JP5850656B2

JP5850656B2 - Substrate transfer device

Info

Publication number: JP5850656B2
Application number: JP2011147342A
Authority: JP
Inventors: 晋吾藤村; 浩喜別府; 真治内藤; 英矢黒田
Original assignee: Fuji Machine Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Fuji Corp
Priority date: 2011-07-01
Filing date: 2011-07-01
Publication date: 2016-02-03
Anticipated expiration: 2031-07-01
Also published as: CN202765819U; JP2013016584A

Description

本発明は、基板に部品を装着する部品実装ラインにおいて基板を搬送する基板搬送装置に関する。 The present invention relates to a board transfer device for transferring a board in a component mounting line for mounting components on the board.

基板に部品を装着する部品実装ラインにおいて、基板搬送エラー等の異常動作が発生した場合、ライン上流側から当該装置に基板が搬入されてこなかったり、当該装置からライン下流側へ基板が搬出できなくなる。このような場合、作業者の復旧作業が完了するまで当該装置は電源オン状態のままのことがあり、電力を無駄に消費することになる。そこで、例えば、特許文献１には、ライン上流側の装置またはライン下流側の装置から当該装置に入力される各種信号情報に基づき、当該装置を省エネモードにして供給電力量を減少させ、または電力遮断モードにする装置が開示されている。 When an abnormal operation such as a board transfer error occurs in a component mounting line for mounting components on a board, the board is not carried into the equipment from the upstream side of the line, or the board cannot be carried out from the equipment to the downstream side of the line. . In such a case, the apparatus may remain in the power-on state until the worker's recovery work is completed, and power is wasted. Therefore, for example, in Patent Document 1, based on various signal information input to the apparatus from the apparatus on the upstream side of the line or the apparatus on the downstream side of the line, the apparatus is set in the energy saving mode to reduce the amount of power supplied or An apparatus for putting into a shut-off mode is disclosed.

特開２００１−３２０１９９号公報（段落０００３〜０００７、図４）JP 2001-320199 A (paragraphs 0003 to 0007, FIG. 4)

上述の特許文献１に記載の発明では、部品実装ラインにおいて異常動作が発生した場合のみ、当該装置の電力消費を抑制することができる。よって、部品実装ラインの正常動作中においては、電力消費は抑制することができない。 In the invention described in Patent Document 1 described above, power consumption of the device can be suppressed only when an abnormal operation occurs in the component mounting line. Therefore, power consumption cannot be suppressed during normal operation of the component mounting line.

本発明は上記課題を鑑みてなされたものであり、部品実装ラインの正常動作中における電力消費を抑制することができる基板搬送装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a board transfer device capable of suppressing power consumption during normal operation of a component mounting line.

上記の課題を解決するため、請求項１に係る発明は、基板の搬送方向に延在し該搬送方向と直角方向に相対移動可能に装架された一対の支持部材と、前記一対の支持部材に並設され、搬送される基板の側面を案内するガイド部と前記ガイド部上方に配設したクランプ部とが設けられた一対のレールと、電気モータによって駆動され前記一対の支持部材の間隔を変更する幅変更機構と、前記レールに対して昇降可能に配設されたバックアップ装置と、前記バックアップ装置の上昇によって前記基板のクランプが完了した後に、前記電気モータの励磁をオフにするとともに、バックアップ装置の下降によって前記基板のクランプが解除されるときには、前記電気モータの励磁をオンにする制御装置と、を備えることである。

In order to solve the above-described problems, the invention according to claim 1 is a pair of support members that extend in the substrate transport direction and are mounted so as to be relatively movable in a direction perpendicular to the transport direction, and the pair of support members. And a pair of rails provided with a guide portion for guiding the side surface of the substrate to be conveyed and a clamp portion disposed above the guide portion, and an interval between the pair of support members driven by an electric motor. A width changing mechanism to be changed, a backup device arranged to be movable up and down with respect to the rail, and after the clamping of the substrate is completed by raising the backup device, the excitation of the electric motor is turned off and the backup is performed And a control device that turns on excitation of the electric motor when the clamp of the substrate is released by lowering the device .

請求項２に記載の発明は、請求項１において、前記一対の支持部材の一方は、固定支持部材であり、他方の支持部材は、可動支持部材であり、前記幅変更機構は、前記電気モータによって回転駆動される送りねじと、前記可動支持部材に固定された送りナットとを備えることである。 According to a second aspect of the present invention, in the first aspect, one of the pair of support members is a fixed support member, the other support member is a movable support member, and the width changing mechanism is the electric motor. And a feed nut fixed to the movable support member.

請求項３に記載の発明は、請求項１又は２において、前記バックアップ装置の昇降を検知するセンサを備え、前記制御装置は、前記センサからの信号により前記電気モータの励磁をオフにすることである。 According to a third aspect of the present invention, in the first or second aspect of the present invention, the sensor includes a sensor that detects the up-and-down movement of the backup device, and the control device turns off the excitation of the electric motor by a signal from the sensor. is there.

請求項１に係る発明によると、制御装置は、バックアップ装置を上昇させて基板の上面両側縁を一対のレールのクランプ部に当接させてクランプしている。これにより、一対のレールでクランプされた基板は、梁の役目を果たすことになり、その後に幅変更機構を駆動する電気モータの励磁をオフにしても、機械振動等によりレールが移動することはなく、基板の高精度な位置決め状態を維持することができる。よって、部品実装ラインの正常動作中、例えば実装可能状態時における電力消費を抑制することができる。 According to the first aspect of the present invention, the control device raises the backup device and clamps the upper side edges of the substrate against the clamp portions of the pair of rails. As a result, the substrate clamped by the pair of rails will act as a beam, and even if the excitation of the electric motor that drives the width changing mechanism is subsequently turned off, the rail will not move due to mechanical vibration or the like. In addition, a highly accurate positioning state of the substrate can be maintained. Therefore, power consumption during normal operation of the component mounting line, for example, in a mountable state, can be suppressed.

請求項２に係る発明によると、幅変更機構は、電気モータによって回転駆動される送りねじと、可動支持部材に固定された送りナットとを備えている。これにより、幅変更機構は、簡易な機構により構成できることになる。よって、これら装置構成を採用することで、モータの励磁を切るという電力消費の抑制が可能となる。 According to the invention which concerns on Claim 2, the width change mechanism is provided with the feed screw rotated by the electric motor, and the feed nut fixed to the movable support member. Thereby, the width changing mechanism can be configured by a simple mechanism. Therefore, by adopting these device configurations, it becomes possible to suppress power consumption by cutting off the excitation of the motor.

請求項３に係る発明によると、制御装置は、バックアップ装置の昇降を検知するセンサから信号を受信するようにしている。これにより、制御装置は、基板の上面両側縁が一対のレールのクランプ部に確実に当接されてクランプされた後に、電気モータの励磁をオフにすることができる。よって、基板のクランプ前に電気モータの励磁がオフになることはなく、基板の位置ずれを防止することができる。 According to the invention of claim 3, the control device is configured to receive a signal from a sensor that detects the elevation of the backup device. As a result, the control device can turn off the excitation of the electric motor after the both side edges of the upper surface of the substrate are securely brought into contact with the clamp portions of the pair of rails and clamped. Therefore, the excitation of the electric motor is not turned off before the substrate is clamped, and the displacement of the substrate can be prevented.

本発明の実施の形態に係る基板搬送装置を備えた部品実装装置の概略構造を示す斜視図である。It is a perspective view which shows schematic structure of the component mounting apparatus provided with the board | substrate conveyance apparatus which concerns on embodiment of this invention. 図１の基板搬送装置の概略斜視図である。It is a schematic perspective view of the board | substrate conveyance apparatus of FIG. 図２のＡ−Ａ線矢視方向に破断した基板搬送装置の主に搬送装置の構造を示す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which mainly shows the structure of the conveying apparatus of the board | substrate conveying apparatus fractured | ruptured in the AA arrow direction of FIG. 図２のＢ−Ｂ線矢視方向に破断した基板搬送装置の主に搬送装置の固定支持部材等を示す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which mainly shows the fixed support member of a conveying apparatus of the board | substrate conveying apparatus fractured | ruptured in the BB arrow direction of FIG. 図２のＣ−Ｃ線矢視方向に破断した基板搬送装置の主に搬送装置の可動支持部材等を示す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which mainly shows the movable support member of a conveying apparatus of the board | substrate conveying apparatus fractured | ruptured in the CC arrow direction of FIG. 図２のＤ−Ｄ線矢視方向に破断した基板搬送装置の主に幅変更装置の構造を示す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which mainly shows the structure of the width change apparatus of the board | substrate conveyance apparatus fractured | ruptured in the DD arrow direction of FIG. 図２の基板搬送装置の主にバックアップ装置の構造を示す平面図である。It is a top view which mainly shows the structure of the backup apparatus of the board | substrate conveyance apparatus of FIG. 図７のバックアップ装置の昇降装置の縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view of the raising / lowering apparatus of the backup apparatus of FIG. 昇降装置の別例を示す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which shows another example of an raising / lowering apparatus. 図１の基板搬送装置の動作を制御する制御装置を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the control apparatus which controls operation | movement of the board | substrate conveyance apparatus of FIG. 図１の基板搬送装置の動作を説明するためのタイムチャートである。It is a time chart for demonstrating operation | movement of the board | substrate conveyance apparatus of FIG. 図１の基板搬送装置の動作を説明するためのタイムチャートである。It is a time chart for demonstrating operation | movement of the board | substrate conveyance apparatus of FIG.

以下、本発明に係る基板搬送装置の一実施の形態を備えた部品実装装置について説明する。図１に示すように、部品実装装置１は、基枠３上に設けられて基板Ｐ（図３，６参照）を搬送する基板搬送装置１０と、この基板搬送装置１０の一側に設けられて基板に装着する部品を供給する部品供給装置２０と、両装置１０，２０の上方に配設されて部品供給装置２０により供給された部品を採取して基板搬送装置１０に支持された基板に装着する部品移載装置３０とを備えている。 Hereinafter, a component mounting apparatus provided with an embodiment of a substrate transfer apparatus according to the present invention will be described. As shown in FIG. 1, the component mounting apparatus 1 is provided on the base frame 3 and provided on one side of the board transfer apparatus 10 that transfers the board P (see FIGS. 3 and 6). A component supply device 20 that supplies components to be mounted on the substrate, and a substrate that is disposed above both devices 10 and 20 and that is supplied by the component supply device 20 and is supported by the substrate transfer device 10. And a component transfer device 30 to be mounted.

なお、図１においては２台の部品実装装置１を１つの架台２に並べて搭載した状態を示しているが、部品実装ラインにおいては１台の部品実装装置１のみで構成され、もしくは複数台の部品実装装置１が並設されて構成されている場合もある。以下の説明において、２台の部品実装装置１が並ぶ方向、すなわち基板の搬送方向をＸ軸方向と称し、水平面内においてＸ軸方向に直角な方向をＹ軸方向と称し、Ｘ軸方向とＹ軸方向とに直角な方向をＺ軸方向と称する。 Although FIG. 1 shows a state in which two component mounting apparatuses 1 are mounted side by side on one stand 2, the component mounting line is configured by only one component mounting apparatus 1 or a plurality of component mounting apparatuses 1 are mounted. In some cases, the component mounting apparatuses 1 are arranged side by side. In the following description, the direction in which the two component mounting apparatuses 1 are arranged, that is, the board transport direction is referred to as the X-axis direction, and the direction perpendicular to the X-axis direction in the horizontal plane is referred to as the Y-axis direction. A direction perpendicular to the axial direction is referred to as a Z-axis direction.

図１に示すように、基板搬送装置１０は、実質的に同一構造である搬送装置１１を２列並設したいわゆるダブルコンベアタイプのものである。図２に示すように、この基板搬送装置１０は、搬送装置１１と、幅変更装置７０と、バックアップ装置８０と、制御装置９０（図１０参照）とにより概略構成されている。 As shown in FIG. 1, the substrate transfer device 10 is of a so-called double conveyor type in which two rows of transfer devices 11 having substantially the same structure are arranged side by side. As shown in FIG. 2, the substrate transport apparatus 10 is schematically configured by a transport apparatus 11, a width changing device 70, a backup device 80, and a control device 90 (see FIG. 10).

図２および図３に示すように、搬送装置１１は、互いに対向してＸ軸方向に延在しＹ軸方向に相対移動可能に基台１２上に装架された固定支持部材１３および可動支持部材１４を備えている。固定支持部材１３および可動支持部材１４には、一端側すなわち部品供給装置２０側の側壁にＸ軸方向に沿って設置されたレール１５（第１レール）と、この第１レール１５に対向するレール１６（第２レール）とがそれぞれ装架されている。さらに、一端側の側壁にＸ軸方向に沿って設置されたコンベアベルト１７（第１コンベアベルト）と、この第１コンベアベルト１７に対向するコンベアベルト１８（第２コンベアベルト）とがそれぞれ循環可能に張架されている。 As shown in FIGS. 2 and 3, the transport device 11 includes a fixed support member 13 and a movable support which are opposed to each other and extend in the X-axis direction and mounted on a base 12 so as to be relatively movable in the Y-axis direction. A member 14 is provided. The fixed support member 13 and the movable support member 14 include a rail 15 (first rail) installed on the side wall on one end side, that is, on the component supply device 20 side, along the X-axis direction, and a rail facing the first rail 15. 16 (second rail) are respectively mounted. Further, a conveyor belt 17 (first conveyor belt) installed on the side wall on one end side along the X-axis direction and a conveyor belt 18 (second conveyor belt) facing the first conveyor belt 17 can be circulated. It is stretched around.

すなわち、一対の第１、第２レール１５，１６は、基板Ｐを案内可能なように互いに平行かつ水平に並設され、一対の第１、第２コンベアベルト１７，１８は、基板Ｐを支持して搬送可能なように第１、第２レール１５，１６にそれぞれ平行に並設されている。第１、第２レール１５，１６には、搬送される基板Ｐの側面を案内する第１、第２ガイド部１５ａ，１６ａと、第１、第２ガイド部１５ａ，１６ａの上方内側に基板Ｐの上面側縁と当接可能に突設し、基板Ｐをクランプする第１、第２クランプ部１５ｂ，１６ｂとがそれぞれ設けられている。 That is, the pair of first and second rails 15 and 16 are arranged in parallel and horizontally so that the substrate P can be guided, and the pair of first and second conveyor belts 17 and 18 support the substrate P. The first and second rails 15 and 16 are arranged in parallel so as to be transportable. The first and second rails 15 and 16 include first and second guide portions 15a and 16a for guiding the side surface of the substrate P to be transported, and the substrate P on the upper inner side of the first and second guide portions 15a and 16a. First and second clamp portions 15b and 16b that clamp the substrate P are provided so as to protrude from the upper surface side edge of the substrate.

固定支持部材１３は、図２、図３および図４に示すように、第１レール１５および第１コンベアベルト１７を取付けた第１取付フレーム４１およびこの第１取付フレーム４１を基台１２に支持した一対の第１左右支持フレーム４２，４３を備えている。第１取付フレーム４１は、左右方向（図２における左右方向）に細長い板材を垂直に配設したものであり、第１取付フレーム４１の上端には、第１レール１５が取付けられている。第１取付フレーム４１側壁の左右端部には、第１コンベアベルト１７が張架される一対の搬送プーリ４４，４５が回転可能に支承されている。第１取付フレーム４１側壁の両搬送プーリ４４，４５間には、第１コンベアベルト１７の下面に当接して支持する第１支持板４６が取付けられている。 As shown in FIGS. 2, 3, and 4, the fixed support member 13 supports the first mounting frame 41 to which the first rail 15 and the first conveyor belt 17 are attached and the first mounting frame 41 to the base 12. A pair of first left and right support frames 42 and 43 are provided. The first mounting frame 41 is configured by vertically arranging a long and narrow plate material in the left-right direction (left-right direction in FIG. 2), and the first rail 15 is attached to the upper end of the first mounting frame 41. A pair of conveying pulleys 44 and 45 on which the first conveyor belt 17 is stretched are rotatably supported at the left and right ends of the side wall of the first mounting frame 41. A first support plate 46 that is in contact with and supported by the lower surface of the first conveyor belt 17 is attached between the conveying pulleys 44 and 45 on the side wall of the first attachment frame 41.

第１取付フレーム４１の左右端部には、断面Ｌ字状に形成した細長い第１左右支持フレーム４２，４３の各上端部がそれぞれ取付けられている。第１左支持フレーム４２の側壁には、後述する搬送用スプライン軸４７に係合して回転される第１駆動プーリ４８が回転可能に支承されている。第１取付フレーム４１および第１左右支持フレーム４２，４３の各側壁には、４つのテンションプーリ４９が回転可能に支承されている。そして、第１駆動プーリ４８、搬送プーリ４４，４５および各テンションプーリ４９には、第１コンベアベルト１７が張架されている。また、第１左右支持フレーム４２，４３の各下端は、基台１２の所定位置（基準位置）にねじ止め固定されている。これにより、固定支持部材１３は、基台１２上の基準位置に位置決め固定され、この結果、第１レール１５および第１コンベアベルト１７が基準位置に位置決め固定される。 At the left and right ends of the first mounting frame 41, the upper ends of the elongated first left and right support frames 42 and 43 formed in an L-shaped cross section are respectively attached. On the side wall of the first left support frame 42, a first drive pulley 48 that is rotated by engaging with a later-described transfer spline shaft 47 is rotatably supported. Four tension pulleys 49 are rotatably supported on the side walls of the first mounting frame 41 and the first left and right support frames 42 and 43. The first conveyor belt 17 is stretched around the first drive pulley 48, the transport pulleys 44 and 45, and the tension pulleys 49. Further, the lower ends of the first left and right support frames 42 and 43 are fixed by screws to predetermined positions (reference positions) of the base 12. Thereby, the fixed support member 13 is positioned and fixed at the reference position on the base 12, and as a result, the first rail 15 and the first conveyor belt 17 are positioned and fixed at the reference position.

可動支持部材１４は、図２、図３および図５に示すように、固定支持部材１３と略同様に構成されたものであり、第２レール１６および第２コンベアベルト１８を取付けた第２取付フレーム５１およびこの第２取付フレーム５１を基台１２に支承した一対の第２左右支持フレーム５２，５３を備えている。第２取付フレーム５１は、左右方向（図２における左右方向）に細長い板材を垂直に配設したものであり、第２取付フレーム５１の上端には、第２レール１６が取付けられている。第２取付フレーム５１側壁の左右端部には、第２コンベアベルト１８が張架される一対の搬送プーリ５４，５５が回転可能に支承されている。第２取付フレーム５１側壁の両搬送プーリ５４，５５間には、第２コンベアベルト１８の下面に当接して支持する第２支持板５６が取付けられている。 As shown in FIGS. 2, 3, and 5, the movable support member 14 is configured in substantially the same manner as the fixed support member 13, and has a second attachment in which the second rail 16 and the second conveyor belt 18 are attached. A frame 51 and a pair of second left and right support frames 52 and 53 that support the second mounting frame 51 on the base 12 are provided. The second mounting frame 51 is configured by vertically arranging elongated plate members in the left-right direction (left-right direction in FIG. 2), and the second rail 16 is attached to the upper end of the second mounting frame 51. A pair of conveying pulleys 54 and 55 around which the second conveyor belt 18 is stretched are rotatably supported at the left and right ends of the side wall of the second mounting frame 51. A second support plate 56 that is in contact with and supported by the lower surface of the second conveyor belt 18 is attached between the conveying pulleys 54 and 55 on the side wall of the second attachment frame 51.

第２取付フレーム５１の左右端部には、断面Ｌ字状に形成した細長い第２左右支持フレーム５２，５３の各上端部がそれぞれ取付けられている。第２左支持フレーム５２の側壁には、搬送用スプライン軸４７に係合して回転される第２駆動プーリ５８が回転可能に支承されている。第２取付フレーム５１および第２左右支持フレーム５２，５３の各側壁にも、４つのテンションプーリ５９が回転可能に支承されている。そして、第２駆動プーリ５８、搬送プーリ５４，５５および各テンションプーリ５９には、第２コンベアベルト１８が張架されている。 At the left and right ends of the second mounting frame 51, the upper ends of the elongated second left and right support frames 52 and 53 formed in an L-shaped cross section are respectively attached. On the side wall of the second left support frame 52, a second drive pulley 58 that is engaged with and rotated by the conveying spline shaft 47 is rotatably supported. Four tension pulleys 59 are also rotatably supported on the side walls of the second mounting frame 51 and the second left and right support frames 52 and 53. The second conveyor belt 18 is stretched around the second drive pulley 58, the transport pulleys 54 and 55, and the tension pulleys 59.

また、固定支持部材１３と異なる構成として、第２左右支持フレーム５２，５３の各下端は、Ｙ軸方向に延在して基台１２上に配設した一対の支持部材用レール７３，７３に沿って移動可能な一対の支持部材スライダ７４，７４にねじ止め固定されている。これにより、可動支持部材１４は、Ｙ軸方向、すなわち第２レール１６の長手方向と直交する方向に位置調整可能に取付けられ、この結果、第２レール１６および第２コンベアベルト１８が所定の位置に調整されて位置決め固定される。 Further, as a configuration different from the fixed support member 13, the lower ends of the second left and right support frames 52, 53 extend to a pair of support member rails 73, 73 extending on the base 12 and extending in the Y-axis direction. A pair of support member sliders 74, 74 that can move along are fixed by screws. Thereby, the movable support member 14 is attached so that the position thereof can be adjusted in the Y-axis direction, that is, the direction orthogonal to the longitudinal direction of the second rail 16, and as a result, the second rail 16 and the second conveyor belt 18 are positioned at a predetermined position. It is adjusted to position and fixed.

上述した搬送用スプライン軸４７は、図３に示すように、固定支持部材１３の第１左支持フレーム４２とモータ支持フレーム６１とに軸回りに回転可能に軸架されている。この搬送用スプライン軸４７は、搬送駆動用モータ６５の駆動により回転可能に搬送駆動用モータ６５と連結されている。すなわち、搬送用スプライン軸４７の他端には、伝達プーリ６２が同軸的に取付け固定されている。搬送駆動用モータ６５の出力軸には、駆動プーリ６３が同軸的に取付け固定されている。そして、伝達プーリ６２および駆動プーリ６３には、ベルト６４が張架されている。 As shown in FIG. 3, the transport spline shaft 47 described above is mounted on the first left support frame 42 of the fixed support member 13 and the motor support frame 61 so as to be rotatable about its axis. The transport spline shaft 47 is connected to the transport drive motor 65 so as to be rotatable by driving the transport drive motor 65. That is, the transmission pulley 62 is coaxially attached and fixed to the other end of the conveying spline shaft 47. A drive pulley 63 is coaxially attached and fixed to the output shaft of the conveyance drive motor 65. A belt 64 is stretched around the transmission pulley 62 and the drive pulley 63.

図２および図６に示すように、幅変更装置７０は、電気モータとして幅変更駆動用モータ７１と、幅変更機構７２と、一対の支持部材用レール７３，７３と、支持部材スライダ７４，７４とにより概略構成されている。幅変更駆動用モータ７１は、モータ支持フレーム６１の右背面側（図２における右背面側）に取付けられている。幅変更機構７２は、互いに平行かつ水平に並設された一対の送りねじ７５，７５と、各送りねじ７５，７５に螺合可能な一対の送りナット７６，７６とを備えている。 As shown in FIGS. 2 and 6, the width changing device 70 includes a width changing drive motor 71 as an electric motor, a width changing mechanism 72, a pair of support member rails 73 and 73, and support member sliders 74 and 74. And is roughly configured. The width change drive motor 71 is attached to the right back side of the motor support frame 61 (the right back side in FIG. 2). The width changing mechanism 72 includes a pair of feed screws 75 and 75 that are arranged in parallel and horizontally, and a pair of feed nuts 76 and 76 that can be screwed to the feed screws 75 and 75.

各送りねじ７５，７５は、固定支持部材１３の第１左右支持フレーム４２，４３とモータ支持フレーム６１とに回転可能に軸架されている。各送りナット７６，７６は、可動支持部材１４の第２左右支持フレーム５２，５３に嵌装されている。第１右支持フレーム４３側の送りねじ７５のモータ支持フレーム６１側の端部には、幅変更プーリ７７ａが同軸的に取付け固定されている。幅変更駆動用モータ７１の出力軸には、駆動プーリ７８が同軸的に取付け固定されている。そして、幅変更プーリ７７ａおよび駆動プーリ７８には、ベルト７９ａが張架されている。さらに、各送りねじ７５，７５のモータ支持フレーム６１側の端部には、伝達プーリ７７ｂ，７７ｂが同軸的に取付け固定されている。伝達プーリ７７ｂ，７７ｂには、ベルト７９ｂが張架されている。 The feed screws 75 and 75 are rotatably supported on the first left and right support frames 42 and 43 of the fixed support member 13 and the motor support frame 61. The feed nuts 76 and 76 are fitted on the second left and right support frames 52 and 53 of the movable support member 14. A width changing pulley 77a is coaxially attached and fixed to the end of the feed screw 75 on the first right support frame 43 side on the motor support frame 61 side. A drive pulley 78 is coaxially attached and fixed to the output shaft of the width changing drive motor 71. A belt 79 a is stretched between the width changing pulley 77 a and the driving pulley 78. Further, transmission pulleys 77b and 77b are coaxially attached and fixed to the end portions of the feed screws 75 and 75 on the motor support frame 61 side. A belt 79b is stretched around the transmission pulleys 77b and 77b.

図２および図７に示すように、バックアップ装置８０は、昇降駆動用モータ８１と、４つの昇降装置８２と、バックアッププレート８３とにより概略構成されている。昇降駆動用モータ８１は、出力軸がＺ軸上方向を向くようにして、基台１２上におけるモータ支持プレート６１側の略中央に取付けられている。各昇降装置８２は、昇降軸８２１がＺ軸上方向を向くようにして、基台１２上における固定支持部材１３と一対の送りねじ７５，７５と可動支持部材１４とに囲まれた範囲内の四隅にそれぞれ取付けられている。 As shown in FIGS. 2 and 7, the backup device 80 is generally configured by a lift drive motor 81, four lift devices 82, and a backup plate 83. The raising / lowering drive motor 81 is attached to the approximate center on the motor support plate 61 side on the base 12 such that the output shaft faces the Z-axis upward direction. Each lifting device 82 is within a range surrounded by the fixed support member 13, the pair of feed screws 75 and 75, and the movable support member 14 on the base 12 so that the lifting shaft 821 faces the Z-axis upward direction. It is installed at each of the four corners.

昇降駆動用モータ８１の出力軸には、駆動プーリ８４が同軸的に取付け固定され、各昇降装置８２の昇降軸８２１には、昇降プーリ８５が同軸的に取付け固定されている。そして、駆動プーリ８４，昇降プーリ８５および基台１２上に回転可能に支承されたテンションプーリ８６には、ベルト８７が張架されている。バックアッププレート８３は、各昇降装置８２の昇降軸８２１上に載置可能な矩形板状に形成されている。このバックアッププレート８３上には、基板Ｐを下方から支持する複数本のバックアップピン（図示省略）が所定間隔で配置される。なお、基板がフレキシブル基板の場合には、バックアップピンの代わりにフレキシブル基板を面で支持可能な第２バックアッププレート（図示省略）が、バックアッププレート８３上に載置される。 A drive pulley 84 is coaxially attached and fixed to the output shaft of the lift drive motor 81, and a lift pulley 85 is coaxially attached and fixed to the lift shaft 821 of each lift device 82. A belt 87 is stretched around a drive pulley 84, a lifting pulley 85, and a tension pulley 86 that is rotatably supported on the base 12. The backup plate 83 is formed in a rectangular plate shape that can be placed on the lifting shaft 821 of each lifting device 82. On the backup plate 83, a plurality of backup pins (not shown) for supporting the substrate P from below are arranged at predetermined intervals. When the substrate is a flexible substrate, a second backup plate (not shown) that can support the flexible substrate on the surface is placed on the backup plate 83 instead of the backup pins.

図８に示すように、昇降装置８２は、昇降軸８２１と、送りナット８２２と、ナット支持部８２３と、ラジアルベアリング８２４と、軸支持部８２５とにより概略構成されている。昇降軸８２１には、一端側（図示上端側）におねじ部８２１ａが設けられ、他端側（図示下端側）に回り止めとなる二面取り部８２１ｂが設けられている。昇降軸８２１の一端面には、バックアッププレート８３に穿設されている位置決め凹部８３ａに嵌入可能な位置決め凸部８２１ｃが突設されている。送りナット８２２には、昇降軸８２１のおねじ部８２１ａと螺合可能なめねじ部８２２ａが設けられている。送りナット８２２の外周部には、ラジアルベアリング８２４の内周部が嵌合されている。ナット支持部８２３の内周部８２３ａには、ラジアルベアリング８２４の外周部が嵌合されている。軸支持部８２５は、ナット支持部８２３の下部にねじ止め固定されている。軸支持部８２５の中央には、昇降軸８２１の二面取り部８２１ｂが嵌入される穴部８２５ａが穿設されている。 As shown in FIG. 8, the lifting device 82 is roughly configured by a lifting shaft 821, a feed nut 822, a nut support portion 823, a radial bearing 824, and a shaft support portion 825. The elevating shaft 821 is provided with a screw portion 821a on one end side (upper end side in the figure) and a two-chamfered portion 821b that serves as a detent on the other end side (lower end side in the figure). On one end surface of the elevating shaft 821, a positioning convex portion 821c that can be fitted into a positioning concave portion 83a formed in the backup plate 83 is projected. The feed nut 822 is provided with a female screw portion 822a that can be screwed with the male screw portion 821a of the elevating shaft 821. The inner peripheral portion of the radial bearing 824 is fitted to the outer peripheral portion of the feed nut 822. The outer peripheral portion of the radial bearing 824 is fitted to the inner peripheral portion 823 a of the nut support portion 823. The shaft support portion 825 is fixed to the lower portion of the nut support portion 823 with screws. In the center of the shaft support portion 825, a hole portion 825a into which the two chamfered portion 821b of the lifting shaft 821 is fitted is formed.

図１０に示すように、制御装置９０は、マイクロコンピュータ９１を有しており、マイクロコンピュータ９１は、バスを介してそれぞれ接続された入出力インターフェース、ＣＰＵ、ＲＡＭ及びＲＯＭ（いずれも図示省略）を備えている。このマイクロコンピュータ９１には、表示装置９２、通信装置９３、記憶装置９４、搬送制御部９５、幅変更制御部９６、昇降制御部９７、搬送センサ９８及び昇降センサ９９が接続されている。表示装置９２は、基板情報や基板搬送状態情報、警告等を表示する。通信装置９３は、ＬＡＮ（図示省略）を介してホストコンピュータ（図示省略）に接続されて信号を送受信する。記憶装置９４は、ホストコンピュータから送信された基板情報等を記憶する。 As shown in FIG. 10, the control device 90 has a microcomputer 91, and the microcomputer 91 has an input / output interface, a CPU, a RAM, and a ROM (all not shown) connected through a bus. I have. A display device 92, a communication device 93, a storage device 94, a transport control unit 95, a width change control unit 96, a lift control unit 97, a transport sensor 98 and a lift sensor 99 are connected to the microcomputer 91. The display device 92 displays substrate information, substrate transport status information, warnings, and the like. The communication device 93 is connected to a host computer (not shown) via a LAN (not shown) to transmit and receive signals. The storage device 94 stores board information and the like transmitted from the host computer.

搬送制御部９５は、搬送駆動用モータ６５が接続され、搬送駆動用モータ６５の励磁オン・オフを制御する。幅変更制御部９６は、幅変更駆動用モータ７１が接続され、幅変更駆動用モータ７１の励磁オン・オフを制御する。昇降制御部９７は、昇降駆動用モータ８１が接続され、昇降駆動用モータ８１の励磁オン・オフを制御する。搬送センサ９８は、例えば、受発光素子および受光素子でなるセンサであり、搬入用として固定支持部材１３の第１右支持フレーム４３および可動支持部材１４の第２左支持フレーム５２に、また、搬出用として固定支持部材１３の第１左支持フレーム４２および可動支持部材１４の第２右支持フレーム５３に取付けられている（図２参照）。昇降センサ９９も、例えば、受発光素子および受光素子でなるセンサであり、可動支持部材１４の第２左右支持フレーム５２，５３に取付けられている（図２参照）。 The conveyance control unit 95 is connected to a conveyance driving motor 65 and controls excitation on / off of the conveyance driving motor 65. The width change control unit 96 is connected to the width change drive motor 71 and controls excitation on / off of the width change drive motor 71. The lift control unit 97 is connected to a lift drive motor 81 and controls excitation on / off of the lift drive motor 81. The conveyance sensor 98 is, for example, a sensor composed of a light emitting / receiving element and a light receiving element, and is carried into the first right support frame 43 of the fixed support member 13 and the second left support frame 52 of the movable support member 14 for carrying in. For this purpose, they are attached to the first left support frame 42 of the fixed support member 13 and the second right support frame 53 of the movable support member 14 (see FIG. 2). The elevation sensor 99 is also a sensor composed of a light emitting / receiving element and a light receiving element, for example, and is attached to the second left and right support frames 52 and 53 of the movable support member 14 (see FIG. 2).

図１に示すように、部品供給装置２０は、基枠３上に複数のフィーダ２１を並設して構成したカセットタイプのものである。フィーダ２１は、基枠３に離脱可能に取付けた本体２２と、本体２２の後部に着脱可能に装着した供給リール２３と、本体２２の先端に設けた部品供給部２４とを備えている。供給リール２３には、部品が所定ピッチで封入されたキャリアテープが巻回保持される。この部品供給装置２０においては、スプロケット（図示省略）により供給リール２３からキャリアテープが所定ピッチで引き出され、封入状態を解除された部品が部品供給部２４に順次送り込まれるようになっている。 As shown in FIG. 1, the component supply device 20 is of a cassette type in which a plurality of feeders 21 are arranged side by side on a base frame 3. The feeder 21 includes a main body 22 that is detachably attached to the base frame 3, a supply reel 23 that is detachably attached to a rear portion of the main body 22, and a component supply unit 24 that is provided at the tip of the main body 22. A carrier tape in which components are enclosed at a predetermined pitch is wound and held on the supply reel 23. In this component supply device 20, the carrier tape is pulled out from the supply reel 23 at a predetermined pitch by a sprocket (not shown), and the components released from the enclosed state are sequentially fed into the component supply unit 24.

図１に示すように、部品移載装置３０は、基枠３上部に装架されて基板搬送装置１０および部品供給装置２０の上方に配設されたＸＹロボットタイプのものである。部品移載装置３０は、Ｙ軸サーボモータ３１ＹによりＹ軸方向に移動されるＹ軸スライダ３２Ｙと、Ｘ軸サーボモータ３１ＸによりＸ軸方向に移動されるＸ軸スライダ３２Ｘとを備えている。このＸ軸スライダ３２Ｘは、Ｙ軸スライダ３２ＹにＸ軸方向に移動可能に案内されている。Ｘ軸スライダ３２Ｘには、部品を基板Ｐに装着する部品装着ヘッド３４が取付けられている。 As shown in FIG. 1, the component transfer device 30 is of the XY robot type that is mounted on the upper portion of the base frame 3 and disposed above the substrate transfer device 10 and the component supply device 20. The component transfer device 30 includes a Y-axis slider 32Y that is moved in the Y-axis direction by the Y-axis servomotor 31Y, and an X-axis slider 32X that is moved in the X-axis direction by the X-axis servomotor 31X. The X-axis slider 32X is guided by the Y-axis slider 32Y so as to be movable in the X-axis direction. A component mounting head 34 for mounting components on the substrate P is attached to the X-axis slider 32X.

部品装着ヘッド３４には、ヘッド本体３５から下方に突出して設けられたノズルホルダー部３６１と、該ノズルホルダー部３６１の下端部に設けられて部品を吸着保持する部品吸着ノズル３６２と、ヘッド本体３５から下方に突出して設けられて基板位置を認識するため基板Ｐを撮像する基板撮像カメラ３７とが取り付けられている。部品吸着ノズル３６２は、部品装着ヘッド３４にサーボモータ（図示省略）によりＺ軸方向に昇降可能に且つＺ軸周りで回転可能に支承されたノズルホルダー部３６１の下端部に取り付けられている。そして、部品吸着ノズル３６２は、ノズル先端で部品を吸引可能なように真空ポンプ（図示省略）に接続されている。また、部品吸着ノズル３６２に吸着保持された部品を撮像する部品撮像カメラ３８が、基板搬送装置１０と部品供給装置２０の間に設けられている。 The component mounting head 34 is provided with a nozzle holder 361 that protrudes downward from the head main body 35, a component suction nozzle 362 that is provided at the lower end of the nozzle holder 361 and holds and holds the component, and the head main body 35. A board imaging camera 37 is mounted so as to project downward from the board and to capture the board P in order to recognize the board position. The component suction nozzle 362 is attached to a lower end portion of a nozzle holder portion 361 that is supported on the component mounting head 34 so as to be movable up and down in the Z-axis direction and rotatable about the Z-axis by a servo motor (not shown). The component suction nozzle 362 is connected to a vacuum pump (not shown) so that the component can be sucked by the nozzle tip. In addition, a component imaging camera 38 that captures an image of the component sucked and held by the component suction nozzle 362 is provided between the board transfer device 10 and the component supply device 20.

この部品移載装置３０においては、部品装着ヘッド３４はＹ軸スライダ３２Ｙ及びＸ軸スライダ３２Ｘにより待機状態のときは図１に示すように基枠３の後方に移動されているが、部品を基板Ｐに装着する際には基枠３の前方に移動される。そして、部品吸着ノズル３６２に部品が吸着保持され、吸着保持された部品の保持位置が部品撮像カメラ３８により認識され、部品に特に問題が無い場合は基板搬送装置１０により搬送された基板Ｐに部品が装着されるようになっている。 In this component transfer device 30, the component mounting head 34 is moved to the rear of the base frame 3 as shown in FIG. 1 when in the standby state by the Y-axis slider 32Y and the X-axis slider 32X. When mounted on P, it is moved forward of the base frame 3. Then, the component is sucked and held by the component suction nozzle 362, and the holding position of the sucked and held component is recognized by the component imaging camera 38. If there is no particular problem with the component, the component is mounted on the substrate P transported by the substrate transport device 10. Is to be installed.

次に、部品搬送装置１０の動作について図１１のタイムチャートを参照して説明する。制御装置９０は、ホストコンピュータから送信された基板情報に基づいて、幅変更駆動用モータ７１を励磁オンにして各送りねじ７５，７５をそれぞれ軸回りに回転させ（時点ｔ１）、可動支持部材１４の支持部材スライダ７４，７４を支持部材用レール７１，７１に沿って移動させ、第１コンベアベルト１７と第２コンベアベルト１８との間隔を基板Ｐに合った間隔に変更する。このとき、第１、第２コンベアベルト１７，１８の間隔を一定に保つため、幅変更駆動用モータ７１は励磁オン状態を維持する。 Next, the operation of the component conveying apparatus 10 will be described with reference to the time chart of FIG. Based on the board information transmitted from the host computer, the control device 90 turns on the width change drive motor 71 and turns on the feed screws 75 and 75 around their axes (time point t1). The support member sliders 74 and 74 are moved along the support member rails 71 and 71, and the interval between the first conveyor belt 17 and the second conveyor belt 18 is changed to an interval that matches the substrate P. At this time, in order to keep the interval between the first and second conveyor belts 17 and 18 constant, the width change drive motor 71 maintains the excitation-on state.

制御装置９０は、搬送駆動用モータ６５を励磁オンにして搬送用スプライン軸４７を軸回りに回転させ（時点ｔ２）、第１、第２駆動プーリ４８，５８を同期回転させて第１、第２コンベアベルト１７，１８を同期駆動させる。これにより、第１、第２コンベアベルト１７，１８に支持された基板Ｐは、第１、第２レール１５，１６の第１、第２ガイド部１５ａ，１６ａにより案内されつつ第１、第２コンベアベルト１７，１８によりＸ軸方向に搬入される。そして、搬入側の搬送センサ９８からの基板Ｐの先端の検知信号を入力したら（時点ｔ３）、例えば、搬送駆動用モータ６５を所定のパルス数回転させてバックアッププレート８３の上方の所定の実装位置に位置決めする。このとき、基板Ｐの位置決め状態を保つため、搬送駆動用モータ６５は励磁オン状態を維持する。 The control device 90 turns on the conveyance drive motor 65 and rotates the conveyance spline shaft 47 around the axis (time point t2), and synchronously rotates the first and second drive pulleys 48 and 58 to make the first and second 2 The conveyor belts 17 and 18 are driven synchronously. Thereby, the board | substrate P supported by the 1st, 2nd conveyor belts 17 and 18 is guided by the 1st, 2nd guide parts 15a and 16a of the 1st, 2nd rails 15 and 16, and the 1st, 2nd. It is carried in the X-axis direction by the conveyor belts 17 and 18. Then, when a detection signal of the front end of the substrate P from the carry-in transport sensor 98 is input (time point t3), for example, the transport drive motor 65 is rotated by a predetermined number of pulses and a predetermined mounting position above the backup plate 83 is reached. Position to. At this time, in order to maintain the positioning state of the substrate P, the transport driving motor 65 maintains the excitation-on state.

制御装置９０は、昇降駆動用モータ８１を励磁オンにして各昇降装置８２の昇降プーリ８４を回転させ（時点ｔ４）、昇降軸８２１を上方に突出させてバックアッププレート８３を上昇させる。これにより、実装位置に位置決めされた基板Ｐは、バックアッププレート８３上に配置されたバックアップピンにより第１、第２コンベアベルト１７，１８から押し上げられ、第１、第２レール１５，１６の第１、第２クランプ部１５ｂ，１６ｂとの間でクランプされ位置決め固定される。 The control device 90 turns on the lifting drive motor 81 and turns on the lifting pulley 84 of each lifting device 82 (time t4), and lifts the backup plate 83 by projecting the lifting shaft 821 upward. As a result, the substrate P positioned at the mounting position is pushed up from the first and second conveyor belts 17 and 18 by the backup pins arranged on the backup plate 83, and the first of the first and second rails 15 and 16. The second clamp portions 15b and 16b are clamped and fixed in position.

制御装置９０は、昇降センサ９９からの基板Ｐの検知信号を入力したら、幅変更駆動用モータ７１を励磁オフにする（時点ｔ５）。このとき、両サイドの第１、第２レール１５，１６でクランプした基板Ｐが梁の役目を果たすことになるので、幅変更駆動用モータ７１を励磁オフにしても、機械振動等により第１、第２レール１５，１６が移動することはなく、基板Ｐの位置決め状態を維持することができる。そして、部品実装ラインの正常動作中における電力消費を抑制することができる。さらに、同様の理由から搬送駆動用モータ６５を励磁オフにすることができる（図では搬送駆動用モータ６５も励磁オフにしている）。よって、部品実装ラインの正常動作中における電力消費をさらに抑制することができる。なお、基板Ｐのクランプ状態を保つため、昇降駆動用モータ８１は励磁オン状態を維持する。 When receiving the detection signal of the substrate P from the elevation sensor 99, the control device 90 turns off the width change drive motor 71 (time t5). At this time, since the substrate P clamped by the first and second rails 15 and 16 on both sides serves as a beam, even if the width change drive motor 71 is turned off, the first is caused by mechanical vibration or the like. The second rails 15 and 16 do not move, and the positioning state of the substrate P can be maintained. In addition, power consumption during normal operation of the component mounting line can be suppressed. Further, the conveyance drive motor 65 can be turned off for the same reason (the conveyance drive motor 65 is also turned off in the figure). Therefore, power consumption during normal operation of the component mounting line can be further suppressed. In order to maintain the clamped state of the substrate P, the lifting / lowering drive motor 81 maintains the excitation-on state.

基板Ｐへの部品の装着が完了すると、制御装置９０は、第１、第２コンベアベルト１７，１８の間隔を一定に保つため、幅変更駆動用モータ７１を励磁オンにする（時点ｔ６）。同時に、搬送駆動用モータ６５を励磁オンにする（時点ｔ６）。そして、昇降駆動用モータ８１を先ほどとは逆方向に回転させて各昇降装置８２の昇降プーリ８４を先ほどとは逆方向に回転させ（時点ｔ７）、昇降軸８２１を下方に引っ込めてバックアッププレート８３を下降させる。これにより、クランプされていた基板Ｐは、第１、第２レール１５，１６の第１、第２クランプ部１５ｂ，１６ｂから離間し、第１、第２コンベアベルト１７，１８上に載置される。基板Ｐが第１、第２コンベアベルト１７，１８上に載置された後、搬送用スプライン軸４７を軸回りに回転させ、第１、第２駆動プーリ４８，５８を同期回転させて第１、第２コンベアベルト１７，１８を同期駆動させる。 When the mounting of the components on the board P is completed, the control device 90 turns on the width change drive motor 71 to be excited (time t6) in order to keep the distance between the first and second conveyor belts 17 and 18 constant. At the same time, the conveyance driving motor 65 is turned on (time t6). Then, the elevating drive motor 81 is rotated in the opposite direction to the previous direction, the elevating pulley 84 of each elevating device 82 is rotated in the opposite direction to the previous time (time t7), and the elevating shaft 821 is retracted downward to backup the plate 83. Is lowered. As a result, the clamped substrate P is separated from the first and second clamp portions 15b and 16b of the first and second rails 15 and 16, and placed on the first and second conveyor belts 17 and 18. The After the substrate P is placed on the first and second conveyor belts 17 and 18, the transfer spline shaft 47 is rotated around the axis, and the first and second drive pulleys 48 and 58 are rotated in synchronization with each other. The second conveyor belts 17 and 18 are driven synchronously.

これにより、部品装着が完了した基板Ｐは、第１、第２レール１５，１６の第１、第２ガイド部１５ａ，１６ａにより案内されつつ第１、第２コンベアベルト１７，１８によりＸ軸方向に搬出され、次の部品未装着の基板Ｐが搬入される。以降、同種の基板Ｐの部品装着が完了するまで時点ｔ３からｔ７の処理が繰り返される。上述の実施形態では、昇降センサ９９によりバックアップ装置８０のバックアッププレート８３の昇降検知する構成としたが、図１２に示すように、昇降駆動用モータ８１のトルク変動によりバックアッププレート８３の昇降を検知する構成としてもよい。これにより、昇降センサ９９が不要となるので、装置コストを低減することができる。 As a result, the board P on which component mounting is completed is guided in the X-axis direction by the first and second conveyor belts 17 and 18 while being guided by the first and second guide portions 15a and 16a of the first and second rails 15 and 16. Then, the next board P with no components mounted thereon is carried in. Thereafter, the processing from time t3 to time t7 is repeated until the component mounting of the same type of board P is completed. In the above-described embodiment, the elevation sensor 99 detects the elevation of the backup plate 83 of the backup device 80. However, as shown in FIG. 12, the elevation of the backup plate 83 is detected by the torque fluctuation of the elevation drive motor 81. It is good also as a structure. Thereby, since the raising / lowering sensor 99 becomes unnecessary, apparatus cost can be reduced.

以上のように、本実施形態の基板搬送装置１０によれば、制御装置９０は、バックアップ装置８０のバックアッププレート８３を上昇させて基板Ｐの上面両側縁を第１、第２レール１５，１６のクランプ部１５ｂ，１６ｂに当接させてクランプし、その後に幅変更装置７０の幅変更機構７２を駆動する幅変更駆動用モータ７１の励磁をオフにするようにしている。これにより、第１、第２レール１５，１６でクランプされた基板Ｐは、梁の役目を果たすことになり、幅変更駆動用モータ７１を励磁オフにしても、機械振動等により第１、第２レール１５，１６が移動することはなく、基板Ｐの位置決め状態を維持することができる。よって、部品実装ラインの正常動作中、例えば実装可能状態時における電力消費を抑制することができる。 As described above, according to the substrate transfer device 10 of the present embodiment, the control device 90 raises the backup plate 83 of the backup device 80 so that the upper and lower side edges of the substrate P are aligned with the first and second rails 15 and 16. The clamps 15b and 16b are abutted and clamped, and thereafter the excitation of the width change driving motor 71 that drives the width changing mechanism 72 of the width changing device 70 is turned off. As a result, the substrate P clamped by the first and second rails 15 and 16 serves as a beam, and even if the width change drive motor 71 is excited off, the first and first rails are caused by mechanical vibration or the like. The two rails 15 and 16 do not move, and the positioning state of the substrate P can be maintained. Therefore, power consumption during normal operation of the component mounting line, for example, in a mountable state, can be suppressed.

また、幅変更機構７２は、幅変更駆動用モータ７１によって回転駆動される送りねじ７５，７５と、可動支持部材１４に固定された送りナット７６，７６とを備えている。これにより、幅変更機構７２は、簡易な機構により構成できることになる。よって、これら装置構成を採用することで、幅変更駆動用モータ７１の励磁を切るという電力消費の抑制が可能となる。 The width changing mechanism 72 includes feed screws 75 and 75 that are rotationally driven by the width changing drive motor 71 and feed nuts 76 and 76 that are fixed to the movable support member 14. Thereby, the width changing mechanism 72 can be configured by a simple mechanism. Therefore, by adopting these device configurations, it is possible to suppress power consumption by cutting off the excitation of the width change drive motor 71.

また、制御装置９０は、バックアップ装置８０のバックアッププレート８３の昇降を検知する昇降センサ９９からの信号により幅変更駆動用モータ７１の励磁をオフにするようにしている。これにより、制御装置９０は、基板Ｐの上面両側縁が第１、第２レール１５，１６のクランプ部１５ｂ，１６ｂに確実に当接されてクランプされた後に、幅変更駆動用モータ７１の励磁をオフにすることができる。よって、基板Ｐのクランプ前に幅変更駆動用モータ７１の励磁がオフになることはなく、基板Ｐの位置ずれを防止することができる。 In addition, the control device 90 turns off the excitation of the width change drive motor 71 by a signal from the elevation sensor 99 that detects the elevation of the backup plate 83 of the backup device 80. As a result, the control device 90 excites the width change drive motor 71 after the upper side edges of the substrate P are securely abutted and clamped to the clamp portions 15b, 16b of the first and second rails 15, 16. Can be turned off. Therefore, the excitation of the width change drive motor 71 is not turned off before the substrate P is clamped, and the position shift of the substrate P can be prevented.

なお、上述の実施の形態では、バックアップ装置８０は、昇降駆動用モータ８１により回転される送りナット８２２と、送りナット８２２の回転によりＺ軸方向に移動可能な昇降軸８２１とを備えた昇降装置８２により構成したが、例えば、図９に示すように、エアシリンダ８８を利用した昇降装置１００により構成してもよい。このエアシリンダ８８は、シリンダ８８ａの内周部に嵌入されているピストン８８ｂよりも下方に圧縮コイルばね８９が配置され、シリンダ８８ａの周壁上部に圧縮空気を出入するポート８８ｃが穿設されている。そして、ピストン８８ｂから上方に延びるロッド８８ｄの一端面には、バックアッププレート８３に穿設されている位置決め凹部８３ａに嵌入可能な位置決め凸部８８ｅが突設されている。 In the above-described embodiment, the backup device 80 includes a feed nut 822 rotated by the lift drive motor 81 and a lift shaft 821 that can move in the Z-axis direction by the rotation of the feed nut 822. However, for example, as shown in FIG. 9, it may be configured by an elevating device 100 using an air cylinder 88. In the air cylinder 88, a compression coil spring 89 is disposed below the piston 88b fitted in the inner peripheral portion of the cylinder 88a, and a port 88c for allowing compressed air to enter and exit is formed in the upper portion of the peripheral wall of the cylinder 88a. . A positioning projection 88e that can be fitted into a positioning recess 83a formed in the backup plate 83 projects from one end surface of the rod 88d that extends upward from the piston 88b.

基板Ｐをクランプしないときは、圧縮空気がポート８８ｃからシリンダ８８ａの内周部に入れられ、ピストン８８ｂにより圧縮コイルばね８９が圧縮される。これにより、バックアッププレート８３を下降させることができる。一方、基板Ｐをクランプするときは、シリンダ８８ａの内周部の圧縮空気をポート８８ｃから抜き、圧縮コイルばね８９の復元力によりピストン８８ｂを押し上げる。これにより、バックアッププレート８３を上昇させることができる。 When the substrate P is not clamped, compressed air is introduced from the port 88c into the inner periphery of the cylinder 88a, and the compression coil spring 89 is compressed by the piston 88b. Thereby, the backup plate 83 can be lowered. On the other hand, when clamping the substrate P, the compressed air in the inner periphery of the cylinder 88 a is extracted from the port 88 c and the piston 88 b is pushed up by the restoring force of the compression coil spring 89. Thereby, the backup plate 83 can be raised.

よって、基板Ｐを第１、第２レール１５，１６のクランプ部１５ｂ，１６ｂに当接させてクランプするときは、圧縮空気を供給するポンプの駆動をオフにすることができるので、部品実装ラインの正常動作中における電力消費を抑制することができる。また、このエアシリンダ８８を利用した昇降装置１００を備えたバックアップ装置８０によれば、昇降駆動用モータ８１、プーリ８４，８５，８６およびベルト８７は不要となるので、装置コストを低減することができる。 Therefore, when the substrate P is clamped by being brought into contact with the clamp portions 15b and 16b of the first and second rails 15 and 16, the drive of the pump that supplies the compressed air can be turned off. Power consumption during normal operation can be suppressed. Further, according to the backup device 80 including the lifting device 100 using the air cylinder 88, the lifting drive motor 81, the pulleys 84, 85, 86, and the belt 87 are not necessary, so that the device cost can be reduced. it can.

また、本実施形態の基板搬送装置１０は、部品実装装置１に適用する場合を説明したが、基板Ｐ上に半田を印刷する印刷装置や印刷した半田を検査する検査装置等にも適用することができる。 Moreover, although the board | substrate conveyance apparatus 10 of this embodiment demonstrated the case where it applied to the component mounting apparatus 1, it is applied also to the printing apparatus which prints the solder on the board | substrate P, the test | inspection apparatus which test | inspects the printed solder, etc. Can do.

１…部品実装装置、１０…基板搬送装置、１１…搬送装置、１３…固定支持部材、１４…可動支持部材、１５…第１レール、１６…第２レール、１５ａ…第１ガイド部、１６ａ…第２ガイド部、１５ｂ…第１クランプ部、１６ｂ…第２クランプ部、１７…第１コンベアベルト、１８…第２コンベアベルト、２０…部品供給装置、３０…部品移載装置、６５…搬送駆動用モータ、７０…幅変更装置、７１…幅変更駆動用モータ、７２…幅変更機構、７５…送りねじ、７６…送りナット、８０…バックアップ装置、８１…昇降駆動用モータ、９０…制御装置、９８…搬送センサ、９９…昇降センサ。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Component mounting apparatus, 10 ... Board transfer apparatus, 11 ... Transfer apparatus, 13 ... Fixed support member, 14 ... Movable support member, 15 ... 1st rail, 16 ... 2nd rail, 15a ... 1st guide part, 16a ... 2nd guide part, 15b ... 1st clamp part, 16b ... 2nd clamp part, 17 ... 1st conveyor belt, 18 ... 2nd conveyor belt, 20 ... Component supply apparatus, 30 ... Component transfer apparatus, 65 ... Conveyance drive Motor, 70 ... width changing device, 71 ... width changing drive motor, 72 ... width changing mechanism, 75 ... feed screw, 76 ... feed nut, 80 ... backup device, 81 ... lifting drive motor, 90 ... control device, 98: Transport sensor, 99: Lift sensor.

Claims

A pair of support members that extend in the transport direction of the substrate and are mounted so as to be relatively movable in a direction perpendicular to the transport direction;
A pair of rails provided in parallel with the pair of support members and provided with a guide portion for guiding a side surface of the substrate to be conveyed and a clamp portion disposed above the guide portion;
A width changing mechanism driven by an electric motor to change the distance between the pair of support members;
A backup device arranged to be movable up and down with respect to the rail;
After the clamping of the substrate is completed by raising the backup device, the excitation of the electric motor is turned off, and when the clamping of the substrate is released by lowering the backup device, the excitation of the electric motor is turned on. A substrate transfer device comprising: a control device;

In claim 1,
One of the pair of support members is a fixed support member,
The other support member is a movable support member,
The width changing mechanism includes a feed screw that is rotationally driven by the electric motor and a feed nut fixed to the movable support member.

In claim 1 or 2,
Comprising a sensor for detecting elevation of the backup device;
The said control apparatus is a board | substrate conveyance apparatus which turns off the excitation of the said electric motor by the signal from the said sensor.