JP5386482B2 - 所定の状態によって作動または停止する機械的振動体 - Google Patents

Description

本発明は腐食性材料または異物材料の検知および測定に関する。本発明は、一般的には単一流体または多相の流体内における腐食性および／または浸食性物質による金属損失の検知に適用することができる。具体的には、本発明は、工業生産プロセスにおける金属損失腐食および／または浸食のオンストリーム検知に関する。別の実施態様においては、本発明は、工業プロセスストリームにおける好ましくない汚染物質の検知に用いることができる。実際の作動環境は、水、炭化水素、化学物質またはそれらの組合せとすることができる。

原油および炭化水素の生産および処理において随伴される腐食性物質は、生産、輸送、貯蔵および処理の各機器の金属損失腐食を惹起することがある。金属損失をもたらすことはないが、それでも構造物の材料の完全な状態に影響を及ぼすような他のタイプの腐食劣化も生起する可能性がある。浸食性物質は、通常、化学的作用よりもむしろ機械的な作用から金属の損失をもたらす流体および／または固体の乱流を伴っている。例えば、これらの腐食性／浸食性物質は、炭化水素、材料を含有する炭化水素、または水、或いはこれらの混合物と考えることができる。更に、流れは、単一相または多相（固体、液体、気体）である場合がある。本発明の装置は、圧力境界の残存している金属の厚さまたは機械的な完全性に基づいて、警報を発するために用いることができ、それによって保守整備の行程計画を可能にする。

材料損失または材料劣化の所定量を、本発明におけるように相対的に低コストで高性能検知することによって、例えば、腐食性原油および腐食抑制添加剤の使用の最適化、並びに、未計画の容量損失、ターンアラウンド時間および腐食起因の機器故障による検査コストの低減が可能になるであろう。例えば、本発明は、プロセス閉じ込め部分の腐食許容量が消尽されてしまうと、低コストの直接的な警報を提供するであろう。本発明に関する付加的な価値は、腐食性であるか、或いは工業生産プロセスにとって問題になる可能性のあるプロセスストリーム中の混入物を検知することによって達成できる。本発明に関する更に別の価値は、地中および海底の油田から原油を抽出する機器における金属損失腐食を監視する場合に実現できる。本発明を圧力警報または温度警報として構成することが可能な他の運転モードが記述される。これらの用途および他の用途においては、腐食の副生物は、閉じ込め部分の表面に付着するスケールまたは他の堆積物である。本発明の特徴は、金属損失の測定が、これらの非金属堆積物によって損なわれないということである。

現行の腐食感知技術、例えば電気抵抗プローブは、上記の経済的な誘因を実現するのに必要な性能レベルに遥かに及ばない。これらの技術の欠点は、熱変化、伝導性の堆積物、および電気抵抗に影響する他の因子によって、そのプローブ固有の信号の変動性が惹起されるために、そのプローブが、腐食／浸食による材料損失の定量的な指標を提供するには本質的に適していないという点にある。従来型の電気抵抗プローブは、理解された理論的原理に基づくものであるが、これらのプローブは、その設計および製造における限界のために、腐食速度に対する低い信頼性および乏しい感度しか呈しないものが多い。代表的な出力は、多くの場合、定量的な腐食速度の推定には困難である。材料損失用途用のこの使用法に対して用いることができるもう１つの技術は、試験用金属片の腐食として知られる。この場合、当該材料から製作された試験用金属片がプロセスストリームの中に挿入される。所定時間に、それを取り外し、試験および／または秤量して材料の損失量を評価する。この方式の重大な欠点は、運転中の高温および／または高圧の工業プロセスの中に試験用金属片を挿入する、或いはそれから取り外すという安全上の問題である。この現行技術の更に別の欠点は、腐食速度における変化を十分に検知し、確証するのに必要な時間遅れである。この時間遅れによって、修正措置を実行できる前に、監視されている機器が不必要に長い時間高い腐食速度に曝露される可能性がある。

特許文献１および特許文献２は、両者共、共鳴器を採用しており、共鳴周波数と質量変化との間の関係を教示している。この先行技術によって教示される関係は、振動体質量をその共鳴パラメータに関係付ける周知の公式を適用する。具体的には、この先行技術は周波数およびＱを監視する。この先行技術の欠陥は、材料損失と、腐食生成物の堆積と、振幅、周波数およびＱの共鳴パラメータとの間の定量的関係が確立されていないことである。本発明は、この先行技術から離れて、振動体の振幅または周波数の２進監視を採用することによって教示する。連続的な傾向追跡は必要でない。この発見は、明確に、先行技術の教示の照明の中では明らかではないものである。一実施態様においては、本発明は、振動体を融解リンクによって不動化できることを利用した。

特許文献１および特許文献２の焦点は、質量損失または堆積の定量的推定を提供することである。本質的に、両者共警報機能を提供する。本発明も同様に警報機能を提供する。しかし、警報を起動する範囲を較正することおよび予め定めることが難しいこの先行技術とは違って、本発明は、このような曖昧さを有していない。本発明は、融解要素が一旦取り除かれるかまたは破壊されると警報モードに入る。この警報モードが起動し得る範囲を推定することは不要である。融解される要素の正確な寸法が製造時点で知られているからである。特許文献２においては、１つの警報方式は、中空共鳴器の製作によって実現される。その場合、用途に応じて、警報は、共鳴器の外殻に孔が貫通した時にその中空空間を充満するかまたは空にすることによって実現される。この装置の製作は本発明の場合よりも複雑であるだけでなく、これは、共鳴パラメータにおける変化を予め正確に定める手順、或いは、警報限界値を実現する材料損失の厳密な限界量を準備する手順を提供しない。本発明の場合は、検知限界値に合致する共鳴パラメータの変化が急激である。

米国特許第６，９２８，８７７号明細書 米国特許出願公開第２００６／００３７３９９号明細書

本発明は、媒体中における特定の状態を検知するセンサー（以下に述べる）である。これは、腐食性または異物材料の検知および測定を含む。本発明は、一般的には単一流体または多相の流体中における腐食性および／または浸食性物質による金属損失の検知に適用することができる。具体的には、本発明は、工業生産プロセスにおける、所定量の金属損失腐食および／または浸食のオンストリーム検知、或いは、汚染物質のオンストリーム検知に関する。適用例は、数年間停止なしの運転が意図される製油所の環境に容易に見出される。オンストリーム検査法は、圧力境界の完全性に関する情報の提供用として利用可能ではあるが、通常は、最も信頼度の高い検査法が周期的に計画される。本発明は、所定の状態に到達したか否かを評価するためのオンストリーム型連続監視法を提供する。この所定の状態は、完全なオンストリーム検査、プロセスの交換、保守整備遂行のためのプロセスの停止等を必要とするものとすることができる。いくつかの実施態様においては、本発明は、所定量の材料損失を検知するために用いることができ、他の実施態様においては、本発明は、工業プロセスストリームにおける好ましくない汚染物質を検知できる。実際の作動環境は、水、炭化水素、化学物質またはそれらの組合せとすることができる。更に別の実施態様においては、本発明は、作動環境との反応によって大きな材料損失なしに材料の完全性に影響を及ぼす損害、例えば機械的または物理的特性の変化のような損害の検知に用いることができる。

センサーは機械的な振動体を含む。最も一般的な実施態様においては、振動体は、音叉の腕またはロッドのような振動要素を有する。いくつかの例として、腕またはロッドの断面形状は円形若しくは長方形とすることができる。この振動要素はダイアフラムに取り付けられる。また、腕の動きを制限する融解体であって、作動環境流体と反応することができる融解体も設けられる。振動する腕要素は基部および先端部領域を含む。通常、振動体の運動は、共鳴パラメータに対する最大変化に関連する領域である先端部において最大になるであろう。振動体は、共鳴周波数ｆ、および、共鳴に関連する性質係数Ｑを有する。共鳴係数Ｑは、全系の減衰に逆比例する。作動環境流体の流れによって、或いは、ダイアフラムにおける能動的な励起によって、機械的な励起を付与することができる。１つの例として、この能動的励起を、圧電セラミック駆動器、誘導駆動器または磁歪駆動器によって供給することができる。圧電セラミック駆動器のような外部エネルギー源によって駆動する場合は、励起を連続供給する必要はない。励起は、腐食センサーに照会するために必要な時に付与することが可能である。

本発明には複数の実施態様が存在する。いくつかの実施態様においては、振動体は、共鳴周波数またはそれに近い周波数における振動からほぼゼロ振幅の振動に変化する。他のいくつかの実施態様においては、この変化を、ゼロ振幅から共鳴振幅への変化にすることができる。この振動の変化は、本発明の融解要素がその作動環境と反応することによって惹起される。特定の用途に応じて、融解要素は金属製または非金属製とすることができる。すべての場合に、振動の振幅は、ほぼゼロから共鳴状態に、或いは、共鳴状態からほぼゼロに劇的に変化する。これらすべての実施態様の利点は、温度、粘度、密度によって誘起される振動体の共鳴パラメータの変化に対処するための外部修正なしに、警報条件を設定できることにある。

音叉振動体の概略図であり、先端部、基部およびダイアフラムの各領域を示す。 音叉の両腕に溶接によって直接かつ剛的に取り付けられた融解要素を適用する実施態様を示す。 腕を不動化する剛性の要素で、エポキシの融解要素によって音叉の両腕に取り付けられた剛性要素を適用する実施態様を示す。 図２−ａの剛性の融解体用の金属製要素を使用した結果を示す。 図２−ｂの連結体を使用した結果を示す。剛性の連結体は、融解要素であるエポキシによって腕に取り付けられる。 腕の運動を可能（または不可能）にするために膨張（または収縮）することができる融解要素を適用する実施態様を示す。非曝露状態の場合、融解要素は腕の運動を阻止する。 ベロー構成によって腕と接触するように（または腕から離れるように）保持される制動融解要素を適用する実施態様を示す。圧力の変化によって制動材料が腕から離れるように（或いは腕と接触するように）動き、振動が可能になる。 ロッド振動体Ｂの先端における融解体材料の溶着を示す。

本発明は、市販されている音叉の技術を利用しようとするものである。図１に示すように、音叉は、ダイアフラム［１０］に取り付けられる２つの腕［４０］から構成される。腕は、先端部［２０］および基部［３０］の領域からなる。腕に対しては、円形、半円筒形、並びに、先端部および基部の領域に対する非一様な形状を含む種々の形状が可能である。既存の市販の適用分野は、広範囲の工業におけるプロセスストリームの流体の液位、密度および／または粘度のオンラインの現場測定を含む。本発明は、プロセスストリームに浸漬された音叉の共鳴パラメータ（特に振幅）の変化の測定を含み、それによって材料の損失を検知する。現行の商業入手可能な装置は、周波数、Ｑおよび振幅の共鳴パラメータを用いて媒体の密度および粘度を決定する。これらの装置における流体液位、密度および／または粘度の測定に対する根本的な仮定は、振動体の質量が固定され、かつ、その機械的特性が運転温度において固定されているということである。更に別の仮定として、作動環境流体による音叉上への質量の堆積はないものと想定されている。いくつかの利用可能な市販装置は、機械的特性の変化を補正するための温度測定を含んでいる。更に、これらの市販の装置においては、振動体として用いられる材料は、意図される用途におけるプロセス流体に適合している（例えば非腐食性）。

本発明は、腐食／浸食による質量損失によって惹起される音叉の共鳴パラメータにおける変化を利用する。先行技術においては、材料損失および／または材料損失速度を測定するための共鳴パラメータの徐々の変化が考慮される。これとは対照的に、本発明は、所定の限界量の材料が失われた時に警報を発する。引用した先行技術も、特定レベルの材料損失において警報を発することを主張しているが、作動環境流体の温度、粘度および密度の変動によって惹起される共鳴条件に対する変化のために、警報パラメータの精度が損なわれている。堆積および腐食の両者が同時に生起する場合には、共鳴パラメータに対する変化を解釈する更に別の難点が生じる。本発明の利点は、警報発信が、これらのパラメータとは無関係の、材料損失の正確な限界量に合致している。本発明の場合、共鳴装置が融解して、融解体の材料が消尽された時に警報を発する。融解体の材料は、装置を作動環境流体の中に組み込む前に溶着されるので、警報条件の正確な限界量を予め定めることができる。

本発明においては、共鳴パラメータは、所定量の材料、即ち消耗可能な融解要素が音叉共鳴器から取り除かれた時の明確な遷移を作り出すために利用される。この明確な遷移は、腕の運動がない状態または低い運動状態から、共鳴に伴う腕の運動への変化を含む。或いは逆に、この遷移を、共鳴に伴う運動から、共鳴から離れることによって得られる低レベルの運動への変化とすることができる。消耗可能な融解要素の構成によって、種々の実施態様が可能になる。融解要素の材料は、作動環境流体と適合しない（即ち腐食され、浸食されまたは他の形で反応するであろう）材料から製作される。図１に示す腕およびダイアフラムは、作動環境流体に適合する材料から製作される。通常、融解要素のみが作動環境流体に適合しない。

融解要素が剛性である場合の実施態様
この実施態様においては、融解体要素が実質的に剛性の要素［５０］から構成される。この実施態様においては、リンクが２つの腕［４０］の先端を剛的に連結している（図２−ａおよび図２−ｂ）。図２−ａにおいては、リンクは消耗可能であり、腕に溶接される。図２−ｂにおいては、リンクは消耗可能でない。図２−ｂのリンクは、消耗（融解）可能な材料であるエポキシによって腕に取り付けられる。この両方の場合の剛性リンクは腕の振動を阻止する。融解体の材料（金属または非金属）および寸法は検知用途によって決定される。図２−ａにおいては、融解体（消耗材料）はリンクそのものである。図２−ｂにおいては、融解体は実際にはエポキシ［７０］である。腐食／浸食用途の場合には、通常、融解体の材料は対象とする当該材料と同じ材料になるであろう。ある場合には、それを圧力境界の材料とすることができる。他の場合には、それを内部構成部品の材料とすることができるであろう。材料の寸法は、問題となる材料損失の量（例えば警報点）に基づいて選択することになる。腐食／浸食が融解体を破損させると、振動体の振幅は、ゼロまたは非常に低い値から大幅な上昇を遂げるであろう。共鳴パラメータ（例えば振幅またはＱ）を監視することによって、所定の状態に到達したという警報が発せられることになる。

図３−ａは、図２−ａの融解要素が、直径０．０６４インチ（１．６３ｍｍ）の炭素鋼のワイヤから構成される場合の例を示す。この炭素鋼の融解体要素をステンレス鋼の腕に溶接した。腕と、融解体リンクの溶接された端部とを、大気温度における１５％塩酸溶液内で腐食されないようにワックスで被覆処理した。ワックスは塩酸を通さないので、融解要素の中心のみが酸腐食されるであろう。図３−ａのデータ収集に用いた音叉は、圧電セラミック要素によってその共鳴周波数で駆動した。音叉の出力は、同じ圧電セラミック要素を用いて送受信モードで監視した。図に示すように、約８０，０００秒の酸曝露が経過するまでは有意の振幅は全くない。融解要素を同時に目視観察したが、振幅における変化が融解体の物理的な破損に合致したことが確認された。

事例的な若干の用途は石油精製プロセス工業に見られる。流動接触分解ユニットは、反応促進するために固体の触媒粒子を用いる。異常状態の間には、この固体が不適切なプロセスストリームに意図しない形でキャリオーバされることがある。この意図せざるキャリオーバはプロセス閉じ込め部（例えば配管壁面）の浸食を加速する可能性がある。圧力閉じ込め部分の材料から製作された腐食融解体要素の有効性によって、この望ましくない状態の早期の警告が可能になるであろう。製油所工業における別の例は、アルキル化ユニットにおける硫酸の意図せざる液体キャリオーバである。

製油所工業における更に別の例は、過剰量の塩化物に対する検知器としての融解要素の適用である。製油所の原油蒸留ユニットには、塩化物が原油の一部として流入する。ほとんどの塩化物種または他の腐食性物質は、原油ユニットに先立って脱塩装置によって除去されるべきであるが、この除去プロセスは通常不完全であり、時には不十分である。原油蒸留プロセスを通り抜ける塩化物は、運転温度が低下して凝縮が生じると酸腐食を引き起こすことがある。低レベルの塩化物は閉じ込め部の冶金に対して許容可能である場合もあるが、塩化物濃度の僅かな増加、或いは、通常使用される化学中和の正味の低下または損失によって、問題になる腐食が惹起される可能性がある。この場合は、融解要素を、閉じ込め部の材料よりも耐腐食性が高い材料から製作することが望ましい場合もある。しかし、この融解要素は、所要の濃度レベルにおいて腐食に抵抗するほど強固ではない。１つの例として、プロセス閉じ込め部の材料が炭素鋼であるとすれば、融解要素をステンレス鋼とすることができる。この場合、融解要素は、正規の運転の下では、低レベルの腐食は呈するものの基本的に腐食しないであろう。しかし、この融解要素は、塩化物濃度の増大には敏感であろう。

図３−ｂは、図２−ｂの音叉による例を示す。図３−ｂの例は、エポキシ［７０］によって腕に取り付けられた炭素鋼製の剛性の連結要素［５０］を用いている。この例においては、エポキシが消耗可能な融解要素である。腐食性流体、即ち溶剤はエポキシを腐食し得るが、炭素鋼のワイヤおよびステンレス鋼の腕はいずれも腐食しない。図３−ｂに示すように、共鳴器の振幅は約３０００秒の曝露後に上昇する。目視検査の結果、炭素鋼の腕が、一方の腕からエポキシ接合部において分離したことが確認された。この分離によって腕が開放され、振幅の増加によって示されるように共鳴運動が可能になった。

別の好ましい実施態様においては、剛的に連結される融解体が、融解体の要素に引張または圧縮のいずれかを生じさせるような方式で取り付けられる。この引張または圧縮は、製作時に、腕を互いの方に押圧するか、或いは、腕を相互に引き離すように引っ張ることによって実現できる。この実施態様においては、機械的強度の変化をもたらす融解体の作動環境との反応によって、融解体の破損が誘起される。要素が、機械的特性の変化によって機能喪失すると、音叉の共鳴が活性化され、監視されている機器の同様の劣化に対する警報が提供される。このような劣化の例には、応力腐食割れ、高温水素腐食および脱炭素が含まれる。

剛性のロッドを腕に取り付ける融解要素は、特定の溶剤、水または炭化水素材料用として特有のものにすることができる。また、融解要素は、所定の濃度を超えると破損するように製作することもできる。１つの例として、トルエンのような芳香族溶剤の存在を検知するために、ポリスチレンの融解要素を水のストリームに用いることができる。

融解要素が収縮または膨張し得る材料を用いる場合の実施態様
別の非常に好ましい実施態様においては、腕の運動を可能（または不可能）にするために膨張（または収縮）することができる融解要素［８０］が用いられる。この融解要素は支持構造［９０］によって位置決めされる。図４に示すこの実施態様は、プロセスストリームにおける低濃度の汚染流体の検知が望まれる用途用として特に好ましい。剛性の支持具［９０］はダイアフラムを支持する部分に装着される。例えば、工業プロセスは、多管式熱交換器における冷却流体として水を使用する場合が多い。冷却水およびプロセス流体間の境界における破損孔を素早く検知することが、多くの場合非常に望ましい。この例においては、プロセス流体の冷却水への進入によって、プロセス流体が汚染物質となる状況が惹起される。炭化水素に曝露されると拡大する融解要素を選定することによって、融解要素が腕に接触すると、振動が停止することになるであろう。

１つの構成においては、融解要素は、汚染物質に曝露されていない場合は腕の運動と干渉しない。汚染物質が導入されると、融解要素が拡大（膨張）し、腕と接触するに至って腕の運動を妨げる。別の構成においては、汚染物質に曝露されていない時には、融解要素は腕と直接接触しており、その運動を阻止している。汚染物質が導入されると、融解要素が収縮して腕から引き離され、それによって腕の運動が可能になる。選択される構成は、汚染物質および当該作動流体によって収縮または膨張する利用可能な材料に応じて決められることになる。例えば、シリコーン基のポリマーは、航空燃料等級のケロシンに対しては大きな膨張を呈するが、より重質の燃料油に対してはほとんど膨張しないであろう。

制動融解体要素およびベローを用いる実施態様
更に別の好ましい実施態様においては、融解要素がベローに取り付けられる。ベローはプロセス流体の圧力に応じて圧縮または拡大することができる。図５に示すように、ベロー［１１０］には制動材料［１００］が取り付けられる。圧力に応じてベローの圧縮量が変化するであろう。ベローの圧縮量の変化と共に制動材料が動く。制動材料が腕と接触する程度に圧縮されると、腕の運動は不可能になるであろう。圧力およびベロー圧縮における変化が適切であれば、制動材料が腕から離れるように動き、その運動が可能になるであろう。制動材料の基本的な場合（例えば大気圧の場合）の位置は、制動材料が腕と接触する位置か、または腕から分離する位置のいずれかとすることができる。制動材料の大気圧の位置決めは、特定の用途に応じて決められることになり、装置が圧力条件超過の場合または下回る場合のいずれの警報用として用いられかを決定するであろう。

ベロー方式の変形態様として、曲り量が温度に依存するバイメタル固定方式を採用する場合がある。バイメタル材料を適切に選定することによって、所定の温度限界（高または低）を超えた時に腕の運動と干渉するように、この帯片を構成することが可能である。

腕の先端に溶着された融解体要素を用いる実施態様
更に別の非常に好ましい実施態様においては、図６に示す融解要素［１２０］が腕の先端に装着される。この融解要素は腐食性または汚染性の流体に適合しない。腕は作動環境流体に適合する材料から製作される。融解材料の質量および厚さは、溶着後に、知られているかおよび／または測定される。同様に、共鳴パラメータ（周波数、振幅およびＱ）も融解体材料の装着の前後に測定される。装置は、融解材料の相当量の除去に対応する所定量だけ共鳴パラメータが変化する場合に警報モードに移行する。その感度または警報限界値は融解体の溶着量によって調整できる。即ち、溶着量を減少させると、除去される材料が少ないので限界感度は高くなる。この実施態様の１つの例はフッ化水素（ＨＦ）検知器の製作である。融解体溶着材料としてガラスを使用することによって、ＨＦの存在のために所定量のガラスが溶解されると、センサーが警報を発するであろう。薄膜ガラスエッチング型のＨＦセンサーは曝露後には再使用不可能であるが、本発明は、このセンサーとは違って、すべてのガラスが消尽されない限り再装備可能である。ＨＦセンサーは、また、図３−ａ／ｂに示すような剛性のガラス融解体によっても製作できるであろう。剛性の連結体を有するこの実施態様においては、センサー再利用の前に融解体の取替えが必要であろう。

プロセス流体によって誘起される材料損失の所定量から、センサーが警報を発することが望ましい場合には、融解体の溶着材料を、この用途を反映するように選択するべきである。別の用途においては、通常はプロセスストリームに見出されない汚染物質が存在する場合に、センサーが警報を発することが望ましいことがある。この場合には、融解体の溶着材料はプロセス流体の汚染物質に適合するものでなければならない。

早すぎる警報を防止するために、図６の音叉装置と共に電子装置を構成することができる。電子装置は、振幅、周波数および／またはＱの共鳴パラメータにおける所定の変化に対して警報モードを発動するように設定することができる。

Claims (12)

1. 流体媒体中における特定の状態の存在を検知するセンサーであって、
   （ａ）ダイアフラムに取り付けられ、かつ共鳴周波数を有する腕を有する音叉、および
   （ｂ）前記音叉の腕に固定される融解体であって、前記特定の状態の存在によって活性化される材料で構成されており、かつ前記特定の状態が存在すると、前記腕の振幅が、前記共鳴周波数における振幅に変化するか、或いは前記共鳴周波数における振幅から変化する融解体、
   を含むセンサー。
2. 前記融解体が、前記腕を連結する部材であることを特徴とする請求項１に記載のセンサー。
3. 前記融解体が、前記腕の運動を阻止するように、前記ダイアフラムに固定される支持具によって前記音叉に固定されることを特徴とする請求項１に記載のセンサー。
4. 前記融解体が、前記腕の運動を可能にするように、前記ダイアフラムに固定される支持具によって前記音叉に固定されることを特徴とする請求項１に記載のセンサー。
5. 前記支持具が、拡大可能な部材を含むことを特徴とする請求項４に記載のセンサー。
6. 前記支持具が、収縮可能な部材を含むことを特徴とする請求項３に記載のセンサー。
7. 前記融解要素が、前記腕の末端に溶着された材料であることを特徴とする請求項１に記載のセンサー。
8. 前記融解体の材料が、前記流体媒体中における腐食性材料の存在によって活性化されることを特徴とする請求項１に記載のセンサー。
9. 前記融解体の材料が、前記流体媒体中における異物材料の存在によって活性化されることを特徴とする請求項１に記載のセンサー。
10. 前記融解体の材料が、前記流体媒体中における浸食性材料の存在によって活性化されることを特徴とする請求項１に記載のセンサー。
11. 前記腕が、圧縮状態にあることを特徴とする請求項２に記載のセンサー。
12. 前記腕が、引張状態にあることを特徴とする請求項２に記載のセンサー。

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