JP5834845B2 - シート体保持装置、シート体加工装置、シート体保持方法、シート体加工方法および表示器用部品製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、シート体を所望の形状に切断処理する際にシート体を吸着して保持するシート体保持装置およびシート体保持方法、そのような装置・方法によって保持した状態のシート体を切断処理するシート体加工装置およびシート体加工方法、並びに、加工したシート体を用いて表示器用部品を製造する表示器用部品製造方法に関するものである。

例えば、特開２０１０−０５３３１０号公報には、粘着剤層、難加工性材料層および基材シートがセパレータの上にこの順で積層されたシート体（粘着シート）を対象としてハーフカット加工を行う方法（シート体加工方法）が開示されている。この場合、この公開公報に開示されているシート体加工方法では、シート体のハーフカット対象部位にレーザービーム（レーザー光）を照射することにより、レーザービームの照射部位において、粘着剤層、難加工性材料層および基材シートを切断する。これにより、粘着剤層、難加工性材料層および基材シートの積層体が、レーザービームの照射部位によって囲まれた内側部位と、その周囲の外側部位とに分離可能な状態に加工される。

特開２０１０−０５３３１０号公報（第３−５頁、第１図）

ところが、上記したシート体加工方法には、以下の改善すべき課題が存在する。すなわち、従来のシート体加工方法では、シート体にレーザービームを照射することにより、レーザービームの照射部位において、粘着剤層、難加工性材料層および基材シートを切断している。この場合、レーザービームの照射によるシート体加工方法では、シート体に対するレーザービームの照射に伴ってシート体の構成材料が気化して煙となり、この煙（煙を構成する微粒子）がシート体に付着して汚れが生じることがある。したがって、レーザービームの照射による切断処理に際しては、シート体の周囲の空気を排煙装置によって除去するのが好ましい。

一方、この種のシート体加工方法に従ってシート体を加工してシート状の製品を製造する際には、上記の公開公報に開示されているようなハーフカット加工だけでなく、加工対象のシート体における厚み方向の全体を切断するフルカット加工を実施する必要が生じることがある。ここで、出願人は、レーザービームの照射によるシート体のフルカット加工を試みたところ、排煙装置の稼働に伴ってシート体の周囲に生じる風に起因して、切断処理中にシート体が移動してレーザービームの照射位置（すなわち、切断位置）にずれが生じたり、切断された小片（シート体から切り出された製品）が、次に切断処理を実行すべき位置に飛ばされて、この小片（製品）にレーザービームが照射されて製品に傷付きが生じると共に、切断すべき部位にレーザービームが十分に照射されずにシート体を正常に切断することができない事態を招いたりすることがあるのを見いだした。

したがって、出願人は、排煙装置の稼働時に生じる風に起因する上記の問題点を克服するために、シート体の裏面に接してシート体を吸着する吸着ステージを備えたシート体保持装置によってシート体を保持した状態で切断処理を実行するシート体加工方法を開発した。この場合、レーザービームの照射による切断処理に際して、加工対象のシート体における裏面の全域に接する吸着ステージによってシート体を吸着して保持した場合には、シート体においてレーザービームの照射によって溶融した部位（すなわち、切断部位）が吸着ステージの表面に貼り付いてしまうことがある。そこで、出願人は、シート体におけるレーザービームの照射部位の裏面に対して吸着ステージを非接触状態とするために、切断処理時におけるレーザービームの走査ラインに沿って溝部を形成した吸着ステージを使用してシート体を吸着して保持する方法を開発した。

しかしながら、そのような吸着ステージを使用してシート体を保持しつつ、レーザービームの照射によってシート体を切断したときには、シート体の表面側については、レーザービームの照射に伴って生じた煙を排煙装置によって除去することができるものの、シート体の裏面側については、上記の溝部内に煙が停滞することとなり、この煙がシート体に付着して、シート体の裏面における切断部位の近傍に汚れが生じるおそれがある。このため、レーザービームの照射によるシート体のフルカット加工に際しては、溝部内の空気を吸引して煙を除去するのが好ましい。

一方、排煙を目的として溝部内の空気を吸引したときには、シート体の表面側の気圧よりも、シート体の裏面側（溝部内）の気圧の方が低い状態となる。したがって、溝部上のシート体が溝部内に引き込まれるようにしてシート体に撓みが生じることとなる。この場合、好適な排煙を実現するために、シート体の裏面側（溝部内）の空気を大量に吸引するほど、シート体が溝部内に引き込まれる度合い、すなわち、シート体に生じる撓みの度合いが大きくなる。したがって、排煙を目的として溝部内の空気を吸引しつつレーザービームを照射する加工方法では、切断された小片（製品）における外縁部に反りが生じて、製品の商品的価値を低下させるおそれがあるため、この点を改善するのが好ましい。

本発明は、かかる課題に鑑みてなされたものであり、製品の商品的価値を低下させる要因となる外観不良や変形の発生を回避し得るシート体保持装置、シート体加工装置、シート体保持方法およびシート体加工方法、並びに、そのようなシート体加工方法に従って加工されたシート体を用いて表示器用部品を製造する表示器用部品製造方法を提供することを主目的とする。

上記目的を達成すべく本発明に係るシート体保持装置は、シート体における第１の領域の端に沿って当該シート体にレーザービームを照射して当該第１の領域の周囲の第２の領域から当該第１の領域を切り離す切断処理に際して当該シート体の裏面に接して当該シート体を吸着する吸着ステージを備えて当該シート体を保持可能に構成されたシート体保持装置であって、前記吸着ステージは、突端面が前記第１の領域の前記裏面に接するように配設された第１の凸状部と、突端面が前記第２の領域の前記裏面に接するように配設された第２の凸状部とを備えると共に、前記第１の凸状部と前記第２の凸状部との間に溝部が設けられて構成され、前記第１の凸状部には、負圧供給源に接続されて前記シート体の前記裏面と当該第１の凸状部の前記突端面との間の気体を吸気して前記第１の領域の前記裏面を当該第１の凸状部に吸着させるための第１の吸気孔が形成され、前記第２の凸状部には、前記負圧供給源に接続されて前記シート体の前記裏面と当該第２の凸状部の前記突端面との間の気体を吸気して前記第２の領域の前記裏面を当該第２の凸状部に吸着させるための第２の吸気孔が形成され、前記溝部には、前記負圧供給源に接続されて当該溝部内の気体を吸気する第３の吸気孔と、正圧供給源に接続されて当該溝部内に気体を噴出する噴出孔とが形成され、前記噴出孔から前記溝部内に気体を噴出させつつ、前記第１の吸気孔、前記第２の吸気孔および前記第３の吸気孔から前記気体を吸気して前記シート体を吸着して保持する。

また、本発明に係るシート体加工装置は、上記のシート体保持装置と、前記シート体に前記レーザービームを照射するレーザー装置とを備えて、前記切断処理に際して、前記シート体保持装置によって吸着して保持した状態の前記シート体に前記レーザー装置によって前記レーザービームを照射して当該レーザービームの照射部位において当該シート体を切断して前記第１領域を前記第２領域から切り離す。

また、本発明に係るシート体保持方法は、シート体における第１の領域の端に沿って当該シート体にレーザービームを照射して当該第１の領域の周囲の第２の領域から当該第１の領域を切り離す切断処理に際して当該シート体の裏面に接して当該シート体を吸着する吸着ステージによって当該シート体を保持するシート体保持方法であって、突端面が前記第１の領域の前記裏面に接するように配設された第１の凸状部と、突端面が前記第２の領域の前記裏面に接するように配設された第２の凸状部とを備えると共に、前記第１の凸状部と前記第２の凸状部との間に溝部が設けられ、かつ前記第１の凸状部には、負圧供給源に接続されて前記シート体の前記裏面と当該第１の凸状部の前記突端面との間の気体を吸気して前記第１の領域の前記裏面を当該第１の凸状部に吸着させるための第１の吸気孔が形成され、前記第２の凸状部には、前記負圧供給源に接続されて前記シート体の前記裏面と当該第２の凸状部の前記突端面との間の気体を吸気して前記第２の領域の前記裏面を当該第２の凸状部に吸着させるための第２の吸気孔が形成され、前記溝部には、前記負圧供給源に接続されて当該溝部内の気体を吸気する第３の吸気孔と、正圧供給源に接続されて当該溝部内に気体を噴出する噴出孔とが形成された前記吸着ステージを使用して、前記噴出孔から前記溝部内に気体を噴出させつつ、前記第１の吸気孔、前記第２の吸気孔および前記第３の吸気孔から前記気体を吸気して前記シート体を吸着して保持する。

さらに、本発明に係るシート体保持方法は、前記溝部内の気圧が前記シート体における前記レーザービームの照射面側の気圧以下となるように、前記噴出孔からの前記気体の噴出量および前記第３の吸気孔からの前記気体の吸気量の少なくとも一方を調整する。

また、本発明に係るシート体加工方法は、上記のシート体保持方法に従って前記シート体を保持した状態で前記切断処理を実行する。

また、本発明に係る表示器用部品製造方法は、少なくともタッチパネル本体を備えて構成された表示器用部品の製造に際して、上記のシート体加工方法に従って前記切断処理を実行して製造した前記第１領域からなる前記シート体を前記タッチパネル本体の表面に貼付して前記表示器用部品を製造する。

本発明に係るシート体保持装置およびシート体保持方法によれば、突端面が第１の領域の裏面に接するように配設された第１の凸状部と、突端面が第２の領域の裏面に接するように配設された第２の凸状部との間に設けられた溝部内に、溝部に形成された噴出孔から気体を噴出させつつ、第１の凸状部に形成された第１の吸気孔、第２の凸状部に形成された第２の吸気孔、および溝部に形成された第３の吸気孔から気体を吸気してシート体を吸着ステージによって吸着して保持することにより、溝部内に生じた煙を第３の吸気孔からの吸気によって排煙することができるため、シート体の裏面における切断部位の近傍に煙が付着して外観不良が生じる事態を回避することができると共に、溝部内の気体を第３の吸気孔から吸気するだけの構成・方法とは異なり、噴出孔から溝部内に気体を噴出している分だけ、溝部内の気圧がシート体におけるレーザービームの照射面側の気圧に対して過剰に低くなる事態を回避することができるため、溝部内に引き込まれるような変形がシート体に生じる事態を回避することができる結果、切断処理によって製造されるシート状の製品を全域に亘ってフラットな状態とすることができる。

また、本発明に係るシート体保持方法によれば、溝部内の気圧がシート体におけるレーザービームの照射面側の気圧以下となるように、噴出孔からの気体の噴出量および第３の吸気孔からの気体を吸気量の少なくとも一方を調整することにより、例えば、噴出孔からの気体の噴出量が多過ぎて、溝部内の気圧がシート体におけるレーザービームの照射面側の気圧に対して高くなる事態を回避できる結果、保持しているシート体に、溝部から離反する向きで盛り上がるような変形が生じる事態を回避することができる。

また、本発明に係るシート体加工装置およびシート体加工方法によれば、上記のいずれかのシート体保持方法に従ってシート体を保持した状態でシート体にレーザービームを照射してレーザービームの照射部位においてシート体を切断して第１領域を第２領域から切り離す切断処理を実行することにより、煙の付着に起因する外観不良や、端部の変形を招くことなく、全域においてフラットで綺麗な製品を製造することができる。

また、本発明に係る表示器用部品製造方法によれば、上記のシート体加工方法に従って切断処理を実行して製造した第１領域からなるシート体をタッチパネル本体の表面に貼付して表示器用部品を製造することにより、煙の付着に起因する外観不良や、端部の変形が生じていない綺麗な製品を備えた商品的価値が十分に高い表示器用部品を提供することができる。

切断処理装置１の構成図である。 切断処理装置１におけるシート体保持部２の構成図である。 携帯電話機２００の正面図である。 携帯電話機２００におけるタッチパネル２２０の断面図である。 シート体保持部２における吸着ステージ２０の平面図である。 図５におけるＡ−Ａ線断面図である。 図５におけるＢ１−Ｂ１線断面図である。 図５におけるＢ２−Ｂ２線断面図である。 枠体２１の平面図である。 吸着ステージ２０および中間体１００の拡大平面図である。 カバーシート１０の断面図である。 カバーシート１０を製造するための中間体１００の平面図である。 レーザービームＬの照射位置について説明するための吸着ステージ２０および中間体１００の断面図である。 中間体１００に対するレーザービームＬの照射処理について説明するための説明図である。 中間体１００に対するレーザービームＬの照射処理について説明するための他の説明図である。 １回目のレーザービームＬの照射処理が完了した状態の中間体１００の断面図である。 ２回目のレーザービームＬの照射処理が完了した状態の中間体１００の断面図である。 ３回目のレーザービームＬの照射処理が完了した状態の中間体１００の断面図である。 ４回目のレーザービームＬの照射処理が完了した状態の中間体１００の断面図である。 中間体１００に対するレーザービームＬの照射処理について説明するためのさらに他の説明図である。 照射開始位置ＰＳから位置Ｐ１までのレーザービームＬの照射軌跡と、位置Ｐ２から照射終了位置ＰＥまでのレーザービームＬの照射軌跡との交点ＰＣについて説明するための説明図である。 カバーシート１０の平面図である。

以下、シート体保持装置、シート体加工装置、シート体保持方法、シート体加工方法および表示器用部品製造方法の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。

図１に示す切断処理装置１は、「シート体加工装置」の一例であって、図３に示す携帯電話機２００における表示器２１０の構成部品であるタッチパネル２２０（「表示器用部品」の一例：図４参照）の製造に際して、「シート体加工方法」に従って「切断処理」を実行して、図１１，２２に示すカバーシート１０を製造可能に構成されている。

この場合、図３に示すように、携帯電話機２００は、バックライト装置およびＬＣＤパネル（図示せず）と、上記のタッチパネル２２０とが一体化されて構成された表示器２１０を備えている。また、図４に示すように、タッチパネル２２０は、透明電極部２２１、粘着層２２２、カバーガラス２２３およびカバーシート１０を備えて構成されている。なお、本例では、透明電極部２２１、粘着層２２２およびカバーガラス２２３が相俟って「タッチパネル本体」を構成する。

透明電極部２２１は、一例として、ＩＴＯ膜等で透明電極が形成された透明電極フィルムの積層体で構成されている。なお、透明電極部２２１の具体的な構成については周知のため、その層構造についての図示や詳細な説明を省略する。粘着層２２２は、透明電極部２２１にカバーガラス２２３を接着するための粘着剤で構成されている。カバーガラス２２３は、タッチパネル２２０の物理的強度を確保するための支持体であって薄厚の強化ガラスで構成されている。

カバーシート１０は、上記のカバーガラス２２３の傷付きを阻止するための保護カバーとしての機能、および携帯電話機２００の正面パネル（表示器２１０の前面）に図柄Ｍａ（図３，１２，２２参照：この例では、表示器２１０における画面表示エリアの周囲に設けられた「外枠」の図柄）を付与する機能を有するシート体であって、後述するようにして、切断処理装置１によって表示器２１０の外形と同形に切断されて、図４に示すように、カバーガラス２２３の表面（「タッチパネル本体」の表面）に貼付される。

この場合、図１１に示すように、切断処理装置１によって製造されるカバーシート１０は、シート本体１１の一方の面（同図における下面）にハードコート層１２が形成され、かつ、このハードコート層１２の表面を覆うようにして保護フィルム１３が貼付されると共に、シート本体１１の他方の面（同図における上面）に印刷層１４、スペーサ層１５および粘着層１６がこの順で形成され、かつ、粘着層１６を覆うようにしてセパレータ１７が配設されて、その厚みが２８０μｍ程度に形成されている。

シート本体１１は、一例として、厚み１２５μｍ程度のＰＥＴ（Polyethylene terephthalate）フィルムで構成されている。ハードコート層１２は、アクリル樹脂を主成分とするハードコート層形成用の樹脂材料を塗布して硬化させることにより、厚み５μｍ程度の薄膜状に形成されている。保護フィルム１３は、一例として厚み５０μｍ程度のＰＥＴフィルム（シート本体１１と同じ材料で形成されたフィルム）で構成されている。印刷層１４は、前述した図柄Ｍａや、中間体１００（「シート体」の一例：図１２参照）を対象とする切断処理時に切断する位置を特定するための位置決め用マークＭｂ等を付与するための層であって、酸化チタンやカーボンブラック等の顔料を含んだビニルウレタン樹脂等の有色樹脂材料で厚み１０μｍ程度の薄膜状に形成されている。なお、図３，１２，２２では、この印刷層１４が形成されている部位を網線で塗り潰して図示している。

スペーサ層１５は、印刷層１４の存在に起因してシート本体１１の一面に生じた段差を埋めるための機能層であって、一例として、紫外線硬化樹脂を塗布して硬化させることにより、印刷層１４が存在する部位の厚みが１４μｍ程度で、印刷層１４が存在しない部位の厚みが２４μｍ程度となるように形成されている。粘着層１６は、アクリル系接着剤層転写フィルムをスペーサ層１５の表面に貼合させてアクリル系接着剤層（粘着剤）をスペーサ層１５に転写させることにより、厚み２５μｍ程度の薄膜状に形成されている。セパレータ１７は、一例として厚み５０μｍ程度のＰＥＴフィルム（シート本体１１と同じ材料で形成されたフィルム）で構成されている。

この場合、このカバーシート１０では、最も厚いシート本体１１を構成する材料（この例では、ＰＥＴ）と同じ材料によって形成した保護フィルム１３およびセパレータ１７を採用している。したがって、例えば、シート本体１１とは相違する材料（一例として、ＰＥ（Polyethylene））で形成した保護フィルムおよびセパレータを採用した構成とは異なり、後述する「切断処理」に際して、シート本体１１の切断に適したレーザービームＬを中間体１００に照射したときに、レーザービームＬの照射部位において保護フィルム１３やセパレータ１７が過度に消失したり、保護フィルム１３やセパレータ１７に焦げが生じたり、保護フィルム１３やセパレータ１７の消失の度合いが小さ過ぎて切断が不完全となったりすることを回避することができる。

なお、後述するように、タッチパネル２２０の製造に際してカバーガラス２２３にカバーシート１０を貼付する際には、粘着層１６からセパレータ１７が剥がされる。また、カバーガラス２２３に対する貼付を完了した状態においては、必要に応じてハードコート層１２から保護フィルム１３が剥がされる。このため、図４に示すように、カバーガラス２２３に貼付された状態のカバーシート１０では、上記の保護フィルム１３やセパレータ１７が存在しない状態となる。また、図１２に示すように、本例では、横３列×縦２行の６枚のカバーシート１０を製造可能に印刷層１４が形成された中間体１００を対象として「切断処理」を実行する例について説明する。この場合、中間体１００の層構造は、上記のカバーシート１０の層構造と同様のため、詳細な説明を省略する。

一方、図１に示すように、切断処理装置１は、シート体保持部２、レーザー装置３、移動機構４、排煙装置５、カメラ６、操作部７および制御部８を備え、後述するようにして、中間体１００を対象とする切断処理を実行して上記のカバーシート１０を製造する。シート体保持部２は、「シート体保持装置」の一例であって、図２に示すように、負圧供給源３０Ｌおよび正圧供給源３０Ｈに接続された吸着ステージ２０を備えて、加工対象物（この例では、中間体１００）を吸着して保持することができるように構成されている。また、吸着ステージ２０は、図５〜８に示すように、枠体２１および本体部２２，２２を備えて構成されている。

枠体２１は、図９に示すように、その一面（図６〜８における上面）に本体部２２を取り付けるための２つの取付け用凹部４２が形成されると共に、両取付け用凹部４２の周囲に枠部４１が形成されている。この場合、図５〜９に示すように、枠部４１には、その突端面４１ａに通気溝４３が形成されると共に、通気溝４３の底部には、複数の吸気孔４４（図５，７参照）が形成されている。また、図６，７，９に示すように、両取付け用凹部４２の底部には、後述する枠体２１の各凸状部５１の位置に合わせてそれぞれ３つの吸気孔４５が形成されている。さらに、図５，８，９に示すように、両取付け用凹部４２の底部には、後述するように取付け用凹部４２に取り付けられた状態の本体部２２における各通気溝５５の位置に合わせて、それぞれ４つの吸気孔４６（「第３の吸気孔」の一例）と４つの噴出孔４７（「噴出孔」の一例）とが形成されている。また、図９に示すように、両取付け用凹部４２の底部には、それぞれ４つのねじ孔４８（本体部２２を取付けるための固定用ねじをねじ込むための孔）が形成されている。

本体部２２，２２は、互いに等しい形状に形成されている。この場合、図５，６に示すように、両本体部２２は、枠体２１に取り付けるための固定用ねじを挿通可能な挿通孔５４が設けられた各一対の固定部５３と、中間体１００においてカバーシート１０として切り出す領域の位置に応じて両固定部５３，５３の間に配置されたそれぞれ３つの凸状部５１とを備えて形成されている。また、各凸状部５１には、その突端面５１ａにそれぞれ９つの吸気孔５２が形成されている。さらに、固定部５３と凸状部５１との間、および隣接する凸状部５１，５１の間には、「溝部」の一部を構成する通気溝５５がそれぞれ形成されている。

また、本例の吸着ステージ２０では、図６，７に示すように、枠体２１の取付け用凹部４２に本体部２２を取り付けた状態において、取付け用凹部４２の底面と本体部２２における各凸状部５１の裏面との間に空間６１が形成されて、各凸状部５１に形成された９つの吸気孔５２が、この空間６１を介して吸気孔４５にそれぞれ連通させられる構成が採用されている。さらに、本例の吸着ステージ２０では、図５〜８に示すように、枠体２１の取付け用凹部４２に本体部２２を取り付けた状態において、枠体２１の枠部４１と、本体部２２の各凸状部５１や固定部５３との間に「溝部」の他の一部を構成する通気溝６２が形成される構成が採用されている。

また、本例の吸着ステージ２０では、図５，８に示すように、取付け用凹部４２に取り付けた状態の本体部２２における各通気溝５５の両端部の一方に吸気孔４６が位置すると共に各通気溝５５の両端部の他方に噴出孔４７が位置するように吸気孔４６および噴出孔４７の形成位置が規定されている。この場合、上記の各吸気孔４４、各吸気孔４５および各吸気孔４６は、図示しない負圧供給ラインを介して負圧供給源３０Ｌに接続され、上記の各噴出孔４７は、図示しない正圧供給ラインを介して正圧供給源３０Ｈに接続されている。

なお、本例とは相違するが、各吸気孔４４、各吸気孔４５および各吸気孔４６を接続する「負圧供給源」については、単一の（共通の）「負圧供給源」ではなくてもよい。具体的には、一例として、各吸気孔４４，４５を接続する「負圧供給源」（「シート体」の吸着保持を主目的とする負圧を供給する「負圧供給源」）と、各吸気孔４６を接続する「負圧供給源」（排煙を主目的とする負圧を供給する「負圧供給源」）とを別個に設けて、各吸気孔４４，４５，４６をそれぞれ接続する構成を採用することができる。また、各吸気孔４４，４５，４６を任意にグループ分けして、各グループ毎に別個の「負圧供給源」にそれぞれ接続する構成を採用することもできる。

また、本例では、後述するように、中間体１００に設けられた平面視長方形状の６つの領域を順次切断することで１枚の中間体１００から６枚のカバーシート１０を製造する製造方法（６つの領域を同時に切断しない製造方法）を採用している。したがって、６つの領域のうちの１つを「第１の領域」としてその周囲の領域から切り離す「切断処理」においては、その１つの領域の周囲の全域が「第２の領域」に相当する。このため、本例の吸着ステージ２０では、６つの凸状部５１のうちの「切断対象の領域」の裏面に接してこれを吸着している凸状部５１の突端面５１ａが「第１の凸状部の突端面」に相当し、かつ、この凸状部５１に形成されている吸気孔５２が「第１の吸気孔」に相当すると共に、他の５つの凸状部５１における突端面５１ａおよび枠部４１の突端面４１ａが相まって「第２の凸状部の突端面」を構成し、かつ、この５つの凸状部５１に形成されている吸気孔５２、および枠部４１に形成されている吸気孔４４(通気溝４３）が「第２の吸気孔」に相当する。

また、図２に示すように、本例のシート体保持部２では、上記の負圧供給ラインを介して負圧供給源３０Ｌに接続される接続用配管２５Ｌに制御弁２３Ｌおよび調整弁２４Ｌが配設されると共に、上記の正圧供給ラインを介して正圧供給源３０Ｈに接続される接続用配管２５Ｈに制御弁２３Ｈおよび調整弁２４Ｈが配設されている。制御弁２３Ｌは、制御部８の制御に従って接続用配管２５Ｌを開放または閉塞し、制御弁２３Ｈは、制御部８の制御に従って接続用配管２５Ｈを開放または閉塞する。調整弁２４Ｌ，２４Ｈは、一例として、手動操作式の流量調整バルブで構成されて、調整弁２４Ｌは、吸気孔４４（通気溝４３）、吸気孔５２（吸気孔４５）および吸気孔４６を介しての空気（「気体」の一例）の吸気量を調整する際に操作され、調整弁２４Ｈは、噴出孔４７からの空気（「気体」の一例）の噴出量を調整する際に操作される。

レーザー装置３は、加工対象物を切断するためのレーザービームＬを出射可能に構成されている。この場合、本例の切断処理装置１では、一例として、炭酸ガスレーザー装置（ＰＥＴで形成された対象物の加工に適したレーザービームＬを照射可能な装置の一例）でレーザー装置３が構成されている。このレーザー装置３は、レーザービーム発生部において発生させたレーザービームＬ（一例として、波長９．３μｍのレーザービーム）を制御部８の制御に従って偏向することによって、加工対象物の任意の部位にレーザービームＬを照射できるように構成されている。移動機構４は、制御部８の制御に従ってシート体保持部２の吸着ステージ２０をレーザー装置３に対して移動させることで、各凸状部５１のうちのいずれか（切断処理を実行する対象の領域の裏面を吸着している凸状部５１）をレーザー装置３の下方に位置させる。

排煙装置５は、加工対象物（中間体１００）におけるレーザービームＬの照射面側に配設されて、レーザー装置３によるレーザービームＬの照射によって加工対象物から発生した煙（レーザービームＬの照射によって気化した中間体１００の構成物）を吸引して、図示しないダクトの排気口から排出する排煙処理を実行する。カメラ６は、レーザー装置３によるレーザービームＬの照射位置を位置決めするために加工対象物に付されたマーク（一例として、後述する位置決め用マークＭｂ（図１２参照）など）を撮像して、その撮像データを制御部８に出力する。

操作部７は、切断処理の開始や停止を指示するための複数の操作スイッチを備え（図示せず）、スイッチ操作に応じた操作信号を制御部８に出力する。制御部８は、切断処理装置１を総括的に制御する。具体的には、制御部８は、操作部７からの操作信号に従って「切断処理」を開始して、制御弁２３Ｌを制御して接続用配管２５Ｌを開放させることで各吸気孔４４（通気溝４３）、各吸気孔４５（各吸気孔５２）および各吸気孔４６からの空気の吸気を開始させると共に、制御弁２３Ｈを制御して接続用配管２５Ｈを開放させることで各噴出孔４７から通気溝５５，６２内への空気の噴出を開始させることで、吸着ステージ２０に中間体１００を吸着させて保持させる。

また、制御部８は、カメラ６を制御して、シート体保持部２によって保持されている中間体１００を撮像させると共に、カメラ６から出力された撮像データに基づき、中間体１００における切断対象部位を特定する。さらに、制御部８は、レーザー装置３を制御して、中間体１００にレーザービームＬを照射させることで予め規定された部位を切断させると共に、排煙装置５を制御して、レーザービームＬの照射によって発生した煙を除去する排煙処理を実行させる。

上記のカバーシート１０の製造に際しては、まず、中間体１００を製造するための原反（図示せず）を製造する。具体的には、長尺の帯状に形成されてロール状に巻回されたシート本体１１（ＰＥＴフィルム）の一方の面にハードコート層形成用の樹脂材料を塗布して硬化させることにより、シート本体１１の一面にハードコート層１２を形成する。次いで、形成したハードコート層１２の傷付きを回避するために、ハードコート層１２の表面に保護フィルム１３を貼付する。続いて、ハードコート層１２の形成および保護フィルム１３の貼付が完了したシート本体１１を、予め規定された長さ（この例では、中間体１００の長さ）に切断する。

次いで、切断したシート本体１１の他方の面（ハードコート層１２を形成した面の裏面）に印刷装置によって図柄Ｍａおよび位置決め用マークＭｂ（図１２参照）を印刷することにより、印刷層１４を形成する。続いて、シート本体１１における印刷層１４の形成面に紫外線硬化型の樹脂材料を塗布して硬化させることにより、スペーサ層１５を形成する。次いで、スペーサ層１５の表面にアクリル系接着剤層転写フィルムを貼合させてアクリル系接着剤層（粘着剤）をスペーサ層１５に転写させることにより、粘着層１６を形成する。この後、粘着層１６を覆うようにしてセパレータ１７を貼付することにより、図１２に示すように、中間体１００が完成する。

次いで、中間体１００を対象とする「切断処理」を実行することでカバーシート１０を製造する。具体的には、まず、セパレータ１７が配設されている面を上向きとし、かつ保護フィルム１３がシート体保持部２の吸着ステージ２０における枠部４１および各凸状部５１の突端面４１ａ，５１ａに接するようにして、図５に破線で示すように、吸着ステージ２０の上に中間体１００を載置する。続いて、操作部７の処理開始スイッチを操作することで、中間体１００に対する「切断処理」を開始させる。この際に、制御部８は、まず、制御弁２３Ｌ，２３Ｈを制御して、接続用配管２５Ｌ，２５Ｈをそれぞれ開放させることにより、吸着ステージ２０を負圧供給源３０Ｌおよび正圧供給源３０Ｈに連通させる。

この際には、吸着ステージ２０の枠体２１に形成された通気溝４３内の空気が吸気孔４４から吸気されることで中間体１００において枠部４１の突端面４１ａに接している部位が枠部４１に吸着される。また、枠体２１と本体部２２との間に形成された各空間６１内の空気が吸気孔４５から吸気されることで本体部２２の各凸状部５１における突端面５１ａと中間体１００との間の空気が各吸気孔５２から空間６１内に吸気されて、中間体１００において各突端面５１ａに接している部位が各凸状部５１にそれぞれ吸着される。これにより、中間体１００が吸着ステージ２０によって保持される。

また、各吸気孔４６から通気溝５５，６２内の空気が吸気されつつ、各噴出孔４７から通気溝５５，６２内に正圧供給源３０Ｈからの空気が噴出されることにより、図１０に矢印Ｃ１で示すように、各通気溝５５内を噴出孔４７から吸気孔４６に向かう気流が発生する。さらに、この気流の発生に起因して、通気溝５５内の空気が通気溝６２内に回り込んだり、通気溝６２内の空気が通気溝５５に向かって移動したりする結果、同図に矢印Ｃ２，Ｃ３で示す向きの気流が通気溝６２内に発生する。

この場合、この切断処理装置１（シート体保持部２）では、各吸気孔４６から通気溝５５，６２内の空気を吸気しつつ各噴出孔４７から通気溝５５，６２内に空気を噴出させた状態において、通気溝５５，６２内の気圧が中間体１００におけるレーザービームＬの照射面側の気圧以下となるように（一例として、両気圧がほぼ等しくなるように）、調整弁２４Ｌ，２４Ｈの開度が調整されている。なお、この調整作業を切断処理の開始に先立って予め実施しておく。これにより、図１３に示すように、中間体１００における通気溝５５，６２（同図では、通気溝６２を図示せず）上の部位に通気溝５５，６２内に引き込まれるような向きの撓みが生じる事態が回避されて、中間体１００がフラットな状態で吸着ステージ２０によって保持される。

次いで、制御部８は、移動機構４を制御することにより、中間体１００においてカバーシート１０として切り出される６つの領域のうちの１つの裏面を吸着している凸状部５１の上方にレーザー装置３が位置するように吸着ステージ２０を移動させる。この場合、例えば、図１０に破線で示す領域Ａ１を「第１の領域」として実行する「切断処理」では、この領域Ａ１の周囲の破線で示す領域Ａ２（一点鎖線で示すＡ１や二点鎖線で示すＡ１を含む領域）が「第２の領域」に相当し、同図に一点鎖線で示す領域Ａ１を「第１の領域」として実行する「切断処理」では、この領域Ａ１の周囲の一点鎖線で示す領域Ａ２（破線で示すＡ１や二点鎖線で示すＡ１を含む領域）が「第２の領域」に相当し、同図に二点鎖線で示す領域Ａ１を「第１の領域」として実行する「切断処理」では、この領域Ａ１の周囲の二点鎖線で示す領域Ａ２（破線で示すＡ１や一点鎖線で示すＡ１を含む領域）が「第２の領域」に相当する。本例では、一例として、破線で示す領域Ａ１を「第１の領域」としてその周囲の領域Ａ２から切り離す例について説明する。

続いて、制御部８は、カメラ６を制御して、シート体保持部２によって保持されている中間体１００を撮像させる。この際に、制御部８は、カメラ６から出力された撮像データを画像解析することによって中間体１００における位置決め用マークＭｂの位置を特定し、特定した位置に基づき、カバーシート１０として切り離す領域Ａ１の端の位置（この例では、図１０に示す破線の位置）を特定する。次いで、制御部８は、排煙装置５を制御して排煙処理を開始させると共に、レーザー装置３を制御して中間体１００に対するレーザービームＬの照射処理を開始させる。

この際に、レーザー装置３は、領域Ａ１の上方に位置させられた状態においてレーザービーム発生部で発生させたレーザービームＬを偏向することにより、図１４に示すように、上記の領域Ａ２内に規定された照射開始位置ＰＳから中間体１００に対するレーザービームＬの照射を開始すると共に、領域Ａ１の端（この例では、位置Ｐ１）に向かって走査しつつ中間体１００にレーザービームＬを照射する。また、排煙装置５は、レーザービームＬの照射によって中間体１００から発生した煙を吸引して排気口から排出する。

次いで、レーザー装置３は、照射を停止することなくレーザービームＬを走査することにより、図１５に示すように、一例として、領域Ａ１の端（外周）に沿って反時計回りで位置Ｐ１から位置Ｐ１まで中間体１００にレーザービームＬを照射する。この際には、レーザービームＬの照射によって中間体１００の構成材料が気化して消失する結果、図１６に示すように、レーザービームＬの照射部位（この例では、領域Ａ１の端）における中間体１００の厚み方向の一部がレーザービームＬの有効ビーム径（照射部位において構成材料が気化して消失し得る照射エネルギーの範囲：一例として、２６０μｍ）の範囲において除去されて、スペーサ層１５に達する深さの溝Ｈ１が中間体１００に形成される。以上により、中間体１００に対する最初（１回目）のビーム照射処理が完了する。

この場合、この切断処理装置１による「切断処理」では、各吸気孔４６から通気溝５５，６２内の空気を吸気しつつ、各噴出孔４７から通気溝５５，６２内に空気を噴出させることで、中間体１００におけるレーザービームＬの照射面側の気圧に対して、通気溝５５，６２内の気圧が過剰に低くなる事態が回避されている。これにより、前述したように、中間体１００における通気溝５５，６２上の部位に通気溝５５，６２内に引き込まれるような向きの撓みが生じる事態が回避されている。

また、図１３に示すように、この中間体１００に対する「切断処理」では、領域Ａ１の上方に位置させられたレーザー装置３から領域Ａ１の端に向かってレーザービームＬが斜めに照射される。したがって、図１６に示すように、領域Ａ１の端に形成された溝Ｈ１は、中間体１００に対するレーザービームＬの照射の向きに応じて、ハードコート層１２側（同図における下側）ほど外側に位置するように斜めに形成される。なお、同図に示す矢印Ｌ１は、最初のビーム照射処理時に中間体１００に照射するレーザービームＬのビーム中心線（レーザー装置３から中間体１００までの間のビーム中心の軌跡）を表している。

次いで、レーザー装置３は、照射を停止することなくレーザービームＬを走査することにより、再び領域Ａ１の端（外周）に沿って反時計回りで位置Ｐ１から位置Ｐ１まで中間体１００にレーザービームＬを照射する。この際に、レーザー装置３は、中間体１００に対するレーザービームＬの照射の向きを、上記の最初のビーム照射処理時におけるレーザービームＬの照射の向きよりも外向きに傾けることにより、レーザー装置３から照射部位までのレーザービームＬのビーム中心線を、領域Ａ１を基準として、最初のビーム照射処理時におけるレーザービームＬのビーム中心線よりも外側に位置させる。

したがって、図１７に示すように、溝Ｈ１における領域Ａ１側の側面（内側の側面）には、有効ビーム径の範囲内のレーザービームＬが照射されることなく、溝Ｈ１における領域Ａ２側の側面（外側の側面）を構成するセパレータ１７および粘着層１６と、溝Ｈ１の下方のスペーサ層１５、印刷層１４、およびシート本体１１におけるスペーサ層１５側の一部とがレーザービームＬの有効ビーム径の範囲において除去されて、シート本体１１における厚み方向の中程に達する深さの溝Ｈ２が中間体１００に形成される。以上により、中間体１００に対する２回目のビーム照射処理が完了する。

なお、この切断処理装置１では、上記の２回目のビーム照射処理時や、後に説明する３回目のビーム照射処理時、および４回目のビーム照射処理時においても、各吸気孔４６から通気溝５５，６２内の空気を吸気しつつ、各噴出孔４７から通気溝５５，６２内に空気を噴出させることで、中間体１００におけるレーザービームＬの照射面側の気圧に対して、通気溝５５，６２内の気圧が過剰に低くなる事態が回避される。したがって、２回目以降のビーム照射処理時においても、前述した１回目のビーム照射処理時と同様にして、中間体１００における通気溝５５，６２上の部位に通気溝５５，６２内に引き込まれるような向きの撓みが生じる事態が回避される。

また、上記したように、２回目のビーム照射処理時におけるレーザービームＬのビーム中心線を、最初のビーム照射処理時におけるレーザービームＬのビーム中心線よりも外側に位置させたことにより、図１７に示すように、中間体１００に形成された溝Ｈ２における領域Ａ１側の側面は、最初のビーム照射処理によって形成された溝Ｈ１の底部の一部が残ってスペーサ層１５の部位に段差が生じた状態となる。この場合、同図に示す矢印Ｌ２は、２回目のビーム照射処理時に中間体１００に照射するレーザービームＬのビーム中心線（レーザー装置３から中間体１００までの間のビーム中心の軌跡）を表している。

なお、２回目のビーム照射処理時におけるレーザービームＬのビーム中心線（矢印Ｌ２）は、最初のビーム照射処理時におけるレーザービームＬのビーム中心線（矢印Ｌ１）よりも外向き（同図における左向き）に傾いた状態となっており、この例では、中間体１００の表面部位における両ビーム中心線のずれ量Ｄは、１０μｍ〜１００μｍの範囲内（有効ビーム径に対する１／２以下：好ましくは、１０μｍ〜３０μｍの範囲内：一例として、１０μｍ程度）となる。この場合、上記のずれ量Ｄが大き過ぎると、切断面に形成される段差が視認され易くなり、その外観が悪化すると共にカバーシート１０が貼付対象物から剥がれ易くなるおそれがある。また、上記のずれ量Ｄが小さ過ぎると、段差を設けることで奏される後述の効果が小さくなる。

続いて、レーザー装置３は、照射を停止することなくレーザービームＬを走査することにより、再び領域Ａ１の端（外周）に沿って反時計回りで位置Ｐ１から位置Ｐ１まで中間体１００にレーザービームＬを照射する。この際に、レーザー装置３は、一例として、中間体１００に対するレーザービームＬの照射の向きを、上記の「２回目のビーム照射処理」時におけるレーザービームＬの照射の向きと同じ向きに揃えて中間体１００にレーザービームＬを照射する。

これにより、図１８に示すように、溝Ｈ２の下方のシート本体１１におけるハードコート層１２側の一部とハードコート層１２とがレーザービームＬの有効ビーム径の範囲において除去されて、保護フィルム１３に達する深さの溝Ｈ３が中間体１００に形成される。以上により、中間体１００に対する３回目のビーム照射処理が完了する。なお、同図に示す矢印Ｌ３は、３回目のビーム照射処理時に中間体１００に照射するレーザービームＬのビーム中心線（レーザー装置３から中間体１００までの間のビーム中心の軌跡）を表している。

次いで、レーザー装置３は、照射を停止することなくレーザービームＬを走査することにより、領域Ａ１の端（外周）に沿って反時計回りで位置Ｐ１から位置Ｐ２まで中間体１００にレーザービームＬを照射する。この際に、レーザー装置３は、一例として、中間体１００に対するレーザービームＬの照射の向きを、上記の２回目のビーム照射処理時、および３回目のビーム照射処理時におけるレーザービームＬの照射の向きと同じ向きに揃えて中間体１００にレーザービームＬを照射する。これにより、図１９に示すように、溝Ｈ３の下方における保護フィルム１３がレーザービームＬの有効ビーム径の範囲において除去される。なお、同図に示す矢印Ｌ４は、４回目のビーム照射処理時に中間体１００に照射するレーザービームＬのビーム中心線（レーザー装置３から中間体１００までの間のビーム中心の軌跡）を表している。

この場合、上記の４回目のビーム照射処理時には、３回目のビーム照射処理によって形成された溝Ｈ３の底部（保護フィルム１３）が除去されて、中間体１００におけるセパレータ１７側の一面（レーザービームＬの照射面側の一面）と保護フィルム１３側の一面（レーザービームＬの照射面とは反対側の一面）とが連通した状態となる。この結果、レーザービームＬの照射によって生じた煙が、中間体１００におけるセパレータ１７の側だけでなく、中間体１００における保護フィルム１３の側（通気溝５５，６２内）にも存在する状態となる。

この場合、前述したように、この切断処理装置１による「切断処理」では、各吸気孔４６から通気溝５５，６２内の空気を吸気しつつ各噴出孔４７から通気溝５５，６２内に正圧供給源３０Ｈからの空気を噴出させることにより、図１０に矢印Ｃ１〜Ｃ３で示すような気流が通気溝５５，６２内に生じている。したがって、中間体１００における保護フィルム１３の側（通気溝５５，６２内）の煙は、上記の気流に乗って通気溝５５，６２内を移動して、各吸気孔４６から排煙される。これにより、中間体１００における保護フィルム１３側の一面に煙が付着してカバーシート１０に外観不良が生じる事態が回避される。

続いて、レーザー装置３は、図２０に示すように、照射を停止することなく、上記の位置Ｐ２（領域Ａ１の端）から、領域Ａ２内に規定された照射終了位置ＰＥまでレーザービームＬを走査して照射終了位置ＰＥにおいて中間体１００に対するレーザービームＬの照射を終了する。以上により、中間体１００に対する４回目のビーム照射処理が完了し、上記の領域Ａ１がカバーシート１０として、その周囲の部位（上記の領域Ａ２に対応する部位）から切り離される。この後、中間体１００においてカバーシート１０として切り出すべく規定された６つの領域のうちの他の５つの領域についても、上記の切断処理と同様の手順で領域Ａ１を領域Ａ２から切り離す。これにより、６枚のカバーシート１０が製造されて、中間体１００に対する「切断処理」が完了する。

なお、上記の「切断処理」では、照射開始位置ＰＳから位置Ｐ１までのレーザービームＬの照射軌跡と、位置Ｐ２から照射終了位置ＰＥまでのレーザービームＬの照射軌跡とが交差している。このため、図２１に示すように、両照射軌跡の交点ＰＣにおいては、他の照射部位よりもレーザービームＬが同一箇所に１回多く照射されることに起因して、レーザービームＬの照射による中間体１００の構成材料の消失量（気化して除去される量）が他の照射部位よりも局所的に多くなる。しかしながら、この切断処理装置１による「切断処理」では、領域Ａ１の端から外側方向に離間した位置において上記の両照射軌跡が交差するようにレーザービームＬを走査している。したがって、交点ＰＣの近傍において領域Ａ１の内側に向かって凹むように中間体１００の構成材料が除去されてカバーシート１０の端に目立った凹みが生じる事態が回避されて、カバーシート１０として切り離す領域Ａ１の端に沿って中間体１００が切断される。

また、完成したカバーシート１０では、図１９に示すように、２回目のビーム照射処理時におけるレーザービームＬのビーム中心線を、最初のビーム照射処理時におけるレーザービームＬのビーム中心線よりも外側に位置させたことにより、その切断面（周面）におけるスペーサ層１５の部位に段差が生じた状態となっている。また、完成したカバーシート１０では、上記の４回の各ビーム照射処理時に、レーザー装置３から領域Ａ１の端に向かってレーザービームＬを斜めに照射したことにより、その端面（切断面）が、切断処理時におけるレーザービームＬの進行方向手前側のセパレータ１７から進行方向奥側の保護フィルム１３に向かって徐々に外向き（同図における左向き）に迫り出すように斜めになっている。これにより、カバーシート１０では、粘着層１６およびセパレータ１７の端面が、印刷層１４、シート本体１１、ハードコート層１２および保護フィルム１３の端面よりも内側（同図における右側）に引っ込んだ状態（奥まった状態）となっている。

この場合、上記の切断処理装置１におけるレーザー装置３は、線速度８０〜９０ｍｍ／ｓ以下で走査しつつレーザービームＬを照射することで、中間体１００や中間体１００の所望の部位を１回のビーム照射処理によって切断できる能力を有している。一方、上記の両切断処理時における各ビーム照射処理では、線速度３００ｍｍ／ｓ程度で走査しつつレーザービームＬを照射するビーム照射処理を４回実行することで、中間体１００や中間体１００の所望の部位を切断している。したがって、上記の両切断処理では、１回のビーム照射処理によって中間体１００の所望の部位を切断する切断処理よりも、各ビーム照射処理の１回当りの中間体１００に対するレーザービームＬの照射エネルギーが十分に小さくなっている。

このため、上記の両切断処理では、ビーム照射処理時に中間体１００に生じる熱量が十分に小さくなっている。これにより、１回のビーム照射処理によって切断するのと比較して、単位時間当りに中間体１００から発生する煙の量が十分に少なくなるため、中間体１００における切断処理部位（レーザービームＬの照射部位）の近傍に高濃度の煙が存在する事態が回避される結果、煙（煙を構成する微粒子）の中間体１００への付着量が十分に少なくなっている。また、中間体１００（レーザービームＬの照射による切断部位の近傍）に熱変形が生じたり、中間体１００の構成材料が炭化して焦げが生じたりする事態が回避されている。

なお、出願人は、３回のビーム照射処理によって中間体１００の所望の部位を切断する際には、線速度２００ｍｍ／ｓ程度で走査しつつレーザービームＬを照射し、２回のビーム照射処理によって中間体１００の所望の部位を切断する際には、線速度１５０ｍｍ／ｓ程度で走査しつつレーザービームＬを照射することにより、線速度３００ｍｍ／ｓ程度で走査しつつレーザービームＬを照射するビーム照射処理を４回実行することで中間体１００の所望の部位を切断する上記の「切断処理」と同様の効果を奏することができるのを確認している。

また、出願人は、中間体１００の切断に際して、レーザービームＬの走査速度を線速度３００ｍｍ／ｓよりも速くしつつ、５回以上のビーム照射処理を実行した場合においても（５回以上のビーム照射処理によって中間体１００を切断した場合においても）、４回のビーム照射処理によって中間体１００を切断する上記の「切断処理」と同様の効果を奏することができるのを確認している。しかしながら、厚み２８０μｍ程度の中間体１００の切断に際して、ビーム照射処理の実行回数を過剰に多くしたときには、最初のビーム照射処理や２回目のビーム照射処理に際して形成した溝Ｈ１，Ｈ２などの側面部分に対して、その後に実行されるビーム照射処理において、有効ビーム径よりも外側のレーザービームＬが幾度も照射されることとなる。この結果、中間体１００におけるレーザービームＬの入射面側（この例では、セパレータ１７の側）において、切断面が毛羽立つように小さく変形した状態を招くことがあるため、所望の部位を切断する際に実行するビーム照射処理については過剰に多数回とするのは好ましくない。

一方、タッチパネル２２０の製造に際しては、カバーガラス２２３の表面（「タッチパネル本体の表面」）にカバーシート１０を貼付する。なお、透明電極部２２１にカバーガラス２２３を粘着層２２２によって接着する作業については完了しているものとする。具体的には、まず、カバーシート１０からセパレータ１７を剥離する。次いで、粘着層１６を下向きにしてカバーガラス２２３の表面にカバーシート１０（粘着層１６）を載置する。この際には、透明電極部２２１、粘着層２２２およびカバーガラス２２３に形成された音孔やジョグボタン用孔（図示せず）と、カバーシート１０のジョグボタン用孔とを一致させるように位置合わせする。次いで、カバーシート１０をカバーガラス２２３に向けて押し付ける。これにより、スペーサ層１５、印刷層１４シート本体１１、シート本体１１およびハードコート層１２の積層体が粘着層１６によってカバーガラス２２３の表面に接着される。

この場合、例えば、その外縁部に反りが生じたカバーシート（図示せず）をカバーガラス２２３に貼付したときには、カバーシートの外縁部をカバーガラス２２３に密着させるのが困難となり、カバーシートの外縁部に浮きが生じた状態となる。また、外縁部に反りが生じたカバーシートの全域をカバーガラス２２３に密着させることができたとしても、カバーシートの外縁部にカバーガラス２２３から離反する向きでの内部応力が生じた状態となる。このため、そのような変形が生じたカバーシートをカバーガラス２２３に貼付したときには、外縁部に剥がれが生じてしまう。

これに対して、切断処理装置１による切断処理によって製造されたカバーシート１０では、「切断処理」時におけるレーザービームＬの照射部位の近傍（すなわち、外縁部）に反りが生じる事態が回避されて、その全域がフラットに形成されている。したがって、カバーシート１０の外縁部から中央部までの全域をカバーガラス２２３の表面に隙間なく密着させることが可能となっている。また、カバーガラス２２３に対して貼付した状態においても、カバーガラス２２３から離反する向きでの内部応力が生じていないため、カバーガラス２２３からのカバーシート１０の剥がれが生じる事態が回避される。

また、前述したように、切断処理装置１による切断処理によって製造されたカバーシート１０では、その端面におけるスペーサ層１５の部位に段差が形成されると共に、セパレータ１７から保護フィルム１３に向かって徐々に外向きに迫り出すように端面が斜めに加工されて、粘着層１６およびセパレータ１７が印刷層１４、シート本体１１、ハードコート層１２および保護フィルム１３よりも内側に引っ込んだ状態となっている。したがって、カバーガラス２２３にカバーシート１０が貼付された状態では、カバーガラス２２３とスペーサ層１５との間から粘着層１６の端がはみ出す事態（粘着層１６を構成する粘着剤がはみ出す事態）が回避されて、これにより、粘着層１６の端に異物が付着したり、粘着層１６（粘着剤）に手が触れて粘付きが生じたりする事態が回避される。この後、必要に応じて保護フィルム１３を剥離することにより、タッチパネル２２０が完成する。

このように、このシート体保持部２、およびシート体保持部２による「シート体保持方法」によれば、各凸状部５１と枠部４１との間に設けられた通気溝５５，６２内に、枠体２１の取付け用凹部４２内に形成された噴出孔４７から空気を噴出させつつ、凸状部５１に形成された吸気孔５２、枠部４１に形成された吸気孔４４、および枠体２１の取付け用凹部４２内に形成された吸気孔４６から空気を吸気して中間体１００を吸着ステージ２０によって吸着して保持することにより、通気溝５５，６２内に生じた煙を吸気孔４６からの吸気によって排煙することができるため、中間体１００の裏面（保護フィルム１３の側の面）における切断部位の近傍に煙が付着して外観不良が生じる事態を回避することができると共に、通気溝５５，６２内の空気を吸気孔４６から吸気するだけの構成・方法とは異なり、噴出孔４７から通気溝５５，６２内に空気を噴出している分だけ、通気溝５５，６２内の気圧が中間体１００におけるレーザービームＬの照射面側の気圧に対して過剰に低くなる事態を回避することができるため、通気溝５５，６２内に引き込まれるような変形が中間体１００に生じる事態を回避することができる結果、「切断処理」によって製造されるカバーシート１０全域に亘ってフラットな状態とすることができる。

また、このシート体保持部２によれば、「第１の凸状部」として機能する凸状部５１が形成された本体部２２を、「第２の凸状部」として機能する枠体２１とは別体に形成して吸着ステージ２０を構成したことにより、平面視形状や大きさが相違するカバーシート（図示せず）を製造する際に、そのカバーシートの形状や大きさに合わせて凸状部５１を形成した本体部２２（図示せず）を用意するだけで、枠体２１については共用することができるため、各種のカバーシートを製造する際の「切断処理」に要するコストを十分に低減することができる。

また、このシート体保持部２による「シート体保持方法」によれば、通気溝５５，６２内の気圧が中間体１００におけるレーザービームＬの照射面側の気圧以下となるように（一例として、両気圧がほぼ等しくなるように）、噴出孔４７からの空気の噴出量および吸気孔４６からの空気を吸気量を調整することにより、例えば、噴出孔４７からの空気の噴出量が多過ぎて、通気溝５５，６２内の気圧が中間体１００におけるレーザービームＬの照射面側の気圧に対して高くなる事態を回避できる結果、保持している中間体１００に、通気溝５５，６２から離反する向きで盛り上がるような変形が生じる事態を回避することができる。

また、この切断処理装置１、および切断処理装置１による「シート体加工方法」によれば、シート体保持部２によって中間体１００を保持した状態で中間体１００にレーザービームＬを照射してレーザービームＬの照射部位において中間体１００を切断して領域Ａ１を領域Ａ２から切り離す「切断処理」を実行することにより、煙の付着に起因する外観不良や、端部の変形を招くことなく、全域においてフラットで綺麗なカバーシート１０を製造することができる。

また、上記のタッチパネル２２０の製造方法によれば、上記の「シート体加工方法」に従って切断処理を実行して製造したカバーシート１０をカバーガラス２２３の表面に貼付してタッチパネル２２０を製造することにより、煙の付着に起因する外観不良や、端部の変形が生じていない綺麗なカバーシート１０を備えた商品的価値が十分に高いタッチパネル２２０を提供することができる。

なお、「シート体保持装置」および「シート体加工装置」の構成や、「シート体保持方法」、「シート体加工方法」および「表示器用部品製造方法」の手順については、上記の例に限定されない。例えば、吸気孔５２，４４，４６から「気体」の一例である空気を吸気すると共に、噴出孔４７から「気体」の一例である空気を噴出する構成・方法を例に挙げて説明したが、例えば、不活性ガス等の気体の中で「切断処理」を実行する構成・方法を採用する場合には、これらの気体を吸気孔５２，４４，４６から吸気しつつ噴出孔４７から噴出させることで、「シート体」を吸着して保持することができる。

また、枠体２１および２つの本体部２２，２２を一体化して構成した吸着ステージ２０によって中間体１００を吸着して保持する構成・方法について説明したが、１枚の平板に「溝部」、「第１の吸気孔」、「第２の吸気孔」、「第３の吸気孔」および「噴出孔」を設けることで、上記の吸着ステージ２０における枠体２１および本体部２２に相当する部位を一体形成した「吸着ステージ」（図示せず）を使用して「シート体」を吸着して保持する構成・方法を採用することもできる。このような構成・方法を採用した場合においても、上記のシート体保持部２による中間体１００の保持と同様の効果を奏することができる。

また、横３列×縦２行の６枚のカバーシート１０を製造可能に印刷層１４が形成された中間体１００を対象として吸着可能に６つの凸状部５１を設けた吸着ステージ２０によって中間体１００を吸着して保持する構成・方法について説明したが、凸状部５１の数や形成位置については、１枚の中間体１００から切り出すカバーシート１０の数や、カバーシート１０を切り出すべき領域Ａ１の位置に応じて適宜変更することができる。さらに、「切断処理」に際して通気溝５５，６２内の気圧が中間体１００におけるレーザービームＬの照射面側の気圧以下となるように調整弁２４Ｌ，２４Ｈの双方の開度を調整する例について説明したが、調整弁２４Ｌ，２４Ｈのいずれか一方だけを調整してもよい。

また、レーザービーム発生部において発生させたレーザービームＬを偏向することによって、中間体１００などの加工対象物の任意の部位にレーザービームＬを照射するレーザー装置３を備えた切断処理装置１によってカバーシート１０を製造する方法・構成を例に挙げて説明したが、「レーザー装置」、および「加工対象体」の少なくとも一方を他方に対して移動させるタイプの切断処理装置（図示せず）を用いて「第１領域の端」を切断することもできる。

具体的には、「加工対象体」を保持する「吸着保持装置」を固定的に設置すると共に、この「吸着保持装置」に対して「レーザー装置」を移動させることによって、「吸着保持装置」によって保持されている「加工対象体」の任意の部位にレーザービームを照射する構成を採用することができる。また、「レーザー装置」を固定的に設置すると共に、この「レーザー装置」に対して「吸着保持装置」を移動させることによって、「吸着保持装置」によって保持されている「加工対象体」の任意の部位にレーザービームを照射する構成を採用することができる。さらに、「レーザー装置」および「吸着保持装置」の双方を移動させることによって、「吸着保持装置」によって保持されている「加工対象体」の任意の部位にレーザービームを照射する構成を採用することもできる。このようなタイプの切断処理装置を使用する場合においても、その「吸着保持装置」を、上記のシート体保持部２と同様に構成することにより、上記の切断処理装置１による「切断処理」によって所望の部位を切断したときと同様の効果を奏することができる。

また、「第１の領域（領域Ａ１）の端」に沿ってレーザービームＬを複数回照射することでこれを切断する（複数回のビーム照射処理によって所望の部位を切断する）加工方法について説明したが、１回のビーム照射処理によって所望の部位を切断する加工方法においても、対象とする「シート体」を上記のシート体保持部２によって吸着して保持することにより、切断処理装置１による「切断処理」によって所望の部位を切断したときと同様の効果を奏することができる。

さらに、加工対象（保持対象）の「シート体」については、上記の中間体１００のような層構造の「シート体」に限定されず、「シート本体」および「ハードコート層」を有する各種の「シート体」（例えば、各種表示器の傷付きを回避するための保護シート：一例として、シート本体の一方の面にハードコート層が形成され、かつ、他方の面に粘着層が形成されると共に、ハードコート層の傷付きを回避するための保護フィルムがハードコート層に貼付され、かつ、セパレータが粘着層に貼付されたシート体）を対象として切断処理する際に、上記の「シート体保持方法」に従って保持した状態において「シート加工方法」に従って加工することができる。

また、「表示器用部品」に関しても、タッチパネル２２０に限定されず、一例として、表示器本体の前面側にタッチパネル（例えば、透明電極部２２１の一面に粘着層２２２を介してカバーガラス２２３が貼付されたもの）が配設されて構成された部品に対して「シート加工方法」に従って加工したシート体を貼付して製造した「表示器用部品」などの製造に際して上記の「表示器用部品製造方法」を実施することができる。さらに、「タッチパネル本体」に関しても、上記のタッチパネル２２０のようにカバーガラス２２３が配設された「タッチパネル本体」に限定されず、カバーガラス２２３等が存在しない各種の「タッチパネル本体」に、上記の「シート加工方法」に従って加工した「シート体」を貼付して「表示器用部品」を製造することができる。

１ 切断処理装置
２ シート体保持部
３ レーザー装置
５ 排煙装置
８ 制御部
１０ カバーシート
１１ シート本体
１２ ハードコート層
１３ 保護フィルム
１４ 印刷層
１５ スペーサ層
１６ 粘着層
１７ セパレータ
２０ 吸着ステージ
２１ 枠体
２２ 本体部
２３Ｌ，２３Ｈ 制御弁
２４Ｌ，２４Ｈ 調整弁
２５Ｌ，２５Ｈ 接続用配管
３０Ｌ 負圧供給源
３０Ｈ 正圧供給源
４１ 枠部
４１ａ，５１ａ 突端面
４２ 取付け用凹部
４３，５５，６２ 通気溝
４４〜４６，５２ 吸気孔
４７ 噴出孔
５１ 凸状部
５３ 固定部
１００ 中間体
２１０ 表示器
２２０ タッチパネル
２２１ 透明電極部
２２２ 粘着層
２２３ カバーガラス
Ａ１，Ａ２ 領域
Ｌ レーザービーム

Claims (6)

1. シート体における第１の領域の端に沿って当該シート体にレーザービームを照射して当該第１の領域の周囲の第２の領域から当該第１の領域を切り離す切断処理に際して当該シート体の裏面に接して当該シート体を吸着する吸着ステージを備えて当該シート体を保持可能に構成されたシート体保持装置であって、
   前記吸着ステージは、突端面が前記第１の領域の前記裏面に接するように配設された第１の凸状部と、突端面が前記第２の領域の前記裏面に接するように配設された第２の凸状部とを備えると共に、前記第１の凸状部と前記第２の凸状部との間に溝部が設けられて構成され、
   前記第１の凸状部には、負圧供給源に接続されて前記シート体の前記裏面と当該第１の凸状部の前記突端面との間の気体を吸気して前記第１の領域の前記裏面を当該第１の凸状部に吸着させるための第１の吸気孔が形成され、
   前記第２の凸状部には、前記負圧供給源に接続されて前記シート体の前記裏面と当該第２の凸状部の前記突端面との間の気体を吸気して前記第２の領域の前記裏面を当該第２の凸状部に吸着させるための第２の吸気孔が形成され、
   前記溝部には、前記負圧供給源に接続されて当該溝部内の気体を吸気する第３の吸気孔と、正圧供給源に接続されて当該溝部内に気体を噴出する噴出孔とが形成され、
   前記噴出孔から前記溝部内に気体を噴出させつつ、前記第１の吸気孔、前記第２の吸気孔および前記第３の吸気孔から前記気体を吸気して前記シート体を吸着して保持するシート体保持装置。
2. 請求項１記載のシート体保持装置と、前記シート体に前記レーザービームを照射するレーザー装置とを備えて、前記切断処理に際して、前記シート体保持装置によって吸着して保持した状態の前記シート体に前記レーザー装置によって前記レーザービームを照射して当該レーザービームの照射部位において当該シート体を切断して前記第１領域を前記第２領域から切り離すシート体加工装置。
3. シート体における第１の領域の端に沿って当該シート体にレーザービームを照射して当該第１の領域の周囲の第２の領域から当該第１の領域を切り離す切断処理に際して当該シート体の裏面に接して当該シート体を吸着する吸着ステージによって当該シート体を保持するシート体保持方法であって、
   突端面が前記第１の領域の前記裏面に接するように配設された第１の凸状部と、突端面が前記第２の領域の前記裏面に接するように配設された第２の凸状部とを備えると共に、前記第１の凸状部と前記第２の凸状部との間に溝部が設けられ、かつ前記第１の凸状部には、負圧供給源に接続されて前記シート体の前記裏面と当該第１の凸状部の前記突端面との間の気体を吸気して前記第１の領域の前記裏面を当該第１の凸状部に吸着させるための第１の吸気孔が形成され、前記第２の凸状部には、前記負圧供給源に接続されて前記シート体の前記裏面と当該第２の凸状部の前記突端面との間の気体を吸気して前記第２の領域の前記裏面を当該第２の凸状部に吸着させるための第２の吸気孔が形成され、前記溝部には、前記負圧供給源に接続されて当該溝部内の気体を吸気する第３の吸気孔と、正圧供給源に接続されて当該溝部内に気体を噴出する噴出孔とが形成された前記吸着ステージを使用して、前記噴出孔から前記溝部内に気体を噴出させつつ、前記第１の吸気孔、前記第２の吸気孔および前記第３の吸気孔から前記気体を吸気して前記シート体を吸着して保持するシート体保持方法。
4. 前記溝部内の気圧が前記シート体における前記レーザービームの照射面側の気圧以下となるように、前記噴出孔からの前記気体の噴出量および前記第３の吸気孔からの前記気体の吸気量の少なくとも一方を調整する請求項３記載のシート体保持方法。
5. 請求項４または５記載のシート体保持方法に従って前記シート体を保持した状態で前記切断処理を実行するシート体加工方法。
6. 少なくともタッチパネル本体を備えて構成された表示器用部品の製造に際して、請求項５記載のシート体加工方法に従って前記切断処理を実行して製造した前記第１領域からなる前記シート体を前記タッチパネル本体の表面に貼付して前記表示器用部品を製造する表示器用部品製造方法。

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