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JP5474658B2 - Insulation inspection equipment - Google Patents
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  • Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)

Description

本発明は、回路基板に形成された配線パターン間の絶縁状態を検査する絶縁検査装置であって、特に、絶縁検査中に配線パターン間にスパーク(放電)が発生したか否かを検出し得る絶縁検査装置に関するものである。   The present invention is an insulation inspection apparatus for inspecting an insulation state between wiring patterns formed on a circuit board, and in particular, can detect whether or not a spark (discharge) has occurred between wiring patterns during an insulation inspection. The present invention relates to an insulation inspection apparatus.

この種の絶縁検査装置として、本願出願人は、下記特許文献1に開示された絶縁検査装置を既に提案している。この絶縁検査装置は、定電圧源を有して検査対象体の所定部位に検査用プローブを介して検査用電圧を供給する電圧供給部と、所定部位に所定電圧値の検査用電圧が供給されている状態において検査対象体の絶縁状態を検査する検査部と、検査用電圧の電圧値に基づいて検査対象体におけるスパークの発生を検出する検出部と、電圧供給部を制御して所定部位に検査用電圧を供給させた状態において検査部を制御して検査対象体の絶縁状態を検査させる検査処理を実行すると共に検出部によってスパークの発生が検出されたときに予め規定された所定処理を実行する制御部とを備え、電圧供給部は、定電圧源と出力部との間に接続された抵抗体を介して検査用電圧を供給するように構成されている。   As this type of insulation inspection apparatus, the present applicant has already proposed the insulation inspection apparatus disclosed in Patent Document 1 below. The insulation inspection apparatus includes a voltage supply unit that has a constant voltage source and supplies an inspection voltage to a predetermined part of an inspection object via an inspection probe, and an inspection voltage having a predetermined voltage value is supplied to the predetermined part. An inspection unit that inspects the insulation state of the inspection object in a state in which the inspection object is in contact, a detection unit that detects the occurrence of sparks in the inspection object based on the voltage value of the inspection voltage, and a voltage supply unit that controls the predetermined part. In the state where the inspection voltage is supplied, the inspection unit is controlled to perform the inspection process for inspecting the insulation state of the object to be inspected, and the predetermined process is performed when the detection unit detects the occurrence of sparks. And a voltage supply unit configured to supply a test voltage via a resistor connected between the constant voltage source and the output unit.

具体的には、この絶縁検査装置では、一対の検査用プローブと移動機構とを備えたプローブ機構が、検査対象体としての一対の導体パターンに検査用プローブを移動させて接触させ、電圧供給部が、各検査用プローブを介して一対の導体パターン間に検査用電圧を供給する。この状態において、検査用電圧の供給によって一対の導体パターン間に流れる電流を測定してその電流値を示す測定データを出力する電流測定部、およびこの電流が流れることによって一対の導体パターン間に発生する電圧を測定してその電圧値を示す測定データを出力する電圧測定部を備えて構成され、上記の制御部と相俟って上記検査部および検出部として機能する測定部が、一対の導体パターン間に流れる電流および一対の導体パターン間の電圧を検出して各測定データを出力し、制御部が、各測定データのうちの電圧値を示す測定データに基づいてスパークの発生を検出しつつ、両測定データに基づいて一対の導体パターン間の抵抗値を算出して絶縁検査を実行する。   Specifically, in this insulation inspection apparatus, a probe mechanism including a pair of inspection probes and a moving mechanism moves the inspection probes to contact with a pair of conductor patterns as inspection objects, and supplies a voltage supply unit. However, an inspection voltage is supplied between the pair of conductor patterns via each inspection probe. In this state, a current measuring unit that measures the current flowing between the pair of conductor patterns by supplying a voltage for inspection and outputs measurement data indicating the current value, and is generated between the pair of conductor patterns when the current flows. The voltage measuring unit that measures the voltage to be output and outputs the measurement data indicating the voltage value is configured, and the measuring unit that functions as the inspection unit and the detection unit in combination with the control unit is a pair of conductors. The current flowing between the patterns and the voltage between the pair of conductor patterns are detected and each measurement data is output, and the control unit detects the occurrence of the spark based on the measurement data indicating the voltage value of each measurement data. Then, the resistance value between the pair of conductor patterns is calculated based on both measurement data, and the insulation test is executed.

特開2010−66050号公報(第5−6頁、第1図)JP 2010-66050 A (page 5-6, FIG. 1)

ところが、上記の絶縁検査装置には、以下の課題が存在している。すなわち、従来の絶縁検査装置では、プローブ機構と測定部とが別体に構成されて、別の場所に配設されているため、プローブ機構に含まれている検査用プローブと、測定部とを複数の配線(ケーブル)で接続する必要が生じる。このため、従来の絶縁検査装置には、スパークの発生に伴い検査用プローブに生じた電圧についての波形が、配線間において浮遊容量が存在することに起因して、この電圧が配線を介して測定部に到達するまでの間でなまり、この電圧のレベルが低下する結果、この電圧のレベルの変化を測定部において測定できない虞があるという課題が存在している。   However, the following problems exist in the insulation inspection apparatus. That is, in the conventional insulation inspection apparatus, since the probe mechanism and the measurement unit are configured separately and disposed at different locations, the inspection probe included in the probe mechanism and the measurement unit are provided. It is necessary to connect with a plurality of wires (cables). For this reason, in the conventional insulation inspection device, the voltage waveform generated in the inspection probe due to the occurrence of sparks is measured through the wiring due to the presence of stray capacitance between the wirings. There is a problem that there is a possibility that a change in the voltage level cannot be measured in the measuring unit as a result of the voltage level being lowered until the voltage reaches the unit.

本発明は、かかる課題に鑑みてなされたものであり、一対の配線パターン間に発生するスパークを確実に検出し得る絶縁検査装置を提供することを主目的とする。   This invention is made | formed in view of this subject, and it aims at providing the insulation test | inspection apparatus which can detect reliably the spark which generate | occur | produces between a pair of wiring patterns.

上記目的を達成すべく請求項1記載の絶縁検査装置は、絶縁検査の対象となる一対の配線パターンのうちの一方の配線パターンに接触させられる第1プローブと、前記一対の配線パターンのうちの他方の配線パターンに接触させられる第2プローブと、前記第1プローブおよび前記第2プローブを介して前記一対の配線パターン間に印加する直流検査電圧を生成する検査電圧生成部と、前記直流検査電圧が印加されているときに前記一対の配線パターン間に発生するパターン間電圧を前記第1プローブおよび前記第2プローブを介して測定する電圧測定部と、前記直流検査電圧が印加されているときに前記一対の配線パターン間に流れる電流を測定する電流測定部と、前記直流検査電圧が印加されているときに前記一対の配線パターン間にスパークが発生したか否かを検出するスパーク検出部と、前記スパーク検出部によって前記スパークの発生が検出された前記一対の配線パターンについては不良と判別し、前記スパーク検出部によって前記スパークの発生が検出されなかった前記一対の配線パターンについては前記電圧測定部によって測定された前記パターン間電圧および前記電流測定部によって測定された前記電流に基づいて当該一対の配線パターンの絶縁状態を検査する絶縁検査処理を実行する処理部とを備えた絶縁検査装置であって、前記スパーク検出部は、前記スパークの発生を検出したときにはトリガ信号を出力可能に構成され、かつ前記第1プローブおよび前記第2プローブのうちの一方のプローブが固定されると共にプローブ駆動部によって駆動される移動アームに配設され、前記一方のプローブは、前記直流検査電圧の印加時に低圧側となるように規定され、前記移動アームに配設されると共に、前記トリガ信号を入力したときに予め規定されたパルス幅のパルス電流を出力するパルス生成部と、前記移動アームに配設されると共に前記一方のプローブと前記電流測定部との間に介装され、前記一対の配線パターン間に流れる電流を当該電流測定部に出力すると共に前記パルス生成部によって前記パルス電流が出力されたときには当該一対の配線パターン間に流れる前記電流に当該パルス電流を注入して当該電流測定部に出力する信号注入部とを備えている。 In order to achieve the above object, an insulation inspection apparatus according to claim 1, wherein a first probe brought into contact with one wiring pattern of a pair of wiring patterns to be subjected to insulation inspection, A second probe brought into contact with the other wiring pattern; a test voltage generating unit that generates a DC test voltage to be applied between the pair of wiring patterns via the first probe and the second probe; and the DC test voltage A voltage measuring unit for measuring an inter-pattern voltage generated between the pair of wiring patterns when the voltage is applied via the first probe and the second probe, and when the DC test voltage is applied A current measuring unit for measuring a current flowing between the pair of wiring patterns; and a pair of wiring patterns when the DC inspection voltage is applied. A spark detector that detects whether or not a spark has occurred, and the pair of wiring patterns in which the occurrence of the spark has been detected by the spark detector is determined to be defective, and the occurrence of the spark by the spark detector Insulation for inspecting the insulation state of the pair of wiring patterns based on the inter-pattern voltage measured by the voltage measurement unit and the current measured by the current measurement unit for the pair of wiring patterns in which no detection is detected An insulation inspection apparatus including a processing unit that executes an inspection process, wherein the spark detection unit is configured to output a trigger signal when the occurrence of the spark is detected, and the first probe and the second probe A moving arm in which one of the probes is fixed and driven by the probe driving unit. Disposed, said one of the probes is defined such that the low pressure side upon application of the DC test voltage, while being disposed in the moving arm, which is predefined when you enter the trigger signal pulse A pulse generator that outputs a pulse current having a width; and a current that is disposed between the one probe and the current measuring unit and disposed between the probe and the current measuring unit, and flows between the pair of wiring patterns. A signal injection unit that injects the pulse current into the current flowing between the pair of wiring patterns and outputs the current to the current measurement unit when the pulse current is output by the pulse generation unit. ing.

請求項1記載の絶縁検査装置によれば、第1プローブおよび第2プローブのうちの一方のプローブが固定されると共にプローブ駆動部によって駆動される移動アームにスパーク検出部が配設されているため、直流電圧の印加に起因して一対の配線パターン間で発生するスパークをこの直流電圧を印加する一方のプローブの極めて近くで検出することができる結果、より確実にスパークを検出することができる。   According to the insulation inspection apparatus of the first aspect, since one of the first probe and the second probe is fixed, the spark detection unit is disposed on the moving arm driven by the probe driving unit. The spark generated between the pair of wiring patterns due to the application of the DC voltage can be detected very close to one probe to which the DC voltage is applied, so that the spark can be detected more reliably.

また、この絶縁検査装置によれば、直流電圧の印加時に低圧側となるように規定された一方のプローブが固定された移動アームにスパーク検出部、パルス生成部およびパルス注入部が配設されると共に、スパーク検出部がスパークの発生を検出したときにはトリガ信号を出力可能に構成され、パルス生成部がトリガ信号を入力したときに予め規定されたパルス幅のパルス電流を出力し、信号注入部が一対の配線パターン間に流れる電流を電流測定部に出力すると共にパルス生成部によってパルス電流が出力されたときには一対の配線パターン間に流れる電流にパルス電流を注入して電流測定部に出力することにより、スパークの発生を処理部に伝えるための信号としてのパルス電流を一対の配線パターン間に流れる電流と共通の1本の配線に流すことができるため、スパークの発生を処理部に伝えるための信号を伝達させるための配線を別途設ける構成と比較して、配線の数を低減することができる。 In addition, according to this insulation inspection apparatus, the spark detection unit, the pulse generation unit, and the pulse injection unit are disposed on the moving arm to which one of the probes defined so as to be on the low voltage side when a DC voltage is applied is fixed. At the same time, the spark detection unit is configured to output a trigger signal when the occurrence of a spark is detected, the pulse generation unit outputs a pulse current having a predetermined pulse width when the trigger signal is input, and the signal injection unit By outputting the current flowing between the pair of wiring patterns to the current measuring unit and when the pulse generating unit outputs the pulse current, the pulse current is injected into the current flowing between the pair of wiring patterns and output to the current measuring unit. , A pulse current as a signal for transmitting the occurrence of a spark to the processing unit on one wiring common to the current flowing between the pair of wiring patterns Since it is Succoth, in comparison with separately provided constituting the wiring for transmitting the signal to convey the occurrence of the spark in the processing unit, to reduce the number of wires.

絶縁検査装置1の構成を示す構成図である。1 is a configuration diagram showing a configuration of an insulation inspection device 1. 絶縁検査装置1Aの構成を示す構成図である。It is a block diagram which shows the structure of 1 A of insulation test apparatuses.

以下、絶縁検査装置の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。   Hereinafter, embodiments of an insulation inspection apparatus will be described with reference to the accompanying drawings.

最初に、絶縁検査装置1の構成について、図面を参照して説明する。なお、一例として、回路基板2に形成された配線パターン3,3間の絶縁状態を検査する例を挙げて説明する。   First, the configuration of the insulation inspection apparatus 1 will be described with reference to the drawings. As an example, an example in which an insulation state between the wiring patterns 3 and 3 formed on the circuit board 2 is inspected will be described.

図1に示す絶縁検査装置1は、一例として回路基板2に形成された複数の配線パターン3についての絶縁状態(隣接する他の配線パターンとの間の絶縁状態)を検査する絶縁検査装置であって、第1プローブ11、第2プローブ12、第3プローブ13、第4プローブ14、プローブ駆動部15,16、スパーク検出部17、パルス生成部18、信号注入部19、検査電圧生成部23、電圧測定部24、電流測定部25、接続切替部26、プローブ駆動制御部27および処理部28を備えている。   An insulation inspection apparatus 1 shown in FIG. 1 is an insulation inspection apparatus that inspects an insulation state (insulation state between adjacent wiring patterns) of a plurality of wiring patterns 3 formed on a circuit board 2 as an example. The first probe 11, the second probe 12, the third probe 13, the fourth probe 14, the probe driving units 15 and 16, the spark detection unit 17, the pulse generation unit 18, the signal injection unit 19, the inspection voltage generation unit 23, A voltage measuring unit 24, a current measuring unit 25, a connection switching unit 26, a probe drive control unit 27, and a processing unit 28 are provided.

第1プローブ11および第3プローブ13は、相互に電気的に絶縁された状態で、図1に示すように、プローブ駆動部15に連結された移動アーム15aに固定されている。第2プローブ12および第4プローブ14は、相互に電気的に絶縁された状態で、プローブ駆動部16に連結された移動アーム16aに固定されている。   As shown in FIG. 1, the first probe 11 and the third probe 13 are fixed to a moving arm 15 a connected to the probe driving unit 15 while being electrically insulated from each other. The second probe 12 and the fourth probe 14 are fixed to a moving arm 16 a connected to the probe driving unit 16 in a state where they are electrically insulated from each other.

プローブ駆動部15,16は、プローブ駆動制御部27によって制御されることにより、回路基板2における検査対象となる配線パターン3が形成された面側において、それぞれに固定された移動アーム15a,16aを三次元的に移動可能に構成されている。この構成により、プローブ駆動部15は、移動アーム15aに取り付けられた第1プローブ11および第3プローブ13の各先端を、複数の配線パターン3から選択された検査対象となる一対の配線パターン3,3のうちの一方の配線パターン3に同時に接触させることが可能に構成されている。また、プローブ駆動部16は、移動アーム16aに取り付けられた第2プローブ12および第4プローブ14の各先端を、上記の一対の配線パターン3,3のうちの他方の配線パターン3に同時に接触させることが可能に構成されている。   The probe drive units 15 and 16 are controlled by the probe drive control unit 27 so that the movable arms 15a and 16a fixed on the surface side of the circuit board 2 on which the wiring pattern 3 to be inspected is formed are respectively fixed. It is configured to be movable in three dimensions. With this configuration, the probe drive unit 15 causes the tips of the first probe 11 and the third probe 13 attached to the moving arm 15a to be connected to the pair of wiring patterns 3 to be inspected selected from the plurality of wiring patterns 3. 3 is configured to be able to contact one of the wiring patterns 3 simultaneously. Further, the probe driving unit 16 causes the tips of the second probe 12 and the fourth probe 14 attached to the moving arm 16 a to simultaneously contact the other wiring pattern 3 of the pair of wiring patterns 3 and 3. It is configured to be possible.

第1プローブ11は、配線W1を介して接続切替部26におけるプローブ側端子群Tpのうちの1つの端子Tp1に接続されている。また、第3プローブ13は、配線W3を介して接続切替部26におけるプローブ側端子群Tpのうちの他の1つの端子Tp3に接続されている。   The first probe 11 is connected to one terminal Tp1 in the probe-side terminal group Tp in the connection switching unit 26 via the wiring W1. The third probe 13 is connected to another one terminal Tp3 in the probe-side terminal group Tp in the connection switching unit 26 via the wiring W3.

一方、直流検査電圧Vexが印加される第1プローブ11側(高圧側)に対して低圧側となる第2プローブ12(低圧側となるように規定された一方のプローブ)が取り付けられた移動アーム16aには、図1に示すように、スパーク検出部17、パルス生成部18および信号注入部19が取り付けられている(配設されている)。この場合、同図中の一点鎖線で囲まれた領域内の部材は、移動アーム16aと一体となって移動するものとする。第2プローブ12は、信号注入部19の第1入力端子aに接続されている。第4プローブ14は、配線W4を介して接続切替部26におけるプローブ側端子群Tpのうちの1つの端子Tp4に接続されている。   On the other hand, the movable arm to which the second probe 12 (one probe defined to be on the low voltage side) is attached to the first probe 11 side (high voltage side) to which the DC inspection voltage Vex is applied. As shown in FIG. 1, a spark detection unit 17, a pulse generation unit 18, and a signal injection unit 19 are attached to 16a (installed). In this case, the members in the region surrounded by the one-dot chain line in the figure are assumed to move together with the moving arm 16a. The second probe 12 is connected to the first input terminal a of the signal injection unit 19. The fourth probe 14 is connected to one terminal Tp4 in the probe-side terminal group Tp in the connection switching unit 26 via the wiring W4.

スパーク検出部17は、一例として、第2プローブ12に発生している電圧を示す電圧信号を予め規定されたサンプリング周期でサンプリングして電圧データに変換して出力する不図示のA/D変換器と、この電圧データの変位量(一例として、最新の電圧データとその一つ前の電圧データとの間の変位量)を算出すると共に、この変位量が予め規定された基準量以上に変位したときにトリガ信号Stを出力する不図示の演算回路とを備えて構成されている。   As an example, the spark detection unit 17 samples a voltage signal indicating the voltage generated in the second probe 12 at a predetermined sampling period, converts the voltage signal into voltage data, and outputs the voltage data. And the amount of displacement of this voltage data (as an example, the amount of displacement between the latest voltage data and the previous voltage data) is calculated, and the amount of displacement is more than a predetermined reference amount. An arithmetic circuit (not shown) that sometimes outputs a trigger signal St is provided.

この絶縁検査装置1では、後述するように、第1プローブ11が接続切替部26を介して検査電圧生成部23に接続されると共に、第2プローブ12が信号注入部19および接続切替部26を介して電流測定部25に接続された状態において、検査電圧生成部23から出力された直流検査電圧Vexが一対の配線パターン3,3間に印加される。このため、一対の配線パターン3,3間に局部的に絶縁抵抗の小さい部位(例えば、断面積のきわめて小さいひげ状の導体パターン)が存在している場合において、直流検査電圧Vexの印加によってこの部位にスパークが発生したときには、スパーク時に発生する一時的な電流の増加に起因して、第1プローブ11に印加されている直流検査電圧Vexに電圧の急激な低下が発生すると共に、第2プローブ12の電圧にも急激な低下が発生する。スパーク検出部17は、上記構成により、この第2プローブ12の電圧に発生する急激な電圧低下を検出してトリガ信号Stを出力する。   In the insulation inspection apparatus 1, as will be described later, the first probe 11 is connected to the inspection voltage generation unit 23 via the connection switching unit 26, and the second probe 12 connects the signal injection unit 19 and the connection switching unit 26. The DC test voltage Vex output from the test voltage generator 23 is applied between the pair of wiring patterns 3 and 3 while being connected to the current measuring unit 25 via the DC voltage. For this reason, when a portion having a small insulation resistance (for example, a whisker-like conductor pattern having a very small cross-sectional area) exists locally between the pair of wiring patterns 3 and 3, this is achieved by applying the DC inspection voltage Vex. When a spark is generated at a site, the DC probe voltage Vex applied to the first probe 11 is suddenly reduced due to a temporary increase in current generated at the time of sparking, and the second probe A sharp drop occurs in the voltage of 12. With the above configuration, the spark detection unit 17 detects a sudden voltage drop generated in the voltage of the second probe 12 and outputs a trigger signal St.

パルス生成部18は、一例として、不図示のワンショットマルチバイブレータと電流生成回路とを備えて構成されて、ワンショットマルチバイブレータが、スパーク検出部17からトリガ信号Stを入力したときに予め規定されたパルス幅のパルス信号を生成して電流生成回路に出力し、電流生成回路がこのパルス信号を入力している期間に電流を生成することにより、予め規定されたパルス幅のパルス電流Ipを出力する。このパルス幅は、電流測定部25において、パルス電流Ipを確実に検出し得るバルス幅に規定されている。信号注入部19は、第1入力端子aから入力した電流を出力端子cから出力する機能と共に、第2入力端子bからパルス電流Ipが入力されたときには第1入力端子aから入力した電流Imにこのパルス電流Ipを注入して(重畳させて)、出力端子cから電流(Im+Ip)として出力する機能についても備えている。この構成により、信号注入部19は、第1入力端子aから入力している電流Imを出力端子cから出力しつつ、第2入力端子bからパルス電流Ipを入力したときには、パルス電流Ipの入力期間だけ、電流(Im+Ip)を出力端子cから出力する。信号注入部19の出力端子cは、配線W2を介して接続切替部26におけるプローブ側端子群Tpのうちの他の1つの端子Tp2に接続されている。   As an example, the pulse generation unit 18 includes a one-shot multivibrator (not shown) and a current generation circuit, and is defined in advance when the one-shot multivibrator inputs the trigger signal St from the spark detection unit 17. A pulse signal having a predetermined pulse width is generated by generating a pulse signal having a predetermined pulse width and outputting the pulse signal to a current generation circuit. The current generation circuit generates a current during a period in which the pulse signal is input. To do. The pulse width is defined as a pulse width that can reliably detect the pulse current Ip in the current measuring unit 25. The signal injection unit 19 has a function of outputting the current input from the first input terminal a from the output terminal c, and also to the current Im input from the first input terminal a when the pulse current Ip is input from the second input terminal b. A function of injecting (superimposing) the pulse current Ip and outputting the current (Im + Ip) from the output terminal c is also provided. With this configuration, when the signal injection unit 19 outputs the current Im input from the first input terminal a from the output terminal c and inputs the pulse current Ip from the second input terminal b, the signal injection unit 19 inputs the pulse current Ip. The current (Im + Ip) is output from the output terminal c only for the period. The output terminal c of the signal injection unit 19 is connected to another one terminal Tp2 in the probe-side terminal group Tp in the connection switching unit 26 via the wiring W2.

検査電圧生成部23は、処理部28によって制御されることにより、予め規定された電圧値の直流検査電圧Vexを生成して出力端子と基準電位Gとの間に出力する。また、本例では、検査電圧生成部23の出力端子は、接続切替部26における処理部側端子群Tsのうちの1つの端子Ts1に接続されている。電圧測定部24は、一対の入力端子が接続切替部26における処理部側端子群Tsのうちの一対の端子Ts2,Ts3に接続されて、一対の端子Ts2,Ts3間に発生する電圧Vmの電圧値を測定すると共に、その電圧値を示す電圧データDvを処理部28に出力する。本例では、電圧測定部24は、一対の入力端子が後述するように接続切替部26および配線W3,W4を介して第3プローブ13および第4プローブ14に接続される。これにより、一対の端子Ts2,Ts3間には、一対の配線パターン3,3間に発生するパターン間電圧が電圧Vmとして発生するため、電圧測定部24は、電圧Vmを測定することにより、パターン間電圧を測定する。   The inspection voltage generation unit 23 is controlled by the processing unit 28 to generate a DC inspection voltage Vex having a predetermined voltage value and output the DC inspection voltage Vex between the output terminal and the reference potential G. In this example, the output terminal of the test voltage generation unit 23 is connected to one terminal Ts1 in the processing unit side terminal group Ts in the connection switching unit 26. The voltage measuring unit 24 has a pair of input terminals connected to the pair of terminals Ts2 and Ts3 in the processing unit side terminal group Ts in the connection switching unit 26, and a voltage Vm generated between the pair of terminals Ts2 and Ts3. The value is measured and voltage data Dv indicating the voltage value is output to the processing unit 28. In this example, the voltage measuring unit 24 is connected to the third probe 13 and the fourth probe 14 via the connection switching unit 26 and the wirings W3 and W4, as will be described later. As a result, an inter-pattern voltage generated between the pair of wiring patterns 3 and 3 is generated as the voltage Vm between the pair of terminals Ts2 and Ts3. Therefore, the voltage measuring unit 24 measures the voltage Vm, thereby Measure the voltage between.

電流測定部25は、一対の入力端子のうちの一方が接続切替部26における処理部側端子群Tsのうちの他の1つの端子Ts4に接続されると共に、一対の入力端子のうちの他方が基準電位Gに接続されて、端子Ts4と基準電位Gとの間に配設(介装)されている。また、電流測定部25は、この端子Ts4から基準電位Gに流れる電流Inの電流値を測定すると共に、測定した電流値を示す電流データDiを処理部28に出力する。また、電流測定部25は、測定した電流Inの電流値に対して、一例としてスパーク検出部17と同様にして、予め規定されたサンプリング周期でサンプリングしてデータに変換し、このデータの変位量(一例として、最新のデータとその一つ前のデータとの間の変位量)を算出すると共に、この変位量が予め規定された基準量以上に変位したときに、電流In中にパルス電流Ipが含まれていると判別して、検出信号Sspを処理部28に出力する。   In the current measuring unit 25, one of the pair of input terminals is connected to the other one terminal Ts4 in the processing unit side terminal group Ts in the connection switching unit 26, and the other of the pair of input terminals is Connected to the reference potential G and disposed (intervened) between the terminal Ts4 and the reference potential G. The current measuring unit 25 measures the current value of the current In flowing from the terminal Ts4 to the reference potential G and outputs current data Di indicating the measured current value to the processing unit 28. In addition, the current measuring unit 25 samples and converts the measured current value of the current In into data by sampling at a predetermined sampling period in the same manner as the spark detecting unit 17 as an example. (As an example, the displacement amount between the latest data and the previous data is calculated), and when the displacement amount is displaced beyond a predetermined reference amount, the pulse current Ip is included in the current In. And the detection signal Ssp is output to the processing unit 28.

接続切替部26は、一例として、一端側が処理部側端子群Tsの各端子Ts1,Ts2,Ts3,Ts4に接続された複数(本例では4本)の縦配線(不図示)と、一端側がプローブ側端子群Tpの各端子Tp1,Tp2,Tp3,Tp4に接続されて、縦配線と交差するように配設された複数(本例では4本)の横配線(不図示)と、縦配線と横配線の各交差位置に配設されると共に各交差位置において交差する一対の縦配線および横配線を短絡または開放する複数のスイッチ(不図示)とで構成されている。また、各スイッチの短絡・開放状態は処理部28によって制御される。この構成により、接続切替部26は、処理部28によって制御されることにより、処理部側端子群Tsの各端子に、プローブ側端子群Tpの各端子のうちの任意の端子を接続可能となっている。   As an example, the connection switching unit 26 has a plurality of (four in this example) vertical wires (not shown) connected at one end side to the respective terminals Ts1, Ts2, Ts3, and Ts4 of the processing unit side terminal group Ts, and one end side thereof. A plurality of (four in this example) horizontal wires (not shown) connected to the terminals Tp1, Tp2, Tp3, Tp4 of the probe side terminal group Tp and arranged to intersect the vertical wires, and the vertical wires And a plurality of switches (not shown) for short-circuiting or opening the horizontal wirings and a pair of vertical wirings and horizontal wirings that are arranged at each crossing position of the horizontal wirings and intersect at each crossing position. The short circuit / open state of each switch is controlled by the processing unit 28. With this configuration, the connection switching unit 26 can be connected to any terminal of the probe-side terminal group Tp with each terminal of the processing-unit side terminal group Ts by being controlled by the processing unit 28. ing.

プローブ駆動制御部27は、一例としてプログラマブルロジックコントローラで構成されて、処理部28から入力した第1プローブ11および第3プローブ13の組の目標位置データ、並びに第2プローブ12および第4プローブ14の組の目標位置データを含む位置データDpoに基づいて、各プローブ駆動部15,16に対する移動制御を実行して各移動アーム15a,16aを移動させることにより、第1プローブ11および第3プローブ13の組をその目標位置に移動させると共に、第2プローブ12および第4プローブ14をその目標位置に移動させる。処理部28は、一例としてCPUおよびメモリ(いずれも図示せず)で構成されて、検査電圧生成部23、接続切替部26およびプローブ駆動制御部27に対する制御処理を実行すると共に絶縁検査処理を実行する。メモリには、絶縁検査処理において使用される基準抵抗値(絶縁抵抗の良否を判別するための抵抗値)と、回路基板2に形成された各配線パターン3上に予め規定された検査ポイントの位置データDpoが予め記憶されている。   The probe drive control unit 27 is configured by a programmable logic controller as an example, and target position data of a set of the first probe 11 and the third probe 13 input from the processing unit 28, and the second probe 12 and the fourth probe 14. Based on the position data Dpo including a set of target position data, the movement control for the probe driving units 15 and 16 is executed to move the movement arms 15a and 16a, thereby allowing the first probe 11 and the third probe 13 to move. The set is moved to the target position, and the second probe 12 and the fourth probe 14 are moved to the target position. The processing unit 28 includes a CPU and a memory (both not shown) as an example, and executes control processing for the test voltage generation unit 23, the connection switching unit 26, and the probe drive control unit 27 and performs insulation test processing. To do. The memory includes a reference resistance value (resistance value for determining whether the insulation resistance is good or bad) used in the insulation inspection process, and positions of inspection points defined in advance on each wiring pattern 3 formed on the circuit board 2. Data Dpo is stored in advance.

次に、絶縁検査装置1の動作について、図面を参照して説明する。なお、絶縁検査を行う回路基板2については、図外の基板保持部に保持されて、予め規定された検査位置に配置されているものとする。   Next, the operation of the insulation inspection apparatus 1 will be described with reference to the drawings. It is assumed that the circuit board 2 to be subjected to the insulation test is held by a board holding unit (not shown) and arranged at a predetermined test position.

この状態において、絶縁検査装置1では、処理部28が、絶縁検査処理を実行する。この絶縁検査処理では、処理部28は、一対の配線パターン3,3間の絶縁状態の検査を実行すると共に、この検査の際に一対の配線パターン3,3間にスパークが発生したか否かの検出を実行する。   In this state, in the insulation inspection apparatus 1, the processing unit 28 performs an insulation inspection process. In this insulation inspection process, the processing unit 28 performs an inspection of the insulation state between the pair of wiring patterns 3 and 3 and whether or not a spark has occurred between the pair of wiring patterns 3 and 3 during this inspection. Perform detection.

具体的には、処理部28は、まず、接続切替部26に対する制御を実行することにより、処理部側端子群Tsの端子Ts1をプローブ側端子群Tpの端子Tp1に、処理部側端子群Tsの端子Ts4をプローブ側端子群Tpの端子Tp2に、処理部側端子群Tsの端子Ts2,Ts3をプローブ側端子群Tpの端子Tp3,Tp4にそれぞれ接続する。これにより、検査電圧生成部23が、接続切替部26および配線W1を介して第1プローブ11に接続され、かつ電流測定部25が、接続切替部26、配線W2および信号注入部19を介して第2プローブ12に接続される。このため、第1プローブ11に直流検査電圧Vexを印加することにより、第1プローブ11および第2プローブ12間に直流電圧を印加し得る状態となる。   Specifically, the processing unit 28 first executes control on the connection switching unit 26 to change the terminal Ts1 of the processing unit side terminal group Ts to the terminal Tp1 of the probe side terminal group Tp and the processing unit side terminal group Ts. Are connected to the terminal Tp2 of the probe side terminal group Tp, and the terminals Ts2 and Ts3 of the processing unit side terminal group Ts are connected to the terminals Tp3 and Tp4 of the probe side terminal group Tp, respectively. Thereby, the test voltage generation unit 23 is connected to the first probe 11 via the connection switching unit 26 and the wiring W1, and the current measurement unit 25 is connected via the connection switching unit 26, the wiring W2 and the signal injection unit 19. Connected to the second probe 12. For this reason, by applying the DC inspection voltage Vex to the first probe 11, the DC voltage can be applied between the first probe 11 and the second probe 12.

また、電圧測定部24の一方の入力端子が接続切替部26および配線W3を介して第3プローブ13に接続されると共に、電圧測定部24の他方の入力端子が接続切替部26および配線W4を介して第4プローブ14に接続される。このため、電圧測定部24が、一対の配線パターン3,3間に発生するパターン間電圧を電圧Vmとして測定することが可能な状態となる。   One input terminal of the voltage measuring unit 24 is connected to the third probe 13 via the connection switching unit 26 and the wiring W3, and the other input terminal of the voltage measuring unit 24 is connected to the connection switching unit 26 and the wiring W4. To the fourth probe 14. Therefore, the voltage measuring unit 24 can measure the inter-pattern voltage generated between the pair of wiring patterns 3 and 3 as the voltage Vm.

続いて、処理部28は、検査電圧生成部23に対する制御を実行することにより、検査電圧生成部23から直流検査電圧Vexを予め規定された時間だけ出力させ、その後停止させる。これにより、この直流検査電圧Vexは、接続切替部26の端子Ts1,端子Tp1および配線W1を介して第1プローブ11に一時的に印加される。これにより、一対の配線パターン3,3間に直流電圧が印加されるため、直流検査電圧Vexの印加期間中に、検査電圧生成部23、接続切替部26の端子Ts1およびTp1間、配線W1、第1プローブ11、一方の配線パターン3、他方の配線パターン3、第2プローブ12、信号注入部19、配線W2、接続切替部26の端子Tp2およびTs4間、並びに電流測定部25を経由して基準電位Gに至る経路に電流Imが流れると共に、この電流Imが一対の配線パターン3,3間を流れることに起因してこの配線パターン3,3間にパターン間電圧が発生する。   Subsequently, the processing unit 28 controls the inspection voltage generation unit 23 to output the DC inspection voltage Vex from the inspection voltage generation unit 23 for a predetermined time, and then stops it. As a result, the DC inspection voltage Vex is temporarily applied to the first probe 11 via the terminal Ts1, the terminal Tp1 of the connection switching unit 26 and the wiring W1. As a result, since a DC voltage is applied between the pair of wiring patterns 3 and 3, the inspection voltage generator 23, the terminals Ts1 and Tp1 of the connection switching unit 26, the wiring W1, Via the first probe 11, one wiring pattern 3, the other wiring pattern 3, the second probe 12, the signal injection unit 19, the wiring W 2, the terminals Tp 2 and Ts 4 of the connection switching unit 26, and the current measurement unit 25. A current Im flows through a path that reaches the reference potential G, and an inter-pattern voltage is generated between the wiring patterns 3 and 3 due to the current Im flowing between the pair of wiring patterns 3 and 3.

電圧測定部24は、直流検査電圧Vexの印加期間中に、このパターン間電圧を電圧Vmとして入力すると共に、この電圧Vmの電圧値を測定し、その電圧値を示す電圧データDvを処理部28に出力する。また、電流測定部25も、直流検査電圧Vexの印加期間中に、上記経路に流れる電流Imを電流Inとして入力すると共に、この電流In(電流Im)の電流値を測定し、その電流値を示す電流データDiを処理部28に出力する。処理部28は、この電圧データDvおよび電流データDiを入力すると共に、電圧データDvに基づいて算出される一対の配線パターン3,3間の電圧値(電圧Vmの電圧値)と、電流データDiに基づいて算出される一対の配線パターン3,3間に流れる電流値(電流Imの電流値)とに基づいて、一対の配線パターン3,3間の絶縁抵抗値を算出する。また、処理部28は、この算出した絶縁抵抗値とメモリに記憶されている基準抵抗値とを比較して、算出した絶縁抵抗値が基準抵抗値以上のときには、一対の配線パターン3,3間の絶縁状態は良好であると判別し、算出した絶縁抵抗値が基準抵抗値未満のときには、一対の配線パターン3,3間の絶縁状態は不良であると判別して、この判別結果を検査対象とした一対の配線パターン3,3に対応させてメモリに記憶させる。   The voltage measuring unit 24 inputs the inter-pattern voltage as the voltage Vm during the application period of the DC inspection voltage Vex, measures the voltage value of the voltage Vm, and outputs voltage data Dv indicating the voltage value to the processing unit 28. Output to. The current measuring unit 25 also inputs the current Im flowing through the path as the current In during the application period of the DC inspection voltage Vex, measures the current value of the current In (current Im), and calculates the current value. The indicated current data Di is output to the processing unit 28. The processing unit 28 receives the voltage data Dv and the current data Di, and also calculates a voltage value (voltage value of the voltage Vm) between the pair of wiring patterns 3 and 3 calculated based on the voltage data Dv, and the current data Di. The insulation resistance value between the pair of wiring patterns 3 and 3 is calculated based on the current value flowing between the pair of wiring patterns 3 and 3 calculated based on (current value of the current Im). In addition, the processing unit 28 compares the calculated insulation resistance value with the reference resistance value stored in the memory, and when the calculated insulation resistance value is equal to or greater than the reference resistance value, the processing unit 28 is connected between the pair of wiring patterns 3 and 3. When the calculated insulation resistance value is less than the reference resistance value, it is determined that the insulation state between the pair of wiring patterns 3 and 3 is defective, and this determination result is used as an inspection target. The pair of wiring patterns 3 and 3 is stored in the memory in correspondence with the above.

一方、この一対の配線パターン3,3間に局部的に絶縁抵抗の小さい部位(例えば、ひげ状の導体パターン)が存在している場合、一対の配線パターン3,3間への直流電圧の印加により、この部位にスパークが発生することがある。このスパークの発生により、上記電流Im自体の電流値が一時的(短時間だけ)に大きくなってパルス状に変化するが、各配線W1〜W4の長い構成の絶縁検査装置1では、各配線W1〜W4間に存在する浮遊容量に起因して、上記電流Imについての電流値の変化(電流波形)が次第になまってレベルが低下し、電流測定部25において、この変化を変出し得ない状況が発生する。   On the other hand, when a portion having a small insulation resistance (for example, a whisker-like conductor pattern) exists locally between the pair of wiring patterns 3 and 3, a DC voltage is applied between the pair of wiring patterns 3 and 3. As a result, sparks may occur at this site. Due to the occurrence of this spark, the current value of the current Im itself temporarily increases (only for a short time) and changes in a pulse shape. In the insulation inspection apparatus 1 having a long configuration of the wires W1 to W4, the wires W1 Due to the stray capacitance existing between ˜W4, the current value change (current waveform) of the current Im gradually becomes gradual and the level decreases, and the current measurement unit 25 cannot change this change. Occur.

この点に関して、この絶縁検査装置1では、直流検査電圧Vexが印加される第1プローブ11側(高圧側)に対して低圧側となる第2プローブ12側に配設されたスパーク検出部17、パルス生成部18および信号注入部19が、スパークの発生時において作動して、一対の配線パターン3,3間に流れている電流Imに予め規定されたパルス幅のパルス電流Ipを注入して(重畳させて)、電流(Im+Ip)として配線W2に出力する。この場合、パルス電流Ipのパルス幅は、電流Im自体に発生するパルス状の変化の時間に関わらず、電流測定部25においてパルス電流Ipを確実に検出し得る一定のバルス幅に規定されている。したがって、この絶縁検査装置1では、電流測定部25が、電流In中にパルス電流Ipが含まれているか否かを検出すると共に、電流(Im+Ip)を電流Inとして入力したときには、電流Imに重畳されているパルス電流Ipを検出して、検出信号Sspを処理部28に出力する。また、処理部28は、この検出信号Sspを入力したときには、一対の配線パターン3,3間にスパークが発生したと判別して、例えば、スパークの発生を表すフラグを検査対象としている一対の配線パターン3,3に対応させてメモリに記憶させる。これにより、1つの一対の配線パターン3,3についての絶縁検査処理が完了する。   In this regard, in this insulation inspection apparatus 1, the spark detection unit 17 disposed on the second probe 12 side, which is the low voltage side with respect to the first probe 11 side (the high voltage side) to which the DC test voltage Vex is applied, The pulse generation unit 18 and the signal injection unit 19 operate when a spark is generated, and inject a pulse current Ip having a predetermined pulse width into a current Im flowing between the pair of wiring patterns 3 and 3 ( Overlapping) and outputting the current (Im + Ip) to the wiring W2. In this case, the pulse width of the pulse current Ip is defined as a constant pulse width that can reliably detect the pulse current Ip in the current measuring unit 25 regardless of the pulse-like change time generated in the current Im itself. . Therefore, in the insulation inspection apparatus 1, when the current measuring unit 25 detects whether or not the pulse current Ip is included in the current In and inputs the current (Im + Ip) as the current In, it is superimposed on the current Im. The detected pulse current Ip is detected and a detection signal Ssp is output to the processing unit 28. Further, when the detection signal Ssp is input, the processing unit 28 determines that a spark has occurred between the pair of wiring patterns 3 and 3 and, for example, a pair of wirings whose inspection target is a flag indicating the occurrence of the spark Corresponding to patterns 3 and 3 is stored in the memory. Thus, the insulation inspection process for one pair of wiring patterns 3 and 3 is completed.

処理部28は、絶縁検査を新たに実行する一対の配線パターン3,3についての検査ポイントの各位置データDpoをメモリから順次読み出しながら、上記の各処理を実行することを、検査すべき一対の配線パターン3,3についての絶縁検査がすべて完了するまで繰り返し実行する。これにより、メモリには、各配線パターン3,3に対応させて、絶縁検査での判別結果と、スパークの発生の有無を示すフラグとが記憶される。   The processing unit 28 reads out each position data Dpo of the inspection point for the pair of wiring patterns 3 and 3 for newly executing the insulation inspection while sequentially reading out the above processing from the memory. This is repeated until all the insulation inspections for the wiring patterns 3 and 3 are completed. As a result, the memory stores the determination result in the insulation test and the flag indicating the presence or absence of the spark in association with each of the wiring patterns 3 and 3.

このように、この絶縁検査装置1によれば、プローブ駆動部16によって駆動され、かつ第2プローブ12が取り付けられた移動アーム16aにスパーク検出部17が配設されているため、直流電圧の印加に起因して一対の配線パターン3,3間で発生するスパークをこの直流電圧を印加する第2プローブ12の極めて近くで検出することができる結果、より確実にスパークを検出することができる。   As described above, according to the insulation inspection apparatus 1, the spark detection unit 17 is disposed on the moving arm 16a that is driven by the probe driving unit 16 and to which the second probe 12 is attached. As a result, the spark generated between the pair of wiring patterns 3 and 3 can be detected very close to the second probe 12 to which the DC voltage is applied. As a result, the spark can be detected more reliably.

また、この絶縁検査装置1によれば、第1プローブ11および第2プローブ12のうちの直流電圧の印加時に低圧側となるように規定された第2プローブ12が固定され、プローブ駆動部16によって駆動される移動アーム16aにスパーク検出部17、パルス発生部18および信号注入部19を配設すると共に、スパーク検出部17がスパークの発生を検出したときにはトリガ信号Stを出力し、かつパルス発生部18がトリガ信号Stを入力したときに予め規定されたパルス幅のパルス電流Ipを出力し、第2プローブ12と電流測定部25との間に介装された信号注入部19が、一対の配線パターン3,3間に流れる電流Imを電流測定部25に出力すると共にパルス生成部18によってパルス電流Ipが出力されたときには電流Imにパルス電流Ipを注入して電流測定部25に出力することにより、スパークの発生を処理部28に伝えるための信号としてのパルス電流Ipを電流Imと共通の1本の配線W2に流すことができるため、スパークの発生を処理部28に伝えるための信号を伝達させるための配線を別途設ける構成と比較して、配線の数を低減することができる。   Further, according to the insulation inspection apparatus 1, the second probe 12, which is defined to be on the low voltage side when the DC voltage is applied, is fixed out of the first probe 11 and the second probe 12, and is fixed by the probe driving unit 16. A spark detection unit 17, a pulse generation unit 18, and a signal injection unit 19 are disposed on the driven moving arm 16a, and when the spark detection unit 17 detects the occurrence of a spark, a trigger signal St is output, and the pulse generation unit When a trigger signal St is input to 18, a pulse current Ip having a predetermined pulse width is output, and a signal injection unit 19 interposed between the second probe 12 and the current measurement unit 25 is connected to a pair of wirings. When the current Im flowing between the patterns 3 and 3 is output to the current measurement unit 25 and the pulse current Ip is output by the pulse generation unit 18, the current Im By injecting the pulse current Ip and outputting it to the current measuring unit 25, the pulse current Ip as a signal for transmitting the occurrence of spark to the processing unit 28 can be caused to flow through one wiring W2 that is common to the current Im. Therefore, the number of wirings can be reduced as compared with a configuration in which wiring for transmitting a signal for transmitting the occurrence of spark to the processing unit 28 is separately provided.

なお、上記の絶縁検査装置1では、上記したように、各プローブ11〜14側から処理部28側への配線の本数を抑制するため、第1プローブ11および第2プローブ12のうちの直流電圧の印加時に低圧側となる第2プローブ12を駆動するプローブ駆動部16側にスパーク検出部17を配設すると共に、スパークの発生を示すパルス電流Ipを電流Imに注入(つまり、電流Imと共通の配線W2に注入)する構成を採用しているが、配線の本数が増加してもよい状況であるならば、図2に示す絶縁検査装置1Aのように、スパークの発生を示すトリガ信号Stを他の配線Wsを介して処理部28に直接送出する構成を採用することもできる。この構成では、処理部28は、トリガ信号Stを入力したときに、一対の配線パターン3,3間にスパークが発生したと判別する。なお、上記した絶縁検査装置1と同じ機能を有する構成要素については、同一の符号を付して重複した説明を省略する。   In the insulation inspection apparatus 1, as described above, the DC voltage of the first probe 11 and the second probe 12 is used to suppress the number of wires from the probes 11 to 14 to the processing unit 28 side. A spark detection unit 17 is provided on the probe drive unit 16 side that drives the second probe 12 that is on the low voltage side during application of a pulse, and a pulse current Ip indicating the occurrence of spark is injected into the current Im (that is, common to the current Im) However, if the number of wirings may be increased, a trigger signal St indicating the occurrence of a spark as in the insulation inspection apparatus 1A shown in FIG. Can be directly sent to the processing unit 28 via another wiring Ws. In this configuration, the processing unit 28 determines that a spark has occurred between the pair of wiring patterns 3 and 3 when the trigger signal St is input. In addition, about the component which has the same function as the above-mentioned insulation test | inspection apparatus 1, the same code | symbol is attached | subjected and the overlapping description is abbreviate | omitted.

この絶縁検査装置1Aによれば、各プローブ11〜14側から処理部28側への配線の数は増加するものの、パルス生成部18および信号注入部19の配設を省略することができると共に、パルス電流Ipの検出機能を省略した電流測定部25Aを使用することができ、装置構成を簡略化することができる。なお、この絶縁検査装置1Aのように、スパーク検出部17から出力されるトリガ信号Stを処理部28に出力する構成を採用する場合には、図示はしないが、低圧側の移動アーム16aへの配置に代えて、または低圧側の移動アーム16aへの配置と共に、高圧側の移動アーム15aにスパーク検出部17を配設して、プローブ駆動部15側からトリガ信号Stを処理部28に出力する構成を採用することもできる。   According to this insulation inspection apparatus 1A, although the number of wires from the probes 11 to 14 to the processing unit 28 increases, the arrangement of the pulse generation unit 18 and the signal injection unit 19 can be omitted. The current measuring unit 25A in which the function of detecting the pulse current Ip is omitted can be used, and the device configuration can be simplified. In addition, when adopting a configuration in which the trigger signal St output from the spark detection unit 17 is output to the processing unit 28 as in the insulation inspection apparatus 1A, although not illustrated, the low-voltage side moving arm 16a is connected to the processing unit 28. Instead of the arrangement, or together with the arrangement on the low-pressure side moving arm 16a, the spark detection unit 17 is arranged on the high-pressure side moving arm 15a, and the trigger signal St is output from the probe driving unit 15 side to the processing unit 28. A configuration can also be adopted.

また、2つのプローブ駆動部15,16を備えた構成について上記したが、2つに限定されず、接続切替部26における処理部側端子群Tsの端子Tsの数、およびプローブ側端子群Tpの端子Tpの数を増加させることにより、3つ以上の任意の数とすることができる。また、一例として、検査対象となる配線パターン3が回路基板2の一方の面側にのみ形成されている例を挙げて説明したため、上記の絶縁検査装置1,1Aでは、この一方の面側においてのみ移動アーム15a,16aを三次元的に移動可能とする構成を採用したが、図示はしないが、他方の面側にも検査対象となる配線パターン3が形成されている回路基板2に対応させて、一方の面側および他方の面側において移動アーム15a,16aを三次元的に移動可能とする構成を採用することもできるし、また一方の面側においてのみ移動可能な移動アーム15a,16aに加えて、他方の面側において三次元的に移動可能な他の移動アーム(移動アーム15a,16aと同等の回路が搭載された移動アーム)を備えた構成を採用することもできる。   Further, the configuration including the two probe driving units 15 and 16 has been described above. However, the configuration is not limited to two. The number of terminals Ts of the processing unit side terminal group Ts in the connection switching unit 26 and the probe side terminal group Tp By increasing the number of terminals Tp, the number can be any number of three or more. Further, as an example, the wiring pattern 3 to be inspected has been described with reference to an example in which the wiring pattern 3 is formed only on one surface side of the circuit board 2. Therefore, in the above-described insulation inspection apparatuses 1 and 1A, Although only the movable arms 15a and 16a can be moved three-dimensionally, they are not shown, but they correspond to the circuit board 2 on which the wiring pattern 3 to be inspected is formed also on the other surface side. Thus, it is possible to adopt a configuration in which the moving arms 15a and 16a can be moved three-dimensionally on one surface side and the other surface side, or the moving arms 15a and 16a that can move only on one surface side. In addition, it is also possible to adopt a configuration including another moving arm (moving arm on which a circuit equivalent to the moving arms 15a and 16a is mounted) that can move three-dimensionally on the other surface side. That.

また、上記の絶縁検査装置1,1Aでは、電圧測定部24による一対の配線パターン3,3間に発生するパターン間電圧の検出に際して4端子法を採用しているが、2端子法を採用する構成とすることもできる。この2端子法を採用する構成では、図示はしないが、図1,2において、第3プローブ13、第4プローブ14、配線W3および配線W4を省略し、かつ電圧測定部24の一対の入力端子が接続されている接続切替部26の各端子Ts2,Ts3を各端子Tp1,Tp2に接続することで実現できる。   Further, in the above-described insulation inspection apparatuses 1 and 1A, the four-terminal method is adopted when the voltage measuring unit 24 detects the inter-pattern voltage generated between the pair of wiring patterns 3 and 3, but the two-terminal method is adopted. It can also be configured. In the configuration employing this two-terminal method, although not shown, the third probe 13, the fourth probe 14, the wiring W3 and the wiring W4 are omitted in FIGS. Can be realized by connecting the terminals Ts2 and Ts3 of the connection switching unit 26 to which the terminals are connected to the terminals Tp1 and Tp2.

1 絶縁検査装置
3 配線パターン
11 第1プローブ
12 第2プローブ
13 第3プローブ
14 第4プローブ
17 スパーク検出部
23 検査電圧生成部
24 電圧測定部
25 電流測定部
26 接続切替部
28 処理部
Vex 直流検査電圧
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Insulation inspection apparatus 3 Wiring pattern 11 1st probe 12 2nd probe 13 3rd probe 14 4th probe 17 Spark detection part 23 Inspection voltage generation part 24 Voltage measurement part 25 Current measurement part 26 Connection switching part 28 Processing part Vex DC test Voltage

Claims (1)

絶縁検査の対象となる一対の配線パターンのうちの一方の配線パターンに接触させられる第1プローブと、
前記一対の配線パターンのうちの他方の配線パターンに接触させられる第2プローブと、
前記第1プローブおよび前記第2プローブを介して前記一対の配線パターン間に印加する直流検査電圧を生成する検査電圧生成部と、
前記直流検査電圧が印加されているときに前記一対の配線パターン間に発生するパターン間電圧を前記第1プローブおよび前記第2プローブを介して測定する電圧測定部と、
前記直流検査電圧が印加されているときに前記一対の配線パターン間に流れる電流を測定する電流測定部と、
前記直流検査電圧が印加されているときに前記一対の配線パターン間にスパークが発生したか否かを検出するスパーク検出部と、
前記スパーク検出部によって前記スパークの発生が検出された前記一対の配線パターンについては不良と判別し、前記スパーク検出部によって前記スパークの発生が検出されなかった前記一対の配線パターンについては前記電圧測定部によって測定された前記パターン間電圧および前記電流測定部によって測定された前記電流に基づいて当該一対の配線パターンの絶縁状態を検査する絶縁検査処理を実行する処理部とを備えた絶縁検査装置であって、
前記スパーク検出部は、前記スパークの発生を検出したときにはトリガ信号を出力可能に構成され、かつ前記第1プローブおよび前記第2プローブのうちの一方のプローブが固定されると共にプローブ駆動部によって駆動される移動アームに配設され
前記一方のプローブは、前記直流検査電圧の印加時に低圧側となるように規定され、
前記移動アームに配設されると共に、前記トリガ信号を入力したときに予め規定されたパルス幅のパルス電流を出力するパルス生成部と、
前記移動アームに配設されると共に前記一方のプローブと前記電流測定部との間に介装され、前記一対の配線パターン間に流れる電流を当該電流測定部に出力すると共に前記パルス生成部によって前記パルス電流が出力されたときには当該一対の配線パターン間に流れる前記電流に当該パルス電流を注入して当該電流測定部に出力する信号注入部とを備えている絶縁検査装置。
A first probe brought into contact with one of the pair of wiring patterns to be subjected to insulation inspection;
A second probe brought into contact with the other wiring pattern of the pair of wiring patterns;
An inspection voltage generator that generates a DC inspection voltage to be applied between the pair of wiring patterns via the first probe and the second probe;
A voltage measuring unit that measures an inter-pattern voltage generated between the pair of wiring patterns when the DC inspection voltage is applied via the first probe and the second probe;
A current measuring unit for measuring a current flowing between the pair of wiring patterns when the DC inspection voltage is applied;
A spark detector that detects whether a spark has occurred between the pair of wiring patterns when the DC inspection voltage is applied;
The pair of wiring patterns in which the occurrence of the spark is detected by the spark detection unit is determined to be defective, and the voltage measurement unit is used for the pair of wiring patterns in which the occurrence of the spark is not detected by the spark detection unit. And a processing unit that performs an insulation inspection process for inspecting an insulation state of the pair of wiring patterns based on the inter-pattern voltage measured by the current measurement unit and the current measured by the current measurement unit. And
The spark detector is configured to output a trigger signal when the occurrence of the spark is detected, and one of the first probe and the second probe is fixed and driven by a probe driver. Arranged on the moving arm ,
The one probe is defined to be a low voltage side when the DC inspection voltage is applied,
A pulse generating unit that is disposed on the moving arm and outputs a pulse current having a predetermined pulse width when the trigger signal is input;
It is disposed on the moving arm and is interposed between the one probe and the current measuring unit, and outputs a current flowing between the pair of wiring patterns to the current measuring unit and the pulse generating unit An insulation inspection apparatus comprising: a signal injection unit that injects the pulse current into the current flowing between the pair of wiring patterns and outputs the current to the current measurement unit when a pulse current is output .
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH03250641A (en) * 1990-02-28 1991-11-08 Hitachi Ltd Probe card for lsi evaluation device
JPH1082825A (en) * 1996-09-10 1998-03-31 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Semiconductor inspection apparatus and method
JP2001242211A (en) * 2000-02-29 2001-09-07 Hioki Ee Corp Circuit board inspection equipment
JP3546046B2 (en) * 2001-09-26 2004-07-21 日本電産リード株式会社 Circuit board insulation inspection apparatus and insulation inspection method
KR100487929B1 (en) * 2002-11-15 2005-05-27 서창전기통신 주식회사 Device for Detecting Arc Fault
JP2006058166A (en) * 2004-08-20 2006-03-02 Toshiba Corp Partial discharge detection device and detection method for rotating electrical machine

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