JP6289893B2

JP6289893B2 - Cassette stage

Info

Publication number: JP6289893B2
Application number: JP2013258401A
Authority: JP
Inventors: 利光後藤; 滋安藤; 宏太郎門田; 早坂　秀樹; 秀樹早坂; 邦重鈴木; 勇輝渡辺
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2013-12-13
Filing date: 2013-12-13
Publication date: 2018-03-07
Anticipated expiration: 2033-12-13
Also published as: JP2015115545A

Description

本発明は、カセットステージに関し、特に、ウエーハを収容するカセットを位置決めした状態で載置することができるカセットステージに関する。 The present invention relates to a cassette stage, and more particularly, to a cassette stage that can be placed in a state where a cassette that accommodates a wafer is positioned.

半導体デバイスの製造プロセスでは、ウエーハを上下に並べて複数枚収容することができるカセットが利用され、このカセットは、カセットステージ上に載置されている（例えば、特許文献１参照）。カセットは、開口部を有しており、この開口部を通じて粘着テープを介して環状フレームと一体となったウエーハが出し入れされる。ウエーハの出し入れは、搬送ロボットのロボットハンドによって行われる。 In a semiconductor device manufacturing process, a cassette that can accommodate a plurality of wafers arranged one above the other is used, and this cassette is placed on a cassette stage (see, for example, Patent Document 1). The cassette has an opening, and a wafer integrated with the annular frame is taken in and out through the opening through an adhesive tape. The wafer is taken in and out by the robot hand of the transfer robot.

ところで、ウエーハにあっては、種々のサイズ、形状のものがあり、近時、生産性を向上させるために直径が８インチ、１２インチと拡大しているものもある。かかるウエーハの大径化や、様々な形状のウエーハに応じ、大きさや形状が異なるカセットが複数用意され、このようなカセットをカセットステージ上で位置決めするため、特許文献１のようにカセットアダプタを使用する場合がある。カセットアダプタによって位置決めされたカセットは、開口部がロボットハンドの進入方向に向けられ、カセットに収容されたウエーハの中心位置とカセットステージの中心位置とが一致した状態となる。 By the way, there are wafers of various sizes and shapes, and recently, some wafers have been expanded to 8 inches and 12 inches in diameter in order to improve productivity. In order to position such cassettes on the cassette stage, a cassette adapter is used as in Patent Document 1 in order to position such cassettes on the cassette stage. There is a case. In the cassette positioned by the cassette adapter, the opening portion is directed in the direction in which the robot hand enters, so that the center position of the wafer accommodated in the cassette matches the center position of the cassette stage.

特開２００３−２９７９０２号公報JP 2003-297902 A

しかしながら、上記のようにカセットアダプタを使用する場合、ウエーハの形状変更等に際して新たなカセットを製作すると、そのカセットを位置決めするためのカセットアダプタも新たに製作することが必要となる。つまり、カセットの種類が増える程、カセットアダプタを多数製作することになり、製作の負担が大きくなるばかりでなく管理負担も増大になる、という問題がある。 However, when a cassette adapter is used as described above, if a new cassette is manufactured when the wafer shape is changed, a cassette adapter for positioning the cassette needs to be newly manufactured. In other words, as the number of types of cassettes increases, a large number of cassette adapters are produced, which increases the burden of production as well as the management burden.

本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、ウエーハを収容するカセットの種類が増えても、カセットを位置決めする手段の製作や管理の負担軽減を図ることができるカセットステージを提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above points, and provides a cassette stage that can reduce the burden of production and management of means for positioning a cassette even if the number of types of cassettes that accommodate wafers increases. Objective.

本発明のカセットステージは、ウエーハを出し入れ可能な開口部を有して複数枚のウエーハを収容するカセットを載置させるカセットステージであって、基台と、上面にカセットを載置させる板状のテーブルと、基台の上面とテーブルの下面とを平行とし、且つ、所定の間隔を形成して連結させる連結部と、所定の間隔にて移動可能、且つ、カセットに対応した位置で位置決め可能に設けられ、テーブルの上面に載置されるカセットを検出するカセット検出手段と、テーブルの上面に載置されたカセットを所定の位置に位置決めする位置決め手段と、を備え、位置決め手段は、テーブルに着脱可能に設けられる支持部を備え、支持部は、テーブルに装着したときに、テーブルの上面から突出して側面がカセットの外面と接触し、テーブルの上面に載置されるカセットを所定の位置に位置決めすることを特徴とする。 The cassette stage of the present invention is a cassette stage on which a cassette containing a plurality of wafers having an opening through which a wafer can be taken in and out is placed, and a base and a plate-like shape on which a cassette is placed on the upper surface. The table, the upper surface of the base and the lower surface of the table are parallel to each other, and a connecting portion that connects and connects at a predetermined interval, and can be moved at a predetermined interval and can be positioned at a position corresponding to the cassette. A cassette detecting means for detecting a cassette placed on the upper surface of the table and a positioning means for positioning the cassette placed on the upper surface of the table at a predetermined position, the positioning means being attached to and detached from the table The support part is provided on the table so that, when mounted on the table, the support part protrudes from the upper surface of the table so that the side surface contacts the outer surface of the cassette. Characterized in that it positioned at a predetermined position of the cassette to be placed on.

この構成によれば、カセットの形状に応じてテーブルの複数箇所で支持部を着脱可能としたので、支持部を増設しなくても形状等が異なる複数のカセットをテーブル上で位置決めすることができる。これにより、従来構造のように、カセットの種類毎にアダプタを製作する必要をなくすことができ、カセットの位置決めのための設備負担や、設備の管理負担が大きくなることを防止することができる。また、カセット検出手段が基台とテーブルとの間の任意の位置で位置決め可能となり、カセットの種類が変わっても、カセット検出手段の位置を容易に調整でき、種々のカセットの検出を行えるようにすることができる。 According to this configuration, since the support portions can be attached and detached at a plurality of locations on the table according to the shape of the cassette, a plurality of cassettes having different shapes and the like can be positioned on the table without adding support portions. . Thereby, unlike the conventional structure, it is not necessary to manufacture an adapter for each type of cassette, and it is possible to prevent an equipment burden for positioning the cassette and an equipment management burden from increasing. In addition, the cassette detection means can be positioned at any position between the base and the table so that the position of the cassette detection means can be easily adjusted and various cassettes can be detected even if the type of the cassette changes. can do.

また、本発明のカセットステージにおいて、位置決め手段は、テーブルに形成される複数の位置決め孔と、位置決め孔に挿入される挿入部及び挿入部に連設された支持部とを含むピンと、から少なくとも構成され、位置決め孔はカセットの形状に応じて複数形成され、位置決め孔に挿入部を挿入することで、テーブルに支持部を装着することが好ましい。この構成では、位置決め孔の形成数に応じ、支持部によりカセット側面を位置決めできる位置を増やすことができ、種々のカセットを位置決め可能として汎用性を向上することができる。 Further, in the cassette stage of the present invention, the positioning means comprises at least a plurality of positioning holes formed in the table, an insertion part inserted into the positioning hole and a pin including a support part connected to the insertion part. In addition, it is preferable that a plurality of positioning holes are formed according to the shape of the cassette, and the support portion is mounted on the table by inserting the insertion portion into the positioning hole. In this configuration, the number of positions at which the side surface of the cassette can be positioned by the support portion can be increased according to the number of positioning holes formed, and versatility can be improved by positioning various cassettes.

また、本発明のカセットステージにおいて、カセット検出手段は、上部ケースと、下部ケースと、上部ケースと下部ケースとが上下に反発する付勢力を有する付勢手段と、下部ケースに配設されてテーブルの上面に載置されるカセットを検出するセンサーと、から少なくとも構成されるとよい。この構成では、簡単な構成によって、基台とテーブルとの間におけるカセット検出手段の位置調整と位置決めとを行えるようにすることができる。 Further, in the cassette stage of the present invention, the cassette detection means is disposed on the table by being disposed in the upper case , the lower case, the urging means having the urging force that causes the upper case and the lower case to repel up and down, and the lower case. And at least a sensor for detecting a cassette placed on the upper surface. With this configuration, it is possible to perform the position adjustment and positioning of the cassette detection means between the base and the table with a simple configuration.

また、本発明のカセットステージにおいて、センサーは、測定光を放射する発光部と、発光部から放射されカセットで反射した測定光を受光する受光部と、受光部が受光した受光量でカセットの有無を判断する判断部と、を備え、テーブルは、測定光を透光させる部材で構成されるとよい。この構成では、テーブルが測定光を透光するので、センサーによるカセットの検出をテーブルの任意の位置において行うことができ、多種類のカセットに難なく対応することができる。 In the cassette stage of the present invention, the sensor includes a light emitting unit that emits measurement light, a light receiving unit that receives the measurement light emitted from the light emitting unit and reflected by the cassette, and the presence or absence of the cassette based on the amount of light received by the light receiving unit. The table may be configured of a member that transmits measurement light. In this configuration, since the table transmits measurement light, the cassette can be detected by the sensor at any position on the table, and various types of cassettes can be handled without difficulty.

また、本発明のカセットステージにおいて、位置決め孔と挿入部とは多角形の断面形状に形成され、ピンは、挿入部の断面の中心と、支持部の断面の中心とが不一致となるとよい。この構成では、位置決め孔に挿入される挿入部の周方向の向きを変えることによって、支持部の側面位置を変更することができる。これにより、支持部によるカセットを位置決めする位置を微調整することができる。 In the cassette stage of the present invention, the positioning hole and the insertion portion may be formed in a polygonal cross-sectional shape, and the center of the cross-section of the insertion portion and the center of the cross-section of the support portion of the pin may be inconsistent. In this configuration, the side surface position of the support portion can be changed by changing the circumferential direction of the insertion portion inserted into the positioning hole. Thereby, the position which positions the cassette by a support part can be finely adjusted.

また、本発明のカセットステージにおいて、支持部に永久磁石を内蔵し、永久磁石の磁力で支持部をカセットの形状に応じてテーブルの上面に装着させるとよい。この構成では、磁力によって支持部をテーブル上面の何れの位置にも装着することができ、これによっても、種々のカセットを位置決め可能として汎用性を向上することができる。 In the cassette stage of the present invention, it is preferable that a permanent magnet is built in the support portion, and the support portion is attached to the upper surface of the table according to the shape of the cassette by the magnetic force of the permanent magnet. In this configuration, the support portion can be attached to any position on the upper surface of the table by the magnetic force, and this also makes it possible to position various cassettes and improve versatility.

本発明によれば、ウエーハを収容するカセットの種類が増えても、カセットを位置決めする手段の製作や管理の負担軽減を図ることができる。 According to the present invention, even if the number of types of cassettes that accommodate wafers increases, it is possible to reduce the burden of production and management of means for positioning the cassettes.

第１の実施の形態に係るカセットステージの全体概略斜視図である。1 is an overall schematic perspective view of a cassette stage according to a first embodiment. 上記カセットステージに載置されるカセットの平面図である。It is a top view of the cassette mounted in the said cassette stage. 上記カセットステージが有するカセット検出手段及びその周辺の断面図である。It is sectional drawing of the cassette detection means which the said cassette stage has, and its periphery. 上記カセット検出手段の概略分解斜視図である。It is a general | schematic disassembled perspective view of the said cassette detection means. 図５Ａ及び図５Ｂは、上記カセットステージの平面図であり、カセットの位置決め要領の説明図である。5A and 5B are plan views of the cassette stage, and are explanatory views of the positioning procedure of the cassette. 図６Ａは、上記カセットステージが有する位置決め手段の断面図であり、図６Ｂは、上記位置決め手段が有するピンの概略斜視図であり、図６Ｃは、図６Ｂの平面図であり、図６Ｄは、変形例に係るピンの概略斜視図であり、図６Ｅは、図６Ｄの平面図であり、図６Ｆは、他の変形例に係るピンの概略斜視図である。6A is a cross-sectional view of positioning means included in the cassette stage, FIG. 6B is a schematic perspective view of pins included in the positioning means, FIG. 6C is a plan view of FIG. 6B, and FIG. 6E is a schematic perspective view of a pin according to a modification, FIG. 6E is a plan view of FIG. 6D, and FIG. 6F is a schematic perspective view of a pin according to another modification. 図７Ａ及び図７Ｂは、上記カセットステージの平面図であり、カセットの位置決め要領の説明図である。7A and 7B are plan views of the cassette stage, and are explanatory views of the positioning procedure of the cassette. 図８Ａ及び図８Ｂは、第２の実施の形態に係るカセットステージの平面図であり、カセットの位置決め要領の説明図である。8A and 8B are plan views of the cassette stage according to the second embodiment, and are explanatory views of the positioning procedure of the cassette. 図９Ａは、第２の実施の形態に係るピンの概略斜視図であり、図９Ｂは、図９Ａの平面図である。FIG. 9A is a schematic perspective view of a pin according to the second embodiment, and FIG. 9B is a plan view of FIG. 9A. 図１０Ａ及び図１０Ｂは、第２の実施の形態に係るピンの装着状態の変化を示す説明図であり、図１０Ｃ及び図１０Ｄは、変形例に係るピンの装着状態の変化を示す説明図である。10A and 10B are explanatory diagrams illustrating changes in the pin mounting state according to the second embodiment, and FIGS. 10C and 10D are explanatory diagrams illustrating changes in the pin mounting state according to the modification. is there. 図１１Ａ及び図１１Ｂは、第２の実施の形態に係るカセットステージの平面図であり、カセットの位置決め要領の説明図である。FIG. 11A and FIG. 11B are plan views of the cassette stage according to the second embodiment, and are explanatory views of the positioning procedure of the cassette. 図１２Ａ及び図１２Ｂは、第３の実施の形態に係るカセットステージの平面図であり、カセットの位置決め要領の説明図である。12A and 12B are plan views of the cassette stage according to the third embodiment, and are explanatory views of the positioning procedure of the cassette. 図１３Ａ〜図１３Ｃは、第３の実施の形態に係る位置決め手段の概略斜視図である。13A to 13C are schematic perspective views of positioning means according to the third embodiment. 図１４Ａ及び図１４Ｂは、第３の実施の形態に係るカセットステージの平面図であり、カセットの位置決め要領の説明図である。14A and 14B are plan views of the cassette stage according to the third embodiment, and are explanatory views of the positioning procedure of the cassette.

以下、本発明の実施の形態について添付図面を参照して詳細に説明する。なお、本明細書及び特許請求の範囲において、特に明示しない限り、「上」、「下」は、図１を基準とし、「左」、「右」は、図２及び図５を基準として用いる。また、「前」は、図２及び図５中下側について用いる一方、「後」は、図２及び図５中上側について用いる。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the present specification and claims, unless otherwise specified, “upper” and “lower” are based on FIG. 1, and “left” and “right” are based on FIG. 2 and FIG. . Further, “front” is used for the lower side in FIGS. 2 and 5, while “rear” is used for the upper side in FIGS. 2 and 5.

（第１の実施の形態）
図１は、第１の実施の形態に係るカセットステージの全体概略斜視図である。図２は、上記カセットステージに載置されるカセットの平面図である。なお、カセットステージは、ウエーハを切削する切削装置に適用でき、また、複数のウエーハを収容するカセットを利用する他の加工装置にも適用することが可能である。 (First embodiment)
FIG. 1 is an overall schematic perspective view of the cassette stage according to the first embodiment. FIG. 2 is a plan view of the cassette placed on the cassette stage. The cassette stage can be applied to a cutting apparatus that cuts a wafer, and can also be applied to other processing apparatuses that use a cassette that accommodates a plurality of wafers.

図１に示すように、カセットステージ１０は、直方体状に形成された基台１１と、基台１１の上方に配設された板状のテーブル１２と、基台１１の上面とテーブル１２の下面とを連結する連結部１３とを備えている。テーブル１２の平面形状は、基台１１の上面と同様の方形状に形成され、テーブル１２の部材、材質は、後述する測定光Ｂを透光させるガラスや合成樹脂板等とされる。連結部１３は、基台１１の上面及びテーブル１２の下面の間であって、それらのコーナー４箇所位置（１箇所は不図示）を連結している。連結部１３は、基台１１の上面とテーブル１２の下面とを平行に維持し、それらの間に所定の間隔Ｃを形成している。ここで、テーブル１２の上面には、複数枚のウエーハＷを収容するカセット２０が載置されている。 As shown in FIG. 1, the cassette stage 10 includes a base 11 formed in a rectangular parallelepiped shape, a plate-like table 12 disposed above the base 11, an upper surface of the base 11, and a lower surface of the table 12. And a connecting portion 13 for connecting the two. The planar shape of the table 12 is formed in the same rectangular shape as the upper surface of the base 11, and the member and material of the table 12 are glass, a synthetic resin plate, or the like that transmits measurement light B described later. The connection part 13 is between the upper surface of the base 11 and the lower surface of the table 12, Comprising: Four corner positions (one place is not shown) are connected. The connecting portion 13 maintains the upper surface of the base 11 and the lower surface of the table 12 in parallel, and forms a predetermined interval C therebetween. Here, on the upper surface of the table 12, a cassette 20 for accommodating a plurality of wafers W is placed.

図１及び図２に示すように、カセット２０に収容されるウエーハＷは、環状のリングフレームＦに張られた粘着シートＳに貼着されている。カセット２０は、対向する一対の側板２１の上端同士を上板２２で連結した箱状に形成されている。また、カセット２０の前方には、リングフレームＦを出し入れする開口部２４が形成され、カセット２０の後方には、背板２５が設けられている。一対の側板２１の内側面には、水平方向（前後方向）に延びる複数の棚板２６が等間隔に設けられている。この複数の棚板２６によって、一対の側板２１にリングフレームＦを収容する収容棚が複数形成される。上板２２には、搬送時に把持される取っ手２７が設けられている。 As shown in FIGS. 1 and 2, the wafer W accommodated in the cassette 20 is adhered to an adhesive sheet S stretched on an annular ring frame F. The cassette 20 is formed in a box shape in which upper ends of a pair of opposing side plates 21 are connected by an upper plate 22. An opening 24 for inserting and removing the ring frame F is formed in front of the cassette 20, and a back plate 25 is provided in the rear of the cassette 20. A plurality of shelf plates 26 extending in the horizontal direction (front-rear direction) are provided at equal intervals on the inner side surfaces of the pair of side plates 21. With the plurality of shelf plates 26, a plurality of storage shelves for storing the ring frame F are formed on the pair of side plates 21. The upper plate 22 is provided with a handle 27 that is gripped during conveyance.

カセットステージ１０は、間隔Ｃに配設されるカセット検出手段３０を更に備えている。以下、図３及び図４を参照して、本実施の形態に係るカセット検出手段について詳細に説明する。図３は、本実施の形態に係るカセット検出手段及びその周辺の断面図であり、図４は、上記カセット検出手段の概略分解斜視図である。 The cassette stage 10 further includes cassette detection means 30 disposed at the interval C. Hereinafter, the cassette detection means according to the present embodiment will be described in detail with reference to FIGS. FIG. 3 is a cross-sectional view of the cassette detection means and its periphery according to the present embodiment, and FIG. 4 is a schematic exploded perspective view of the cassette detection means.

図３及び図４に示すように、カセット検出手段３０は、円筒状の上部ケース３１と、上部ケース３１の下方から挿入される下部ケース３２とを備えている。上部ケース３１の上部内周側には内向きのフランジ３１ａが形成され、このフランジ３１ａの内側にガラス等からなる保護部材３３が固定されている。上部ケース３１の内部であって、フランジ３１ａの下面と下部ケース３２の上面との間には、コイルばね等の弾性体からなる付勢手段３５が設けられている。付勢手段３５は、下部ケース３２に対し上部ケース３１を押し下げることで、上部ケース３１と下部ケース３２とが上下に反発する付勢力を有している。カセット検出手段３０は、無負荷状態で間隔Ｃより大きい上下幅に設けられ、外力を付与することで付勢手段３５の付勢力を受けながら全体の上下幅を短縮可能となっている。 As shown in FIGS. 3 and 4, the cassette detection means 30 includes a cylindrical upper case 31 and a lower case 32 inserted from below the upper case 31. An inward flange 31a is formed on the upper inner peripheral side of the upper case 31, and a protective member 33 made of glass or the like is fixed inside the flange 31a. Biasing means 35 made of an elastic body such as a coil spring is provided inside the upper case 31 and between the lower surface of the flange 31 a and the upper surface of the lower case 32. The urging means 35 has an urging force that causes the upper case 31 and the lower case 32 to repel up and down by pressing the upper case 31 against the lower case 32. The cassette detection means 30 is provided with a vertical width larger than the interval C in an unloaded state, and the overall vertical width can be shortened while receiving the urging force of the urging means 35 by applying an external force.

下部ケース３２は、円筒の下部を有底状に形成して内部に収容空間を備えた形状に設けられている。下部ケース３２内部の収容空間には、センサー３７が配設されている。センサー３７は、その上方に発光部３７ａ及び受光部３７ｂを有している。発光部３７ａは、レーザ光となる測定光Ｂを上方のテーブル１２側に向かって投光する。受光部３７ｂは、テーブル１２上のカセット２０で反射された測定光Ｂを受光する。受光部３７ｂは、メモリや演算装置等を含む判断部３７ｃに接続されており、受光部３７ｂが受光した測定光Ｂの受光量でカセット２０の有無を判断する。 The lower case 32 is provided in a shape in which a lower portion of a cylinder is formed in a bottomed shape and an accommodation space is provided therein. A sensor 37 is disposed in the accommodation space inside the lower case 32. The sensor 37 has a light emitting part 37a and a light receiving part 37b above it. The light emitting unit 37a projects measurement light B, which is laser light, toward the upper table 12 side. The light receiving unit 37 b receives the measurement light B reflected by the cassette 20 on the table 12. The light receiving unit 37b is connected to a determination unit 37c including a memory, an arithmetic unit, and the like, and determines the presence / absence of the cassette 20 based on the amount of measurement light B received by the light receiving unit 37b.

図１に戻り、カセットステージ１０は、テーブル１２の上面に載置されたカセット２０を所定の位置に位置決めする位置決め手段４０を更に備えている。以下、図５Ａ及び図６を参照して、本実施の形態に係る位置決め手段について詳細に説明する。図５Ａは、カセットステージの平面図であり、図６は、位置決め手段を構成するピンの構成図である。 Returning to FIG. 1, the cassette stage 10 further includes positioning means 40 for positioning the cassette 20 placed on the upper surface of the table 12 at a predetermined position. Hereinafter, the positioning means according to the present embodiment will be described in detail with reference to FIGS. 5A and 6. FIG. 5A is a plan view of the cassette stage, and FIG. 6 is a configuration diagram of pins constituting the positioning means.

図１及び図５Ａに示すように、位置決め手段４０は、テーブル１２に形成される複数の位置決め孔４１と、位置決め孔４１に挿入されるピン４２とを備えている。なお、図５Ａにおいては、図示の便宜上、ピン４２を黒塗りで表しているものであり、ピン４２の色彩等を特に限定するものでない。また、後述する図５Ｂ等の他の図面についても同様である。 As shown in FIGS. 1 and 5A, the positioning means 40 includes a plurality of positioning holes 41 formed in the table 12 and pins 42 inserted into the positioning holes 41. In FIG. 5A, for convenience of illustration, the pin 42 is shown in black, and the color of the pin 42 is not particularly limited. The same applies to other drawings such as FIG. 5B described later.

位置決め孔４１は、カセット２０の形状に応じて複数形成されている。本実施の形態では、位置決め孔４１は、平面視で、カセット２０内のウエーハＷの中心位置をテーブル１２の中心位置に一致させたときに、カセット２０の四隅を含む第１〜第４領域Ａ１〜Ａ４に形成されている。第１〜第４領域Ａ１〜Ａ４は、平面視で、テーブル１２の四隅より面内中央寄りに形成されている。テーブル１２の後方に位置する第１領域Ａ１及び第２領域Ａ２では、位置決め孔４１が１１列７行に亘って整列された状態で形成されている。テーブル１２の前方に位置する第３領域Ａ３及び第４領域Ａ４では、位置決め孔４１が５列７行に亘って整列された状態で形成されている。各位置決め孔４１は、円形の平面形状にそれぞれ形成され、且つ、底部を有する凹状に形成されている（図６Ａ参照）。 A plurality of positioning holes 41 are formed according to the shape of the cassette 20. In the present embodiment, the positioning hole 41 has first to fourth areas A1 including the four corners of the cassette 20 when the center position of the wafer W in the cassette 20 is made to coincide with the center position of the table 12 in plan view. To A4. The first to fourth regions A1 to A4 are formed closer to the in-plane center than the four corners of the table 12 in plan view. In the first area A1 and the second area A2 located behind the table 12, the positioning holes 41 are formed in an aligned state over 11 columns and 7 rows. In the third region A3 and the fourth region A4 located in front of the table 12, the positioning holes 41 are formed in a state of being aligned over 5 columns and 7 rows. Each positioning hole 41 is formed in a circular planar shape and is formed in a concave shape having a bottom (see FIG. 6A).

図６Ａは、位置決め孔にピンが装着された状態の部分断面図であり、図６Ｂは、ピンの概略斜視図である。図６Ｃは、ピンの平面図である。図６Ａ〜図６Ｃに示すように、ピン４２は、位置決め孔４１内に挿入される挿入部４２ａと、挿入部４２ａの上端に連設された支持部４２ｂとを備えている。挿入部４２ａは、位置決め孔４１の内径と同一若しくは若干小さい外径の円柱状に形成され、位置決め孔４１内でがたつきが生じないように設けられている。支持部４２ｂは、中心位置が挿入部４２ａの中心位置と同一線上に位置する円柱状に形成され、挿入部４２ａより大きい径寸法に設定されている。従って、ピン４２においては、位置決め孔４１内に挿入部４２ａを挿入することで、支持部４２ｂがテーブル１２の上面に載ってテーブル１２の上面から突出した状態となり、この状態で、テーブル１２に対し、支持部４２ｂを含むピン４２が装着される。また、テーブル１２に装着されたピン４２は、位置決め孔４１から挿入部４２ａを抜き出すことで離脱でき、これにより、テーブル１２に対し、支持部４２ｂを含むピン４２が着脱自在となる。なお、図１及び図５Ａに示すように、ピン４２は、第１〜第４の領域Ａ１〜Ａ４それぞれに複数体設けられ、ピン４２の装着位置となる位置決め孔４１の位置については後述する。 FIG. 6A is a partial cross-sectional view showing a state where a pin is mounted in a positioning hole, and FIG. 6B is a schematic perspective view of the pin. FIG. 6C is a plan view of the pin. As shown in FIGS. 6A to 6C, the pin 42 includes an insertion portion 42 a that is inserted into the positioning hole 41 and a support portion 42 b that is connected to the upper end of the insertion portion 42 a. The insertion portion 42 a is formed in a columnar shape having an outer diameter that is the same as or slightly smaller than the inner diameter of the positioning hole 41, and is provided so that rattling does not occur in the positioning hole 41. The support portion 42b is formed in a columnar shape whose center position is collinear with the center position of the insertion portion 42a, and is set to have a larger diameter dimension than the insertion portion 42a. Therefore, in the pin 42, by inserting the insertion portion 42a into the positioning hole 41, the support portion 42b is placed on the upper surface of the table 12 and protrudes from the upper surface of the table 12. In this state, The pin 42 including the support portion 42b is attached. Further, the pin 42 attached to the table 12 can be detached by extracting the insertion portion 42 a from the positioning hole 41, so that the pin 42 including the support portion 42 b can be attached to and detached from the table 12. As shown in FIGS. 1 and 5A, a plurality of pins 42 are provided in each of the first to fourth regions A1 to A4, and the positions of the positioning holes 41 serving as the mounting positions of the pins 42 will be described later.

続いて、図５Ａを参照して、上記のカセットステージ１０でのカセット２０の設置方法について説明する。 Next, with reference to FIG. 5A, a method for installing the cassette 20 on the cassette stage 10 will be described.

カセットステージ１０に対し、最初にカセット２０を設置する場合、先ず、平面視で、テーブル１２上にカセット２０を載置し、テーブル１２に対するカセット２０の前後及び左右方向の位置合わせを行う。この位置合わせでは、位置合わせ用にテーブル１２やカセット２０に表示された不図示の基準線等を利用して行われ、カセット２０内のウエーハＷの中心位置をテーブル１２の中心位置に一致させる。 When the cassette 20 is first installed on the cassette stage 10, first, the cassette 20 is placed on the table 12 in a plan view, and the cassette 20 is aligned with the table 12 in the front-rear and left-right directions. This alignment is performed using a reference line (not shown) displayed on the table 12 or the cassette 20 for alignment, and the center position of the wafer W in the cassette 20 is matched with the center position of the table 12.

次いで、第１領域Ａ１及び第２領域Ａ２において、それぞれ３箇所の位置決め孔４１にピン４２を装着する。具体的には、各領域Ａ１，Ａ２において、１本のピン４２は、支持部４２ｂの側面がカセット２０の側板２１の外面に接触し、且つ、各領域Ａ１，Ａ２で最前に位置する位置決め孔４１に装着する。また、残りの２本のピン４２は、支持部４２ｂの側面がカセット２０の背板２５の外面に接触し、且つ、カセット２０のコーナーに最寄りの位置決め孔４１と、この位置決め孔４１から最も離れた位置決め孔４１とに装着する。これにより、カセット２０の後方領域において、カセット２０が左右方向と後方向とに移動しないように位置決めされる。 Next, in the first area A1 and the second area A2, pins 42 are attached to the three positioning holes 41, respectively. Specifically, in each of the areas A1 and A2, one pin 42 has a positioning hole in which the side surface of the support portion 42b is in contact with the outer surface of the side plate 21 of the cassette 20 and is located in the forefront in each of the areas A1 and A2. Attach to 41. Further, the remaining two pins 42 are such that the side surface of the support portion 42 b contacts the outer surface of the back plate 25 of the cassette 20, and the positioning hole 41 nearest to the corner of the cassette 20 is farthest from the positioning hole 41. The positioning hole 41 is attached. Accordingly, the cassette 20 is positioned in the rear region of the cassette 20 so as not to move in the left-right direction and the rearward direction.

その後、第３領域Ａ３及び第４領域Ａ４において、それぞれ２箇所の位置決め孔４１にピン４２を装着する。具体的には、各領域Ａ３，Ａ４において、２本のピン４２は、支持部４２ｂの側面がカセット２０の側板２１の外面に接触し、且つ、各領域Ａ３，Ａ４で最後方に位置する位置決め孔４１と、側板２１の前端に最寄りの位置決め孔４１とに装着する。これにより、カセット２０の前方領域において、カセット２０が左右方向に移動しないように位置決めされ、カセット２０の設置が完了する。 Thereafter, in the third region A3 and the fourth region A4, the pins 42 are mounted in the two positioning holes 41, respectively. Specifically, in each of the areas A3 and A4, the two pins 42 are positioned so that the side surface of the support portion 42b contacts the outer surface of the side plate 21 of the cassette 20 and is located at the rearmost position in each of the areas A3 and A4. The hole 41 and the positioning hole 41 nearest to the front end of the side plate 21 are mounted. Thereby, in the front area of the cassette 20, the cassette 20 is positioned so as not to move in the left-right direction, and the installation of the cassette 20 is completed.

カセット２０を設置した後、テーブル１２の下面と基台１１の上面との間の間隔Ｃ内にカセット検出手段３０を設置する（図１参照）。この設置は、付勢手段３５の付勢力に抗して上部ケース３１に押し下げる力を付与しながら間隔Ｃ内にカセット検出手段３０を挿入する。この挿入後、カセット検出手段３０がカセット２０の真下に位置するようにカセット検出手段３０をスライド移動させ、位置を調整することができる。間隔Ｃに挿入された状態で、カセット検出手段３０は、付勢手段３５（図２参照）の付勢力によってテーブル１２と基台１１との間で突っ張るようになって位置決めされる。 After the cassette 20 is installed, the cassette detection means 30 is installed in the interval C between the lower surface of the table 12 and the upper surface of the base 11 (see FIG. 1). In this installation, the cassette detecting means 30 is inserted into the interval C while applying a pressing force to the upper case 31 against the urging force of the urging means 35. After this insertion, the cassette detection means 30 can be slid and adjusted so that the cassette detection means 30 is positioned directly below the cassette 20. In the state inserted in the interval C, the cassette detecting means 30 is positioned so as to be stretched between the table 12 and the base 11 by the urging force of the urging means 35 (see FIG. 2).

このように設置されたカセット検出手段３０では、図３に示すように、センサー３７の発光部３７ａから測定光Ｂをテーブル１２側に投光する。テーブル１２上にカセット２０が載置されていれば、テーブル１２で反射された測定光Ｂを受光部３７ｂで受光し、カセット２０が載置されていることを認識する。一方、テーブル１２上にカセット２０が載置されていないと、測定光Ｂが反射されずに受光部３７ｂでの受光量が少なくなり、カセット２０が載置されていないことを認識する。 In the cassette detection means 30 installed in this way, as shown in FIG. 3, the measurement light B is projected from the light emitting portion 37a of the sensor 37 to the table 12 side. If the cassette 20 is placed on the table 12, the measurement light B reflected by the table 12 is received by the light receiving unit 37b, and it is recognized that the cassette 20 is placed. On the other hand, if the cassette 20 is not placed on the table 12, the measurement light B is not reflected and the amount of light received by the light receiving portion 37b decreases, and it is recognized that the cassette 20 is not placed.

ここで、カセット２０内のウエーハＷの出し入れは、ロボットハンド（不図示）によって行われ、ロボットハンドは、カセット２０にウエーハＷを収容するときに、開口部２４の前から後方向に進行する。この進行方向に対し、背板２５の外面に接触する支持部４２ｂによってカセット２０を位置決めし、また、ロボットハンドの進行方向に直交する方向（左右方向）に対し、側板２１の外面に接触する支持部４２ｂによってカセット２０を位置決めする。 Here, the wafer W is taken in and out of the cassette 20 by a robot hand (not shown), and the robot hand advances from the front of the opening 24 in the backward direction when the wafer W is accommodated in the cassette 20. The cassette 20 is positioned by the support portion 42b that contacts the outer surface of the back plate 25 with respect to the traveling direction, and the support that contacts the outer surface of the side plate 21 with respect to the direction (left-right direction) orthogonal to the traveling direction of the robot hand. The cassette 20 is positioned by the part 42b.

なお、ピン４２を装着する位置決め孔４１の位置やピン４２の装着本数は、特に限定されるものでなく、上記のようにカセット２０を位置決めできる限りにおいて、変更してもよい。また、ピン４２の装着を行う各領域Ａ１〜Ａ４の順序は、上記の順序に限定されず、適宜変更可能である。更に、上記では、カセット２０の位置合わせ後にピン４２を装着したが、ピン４２を挿入する位置決め孔４１を予め認識していれば、各ピン４２を認識した位置決め孔４１に装着した後、各ピン４２の支持部４２ｂそれぞれに接触するようにカセット２０をステージ１２上に設置してもよい。これら変更を許容する点については、後述するカセットの設置についても同様である。 The positions of the positioning holes 41 for mounting the pins 42 and the number of the pins 42 to be mounted are not particularly limited, and may be changed as long as the cassette 20 can be positioned as described above. Further, the order of the areas A1 to A4 where the pins 42 are mounted is not limited to the order described above, and can be changed as appropriate. Further, in the above description, the pins 42 are mounted after the cassette 20 is aligned. However, if the positioning holes 41 into which the pins 42 are inserted are recognized in advance, the pins 42 are mounted in the recognized positioning holes 41 and then the pins 42 are inserted. The cassette 20 may be installed on the stage 12 so as to contact each of the support portions 42b of 42. The points that allow these changes are the same for the installation of the cassette described later.

本実施の形態のカセットステージ１０においては、図５Ａに示すカセット２０に対し、そのサイズや形状を変更したカセットを利用する場合でも、位置決め手段４０によってステージ１２上で位置決めすることができる。この位置決めについて、図５Ｂ、図７Ａ及び図７Ｂに示すカセットステージの平面図を参照して以下に説明する。図５Ｂのカセット２０ａは、図５Ａに示すカセット２０に対し、平面視での大きさを拡大するように変更し、図５Ａに示すウエーハＷ及びリングフレームＦより大径となるウエーハＷａ及びリングフレームＦａを収容するものである。かかるカセット２０ａを設置する場合、上記と同様にして、カセット２０ａ内のウエーハＷａの中心位置がテーブル１２の中心位置に一致するように、テーブル１２に対するカセット２０ａの位置合わせを行う。 In the cassette stage 10 of the present embodiment, the positioning unit 40 can position the cassette 20 shown in FIG. 5A on the stage 12 even when a cassette whose size or shape is changed is used. This positioning will be described below with reference to the plan views of the cassette stage shown in FIGS. 5B, 7A, and 7B. The cassette 20a shown in FIG. 5B is changed so as to have a larger size in a plan view than the cassette 20 shown in FIG. 5A, and the wafer Wa and the ring frame are larger in diameter than the wafer W and the ring frame F shown in FIG. Fa is accommodated. When the cassette 20a is installed, the cassette 20a is aligned with the table 12 so that the center position of the wafer Wa in the cassette 20a coincides with the center position of the table 12 in the same manner as described above.

次いで、第１領域Ａ１及び第２領域Ａ２において、それぞれ３箇所の位置決め孔４１にピン４２を装着し、第３領域Ａ３及び第４領域Ａ４において、それぞれ２箇所の位置決め孔４１にピン４２を装着する。装着要領は、図５Ａに示すピン４２と同様となるが、カセット２０ａの大きさが拡大した分、ピン４２が挿入される位置決め孔４１の位置が外側に変更される。そして、各領域Ａ１〜Ａ４でピン４２が装着されることで、カセット２０ａが左右方向と後方向とに移動しないように位置決めされる。 Next, in the first region A1 and the second region A2, the pins 42 are mounted in the three positioning holes 41, and in the third region A3 and the fourth region A4, the pins 42 are mounted in the two positioning holes 41, respectively. To do. The mounting procedure is the same as that of the pin 42 shown in FIG. 5A, but the position of the positioning hole 41 into which the pin 42 is inserted is changed to the outside as the size of the cassette 20a is increased. And by attaching the pin 42 in each area | region A1-A4, it positions so that the cassette 20a may not move to the left-right direction and a back direction.

図７Ａのカセット２０ｂは、図５Ａに示すカセット２０に対し、平面視での形状を変更している。具体的には、カセット２０ｂは、左右一対の傾斜板２８と、左右一対の後側板２９とを有し、傾斜板２８は、平面視で、側板２１の後端側から後方に向かうに従って次第に接近するように形成されている。後側板２９は、前後方向に延在し、傾斜板２８の後端と背板２５の左右両端と連結している。 The cassette 20b in FIG. 7A has a different shape in plan view from the cassette 20 shown in FIG. 5A. Specifically, the cassette 20b has a pair of left and right inclined plates 28 and a pair of left and right rear side plates 29, and the inclined plates 28 gradually approach from the rear end side of the side plate 21 toward the rear in plan view. It is formed to do. The rear side plate 29 extends in the front-rear direction and is connected to the rear end of the inclined plate 28 and the left and right ends of the back plate 25.

カセット２０ｂの設置は、テーブル１２にカセット２０ｂを載せて位置合わせした後、第１〜第４領域Ａ１〜Ａ４において、それぞれ２箇所の位置決め孔４１にピン４２を装着することにより行われる。具体的には、第１領域Ａ１及び第２領域Ａ２において、１本のピン４２は、支持部４２ｂの側面がカセット２０ｂの傾斜板２８の外面に接触し、且つ、各領域Ａ１，Ａ２で最前に位置する位置決め孔４１に装着する。また、残りのピン４２は、支持部４２ｂの側面がカセット２０の背板２５の外面に接触し、且つ、背板２５の左右両端に最寄りの位置決め孔４１に装着する。これにより、カセット２０の後方領域において、カセット２０が左右方向と後方向とに移動しないように位置決めされる。 The cassette 20b is installed by mounting the pins 20 in the two positioning holes 41 in the first to fourth regions A1 to A4 after the cassette 20b is placed on the table 12 and aligned. Specifically, in the first region A1 and the second region A2, one pin 42 has the side surface of the support portion 42b in contact with the outer surface of the inclined plate 28 of the cassette 20b, and the forefront in each region A1, A2. It attaches to the positioning hole 41 located in this position. Further, the remaining pins 42 are attached to the nearest positioning holes 41 on the left and right ends of the back plate 25 while the side surface of the support portion 42 b contacts the outer surface of the back plate 25 of the cassette 20. Thus, the cassette 20 is positioned in the rear region of the cassette 20 so as not to move in the left-right direction and the rearward direction.

その後、第３領域Ａ３及び第４領域Ａ４において、それぞれ２箇所の位置決め孔４１にピン４２を装着する。この装着は、図５Ａの第３領域Ａ３及び第４領域Ａ４での要領と同様に行われ、これにより、カセット２０の前方外面に複数のピン４２が接触してカセット２０が左右方向に移動しないように位置決めされる。 Thereafter, in the third region A3 and the fourth region A4, the pins 42 are mounted in the two positioning holes 41, respectively. This mounting is performed in the same manner as in the third area A3 and the fourth area A4 in FIG. 5A, and as a result, the plurality of pins 42 come into contact with the front outer surface of the cassette 20 and the cassette 20 does not move in the left-right direction. Are positioned as follows.

図７Ｂのカセット２０ｃは、図７Ａに示すカセット２０ｂに対し、平面視での大きさを拡大するように変更し、図５Ｂと同じ大きさのウエーハＷａ及びリングフレームＦａを収容するものである。カセット２０ｃの設置は、テーブル１２にカセット２０ｃを載せて位置合わせした後、第１〜第４領域Ａ１〜Ａ４において、それぞれ２箇所の位置決め孔４１にピン４２を装着することにより行われる。具体的には、第１領域Ａ１及び第２領域Ａ２において、１本のピン４２は、支持部４２ｂの側面がカセット２０ｂの後側板２９の外面に接触する位置決め孔４１に装着する。また、残りのピン４２は、支持部４２ｂの側面がカセット２０の背板２５の外面に接触し、且つ、背板２５の左右両端に最寄りの位置決め孔４１に装着する。これにより、カセット２０の後方領域において、カセット２０が左右方向と後方向とに移動しないように位置決めされる。 The cassette 20c shown in FIG. 7B is modified to expand the size in plan view with respect to the cassette 20b shown in FIG. 7A, and accommodates the wafer Wa and the ring frame Fa having the same size as that shown in FIG. 5B. Installation of the cassette 20c is performed by mounting the cassette 20c on the table 12 and aligning it, and then attaching pins 42 to the two positioning holes 41 in each of the first to fourth regions A1 to A4. Specifically, in the first region A1 and the second region A2, one pin 42 is mounted in the positioning hole 41 where the side surface of the support portion 42b contacts the outer surface of the rear plate 29 of the cassette 20b. Further, the remaining pins 42 are attached to the nearest positioning holes 41 on the left and right ends of the back plate 25 while the side surface of the support portion 42 b contacts the outer surface of the back plate 25 of the cassette 20. Thus, the cassette 20 is positioned in the rear region of the cassette 20 so as not to move in the left-right direction and the rearward direction.

その後、第３領域Ａ３及び第４領域Ａ４において、それぞれ２箇所の位置決め孔４１にピン４２を装着する。この装着は、図５Ｂの第３領域Ａ３及び第４領域Ａ４での要領と同様に行われ、これにより、側板２１の前方外面に複数のピン４２が接触してカセット２０が左右方向に移動しないように位置決めされる。 Thereafter, in the third region A3 and the fourth region A4, the pins 42 are mounted in the two positioning holes 41, respectively. This mounting is performed in the same manner as in the third region A3 and the fourth region A4 in FIG. 5B, and as a result, the plurality of pins 42 come into contact with the front outer surface of the side plate 21 and the cassette 20 does not move in the left-right direction. Are positioned as follows.

以上のように、本実施の形態では、位置決め孔４１にピン４２を脱着し、ピン４２を装着する位置決め孔４１を変更するだけで、大きさや形状が異なるカセット２０，２０ａ，２０ｂ，２０ｃそれぞれを位置決めすることができる。これにより、カセット２０のバリエーションが増えても、カセット２０を位置決めするための設備を増設することを回避でき、増設した設備を管理する負担が増えることも回避することができる。また、カセット２０の変更に応じ、カセット検出手段３０の位置を間隔Ｃ内でスライド移動させることで、カセット検出手段３０によるカセット２０の有無を検出可能となり、様々なカセット２０に対応し得る汎用性を発揮することができる。 As described above, in the present embodiment, the cassettes 20, 20a, 20b, and 20c having different sizes and shapes can be obtained by simply removing the pins 42 from the positioning holes 41 and changing the positioning holes 41 for mounting the pins 42. Can be positioned. Thereby, even if the variation of the cassette 20 increases, it is possible to avoid adding equipment for positioning the cassette 20, and it is possible to avoid an increase in the burden of managing the added equipment. Further, the presence or absence of the cassette 20 can be detected by the cassette detecting means 30 by sliding the position of the cassette detecting means 30 within the interval C in accordance with the change of the cassette 20, and versatility that can deal with various cassettes 20. Can be demonstrated.

なお、本実施の形態の位置決め手段４０において、図６Ｄ〜図６Ｆに示すピン４４，４５を更に利用して位置決めを行ってもよい。図６Ｄ及び図６Ｅに示すピン４４の支持部４４ｂは、上記のピン４２の支持部４２ｂに比べ、径寸法が小さくなり、挿入部４４ａよりも大きい径寸法に形成されている。図６Ｆに示すピン４５は、挿入部４５ａと支持部４５ｂとが同一の径寸法とされる円柱状に形成されている。これらのピン４２，４４，４５を利用することで、カセット２０を位置決めする位置を、支持部４２ｂ，４４ｂ，４５ｂの半径寸法の相違分微調整することができる。 In the positioning means 40 of the present embodiment, positioning may be performed using the pins 44 and 45 shown in FIGS. 6D to 6F. The support portion 44b of the pin 44 shown in FIGS. 6D and 6E has a smaller diameter than the support portion 42b of the pin 42 described above, and is formed to have a larger diameter than the insertion portion 44a. The pin 45 shown in FIG. 6F is formed in a columnar shape in which the insertion portion 45a and the support portion 45b have the same diameter. By using these pins 42, 44, 45, the position where the cassette 20 is positioned can be finely adjusted by the difference in the radial dimension of the support portions 42b, 44b, 45b.

次いで、第１の実施の形態とは異なる第２及び第３の実施の形態について説明する。なお、第２及び第３の実施の形態において、第１の実施の形態と共通する構成要素については、同一の符号を付し、その説明を省略する。 Next, second and third embodiments different from the first embodiment will be described. Note that, in the second and third embodiments, components that are the same as those in the first embodiment are given the same reference numerals, and descriptions thereof are omitted.

（第２の実施の形態）
図８Ａは、第２の実施の形態に係るカセットステージの平面図であり、図９は、第２の実施の形態におけるピンの構成図である。図８Ａに示すように、第２の実施の形態に係るカセットステージ１１０において、位置決め手段１４０は、各位置決め孔１４１を平面視正五角形に形成し、図９に示すように、ピン１４２の挿入部１４２ａを正五角柱に形成したものである。従って、位置決め孔１４１と挿入部１４２ａとは正五角形の断面形状にそれぞれ形成される。図８Ａに戻り、第１領域Ａ１の位置決め孔１４１と、第２領域Ａ２の位置決め孔１４１とは、左右対称となる向きに設けられる。第３領域Ａ３及び第４領域Ａ４の位置決め孔１４１は、第１領域Ａ１の位置決め孔１４１を時計回りに９０°回転した向きに設けられる。 (Second Embodiment)
FIG. 8A is a plan view of a cassette stage according to the second embodiment, and FIG. 9 is a configuration diagram of pins in the second embodiment. As shown in FIG. 8A, in the cassette stage 110 according to the second embodiment, the positioning means 140 has each positioning hole 141 formed in a regular pentagon in plan view, and as shown in FIG. 142a is formed into a regular pentagonal prism. Therefore, the positioning hole 141 and the insertion portion 142a are each formed in a regular pentagonal cross-sectional shape. Returning to FIG. 8A, the positioning hole 141 in the first area A1 and the positioning hole 141 in the second area A2 are provided in directions that are symmetrical. The positioning holes 141 in the third region A3 and the fourth region A4 are provided in a direction rotated 90 ° clockwise from the positioning hole 141 in the first region A1.

図９Ａ及び図９Ｂに示すように、ピン１４２において、挿入部１４２ａの断面の中心と、支持部１４２ｂの断面の中心とは不一致となっている。従って、図１０Ａ及び図１０Ｂに示すように、位置決め孔１４１に挿入される挿入部１４２ａの向きを、挿入部１４２ａの軸線周りに７２°毎に変更することで、支持部１４２ｂの側面によって位置決めする位置をＰ１〜Ｐ５の５段階に調整することができる。 As shown in FIGS. 9A and 9B, in the pin 142, the center of the cross section of the insertion portion 142a and the center of the cross section of the support portion 142b do not coincide with each other. Accordingly, as shown in FIGS. 10A and 10B, the orientation of the insertion portion 142a inserted into the positioning hole 141 is changed by 72 ° around the axis of the insertion portion 142a to be positioned by the side surface of the support portion 142b. The position can be adjusted in five stages P1 to P5.

なお、挿入部１４２ａの形状は、正五角形以外の多角形の断面形状としてもよい。例えば、図１０Ｃ及び図１０Ｄに示すように、位置決め孔１４１と挿入部１４２ｂとを正三角形の断面形状に形成してもよい。この構成では、位置決め孔１４１に挿入される挿入部１４２ａの向きを、挿入部１４２ａの軸線周りに１２０°毎に変更することで、支持部１４２ｂの側面によって位置決めする位置をＰ１〜Ｐ３の３段階に調整することができる。 In addition, the shape of the insertion part 142a is good also as polygonal cross-sectional shapes other than a regular pentagon. For example, as shown in FIGS. 10C and 10D, the positioning hole 141 and the insertion portion 142b may be formed in a regular triangular cross-sectional shape. In this configuration, by changing the orientation of the insertion portion 142a inserted into the positioning hole 141 about every 120 ° around the axis of the insertion portion 142a, the positions to be positioned by the side surface of the support portion 142b are three stages P1 to P3. Can be adjusted.

図８Ａに加え、図８Ｂ、図１１Ａ、図１１Ｂは、第２の実施の形態に係るカセットステージの概略平面図である。図８Ａでは、第１の実施の形態における図５Ａのカセット２０が設置され、図８Ｂでは、図５Ｂのカセット２０ａが設置された状態を示す。図１１Ａでは、図７Ａのカセット２０ｂが設置され、図１１Ｂでは、図７Ｂのカセット２０ｃが設置された状態を示す。図８Ａ、図８Ｂ、図１１Ａ、図１１Ｂに示すように、第２の実施の形態に係るカセットステージ１１０においても、第１の実施の形態に係るカセットステージ１０と略同じ要領によって、カセット２０，２０ａ，２０ｂ，２０ｃを位置決めして設置することができる。但し、第２の実施の形態では、上述のように、挿入部１４２ａの向きを軸線周りに変更することで、支持部１４２ｂの位置を微調整することができ、位置決めの精度向上を図ることができる。 In addition to FIG. 8A, FIG. 8B, FIG. 11A, and FIG. 11B are schematic plan views of the cassette stage according to the second embodiment. FIG. 8A shows a state where the cassette 20 of FIG. 5A in the first embodiment is installed, and FIG. 8B shows a state where the cassette 20a of FIG. 5B is installed. 11A shows a state where the cassette 20b of FIG. 7A is installed, and FIG. 11B shows a state where the cassette 20c of FIG. 7B is installed. As shown in FIGS. 8A, 8B, 11A, and 11B, in the cassette stage 110 according to the second embodiment, the cassette 20, 20a, 20b, 20c can be positioned and installed. However, in the second embodiment, as described above, by changing the direction of the insertion portion 142a around the axis, the position of the support portion 142b can be finely adjusted, and the positioning accuracy can be improved. it can.

なお、第２の実施の形態では、ピン１４２を装着する位置決め孔１４１の位置が、第１の実施形態に対して、下記に述べる６箇所で相違している。最初の２箇所としては、図５Ａと図８Ａとの対比において、第１領域Ａ１及び第２領域Ａ２におけるカセット２０のコーナー付近のピン４２，１４２の位置が相違する。第１の実施の形態（図５Ａ）では、カセット２０のコーナーに最寄りの位置決め孔４１にピン４２が装着されるのに対し、第２の実施の形態（図８Ａ）では、その位置決め孔４１に対応する位置決め孔１４１の左右方向に隣接する位置決め孔１４１にピン１４２が装着される。次の２箇所は、第１領域Ａ１及び第２領域Ａ２において、第１の実施の形態（図５Ａ）では、側板２１の外面に接触し、且つ、側板２１の前端に最寄りの位置決め孔４１にピン４２が装着される。これに対し、第２の実施の形態（図８Ａ）では、その位置決め孔４１に対応する位置決め孔１４１から２つ後方の位置決め孔１４１にピン１４２が装着される。更に他の２箇所は、図７Ａと図１１Ａとの対比において、第１領域Ａ１及び第２領域Ａ２の各１本のピン４２，１４２の位置が相違する。第１の実施の形態（図７Ａ）では、カセット２０ｂの傾斜板２８の外面に支持部４２ｂが接触するのに対し、第２の実施の形態（図１１Ａ）では、後側板２９の外面に支持部１４２ｂが接触するように位置決め孔１４１に装着される。 In the second embodiment, the positions of the positioning holes 141 for mounting the pins 142 are different from the first embodiment at six locations described below. As the first two places, in the comparison between FIG. 5A and FIG. 8A, the positions of the pins 42 and 142 near the corners of the cassette 20 in the first area A1 and the second area A2 are different. In the first embodiment (FIG. 5A), the pin 42 is mounted in the positioning hole 41 nearest to the corner of the cassette 20, whereas in the second embodiment (FIG. 8A), the positioning hole 41 The pin 142 is attached to the positioning hole 141 adjacent to the corresponding positioning hole 141 in the left-right direction. The next two locations are the first region A1 and the second region A2, which are in contact with the outer surface of the side plate 21 in the first embodiment (FIG. 5A) and in the positioning hole 41 nearest to the front end of the side plate 21. A pin 42 is attached. On the other hand, in the second embodiment (FIG. 8A), the pin 142 is attached to the positioning hole 141 that is two rearward from the positioning hole 141 corresponding to the positioning hole 41. Further, in the other two places, in the comparison between FIG. 7A and FIG. 11A, the positions of the respective one pins 42 and 142 in the first region A1 and the second region A2 are different. In the first embodiment (FIG. 7A), the support portion 42b comes into contact with the outer surface of the inclined plate 28 of the cassette 20b, whereas in the second embodiment (FIG. 11A), the support portion 42b is supported on the outer surface of the rear plate 29. It is attached to the positioning hole 141 so that the part 142b contacts.

（第３の実施の形態）
図１２Ａは、第３の実施の形態に係るカセットステージの概略平面図であり、図１３は、第３の実施の形態における位置決め手段を構成する支持部の構成図である。図１２Ａに示すように、第３の実施の形態に係るカセットステージ２１０において、位置決め手段２４０は、平面視正方形状に形成されたブロック状の複数の支持部２４０ａを備えている。図１３Ａ〜図１３Ｃに示すように、位置決め手段２４０は、支持部２４０ａの下面側から内蔵された永久磁石２４０ｂを更に含む。支持部２４０ａは、特に限定されるものでないが、３個を直線状に並べて使用したり（図１３Ｂ参照）、４個をＬ字状に並べて使用したりする（図１３Ｃ参照）。 (Third embodiment)
FIG. 12A is a schematic plan view of a cassette stage according to the third embodiment, and FIG. 13 is a configuration diagram of a support portion constituting the positioning means in the third embodiment. As shown in FIG. 12A, in the cassette stage 210 according to the third embodiment, the positioning means 240 includes a plurality of block-shaped support portions 240a formed in a square shape in plan view. As shown in FIGS. 13A to 13C, the positioning means 240 further includes a permanent magnet 240b built in from the lower surface side of the support portion 240a. The support portions 240a are not particularly limited, and three support portions 240a are used in a straight line (see FIG. 13B), and four support portions 240a are used in an L shape (see FIG. 13C).

また、本実施の形態のテーブル２１２は、金属製のメッシュ部材等、永久磁石２４０ｂの磁力によって磁着し得る材料によって構成される。従って、支持部２４０ａは、永久磁石２４０ｂの磁力によってテーブル２１２上面の任意の位置に装着可能となり、この装着によってテーブル２１２に位置決めされた状態となる。 Moreover, the table 212 of this Embodiment is comprised with the material which can be magnetically attached by the magnetic force of the permanent magnet 240b, such as a metal mesh member. Therefore, the support portion 240a can be mounted at an arbitrary position on the upper surface of the table 212 by the magnetic force of the permanent magnet 240b, and is positioned on the table 212 by this mounting.

図１２Ａに加え、図１２Ｂ、図１４Ａ、図１４Ｂは、第３の実施の形態に係るカセットステージの平面図である。図１２Ａでは、第１の実施の形態における図５Ａのカセット２０が設置され、図１２Ｂでは、図５Ｂのカセット２０ａが設置された状態を示す。図１４Ａでは、図７Ａのカセット２０ｂが設置され、図１４Ｂでは、図７Ｂのカセット２０ｃが設置された状態を示す。図１２Ａ、図１２Ｂ、図１４Ａ、図１４Ｂに示すように、第３の実施の形態に係るカセットステージ２１０において、テーブル２１２にカセット２０，２０ａ，２０ｂ，２０ｃを設置する場合、第１の実施の形態と同様にして、カセット２０，２０ａ，２０ｂ，２０ｃをテーブル２１２上に載置して位置合わせする。次いで、背板２５の左右両側のコーナーに沿って接触するように、Ｌ字状に４個の支持部２４０ａをテーブル２１２上面に装着する。これにより、カセット２０，２０ａ，２０ｂ，２０ｃの後方領域において、カセット２０，２０ａ，２０ｂ，２０ｃが左右方向と後方向とに移動しないように位置決めされる。その後、側板２１の前方外面に接触するように、３個の支持部２４０ａを前後方向に直線状に並べてテーブル２１２に装着する。これにより、カセット２０，２０ａ，２０ｂ，２０ｃの前方領域において、カセット２０，２０ａ，２０ｂ，２０ｃが左右方向に移動しないように位置決めされ、カセット２０，２０ａ，２０ｂ，２０ｃの設置が完了する。 In addition to FIG. 12A, FIG. 12B, FIG. 14A, and FIG. 14B are plan views of the cassette stage according to the third embodiment. FIG. 12A shows a state where the cassette 20 of FIG. 5A in the first embodiment is installed, and FIG. 12B shows a state where the cassette 20a of FIG. 5B is installed. 14A shows a state where the cassette 20b of FIG. 7A is installed, and FIG. 14B shows a state where the cassette 20c of FIG. 7B is installed. As shown in FIGS. 12A, 12B, 14A, and 14B, in the cassette stage 210 according to the third embodiment, when the cassettes 20, 20a, 20b, and 20c are installed on the table 212, the first embodiment is performed. Similar to the embodiment, the cassettes 20, 20a, 20b, and 20c are placed on the table 212 and aligned. Next, four support portions 240a are mounted on the upper surface of the table 212 in an L shape so as to contact along the left and right corners of the back plate 25. Thus, the cassettes 20, 20a, 20b, 20c are positioned so as not to move in the left-right direction and the rearward direction in the rear region of the cassettes 20, 20a, 20b, 20c. Thereafter, the three support portions 240a are arranged in a straight line in the front-rear direction and attached to the table 212 so as to contact the front outer surface of the side plate 21. Thus, the cassettes 20, 20a, 20b, 20c are positioned so as not to move in the left-right direction in the front region of the cassettes 20, 20a, 20b, 20c, and the installation of the cassettes 20, 20a, 20b, 20c is completed.

従って、第３の実施の形態によれば、磁力を利用して支持部２４０ａをテーブル２１２に着脱可能としたので、支持部２４０ａの装着位置の制約をなくすことができる。これにより、様々な形状や大きさのカセット２０を位置決め可能として汎用性を向上できるばかりでなく、位置決め精度も高めることができる。 Therefore, according to the third embodiment, since the support portion 240a can be attached to and detached from the table 212 using magnetic force, the restriction on the mounting position of the support portion 240a can be eliminated. As a result, the cassette 20 having various shapes and sizes can be positioned to improve versatility, and positioning accuracy can be increased.

なお、本発明は上記実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。上記実施の形態において、添付図面に図示されている大きさや形状などについては、これに限定されず、本発明の効果を発揮する範囲内で適宜変更することが可能である。その他、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施することが可能である。 In addition, this invention is not limited to the said embodiment, It can change and implement variously. In the above-described embodiment, the size, shape, and the like illustrated in the accompanying drawings are not limited to this, and can be appropriately changed within a range in which the effect of the present invention is exhibited. In addition, various modifications can be made without departing from the scope of the object of the present invention.

例えば、第１及び第２の実施の形態における位置決め孔４１，１４１は、テーブル１２に載置される種々のカセット２０に応じて複数形成される限りにおいて、その形成数を増減したり、形成領域を拡縮したりしてもよい。 For example, as long as a plurality of positioning holes 41 and 141 in the first and second embodiments are formed according to the various cassettes 20 placed on the table 12, the number of formation holes may be increased or decreased, May be enlarged or reduced.

また、第１の実施の形態では、図６Ａに示すように位置決め孔４１を凹状に形成したが、図６Ｆに示すピン４５を利用しないのであれば、位置決め孔４１を貫通孔によって形成してもよい。なお、位置決め孔４１を貫通孔とし、図６Ｆに示すピン４５を利用すると、該ピン４２は位置決め孔４１を通り抜けて落下するが、図６Ｂ及び図６Ｄに示すピン４２，４４では支持部４２ｂ，４４ｂがテーブル１２上面に載置され、落下することが規制される。 In the first embodiment, the positioning hole 41 is formed in a concave shape as shown in FIG. 6A. However, if the pin 45 shown in FIG. 6F is not used, the positioning hole 41 may be formed by a through hole. Good. When the positioning hole 41 is a through-hole and the pin 45 shown in FIG. 6F is used, the pin 42 passes through the positioning hole 41 and falls, but in the pins 42 and 44 shown in FIGS. 6B and 6D, the support portion 42b, 44b is placed on the upper surface of the table 12, and dropping is restricted.

また、第３の実施の形態において、支持部２４０ａの形状は、図示構成例に限られるものでない。例えば、図１３Ｂ及び図１３Ｃにおいて複数個の支持部２４０ａによってなす形状を、１体の支持部２４０ａによって形成するようにしてもよい。 Further, in the third embodiment, the shape of the support portion 240a is not limited to the illustrated configuration example. For example, the shape formed by the plurality of support portions 240a in FIGS. 13B and 13C may be formed by a single support portion 240a.

以上説明したように、本発明は、ウエーハの形状や大きさに応じ、様々な形状や大きさをなす複数のカセットを位置決めして利用するカセットステージに有用である。 As described above, the present invention is useful for a cassette stage that positions and uses a plurality of cassettes having various shapes and sizes according to the shape and size of a wafer.

１０カセットステージ
１１基台
１２，２１２テーブル
１３連結部
２０カセット
２４開口部
３０カセット検出手段
３１上部ケース
３２下部ケース
３５付勢手段
３７センサー
３７ａ発光部
３７ｂ受光部
３７ｃ判断部
４０，１４０，２４０位置決め手段
４１，１４１位置決め孔
４２，４４，４５，１４２ピン
４２ａ，４４ａ，４５ｂ，１４２ａ挿入部
４２ｂ，４４ｂ，４５ｂ，１４２ｂ，２４０ａ支持部
２４０ｂ永久磁石
Ｗウエーハ DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Cassette stage 11 Base 12,212 Table 13 Connection part 20 Cassette 24 Opening part 30 Cassette detection means 31 Upper case 32 Lower case 35 Energizing means 37 Sensor 37a Light emission part 37b Light receiving part 37c Judgment part 40,140,240 Positioning means 41, 141 Positioning hole 42, 44, 45, 142 Pin 42a, 44a, 45b, 142a Insertion part 42b, 44b, 45b, 142b, 240a Support part 240b Permanent magnet W Wafer

Claims

A cassette stage on which a cassette having a plurality of wafers having an opening through which a wafer can be taken in and out is placed;
The base,
A plate-like table on which the cassette is placed;
A connecting portion for connecting the upper surface of the base and the lower surface of the table in parallel and forming a predetermined distance;
Cassette detecting means for detecting the cassette placed on the upper surface of the table, which is movable at the predetermined interval and can be positioned at a position corresponding to the cassette;
Positioning means for positioning the cassette placed on the upper surface of the table at a predetermined position;
The positioning means includes a support portion detachably provided on the table, and the support portion protrudes from the upper surface of the table when the table is attached to the table, and the side surface contacts the outer surface of the cassette. A cassette stage for positioning the cassette placed on the top surface of the cassette at a predetermined position.

The positioning means comprises at least a plurality of positioning holes formed in the table, an insertion part inserted into the positioning hole, and a pin including the support part connected to the insertion part,
The cassette stage according to claim 1, wherein a plurality of the positioning holes are formed according to the shape of the cassette, and the support portion is mounted on the table by inserting the insertion portion into the positioning hole.

The cassette detection means, mounting an upper case, a lower case, a biasing means having a biasing force to the upper case and said lower case repel vertically, on the upper surface of said table is disposed on the lower case The cassette stage according to claim 1 or 2, comprising at least a sensor for detecting the cassette to be placed.

The sensor determines the presence or absence of the cassette based on a light emitting unit that emits measurement light, a light receiving unit that receives the measurement light emitted from the light emitting unit and reflected by the cassette, and an amount of light received by the light receiving unit. A determination unit;
The cassette stage according to claim 3, wherein the table is made of a member that transmits the measurement light.

The positioning hole and the insertion portion are formed in a polygonal cross-sectional shape,
3. The cassette stage according to claim 2, wherein the center of the cross section of the insertion portion does not coincide with the center of the cross section of the support portion.

The cassette stage according to claim 1, wherein a permanent magnet is built in the support part, and the support part is mounted on the upper surface of the table according to the shape of the cassette by the magnetic force of the permanent magnet.