JP6236846B2 - Semiconductor memory device and reading method thereof - Google Patents
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Description
本発明は、半導体記憶装置及びその読み出し方法に関する。 The present invention relates to a semiconductor memory device and a reading method thereof.
半導体記憶装置の大容量化・低電力化の要求に伴い、素子の微細化が進展している。しかしながら、近年のスケーリングの進展により、トランジスタの特性ばらつきが増大してSRAMの動作マージンが低下し、安定して高速に読み出しを行うことが困難になっている。 With the demand for larger capacity and lower power consumption of semiconductor memory devices, miniaturization of elements is progressing. However, with the recent progress of scaling, the variation in transistor characteristics increases and the operation margin of the SRAM decreases, making it difficult to read stably and at high speed.
例えば、SRAMのシングルエンド読み出しでは、選択メモリセルのトランジスタによってビット線の電荷を引き抜くことで読み出しを行うが、トランジスタの特性ばらつきが大きくなると読み出しのためのマージンを広げる必要があり、高速読み出しが困難になる。 For example, in single-ended reading of SRAM, reading is performed by extracting the charge of the bit line by the transistor of the selected memory cell. However, when the characteristics of the transistor become large, it is necessary to widen the margin for reading, and high-speed reading is difficult. become.
本発明の目的は、SRAMのシングルエンド読み出しを高速且つ安定して行うことができる半導体記憶装置の構造及び半導体記憶装置の読み出し方法を提供することにある。 An object of the present invention is to provide a structure of a semiconductor memory device and a method for reading the semiconductor memory device, which can perform single-ended reading of an SRAM at high speed and stably.
実施形態の一観点によれば、第1のビット線と、前記第1のビット線と対をなす第2のビット線と、前記第1のビット線及び前記第2のビット線に接続されたメモリセルと、前記第1のビット線にドレイン電極が接続され、前記第2のビット線にゲート電極が接続された第1のN型トランジスタと、前記第1のN型トランジスタのソース電極にドレイン電極が接続され、高電位側電源ノードにゲート電極が接続された第2のN型トランジスタと、前記第2のN型トランジスタのソース電極に接続され、読み出し用のカラム選択信号に応じて前記第2のN型トランジスタの前記ソース電極に低電位側電源電圧を印加する制御回路とを有する半導体記憶装置が提供される。 According to one aspect of the embodiment, the first bit line, the second bit line paired with the first bit line, and the first bit line and the second bit line are connected. A memory cell, a first N-type transistor having a drain electrode connected to the first bit line and a gate electrode connected to the second bit line, and a drain connected to a source electrode of the first N-type transistor A second N-type transistor having an electrode connected and a gate electrode connected to a high-potential-side power supply node; and a source electrode of the second N-type transistor; There is provided a semiconductor memory device having a control circuit for applying a low-potential-side power supply voltage to the source electrode of two N-type transistors.
また、実施形態の他の観点によれば、第1のビット線と、前記第1のビット線と対をなす第2のビット線と、前記第1のビット線及び前記第2のビット線に接続されたメモリセルと、前記第1のビット線にドレイン電極が接続され、前記第2のビット線にゲート電極が接続された第1のN型トランジスタと、前記第1のN型トランジスタのソース電極にドレイン電極が接続され、高電位側電源ノードにゲート電極が接続された第2のN型トランジスタとを有する半導体記憶装置の読み出し方法であって、前記メモリセルの前記第1のビット線側のストレージノードに記憶された情報を前記第1のビット線に読み出す際に、読み出し用のカラム選択信号に応じて、前記第2のN型トランジスタのソース電極に低電位側電源電圧を印加する半導体記憶装置の読み出し方法が提供される。 According to another aspect of the embodiment, the first bit line, the second bit line paired with the first bit line, the first bit line, and the second bit line A connected memory cell; a first N-type transistor having a drain electrode connected to the first bit line; and a gate electrode connected to the second bit line; and a source of the first N-type transistor A read method for a semiconductor memory device, comprising: a second N-type transistor having a drain electrode connected to an electrode and a gate electrode connected to a high-potential side power supply node, wherein the memory cell includes a first bit line side A semiconductor that applies a low-potential-side power supply voltage to the source electrode of the second N-type transistor in accordance with a column selection signal for reading when information stored in the storage node is read out to the first bit line Method of reading 憶 device is provided.
開示の半導体記憶装置及びその読み出し方法によれば、半導体記憶装置の読み出し動作を高速且つ安定して行うことができる。 According to the disclosed semiconductor memory device and the reading method thereof, the reading operation of the semiconductor memory device can be performed at high speed and stably.
一実施形態による半導体記憶装置及びその読み出し方法について図1乃至図11を用いて説明する。 A semiconductor memory device and a reading method thereof according to an embodiment will be described with reference to FIGS.
図1は、本実施形態による半導体記憶装置の構造を示す回路図である。図2は、本実施形態による半導体記憶装置のメモリセルの構造を示す回路図である。図3は、本実施形態による半導体記憶装置のダミーメモリセルの構造を示す回路図である。図4は、本実施形態による半導体記憶装置の駆動方法を示す回路図である。図5及び図6は、本実施形態による半導体記憶装置の読み出し方法を示すタイミングチャートである。図7は、本実施形態による半導体記憶装置の読み出し方法の効果を示すタイミングチャートである。図8は、本実施形態による半導体記憶装置の読み出し動作を検証するためのシミュレーションに用いた回路モデルを示す回路図である。図9及び図10は、半導体記憶装置の読み出し動作のシミュレーション結果を示すタイミングチャートである。図11は、半導体記憶装置の読み出し動作のシミュレーション結果を示すグラフである。 FIG. 1 is a circuit diagram showing the structure of the semiconductor memory device according to the present embodiment. FIG. 2 is a circuit diagram showing the structure of the memory cell of the semiconductor memory device according to the present embodiment. FIG. 3 is a circuit diagram showing the structure of the dummy memory cell of the semiconductor memory device according to the present embodiment. FIG. 4 is a circuit diagram illustrating the method for driving the semiconductor memory device according to the present embodiment. 5 and 6 are timing charts showing the read method of the semiconductor memory device according to the present embodiment. FIG. 7 is a timing chart showing the effect of the reading method of the semiconductor memory device according to the present embodiment. FIG. 8 is a circuit diagram showing a circuit model used for the simulation for verifying the read operation of the semiconductor memory device according to the present embodiment. 9 and 10 are timing charts showing simulation results of the read operation of the semiconductor memory device. FIG. 11 is a graph showing a simulation result of the read operation of the semiconductor memory device.
はじめに、本実施形態による半導体記憶装置の構造について図1乃至図3を用いて説明する。 First, the structure of the semiconductor memory device according to the present embodiment will be explained with reference to FIGS.
本実施形態による半導体記憶装置は、図1に示すように、列方向(図面において縦方向)に隣接して配置されたメモリセルアレイブロック10A,10Bを有している。メモリセルアレイブロック10A,10B内には、列方向及び行方向(図面において横方向)にマトリクス状に配置された複数のメモリセルMCが設けられている。マトリクス状に配置されたメモリセルMCの外周部には、ダミーメモリセルDCが設けられている。
As shown in FIG. 1, the semiconductor memory device according to the present embodiment has memory
メモリセルアレイブロック10A,10Bには、それぞれ、行方向に延在する複数のワード線WLと、列方向に延在する複数のビット線BLとが設けられている。メモリセルアレイブロック10Aには、列方向に隣接して配置された例えばm本のワード線WLA0〜WLAmと、行方向に隣接して配置された例えばn組のビット線対BLA0,/BLA0〜BLAn,/BLAnとが設けられている。また、メモリセルアレイブロック10Bには、列方向に隣接して配置された例えばm本のワード線WLB0〜WLBmと、行方向に隣接して配置された例えばn組のビット線対BLB0,/BLB0〜BLBn,/BLBnとが設けられている。
Each of the memory cell array blocks 10A and 10B is provided with a plurality of word lines WL extending in the row direction and a plurality of bit lines BL extending in the column direction. In the memory
メモリセルMCは、ワード線WLとビット線対BL,/BLとの各交差部に、それぞれ設けられている。また、ダミーメモリセルDCは、列方向に並ぶメモリセルMCに隣接して、ビット線対BL,/BL間の領域に、それぞれ設けられている。 The memory cell MC is provided at each intersection of the word line WL and the bit line pair BL, / BL. Further, the dummy memory cells DC are respectively provided in the regions between the bit line pairs BL and / BL adjacent to the memory cells MC arranged in the column direction.
ワード線WLA0〜WLAm,WLB0〜WLBmの一端部には、行選択回路12が接続されている。各ビット線対BLA0,/BLA0〜BLAn,/BLAnと、各ビット線対BLB0,/BLB0〜BLBn,/BLBnとの間には、書き込み/読み出し回路140〜14nが、それぞれ接続されている。書き込み/読み出し回路140〜14nには、書き込み/読み出し制御回路16が接続されている。
A
メモリセルMCは、例えば図2に示すようなフルCMOS SRAMセルである。メモリセルMCは、高電位側電源ノードVHとストレージノードであるノードmcとの間に接続されたP型トランジスタPQ1と、ノードmcと低電位側電源ノードVLとの間に接続されたN型トランジスタNQ1とを有している。また、高電位側電源ノードVHとストレージノードであるノードmcxとの間に接続されたP型トランジスタPQ2と、ノードmcxと低電位側電源ノードVLとの間に接続されたN型トランジスタNQ2とを有している。P型トランジスタPQ1のゲート電極及びN型トランジスタNQ1のゲート電極は、ノードmcxに接続されている。P型トランジスタPQ2のゲート電極及びN型トランジスタNQ2のゲート電極は、ノードmcに接続されている。ノードmcは、N型トランジスタNQ3を介してビット線BLに接続されている。ノードmcxは、N型トランジスタNQ4を介してビット線/BLに接続されている。N型トランジスタNQ3,NQ4のゲート電極は、ワード線WLに接続されている。 The memory cell MC is, for example, a full CMOS SRAM cell as shown in FIG. Memory cell MC includes a P-type transistor PQ1 connected between high-potential-side power supply node VH and a node mc that is a storage node, and an N-type transistor connected between node mc and low-potential-side power supply node VL. NQ1. Further, a P-type transistor PQ2 connected between the high potential side power supply node VH and the node mcx which is a storage node, and an N type transistor NQ2 connected between the node mcx and the low potential side power supply node VL are provided. Have. The gate electrode of the P-type transistor PQ1 and the gate electrode of the N-type transistor NQ1 are connected to the node mcx. The gate electrode of the P-type transistor PQ2 and the gate electrode of the N-type transistor NQ2 are connected to the node mc. Node mc is connected to bit line BL via N-type transistor NQ3. Node mcx is connected to bit line / BL via N-type transistor NQ4. The gate electrodes of N-type transistors NQ3 and NQ4 are connected to word line WL.
N型トランジスタNQ1及びP型トランジスタPQ1、N型トランジスタNQ2及びP型トランジスタPQ2は、それぞれがCMOSインバータを構成する。これらCMOSインバータの入力及び出力が交差接続されてフリップフロップを構成し、ノードmc、mcxには互いに相補なデータが保持される。 N-type transistor NQ1 and P-type transistor PQ1, N-type transistor NQ2 and P-type transistor PQ2 each constitute a CMOS inverter. The inputs and outputs of these CMOS inverters are cross-connected to form a flip-flop, and complementary data are held at nodes mc and mcx.
ダミーメモリセルDCは、メモリセルMCの形状均一性を高めるためにメモリセルアレイの周囲に配置されるものであり、基本的には、図2に示すメモリセルMCと同様の6つのトランジスタにより構成される。ただし、本実施形態による半導体記憶装置では、ダミーメモリセルDCを読み出しの際の補助素子として用いるために、一部の接続を変更している。 The dummy memory cell DC is arranged around the memory cell array in order to improve the shape uniformity of the memory cell MC, and basically includes six transistors similar to the memory cell MC shown in FIG. The However, in the semiconductor memory device according to the present embodiment, a part of the connection is changed in order to use the dummy memory cell DC as an auxiliary element at the time of reading.
すなわち、図3に示すように、P型トランジスタPQ1D及びN型トランジスタNQ1Dのゲート電極は、ノードdmcxに接続されているだけではなく、高電位側電源ノードVHにも接続されている。また、ビット線/BLは、N型トランジスタNQ4Dのドレイン電極には接続されておらず、ダミーワード線DWLに接続されている。また、N型トランジスタNQ1D,NQ2Dの接続ノードであるノードn1は、低電位側電源ノードVLではなく、書き込み/読み出し回路14に接続されている。N型トランジスタNQ1D,NQ2Dのソース端子には、読み出し動作の際、書き込み/読み出し制御回路16から所定の制御信号が入力される。なお、ダミーワード線DWLは、メモリセルMCのワード線WLに対応する配線であるため本願明細書では便宜上そのように呼ぶが、ダミーメモリセルDCのそれぞれにおいて独立しており、行方向に並ぶダミーメモリセルDCを共通接続するものではない。
That is, as shown in FIG. 3, the gate electrodes of the P-type transistor PQ1 D and the N-type transistor NQ1 D are not only connected to the node dmcx but also connected to the high potential side power supply node VH. The bit line / BL, the drain electrode of the N-type transistor NQ4 D not connected, are connected to the dummy word line DWL. Further, the node n1 which is a connection node of the N-type transistors NQ1 D and NQ2 D is connected to the write / read circuit 14 instead of the low potential side power supply node VL. A predetermined control signal is input from the write /
次に、本実施形態による半導体記憶装置の駆動方法について図1乃至図7を用いて説明する。 Next, the method for driving the semiconductor memory device according to the present embodiment will be explained with reference to FIGS.
ここでは、図1の半導体記憶装置において、ワード線WLA0及びビット線対BLA0,/BLA0に接続されたメモリセルMCに対して書き込み及び読み出しを行う場合を例にして説明するが、他のメモリセルMCを読み出す場合も同様である。 Here, in the semiconductor memory device of FIG. 1, a case where writing and reading are performed on the memory cell MC connected to the word line WL A0 and the bit line pair BL A0 and / BL A0 will be described as an example. The same applies when reading the memory cell MC.
図4は、書き込み/読み出し対象のメモリセルMCとこれに接続されるダミーメモリセルDC及び書き込み/読み出し回路14Aの主要部分の一例を示す回路図である。 FIG. 4 is a circuit diagram showing an example of a main part of the memory cell MC to be written / read, the dummy memory cell DC connected thereto, and the write / read circuit 14A.
ビット線BLA0と高電位側電源ノードVHとの間には、P型トランジスタPQ3が接続されている。また、ビット線/BLA0と高電位側電源ノードVHとの間には、P型トランジスタPQ4が接続されている。ビット線BLA0とビット線/BLA0との間には、P型トランジスタPQ4が接続されている。P型トランジスタPQ3,PQ4,PQ5のゲート電極は、NANDゲートNAG1の出力端子に接続されている。 A P-type transistor PQ3 is connected between the bit line BLA0 and the high potential side power supply node VH. A P-type transistor PQ4 is connected between the bit line / BL A0 and the high potential side power supply node VH. A P-type transistor PQ4 is connected between the bit line BL A0 and the bit line / BL A0 . The gate electrodes of the P-type transistors PQ3, PQ4, and PQ5 are connected to the output terminal of the NAND gate NAG1.
ビット線BLA0には、N型トランジスタNQ5が接続されている。また、ビット線/BLA0には、N型トランジスタNQ6が接続されている。N型トランジスタNQ5,NQ6のゲート電極には、NOTゲートNG3の出力端子が接続されている。 An N-type transistor NQ5 is connected to the bit line BL A0 . An N-type transistor NQ6 is connected to the bit line / BL A0 . The output terminal of the NOT gate NG3 is connected to the gate electrodes of the N-type transistors NQ5 and NQ6.
NANDゲートNAG1の入力端子には、NOTゲートNG1,NG2の出力端子が接続されている。NOTゲートNG1の出力端子は、また、遅延回路18を介して、ダミーメモリセルDCのノードn1に接続されている。NOTゲートNG2の出力端子は、また、NOTゲートNG3の入力端子に接続されている。
The output terminals of the NOT gates NG1 and NG2 are connected to the input terminal of the NAND gate NAG1. The output terminal of the NOT gate NG1 is also connected to the node n1 of the dummy memory cell DC via the
ビット線BLA0及びビット線BLB0は、NANDゲートNAG2の入力端子に接続されている。NANDゲートNAG2の出力端子は、グローバルビット線GBLと低電位側電源ノードとの間に接続されたN型トランジスタNQ7のゲート電極に接続されている。グローバルビット線GBLと高電位側電源ノードVHとの間には、P型トランジスタPQ6が接続されている。 The bit line BL A0 and the bit line BL B0 are connected to the input terminal of the NAND gate NAG2. The output terminal of the NAND gate NAG2 is connected to the gate electrode of the N-type transistor NQ7 connected between the global bit line GBL and the low potential side power supply node. A P-type transistor PQ6 is connected between the global bit line GBL and the high potential side power supply node VH.
なお、上述の書き込み/読み出し回路14の回路構成は、本実施形態に記載のものに限定されるものではない。 Note that the circuit configuration of the write / read circuit 14 described above is not limited to that described in this embodiment.
まず、メモリセルMCへのデータの書き込み方法について説明する。 First, a method for writing data to the memory cell MC will be described.
メモリセルMCへの書き込みの際には、行選択回路12により、書き込み対象のメモリセルMCに接続されたワード線WLA0をハイレベルとし、他のワード線WLをローレベルとする。これにより、メモリセルMCの選択トランジスタNQ3,NQ4がオンとなり、書き込み対象のメモリセルMCのノードmcはビット線BLA0に接続され、ノードmcxはビット線/BLA0に接続される。
When writing to the memory cell MC, the
また、書き込み/読み出し制御回路16から書き込み/読み出し回路14Aに、ハイレベルのカラム選択信号colwが出力される。これにより、NOTゲートNG2,NG3を介してN型トランジスタNQ5,NQ6のゲート電極にはハイレベルが印加され、NOTゲートNG2,NG3がオン状態となる。
Further, from the write /
この状態で、N型トランジスタNQ5,NQ6のソース端子に相補的な書き込みデータwd、wdxをそれぞれ出力することにより、メモセルMCのノードmc,mcxに、所望の相補的なデータを書き込むことができる。 In this state, by outputting complementary write data wd and wdx to the source terminals of the N-type transistors NQ5 and NQ6, desired complementary data can be written to the nodes mc and mcx of the memory cell MC.
次に、メモリセルMCからのデータの読み出し方法について説明する。 Next, a method for reading data from the memory cell MC will be described.
待機状態(時間T0)において、ワード線WLA0はローレベルであり、メモリセルMCの選択トランジスタNQ3,NQ4は、オフ状態になっている。 In the standby state (time T0), the word line WL A0 is at the low level, and the select transistors NQ3 and NQ4 of the memory cell MC are in the off state.
また、読み出し用のカラム選択信号colr及び書き込み用のカラム選択信号colwはローレベルであり、NANDゲートNAG1の出力信号の出力信号はローレベルになっている。これにより、P型トランジスタPQ3,PQ4,PQ5はオン状態であり、ビット線BLA0,/BLA0は、ハイレベルとなっている。同様に、ビット線BLB0もハイレベルとなっており、NANDゲートNAG2の出力信号はローレベルになっている。 Further, the read column selection signal colr and the write column selection signal colw are at the low level, and the output signal of the output signal of the NAND gate NAG1 is at the low level. As a result, the P-type transistors PQ3, PQ4, and PQ5 are in the on state, and the bit lines BL A0 and / BL A0 are at the high level. Similarly, the bit line BL B0 is also at a high level, and the output signal of the NAND gate NAG2 is at a low level.
また、NOTゲートNG3の出力信号はローレベルであり、N型トランジスタNQ5,NQ6はオフ状態になっている。 Further, the output signal of the NOT gate NG3 is at a low level, and the N-type transistors NQ5 and NQ6 are in the off state.
また、ダミーメモリセルDCのノードn1には、遅延回路18を介してNOTゲートNG1の出力であるハイレベルの信号が印加されている。これにより、ダミーメモリセルDCのノードdmc、dmcxは、ハイレベルになっている。
Further, a high level signal, which is the output of the NOT gate NG1, is applied to the node n1 of the dummy memory cell DC via the
読み出し動作の開始時(時間T1)には、選択ワード線WLA0に、ハイレベルの電圧が印加される。これにより、メモリセルMCの選択トランジスタNQ3,NQ4がオン状態になる。 At the start of the read operation (time T1), a high level voltage is applied to the selected word line WL A0 . As a result, the select transistors NQ3 and NQ4 of the memory cell MC are turned on.
同時に、読み出し用のカラム選択信号colrを、ローレベルからハイレベルに立ち上げる。書き込み用のカラム選択信号colwはローレベルのままである。これにより、NANDゲートNAG1の出力信号がローレベルからハイレベルに立ち上がり、P型トランジスタPQ3,PQ4,PQ5がオフ状態となり、ビット線BL,/BLが高電位側電源ノードから切り離される。 At the same time, the column selection signal colr for reading is raised from the low level to the high level. The column selection signal colw for writing remains at a low level. As a result, the output signal of the NAND gate NAG1 rises from the low level to the high level, the P-type transistors PQ3, PQ4, PQ5 are turned off, and the bit lines BL, / BL are disconnected from the high potential side power supply node.
メモリセルMCのノードmcがローレベルでノードmcxがハイレベルの場合、ビット線BLA0はN型トランジスタNQ3,NQ1を介して低電位側電源ノードVLに接続される。これにより、ビット線BLA0の電荷が低電位側電源ノードVL方向に徐々に引き抜かれ、最終的にビット線BLA0はローレベルとなる。 When the node mc of the memory cell MC is at the low level and the node mcx is at the high level, the bit line BL A0 is connected to the low potential side power supply node VL via the N-type transistors NQ3 and NQ1. As a result, the charge of the bit line BL A0 is gradually extracted in the direction of the low potential side power supply node VL, and finally the bit line BL A0 becomes low level.
ビット線BLA0がローレベルになると、NANDゲートNAG2の出力信号がハイレベルとなってN型トランジスタNQ7がオン状態となり、グローバルビット線GBLがN型トランジスタNQ7を介して低電位側電源ノードVLに接続される。これにより、グローバルビット線GBLがローレベルとなる。 When the bit line BL A0 becomes low level, the output signal of the NAND gate NAG2 becomes high level, the N-type transistor NQ7 is turned on, and the global bit line GBL is connected to the low potential side power supply node VL via the N-type transistor NQ7. Connected. As a result, the global bit line GBL becomes low level.
一方、メモリセルMCのノードmcがハイレベルでノードmcxがローレベルの場合、ビット線BLA0からの電荷移動は起こらず、ビット線BLA0はハイレベルのまま維持される。ビット線BLA0がハイレベルの場合、NANDゲートNAG2の出力信号はローレベルのままであり、グローバルビット線GBLはハイレベルのまま維持される。 On the other hand, when the node mc of the memory cell MC is at the high level and the node mcx is at the low level, charge transfer from the bit line BL A0 does not occur, and the bit line BL A0 is maintained at the high level. When the bit line BL A0 is at the high level, the output signal of the NAND gate NAG2 remains at the low level, and the global bit line GBL is maintained at the high level.
したがって、グローバルビット線GBLの電圧レベルを検出すことにより、メモリセルMCに記憶された情報を読み出すことができる。 Therefore, information stored in the memory cell MC can be read by detecting the voltage level of the global bit line GBL.
以上の読み出し方法は、典型的なシングルエンド読み出し方法と同様であるが、本実施形態による半導体記憶装置の読み出し方法では、ダミーメモリセルDCを更に利用することで、読み出し速度の高速化とばらつきの低減を可能にしている。 The read method described above is the same as the typical single-ended read method. However, in the read method of the semiconductor memory device according to the present embodiment, the dummy memory cell DC is further used to increase the read speed and reduce the variation. Reduction is possible.
すなわち、本実施形態による半導体記憶装置では、ダミーメモリセルDCのノードn1に、NOTゲートNG1の出力信号を遅延回路18を介して入力している(制御信号dcol)。これにより、ダミーメモリセルDCのノードn1の電位(制御信号dcol)は、読み出し用のカラム選択信号colrの立ち上がり時から遅延回路18により規定される所定時間の後(時間T2)に、ハイレベルからローレベルへと立ち下がる。
That is, in the semiconductor memory device according to the present embodiment, the output signal of the NOT gate NG1 is input to the node n1 of the dummy memory cell DC via the delay circuit 18 (control signal dcol). As a result, the potential (control signal dcol) of the node n1 of the dummy memory cell DC is changed from a high level after a predetermined time (time T2) defined by the
メモリセルMCのノードmcがローレベルでノードmcxがハイレベルの場合(図5参照)、ビット線/BLA0はハイレベルのまま維持され、ダミーワード線DWLA0にはハイレベルが印加される。ダミーワード線DWLA0がハイレベルになると、ビット線BLA0はN型トランジスタNQ3D,NQ1Dを介してローレベルであるノードn1に接続される。これにより、ビット線BLA0の電荷は、N型トランジスタNQ3D,NQ1Dを介してノードn1方向へも徐々に引き抜かれる。 When the node mc of the memory cell MC is at the low level and the node mcx is at the high level (see FIG. 5), the bit line / BL A0 is maintained at the high level, and the high level is applied to the dummy word line DWL A0 . When the dummy word line DWL A0 is at the high level, the bit line BL A0 is connected to the node n1 at the low level via the N-type transistors NQ3 D and NQ1 D. As a result, the charge on the bit line BL A0 is gradually extracted in the direction of the node n1 via the N-type transistors NQ3 D and NQ1 D.
すなわち、ビット線BLA0の電荷は、時間T2後は、メモリセルMCのN型トランジスタNQ3,NQ1を介して引き抜かれるとともに、ダミーメモリセルのN型トランジスタNQ3D,NQ1Dを介しても引き抜かれる。これにより、ビット線BLA0からの電荷の引き抜き速度を高めることができる。 That is, after the time T2, the charge of the bit line BL A0 is extracted through the N-type transistors NQ3 and NQ1 of the memory cell MC and also extracted through the N-type transistors NQ3 D and NQ1 D of the dummy memory cell. . Thereby, the speed of extracting charges from the bit line BL A0 can be increased.
一方、メモリセルMCのノードmcがハイレベルでノードmcxがローレベルの場合(図6参照)、制御信号dcolがローレベルに立ち下がることによって、N型トランジスタNQ1Dがオン状態となり、ビット線BLA0とノードn1との間に電流経路が形成される。しかしながら、制御信号dcolに、カラム選択信号colrに対して遅延時間(第1の時間)を持たせることにより、N型トランジスタNQ1Dは、ビット線/BLA0がその時間分(時間T1〜T2の間)だけ放電した後にオン状態となる。N型トランジスタNQ1Dがオン状態になったとき(時間T2)、ビット線/BLA0の電圧レベル、すなわちダミーワード線DWLA0の電圧レベルもある程度低下しており、N型トランジスタNQ3Dのオン電流も小さくなっている。これにより、N型トランジスタNQ3D,NQ1Dを介したビット線BLA0からの電荷の引き抜きが抑制され、ビット線BLA0をほぼハイレベルのまま維持することができる(時間T2〜T3の間)。すなわち、ダミーメモリセルDCを用いたリードアシストによる悪影響はない。 On the other hand, if the node node mc of the memory cell MC is high level mcx is low (see FIG. 6), the control signal dcol is by falls to the low level, N-type transistors NQ1 D is turned on, the bit lines BL A current path is formed between A0 and node n1. However, by giving the control signal dcol a delay time (first time) with respect to the column selection signal colr, the N-type transistor NQ1 D has the bit line / BL A0 corresponding to the time (time T1 to T2). The battery is turned on after discharging only for a while. When N-type transistor NQ1 D is turned on (time T2), the voltage level of bit line / BL A0 , that is, the voltage level of dummy word line DWL A0 is also lowered to some extent, and the on-current of N-type transistor NQ3 D Is also getting smaller. As a result, the extraction of charges from the bit line BL A0 via the N-type transistors NQ3 D and NQ1 D is suppressed, and the bit line BL A0 can be maintained at a substantially high level (between times T2 and T3). . That is, there is no adverse effect due to read assist using the dummy memory cell DC.
遅延回路18に設定する遅延時間は、メモリセルMCのノードmcがハイレベルでノードmcxがローレベルの場合にビット線BLA0からの電荷の引き抜きが効果的に抑制されるように、セルを構成するトランジスタの特性等に応じて適宜設定することが望ましい。遅延回路18に設定する遅延時間としては、特に限定されるものではないが、ビット線/BLA0の電圧がVDDから1/2VDDに低下するまでに要する時間を例示することができる。
The delay time set in the
この後、ワード線WLA0及び読み出し用のカラム選択信号colrをローレベルに戻し、読み出し動作を完了する(時間T3)。カラム選択信号colrの立ち下がり時から遅延回路18により規定される所定時間の後、制御信号dcolはローレベルからハイレベルに戻り、待機状態となる(時間T4)。
Thereafter, the word line WL A0 and the column selection signal for reading colr are returned to the low level, and the read operation is completed (time T3). After a predetermined time defined by the
典型的なシングルエンド読み出し方法のように、読み出し動作の際に、ダミーメモリセルDCを用いずに、メモリセルMCのみでビット線BLA0の電荷を引き抜く場合、ビット線BLA0の電圧変化は、例えば図7(a)に示すようになる。この場合、ビット線BLAからの電荷の引き抜き速度は遅く、ビット線BLA0の電位がローレベルに達するまでの時間は長い。また、ビット線BLA0の電位がローレベルに達するまでの時間は、トランジスタ特性のばらつきに大きく影響され、ばらつきも大きくなる。なお、図中に示した点線は、トランジスタ特性のばらつき範囲を想定したものである。 When the charge of the bit line BL A0 is extracted only by the memory cell MC without using the dummy memory cell DC during the read operation as in a typical single-ended read method, the voltage change of the bit line BL A0 is For example, as shown in FIG. In this case, the rate of extracting charges from the bit line BL A is slow, and the time until the potential of the bit line BL A0 reaches a low level is long. Further, the time until the potential of the bit line BL A0 reaches the low level is greatly affected by the variation in transistor characteristics, and the variation also increases. The dotted line shown in the figure assumes a variation range of transistor characteristics.
これに対し、メモリセルMC及びダミーメモリセルDCによりビット線BLA0の電荷を引き抜く本実施形態による半導体記憶装置の読み出し方法では、ビット線BLA0の電圧変化は、例えば図7(b)に示すようになる。この場合、ビット線BLAからの電荷の引き抜き速度が速くなり、ビット線BLA0の電位がローレベルに達するまでの時間を短くすることができる。 In contrast, in the reading method of a semiconductor memory device according to the present embodiment by the memory cells MC and dummy memory cell DC remove charge of the bit line BL A0, voltage change of the bit line BL A0, for example shown in FIG. 7 (b) It becomes like this. In this case, the rate at which charges are extracted from the bit line BL A is increased, and the time until the potential of the bit line BL A0 reaches a low level can be shortened.
また、メモリセルMC及びダミーメモリセルDCを用いることでばらつきの影響が平均化されるため、ビット線BLA0の電位がローレベルに達するまでの時間のばらつきも、大幅に低減することができる。これにより、読み出し保証範囲を高速側に絞りパルス幅を短くすることが可能となり、サイクルタイムを短くすることができる。 In addition, since the influence of variation is averaged by using the memory cell MC and the dummy memory cell DC, variation in time until the potential of the bit line BLA0 reaches a low level can be significantly reduced. As a result, it is possible to shorten the aperture pulse width in the read guarantee range to the high speed side, and the cycle time can be shortened.
また、ダミーメモリセルDCは、メモリセルMCの形状均一性を高めるためにメモリセルアレイの周囲に配置されたものであり、通常は使用されないものである。したがって、ダミーメモリセルDCを用いて読み出し回路を構成しても、周辺回路面積が増加することはない。これにより、新たにアシスト回路を付加して読み出し特性を改善する場合と比較して、回路面積の増加を抑制することができる。 The dummy memory cells DC are arranged around the memory cell array in order to improve the shape uniformity of the memory cells MC, and are not normally used. Therefore, even if the read circuit is configured using the dummy memory cell DC, the peripheral circuit area does not increase. Thereby, an increase in circuit area can be suppressed as compared with the case where a new assist circuit is added to improve the readout characteristics.
次に、本実施形態による半導体記憶装置の読み出し方法の効果についてシミュレーションを行った結果を図8乃至図10を用いて説明する。 Next, the results of simulation of the effect of the reading method of the semiconductor memory device according to the present embodiment will be explained with reference to FIGS.
図8は、シミュレーションに用いた回路モデルである。図8の回路は、図4に示す回路とは読み出し回路の構成が若干異なるが、基本的な動作は同じである。なお、シミュレーションでは、比較として、ダミーメモリセルDCを用いない場合についても計算を行った。 FIG. 8 shows a circuit model used for the simulation. The circuit in FIG. 8 is slightly different from the circuit shown in FIG. 4 in the configuration of the readout circuit, but the basic operation is the same. In the simulation, for comparison, the calculation was also performed when the dummy memory cell DC was not used.
読み出し動作の際、NANDゲートNAG3の出力はローレベルとなり、P型トランジスタPQ8がオン、N型トランジスタNQ8はオフとなる。読み出したビット線BLA0の電位がローレベルの場合、P型トランジスタPQ7はオンとなり、グローバルビット線GBLはローレベルとなる。一方、読み出したビット線BLA0の電位がハイレベルの場合、P型トランジスタPQ7はオフとなり、グローバルビット線GBLはハイレベルを維持する。 During the read operation, the output of the NAND gate NAG3 becomes low level, the P-type transistor PQ8 is turned on, and the N-type transistor NQ8 is turned off. When the read potential of the bit line BL A0 is at a low level, the P-type transistor PQ7 is turned on and the global bit line GBL is at a low level. On the other hand, when the read potential of the bit line BL A0 is at a high level, the P-type transistor PQ7 is turned off and the global bit line GBL is maintained at a high level.
制御信号OENは、待機状態においてハイレベルである。グローバルビット線GBLがハイレベルにプリチャージされた状態において、ノードn2はローレベルである。読み出し動作の際に制御信号OENはローレベルになる。制御信号OENがローレベルになると、ノードn2がローレベルのまま、N型トランジスタNQ9はオフとなる。 The control signal OEN is at a high level in the standby state. In a state where the global bit line GBL is precharged to a high level, the node n2 is at a low level. During the read operation, the control signal OEN becomes low level. When the control signal OEN becomes low level, the node n2 remains at low level and the N-type transistor NQ9 is turned off.
グローバルビット線GBLに読み出されたビット線BLA0の電位がハイレベルの場合、P型トランジスタはオフ状態のままであり、ノードn2のレベルは変化せず、出力Aはハイレベルとなる。すなわち、ビット線BLA0のハイレベルの状態を出力Aに読み出すことができる。 When the potential of the bit line BL A0 read to the global bit line GBL is at a high level, the P-type transistor remains in an off state, the level of the node n2 does not change, and the output A becomes a high level. That is, the high level state of the bit line BL A0 can be read to the output A.
一方、グローバルビット線GBLに読み出されたビット線BLA0の電位がローレベルの場合、P型トランジスタはオン、ノードn2はハイレベルとなり、出力Aはローレベルとなる。すなわち、ビット線BLA0のローレベルの状態を出力Aに読み出すことができる。 On the other hand, when the potential of the bit line BL A0 read to the global bit line GBL is low level, the P-type transistor is on, the node n2 is high level, and the output A is low level. That is, the low level state of the bit line BL A0 can be read to the output A.
図9は、ノードmcがローレベルでありノードmcxがハイレベルの場合(ローデータの読み出し)のシミュレーション結果を示すタイムチャートである。また、図10は、ノードmcがハイレベルでありノードmcxがローレベルの場合(ハイデータの読み出し)のシミュレーション結果を示すタイムチャートである。 FIG. 9 is a time chart showing simulation results when the node mc is at a low level and the node mcx is at a high level (reading of low data). FIG. 10 is a time chart showing simulation results when the node mc is at the high level and the node mcx is at the low level (high data reading).
ローデータの読み出しの場合、本実施形態の読み出し方法(図中、「emb.」と記載)では、比較例の読み出し方法(図中、「ref.」と記載)と比較して、ビット線BLの電位がハイレベルからローレベルに立ち下がる速度が速くなっている(図9参照)。この結果、本実施形態の読み出し方法では、比較例の読み出し方法と比較して、出力Aがハイレベルからローレベルに変化するまでの時間を短くできることが判った。すなわち、本実施形態による読み出し方法を用いることにより、読み出し速度を高速化できることを検証できた。図9に示すシミュレーション結果では、本実施形態の読み出し方法を用いることにより、比較例の読み出し方法と比較して67.8ps程度、読み出し速度を高速化できた(図中、×印間の時間を比較)。 In the case of reading raw data, the read method according to the present embodiment (described as “emb.” In the drawing) is compared with the read method according to the comparative example (described as “ref.” In the drawing). The speed at which the potential falls from the high level to the low level is high (see FIG. 9). As a result, it was found that the time required for the output A to change from the high level to the low level can be shortened in the reading method of the present embodiment as compared with the reading method of the comparative example. That is, it was verified that the reading speed can be increased by using the reading method according to the present embodiment. In the simulation result shown in FIG. 9, by using the reading method of the present embodiment, the reading speed can be increased by about 67.8 ps as compared with the reading method of the comparative example (the time between the x marks in the figure). Comparison).
また、ハイデータの読み出しの場合、本実施形態の読み出し方法(図中、「emb.」と記載)を用いることによるビット線BLの電位を僅かに抑えることができ、比較例の読み出し方法(図中、「ref.」と記載)と同等の波形を得られている(図10参照)。この結果、ハイレベルの出力Aを正しく読み出しできることが判った。すなわち、本実施形態の読み出し方法において、ハイデータの読み出しの際に誤動作が生じないことを検証できた。 Further, in the case of reading high data, the potential of the bit line BL by using the reading method of this embodiment (described as “emb.” In the figure) can be slightly suppressed, and the reading method of the comparative example (FIG. Among them, a waveform equivalent to “ref.” Is obtained (see FIG. 10). As a result, it was found that the high-level output A can be read correctly. That is, in the reading method of the present embodiment, it was verified that no malfunction occurred when reading high data.
図11は、読み出し時間のモンテカルロシミュレーションを1万回行ったときの読み出し時間の分布を示すグラフである。横軸は比較例の読み出し方法における累積確率50%のときの読み出し時間を1として正規化した読み出し時間(ディレイ値と呼ぶ)を示し、縦軸は累積確率を示す。読み出し時間とは、出力Aの出力までに要する時間である。 FIG. 11 is a graph showing the distribution of readout time when the Monte Carlo simulation of readout time is performed 10,000 times. The horizontal axis indicates the read time (referred to as a delay value) normalized with the read time when the cumulative probability is 50% in the read method of the comparative example as 1, and the vertical axis indicates the cumulative probability. The read time is the time required until the output A is output.
図11に示すように、累積確率50%において、比較例の読み出し方法におけるディレイ値は1であるのに対し、本実施形態の読み出し方法におけるディレイ値は0.76であった。また、比較例の読み出し方法におけるディレイ値のばらつき範囲は約0.6であるのに対し、本実施形態の読み出し方法におけるディレイ値のばらつき範囲は約0.22であった。この結果、本実施形態の読み出し方法は、比較例の読み出し方法と比較して、ディレイ値を3/4程度まで小さくすることができ、ディレイ値のばらつき範囲を1/3程度に抑制できることが判った。すなわち、本実施形態の読み出し方法において、読み出し速度の高速化と読み出し時間のばらつき低減を実現できることが検証できた。 As shown in FIG. 11, at a cumulative probability of 50%, the delay value in the readout method of the comparative example is 1, whereas the delay value in the readout method of the present embodiment is 0.76. In addition, the variation range of the delay value in the readout method of the comparative example is about 0.6, whereas the variation range of the delay value in the readout method of the present embodiment is about 0.22. As a result, it can be seen that the readout method of the present embodiment can reduce the delay value to about 3/4 and can suppress the variation range of the delay value to about 1/3 compared with the readout method of the comparative example. It was. That is, it has been verified that the reading method of the present embodiment can realize a high reading speed and a reduction in reading time variation.
読み出し時間のばらつきを低減できることには、読み出しタイミング設計においてマージンを削減できる効果がある。これにより、各PTV条件において、少ないマージンで動作保証を行うことが可能となる。なお、PTV条件とは、回路の動作スピードに影響を与えるP:プロセス、T:温度、V:電圧の3項目に関し、それらのベスト条件とワースト条件とを定めた動作条件である。 The ability to reduce variations in read time has the effect of reducing margins in read timing design. This makes it possible to guarantee operation with a small margin under each PTV condition. The PTV condition is an operating condition that defines the best condition and the worst condition for three items of P: process, T: temperature, and V: voltage that affect the operation speed of the circuit.
このように、本実施形態によれば、SRAMのシングルエンド読み出しにおいて、ビット線の電荷を選択メモリセルのトランジスタとダミーメモリセルのトランジスタとを用いて引き抜くので、読み出し動作を高速且つ安定して行うことができる。 As described above, according to the present embodiment, in the single-ended reading of the SRAM, the charge of the bit line is extracted using the transistor of the selected memory cell and the transistor of the dummy memory cell, so that the reading operation is performed at high speed and stably. be able to.
[変形実施形態]
以上、半導体記憶装置及びその読み出し方法の実施形態を説明してきたが、上記実施形態に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲内において種々の変形、追加、置換等が可能である。
[Modified Embodiment]
Although the embodiments of the semiconductor memory device and the reading method thereof have been described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications, additions, substitutions, and the like are possible without departing from the spirit of the invention. .
例えば、上記実施形態では、読み出しアシスト回路としてダミーメモリセルDCを用いたが、必ずしもダミーメモリセルDCを用いる必要はない。上記実施形態と同様の読み出し動作を実現するという観点からは、少なくとも、メモリセルMCに、N型トランジスタNQ3D,NQ1Dに対応する2つのトランジスタを接続すればよい。すなわち、第1のN型トランジスタと第2のN型トランジスタとを直列に接続し、第1のN型トランジスタのゲート電極をビット線/BLに、ドレイン電極をビット線BLに接続し、第2のN型トランジスタのゲート電極を高電位側電源ノードVHに接続する。そして、第2のN型トランジスタのソース電極には、読み出し用のカラム選択信号colrから所定時間遅れた逆相の制御信号dcolを生成する回路を接続すればよい。 For example, although the dummy memory cell DC is used as the read assist circuit in the above embodiment, the dummy memory cell DC is not necessarily used. From the viewpoint of realizing a read operation similar to that in the above embodiment, at least two transistors corresponding to the N-type transistors NQ 3D and NQ 1D may be connected to the memory cell MC. That is, the first N-type transistor and the second N-type transistor are connected in series, the gate electrode of the first N-type transistor is connected to the bit line / BL, the drain electrode is connected to the bit line BL, and the second The gate electrode of the N-type transistor is connected to the high potential side power supply node VH. A circuit for generating a control signal dcol having a reverse phase delayed by a predetermined time from the column selection signal colr for reading may be connected to the source electrode of the second N-type transistor.
DC…ダミーメモリセル
MC…メモリセル
10…メモリセルアレイブロック
12…行選択回路
14…書き込み/読み出し回路
16…書き込み/読み出し制御回路
18…遅延回路
DC ... dummy memory cell MC ...
Claims (11)
前記第1のビット線と対をなす第2のビット線と、
前記第1のビット線及び前記第2のビット線に接続されたメモリセルと、
前記第1のビット線にドレイン電極が接続され、前記第2のビット線にゲート電極が接続された第1のN型トランジスタと、
前記第1のN型トランジスタのソース電極にドレイン電極が接続され、高電位側電源ノードにゲート電極が接続された第2のN型トランジスタと、
前記第2のN型トランジスタのソース電極に接続され、読み出し用のカラム選択信号に応じて前記第2のN型トランジスタの前記ソース電極に低電位側電源電圧を印加する制御回路と
を有することを特徴とする半導体記憶装置。 A first bit line;
A second bit line paired with the first bit line;
Memory cells connected to the first bit line and the second bit line;
A first N-type transistor having a drain electrode connected to the first bit line and a gate electrode connected to the second bit line;
A second N-type transistor having a drain electrode connected to a source electrode of the first N-type transistor and a gate electrode connected to a high-potential side power supply node;
A control circuit that is connected to the source electrode of the second N-type transistor and applies a low-potential-side power supply voltage to the source electrode of the second N-type transistor in accordance with a column selection signal for reading. A semiconductor memory device.
前記制御回路は、前記カラム選択信号から第1の時間遅れて前記第2のN型トランジスタの前記ソース電極に前記低電位側電源電圧を印加する
ことを特徴とする半導体記憶装置。 The semiconductor memory device according to claim 1.
The semiconductor memory device, wherein the control circuit applies the low-potential-side power supply voltage to the source electrode of the second N-type transistor with a delay of a first time from the column selection signal.
前記第1のビット線に接続されたダミーメモリセルを更に有し、
前記第1のN型トランジスタ及び前記第2のN型トランジスタは、前記ダミーメモリセルを構成するトランジスタである
ことを特徴とする半導体記憶装置。 The semiconductor memory device according to claim 1 or 2,
A dummy memory cell connected to the first bit line;
The semiconductor memory device, wherein the first N-type transistor and the second N-type transistor are transistors constituting the dummy memory cell.
前記ダミーメモリセルは、
前記高電位側電源ノードにソース電極及びゲート電極が接続され、前記第1のN型トランジスタと前記第2のN型トランジスタとの間の第1の接続ノードにドレイン電極が接続された第1のP型トランジスタと、
前記高電位側電源ノードにソース電極が接続され、前記第1の接続ノードにゲート電極が接続された第2のP型トランジスタと、
前記第2のP型トランジスタのドレイン電極にドレイン電極が接続され、前記第1の接続ノードにゲート電極が接続され、前記第2のN型トランジスタのソース電極にソース電極が接続された第3のN型トランジスタと、
前記第2のビット線にゲート電極が接続され、前記第2のP型トランジスタと前記第3のN型トランジスタとの間の第2の接続ノードにソース電極が接続された第4のN型トランジスタとを更に有する
ことを特徴とする半導体記憶装置。 The semiconductor memory device according to claim 3.
The dummy memory cell is
A source electrode and a gate electrode are connected to the high potential side power supply node, and a drain electrode is connected to a first connection node between the first N-type transistor and the second N-type transistor. A P-type transistor;
A second P-type transistor having a source electrode connected to the high potential side power supply node and a gate electrode connected to the first connection node;
A drain electrode is connected to the drain electrode of the second P-type transistor, a gate electrode is connected to the first connection node, and a source electrode is connected to the source electrode of the second N-type transistor. An N-type transistor;
A fourth N-type transistor having a gate electrode connected to the second bit line and a source electrode connected to a second connection node between the second P-type transistor and the third N-type transistor; And a semiconductor memory device.
前記第4のN型トランジスタのドレイン電極は、前記第2のビット線から分離されている
ことを特徴とする半導体記憶装置。 The semiconductor memory device according to claim 4.
The semiconductor memory device, wherein a drain electrode of the fourth N-type transistor is separated from the second bit line.
前記第1のビット線及び前記第2のビット線に接続された他の複数のメモリセルを有する
ことを特徴とする半導体記憶装置。 The semiconductor memory device according to claim 1,
A semiconductor memory device comprising: a plurality of other memory cells connected to the first bit line and the second bit line.
前記メモリセルの前記第1のビット線側のストレージノードに記憶された情報を前記第1のビット線に読み出す際に、読み出し用のカラム選択信号に応じて、前記第2のN型トランジスタのソース電極に低電位側電源電圧を印加する
ことを特徴とする半導体記憶装置の読み出し方法。 A first bit line; a second bit line paired with the first bit line; a memory cell connected to the first bit line and the second bit line; and the first bit line. A first N-type transistor having a drain electrode connected to the line and a gate electrode connected to the second bit line; a drain electrode connected to the source electrode of the first N-type transistor; A method of reading a semiconductor memory device having a second N-type transistor having a gate electrode connected to a node,
When the information stored in the storage node on the first bit line side of the memory cell is read to the first bit line, the source of the second N-type transistor according to the column selection signal for reading A method for reading a semiconductor memory device, comprising applying a low-potential-side power supply voltage to an electrode.
前記カラム選択信号から第1の時間遅れて前記第2のN型トランジスタの前記ソース電極に前記低電位側電源電圧を印加する
ことを特徴とする半導体記憶装置の読み出し方法。 8. The method of reading a semiconductor memory device according to claim 7,
The method of reading a semiconductor memory device and applying the low potential side power supply voltage to the source electrode of the first time delay and the second N-type transistor before Symbol column selection signal.
前記第1の時間は、前記ストレージノードに記憶されたローレベルの情報を前記第1のビット線に読み出す際に、前記第1のビット線の電位が、高電位側電源電圧から、前記低電位側電源電圧と前記高電位側電源電圧との中間程度のレベルまで降圧するに要する時間以上である
ことを特徴とする半導体記憶装置の読み出し方法。 The method of reading a semiconductor memory device according to claim 8.
In the first time, when the low-level information stored in the storage node is read out to the first bit line, the potential of the first bit line is changed from the high-potential power supply voltage to the low potential. A reading method of a semiconductor memory device, characterized in that it is equal to or longer than a time required for stepping down to a middle level between the side power supply voltage and the high potential side power supply voltage.
前記ストレージノードに記憶されたローレベルの情報を前記第1のビット線に読み出す際に、前記第1のビット線の電荷を、前記第1のN型トランジスタ及び前記第2のN型トランジスタを介して引き抜く
ことを特徴とする半導体記憶装置の読み出し方法。 In the reading method of the semiconductor memory device according to any one of claims 7 to 9,
When the low level information stored in the storage node is read out to the first bit line, the charge of the first bit line is transferred via the first N-type transistor and the second N-type transistor. And reading out the semiconductor memory device.
前記半導体記憶装置は、前記第1のビット線に接続されたダミーメモリセルを更に有し、前記第1のN型トランジスタ及び前記第2のN型トランジスタは、前記ダミーメモリセルを構成するトランジスタである
ことを特徴とする半導体記憶装置の読み出し方法。 The method for reading a semiconductor memory device according to claim 7, wherein:
The semiconductor memory device further includes a dummy memory cell connected to the first bit line, and the first N-type transistor and the second N-type transistor are transistors constituting the dummy memory cell. A reading method for a semiconductor memory device, comprising:
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