JP5852244B2 - Substrate pasting apparatus and substrate pasting method - Google Patents
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Description
本発明は、一対の基板を貼り合わせる基板貼合装置に関する。 The present invention relates to a substrate bonding apparatus for bonding a pair of substrates.
スマートフォンやPDA(パーソナルデジタルアシスタント)などの電子機器において、ディスプレイにユーザが指やペン等で触れてジェスチャ操作を行うことを可能とするタッチパネルを備えたものが多く用いられている。 2. Description of the Related Art Electronic devices such as smartphones and PDAs (personal digital assistants) are often provided with a touch panel that enables a user to perform a gesture operation by touching a display with a finger or a pen.
このような電子機器は、筐体表面に配置されたディスプレイに、タッチパネルシートとカバーパネルとを積層した積層基板体を被覆して構成される。 Such an electronic device is configured by covering a display disposed on a housing surface with a laminated substrate body in which a touch panel sheet and a cover panel are laminated.
積層基板体の製造方法は、一例として、基板貼合装置の載置面に載置したタッチパネルシート表面に接着剤を塗布して、上方に保持したカバーパネルに対して押し付けて接合する。 As an example, the method of manufacturing the laminated substrate body applies an adhesive to the surface of the touch panel sheet placed on the placement surface of the substrate bonding apparatus, and presses and bonds the adhesive to the cover panel held upward.
電子機器の筐体側面部分には機器操作用の物理ボタンが設けられていることが多かったが、近年、柔軟性の高い有機ELディスプレイを用いて、筐体表面だけでなく筐体の側面にもディスプレイを延設し、側面部分においてもタッチパネルによるジェスチャ操作を可能とすることが提案されている。 In many cases, physical buttons for device operation have been provided on the side of the casing of electronic devices, but in recent years, a highly flexible organic EL display has been used not only on the surface of the casing but also on the side of the casing. In addition, it has been proposed that a display is extended to enable gesture operation using a touch panel even on a side surface portion.
そのため、積層基板体も、両端を湾曲又は屈曲して立ち上げて凹形状とし、ディスプレイを表面から側面にかけて覆うように構成する必要がある。 Therefore, the laminated substrate body also needs to be configured to be bent and bent at both ends to form a concave shape so as to cover the display from the surface to the side surface.
凹形状の積層基板体を製造するためには、まず、カバーパネルとなるガラス又は樹脂製の基板の両端を湾曲又は屈曲して凹状に成形する。次に可撓性を有するタッチパネル用シートを、このカバーパネルの凹面に沿って密着するように積層処理を行う必要がある。 In order to manufacture a concave laminated substrate body, first, both ends of a glass or resin substrate serving as a cover panel are bent or bent to form a concave shape. Next, it is necessary to perform a lamination process so that the flexible touch panel sheet adheres along the concave surface of the cover panel.
積層処理の方法としては、例えば、基板貼合装置の載置面をカバーパネルの凹面に嵌合する凸面とし、接着剤を塗布したタッチパネルシートを撓ませてこの凸面上に沿わせて保持する。そしてカバーパネルの凹面に押し込んで両者を接合する。 As a method for the lamination process, for example, the mounting surface of the substrate bonding apparatus is a convex surface that fits into the concave surface of the cover panel, and the touch panel sheet coated with the adhesive is bent and held along the convex surface. And it pushes into the concave surface of a cover panel, and joins both.
しかしながら、このような製造方法の場合、カバーパネルの凹面にタッチパネルシートを押し込んだ際に、カバーパネルの両端の湾曲又は屈曲した立ち上がり部に接着剤が塗布されたタッチパネルシートが面接触で擦りながら押し込まれることになる。 However, in the case of such a manufacturing method, when the touch panel sheet is pushed into the concave surface of the cover panel, the touch panel sheet coated with an adhesive is pushed into the curved or bent rising portions at both ends of the cover panel while being rubbed in surface contact. Will be.
この面接触によって接着剤が削り取られてしまい、カバーパネルとタッチパネルシートが適切に接合されなかったり、接着剤の一部が外にはみ出して製品不良を招く可能性があった。 Due to this surface contact, the adhesive may be scraped off, and the cover panel and the touch panel sheet may not be appropriately joined, or a part of the adhesive may protrude to the outside and cause a product defect.
また、カバーパネルの両端の湾曲又は屈曲した立ち上がり部の湾曲度合いや屈曲度合いに製造誤差が生じる場合がある。この場合、基板貼合装置の載置面をカバーパネルの凹面に嵌合する凸面の形状が一致せず、両者が密着させづらいことがある。 In addition, there may be a manufacturing error in the degree of bending or the degree of bending of the bent or bent rising portion at both ends of the cover panel. In this case, the shape of the convex surface which fits the mounting surface of the board | substrate bonding apparatus to the concave surface of a cover panel may not correspond, and it may be difficult to stick both.
本発明は、上述のような問題点を解決するために提案されたものである。すなわち、本発明は、凹面を有する凹状基板と可撓性を有する薄状基板とを接着剤を介して精度よく貼り合わせることのできる基板貼合装置を提供することを目的とする。 The present invention has been proposed to solve the above-described problems. That is, an object of this invention is to provide the board | substrate bonding apparatus which can bond the concave board | substrate which has a concave surface, and the thin board | substrate which has flexibility with an adhesive agent accurately.
本発明は、凹面を有する凹状基板と可撓性を有する薄状基板とを、接着剤を介して貼り合わせる基板貼合装置であって、前記凹状基板の凹面に対して、前記薄状基板を押圧する押圧手段を有し、前記押圧手段は、前記凹状基板の凹面に前記薄状基板を押し付ける押付部と、前記押付部の脇に位置し、前記押付部による前記凹状基板に対する前記薄状基板の押し付けとともに、前記凹状基板の凹面内に収まり、前記薄状基板を前記凹面に倣って圧着させるように変位する変位部と、を有することを特徴とする。 The present invention is a substrate bonding apparatus for bonding a concave substrate having a concave surface and a flexible thin substrate via an adhesive, and the thin substrate is attached to the concave surface of the concave substrate. A pressing unit that presses the pressing unit, the pressing unit pressing the thin substrate against the concave surface of the concave substrate; and the thin substrate that is positioned on the side of the pressing unit with respect to the concave substrate by the pressing unit. And a displacement portion that fits within the concave surface of the concave substrate and displaces the thin substrate so as to follow the concave surface.
前記押付部は、中心ブロックであり、前記変位部は、前記中心ブロックと接近及び離反可能な分離ブロックであり、前記押圧手段は、前記中心ブロックと前記分離ブロックが前記凹面よりも小さく縮まるまで、前記分離ブロックを前記中心ブロックに寄せて、前記薄状基板とともに前記凹面内に入り込ませ、前記分離ブロックを前記凹面内で前記凹状基板の側辺部方向へ移動させることで、前記薄状基板を前記凹面に倣って押し拡げるようにしてもよい。 The pressing portion is a center block, the displacement portion is a separation block that can approach and separate from the center block, and the pressing means until the center block and the separation block contract smaller than the concave surface, The separation block is brought close to the central block, enters the concave surface together with the thin substrate, and the separation block is moved in the concave surface toward the side portion of the concave substrate, thereby reducing the thin substrate. You may make it expand according to the said concave surface.
前記分離ブロックは、前記凹状基板の側辺部が有する前記凹面の部分と概略同一形状の押圧曲面を該側辺部側に有するようにしてもよい。 The separation block may have a pressing curved surface substantially in the same shape as the concave portion of the side portion of the concave substrate on the side portion side.
前記変位部の少なくとも一部が、弾性部材により構成されていてもよい。 At least a part of the displacement part may be constituted by an elastic member.
前記押圧手段は、前記分離ブロックを前記中心ブロックに寄せたときの全体形状に倣って前記薄状基板を予め曲げ成形するガイド手段を更に備え、前記分離ブロックは、前記曲げ成形後、前記凹状基板の前記側辺部方向へ移動するようにしてもよい。 The pressing means further includes guide means for pre-bending the thin substrate following the overall shape when the separation block is moved to the central block, and the separation block is formed into the concave substrate after the bending. You may make it move to the said side part direction.
前記ガイド手段は、前記薄状基板の側辺端面に引っ掛かって外力を与えることで、当該薄状基板を予め前記曲げ成形するツメ部を含むようにしてもよい。 The guide means may include a claw portion that preliminarily bends the thin substrate by applying an external force by being hooked on the side edge surface of the thin substrate.
前記分離ブロックは、前記ツメ部による前記曲げ成形の最中、前記凹状基板の側辺部と前記薄状基板を介して当接する位置よりも外側方の位置から、前記中心ブロックに寄った位置まで移動するようにしてもよい。 The separation block is located at a position closer to the central block from a position outside the position where the side of the concave substrate abuts on the side of the thin substrate during the bending by the claw portion. You may make it move.
前記ツメ部は、外力を受けていない前記薄状基板の側辺端面を通り、前記分離ブロックの外形に沿って移動するようにしてもよい。 The claw portion may move along the outer shape of the separation block through the side edge surface of the thin substrate not receiving external force.
前記ツメ部は、外力を受けていない前記薄状基板の側辺端と、前記中心ブロックに寄った前記分離ブロックの外形に沿って曲げ成形された後の前記薄状基板の側辺端とを通る直線上を移動するようにしてもよい。 The claw portion includes a side edge of the thin substrate that is not subjected to an external force, and a side edge of the thin substrate after being bent along the outer shape of the separation block close to the center block. You may make it move on the straight line which passes.
前記中心ブロックと前記分離ブロックとの全体形状に倣って曲げ成形された前記薄状基板を前記分離ブロックに吸着させる吸引手段を更に備えるようにしてもよい。 You may make it further provide the attraction | suction means which makes the said separation block adsorb | suck the said thin substrate bent according to the whole shape of the said center block and the said separation block.
前記凹状基板及び前記薄状基板の少なくとも一方に塗布されている前記接着剤を、前記薄状基板を前記凹状基板に貼り合わせる前及び貼り合わせた後の少なくとも一方において、仮硬化させる硬化処理部を備えるようにしてもよい。 A curing unit that temporarily cures the adhesive applied to at least one of the concave substrate and the thin substrate before and after the thin substrate is bonded to the concave substrate; You may make it prepare.
前記凹状基板及び前記薄状基板の少なくとも一方に塗布されている前記接着剤を、前記凹状基板の側辺部の貼り合わせ前及び前記側辺部の貼り合わせ後の少なくとも一方において、仮硬化させる硬化処理部を備えるようにしてもよい。 Curing in which the adhesive applied to at least one of the concave substrate and the thin substrate is temporarily cured at least before bonding of the side portions of the concave substrate and after bonding of the side portions. A processing unit may be provided.
前記押圧手段は、前記変位部を支持する支持部を有し、前記変位部は、他端を前記薄状基板に接触させながら、前記凹状基板の側辺部に向かって変位することにより、前記薄状基板を前記凹面に倣って圧着させ、前記支持部は、前記変位部の他端を変位の支点として支持するようにしてもよい。 The pressing means includes a support portion that supports the displacement portion, and the displacement portion is displaced toward the side portion of the concave substrate while bringing the other end into contact with the thin substrate, The thin substrate may be pressure-bonded following the concave surface, and the support portion may support the other end of the displacement portion as a displacement fulcrum.
前記変位部の一端は、前記凹状基板への前記薄状基板の圧着を維持するように、前記支点との間の距離が可変に設けられていてもよい。 One end of the displacement portion may be provided with a variable distance from the fulcrum so as to maintain the pressure bonding of the thin substrate to the concave substrate.
なお、上記のような態様を、方法として捉えたものも、本発明の一態様である。 In addition, what caught the above aspects as a method is also 1 aspect of this invention.
本発明によれば、凹状基板の凹面空間内に薄状基板を押し込む際、薄状基板と凹状基板の側辺部とが面接触して擦れることはない。そのため、誤った箇所同士が接着してしまい、薄状基板のシワ発生、薄状基板と凹状基板との間の非密着箇所発生を抑制することができる。また、薄状基板が凹状基板の側辺部を面で摩りながら押し込まれることがなくなるため、接着剤の外側への流出を防止し、接着力の低下、意匠性の低下、接着剤を介した短絡等を防止することができる。 According to the present invention, when the thin substrate is pushed into the concave space of the concave substrate, the thin substrate and the side portion of the concave substrate are not brought into surface contact and rubbed. Therefore, erroneous locations are bonded to each other, and generation of wrinkles of the thin substrate and generation of non-contacted portions between the thin substrate and the concave substrate can be suppressed. In addition, since the thin substrate is not pushed in while grinding the side part of the concave substrate with the surface, the outflow of the adhesive is prevented, the adhesive force is decreased, the design property is decreased, and the adhesive is interposed. A short circuit or the like can be prevented.
以下、本発明に係る基板貼合装置の実施形態について図面を参照しつつ詳細に説明する。 Hereinafter, an embodiment of a substrate bonding apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
(基板)
予め、本発明の基板貼合装置によって貼り合わされる基板について説明する。図1は、貼り合わせ後の各種基板の断面を示す模式図である。本発明の基板貼合装置1は、接着剤Rを使って凹状基板20の凹面20aに沿って、薄状基板21を貼り合わせる。(substrate)
The board | substrate bonded together by the board | substrate bonding apparatus of this invention is demonstrated previously. FIG. 1 is a schematic view showing cross sections of various substrates after bonding. The board |
薄状基板21は、タッチパネル、装飾フィルム、又は有機ELディスプレイや液晶ディスプレイ等の各種のフィルムである。一方、凹状基板20は、薄状基板21を保護するためのガラスやアクリル等の保護パネルである。例えば、薄状基板21を保護する目的で、薄状基板21の全面が凹状基板20に覆われるように、薄状基板21の全面を凹状基板20に接着剤Rで密着させる。 The
この薄状基板21は、可撓性を有する薄い基板である。薄状基板21は、凹状基板20の凹面20aに貼り付けるために、当該凹面20aに倣った曲げ変形が可能な程度の可撓性があれば十分である。 The
凹状基板20は、凹面20aを有した基板である。凹面20aは、凹状基板20の少なくとも側辺部20bが湾曲部又は屈曲部より立ち上がって形成されている。すなわち、湾曲や屈曲により基板表面に凹面20aが形成されているものが凹状基板20である。 The
凹状基板20の側辺部20b以外の中心領域は、平坦であっても、側辺部20bと連続して湾曲していてもよい。また、凹状基板20は、全体的に反り返るようにしてもよいし、凹面20aと反対側となる背面は凹面20aと関係のない形状、例えば平坦面であってもよい。また、対向する一対の側辺部20bが立ち上がっていてもよいし、いずれか一つの側辺部20bが立ち上がっていてもよいし、三方の側辺部20bが立ち上がっていてもよい。中心を四方から囲むように対向する2組の側辺部20bがそれぞれ立ち上がっていてもよい。 The central region other than the
具体的には、凹状基板20は、図1の(a)に示すように、略瓦型又は断面略円弧型であり、(b)に示すように、側辺部20bが直角に立ち上がった屈曲部を有する略コの字型であり、また(c)に示すように、側辺部20bが湾曲部によって立ち上がった略U字型を含む。 Specifically, as shown in FIG. 1A, the
以下、単に側辺部20bと呼ぶ場合には、凹面20aを形成すべく立ち上がっている側辺部20bを指す。また、当該側辺部20bの両端を含んだ平面と凹面20aとで囲まれた空間を、凹面20aが画成する凹面空間20cと呼ぶ。 Hereinafter, when it is simply referred to as the
接着剤Rは、外部のエネルギーを受容して硬化するものであれば、特に限定はなく、例えば、熱硬化性樹脂、光硬化性樹脂、放射線硬化性樹脂、その他電磁波を受けて硬化する各種樹脂、又は乾燥により硬化する樹脂である。 The adhesive R is not particularly limited as long as it accepts and cures external energy. For example, a thermosetting resin, a photocurable resin, a radiation curable resin, and other various resins that are cured by receiving electromagnetic waves. Or a resin that hardens upon drying.
(第1の実施形態)
第1の実施形態に係る基板貼合装置1について図面を参照して説明する。図2は、第1の実施形態に係る基板貼合装置1の構成図である。図3は、第1の実施形態に係る基板貼合装置1が備える押圧機構4(押圧手段)の構成図である。(First embodiment)
The board |
(構成)
図2に示すように、この基板貼合装置1は、図示しない真空源に接続された真空チャンバ9内に、保持部3と押圧機構4(押圧手段)とを対向させている。保持部3と押圧機構4とは、相対的に接近が可能となっている。例えば、保持部3と押圧機構4の両方又は一方には、相手方に向けて接近又は離反するように移動させるアクチュエータを有する。(Constitution)
As shown in FIG. 2, this board |
保持部3は、静電チャック、メカチャック、真空チャック、粘着チャック、又はその他各種のチャック機構によって凹状基板20を保持する。押圧機構4は、同様の各種のチャック機構の何れかによって薄状基板21を保持しながら、薄状基板21を凹面空間20c内に押し込み、薄状基板21を凹状基板20の凹面20aに倣って曲げ変形させながら凹面20aに押し拡げる。 The holding
図3に示すように、押圧機構4は、2種類の形態に連続的に変形可能となっている。押圧機構4の第1の形態は、図3の(a)に示すように、凹面20aが画成する凹面空間20cよりも小さく縮こまった縮小体である。押圧機構4の第2の形態は、図3の(c)に示すように、凹面20aに倣って拡大した膨張体である。 As shown in FIG. 3, the
押圧機構4が縮小体の態様を採ることで、押圧機構4は凹面20aと接触することなく、薄状基板21を巻き込んで凹面空間20cに入り込み、膨張体の態様に移行する過程で、薄状基板21を基板中心から外側に向かって凹面20aに倣うように曲げ変形させながら押し拡げ、薄状基板21の全面を凹状基板20に接着剤Rを介して密着させる。 Since the
この押圧機構4は、中心ブロック41と分離ブロック42とを備えている。分離ブロック42は、凹状基板20の側辺部20bと向かい合うように中心ブロック41の脇に並んでいる。凹状基板20の四方のうちの一辺のみが立ち上がった側辺部20bである場合には、その側辺部20bと対向するように一機の分離ブロック42が配置され、四方のうちの対向する二辺が立ち上がった側辺部20bである場合には、それら側辺部20bと対向するように、中心ブロック41の両脇に分離ブロック42が配置され、四辺の全てが立ち上がった側辺部20bである場合には、中心ブロック41の四方に計4機の分離ブロック42が配置される。 The
中心ブロック41は、薄状基板21の中心領域を凹状基板20の中心領域に押し付ける。すなわち、この中心ブロック41は、凹面20aの中心領域の面形状に倣った上面を有する概略直方体である。概略直方体とは、凹面20aの中心領域が湾曲していれば、それに倣って上面が隆起しており、凹面20aの中心領域が平坦であれば、それに倣って上面が平坦である。 The
分離ブロック42は、薄状基板21を凹状基板20の凹面20aに倣って押し拡げる。また、この分離ブロック42は、凹状基板20の側辺部20bまで及んで薄状基板21を隙間無く密着させる。そのため、分離ブロック42は、全体的には概略直方体であるが、凹状基板20の側辺部20bと対向する押圧曲面42aが当該側辺部20bの湾曲又は屈曲した面形状に対応した概略同一となっている。例えば、側辺部20bが湾曲部によって立ち上がっている場合、押圧曲面42aは、湾曲部の曲率と薄状基板21の厚み、塗布された接着剤Rの厚みを考慮した曲率の丸みを帯びている。 The
更に、中心ブロック41は、凹状基板20の側辺部20b方向に対しては不動であり、凹状基板20に向かう方向のみ移動可能となっている。一方、分離ブロック42は、凹状基板20に向かう方向のみならず、中心ブロック41から離れるように外方へ移動可能となっている。具体的には、図3の(a)及び(b)に示すように、中心ブロック41に寄った第1の位置Aと、図3の(c)に示すように、凹状基板20の側辺部20bに薄状基板21を介して当接する第2の位置Bとの間を水平移動する。 Furthermore, the
分離ブロック42が第1の位置Aに存在するとき、中心ブロック41と分離ブロック42との全体的な対向領域は凹状基板20の凹面空間20cよりも小さく縮まり、縮小体の形態となる。全体的な対向領域とは、中心ブロック41の凹面20aと対向する領域と分離ブロック42の凹面20aと対向する領域とが内接する領域である。すなわち、両脇の分離ブロック42の幅と中心ブロック41の幅の合計は、凹状基板20の凹面幅よりも小さい。 When the
また、分離ブロック42が第2の位置Bに存在するとき、中心ブロック41と分離ブロック42とが形成する全体的な対向領域が凹状基板20の凹面20aに沿うまで拡大し、膨張体の形態となる。すなわち、分離ブロック42は、凹状基板20の凹面幅から、両脇の分離ブロック42の幅と中心ブロック41の幅の合計を差し引いた分だけ、第1の位置Aから第2の位置Bへ移動する。 Further, when the
(作用)
この基板貼合装置1は、まず、第1のステップとして、図3の(a)に示すように、分離ブロック42は第1の位置Aに移動させることで中心ブロック41に寄せておく。すなわち、第1のステップでは、分離ブロック42と中心ブロック41とを縮小体の形状に変形させておく。(Function)
As shown in FIG. 3A, the
そして、保持部3に凹状基板20を設置し、中心ブロック41及び両脇の分離ブロック42の上面に薄状基板21を載せる。このとき、凹状基板20と薄状基板21とは、真空チャンバ9内において対向する。凹状基板20は、薄状基板21に凹面20aを向けるように設置しておく。接着剤Rは、凹状基板20、薄状基板21、又はその両方の対向面に塗布しておく。 Then, the
次に、第2のステップとして、図3の(b)に示すように、保持部3と縮小体とを相対的に接近させる。縮小体が凹面空間20c内に入り込むとき、薄状基板21も凹面空間20c内に押し込まれる。このとき、縮小体は凹面空間20cより小さい。従って、薄状基板21と凹状基板20の側辺部20bとは、点接触の可能性は残るものの、面接触しない。面接触しないため、薄状基板21が凹状基板20の側辺部20bを面で擦りながら押し込まれることはない。 Next, as a second step, as shown in FIG. 3B, the holding
保持部3と縮小体の相対的な接近は、薄状基板21の中心領域が凹状基板20の中心領域に押し付けられるまで続行される。例えば、アクチュエータにトルクセンサ等を設置しておくことで、当該押し付けを感知可能である。 The relative approach of the holding
第3のステップとして、図3の(c)に示すように、分離ブロック42を中心ブロック41から離反するように第2の位置Bへ移動させる。そうすると、中心ブロック41と分離ブロック42とが形成する全体的な対向領域が凹状基板20の凹面20aに沿うまで拡大し、凹状基板20の凹面形状及び大きさに一致する。尚、実際は薄状基板21と接着剤Rが介在する分、大きさは若干小さい。 As a third step, the
このとき、薄状基板21は、分離ブロック42の水平移動に伴って、中心領域から端へ向かって凹状基板20の凹面20aに倣って押し拡げられていく。分離ブロック42は、押圧曲面42aが当該側辺部20bの面形状と一致する外形状を有している。そのため、薄状基板21と凹状基板20とが全域において密着する。しかも、中心から端に向かって順に密着していくため、凹状基板20と薄状基板21との間に空間は生じない。 At this time, the
(効果)
以上のように、本実施形態の基板貼合装置1が備える押圧機構4は、中心ブロック41と分離ブロック42とを備える。分離ブロック42は、中心ブロック41の脇に位置し、中心ブロック41と接近及び離反可能となっている。そして、中心ブロック41と分離ブロック42と形状が凹状基板20の凹面空間20cよりも小さく縮まるまで、分離ブロック42を中心ブロック41に寄せて、薄状基板21とともに凹面空間20c内に入り込ませる。次に、分離ブロック42を凹面空間20c内で凹状基板20の立ち上がった側辺部20b方向へ移動させることで、薄状基板21を凹面20aに倣って押し拡げる。(effect)
As described above, the
この押圧機構4によると、凹状基板20の凹面空間20c内に薄状基板21を押し込む際、薄状基板21と凹状基板20の側辺部20bとが面接触して擦れることはない。そのため、誤った箇所同士が接着してしまい、薄状基板21のシワ発生、薄状基板21と凹状基板20との間の非密着箇所発生を抑制することができる。また、薄状基板21が凹状基板20の側辺部20bを面で擦りながら押し込まれることがなくなるため、接着剤Rの外側への流出を防止し、接着力の低下、意匠性の低下、接着剤Rを介した短絡等を防止することができる。 According to the
また、薄状基板21は、分離ブロック42の水平移動に伴って、中心領域から端へ向かって凹状基板20の凹面20aに押し付けられていく。そのため、薄状基板21のシワ発生、薄状基板21と凹状基板20との間の非密着箇所発生を更に抑制することができる。 The
また、分離ブロック42は、凹状基板20の立ち上がった側辺部20bが有する凹面20aの部分と概略同一形状の押圧曲面42aを該側辺部20b側に有する。そのため、凹状基板20に対しても薄状基板21を全域において密着させることができる。従って、凹状基板20に対して薄状基板21を貼り合わせる場合であっても、品質の高い貼合物を製造することができる。 Further, the
(第2の実施形態)
(構成)
図4は、凹状基板20の側辺部20bを示す拡大図である。図4に示すように、凹状基板20の側辺部20bは、湾曲度合いや屈曲度合いに製造誤差が生じる場合がある。この場合、分離ブロック42の押圧曲面42aと凹状基板20の側辺部20bの形状が一致せず、薄状基板21を凹状基板20の凹面20aに密着させづらいことがある。(Second Embodiment)
(Constitution)
FIG. 4 is an enlarged view showing the
そこで、第2の実施形態に係る基板貼合装置1は、図5に示すように、弾力部材よりなる分離ブロック42を備えている。弾力部材を素材とする部分は、凹状基板20の側辺部20bと密着する押圧曲面42aのみであってもよいし、分離ブロック42の簡便な製造のため、全てを弾性部材としてもよい。 Then, the board |
弾性部材は、押し付けたときに弾性変形して側辺部20bと概略同一形状になり、押し付け解除によって元の形状に戻る部材であり、弾性力を有する天然ゴムのシート又はブロック、ポリブタジエン系、ニトリル系、クロロプレン系等の合成ゴムのシート又はブロック、ポリウレタン等の繊維よりなるシート又はブロック、繊維を束ねたブラシ等が挙げられる。後述する弾性部材も同様である。 The elastic member is a member that is elastically deformed when pressed and has substantially the same shape as the
(作用効果)
図5は、少なくとも押圧曲面42aを弾性部材で構成した場合の分離ブロック42の押圧態様を示す図である。図5の(a)及び(b)に示すように、凹状基板20の側辺部20bの形状に誤差が生じていたとしても、その誤差を吸収するように押圧曲面42aが側辺部20bの形状に倣って変形する。そのため、薄状基板21の全域を凹状基板20に押し付けることができ、薄状基板21は凹面20aに精度よく倣って曲げ変形し、薄状基板21と凹状基板20との密着が実現される。(Function and effect)
FIG. 5 is a diagram illustrating a pressing mode of the
従って、凹状基板20に製造誤差が存在していても、品質の高い貼合物を製造することができる。 Therefore, even if a manufacturing error exists in the
(第3の実施形態)
図6は、第3の実施形態に係る基板貼合装置1のうち、押圧機構4の斜視図である。尚、第1の実施形態と同一構成、同一機能については同一符号を付し、詳細な説明を省略する。(Third embodiment)
FIG. 6 is a perspective view of the
(構成)
第3の実施形態に係る基板貼合装置1は、薄状基板21を凹状基板20の凹面空間20cに押し込む前に、薄状基板21を曲げ成形することで、分離ブロック42を中心ブロック41に寄せてなる縮小体に巻き付けておく。この基板貼合装置1において、中心ブロック41及び分離ブロック42は、図6に示すように、同一ステージ44上に長辺を同一方向に延ばして設置されている。中心ブロック41は、当該ステージ44に固定されている。(Constitution)
The board |
また、ステージ44には、レール45が敷設されている。分離ブロック42は、このレール45上を摺動するスライド台46に固定されている。レール45は、分離ブロック42の長辺を横断する方向に延びている。すなわち、レール45上を滑ることで中心ブロック41に対して接離し、中心ブロック41と分離ブロック42とは縮小体及び膨張体の形態をとる。 A
分離ブロック42を移動させる駆動手段は、サーボモータやステッピングモータ等の回転機47aと、回転機47aに接続されたボールネジ47bである。ボールネジ47bは、レール45と平行に延設され、各分離ブロック42を載せた各スライド台46は、当該ボールネジ47bに嵌合している。各スライド台46に対応するネジ溝は、互いに反対方向に穿設されている。 The driving means for moving the
このボールネジ47bによると、ネジ軸が一方向に回転させられると、各スライド台46は互いに反対方向に移動する。すなわち、両脇の分離ブロック42は、それぞれ、中心ブロック41と接近又は離反する方向に移動する。 According to this
ここまでの押圧機構4の詳細構成は、第1の実施形態に係る基板貼合装置1も同一である。第3の実施形態では、更に、各分離ブロック42の外側にツメ部5を備えている。ツメ部5は、分離ブロック42が第1の位置Aにあるときの、中心ブロック41と分離ブロック42の形状に倣って、薄状基板21を予め曲げ成形するガイド手段である。 The detailed configuration of the
このツメ部5は、分離ブロック42と概略同一の長さの板形状を有し、分離ブロック42に沿って取り付けられている。ツメ部5は、分離ブロック42の両端中心に向かって屈曲したフランジ5aを両端に有し、分離ブロック42の軸を貫く回転軸48に当該フランジ5aで軸支されている。この回転軸48は、サーボモータやステッピングモータ等の回転機49に接続されている。各回転軸48と各回転機49は、各スライド台46に固定されており、このツメ部5は、分離ブロック42の押圧曲面42aに沿って移動可能となっている。 The
(作用)
この基板貼合装置1の動作を図7を参照しつつ説明する。図7は、第3の実施形態に係る基板貼合装置1のうち、押圧曲面42a付近の動きを示す状態遷移図である。(Function)
The operation of the
まず、図7の(a)に示すように、分離ブロック42を第3の位置Cに移動させておく。第3の位置Cとは、第2の位置Bよりも更に外方であり、外力を受けていない平坦な薄状基板21が押圧機構4の上面に載置されたときに、分離ブロック42の押圧曲面42aに少し掛かる程度の位置である。 First, the
そして、分離ブロック42を第3の位置Cに移動させた状態で、外力を受けていない薄状基板21を押圧機構4の上面に載置し、図7の(b)に示すように、ツメ部5を分離ブロック42の上方に移動させて、薄状基板21の側辺端面に引っ掛ける。すなわち、薄状基板21の端が押圧曲面42aに少し飛び出る程度とは、ツメ部5が薄状基板21の側辺端面に引っ掛かって外力を及ぼし得る程度である。この時、接着剤Rは薄状基板21の外縁よりわずかに内側まで塗布されていて、ツメ部5が接触しない状態となっている事が好ましい。 Then, with the
ツメ部5を引っ掛けると、図7の(c)に示すように、分離ブロック42を第1の位置Aに引き戻し(後退)ながら、同時に、ツメ部5を押圧曲面42aに沿って下方向に回転させていく。ツメ部5と分離ブロック42は同一スライド台46と固定関係を有するため、ツメ部5と押圧曲面42aとの距離は変わらない。このとき、分離ブロック42の後退の度に薄状基板21には緩い撓みが生じる。そして、ツメ部5の回転の度に其の緩みを矯正するように、薄状基板21は分離ブロック42の押圧曲面42aに巻締められていく。 When the
分離ブロック42の後退とツメ部5の回転を続け、分離ブロック42が第1の位置Aに到達すると、図7の(d)に示すように、薄状基板21は、縮小体の上面に倣って巻き付いている。薄状基板21が縮小体の上面に巻き付いた状態では、薄状基板21の形状及び大きさは、凹状基板20の凹面20aよりも小さくなっている。 When the
そのため、図7の(e)に示すように、凹面空間20cに薄状基板21を押し込んでも、凹状基板20の側辺部20bと薄状基板21とが接触することはない。薄状基板21の凹面空間20cへの押し込みは、薄状基板21の中心領域が凹状基板20の中心領域に押し付けられるまで継続される。 Therefore, as shown in FIG. 7E, even if the
薄状基板21の凹面空間20cへの押し込みが完了すると、図7の(f)に示すように、ツメ部5を回転終了位置に維持させたまま、分離ブロック42を第2の位置Bへ移動させていき、図7の(g)に示すように、薄状基板21の全体を凹状基板20に密着させる。このように、薄状基板21と凹状基板20の側辺部20bとは、分離ブロック42が第2の位置Bに移動したときに初めて接触することとなる。 When the pushing of the
尚、ツメ部5は、薄状基板21と凹状基板20の側辺部20bとが密着するまで、又は図7の(h)に示すように、その密着の直前まで薄状基板21との係合を継続しておくことが望ましい。 The
(効果)
以上のように、押圧機構4は、分離ブロック42が第1の位置Aにあるときの中心ブロック41と分離ブロック42の形状に倣って薄状基板21を予め曲げ成形するガイド手段を更に備えるようにし、駆動手段は、この曲げ成形後に、分離ブロック42を第2の位置Bへ移動させるようにした。(effect)
As described above, the
これにより、薄状基板21は凹状基板20の凹面空間20cよりも小さくなっているため、凹状基板20の凹面空間20c内に薄状基板21を押し込む際、薄状基板21と凹状基板20の側辺部20bとが接触することはない。そのため、第1の実施形態に比しても、誤った箇所が接着剤Rで粘着してしまうことによる、薄状基板21のシワ発生、薄状基板21と凹状基板20との間の非密着箇所発生を更に抑制することができる。 Accordingly, since the
また、薄状基板21が凹状基板20の側辺部20bを面で擦りながら押し込まれることがなくなるため、接着剤Rの外側への流出を更に防止し、接着力の低下、意匠性の低下、接着剤Rを介した短絡等を更に防止することができる。 Further, since the
また、このガイド手段は、薄状基板21の側辺端面に引っ掛かって外力を与えることで、当該薄状基板21を予め曲げ成形するツメ部5である。そのため、薄状基板21に接着剤Rを塗布している場合であっても、曲げ成形のための当該接着剤Rの塗布面に対する接触を最小限に止めることができ、貼り合わせ前の接着力の低下や接着剤Rのムラ発生を抑制することができる。 In addition, the guide means is a
更に、駆動手段は、ツメ部5による曲げ成形の最中、分離ブロック42を第2の位置Bよりも外側方の第3の位置Cから第2の位置Bを通って第1の位置Aまで移動させるようにした。これにより、薄状基板21は、緩く撓みながらも其の度にツメ部5によって撓みを矯正するように分離ブロック42の押圧曲面42aに巻締められていく。 Further, the driving means moves the
従って、ツメ部5で薄状基板21の側辺端面のみを掴んでいる場合であっても、薄状基板21が曲げ成形中に誤った方向に大きく撓んだり、分離ブロック42に緩んで巻き付いたりすることなく、容易に曲げ成形することができる。そのため、薄状基板21を精度よく凹面空間20cよりも小さくすることができるとともに、分離ブロック42による押し拡げの際に薄状基板21を精度よく凹状基板20の凹面20aに密着させることができ、製品の品質は向上する。 Therefore, even when only the side edge surface of the
(第4の実施形態)
図8は、第4の実施形態に係る基板貼合装置1のうち、ツメ部5の動作を示す状態遷移図である。図8に示すように、ツメ部5は、分離ブロック42の外形に沿った回転移動をする他、薄状基板21の側辺端面を引っ掛けながら直線移動するようにしてもよい。(Fourth embodiment)
FIG. 8 is a state transition diagram illustrating the operation of the
すなわち、第4の実施形態に係るツメ部5は、図8(a)(b)に示すように、外力を受けていない薄状基板21の側辺端と、第1の位置Aにある分離ブロック42の外形に沿って曲げ成形された後の薄状基板21の側辺端とを通る直線上を移動する。 That is, as shown in FIGS. 8A and 8B, the
このようなツメ部5の移動態様によっても、薄状基板21の側辺端面のみを掴むため、薄状基板21に接着剤Rを塗布している場合であっても、曲げ成形のための当該接着剤塗布面に対する接触を最小限に止めることができ、貼り合わせ前の接着力の低下や接着剤Rのムラ発生を抑制することができる。 Even in the case where the adhesive R is applied to the
(第5の実施形態)
(構成)
図9は、第5の実施形態に係る基板貼合装置1の分離ブロック42の拡大図である。この分離ブロック42は、接着剤Rを硬化させるためのエネルギーを放射する硬化処理部42bを備えている。(Fifth embodiment)
(Constitution)
FIG. 9 is an enlarged view of the
この硬化処理部42bは、接着剤Rの垂れ防止、薄状基板21と凹状基板20との押し込み時における接触により生じる接着剤Rのムラ防止、又は曲げ形状で貼り合わされた薄状基板21形状維持のために用いられ、薄状基板21に塗布された接着剤Rを仮硬化させる。仮硬化とは、完全な硬化状態に到っていない状態のことである。 The curing
この硬化処理部42bは、曲げ成形された薄状基板21の形状維持のためには、分離ブロック42の内部に収容され、押圧曲面42aに向かってエネルギーを放射する。硬化処理部42bは、接着剤Rが熱硬化性樹脂であれば赤外線ランプであり、接着剤Rが紫外線硬化性樹脂であればUVランプである。 In order to maintain the shape of the bent
接着剤Rを仮硬化状態とする為には、接着剤Rに対して完全に硬化するには至らない量のエネルギーを放射すればよい。また、紫外線硬化樹脂であれば、大気などの酸素含有雰囲気における、厳密な放射エネルギー管理をしなくても、硬化の酸素阻害作用により仮硬化状態とすることができる。この場合、接着剤Rの内部のみが硬化となり、表面の粘性が保たれるので、接着剤Rの望まない流動を抑制しつつ、接着性を確保するようにできる。 In order to bring the adhesive R into a temporarily cured state, it is only necessary to emit an amount of energy that does not reach the adhesive R completely. Moreover, if it is an ultraviolet curable resin, it can be made into a temporary hardening state by the oxygen inhibitory effect | action of hardening, even if it does not carry out strict radiation energy management in oxygen-containing atmospheres, such as air | atmosphere. In this case, only the inside of the adhesive R is cured, and the viscosity of the surface is maintained, so that it is possible to ensure adhesiveness while suppressing unwanted flow of the adhesive R.
(作用)
図9に示すように、予め、薄状基板21に接着剤Rを塗布しておき、中心ブロック41と分離ブロック42に巻き付けるように薄状基板21を曲げ成形する。この後、凹状基板20に薄状基板21を押し付ける前に、硬化処理部42bによって接着剤Rを仮硬化させておく。特に、押圧曲面42aに臨む領域に塗布された接着剤R、すなわち、大きな曲面を有し、塗布した接着剤Rが流動し薄状基板21の縁に集まってしまう事が生じやすい箇所の接着剤Rを仮硬化させておく。(Function)
As shown in FIG. 9, the adhesive R is applied to the
そして、中心ブロック41と分離ブロック42の形状に倣って曲げ成形された状態を仮硬化によって維持させたまま、薄状基板21を凹状基板20の凹面空間20cに押し込み、分離ブロック42を第2の位置Bへ移動させることで、薄状基板21を徐々に凹面20aに倣って引き延ばしていく。 The
(効果)
以上のように、第5の実施形態に係る基板貼合装置1では、薄状基板21の側辺部に塗布されている接着剤Rを仮硬化させる硬化処理部42bを更に備え、中心ブロック41と分離ブロック42の形状に倣って曲げ成形された薄状基板21に対して仮硬化を行うようにした。(effect)
As described above, in the
これにより、分離ブロック42を用いて薄状基板21の全域を凹状基板20に密着させる前に接着剤Rの流動を抑制できる。そのため、誤った箇所同士が接着してしまい、薄状基板21のシワ発生、薄状基板21と凹状基板20との間の非密着箇所発生を抑制することができる。 Thus, the flow of the adhesive R can be suppressed before the entire area of the
また、密着させる前に接着剤Rが薄状基板21の縁に移動することがないので、密着後のはみ出しや接着厚さの不均一、接着力の低下、意匠性の低下、接着剤Rを介した短絡等を防止することができる。さらに、基板貼合装置1で貼り合わせた後、基板貼合装置1より搬出して、最終的な接着剤Rを硬化させる次工程が完了するまでの間、曲げ形状で貼り合わされた薄状基板21の形状を維持し、剥がれないようにすることができる。 In addition, since the adhesive R does not move to the edge of the
(第6の実施形態)
図10は、第6の実施形態に係る基板貼合装置1の分離ブロック42の拡大図である。第6の実施形態では、曲げ成形された薄状基板21の貼り合わせまでの形状維持のために吸引部42cを備えている。この吸引部42cは、負圧発生装置に接続された吸引管であり、分離ブロック42の押圧曲面42aに開口している。また、第6の実施形態では、硬化処理部50を備えている。この硬化処理部50は、接着剤Rを硬化させるためのエネルギーを放射するものであり、基本的には上記の硬化処理部42bと同様である。但し、硬化処理部50は、凹状基板20における側辺部20bの屈曲により伸張している側(外側)に配設されている。(Sixth embodiment)
FIG. 10 is an enlarged view of the
この吸引部42cは、分離ブロック42に巻き付けられた薄状基板21を吸引し、薄状基板21を分離ブロック42に密着させておく。薄状基板21の全域が分離ブロック42や中心ブロック41に密着するように吸引してもよいが、少なくとも、押圧曲面42aに臨む領域すなわち、大きな曲面を有し、曲げ応力に対する反力が生じやすい箇所を吸引することが効果的である。そして、この吸引部42cによる吸引を維持したまま、分離ブロック42を第2の位置Bへ移動させることで、薄状基板21は曲げ成形された状態から徐々に凹面20aに倣って引き延ばされていく。硬化処理部50は、このような曲げ成形前(側辺部20bへの貼り合わせ前)及び曲げ成形後(側辺部20bへの貼り合わせ後)のいずれか一方若しくは双方において、接着剤Rを仮硬化させるためのエネルギーを放射する。 The
このように、第6の実施形態に係る基板貼合装置1では、中心ブロック41と分離ブロック42の形状に倣って曲げ成形された薄状基板21を分離ブロック42に吸着させる吸引部42cを更に備えるようにした。また、曲げ成形前に硬化処理部50により接着剤Rを仮硬化させた場合には、接着剤Rが流動することを抑制できる。さらに、曲げ成形後に硬化処理部50により接着剤Rを仮硬化させた場合には、貼り合わされた薄状基板21の形状を維持し、剥がれないようにすることができる。従って、当該構成によっても、第5の実施形態と同様の効果を奏することができる。 Thus, in the board |
(第7の実施形態)
本実施形態に係る基板貼合装置について、図11及び図12を参照して説明する。図11及び図12は、本実施形態の押圧機構の構成と動作を示す図である。(Seventh embodiment)
The board | substrate bonding apparatus which concerns on this embodiment is demonstrated with reference to FIG.11 and FIG.12. 11 and 12 are diagrams showing the configuration and operation of the pressing mechanism of the present embodiment.
(構成)
本実施形態の押圧機構4は、図11に示すように、押付部141、変位部142、支持部143を有する。また、本実施形態は、図10と同様に、硬化処理部50を有する。押付部141は、薄状基板21を、凹状基板20に接離する方向に移動させる部材である。この押付部141は、凹状基板20に接近して、凹状基板20の中央領域に対して、薄状基板21を押し付ける。(Constitution)
As shown in FIG. 11, the
この押付部141は、略直方体形状のブロックであり、その上面は、凹面20aの中央領域の面形状に倣った形状を有する。つまり、凹面20aの中央領域が曲面である場合には、押付部141の上面は、その曲面に倣った形状である。凹面20aの中央領域が平坦である場合には、押付部141の上面は平坦である。なお、この上面には、上記のチャック機構が設けられ、薄状基板21を保持可能に設けられている。 The
変位部142は、凹状基板20の両側辺部20bに対応して、押付部141の両脇に設けられた一対の部材である。この変位部142は、押付部141が薄状基板21を押し付ける際に、押付部141とともに凹状基板20における側辺部20bの内側の空間に収まる位置に設けられている。 The
この変位部142は、押付部141とともに凹状基板20に対して接近し、一端を薄状基板21に接触させながら、薄状基板21の外縁に向かって変位する。この変位により、変位部142は、薄状基板21を凹状基板20の凹面20aに倣って圧着させる。 The
変位部142は、凹状基板20が側辺部20bの一方、三方若しくは四方に湾曲部を有する場合には、これに対応して、押付部141の一方、三方若しくは四方の脇に設けてもよい。 When the
本実施形態の変位部142は、凹状基板20の両側辺部20bに平行に、少なくとも側辺部20bの全長の長さを有する板形状である。変位部142の薄状基板21に接離する一端は、板形状における縁部142xである。変位部142は、その縁部142xが薄状基板21に接触して凹状基板20に押し付けられると、撓みが生じる弾性部材により構成されている。弾性部材の材質としては、上記の通り、種々のものが適用可能である。たとえば、ゴム若しくはその他の樹脂により、変位部142を構成することができる。また、板形状といっても、必ずしも全体が平坦面である必要はなく、一定の角度や湾曲を有していてもよい。 The
なお、変位部142は、凹状基板20及び薄状基板21を傷つけないものとすることが望ましい。たとえば、ゴム若しくはその他の樹脂製若しくは樹脂によるコーテイングを施されたものとすることができる。また、縁部142xに丸みを有する形状とすることにより、傷つきを防止することもできる。 It is desirable that the
支持部143は、変位部142の一部である他端を支持する部材である。この支持部143は、変位部142の変位の支点となる軸部143aを有している。軸部143aは、凹状基板20の側辺部20bに平行に設けられ、図示しない駆動源によって回動する。これにより、支持部143は、軸部143aを中心に回動する。 The
支持部143の軸部143aの回動中心から、変位部142の一端までの回転半径は、変位部142の一端が、その回動中に薄状基板21から離れずに、凹状基板20への圧着を維持する長さに設定されている。 The radius of rotation from the center of rotation of the
たとえば、側辺部20bが湾曲部によって立ち上がっている場合、軸部143aの回転中心から湾曲部の内面までの距離は、内面の位置や形状により一定ではない場合がある。この場合、距離が最も長い位置と最も短い位置との差が、変位部142の弾性変形によって吸収され、変位部142の一端による凹状基板20への薄状基板21の圧着が維持されるように、回転半径が設定されている。 For example, when the
なお、押付部141は、変位部142と同時に若しくは変位部142よりも先に、薄状基板21を凹状基板20に圧着するように設定されている。同時に圧着させる場合には、押付部141の押付面と変位部142の一端の高さを等しくする。 The
押付部141を先に圧着させるには、押付部141を、薄状基板21を凹状基板20に圧着させる方向に付勢する弾性部材を設ける。この場合、押付部141が薄状基板21を凹状基板20に圧着した際に、押付部141が弾性部材の付勢力に抗して、変位部142に対して相対的に後退し、その後、変位部142の一端が薄状基板21を凹状基板20に圧着する。 In order to press the
また、押付部141を先に圧着させるには、押付部141自体若しくはその押付面を、弾性体とすることも可能である。この場合、押付部141が薄状基板21を凹状基板20に圧着した際に、押付部141の押付面が弾性変形して、変位部142の一端に対して相対的に後退し、その後、変位部142の一端が薄状基板21を凹状基板20に圧着する。 Further, in order to press the
(作用)
以上のような本実施形態による基板の貼り合わせ工程を説明する。まず、初期状態において、図11に示すように、変位部142の一端は、押付部141側に寄せておく。そして、保持部3に凹状基板20を設置して、押付部141及び変位部142の上に、一方の面に接着剤Rが付着された薄状基板21の他方の面を載置する。これにより、凹状基板20と薄状基板21は、チャンバ9内において対向する。(Function)
The substrate bonding process according to the present embodiment as described above will be described. First, in the initial state, as shown in FIG. 11, one end of the
この状態で、真空チャンバ9内を、真空源により真空引きする。そして、薄状基板21が凹状基板20に接近して貼り合わされる前に、硬化処理部50から接着剤Rを仮硬化させるためのエネルギーを放射する。これにより、押付部141及び変位部142が凹状基板20の対向する側辺部20bの間の空間に入り込む際、薄状基板21に塗布された接着剤Rが流動することを抑制できる。 In this state, the inside of the
そして、保持部3に対して、押圧機構4が接近すると、押付部141及び変位部142が凹状基板20の対向する側辺部20bの間の空間に入り込むので、薄状基板21も、この空間内に入る。このとき、図12(A)に示すように、変位部142は、凹状基板20の側辺部20bよりも内側の空間に入っている。 When the
保持部3と押圧機構4との接近は、図12(A)(B)に示すように、押付部141が、薄状基板21の中央領域を、凹状基板20の中央領域に押し付けるまで続行する。たとえば、駆動機構の駆動源に、トルクセンサ等を接続しておくことで、当該押し付けを感知可能である。 The approach between the holding
以上のように、押付部141が、凹状基板20に対して、薄状基板21を押し付けると、変位部142の一端も、凹状基板20に対して、薄状基板21を押し付ける。この押付部141の押し付けタイミングと、変位部142の押し付けタイミングは、上記の通りである。なお、この押し付けにより、変位部142が弾性変形し、押付部141の押圧端と連続した位置に、変位部142の一端が挿入される。 As described above, when the
この状態で、図12(C)(D)に示すように、駆動源が作動して支持部143が回動する。すると、変位部142の一端が、凹状基板20の側辺部20bの湾曲部に沿って、薄状基板21の外縁に向かって移動する。変位部142の弾性変形により、その一端は、薄状基板21を介した凹状基板20への接触を維持する。このため、薄状基板21が凹状基板20の側辺部20bに圧着される。なお、貼り合わせ後に、硬化処理部50により、接着剤Rを仮硬化させるためのエネルギーを放射してもよい。 In this state, as shown in FIGS. 12C and 12D, the drive source is activated and the
(効果)
以上のような本実施形態によれば、側辺部20bの湾曲部の形状にばらつきがあっても、隙間やシワが生じることなく、薄状基板21を適切に圧着させることができる。(effect)
According to the present embodiment as described above, even if the shape of the curved portion of the
また、製品によって側辺部20bの湾曲部の形状が相違する場合であっても、それぞれの形状に合わせた嵌合面を有する凸面形状の部材を準備しておく必要がない。このため、部材の準備や交換作業の手間が省け、生産性が向上する。 Further, even if the shape of the curved portion of the
また、薄状基板21は、押付部141が薄状基板21を凹状基板20の中央領域に押し付けた後、凹状基板20の側辺部20b側への変位部142の回動に従って、薄状基板21が凹状基板20に押し付けられていく。このため、真空泡等の噛み込みが生じることなく、凹状基板20の全面に亘って、薄状基板21を均一に密着させることができる。したがって、貼り合わせ後の製品の品質が向上する。また、貼り合わせ前に硬化処理部50により接着剤Rを仮硬化させるので、接着剤Rの流動が抑制される。さらに、貼り合わせ後に硬化処理部50により接着剤Rを仮硬化させた場合には、貼り合わされた薄状基板21の形状を維持し、剥がれないようにすることができる。従って、当該構成によっても、第5、第6の実施形態と同様の効果を奏することができる。なお、貼り合わせ前の仮硬化と、貼り合わせ後の仮硬化は、いずれか一方若しくは双方を行なってもよい。 Further, after the
(第8の実施形態)
本実施形態に係る基板貼合装置について、図13及び図14を参照して説明する。図13及び図14は、本実施形態における押圧機構4の構成と動作を示す図である。(Eighth embodiment)
The board | substrate bonding apparatus which concerns on this embodiment is demonstrated with reference to FIG.13 and FIG.14. 13 and 14 are diagrams showing the configuration and operation of the
(構成)
本実施形態は、基本的には、上記の第7の実施形態と同様の構成である。ただし、図13に示すように、本実施形態の変位部142は、ローラ142aと軸支部142bを有している。ローラ142aは、凹状基板20の側辺部20bに平行に、少なくとも側辺部20bの全長の長さを有する回転部材である。このローラ142aの外周面が、薄状基板21に接離する変位部142の一端となる。(Constitution)
This embodiment is basically the same configuration as the seventh embodiment. However, as shown in FIG. 13, the
軸支部142bは、その一端に、ローラ142aを回転可能に支持する部材である。軸支部142bは、少なくともローラ142aの全長と同等の長さを有する。この軸支部142bは、両端のアーム部により、ローラ142aの軸の両端を支持する。このアーム部は、たとえば、弾性体、エアシリンダ、電磁石によるフローティング装置等により、変位(伸縮)可能に設けられ、湾曲部の形状に応じて、ローラ142aによる圧着を維持させる構成となっている。弾性体としては、ゴム若しくはその他の樹脂、バネ又はこれらにより支持体を弾性支持したものを用いることが可能である。電磁石を用いた場合、制御装置が通電を制御することにより、圧着力、伸縮量等を調整することが容易となる。 The
支持部143は、軸支部142bの他端を支持する部材である。この支持部143は、変位部142の変位の支点、つまり、軸支部142bの回動の軸となる軸部143aを有している。軸部143aの構成は、上記の第1の実施形態と同様である。 The
なお、押付部141は、上記の第1の実施形態と同様に、変位部142のローラ142aと同時に若しくはローラ142aよりも先に、薄状基板21を凹状基板20に圧着するように設定されている。 The
(作用)
以上のような本実施形態による基板の貼り合わせ工程を説明する。なお、上記の実施形態と同様の工程については、説明を簡略化若しくは省略する。まず、初期状態において、ローラ142aは、押付部141側に寄せておく。そして、凹状基板20を保持した保持部3に対して、押圧機構4を接近させて、薄状基板21を、凹状基板20の対向する側辺部20bの間の空間に入り込ませる。(Function)
The substrate bonding process according to the present embodiment as described above will be described. Note that the description of the same steps as those in the above embodiment is simplified or omitted. First, in the initial state, the
このとき、図14(A)に示すように、変位部142の一端であるローラ142aの外周面が、凹状基板20の側辺部20bよりも内側の空間に入っている。 At this time, as shown in FIG. 14A, the outer peripheral surface of the
そして、図14(B)に示すように、押付部141が、凹状基板20に対して薄状基板21を押し付けると、変位部142の一端であるローラ142aの外周面も、凹状基板20に対して、薄状基板21を押し付ける。 14B, when the
この状態で、駆動源が作動して軸部143aが回動する。すると、図14(C)(D)に示すように、変位部142のローラ142aが、凹状基板20の側辺部20bの湾曲部に沿って、回転しながら薄状基板21の外縁に向かって移動する。このため、薄状基板21が凹状基板20の側辺部20bに圧着する。このとき、アーム部が、湾曲部の形状に応じて伸縮することにより、ローラ142aによる薄状基板21の凹状基板20への圧着が維持される。 In this state, the drive source is activated to rotate the
(効果)
以上のような本実施形態によれば、第7の実施形態と同様の効果が得られるとともに、以下のような効果が得られる。すなわち、薄状基板21に直接接触する部材が、回転するローラ142aである。このため、薄状基板21の表面を擦ることによる傷つき等が発生し難くなる。また、高速で移動させても、薄状基板21を傷つけ難いため、貼り合わせ処理の高速化が可能となる。さらに、アーム部が伸縮することにより、凹状基板20の湾曲部の形状、薄状基板21の可撓性にばらつきがあっても、曲面に倣って圧着を維持させることもできる。(effect)
According to the present embodiment as described above, the same effects as those of the seventh embodiment can be obtained, and the following effects can be obtained. That is, the member that is in direct contact with the
(第9の実施形態)
本実施形態に係る基板貼合装置について、図15及び図16を参照して説明する。図15及び図16は、本実施形態における押圧機構4の構成と動作を示す図である。(Ninth embodiment)
The board | substrate bonding apparatus which concerns on this embodiment is demonstrated with reference to FIG.15 and FIG.16. FIG.15 and FIG.16 is a figure which shows the structure and operation | movement of the
(構成)
本実施形態は、基本的には、上記の第7の実施形態と同様の構成である。ただし、本実施形態の変位部142は、図15に示すように、ブラシ142cを有している。また、支持部143は、ブラシ142cを固定する基体部143bを有している。(Constitution)
This embodiment is basically the same configuration as the seventh embodiment. However, the
ブラシ142cは、たとえば、複数本の樹脂、天然若しくは合成繊維又は毛の集合体であり、その一端が、凹状基板20の側辺部20bの湾曲部に向かっている。ブラシ142cの一部である他端は、基体部143bに植毛されている。 The
基体部143bは、凹状基板20の側辺部20bに平行に、少なくとも側辺部20bの全長の長さを有する部材であり、側辺部20bの湾曲部に向かう曲面を有している。この曲面の全面に亘って、ブラシ142cが植毛されている。 The
このブラシ142cの先端は、薄状基板21に接して凹状基板20に押し付ける一端となる。ブラシ142cの根本における基体部143bへの植毛部分は、ブラシ142cの変位の支点の一つとなっている。また、ブラシ142cは柔軟性を有するため、薄状基板21を凹状基板20に押し付ける際に屈曲する。 The tip of the
なお、図示はしないが、押付部141が、凹状基板20に対して、薄状基板21を押し付けた後に、さらに、変位部142の基体部143bを、ブラシ142cの先端が薄状基板21を凹状基板20へ押し付ける方向へ移動させる駆動機構を有する。 Although not shown, after the
なお、押付部141は、上記の第1の実施形態と同様に、変位部142のブラシ142cと同時に若しくはブラシ142cよりも先に、薄状基板21を凹状基板20に圧着するように設定されている。また、変位部142の一端であるブラシ142cの先端は、凹状基板20の側辺部20bよりも内側の空間に収まるとともに、内側から外側にかけて、順次薄状基板21を凹状基板20に圧着する高さに設定されている。 As in the first embodiment, the
(作用)
以上のような本実施形態による基板の貼り合わせ工程を説明する。なお、上記の実施形態と同様の工程については、説明を簡略化若しくは省略する。まず、凹状基板20を保持した保持部3に対して、押圧機構4を接近させて、薄状基板21を凹状基板20の対向する側辺部20bの間の空間に入り込ませる。(Function)
The substrate bonding process according to the present embodiment as described above will be described. Note that the description of the same steps as those in the above embodiment is simplified or omitted. First, the
このとき、図16(A)に示すように、変位部142の一端であるブラシ142cの先端が、凹状基板20の側辺部20bよりも内側の空間に入っている。 At this time, as shown in FIG. 16A, the tip of the
そして、図16(B)に示すように、押付部141が、凹状基板20に対して、薄状基板21を押し付けると、変位部142の一端であるブラシ142cの先端も、凹状基板20に対して、薄状基板21を押し付ける。 16B, when the
この状態で、駆動機構が作動して、基体部143bを凹状基板20に向かって移動させる。すると、図16(C)(D)に示すように、内側のブラシ142cから外側のブラシ142cへと、順次薄状基板21を凹状基板20に押し付けながら、ブラシ142cが屈曲していく。これにより、ブラシ142cが、凹状基板20の側辺部20bの湾曲部に沿って、薄状基板21を圧着する。 In this state, the drive mechanism operates to move the
(効果)
以上のような本実施形態によれば、第7の実施形態と同様の効果が得られるとともに、以下のような効果が得られる。すなわち、薄状基板21に直接接触する部材が、柔軟性を有するブラシ142cである。このため、湾曲形状について、より大きな相違やばらつきがあっても、これを吸収して精度の高い貼り合わせが可能となる。また、薄状基板21の表面を擦ることによる傷つき等が発生し難くなる。(effect)
According to the present embodiment as described above, the same effects as those of the seventh embodiment can be obtained, and the following effects can be obtained. That is, the member that is in direct contact with the
また、高速で移動させても、薄状基板21を傷つけ難いため、貼り合わせ処理の高速化が可能となる。さらに、変位部142の構成が、基体部143bに植毛されたブラシ142cなので、装置構成が簡略化され、安価に製造できる。 Further, since the
(第10の実施形態)
本実施形態に係る基板貼合装置について、図17を参照して説明する。図17は、本実施形態における押圧機構4の構成と動作を示す図である。
(構成)
本実施形態は、基本的には、上記の第9の実施形態と同様の構成である。ただし、本実施形態においては、図17(A)に示すように、押付部141と基体部143b(支持部143)とが一体的に構成され、基体部143bのみならず、押付部141の上面にも、ブラシ142c(変位部142)が植毛されている。このブラシ142cの先端は、凹状基板20の中央部から先に、薄状基板21を圧着し、凹状基板20の側辺部20b側に向かって、順次他のブラシ142cも圧着するように、中央部が高く設定されている。(Tenth embodiment)
The board | substrate bonding apparatus which concerns on this embodiment is demonstrated with reference to FIG. FIG. 17 is a diagram illustrating the configuration and operation of the
(Constitution)
This embodiment is basically the same configuration as the ninth embodiment. However, in the present embodiment, as shown in FIG. 17A, the
(作用)
以上のような本実施形態による基板の貼り合わせ工程を説明する。なお、上記の実施形態と同様の工程については、説明を簡略化若しくは省略する。まず、凹状基板20を保持した保持部3に対して、押圧機構4を接近させて、薄状基板21を凹状基板20の対向する側辺部20bの間の空間に入り込ませる。(Function)
The substrate bonding process according to the present embodiment as described above will be described. Note that the description of the same steps as those in the above embodiment is simplified or omitted. First, the
このとき、図17(B)に示すように、変位部142の一端であるブラシ142cの先端は、凹状基板20の側辺部20bよりも内側にある。 At this time, as shown in FIG. 17B, the tip of the
そして、図17(C)に示すように、押付部141のブラシ142cが、凹状基板20に対して、薄状基板21を押し付ける。このとき、ブラシ142cの先端は、凹状基板20の中央部から側辺部20bに向かって、順次薄状基板21を圧着して行く。 Then, as illustrated in FIG. 17C, the
さらに、図17(D)(E)(F)に示すように、凹状基板20の側辺部20bの湾曲部においても、内側のブラシ142cから外側のブラシ142cへと、順次薄状基板21を凹状基板20に押し付けながら、ブラシ142cが屈曲していく。これにより、ブラシ142cが、凹状基板20の側辺部20bの湾曲部に沿って、薄状基板21を圧着する。 Further, as shown in FIGS. 17D, 17E, and 17F, the
(効果)
以上のような本実施形態によれば、第4の実施形態と同様の効果が得られるとともに、以下のような効果が得られる。すなわち、薄状基板21を凹状基板20に押圧する部材の全体がブラシ142cとなっているので、凹状基板20の中央部から外側に向かって、順次圧着していくことができる。このため、真空泡等の噛み込みをより一層防止して、凹状基板20の全面に亘って、薄状基板21を均一に密着させることができる。したがって、貼り合わせ後の製品の品質がより一層向上する。また、変位部142の基体部143bのみを駆動する駆動機構が不要となる。(effect)
According to the present embodiment as described above, the same effects as in the fourth embodiment can be obtained, and the following effects can be obtained. That is, since the whole member that presses the
(第11の実施形態)
本実施形態に係る基板貼合装置について、図18を参照して説明する。図18は、本実施形態における押圧機構4の構成と動作を示す図である。
(構成)
本実施形態は、基本的には上記の第7の実施形態と同様の構成である。ただし、本実施形態は、図18(A)に示すように、ガイド機構15を有している。(Eleventh embodiment)
The board | substrate bonding apparatus which concerns on this embodiment is demonstrated with reference to FIG. FIG. 18 is a diagram illustrating the configuration and operation of the
(Constitution)
This embodiment is basically the same configuration as the seventh embodiment. However, this embodiment has a
ガイド機構15は、押圧機構4により押圧される薄状基板21の側辺部21bの近傍の面が、凹状基板20の両側辺部20bの内側に入るように、ガイドする機構である。このガイド機構15は、押圧機構4に載置された薄状基板21の両側辺部21bに接離する一対のガイド部材15aを有している。ガイド部材15aは、少なくとも薄状基板21の側辺部21bの全長と同等の長さを有する板形状である。 The
そして、一対のガイド部材15aは、薄状基板21の側辺部21bに接するガイド位置と、薄状基板21の側辺部21bから離れて退避する退避位置との間で、図示しない移動機構により移動可能に設けられている。なお、この移動機構は、たとえば、それぞれガイド部材15aを有する一対のフレーム等が、駆動源に接続された軸を中心に回動可能に設けられ、互いに逆方向に回動することにより、一対のガイド部材15aが互いに接離する方向に移動する構成としてもよい。また、一対のガイド部材15aは、薄状基板21の側辺部21bに接しながら、図示しない昇降機構により、押圧機構4とともに昇降可能に設けられている。なお、この昇降機構は、押圧機構4の駆動機構と兼用であってもよい。また、ガイド部材15aの昇降移動は、保持部3に保持された凹状基板20に対して、相対的であればよい。 The pair of
この一対のガイド部材15aは、薄状基板21を、押付部141により押し付けられ、変位部142により圧着される部分以外は、凹状基板20から離間した位置に保持するように、ガイド位置における互いの間隔と、押圧機構4への追従距離が設定されている。 The pair of
(作用)
以上のような本実施形態の貼り合わせ工程を説明する。基本的な貼り合わせ工程は、上記の第1の実施形態と同様である。ただし、本実施形態においては、図18(B)に示すように、押圧機構4に載置された薄状基板21の両側辺部21bに、ガイド位置に移動したガイド部材15aが接することにより、撓みを生じさせる。(Function)
The bonding process of this embodiment as described above will be described. The basic bonding process is the same as that in the first embodiment. However, in the present embodiment, as shown in FIG. 18B, the
この撓みによって、薄状基板21の両側辺部21bは、凹状基板20の両側辺部20bの内側の空間に入る位置に来る。このように、薄状基板21の両側辺部21bの位置が規制された状態で、押圧機構4が凹状基板20に接近するとともに、これに追従して、ガイド部材15aも凹状基板20に接近する。 Due to this bending, the both
そして、押付部141及び変位部142が凹状基板20の対向する側辺部20bの間の空間に入り込むので、薄状基板21も、この空間内に入る。このとき、薄状基板21の両側辺部21bは、ガイド部材15aによって、凹状基板20の側辺部20bよりも内側に入っている。 And since the
さらに、図18(C)(D)に示すように、押付部141による薄状基板21の凹状基板20への押し付けと、変位部142による凹状基板20の側辺部20bの湾曲部に沿った薄状基板21の圧着が行われる。この詳細は、上記の第1の実施形態と同様である。 Further, as shown in FIGS. 18C and 18D, the
本実施形態では、図18(D)に示すように、薄状基板21の全面が凹状基板20に貼り合わされるまで、薄状基板21がガイド部材15aに接して保持され、その後、図18(E)に示すように、薄状基板21からガイド部材15aが離れる。このため、貼り合わせ中の薄状基板21の板面の揺れが防止される。 In the present embodiment, as shown in FIG. 18D, the
(効果)
以上のような本実施形態によれば、第7の実施形態と同様の効果が得られるとともに、最終的に薄状基板21の全面が凹状基板20に圧着される前の薄状基板21の揺れが生じない。このため、より一層均一で精度のよい貼り合わせを実現でき、貼り合わせ基板の品質が向上する。(effect)
According to the present embodiment as described above, the same effects as those of the seventh embodiment can be obtained, and the
(第12の実施形態)
本実施形態に係る基板貼合装置について、図19及び図20を参照して説明する。図19及び図20は、本実施形態における押圧機構4の構成と動作を示す図である。(Twelfth embodiment)
The board | substrate bonding apparatus which concerns on this embodiment is demonstrated with reference to FIG.19 and FIG.20. 19 and 20 are diagrams showing the configuration and operation of the
(構成)
本実施形態は、基本的には、上記の第7の実施形態と同様の構成である。ただし、図19に示すように、本実施形態の変位部142は、たとえば、断面が略楕円形状であり、薄状基板21に接離する一端を、複数有している。そして、変位部142は、凹状基板20の側辺部20bに平行に、少なくとも側辺部20bの全長の長さを有する回転部材である。なお、変位部142としては、比較的硬質の部材を用いても、弾性部材を用いてもよい。(Constitution)
This embodiment is basically the same configuration as the seventh embodiment. However, as shown in FIG. 19, the
支持部143は、変位部142の一部を支持し、変位部142の回動の支点となる軸である。この軸の構成は、上記の第1の実施形態の軸部143aと同様である。支持部143は、変位部142の偏心位置に設けられ、変位部142の一方の外周面である縁部142yとこれに対向する他方の外周面である縁部142zとは、支持部143、つまり、軸の回転中心からの距離が異なっている。たとえば、縁部142yの方が、縁部142zよりも、回転中心からの距離が長い。この縁部142y、142zが、薄状基板21に接離する変位部142の一端となる。なお、回転半径の異なる一端は、3つ以上設けて、より多くの曲面に対応可能とすることもできる。 The
押付部141における変位部142の近傍には、変位部142の回動を許容する穴、窪み若しくは空洞が設けられている。また、押付部141は、上記の第1の実施形態と同様に、変位部142と同時に若しくは変位部142よりも先に、薄状基板21を凹状基板20に圧着するように設定されている。なお、支持部143を弾性部材により変位可能に設け、湾曲部の形状に応じて、変位部142による圧着を維持させる構成としてもよい。 In the vicinity of the
(作用)
以上のような本実施形態による基板の貼り合わせ工程を説明する。なお、上記の実施形態と同様の工程については、説明を簡略化若しくは省略する。まず、初期状態において、凹状基板20における側辺部20bの湾曲形状に合わせて、縁部142y、142zのいずれか一方が、薄状基板21に接する方向にしておく。(Function)
The substrate bonding process according to the present embodiment as described above will be described. Note that the description of the same steps as those in the above embodiment is simplified or omitted. First, in an initial state, either one of the
図19(A)は、曲率半径が大きい湾曲形状の場合であり、この場合、縁部142yが薄状基板21に向かうようにする。そして、凹状基板20を保持した保持部3に対して、押圧機構4を接近させて、薄状基板21を、凹状基板20の対向する側辺部20bの間の空間に入り込ませる。すると、図19(A)に示すように、押付部141とともに、変位部142の縁部142yも、凹状基板20に対して、薄状基板21を押し付ける。 FIG. 19A shows a curved shape with a large radius of curvature. In this case, the
この状態で、駆動源が作動して支持部143が回動する。すると、図19(B)に示すように、変位部142の縁部142yが、凹状基板20の側辺部20bの湾曲部に沿って、薄状基板21の外縁に向かって移動する。このため、薄状基板21が凹状基板20の側辺部20bに圧着する。 In this state, the drive source is activated and the
一方、曲率半径が小さい湾曲形状の場合は、図20(A)に示すように、縁部142zが薄状基板21に向かうようにする。そして、縁部142zが、上記と同様に、押付部141とともに、薄状基板21を凹状基板20に対して押し付けた状態で、支持部143が回動する。すると、図20(B)に示すように、変位部142の縁部142zが、凹状基板20の側辺部20bの湾曲部に沿って、薄状基板21の外縁に向かって移動する。このため、薄状基板21が凹状基板20の側辺部20bに圧着する。 On the other hand, in the case of a curved shape with a small radius of curvature, the
(効果)
以上のような本実施形態によれば、第7の実施形態と同様の効果が得られるとともに、以下のような効果が得られる。すなわち、変位部142が、回転半径の異なる縁部142y、142zを有しているため、部材の準備や交換作業をしなくても、異なる湾曲形状に対応して、均一な貼り合わせを実現できる。このため、生産性を向上させることができる。なお、湾曲部の形状の多少のばらつきは、凹状基板20の弾性変形により吸収され、変位部142による薄状基板21の圧着を維持できる。さらに、支持部143を弾性部材により変位可能に設けることにより、凹状基板20の湾曲部の形状、薄状基板21の可撓性にばらつきがあっても、曲面に倣って圧着を維持させることもできる。(effect)
According to the present embodiment as described above, the same effects as those of the seventh embodiment can be obtained, and the following effects can be obtained. That is, since the
(他の実施形態)
本発明は、上記のような実施形態に限定されるものではない。たとえば、以下のような形態も、本発明に含まれる。(Other embodiments)
The present invention is not limited to the embodiment as described above. For example, the following forms are also included in the present invention.
(1)貼り合わせ対象となる一対の基板の位置関係は、上記の実施形態で例示したものには限定されない。たとえば、図21(A)に示すように、凹状基板20を下方に支持し、薄状基板21を押付部141により上方に保持する態様も構成可能である。この場合、図21(B)〜(D)に示すように、薄状基板21を保持した押付部141及び変位部142を下降させて、押付部141が薄状基板21の中央領域を凹状基板20に押し付け、変位部142が薄状基板21を凹状基板20の側辺部20bに圧着させる。なお、凹状基板20の上方に薄状基板21を載置して、その上から、押付部141及び変位部142によって、押し付けることにより、貼り合わせを行うこともできる。(1) The positional relationship between a pair of substrates to be bonded is not limited to that exemplified in the above embodiment. For example, as shown in FIG. 21A, it is possible to configure a mode in which the
(2)なお、上記の実施形態のいずれにおいても、硬化処理部によるエネルギーの照射によって、貼り合わせ前の接着剤、貼り合わせ後の接着剤に対して、仮硬化を行うことにより、接着剤の流動を抑制してもよい。この仮硬化は、たとえば、接着剤に与えるエネルギーを弱くすることで実現できる。また、大気中で照射したりすることにより実現できる。たとえば、接着剤が紫外線硬化樹脂である場合に、大気中でUV光を照射することにより、接着剤を仮硬化させることができる。大気中で照射する場合、大気中の酸素に硬化が阻害されて、表面の粘性を保った状態を維持しやすい。なお、樹脂の種類に応じて、仮硬化処理の方法は、電磁波の照射、温度変更(加熱、冷却)、送風等、種々のものを適用することが考えられる。さらに、上記の実施形態では、硬化処理部42b、50を保持部3の外部に設けていたが、保持部3内部にも設けて、保持部3の全体から接着剤Rの全体を硬化させるためのエネルギーを放射するようにしてもよい。そして、これらの硬化処理部を使い分けることで、以下のような硬化処理を実現できる。
(a) 貼り合わせ前に凹状基板20や薄状基板21に塗布された接着剤Rの仮硬化を行う。
(b) 凹状基板20の側辺部20bでの薄状基板21の貼り合わせ前若しくは後における仮硬化を行う。
(c) 貼り合わせ後の凹状基板20や薄状基板21の接着剤R全体の仮硬化又は本硬化(完全に硬化状態に至る硬化)を行う。(2) In any of the above-described embodiments, by pre-curing the adhesive before bonding and the adhesive after bonding by irradiation of energy by the curing processing unit, The flow may be suppressed. This temporary curing can be realized, for example, by weakening the energy applied to the adhesive. Moreover, it is realizable by irradiating in air | atmosphere. For example, when the adhesive is an ultraviolet curable resin, the adhesive can be temporarily cured by irradiating UV light in the atmosphere. In the case of irradiation in the atmosphere, curing is hindered by oxygen in the atmosphere, and it is easy to maintain a state in which the viscosity of the surface is maintained. Depending on the type of resin, it is conceivable to apply various methods such as irradiation of electromagnetic waves, temperature change (heating, cooling), air blowing, etc., as the method of the temporary curing treatment. Further, in the above-described embodiment, the curing
(a) The adhesive R applied to the
(b) Temporary curing is performed before or after the
(c) The entire adhesive R of the
さらに、上記の実施形態では、貼り合わせの前後において、硬化処理部によりエネルギーを放射して接着剤を仮硬化させていた。但し、変位部の一端が凹状基板に対して薄状基板を押し付けていく実施形態において、変位部の一端の移動に合わせて、凹状基板と薄状基板が圧着された部位に向けて硬化処理部によりエネルギーを放射するようにしても良い。例えば、UVランプの光を光ファイバーにより導き、光ファイバーの端面を凹状基板の全長に亘って直線状、又は点状に配置し、変位部の一端の移動に合わせて、凹状基板と薄状基板が圧着された部位に向けてUVを照射していく。そうすることによって、凹状基板と薄状基板が圧着されて貼り合わされた部位から徐々に仮硬化していくので、貼り合わせ後に硬化処理部によりエネルギーを放射して接着剤を仮硬化するよりも、仮硬化する時間を短縮することができ、薄状基板の凹状基板に対するズレも抑制できる。 Further, in the above-described embodiment, the adhesive is temporarily cured by radiating energy from the curing unit before and after the bonding. However, in the embodiment in which one end of the displacement portion presses the thin substrate against the concave substrate, the curing processing unit is directed toward the portion where the concave substrate and the thin substrate are pressure bonded in accordance with the movement of one end of the displacement portion. May emit energy. For example, the light of the UV lamp is guided by an optical fiber, and the end face of the optical fiber is arranged in a straight line or a dotted shape over the entire length of the concave substrate, and the concave substrate and the thin substrate are crimped in accordance with the movement of one end of the displacement portion. The UV is irradiated toward the target site. By doing so, since the concave substrate and the thin substrate are gradually preliminarily cured from the bonded and bonded portion, rather than radiating energy by the curing treatment part after bonding, the adhesive is temporarily cured. The time for temporary curing can be shortened, and the displacement of the thin substrate with respect to the concave substrate can also be suppressed.
(3)基板の貼り合わせは、真空中で行っても、大気中で行ってもよい。大気中で行う場合であっても、凹状基板の中央領域から側辺部へと向かって薄状基板を圧着していくことにより、気泡等の噛み込みを防止できる。たとえば、第10の実施形態のようなブラシを用いた場合には、比較的広い範囲で平坦面が圧着するのではなく、凹状基板の中央部から外側に向かって、順次圧着させることができるので、気泡の防止に有効である。(3) The substrates may be bonded in a vacuum or in the air. Even when the process is performed in the air, it is possible to prevent entrapment of bubbles and the like by pressing the thin substrate from the central region of the concave substrate toward the side portion. For example, when the brush as in the tenth embodiment is used, the flat surface is not crimped in a relatively wide range, but can be sequentially crimped from the center of the concave substrate toward the outside. , Effective in preventing air bubbles.
(4)貼り合せ対象となる基板は、カバーパネルやタッチパネルと液晶モジュール若しくは液晶モジュールを構成する表示パネルとバックライト等が、典型例である。しかし、一対の貼着対象となり得るものであれば、その大きさ、形状、材質等は問わない。たとえば、表示装置を構成する各種の部材等にも適用可能である。いずれの基板に接着剤を付着させるかは自由であり、基板の一方に接着剤を付着させる場合のみならず、双方に付着させる場合にも適用可能である。接着剤を用いずに、一方の基板を他方の基板に圧着させる場合にも適用可能である。(4) The substrate to be bonded is typically a cover panel, a touch panel and a liquid crystal module, or a display panel and a backlight constituting the liquid crystal module. However, the size, shape, material, etc. are not limited as long as they can be a pair of objects to be attached. For example, the present invention can also be applied to various members constituting the display device. It is free to attach the adhesive to which substrate, and it is applicable not only when the adhesive is attached to one of the substrates but also when the adhesive is attached to both. The present invention is also applicable to the case where one substrate is pressure-bonded to the other substrate without using an adhesive.
(5)上記の実施形態のいずれを組み合わせてもよい。たとえば、第11の実施形態は、上記の全ての実施形態と組み合わせ可能である。つまり、以上の各実施形態は、発明の範囲を限定することを意図したものではない。これらの実施形態は、発明の要旨の範囲内で、種々の省略、置き換え、変更、組み合わせを行うことができ、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。(5) Any of the above embodiments may be combined. For example, the eleventh embodiment can be combined with all the above embodiments. In other words, the above embodiments are not intended to limit the scope of the invention. These embodiments can be variously omitted, replaced, changed, and combined within the scope of the gist of the invention, and are included in the invention described in the scope of claims and the equivalents thereof.
1…基板貼合装置
15…ガイド機構
15a…ガイド部材
20…凹状基板
20a…凹面
20b…側辺部
20c…凹面空間
21…薄状基板
21b…側辺部
3…保持部
4…押圧機構
41…中心ブロック
42…分離ブロック
42a…押圧曲面
42b、50…硬化処理部
42c…吸引部
44…ステージ
45…レール
46…スライド台
47a…回転機
47b…ボールネジ
48…回転軸
49…回転機
5…ツメ部
5a…フランジ
9…真空チャンバ
141…押付部
142…変位部
142a…ローラ
142b…軸支部
142c…ブラシ
142x、142y、142z…縁部
143…支持部
143a…軸部
143b…基体部
R…接着剤
A…第1の位置
B…第2の位置
C…第3の位置DESCRIPTION OF
Claims (15)
前記凹状基板の凹面に対して、前記薄状基板を押圧する押圧手段を有し、
前記押圧手段は、
前記凹状基板の凹面に前記薄状基板を押し付ける押付部と、
前記押付部の脇に位置し、前記押付部による前記凹状基板に対する前記薄状基板の押し付けとともに、前記凹状基板の凹面内に収まり、前記薄状基板を前記凹面に倣って圧着させるように変位する変位部と、
を有することを特徴とする基板貼合装置。 A substrate laminating apparatus for laminating a concave substrate having a concave surface and a flexible thin substrate via an adhesive,
A pressing means for pressing the thin substrate against the concave surface of the concave substrate;
The pressing means is
A pressing portion that presses the thin substrate against the concave surface of the concave substrate;
It is located beside the pressing portion, and the thin substrate is pressed against the concave substrate by the pressing portion, and is displaced so as to fit within the concave surface of the concave substrate and to press the thin substrate along the concave surface. A displacement part;
The board | substrate bonding apparatus characterized by having.
前記変位部は、前記中心ブロックと接近及び離反可能な分離ブロックであり、
前記押圧手段は、
前記中心ブロックと前記分離ブロックが前記凹面よりも小さく縮まるまで、前記分離ブロックを前記中心ブロックに寄せて、前記薄状基板とともに前記凹面内に入り込ませ、
前記分離ブロックを前記凹面内で前記凹状基板の側辺部方向へ移動させることで、前記薄状基板を前記凹面に倣って押し拡げること、
を特徴とする請求項1記載の基板貼合装置。 The pressing portion is a center block,
The displacement part is a separation block that can approach and leave the center block,
The pressing means is
Until the central block and the separation block are contracted smaller than the concave surface, the separation block is brought close to the central block so as to enter the concave surface together with the thin substrate;
Moving the separation block in the concave surface toward the side of the concave substrate, thereby spreading the thin substrate along the concave surface;
The board | substrate bonding apparatus of Claim 1 characterized by these.
前記凹状基板の側辺部が有する前記凹面の部分と概略同一形状の押圧曲面を該側辺部側に有すること、
を特徴とする請求項2記載の基板貼合装置。 The separation block is
A pressing curved surface having substantially the same shape as the concave surface portion of the side edge of the concave substrate on the side edge side;
The board | substrate bonding apparatus of Claim 2 characterized by these.
前記分離ブロックを前記中心ブロックに寄せたときの全体形状に倣って前記薄状基板を予め曲げ成形するガイド手段を更に備え、
前記分離ブロックは、
前記曲げ成形後、前記凹状基板の前記側辺部方向へ移動すること、
を特徴とする請求項2記載の基板貼合装置。 The pressing means is
Guide means for pre-bending the thin substrate following the overall shape when the separation block is brought close to the central block,
The separation block is
After the bending, moving toward the side of the concave substrate;
The board | substrate bonding apparatus of Claim 2 characterized by these.
前記薄状基板の側辺端面に引っ掛かって外力を与えることで、前記薄状基板を予め前記曲げ成形するツメ部を含むこと、
を特徴とする請求項5記載の基板貼合装置。 The guide means includes
Including a claw portion for bending the thin substrate in advance by hooking the side edge of the thin substrate and applying an external force;
The board | substrate bonding apparatus of Claim 5 characterized by these.
前記ツメ部による前記曲げ成形の最中、前記凹状基板の側辺部と前記薄状基板を介して当接する位置よりも外側方の位置から、前記中心ブロックに寄った位置まで移動すること、
を特徴とする請求項6記載の基板貼合装置。 The separation block is
During the bending by the claw portion, moving from a position outside the position where the side of the concave substrate comes into contact with the side portion via the thin substrate, to a position close to the central block,
The board | substrate bonding apparatus of Claim 6 characterized by these.
外力を受けていない前記薄状基板の側辺端面を通り、前記分離ブロックの外形に沿って移動すること、
を特徴とする請求項7記載の基板貼合装置。 The claw portion is
Moving along the outer edge of the separation block through the side edge surface of the thin substrate not receiving external force,
The board | substrate bonding apparatus of Claim 7 characterized by these.
外力を受けていない前記薄状基板の側辺端面と、前記中心ブロックに寄った前記分離ブロックの外形に沿って曲げ成形された後の前記薄状基板の側辺端面とを通る直線上を移動すること、
を特徴とする請求項8記載の基板貼合装置。 The claw portion is
Moves on a straight line passing through the side edge surface of the thin substrate that is not subjected to external force and the side edge surface of the thin substrate after being bent along the outer shape of the separation block near the center block. To do,
The board | substrate bonding apparatus of Claim 8 characterized by these.
を特徴とする請求項5記載の基板貼合装置。 Further comprising suction means for adsorbing the thin substrate bent to follow the overall shape of the central block and the separation block to the separation block;
The board | substrate bonding apparatus of Claim 5 characterized by these.
を特徴とする請求項1記載の基板貼合装置。 A curing unit that temporarily cures the adhesive applied to at least one of the concave substrate and the thin substrate before and after the thin substrate is bonded to the concave substrate; Preparing,
The board | substrate bonding apparatus of Claim 1 characterized by these.
前記変位部は、一端を前記薄状基板に接触させながら、前記凹状基板の側辺部に向かって変位することにより、前記薄状基板を前記凹面に倣って圧着させ、
前記支持部は、前記変位部の他端を変位の支点として支持することを特徴とする請求項1記載の基板貼合装置。 The pressing means has a support part that supports the displacement part,
The displacement part is displaced toward the side part of the concave substrate while bringing one end into contact with the thin substrate, thereby causing the thin substrate to be pressure-bonded following the concave surface,
The board | substrate bonding apparatus of Claim 1 with which the said support part supports the other end of the said displacement part as a fulcrum of a displacement.
押付部が、前記凹状基板の凹面に前記薄状基板を押し付け、
前記押付部の脇に位置する変位部が、前記押付部による前記凹状基板に対する前記薄状基板の押し付けとともに、前記凹状基板の凹面内に収まり、前記薄状基板を前記凹面に倣って圧着させるように変位することを特徴とする基板貼合方法。 A substrate laminating method for laminating a concave substrate having a concave surface and a flexible thin substrate via an adhesive,
The pressing part presses the thin substrate against the concave surface of the concave substrate,
A displacement portion located beside the pressing portion is placed in the concave surface of the concave substrate together with the pressing of the thin substrate against the concave substrate by the pressing portion, so that the thin substrate is pressure-bonded following the concave surface. The board | substrate bonding method characterized by displacing.
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