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JP5773839B2 - Micro component placement unit - Google Patents
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JP5773839B2 - Micro component placement unit - Google Patents

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Description

本発明は、電子部品をプリント配線板の表面に実装する電子部品実装装置に組み込んで特に有利に用いることができる微小部品配置ユニットに関する。   The present invention relates to a micro component placement unit that can be used particularly advantageously by being incorporated in an electronic component mounting apparatus for mounting electronic components on the surface of a printed wiring board.

従来より、電子部品をプリント配線板の表面に実装するため電子部品実装装置が用いられている。電子部品実装装置には通常、下端に電子部品(微小部品)の吸着ノズルを備える軸体と、この軸体の昇降駆動装置とを備える微小部品配置ユニットが組み込まれている。   Conventionally, an electronic component mounting apparatus has been used to mount an electronic component on the surface of a printed wiring board. In general, an electronic component mounting apparatus incorporates a micro component placement unit including a shaft body provided with a suction nozzle for electronic components (micro components) at the lower end and an elevating drive device for the shaft body.

電子部品実装装置の作動に際しては、先ず上記微小部品配置ユニットを、電子部品が収容されたトレイの上方に移動させる。微小部品配置ユニットは、軸体を下降させ、その下端に備えられた吸着ノズルにより電子部品を吸着したのち軸体を上昇させる。次いで電子部品実装装置は、微小部品配置ユニットを、プリント配線板の上方に移動させる。そして微小部品配置ユニットは、軸体を下降させ、その吸着ノズルに吸着している電子部品をプリント配線板の表面に配置(実装)したのち軸体を上昇させる。このような操作を繰り返すことにより、プリント配線板の表面に多数の電子部品が実装される。   In the operation of the electronic component mounting apparatus, first, the micro component placement unit is moved above the tray in which the electronic components are accommodated. The micro component placement unit lowers the shaft body, lifts the shaft body after sucking the electronic component by the suction nozzle provided at the lower end thereof. Next, the electronic component mounting apparatus moves the micro component placement unit above the printed wiring board. The micro component placement unit lowers the shaft body, and after placing (mounting) the electronic component sucked by the suction nozzle on the surface of the printed wiring board, the shaft body is raised. By repeating such an operation, a large number of electronic components are mounted on the surface of the printed wiring board.

プリント配線板の表面に多数の電子部品を効率良く(短時間で)実装するため、微小部品配置ユニットは、通常、各々下端に吸着ノズルを持つ軸体を複数本備える構成とされ、この微小部品配置ユニットの高速での移動が繰り返して行なわれる。   In order to mount a large number of electronic components on the surface of a printed wiring board efficiently (in a short time), the micro component placement unit is usually configured to include a plurality of shaft bodies each having a suction nozzle at the lower end. The placement unit is repeatedly moved at high speed.

特許文献1には、各々下端に吸着ノズルを持つ複数本(例、10本)の軸体(駆動シャフト)を備える微小部品配置ユニット(ヘッドユニット)が開示されている。複数本の軸体のそれぞれを独立に昇降可能とするため、各軸体毎に昇降駆動装置(リニアモータ)が備えられている。   Patent Document 1 discloses a micro component placement unit (head unit) including a plurality (for example, 10) of shaft bodies (drive shafts) each having a suction nozzle at the lower end. In order to allow each of the plurality of shaft bodies to be lifted and lowered independently, a lift driving device (linear motor) is provided for each shaft body.

特許文献2には、各々下端に吸着ノズルを持つ複数本(例、8本)の軸体(スピンドル)を備える微小部品配置ユニット(部品移載装置)が開示されている。複数本の軸体は、円盤状のロータリヘッドの周縁部に装着されている。ロータリヘッドには回転駆動装置(サーボモータ43)が接続されている。この回転駆動装置を作動させることにより、ロータリヘッドが回転(自転)する。これにより、複数本の軸体もまた回転(ロータリヘッドの回転軸を中心として公転)する。微小部品配置ユニットには、昇降駆動装置(サーボモータ45、送りねじ46及び下降レバー47)が備えられている。この昇降駆動装置を作動させることにより、上記ロータリヘッドの回転によって昇降駆動装置の下降レバーの下に配置された軸体が下降する。   Patent Document 2 discloses a micro component placement unit (component transfer device) including a plurality of (for example, eight) shaft bodies (spindles) each having a suction nozzle at the lower end. The plurality of shafts are attached to the peripheral edge of the disk-shaped rotary head. A rotary drive device (servo motor 43) is connected to the rotary head. By operating this rotational drive device, the rotary head rotates (spins). As a result, the plurality of shaft bodies also rotate (revolve around the rotation axis of the rotary head). The micro component placement unit is provided with an elevating drive device (servo motor 45, feed screw 46, and lowering lever 47). By operating this lifting drive, the shaft disposed under the lowering lever of the lifting drive is lowered by the rotation of the rotary head.

特開2009−170525号公報(第2図及び図3)JP 2009-170525 A (FIGS. 2 and 3) 特開2009−135553号公報(第7図)JP 2009-135553 A (FIG. 7)

微小部品配置ユニットは、高速での移動が繰り返されるため、簡単な構成を有していて、かつ軽量であることが望ましい。微小部品配置ユニットの質量が大きいと、微小部品配置ユニットの高速での移動を開始あるいは停止する際に生じる慣性により、その移動の精度(位置決めの精度)が低下することがあり、また移動のために必要とされる消費電力も大きくなる。   Since the micro component placement unit is repeatedly moved at high speed, it is desirable that the micro component placement unit has a simple configuration and is lightweight. If the mass of the micro component placement unit is large, the accuracy of the movement (positioning accuracy) may be reduced due to the inertia that occurs when the micro component placement unit starts or stops moving at high speed. The power consumption required for this is also increased.

特許文献1の微小部品配置ユニットは、各軸体毎に昇降駆動装置(合計で10台のリニアモータ)を備える複雑な構成を有しているため、これを軽量化することは容易ではない。   Since the micro component placement unit of Patent Document 1 has a complicated configuration including a lifting drive device (10 linear motors in total) for each shaft body, it is not easy to reduce the weight.

特許文献2の微小部品配置ユニットは、ロータリヘッドにより複数本の軸体を回転(公転)させる複雑な構成を有しているため、これを軽量化することは容易ではない。また、各軸体が回転(公転)により水平方向に移動するため、ロータリヘッドを回転させて高精度にて位置決めしないと、軸体の吸着ノズルに吸着させた電子部品の位置が変動する。ロータリヘッドを高精度の回転駆動装置を用いて回転させることもできるが、このような回転駆動装置は複雑な構成を有していて、微小部品配置ユニットの質量を増加させる傾向にある。   Since the micro component placement unit of Patent Document 2 has a complicated configuration in which a plurality of shafts are rotated (revolved) by a rotary head, it is not easy to reduce the weight. Further, since each shaft body moves in the horizontal direction by rotation (revolution), the position of the electronic component sucked by the suction nozzle of the shaft body fluctuates unless the rotary head is rotated and positioned with high accuracy. Although the rotary head can be rotated using a high-precision rotary drive device, such a rotary drive device has a complicated configuration and tends to increase the mass of the micro component placement unit.

本発明の課題は、構成が簡単で軽量化も容易な微小部品配置ユニットを提供することにある。   An object of the present invention is to provide a micro component placement unit that is simple in configuration and easy in weight reduction.

本発明は、減圧機構に接続する微小部品吸着ノズルを下端に備えた軸体および軸体の周囲に備えられた軸体の昇降を案内する軸受からなる微小部品の昇降手段が複数個、それぞれの軸体の頂部および吸着ノズルの下端部を、それぞれが同一の高さにあるような位置関係にて軸体の幅方向に整列配置してなる微小部品の昇降機構、昇降機構を支持固定している枠体、各昇降手段の軸体と軸受あるいは枠体とに係合して軸体をその頂部の高さが全て所定の高さになるように支持する弾性体、各軸体の頂部の上方に間隔を介して配置された押圧装置、任意の軸体の頂部と押圧装置の底面との間の間隔に挿入することが可能にされている押圧補助部材、そして押圧補助部材に接続し、この押圧補助部材を駆動して水平方向の移動かつ位置決めを行なう押圧補助部材駆動機構を含む微小部品配置ユニットであって、上記昇降手段の軸受は軸体を回転可能に保持しており、前記軸体は内部を中空とした管体から形成され、そして上記減圧機構は、前記中空軸体の頂部に装着された、減圧源に接続される管路を有する減圧部材を含むことを特徴とする微小部品配置ユニットにある。   The present invention comprises a plurality of micropart raising / lowering means each comprising a shaft body provided with a micropart suction nozzle connected to a decompression mechanism at a lower end and a bearing for guiding the shaft body provided around the shaft body. Supporting and fixing the lifting mechanism and lifting mechanism for micro parts, in which the top part of the shaft body and the lower end part of the suction nozzle are aligned in the width direction of the shaft body in such a positional relationship that they are at the same height. A frame body, an elastic body that engages the shaft body of each lifting means and the bearing or the frame body, and supports the shaft body so that the height of all the tops thereof is a predetermined height, and the top of each shaft body Connected to a pressing device disposed above a space between the top of the arbitrary shaft body and the space between the bottom surface of the pressure device, and a pressure assisting member that can be inserted into the space between the bottom surface of the pressure device, This pressing assist member is driven to move and position in the horizontal direction. A micro component placement unit including a pressure assisting member driving mechanism, wherein the bearing of the elevating means holds a shaft body rotatably, the shaft body is formed from a tubular body having a hollow inside, and the decompression unit The mechanism is in the micro component placement unit including a decompression member attached to the top of the hollow shaft body and having a pipe line connected to a decompression source.

本発明の微小部品配置ユニットの好ましい態様は、次の通りである。
(1)押圧補助部材が、円盤状部材と円盤状部材を回転可能に保持する移動部材とからなり、そして押圧補助部材駆動機構が環状ベルトと環状ベルトの循環移動を実現する駆動装置とからなる。
(2)上記減圧部材が、中空軸体の頂部に装着される柱状回転部材と柱状回転部材を回転可能に軸支する回転軸受とから構成され、上記の管路が、柱状回転部材の底面から内部上方に垂直に延びる垂直管路部及び垂直管路部の側面に設けられた開口部から垂直管路部に交差する方向に延びる側管部を含み、そして前記の側管部が、柱状回転部材の周面と回転軸受の内周面との間に形成され、外気の侵入が封止部材により阻止されている環状空間部に気体の流通が可能なように接続されている。
(3)柱状回転部材の側管部が垂直管路部に垂直な平面上に延びている。
(4)柱状回転部材の頭部が回転軸受の上方に突き出ている。
The preferable aspect of the micro component placement unit of the present invention is as follows.
(1) The pressing auxiliary member includes a disk-shaped member and a moving member that rotatably holds the disk-shaped member, and the pressing auxiliary member driving mechanism includes an annular belt and a driving device that realizes circular movement of the annular belt. .
(2) The decompression member includes a columnar rotation member mounted on the top of the hollow shaft body and a rotary bearing that rotatably supports the columnar rotation member, and the pipe line extends from the bottom surface of the columnar rotation member. A vertical pipe section extending vertically upward inside and a side pipe section extending in a direction intersecting the vertical pipe section from an opening provided in a side surface of the vertical pipe section, and the side pipe section is columnar rotated It is formed between the peripheral surface of the member and the inner peripheral surface of the rotary bearing, and is connected to an annular space where intrusion of outside air is blocked by the sealing member so that gas can flow.
(3) The side pipe part of the columnar rotating member extends on a plane perpendicular to the vertical pipe part.
(4) The head of the columnar rotating member protrudes above the rotating bearing.

本発明はまた、減圧源に接続される管路を有する減圧部材であって、前記減圧部材が、中空軸体の頂部に装着される柱状回転部材と柱状回転部材を回転可能に軸支する回転軸受とから構成され、上記の管路が、柱状回転部材の底面から内部上方に垂直に延びる垂直管路部及び垂直管路部の側面に設けられた開口部から垂直管路部に交差する方向に延びる側管部を含み、そして前記の側管部が、柱状回転部材の周面と回転軸受の内周面との間に形成され、外気の侵入が封止部材により阻止されている環状空間部に気体の流通が可能なように接続されていることを特徴とする減圧部材にもある。   The present invention is also a decompression member having a pipe line connected to a decompression source, wherein the decompression member rotatably supports the columnar rotation member mounted on the top of the hollow shaft body and the columnar rotation member. And a direction in which the pipe line intersects the vertical pipe part from the vertical pipe part extending vertically upward from the bottom surface of the columnar rotating member and the opening provided on the side surface of the vertical pipe part. An annular space that is formed between the peripheral surface of the columnar rotating member and the inner peripheral surface of the rotary bearing, and the intrusion of outside air is prevented by the sealing member. There is also a decompression member that is connected to the portion so that a gas can flow.

本発明の減圧部材の好ましい態様は、次の通りである。
(1)柱状回転部材の側管部が垂直管路部に垂直な平面上に延びている。
(2)柱状回転部材の頭部が回転軸受の上方に突き出ている。
Preferred embodiments of the decompression member of the present invention are as follows.
(1) The side pipe portion of the columnar rotating member extends on a plane perpendicular to the vertical pipe portion.
(2) The head of the columnar rotary member protrudes above the rotary bearing.

本発明の微小部品配置ユニットは、各軸体毎に昇降駆動装置を設ける必要がないため、その構成が簡単で軽量化も容易である。本発明の微小部品配置ユニットは、各軸体の周壁に透孔を形成し、各軸体の周囲に配設する複雑な構成の減圧機構を用いることなく、中空軸体の頂部に装着される減圧部材を有する減圧機構を用いているため、その構成が更に簡単になる。   Since the micro component placement unit of the present invention does not need to be provided with an elevating drive device for each shaft body, the configuration is simple and the weight can be easily reduced. The micro component placement unit of the present invention is attached to the top of a hollow shaft body without using a complicated structure decompression mechanism in which a through hole is formed in the peripheral wall of each shaft body and arranged around each shaft body. Since the decompression mechanism having the decompression member is used, the configuration is further simplified.

本発明の微小部品配置ユニットの構成例を示す正面図である。但し、電子部品91a〜91f、トレイ92、そして枠体16は、それぞれ断面として記入してある。It is a front view which shows the structural example of the micro component arrangement | positioning unit of this invention. However, the electronic components 91a to 91f, the tray 92, and the frame body 16 are shown as cross sections. 図1の微小部品配置ユニット10の左側面図である。It is a left view of the micro component placement unit 10 of FIG. 図1の微小部品配置ユニット10の押圧装置51、押圧補助部材61、そして押圧補助部材駆動機構71の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the press apparatus 51, the press auxiliary member 61, and the press auxiliary member drive mechanism 71 of the micro component arrangement | positioning unit 10 of FIG. 図3に示す押圧装置51、押圧補助部材61、そして押圧補助部材駆動機構71を、押圧補助部材61を水平方向に移動して位置決めした状態にて示す図である。It is a figure which shows the press apparatus 51 shown in FIG. 3, the press auxiliary member 61, and the press auxiliary member drive mechanism 71 in the state which moved the press auxiliary member 61 to the horizontal direction, and was positioned. 図4に示す押圧装置51、押圧補助部材61、そして押圧補助部材駆動機構71を、押圧補助部材61を下降させた状態にて示す図である。It is a figure which shows the press apparatus 51 shown in FIG. 4, the press auxiliary member 61, and the press auxiliary member drive mechanism 71 in the state which lowered the press auxiliary member 61. FIG. 図1の微小部品配置ユニット10の軸体13aとその頂部に装着した減圧部材30の拡大図である。FIG. 2 is an enlarged view of a shaft body 13a of the micro component placement unit 10 of FIG. 1 and a decompression member 30 attached to the top of the shaft body 13a. 図6に記入した切断線VII−VII線に沿って切断した軸体13a及び減圧部材30の断面図である。It is sectional drawing of the shaft body 13a and the decompression member 30 cut | disconnected along the cutting line VII-VII line entered in FIG. 減圧部材の別の構成例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows another structural example of a decompression member. 図1の微小部品配置ユニット10を、一個目の電子部品91aの吸着のため、軸体13aを微小部品吸着ノズル12aと共に下降させた状態にて示す図である。FIG. 2 is a diagram illustrating the micro component placement unit 10 of FIG. 1 in a state where a shaft body 13a is lowered together with a micro component suction nozzle 12a for sucking a first electronic component 91a. 図1の微小部品配置ユニット10を、軸体13aを一個目の電子部品91aを吸着した微小部品吸着ノズル12aと共に上昇させた状態にて示す図である。FIG. 2 is a diagram showing the micro component placement unit 10 of FIG. 1 in a state where the shaft body 13a is raised together with the micro component suction nozzle 12a that sucks the first electronic component 91a. 図1の微小部品配置ユニット10を、二個目の電子部品91bの吸着のため、押圧補助部材61を水平方向に移動して位置決めした状態にて示す図である。It is a figure which shows the micro component arrangement | positioning unit 10 of FIG. 1 in the state which moved and positioned the pressing auxiliary member 61 for the adsorption | suction of the 2nd electronic component 91b. 図1の微小部品配置ユニット10を、二個目の電子部品91bの吸着のため、軸体13bを微小部品吸着ノズル12bと共に下降させた状態にて示す図である。FIG. 2 is a diagram showing the micro component placement unit 10 of FIG. 1 in a state where a shaft body 13b is lowered together with a micro component suction nozzle 12b for sucking a second electronic component 91b. 図1の微小部品配置ユニット10を、全ての微小部品吸着ノズル12a〜12fに、それぞれ電子部品91a〜91fを吸着させた状態にて示す図である。It is a figure which shows the microcomponent arrangement | positioning unit 10 of FIG. 1 in the state which made the electronic components 91a-91f each adsorb | suck to all the microcomponent adsorption nozzles 12a-12f. 図1の微小部品配置ユニット10を、一個目の電子部品91fをプリント配線板93の表面に配置するため、軸体13fを微小部品吸着ノズル12fと共に下降させた状態にて示す図である。FIG. 2 is a diagram showing the micro component placement unit 10 of FIG. 1 in a state where a shaft body 13f is lowered together with a micro component suction nozzle 12f in order to place a first electronic component 91f on the surface of a printed wiring board 93. 図1の微小部品配置ユニット10を、全ての電子部品91a〜91fを同時に吸着するため、軸体13a〜13fを微小部品吸着ノズル12a〜12fと共に下降させた状態にて示す図である。FIG. 2 is a diagram showing the micro component placement unit 10 of FIG. 1 in a state where shaft bodies 13a to 13f are lowered together with micro component suction nozzles 12a to 12f in order to simultaneously suck all electronic components 91a to 91f.

本発明の微小部品配置ユニットを、添付の図面を用いて説明する。図1は、本発明の微小部品配置ユニット10の構成例を示す正面図である。そして図2は、図1の微小部品配置ユニット10の左側面図である。なお、上記の図1において、電子部品91a〜91f、電子部品を収容するトレイ92、そして昇降機構15を支持固定している枠体16は、それぞれ断面として記入してある。   The micro component placement unit of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a front view showing a configuration example of a micro component placement unit 10 of the present invention. FIG. 2 is a left side view of the micro component placement unit 10 of FIG. In FIG. 1, the electronic components 91a to 91f, the tray 92 for storing the electronic components, and the frame body 16 that supports and fixes the elevating mechanism 15 are shown as sections.

図1及び図2に示す微小部品配置ユニット10は、減圧機構に接続する微小部品吸着ノズル(例、吸着ノズル12a)を下端に備えた軸体(例、軸体13a)および軸体の周囲に備えられた軸体の昇降を案内する軸受81からなる微小部品の昇降手段(例、昇降手段15a)が複数個、それぞれの軸体の頂部および吸着ノズルの下端部を、それぞれが同一の高さにあるような位置関係にて軸体の幅方向に整列配置してなる微小部品の昇降機構15、昇降機構15を支持固定している枠体16、各昇降手段の軸体と枠体16とに係合して軸体をその頂部の高さが全て所定の高さになるように支持する弾性体17、各軸体の頂部の上方に間隔を介して配置された押圧装置51、任意の軸体の頂部と押圧装置51の底面との間の間隔に挿入することが可能にされている押圧補助部材61、そして押圧補助部材61に接続し、押圧補助部材61を駆動して水平方向の移動かつ位置決めを行なう押圧補助部材駆動機構71から構成されている。
このような構成を有する微小部品配置ユニットは、本特許出願の出願人により既に特許出願(出願番号:特願2010−99104)されている。
1 and 2 includes a shaft body (e.g., shaft body 13a) having a micro-part suction nozzle (e.g., suction nozzle 12a) connected to a decompression mechanism at the lower end, and around the shaft body. There are a plurality of minute component lifting / lowering means (for example, lifting / lowering means 15a) composed of a bearing 81 for guiding the lifting / lowering of the provided shaft body, and the top of each shaft body and the lower end of the suction nozzle are at the same height. Are arranged in the width direction of the shaft body in the positional relationship as described above, a frame raising / lowering mechanism 15 that supports and fixes the lifting mechanism 15, a shaft body and a frame body 16 of each lifting means, An elastic body 17 that engages the shaft body and supports the shaft body so that the height of all the top portions thereof is a predetermined height, a pressing device 51 disposed above the top portion of each shaft body with an interval, Inserting into the space between the top of the shaft and the bottom of the pressing device 51 Possible has been that the pressing assistant member 61 is connected and the pressing assistant member 61, and a pressing assistant member driving mechanism 71 for moving and positioning in the horizontal direction by driving the pressing assistant member 61.
A patent application (application number: Japanese Patent Application No. 2010-99104) has already been filed by the applicant of this patent application for the micro component placement unit having such a configuration.

図1及び図2に示す本発明の微小部品配置ユニット10は、上記特許出願に記載した微小部品配置ユニットの発明の改良発明であって、上記昇降手段(例、昇降手段15a)の軸受81が軸体(例、軸体13a)を回転可能に保持しており、前記軸体が内部を中空とした管体から形成され、そして上記減圧機構が、前記中空軸体(例、軸体13a)の頂部に装着された、減圧源に接続される管路を有する減圧部材30を含むことに特徴がある。   1 and 2 is an improved invention of the invention of the micro component placement unit described in the above-mentioned patent application, and the bearing 81 of the elevating means (eg, the elevating device 15a) is provided. A shaft body (for example, shaft body 13a) is rotatably held, the shaft body is formed from a tube body having a hollow inside, and the pressure reducing mechanism is formed by the hollow shaft body (for example, shaft body 13a). And a decompression member 30 having a conduit connected to a decompression source, mounted on the top of the.

微小部品配置ユニット10は、例えば、その支持板19が電子部品実装装置が備える駆動装置に接続固定された状態にて電子部品実装装置に組み込まれる。この駆動装置の作動により、例えば、複数個の電子部品を収容しているトレイ92とプリント配線板(図14:93)との間での微小部品配置ユニット10の高速での移動が繰り返して行なわれる。   For example, the micro component placement unit 10 is incorporated in the electronic component mounting apparatus in a state in which the support plate 19 is connected and fixed to a driving device included in the electronic component mounting apparatus. By the operation of this driving device, for example, the micro component placement unit 10 is repeatedly moved at high speed between the tray 92 containing a plurality of electronic components and the printed wiring board (FIG. 14: 93). It is.

微小部品配置ユニット10には、例えば、昇降手段15a〜15fの六個が備えられている。昇降手段の個数(すなわち微小部品吸着ノズルを備える軸体の本数に相当する)は、通常は2〜30個、好ましくは3〜20個の範囲内、更に好ましくは4〜10個の範囲内に設定される。   The micro component placement unit 10 includes, for example, six lifting means 15a to 15f. The number of lifting means (that is, corresponding to the number of shaft bodies provided with minute component suction nozzles) is usually in the range of 2 to 30, preferably 3 to 20, and more preferably 4 to 10. Is set.

昇降手段15aは、減圧機構に接続する微小部品吸着ノズル12a、軸体13a、および軸受81から構成されている。軸受81は、軸体13aを回転可能に保持している。軸体13aは、内部を中空とした管体から形成されている。そして上記減圧機構は、前記中空軸体(例、軸体13a)の頂部に装着された、減圧源に接続される管路(図7:30a)を有する減圧部材30を備えている。昇降手段15b〜15fの各々の構成は、昇降手段15aと同様である。   The raising / lowering means 15a is comprised from the micro component adsorption | suction nozzle 12a connected to a pressure reduction mechanism, the shaft body 13a, and the bearing 81. FIG. The bearing 81 rotatably holds the shaft body 13a. The shaft body 13a is formed from a tubular body having a hollow inside. And the said pressure reduction mechanism is equipped with the pressure reduction member 30 which has the pipe line (FIG. 7: 30a) with which the top part of the said hollow shaft body (for example, shaft body 13a) was attached and connected to a pressure reduction source. Each structure of the raising / lowering means 15b-15f is the same as that of the raising / lowering means 15a.

以下では、昇降手段15a〜15fの構成や動作を、昇降手段15aを代表例として説明する。   Below, the structure and operation | movement of the raising / lowering means 15a-15f are demonstrated by making the raising / lowering means 15a into a representative example.

図1及び図2に示す微小部品配置ユニット10の場合、昇降手段15aの減圧機構は、減圧源(図示していない)と、前記減圧源に接続される管路(図7:30a)を有する減圧部材30から構成されている。   In the case of the micro component placement unit 10 shown in FIGS. 1 and 2, the pressure reducing mechanism of the elevating means 15a has a pressure reducing source (not shown) and a pipe line (FIG. 7: 30a) connected to the pressure reducing source. The decompression member 30 is configured.

減圧機構は、軸体13aの内部空間22を介して微小部品吸着ノズル12aに接続される。   The decompression mechanism is connected to the minute component suction nozzle 12a through the internal space 22 of the shaft body 13a.

減圧源としては、例えば、エゼクタ真空ポンプに代表される公知のポンプ(図示していない)を用いることができる。   For example, a known pump (not shown) typified by an ejector vacuum pump can be used as the decompression source.

減圧機構の減圧源を作動させ、減圧部材30の管路(図7:30a)を介して軸体13aの内部空間22を減圧することにより、微小部品吸着ノズル12aの下端に電子部品を吸着させることができる。一方、減圧源の作動を停止して軸体13aの内部空間を外気圧と等しくする(あるいは外気圧よりも高い圧力にする)ことにより、微小部品吸着ノズル12aの下端から電子部品を離脱させることができる。   By operating the pressure reducing source of the pressure reducing mechanism and depressurizing the internal space 22 of the shaft body 13a via the conduit (FIG. 7: 30a) of the pressure reducing member 30, the electronic component is adsorbed on the lower end of the minute component adsorbing nozzle 12a. be able to. On the other hand, by stopping the operation of the decompression source and making the internal space of the shaft body 13a equal to the external air pressure (or making the pressure higher than the external air pressure), the electronic component is detached from the lower end of the minute component suction nozzle 12a. Can do.

軸体13aの周囲には、軸体13aの昇降を案内する軸受81が備えられている。軸受81は、軸体13aを回転可能に保持している。軸体13aの外周面には、それぞれ軸体13aの長さ方向に沿って延びる、軸体13aの周方向に沿って互いに間隔をあけて配置された複数本(例えば、4本)の直線溝14aが形成されている。軸受81としては、軸体13aの各直線溝14aに配置される複数個の転動体(図示していない)を備え、各転動体の各直線溝14aに沿った転動により軸体13aの昇降を案内し、そして各転動体と各直線溝14aとの係合により軸体13aを回転可能に保持する公知の直動軸受(例、ボールスプライン軸受)が用いられている。   Around the shaft body 13a, a bearing 81 that guides the lifting and lowering of the shaft body 13a is provided. The bearing 81 rotatably holds the shaft body 13a. A plurality of (for example, four) linear grooves that extend along the length direction of the shaft body 13a and are spaced from each other along the circumferential direction of the shaft body 13a are formed on the outer peripheral surface of the shaft body 13a. 14a is formed. The bearing 81 includes a plurality of rolling elements (not shown) disposed in each linear groove 14a of the shaft body 13a, and the shaft body 13a is moved up and down by rolling along each linear groove 14a of each rolling element. A known linear motion bearing (for example, a ball spline bearing) is used which rotatably supports the shaft body 13a by engaging each rolling element and each linear groove 14a.

昇降手段15a〜15fは、それぞれの軸体の頂部および吸着ノズルの下端部を、それぞれが同一の高さにあるような位置関係にて軸体の幅方向に整列配置されていて、微小部品の昇降機構15を構成している。昇降機構15は(各昇降手段の軸受81と軸受81の周囲の装着した回転軸受82を介して)枠体16に支持固定されている。枠体16は(接続部材24と回転駆動装置83とを介して)支持板19に固定されている。   The elevating means 15a to 15f are arranged such that the top of each shaft body and the lower end of the suction nozzle are aligned in the width direction of the shaft body in such a positional relationship that they are at the same height. An elevating mechanism 15 is configured. The elevating mechanism 15 is supported and fixed to the frame body 16 (via a bearing 81 of each elevating means and a rotary bearing 82 mounted around the bearing 81). The frame body 16 is fixed to the support plate 19 (via the connection member 24 and the rotation driving device 83).

微小部品配置ユニット10には、各昇降手段の軸体と枠体16とに係合して軸体をその頂部の高さが全て所定の高さになるように支持する弾性体17が備えられている。図2に示すように、弾性体17は、筒体25aと減圧部材30とを介して軸体(例えば、軸体13a)に、そして筒体25bを介して枠体16に係合している。   The micro component placement unit 10 is provided with an elastic body 17 that engages with the shaft body of each lifting means and the frame body 16 and supports the shaft body so that the height of the top of the shaft body becomes a predetermined height. ing. As shown in FIG. 2, the elastic body 17 is engaged with the shaft body (for example, the shaft body 13a) via the cylinder body 25a and the decompression member 30, and is engaged with the frame body 16 via the cylinder body 25b. .

弾性体17としては、コイルばねが用いられている。コイルばねに代えて、例えば、ゴム製の筒体などを用いることもできる。なお、上記の「所定の高さ」とは、軸体を下降させた際に微小部品吸着ノズルの下端が電子部品(微小部品)に到達可能な高さを意味し、微小部品配置ユニットが組み込まれる装置に応じて適切な高さに設定される。   A coil spring is used as the elastic body 17. Instead of the coil spring, for example, a rubber cylinder may be used. The above-mentioned “predetermined height” means the height at which the lower end of the micro component suction nozzle can reach the electronic component (micro component) when the shaft is lowered, and the micro component placement unit is incorporated. It is set to an appropriate height according to the device to be used.

例えば、軸体13aの頂部に装着した減圧部材30の頂部を押圧して下降させると、軸体13aと枠体16とに係合している弾性体17が短縮する。従って、上記の減圧部材30の押圧を停止すると、弾性体17が伸長して軸体13aが上昇する。   For example, when the top part of the decompression member 30 attached to the top part of the shaft body 13a is pressed and lowered, the elastic body 17 engaged with the shaft body 13a and the frame body 16 is shortened. Accordingly, when the pressing of the pressure reducing member 30 is stopped, the elastic body 17 extends and the shaft body 13a rises.

上記弾性体は、軸体と軸受(例、軸受81)とに係合していてもよい。上記弾性体と軸体との係合、そして軸体と枠体(あるいは軸受)との係合については、後に詳しく説明する。   The elastic body may be engaged with a shaft body and a bearing (eg, bearing 81). The engagement between the elastic body and the shaft body and the engagement between the shaft body and the frame (or bearing) will be described in detail later.

複数本の軸体13a〜13fを昇降させるため、各軸体の頂部の上方に間隔(間隙)を介して押圧装置51が配置される。なお、前記のように各軸体の頂部には減圧部材30が装着されているため、上記「間隔」は、各減圧部材30の頂部の上方の間隔を意味する。すなわち、押圧装置51は、各減圧部材30の頂部の上方に間隔を介して配置される。   In order to raise and lower the plurality of shaft bodies 13a to 13f, the pressing device 51 is disposed above the top of each shaft body with a gap (gap) therebetween. Since the decompression member 30 is mounted on the top of each shaft body as described above, the “interval” means an interval above the top of each decompression member 30. That is, the pressing device 51 is disposed above the top of each decompression member 30 with a gap.

押圧装置51は、各減圧部材30の上端面に対向する底面を有する可動ブロック52、可動ブロック52の上方に配設されていて、可動ブロック52の底面に対して平行に配置された回転軸53aを持つ回転駆動装置53、および回転駆動装置53の回転軸53aの中心とは異なる位置に一方の端部が接続され、他方の端部が可動ブロック52の前面(あるいは頂面)に接続されている、上記各端部を中心とする傾斜移動が可能なロッド54から構成されている。   The pressing device 51 is disposed above the movable block 52 having a bottom surface facing the upper end surface of each decompression member 30, and a rotary shaft 53 a disposed in parallel to the bottom surface of the movable block 52. One end is connected to a position different from the center of the rotation drive device 53 and the rotation shaft 53a of the rotation drive device 53, and the other end is connected to the front surface (or top surface) of the movable block 52. It is comprised from the rod 54 which can carry out the inclination movement centering on each said edge part.

可動ブロック52と回転駆動装置53に備えられたプレート55とは、直動案内装置(リニアガイド)56、56を介して互いに接続されている。各直動案内装置56は、上下方向に伸びるレール56aとレール56aに滑動可能に装着されたスライダ56bとから構成されている。可動ブロック52は、各直動案内装置56のスライダ56bと共にレール56aに沿って移動(昇降)可能とされている。   The movable block 52 and the plate 55 provided in the rotation drive device 53 are connected to each other via linear motion guide devices (linear guides) 56 and 56. Each linear motion guide device 56 includes a rail 56a extending in the vertical direction and a slider 56b slidably mounted on the rail 56a. The movable block 52 is movable (lifted / lowered) along the rail 56 a together with the slider 56 b of each linear motion guide device 56.

回転駆動装置53の回転軸53aを図1に記入した矢印59aが示す方向(時計回り方向)に回転させると、ロッド54が可動ブロック52を押し下げ、これにより可動ブロック52が直動案内装置56のスライダ56bと共に下降する。一方、回転駆動装置53の回転軸53aを上記とは逆向き(反時計回り方向)に回転させると、ロッド54が可動ブロック52を引き上げ、これにより可動ブロック52は直動案内装置56のスライダ56bと共に上昇する。   When the rotating shaft 53a of the rotation driving device 53 is rotated in the direction (clockwise direction) indicated by the arrow 59a shown in FIG. 1, the rod 54 pushes down the movable block 52, whereby the movable block 52 is moved to the linear motion guide device 56. It descends with the slider 56b. On the other hand, when the rotation shaft 53a of the rotation drive device 53 is rotated in the opposite direction (counterclockwise direction), the rod 54 pulls up the movable block 52, whereby the movable block 52 is moved to the slider 56b of the linear motion guide device 56. Ascend with.

押圧装置51は、部品点数が少ないため、構成が簡単で軽量化が容易であるという利点を有している。なお、押圧装置51の回転駆動装置53及びロッド54は、可動ブロック52を上下方向に移動(昇降)させる直動駆動装置として機能している。この回転駆動装置53及びロッド54に代えて、公知の直動駆動装置を用いることができる。直動駆動装置の例としては、リニアモータ、あるいは回転駆動装置と送りねじとを組み合わせた直動駆動装置が挙げられる。   Since the pressing device 51 has a small number of parts, it has an advantage that the configuration is simple and the weight can be easily reduced. The rotation driving device 53 and the rod 54 of the pressing device 51 function as a linear motion driving device that moves (moves up and down) the movable block 52 in the vertical direction. A known linear drive device can be used in place of the rotary drive device 53 and the rod 54. Examples of the linear drive device include a linear motor or a linear drive device that combines a rotary drive device and a feed screw.

微小部品配置ユニット10には、軸体13a〜13fのうちの任意の軸体の頂部と押圧装置51の底面(すなわち可動ブロック52の底面)との間の間隔(間隙)、すなわち各減圧部材30の頂部と押圧装置51の底面との間の間隔に挿入することが可能にされている押圧補助部材61と、押圧補助部材61に接続し、押圧補助部材61を駆動して水平方向の移動かつ位置決めを行なう押圧補助部材駆動機構71とが備えられている。   The micro component placement unit 10 includes a space (gap) between the top of any of the shaft bodies 13 a to 13 f and the bottom surface of the pressing device 51 (that is, the bottom surface of the movable block 52), that is, each decompression member 30. A pressing auxiliary member 61 that can be inserted into the space between the top of the pressing device 51 and the bottom surface of the pressing device 51, and connected to the pressing auxiliary member 61, driving the pressing auxiliary member 61 to move in the horizontal direction and A pressing assisting member driving mechanism 71 for positioning is provided.

図1及び図2において、押圧補助部材61は、例えば、軸体13aの頂部と押圧装置51の底面との間の間隔(間隙)、すなわち軸体13aの頂部に装着した減圧部材30と押圧装置51の底面との間の間隔に挿入された状態にて示されている。   In FIG. 1 and FIG. 2, the pressing auxiliary member 61 includes, for example, a space (gap) between the top of the shaft body 13 a and the bottom surface of the pressing device 51, that is, the decompression member 30 and the pressing device mounted on the top of the shaft body 13 a. It is shown in a state of being inserted at a distance between the bottom surface of 51.

押圧補助部材61を支持しているプレート62aは、直動案内装置63に固定されている。直動案内装置63は、上下方向に伸びるレール63aとレール63aに滑動可能に装着されたスライダ63bとから構成されている。レール63aはプレート62bに固定されていて、そしてスライダ63bはプレート62aに固定されている。プレート62aの下端面にはプレート62cが固定されている。プレート62b、62cは、弾性体64、64を介して互いに接続されている。弾性体64としては、例えば、コイルばねが用いられている。   The plate 62 a supporting the pressing auxiliary member 61 is fixed to the linear motion guide device 63. The linear motion guide device 63 includes a rail 63a extending in the vertical direction and a slider 63b slidably mounted on the rail 63a. The rail 63a is fixed to the plate 62b, and the slider 63b is fixed to the plate 62a. A plate 62c is fixed to the lower end surface of the plate 62a. The plates 62b and 62c are connected to each other via elastic bodies 64 and 64. For example, a coil spring is used as the elastic body 64.

従って、押圧装置51の可動ブロック52を下降させることにより、押圧補助部材61は、可動ブロック52に押されて(押圧されて)、プレート62a、62c、およびスライダ63bと共にレール63aに沿って下方に移動(下降)する。この際、プレート62bとプレート62cとを接続している弾性体64が伸長する。このため、可動ブロック52を上昇させると、弾性体64が短縮して、押圧補助部材61は、プレート62a、62c、およびスライダ63bと共にレール63aに沿って上方に移動(上昇)する。このような機構により、押圧補助部材61の昇降が可能とされている。   Therefore, by lowering the movable block 52 of the pressing device 51, the pressing auxiliary member 61 is pressed (pressed) by the movable block 52 and moves downward along the rail 63a together with the plates 62a and 62c and the slider 63b. Move (down). At this time, the elastic body 64 connecting the plate 62b and the plate 62c extends. Therefore, when the movable block 52 is raised, the elastic body 64 is shortened, and the pressing auxiliary member 61 moves (rises) along the rail 63a together with the plates 62a and 62c and the slider 63b. With such a mechanism, the pressing assist member 61 can be moved up and down.

一方、上記の直動案内装置63を支持しているプレート62bは、別の直動案内装置65に固定されている。直動案内装置65は、水平方向に(軸体13a〜13fの整列方向に沿って)伸びるレール65aとレール65aに滑動可能に装着されたスライダ65bとから構成されている。レール65aは、支持板19から水平方向に伸びる棚板21の端面に固定されている。   On the other hand, the plate 62 b supporting the linear motion guide device 63 is fixed to another linear motion guide device 65. The linear motion guide device 65 includes a rail 65a extending in the horizontal direction (along the alignment direction of the shaft bodies 13a to 13f) and a slider 65b slidably mounted on the rail 65a. The rail 65a is fixed to the end surface of the shelf plate 21 extending in the horizontal direction from the support plate 19.

従って、押圧補助部材61は、プレート62a、62c、直動案内装置63、プレート62b、および直動案内装置65のスライダ65bと共にレール65aに沿って水平方向に(軸体13a〜13fの整列方向に沿って)移動することが可能とされている。   Accordingly, the pressing auxiliary member 61 is moved horizontally along the rail 65a (in the alignment direction of the shaft bodies 13a to 13f) together with the plates 62a and 62c, the linear motion guide device 63, the plate 62b, and the slider 65b of the linear motion guide device 65. It is possible to move along.

押圧補助部材駆動機構71は、環状ベルト72と環状ベルト72の循環移動を実現する駆動装置73とから構成されている。   The pressing assisting member driving mechanism 71 includes an annular belt 72 and a driving device 73 that realizes circulation movement of the annular belt 72.

駆動装置73は、回転軸74aを持つ回転駆動装置(例、モータ)74、回転軸74aに接続するプーリ75a、そして別の四個のプーリ75b〜75eから構成されている。   The drive device 73 includes a rotation drive device (for example, a motor) 74 having a rotation shaft 74a, a pulley 75a connected to the rotation shaft 74a, and four other pulleys 75b to 75e.

環状ベルト72としては、タイミングベルトが用いられていて、環状ベルト72の内面を支持しているプーリ75a〜75cとしては、タイミングプーリが用いられている。   A timing belt is used as the annular belt 72, and timing pulleys are used as the pulleys 75 a to 75 c that support the inner surface of the annular belt 72.

環状ベルト72は、例えば、L字型の接続部材76を介して、上記押圧補助部材61を支持しているプレート62bに接続されている。従って、回転駆動装置74の回転軸74aを回転(あるいは逆回転)させ、環状ベルト72を循環移動させることにより、環状ベルト72に接続部材を介して接続している押圧補助部材61を、水平方向に移動して位置決めすることができる。   The annular belt 72 is connected to a plate 62b that supports the pressing auxiliary member 61 via an L-shaped connecting member 76, for example. Accordingly, by rotating (or reversely rotating) the rotating shaft 74a of the rotation driving device 74 and circulatingly moving the annular belt 72, the pressing auxiliary member 61 connected to the annular belt 72 via the connecting member is moved in the horizontal direction. Can be moved and positioned.

環状ベルトを利用した押圧補助部材駆動機構71は、構成が簡単で軽量化が容易であるという利点を有している。なお、押圧補助部材駆動機構71は、押圧補助部材61を水平方向に移動させる直動駆動装置として機能している。この押圧補助部材駆動機構71に代えて、公知の直動駆動装置を用いることができる。直動駆動装置の例としては、リニアモータ、あるいは回転駆動装置と送りねじとを組み合わせた直動駆動装置が挙げられる。   The pressing assist member driving mechanism 71 using the annular belt has an advantage that the configuration is simple and the weight can be easily reduced. The pressing assist member driving mechanism 71 functions as a linear drive device that moves the pressing assist member 61 in the horizontal direction. Instead of the pressing assist member driving mechanism 71, a known linear drive device can be used. Examples of the linear drive device include a linear motor or a linear drive device that combines a rotary drive device and a feed screw.

次に、押圧補助部材61の動作の一例について、添付の図3〜図5を参照しながら説明する。図3〜図5の各々には、図1及び図2に示す微小部品配置ユニット10の押圧装置51、押圧補助部材61、そして押圧補助部材駆動機構71が記入してある。   Next, an example of the operation of the pressing assisting member 61 will be described with reference to the attached FIGS. In each of FIGS. 3 to 5, a pressing device 51, a pressing auxiliary member 61, and a pressing auxiliary member driving mechanism 71 of the micro component placement unit 10 shown in FIGS. 1 and 2 are written.

図3に示すように、押圧補助部材駆動機構71の回転駆動装置(図2:74)を作動させ、その回転軸に接続されたプーリ75aを、例えば、矢印79aが示す向きに回転させることにより、環状ベルト72を、矢印79bが示す方向に循環移動させる。これにより、押圧補助部材61が、矢印69aが示す方向(図にて右方向)に移動する。そして押圧補助部材61が任意の軸体の頂部の上方に移動したのち、上記回転駆動装置の作動を停止することにより、押圧補助部材61の水平方向の位置決めを行なうことができる。   As shown in FIG. 3, by operating the rotation driving device (FIG. 2: 74) of the pressing assisting member driving mechanism 71 and rotating the pulley 75a connected to the rotating shaft in the direction indicated by the arrow 79a, for example. The annular belt 72 is circulated and moved in the direction indicated by the arrow 79b. As a result, the pressing assisting member 61 moves in the direction indicated by the arrow 69a (rightward in the figure). Then, after the pressing auxiliary member 61 moves above the top of an arbitrary shaft body, the pressing auxiliary member 61 can be positioned in the horizontal direction by stopping the operation of the rotary drive device.

図4は、上記の位置決めの操作により、押圧補助部材61が、例えば、図1に示す軸体13bの頂部の上方に位置決めされた状態を示している。   FIG. 4 shows a state where the pressing assisting member 61 is positioned above the top of the shaft body 13b shown in FIG. 1 by the above positioning operation, for example.

そして図4に示すように、押圧装置51の回転駆動装置(図2:53)を作動させ、その回転軸53aを矢印59aが示す方向に回転させることにより、可動ブロック52を下降させる。この可動ブロック52に押圧されて、押圧補助部材61が矢印69bが示す方向に移動(下降)する。   Then, as shown in FIG. 4, the rotary drive device (FIG. 2: 53) of the pressing device 51 is operated, and the rotary shaft 53a is rotated in the direction indicated by the arrow 59a to lower the movable block 52. When the movable block 52 is pressed, the auxiliary pressing member 61 moves (lowers) in the direction indicated by the arrow 69b.

図5は、押圧補助部材61が下降した状態を示している。押圧補助部材61は、前記のように図1に示す軸体13bの頂部の上方に位置決めされている。従って、前記のように押圧補助部材61を下降させることにより、押圧補助部材61が図1に示す軸体13bの頂部に装着した減圧部材30を押圧する。これにより、軸体13bが微小部品吸着ノズル12bと共に下降する。この際に、軸体13bと枠体16とに係合している弾性体17が短縮する。そして押圧補助部材61を上昇させることにより、軸体13bを支持している弾性体17が伸長する。これにより、減圧部材30を頂部に備える軸体13bが、微小部品吸着ノズル12bと共に上昇する。   FIG. 5 shows a state where the pressing assist member 61 is lowered. As described above, the auxiliary pressing member 61 is positioned above the top of the shaft body 13b shown in FIG. Therefore, by lowering the pressing auxiliary member 61 as described above, the pressing auxiliary member 61 presses the decompression member 30 attached to the top of the shaft body 13b shown in FIG. As a result, the shaft body 13b moves down together with the minute component suction nozzle 12b. At this time, the elastic body 17 engaged with the shaft body 13b and the frame body 16 is shortened. Then, by raising the pressing assist member 61, the elastic body 17 supporting the shaft body 13b extends. Thereby, the shaft body 13b provided with the decompression member 30 at the top rises together with the minute component suction nozzle 12b.

従って、図1及び図2に示す微小部品配置ユニット10は、押圧補助部材駆動機構71を用いて押圧補助部材61を任意の軸体の頂部の上方に移動させて位置決めを行ない、次いで押圧装置51を用いて押圧補助部材61を昇降させることにより、この軸体をその下端に備えられた微小部品吸着ノズルと共に選択的に昇降させることができるため、すなわち各軸体毎に昇降駆動装置を設ける必要がないため、その構成が簡単で軽量化も容易である。   Accordingly, the micro component placement unit 10 shown in FIGS. 1 and 2 uses the pressing assist member driving mechanism 71 to move the pressing assisting member 61 above the top of an arbitrary shaft body to perform positioning, and then presses the pressing device 51. By raising and lowering the pressing assisting member 61 using this, the shaft body can be selectively raised and lowered together with the minute component suction nozzle provided at the lower end thereof, that is, it is necessary to provide a lifting drive device for each shaft body Therefore, the configuration is simple and the weight can be easily reduced.

また、微小部品配置ユニット10は、各軸体の周壁に透孔を形成し、各軸体の周囲に配設する複雑な構成の減圧機構を用いることなく、中空軸体の頂部に装着する減圧部材30を有する減圧機構を用いるため、その構成が更に簡単になる。   Further, the micro component placement unit 10 has a through-hole formed in the peripheral wall of each shaft body, and a decompression unit that is attached to the top of the hollow shaft body without using a decompression mechanism having a complicated configuration disposed around each shaft body. Since the decompression mechanism having the member 30 is used, the configuration is further simplified.

そして、複数本の軸体13a〜13fはそれぞれ枠体16に支持固定されていて、各軸体が水平方向に移動することがないため、軸体を水平方向に移動させて高精度にて位置決めする駆動装置を用いる必要もない。   The plurality of shaft bodies 13a to 13f are respectively supported and fixed to the frame body 16, and the shaft bodies do not move in the horizontal direction. Therefore, the shaft bodies are moved in the horizontal direction and positioned with high accuracy. There is no need to use a driving device.

図6は、図1の微小部品配置ユニット10の軸体13aとその頂部に装着された減圧部材30の拡大図である。そして図7は、図6に記入した切断線VII−VII線に沿って切断した軸体13a及び減圧部材30の断面図である。   FIG. 6 is an enlarged view of the shaft member 13a of the micro component placement unit 10 of FIG. 1 and the decompression member 30 attached to the top thereof. 7 is a cross-sectional view of the shaft body 13a and the decompression member 30 cut along the cutting line VII-VII written in FIG.

減圧部材(本発明の減圧部材)30は、前記のように減圧源に接続される管路30aを有している。   The decompression member (the decompression member of the present invention) 30 has the pipe line 30a connected to the decompression source as described above.

減圧部材30は、中空軸体13aの頂部に装着される柱状回転部材31と柱状回転部材31を回転可能に軸支する回転軸受32とから構成されている。   The decompression member 30 includes a columnar rotary member 31 mounted on the top of the hollow shaft body 13a and a rotary bearing 32 that rotatably supports the columnar rotary member 31.

そして管路30aは、柱状回転部材31の底面から内部上方に垂直に延びる垂直管路部31a及び垂直管路部31aの側面に設けられた開口部31bから垂直管路部31aに交差する方向に延びる側管部31cを含んでいる。側管部31cは、柱状回転部材31の周面と回転軸受32の内周面との間に形成され、外気の侵入が封止部材33により阻止されている環状空間部34に気体の流通が可能なように接続されている。   The pipe line 30a extends in a direction intersecting the vertical pipe part 31a from the vertical pipe part 31a that extends vertically upward from the bottom surface of the columnar rotating member 31 and the opening 31b provided on the side surface of the vertical pipe part 31a. The side pipe part 31c which extends is included. The side pipe portion 31 c is formed between the peripheral surface of the columnar rotary member 31 and the inner peripheral surface of the rotary bearing 32, and gas flow is allowed to flow into the annular space portion 34 in which intrusion of outside air is blocked by the sealing member 33. Connected as possible.

本発明の減圧部材、例えば、上記減圧部材30を備える減圧機構を用いる場合、柱状回転部材31は、回転軸受32に対して回転移動するものの、前記回転軸受32に対して昇降することはない。これに対して、各軸体の周壁に透孔を形成し、各軸体の周囲を囲む枠体を用いた減圧機構を用いる場合、軸体はその周囲を囲む枠体に対して回転移動し、かつ上下方向にも昇降する。従って、本発明の減圧部材、例えば、上記減圧部材30では、柱状回転部材31と回転軸受32との間に配置される封止部材33により、環状空間部34への外気の流入が確実に阻止される。このため、中空軸体の内部空間が十分に減圧され、軸体の下端部に備えられた吸着ノズルによる微小部品の確実な吸着が可能になる。   When the pressure reducing member of the present invention, for example, the pressure reducing mechanism including the pressure reducing member 30 is used, the columnar rotating member 31 does not move up and down with respect to the rotating bearing 32 although it rotates with respect to the rotating bearing 32. On the other hand, when a pressure reducing mechanism using a frame body that surrounds each shaft body is formed by forming a through hole in the peripheral wall of each shaft body, the shaft body rotates and moves relative to the frame body that surrounds the periphery. And it goes up and down in the vertical direction. Therefore, in the decompression member of the present invention, for example, the decompression member 30 described above, the sealing member 33 disposed between the columnar rotation member 31 and the rotation bearing 32 reliably prevents the outside air from flowing into the annular space 34. Is done. For this reason, the internal space of the hollow shaft body is sufficiently depressurized, and the fine parts can be reliably sucked by the suction nozzle provided at the lower end of the shaft body.

柱状回転部材31の底面の垂直管路部31aの下方の部位には、軸体13aの頂部が嵌め合わされ、柱状回転部材31の側壁に備えられたねじ31eで固定されている。   The top portion of the shaft body 13 a is fitted into a portion of the bottom surface of the columnar rotating member 31 below the vertical pipe portion 31 a and is fixed by a screw 31 e provided on the side wall of the columnar rotating member 31.

軸体13aの頂部の外径と、軸体13aの頂部の外周側の垂直管路部31aの内径とは、概ね等しい寸法にされている。これにより、柱状回転部材31の垂直管路部31aへの外気の侵入が阻止されている。   The outer diameter of the top portion of the shaft body 13a and the inner diameter of the vertical pipe portion 31a on the outer peripheral side of the top portion of the shaft body 13a are approximately equal to each other. Thereby, the penetration | invasion of the external air to the vertical pipe part 31a of the columnar rotation member 31 is blocked | prevented.

柱状回転部材の垂直管路部への外気の侵入を阻止するため、上記のような軸体の頂部とその外周側の垂直管路部の寸法の調節に代えて、あるいは前記の寸法の調節に加えて、軸体の頂部の周面とその外周側の垂直管路部の内周面との間に環状の封止部材(例、Oリング)を配置してもよく、あるいは軸体の頂面と、この頂面と対向する柱状回転部材の表面との間に環状の封止部材(例、Oリング)を配置してもよい。なお、上記の環状の封止部材が接触する表面には、この封止部材を部分的に収容可能な環状の溝を形成することもできる。   In order to prevent the outside air from entering the vertical pipe section of the columnar rotating member, instead of adjusting the dimensions of the top of the shaft body and the vertical pipe section on the outer peripheral side as described above, or adjusting the dimensions described above. In addition, an annular sealing member (for example, an O-ring) may be disposed between the peripheral surface of the top of the shaft body and the inner peripheral surface of the vertical pipe section on the outer periphery thereof, or the top of the shaft body. An annular sealing member (for example, an O-ring) may be disposed between the surface and the surface of the columnar rotating member facing the top surface. An annular groove that can partially accommodate the sealing member can be formed on the surface that contacts the annular sealing member.

柱状回転部材31の頂部に備えられているボルト31dは、硬度の高い材料(例えば、焼き入れ処理された鋼)から形成されている。これにより柱状回転部材31の頂面(すなわち上記ボルト31dの頂面)に、押圧補助部材(図2:61)が繰り返し衝突した場合であっても、柱状回転部材の傷つきや組成変形の発生を抑制することができる。このため、柱状回転部材31(従って減圧部材30)が優れた耐久性を示すようになる。   The bolt 31d provided at the top of the columnar rotary member 31 is formed of a material having high hardness (for example, steel that has been quenched). As a result, even if the pressing assisting member (FIG. 2: 61) repeatedly collides with the top surface of the columnar rotating member 31 (that is, the top surface of the bolt 31d), damage to the columnar rotating member and occurrence of composition deformation are caused. Can be suppressed. For this reason, the columnar rotation member 31 (and hence the decompression member 30) comes to have excellent durability.

回転軸受32は、柱状回転部材31の周面に装着される回転軸受本体32aと、回転軸受本体32aを内周面に備える筒体32bから構成されている。筒体32bには上記環状空間部34に接続する透孔32cが形成されている。筒体32bの透孔32cには、例えば、減圧源に接続する管状体36の接続具35がねじ込み固定されている。   The rotary bearing 32 includes a rotary bearing main body 32a mounted on the peripheral surface of the columnar rotary member 31, and a cylindrical body 32b including the rotary bearing main body 32a on the inner peripheral surface. A through hole 32c connected to the annular space 34 is formed in the cylindrical body 32b. In the through hole 32c of the cylindrical body 32b, for example, a connection tool 35 of a tubular body 36 connected to a reduced pressure source is screwed and fixed.

環状空間部34は、柱状回転部材31の周囲に形成されている。従って、柱状回転部材31の垂直管路部31aの側面に、環状空間部34に接続する一つ又は二つ以上の側管を更に設けることもできる。   The annular space 34 is formed around the columnar rotation member 31. Therefore, one or more side pipes connected to the annular space 34 can be further provided on the side surface of the vertical pipe portion 31 a of the columnar rotation member 31.

環状空間部34への外気の侵入を阻止する封止部材33としては、公知の環状パッキンを用いることができる。環状パッキンとしては、例えば、径方向に切断した断面が略Y字形の環状パッキン(Yパッキンとも呼ばれている)、断面が略V字形の環状パッキン(Vパッキンとも呼ばれている)、あるいは断面が略円形の環状パッキン(Oリングとも呼ばれている)を用いることができる。回転する柱状回転部材31と回転軸受32との間に形成される環状空間部34への外気の侵入を効果的に阻止するため、断面が略Y字形あるいは略V字形の環状パッキンを用いることが好ましい。   A known annular packing can be used as the sealing member 33 for preventing the outside air from entering the annular space 34. As the annular packing, for example, an annular packing having a substantially Y-shaped cross section (also referred to as Y packing), an annular packing having a substantially V-shaped cross section (also referred to as V packing), or a cross section A substantially circular annular packing (also called an O-ring) can be used. In order to effectively prevent the outside air from entering the annular space 34 formed between the rotating columnar rotating member 31 and the rotating bearing 32, an annular packing having a substantially Y-shaped or substantially V-shaped cross section is used. preferable.

減圧部材30の場合、管路30aは、柱状回転部材31の垂直管路部31a、側管部31c、環状空間部34、回転軸受32の透孔32c、接続具35の内部空間35a、そして管状体36の内部空間36aから構成されている。   In the case of the decompression member 30, the pipe line 30 a includes a vertical pipe part 31 a of the columnar rotary member 31, a side pipe part 31 c, an annular space part 34, a through hole 32 c of the rotary bearing 32, an internal space 35 a of the connection tool 35, and a tubular shape. The internal space 36 a of the body 36 is configured.

図7に示すように、柱状回転部材31の側管部31cは垂直管路部31aに垂直な平面上に延びていることが好ましい。これにより、柱状回転部材31に側管部31cを形成する際の機械加工が容易になる。   As shown in FIG. 7, it is preferable that the side pipe part 31c of the columnar rotation member 31 extends on a plane perpendicular to the vertical pipe part 31a. This facilitates machining when the side tube portion 31 c is formed on the columnar rotation member 31.

柱状回転部材31の頭部は、回転軸受32の上方に突き出ていることが好ましい。これにより、押圧補助部材(図2:61)により軸体13aを柱状回転部材31を介して押圧することが可能になる。   It is preferable that the head of the columnar rotary member 31 protrudes above the rotary bearing 32. Thereby, it becomes possible to press the shaft body 13a via the columnar rotation member 31 by the pressing auxiliary member (FIG. 2: 61).

押圧補助部材(図2:61)により軸体13aを柱状回転部材31を介して押圧すると、押圧補助部材が付与する大部分の力(衝撃)は、回転軸受32の回転軸受本体32aに加わることなく、柱状回転部材31を介して軸体13aに付与される。このため、各回転軸受本体32a(従って減圧部材30)が優れた耐久性を示すようになる。   When the shaft body 13a is pressed through the columnar rotating member 31 by the pressing auxiliary member (FIG. 2: 61), most of the force (impact) applied by the pressing auxiliary member is applied to the rotary bearing body 32a of the rotary bearing 32. Instead, it is applied to the shaft body 13 a via the columnar rotation member 31. For this reason, each rotation bearing main body 32a (hence, pressure reduction member 30) comes to show the outstanding durability.

但し、減圧部材30を備える軸体を下降させるためには、軸体と共に回転する柱状回転部材31の頂部を押圧する必要がある。従って、直動駆動装置を用いて軸体を昇降させる場合、直動駆動装置(本発明の微小部品配置ユニットの場合には、押圧装置、押圧補助部材、および押圧補助部材駆動機構に相当する)を、軸体の回転を阻害することのないよう、減圧部材30の上方に間隔をあけて配置する必要がある。従って、減圧部材30は、軸体を昇降させる直動駆動装置を軸体の頂部の上方に間隔をあけて配置した構成の微小部品配置ユニットに組み込んで好ましく用いることができ、上記本発明の微小部品配置ユニットの減圧部材として特に好ましく用いることができる。   However, in order to lower the shaft body including the decompression member 30, it is necessary to press the top of the columnar rotation member 31 that rotates together with the shaft body. Accordingly, when the shaft body is moved up and down using the linear motion drive device, the linear motion drive device (corresponding to the pressing device, the pressing assisting member, and the pressing assisting member driving mechanism in the case of the micro component placement unit of the present invention). Must be arranged above the decompression member 30 so as not to hinder the rotation of the shaft body. Therefore, the decompression member 30 can be preferably used by incorporating a linear motion drive device for raising and lowering the shaft body into a micro component placement unit having a configuration arranged above the top of the shaft body with a space therebetween. It can be particularly preferably used as a decompression member of the component placement unit.

図8は、減圧部材の別の構成例を示す断面図である。図8の減圧部材40の構成は、回転軸受32の頭部(回転軸受32の蓋体32dの上部)が柱状回転部材31の上方に突き出ていること以外は、図7の減圧部材30の構成と同様である。   FIG. 8 is a cross-sectional view showing another configuration example of the decompression member. The configuration of the decompression member 40 in FIG. 8 is the same as the configuration of the decompression member 30 in FIG. 7 except that the head of the rotary bearing 32 (upper part of the lid 32d of the rotary bearing 32) protrudes above the columnar rotary member 31. It is the same.

回転軸受32は、筒体32bの頂部に柱状回転部材31と非接触に配置された蓋体32dを備えている。   The rotary bearing 32 includes a lid 32d that is disposed in non-contact with the columnar rotary member 31 at the top of the cylindrical body 32b.

減圧部材40を備える軸体を下降させるため、減圧部材40の頂部(すなわち蓋体32dの頂部)が押圧される。減圧部材40の頂部は、回転軸受32に固定された蓋体32dから構成されているため、軸体13aと共に回転することはない。従って、減圧部材40は、軸体を昇降させる直動駆動装置を軸体の頂部の上方に間隔をあけて配置した構成の微小部品配置ユニットに組み込んで用いることもできるし、あるいは軸体を昇降させる直動駆動装置を軸体の頂部に固定した構成の微小部品配置ユニット(例えば、前記特許文献1に記載の微小部品配置ユニット)に組み込んで用いることもできる。   In order to lower the shaft body including the decompression member 40, the top of the decompression member 40 (that is, the top of the lid 32d) is pressed. Since the top part of the decompression member 40 is comprised from the cover body 32d fixed to the rotary bearing 32, it does not rotate with the shaft body 13a. Therefore, the decompression member 40 can be used by incorporating a linear motion drive device for raising and lowering the shaft body into a minute component arrangement unit having a configuration arranged above the top of the shaft body with a space therebetween, or raising and lowering the shaft body. It can also be used by being incorporated in a micro component placement unit (for example, the micro component placement unit described in Patent Document 1) having a configuration in which the linear drive device to be fixed is fixed to the top of the shaft body.

以下では、微小部品配置ユニット10の使用方法、例えば、トレイ92に収容された電子部品91a〜91fをプリント配線板の表面に配置(実装)する方法について説明する。   Below, the usage method of the micro component arrangement | positioning unit 10, for example, the method of arrange | positioning (mounting) the electronic components 91a-91f accommodated in the tray 92 on the surface of a printed wiring board, is demonstrated.

先ず、図1に示すように、押圧補助部材駆動機構71により押圧補助部材61を水平方向に移動して、軸体13aの頂部の上方に位置決めする。これにより、押圧補助部材61は、押圧装置51の底面(すなわち可動ブロック52の底面)と軸体13aの頂部との間の間隔(間隙)、すなわち押圧装置51の底面と軸体13aの頂部に装着した減圧部材30の頂部との間の間隔に挿入される。   First, as shown in FIG. 1, the pressing auxiliary member driving mechanism 71 moves the pressing auxiliary member 61 in the horizontal direction and positions it above the top of the shaft body 13a. Thereby, the pressing auxiliary member 61 is located at the space (gap) between the bottom surface of the pressing device 51 (that is, the bottom surface of the movable block 52) and the top portion of the shaft body 13a, that is, at the bottom surface of the pressing device 51 and the top portion of the shaft body 13a. It is inserted into the space between the top of the mounted decompression member 30.

次に、押圧装置51の可動ブロック52を押圧補助部材61と共に下降させることにより、図9に示すように軸体13aを微小部品吸着ノズル12aと共に下降させる。微小部品吸着ノズル12aの下端が電子部品91aに到達したのち減圧機構の減圧源を作動させることにより、減圧源に減圧部材30の管路(図7:30a)を介して接続している軸体13aの内部空間(図2:22)を減圧し、これにより吸着ノズル12aの下端に電子部品91aを吸着させる。次いで、押圧装置51の可動ブロック52を上昇させることにより、押圧補助部材61が上昇し、そして図10に示すように、軸体13aが電子部品91aを吸着した微小部品吸着ノズル12aと共に上昇する。このようにして、一個目の電子部品91aの吸着が行なわれる。   Next, by lowering the movable block 52 of the pressing device 51 together with the auxiliary pressing member 61, the shaft body 13a is lowered together with the minute component suction nozzle 12a as shown in FIG. After the lower end of the minute component suction nozzle 12a reaches the electronic component 91a, the decompression source of the decompression mechanism is actuated to operate the shaft body connected to the decompression source via the conduit of the decompression member 30 (FIG. 7: 30a). The internal space 13a (FIG. 2: 22) is depressurized, and thereby the electronic component 91a is sucked to the lower end of the suction nozzle 12a. Next, by raising the movable block 52 of the pressing device 51, the pressing assisting member 61 is raised, and as shown in FIG. 10, the shaft body 13a is raised together with the minute component suction nozzle 12a that has sucked the electronic component 91a. In this way, the first electronic component 91a is sucked.

続いて、押圧補助部材駆動機構71により押圧補助部材61を水平方向に移動して、図11に示すように軸体13bの頂部の上方に位置決めする。そして前記と同様にして押圧装置51の可動ブロック52を押圧補助部材61と共に下降させることにより、図12に示すように軸体13bを微小部品吸着ノズル12bと共に下降させる。微小部品吸着ノズル12bの下端が電子部品91bに到達したのち減圧機構の減圧源を作動させることにより、吸着ノズル12bの下端に電子部品91bを吸着させる。次いで、押圧装置51の可動ブロック52を上昇させることにより、押圧補助部材61が上昇し、軸体13bが電子部品91bを吸着した微小部品吸着ノズル12bと共に上昇する。このようにして、二個目の電子部品91bの吸着が行なわれる。   Subsequently, the pressing assisting member driving mechanism 71 moves the pressing assisting member 61 in the horizontal direction and positions it above the top of the shaft body 13b as shown in FIG. Then, by moving the movable block 52 of the pressing device 51 together with the pressing auxiliary member 61 in the same manner as described above, the shaft body 13b is lowered together with the minute component suction nozzle 12b as shown in FIG. After the lower end of the minute component suction nozzle 12b reaches the electronic component 91b, the electronic component 91b is attracted to the lower end of the suction nozzle 12b by operating the decompression source of the decompression mechanism. Next, by raising the movable block 52 of the pressing device 51, the pressing auxiliary member 61 is raised, and the shaft body 13b is lifted together with the minute component suction nozzle 12b that sucks the electronic component 91b. In this way, the second electronic component 91b is sucked.

同様の操作を繰り返すことにより、図13に示すように微小部品吸着ノズル12a〜12fに、それぞれ電子部品91a〜91fを吸着させる。   By repeating the same operation, the electronic components 91a to 91f are attracted to the minute component suction nozzles 12a to 12f, respectively, as shown in FIG.

そして、図14に示すように微小部品配置ユニット10をプリント配線板93の上方に移動したのち、例えば、軸体13fを微小部品吸着ノズル12fと共に下降させることにより、プリント配線板93の表面に電子部品91fを配置(実装)することができる。同様にして、残りの電子部品をプリント配線板93の表面に配置する。   Then, as shown in FIG. 14, after moving the micro component placement unit 10 above the printed wiring board 93, for example, by lowering the shaft body 13f together with the micro component suction nozzle 12f, electrons are placed on the surface of the printed wiring board 93. The component 91f can be arranged (mounted). Similarly, the remaining electronic components are arranged on the surface of the printed wiring board 93.

図2に示すように、押圧補助部材61は、円盤状部材61aと円盤状部材61aを回転可能に保持する移動部材61bとから構成されていることが好ましい。このような押圧補助部材61としては、例えば、軸付きローラ、軸の周囲に回転軸受を装着した部品、あるいはカム機構に利用されるカムフォロアを用いることができる。   As shown in FIG. 2, it is preferable that the pressing assist member 61 includes a disc-like member 61 a and a moving member 61 b that rotatably holds the disc-like member 61 a. As such a pressing assist member 61, for example, a roller with a shaft, a component having a rotary bearing mounted around the shaft, or a cam follower used for a cam mechanism can be used.

押圧補助部材61が円盤状部材61aと移動部材61bとから構成されていると、押圧補助部材61が水平方向に移動する際に、円盤状部材61aが押圧装置51の底面(すなわち可動ブロック52の底面)に接触しながら転動する。これにより、押圧補助部材61と押圧装置51との摩擦が極めて小さくなるため、押圧補助部材61の耐久性が良好となる。   When the pressing auxiliary member 61 is composed of the disk-shaped member 61a and the moving member 61b, the disk-shaped member 61a is moved to the bottom surface of the pressing device 51 (that is, the movable block 52) when the pressing auxiliary member 61 moves in the horizontal direction. Roll while touching the bottom surface. As a result, the friction between the pressing auxiliary member 61 and the pressing device 51 becomes extremely small, so that the durability of the pressing auxiliary member 61 is improved.

なお、押圧装置を押圧補助部材の上方に間隔を介して配置して、押圧補助部材を押圧装置と接触させることなく水平方向に移動させて位置決めすることもできる。このような場合には、押圧補助部材を、例えば、金属製の部材から構成することもできる。   It is also possible to position the pressing device above the pressing auxiliary member with a gap and move and position the pressing auxiliary member in the horizontal direction without contacting the pressing device. In such a case, the pressing assisting member can be constituted by, for example, a metal member.

また、本発明の微小部品配置ユニットにおいては、微小部品吸着ノズルに吸着した微小部品(例、電子部品)を所定の向きに配置するため、各昇降手段の軸受が軸体を回転可能に保持している。   Further, in the micro component placement unit of the present invention, the micro components (for example, electronic components) adsorbed by the micro component suction nozzle are arranged in a predetermined direction, so that the bearings of each lifting means hold the shaft body rotatably. ing.

微小部品配置ユニット10の場合、例えば、昇降手段15aの軸受81は、軸体13aの昇降を案内し、かつ軸体13aを回転可能に保持している。   In the case of the micro component placement unit 10, for example, the bearing 81 of the lifting means 15a guides the lifting and lowering of the shaft body 13a and holds the shaft body 13a rotatably.

上記の軸受81の周囲には回転軸受82が装着されていて、軸受81を軸体13aと共に回転することが可能とされている。軸体13a〜13fには、それぞれ軸受81を介してプーリ84a〜84fが備えられている。   A rotary bearing 82 is mounted around the bearing 81, and the bearing 81 can be rotated together with the shaft body 13a. The shaft bodies 13a to 13f are provided with pulleys 84a to 84f via bearings 81, respectively.

一方、微小部品配置ユニット10には、回転駆動装置83が備えられている。回転駆動装置83の回転軸83aにはプーリ85aが備えられている。   On the other hand, the micro component placement unit 10 is provided with a rotation drive device 83. A pulley 85 a is provided on the rotation shaft 83 a of the rotation drive device 83.

プーリ85aは、環状ベルト86aを介してプーリ85bに接続されている。プーリ85bは、その回転軸87を介してプーリ85cに接続されている。プーリ85cは、環状ベルト86bを介してプーリ84a、84bに、そして環状ベルト86cを介してプーリ84b、84cに、それぞれ接続されている。   The pulley 85a is connected to the pulley 85b via the annular belt 86a. The pulley 85b is connected to the pulley 85c via the rotating shaft 87. The pulley 85c is connected to the pulleys 84a and 84b via the annular belt 86b and to the pulleys 84b and 84c via the annular belt 86c.

プーリ85aは、同様にして環状ベルト86dを介してプーリ85dに接続されている。プーリ85dにその回転軸を介して接続されたプーリ(図示していない)は、環状ベルト86eを介してプーリ84d、84eに、そして環状ベルト86fを介してプーリ84e、84fに、それぞれ接続されている。   The pulley 85a is similarly connected to the pulley 85d via the annular belt 86d. A pulley (not shown) connected to the pulley 85d via its rotating shaft is connected to the pulleys 84d and 84e via the annular belt 86e and to the pulleys 84e and 84f via the annular belt 86f. Yes.

従って、回転駆動装置83を駆動して、その回転軸83aを回転させ、これによりプーリ84a〜84fを回転させることにより、軸体13a〜13fをそれぞれ軸受81に支持された状態にて同時に回転させることができる。   Accordingly, the rotary drive device 83 is driven to rotate the rotary shaft 83a, thereby rotating the pulleys 84a to 84f, thereby simultaneously rotating the shaft bodies 13a to 13f while being supported by the bearings 81, respectively. be able to.

回転駆動装置83に代えて、二個の回転駆動装置を設け、一方の回転駆動装置の回転軸にプーリ及びベルトを介してプーリ84a、84c、84eを接続し、そして他方の回転駆動装置の回転軸にプーリ及びベルトを介してプーリ84b、84d、84fを接続することもできる。すなわち、一方の回転駆動装置により、軸体13a、13c、13eを同時に回転駆動し、そして他方の回転駆動装置により、軸体13b、13d、13fを同時に回転駆動することもできる。   Instead of the rotation drive device 83, two rotation drive devices are provided, pulleys 84a, 84c, 84e are connected to the rotation shaft of one rotation drive device via pulleys and a belt, and the rotation of the other rotation drive device is performed. Pulleys 84b, 84d, and 84f can be connected to the shaft via pulleys and belts. That is, the shaft bodies 13a, 13c, and 13e can be simultaneously rotated by one rotation driving device, and the shaft bodies 13b, 13d, and 13f can be simultaneously rotated by the other rotation driving device.

これにより、例えば、図14に示すように軸体13fが備える微小部品吸着ノズル12fを用いて電子部品91fをプリント配線板93の表面に実装している間に、軸体13eを微小部品吸着ノズル12eと共に回転させることにより、この吸着ノズル12eに吸着した電子部品91eを所定の向きに回転させることができる。従って、複数個の電子部品を効率良く(短時間で)プリント配線板の表面に実装することができる。軸体の回転駆動方法は公知であるため、これ以上の説明は行なわない。   Accordingly, for example, while the electronic component 91f is mounted on the surface of the printed wiring board 93 using the micro component suction nozzle 12f included in the shaft body 13f as shown in FIG. 14, the shaft body 13e is moved to the micro component suction nozzle. By rotating together with 12e, the electronic component 91e sucked by this suction nozzle 12e can be rotated in a predetermined direction. Therefore, a plurality of electronic components can be efficiently mounted on the surface of the printed wiring board (in a short time). Since the rotation driving method of the shaft body is known, no further explanation will be given.

また、上記のように各軸体を回転駆動する場合には、各軸体を支持する弾性体と、軸体そして枠体(あるいは軸受)との係合を、この軸体の回転を妨げることのない状態にて行なう必要がある。   Further, when each shaft body is rotationally driven as described above, the engagement between the elastic body that supports each shaft body, the shaft body, and the frame body (or bearing) prevents the shaft body from rotating. It is necessary to carry out in the state without.

例えば、図2に示す弾性体17は、その上端部にて筒体25aを支持していて、この筒体25aと減圧部材30を介して軸体13aに係合している。弾性体17はまた、その下端部が別の筒体25bに支持されていて、この筒体25bを介して枠体16に係合している。従って、軸体13aは、減圧部材30の回転軸受32に軸支された柱状回転部材31と共に回転可能とされていて、そして減圧部材30及び筒体25aと共に下降可能とされている。   For example, the elastic body 17 shown in FIG. 2 supports the cylindrical body 25 a at its upper end, and is engaged with the shaft body 13 a via the cylindrical body 25 a and the decompression member 30. The elastic body 17 also has a lower end portion supported by another cylindrical body 25b and is engaged with the frame body 16 through the cylindrical body 25b. Therefore, the shaft body 13a can be rotated together with the columnar rotating member 31 pivotally supported on the rotary bearing 32 of the decompression member 30, and can be lowered together with the decompression member 30 and the cylindrical body 25a.

なお、弾性体17を、その下端部を直接的にあるいは別の部品を介して軸受で支持することにより、この軸受(例、軸受81)に係合させることもできる。   The elastic body 17 can also be engaged with this bearing (eg, bearing 81) by supporting the lower end of the elastic body 17 directly or via another component.

図15は、図1の微小部品配置ユニット10を、全ての電子部品91a〜91fを同時に吸着するため、軸体13a〜13fを微小部品吸着ノズル12a〜12fと共に下降させた状態にて示す図である。   FIG. 15 is a diagram illustrating the micro component placement unit 10 of FIG. 1 in a state where the shaft bodies 13a to 13f are lowered together with the micro component suction nozzles 12a to 12f in order to simultaneously suck all the electronic components 91a to 91f. is there.

図12に示すように、押圧補助部材61は、押圧装置51の底面(すなわち可動ブロック52の底面)の下方の領域の外側に移動可能とされていることが好ましい。   As shown in FIG. 12, it is preferable that the pressing assisting member 61 be movable outside a region below the bottom surface of the pressing device 51 (that is, the bottom surface of the movable block 52).

このような構成を採用すると、押圧補助部材駆動機構71により押圧補助部材61を押圧装置51の底面の下方の領域の外側に移動して、次いで押圧装置51の可動ブロック52を下降させることにより、図12に示すように軸体13a〜13fを同時に下降させ、複数個の微小部品吸着ノズル12a〜12fのそれぞれに同時に電子部品91a〜91fを吸着させることができる。このような操作により、微小部品吸着ノズル12a〜12fに短時間で電子部品を吸着させることができるため、複数個の電子部品を極めて効率良くプリント配線板の表面に実装することができる。   When such a configuration is adopted, the pressing auxiliary member driving mechanism 71 moves the pressing auxiliary member 61 to the outside of the region below the bottom surface of the pressing device 51, and then lowers the movable block 52 of the pressing device 51, As shown in FIG. 12, the shaft bodies 13a to 13f can be lowered at the same time, and the electronic components 91a to 91f can be simultaneously sucked by the plurality of minute component suction nozzles 12a to 12f. By such an operation, the electronic components can be adsorbed to the minute component adsorbing nozzles 12a to 12f in a short time, so that a plurality of electronic components can be mounted on the surface of the printed wiring board extremely efficiently.

本発明の微小部品配置ユニットは、微小な電子部品や機械部品に代表される各種微小部品を実装あるいは移動する装置に組み込んで有利に用いることができる。電子部品の例としては、チップコンデンサやチップ抵抗に代表されるチップ型電子部品が挙げられる。機械部品の例としては、携帯電話に搭載されるカメラに用いられる小サイズの光学レンズや光学フィルタが挙げられる。   The micro component placement unit of the present invention can be advantageously used by being incorporated in an apparatus for mounting or moving various micro components typified by micro electronic components and mechanical components. Examples of the electronic component include a chip type electronic component represented by a chip capacitor and a chip resistor. Examples of mechanical parts include small-sized optical lenses and optical filters used in cameras mounted on mobile phones.

本発明の部品配置ユニットは、例えば、上記のような小サイズの光学レンズや光学フィルタを携帯電話内部の所定位置に装着する装置、あるいはトレイに収容された微小部品を移動して、顧客の注文に応じて別のトレイに収容配置する装置に組み込んで用いることもできる。   The component placement unit according to the present invention moves, for example, a device for mounting a small-sized optical lens or optical filter as described above to a predetermined position inside a mobile phone, or a micro component housed in a tray, and orders a customer. Accordingly, it can be used by being incorporated in a device that is accommodated in another tray.

10 微小部品配置ユニット
12a、12b、12c、12d、12e、12f 微小部品吸着ノズル
13a、13b、13c、13d、13e、13f 軸体
14a 直線溝
15 昇降機構
15a、15b、15c、15d、15e、15f 昇降手段
16 枠体
17 弾性体
19 支持板
21 棚板
22 軸体の内部空間
24 接続部材
25a、25b 筒体
30 減圧部材
30a 管路
31 柱状回転部材
31a 垂直管路部
31b 開口部
31c 側管部
31d ボルト
31e ねじ
32 回転軸受
32a 回転軸受本体
32b 筒体
32c 透孔
32d 蓋体
33 封止部材
34 環状空間部
35 接続具
35a 接続具の内部空間
36 管状体
36a 管状体の内部空間
40 減圧部材
51 押圧装置
52 可動ブロック
53 回転駆動装置
53a 回転軸
54 ロッド
55 プレート
56 直動案内装置
56a レール
56b スライダ
59a 回転駆動装置53の回転軸53aの回転方向を示す矢印
61 押圧補助部材
61a 円盤状部材
61b 移動部材
62a、62b、62c プレート
63 直動案内装置
63a レール
63b スライダ
64 弾性体
65 直動案内装置
65a レール
65b スライダ
69a、69b 押圧補助部材61の移動方向を示す矢印
71 押圧補助部材駆動機構
72 環状ベルト
73 駆動装置
74 回転駆動装置
74a 回転軸
75a、75b、75c、75d、75e プーリ
76 接続部材
79a プーリ75aの回転方向を示す矢印
79b 環状ベルト72の循環移動の方向を示す矢印
81 軸受
82 回転軸受
83 回転駆動装置
83a 回転軸
84a、84b、84c、84d、84e、84f プーリ
85a、85b、85c、85d プーリ
86a、86b、86c、86d、86e、86f 環状ベルト
87 回転軸
91a、91b、91c、91d、91e、91f 電子部品
92 トレイ
93 プリント配線板
10 Micro component placement unit 12a, 12b, 12c, 12d, 12e, 12f Micro component suction nozzle 13a, 13b, 13c, 13d, 13e, 13f Shaft body 14a Linear groove 15 Lifting mechanism 15a, 15b, 15c, 15d, 15e, 15f Lifting means 16 Frame body 17 Elastic body 19 Support plate 21 Shelf plate 22 Internal space of shaft body 24 Connection member 25a, 25b Cylindrical body 30 Depressurizing member 30a Pipe line 31 Columnar rotating member 31a Vertical pipe part 31b Opening part 31c Side pipe part 31d Bolt 31e Screw 32 Rotary bearing 32a Rotary bearing body 32b Cylindrical body 32c Through-hole 32d Lid body 33 Sealing member 34 Annular space 35 Connecting device 35a Internal space of connecting device 36 Tubular body 36a Internal space of tubular body 40 Depressurizing member 51 Pressing device 52 Movable block 53 Rotation driving device 53a Rotating shaft 54 Rod 55 Plate 56 Linear motion guide device 56a Rail 56b Slider 59a Arrow indicating the rotational direction of the rotation shaft 53a of the rotation drive device 53 61 Press assisting member 61a Disk-shaped member 61b Moving member 62a, 62b, 62c Plate 63 Linear motion guide device 63a Rail 63b Slider 64 Elastic body 65 Linear motion guide device 65a Rail 65b Slider 69a, 69b Arrow indicating the moving direction of the pressing auxiliary member 61 71 Pressing auxiliary member driving mechanism 72 Annular belt 73 Driving device 74 Rotating driving device 74a Rotating shaft 75a, 75b, 75c, 75d, 75e Pulley 76 Connection member 79a Arrow indicating the rotation direction of the pulley 75a 79b Arrow indicating the direction of circulation movement of the annular belt 72 81 Bearing 82 Rotating bearing 83 Rotating drive device 83a Rotating shaft 84a, 84b, 8 c, 84d, 84e, 84f Pulley 85a, 85b, 85c, 85d Pulley 86a, 86b, 86c, 86d, 86e, 86f Annular belt 87 Rotating shaft 91a, 91b, 91c, 91d, 91e, 91f Electronic component 92 Tray 93 Printed wiring Board

Claims (3)

減圧機構に接続する微小部品吸着ノズルを下端に備えた軸体および軸体の周囲に備えられた軸体の昇降を案内する軸受からなる微小部品の昇降手段が複数個、それぞれの軸体の頂部および吸着ノズルの下端部を、それぞれが同一の高さにあるような位置関係にて軸体の幅方向に整列配置してなる微小部品の昇降機構、該昇降機構を支持固定している枠体、各昇降手段の軸体と軸受あるいは枠体とに係合して軸体をその頂部の高さが全て所定の高さになるように支持する弾性体、各軸体の頂部の上方に間隔を介して配置された押圧装置、任意の軸体の頂部と押圧装置の底面との間の間隔に挿入することが可能にされている押圧補助部材、そして押圧補助部材に接続し、該押圧補助部材を駆動して水平方向の移動かつ位置決めを行なう押圧補助部材駆動機構を含む微小部品配置ユニットであって、
上記昇降手段の軸受は軸体を回転可能に保持しており、該軸体は内部を中空とした管体から形成され、そして上記減圧機構は、該中空軸体の頂部に装着された、減圧源に接続される管路を有する減圧部材を含むことを特徴とする微小部品配置ユニット。
There are a plurality of minute parts lifting means comprising a shaft body having a minute part suction nozzle connected to the decompression mechanism at the lower end and a bearing for guiding the lifting and lowering of the shaft body around the shaft body, and the top of each shaft body And a lifting / lowering mechanism for minute parts in which the lower end portions of the suction nozzles are aligned in the width direction of the shaft body in such a positional relationship that they are at the same height, and a frame body that supports and fixes the lifting mechanism , An elastic body that engages with the shaft body of each lifting means and the bearing or the frame body and supports the shaft body so that the height of all the top portions thereof is a predetermined height, and is spaced above the top portion of each shaft body A pressing device arranged via a pressure auxiliary member, which can be inserted in a space between the top of any shaft body and the bottom surface of the pressing device, and connected to the pressing auxiliary member. Press auxiliary part that moves and positions in the horizontal direction by driving the member A small part arrangement unit including a drive mechanism,
A bearing of the elevating means holds a shaft body rotatably, the shaft body is formed of a tube body having a hollow inside, and the pressure reducing mechanism is a pressure reducing device mounted on the top of the hollow shaft body. A microcomponent placement unit comprising a decompression member having a conduit connected to a source.
上記減圧部材は、中空軸体の頂部に装着される柱状回転部材と該柱状回転部材を回転可能に軸支する回転軸受とから構成され、上記の管路は、該柱状回転部材の底面から内部上方に垂直に延びる垂直管路部及び該垂直管路部の側面に設けられた開口部から該垂直管路部に交差する方向に延びる側管部を含み、そして該側管部は、柱状回転部材の周面と回転軸受の内周面との間に形成され、外気の侵入が封止部材により阻止されている環状空間部に気体の流通が可能なように接続されている請求項1に記載の微小部品配置ユニット。   The pressure reducing member is composed of a columnar rotating member mounted on the top of a hollow shaft body and a rotary bearing that rotatably supports the columnar rotating member, and the pipe line is formed from the bottom surface of the columnar rotating member to the inside. A vertical pipe section extending vertically upward, and a side pipe section extending in a direction intersecting the vertical pipe section from an opening provided in a side surface of the vertical pipe section, and the side pipe section rotates in a columnar shape 2. The device according to claim 1, which is formed between a peripheral surface of the member and an inner peripheral surface of the rotary bearing, and is connected to an annular space portion in which intrusion of outside air is prevented by the sealing member so that gas can flow. The micro component placement unit described. 柱状回転部材の側管部が垂直管路部に垂直な平面上に延びている請求項2に記載の微小部品配置ユニット。   The micro component placement unit according to claim 2, wherein the side tube portion of the columnar rotating member extends on a plane perpendicular to the vertical pipe portion.
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