JP6222575B2 - シート状ワークの把持機構および化学処理装置 - Google Patents

Description

本発明は、シート状ワークの把持機構および化学処理装置に関する。

フレキシブル回路基板などのように、シート状のワークの表面にメッキなどの処理を施す場合、図４に示すような装置１００が使用されている（特許文献１参照）。

図４に示すように、装置１００は、ワーク供給部１０１から供給されるシート状のワークＳを、搬送手段１１０によって搬送しながらメッキ部１０３でメッキ処理して、ワーク回収部１０２によって回収する構成を有している。

ワーク供給部１０１は、リールＲ１に巻かれたシート状のワークＳを巻き戻して搬送手段１１０に供給するように構成されている。

搬送手段１１０は、ワーク供給部１０１とワーク回収部１０２との間を周回するエンドレスベルト１１１と、シート状のワークＳを把持する複数の把持部１２を備えている（図５参照）。この把持部１２は、エンドレスベルト１１１に沿って等間隔で並んで配置されている。そして、搬送手段１１０は、エンドレスベルト１１１の周回移動に伴って、順次ワーク供給部１０１から供給されるワークＳを把持し、ワーク回収部１０２の位置でワークＳを解放するように構成されている。しかも、搬送手段１１０は、把持部１２がワークＳの幅方向の一端（上端）または幅方向の両端（上下端）を把持すると、ワークＳの表面が鉛直方向と平行となるように設けられている。

ワーク回収部１０２は、搬送手段１１０の把持部１２から解放されたワークＳを、リールＲ２に巻きとるように構成されている。

そして、メッキ部１０３は、上流側（つまりワーク供給部１０１側）から下流側（つまりワーク回収部１０２側）に向かって、前処理槽１０４、メッキ槽１０５、後処理槽１０６、の順で設けられており、各槽で、ワークＳの表面に処理が行われるようになっている。

以上のような構成であるので、装置１００では、ワーク供給部１０１から供給されたワークＳの表面を鉛直方向と平行に維持した状態で搬送手段１１０によって搬送しながら、メッキ部１０３でワークＳの表面をメッキ処理して、メッキ処理されたワークＳをワーク回収部１０２に回収することができるのである。

ところで、メッキ部１０３におけるメッキ処理では、把持部１２を通してワークＳに通電することによって処理が行われる。そして、ワークＳのメッキ処理を所定の状態とするためには、ワークＳへの通電状態を一定に保たなければならない。このためには、ワークＳと把持部１２との接触状態を一定に保つ必要がある。

また、ワークＳは連続したシート状であり、その長手方向に沿って複数の把持部１２がワークＳを把持する（図４、図５参照）。このため、隣接する把持部１２同士間におけるシートＳの状態もワークＳの通電状態に影響する。このため、ワークＳへの通電状態を保つためには、隣接する把持部１２同士間におけるシートＳの状態を一定に保つ必要がある。具体的には、隣接する把持部１２同士間の距離を一定に保ちつつ、シートＳにしわができないように把持部１２によってワークＳを保持しなければならない。

特開２０１２−２５１１８２号

しかるに、図６（Ａ）に示すように、ワークＳの幅方向の端部が伸びた状態であれば、把持部１２とワークＳとの接触状態が一定の状態となるように、把持部１２によってワークＳの端部を把持することができる。

しかし、図６（Ｂ）に示すように、ワークＳの厚さやワークＳへの事前加工などの影響により、ワークＳの幅方向の端部がカールすると、端部を折り曲げた状態で把持部１２がワークＳの端部を把持してしまう可能性ある。この場合、その把持部１２とワークＳとの接触状態は他の把持部１２とワークＳとの接触状態と異なる状態になってしまう。すると、その把持部１２が把持した個所では、ワークＳへの通電状態が他の部分と異なる状態となってしまい、ワークＳのメッキ処理を適切に行えなくなってしまう。

また、一か所が折れ曲がって把持部１２に把持されてしまえば、それに引き続く把持部１２でも同様の把持不良が発生し、場合によっては把持部１２がワークＳを把持できなくなる可能性もある。このような状態となれば、ワークＳにしわやたるみなどが発生してメッキ不良が増大するし、搬送手段１１０による搬送を安定して行えなくなり、大量の不良品を発生させてしまう恐れがある。

本発明は上記事情に鑑み、シート状のワークの端部を安定して把持することができるシート状ワークの把持機構および、かかる把持機構を備えた化学処理装置を提供することを目的とする。

（シート状ワークの把持機構）
第１発明のシート状ワークの把持機構は、シート状の部材における端部を把持する把持機構であって、互いに接近離間可能に設けられた一対の把持部材を備えた把持部と、該把持部の一対の把持部材における前記シート状の部材の端部を把持する端部同士が離間した際に該端部間に形成される空間に流体を吹き付ける流体吹出部を備えた流体吹出手段と、を備えており、該流体吹出手段の流体吹出部は、空間に吹き付けた前記流体が前記シート状の部材の内方から端縁に向かう方向に沿って流れるように配置されていることを特徴とする。
第２発明のシート状ワークの把持機構は、第１発明において、前記流体吹出手段の流体吹出部は、流体を吹き出す吹き出し口の軸方向が、前記シート状の部材の表面に対して傾斜するように設けられていることを特徴とする。
第３発明のシート状ワークの把持機構は、第１または第２発明において、前記流体吹出手段は、前記流体吹出部を複数備えており、該複数の流体吹出部は、前記シート状の部材における端部端縁に沿って並んで配置されていることを特徴とする。
（化学処理装置）
第４発明の化学処理装置は、シート状の部材の端部を保持して搬送しながら該部材の化学処理を行う装置であって、該装置が、シート状の部材の端部を保持する、第１、第２または第３発明に記載のシート状ワークの把持機構を備えていることを特徴とする。
第５発明の化学処理装置は、第４発明において、シート状の部材に把持部を通して通電しながら処理を行う装置であることを特徴とする。

（シート状ワークの把持機構）
第１発明によれば、把持部の一対の把持部材におけるシート状の部材の端部を把持する端部同士が離間した際に離間した端部間に形成される空間にシート状の部材の端部を配置した状態で、流体吹出手段の流体吹出部から流体を吹き付ける。すると、シート状の部材の表面に沿って吹き付けられた流体がシート状の部材における端部に向かって流れるので、シート状の部材の端部が内方にカールしていても、シート状の部材を伸ばすことができる。したがって、シート状の部材の端部を安定して把持することができる。
第２発明によれば、流体吹出手段から吹き出された流体によって、シート状の部材は一対の把持部材のうちいずれか一方に押し付けられるので、シート状の部材を伸ばす効果を高くすることができる。
第３発明によれば、複数の流体吹出部によって流体が吹き付けられるので、シート状の部材を伸ばす効果を高くすることができる。
（化学処理装置）
第４発明によれば、シート状の部材の端部を安定した状態で保持できるので、部材に対する化学処理を安定して行うことができる。
第５発明によれば、シート状の部材への通電が安定するので、部材に対する化学処理を安定化させることができる。

本実施形態のシート状ワークの把持機構１０の概略側面図である。 本実施形態のシート状ワークの把持機構１０の概略正面図である。 本実施形態のシート状ワークの把持機構１０によって、端部がカールしたワークＳを把持する場合の概略説明図である。 本実施形態のシート状ワークの把持機構１０を採用し得る化学処理設備１００の概略説明図である。 本実施形態のシート状ワークの把持機構１０を採用し得る化学処理設備１００の部分拡大説明図である。 ワークＳの端部の状態の概略説明図であり、（Ａ）は端部が伸びているワークＳの説明図であり、（Ｂ）は端部がカールしているワークＳの説明図である。

本発明のシート状ワークの把持機構は、シート状のワークを搬送する際にワーク端部を把持する把持機構であり、ワーク端部がカール等していても安定してワーク端部を把持できるようにしたことに特徴を有している。

本発明のシート状ワークの把持機構によって把持されるシート状のワークは特に限定されない。例えば、ＣＯＦ（Chip On Flexible）等に用いられるフレキシブル回路基板のような長尺なシート状のワークを把持する機構として適している。

また、本発明のシート状ワークの把持機構は、シート状のワークを連続して搬送する必要がある設備等であれば採用することが可能である。例えば、上述したＣＯＦに用いられるフレキシブル回路基板の表面にメッキ等の化学処理を行う設備などにおいて、長尺なシート状のワークを把持する機構として適している。
以下では、代表として、長尺なシート状のワークの表面にメッキ処理を行う化学処理設備に採用した場合を説明する。

（化学処理設備１００の概略説明）
まず、本実施形態のシート状ワークの把持機構１を説明する前に、図４、図５を参照して、本実施形態のシート状ワークの把持機構１０（以下単に把持機構１０という）を採用した化学処理設備１００を簡単に説明する。

図４に示すように、装置１００は、ワーク供給部１０１から供給されるシート状のワークＳ（以下、単にワークＳという）を、搬送手段１１０によって搬送しながら化学処理部１０３でメッキ処理して、ワーク回収部１０２によって回収する構成を有している。

なお、図４では、化学処理部１０３は、上流側（つまりワーク供給部１０１側）から下流側（つまりワーク回収部１０２側）に向かって、前処理槽１０４、化学処理槽１０５、後処理槽１０６、の順で設けられており、各槽で、ワークＳの表面に処理が行われるようになっている。しかし、化学処理部１０３の構成は上記構成に限定されない。例えば、化学処理がメッキ処理の場合はメッキ槽を設定し、電解洗浄の場合は、洗浄槽等ワークＳの表面に施す化学処理に合わせて適宜設定される。

（ワーク供給部１０１）
ワーク供給部１０１は、リールＲ１に巻かれたシート状のワークＳを巻き戻して搬送手段１１０に供給するように構成されている。このワーク供給部１０１は、リールＲ１から巻き戻されたワークＳを、その表面が鉛直方向と平行となり、しかも、その移動方向（つまり長手方向）が水平となるように姿勢を変化させる姿勢変更ロールＳＲを備えている。つまり、ワーク供給部１０１は、姿勢変更ロールＳＲによって、ワークＳの表面が鉛直方向と平行となりしかもその幅方向が鉛直方向と平行となるようにワークＳの姿勢を変更してから、ワークＳを搬送手段１１０に供給するように構成されている。

（ワーク回収部１０２）
ワーク回収部１０２は、搬送手段１１０によって搬送されるワークＳ、つまり、化学処理部１０３でメッキ処理されたワークＳをリールＲ２に巻き取って回収するように構成されている。なお、ワーク回収部１０２は、搬送手段１１０から供給されるワークＳに対して、熱処理等の種々の処理を行う装置を備えていてもよい。この場合には、種々の処理が行われてから、ワークＳはリールＲ２に巻き取られる。

（搬送手段１１０）
搬送手段１１０は、ワーク供給部１０１とワーク回収部１０２との間を周回する上下一対のエンドレスベルト１１１，１１１と、把持機構１０と、を備えている。

（上下一対のエンドレスベルト１１１，１１１）
上下一対のエンドレスベルト１１１は、複数のプーリｐ等に巻き掛けられて、平面視で略矩形状の周回ループが形成されるように配設されている（図４、図５参照）。つまり、上下一対のエンドレスベルト１１１は、水平方向に沿って周回移動するように設けられている。

この上下一対のエンドレスベルト１１１は、ワーク供給部１０１から供給されるワークＳを上下から挟む位置に設けられている。つまり、上側のエンドレスベルト１１１は、ワークＳの上端部（ワークＳの幅方向の端部であって上方に位置する端部）よりも上方に位置するように配設されている。また、下側のエンドレスベルト１１１は、ワークＳの下端部（ワークＳの幅方向の端部であって下方に位置する端部）よりも下方に位置するように配設されている。

（把持機構１０）
この上下一対のエンドレスベルト１１１，１１１には、把持機構１０の複数の把持部１２が設けられている。複数の把持部１２は、ワークＳの端部を把持するものであり、エンドレスベルト１１１に沿って設けられている。具体的には、上側のエンドレスベルト１１１に設けられている複数の把持部１２は、ワークＳの上端部を等間隔で把持できるように、エンドレスベルト１１１に沿って等間隔で設けられている。同様に、下側のエンドレスベルト１１１に設けられている複数の把持部１２は、ワークＳの下端部を等間隔で把持できるように、エンドレスベルト１１１に沿って等間隔で設けられている。

そして、把持機構１０は、ワーク供給部１０１の姿勢変更ロールＳＲによって姿勢が変更されたワークＳを姿勢変更ロールＳＲ近傍で把持部１２が把持し、ワーク回収部１０２近傍で把持部１２がワークＳを解放するように構成されている。

しかも、把持機構１０は、ワークＳを把持する位置に、把持部１２によるワークＳ把持をサポートする流体吹出手段１１の流体吹出部１１ｎを備えているが、詳細は後述する。

以上のような構成であるので、装置１００では、ワーク供給部１０１から供給されたワークＳの表面を鉛直方向と平行に維持した状態で搬送手段１１０によって搬送しながら、化学処理部１０３でワークＳの表面をメッキ処理して、メッキ処理されたワークＳをワーク回収部１０２に回収することができるのである。

なお、ワークＳにメッキ処理を行う場合には、通常、ワークＳに電流が供給される。このため、ワークＳにメッキ処理を行う場合には、把持部１２を介してワークＳに電流を流すことができるように構成される。例えば、各把持部１２におけるワークＳと接触する部分（つまり後述する把持部材１３，１４の両方または一方）を導電性を有する素材によって形成し、この部分を導線等によって電源等に電気的に接続しておく。すると、把持部１２を介して、必要なタイミングにおいて、ワークＳに電流を流すことができる。

また、上下のエンドレスベルト１１１に設けられている把持部１２は、互いに対応する位置に設けられていることが好ましい。つまり、上下のエンドレスベルト１１１に設けられている把持部１２によって、ワークＳの長手方向における同じ位置が把持されるように、上下のエンドレスベルト１１１に把持部１２が設けられていることが望ましい。この場合、把持部１２によってワークＳを把持したときに、ワークＳにしわなどが形成されにくくなるという利点が得られる。

上記例では、搬送手段１１０が上下のエンドレスベルト１１１を設けている場合を説明したが、エンドレスベルト１１１は上側だけに設けてもよい。つまり、ワークＳの上端部だけを把持部１２によって把持して、ワークＳがエンドレスベルト１１１に吊り下げられたような状態で、ワークＳを搬送する構成としてもよい。

（把持機構１０の詳細な説明）
つぎに、把持機構１０について詳細に説明する。

図１および図２に示すように、把持機構１０は、流体吹出部１１ｎを備えた流体吹出手段１１と、複数の把持部１２と、を備えている。

（把持部１２）
まず、複数の把持部１２は、ワークＳの端部を把持する一対の把持部材１３，１４を備えており、この一対の把持部材１３，１４のうち、把持部材１４が連結部１５によって搬送手段１１０のエンドレスベルト１１１（図１および図２では上側のエンドレスベルト１１１）に連結されている。したがって、複数の把持部１２は、エンドレスベルト１１１とともに周回移動するようになっている。

一対の把持部材１３，１４は、その下端部同士が接近離間できるように、その上端部が連結されている。例えば、図１および図２に示すように、把持部材１４の上端部にブラケット１４ｂを設け、このブラケット１４ｂに把持部材１３の上端を軸などを介して揺動可能に連結すれば、一対の把持部材１３，１４の下端部同士が接近離間できるように、両者を連結することができる。

なお、一対の把持部材１３，１４は、バネなどによって、常時両者の下端が接近した状態となるように付勢されていることが望ましい。この場合、ワークＳを把持した状態において、何らかのトラブルがあってもワークＳを把持した状態を維持できる。また、シリンダなどのアクチュエータによって一対の把持部材１３，１４を開閉する場合には、バネを設けなくてもよい。

以下では、一対の把持部材１３，１４の下端が接近した状態を、一対の把持部材１３，１４が閉じた状態といい、一対の把持部材１３，１４の下端が離間した状態を、一対の把持部材１３，１４が開いた状態という。

（流体吹出手段１１）
上述した把持部１２は、ワーク供給部１０１の姿勢変更ロールＳＲ近傍において、ワーク供給部１０１から供給されたワークＳの端部を把持する。このとき、把持部１２は、一対の把持部材１３，１４が開閉し、一対の把持部材１３，１４が開いた状態において、ワークＳの端部が一対の把持部材１３，１４の下端間に配置される。このように、ワークＳの端部が一対の把持部材１３，１４の下端間に配置される位置の近傍には、流体吹出手段１１の流体吹出部１１ｎが設けられている。より詳しくいえば、一対の把持部材１３，１４が開いた状態であって、かつ、ワークＳの端部が一対の把持部材１３，１４の下端間に配置されている状態となる位置に、流体吹出手段１１の流体吹出部１１ｎは設けられている。

流体吹出手段１１は、流体吹出部１１ｎと、流体吹出部１１ｎに空気等の流体Ｌを供給する流体供給部１１ａを備えている。

流体供給部１１ａは、ある程度の圧力を有する流体Ｌを流体吹出部１１ｎに供給できるものである。具体的には、流体吹出部１１ｎから流体Ｌが放出された際に、ワークＳの端部を変形させることができる（カールを伸ばすことができる）程度の圧力で流体Ｌを流体吹出部１１ｎに供給することができるものである。なお、流体供給部１１ａは、上述したような流体Ｌを流体吹出部１１ｎに供給できるものであればよく、とくに限定されない。例えば、流体Ｌが空気であれば、コンプレッサーやボンベ等を流体供給部１１ａとして採用できるし、流体Ｌが水等の液体であれば、ポンプを流体供給部１１ａとして採用きる。

流体吹出部１１ｎは、その先端に流体Ｌを吹きだす吹き出し口を備えており、流体供給部から流体Ｌを供給すれば、吹き出し口から流体Ｌを吹きだすことができるようになっている。

この流体吹出部１１ｎは、一対の把持部材１３，１４が開いた際に一対の把持部材１３，１４の下端間に形成される空間に、その吹き出し口から吹き出された流体Ｌを吹き付けることができるように配置されている（図３参照）。より詳しく言えば、一対の把持部材１３，１４が開いた状態において、この一対の把持部材１３，１４の下端間の空間に配置されているワークＳの端部表面に吹き出し口から吹き出された流体Ｌを吹き付けることができるように、流体吹出部１１ｎは配置されている。

しかも、ワークＳの端部表面に吹き出し口から吹きつけられた流体Ｌのうち、少なくとも一部の流体Ｌは、ワークＳの内方から端縁に向かう方向に沿って流れるように、流体吹出部１１ｎは配置されている。

このように流体吹出部１１ｎを配置した場合には、ワークＳの端部がカールしていても、ワークＳの端部を把持部１２によって把持することができる。
つまり、図３に示すように、ワークＳの端部が内方に向かってカールしている場合、把持部１２の一対の把持部材１３，１４を閉じても、ワークＳの端部を折り曲げた状態で把持するようになったり、ワークＳを把持できなくなったりする可能性がある。
しかし、流体吹出部１１ｎを上記のように配置すれば、ワークＳの内方から端縁に向かう方向の流体Ｌによってカールが伸ばされる。つまり、流体ＬによってワークＳの端部を伸ばした状態とすることができる。すると、把持部１２の一対の把持部材１３，１４を閉じた際に、ワークＳの端部を正常な状態で確実に把持することができる。

（流体吹出部１１ｎの配置）
流体吹出部１１ｎは、ワークＳの端部表面に吹き出し口から吹き出された流体Ｌのうち、少なくとも一部の流体ＬがワークＳの内方から端縁（流体吹出部１１ｎに近い端縁）に向かう方向に沿って流れるように設けられていればよい。

例えば、流体吹出部１１ｎの吹き出し口から吹き出された流体Ｌの流れる方向（言い換えれば吹き出し口の軸方向（図１のｎａ））がワークＳの端部表面に対して直交するように流体吹出部１１ｎを配置する。すると、ワークＳの端部表面に当たった流体Ｌは、ワークＳの端部表面に沿って流れるので、一部の流体ＬがワークＳの内方から端縁に向かう方向に沿って流すことができる。

また、流体吹出部１１ｎの吹き出し口から吹き出された流体Ｌが、ワークＳの端部表面と平行な方向かつワークＳの端縁に向かって吹き出すように流体吹出部１１ｎを配置してもよい。つまり、吹き出し口の軸方向がワークＳの端部表面とほぼ平行となるように流体吹出部１１ｎを配置する。すると、ワークＳの端部表面に沿ってワークＳの内方から端縁に向かう流体Ｌの流れを直接形成することができる。

さらに、図１に示すように、流体吹出部１１ｎを、その吹き出し口の軸方向がワークＳの端部表面に対して傾斜するように設けることもできる。このように流体吹出部１１ｎを配置すれば、吹き出し口から吹き出した流体Ｌは、ワークＳの端部表面に衝突すると、ワークＳの端部表面に沿って、主にワークＳの内方から端縁に向かうように流れる。すると、ワークＳの端部表面に対して直交するように流体Ｌが衝突する場合に比べて、流体ＬによるワークＳの端部を伸ばす力を強くできる。しかも、ワークＳを把持部材１４に押しつけるような力も発生する。ワークＳが把持部材１４に押しつけられれば、流体ＬによるワークＳの端部を伸ばす力を有効に働かせることができる。したがって、図１に示すように、流体吹出部１１ｎを、その吹き出し口の軸方向がワークＳの端部表面に対して傾斜するように設ければ、ワークＳの端部がカールしていても、端部を伸ばす効果を高くすることができる。

とくに、図３（Ｂ）に示すように、流体吹出部１１ｎの吹き出し口の軸方向が、ワークＳの端部がカールしたときに、そのカールしている部分に流体Ｌが直接吹き付けられるようにすれば、ワークＳの端部に吹き付けられる流体Ｌの圧力が、そのままカールを伸ばす力になるので、ワークＳの端部を伸ばす効果をより高くすることができる。

流体吹出部１１ｎを、その吹き出し口の軸方向をワークＳの端部表面に対して傾斜させる場合、その角度θ（図１参照）はとくに限定されない。例えば、０〜４５度程度とすることができる。とくに、３０〜４０度とすれば、カールしている部分の内方に流体Ｌを直接吹き付けることができるので、好ましい。

（流体吹出部１１ｎの数）
流体吹出部１１ｎは、一つでもよいし複数設けてもよい。具体的には、複数の流体吹出部１１ｎを、ワークＳの端部端縁に沿って並ぶように配置してもよい。この場合、複数の流体吹出部１１ｎによってワークＳの端部に流体Ｌが吹き付けられるので、ワークＳの端部を伸ばす効果を高くすることができる。

また、複数の流体吹出部１１ｎを設ける場合には、ワークＳを両側から挟むように複数の流体吹出部１１ｎを設けてもよい。つまり、一の流体吹出部１１ｎをワークＳの表面（図３では左側の面）側に設け、他の流体吹出部１１ｎをワークＳの裏面（図３では右側の面）側に設けてもよい。この場合、ワークＳがいずれの方向にカールしていても、流体吹出部１１ｎから吹出される流体ＬによってワークＳの端部を伸ばすことができる。

しかも、一の流体吹出部１１ｎから吹き出された流体ＬによってワークＳが厚さ方向に移動することを、他の流体吹出部１１ｎから吹き出された流体Ｌによって抑えることができる。すると、一の流体吹出部１１ｎから吹き出された流体ＬによってワークＳの内方から端縁に向かう流体Ｌの流れを確実に作り出すことができるので、ワークＳの端部を伸ばす効果を高くすることができる。

（流体吹出部１１ｎについて）
上述した流体吹出部１１ｎは、上記機能を有するものであればよくとくに限定されない。例えば、先端に吹き出し口を備えたノズルを一例として挙げることができるが、単なるパイプ等も使用することができる。

（流体Ｌの吹き出しタイミング）
流体Ｌは、流体吹出部１１ｎから連続的に吹き出すようにしてもよいし、間欠的に吹き出すようにしてもよい。間欠的に吹き出す場合には、例えば、センサなどによって把持部１２が所定の位置に配置されたことを検出すると、流体Ｌを吹き出すようにするなどの方法を採用することができる。

（把持部１２の開閉機構）
把持機構１０は、把持部１２の一対の把持部材１３，１４を開閉させることによって、ワークＳの把持解放を行う。把持部１２の一対の把持部材１３，１４を開閉させる機構は、とくに限定されず、種々の方法を採用することができる。

例えば、シリンダ等のアクチュエータを使用して、所定の位置でアクチュエータを作動させれば、一対の把持部材１３，１４を所定の位置で開閉させることができる。また、上述したように、バネなどによって把持部１２の一対の把持部材１３，１４が常時閉じた状態となるような構成とした場合には、カム機構を使用して、一対の把持部材１３，１４を開閉させてもよい。この場合、機械的に一対の把持部材１３，１４を開くことができるので、一対の把持部材１３，１４を所定の位置で確実に開かせることができる。

本発明のシート状ワークの把持機構は、化学処理を施す化学処理装置などにおいて長尺シート状ワークを把持する機構に適している。

１０ シート状ワークの把持機構
１１ 流体吹出手段
１２ 把持部
１３ 把持部材
１４ 把持部材
１００ 化学処理装置
Ｓ ワーク
Ｌ 流体

Claims (5)

1. シート状の部材における端部を把持する把持機構であって、
   互いに接近離間可能に設けられた一対の把持部材を備えた把持部と、
   該把持部の一対の把持部材における前記シート状の部材の端部を把持する端部同士が離間した際に該端部間に形成される空間に流体を吹き付ける流体吹出部を備えた流体吹出手段と、を備えており、
   該流体吹出手段の流体吹出部は、
   空間に吹き付けた前記流体が前記シート状の部材の内方から端縁に向かう方向に沿って流れるように配置されている
   ことを特徴とするシート状ワークの把持機構。
2. 前記流体吹出手段の流体吹出部は、
   流体を吹き出す吹き出し口の軸方向が、前記シート状の部材の表面に対して傾斜するように設けられている
   ことを特徴とする請求項１記載のシート状ワークの把持機構。
3. 前記流体吹出手段は、
   前記流体吹出部を複数備えており、
   該複数の流体吹出部は、
   前記シート状の部材における端部端縁に沿って並んで配置されている
   ことを特徴とする請求項１または２記載のシート状ワークの把持機構。
4. シート状の部材の端部を保持して搬送しながら該部材の化学処理を行う装置であって、
   該装置が、
   シート状の部材の端部を保持する、請求項１、２または３のシート状ワークの把持機構を備えている
   ことを特徴とする化学処理装置。
5. シート状の部材に把持部を通して通電しながら処理を行う装置である
   ことを特徴とする請求項４記載の化学処理装置。

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