水物、メラミン樹脂、キシレン樹脂、フラン樹脂、シアン酸エステル樹脂等公知のものが例示される。   The adhesive composition of the present invention may contain an epoxy resin curing agent. The epoxy resin curing agent is not particularly limited as long as it reacts with the epoxy resin, and examples thereof include known amine compounds, phenol resins, acid anhydrides, melamine resins, xylene resins, furan resins, and cyanate ester resins. Is done.

本発明の接着剤組成物は、硬化促進剤を含有してもよい。硬化促進剤としては、三フッ化ホウ素トリエチルアミン錯体等の三フッ化ホウ素のアミン錯体、1,8−ジアザビシクロ(5.4.0)ウンデセン−7、2−アルキル−4−メチルイミダゾール、ジシアンジアミド、トリフェニルフォスフィン、スルフォニウム塩誘導体等公知のものが挙げられる。これらを2種以上用いてもよい。含有量は接着剤組成物中0.1〜20重量%が好ましい。   The adhesive composition of the present invention may contain a curing accelerator. Curing accelerators include boron trifluoride amine complexes such as boron trifluoride triethylamine complex, 1,8-diazabicyclo (5.4.0) undecene-7, 2-alkyl-4-methylimidazole, dicyandiamide, Well-known things, such as a phenylphosphine and a sulfonium salt derivative, are mentioned. Two or more of these may be used. The content is preferably 0.1 to 20% by weight in the adhesive composition.

本発明の接着剤組成物は、接着性を付与するために官能基を複数有する化合物を含有しても良い。例えばグリセリン、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール等の多価アルコール類、トリアジン、トリアゾール、チアゾール等の複素環を有する化合物等公知のものが例示される。   The adhesive composition of the present invention may contain a compound having a plurality of functional groups in order to impart adhesiveness. For example, known compounds such as polyhydric alcohols such as glycerin, polyethylene glycol and polypropylene glycol, and compounds having a heterocyclic ring such as triazine, triazole and thiazole are exemplified.

以上の成分以外に、接着剤の特性を損なわない範囲で無機充填剤、酸化防止剤、イオン捕捉剤などの有機、無機成分を含有することは何ら制限されるものではない。   In addition to the above components, it is not limited at all to contain organic and inorganic components such as inorganic fillers, antioxidants and ion scavengers as long as the properties of the adhesive are not impaired.

本発明の電子部品用接着シート(以下、接着シートという)とは、本発明の電子部品用接着剤組成物から形成される接着剤層と、少なくとも1層の剥離可能な保護フィルム層を有するものをいう。例えば、保護フィルム層/接着剤層の2層構成、あるいは保護フィルム層/接着剤層/保護フィルム層の3層構成がこれに該当する。接着剤層の厚みは、弾性率および線膨張係数との関係で適宜選択できるが、2〜500μmが好ましく、より好ましくは5〜200μmである。   The adhesive sheet for electronic parts of the present invention (hereinafter referred to as adhesive sheet) has an adhesive layer formed from the adhesive composition for electronic parts of the present invention and at least one peelable protective film layer. Say. For example, a two-layer structure of protective film layer / adhesive layer or a three-layer structure of protective film layer / adhesive layer / protective film layer corresponds to this. Although the thickness of an adhesive bond layer can be suitably selected by the relationship with an elasticity modulus and a linear expansion coefficient, 2-500 micrometers is preferable, More preferably, it is 5-200 micrometers.

接着シートは加熱処理により接着剤層の硬化度を調節してもよい。 硬化度の調節は、接着剤シートを配線基板あるいは半導体集積回路(IC)に接着する際の接着剤のフロー過多を防止するとともに加熱硬化時の水分による発泡を防止する効果がある。   The adhesive sheet may adjust the degree of curing of the adhesive layer by heat treatment. Adjustment of the degree of cure has the effect of preventing excessive flow of the adhesive when adhering the adhesive sheet to a wiring substrate or a semiconductor integrated circuit (IC) and preventing foaming due to moisture during heat curing.

保護フィルム層は、接着剤層の形態および機能を損なうことなく剥離できれば特に限定されないが、例えば、ポリエステル、ポリオレフィン、ポリフェニレンスルフィド、ポリ塩化ビニル、ポリテトラフルオロエチレン、ポリフッ化ビニリデン、ポリフッ化ビニル、ポリビニルブチラール、ポリ酢酸ビニル、ポリビニルアルコール、ポリカーボネート、ポリアミド、ポリイミド、ポリメチルメタクリレート等のプラスチックフィルム、これらにシリコーンあるいはフッ素化合物等の離型剤のコーティング処理を施したフィルムおよびこれらのフィルムをラミネートした紙、離型性のある樹脂を含浸あるいはコーティングした紙等が挙げられる。   The protective film layer is not particularly limited as long as it can be peeled without impairing the form and function of the adhesive layer. For example, polyester, polyolefin, polyphenylene sulfide, polyvinyl chloride, polytetrafluoroethylene, polyvinylidene fluoride, polyvinyl fluoride, polyvinyl A plastic film such as butyral, polyvinyl acetate, polyvinyl alcohol, polycarbonate, polyamide, polyimide, polymethyl methacrylate, a film obtained by coating a release agent such as silicone or fluorine compound on the film, and a paper laminated with these films, Examples include paper impregnated or coated with a releasable resin.

接着剤層の両面に保護フィルム層を有する場合、それぞれの保護フィルム層の接着剤層に対する剥離力をF、F(F>F)としたとき、F−Fは5Nm−1以上が好ましく、15Nm−1以上がより好ましい。F−Fが5Nm−1より大きい場合、安定した剥離面で保護フィルム層を剥離することができる。また、剥離力F、Fはいずれも好ましくは1〜200Nm−1、さらに好ましくは3〜100Nm−1である。1Nm−1以上であれば保護フィルム層の脱落を防止し、200Nm−1以下であれば安定した剥離が可能になり接着剤層が損傷する恐れがない。 When the protective film layers are provided on both surfaces of the adhesive layer, F 1 -F 2 is 5 Nm when the peeling force of each protective film layer on the adhesive layer is F 1 , F 2 (F 1 > F 2 ). 1 or more is preferable, and 15 Nm −1 or more is more preferable. When F 1 -F 2 is larger than 5 Nm −1 , the protective film layer can be peeled with a stable peel surface. Further, the peeling forces F 1 and F 2 are preferably 1 to 200 Nm −1 , more preferably 3 to 100 Nm −1 . If it is 1 Nm −1 or more, the protective film layer is prevented from falling off, and if it is 200 Nm −1 or less, stable peeling is possible and the adhesive layer is not damaged.

本発明の電子部品用接着剤付きテープとは、本発明の電子部品用接着剤組成物から形成される接着剤層および有機絶縁性フィルムを有するものである。有機絶縁性フィルムとしては、例えば、ポリイミド、ポリエーテルイミド、ポリアミドイミド、芳香族ポリアミド(アラミド)、ポリベンゾオキサゾール、ポリエチレンナフタレート、液晶などのいわゆる耐熱性フィルム、あるいはフレキシブルエポキシ/ガラスクロスなどの複合材料などが好ましく挙げられる。特にポリイミドフィルムは、熱寸法安定性の点から特に好ましく用いられる。   The tape with an adhesive for electronic parts of the present invention has an adhesive layer and an organic insulating film formed from the adhesive composition for electronic parts of the present invention. Examples of organic insulating films include so-called heat-resistant films such as polyimide, polyetherimide, polyamideimide, aromatic polyamide (aramid), polybenzoxazole, polyethylene naphthalate, and liquid crystal, or composites such as flexible epoxy / glass cloth. A material etc. are mentioned preferably. In particular, a polyimide film is particularly preferably used from the viewpoint of thermal dimensional stability.

本発明の銅張り積層板は、本発明の電子部品用接着剤組成物から形成された接着剤層を介して、有機絶縁性フィルムと銅箔を積層してなるものである。銅箔は電解銅箔、圧延銅箔等が挙げられる。銅箔の積層は加熱条件下でロール方式でのラミネートあるいはプレス方式等で行われる。   The copper-clad laminate of the present invention is formed by laminating an organic insulating film and a copper foil via an adhesive layer formed from the adhesive composition for electronic components of the present invention. Examples of the copper foil include electrolytic copper foil and rolled copper foil. Lamination of the copper foil is performed by laminating by a roll method or a press method under heating conditions.

本発明の半導体集積回路接続用基板は、上記電子部品用接着剤付きテープあるいは銅張り積層板を用いたものであり、これを用いて半導体装置を得ることができる。   The substrate for connecting a semiconductor integrated circuit of the present invention uses the above-mentioned tape with an adhesive for electronic components or a copper-clad laminate, and a semiconductor device can be obtained using this.

次に、本発明の電子部品用接着剤組成物の製造方法、これを用いた電子部品用接着シート、電子部品用接着剤付きテープ、半導体集積回路接続用基板ならびに半導体装置の製造方法を、例を挙げて説明する。   Next, a method for producing an adhesive composition for electronic parts according to the present invention, an adhesive sheet for electronic parts, a tape with an adhesive for electronic parts, a substrate for connecting a semiconductor integrated circuit, and a method for producing a semiconductor device are described as examples. Will be described.

(1)電子部品用接着剤組成物
30〜70℃に加温した溶剤にポリアミド樹脂を添加し、30分〜12時間攪拌しながら溶解する。溶解後、熱硬化性樹脂を同温度範囲下で混合し、30分〜6時間攪拌しながら溶解する。40℃以下に冷却した後に触媒、他の添加剤等を加え、1〜30μmのフィルターにて濾過を行い、電子部品用接着剤組成物の塗料を得る。溶剤は特に限定されないが、トルエン、キシレン、クロルベンゼン等の芳香族系、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン等のケトン系、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、Nメチルピロリドン等の非プロトン系極性溶剤等が挙げられる。これらを2種以上用いてもよい。
(1) Adhesive composition for electronic parts A polyamide resin is added to a solvent heated to 30 to 70 ° C and dissolved while stirring for 30 minutes to 12 hours. After dissolution, the thermosetting resin is mixed under the same temperature range and dissolved while stirring for 30 minutes to 6 hours. After cooling to 40 ° C. or lower, a catalyst, other additives, and the like are added, and the mixture is filtered through a 1 to 30 μm filter to obtain a coating composition for an adhesive composition for electronic components. The solvent is not particularly limited, and examples thereof include aromatics such as toluene, xylene and chlorobenzene, ketones such as methyl ethyl ketone and methyl isobutyl ketone, and aprotic polar solvents such as dimethylformamide, dimethylacetamide and N-methylpyrrolidone. Two or more of these may be used.

(2)電子部品用接着シート
上記(1)に記載の方法で得られる電子部品用接着剤組成物の塗料を、離型性を有するポリエステルフィルム(保護フィルム)上に塗布、乾燥し、接着剤層を形成する。乾燥条件は、100〜200℃、1〜5分が一般的である。接着剤厚みを増す場合は、該接着剤層を複数回積層すればよい。さらに、接着剤層上に剥離強度の弱い離型性を有するポリエステルあるいはポリオレフィン系の保護フィルム層をラミネートして接着シートを得る。
(2) Adhesive sheet for electronic parts The paint of the adhesive composition for electronic parts obtained by the method described in (1) above is applied onto a polyester film (protective film) having releasability, dried, and then an adhesive. Form a layer. The drying conditions are generally 100 to 200 ° C. and 1 to 5 minutes. In order to increase the adhesive thickness, the adhesive layer may be laminated a plurality of times. Furthermore, an adhesive sheet is obtained by laminating a protective film layer of polyester or polyolefin having a releasability with low peel strength on the adhesive layer.

(3)電子部品用接着剤付きテープ
上記(2)に記載の方法で得られた電子部品用接着シートの片方の保護フィルムを剥離し、有機絶縁性フィルムに温度100〜160℃、押圧0.1〜0.3MPaでラミネートし、電子部品用接着剤付きテープを得ることができる。また、有機絶縁性フィルム面に本発明の電子部品用接着剤組成物を直接コーティングして作製してもよい。ラミネートあるいはコーティング後に、例えば40〜80℃で20〜300時間程度熱処理して硬化度を調節してもよい。
(3) Tape with adhesive for electronic parts One protective film of the adhesive sheet for electronic parts obtained by the method described in (2) above is peeled off, and a temperature of 100 to 160 ° C and a pressure of 0. By laminating at 1 to 0.3 MPa, a tape with an adhesive for electronic components can be obtained. Alternatively, the organic insulating film surface may be directly coated with the adhesive composition for electronic parts of the present invention. After lamination or coating, the degree of curing may be adjusted by heat treatment at 40 to 80 ° C. for about 20 to 300 hours, for example.

(4)半導体集積回路接続用基板
上記(3)に記載の方法で得られた電子部品用接着剤付きテープをTAB用テープとして用いる場合は、上記電子部品用接着剤付きテープを所定のパターンを有するパンチング用金型を設置したプレス機によってパンチングし、保護フィルムを剥離し銅箔ラミネートを行った後、加熱処理する。銅箔ラミネート条件は、温度100〜160℃、押圧0.1〜0.3MPaが好ましい。また加熱条件は、ステップ加熱することが好ましく、50〜90℃の比較的低温領域から除々に昇温しながら最終的には150〜180℃まで昇温することが好ましい。次いで、フォトリソグラフィーにより半導体集積回路接続用の導体回路を形成することで本発明の半導体集積回路接続用基板を得ることができる。
(4) Substrate for connecting a semiconductor integrated circuit When the tape with an adhesive for electronic components obtained by the method described in (3) above is used as a TAB tape, the tape with an adhesive for electronic components has a predetermined pattern. It punches with the press machine which installed the metal mold | die for punching which has, peels a protective film, performs copper foil lamination, and then heat-processes. The copper foil lamination conditions are preferably a temperature of 100 to 160 ° C. and a pressure of 0.1 to 0.3 MPa. The heating condition is preferably step heating, and it is preferable to raise the temperature to 150 to 180 ° C. finally while gradually raising the temperature from a relatively low temperature range of 50 to 90 ° C. Next, a semiconductor integrated circuit connecting substrate of the present invention can be obtained by forming a conductor circuit for connecting a semiconductor integrated circuit by photolithography.

(5)銅張り積層板
上記(3)に記載の方法で得られた電子部品用接着剤付きテープの保護フィルムを剥離し、銅箔ラミネートを行った後、加熱処理することにより、本発明の銅張り積層板を得ることができる。銅箔ラミネート条件および加熱条件は、上記(3)と同じである。
(5) Copper-clad laminate After peeling the protective film of the adhesive tape for electronic parts obtained by the method described in (3) above and carrying out copper foil lamination, heat treatment is performed. A copper-clad laminate can be obtained. Copper foil laminating conditions and heating conditions are the same as in (3) above.

(6)半導体装置
上記(4)に記載の方法で得られた半導体集積回路接続用基板を用いて、好適には150〜200℃、50〜200Hz、1秒〜1分の条件でワイヤーボンディングを行い、半導体集積回路を接続し、しかる後に、エポキシ系封止剤で樹脂封止を行うことで半導体装置を製造することができる。
(6) Semiconductor device Using the substrate for connecting a semiconductor integrated circuit obtained by the method described in (4) above, wire bonding is preferably performed under conditions of 150 to 200 ° C., 50 to 200 Hz, and 1 second to 1 minute. The semiconductor device can be manufactured by connecting the semiconductor integrated circuits and then performing resin sealing with an epoxy sealant.

半導体集積回路接続用基板の一例として、図1にTAB用テープを示す。有機絶縁性フィルム層1にスプロケット孔3とデバイス孔4が形成されており、接着剤層2を介してリード5がパターン上に配列している。   As an example of a substrate for connecting a semiconductor integrated circuit, a TAB tape is shown in FIG. Sprocket holes 3 and device holes 4 are formed in the organic insulating film layer 1, and leads 5 are arranged on the pattern via the adhesive layer 2.

本発明の電子部品用接着剤組成物は、TAB方式のパターンテープや、BGAパッケージ用インターポーザ等の半導体集積回路接続用基板、銅張り積層板、ダイボンディング材、カバーレイ、リードフレーム固定テープ、LOCテープ、および多層基板の層間接着シート等のフィルム形状の接着剤を用いた半導体装置を作製するために好ましく使用され、特にBGA型半導体装置に好ましく使用することができる。   The adhesive composition for electronic parts of the present invention includes a TAB pattern tape, a substrate for connecting a semiconductor integrated circuit such as a BGA package interposer, a copper-clad laminate, a die bonding material, a coverlay, a lead frame fixing tape, a LOC It is preferably used for producing a semiconductor device using a tape and a film-shaped adhesive such as an interlayer adhesive sheet of a multilayer substrate, and can be particularly preferably used for a BGA type semiconductor device.

図2にBGA型半導体装置を用いたファインピッチ−BGAの一態様を示す。有機絶縁性フィルム1上にダイボンディング材6を介して半導体集積回路7が配置されており、接着剤層2の上に形成されたリード5と金バンプ8を介して半導体集積回路7が金ワイヤ9で接続されている。ICのピン数にほぼ対応する半田ボール11を格子(グリッドアレイ)状に配列し、リードと半田ボールが接続されている。リード上にはソルダーレジストが印刷されており、封止樹脂10にて保護されている。   FIG. 2 shows one mode of a fine pitch-BGA using a BGA type semiconductor device. A semiconductor integrated circuit 7 is disposed on the organic insulating film 1 via a die bonding material 6, and the semiconductor integrated circuit 7 is connected to a gold wire via leads 5 and gold bumps 8 formed on the adhesive layer 2. 9 is connected. Solder balls 11 substantially corresponding to the number of pins of the IC are arranged in a grid (grid array), and the leads and the solder balls are connected. A solder resist is printed on the lead and is protected by the sealing resin 10.

以下に、一例として本発明の電子部品用接着剤組成物を用いた接着シートならびにTAB用テープ等について具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。実施例の説明に入る前に評価方法について述べる。   Hereinafter, an adhesive sheet using the adhesive composition for electronic parts of the present invention, a TAB tape, and the like will be specifically described as an example, but the present invention is not limited to these examples. The evaluation method will be described before the description of the examples.

[評価方法]
(1)接着力
(A)初期接着力
導体幅50μmのTAB用テープを用いて導体を90°方向に50mm/分の速度で剥離し、その際の剥離力を測定した。
(B)高温処理後の接着力
上記(A)で評価したTAB用テープを150℃環境下で168時間処理した後に(A)と同様の条件で剥離力を測定した。
(C)保持率
高温処理前(初期)の剥離力に対する高温処理後の剥離力の比率を保持率(%)とした。
[Evaluation method]
(1) Adhesive strength (A) Initial adhesive strength Using a TAB tape having a conductor width of 50 μm, the conductor was peeled in the direction of 90 ° at a speed of 50 mm / min, and the peeling force at that time was measured.
(B) Adhesive strength after high temperature treatment The TAB tape evaluated in (A) above was treated in a 150 ° C environment for 168 hours, and then the peel strength was measured under the same conditions as in (A).
(C) Retention rate The ratio of the peel force after the high temperature treatment to the peel force before (initial) the high temperature treatment was defined as the retention rate (%).

(2)絶縁耐久性
TAB用テープ(導体幅50μm、導体間距離50μm)に130℃、85%RH環境下で100V電圧を印加し、抵抗値が10Ω以下まで低下するまでの時間を測定した。
(2) Insulation durability 100V voltage is applied to TAB tape (conductor width 50μm, distance between conductors 50μm) in an environment of 130 ° C and 85% RH, and the time until the resistance decreases to 10 6 Ω or less is measured. did.

(3)貯蔵弾性率
接着剤組成物をコーティングして得た、約20μmの接着剤層を5〜8枚積層し、約100〜150μの厚みとした後、80℃で4時間加熱し、160℃まで4時間で昇温し、さらに160℃で4時間加熱処理して、サンプルを作製した。これを用いて、引張モードの動的粘弾性測定装置(RHEOVIBRON−DDV−25FP型、(株)オリエンテック製)にて周波数1Hz、昇温速度5℃/分の条件で200℃における貯蔵弾性率を測定した。
(3) Storage modulus 5 to 8 adhesive layers of about 20 μm obtained by coating the adhesive composition were laminated to a thickness of about 100 to 150 μm, and then heated at 80 ° C. for 4 hours. The sample was heated to 4 ° C. over 4 hours and further heated at 160 ° C. for 4 hours to prepare a sample. Using this, the storage elastic modulus at 200 ° C. under a condition of a frequency of 1 Hz and a temperature rising rate of 5 ° C./min with a tensile mode dynamic viscoelasticity measuring device (RHEOVIBRON-DDV-25FP type, manufactured by Orientec Co., Ltd.) Was measured.

(4)反り
TAB用テープを35mm×200mmにカットし、保護フィルムを剥離した後に18μmの電解銅箔を、140℃、0.2MPa、1m/分の条件でラミネートした。続いてエアオーブン中で、80℃で3時間、100℃で5時間、150℃で5時間の順次加熱処理を行い、反り評価用サンプルを得た。得られたサンプルをSEMI−G76−0299に準じて23℃、55%RHで24時間調湿し、サンプルの一辺を押さえて反り上がったサンプルの反対側の高さをノギスで測定し、反り量とした(銅箔が上側に反る場合をプラスとし、反対側に反った場合をマイナスとした)。
(4) Warpage The TAB tape was cut to 35 mm x 200 mm, and after the protective film was peeled off, an 18 µm electrolytic copper foil was laminated under conditions of 140 ° C, 0.2 MPa, and 1 m / min. Subsequently, a heat treatment was sequentially performed in an air oven at 80 ° C. for 3 hours, 100 ° C. for 5 hours, and 150 ° C. for 5 hours to obtain a warp evaluation sample. The obtained sample was conditioned at 23 ° C. and 55% RH for 24 hours according to SEMI-G76-0299, and the height of the opposite side of the sample that was warped up while holding one side of the sample was measured with a vernier caliper. (The case where the copper foil warps upward is defined as positive, and the case where the copper foil warps upward is defined as negative).

(参考例1)ポリアミド樹脂(A−1〜3)の合成
酸としてダイマー酸(ユニケマ社製、商品名PRIPOL1009)を43モル%、アミン成分としてビス(3−アミノプロピル)フォスフェイトを58モル%反応させた酸/アミン反応物、消泡剤および1重量%のリン酸触媒を、140℃で1時間撹拌加熱後、205℃まで昇温し、約1.5時間撹拌した。約2kPaの真空下で0.5時間保持し、温度を低下させた。その後、酸化防止剤(チバガイギ社製、“イルガノックス”1010)を加え脱水重縮合反応を行い、表1記載のポリアミド樹脂A−1を得た。更にポリアミド樹脂A−1にヨウ素価が18、8になるように触媒存在下で水添反応を行い、それぞれ表1記載のポリアミド樹脂A−2、A−3を得た。
(Reference Example 1) Synthesis of polyamide resin (A-1 to 3) Dimer acid (trade name PRIPOL 1009, manufactured by Unikema Co., Ltd.) as an acid was 43 mol%, and bis (3-aminopropyl) phosphate was 58 mol% as an amine component. The reacted acid / amine reactant, antifoaming agent and 1 wt% phosphoric acid catalyst were stirred and heated at 140 ° C. for 1 hour, then heated to 205 ° C. and stirred for about 1.5 hours. The temperature was lowered by holding for 0.5 hour under a vacuum of about 2 kPa. Thereafter, an antioxidant (“Irganox” 1010, manufactured by Ciba-Gigi Co., Ltd.) was added to perform a dehydration polycondensation reaction to obtain a polyamide resin A-1 shown in Table 1. Further, the polyamide resin A-1 was subjected to a hydrogenation reaction in the presence of a catalyst so that the iodine value was 18 and 8, and polyamide resins A-2 and A-3 shown in Table 1 were obtained.

(参考例2)ポリアミド樹脂(A−4)の合成
アミン成分としてビス(3−アミノプロピル)サルファイドを用い、ヨウ素価が44になるように触媒存在下で水添反応を行った以外は参考例1と同様にして表1記載のポリアミド樹脂A−4を得た。
Reference Example 2 Synthesis of Polyamide Resin (A-4) Reference Example, except that bis (3-aminopropyl) sulfide was used as the amine component and the hydrogenation reaction was performed in the presence of a catalyst so that the iodine value was 44. In the same manner as in Example 1, a polyamide resin A-4 shown in Table 1 was obtained.

(参考例3)ポリアミド樹脂(A−5)の合成
酸としてダイマー酸(ユニケマ社製、商品名PRIPOL1009)58モル%を、アミン成分としてビス(3−アミノプロピル)サルファイドを43モル%加え、ヨウ素価が42になるように触媒存在下で水添反応を行った以外は、参考例2と同様にして表1記載のポリアミド樹脂A−5を得た。
Reference Example 3 Synthesis of Polyamide Resin (A-5) Dimer acid (trade name PRIPOL 1009, manufactured by Unikema Co., Ltd.) (58 mol%) as an acid and bis (3-aminopropyl) sulfide (43 mol%) as an amine component were added. A polyamide resin A-5 shown in Table 1 was obtained in the same manner as in Reference Example 2 except that the hydrogenation reaction was performed in the presence of a catalyst so that the value was 42.

(参考例4)ポリアミド樹脂(A−6)の合成
リン酸触媒量を0.2重量%とし、ヨウ素価が41になるように触媒存在下で水添反応を行った以外は、参考例3と同様にして表1記載のポリアミド樹脂A−6を得た。
Reference Example 4 Synthesis of Polyamide Resin (A-6) Reference Example 3 except that the amount of phosphoric acid catalyst was 0.2% by weight and the hydrogenation reaction was performed in the presence of the catalyst so that the iodine value was 41. In the same manner, a polyamide resin A-6 shown in Table 1 was obtained.

(参考例5)
酸としてダイマー酸(ユニケマ社製、商品名PRIPOL1009)63モル%を、アミン成分としてビス(3−アミノプロピル)サルファイドを38モル%加え、ヨウ素価が41になるように触媒存在下で水添反応を行った以外は、参考例2と同様にして表1記載のポリアミド樹脂A−7を得た。
(Reference Example 5)
Hydrogenation reaction in the presence of a catalyst so that the iodine value becomes 41 by adding 63 mol% of dimer acid (trade name PRIPOL1009, manufactured by Unikema) as acid and 38 mol% of bis (3-aminopropyl) sulfide as amine component A polyamide resin A-7 shown in Table 1 was obtained in the same manner as in Reference Example 2 except that

(参考例6)ポリアミド樹脂(A−8)の合成
アミン成分としてビス(4−アミノフェニル)サルファイドを用い、ヨウ素価が43になるように触媒存在下で水添反応を行った以外は、参考例3と同様にして表1記載のポリアミド樹脂A−8を得た。
Reference Example 6 Synthesis of Polyamide Resin (A-8) Reference was made except that bis (4-aminophenyl) sulfide was used as an amine component and the hydrogenation reaction was carried out in the presence of a catalyst so that the iodine value was 43. In the same manner as in Example 3, polyamide resin A-8 shown in Table 1 was obtained.

(参考例7)ポリアミド樹脂(A−9)の合成
アミン成分としてビス(3−アミノプロピル)エーテルを用い、ヨウ素価が44になるように触媒存在下で水添反応を行った以外は、参考例3と同様にして表1記載のポリアミド樹脂A−9を得た。
Reference Example 7 Synthesis of Polyamide Resin (A-9) Reference was made except that bis (3-aminopropyl) ether was used as an amine component and a hydrogenation reaction was performed in the presence of a catalyst so that the iodine value was 44. In the same manner as in Example 3, polyamide resin A-9 shown in Table 1 was obtained.

(参考例8)ポリアミド樹脂(A−10〜11)の合成
酸としてダイマー酸(ユニケマ社製、商品名PRIPOL1009)43モル%、アミン成分としてビス(3−アミノプロピル)エーテルを58モル%反応させた酸/アミン反応物、消泡剤および2重量%のリン酸触媒を、140℃で1時間撹拌加熱後、205℃まで昇温し、約1時間撹拌した。約2kPaの真空下で0.5時間保持し、温度を低下させた。その後、酸化防止剤(チバガイギ社製、“イルガノックス”1010)を加え脱水重縮合反応を行い、ポリアミドオリゴマー1を得た。
Reference Example 8 Synthesis of Polyamide Resin (A-10-11) 43 mol% of dimer acid (trade name PRIPOL 1009, manufactured by Unikema Co., Ltd.) as an acid and 58 mol% of bis (3-aminopropyl) ether as an amine component were reacted. The acid / amine reactant, antifoaming agent and 2 wt% phosphoric acid catalyst were stirred and heated at 140 ° C. for 1 hour, then heated to 205 ° C. and stirred for about 1 hour. The temperature was lowered by holding for 0.5 hour under a vacuum of about 2 kPa. Thereafter, an antioxidant (“Irganox” 1010, manufactured by Ciba-Gaigi Co., Ltd.) was added, and a dehydration polycondensation reaction was performed to obtain polyamide oligomer 1.

また、酸としてダイマー酸(ユニケマ社製、商品名PRIPOL1009)50モル、脂肪族ジアミンとしてヘキサメチレンジアミン50モルを反応させた酸/アミン反応物、消泡剤および2重量%のリン酸触媒を、140℃で1時間撹拌加熱後、205℃まで昇温し、約1時間撹拌した。約2kPaの真空下で0.5時間保持し、温度を低下させた。その後、酸化防止剤(チバガイギ社製、“イルガノックス”1010)を加え脱水重縮合反応を行い、ポリアミドオリゴマー2を得た。   In addition, an acid / amine reaction product obtained by reacting 50 mol of dimer acid (trade name PRIPOL 1009, manufactured by Unikema Co., Ltd.) as an acid and 50 mol of hexamethylene diamine as an aliphatic diamine, an antifoaming agent and a 2 wt% phosphoric acid catalyst, After stirring and heating at 140 ° C. for 1 hour, the temperature was raised to 205 ° C. and stirring was continued for about 1 hour. The temperature was lowered by holding for 0.5 hour under a vacuum of about 2 kPa. Thereafter, an antioxidant (“Irganox” 1010, manufactured by Ciba-Gaigi Co., Ltd.) was added, and a dehydration polycondensation reaction was performed to obtain polyamide oligomer 2.

ポリアミドオリゴマー1/ポリアミドオリゴマー2=50モル/50モル、95モル/5モルになるように混合し、オリゴマー製造時と同様にリン酸触媒を加え、攪拌加熱後、昇温し、脱水重縮合反応を行い、ヨウ素価が45、46になるように触媒存在下で水添反応を行い、それぞれ表1記載のポリアミド樹脂A−10、A−11を得た。   Polyamide oligomer 1 / Polyamide oligomer 2 = 50 mol / 50 mol, 95 mol / 5 mol mixed, phosphoric acid catalyst is added in the same way as the oligomer production, and heated after stirring and heating, dehydration polycondensation reaction Then, hydrogenation reaction was carried out in the presence of a catalyst so that the iodine values were 45 and 46, and polyamide resins A-10 and A-11 shown in Table 1 were obtained, respectively.

(参考例8)ポリアミド樹脂(A−12)の合成
酸としてダイマー酸(ユニケマ社製、商品名PRIPOL1009)43モル%、脂肪族ジアミンとしてヘキサメチレンジアミンを58モル%反応させた酸/アミン反応物、消泡剤および1重量%のリン酸触媒を、140℃で1時間撹拌加熱後、205℃まで昇温し、約1.5時間撹拌した。約2kPaの真空下で0.5時間保持し、温度を低下させた。その後、酸化防止剤(チバガイギ社製、“イルガノックス”1010)を加え脱水重縮合反応を行い、ヨウ素価が48になるように触媒存在下で水添反応を行い、表1記載のポリアミド樹脂A−12を得た。
(Reference Example 8) Synthesis of Polyamide Resin (A-12) Acid / amine reaction product obtained by reacting 43 mol% of dimer acid (trade name PRIPOL 1009, manufactured by Unikema Co., Ltd.) as an acid and 58 mol% of hexamethylenediamine as an aliphatic diamine The antifoaming agent and 1 wt% phosphoric acid catalyst were stirred and heated at 140 ° C. for 1 hour, then heated to 205 ° C. and stirred for about 1.5 hours. The temperature was lowered by holding for 0.5 hour under a vacuum of about 2 kPa. Thereafter, an antioxidant (“Irganox” 1010, manufactured by Ciba-Gaigi Co., Ltd.) was added to perform a dehydration polycondensation reaction, and a hydrogenation reaction was performed in the presence of a catalyst so that the iodine value was 48. -12 was obtained.

参考実施例1)
(a)電子部品用接着シートの作製
参考例1で得られたポリアミド樹脂A−1、エポキシ樹脂B−2(JER(株)製、“エピコート”(登録商標)828)、表2に示したフェノール樹脂B−2(昭和高分子(株)製、“ショウノール”(登録商標)BKM2620)、硬化触媒としてDBU(サンアプロ株製)を、それぞれ表3のとおり配合し、固形分20重量%となるようにメタノール/トルエン=20/80の混合溶媒に30℃で撹拌、混合して接着剤溶液を作製した。この接着剤溶液をバーコータで、離型処理を施した保護フィルム(藤森工業(株)製“フィルムバイナ”GT(登録商標))に約12μmの乾燥厚さとなるように塗布し、180℃で1分間乾燥し、電子部品用接着シートを作製した。
( Reference Example 1)
(A) Production of adhesive sheet for electronic parts Polyamide resin A-1 and epoxy resin B-2 obtained in Reference Example 1 (manufactured by JER Corporation, “Epicoat” (registered trademark) 828), are shown in Table 2. Phenol resin B-2 (manufactured by Showa High Polymer Co., Ltd., “Shonol” (registered trademark) BKM 2620) and DBU (manufactured by San Apro Co.) as a curing catalyst were blended as shown in Table 3, respectively, and the solid content was 20% by weight. In this way, an adhesive solution was prepared by stirring and mixing in a mixed solvent of methanol / toluene = 20/80 at 30 ° C. This adhesive solution was applied to a protective film (“Film Vinner” GT (registered trademark) manufactured by Fujimori Kogyo Co., Ltd.), which had been subjected to a release treatment, with a bar coater so as to have a dry thickness of about 12 μm. It dried for minutes and produced the adhesive sheet for electronic components.

(b)TAB用テープの作製
上記(a)に記載の方法で得られた電子部品用接着シートを、厚み75μmのポリイミドフィルムに140℃、0.2MPa、1m/分の条件でラミネートし、TAB用テープを作製した。
(B) Production of TAB tape The adhesive sheet for electronic parts obtained by the method described in (a) above was laminated on a polyimide film having a thickness of 75 μm under conditions of 140 ° C., 0.2 MPa, 1 m / min, and TAB. A tape was prepared.

(c)半導体集積回路接続用基板の作製
上記(b)に記載の方法で得られたTAB用テープの保護フィルムを剥離し、18μmの電解銅箔を、140℃、0.2MPa、1m/分の条件でラミネートした。続いてエアオーブン中で、80℃で3時間、100℃で5時間、150℃で5時間の順次加熱処理を行い、銅箔付きTAB用テープを作製した。得られた銅箔付きTAB用テープの銅箔面に常法によりフォトレジスト膜形成、エッチング、レジスト剥離、電解金メッキを行い、評価用サンプルおよび半導体装置接続用基板を作製した。ニッケルメッキ厚は3μm、金メッキ厚は1μmとした。
(C) Production of a substrate for connecting a semiconductor integrated circuit The protective film of the TAB tape obtained by the method described in (b) above was peeled off, and an 18 μm electrolytic copper foil was obtained at 140 ° C., 0.2 MPa, 1 m / min. Lamination was performed under the following conditions. Subsequently, a heat treatment was sequentially performed in an air oven at 80 ° C. for 3 hours, at 100 ° C. for 5 hours, and at 150 ° C. for 5 hours to produce a TAB tape with copper foil. Photoresist film formation, etching, resist stripping, and electrolytic gold plating were performed on the copper foil surface of the obtained TAB tape with copper foil by a conventional method to prepare an evaluation sample and a semiconductor device connection substrate. The nickel plating thickness was 3 μm, and the gold plating thickness was 1 μm.

(d)半導体装置の作製
上記(c)に記載の方法で得た半導体集積回路接続用基板に、ダイボンディング材(リンテック(株)製、LE−5000)を用いて20mm角のICを圧着した。この状態で160℃、30分の加熱硬化を行った。次いで、ICと配線基板を180℃、110kHzの条件で、25μm直径の金ワイヤでワイヤーボンディングした後、樹脂封止した。最後にハンダボールをリフローにて搭載し、図2に示すような半導体装置を得た。
(D) Fabrication of semiconductor device A 20 mm square IC was pressure-bonded to the substrate for connecting a semiconductor integrated circuit obtained by the method described in (c) above using a die bonding material (LE-5000, manufactured by Lintec Corporation). . In this state, heat curing was performed at 160 ° C. for 30 minutes. Next, the IC and the wiring substrate were wire-bonded with a gold wire having a diameter of 25 μm under the conditions of 180 ° C. and 110 kHz, and then sealed with resin. Finally, solder balls were mounted by reflow to obtain a semiconductor device as shown in FIG.

(実施例2〜4、参考実施例2〜14、比較例1)
接着剤組成を表3〜5に示したとおりに変更した以外は参考実施例1と同様にして、電子部品用接着シート、TAB用テープ、半導体集積回路接続用基板および半導体装置を得た。
(Examples 2 to 4, Reference Examples 2 to 14 , Comparative Example 1)
An adhesive sheet for electronic parts, a TAB tape, a semiconductor integrated circuit connection substrate, and a semiconductor device were obtained in the same manner as in Reference Example 1 except that the adhesive composition was changed as shown in Tables 3 to 5.

(比較例2〜4)
ポリアミド樹脂として、比較例2ではアルケマ社(株)製“ペバックス”(登録商標)を、比較例3では富士化成工業(株)製“TPAE−12”(登録商標)を使用し、エポキシ樹脂として比較例4では東都化成(株)製(“エポトート”(登録商標)YDC1312)を使用し、接着剤組成を表5に示したとおりに変更した以外は参考実施例1と同様にして電子部品用接着シート、TAB用テープ、半導体集積回路接続用基板および半導体装置を得た。
(Comparative Examples 2 to 4)
As a polyamide resin, “Pebax” (registered trademark) manufactured by Arkema Co., Ltd. was used in Comparative Example 2, and “TPAE-12” (registered trademark) manufactured by Fuji Kasei Kogyo Co., Ltd. was used as Comparative Example 3. In Comparative Example 4, an electronic component was used in the same manner as in Reference Example 1 except that Toto Kasei Co., Ltd. ("Epototo" (registered trademark) YDC1312) was used and the adhesive composition was changed as shown in Table 5. An adhesive sheet, a TAB tape, a semiconductor integrated circuit connecting substrate and a semiconductor device were obtained.

各実施例・参考実施例・比較例の接着剤組成および評価結果を表3〜5に示す。 Tables 3 to 5 show the adhesive composition and evaluation results of each of the examples, reference examples, and comparative examples.

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TAB用テープの一態様を示す概略図である。It is the schematic which shows the one aspect | mode of the TAB tape. BGA型半導体装置を用いたファインピッチ−BGAの一態様を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the one aspect | mode of the fine pitch-BGA using a BGA type semiconductor device.

符号の説明Explanation of symbols

1 有機絶縁性フィルム
2 接着剤層
3 スプロケット孔
4 デバイス孔
5 リード
6 ダイボンディング材
7 半導体集積回路
8 金バンプ
9 金ワイヤ
10 封止樹脂
11 半田ボール
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Organic insulating film 2 Adhesive layer 3 Sprocket hole 4 Device hole 5 Lead 6 Die bonding material 7 Semiconductor integrated circuit 8 Gold bump 9 Gold wire 10 Sealing resin 11 Solder ball

Claims (8)

ビス(3−アミノプロピル)フォスフェイト、フォスフォリックアシッドビスアミノブチルエステル、ビス(4−アミノフェニル)フェオスフェイト、ビス(4−アミノフェニル)フォスフィン、ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル)フォスフィン、ビス(3−アミノプロピル)サルファイド、ビス(4−アミノフェニル)サルファイド、ビス(4−アミノフェニル)サルフォン、ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル)サルフォン、4,4’−ビス(2−アミノ−6−メトキシピリミジル)ジサルフォン、1,2−ビス(2−アミノエトキシ)エタン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、ビス(3−アミノプロピル)エーテルおよび4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニルから選ばれる1以上のアミンとダイマー酸とから構成される構造単位と、エチレンジアミン、ヘキサメチレンジアミン、ピペラジンおよび1,4−ビス(アミノメチル)シクロヘキサンから選ばれる1以上のジアミンならびにジエチレントリアミン、N、N’−ビス(3−アミノプロピル)エチレンジアミン、N、N’ −ビス(2−アミノエチル)−1,3−プロパンジアミンおよびエチレンジアミンヘキサメチレンテトラミンから選ばれる1以上のポリアミンから選ばれる1以上の脂肪族アミンとダイマー酸とから構成される構造単位とを有するブロック共重合体であるポリアミド樹脂と、熱硬化性樹脂を含有することを特徴とする電子部品用接着剤組成物。 Bis (3-aminopropyl) phosphate, Phosphoacid acid bisaminobutyl ester, Bis (4-aminophenyl) pheospheate, Bis (4-aminophenyl) phosphine, Bis (3-amino-4-hydroxyphenyl) Phosphine, bis (3-aminopropyl) sulfide, bis (4-aminophenyl) sulfide, bis (4-aminophenyl) sulfone, bis (3-amino-4-hydroxyphenyl) sulfone, 4,4′-bis (2 -Amino-6-methoxypyrimidyl) disulfone, 1,2-bis (2-aminoethoxy) ethane, 1,4-bis (4-aminophenoxy) benzene, bis (3-aminopropyl) ether and 4,4 One or more of the compounds selected from '-bis (4-aminophenoxy) biphenyl A structural unit composed of ethylene and dimer acid, one or more diamines selected from ethylenediamine, hexamethylenediamine, piperazine and 1,4-bis (aminomethyl) cyclohexane, and diethylenetriamine, N, N′-bis (3- Aminopropyl) from ethylenediamine, N, N′-bis (2-aminoethyl) -1,3-propanediamine and one or more aliphatic amines selected from one or more polyamines selected from ethylenediaminehexamethylenetetramine and dimer acid. An adhesive composition for electronic parts , comprising a polyamide resin , which is a block copolymer having a structural unit, and a thermosetting resin. 前記ポリアミド樹脂のアミン価が5以下であることを特徴とする請求項1記載の電子部品用接着剤組成物。 Claim 1 Symbol mounting adhesive composition for electronic components of, wherein the amine value of the polyamide resin is 5 or less. 前記ポリアミド樹脂を構成するダイマー酸のヨウ素価が20以下であることを特徴とする請求項1または2記載の電子部品用接着剤組成物。 The adhesive composition for electronic components according to claim 1 or 2, wherein the dimer acid constituting the polyamide resin has an iodine value of 20 or less. 前記熱硬化性樹脂がフェノール樹脂を含有することを特徴とする請求項1〜いずれか記載の電子部品用接着剤組成物。 The said thermosetting resin contains a phenol resin, The adhesive composition for electronic components in any one of Claims 1-3 characterized by the above-mentioned. 請求項1〜いずれか記載の電子部品用接着剤組成物から形成される接着剤層および少なくとも一層の離型可能な保護フィルム層を含む電子部品用接着シート。 The adhesive sheet for electronic components containing the adhesive bond layer formed from the adhesive composition for electronic components in any one of Claims 1-4, and at least one layer of protective film layer which can be released. 請求項1〜いずれか記載の電子部品用接着剤組成物から形成される接着剤層および有機絶縁性フィルムを有する電子部品用接着剤付きテープ。 The tape with an adhesive for electronic components which has an adhesive bond layer formed from the adhesive composition for electronic components in any one of Claims 1-4, and an organic insulating film. 請求項記載の電子部品用接着シートを用いた半導体集積回路接続用基板。 A substrate for connecting a semiconductor integrated circuit using the adhesive sheet for electronic parts according to claim 5 . 請求項1〜いずれか記載の電子部品用接着剤組成物から形成される接着剤層を介して、有機絶縁性フィルムと銅箔を積層してなる銅張り積層板。 The copper clad laminated board formed by laminating | stacking an organic insulating film and copper foil through the adhesive bond layer formed from the adhesive composition for electronic components in any one of Claims 1-4 .
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