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JP5322062B2 - Wiring board - Google Patents
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Description

本発明は、半導体集積回路素子を搭載するための配線基板に関するものである。   The present invention relates to a wiring board for mounting a semiconductor integrated circuit element.

従来、半導体集積回路素子を搭載するための配線基板として、ビルドアップ法により形成された配線基板が知られている。図9はビルドアップ法により形成された従来の配線基板の一例を示す概略断面図であり、図10は図9に示した配線基板における要部概略上面図である。なお、図9においては、ハッチングを省略してある。   Conventionally, a wiring board formed by a build-up method is known as a wiring board for mounting a semiconductor integrated circuit element. FIG. 9 is a schematic cross-sectional view showing an example of a conventional wiring board formed by the build-up method, and FIG. 10 is a schematic top view of the main part of the wiring board shown in FIG. In FIG. 9, hatching is omitted.

図9に示すように、従来の配線基板30は、コア基板21の上下面にビルドアップ絶縁層22およびビルドアップ配線層23が交互に積層されており、その上面中央部に半導体集積回路素子Sを搭載するための搭載部30aを有している。   As shown in FIG. 9, the conventional wiring substrate 30 has the build-up insulating layers 22 and the build-up wiring layers 23 alternately stacked on the upper and lower surfaces of the core substrate 21, and the semiconductor integrated circuit element S at the center of the upper surface. Has a mounting portion 30a.

コア基板21の上下面には銅箔や銅めっき層から成るコア導体層24が被着されている。また、コア基板21の上面から下面にかけてコア導体層24の一部として機能する銅めっき層が被着された多数のスルーホール25が形成されている。   A core conductor layer 24 made of copper foil or a copper plating layer is deposited on the upper and lower surfaces of the core substrate 21. In addition, a large number of through-holes 25 are formed from the upper surface to the lower surface of the core substrate 21 to which a copper plating layer that functions as a part of the core conductor layer 24 is deposited.

ビルドアップ絶縁層22には、それぞれに複数のビアホール26が形成されており、ビアホール26を含む各ビルドアップ絶縁層22の表面には銅めっき層から成るビルドアップ配線層23が被着形成されている。そしてビルドアップ配線層23は、ビアホール26を介して上下のものが互い接続されているとともにスルーホール25に電気的に接続している。さらに、このビルドアップ配線層23のうち、上面側における最外層のビルドアップ絶縁層22上に被着された一部は、搭載部30aにおいて半導体集積回路素子Sの電極端子Tに電気的に接続される円形の半導体素子接続パッド27を形成しており、これらの半導体素子接続パッド27は図10に示すように、半導体集積回路素子Sの電極端子Tに対応した格子状の並びに形成されている。また、下面側における最外層のビルドアップ絶縁層22上に被着された一部は、外部電気回路基板の配線導体に電気的に接続される円形の外部接続パッド28であり、この外部接続パッド28は格子状の並びに複数並んで形成されている。   A plurality of via holes 26 are formed in each of the build-up insulating layers 22, and a build-up wiring layer 23 made of a copper plating layer is deposited on the surface of each build-up insulating layer 22 including the via holes 26. Yes. The build-up wiring layer 23 is electrically connected to the through-hole 25 while the upper and lower layers are connected to each other through the via hole 26. Further, a part of the buildup wiring layer 23 deposited on the outermost buildup insulating layer 22 on the upper surface side is electrically connected to the electrode terminal T of the semiconductor integrated circuit element S in the mounting portion 30a. The circular semiconductor element connection pads 27 are formed, and these semiconductor element connection pads 27 are arranged in a lattice pattern corresponding to the electrode terminals T of the semiconductor integrated circuit element S as shown in FIG. . Further, a part of the lower surface side deposited on the outermost buildup insulating layer 22 is a circular external connection pad 28 that is electrically connected to the wiring conductor of the external electric circuit board. A plurality of lines 28 are arranged in a lattice pattern.

さらに、最外層のビルドアップ絶縁層22およびその上のビルドアップ配線層23上には、半導体素子接続パッド27および外部接続パッド28を露出させるソルダーレジスト層29が被着されている。そして、半導体素子接続パッド27の露出部に半導体集積回路素子Sの電極端子Tが電気的に接続されるとともに外部接続パッド28の露出部に図示しない外部電気回路基板の配線導体が半田ボールを介して電気的に接続される。   Further, a solder resist layer 29 for exposing the semiconductor element connection pads 27 and the external connection pads 28 is deposited on the outermost buildup insulating layer 22 and the buildup wiring layer 23 thereon. The electrode terminal T of the semiconductor integrated circuit element S is electrically connected to the exposed portion of the semiconductor element connection pad 27, and the wiring conductor of the external electric circuit board (not shown) is connected to the exposed portion of the external connection pad 28 via the solder ball. Are electrically connected.

ところで、半導体集積回路素子Sは、配線基板30からの十分な電源供給を確保するためにその下面の中央部に接地用と電源用の電極端子Tを交互に多数設けるとともに下面の外周部に信号用の電極端子を多数設けた端子配置を採用する場合が増えている。このような半導体集積回路素子Sを搭載する場合、配線基板30における半導体素子接続パッド27の配置も半導体集積回路素子Sの電端子Tに対応して搭載部30aの中央部に接地用および電源用の半導体素子接続パッド27が多数配置され、搭載部30aの外周部に信号用の半導体素子接続パッド27が多数配置されることとなる。   By the way, the semiconductor integrated circuit element S is provided with a large number of grounding and power supply electrode terminals T alternately in the center of the lower surface thereof in order to ensure sufficient power supply from the wiring board 30 and a signal is provided on the outer peripheral portion of the lower surface. In many cases, a terminal arrangement having a large number of electrode terminals is employed. When such a semiconductor integrated circuit element S is mounted, the arrangement of the semiconductor element connection pads 27 on the wiring board 30 is also arranged at the center of the mounting portion 30a corresponding to the electric terminal T of the semiconductor integrated circuit element S and for power supply. A large number of semiconductor element connection pads 27 are arranged, and a large number of signal semiconductor element connection pads 27 are arranged on the outer peripheral portion of the mounting portion 30a.

図11に、搭載部30aの中央部における接地用と電源用の半導体素子接続パッド27のみを抜き出して示す。図11においてGと記した半導体素子接続パッド27は接地用の半導体素子接続パッド27Gであり、Pと記した半導体素子接続パッド27は電源用の半導体素子接続パッド27Pである。図11に示すように、接地用の半導体素子接続パッド27Gと電源用の半導体素子接続パッド27Pとは1個ずつが格子状の配列で斜めに列をなすようにして交互に配設されているとともに、各列の半導体素子接続パッド27同士が1列ずつ帯状の一体のパターンとして統合されている。   FIG. 11 shows only the grounding and power supply semiconductor element connection pads 27 in the central portion of the mounting portion 30a. In FIG. 11, the semiconductor element connection pad 27 indicated by G is a ground semiconductor element connection pad 27G, and the semiconductor element connection pad 27 indicated by P is a power supply semiconductor element connection pad 27P. As shown in FIG. 11, the semiconductor element connection pads 27G for grounding and the semiconductor element connection pads 27P for power supply are alternately arranged in a grid-like arrangement so as to form diagonal rows. At the same time, the semiconductor element connection pads 27 in each row are integrated one by one as a band-like integrated pattern.

そして、これらの接地用および電源用の半導体素子接続パッド27は、図12に示すように、下層のビルドアップ配線層23を介してスルーホール25に電気的に接続されている。なお、図12は、図11における一部の半導体素子接続パッド27およびそれに対応する下層のビルドアップ配線層23およびコア導体層24を抜き出して示した斜視図であり、各層における小さな○印が下層へ接続するビア26の位置を示し、×印が上層からのビア26が接続される位置を示している。   These grounding and power supply semiconductor element connection pads 27 are electrically connected to the through holes 25 through the underlying buildup wiring layer 23 as shown in FIG. FIG. 12 is a perspective view showing a part of the semiconductor element connection pads 27 and the corresponding lower build-up wiring layer 23 and core conductor layer 24 shown in FIG. The position of the via 26 to be connected to is indicated, and the mark x indicates the position to which the via 26 from the upper layer is connected.

半導体素子接続パッド27が接続される次層のビルドアップ配線層23は、主として接地プレーン23Gであり、その中に電源用の半導体素子接続パッド27Pに接続されるビアランド23Lがクリアランス23Cを介して配設されている。ビアランド23Lは各列の電源用の半導体素子接続パッド27Pに対応した位置に列をなすように1対1で並んでおり、ビアランド23Lの各列のクリアランス23Cはひとつに繋がっている。そのため接地プレーン23Gは、ひとつに繋がったクリアランス23Cにより接地用の半導体素子接続パッド27Gの各列に対応するように帯状に隔てられた状態となっている。そして、接地用の半導体素子接続パッド27Gは接地プレーン23Gのクリアランス23Cで挟まれた帯状の部分に接地用の各半導体素子接続パッド27Gからのビア26を介して接続され、電源用の半導体素子接続パッド27Pは1対1で対応するビアランド23Lにビア26を介して接続されている。   The next build-up wiring layer 23 to which the semiconductor element connection pad 27 is connected is mainly a ground plane 23G, in which a via land 23L connected to the power supply semiconductor element connection pad 27P is arranged via a clearance 23C. It is installed. The via lands 23L are arranged in a one-to-one manner so as to form a row at a position corresponding to the power supply semiconductor element connection pad 27P of each row, and the clearance 23C of each row of the via land 23L is connected to one. Therefore, the ground plane 23G is in a state of being separated in a strip shape so as to correspond to each row of the grounding semiconductor element connection pads 27G by a single clearance 23C. The grounding semiconductor element connection pad 27G is connected to the band-shaped portion sandwiched by the clearance 23C of the ground plane 23G via the via 26 from each grounding semiconductor element connection pad 27G, and the semiconductor element connection for power supply The pads 27P are connected to the corresponding via lands 23L via the vias 26 on a one-to-one basis.

その下層のビルドアップ配線層23は、主として電源プレーン23Pであり、その中に上層の接地プレーン23Gに接続されるビアランド23Lがクリアランス23Cを介して配設されている。ビアランド23Lは各列の接地用の半導体素子接続パッド27Gに対応した位置に列をなすように1対1で並んでおり、上層のビルドアップ配線層23の場合と同様にビアランド23Lの各列のクリアランス23Cはひとつに繋がっている。そのため電源プレーン23Pは、ひとつに繋がったクリアランス23Cにより電源用の半導体素子接続パッド27の各列に対応するように帯状に隔てられた状態となっている。そして、上層の接地プレーン23Gは接地用の半導体素子接続パッド27Gに対して1対1で対応するビアランド23Lにビア26を介して接続され、電源用の半導体素子接続パッド27Pに接続された上層のビアランド23Lは電源プレーン23Pのクリアランス23Cで挟まれた帯状の部分に上層のビアランド23Lからのビア26を介して接続されている。   The lower build-up wiring layer 23 is mainly a power plane 23P, and a via land 23L connected to the upper ground plane 23G is disposed therethrough via a clearance 23C. The via lands 23L are arranged in a one-to-one manner so as to form a row at a position corresponding to the grounding semiconductor element connection pad 27G in each row, and in the same manner as in the upper build-up wiring layer 23, each via land 23L has a row. The clearance 23C is connected to one. Therefore, the power supply plane 23P is in a state of being separated in a band shape so as to correspond to each row of the power supply semiconductor element connection pads 27 by a single clearance 23C. The upper ground plane 23G is connected to the via land 23L corresponding to the ground semiconductor element connection pad 27G via the via 26, and is connected to the power semiconductor element connection pad 27P. The via land 23L is connected to a band-like portion sandwiched by the clearance 23C of the power plane 23P via a via 26 from the upper via land 23L.

その下層のコア導体層24は、主として接地プレーン24Gであり、接地プレーン24Gは接地用のスルーホール25Gに接続されているとともに、その中に電源用のスルーホール25Pに接続されたスルーホールランド24Lがクリアランス24Cを介して配設されている。そして、接地プレーン23Gに接続された上層のビアランド23Lがビア26を介して接地プレーン24Gに接続され、上層の電源プレーン23Pがビア26を介してスルーホールランド34Lに接続されている。その結果、接地用の半導体素子接続パッド27Gが接地用のスルーホール25Gに電気的に接続されるとともに電源用の半導体素子接続パッド27Pが電源用のスルーホール25Pに電気的に接続されることとなる。   The lower core conductor layer 24 is mainly a ground plane 24G, and the ground plane 24G is connected to a grounding through hole 25G and a through hole land 24L connected to a power supply through hole 25P therein. Is disposed via a clearance 24C. The upper via land 23L connected to the ground plane 23G is connected to the ground plane 24G via the via 26, and the upper power plane 23P is connected to the through-hole land 34L via the via 26. As a result, the grounding semiconductor element connection pad 27G is electrically connected to the grounding through hole 25G, and the power supply semiconductor element connection pad 27P is electrically connected to the power supply through hole 25P. Become.

ところが、一般には半導体素子接続パッド27のピッチよりもスルーホール25のピッチの方が大きいことから、例えば図12中にAで示した電源用の半導体素子接続パッド27Pの列を例にとると、この列の半導体素子接続パッド27Pに接続された電源プレーン23Pの帯状の部分の下方には電源用のスルーホール25Pが位置しないことになる。その結果、この部分では電源用のスルーホール25Pまでの電流経路が電源プレーン23Pのクリアランス23Cを大きく迂回することになる。そして、この部分には列Aの電源用の半導体素子接続パッド27Pに接続するためのビア26が多数接続されているので、この大きく迂回する電流経路に大きな電流が集中して流れることとなる。その結果、この電流経路を通しての列Aの電源用の半導体素子接続パッド27Pへ十分な電源供給ができずに半導体集積回路素子Sの良好な作動が損なわれてしまう。   However, since the pitch of the through holes 25 is generally larger than the pitch of the semiconductor element connection pads 27, for example, taking the row of the semiconductor element connection pads 27P for power supply indicated by A in FIG. The through hole 25P for power supply is not located below the band-like portion of the power supply plane 23P connected to the semiconductor element connection pad 27P in this column. As a result, in this portion, the current path to the power supply through hole 25P largely bypasses the clearance 23C of the power supply plane 23P. Since a large number of vias 26 for connection to the power source semiconductor element connection pads 27P of the column A are connected to this portion, a large current flows in a concentrated manner in this largely detoured current path. As a result, sufficient power cannot be supplied to the semiconductor element connection pads 27P for power supply in the column A through this current path, and good operation of the semiconductor integrated circuit element S is impaired.

特開2003−332377号公報JP 2003-332377 A

本発明が解決しようとする課題は、コア基板のスルーホールから半導体素子接続パッドに至る電源供給路が電源プレーンにおいて大きく迂回することがなく、それにより半導体集積回路素子に対して十分な電源供給を行なって半導体集積回路素子を良好に作動させることが可能な配線基板を提供することにある。   The problem to be solved by the present invention is that the power supply path from the through hole of the core substrate to the semiconductor element connection pad is not largely detoured in the power plane, thereby providing sufficient power supply to the semiconductor integrated circuit element. Accordingly, it is an object of the present invention to provide a wiring board capable of operating a semiconductor integrated circuit element satisfactorily.

本発明の配線基板は、第1の電位に接続される複数の第1のスルーホールおよび第2の電位に接続される複数の第2のスルーホールを有するコア基板と、該コア基板の上面に積層された複数層のビルドアップ絶縁層と、最上層の前記ビルドアップ絶縁層の上面に格子状の配列で1個ずつまたは複数個ずつが交互に列をなすように多数配設されており、前記第1のスルーホールに電気的に接続された第1の半導体素子接続パッドおよび前記第2のスルーホールに電気的に接続された第2の半導体素子接続パッドと、前記ビルドアップ絶縁層間に配設されており、前記第1の半導体素子接続パッドの各列に対応する位置に該第1の半導体素子接続パッドと電気的に接続するためのビアが接続される帯状のビア接続部を有する第1の電源プレーンおよび前記第2の半導体素子接続パッドの各列に対応する位置に該第2の半導体素子接続パッドと電気的に接続するためのビアが接続されるビアランドおよび該ビアランドを取り囲んで前記ビア接続部の間を隔てるクリアランスとを有する配線基板であって、前記ビア接続部の各列の下方に前記第1のスルーホールが位置し、各列の前記ビア接続部とその下方の前記第1のスルーホールとが各列の前記ビア接続部に接続されたビアを介して電気的に接続されていることを特徴とするものである。   The wiring board of the present invention includes a core substrate having a plurality of first through holes connected to the first potential and a plurality of second through holes connected to the second potential, and an upper surface of the core substrate. A plurality of stacked build-up insulating layers and a plurality of one-by-one or a plurality of build-up insulating layers arranged in a grid pattern on the upper surface of the uppermost build-up insulating layer are arranged in a row, A first semiconductor element connection pad electrically connected to the first through hole and a second semiconductor element connection pad electrically connected to the second through hole, and the buildup insulating layer. And a belt-shaped via connection portion that is connected to a via for electrically connecting to the first semiconductor element connection pad at a position corresponding to each column of the first semiconductor element connection pad. 1 power plane And via lands to which vias for electrically connecting to the second semiconductor element connection pads are connected at positions corresponding to the respective columns of the second semiconductor element connection pads, and surrounding the via lands, A wiring board having a clearance separating the first through-holes, wherein the first through-holes are located below each row of the via connection portions, and the via-connection portions in each row and the first through-holes therebelow. Are electrically connected through vias connected to the via connection portions in each row.

本発明の配線基板によれば、上記構成において、前記ビア接続部の各列の下方に前記第1のスルーホールが位置し、各列の前記ビア接続部とその下方の前記第1のスルーホールとが各列の前記ビア接続部に接続されたビアを介して電気的に接続されていることから、第1のスルーホールからの第1の半導体素子接続パッドへの電源供給路が第1の電源プレーンにおいて大きく迂回することがなく、その結果、電源供給路における電流の集中が緩和されて半導体集積回路素子に対して十分な電源供給を行なえるので半導体集積回路素子を良好に作動させることができる。   According to the wiring board of the present invention, in the above configuration, the first through hole is located below each row of the via connection portion, and the via connection portion of each row and the first through hole below the via connection portion. Are electrically connected via vias connected to the via connection portions of the respective columns, the power supply path from the first through hole to the first semiconductor element connection pad is the first. There is no major detour in the power plane, and as a result, the concentration of current in the power supply path is alleviated and sufficient power can be supplied to the semiconductor integrated circuit element, so that the semiconductor integrated circuit element can be operated well. it can.

図1は、本発明の配線基板の実施形態における一例を示す概略断面図である。FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an example of an embodiment of a wiring board according to the present invention. 図2は、図1に示す配線基板の要部概略上面図である。FIG. 2 is a schematic top view of the main part of the wiring board shown in FIG. 図3は、図2の要部拡大図である。FIG. 3 is an enlarged view of a main part of FIG. 図4は、図1および図2に示す配線基板の要部分解斜視図である。FIG. 4 is an exploded perspective view of main parts of the wiring board shown in FIGS. 1 and 2. 図5は、本発明の配線基板の実施形態における別の例を示す概略断面図である。FIG. 5 is a schematic sectional view showing another example in the embodiment of the wiring board of the present invention. 図6は、図5に示す配線基板の要部概略上面図である。6 is a schematic top view of the main part of the wiring board shown in FIG. 図7は、図6の要部拡大図である。FIG. 7 is an enlarged view of a main part of FIG. 図8は、図5および図6に示す配線基板の要部分解斜視図である。FIG. 8 is an exploded perspective view of a main part of the wiring board shown in FIGS. 5 and 6. 図9は、従来の配線基板を示す概略断面図である。FIG. 9 is a schematic cross-sectional view showing a conventional wiring board. 図10は、図9に示す配線基板の要部概略上面図である。FIG. 10 is a schematic top view of the main part of the wiring board shown in FIG. 図11は、図10の要部拡大図である。FIG. 11 is an enlarged view of a main part of FIG. 図12は、図9および図10に示す配線基板の要部分解斜視図である。FIG. 12 is an exploded perspective view of a main part of the wiring board shown in FIGS. 9 and 10.

次に本発明の配線基板における実施形態の一例を添付の図1〜図4を基にして説明する。図1はビルドアップ法により形成された本例の配線基板の一例を示す概略断面図であり、図2は図1示した配線基板における要部概略上面図である。また図3は、図2における要部拡大図であり、図4は、図1および図2に示す配線基板における要部分解斜視図である。なお、図1においては、ハッチングを省略してある。   Next, an example of an embodiment of the wiring board according to the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an example of the wiring board of this example formed by the build-up method, and FIG. 2 is a schematic top view of the main part of the wiring board shown in FIG. 3 is an enlarged view of a main part in FIG. 2, and FIG. 4 is an exploded perspective view of a main part in the wiring board shown in FIGS. In FIG. 1, hatching is omitted.

図1に示すように、本例の配線基板10は、コア基板1の上下面にビルドアップ絶縁層2およびビルドアップ配線層3が交互に積層されており、その上面中央部に半導体集積回路素子Sを搭載するための搭載部10aを有している。   As shown in FIG. 1, a wiring board 10 of this example has build-up insulating layers 2 and build-up wiring layers 3 alternately stacked on the upper and lower surfaces of a core substrate 1, and a semiconductor integrated circuit element at the center of the upper surface. A mounting portion 10a for mounting S is provided.

コア基板1は、厚みが50〜800μm程度であり、例えばガラス繊維束を縦横に織ったガラスクロスにビスマレイミドトリアジン樹脂やエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂を含浸させた電気絶縁材料から成る絶縁基板の上下面に銅箔や銅めっき層から成るコア導体層4が被着されているとともに絶縁基板の上面から下面にかけてコア導体層4の一部として機能する銅めっき層が被着された多数のスルーホール5が形成されている。なお、スルーホール5の直径は100〜300μm程度であり、その内部は樹脂により充填されている。   The core substrate 1 has a thickness of about 50 to 800 μm, and is made of an electrically insulating material in which a glass cloth in which glass fiber bundles are woven vertically and horizontally is impregnated with a thermosetting resin such as bismaleimide triazine resin or epoxy resin. A large number of core conductor layers 4 made of copper foil or copper plating layers are deposited on the upper and lower surfaces, and copper plating layers that function as a part of the core conductor layers 4 are deposited from the upper surface to the lower surface of the insulating substrate. A through hole 5 is formed. The diameter of the through hole 5 is about 100 to 300 μm, and the inside is filled with resin.

ビルドアップ絶縁層2は、エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂を含む絶縁材料から成り、それぞれに複数のビアホール6が形成されており、ビアホール6を含む各ビルドアップ絶縁層2の表面には銅めっき層から成るビルドアップ配線層3が被着形成されている。そしてビルドアップ配線層3は、ビアホール6を介して上下のものが互い接続されているとともにスルーホール5に電気的に接続している。さらに、このビルドアップ配線層3のうち、上面側における最外層のビルドアップ絶縁層2上に被着された一部は、搭載部10aにおいて半導体集積回路素子Sの電極端子Tに電気的に接続される円形の半導体素子接続パッド7を形成しており、これらの半導体素子接続パッド7は図2に示すように、半導体集積回路素子Sの電極端子Tに対応した格子状の並びに形成されている。なお、半導体素子接続パッド7は搭載部10aの中央部に接地用および電源用の半導体素子接続パッド7が多数配置され、搭載部10aの外周部に信号用の半導体素子接続パッド7が多数配置されている。また、下面側における最外層のビルドアップ絶縁層2上に被着された一部は、外部電気回路基板の配線導体に電気的に接続される円形の外部接続パッド8であり、この外部接続パッド8は格子状の並びに複数並んで形成されている。   The build-up insulating layer 2 is made of an insulating material containing a thermosetting resin such as an epoxy resin, and a plurality of via holes 6 are formed in each, and the surface of each build-up insulating layer 2 including the via holes 6 is plated with copper. A build-up wiring layer 3 composed of layers is deposited. The build-up wiring layer 3 is electrically connected to the through hole 5 while being connected to each other through the via hole 6. Further, a part of the buildup wiring layer 3 deposited on the outermost buildup insulating layer 2 on the upper surface side is electrically connected to the electrode terminal T of the semiconductor integrated circuit element S in the mounting portion 10a. The circular semiconductor element connection pads 7 are formed, and these semiconductor element connection pads 7 are formed in a lattice arrangement corresponding to the electrode terminals T of the semiconductor integrated circuit element S as shown in FIG. . The semiconductor element connection pads 7 have a large number of grounding and power supply semiconductor element connection pads 7 arranged at the center of the mounting part 10a, and a large number of signal semiconductor element connection pads 7 arranged at the outer periphery of the mounting part 10a. ing. Also, a part of the lower surface side deposited on the outermost buildup insulating layer 2 is a circular external connection pad 8 that is electrically connected to the wiring conductor of the external electric circuit board. A plurality of grids 8 are formed in a grid.

さらに、最外層のビルドアップ絶縁層2およびその上のビルドアップ配線層3上には、半導体素子接続パッド7および外部接続パッド8を露出させるソルダーレジスト層9が被着されている。そして、半導体素子接続パッド9の露出部に半導体集積回路素子Sの電極端子Tが電気的に接続されるとともに外部接続パッド8の露出部に図示しない外部電気回路基板の配線導体が半田ボールを介して電気的に接続される。   Further, a solder resist layer 9 for exposing the semiconductor element connection pads 7 and the external connection pads 8 is deposited on the outermost buildup insulating layer 2 and the buildup wiring layer 3 thereon. The electrode terminal T of the semiconductor integrated circuit element S is electrically connected to the exposed portion of the semiconductor element connection pad 9, and the wiring conductor of the external electric circuit board (not shown) is connected to the exposed portion of the external connection pad 8 via the solder ball. Are electrically connected.

図3に、搭載部10aの中央部における接地用と電源用の半導体素子接続パッド7のみを抜き出して示す。図3においてGと記した半導体素子接続パッド7は接地用の半導体素子接続パッド7Gであり、Pと記した半導体素子接続パッド7は電源用の半導体素子接続パッド7Pである。図3に示すように、接地用の半導体素子接続パッド7Gと電源用の半導体素子接続パッド7Pとは1個ずつが格子状の配列で斜めに列をなすようにして交互に配設されているとともに、各列の半導体素子接続パッド7同士が1列ずつ帯状の一体のパターンとして統合されている。なお、この例では各列の半導体素子接続パッド7同士が1列ずつ帯状の一体のパターンとして統合されているが、各半導体素子接続パッド7同士はそれぞれが独立したパターンであってもよく、本発明はそのような場合であっても適用される。   FIG. 3 shows only the grounding and power supply semiconductor element connection pads 7 in the center of the mounting portion 10a. In FIG. 3, the semiconductor element connection pad 7 indicated by G is a semiconductor element connection pad 7G for grounding, and the semiconductor element connection pad 7 indicated by P is a semiconductor element connection pad 7P for power supply. As shown in FIG. 3, the semiconductor element connection pads 7G for grounding and the semiconductor element connection pads 7P for power supply are alternately arranged in a grid-like arrangement so as to form diagonal rows. At the same time, the semiconductor element connection pads 7 in each row are integrated as a single band-like pattern one row at a time. In this example, the semiconductor element connection pads 7 in each row are integrated as a single band-like pattern one row at a time. However, each semiconductor element connection pad 7 may be an independent pattern. The invention is applied even in such a case.

そして、これらの接地用の半導体素子接続パッド7Gおよび電源用の半導体素子接続パッド7Pは、図4に示すように、下層のビルドアップ配線層3を介してスルーホール5に電気的に接続されている。なお、図4は、図3における一部の半導体素子接続パッド7およびそれに対応する下層のビルドアップ配線層3およびコア導体層4を抜き出して示した斜視図であり、各層における小さな○印が下層へ接続するビア6の位置を示し、×印が上層からのビア6が接続される位置を示している。   These grounding semiconductor element connection pads 7G and power supply semiconductor element connection pads 7P are electrically connected to the through holes 5 through the underlying buildup wiring layer 3 as shown in FIG. Yes. FIG. 4 is a perspective view showing a part of the semiconductor element connection pads 7 in FIG. 3 and the corresponding build-up wiring layer 3 and core conductor layer 4 corresponding to the extracted semiconductor element connection pads 7. The position of the via 6 to be connected to is indicated, and the mark x indicates the position to which the via 6 from the upper layer is connected.

半導体素子接続パッド7が接続される次層のビルドアップ配線層3は、主として接地プレーン3Gであり、接地用の半導体素子接続パッド7Gの各列に対応する位置に接地用の半導体素子接続パッド7Gと電気的に接続するためのビア6が接続される帯状のビア接続部3Vを有しているとともに電源用の半導体素子接続パッド7Pの各列に対応する位置に電源用の半導体素子接続パッド7Pと電気的に接続するためのビア6が接続されるビアランド3Lおよびこれらを取り囲んでビア接続部3Vの間を隔てるクリアランス3Cとを有している。そして、接地用の半導体素子接続パッド7Gは接地プレーン3Gのビア接続部3Vに接地用の各半導体素子接続パッド7Gからのビア6を介して接続され、電源用の半導体素子接続パッド7Pはビアランド3Lにビア6を介して接続されている。   The next build-up wiring layer 3 to which the semiconductor element connection pads 7 are connected is mainly the ground plane 3G, and the ground semiconductor element connection pads 7G are arranged at positions corresponding to the respective columns of the ground semiconductor element connection pads 7G. Power supply semiconductor element connection pad 7P at a position corresponding to each column of power supply semiconductor element connection pads 7P. Via land 3L to which via 6 for electrical connection is connected, and clearance 3C surrounding them and separating via connection 3V. The grounding semiconductor element connection pad 7G is connected to the via connection portion 3V of the ground plane 3G via the via 6 from each grounding semiconductor element connection pad 7G, and the power supply semiconductor element connection pad 7P is connected to the via land 3L. Are connected via vias 6.

その下層のビルドアップ配線層3は、主として電源プレーン3Pであり、電源用の半導体素子接続パッド7Pの各列に対応する位置に電源用の半導体素子接続パッド7Pと電気的に接続するためのビア6が接続される帯状のビア接続部3Vを有しているとともに接地用の半導体素子接続パッド7Gの各列に対応する位置に接地用の半導体素子接続パッド7Gと電気的に接続するためのビア6が接続されるビアランド3Lおよびそれらを取り囲んでビア接続部3Vの間を隔てるクリアランス3Cとを有している。そして、上層の接地プレーン3Gはビアランド3Lにビア6を介して接続され、電源用の半導体素子接続パッド7Pに接続された上層のビアランド3Lは電源プレーン3Pに上層のビアランド3Lからのビア6を介して接続されている。   The underlying buildup wiring layer 3 is mainly a power plane 3P, and a via for electrically connecting the power supply semiconductor element connection pad 7P to a position corresponding to each column of the power supply semiconductor element connection pads 7P. 6 is connected to the grounding semiconductor element connection pad 7G at a position corresponding to each column of the grounding semiconductor element connection pad 7G. 6, via land 3 </ b> L, and clearance 3 </ b> C surrounding the via land 3 </ b> V and separating the via connection 3 </ b> V. The upper ground plane 3G is connected to the via land 3L via the via 6, and the upper via land 3L connected to the power semiconductor element connection pad 7P is connected to the power plane 3P via the via 6 from the upper via land 3L. Connected.

その下層のコア導体層4は、主として接地プレーン4Gであり、接地プレーン4Gは接地用のスルーホール5Gに接続されているとともに、その中に電源用のスルーホール5Pに接続されたスルーホールランド4Lがクリアランス4Cを介して配設されている。そして、接地プレーン3Gに接続された上層のビアランド3Lがビア6を介して接地プレーン4Gに接続され、上層の電源プレーン3Pがビア6を介してスルーホールランド4Lに接続されている。その結果、接地用の半導体素子接続パッド7Gが接地用のスルーホール5Gに電気的に接続されるとともに電源用の半導体素子接続パッド7Pが電源用のスルーホール5Pに電気的に接続されることとなる。   The lower core conductor layer 4 is mainly a ground plane 4G. The ground plane 4G is connected to a grounding through hole 5G, and a through hole land 4L connected to a power supply through hole 5P therein. Is disposed via a clearance 4C. The upper via land 3L connected to the ground plane 3G is connected to the ground plane 4G via the via 6, and the upper power plane 3P is connected to the through-hole land 4L via the via 6. As a result, the grounding semiconductor element connection pad 7G is electrically connected to the grounding through hole 5G, and the power supply semiconductor element connection pad 7P is electrically connected to the power supply through hole 5P. Become.

なお、本例の配線基板においては、電源プレーン3Pのビア接続部3Vの各列の下方に電源用のスルーホール5Pが位置するように追加の電源用スルーホール5Pa設けられている。したがって、電源用のスルーホール5Pから電源用の半導体素子接続パッド7Pへの電源供給路が電源プレーン3Pにおいて大きく迂回することがなく、その結果、電源供給路における電流の集中が緩和されて半導体集積回路素子Sに対して十分な電源供給を行なって半導体集積回路素子Sを良好に作動させることができる。なお、本発明者が直流電流密度シミュレータを用いて行なったシミュレーションによると、半導体集積回路素子Sに対する電源供給において過渡電流が流れた際の電圧降下は大幅に改善される結果が確認できた。なお、追加の電源用スルーホール5Paを設けることが設計上困難である場合には、一部の接地用スルーホール5Gと電源用スルーホール5Pとを入れ替えることにより、電源プレーン3Pのビア接続部3Vの各列の下方に電源用のスルーホール5Pが位置するようにしてもよい。   In the wiring board of this example, an additional power supply through hole 5Pa is provided so that the power supply through hole 5P is located below each row of the via connection portion 3V of the power supply plane 3P. Therefore, the power supply path from the power supply through hole 5P to the power supply semiconductor element connection pad 7P is not greatly detoured in the power supply plane 3P. As a result, the concentration of current in the power supply path is alleviated and the semiconductor integrated circuit is integrated. The semiconductor integrated circuit element S can be satisfactorily operated by supplying sufficient power to the circuit element S. According to a simulation performed by the present inventor using a DC current density simulator, it was confirmed that the voltage drop when a transient current flows in the power supply to the semiconductor integrated circuit element S was significantly improved. If it is difficult to provide an additional power supply through hole 5Pa in terms of design, by replacing some of the grounding through holes 5G and the power supply through holes 5P, the via connection portion 3V of the power plane 3P is provided. A through hole 5P for power supply may be positioned below each row.

次に本発明の配線基板における実施形態の別の例を添付の図5〜図8を基にして説明する。図5はビルドアップ法により形成された本例の配線基板の一例を示す概略断面図であり、図6は図5示した配線基板における要部概略上面図である。また図7は、図6における要部拡大図であり、図8は、図5および図6に示す配線基板における要部分解斜視図である。なお、図5においては、ハッチングを省略してある。   Next, another example of the embodiment of the wiring board according to the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 5 is a schematic cross-sectional view showing an example of the wiring board of this example formed by the build-up method, and FIG. 6 is a schematic top view of the main part of the wiring board shown in FIG. 7 is an enlarged view of a main part in FIG. 6, and FIG. 8 is an exploded perspective view of a main part in the wiring board shown in FIGS. In FIG. 5, hatching is omitted.

図5に示すように、本例の配線基板20は、コア基板11の上下面にビルドアップ絶縁層12およびビルドアップ配線層13が交互に積層されており、その上面中央部に半導体集積回路素子Sを搭載するための搭載部20aを有している。   As shown in FIG. 5, in the wiring board 20 of this example, the build-up insulating layers 12 and the build-up wiring layers 13 are alternately laminated on the upper and lower surfaces of the core substrate 11, and the semiconductor integrated circuit element is located at the center of the upper surface. A mounting portion 20a for mounting S is provided.

コア基板11はその上下面に銅箔や銅めっき層から成るコア導体層14が被着されているとともに絶縁基板の上面から下面にかけてコア導体層14の一部として機能する銅めっき層が被着された多数のスルーホール15が形成されている。   The core substrate 11 has a core conductor layer 14 made of copper foil or a copper plating layer applied to the upper and lower surfaces thereof, and a copper plating layer that functions as a part of the core conductor layer 14 from the upper surface to the lower surface of the insulating substrate. A number of through-holes 15 are formed.

ビルドアップ絶縁層12は、それぞれに複数のビアホール16が形成されており、ビアホール16を含む各ビルドアップ絶縁層12の表面には銅めっき層から成るビルドアップ配線層13が被着形成されている。そしてビルドアップ配線層13は、ビアホール16を介して上下のものが互い接続されているとともにスルーホール15に電気的に接続している。さらに、このビルドアップ配線層13のうち、上面側における最外層のビルドアップ絶縁層12上に被着された一部は、搭載部20aにおいて半導体集積回路素子Sの電極端子Tに電気的に接続される円形の半導体素子接続パッド17を形成しており、これらの半導体素子接続パッド17は図6に示すように、半導体集積回路素子Sの電極端子Tに対応した格子状の並びに形成されている。なお、半導体素子接続パッド17は搭載部20aの中央部に接地用および電源用の半導体素子接続パッド17が多数配置され、搭載部20aの外周部に信号用の半導体素子接続パッド17が多数配置されている。また、下面側における最外層のビルドアップ絶縁層12上に被着された一部は、外部電気回路基板の配線導体に電気的に接続される円形の外部接続パッド18であり、この外部接続パッド18は格子状の並びに複数並んで形成されている。   A plurality of via holes 16 are formed in each of the build-up insulating layers 12, and a build-up wiring layer 13 made of a copper plating layer is deposited on the surface of each build-up insulating layer 12 including the via holes 16. . The build-up wiring layer 13 is electrically connected to the through hole 15 while the upper and lower layers are connected to each other through the via hole 16. Further, a part of the buildup wiring layer 13 deposited on the outermost buildup insulating layer 12 on the upper surface side is electrically connected to the electrode terminal T of the semiconductor integrated circuit element S in the mounting portion 20a. The circular semiconductor element connection pads 17 are formed, and these semiconductor element connection pads 17 are arranged in a lattice shape corresponding to the electrode terminals T of the semiconductor integrated circuit element S as shown in FIG. . The semiconductor element connection pads 17 have a large number of grounding and power supply semiconductor element connection pads 17 arranged at the center of the mounting portion 20a, and a large number of signal semiconductor element connection pads 17 arranged at the outer periphery of the mounting portion 20a. ing. Further, a part of the lower surface side deposited on the outermost buildup insulating layer 12 is a circular external connection pad 18 that is electrically connected to the wiring conductor of the external electric circuit board. A plurality of 18 are formed in a grid.

さらに、最外層のビルドアップ絶縁層12およびその上のビルドアップ配線層13上には、半導体素子接続パッド17および外部接続パッド18を露出させるソルダーレジスト層19が被着されている。そして、半導体素子接続パッド17の露出部に半導体集積回路素子Sの電極端子Tが電気的に接続されるとともに外部接続パッド18の露出部に図示しない外部電気回路基板の配線導体が半田ボールを介して電気的に接続される。   Further, a solder resist layer 19 that exposes the semiconductor element connection pads 17 and the external connection pads 18 is deposited on the outermost buildup insulating layer 12 and the buildup wiring layer 13 thereon. The electrode terminal T of the semiconductor integrated circuit element S is electrically connected to the exposed portion of the semiconductor element connection pad 17, and the wiring conductor of the external electric circuit board (not shown) is connected to the exposed portion of the external connection pad 18 via the solder ball. Are electrically connected.

図7に、搭載部20aの中央部における接地用と電源用の半導体素子接続パッド17のみを抜き出して示す。図7においてGと記した半導体素子接続パッド17は接地用の半導体素子接続パッド17Gであり、Pと記した半導体素子接続パッド17は電源用の半導体素子接続パッド17Pである。図7に示すように、接地用の半導体素子接続パッド17Gと電源用の半導体素子接続パッド17Pとは4個ずつが一組となって格子状の配列で列をなすようにして交互に配設されているとともに、各組の接地用の半導体素子接続パッド17G同士が網目状の一体のパターンとして統合されているとともに各組の電源用の半導体素子接続パッド17P同士が4個ずつ一体のパターンとして統合されている。   FIG. 7 shows only the grounding and power supply semiconductor element connection pads 17 in the central portion of the mounting portion 20a. In FIG. 7, the semiconductor element connection pad 17 indicated by G is a semiconductor element connection pad 17G for grounding, and the semiconductor element connection pad 17 indicated by P is a semiconductor element connection pad 17P for power supply. As shown in FIG. 7, the grounding semiconductor element connection pads 17G and the power supply semiconductor element connection pads 17P are alternately arranged in groups of four in a grid-like arrangement. In addition, the grounding semiconductor element connection pads 17G of each set are integrated as a net-like integrated pattern, and the power supply semiconductor element connection pads 17P of each set are integrated as four patterns. Integrated.

そして、これらの接地用の半導体素子接続パッド17Gおよび電源用の半導体素子接続パッド17Pは、図8に示すように、下層のビルドアップ配線層13を介してスルーホール15に電気的に接続されている。なお、図8は、図7における一部の半導体素子接続パッド17およびそれに対応する下層のビルドアップ配線層13およびコア導体層14を抜き出して示した斜視図であり、各層における小さな○印が下層へ接続するビア16の位置を示し、×印が上層からのビア16が接続される位置を示している。   The grounding semiconductor element connection pad 17G and the power supply semiconductor element connection pad 17P are electrically connected to the through hole 15 via the underlying buildup wiring layer 13 as shown in FIG. Yes. 8 is a perspective view showing a part of the semiconductor element connection pads 17 in FIG. 7 and the corresponding build-up wiring layer 13 and core conductor layer 14 corresponding to the semiconductor element connection pads 17 in FIG. The position of the via 16 to be connected to is indicated, and the mark x indicates the position to which the via 16 from the upper layer is connected.

半導体素子接続パッド17が接続される次層のビルドアップ配線層13は、主として接地プレーン13Gであり、接地用の半導体素子接続パッド17Gの各列に対応する位置に接地用の半導体素子接続パッド17Gと電気的に接続するためのビア16が接続される帯状のビア接続部13Vを有しているとともに電源用の半導体素子接続パッド17Pの各列に対応する位置に電源用の半導体素子接続パッド17Pと電気的に接続するためのビア16が接続されるビアランド13Lおよびこれらを取り囲んでビア接続部13Vの間を隔てるクリアランス13Cとを有している。そして、接地用の半導体素子接続パッド17Gは接地プレーン13Gのビア接続部13Vに接地用の各半導体素子接続パッド17Gからのビア16を介して接続され、電源用の半導体素子接続パッド17Pはビアランド13Lにビア16を介して接続されている。   The next build-up wiring layer 13 to which the semiconductor element connection pads 17 are connected is mainly the ground plane 13G, and the ground semiconductor element connection pads 17G are arranged at positions corresponding to the respective columns of the ground semiconductor element connection pads 17G. Power supply semiconductor element connection pad 17P at a position corresponding to each column of power supply semiconductor element connection pads 17P. A via land 13L to which a via 16 for electrical connection is connected, and a clearance 13C surrounding the via land 13L and separating the via connection portion 13V. The ground semiconductor element connection pad 17G is connected to the via connection portion 13V of the ground plane 13G via the via 16 from each ground semiconductor element connection pad 17G, and the power supply semiconductor element connection pad 17P is connected to the via land 13L. Are connected via vias 16.

その下層のビルドアップ配線層13は、主として電源プレーン13Pであり、電源用の半導体素子接続パッド17Pの各列に対応する位置に電源用の半導体素子接続パッド17Pと電気的に接続するためのビア16が接続される帯状のビア接続部13Vを有しているとともに接地用の半導体素子接続パッド17Gの各列に対応する位置に接地用の半導体素子接続パッド17Gと電気的に接続するためのビア16が接続されるビアランド13Lおよびそれらを取り囲んでビア接続部13Vの間を隔てるクリアランス13Cとを有している。そして、上層の接地プレーン13Gはビアランド13Lにビア16を介して接続され、電源用の半導体素子接続パッド17Pに接続された上層のビアランド13Lは電源プレーン13Pに上層のビアランド13Lからのビア16を介して接続されている。   The underlying buildup wiring layer 13 is mainly a power plane 13P, and a via for electrically connecting to the power supply semiconductor element connection pad 17P at a position corresponding to each column of the power supply semiconductor element connection pads 17P. 16 is connected to the grounding semiconductor element connection pad 17G at a position corresponding to each column of the grounding semiconductor element connection pad 17G. A via land 13L to which 16 is connected and a clearance 13C surrounding the via land 13L and separating the via connection portion 13V. The upper ground plane 13G is connected to the via land 13L via the via 16, and the upper via land 13L connected to the power semiconductor element connection pad 17P is connected to the power plane 13P via the via 16 from the upper via land 13L. Connected.

その下層のコア導体層14は、主として接地プレーン14Gであり、接地プレーン14Gは接地用のスルーホール15Gに接続されているとともに、その中に電源用のスルーホール15Pに接続されたスルーホールランド14Lがクリアランス14Cを介して配設されている。そして、そして接地プレーン13Gに接続された上層のビアランド13Lがビア16を介して接地プレーン14Gに接続され、上層の電源プレーン13Pがビア16を介してスルーホールランド14Lに接続されている。その結果、接地用の半導体素子接続パッド17Gが接地用のスルーホール15Gに電気的に接続されるとともに電源用の半導体素子接続パッド17Pが電源用のスルーホール15Pに電気的に接続されることとなる。   The lower core conductor layer 14 is mainly a ground plane 14G. The ground plane 14G is connected to a grounding through hole 15G, and a through hole land 14L connected to a power supply through hole 15P therein. Is disposed via a clearance 14C. The upper via land 13L connected to the ground plane 13G is connected to the ground plane 14G via the via 16, and the upper power plane 13P is connected to the through-hole land 14L via the via 16. As a result, the grounding semiconductor element connection pad 17G is electrically connected to the grounding through hole 15G, and the power supply semiconductor element connection pad 17P is electrically connected to the power supply through hole 15P. Become.

なお、本例の配線基板においては、電源プレーン13Pのビア接続部13Vの各列の下方に電源用のスルーホール15Pが位置するように追加の電源用スルーホール15Pa設けられている。したがって、電源用のスルーホール15Pからの電源用の半導体素子接続パッド17Pへの電源供給路が電源プレーン13Pにおいて大きく迂回することがなく、その結果、電源供給路における電流の集中が緩和されて半導体集積回路素子Sに対して十分な電源供給を行なって半導体集積回路素子Sを良好に作動させることができる。なお、追加の電源用スルーホール5Paを設けることが設計上困難である場合には、一部の接地用スルーホール15Gと電源用スルーホール15Pとを入れ替えることにより、電源プレーン13Pのビア接続部13Vの各列の下方に電源用のスルーホール15Pが位置するようにしてもよい。また本発明は、接地用の電位と電源用の電位とを入れ替えた場合にも適用されることはいうまでもない。   In the wiring board of this example, an additional power supply through hole 15Pa is provided so that the power supply through hole 15P is positioned below each row of the via connection portion 13V of the power supply plane 13P. Therefore, the power supply path from the power supply through hole 15P to the power supply semiconductor element connection pad 17P is not greatly detoured in the power supply plane 13P. As a result, the concentration of current in the power supply path is reduced and the semiconductor is reduced. The semiconductor integrated circuit element S can be operated satisfactorily by supplying sufficient power to the integrated circuit element S. If it is difficult to provide an additional power supply through hole 5Pa in terms of design, by replacing some of the grounding through holes 15G and the power supply through holes 15P, the via connection portion 13V of the power plane 13P is provided. A through hole 15P for power supply may be positioned below each row. Needless to say, the present invention is also applied to the case where the grounding potential and the power supply potential are interchanged.

1,11 コア基板
2,12 ビルドアップ絶縁層
3,13 ビルドアップ配線層
3C,13C クリアランス
3L,13L ビアランド
3V,13V ビア接続部
5,15 スルーホール
6,16 ビア
7,17 半導体素子接続パッド
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,11 Core board | substrate 2,12 Buildup insulating layer 3,13 Buildup wiring layer 3C, 13C Clearance 3L, 13L Via land 3V, 13V Via connection part 5,15 Through hole 6,16 Via 7,7 Semiconductor element connection pad

Claims (1)

第1の電位に接続される複数の第1のスルーホールおよび第2の電位に接続される複数の第2のスルーホールを有するコア基板と、該コア基板の上面に積層された複数層のビルドアップ絶縁層と、最上層の前記ビルドアップ絶縁層の上面に格子状の配列で1個ずつまたは複数個ずつが交互に列をなすように多数配設されており、前記第1のスルーホールに電気的に接続された第1の半導体素子接続パッドおよび前記第2のスルーホールに電気的に接続された第2の半導体素子接続パッドと、前記ビルドアップ絶縁層間に配設されており、前記第1の半導体素子接続パッドの各列に対応する位置に該第1の半導体素子接続パッドと電気的に接続するためのビアが接続される帯状のビア接続部を有する第1の電源プレーンおよび前記第2の半導体素子接続パッドの各列に対応する位置に該第2の半導体素子接続パッドと電気的に接続するためのビアが接続されるビアランドおよび該ビアランドを取り囲んで前記ビア接続部の間を隔てるクリアランスとを有する配線基板であって、前記ビア接続部の各列の下方に前記第1のスルーホールが位置し、各列の前記ビア接続部とその下方の前記第1のスルーホールとが各列の前記ビア接続部に接続されたビアを介して電気的に接続されていることを特徴とする配線基板。
A core substrate having a plurality of first through-holes connected to the first potential and a plurality of second through-holes connected to the second potential, and a multi-layer build stacked on the upper surface of the core substrate The upper insulating layer and the uppermost build-up insulating layer are arranged in a grid pattern on the upper surface so that one or more of them are alternately arranged in rows. A first semiconductor element connection pad electrically connected and a second semiconductor element connection pad electrically connected to the second through-hole, and the buildup insulating layer; A first power supply plane having a strip-like via connection portion to which a via for electrically connecting to the first semiconductor element connection pad is connected at a position corresponding to each column of one semiconductor element connection pad; 2 semiconductors A via land to which a via for electrically connecting to the second semiconductor element connection pad is connected at a position corresponding to each row of the child connection pads, and a clearance surrounding the via land and separating the via connection portion from each other. The first through holes are located below each row of the via connection portions, and the via connection portions in each row and the first through holes therebelow are arranged in each row. A wiring board characterized in that it is electrically connected through a via connected to a via connection portion.
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