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JP6093766B2 - Photopolymerizable unsaturated resin, photosensitive resin composition containing the same, and light shielding spacer and liquid crystal display device formed therefrom - Google Patents
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JP6093766B2 - Photopolymerizable unsaturated resin, photosensitive resin composition containing the same, and light shielding spacer and liquid crystal display device formed therefrom - Google Patents

Photopolymerizable unsaturated resin, photosensitive resin composition containing the same, and light shielding spacer and liquid crystal display device formed therefrom Download PDF

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Description

本発明は、新規の光重合性不飽和樹脂、これを含む感光性樹脂組成物、並びにこれから形成される光遮蔽スペーサーおよび液晶ディスプレイデバイスに関する。   The present invention relates to a novel photopolymerizable unsaturated resin, a photosensitive resin composition containing the same, and a light shielding spacer and a liquid crystal display device formed therefrom.

現在広く使用されている、フラットパネルディスプレイデバイスの1種である液晶ディスプレイ (LCD)デバイスは、その上にピクセル電極が形成されている薄膜トランジスタ(TFT)基体、その上に共通電極が形成されておりかつTFT基体に面しているカラーフィルタ基体、並びにTFT基体とカラーフィルタ基体との間に挿入されている液晶層を含む。このようなLCDデバイスは、このピクセル電極および共通電極に電圧を印加し、そして液晶層の液晶分子を再配置することによって、液晶層を透過する光の量を制御する方法で像を表示する。   A liquid crystal display (LCD) device, which is a type of flat panel display device that is currently widely used, has a thin film transistor (TFT) substrate on which pixel electrodes are formed, and a common electrode formed on the thin film transistor (TFT) substrate. And a color filter substrate facing the TFT substrate, and a liquid crystal layer inserted between the TFT substrate and the color filter substrate. Such LCD devices display images in a manner that controls the amount of light transmitted through the liquid crystal layer by applying a voltage to the pixel electrode and the common electrode and rearranging the liquid crystal molecules in the liquid crystal layer.

消費パターンがより多様化するにつれて、低い電力消費、軽い重量および薄い厚さ、並びに高いスクリーン品質を有することにより、空間利用を最大化しかつ容易に持ち運び可能なディスプレイが必要とされてきた。よって、ディスプレイの厚さをさらに低減させる様々な試みが行われてきた。1つの試みとして、TFT下部基体と着色上部基体とを別々に製造し、次いでこれら基体を積層する従来の技術の代わりに、TFT構造中にカラーフィルタ層を直接形成するための技術が示唆されてきた。   As consumption patterns have become more diverse, there has been a need for a display that maximizes space utilization and is easily portable by having low power consumption, light weight and thin thickness, and high screen quality. Thus, various attempts have been made to further reduce the thickness of the display. As one attempt, techniques have been suggested for forming a color filter layer directly in a TFT structure, instead of the conventional technique of separately manufacturing a TFT lower substrate and a colored upper substrate and then laminating the substrates. It was.

TFT構造中にカラーフィルタ層を直接形成するための新たな技術においては、概してリソグラフィを使用することによりスペーサーが感光性組成物から形成される。入射光によって引き起こされる切り替えデバイスとしてのTFTの機能不全を妨げるために、このスペーサーは光遮蔽性を有するべきである。このような光遮蔽スペーサーを製造するために、カーボンブラックが感光性樹脂組成物と混合されることが示唆されてきた。しかし、 カーボンブラックを含む感光性樹脂組成物からスペーサーを製造する場合に、この上部および下部基体に印加された電場によって、カーボンブラックの高い誘電率のせいで、電気的歪み現象が生じるという問題がある。よって、優れた光隠蔽性および低い誘電率を有するスペーサーを開発することが必要とされている。   In a new technique for forming a color filter layer directly in a TFT structure, the spacer is generally formed from a photosensitive composition by using lithography. In order to prevent the malfunction of the TFT as a switching device caused by incident light, this spacer should have light shielding properties. In order to manufacture such a light shielding spacer, it has been suggested that carbon black is mixed with the photosensitive resin composition. However, when manufacturing a spacer from a photosensitive resin composition containing carbon black, the electric field applied to the upper and lower substrates causes an electrical distortion phenomenon due to the high dielectric constant of carbon black. is there. Thus, there is a need to develop spacers with excellent light hiding properties and low dielectric constants.

さらに、光遮蔽スペーサーの製造に使用される感光性樹脂組成物は、概して、様々な色を有する染料または様々な種類の染料を混合することにより調製される黒色組成物であるが、これら染料は現像液に容易に溶解しない。現像液中での低い溶解度のせいで、これら染料は現像特性が良好ではなく、現像に長時間が必要とされ、または所望の程度の解像度が得られないという問題を有している。特に、着色された独立ドットスペーサーパターンを形成する場合に、解像度の重要性はさらに増大する。   Furthermore, the photosensitive resin composition used in the manufacture of the light shielding spacer is generally a black composition prepared by mixing dyes having various colors or various kinds of dyes. Does not dissolve easily in developer. Due to the low solubility in the developer, these dyes have the problem of poor development properties, requiring a long time for development, or failing to obtain the desired degree of resolution. In particular, the importance of resolution is further increased when forming colored independent dot spacer patterns.

さらに、スペーサー中のメインスペーサーとサブスペーサーとの間に高さの差が存在すべきなので、配置に従った完成したスペーサーの高さが特定の比率であるべきであり、およびそのスペーサーは上部基体上の圧力に対する抵抗性を維持するために、弾性回復率のようないくつかの物理的特性も有するべきであるので、露光エネルギーは制御されるべきである。   Further, since there should be a height difference between the main spacer and the sub-spacer in the spacer, the height of the completed spacer according to the arrangement should be a certain ratio, and that spacer is the upper substrate In order to maintain resistance to the above pressure, the exposure energy should be controlled because it should also have some physical properties such as elastic recovery.

韓国特許出願公開第2010−0066197号は、良好なパターン形成性を有し、並びに薄膜を形成した場合に、高い圧縮変位および高い回復率を示し、並びに低い誘電率および優れた光学密度を示す、黒色感光性樹脂組成物を開示する。しかし、この文献はこの組成物から形成される薄膜の解像度を考慮しておらず、70%の回復率を適切と見なしているが、これは関連する産業によって必要とされる回復率の水準を満足していない。   Korean Patent Application Publication No. 2010-0066197 has a good patterning property, and shows a high compressive displacement and a high recovery rate when a thin film is formed, and a low dielectric constant and an excellent optical density. A black photosensitive resin composition is disclosed. However, this document does not consider the resolution of thin films formed from this composition and considers a recovery rate of 70% as appropriate, which is the level of recovery rate required by the relevant industry. Not satisfied.

特開2002−040440号は放射線感受性組成物を開示し、この組成物は優れた光遮蔽特性および高い機械的強度および耐熱性を有するスペーサーを形成することができ、この組成物はパネルのシーリング中に不可逆的に変形せず、およびこの組成物は液晶層におけるギャップ差のせいでディスプレイ欠陥を生じさせない。しかし、この文献は、この組成物から形成されるスペーサーにおける誘電率または解像度を考慮していない。   JP 2002-040440 discloses a radiation sensitive composition, which can form a spacer with excellent light shielding properties and high mechanical strength and heat resistance, and this composition can be used during panel sealing. The composition does not irreversibly deform and the composition does not cause display defects due to gap differences in the liquid crystal layer. However, this document does not consider the dielectric constant or resolution in the spacer formed from this composition.

韓国特許出願公開第2010−0066197号公報Korean Patent Application Publication No. 2010-0066197 特開2002−040440号公報JP 2002-040440 A

本発明の第一の態様は、感光性樹脂組成物に含まれるべき新規構造の光重合性不飽和樹脂を提供する。   1st aspect of this invention provides the photopolymerizable unsaturated resin of the novel structure which should be contained in the photosensitive resin composition.

本発明の第二の態様は、新規光重合性不飽和樹脂を含み、露光の前および後で現像液中での充分な溶解度のせいで、10〜100μmのサイズのドットスペーサーパターンを形成することができ、 並びに形成されたドットスペーサーパターンの誘電率を低下させつつ、優れた光遮蔽特性を維持することができる、感光性樹脂組成物を提供する。   The second aspect of the present invention comprises a novel photopolymerizable unsaturated resin and forms a dot spacer pattern with a size of 10-100 μm due to sufficient solubility in the developer before and after exposure. And a photosensitive resin composition capable of maintaining excellent light shielding properties while reducing the dielectric constant of the formed dot spacer pattern.

本発明の第三の態様は、感光性樹脂組成物から形成され、かつ充分な解像度および優れた弾性回復率を有する光遮蔽スペーサーを提供する。   The third aspect of the present invention provides a light shielding spacer formed from a photosensitive resin composition and having sufficient resolution and excellent elastic recovery rate.

本発明の第四の態様は、光遮蔽スペーサーを有する液晶ディスプレイデバイスを提供する。   A fourth aspect of the present invention provides a liquid crystal display device having a light shielding spacer.

本発明のある態様によると、式Iで表されるエポキシ樹脂(A)を、不飽和塩基酸(B)と反応させて、エポキシ付加物(AB)を形成し、そして、当該付加物を多塩基酸無水物(C)と反応させることにより得られる生成物(P1)であるか、または、式Iで表されるエポキシ樹脂(A)を、不飽和塩基酸(B)と反応させてエポキシ付加物(AB)を形成し、当該付加物を多塩基酸無水物(C)と反応させて生成物(P1)を形成し、そしてさらに、当該生成物(P1)を、一官能性もしくは多官能性エポキシ化合物(D)と反応させることにより得られる生成物(P2)である、光重合性不飽和樹脂が提供される。 According to one embodiment of the present invention, the epoxy resin (A) represented by formula I is reacted with an unsaturated basic acid (B) to form an epoxy adduct (AB), and the adduct is It is a product (P1) obtained by reacting with a basic acid anhydride (C), or an epoxy resin (A) represented by the formula I is reacted with an unsaturated basic acid (B) to form an epoxy. An adduct (AB) is formed, the adduct is reacted with polybasic anhydride (C) to form product (P1), and the product (P1) is further converted to monofunctional or polyfunctional There is provided a photopolymerizable unsaturated resin which is a product (P2) obtained by reacting with a functional epoxy compound (D).

Figure 0006093766
Figure 0006093766

式中、で標識された炭素は、

Figure 0006093766
からなる群から選択される1つにおけるで標識された炭素で置き換えられ、
はC1−10アルキレン、C3−20シクロアルキレンまたはC1−10アルキレンオキシであり、
、R、R、R、R、RおよびRは同じかまたは異なっており、かつそれぞれ独立して、水素、C1−10アルキル、C1−10アルコキシ、C2−10アルケニルおよびC6−14アリールからなる群から選択され、
は水素、ハロゲン若しくはヒドロキシで置換されているかもしくは置換されていないC1−10アルキル、C2−10アルケニルおよびC6−14アリールからなる群から選択され、並びに
nは0〜10の整数である。 In the formula, carbon labeled with *
Figure 0006093766
Replaced with carbon labeled with * in one selected from the group consisting of :
L 1 is C 1-10 alkylene, C 3-20 cycloalkylene or C 1-10 alkyleneoxy,
R 1 , R 2 , R 3 , R 4 , R 5 , R 6 and R 7 are the same or different and are each independently hydrogen, C 1-10 alkyl, C 1-10 alkoxy, C 2 Selected from the group consisting of -10 alkenyl and C 6-14 aryl;
R 8 is selected from the group consisting of hydrogen, halogen or hydroxy substituted or unsubstituted C 1-10 alkyl, C 2-10 alkenyl and C 6-14 aryl, and n is an integer from 0 to 10 It is.

本発明の別の態様によると、光重合性不飽和樹脂、少なくとも1つのエチレン性不飽和結合を有する官能性モノマー、重合開始剤、黒色有機顔料および溶媒を含む感光性樹脂組成物が提供される。
本発明のさらなる態様によると、感光性樹脂組成物から形成される光遮蔽スペーサー が提供される。
本発明のまたさらなる態様によると、スペーサーを有する液晶ディスプレイデバイスが提供される。
According to another aspect of the present invention, there is provided a photosensitive resin composition comprising a photopolymerizable unsaturated resin, a functional monomer having at least one ethylenically unsaturated bond, a polymerization initiator, a black organic pigment, and a solvent. .
According to a further aspect of the present invention, there is provided a light shielding spacer formed from a photosensitive resin composition.
According to yet a further aspect of the invention, a liquid crystal display device having a spacer is provided.

本発明に従う光重合性不飽和樹脂を含む感光性樹脂組成物は、露光の前若しくは後で、現像液中での充分な溶解度のせいで、10〜100μmのサイズのドットスペーサーパターンを有する光遮蔽スペーサーを形成することができる。さらに、形成された光遮蔽スペーサーは、8以下の低い誘電率を有し、μmあたり1.0以上の光学密度を有することにより、光遮蔽特性に優れており、並びに充分な解像度および優れた弾性回復率を有する。   The photosensitive resin composition comprising the photopolymerizable unsaturated resin according to the present invention has a light shielding having a dot spacer pattern with a size of 10 to 100 μm due to sufficient solubility in a developer before or after exposure. Spacers can be formed. Furthermore, the formed light shielding spacer has a low dielectric constant of 8 or less, and has an optical density of 1.0 or more per μm, so that it has excellent light shielding properties, and sufficient resolution and excellent elasticity. Has a recovery rate.

以下、当業者が本発明を容易に実施できるように、本発明の好ましい実施形態が詳細に説明される。   Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail so that those skilled in the art can easily practice the present invention.

1.光重合性不飽和樹脂
光重合性不飽和樹脂は、式Iで表されるエポキシ樹脂(A)を、不飽和塩基酸(B)と反応させて、エポキシ付加物(AB)を形成し、そして、当該付加物を多塩基酸無水物(C)と反応させる工程により得られる生成物(P1)であるか、または、一官能性もしくは多官能性エポキシ化合物(D)を、生成物(P1)とさらに反応させることにより得られる生成物(P2)である。
1. Photopolymerizable unsaturated resin
The photopolymerizable unsaturated resin is obtained by reacting the epoxy resin (A) represented by the formula I with an unsaturated basic acid (B) to form an epoxy adduct (AB). The product (P1) obtained by reacting with the basic acid anhydride (C), or by further reacting the monofunctional or polyfunctional epoxy compound (D) with the product (P1) This is the product (P2) obtained.

エポキシ付加物(AB)は、既知の付加反応に従って、1当量のエポキシ基に相当するエポキシ樹脂(A)を、0.1〜5当量、好ましくは0.2〜2当量、およびより好ましくは0.4〜1当量のカルボキシル基に相当する不飽和塩基酸(B)と反応させることにより得られうる。 Epoxy adduct (AB) is 0.1 to 5 equivalents, preferably 0.2 to 2 equivalents, and more preferably 0, of epoxy resin (A) corresponding to 1 equivalent of epoxy groups, according to known addition reactions. It can be obtained by reacting with an unsaturated basic acid (B) corresponding to 4 to 1 equivalent of a carboxyl group.

光重合性不飽和樹脂は1当量のヒドロキシル基に相当するエポキシ付加物(AB)を、0.1〜5当量、好ましくは0.2〜2当量、およびより好ましくは0.4〜1当量の酸無水物基に相当する多塩基酸無水物(C)と反応させることにより得られる生成物(P1)である。光重合性不飽和樹脂は、既知のエステル化反応に従って、エポキシ付加物(AB)を、多塩基酸無水物(C)と反応させることにより得られうる。 The photopolymerizable unsaturated resin contains 0.1 to 5 equivalents, preferably 0.2 to 2 equivalents, and more preferably 0.4 to 1 equivalents of an epoxy adduct (AB) corresponding to 1 equivalent of a hydroxyl group. This is a product (P1) obtained by reacting with a polybasic acid anhydride (C) corresponding to an acid anhydride group. The photopolymerizable unsaturated resin can be obtained by reacting the epoxy adduct (AB) with the polybasic acid anhydride (C) according to a known esterification reaction.

さらに、光重合性不飽和樹脂は、エポキシ付加物(AB)のヒドロキシル基の1当量に対して、一官能性または多官能性エポキシ化合物中の0.1〜5当量、好ましくは0.2〜2当量、およびより好ましくは0.3〜1当量のエポキシ基の量で、一官能性または多官能性エポキシ化合物(D)を、生成物(P1)でさらにエステル化することによって得られうる。   Furthermore, the photopolymerizable unsaturated resin is used in an amount of 0.1 to 5 equivalents in the monofunctional or polyfunctional epoxy compound, preferably 0.2 to 1 equivalent to 1 equivalent of the hydroxyl group of the epoxy adduct (AB). Monofunctional or polyfunctional epoxy compounds (D) can be obtained by further esterification with product (P1) in an amount of epoxy groups of 2 equivalents, and more preferably 0.3-1 equivalents.

エポキシ付加物(AB)を多塩基酸無水物(C)でエステル化することにより得られる生成物(P1)と、一官能性または多官能性エポキシ化合物(D)との間のエステル化は、多塩基酸無水物(C)から生じるカルボキシル基と、一官能性または多官能性エポキシ化合物(D)のエポキシ基との間に起こりうる。 Esterification between the product (P1) obtained by esterifying the epoxy adduct (AB) with a polybasic acid anhydride (C) and the monofunctional or polyfunctional epoxy compound (D) is: It can occur between the carboxyl group resulting from the polybasic acid anhydride (C) and the epoxy group of the monofunctional or polyfunctional epoxy compound (D).

さらに、多塩基酸無水物(C)から生じるカルボキシル基と、一官能性または多官能性エポキシ化合物(D)のエポキシ基との間の反応を効率的に進めるために、光重合性不飽和樹脂は、(i)1当量のヒドロキシル基に相当するエポキシ付加物(AB)を、多塩基酸無水物(C)の酸無水物当量と一官能性または多官能性エポキシ化合物(D)のエポキシ当量との合計が1.0当量以上、好ましくは1.1〜2.0当量となる量の多塩基酸無水物(C)と反応させて生成物を生じさせること、および(ii)この生成物を一官能性または多官能性エポキシ化合物(D)とさらに反応させることによって調製されうる。 Furthermore, in order to efficiently advance the reaction between the carboxyl group generated from the polybasic acid anhydride (C) and the epoxy group of the monofunctional or polyfunctional epoxy compound (D), a photopolymerizable unsaturated resin is used. (I) an epoxy adduct (AB) corresponding to 1 equivalent of a hydroxyl group, an acid anhydride equivalent of a polybasic acid anhydride (C) and an epoxy equivalent of a monofunctional or polyfunctional epoxy compound (D) Reacting with an amount of polybasic acid anhydride (C) in an amount such that the total amount is 1.0 equivalent or more, preferably 1.1 to 2.0 equivalents, and (ii) the product Can be prepared by further reacting with a monofunctional or polyfunctional epoxy compound (D).

光重合性不飽和バインダー樹脂は、好ましくは1,500〜20,000、より好ましくは3,000〜15,000の範囲の重量平均分子量(Mw)を有する。この光重合性不飽和樹脂の重量平均分子量が上記範囲内ならば、この樹脂の流動性が適切な範囲内に維持されるので、取り扱い特性およびパターン形成性が良好である。   The photopolymerizable unsaturated binder resin preferably has a weight average molecular weight (Mw) in the range of 1,500 to 20,000, more preferably 3,000 to 15,000. If the weight average molecular weight of the photopolymerizable unsaturated resin is within the above range, the fluidity of the resin is maintained within an appropriate range, and thus the handling characteristics and pattern formability are good.

本発明に従う感光性樹脂組成物は、残部の溶媒の量以外の感光性樹脂組成物の全重量に対して、0.5〜50重量%の光重合性不飽和バインダー樹脂を含みうる。光重合性不飽和バインダー樹脂の含有量が上記範囲内ならば、露光および現像プロセスの後でパターンが容易に形成され、光遮蔽材料の基本的物理的特性が満足いくものであり、処理時間、例えば、現像時間および感度が最適化され、並びに特性、例えば、圧縮特性、化学物質耐性などが向上する。   The photosensitive resin composition according to the present invention may contain 0.5 to 50% by weight of a photopolymerizable unsaturated binder resin with respect to the total weight of the photosensitive resin composition other than the remaining solvent amount. If the content of the photopolymerizable unsaturated binder resin is within the above range, the pattern is easily formed after the exposure and development processes, the basic physical characteristics of the light shielding material are satisfactory, the processing time, For example, development time and sensitivity are optimized, and properties such as compression properties, chemical resistance, etc. are improved.

(A)エポキシ樹脂
本発明において使用されるエポキシ樹脂(A)は、9H−キサンテン骨格を有する下記式1で表される化合物である。
(A) Epoxy resin The epoxy resin (A) used in the present invention is a compound represented by the following formula 1 having a 9H-xanthene skeleton.

エポキシ樹脂(A)の9H−キサンテン骨格構造は、硬化体と基体との間の接着性、アルカリ耐性、形成性、強度などを向上させ、並びに、現像しそして非硬化部分を除去する際にマイクロパターンの解像度を増大させる因子として機能する。   The 9H-xanthene skeleton structure of the epoxy resin (A) improves the adhesion between the cured product and the substrate, alkali resistance, formability, strength, etc., and develops and removes the uncured part when removing the uncured part. It functions as a factor that increases the resolution of the pattern.

Figure 0006093766
Figure 0006093766

式中、で標識された炭素は、

Figure 0006093766
からなる群から選択される1つにおけるで標識された炭素で置き換えられ、
はC1−10アルキレン基、C3−20シクロアルキレン基またはC1−10アルキレンオキシ基であり、
〜Rは互いに同じかまたは異なっており、かつそれぞれ独立して、水素原子、C1−10アルキル基、C1−10アルコキシ基、C2−10アルケニル基またはC6−14アリール基であり、
は水素原子、エチル基、CHCHCl−、CHCHOH−、CH=CHCH−およびフェニル基からなる群から選択され、並びに
nは0〜10の整数である。 In the formula, carbon labeled with *
Figure 0006093766
Replaced with carbon labeled with * in one selected from the group consisting of :
L 1 is a C 1-10 alkylene group, a C 3-20 cycloalkylene group or a C 1-10 alkyleneoxy group,
R 1 to R 7 are the same as or different from each other, and each independently represents a hydrogen atom, a C 1-10 alkyl group, a C 1-10 alkoxy group, a C 2-10 alkenyl group or a C 6-14 aryl group. And
R 8 is a hydrogen atom, an ethyl group, CH 3 CHCl-, CH 3 CHOH- , CH 2 = CHCH 2 - is selected from the group consisting of and phenyl group, and n is an integer of 0.

1−10アルキレン基の具体例には、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、イソプロピレン基、ブチレン基、イソブチレン基、sec−ブチレン基、tert−ブチレン基、ペンチレン基、イソペンチレン基、tert−ペンチレン基、ヘキシレン基、へプチレン基、オクチレン基、イソオクチレン基、tert−オクチレン基、2−エチルヘキシレン基、ノニレン基、イソノニレン基、デシレン基、およびイソデシレン基が挙げられうる。 Specific examples of the C 1-10 alkylene group include methylene group, ethylene group, propylene group, isopropylene group, butylene group, isobutylene group, sec-butylene group, tert-butylene group, pentylene group, isopentylene group, tert-pentylene. A hexylene group, a heptylene group, an octylene group, an isooctylene group, a tert-octylene group, a 2-ethylhexylene group, a nonylene group, an isononylene group, a decylene group, and an isodecylene group.

3−20シクロアルキレン基の具体例には、シクロプロピレン基、シクロブチレン基、シクロペンチレン基、シクロヘキシレン基、シクロへプチレン基、デカリニレン基、およびアダマンチレン基が挙げられうる。 Specific examples of the C 3-20 cycloalkylene group may include a cyclopropylene group, a cyclobutylene group, a cyclopentylene group, a cyclohexylene group, a cycloheptylene group, a decalinylene group, and an adamantylene group.

1−10アルキレンオキシ基の具体例には、メチレンオキシ基、エチレンオキシ基、プロピレンオキシ基、ブチレンオキシ基、sec−ブチレンオキシ基、tert−ブチレンオキシ基、ペンチレンオキシ基、ヘキシレンオキシ基、へプチレンオキシ基、オクチレンオキシ基、および2−エチル−ヘキシレンオキシ基が挙げられうる。 Specific examples of the C 1-10 alkyleneoxy group include a methyleneoxy group, an ethyleneoxy group, a propyleneoxy group, a butyleneoxy group, a sec-butyleneoxy group, a tert-butyleneoxy group, a pentyleneoxy group, and a hexyleneoxy group. , Heptyleneoxy groups, octyleneoxy groups, and 2-ethyl-hexyleneoxy groups.

1−10アルキル基の具体例には、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、ペンチル基、イソペンチル基、tert−ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、イソオクチル基、tert−オクチル基、2−エチルヘキシル基、ノニル基、イソノニル基、デシル基、およびイソデシル基が挙げられうる。 Specific examples of the C 1-10 alkyl group include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, an isopropyl group, a butyl group, an isobutyl group, a sec-butyl group, a tert-butyl group, a pentyl group, an isopentyl group, and a tert-pentyl group. Hexyl group, heptyl group, octyl group, isooctyl group, tert-octyl group, 2-ethylhexyl group, nonyl group, isononyl group, decyl group, and isodecyl group.

1−10アルコキシ基の具体例には、メトキシ基、エトキシ基、プロピルオキシ基、ブチルオキシ基、sec−ブトキシ基、tert−ブトキシ基、ペントキシ基、ヘキシルオキシ基、ヘプトキシ基、オクチルオキシ基、および2−エチル−ヘキシルオキシ基が挙げられうる。 Specific examples of C 1-10 alkoxy groups include methoxy, ethoxy, propyloxy, butyloxy, sec-butoxy, tert-butoxy, pentoxy, hexyloxy, heptoxy, octyloxy, and A 2-ethyl-hexyloxy group may be mentioned.

2−10アルケニル基の具体例には、ビニル基、アリル基、ブテニル基、およびプロペニル基が挙げられうる。 Specific examples of C 2-10 alkenyl groups may include vinyl, allyl, butenyl, and propenyl groups.

6−14アリール基の具体例には、フェニル基、トリル基、キシリル基、およびナフチル基が挙げられうる。 Specific examples of the C 6-14 aryl group may include a phenyl group, a tolyl group, a xylyl group, and a naphthyl group.

(B)不飽和塩基
本発明において使用される不飽和塩基酸 (B)は、本発明に従って、光重合性不飽和樹脂を含む感光性樹脂組成物の感度を向上させるために使用される。不飽和塩基酸(B)の具体例には、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、ケイヒ酸、ソルビン酸、ヒドロキシエチルメタクリラート−マレアート、ヒドロキシエチルアクリラート−マレアート、ヒドロキシプロピルメタクリラート−マレアート、ヒドロキシプロピルアクリラート−マレアート、ジシクロペンタジエン−マレアート、並びにカルボキシル基および2以上の(メタ)アクリロイル基を有する多官能性(メタ)アクリラートが挙げられうるが、これらに限定されない。この不飽和塩基酸は単独でまたはこれらの2種以上の組み合わせで使用されうる。アクリル酸、メタクリル酸、並びにカルボキシル基および2以上の(メタ)アクリロイル基を有する多官能性(メタ)アクリラートが、好ましくは、不飽和塩基酸として使用される。
(B) Unsaturated basic acid Unsaturated basic acid (B) used in this invention is used in order to improve the sensitivity of the photosensitive resin composition containing a photopolymerizable unsaturated resin according to this invention. Specific examples of the unsaturated basic acid (B) include acrylic acid, methacrylic acid, crotonic acid, cinnamic acid, sorbic acid, hydroxyethyl methacrylate-maleate, hydroxyethyl acrylate-maleate, hydroxypropyl methacrylate-maleate, hydroxy Propyl acrylate-maleate, dicyclopentadiene-maleate, and polyfunctional (meth) acrylates having a carboxyl group and two or more (meth) acryloyl groups may be mentioned, but are not limited thereto. This unsaturated basic acid may be used alone or in combination of two or more thereof. Acrylic acid, methacrylic acid and polyfunctional (meth) acrylates having carboxyl groups and two or more (meth) acryloyl groups are preferably used as unsaturated basic acids.

カルボキシル基および2以上の(メタ)アクリロイル基を有する多官能性(メタ)アクリラートは、例えば、二塩基酸無水物またはカルボン酸を、分子中にヒドロキシル基および2以上の(メタ)アクリロイル基を有する多官能性 (メタ)アクリラートと反応させることにより得られうる。   The polyfunctional (meth) acrylate having a carboxyl group and two or more (meth) acryloyl groups has, for example, a dibasic acid anhydride or a carboxylic acid, a hydroxyl group and two or more (meth) acryloyl groups in the molecule. It can be obtained by reacting with a polyfunctional (meth) acrylate.

(C)多塩基酸無水物
本発明において使用される多塩基酸無水物(C)は、本発明に従って、光重合性不飽和樹脂を含む感光性樹脂組成物の酸価を増大させることにより、パターン形成性、現像特性および現像速度を向上させるために使用される。
(C) Polybasic acid anhydride
In accordance with the present invention, the polybasic acid anhydride (C) used in the present invention increases the acid value of the photosensitive resin composition containing the photopolymerizable unsaturated resin, thereby increasing the pattern formability, development characteristics and development. Used to improve speed.

塩基酸無水物(C)の例には、無水コハク酸、無水マレイン酸、トリメリット酸無水物、ピロメリット酸無水物、2,2’−3,3’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,3’−4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、エチレングリコールビス(無水トリメリタート)、グリセロールトリス(無水トリメリタート)、フタル酸無水物、ヘキサヒドロフタル酸無水物、メチルヒドロフタル酸無水物、テトラヒドロフタル酸無水物、ナジン酸無水物、メチルナジン酸無水物、トリアルキルテトラヒドロフタル酸無水物、ヘキサヒドロフタル酸無水物、5−(2,5−ジオキソテトラヒドロフリル)−3−メチル−3−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸無水物、トリアルキルテトラヒドロフタル酸無水物−マレイン酸無水物の付加物、ドデセニルコハク酸無水物、およびメチルヒミン酸(himic)無水物からなる群から選択される、好ましくは、無水コハク酸、トリメリット酸無水物、およびヘキサヒドロフタル酸無水物からなる群から選択されるが、これらに限定されない、1種以上が挙げられうる。 Examples of polybasic acid anhydrides (C) include succinic anhydride, maleic anhydride, trimellitic anhydride, pyromellitic anhydride, 2,2'-3,3'-benzophenone tetracarboxylic dianhydride 3,3′-4,4′-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, ethylene glycol bis (trimellitic anhydride), glycerol tris (trimellitic anhydride), phthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, methylhydrophthalic acid Anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, nadic anhydride, methyl nadic anhydride, trialkyltetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, 5- (2,5-dioxotetrahydrofuryl) -3-methyl -3-Cyclohexene-1,2-dicarboxylic anhydride, trialkyltetrahydrophthalic anhydride-maleic acid Selected from the group consisting of anhydride adducts, dodecenyl succinic anhydride, and methyl micmic anhydride, preferably the group consisting of succinic anhydride, trimellitic anhydride, and hexahydrophthalic anhydride Although not limited to these, one or more may be mentioned.

(D)一官能性または多官能性エポキシ化合物
本発明において使用される一官能性エポキシ化合物は、光重合性不飽和樹脂の酸価を制御することによって、感光性樹脂組成物の現像特性をさらに向上させるために使用される。 好ましくは、本発明に従って、感光性樹脂組成物の固形分は、20〜120mg KOH/gの範囲の酸価を有する。よって、一官能性エポキシ化合物の量は好ましくは上記酸価を満足させるように選択される。
(D) Monofunctional or polyfunctional epoxy compound The monofunctional epoxy compound used in the present invention further improves the development characteristics of the photosensitive resin composition by controlling the acid value of the photopolymerizable unsaturated resin. Used to improve. Preferably, according to the present invention, the solid content of the photosensitive resin composition has an acid value in the range of 20-120 mg KOH / g. Therefore, the amount of the monofunctional epoxy compound is preferably selected so as to satisfy the acid value.

一官能性エポキシ化合物の具体的な例には、グリシジルメタクリラート、メチルグリシジルエーテル、エチルグリシジルエーテル、プロピルグリシジルエーテル、イソプロピルグリシジルエーテル、ブチルグリシジルエーテル、イソブチルグリシジルエーテル、t−ブチルグリシジルエーテル、ペンチルグリシジルエーテル、ヘキシルグリシジルエーテル、ヘプチルグリシジルエーテル、オクチルグリシジルエーテル、ノニルグリシジルエーテル、デシルグリシジルエーテル、ウンデシルグリシジルエーテル、ドデシルグリシジルエーテル、トリデシルグリシジルエーテル、テトラデシルグリシジルエーテル、ペンタデシルグリシジルエーテル、ヘキサデシルグリシジルエーテル、2−エチルヘキシルグリシジルエーテル、アリルグリシジルエーテル、プロパルギルグリシジルエーテル、2−メトキシエチルグリシジルエーテル、フェニルグリシジルエーテル、p−メトキシフェニルグリシジルエーテル、p−ブチルフェニルグリシジルエーテル、クレシルグリシジルエーテル、2−メチルクレシルグリシジルエーテル、4−ノニルフェニルグリシジルエーテル、ベンジルグリシジルエーテル、p−クミルフェニルグリシジルエーテル、トリチルグリシジルエーテル、2,3−エポキシプロピルメタクリラート、エポキシ化(epoxylated)ダイズ油、エポキシ化亜麻仁油、グリシジルブチラート、ビニルシクロヘキサンモノオキシド、1,2−エポキシ−4−ビニルシクロヘキサン、スチレンオキシド、ピネンオキシド、メチルスチレンオキシド、シクロヘキセンオキシド、およびプロピレンオキシドが挙げられうる。   Specific examples of monofunctional epoxy compounds include glycidyl methacrylate, methyl glycidyl ether, ethyl glycidyl ether, propyl glycidyl ether, isopropyl glycidyl ether, butyl glycidyl ether, isobutyl glycidyl ether, t-butyl glycidyl ether, pentyl glycidyl ether. , Hexyl glycidyl ether, heptyl glycidyl ether, octyl glycidyl ether, nonyl glycidyl ether, decyl glycidyl ether, undecyl glycidyl ether, dodecyl glycidyl ether, tridecyl glycidyl ether, tetradecyl glycidyl ether, pentadecyl glycidyl ether, hexadecyl glycidyl ether, 2-ethylhexyl glycidyl ether, allyl glycidyl Ether, propargyl glycidyl ether, 2-methoxyethyl glycidyl ether, phenyl glycidyl ether, p-methoxyphenyl glycidyl ether, p-butylphenyl glycidyl ether, cresyl glycidyl ether, 2-methyl cresyl glycidyl ether, 4-nonylphenyl glycidyl ether , Benzyl glycidyl ether, p-cumylphenyl glycidyl ether, trityl glycidyl ether, 2,3-epoxypropyl methacrylate, epoxidized soybean oil, epoxidized linseed oil, glycidyl butyrate, vinylcyclohexane monooxide, 1, 2-epoxy-4-vinylcyclohexane, styrene oxide, pinene oxide, methylstyrene oxide, cyclohexeneoxy And propylene oxide may be mentioned.

本発明において使用される多官能性エポキシ化合物は、光重合性不飽和樹脂の分子量を増大させることによって、現像速度を制御する役割を果たす。   The polyfunctional epoxy compound used in the present invention plays a role of controlling the development speed by increasing the molecular weight of the photopolymerizable unsaturated resin.

多官能性エポキシ化合物の例には、多価アルコールもしくはそのアルキレンオキシド付加物のポリグリシジルエーテル、多塩基酸のポリグリシジルエーテル、シクロヘキセン若しくはシクロペンテン含有化合物を酸化剤でエポキシド化することにより得られるシクロヘキセンオキシド若しくはシクロペンテンオキシド含有化合物が挙げられうる。より具体的には、多官能性エポキシ化合物の例には以下のものが挙げられうる:アルキリデンビスフェノールポリグリシジルエーテル型エポキシ樹脂、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールB型エポキシ樹脂、ビスフェノールC型エポキシ樹脂、ビスフェノールE型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールM型エポキシ樹脂、ビスフェノールP型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、およびビスフェノールZ型エポキシ樹脂;前記アルキリデンビスフェノールポリグリシジルエーテル型エポキシ樹脂に水を付加することにより得られる水付加ビスフェノール型ジグリシジルエーテル;脂肪族多価アルコールのグリシジルエーテル、例えば、エチレングリコールジグリシジルエーテル、1,3−プロピレングリコールジグリシジルエーテル、1,2−プロピレングリコールジグリシジルエーテル、1,4−ブタンジオールジグリシジルエーテル、1,6−ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、1,8−オクタンジオールジグリシジルエーテル、1,10−デカンジオールジグリシジルエーテル、2,2−ジメチル−1,3−プロパンジオールジグリシジルエーテル、ジエチレングリコールジグリシジルエーテル、トリエチレングリコールジグリシジルエーテル、テトラエチレングリコールジグリシジルエーテル、ヘキサエチレングリコールジグリシジルエーテル、1,4−シクロヘキサンジメタノールジグリシジルエーテル、1,1−トリ(グリシジルオキシメチル)プロパン、1,1,1−トリ(グリシジルオキシメチル)エタン、1,1,1−トリ(グリシジルオキシメチル)メタン、1,1,1,1−テトラ(グリシジルオキシメチル)メタン、グリセリントリグリシジルエーテル、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル、ソルビトールテトラグリシジルエーテル、およびジペンタエリスリトールヘキサグリシジルエーテル;2以上のアルキレンオキシドを多価アルコール、例えば、プロピレングリコール、トリメチロールプロパンおよびグリセリンに付加することにより得られる、ポリエーテルポリオールのポリグリシジルエーテル;ノボラック型エポキシ化合物、例えば、フェノールノボラック型エポキシ化合物、ビフェニルノボラック型エポキシ化合物、クレゾールノボラック型エポキシ化合物、ビスフェノールAノボラック型エポキシ化合物、およびジシクロペンタジエンノボラック型エポキシ化合物;脂環式エポキシ化合物、例えば、3,4−エポキシ−3−メチルシクロヘキシルメチル−3,4−エポキシ−3−メチルシクロヘキサンカルボキシラート、3,4−エポキシ−5−メチルシクロヘキシルメチル−3,4−エポキシ−5−メチルシクロヘキサンカルボキシラート、3,4−エポキシ−6−メチルシクロヘキシルメチル−3,4−エポキシ−6−メチルシクロヘキサンカルボキシラート、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル−3,4−エポキシシクロヘキサンカルボキシラート、1−エポキシエチル−3,4−エポキシシクロヘキサン、ビス(3,4−エポキシシクロヘキシルメチル)アジパート、メチレンビス(3,4−エポキシシクロヘキサン)、イソプロピリデンビス(3,4−エポキシシクロヘキサン)、ジシクロペンタジエンジエポキシド、エチレンビス(3,4−エポキシシクロヘキサンカルボキシラート)、および1,2−エポキシ−2−エポキシエチルシクロヘキサン;二塩基酸のグリシジルエステル、例えば、フタル酸ジグリシジルエステル、テトラヒドロフタル酸ジグリシジルエステル、およびダイマー酸グリシジルエステル;グリシジルアミン、例えば、テトラグリシジルジアミノジフェニルメタン、トリグリシジルP−アミノフェノール、およびN,N−ジグリシジルアニリン;複素環式エポキシ化合物、例えば、1,3−ジグリシジル−5,5−ジメチルヒダントイン、およびトリグリシジルイソシアヌラート;ジオキシド化合物、例えば、ジシクロペンタジエンジオキシド;ナフタレン型エポキシ化合物;トリフェニルメタン型エポキシ化合物;並びに、ジシクロペンタジエン型エポキシ化合物。 Examples of polyfunctional epoxy compounds include polyglycidyl ethers of polyhydric alcohols or alkylene oxide adducts thereof, polyglycidyl ethers of polybasic acids, cyclohexene oxides obtained by epoxidizing compounds containing cyclohexene or cyclopentene with an oxidizing agent. Or a cyclopentene oxide containing compound may be mentioned. More specifically, examples of the multifunctional epoxy compound may include the following: alkylidene bisphenol polyglycidyl ether type epoxy resin, for example, bisphenol A type epoxy resin, bisphenol B type epoxy resin, bisphenol C type epoxy Resin, bisphenol E type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol M type epoxy resin, bisphenol P type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, and bisphenol Z type epoxy resin; the alkylidene bisphenol polyglycidyl ether type epoxy resin with water Water-added bisphenol-type diglycidyl ether obtained by adding glycidyl ether; glycidyl ether of aliphatic polyhydric alcohol such as ethylene glycol diglycidyl ether 1,3-propylene glycol diglycidyl ether, 1,2-propylene glycol diglycidyl ether, 1,4-butanediol diglycidyl ether, 1,6-hexanediol diglycidyl ether, 1,8-octanediol diglycidyl ether 1,10-decanediol diglycidyl ether, 2,2-dimethyl-1,3-propanediol diglycidyl ether, diethylene glycol diglycidyl ether, triethylene glycol diglycidyl ether, tetraethylene glycol diglycidyl ether, hexaethylene glycol di Glycidyl ether, 1,4-cyclohexanedimethanol diglycidyl ether, 1,1-tri (glycidyloxymethyl) propane, 1,1,1-tri (glycidyloxy) Chill) ethane, 1,1,1-tri (glycidyloxymethyl) methane, 1,1,1,1-tetra (glycidyloxymethyl) methane, glycerin triglycidyl ether, trimethylolpropane triglycidyl ether, sorbitol tetraglycidyl ether And dipentaerythritol hexaglycidyl ether; a polyglycidyl ether of a polyether polyol obtained by adding two or more alkylene oxides to a polyhydric alcohol such as propylene glycol, trimethylolpropane and glycerin; a novolac-type epoxy compound; For example, phenol novolac type epoxy compound, biphenyl novolac type epoxy compound, cresol novolac type epoxy compound, bisphenol A novolac type epoxy compound Dicyclopentadiene novolac type epoxy compounds; cycloaliphatic epoxy compounds such as 3,4-epoxy-3-methylcyclohexylmethyl-3,4-epoxy-3-methylcyclohexanecarboxylate, 3,4-epoxy -5-methylcyclohexylmethyl-3,4-epoxy-5-methylcyclohexanecarboxylate, 3,4-epoxy-6-methylcyclohexylmethyl-3,4-epoxy-6-methylcyclohexanecarboxylate, 3,4-epoxy Cyclohexylmethyl-3,4-epoxycyclohexanecarboxylate, 1-epoxyethyl-3,4-epoxycyclohexane, bis (3,4-epoxycyclohexylmethyl) adipate, methylenebis (3,4-epoxycyclohexane), Seo propylidene bis (3,4-epoxycyclohexane), dicyclopentadiene diepoxide, ethylenebis (3,4-epoxycyclohexane carboxylate), and 1,2-epoxy-2-epoxy ethylcyclohexane; glycidyl diacid Esters such as diglycidyl phthalate, diglycidyl tetrahydrophthalate, and diglycidyl dimer; glycidyl amines such as tetraglycidyl diaminodiphenylmethane, triglycidyl P-aminophenol, and N, N-diglycidyl aniline; Cyclic epoxy compounds such as 1,3-diglycidyl-5,5-dimethylhydantoin, and triglycidyl isocyanurate; dioxide compounds such as dicyclopentadiene Oxide; naphthalene epoxy compounds; triphenylmethane-type epoxy compound; and dicyclopentadiene epoxy compounds.

多官能性エポキシ化合物として商業的に入手可能な製品には、例えば、以下のものが挙げられうる:BREN−S、EPPN−201、EPPN−501N、EOCN−1020、GAN、およびGOT(日本化薬株式会社);アデカレジンEP−4000、アデカレジンEP−4003S、アデカレジンEP−4080、アデカレジンEP−4085、アデカレジンEP−4088、アデカレジンEP−4100、アデカレジンEP−4900、アデカレジンED−505、アデカレジンED−506、アデカレジンKRM−2110、アデカレジンKRM−2199、およびアデカレジンKRM−2720(株式会社ADEKA);R−508、R−531、およびR−710(三井化学株式会社);エピコート190P、エピコート191P、エピコート604、エピコート801、エピコート825、エピコート871、エピコート872、エピコート1031、エピコートRXE15、エピコートYX−4000、エピコートYDE−205、およびエピコートYDE−305(ジャパンエポキシレジン株式会社);スミエポキシELM−120およびスミエポキシELM−434(住友化学株式会社);デナコールEM−150、デナコールEX−201、デナコールEX−211、デナコールEX−212、デナコールEX−313、デナコールEX−314、デナコールEX−322、デナコールEX−411、デナコールEX−421、デナコールEX−512、デナコールEX−521、デナコールEX−614、デナコールEX−711、デナコールEX−721、デナコールEX−731、デナコールEX−811、デナコールEX−821、デナコールEX−850、デナコールEX−851、およびデナコールEX−911(ナガセケムテックス株式会社);エポライト70P、エポライト200P、エポライト400P、エポライト40E、エポライト100E、エポライト200E、エポライト400E、エポライト80MF、エポライト100MF、エポライト1500NP、エポライト1600、エポライト3002、エポライト4000、エポライトFR−1500、エポライトM−1230、およびエポライトEHDG−L(共栄社化学株式会社);SB−20(岡村製油株式会社);エピクロン720(大日本インキ化学工業);UVR−6100、UVR−6105、UVR−6110、UVR−6200、およびUVR−6228(ユニオンカーバイドコーポレーション);セロキシド2000、セロキシド2021、セロキシド2021P、セロキシド2081、セロキシド2083、セロキシド2085、セロキシド3000、シコマーA200、シコマーMl00、シコマーMl0l、エポリードGT−301、エポリードGT−302、エポリード401、エポリード403、エポリードHD300、EHPE−3150、ETHB、およびエポブレンド(株式会社ダイセル);PY−306、0163、およびDY−022(チバスペシャリティケミカルズコーポレーション);サントートST0000、エポトートYD−011、エポトートYD−115、エポトートYD−127、エポトートYD−134、エポトートYD−172、エポトートYD−6020、エポトートYD−716、エポトートYD−7011R、エポトートYD−901、エポトートYDPN−638、エポトートYH−300、ネオトートPG−202、およびネオトートPG−207(東都化成株式会社);並びに、ブレンマーGなど(日油株式会社)。   Products commercially available as multifunctional epoxy compounds may include, for example, the following: BREN-S, EPPN-201, EPPN-501N, EOCN-1020, GAN, and GOT (Nippon Kayaku) Adeka Resin EP-4000, Adeka Resin EP-4003, Adeka Resin EP-4080, Adeka Resin EP-4085, Adeka Resin EP-4088, Adeka Resin EP-4100, Adeka Resin EP-4900, Adeka Resin ED-505, Adeka Resin ED-506, Adeka Resin KRM-2110, Adeka Resin KRM-2199, and Adeka Resin KRM-2720 (ADEKA Corporation); R-508, R-531, and R-710 (Mitsui Chemicals); Epicoat 190P, Epicoat 1 1P, Epicoat 604, Epicoat 801, Epicoat 825, Epicoat 871, Epicoat 872, Epicoat 1031, Epicoat RXE15, Epicoat YX-4000, Epicoat YDE-205, and Epicoat YDE-305 (Japan Epoxy Resin Co., Ltd.); Sumiepoxy ELM-120 And Sumiepoxy ELM-434 (Sumitomo Chemical Co., Ltd.); Denacol EM-150, Denacol EX-201, Denacol EX-211, Denacol EX-212, Denacol EX-313, Denacol EX-314, Denacol EX-322, Denacol EX- 411, Denacol EX-421, Denacol EX-512, Denacol EX-521, Denacol EX-614, Denacol EX-711, Denacol EX- 21, Denacol EX-731, Denacol EX-811, Denacol EX-821, Denacol EX-850, Denacol EX-851, and Denacol EX-911 (Nagase ChemteX Corporation); Epolite 70P, Epolite 200P, Epolite 400P, Epolite 40E, Epolite 100E, Epolite 200E, Epolite 400E, Epolite 80MF, Epolite 100MF, Epolite 1500NP, Epolite 1600, Epolite 3002, Epolite 4000, Epolite FR-1500, Epolite M-1230, and Epolite EHDG-L (Kyoeisha Chemical Co., Ltd.) SB-20 (Okamura Oil Co., Ltd.); Epicron 720 (Dainippon Ink &Chemicals); UVR-6100, UVR-6105, UVR -6110, UVR-6200, and UVR-6228 (Union Carbide Corporation); Ceroxide 2000, Ceroxide 2021, Ceroxide 2021P, Ceroxide 2081, Ceroxide 2083, Ceroxide 2085, Ceroxide 3000, Sicomer A200, Sicomer MlOO, Sicomer M10T 301, Epolide GT-302, Epolide 401, Epolide 403, Epolide HD300, EHPE-3150, ETHB, and Epoblend (Daicel Corporation); PY-306, 0163, and DY-022 (Ciba Specialty Chemicals Corporation); Santo Tote ST0000 Epototo YD-011, Epototo YD-115, Epototo YD-127, Epototo YD 134, Epototo YD-172, Epototo YD-6020, Epototo YD-716, Epototo YD-7011R, Epototo YD-901, Epototo YDPN-638, Epototo YH-300, Neototo PG-202, and Neototo PG-207 Co., Ltd.); and Bremmer G etc. (NOF Corporation).

2.少なくとも1つのエチレン性不飽和結合を有する官能性モノマー
少なくとも1つのエチレン性不飽和結合を有する官能性モノマーは反応性不飽和化合物であり、かつ、感光性樹脂組成物において一般的に使用されるモノマーまたはオリゴマーであり、 並びに少なくとも1つのエチレン性不飽和二重結合を有するアクリル酸またはメタクリル酸の一官能性または多官能性エステルが使用されることができた。
2. Functional monomer having at least one ethylenically unsaturated bond The functional monomer having at least one ethylenically unsaturated bond is a reactive unsaturated compound and is a monomer commonly used in photosensitive resin compositions Alternatively, monofunctional or polyfunctional esters of acrylic acid or methacrylic acid that are oligomers and have at least one ethylenically unsaturated double bond could be used.

少なくとも1つのエチレン性不飽和結合を有する官能性モノマーの含有量は、残部の溶媒の量を除いた感光性樹脂組成物の全重量に対して1〜50重量%であることができる。少なくとも1つのエチレン性不飽和結合を有する官能性モノマーの含有量が上記範囲内ならば、パターンは容易に形成され、そして現像プロセス中に下部の過剰現像が生じないので現像マージンアスペクトにおいて有利である。   The content of the functional monomer having at least one ethylenically unsaturated bond may be 1 to 50% by weight based on the total weight of the photosensitive resin composition excluding the remaining amount of solvent. If the content of the functional monomer having at least one ethylenically unsaturated bond is within the above range, the pattern is easily formed, and it is advantageous in the development margin aspect because the lower over-development does not occur during the development process. .

少なくとも1つのエチレン性不飽和結合を有する官能性モノマーは反応性不飽和化合物であり、そして少なくとも1つのエチレン性不飽和結合を有する官能性モノマーの例には、これらに限定されないが、エチレングリコールジアクリラート、ジエチレングリコールジアクリラート、トリエチレングリコールジアクリラート、トリエチレングリコールジメタクリラート、1,6−ヘキサンジオールジアクリラート、ペンタエリスリトールトリアクリラート、ジペンタエリスリトールペンタアクリラート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリラート、ビスフェノールAエポキシアクリラート、エチレングリコールモノメチルエーテルアクリラート、エチレングリコールジメタクリラート、および1,6−ヘキサンジオールジメタクリラートからなる群から選択される少なくとも1種が挙げられうる。   The functional monomer having at least one ethylenically unsaturated bond is a reactive unsaturated compound, and examples of functional monomers having at least one ethylenically unsaturated bond include, but are not limited to, ethylene glycol dia Chlorates, diethylene glycol diacrylate, triethylene glycol diacrylate, triethylene glycol dimethacrylate, 1,6-hexanediol diacrylate, pentaerythritol triacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate Bisphenol A epoxy acrylate, ethylene glycol monomethyl ether acrylate, ethylene glycol dimethacrylate, and 1,6-hexanediol dimethacrylate At least one member selected from the group consisting may be mentioned.

商業的に入手可能な少なくとも1つのエチレン性不飽和結合を有する官能性モノマーの例には、以下の製品が挙げられうる:一官能性(メタ)アクリラートの市販の製品として、アロミックスM−101、アロミックスM−111およびアロミックスM−114(東亞合成株式会社);カヤラッドTC−110SおよびカヤラッドTC−120S(日本化薬株式会社);並びにV−158およびV−2311(大阪有機化学工業株式会社)。
二官能性(メタ)アクリラート製品の市販の製品として、アロミックスM−210、アロミックスM−240、およびアロミックスM−6200(東亞合成株式会社);カヤラッドHDDA、カヤラッドHX−220およびカヤラッドR−604(日本化薬株式会社);並びにV260、V312およびV335 HP(大阪有機化学工業株式会社)。
三もしくはより高い官能性の(メタ)アクリラート製品の市販の製品として、アロミックスM−309、アロミックスM−400、アロミックスM−405、アロミックスM−450、アロミックスM−7100、アロミックスM−8030およびアロミックスM−8060(東亞合成株式会社);カヤラッドTMPTA、カヤラッドDPCA−20、カヤラッドDPCA−30、カヤラッドDPCA−60およびカヤラッドDPCA−120(日本化薬株式会社);並びにV−295、V−300、V−360、V−GPT、V−3PAおよびV−400(大阪有機化学工業株式会社)。上記化合物は単独でもしくはこれらの2種以上の組み合わせで使用されうる。
Examples of commercially available functional monomers having at least one ethylenically unsaturated bond may include the following products: As a commercial product of monofunctional (meth) acrylates, Allomix M-101 , Alomix M-111 and Alomix M-114 (Toagosei Co., Ltd.); Kayarad TC-110S and Kayarad TC-120S (Nippon Kayaku Co., Ltd.); and V-158 and V-2311 (Osaka Organic Chemical Co., Ltd.) Company).
Commercial products of bifunctional (meth) acrylate products include Alomix M-210, Alomix M-240, and Alomix M-6200 (Toagosei Co., Ltd.); Kayarad HDDA, Kayarad HX-220 and Kayarad R- 604 (Nippon Kayaku Co., Ltd.); and V260, V312 and V335 HP (Osaka Organic Chemical Industries, Ltd.).
Commercial products of tri- or higher functional (meth) acrylate products include Alomix M-309, Alomix M-400, Alomix M-405, Alomix M-450, Alomix M-7100, Alomix M-8030 and Alomix M-8060 (Toagosei Co., Ltd.); Kayarad TMPTA, Kayarad DPCA-20, Kayarad DPCA-30, Kayarad DPCA-60 and Kayarad DPCA-120 (Nippon Kayaku Co., Ltd.); and V-295 , V-300, V-360, V-GPT, V-3PA and V-400 (Osaka Organic Chemical Co., Ltd.). The above compounds may be used alone or in combination of two or more thereof.

少なくとも1つのエチレン性不飽和結合を有する官能性モノマーの含有量は、残部の溶媒の量を除いた全感光性樹脂組成物に対して、1〜50重量%、好ましくは1〜20重量%、およびより好ましくは1〜15重量%の範囲である。少なくとも1つのエチレン性不飽和結合を有する官能性モノマーの含有量が上記1〜50重量%の範囲内にある場合には、酸素の存在下で感度が向上し、パターンが容易に形成され、コポリマーとの相溶性が向上し、コートの形成後にコート面が粗化されておらず、並びに現像中に下部の過剰現像が生じないので現像マージンアスペクトにおいて有利である。   The content of the functional monomer having at least one ethylenically unsaturated bond is 1 to 50% by weight, preferably 1 to 20% by weight, based on the total photosensitive resin composition excluding the remaining solvent. And more preferably in the range of 1-15% by weight. When the content of the functional monomer having at least one ethylenically unsaturated bond is in the range of 1 to 50% by weight, the sensitivity is improved in the presence of oxygen, and the pattern is easily formed. Since the coating surface is not roughened after the formation of the coat and the excessive development of the lower portion does not occur during the development, the development margin aspect is advantageous.

3.重合開始剤
本発明における重合開始剤は、放射光、例えば、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、およびX線に露光される場合に、少なくとも1つのエチレン性不飽和結合を有する官能性モノマー、または、一官能性もしくは多官能性エポキシ化合物の重合を開始させることができる活性種を生じさせる化合物である。
このような光重合開始剤の例には、 アセトフェノン系化合物、ビイミダゾール系化合物、トリアジン系化合物、ο−アシルオキシム系化合物、オニウム塩系化合物、ベンゾイン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、ジケノン系化合物、α−ジケトン系化合物、多核キノン系化合物、チオキサントン系化合物、ジアゾ系化合物、イミドスルホナート系化合物、オキシム系化合物、カルバゾール系化合物、およびスルホニウムボラート系化合物が挙げられうる。これら化合物は、露光によって活性ラジカル、活性酸もしくは活性ラジカルと活性酸との双方を生じさせる成分であり、それらは単独でもしくはその2種以上の混合物で使用されうる。
3. Polymerization initiator
The polymerization initiator in the present invention is a functional monomer having at least one ethylenically unsaturated bond when exposed to synchrotron radiation, for example, visible light, ultraviolet light, far ultraviolet light, electron beam, and X-ray, or A compound that produces an active species capable of initiating polymerization of a monofunctional or polyfunctional epoxy compound.
Examples of such photopolymerization initiators include acetophenone compounds, biimidazole compounds, triazine compounds, o-acyloxime compounds, onium salt compounds, benzoin compounds, benzophenone compounds, dikenone compounds, α -Diketone compounds, polynuclear quinone compounds, thioxanthone compounds, diazo compounds, imide sulfonate compounds, oxime compounds, carbazole compounds, and sulfonium borate compounds. These compounds are components that generate an active radical, an active acid, or both an active radical and an active acid by exposure, and they can be used alone or in a mixture of two or more thereof.

アセトフェノン系化合物の例には、 2,2’−ジエトキシアセトフェノン、2,2’−ジブトキシアセトフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオフェノン、p−t−ブチルトリクロロアセトフェノン、p−t−ブチルジクロロアセトフェノン、4−クロロアセトフェノン、2,2’−ジクロロ−4−フェノキシアセトフェノン、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルホリノプロパン−1−オン、および2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタン−1−オンが挙げられうる。   Examples of acetophenone compounds include 2,2′-diethoxyacetophenone, 2,2′-dibutoxyacetophenone, 2-hydroxy-2-methylpropiophenone, pt-butyltrichloroacetophenone, pt-butyl. Dichloroacetophenone, 4-chloroacetophenone, 2,2′-dichloro-4-phenoxyacetophenone, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one, and 2-benzyl-2 Mention may be made of -dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one.

ベンゾフェノン系化合物の例には、ベンゾフェノン、ベンゾイルベンゾアート、メチルベンゾイルベンゾアート、4−フェニルベンゾフェノン、ヒドロキシベンゾフェノン、アクリル化ベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ジメチルアミノベンゾフェノン、4,4’−ジクロロベンゾフェノン、および3,3’−ジメチル−2−メトキシベンゾフェノンが挙げられうる。   Examples of benzophenone compounds include benzophenone, benzoylbenzoate, methylbenzoylbenzoate, 4-phenylbenzophenone, hydroxybenzophenone, acrylated benzophenone, 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone, 4,4′-bis ( Mention may be made of diethylamino) benzophenone, 4,4′-dimethylaminobenzophenone, 4,4′-dichlorobenzophenone and 3,3′-dimethyl-2-methoxybenzophenone.

チオキサントン系化合物の例には、チオキサントン、2−クロルチオキサントン、2−メチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン、および2−クロロチオキサントンが挙げられうる。   Examples of the thioxanthone compound may include thioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2-methylthioxanthone, isopropylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2,4-diisopropylthioxanthone, and 2-chlorothioxanthone.

ベンゾイン系化合物の例には、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾイン エチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、およびベンジルジメチルケタールが挙げられうる。   Examples of benzoin-based compounds may include benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin isobutyl ether, and benzyl dimethyl ketal.

トリアジン系化合物の例には、2,4,6−トリクロロ−s−トリアジン、2−フェニル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(3’4’−ジメトキシスチリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4’−メトキシナフチル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−トリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−ビフェニル4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、ビス(トリクロロメチル)−6−スチリル−s−トリアジン、2−(ナフト−1−イル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−メトキシナフト−1−イル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−4−トリクロロメチル(ピペロニル)−6−トリアジン、および2−4−トリクロロメチル(4’−メトキシスチリル)−6−トリアジンが挙げられうる。   Examples of triazine compounds include 2,4,6-trichloro-s-triazine, 2-phenyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (3′4′-dimethoxystyryl)- 4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4′-methoxynaphthyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (p-methoxyphenyl) -4,6 -Bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (p-tolyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-biphenyl 4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, Bis (trichloromethyl) -6-styryl-s-triazine, 2- (naphth-1-yl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-methoxy Ft-1-yl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-4-trichloromethyl (piperonyl) -6-triazine, and 2-4-trichloromethyl (4'-methoxystyryl)- There may be mentioned 6-triazine.

好ましくは、重合開始剤の例には、 p−ジメチルアミノアセトフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−プロパン−1−オン、ベンジルジメチルケタール、ベンゾフェノン、ベンゾインプロピルエーテル、ジエチルチオキサントン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−p−メトキシフェニル−s−トリアジン、2−トリクロロメチル−5−スチリル−1,3,4−オキソジアゾール、9−フェニルアクリジン、3−メチル−5−アミノ−((s−トリアジン−2−イル)アミノ)−3−フェニルクマリン、2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリルダイマー、1−フェニル−1,2−プロパンジオン−2−(o−エトキシカルボニル)オキシム、o−ベンゾイル−4’−(ベンゾメルカプト)ベンゾイル−ヘキシル−ケトキシム、2,4,6−トリメチルカルボニル−ジフェニルホスホニルオキシド、ヘキサフルオロホスホロ−トリ−アルキルフェニルスルホニウム塩、2−メルカプトベンズイミダゾール、2,2’−ベンゾチアゾリルジスルフィド、およびこれらの混合物からなる群から選択される1種以上が挙げられうるが、これらに限定されない。   Preferably, examples of polymerization initiators include p-dimethylaminoacetophenone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenyl-propan-1-one, benzyldimethyl ketal, benzophenone, benzoin propyl ether, diethylthioxanthone, 2, 4-bis (trichloromethyl) -6-p-methoxyphenyl-s-triazine, 2-trichloromethyl-5-styryl-1,3,4-oxodiazole, 9-phenylacridine, 3-methyl-5-amino -((S-triazin-2-yl) amino) -3-phenylcoumarin, 2- (o-chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazolyl dimer, 1-phenyl-1,2-propanedione-2- (o -Ethoxycarbonyl) oxime, o-benzoyl-4 '-(benzomercapto) ben Zoyl-hexyl-ketoxime, 2,4,6-trimethylcarbonyl-diphenylphosphonyl oxide, hexafluorophosphoro-tri-alkylphenylsulfonium salt, 2-mercaptobenzimidazole, 2,2'-benzothiazolyl disulfide, and Although 1 or more types selected from the group which consists of these mixtures may be mentioned, it is not limited to these.

重合開始剤の含有量は、残部の溶媒の量を除いた感光性樹脂組成物の全重量に対して、0.1〜10重量%でありうる。重合開始剤の含有量が上記範囲内にある場合には、着色層のパターンが容易に得られ、および露光による硬化が充分に行われるので現像中にこの形成された着色層が基体に充分に接着させられる。   The content of the polymerization initiator may be 0.1 to 10% by weight based on the total weight of the photosensitive resin composition excluding the remaining amount of the solvent. When the content of the polymerization initiator is within the above range, the pattern of the colored layer is easily obtained, and curing by exposure is sufficiently performed, so that the formed colored layer is sufficiently applied to the substrate during development. Can be glued.

4.黒色有機顔料
黒色有機顔料とは、黒色に着色された有機顔料を意味し、無機顔料であるカーボンブラックに類似する黒色を表す。
4). Black organic pigment
The black organic pigment means an organic pigment colored black, and represents a black color similar to carbon black which is an inorganic pigment.

黒色有機顔料の例には、これに限定されないが、アニリンブラック、ラクタムブラックおよびペリレンブラックから選択される少なくとも1種が挙げられうる。   Examples of the black organic pigment include, but are not limited to, at least one selected from aniline black, lactam black, and perylene black.

さらに、本発明に従う感光性樹脂組成物は、黒色有機顔料と共に黒色無機顔料を追加的に含むことができ、ここで、この黒色無機顔料はカーボンブラック、酸化クロム、酸化鉄およびチタンブラックからなる群から選択される1種以上であり、そしてその含有量は黒色有機顔料の100重量部に対して0.1〜70重量部である。   Furthermore, the photosensitive resin composition according to the present invention may additionally contain a black inorganic pigment together with a black organic pigment, wherein the black inorganic pigment is a group consisting of carbon black, chromium oxide, iron oxide and titanium black. And the content thereof is 0.1 to 70 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the black organic pigment.

有機顔料の含有量が増大させられる場合には、メルトフロー現象が悪化し、そしてカラムスペーサーのような厚い膜上にパターンを形成するのが困難になる。よって、有機顔料と無機顔料との混合比を制御することが重要である。   If the content of organic pigment is increased, the melt flow phenomenon becomes worse and it becomes difficult to form a pattern on a thick film such as a column spacer. Therefore, it is important to control the mixing ratio of the organic pigment and the inorganic pigment.

黒色有機顔料または黒色有機顔料と黒色無機顔料との双方の含有量は、残部の溶媒の量を除いた感光性樹脂組成物の全重量に対して、10〜60重量%でありうる。黒色無機顔料の含有量が上記範囲内にある場合には、光学密度が低すぎることとなるのが防がれ、並びに処理性、例えば、現像特性が向上させられ、そして高い光学密度が達成される。   The content of both the black organic pigment or the black organic pigment and the black inorganic pigment may be 10 to 60% by weight based on the total weight of the photosensitive resin composition excluding the remaining solvent. When the content of the black inorganic pigment is within the above range, the optical density is prevented from being too low, the processability, for example, development characteristics are improved, and a high optical density is achieved. The

一方、本発明に従う感光性樹脂組成物中に顔料を分散させるために分散剤が使用されうる。この分散剤は、それを顔料に添加することにより、例えば、顔料の表面を前もって分散剤で処理することにより使用されることができ、または分散剤は感光性樹脂組成物を調製する際に分散剤を顔料と共に直接添加することによって使用されうる。   On the other hand, a dispersant may be used to disperse the pigment in the photosensitive resin composition according to the present invention. This dispersant can be used by adding it to the pigment, for example, by treating the surface of the pigment with a dispersant in advance, or the dispersant is dispersed in preparing the photosensitive resin composition. It can be used by adding the agent directly with the pigment.

5.溶媒
本発明において使用される溶媒は、上記感光性樹脂組成物の成分との適合性を有するが、これら成分とは反応しない。
5. Solvent The solvent used in the present invention is compatible with the components of the photosensitive resin composition, but does not react with these components.

溶媒の例には、以下のものをはじめとする化合物が挙げられうる:アルコール、例えば、メタノールおよびエタノール;エーテル、例えば、ジクロロエチルエーテル、n−ブチルエーテル、ジイソアミルエーテル、メチルフェニルエーテル、およびテトラヒドロフラン;グリコールエーテル、例えば、エチレングリコールモノメチルエーテル、およびエチレングリコールモノエチルエーテル;セロソルブアセタート、例えば、メチルセロソルブアセタート、エチルセロソルブアセタート、およびジエチルセロソルブアセタート;カルビトール、例えば、メチルエチルカルビトール、ジエチルカルビトール、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、およびジエチレングリコールジエチルエーテル;プロピレングリコールアルキルエーテルアセタート、例えば、プロピレングリコールメチルエーテルアセタート、およびプロピレングリコールプロピルエーテルアセタート;芳香族炭化水素、例えば、トルエンおよびキシレン;ケトン、例えば、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、4−ヒドロキシ−4−メチル−2−ペンタノン、メチル−n−プロピルケトン、メチル−n−ブチルケトン、メチル−n−アミルケトン、および2−ヘプタノン;飽和脂肪族モノカルボキシラートアルキルエステル、例えば、エチルアセタート、n−ブチルアセタート、およびイソブチルアセタート;ラクタートエステル、例えば、メチルラクタート、およびエチルラクタート;アルキルオキシアセタートエステル、例えば、メチルオキシアセタート、エチルオキシアセタート、およびブチルオキシアセタート;アルキルアルコキシアセタートエステル、例えば、メチルメトキシアセタート、エチルメトキシアセタート、ブチルメトキシアセタート、メチルエトキシアセタート、およびエチルエトキシアセタート;3−オキシプロピオナートアルキルエステル、例えば、メチル3−オキシプロピオナート、およびエチル3−オキシプロピオナート;アルキル3−アルコキシプロピオナートエステル、例えば、メチル3−メトキシプロピオナート、エチル3−メトキシプロピオナート、エチル3−エトキシプロピオナート、およびメチル3−エトキシプロピオナート;アルキル2−オキシプロピオナートエステル、例えば、メチル2−オキシプロピオナート、エチル2−オキシプロピオナート、およびプロピル2−オキシプロピオナート;アルキル2−アルコキシプロピオナートエステル、例えば、メチル2−メトキシプロピオナート、エチル2−メトキシプロピオナート、エチル2−エトキシプロピオナート、およびメチル2−エトキシプロピオナート;アルキルモノオキシモノカルボキシラートエステル、例えば、2−オキシ−2−メチルプロピオナートエステル、例えば、メチル2−オキシ−2−メチルプロピオナート、およびエチル2−オキシ−2−メチルプロピオナート、および2−アルコキシ−2−メチルプロピオナートアルキル、例えば、メチル2−メトキシ−2−メチルプロピオナート、およびエチル2−エトキシ−2−メチルプロピオナート;エステル、例えば、エチル2−ヒドロキシプロピオナート、エチル2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオナート、エチルヒドロキシラクタート、およびメチル2−ヒドロキシ−3−メチルブチラート;並びにケトナートエステル、例えば、エチルピルバート。溶媒の例には、追加的に、高沸点溶媒、例えば、N−メチルホルムアミド、N,N−ジメチルホルムアミド、N−メチルホルムアニリド、N−メチルアセトアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチルピロリドン、ジメチルスルホキシド、ベンジルエチルエーテル、ジヘキシルエーテル、アセトニルアセトン、イソホロン、カプロン酸、カプリル酸、1−オクタノール、1−ノナノール、ベンジルアルコール、ベンジルアセタート、エチルベンゾアート、ジエチルオキサラート、ジエチルマレアート、γ−ブチロラクトン、エチレンカルボナート、プロピレンカルボナート、並びにフェニルセロソルブアセタートが挙げられうる。   Examples of solvents may include compounds including: alcohols such as methanol and ethanol; ethers such as dichloroethyl ether, n-butyl ether, diisoamyl ether, methylphenyl ether, and tetrahydrofuran; Glycol ethers such as ethylene glycol monomethyl ether and ethylene glycol monoethyl ether; cellosolve acetate such as methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate and diethyl cellosolve acetate; carbitol such as methyl ethyl carbitol, diethyl Carbitol, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, die Lenglycol methyl ethyl ether and diethylene glycol diethyl ether; propylene glycol alkyl ether acetates such as propylene glycol methyl ether acetate and propylene glycol propyl ether acetates; aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene; ketones such as Methyl ethyl ketone, cyclohexanone, 4-hydroxy-4-methyl-2-pentanone, methyl-n-propyl ketone, methyl-n-butyl ketone, methyl-n-amyl ketone, and 2-heptanone; saturated aliphatic monocarboxylate alkyl esters, such as Ethyl acetate, n-butyl acetate, and isobutyl acetate; lactate esters such as methyl lactate, and ethyl Lactate; alkyloxyacetate esters such as methyloxyacetate, ethyloxyacetate, and butyloxyacetate; alkylalkoxyacetate esters such as methylmethoxyacetate, ethylmethoxyacetate, butylmethoxyacetate, methyl Ethoxyacetate and ethylethoxyacetate; 3-oxypropionate alkyl esters such as methyl 3-oxypropionate and ethyl 3-oxypropionate; alkyl 3-alkoxypropionate esters such as methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, and methyl 3-ethoxypropionate; alkyl 2-oxypropionate S Tells such as methyl 2-oxypropionate, ethyl 2-oxypropionate, and propyl 2-oxypropionate; alkyl 2-alkoxypropionate esters such as methyl 2-methoxypropionate, ethyl 2 -Methoxypropionate, ethyl 2-ethoxypropionate, and methyl 2-ethoxypropionate; alkyl monooxymonocarboxylate esters such as 2-oxy-2-methylpropionate esters such as methyl 2- Oxy-2-methylpropionate, and ethyl 2-oxy-2-methylpropionate, and 2-alkoxy-2-methylpropionate alkyl, such as methyl 2-methoxy-2-methylpropionate, and Ethyl 2-ethoxy-2-methyl Esters such as ethyl 2-hydroxypropionate, ethyl 2-hydroxy-2-methylpropionate, ethyl hydroxylactate, and methyl 2-hydroxy-3-methylbutyrate; and ketonate esters such as Ethyl pyrbert. Examples of solvents additionally include high-boiling solvents such as N-methylformamide, N, N-dimethylformamide, N-methylformanilide, N-methylacetamide, N, N-dimethylacetamide, N-methylpyrrolidone Dimethyl sulfoxide, benzyl ethyl ether, dihexyl ether, acetonyl acetone, isophorone, caproic acid, caprylic acid, 1-octanol, 1-nonanol, benzyl alcohol, benzyl acetate, ethyl benzoate, diethyl oxalate, diethyl maleate, γ-butyrolactone, ethylene carbonate, propylene carbonate, and phenyl cellosolve acetate may be mentioned.

本発明の樹脂組成物の溶媒と他の成分との適合性および反応性の観点から、上記例の中の好ましい溶媒の例には、以下のものが挙げられうる:グリコールエステル、例えば、エチレングリコールモノメチルエーテル;エチレングリコールアルキルエーテルアセタート、例えば、エチルセロソルブアセタート;エステル、例えば、エチル2−ヒドロキシプロピオナート;ジエチレングリコール、例えば、ジエチレングリコールモノメチルエーテル; およびプロピレングリコールアルキルエーテルアセタート、例えば、プロピレングリコールメチルエーテルアセタート、並びにプロピレングリコールプロピルエーテルアセタート。   In view of compatibility and reactivity between the solvent of the resin composition of the present invention and other components, examples of preferred solvents in the above examples may include the following: glycol esters, such as ethylene glycol Monomethyl ether; ethylene glycol alkyl ether acetates such as ethyl cellosolve acetate; esters such as ethyl 2-hydroxypropionate; diethylene glycols such as diethylene glycol monomethyl ether; and propylene glycol alkyl ether acetates such as propylene glycol methyl Ether acetate, as well as propylene glycol propyl ether acetate.

溶媒は残部の量で使用され、そしてこの溶媒を含む感光性樹脂組成物の全含有量100重量%に対して50〜90重量%の量で好ましくは含まれる。溶媒の含有量が50〜90重量%である場合に、樹脂組成物は適切な粘度を有しかつ処理性が向上している。   The solvent is used in the remaining amount, and is preferably contained in an amount of 50 to 90% by weight with respect to 100% by weight of the total content of the photosensitive resin composition containing the solvent. When the content of the solvent is 50 to 90% by weight, the resin composition has an appropriate viscosity and the processability is improved.

6.他の添加剤
1)シランカップリング剤
本発明の感光性樹脂組成物は、基体への接着特性を向上させるために、カルボキシル基、メタクリロイル基、イソシアナート基、エポキシ基、およびこれらの組み合わせからなる群から選択される1以上の反応性置換基を有するシランカップリング剤をさらに含みうる。
6). Other Additives 1) Silane Coupling Agent The photosensitive resin composition of the present invention comprises a carboxyl group, a methacryloyl group, an isocyanate group, an epoxy group, and a combination thereof in order to improve adhesion properties to a substrate. A silane coupling agent having one or more reactive substituents selected from the group may be further included.

シランカップリング剤の具体例には、トリメトキシシリル安息香酸、γ−メタクリルオキシプロピルトリメトキシシラン、ビニルトリアセトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、γ−イソシアナートプロピルトリエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、β−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシランが挙げられることができ、これらは単独でまたはこれら2種以上の組み合わせで使用されうる   Specific examples of silane coupling agents include trimethoxysilylbenzoic acid, γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane, vinyltriacetoxysilane, vinyltrimethoxysilane, γ-isocyanatopropyltriethoxysilane, γ-glycidoxypropyl Examples include trimethoxysilane, β- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, and these may be used alone or in combination of two or more thereof.

シランカップリング剤が添加される場合には、シランカップリング剤の添加量は、光重合性バインダー樹脂の100重量部に対して、好ましくは0.001〜20重量部である。   When a silane coupling agent is added, the addition amount of the silane coupling agent is preferably 0.001 to 20 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the photopolymerizable binder resin.

2)界面活性剤
本発明の感光性樹脂組成物は、必要ならば、被覆性を向上させかつ欠陥の形成を妨げるために、追加的に界面活性剤を含むことができる。
2) Surfactant If necessary, the photosensitive resin composition of the present invention may further contain a surfactant in order to improve the covering property and prevent the formation of defects.

界面活性剤の例には、以下の名称の下で市販されているフッ素系界面活性剤:BM−1000およびBM−1100(BM Chemie);メガフェースF142D、F172、F173およびF183(大日本インキ化学工業);フルオラッドFC−135、FC−170C、FC−430およびFC−431(住友スリーエム株式会社);サーフロンS−112、S−113、S−131、S−141およびS−145(旭硝子株式会社);並びにSH−28PA、SH−190、SH−193、SZ−6032およびSF−8428(東レダウコーニングシリコーン)が挙げられうる。   Examples of surfactants include fluorosurfactants marketed under the following names: BM-1000 and BM-1100 (BM Chemie); Megaface F142D, F172, F173 and F183 (Dainippon Ink Chemical Co., Ltd.) Industrial); Fluorad FC-135, FC-170C, FC-430 and FC-431 (Sumitomo 3M Limited); Surflon S-112, S-113, S-131, S-141 and S-145 (Asahi Glass Co., Ltd.) And SH-28PA, SH-190, SH-193, SZ-6032 and SF-8428 (Toray Dow Corning Silicone).

界面活性剤が添加される場合には、界面活性剤の添加量は、光重合性バインダー樹脂の100重量部に対して、好ましくは0.001〜5重量部である。   When the surfactant is added, the addition amount of the surfactant is preferably 0.001 to 5 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the photopolymerizable binder resin.

さらに、本発明の感光性樹脂組成物は、酸化防止剤および安定化剤のような他の添加剤を、この組成物の物理的特性を悪化させない特定の量で含むことができる。   Furthermore, the photosensitive resin composition of the present invention may contain other additives such as antioxidants and stabilizers in specific amounts that do not degrade the physical properties of the composition.

本発明の他の態様によると、本発明は、この感光性樹脂組成物から形成される光遮蔽スペーサーを提供する。このスペーサーは、それが8F/m以下の誘電率および1.0以上の光学密度を有するということで特徴付けられる。   According to another aspect of the present invention, the present invention provides a light shielding spacer formed from the photosensitive resin composition. This spacer is characterized in that it has a dielectric constant of 8 F / m or less and an optical density of 1.0 or more.

本発明のさらに別の態様によると、本発明は、このスペーサーを含む液晶ディスプレイデバイスを提供する。   According to yet another aspect of the present invention, the present invention provides a liquid crystal display device comprising this spacer.

以下、好ましい実施形態としての以下の実施例を参照して、本発明がより詳細に説明される。   Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the following examples as preferred embodiments.

合成例1.エポキシ樹脂合成(キサンテン誘導体[a−1])
125.4gのスピロ(フルオレン−9,9’−キサンテン)−3’,6’−ジオールを0.1386gのt−ブチルアンモニウムブロミドと、3,000mlの三ツ口丸底フラスコ中で混合し、そしてこの三ツ口丸底フラスコに78.6gのエピクロロヒドリンを注入した後で、この混合物を90℃に加熱することによって、この混合物が反応させられた。液体クロマトグラフィ分析によって、スピロ(フルオレン−9,9’−キサンテン)−3’,6’−ジオールが完全に除去されたら、この反応物質を30℃まで冷却した後で、この冷却された反応物質に3当量の50%NaOH水溶液がゆっくりと添加された。その後、液体クロマトグラフィ分析によってエピクロロヒドリンが完全に除去されたら、この混合物がジクロロメタンで抽出され、そして水で3回洗浄された。得られた有機層は硫酸マグネシウムで乾燥させられ、そしてジクロロメタンを除去するために真空蒸留にかけられ、そしてジクロロメタンとメタノールの混合物(混合比50体積%:50体積%)を用いて再結晶化させられて、エポキシ化合物を生じさせた。
Synthesis Example 1 Epoxy resin synthesis (xanthene derivative [a-1])
125.4 g of spiro (fluorene-9,9′-xanthene) -3 ′, 6′-diol was mixed with 0.1386 g of t-butylammonium bromide in a 3,000 ml three-necked round bottom flask and this After pouring 78.6 g of epichlorohydrin into a three-necked round bottom flask, the mixture was reacted by heating the mixture to 90 ° C. Once the spiro (fluorene-9,9′-xanthene) -3 ′, 6′-diol has been completely removed by liquid chromatography analysis, the reactants are cooled to 30 ° C. and then cooled to the cooled reactants. Three equivalents of 50% aqueous NaOH were added slowly. Subsequently, when epichlorohydrin was completely removed by liquid chromatography analysis, the mixture was extracted with dichloromethane and washed three times with water. The resulting organic layer is dried over magnesium sulfate and subjected to vacuum distillation to remove dichloromethane and recrystallized using a mixture of dichloromethane and methanol (mixing ratio 50 volume%: 50 volume%). To produce an epoxy compound.

1当量の合成されたエポキシ化合物を、0.004当量のt−ブチルアンモニウムブロミド、0.001当量の2,6−ジイソブチルフェノール、および2.2当量のアクリル酸と混合した後で、この混合物はさらに、溶媒としての8.29gのプロピレングリコールモノメチルエーテルアセタートと混合されて、反応溶液を形成した。この反応溶液に空気を25ml/分の流量で吹き込みつつ、この反応溶液を90〜100℃の温度範囲に加熱することによって、この反応物質は溶解させられた。反応溶液が白色の濁った状態であった際に、この反応溶液を120℃に加熱することによってこの反応物質は完全に溶解させられた。この溶液の酸価を測定してこの溶液が1.0mg KOH/g未満の酸価を有する(このとき、この溶液は透明になりかつ高い粘度を有していた)まで、この溶液はかき混ぜられた。0.8の目標酸価に到達するまで11時間を必要とした。この反応の完了後、この反応器の温度は室温まで下げられ、無色透明固体を生じた。   After mixing 1 equivalent of the synthesized epoxy compound with 0.004 equivalent of t-butylammonium bromide, 0.001 equivalent of 2,6-diisobutylphenol, and 2.2 equivalents of acrylic acid, the mixture is Further, it was mixed with 8.29 g of propylene glycol monomethyl ether acetate as a solvent to form a reaction solution. The reactants were dissolved by heating the reaction solution to a temperature range of 90-100 ° C. while blowing air into the reaction solution at a flow rate of 25 ml / min. When the reaction solution was in a white turbid state, the reaction solution was completely dissolved by heating the reaction solution to 120 ° C. The solution was agitated until the acid value of the solution was measured and the solution had an acid value of less than 1.0 mg KOH / g (at which time the solution was clear and had a high viscosity). It was. Eleven hours were required to reach the target acid number of 0.8. After completion of the reaction, the reactor temperature was lowered to room temperature, yielding a clear colorless solid.

合成例2.エポキシ樹脂合成(キサンテン誘導体[a−2])
125.4gの9,9−ジフェニル−9H−キサンテン−3,6−ジオールを、0.1386gのt−ブチルアンモニウムブロミドと、3,000ml三ツ口丸底フラスコ中で混合し、そしてこの三ツ口丸底フラスコに78.6gのエピクロロヒドリンを注入した後で、この混合物を90℃に加熱することによって、この混合物が反応させられた。液体クロマトグラフィ分析によって、9,9−ジフェニル−9H−キサンテン−3,6−ジオールが完全に除去されたら、この反応物質を30℃まで冷却した後で、この冷却された反応物質に3当量の50%NaOH水溶液がゆっくりと添加された。その後、液体クロマトグラフィ分析によってエピクロロヒドリンが完全に除去されたら、この混合物がジクロロメタンで抽出され、そして水で3回洗浄された。得られた有機層は硫酸マグネシウムで乾燥させられ、そしてジクロロメタンを除去するために真空蒸留にかけられ、そしてジクロロメタンとメタノールの混合物(混合比50体積%:50体積%)を用いて再結晶化させられて、エポキシ化合物を生じさせた。
Synthesis Example 2 Epoxy resin synthesis (xanthene derivative [a-2])
125.4 g of 9,9-diphenyl-9H-xanthene-3,6-diol was mixed with 0.1386 g of t-butylammonium bromide in a 3,000 ml three-necked round bottom flask and the three-necked round bottom flask After injecting 78.6 g of epichlorohydrin into the mixture, the mixture was reacted by heating the mixture to 90 ° C. When 9,9-diphenyl-9H-xanthene-3,6-diol was completely removed by liquid chromatography analysis, the reaction was cooled to 30 ° C. and then 3 equivalents of 50 % NaOH aqueous solution was added slowly. Subsequently, when epichlorohydrin was completely removed by liquid chromatography analysis, the mixture was extracted with dichloromethane and washed three times with water. The resulting organic layer is dried over magnesium sulfate and subjected to vacuum distillation to remove dichloromethane and recrystallized using a mixture of dichloromethane and methanol (mixing ratio 50 volume%: 50 volume%). To produce an epoxy compound.

1当量の合成されたエポキシ化合物を、0.004当量のt−ブチルアンモニウムブロミド、0.001当量の2,6−ジイソブチルフェノール、および2.2当量のアクリル酸と混合した後で、この混合物はさらに、溶媒としての8.29gのプロピレングリコールモノメチルエーテルアセタートと混合されて、反応溶液を形成した。この反応溶液に空気を25ml/分の流量で吹き込みつつ、この反応溶液を90〜100℃の温度範囲に加熱することによって、この反応物質は溶解させられた。反応溶液が白色の濁った状態であった際に、この反応溶液を120℃に加熱することによってこの反応物質は完全に溶解させられた。この溶液の酸価を測定してこの溶液が1.0mg KOH/g未満の酸価を有する(このとき、この溶液は透明になりかつ高い粘度を有していた)まで、この溶液はかき混ぜられた。0.8の目標酸価に到達するまで11時間を必要とした。この反応の完了後、この反応器の温度は室温まで下げられ、無色透明固体を生じた。   After mixing 1 equivalent of the synthesized epoxy compound with 0.004 equivalent of t-butylammonium bromide, 0.001 equivalent of 2,6-diisobutylphenol, and 2.2 equivalents of acrylic acid, the mixture is Further, it was mixed with 8.29 g of propylene glycol monomethyl ether acetate as a solvent to form a reaction solution. The reactants were dissolved by heating the reaction solution to a temperature range of 90-100 ° C. while blowing air into the reaction solution at a flow rate of 25 ml / min. When the reaction solution was in a white turbid state, the reaction solution was completely dissolved by heating the reaction solution to 120 ° C. The solution was agitated until the acid value of the solution was measured and the solution had an acid value of less than 1.0 mg KOH / g (at which time the solution was clear and had a high viscosity). It was. Eleven hours were required to reach the target acid number of 0.8. After completion of the reaction, the reactor temperature was lowered to room temperature, yielding a clear colorless solid.

合成例3.エポキシ樹脂合成(キサンテン誘導体[a−3])
145.2gの3,6−ジメトキシスピロ(フルオレン−9,9’−キサンテン)−3’,6’−ジオールを、0.1423gのt−ブチルアンモニウムブロミドと、3,000ml三ツ口丸底フラスコ中で混合し、そしてこの三ツ口丸底フラスコに73.6gのエピクロロヒドリンを注入した後で、この混合物を90℃に加熱することによって、この混合物が反応させられた。液体クロマトグラフィ分析によって、3,6−ジメトキシスピロ(フルオレン−9,9’−キサンテン)−3’,6’−ジオールが完全に除去されたら、この反応物質を30℃まで冷却した後で、この冷却された反応物質に3当量の50%NaOH水溶液がゆっくりと添加された。その後、液体クロマトグラフィ分析によってエピクロロヒドリンが完全に除去されたら、この混合物がジクロロメタンで抽出され、そして水で3回洗浄された。得られた有機層は硫酸マグネシウムで乾燥させられ、そしてジクロロメタンを除去するために真空蒸留にかけられ、そしてジクロロメタンとメタノールの混合物(混合比50体積%:50体積%)を用いて再結晶化させられて、エポキシ化合物を形成した。
Synthesis Example 3 Epoxy resin synthesis (xanthene derivative [a-3])
145.2 g of 3,6-dimethoxyspiro (fluorene-9,9′-xanthene) -3 ′, 6′-diol in 0.1423 g of t-butylammonium bromide in a 3,000 ml three-necked round bottom flask After mixing and injecting 73.6 g of epichlorohydrin into the three-necked round bottom flask, the mixture was reacted by heating the mixture to 90 ° C. When 3,6-dimethoxyspiro (fluorene-9,9′-xanthene) -3 ′, 6′-diol was completely removed by liquid chromatography analysis, the reactants were cooled to 30 ° C. before the cooling. 3 equivalents of 50% aqueous NaOH was slowly added to the reaction mass. Subsequently, when epichlorohydrin was completely removed by liquid chromatography analysis, the mixture was extracted with dichloromethane and washed three times with water. The resulting organic layer is dried over magnesium sulfate and subjected to vacuum distillation to remove dichloromethane and recrystallized using a mixture of dichloromethane and methanol (mixing ratio 50 volume%: 50 volume%). Thus, an epoxy compound was formed.

1当量の合成されたエポキシ化合物を、0.004当量のt−ブチルアンモニウムブロミド、0.001当量の2,6−ジイソブチルフェノール、および2.2当量のアクリル酸と混合した後で、この混合物は、溶媒としての8.29gのプロピレングリコールモノメチルエーテルアセタートと混合されて、反応溶液を形成した。この反応溶液に空気を25ml/分の流量で吹き込みつつ、この反応溶液を90〜100℃の温度範囲に加熱することによって、この反応物質は溶解させられた。反応溶液が白色の濁った状態であった際に、この反応溶液を120℃に加熱することによってこの反応物質は完全に溶解させられた。この溶液の酸価を測定してこの溶液が1.0mg KOH/g未満の酸価を有する(このとき、この溶液は透明になりかつ高い粘度を有していた)まで、この溶液はかき混ぜられた。0.8の目標酸価に到達するまで11時間を必要とした。この反応の完了後、この反応器の温度は室温まで下げられ、無色透明固体を生じた。   After mixing 1 equivalent of the synthesized epoxy compound with 0.004 equivalent of t-butylammonium bromide, 0.001 equivalent of 2,6-diisobutylphenol, and 2.2 equivalents of acrylic acid, the mixture is And mixed with 8.29 g of propylene glycol monomethyl ether acetate as a solvent to form a reaction solution. The reactants were dissolved by heating the reaction solution to a temperature range of 90-100 ° C. while blowing air into the reaction solution at a flow rate of 25 ml / min. When the reaction solution was in a white turbid state, the reaction solution was completely dissolved by heating the reaction solution to 120 ° C. The solution was agitated until the acid value of the solution was measured and the solution had an acid value of less than 1.0 mg KOH / g (at which time the solution was clear and had a high viscosity). It was. Eleven hours were required to reach the target acid number of 0.8. After completion of the reaction, the reactor temperature was lowered to room temperature, yielding a clear colorless solid.

製造例1.光重合性不飽和樹脂の製造
合成例1で得られた43gの重合性化合物(以下、「化合物a−1」と称する)、33.6gのアクリル酸(以下「化合物b−1」と称する)、0.04gの2,6−ジ−tert−ブチル−p−クレゾール、0.21gのテトラブチルアンモニウムアセタート、および18gのプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセタートを反応フラスコに注入した後で、これら材料が120℃で13時間にわたってかき混ぜられた。この混合物を室温まで冷却し、そしてこの冷却された混合物に24gのプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセタートおよび10gのコハク酸無水物(以下、「化合物c−1」と称する)を添加した後で、この混合物が100℃で3時間にわたってかき混ぜられた。この混合物に8gのビスフェノールZグリシジルエーテル(以下、「化合物d−2」と称する)をさらに添加し、そしてこの材料を120℃で4時間にわたって、90℃で3時間にわたって、60℃で2時間にわたっておよび40℃で5時間にわたって連続してかき混ぜた後で、この混合物は水およびアルコール中で再沈殿させられて、粉体形状の目標材料である、アルカリ現像特性を有する光重合性不飽和樹脂を得た。この得られた樹脂は5,500の重量平均分子量および105mg KOH/gの酸価を有していた。
Production Example 1 Production of photopolymerizable unsaturated resin 43 g of the polymerizable compound obtained in Synthesis Example 1 (hereinafter referred to as “compound a-1”), 33.6 g of acrylic acid (hereinafter referred to as “compound b-1”) , 0.04 g 2,6-di-tert-butyl-p-cresol, 0.21 g tetrabutylammonium acetate, and 18 g propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate into the reaction flask These materials were agitated at 120 ° C. for 13 hours. The mixture was cooled to room temperature and 24 g of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate and 10 g of succinic anhydride (hereinafter referred to as “Compound c-1”) were added to the cooled mixture. Later, the mixture was stirred at 100 ° C. for 3 hours. To this mixture was further added 8 g of bisphenol Z glycidyl ether (hereinafter referred to as “Compound d-2”) and the material was added at 120 ° C. for 4 hours, 90 ° C. for 3 hours, and 60 ° C. for 2 hours. And after continuous stirring at 40 ° C. for 5 hours, the mixture is reprecipitated in water and alcohol to obtain a photopolymerizable unsaturated resin with alkaline development properties, which is a target material in powder form. Obtained. The resulting resin had a weight average molecular weight of 5,500 and an acid value of 105 mg KOH / g.

この反応生成物は、化合物b−1(これは成分(B)である)を化合物a−1(これは成分(A)である)と付加反応させて、エポキシ付加物(AB)を形成させ、そしてこのエポキシ付加物(AB)をこのエポキシ付加物(AB)のヒドロキシル基1当量部に対して0.8当量部の量の化合物c−1(これは成分(C)である)でエステル化し、次いでこの得られた生成物を、このエポキシ付加物(AB)のヒドロキシル基1当量部に対して化合物d−2のエポキシ基0.3当量部の量で、化合物d−2(これは成分(D)である)でさらにエステル化することにより得られた。   This reaction product is obtained by adding compound b-1 (which is component (B)) with compound a-1 (which is component (A)) to form an epoxy adduct (AB). And the epoxy adduct (AB) is esterified with compound c-1 (this is component (C)) in an amount of 0.8 equivalents relative to 1 equivalent part of the hydroxyl groups of the epoxy adduct (AB). The resulting product is then combined with compound d-2 (which is an equivalent of 0.3 equivalent parts of epoxy groups of compound d-2 to 1 equivalent part of hydroxyl groups of the epoxy adduct (AB)). It was obtained by further esterification with component (D).

さらに、このエポキシ付加物(AB)は、化合物b−1のカルボキシル基が、化合物a−1のエポキシ基に対して1.0の比率で付加されている構造を有する。   Furthermore, this epoxy adduct (AB) has a structure in which the carboxyl group of compound b-1 is added at a ratio of 1.0 to the epoxy group of compound a-1.

製造例2.光重合性不飽和樹脂の製造
合成例2で得られた16.95gの重合性化合物(以下、「化合物a−2」と称する)、4.43gのアクリル酸(化合物b−1)、6gの2,6−ジ−tert−ブチル−p−クレゾール、0.11gのテトラブチルアンモニウムアセタート、および14.25gのプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセタートを反応フラスコに注入した後で、これら材料が120℃で16時間にわたってかき混ぜられた。この混合物を室温まで冷却し、そしてこの冷却された混合物に9.31gのプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセタート、7.41gのヘキサヒドロフタル酸無水物(以下、「化合物c−2」と称する)および0.25gのテトラ−n−ブチルアンモニウムアセタートを添加した後で、この混合物が70℃で4時間にわたってかき混ぜられ、そして水およびアルコール中で再沈殿させられて、粉体形状の目標材料である、アルカリ現像特性を有する光重合性不飽和樹脂を得た。この得られた樹脂は4,500の重量平均分子量および110mg KOH/gの酸価を有していた。
Production Example 2 Production of photopolymerizable unsaturated resin 16.95 g of the polymerizable compound obtained in Synthesis Example 2 (hereinafter referred to as “compound a-2”), 4.43 g of acrylic acid (compound b-1), 6 g of After injecting 2,6-di-tert-butyl-p-cresol, 0.11 g tetrabutylammonium acetate, and 14.25 g propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate into the reaction flask, these The material was agitated at 120 ° C. for 16 hours. The mixture was cooled to room temperature and 9.31 g of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate, 7.41 g of hexahydrophthalic anhydride (hereinafter “Compound c-2”) was cooled to room temperature. ) And 0.25 g of tetra-n-butylammonium acetate, the mixture is stirred for 4 hours at 70 ° C. and reprecipitated in water and alcohol to form a powder form. As a target material, a photopolymerizable unsaturated resin having alkali development characteristics was obtained. The resulting resin had a weight average molecular weight of 4,500 and an acid value of 110 mg KOH / g.

この反応生成物は、化合物b−1(これは成分(B)である)を化合物a−2(これは成分(A)である)と付加反応させて、エポキシ付加物(AB)を形成させ、そしてこのエポキシ付加物(AB)をこのエポキシ付加物(AB)のヒドロキシル基1当量部に対して0.8当量部の量の化合物c−2(これは成分(C)である)でエステル化することにより得られた。   This reaction product is obtained by adding compound b-1 (which is component (B)) with compound a-2 (which is component (A)) to form an epoxy adduct (AB). And the epoxy adduct (AB) is esterified with compound c-2 (this is component (C)) in an amount of 0.8 equivalents relative to 1 equivalent part of the hydroxyl groups of the epoxy adduct (AB). Was obtained.

さらに、このエポキシ付加物(AB)は、化合物b−1のカルボキシル基が、化合物a−2のエポキシ基に対して1.0の比率で付加されている構造を有する。   Furthermore, this epoxy adduct (AB) has a structure in which the carboxyl group of compound b-1 is added at a ratio of 1.0 to the epoxy group of compound a-2.

製造例3.光重合性不飽和樹脂の製造
合成例3で得られた16.95gの重合性化合物(以下、「化合物a−3」と称する)、4.43gのアクリル酸(化合物b−1)、6gの2,6−ジ−tert−ブチル−p−クレゾール、0.11gのテトラブチルアンモニウムアセタート、および14.25gのプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセタートを反応フラスコに注入した後で、これら材料が120℃で16時間にわたってかき混ぜられた。この混合物を室温まで冷却し、そしてこの冷却された混合物に9.31gのプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセタート、7.41gのヘキサヒドロフタル酸無水物(化合物c−2)および0.25gのテトラ−n−ブチルアンモニウムアセタートを添加した後で、この混合物が70℃で4時間にわたってかき混ぜられ、そして水およびアルコール中で再沈殿させられて、粉体形状の目標材料である、アルカリ現像特性を有する光重合性不飽和樹脂を得た。この得られた樹脂は3,500の重量平均分子量および105mg KOH/gの酸価を有していた。
Production Example 3 Production of photopolymerizable unsaturated resin 16.95 g of the polymerizable compound obtained in Synthesis Example 3 (hereinafter referred to as “compound a-3”), 4.43 g of acrylic acid (compound b-1), 6 g of After injecting 2,6-di-tert-butyl-p-cresol, 0.11 g tetrabutylammonium acetate, and 14.25 g propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate into the reaction flask, these The material was agitated at 120 ° C. for 16 hours. The mixture was cooled to room temperature, and 9.31 g propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate, 7.41 g hexahydrophthalic anhydride (compound c-2) and 0. After adding 25 g of tetra-n-butylammonium acetate, the mixture is stirred at 70 ° C. for 4 hours and reprecipitated in water and alcohol to form the target material in powder form, alkali A photopolymerizable unsaturated resin having development characteristics was obtained. The resulting resin had a weight average molecular weight of 3,500 and an acid value of 105 mg KOH / g.

この反応生成物は、化合物b−1(これは成分(B)である)を化合物a−3(これは成分(A)である)と付加反応させて、エポキシ付加物(AB)を形成させ、そしてこのエポキシ付加物(AB)をこのエポキシ付加物(AB)のヒドロキシル基1当量部に対して0.8当量部の量の化合物c−2(これは成分(C)である)でエステル化することにより得られた。   This reaction product is obtained by adding compound b-1 (which is component (B)) with compound a-3 (which is component (A)) to form an epoxy adduct (AB). And the epoxy adduct (AB) is esterified with compound c-2 (this is component (C)) in an amount of 0.8 equivalents relative to 1 equivalent part of the hydroxyl groups of the epoxy adduct (AB). Was obtained.

さらに、このエポキシ付加物(AB)は、化合物b−1のカルボキシル基が、化合物a−2のエポキシ基に対して1.0の比率で付加されている構造を有する。   Furthermore, this epoxy adduct (AB) has a structure in which the carboxyl group of compound b-1 is added at a ratio of 1.0 to the epoxy group of compound a-2.

製造例4.黒色有機顔料組成物の製造
有機黒色物質(チバガイギーコーポレーションにより製造されたラクタムブラックとしてのブラック582)、分散剤および分散物のためのポリマーを、固形分量を基準にして、それぞれ、50重量部、8重量部および8重量部で混合した後で、この混合物に溶媒としてのプロピレングリコールモノメチルエーテルアセタート(PGMEA)が添加され、その結果生じた混合物は25重量%の固形分濃度を有していた。この分散物の全重量は50gであり、これはスターラーでかき混ぜられて、これら材料を予備混合した。この混合物は25〜60℃の温度で6時間にわたってペイントシェーカーによる分散物処理にかけられた。0.3mmの直径を有するジルコニアビーズがビーズとして使用され、そしてこの混合物に分散物と同じ重量で添加された。分散物が完成した後でフィルタによって、このビーズを分散物から分けることによって黒色顔料組成物が調製された。
Production Example 4 Production of Black Organic Pigment Composition An organic black material (Black 582 as lactam black produced by Ciba Geigy Corporation), a dispersant and a polymer for the dispersion, based on solids content, 50 parts by weight, 8 After mixing at parts by weight and 8 parts by weight, propylene glycol monomethyl ether acetate (PGMEA) as a solvent was added to the mixture and the resulting mixture had a solids concentration of 25% by weight. The total weight of this dispersion was 50 g, which was stirred with a stirrer to premix these materials. This mixture was subjected to dispersion treatment with a paint shaker at a temperature of 25-60 ° C. for 6 hours. Zirconia beads with a diameter of 0.3 mm were used as beads and added to this mixture at the same weight as the dispersion. A black pigment composition was prepared by separating the beads from the dispersion by a filter after the dispersion was completed.

製造例5.黒色有機顔料と無機顔料との組成物の製造
製造例4における50重量部のラクタムブラックの代わりに、35重量部のラクタムブラックおよび15重量部のカーボンブラック(デグサにより製造)が使用されたこと以外は、製造例4におけるのと同じ方法を用いて、顔料組成物が調製された。
Production Example 5 Production of composition of black organic pigment and inorganic pigment In place of 50 parts by weight of lactam black in Production Example 4, 35 parts by weight of lactam black and 15 parts by weight of carbon black (manufactured by Degussa) were used. A pigment composition was prepared using the same method as in Production Example 4.

製造例6.黒色有機顔料と無機顔料との組成物の製造
製造例4における50重量部のラクタムブラックの代わりに、30重量部のラクタムブラックおよび20重量部のカーボンブラック(デグサにより製造)が使用されたこと以外は、製造例4におけるのと同じ方法を用いて、顔料組成物が調製された。
Production Example 6 Production of composition of black organic pigment and inorganic pigment In place of 50 parts by weight of lactam black in Production Example 4, 30 parts by weight of lactam black and 20 parts by weight of carbon black (produced by Degussa) were used. A pigment composition was prepared using the same method as in Production Example 4.

製造例7.黒色有機顔料と無機顔料との組成物の製造
製造例4における50重量部のラクタムブラックの代わりに、25重量部のラクタムブラックおよび25重量部のカーボンブラック(デグサにより製造)が使用されたこと以外は、製造例4におけるのと同じ方法を用いて、顔料組成物が調製された。
Production Example 7 Production of composition of black organic pigment and inorganic pigment In place of 50 parts by weight of lactam black in Production Example 4, 25 parts by weight of lactam black and 25 parts by weight of carbon black (produced by Degussa) were used. A pigment composition was prepared using the same method as in Production Example 4.

製造例8.黒色有機顔料と無機顔料との組成物の製造
製造例4における50重量部のラクタムブラックの代わりに、15重量部のラクタムブラックおよび35重量部のカーボンブラック(デグサにより製造)が使用されたこと以外は、製造例4におけるのと同じ方法を用いて、顔料組成物が調製された。
Production Example 8 Production of composition of black organic pigment and inorganic pigment, except that 15 parts by weight of lactam black and 35 parts by weight of carbon black (produced by Degussa) were used instead of 50 parts by weight of lactam black in Production Example 4. A pigment composition was prepared using the same method as in Production Example 4.

製造例9.黒色無機顔料の組成物の製造
製造例4における50重量部のラクタムブラックの代わりに、50重量部のカーボンブラック(デグサにより製造)が使用されたこと以外は、製造例4におけるのと同じ方法を用いて、顔料組成物が調製された。
Production Example 9 Production of black inorganic pigment composition The same method as in Production Example 4 except that 50 parts by weight of carbon black (produced by Degussa) was used instead of 50 parts by weight of lactam black in Production Example 4. Used to prepare a pigment composition.

実施例1
製造例1で得られた1.0874gの光重合性不飽和樹脂、0.7249gのジペンタエリスリトールヘキサアクリラート、0.0651gのオキシム系光開始剤(OXE−02、チバガイギーコーポレーション)、0.0042gのレベリング界面活性剤(シリコーン系界面活性剤 BYK 333、BYKコーポレーション)、0.0084gの接着補助剤(KBE−9007、信越化学工業株式会社)、および製造例4において得られた8.9gの黒色有機顔料組成物(ラクタムブラック:カーボンブラック=50重量部:0重量部)を、9.2094gのプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセタート中でよくかき混ぜることにより、黒色のアルカリ現像特性を有する感光性樹脂組成物が得られた。
Example 1
1.0874 g of photopolymerizable unsaturated resin obtained in Production Example 1, 0.7249 g of dipentaerythritol hexaacrylate, 0.0651 g of oxime photoinitiator (OXE-02, Ciba-Geigy Corporation), 0.0042 g Leveling surfactant (silicone surfactant BYK 333, BYK Corporation), 0.0084 g of adhesion assistant (KBE-9007, Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), and 8.9 g of black obtained in Production Example 4 The organic pigment composition (lactam black: carbon black = 50 parts by weight: 0 part by weight) has a black alkali developing property by stirring well in 9.2094 g of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate. A photosensitive resin composition was obtained.

実施例2
製造例2で得られた1.0874gの光重合性不飽和樹脂、0.7249gのジペンタエリスリトールヘキサアクリラート、0.0651gのオキシム系光開始剤(OXE−02、チバガイギーコーポレーション)、0.0042gのレベリング界面活性剤(シリコーン系界面活性剤 BYK 333、BYKコーポレーション)、0.0084gの接着補助剤(KBE−9007、信越化学工業株式会社)、および製造例4において得られた8.9gの黒色有機顔料組成物(ラクタムブラック:カーボンブラック=50重量部:0重量部)を、9.2094gのプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセタート中でよくかき混ぜることにより、黒色のアルカリ現像特性を有する感光性樹脂組成物が得られた。
Example 2
1.0874 g of photopolymerizable unsaturated resin obtained in Production Example 2, 0.7249 g of dipentaerythritol hexaacrylate, 0.0651 g of oxime photoinitiator (OXE-02, Ciba-Geigy Corporation), 0.0042 g Leveling surfactant (silicone surfactant BYK 333, BYK Corporation), 0.0084 g of adhesion assistant (KBE-9007, Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), and 8.9 g of black obtained in Production Example 4 The organic pigment composition (lactam black: carbon black = 50 parts by weight: 0 part by weight) has a black alkali developing property by stirring well in 9.2094 g of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate. A photosensitive resin composition was obtained.

実施例3
製造例3で得られた1.0723gの光重合性不飽和樹脂、0.7184gのジペンタエリスリトールヘキサアクリラート、0.0651gのオキシム系光開始剤(OXE−02、チバガイギーコーポレーション)、0.0042gのレベリング界面活性剤(シリコーン系界面活性剤 BYK 333、BYKコーポレーション)、0.0084gの接着補助剤(KBE−9007、信越化学工業株式会社)、および製造例4において得られた8.9gの黒色有機顔料組成物(ラクタムブラック:カーボンブラック=50重量部:0重量部)を、9.2094gのプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセタート中でよくかき混ぜることにより、黒色のアルカリ現像型感光性樹脂組成物が得られた。
Example 3
1.0723 g photopolymerizable unsaturated resin obtained in Production Example 3, 0.7184 g dipentaerythritol hexaacrylate, 0.0651 g oxime photoinitiator (OXE-02, Ciba-Geigy Corporation), 0.0042 g Leveling surfactant (silicone surfactant BYK 333, BYK Corporation), 0.0084 g of adhesion assistant (KBE-9007, Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), and 8.9 g of black obtained in Production Example 4 An organic pigment composition (lactam black: carbon black = 50 parts by weight: 0 parts by weight) was mixed well in 9.2094 g of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate to obtain a black alkali development type photosensitivity. A resin composition was obtained.

実施例4
実施例1において、製造例4の黒色有機顔料組成物の代わりに、製造例5の黒色有機顔料と無機顔料との組成物(ラクタムブラック:カーボンブラック=35重量部:15重量部)が使用されたこと以外は、実施例1に用いたのと同じ方法で、アルカリ現像型感光性樹脂組成物が製造された。
Example 4
In Example 1, instead of the black organic pigment composition of Production Example 4, the composition of the black organic pigment and inorganic pigment of Production Example 5 (lactam black: carbon black = 35 parts by weight: 15 parts by weight) is used. Except for this, an alkali development type photosensitive resin composition was produced in the same manner as used in Example 1.

実施例5
実施例1において、製造例4の黒色有機顔料組成物の代わりに、製造例6の黒色有機顔料と無機顔料との組成物(ラクタムブラック:カーボンブラック=30重量部:20重量部)が使用されたこと以外は、実施例1におけるのと同じ方法で、アルカリ現像型感光性樹脂組成物が製造された。
Example 5
In Example 1, instead of the black organic pigment composition of Production Example 4, the composition of the black organic pigment and inorganic pigment of Production Example 6 (lactam black: carbon black = 30 parts by weight: 20 parts by weight) is used. Except that, an alkali developing type photosensitive resin composition was produced in the same manner as in Example 1.

比較例1
1.7538gのビスフェノール型バインダー(ZFR−2041H、日本化薬株式会社)、0.7249gのジペンタエリスリトールヘキサアクリラート、0.0651gのオキシム系光開始剤(OXE−02、チバガイギーコーポレーション)、0.0042gのレベリング界面活性剤(シリコーン系界面活性剤 BYK 333、BYKコーポレーションにより製造)、0.0084gの接着補助剤(KBE−9007、信越化学工業株式会社)、および8.9gの製造例6で得られた黒色有機顔料と無機顔料との組成物を、8.543gのプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセタート中でよくかき混ぜることにより、黒色のアルカリ現像特性を有する感光性樹脂組成物が得られた。
Comparative Example 1
1.7538 g of bisphenol type binder (ZFR-2041H, Nippon Kayaku Co., Ltd.), 0.7249 g of dipentaerythritol hexaacrylate, 0.0651 g of oxime photoinitiator (OXE-02, Ciba-Geigy Corporation), 0042 g of leveling surfactant (silicone surfactant BYK 333, manufactured by BYK Corporation), 0.0084 g of adhesion assistant (KBE-9007, Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), and 8.9 g of Production Example 6 The resulting black organic pigment and inorganic pigment composition was mixed well in 8.543 g of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate to obtain a photosensitive resin composition having black alkaline development characteristics. It was.

比較例2
2.398gのカルド型バインダー(CBR−D07−3、Kyungin Synthetic Corporation)、0.7249gのジペンタエリスリトールヘキサアクリラート、0.0651gのオキシム系光開始剤(OXE−02、チバガイギーコーポレーション)、0.0042gのレベリング界面活性剤(シリコーン系界面活性剤 BYK 333、BYKコーポレーション)、0.0084gの接着補助剤(KBE−9007、信越化学工業株式会社)、および8.9gの製造例6で得られた黒色有機顔料と無機顔料との組成物を、7.6188gのプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセタート中でよくかき混ぜることにより、黒色のアルカリ現像特性を有する感光性樹脂組成物が得られた。
Comparative Example 2
2.398 g of cardo binder (CBR-D07-3, Kyungin Synthetic Corporation), 0.7249 g of dipentaerythritol hexaacrylate, 0.0651 g of oxime photoinitiator (OXE-02, Ciba-Geigy Corporation); 0042 g of leveling surfactant (silicone surfactant BYK 333, BYK Corporation), 0.0084 g of adhesion aid (KBE-9007, Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), and 8.9 g of Production Example 6 were obtained. The composition of the black organic pigment and the inorganic pigment was thoroughly stirred in 7.6188 g of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate to obtain a photosensitive resin composition having black alkaline development characteristics. .

比較例3
実施例1において、製造例4の黒色有機顔料組成物の代わりに、製造例7の黒色有機顔料と無機顔料との組成物(ラクタムブラック:カーボンブラック=25重量部:25重量部)が使用されたこと以外は、実施例1におけるのと同じ方法を用いて、アルカリ現像型感光性樹脂組成物が製造された。
Comparative Example 3
In Example 1, instead of the black organic pigment composition of Production Example 4, the composition of the black organic pigment and inorganic pigment of Production Example 7 (lactam black: carbon black = 25 parts by weight: 25 parts by weight) is used. Except that, an alkali developing type photosensitive resin composition was produced using the same method as in Example 1.

比較例4
実施例1において、製造例4の黒色有機顔料組成物の代わりに、製造例8の黒色有機顔料と無機顔料との組成物(ラクタムブラック:カーボンブラック=15重量部:35重量部)が使用されたこと以外は、実施例1におけるのと同じ方法を用いて、アルカリ現像型感光性樹脂組成物が製造された。
Comparative Example 4
In Example 1, instead of the black organic pigment composition of Production Example 4, the composition of the black organic pigment and inorganic pigment of Production Example 8 (lactam black: carbon black = 15 parts by weight: 35 parts by weight) is used. Except that, an alkali developing type photosensitive resin composition was produced using the same method as in Example 1.

比較例5
実施例1において、製造例4の黒色有機顔料組成物の代わりに、製造例9の黒色無機顔料組成物(ラクタムブラック:カーボンブラック=0重量部:50重量部)が使用されたこと以外は、実施例1におけるのと同じ方法を用いて、アルカリ現像型感光性樹脂組成物が製造された。
Comparative Example 5
In Example 1, instead of the black organic pigment composition of Production Example 4, the black inorganic pigment composition of Production Example 9 (lactam black: carbon black = 0 parts by weight: 50 parts by weight) was used. Using the same method as in Example 1, an alkali development type photosensitive resin composition was produced.

像パターンの形成
スピンまたはスリットコーティング方法、ロールコーティング方法、スクリーン印刷方法およびアプリケーター方法のような従来のコーティング方法によって、前処理された基体上に本発明の感光性樹脂組成物を所望の厚さ、例えば、2〜25μmの厚さでコーティングし、そしてその塗膜を70〜90℃の温度で1〜10分間にわたって加熱して溶媒を除去することにより膜が形成された。
Formation of Image Pattern The photosensitive resin composition of the present invention is applied to a desired thickness on a pretreated substrate by conventional coating methods such as spin or slit coating methods, roll coating methods, screen printing methods and applicator methods. For example, a film was formed by coating with a thickness of 2-25 μm and heating the coating at a temperature of 70-90 ° C. for 1-10 minutes to remove the solvent.

得られた膜上に必要なパターンを形成するためにあらかじめ決定された形状のマスクを通して200〜500nmの活性線が照射された。照射のために使用される光源の例には、低圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、ハロゲン化金属ランプ、およびアルゴンガスレーザーが挙げられることができ、並びに必要ならば、さらにX線および電子線が挙げられうる。露光量はそれぞれの成分の種類および混合量、並びに乾燥膜厚に応じて変化するが、高圧水銀灯を使用する場合には(365nmセンサによって測定される場合)500mJ/cmを超えない。 In order to form a necessary pattern on the obtained film, active rays of 200 to 500 nm were irradiated through a mask having a predetermined shape. Examples of light sources used for irradiation can include low pressure mercury lamps, high pressure mercury lamps, ultra high pressure mercury lamps, metal halide lamps, and argon gas lasers, and if necessary further X-rays and electron beams. Can be mentioned. The amount of exposure varies depending on the type and amount of each component and the dry film thickness, but does not exceed 500 mJ / cm 2 when using a high-pressure mercury lamp (measured by a 365 nm sensor).

露光工程を行った後で、現像剤としてのアルカリ水溶液を用いて、不必要な部分を溶解および除去することによってパターンが形成され、それにより、光に露光された部分のみを残すのを可能にする。現像によって得られた像パターンは室温まで冷却され、そして高温空気循環型乾燥炉内で230℃で20分間にわたってポストベークされて、像パターンを生じさせた。   After performing the exposure process, an alkaline aqueous solution as a developer is used to dissolve and remove unnecessary portions, thereby allowing only the portions exposed to light to remain. To do. The image pattern obtained by development was cooled to room temperature and post-baked at 230 ° C. for 20 minutes in a hot air circulating drying oven to produce an image pattern.

解像度
得られた像パターンの解像度は、形成された着色スペーサの最小サイズをマイクロ光学顕微鏡を用いて観察することによって測定された。
Resolution The resolution of the obtained image pattern was measured by observing the minimum size of the formed colored spacer using a micro optical microscope.

光学密度の測定
吸光度は、所定の波長の光が特定の層を通過した後で光の光度が一定になった際の光の量であり、光学密度はこの吸光度値を厚さで割ることにより得られる。特定の波長帯域でIの光度を有する光が特定の層を通過した後で、光の光度がIになった場合には、その光学密度はlog10(I/I)と定義される。特定の波長帯域における光の光度は光学密度メータ(X−ライトコーポレーションによって製造された361Tテーブルトップ透過率デンシトメータ)を用いて測定された。
Measurement of optical density Absorbance is the amount of light when the light intensity becomes constant after light of a given wavelength has passed through a specific layer, and optical density is calculated by dividing this absorbance value by thickness. can get. When light having a light intensity of I 0 in a specific wavelength band passes through a specific layer and the light intensity becomes I, the optical density is defined as log 10 (I 0 / I). . The luminous intensity of light in a specific wavelength band was measured using an optical density meter (361T table top transmittance densitometer manufactured by X-Light Corporation).

弾性回復率の測定
実施例および比較例において製造された黒色感光性樹脂組成物を、スピンコーターを用いてガラス基体上にコーティングした後で、塗布された組成物が90℃2.5分間にわたって乾燥させられて、膜を形成した。この得られた膜上にパターンマスクが配置され、そして365nmの波長を有する100mJ/cmの光がこの膜上に照射された。その後、水酸化カリウムの1重量%の希釈水溶液を用いて、この膜を23℃で1分間にわたって現像した後で、現像された膜が純水で1分間洗浄された。不要な部分が除去され、スペーサーパターンのみが残った。形成されたスペーサーパターンはオーブン中で230℃で30分間にわたって加熱することにより硬化されて、着色スペーサーパターンを生じた。
Measurement of Elastic Recovery Rate After coating the black photosensitive resin composition produced in Examples and Comparative Examples on a glass substrate using a spin coater, the applied composition was dried at 90 ° C. for 2.5 minutes. To form a film. A pattern mask was placed on the resulting film, and 100 mJ / cm 2 light having a wavelength of 365 nm was irradiated onto the film. Thereafter, this film was developed at 23 ° C. for 1 minute using a 1% by weight diluted aqueous solution of potassium hydroxide, and then the developed film was washed with pure water for 1 minute. Unnecessary portions were removed, leaving only the spacer pattern. The formed spacer pattern was cured by heating in an oven at 230 ° C. for 30 minutes to give a colored spacer pattern.

実施例および比較例において製造された黒色感光性樹脂組成物を用いて、3.7(±0.2)μmの厚さ(T)および35(±2)μmの幅(W)を有する着色スペーサーが製造された。着色スペーサーの圧縮変位および弾性回復率が、日本国の株式会社島津製作所により製造された弾性率測定装置(DUH−W201S)を用いて以下の方法に従って測定された。   Coloring having a thickness (T) of 3.7 (± 0.2) μm and a width (W) of 35 (± 2) μm using the black photosensitive resin compositions produced in Examples and Comparative Examples A spacer was manufactured. The compression displacement and elastic recovery rate of the colored spacer were measured according to the following method using an elastic modulus measuring device (DUH-W201S) manufactured by Shimadzu Corporation of Japan.

50μmの直径を有する平坦な表面のパーペトレーター(perpetrator)が、パターンを圧縮するためのペネトレーターとして使用され、および測定原理は負荷−非負荷方法を用いた。この試験において与えられた負荷は300mNおよび400mNであった。負荷速度および保持時間はそれぞれ0.45gf/秒および3秒で一定に維持された。弾性回復率は、平坦な表面のパーペトレーターで3秒間負荷をかけおよび負荷をかけなかった後のパターンの厚さを、三次元厚さ測定装置を用いて測定することにより得られた。弾性回復率は、パターンに負荷が与えられた際にへこまされるパターンの距離(D)に対する、10分の回復時間後の回復した距離(D−D)の比率を意味し、下記式1で表される:
[式1]
弾性回復率(%)=[(D−D)×100]/D
式中、D(μm)は圧縮された変位であり、D(μm)回復時間後にへこまされているパターンの距離。
A flat surface perpetrator with a diameter of 50 μm was used as the penetrator to compress the pattern and the measurement principle used a load-unload method. The loads applied in this test were 300 mN and 400 mN. The loading rate and holding time were kept constant at 0.45 gf / sec and 3 sec, respectively. The elastic recovery rate was obtained by measuring the thickness of the pattern with and without a load for 3 seconds using a flat surface perpetrator using a three-dimensional thickness measuring apparatus. Elastic recovery rate means the ratio of the recovered distance (D 1 -D 2 ) after a recovery time of 10 minutes to the distance (D 1 ) of the pattern that is dented when the pattern is loaded, It is represented by the following formula 1:
[Formula 1]
Elastic recovery rate (%) = [(D 1 −D 2 ) × 100] / D 1
Where D 1 (μm) is the compressed displacement and D 2 (μm) the distance of the pattern that is dented after the recovery time.

誘電率の測定
実施例および比較例において製造された黒色感光性樹脂組成物から形成されたフォトレジスト(PR)をインジウムスズ酸化物(ITO)ガラス上にコーティングし、そしてこの塗布されたフォトレジスト(PR)をホットプレート上で90℃の温度で2.5分間乾燥させることによって、1.5〜2.5μmの範囲の最終厚さを有する膜が製造された。300μmの直径を有する金(Au)電極がこの膜上に配置されサンプルを製造した。静電容量値はHP 4294A精密インピーダンスアナライザーを用いて測定され、そして、誘電率はこの測定された静電容量値および下記式2を用いて得られた。
Measurement of Dielectric Constant A photoresist (PR) formed from the black photosensitive resin composition produced in Examples and Comparative Examples was coated on indium tin oxide (ITO) glass, and the applied photoresist ( PR) was dried on a hot plate at a temperature of 90 ° C. for 2.5 minutes to produce a film with a final thickness ranging from 1.5 to 2.5 μm. A gold (Au) electrode having a diameter of 300 μm was placed on this membrane to produce a sample. The capacitance value was measured using a HP 4294A precision impedance analyzer and the dielectric constant was obtained using this measured capacitance value and Equation 2 below.

[式2]
C=ε×ε×A/d
式中、Cは電気容量を示し、εは真空条件下での誘電率を示し、εは膜の相対誘電率を示し、Aは電極面積を示し、およびdはフォトレジスト(PR)厚さを示す。
[Formula 2]
C = ε 0 × ε × A / d
Where C is the capacitance, ε 0 is the dielectric constant under vacuum conditions, ε is the relative dielectric constant of the film, A is the electrode area, and d is the photoresist (PR) thickness. Indicates.

評価基準
○:8以下の誘電率
×:8を超える誘電率
Evaluation criteria ○: Dielectric constant of 8 or less ×: Dielectric constant exceeding 8

評価結果
試験の結果は以下の表1にまとめられた。
Evaluation results The results of the tests are summarized in Table 1 below.

Figure 0006093766
Figure 0006093766

表1に認められるように、実施例1〜6の本感光性樹脂組成物については、光学密度、誘電率、弾性回復率および解像度が一様に優れている。   As can be seen from Table 1, the optical density, dielectric constant, elastic recovery rate, and resolution of the present photosensitive resin compositions of Examples 1 to 6 are uniformly excellent.

特に、実施例1〜5を比較例1〜5と比較したときに、実施例1〜5は比較例1および2よりも解像度の点で優れており、比較例3、4および5よりも誘電率の点で優れており、並びに比較例1〜5よりも300mNおよび400mNの弾性回復率の点で優れていたことを認めることができた。   In particular, when Examples 1-5 are compared with Comparative Examples 1-5, Examples 1-5 are superior to Comparative Examples 1 and 2 in terms of resolution and are more dielectric than Comparative Examples 3, 4 and 5. It was excellent in terms of the rate, and it was recognized that it was superior in terms of the elastic recovery rate of 300 mN and 400 mN over Comparative Examples 1-5.

本発明は代表的な実施形態を参照して示されかつ説明されたが、特許請求の範囲によって特定される本発明の意図および範囲から逸脱することなく改変および変更がなされうることは当業者に明らかである。よって、上記実施形態は例示であり、限定的に解釈されるべきではない。   Although the invention has been shown and described with reference to exemplary embodiments, it will be apparent to those skilled in the art that modifications and changes can be made without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the claims. it is obvious. Therefore, the said embodiment is an illustration and should not be interpreted limitedly.

Claims (6)

式IIで表される光重合性不飽和樹脂
Figure 0006093766
(式中、で標識された炭素は、
Figure 0006093766
からなる群から選択される1つにおけるで標識された炭素で置き換えられ、
はC1−10アルキレン、C3−20シクロアルキレンまたはC1−10アルキレンオキシであり、
、R、R、R、R、RおよびRは同じかまたは異なっており、かつそれぞれ独立して、水素、C1−10アルキル、C1−10アルコキシ、C2−10アルケニルおよびC6−14アリールからなる群から選択され、
は水素、ハロゲン若しくはヒドロキシで置換されているかもしくは置換されていないC1−10アルキル、C2−10アルケニルおよびC6−14アリールからなる群から選択され
nは0〜10の整数であり、
10 −C(=O)−O−は、不飽和塩基酸(B)の残基または多塩基酸無水物(C)の残基を表し、ただし、この分子中のR 10 −C(=O)−O−の少なくとも1つは不飽和塩基酸(B)の残基であり、およびこの分子中のR 10 −C(=O)−O−の少なくとも1つは多塩基酸無水物(C)の残基であり、並びに、
12 は水素または−C(=O)−R 10 を表す。)。
Photopolymerizable unsaturated resin represented by Formula II
Figure 0006093766
(In the formula, carbon labeled with *
Figure 0006093766
Replaced with carbon labeled with * in one selected from the group consisting of :
L 1 is C 1-10 alkylene, C 3-20 cycloalkylene or C 1-10 alkyleneoxy,
R 1 , R 2 , R 3 , R 4 , R 5 , R 6 and R 7 are the same or different and are each independently hydrogen, C 1-10 alkyl, C 1-10 alkoxy, C 2 Selected from the group consisting of -10 alkenyl and C 6-14 aryl;
R 8 is selected from the group consisting of C 1-10 alkyl, C 2-10 alkenyl and C 6-14 aryl, substituted or unsubstituted with hydrogen, halogen or hydroxy ,
n is an integer Ri der of 0,
R 10 —C (═O) —O— represents a residue of an unsaturated basic acid (B) or a residue of a polybasic acid anhydride (C), provided that R 10 —C (= At least one of O) —O— is a residue of an unsaturated basic acid (B), and at least one of R 10 —C (═O) —O— in the molecule is a polybasic acid anhydride ( A residue of C), and
R 12 represents hydrogen or —C (═O) —R 10 . ).
式IIIで表される光重合性不飽和樹脂
Figure 0006093766
(式中、で標識された炭素は、
Figure 0006093766
からなる群から選択される1つにおけるで標識された炭素で置き換えられ、
はC1−10アルキレン、C3−20シクロアルキレンまたはC1−10アルキレンオキシであり、
、R、R、R、R、RおよびRは同じかまたは異なっており、かつそれぞれ独立して、水素、C1−10アルキル、C1−10アルコキシ、C2−10アルケニルおよびC6−14アリールからなる群から選択され、
は水素、ハロゲン若しくはヒドロキシで置換されているかもしくは置換されていないC1−10アルキル、C2−10アルケニルおよびC6−14アリールからなる群から選択され
nは0〜10の整数であり、
10 −C(=O)−O−は、不飽和塩基酸(B)の残基または−O−C(=O)−R 11 −C(=O)−O−R 13 を表し、ただし、この分子中のR 10 −C(=O)−O−の少なくとも1つは不飽和塩基酸(B)の残基であり、およびこの分子中のR 10 −C(=O)−O−の少なくとも1つは−O−C(=O)−R 11 −C(=O)−O−R 13 であり、
−O−C(=O)−R 11 −C(=O)−O−は多塩基酸無水物(C)の残基を表し、
13 は水素原子または−CH −CH(OH)−R 14 を表し、
−CH −CH(OH)−R 14 は一官能性もしくは多官能性エポキシ化合物(D)の残基を表し、ここで−CH −CH(OH)−R 14 が前記多官能性エポキシ化合物の残基を表す場合は、かかる多官能性エポキシ化合物のエポキシ基は、式IIIによって表される分子中のヒドロキシル基またはカルボキシル基に結合されていてもよく、並びに、
12 は水素、−C(=O)−R 10 または−CH −CH(OH)−R 14 を表す。)。
Photopolymerizable unsaturated resin represented by Formula III
Figure 0006093766
(In the formula, carbon labeled with *
Figure 0006093766
Replaced with carbon labeled with * in one selected from the group consisting of :
L 1 is C 1-10 alkylene, C 3-20 cycloalkylene or C 1-10 alkyleneoxy,
R 1 , R 2 , R 3 , R 4 , R 5 , R 6 and R 7 are the same or different and are each independently hydrogen, C 1-10 alkyl, C 1-10 alkoxy, C 2 Selected from the group consisting of -10 alkenyl and C 6-14 aryl;
R 8 is selected from the group consisting of C 1-10 alkyl, C 2-10 alkenyl and C 6-14 aryl, substituted or unsubstituted with hydrogen, halogen or hydroxy ,
n is an integer Ri der of 0,
R 10 —C (═O) —O— represents a residue of an unsaturated basic acid (B) or —O—C (═O) —R 11 —C (═O) —O—R 13 , , at least 1 R 10 -C (= O) -O- in in the molecule is the residue of an unsaturated dibasic acid (B), and R 10 -C in the molecule (= O) -O- At least one of —O—C (═O) —R 11 —C (═O) —O—R 13 ,
—O—C (═O) —R 11 —C (═O) —O— represents the residue of the polybasic acid anhydride (C);
R 13 represents a hydrogen atom or —CH 2 —CH (OH) —R 14 ,
—CH 2 —CH (OH) —R 14 represents a residue of a monofunctional or multifunctional epoxy compound (D), where —CH 2 —CH (OH) —R 14 is the multifunctional epoxy compound. Wherein the epoxy group of such a multifunctional epoxy compound may be bound to a hydroxyl group or a carboxyl group in the molecule represented by Formula III, and
R 12 represents hydrogen, —C (═O) —R 10 or —CH 2 —CH (OH) —R 14 . ).
前記不飽和塩基酸(B)がアクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、ケイヒ酸、ソルビン酸、ヒドロキシエチルメタクリラート−マレアート、ヒドロキシエチルアクリラート−マレアート、ヒドロキシプロピルメタクリラート−マレアート、ヒドロキシプロピルアクリラート−マレアート、およびジシクロペンタジエン−マレアートからなる群から選択される少なくとも1種であり、並びに
前記多塩基酸無水物(C)が無水コハク酸、無水マレイン酸、トリメリット酸無水物、ピロメリット酸無水物、2,2’−3,3’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,3’−4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、エチレングリコールビス(無水トリメリタート)、グリセロールトリス(無水トリメリタート)、フタル酸無水物、ヘキサヒドロフタル酸無水物、メチルヒドロフタル酸無水物、テトラヒドロフタル酸無水物、ナジン酸無水物、メチルナジン酸無水物、トリアルキルテトラヒドロフタル酸無水物、ヘキサヒドロフタル酸無水物、5−(2,5−ジオキソテトラヒドロフリル)−3−メチル−3−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸無水物、トリアルキルテトラヒドロフタル酸無水物とマレイン酸無水物との付加物、ドデセニルコハク酸無水物、およびメチルヒミン酸無水物からなる群から選択される少なくとも1種である、
請求項1に記載の光重合性不飽和樹脂。
The unsaturated basic acid (B) is acrylic acid, methacrylic acid, crotonic acid, cinnamic acid, sorbic acid, hydroxyethyl methacrylate-maleate, hydroxyethyl acrylate-maleate, hydroxypropyl methacrylate-maleate, hydroxypropyl acrylate- Maleate and at least one selected from the group consisting of dicyclopentadiene-maleate, and the polybasic acid anhydride (C) is succinic anhydride, maleic anhydride, trimellitic anhydride, pyromellitic anhydride 2,2'-3,3'-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, 3,3'-4,4'-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, ethylene glycol bis (anhydrous trimellitate), glycerol tris (anhydrous) Trimellitate), phthalic anhydride , Hexahydrophthalic anhydride, methylhydrophthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, nadic anhydride, methyl nadic anhydride, trialkyltetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, 5- (2 , 5-dioxotetrahydrofuryl) -3-methyl-3-cyclohexene-1,2-dicarboxylic anhydride, adducts of trialkyltetrahydrophthalic anhydride and maleic anhydride, dodecenyl succinic anhydride, and methylhimine At least one selected from the group consisting of acid anhydrides,
The photopolymerizable unsaturated resin according to claim 1.
前記一官能性エポキシ化合物(D)がグリシジルメタクリラート、メチルグリシジルエーテル、エチルグリシジルエーテル、プロピルグリシジルエーテル、イソプロピルグリシジルエーテル、ブチルグリシジルエーテル、イソブチルグリシジルエーテル、t−ブチルグリシジルエーテル、ペンチルグリシジルエーテル、ヘキシルグリシジルエーテル、ヘプチルグリシジルエーテル、オクチルグリシジルエーテル、ノニルグリシジルエーテル、デシルグリシジルエーテル、ウンデシルグリシジルエーテル、ドデシルグリシジルエーテル、トリデシルグリシジルエーテル、テトラデシルグリシジルエーテル、ペンタデシルグリシジルエーテル、ヘキサデシルグリシジルエーテル、2−エチルヘキシルグリシジルエーテル、アリルグリシジルエーテル、プロパルギルグリシジルエーテル、2−メトキシエチルグリシジルエーテル、フェニルグリシジルエーテル、p−メトキシフェニルグリシジルエーテル、p−ブチルフェニルグリシジルエーテル、クレシルグリシジルエーテル、2−メチルクレシルグリシジルエーテル、4−ノニルフェニルグリシジルエーテル、ベンジルグリシジルエーテル、p−クミルフェニルグリシジルエーテル、トリチルグリシジルエーテル、2,3−エポキシプロピルメタクリラート、エポキシ化ダイズ油、エポキシ化亜麻仁油、グリシジルブチラート、ビニルシクロヘキサンモノオキシド、1,2−エポキシ−4−ビニルシクロヘキサン、スチレンオキシド、ピネンオキシド、メチルスチレンオキシド、シクロヘキセンオキシド、およびプロピレンオキシドからなる群から選択される少なくとも1種であり、並びに
前記多官能性エポキシ化合物(D)が多価アルコールもしくはそのアルキレンオキシド付加物のポリグリシジルエーテル、多塩基酸のポリグリシジルエーテル、シクロヘキセンオキシドを含む化合物、およびシクロペンテンオキシドを含む化合物からなる群から選択される少なくとも1種である、
請求項2に記載の光重合性不飽和樹脂。
The monofunctional epoxy compound (D) is glycidyl methacrylate, methyl glycidyl ether, ethyl glycidyl ether, propyl glycidyl ether, isopropyl glycidyl ether, butyl glycidyl ether, isobutyl glycidyl ether, t-butyl glycidyl ether, pentyl glycidyl ether, hexyl glycidyl ether. Ether, heptyl glycidyl ether, octyl glycidyl ether, nonyl glycidyl ether, decyl glycidyl ether, undecyl glycidyl ether, dodecyl glycidyl ether, tridecyl glycidyl ether, tetradecyl glycidyl ether, pentadecyl glycidyl ether, hexadecyl glycidyl ether, 2-ethylhexyl Glycidyl ether, allyl glycidyl ether Propargyl glycidyl ether, 2-methoxyethyl glycidyl ether, phenyl glycidyl ether, p-methoxyphenyl glycidyl ether, p-butylphenyl glycidyl ether, cresyl glycidyl ether, 2-methyl cresyl glycidyl ether, 4-nonylphenyl glycidyl ether, Benzyl glycidyl ether, p-cumylphenyl glycidyl ether, trityl glycidyl ether, 2,3-epoxypropyl methacrylate, epoxidized soybean oil, epoxidized linseed oil, glycidyl butyrate, vinylcyclohexane monooxide, 1,2-epoxy- 4-vinylcyclohexane, styrene oxide, pinene oxide, methylstyrene oxide, cyclohexene oxide, and propylene oxide Comprising at least one selected from the group, and the polyfunctional epoxy compound (D) polyglycidyl ethers of polyhydric alcohols or alkylene oxide adducts thereof, polyglycidyl ethers of polybasic acid, a compound containing a cyclohexene oxide And at least one selected from the group consisting of compounds containing cyclopentene oxide,
The photopolymerizable unsaturated resin according to claim 2.
請求項1に記載の光重合性不飽和樹脂、少なくとも1つのエチレン性不飽和結合を有する官能性モノマー、重合開始剤、黒色有機顔料、および溶媒を含む感光性樹脂組成物であって、
前記黒色有機顔料がアニリンブラック、ラクタム系ブラックおよびペリレンブラックからなる群から選択される少なくとも1種であ
前記感光性樹脂組成物が、前記黒色有機顔料100重量部に基づいて、カーボンブラック、酸化クロム、酸化鉄およびチタンブラックからなる群から選択される少なくとも1種の黒色無機顔料を0.1〜70重量部さらに含む、
感光性樹脂組成物。
A photosensitive resin composition comprising the photopolymerizable unsaturated resin according to claim 1, a functional monomer having at least one ethylenically unsaturated bond, a polymerization initiator, a black organic pigment, and a solvent,
Ri least Tanedea said black organic pigment is selected from the group consisting of aniline black, lactam black and perylene black,
The photosensitive resin composition comprises at least one black inorganic pigment selected from the group consisting of carbon black, chromium oxide, iron oxide and titanium black based on 100 parts by weight of the black organic pigment. In addition to weight parts,
Photosensitive resin composition.
請求項2に記載の光重合性不飽和樹脂、少なくとも1つのエチレン性不飽和結合を有する官能性モノマー、重合開始剤、黒色有機顔料、および溶媒を含む感光性樹脂組成物であって、
前記黒色有機顔料がアニリンブラック、ラクタム系ブラックおよびペリレンブラックからなる群から選択される少なくとも1種であ
前記感光性樹脂組成物が、前記黒色有機顔料100重量部に基づいて、カーボンブラック、酸化クロム、酸化鉄およびチタンブラックからなる群から選択される少なくとも1種の黒色無機顔料を0.1〜70重量部さらに含む、
感光性樹脂組成物。
A photosensitive resin composition comprising the photopolymerizable unsaturated resin according to claim 2, a functional monomer having at least one ethylenically unsaturated bond, a polymerization initiator, a black organic pigment, and a solvent,
Ri least Tanedea said black organic pigment is selected from the group consisting of aniline black, lactam black and perylene black,
The photosensitive resin composition comprises at least one black inorganic pigment selected from the group consisting of carbon black, chromium oxide, iron oxide and titanium black based on 100 parts by weight of the black organic pigment. In addition to weight parts,
Photosensitive resin composition.
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