JP6066693B2 - 電子デバイス - Google Patents

Description

本発明は、個体識別情報を有する透明基板を用いた電子デバイスに関する。

回路パターンが形成された光学マスクにおいて、この光学マスク上の単位機能素子である各チップの位置を知るための方法が、例えば特許文献1に開示されている。具体的には、基板上に構成される複数のチップ（単位機能素子）パターンにおいて、チップパターン毎に基板上の各自の配列位置を表示する数字、文字、記号などのマークを付すことにより、各チップパターンがこの基板上のどこに位置するかを識別できるものである。

前述した特許文献１の光学マスクによると、一方の面、つまり個体識別番号の付された面からのみ、各チップパターンを識別可能であれば十分であった。ここで、例えば特許文献２に示すような第一の基板上にパターンを有し、このパターンを有する第一の基板の上から第二の基板を接合することによって形成された電子デバイスにおいては、第二の基板接合後、及び、各電子デバイスへのダイシングなどでの分割後においては、チップパターンおよび個体識別情報が内包される構造となる。しかし、各デバイスの良否判定として、第一の基板面および第二の基板面それぞれの面からパターンの性能検査、及び外観検査を行う必要が生じ、この検査結果は各デバイスの個体識別情報と一対一に対応させるが、第一の基板面側から視認した際に、個体識別情報が文字として左右反転した状態で見えるため、視認性が悪く、誤読してしまう可能性があるという問題があった。
特開昭５７−１７９８４９号公報 特開２０１２−０９３１７４号公報

本発明の目的とするところは、基板上に形成された所定の個体情報を目視する方向によらず正確に識別することができる電子デバイスを提供することにある。

上記の問題点を鑑みてなされたものである本発明は、電子デバイスであって、一方の面側に所定のパターンが形成された透明材料を母材とする第１の基板を有し、第１の基板の前記一方の面側には前記電子デバイスに対して与えられた個体識別情報が設けられ前記個体識別情報は、少なくとも１つ以上の文字と、前記文字の鏡文字とを併記して構成され、前記文字は、前記基板の一方の面側から視認したときのみ識別可能であり、前記文字の鏡文字は、前記一方の面側ではなく他方の面側から視認したときのみ識別可能である
ことを特徴とする電子デバイスである。

この発明によれば、透明基板の一方の面側に形成されたパターンが、その一方の面側に設けられる他の基板によって内包される場合であっても、他方の面側から個体識別情報を正読することが可能であり、検査工程ごとに一方の面側、あるいは他方の面側から個体識別情報を正確に識別可能にすることができる。

以下、図面を参照して本発明の実施形態に係る透明基板を用いた電子デバイスについて説明する。
以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号で表している。但し、図面は模式的なものである。したがって、具体的な寸法等は以下の説明を照らし合わせて判断するべきものである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることは勿論である。

（第1の実施の形態）
本発明の第1の実施の形態は、透明基板の一方の面側に所定のパターンが形成され、この所定のパターンを内包するように構成される、電子デバイスである。ここで電子デバイスとは、例えばトランジスタ、ダイオード、抵抗体などといった、電子の働きを応用して機能する回路構成素子が作り込まれたものを含む。

図１（a）に示すように、電子デバイス１には、透明基板２の一方の面側２aに電気的機能を有する所定のパターン３が形成されている。ここで、図１（a）においては、単一の電子デバイスについてのみ図示しているが、本来は、透明基板２は例えばウエハにより構成されるものであって、このウエハの一方の面に、電子デバイス毎の複数のパターン３が形成されるものである。

本発明の電子デバイスにおいて、その特徴とするところは、上述のように構成した透明基板２の一方の面側２a、即ち、所定のパターン３が形成された面と同一面に、個体識別情報４が設けられていることにある。

電子デバイス１に設けられた個体識別情報４について説明する。図２は、図１における個体識別情報４を拡大した図面であり、例えば「０３２」といった正文字４aと、この正文字４aを上下方向はそのままで左右反転させた鏡文字４bを併記して構成されている。

図３は、図１におけるI−I方向の側方断面図である。始めに、透明基板２の元となる部材として、図示しない板状のウエハを用意する。ここで、板状のウエハは、例えば透明部材であるガラスウエハが使用される。透明基板の部材としては、他にサファイア、ダイヤモンド、樹脂等を使用することができる。

本実施の形態においては、用意されたウエハの一方の面２a側に所定のパターン３、電極５をスパッタ、蒸着およびフォトリソグラフィーなどの技術を用いて形成する。これと同時に、ウエハ上に形成されている電子デバイス１のそれぞれに対して、前述のパターニングと同様の技術を用いることによって、個体識別情報４が形成される。これにより、例えばウエハの一方の面側から電気的機能について良否判定を行う場合は、個体識別情報４の正文字４aによって、電子デバイス１の個体識別情報４を正確に認識することが可能となる。

次に、上述のように構成された電子デバイス１は、図４に示すように、その一方の面２a側に形成された所定のパターン３を内包するように、第２の基板として、例えばガラス・エポキシ基板のようなプリント基板１０が使用され、はんだ６等によって電子デバイス１に接合して組立てられる。ここでいう「内包する」とは、所定のパターン３をプリント基板１０で覆い、外部に露出しない構造とすることを意味する。この段階においては、電子デバイス１の一方の面２a側はプリント基板１０によって覆われているため、所定のパターン３が形成された電子デバイス１の一方の面２a側に形成された、個体識別情報４を一方の面２a側から視認することができない状態となる。

ここで、上述した通り、電子デバイス１の基板２は透明部材により構成されているので、プリント基板１０と接合されていない他方の面２b側からは、個体識別情報４を視認することが可能である。そのため、電子デバイス１とプリント基板１０の接合後、例えば電子デバイス１の外観検査を行う際には、図１（b）に示すように、電子デバイス１の他方の面側２bから個体識別情報４を視認する。電子デバイス１の他方の面２b側から個体識別情報４を視認すると、図１（b）のように鏡文字４bが文字として正しい向きに認識され、電子デバイス１のそれぞれの個体識別情報４を正確に識別可能となる。ここで、「識別可能」という表現について説明すると、例えば図２における正文字４aは「識別可能」であると言えるが、鏡文字４bについては視認することは可能であるが「識別可能」であるとは言えないものとする。

また、正文字４a、及び、鏡文字４bの付近に、例えば個体識別情報４として読むべき方向を示した矢印１１等の記号を併記しておけば、より誤読の可能性を低減させることが可能である。本実施の形態においては、正文字４aおよび鏡文字４bの、それぞれの下方に矢印１１を併記しているが、上方、側方に矢印１１を設けてもよいし、矢印１１を設けない構成とすることも可能である。

尚、読むべき方向を示す記号は前述の矢印１１に限定されるものではなく、例えば読むべき先頭の文字の上、あるいは、下に「・」等の記号を併記することによって、読むべき先頭の文字を認識できるようにして、読むべき方向を表すように構成してもよい。

以上説明したように、個体識別情報４として正文字４a、及び、鏡文字４bを併記することにより、電子デバイス１を製造する際の各検査工程において、電子デバイス１の一方の面２a側、あるいは、他方の面２b側の両面から検査する必要が生じても、必要な個体識別情報４を両面から正確に識別することが可能となる。

（その他の実施の形態）
尚、本発明は上述した実施形態に限定されるものではない。前述の実施の形態に係るチップ基板１においては、個体識別情報４の文字として数字を用いているが、これに限られず、個体情報として認識できるものであればなんでもよい。例えばアルファベット、漢字、記号、平仮名、カタカナ等、及び、これらの組み合わせによるもので構成してもよい。

また更に、第２の基板として、プリント基板１０ではなく、ガラス、サファイア、タイヤモンド、樹脂等によって構成された基板を使用してもよい。加えて、図６に示すように、第１の基板である透明基板２の一方の面側２aに、第２の基板２０が接合されて、所定のパターン３を第２の基板２０によって内包するように電子デバイス２１が形成される。第２の基板２０には貫通孔２２が設けられ、一方の面側２a上に形成された所定のパターン３から外部への電気的信号の取り出しを、貫通孔２２を通して行うことが可能となる。

本発明は、透明基板上にパターンおよび個体識別情報が形成され、そのパターン及び個体識別情報が他の材料との組み合わせにより形成される構造体に内包されるようなものであれば利用可能であり、例えばガラスにより構成されるフローセンサのチップ、圧力センサのチップの製造においても利用することができる。

上記のように、本発明を実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす記述及び図面はこの発明を限定するものであると理解するべきではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更など、様々な実施の形態などを包含するということは言うまでもない。

本発明の１実施形態に係る電子デバイスの概略的な外観を示した上面図。 図１に示す電子デバイスにおける個体識別情報の拡大図。 図１（a）に示す電子デバイスの、第１の基板のI−I方向の側方断面図。 図１に示す電子デバイスの、プリント基板への接合を示した側方断面図。 本発明の他の実施形態に係る電子デバイスの概略的な外観を示した上面図。 本発明の他の実施形態に係る電子デバイスの側方断面図。

１、２１ 電子デバイス
２ 透明基板
３ パターン
４、１４ 個体識別情報
５ 電極
６ はんだ
１０、２０ 第２の基板
１１ 矢印

Claims (5)

1. 電子デバイスであって、一方の面側に所定のパターンが形成された透明材料を母材とする第１の基板を有し、
   第１の基板の前記一方の面側には前記電子デバイスに対して与えられた個体識別情報が設けられ、
   前記個体識別情報は、少なくとも１つ以上の文字と、前記文字の鏡文字とを併記して構成され、
   前記文字は、前記基板の一方の面側から視認したときのみ識別可能であり、
   前記文字の鏡文字は、前記一方の面側ではなく他方の面側から視認したときのみ識別可能である
   ことを特徴とする電子デバイス。
2. 請求項１に記載の電子デバイスにおいて、
   前記個体識別情報は、前記文字および前記文字の鏡文字のそれぞれに隣接して、前記文字および前記文字の鏡文字の読むべき方向を認識するための記号を併記して構成される
   電子デバイス。
3. 前記第１の基板が、ガラス、サファイア、ダイヤモンド、又は樹脂の何れかにより構成された請求項１または２に記載の電子デバイス。
4. 前記第１の基板の前記一方の面側に接着、又は、接合によって固定され、前記所定パターンを内包するように構成された第２の基板を更に有する、請求項１乃至３の何れか１項に記載の電子デバイス。
5. 前記第１の基板の前記一方の面側に接着、又は、接合によって固定され、前記所定パターンを内包するように構成された第２の基板を更に有する、請求項１乃至４の何れか１項に記載の電子デバイス。