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JP6420726B2 - Laser amplification system - Google Patents
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Description

本発明は、レーザ増幅システムに関する。   The present invention relates to a laser amplification system.

レーザ増幅システムには、種々の増幅方式がある。増幅方式の一つとして、励起光を用いてレーザ光を増幅する光励起方式が知られている。光励起方式では、例えば、励起光及びレーザ光がレーザ利得媒質に照射される。   There are various amplification methods in the laser amplification system. As one of the amplification methods, an optical excitation method in which laser light is amplified using excitation light is known. In the optical excitation method, for example, the laser gain medium is irradiated with excitation light and laser light.

励起光は、レーザ光を増幅するためのエネルギー源として用いられる。励起光の一部は、レーザ利得媒質に入射すると、レーザ利得媒質に吸収される。励起光の一部がレーザ利得媒質に吸収されることによって、レーザ利得媒質は、励起状態となる。そして、励起状態のレーザ利得媒質は、レーザ光と相互作用することにより、エネルギーをレーザ光に与える。   The excitation light is used as an energy source for amplifying the laser light. When a part of the excitation light enters the laser gain medium, it is absorbed by the laser gain medium. When a part of the pumping light is absorbed by the laser gain medium, the laser gain medium is in an excited state. The excited laser gain medium gives energy to the laser light by interacting with the laser light.

しかしながら、レーザ利得媒質に入射した励起光の全てがレーザ利得媒質に吸収されるわけではない。レーザ利得媒質に吸収されなかった励起光は、レーザ光の増幅に寄与することなく、レーザ利得媒質を透過する。   However, not all of the excitation light incident on the laser gain medium is absorbed by the laser gain medium. The excitation light that is not absorbed by the laser gain medium passes through the laser gain medium without contributing to the amplification of the laser light.

レーザ利得媒質を透過した励起光を有効に活用する方法の一つとして、特許文献1は、次のレーザシステムを開示している。特許文献1に開示されたレーザシステムは、励起源レーザと、主レーザと、帰還路とを備える。励起源レーザから出力された励起光は、主レーザに入射される。主レーザを透過した透過光は、帰還路を経由して励起源レーザに帰還する。   Patent Document 1 discloses the following laser system as one method for effectively utilizing the excitation light transmitted through the laser gain medium. The laser system disclosed in Patent Document 1 includes an excitation source laser, a main laser, and a feedback path. The excitation light output from the excitation source laser is incident on the main laser. The transmitted light that has passed through the main laser returns to the excitation source laser via the feedback path.

特開平1−95580号公報JP-A-1-95580

本発明の目的は、レーザ利得媒質を透過した励起光を有効に活用することができるレーザ増幅システムを提供することである。   An object of the present invention is to provide a laser amplification system capable of effectively utilizing excitation light transmitted through a laser gain medium.

以下に、「発明を実施するための形態」で使用される符号を用いて、課題を解決するための手段を説明する。これらの符号は、「特許請求の範囲」の記載と「発明を実施するための形態」との対応関係を明確にするために付加されたものである。これらの符号は、「特許請求の範囲」に記載されている発明の技術的範囲の解釈に用いられるものではない。   Hereinafter, means for solving the problem will be described using the reference numerals used in the “DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION”. These symbols are added in order to clarify the correspondence between the description of “Claims” and “Mode for Carrying Out the Invention”. These symbols are not used for interpreting the technical scope of the invention described in “Claims”.

実施の形態におけるレーザ増幅システムは、
励起光源(1)と、
前記励起光源から出力された励起光(EL)が供給されるレーザ利得媒質(2)と、
前記励起光源と前記レーザ利得媒質との間に配置されている励起光供給経路(OPEL)と、
前記レーザ利得媒質を透過した励起光が帰還光(ELRE)として前記レーザ利得媒質へ帰還するための帰還経路(OPRE)と、
前記帰還経路に配置されており、前記帰還光の光学特性を変える光学特性変換器(3)と、
前記励起光供給経路に配置されており、前記励起光源から出力された前記励起光と、前記光学特性変換器によって光学特性が変化した前記帰還光とを合流させる励起光合流器(4)と
を有する。
The laser amplification system in the embodiment is:
An excitation light source (1);
A laser gain medium (2) to which excitation light (EL) output from the excitation light source is supplied;
An excitation light supply path (OP EL ) disposed between the excitation light source and the laser gain medium;
A feedback path (OP RE ) through which the excitation light transmitted through the laser gain medium returns to the laser gain medium as feedback light (EL RE );
An optical property converter (3) disposed in the return path and changing an optical property of the feedback light;
An excitation light combiner (4) arranged in the excitation light supply path, for combining the excitation light output from the excitation light source and the feedback light whose optical characteristics have been changed by the optical characteristic converter; Have.

前記光学特性変換器は、前記帰還光の偏光状態を第1偏光状態から第2偏光状態に変換する光偏光素子(30)を含んでいてもよい。
前記励起光合流器は、第1光学素子(40)を含んでいてもよい。
前記第1光学素子(40)は、
前記励起光源から出力された前記第1偏光状態の前記励起光と、前記光偏光素子によって変換された前記第2偏光状態の前記帰還光とのうちの一方を透過させるとともに、
前記励起光源から出力された前記第1偏光状態の前記励起光と、前記光偏光素子によって変換された前記第2偏光状態の前記帰還光とのうちの一方を反射させてもよい。
The optical property converter may include a light polarization element (30) for converting the polarization state of the feedback light from the first polarization state to the second polarization state.
The excitation light combiner may include a first optical element (40).
The first optical element (40)
Transmitting one of the excitation light in the first polarization state output from the excitation light source and the feedback light in the second polarization state converted by the light polarization element;
One of the excitation light in the first polarization state output from the excitation light source and the feedback light in the second polarization state converted by the light polarization element may be reflected.

前記光学特性変換器は、前記帰還光の波長を第1波長から第2波長に変換する波長変換素子(31)を含んでいてもよい。
前記励起光合流器は、第2光学素子(41)を含んでいてもよい。
前記第2光学素子は、
前記励起光源から出力された前記第1波長の前記励起光と、前記波長変換素子によって変換された前記第2波長の前記帰還光とのうちの一方を透過させるとともに、
前記励起光源から出力された前記第1波長の前記励起光と、前記波長変換素子によって変換された前記第2波長の前記帰還光とのうちの一方を反射させてもよい。
The optical property converter may include a wavelength conversion element (31) that converts the wavelength of the feedback light from a first wavelength to a second wavelength.
The excitation light combiner may include a second optical element (41).
The second optical element is
Transmitting one of the excitation light of the first wavelength output from the excitation light source and the feedback light of the second wavelength converted by the wavelength conversion element;
One of the excitation light having the first wavelength output from the excitation light source and the feedback light having the second wavelength converted by the wavelength conversion element may be reflected.

前記レーザ増幅システムは、
前記励起光供給経路に配置されている第1偏波保持ファイバ(5)と、
前記励起光源と前記光学特性変換器との間に配置されており、前記励起光源から出力された前記励起光を前記第1偏波保持ファイバへ導入するための第1光学レンズ(6)と
を更に有していてもよい。
The laser amplification system includes:
A first polarization maintaining fiber (5 1 ) disposed in the excitation light supply path;
A first optical lens (6 1 ) disposed between the excitation light source and the optical property converter, for introducing the excitation light output from the excitation light source into the first polarization maintaining fiber; May further be included.

前記レーザ増幅システムは、
前記帰還経路に配置されている第2偏波保持ファイバ(5)と、
前記レーザ利得媒質を透過した励起光としての前記帰還光を前記第2偏波保持ファイバへ導入する第2光学レンズ(6)と
を更に有していてもよい。
The laser amplification system includes:
The second polarization maintaining fiber which is arranged in the feedback path (5 2),
And a second optical lens (6 2 ) for introducing the feedback light as excitation light transmitted through the laser gain medium into the second polarization maintaining fiber.

前記光学特性変換器は、半波長板であってもよい。
前記励起光合流器は、偏光子であってもよい。
The optical property converter may be a half-wave plate.
The excitation light combiner may be a polarizer.

レーザ利得媒質を透過した励起光を有効に活用することができるレーザ増幅システムが提供される。   Provided is a laser amplification system capable of effectively utilizing excitation light transmitted through a laser gain medium.

図1は、光励起方式においてレーザ利得媒質を透過する励起光を説明するための模式図である。FIG. 1 is a schematic diagram for explaining excitation light transmitted through a laser gain medium in the optical excitation method. 図2は、図1に示すレーザ利得媒質が適用されたレーザ増幅システムの一例を示すブロック図である。FIG. 2 is a block diagram showing an example of a laser amplification system to which the laser gain medium shown in FIG. 1 is applied. 図3は、レーザ増幅システムSYS1の構成例を示すブロック図である。FIG. 3 is a block diagram illustrating a configuration example of the laser amplification system SYS1. 図4は、励起光の伝搬経路に着目したレーザ増幅システムSYS1のブロック図である。FIG. 4 is a block diagram of the laser amplification system SYS1 focusing on the propagation path of the excitation light. 図5Aは、帰還光ELREが帰還経路OPREを1回目に通る場合のレーザ増幅システムSYS1を示すブロック図である。FIG. 5A is a block diagram showing the laser amplification system SYS1 when the feedback light EL RE passes through the feedback path OP RE for the first time. 図5Bは、帰還光ELREが帰還経路OPREを2回目に通る場合のレーザ増幅システムSYS1を示すブロック図である。FIG. 5B is a block diagram showing the laser amplification system SYS1 when the feedback light EL RE passes through the feedback path OP RE a second time. 図6は、レーザ増幅システムSYS1の具体的な構成例を示す模式図である。FIG. 6 is a schematic diagram illustrating a specific configuration example of the laser amplification system SYS1. 図7は、レーザ増幅システムSYS1aの構成例を示す模式図である。FIG. 7 is a schematic diagram illustrating a configuration example of the laser amplification system SYS1a. 図8は、レーザ増幅システムSYS1bの構成例を示す模式図である。FIG. 8 is a schematic diagram illustrating a configuration example of the laser amplification system SYS1b. 図9は、レーザ増幅システムSYS1cの構成例を示す模式図である。FIG. 9 is a schematic diagram illustrating a configuration example of the laser amplification system SYS1c. 図10は、励起光の伝搬経路に着目したレーザ増幅システムSYS1dのブロック図である。FIG. 10 is a block diagram of the laser amplification system SYS1d focusing on the propagation path of the excitation light. 図11は、励起光の伝搬経路に着目したレーザ増幅システムSYS1eのブロック図である。FIG. 11 is a block diagram of the laser amplification system SYS1e focusing on the propagation path of the excitation light. 図12は、レーザ増幅システムSYS1が適用されたレーザシステムSYS2の構成例を示すブロック図である。FIG. 12 is a block diagram illustrating a configuration example of a laser system SYS2 to which the laser amplification system SYS1 is applied. 図13は、光共振器として用いられたレーザ増幅システムSYS1fの構成例を示すブロック図である。FIG. 13 is a block diagram illustrating a configuration example of a laser amplification system SYS1f used as an optical resonator.

以下、本発明の実施の形態を図面に関連づけて説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

1.本発明者によって認識された事項
初めに、レーザ利得媒質を透過する励起光について述べる。図1は、光励起方式においてレーザ利得媒質を透過する励起光を説明するための模式図である。図1(a)は、X−Y平面に配置されたレーザ利得媒質a1の上面図である。図1(b)は、図1(a)のX1−X1におけるレーザ利得媒質a1の断面図である。図1(a)及び(b)の説明では、励起光の照射方式として、端面励起型(End Pump)を例に挙げる。なお、以下の説明は、側面励起型(Side Pump)方式についても成り立つ。
1. Matters Recognized by the Inventor First, the excitation light transmitted through the laser gain medium will be described. FIG. 1 is a schematic diagram for explaining excitation light transmitted through a laser gain medium in the optical excitation method. FIG. 1A is a top view of the laser gain medium a1 arranged in the XY plane. FIG. 1B is a cross-sectional view of the laser gain medium a1 along X1-X1 in FIG. In the description of FIGS. 1A and 1B, an end surface excitation type (End Pump) is taken as an example of the excitation light irradiation method. Note that the following description also applies to the side pump type.

図1(a)及び(b)に示すように、端面励起型では、例えば、励起光EL及びレーザ光Lが、レーザ利得媒質a1の入射面a11に同軸に照射される。レーザ光Lは、レーザ利得媒質a1に入射すると、レーザ利得媒質a1の中を直進し、出射面a12から出射する。レーザ光Lは、レーザ利得媒質a1において、励起光ELからエネルギーを受ける。その結果、レーザ光Lは、増幅される。言い換えれば、レーザ光は励起光と重なるレーザ利得媒質中の領域で増幅されると言える。レーザ光Lと同様に、励起光ELも、レーザ利得媒質a1に入射すると、レーザ利得媒質a1の中を進み、出射面a12から出射する。   As shown in FIGS. 1A and 1B, in the end face excitation type, for example, the excitation light EL and the laser light L are coaxially irradiated to the incident surface a11 of the laser gain medium a1. When the laser light L enters the laser gain medium a1, the laser light L travels straight through the laser gain medium a1 and is emitted from the emission surface a12. The laser light L receives energy from the excitation light EL in the laser gain medium a1. As a result, the laser light L is amplified. In other words, it can be said that the laser light is amplified in a region in the laser gain medium that overlaps with the excitation light. Similarly to the laser light L, when the excitation light EL is incident on the laser gain medium a1, it proceeds through the laser gain medium a1 and is emitted from the emission surface a12.

レーザ光Lと比べると、励起を目的とする励起光ELには、高いビーム品質が要求されない。また、レーザ利得媒質a1に入射した励起光ELの全てがレーザ利得媒質a1に吸収されるわけではない。レーザ利得媒質a1に吸収されなかった励起光ELは、比較的高いエネルギーを持ったまま、レーザ利得媒質a1の出射面a12から出射する。   Compared with the laser light L, the excitation light EL intended for excitation does not require high beam quality. Further, not all of the excitation light EL incident on the laser gain medium a1 is absorbed by the laser gain medium a1. The excitation light EL that has not been absorbed by the laser gain medium a1 is emitted from the emission surface a12 of the laser gain medium a1 while having relatively high energy.

図2は、図1に示すレーザ利得媒質が適用されたレーザ増幅システムの一例を示すブロック図である。図2に示すレーザ増幅システムは、レーザ利得媒質a1を透過した励起光(ELRE)を再利用することができるように構成されている。具体的には、レーザ増幅システムは、例えば、レーザ利得媒質a1と、励起光源a2とを有する。 FIG. 2 is a block diagram showing an example of a laser amplification system to which the laser gain medium shown in FIG. 1 is applied. The laser amplification system shown in FIG. 2 is configured so that the excitation light (EL RE ) transmitted through the laser gain medium a1 can be reused. Specifically, the laser amplification system includes, for example, a laser gain medium a1 and an excitation light source a2.

励起光源a2とレーザ利得媒質a1の入射面a11との間には、励起光供給経路OPaが配置されている。レーザ利得媒質a1の出射面a12と励起光源a2との間には、帰還経路OPが設けられている。レーザ光Lは、レーザ増幅システムの外部からレーザ利得媒質a1へ供給される。 An excitation light supply path OPa is disposed between the excitation light source a2 and the incident surface a11 of the laser gain medium a1. Between the exit surface a12 of the laser gain medium a1 an excitation light source a2 is feedback path OP b is provided. The laser light L is supplied from the outside of the laser amplification system to the laser gain medium a1.

図2に示すレーザ増幅システムは、次のように動作する。先ず、励起光源a2が励起光ELを発生させる。そして、発生された励起光ELがレーザ光Lとともに、レーザ利得媒質a1に供給される。レーザ利得媒質a1の中で増幅されたレーザ光Lは、レーザ利得媒質a1から出力される。   The laser amplification system shown in FIG. 2 operates as follows. First, the excitation light source a2 generates excitation light EL. Then, the generated excitation light EL is supplied to the laser gain medium a1 together with the laser light L. The laser light L amplified in the laser gain medium a1 is output from the laser gain medium a1.

一方、レーザ利得媒質a1を透過した励起光は、帰還光ELREとして、帰還経路OPを経由して励起光源a2に導入される。即ち、帰還光ELREは、励起光源a2に帰還する。そして、励起光源a2は、新たに発生させた励起光とともに、帰還光ELREを出力する。 On the other hand, excitation light transmitted through the laser gain medium a1 as returned light EL RE, is introduced to the excitation light source a2 via the feedback path OP b. That is, the feedback light EL RE returns to the excitation light source a2. Then, the excitation light source a2 outputs the feedback light EL RE together with the newly generated excitation light.

しかしながら、図2に示すレーザ増幅システムの場合、適用可能な励起光源a2の構成に制限がある。レーザ利得媒質a1を透過した励起光を再利用するため、励起光を導入できるように励起光源a2が構成されている。   However, in the case of the laser amplification system shown in FIG. 2, there is a limit to the configuration of the applicable excitation light source a2. In order to reuse the excitation light transmitted through the laser gain medium a1, the excitation light source a2 is configured so that the excitation light can be introduced.

例えば、励起光源a2として固体レーザ利得媒質を適用する場合を考える。固体レーザ利得媒質の場合、励起光を外部から固体レーザ利得媒質に導入することは、技術的に可能である。しかしながら、例えば、励起光源a2として半導体レーザ装置を適用する場合、励起光を外部から半導体レーザ装置に導入することは、技術的に困難である。その理由としては、半導体レーザ装置の構造上、活性領域に励起光を導入することが難しいためである。   For example, consider a case where a solid laser gain medium is applied as the excitation light source a2. In the case of a solid-state laser gain medium, it is technically possible to introduce excitation light into the solid-state laser gain medium from the outside. However, for example, when a semiconductor laser device is applied as the excitation light source a2, it is technically difficult to introduce excitation light from the outside into the semiconductor laser device. This is because it is difficult to introduce excitation light into the active region due to the structure of the semiconductor laser device.

図2に示すレーザ増幅システムの場合、たとえ、励起光自体を導入できるように励起光源a2が構成されていても、励起光源a2の照射精度が下がる場合がある。照射精度が下がる理由は、励起光源a2に帰還した励起光ELを、励起光源a2によって新たに発生された励起光と同軸及び同径で励起光源a2から出力することが難しいためである。   In the case of the laser amplification system shown in FIG. 2, even if the excitation light source a2 is configured so that the excitation light itself can be introduced, the irradiation accuracy of the excitation light source a2 may decrease. The reason why the irradiation accuracy is lowered is that it is difficult to output the excitation light EL returned to the excitation light source a2 from the excitation light source a2 with the same diameter and the same diameter as the excitation light newly generated by the excitation light source a2.

2.第1の実施の形態
2.1.概要
第1の実施の形態の概要について説明する。図3は、レーザ増幅システムSYS1の構成例を示すブロック図である。レーザ増幅システムSYS1は、励起光源1の構成に依存することなく、レーザ利得媒質2を透過した励起光(ELRE)を回収して再利用することができるレーザ増幅システムである。図3に示すように、レーザ増幅システムSYS1は、レーザ利得媒質2を透過した励起光(ELRE)が励起光源1ではなくレーザ利得媒質2へ帰還するように構成されている。
2. First Embodiment 2.1. Outline An outline of the first embodiment will be described. FIG. 3 is a block diagram illustrating a configuration example of the laser amplification system SYS1. The laser amplification system SYS1 is a laser amplification system that can collect and reuse the pumping light (EL RE ) transmitted through the laser gain medium 2 without depending on the configuration of the pumping light source 1. As shown in FIG. 3, the laser amplification system SYS1 is configured such that the pumping light (EL RE ) transmitted through the laser gain medium 2 is fed back to the laser gain medium 2 instead of the pumping light source 1.

レーザ利得媒質2を透過した励起光が帰還光ELREとしてレーザ利得媒質2に帰還するためには、励起光源1とレーザ利得媒質2との間で、帰還光ELREが励起光源1から出力された励起光ELと合流すればよい。そのため、光学特性変換器3及び励起光合流器4が設けられている。 For excitation light transmitted through the laser gain medium 2 is fed back to the laser gain medium 2 as a feedback light EL RE is between the excitation light source 1 and the laser gain medium 2, the backward light EL RE is output from the pumping light source 1 What is necessary is just to merge with the excitation light EL. Therefore, the optical property converter 3 and the excitation light combiner 4 are provided.

(構成)
レーザ増幅システムSYS1は、次のように構成されている。レーザ増幅システムSYS1は、励起光源1と、レーザ利得媒質2と、光学特性変換器3と、励起光合流器4と、励起光供給経路OPELと、帰還経路OPREとを有する。
(Constitution)
The laser amplification system SYS1 is configured as follows. The laser amplification system SYS1 includes an excitation light source 1, a laser gain medium 2, an optical property converter 3, an excitation light combiner 4, an excitation light supply path OP EL, and a feedback path OP RE .

レーザ増幅システムSYS1は、励起光を用いてレーザ光を増幅する光励起方式のレーザ増幅システムである。励起光の照射方式として、端面励起型を例に挙げる。なお、端面励起型の代わりに、側面励起型を用いてもよい。レーザ増幅システムSYS1は、例えば、連続発振方式である。   The laser amplification system SYS1 is an optical excitation type laser amplification system that amplifies laser light using excitation light. An example of the excitation light irradiation method is an end face excitation type. Note that a side excitation type may be used instead of the end face excitation type. The laser amplification system SYS1 is, for example, a continuous oscillation method.

レーザ利得媒質2は、入射面21と、出射面22とを備える。入射面21は、レーザ光L、励起光EL(後述の帰還光ELREを含む)が入射する面である。出射面22は、レーザ光L、及びレーザ利得媒質2を透過した励起光が出射する面である。レーザ利得媒質2には、種光源から出力されたレーザ光Lと、励起光源1から出力された励起光ELとが供給される。 The laser gain medium 2 includes an entrance surface 21 and an exit surface 22. The incident surface 21 is a surface on which laser light L and excitation light EL (including return light EL RE described later) are incident. The emission surface 22 is a surface from which the laser light L and the excitation light transmitted through the laser gain medium 2 are emitted. The laser gain medium 2 is supplied with the laser light L output from the seed light source and the excitation light EL output from the excitation light source 1.

励起光供給経路OPELは、励起光源1とレーザ利得媒質2との間に配置されている。言い換えれば、励起光供給経路OPELは、励起光源1からレーザ利得媒質2の入射面21までの光路である。 The excitation light supply path OP EL is disposed between the excitation light source 1 and the laser gain medium 2. In other words, the pumping light supply path OP EL is an optical path from the pumping light source 1 to the incident surface 21 of the laser gain medium 2.

帰還経路OPREは、レーザ利得媒質2を透過した励起光が帰還光ELREとしてレーザ利得媒質2へ帰還するための経路の一部である。具体的には、帰還経路OPREは、レーザ利得媒質2の出射面22から光学特性変換器3を経由した励起光合流器4までの光路である。 The feedback path OP RE is a part of a path through which the excitation light transmitted through the laser gain medium 2 returns to the laser gain medium 2 as feedback light EL RE . Specifically, the feedback path OP RE is an optical path from the emission surface 22 of the laser gain medium 2 to the pumping light combiner 4 via the optical characteristic converter 3.

光学特性変換器3は、帰還経路OPREに配置されており、帰還光ELREの光学特性を変える。 The optical property converter 3 is disposed in the feedback path OP RE and changes the optical property of the feedback light EL RE .

励起光合流器4は、励起光供給経路OPELに配置されており、励起光源1から出力された励起光ELと、光学特性変換器3によって光学特性が変化した帰還光ELREとを合流させる。 The excitation light combiner 4 is arranged in the excitation light supply path OP EL, and combines the excitation light EL output from the excitation light source 1 and the feedback light EL RE whose optical characteristics have been changed by the optical characteristic converter 3. .

(動作)
レーザ増幅システムSYS1は、次のように動作する。図3に示すように、励起光源1は、励起光ELを励起光供給経路OPELに供給している。レーザ利得媒質2には、種光源から出力されたレーザ光Lと、励起光源1から出力された励起光ELとが励起光供給経路OPELを通って供給される。レーザ光Lは、レーザ利得媒質2で増幅され、レーザ利得媒質2から出力される。
(Operation)
The laser amplification system SYS1 operates as follows. As shown in FIG. 3, the excitation light source 1 supplies the excitation light EL to the excitation light supply path OP EL . The laser gain medium 2 is supplied with the laser light L output from the seed light source and the excitation light EL output from the excitation light source 1 through the excitation light supply path OP EL . The laser light L is amplified by the laser gain medium 2 and output from the laser gain medium 2.

一方、励起光ELの一部は、レーザ利得媒質2を励起する。励起光の一部は、レーザ利得媒質2を透過する。レーザ利得媒質2を透過した励起光は、帰還光ELREとして帰還経路OPREに供給される。光学特性変換器3は、帰還光ELREを受光し、受光した帰還光ELREの光学特性を変える。そして、励起光合流器4は、励起光源1から出力された励起光ELと、光学特性変換器3によって光学特性が変化した帰還光ELREとを合流させる。そして、帰還光ELREは、励起光合流器4で合流した励起光ELとともに、レーザ利得媒質2に供給される。つまり、レーザ利得媒質2を透過した励起光が帰還経路OPREを通ってレーザ利得媒質2に帰還する。 On the other hand, a part of the excitation light EL excites the laser gain medium 2. A part of the pumping light passes through the laser gain medium 2. The excitation light that has passed through the laser gain medium 2 is supplied as feedback light EL RE to the feedback path OP RE . Optical property converter 3 receives the returned light EL RE, changing the optical characteristics of the feedback light EL RE was received. Then, the excitation light combiner 4 combines the excitation light EL output from the excitation light source 1 and the feedback light EL RE whose optical characteristics have been changed by the optical characteristic converter 3. Then, the feedback light EL RE is supplied to the laser gain medium 2 together with the excitation light EL merged by the excitation light combiner 4. That is, feedback to the laser gain medium 2 excitation light transmitted through the laser gain medium 2 through the return path OP RE.

(効果)
上述のように、レーザ増幅システムSYS1は、レーザ利得媒質2を透過した励起光が励起光源1ではなくレーザ利得媒質2に帰還するように構成されている。そのため、励起光源1の構成に依存することなく、レーザ利得媒質2を透過した励起光を回収することができる。更には、レーザ利得媒質2を透過した励起光が励起光源1に帰還しないので、励起光源1の照射精度が下がることが抑制される。
(effect)
As described above, the laser amplification system SYS1 is configured such that the pump light transmitted through the laser gain medium 2 is fed back to the laser gain medium 2 instead of the pump light source 1. Therefore, the excitation light transmitted through the laser gain medium 2 can be recovered without depending on the configuration of the excitation light source 1. Furthermore, since the excitation light transmitted through the laser gain medium 2 does not return to the excitation light source 1, it is possible to suppress the irradiation accuracy of the excitation light source 1 from being lowered.

2.2.光学特性変換器・励起光合流器
励起光は光である。したがって、励起光は、光学特性を持っている。光学特性は、例えば、偏光状態、又は波長を含む。励起光源とレーザ利得媒質との間で、帰還光が励起光源から出力された励起光と合流するために、光学特性変換器、及び励起光合流器が配置される。
2.2. Optical property converter / excitation light combiner The excitation light is light. Therefore, the excitation light has optical characteristics. The optical characteristic includes, for example, a polarization state or a wavelength. An optical property converter and an excitation light combiner are arranged between the excitation light source and the laser gain medium so that the feedback light merges with the excitation light output from the excitation light source.

以下に、光学特性変換器、及び励起光合流器の構成について説明する。図4は、励起光の伝搬経路に着目したレーザ増幅システムSYS1のブロック図である。なお、図4の説明では、レーザ光に関する説明を省略する。   Below, the structure of an optical characteristic converter and an excitation light confluencer is demonstrated. FIG. 4 is a block diagram of the laser amplification system SYS1 focusing on the propagation path of the excitation light. In the description of FIG. 4, the description regarding the laser beam is omitted.

(構成)
始めに、光学特性変換器3、及び励起光合流器4の構成について述べる。図4に示すように、光学特性変換器(3)は、例えば、光偏光素子30である。光偏光素子30は、光の光学特性を変える素子である。第1の実施の形態では、光偏光素子30は、帰還光ELREの偏光状態を変える。具体的には、光偏光素子30は、帰還光ELREの偏光状態を第1偏光状態(例えば、縦偏光)から第2偏光状態(例えば、横偏光)に変える。光偏光素子30は、例えば、半波長板(λ/2板)である。
(Constitution)
First, the configuration of the optical property converter 3 and the excitation light combiner 4 will be described. As shown in FIG. 4, the optical property converter (3) is, for example, a light polarizing element 30. The light polarizing element 30 is an element that changes the optical characteristics of light. In the first embodiment, the light polarizing element 30 changes the polarization state of the feedback light EL RE . Specifically, the light polarization element 30 changes the polarization state of the feedback light EL RE from the first polarization state (for example, longitudinal polarization) to the second polarization state (for example, lateral polarization). The light polarizing element 30 is, for example, a half-wave plate (λ / 2 plate).

励起光合流器(4)は、例えば、第1光学素子40である。第1光学素子40は、特定の光学特性を持つ光を透過させ、他の光学特性を持つ光を反射させる素子である。簡単に言えば、第1光学素子40は、特定の光学特性を持つ光を透過させるフィルタの役目と、他の光学特性を持つ光を反射させるミラーの役目を併せ持つ。第1の実施の形態では、第1光学素子40は、励起光源1から出力された第1偏光状態(例えば、縦偏光)の励起光ELを透過させ、光偏光素子30によって変換された第2偏光状態(例えば、横偏光)の帰還光ELREを反射させる。即ち、第1光学素子40は、励起光源1から出力された励起光ELの偏光状態と同じ偏光状態の励起光だけを透過させ、他の偏光状態の励起光を反射させる。具体的には、光偏光素子30は、例えば、偏光子で構成されている。第1光学素子40は、励起光供給経路OPELと帰還経路OPREとの交点において、反射された帰還光ELREがレーザ利得媒質2へ供給されるように配置されている。 The excitation light combiner (4) is, for example, the first optical element 40. The first optical element 40 is an element that transmits light having specific optical characteristics and reflects light having other optical characteristics. Simply put, the first optical element 40 has both the role of a filter that transmits light having specific optical characteristics and the role of a mirror that reflects light having other optical characteristics. In the first embodiment, the first optical element 40 transmits the excitation light EL in the first polarization state (for example, longitudinal polarization) output from the excitation light source 1 and is converted by the light polarization element 30. The return light EL RE in the polarization state (for example, laterally polarized light) is reflected. That is, the first optical element 40 transmits only the excitation light having the same polarization state as the excitation light EL output from the excitation light source 1 and reflects the excitation light in other polarization states. Specifically, the light polarizing element 30 is composed of, for example, a polarizer. The first optical element 40 is arranged so that the reflected feedback light EL RE is supplied to the laser gain medium 2 at the intersection of the excitation light supply path OP EL and the feedback path OP RE .

(第1光学素子40の機能)
第1光学素子40の機能について述べる。第1光学素子40は、励起光供給経路OPELと帰還経路OPREとの交点に配置されている。したがって、励起光合流器4としては、次の特性を持っている素子が望ましい。一つ目は、励起光源1から出力された励起光ELを透過させることである。二つ目は、帰還光ELREを反射させて励起光供給経路OPELへ供給することである。2つの特性を持つ素子としては、第1光学素子40(例えば、偏光子)が好適である。
(Function of the first optical element 40)
The function of the first optical element 40 will be described. The first optical element 40 is disposed at the intersection of the excitation light supply path OP EL and the return path OP RE . Therefore, the excitation light combiner 4 is preferably an element having the following characteristics. The first is to transmit the excitation light EL output from the excitation light source 1. The second is to reflect the feedback light EL RE and supply it to the excitation light supply path OP EL . As an element having two characteristics, the first optical element 40 (for example, a polarizer) is suitable.

(光偏光素子30の機能)
光偏光素子30の機能について述べる。上述のように、第1光学素子40は、励起光源1から出力された励起光ELの偏光状態と同じ偏光状態の励起光だけを透過させ、他の偏光状態の励起光を反射させる。もし、光偏光素子30が設けられていない場合、帰還光ELREが第1光学素子40によって反射されない。帰還光ELREが反射されない理由は、帰還光ELREの偏光状態が励起光ELの偏光状態と同じだからである。したがって、帰還光ELREが第1光学素子40によって反射されるためには、帰還光ELREの偏光状態を変えることが必要である。
(Function of the light polarizing element 30)
The function of the light polarizing element 30 will be described. As described above, the first optical element 40 transmits only the excitation light having the same polarization state as the polarization state of the excitation light EL output from the excitation light source 1 and reflects the excitation light in other polarization states. If the light polarizing element 30 is not provided, the feedback light EL RE is not reflected by the first optical element 40. Why the feedback light EL RE is not reflected, the polarization state of the returned light EL RE is because the same as the polarization state of the excitation light EL. Therefore, returned light EL RE is to be reflected by the first optical element 40, it is necessary to change the polarization state of the returned light EL RE.

以下に、具体例を挙げて、光偏光素子30の機能について説明する。ただし、以下の説明では、レーザ増幅システムSYS1を次のように単純化する。第1に、励起光源1がレーザダイオード(半導体レーザ)で構成されている場合を例示する。この場合、一般に励起光ELは、直線偏光である。第2に、励起光ELの偏光状態が直線偏光である場合を例に挙げる。第3に、第1光学素子40が縦偏光の励起光を透過させ、他の偏光状態の励起光を反射させる場合を例に挙げる。ここで、縦偏光は、例えば、Y軸に沿った方向の偏光である。図4において示される記号「↑」及び「↓」は、縦偏光を表している。他の偏光状態は、縦偏光以外の偏光であって、例えば、横偏光である。横偏光は、例えば、X軸に沿った方向の偏光である。図4において示される記号「→」及び「←」は、横偏光を表している。   Below, a specific example is given and the function of the light polarizing element 30 is demonstrated. However, in the following description, the laser amplification system SYS1 is simplified as follows. First, the case where the excitation light source 1 is constituted by a laser diode (semiconductor laser) will be exemplified. In this case, the excitation light EL is generally linearly polarized light. Secondly, the case where the polarization state of the excitation light EL is linearly polarized is taken as an example. Thirdly, a case where the first optical element 40 transmits longitudinally polarized excitation light and reflects excitation light in another polarization state will be described as an example. Here, the longitudinally polarized light is, for example, polarized light in a direction along the Y axis. The symbols “↑” and “↓” shown in FIG. 4 represent longitudinally polarized light. The other polarization state is polarization other than longitudinal polarization, for example, lateral polarization. The laterally polarized light is, for example, polarized light in a direction along the X axis. The symbols “→” and “←” shown in FIG. 4 represent laterally polarized light.

先ず、励起光源1から出力された励起光ELがレーザ利得媒質2へ供給されるまでの過程に着目する。励起光ELの偏光状態が縦偏光である場合、第1光学素子40は、縦偏光の励起光ELを透過させる。したがって、励起光ELは、励起光供給経路OPELを通ってレーザ利得媒質2へ供給される。 First, attention is paid to the process until the excitation light EL output from the excitation light source 1 is supplied to the laser gain medium 2. When the polarization state of the excitation light EL is longitudinal polarization, the first optical element 40 transmits the longitudinal polarization excitation light EL. Therefore, the excitation light EL is supplied to the laser gain medium 2 through the pumping light supply path OP EL.

次に、レーザ利得媒質2を透過した励起光(帰還光ELRE)が、励起光源1から出力された励起光ELと合流するまでの過程に着目する。レーザ利得媒質2を透過した励起光の偏光状態は、縦偏光のままである。即ち、帰還光ELREの偏光状態は、縦偏光である。もし、光偏光素子30が設けられていない場合、第1光学素子40は、縦偏光の帰還光ELREを受光する。第1光学素子40は、縦偏光の励起光を透過させるフィルタの役割を持つ。したがって、帰還光ELREは、第1光学素子40透過する。そのため、帰還光ELREが励起光ELと合流することができない。即ち、帰還光ELREがレーザ利得媒質2へ帰還しない。 Next, attention is paid to the process until the excitation light (feedback light EL RE ) transmitted through the laser gain medium 2 merges with the excitation light EL output from the excitation light source 1. The polarization state of the excitation light transmitted through the laser gain medium 2 remains longitudinally polarized. That is, the polarization state of the return light EL RE is longitudinal polarization. If the light polarizing element 30 is not provided, the first optical element 40 receives the vertically polarized feedback light EL RE . The first optical element 40 has a role of a filter that transmits longitudinally polarized excitation light. Accordingly, the feedback light EL RE is transmitted through the first optical element 40. Therefore, the feedback light EL RE cannot merge with the excitation light EL. That is, the feedback light EL RE does not return to the laser gain medium 2.

以上のことから、帰還光ELREが励起光ELと合流するために、光偏光素子30は、帰還光ELREの偏光状態を変化させる機能を有する。例えば、光偏光素子30は、縦偏光の帰還光ELREを横偏光の帰還光ELREに変換する。したがって、光偏光素子30によって変換された帰還光ELREを第1光学素子40が反射することができる。その結果、帰還光ELREは、レーザ利得媒質2へ帰還する。 From the above, in order for the feedback light EL RE to merge with the excitation light EL, the light polarizing element 30 has a function of changing the polarization state of the feedback light EL RE . For example, the optical polarization element 30 converts longitudinally polarized feedback light EL RE into laterally polarized feedback light EL RE . Therefore, the first optical element 40 can reflect the feedback light EL RE converted by the light polarizing element 30. As a result, the feedback light EL RE returns to the laser gain medium 2.

2.3.励起光の回収
図4に示すレーザ増幅システムSYS1の場合、レーザ利得媒質を透過した励起光は、一度だけレーザ利得媒質に回収される。つまり、帰還光は、レーザ利得媒質2へ一度だけ帰還する。励起光の回収について、図5A及び図5Bを参照しながら説明する。
2.3. Recovery of Excitation Light In the case of the laser amplification system SYS1 shown in FIG. 4, the excitation light transmitted through the laser gain medium is recovered only once in the laser gain medium. That is, the feedback light returns only once to the laser gain medium 2. The recovery of the excitation light will be described with reference to FIGS. 5A and 5B.

図5Aは、帰還光ELREが帰還経路OPREを1回目に通る場合のレーザ増幅システムSYS1を示すブロック図である。図5Bは、帰還光ELREが帰還経路OPREを2回目に通る場合のレーザ増幅システムSYS1を示すブロック図である。図5A及び5Bにおいて示される記号「↑」及び「↓」は、縦偏光を表している。記号「→」及び「←」は、横偏光を表している。なお、図5A及び図5Bの説明では、レーザ光に関する説明を省略する。 FIG. 5A is a block diagram showing the laser amplification system SYS1 when the feedback light EL RE passes through the feedback path OP RE for the first time. FIG. 5B is a block diagram showing the laser amplification system SYS1 when the feedback light EL RE passes through the feedback path OP RE a second time. The symbols “↑” and “↓” shown in FIGS. 5A and 5B represent longitudinally polarized light. The symbols “→” and “←” represent transversely polarized light. In the description of FIGS. 5A and 5B, the description regarding the laser light is omitted.

(1回目)
先ず、図5Aを参照して、帰還光ELREが帰還経路OPREを1回目に通る場合について説明する。励起光源1から出力された励起光ELの偏光状態が縦偏光である場合について考える。この場合、励起光ELは、第1光学素子40を透過してレーザ利得媒質2へ供給される。レーザ利得媒質2を透過した励起光の偏光状態は、縦偏光のままである。即ち、帰還光ELREは、縦偏光である。縦偏光の帰還光ELREは、帰還経路OPREを通って光偏光素子30へ供給される。光偏光素子30は、帰還光ELREの偏光状態を縦偏光から横偏光に変換する。そして、第1光学素子40は、光偏光素子30によって変換された横偏光の帰還光ELREを反射させて励起光供給経路OPELへ導入する。横偏光の帰還光ELREは、励起光供給経路OPELを通ってレーザ利得媒質2へ帰還する。
(First time)
First, with reference to FIG. 5A, the case where the feedback light EL RE passes through the feedback path OP RE for the first time will be described. Consider a case where the polarization state of the excitation light EL output from the excitation light source 1 is longitudinal polarization. In this case, the excitation light EL passes through the first optical element 40 and is supplied to the laser gain medium 2. The polarization state of the excitation light transmitted through the laser gain medium 2 remains longitudinally polarized. That is, the feedback light EL RE is longitudinally polarized light. The vertically polarized feedback light EL RE is supplied to the light polarization element 30 through the feedback path OP RE . The optical polarization element 30 converts the polarization state of the feedback light EL RE from vertical polarization to horizontal polarization. Then, the first optical element 40 reflects the laterally polarized feedback light EL RE converted by the light polarizing element 30 and introduces it into the excitation light supply path OP EL . The horizontally polarized feedback light EL RE returns to the laser gain medium 2 through the excitation light supply path OP EL .

(2回目)
次に、図5Bを参照して、帰還光ELREが帰還経路OPREを2回目に通る場合について説明する。帰還光ELREがレーザ利得媒質2へ帰還した後に、レーザ利得媒質2を透過する励起光には、2種類ある。一つは、横偏光の励起光である。横偏光の励起光は、第1光学素子40で反射された帰還光ELREである。もう一つは、縦偏光の励起光である。縦偏光の励起光は、励起光源1から出力された励起光ELである。ここでは、説明を簡単にするために、第1光学素子40で反射された帰還光ELRE、即ち、横偏光の帰還光ELREに着目する。
(Second time)
Next, with reference to FIG. 5B, the case where the feedback light EL RE passes through the feedback path OP RE for the second time will be described. There are two types of pumping light transmitted through the laser gain medium 2 after the feedback light EL RE has returned to the laser gain medium 2. One is laterally polarized excitation light. The horizontally polarized excitation light is the return light EL RE reflected by the first optical element 40. The other is longitudinally polarized excitation light. The vertically polarized excitation light is excitation light EL output from the excitation light source 1. Here, for simplicity of explanation, feedback light EL RE reflected by the first optical element 40, i.e., focusing on the feedback light EL RE of horizontally polarized light.

横偏光の帰還光ELREは、帰還経路OPREを通って光偏光素子30へ導入される。光偏光素子30は、帰還光ELREの偏光状態を横偏光から縦偏光に変換する。帰還光ELREの偏光状態が横偏光から縦偏光に変換されたので、第1光学素子40は、光偏光素子30によって変換された縦偏光の帰還光ELREを透過させる。言い換えれば、光偏光素子30は、同じ帰還光ELREの偏光状態を2度目に変える場合、帰還光ELREの偏光状態を元に戻す。そして、第1光学素子40は、光偏光素子30によって偏光状態が元の偏光状態に戻った帰還光ELREを透過させる。したがって、縦偏光の帰還光ELREは、レーザ利得媒質2へ帰還しない。 The laterally polarized feedback light EL RE is introduced into the optical polarization element 30 through the feedback path OP RE . The optical polarization element 30 converts the polarization state of the feedback light EL RE from horizontal polarization to vertical polarization. Since the polarization state of the feedback light EL RE has been converted from lateral polarization to longitudinal polarization, the first optical element 40 transmits the longitudinal polarization feedback light EL RE converted by the light polarization element 30. In other words, when changing the polarization state of the same feedback light EL RE for the second time, the optical polarization element 30 returns the polarization state of the feedback light EL RE to the original state. Then, the first optical element 40 transmits the return light EL RE whose polarization state has been returned to the original polarization state by the light polarization element 30. Therefore, the vertically polarized feedback light EL RE does not return to the laser gain medium 2.

以上のことから、図4(図5A及び図5B)に示すレーザ増幅システムSYS1の場合、レーザ利得媒質を透過した励起光が、一度だけレーザ利得媒質に回収されることが分かる。励起光の役割は、レーザ利得媒質の原子を励起(ポンピング)することである。したがって、励起光を有効に活用するという観点では、励起光を一度でもレーザ利得媒質に回収することができれば、有益である。また、横偏光及び縦偏光の励起光がレーザ利得媒質に供給されても、励起光の役割の観点からは、レーザ増幅システムに悪影響をもたらすことはない。   From the above, it can be seen that in the case of the laser amplification system SYS1 shown in FIG. 4 (FIGS. 5A and 5B), the excitation light transmitted through the laser gain medium is collected only once by the laser gain medium. The role of the pumping light is to pump (pump) the atoms of the laser gain medium. Therefore, from the viewpoint of effectively using the pumping light, it is beneficial if the pumping light can be collected even once in the laser gain medium. Further, even if transversely polarized light and longitudinally polarized excitation light are supplied to the laser gain medium, the laser amplification system is not adversely affected from the viewpoint of the role of the excitation light.

2.4.具体的な構成
図6は、レーザ増幅システムSYS1の具体的な構成例を示す模式図である。図6に示すように、レーザ増幅システムSYS1は、励起光源1と、レーザ利得媒質2と、光偏光素子30と、第1光学素子40と、励起光供給経路OPELと、帰還経路OPREとに加え、第1偏波保持ファイバ5を有する。
2.4. Specific Configuration FIG. 6 is a schematic diagram illustrating a specific configuration example of the laser amplification system SYS1. As shown in FIG. 6, the laser amplification system SYS1 includes an excitation light source 1, a laser gain medium 2, an optical polarization element 30, a first optical element 40, an excitation light supply path OP EL, and a feedback path OP RE . in addition to having a first polarization maintaining fiber 5 1.

レーザ増幅システムSYS1は、第1光学レンズ6と、第2光学レンズ6と、第3光学レンズ6と、第4光学レンズ6と、第1ダイクロイックミラー7と、第2ダイクロイックミラー7と、第1ミラー8と、第2ミラー8とのうちの少なくとも一つを含んでいてもよい。レーザ利得媒質2は、レーザ増幅器(AMP)20に包含されている。なお、光偏光素子30及び第1光学素子40の構成については、説明を省略する。 Laser amplification system SYS1 includes 1 a first optical lens 6, and the second optical lens 6 2, a third optical lens 6 3, and a fourth optical lens 6 4, the first dichroic mirror 7 1, second dichroic mirror 7 2, 1 and the first mirror 8, it may include at least one of the two second mirror 8. The laser gain medium 2 is included in a laser amplifier (AMP) 20. The description of the configuration of the light polarizing element 30 and the first optical element 40 is omitted.

励起光源1は、例えば、レーザダイオードである。励起光源1は、励起光ELを発生させて、励起光供給経路OPELに供給する。励起光ELの波長は、レーザ光Lの波長と異なる。なお、励起光源1の構成は、任意である。例えば、励起光源1が固体レーザ利得媒質で構成されていてもよい。 The excitation light source 1 is, for example, a laser diode. The excitation light source 1 generates excitation light EL and supplies it to the excitation light supply path OP EL . The wavelength of the excitation light EL is different from the wavelength of the laser light L. The configuration of the excitation light source 1 is arbitrary. For example, the excitation light source 1 may be composed of a solid laser gain medium.

レーザ利得媒質2には、レーザ光Lの波長に適した物質が使用される。レーザ利得媒質2に固体のレーザ利得媒質を適用する場合、固体としては、例えば、イッテルビウム3価イオン(Yb3+)を含んだイットリウムアルミニウムガーネット(YAG)が挙げられる。レーザ利得媒質2に液体のレーザ利得媒質を適用する場合、液体としては、例えば、蛍光性の有機色素(例えば、オキサジン系色素)が溶剤(例えば、アルコール)に融解した液体が挙げられる。なお、レーザ利得媒質2に気体のレーザ利得媒質を適用してもよいし、あるいはファイバ形式のレーザ利得媒質を適用してもよい。 A material suitable for the wavelength of the laser beam L is used for the laser gain medium 2. When a solid laser gain medium is applied to the laser gain medium 2, examples of the solid include yttrium aluminum garnet (YAG) containing ytterbium trivalent ions (Yb 3+ ). When a liquid laser gain medium is applied to the laser gain medium 2, examples of the liquid include a liquid in which a fluorescent organic dye (for example, an oxazine dye) is dissolved in a solvent (for example, alcohol). Note that a gas laser gain medium may be applied to the laser gain medium 2 or a fiber type laser gain medium may be applied.

レーザ増幅器20は、種光としてのレーザ光Lが増幅するように構成されている。レーザ増幅器20は、レーザ利得媒質2に加え、種々の光学部品を備えていてもよい。種々の光学部品は、例えば、レーザ増幅器20に供給されたレーザ光及び励起光をレーザ利得媒質2へ同軸に導くためのミラーを含んでいる。レーザ増幅器20は、レーザ利得媒質2によって増幅されたレーザ光Lと、レーザ利得媒質2を透過した励起光(帰還光ELRE)とを出力する。なお、レーザ光Lの強度は、任意である。 The laser amplifier 20 is configured to amplify laser light L as seed light. The laser amplifier 20 may include various optical components in addition to the laser gain medium 2. The various optical components include, for example, a mirror for coaxially guiding laser light and excitation light supplied to the laser amplifier 20 to the laser gain medium 2. The laser amplifier 20 outputs the laser light L amplified by the laser gain medium 2 and the excitation light (feedback light EL RE ) transmitted through the laser gain medium 2. Note that the intensity of the laser light L is arbitrary.

第1偏波保持ファイバ5は、入力端51と、出力端51とを備える。第1偏波保持ファイバ5は、励起光供給経路OPELに配置されている。第1偏波保持ファイバ5は、導入された光の偏光状態(偏波面の状態)が保持されたまま出力されるように構成されている。つまり、第1偏波保持ファイバ5から出力された光の偏光状態は、第1偏波保持ファイバ5に導入された光の偏光状態と同じである。図6の例では、入力端51に励起光ELが導入される。第1偏波保持ファイバ5に導入された励起光ELは、偏光状態を保持したまま出力端51に出力される。 The first polarization maintaining fiber 5 1 includes an input terminal 51 1, and an output terminal 51 2. The first polarization maintaining fiber 5 1 is disposed in the excitation light supply path OP EL. The first polarization maintaining fiber 5 1, the polarization state of the introduced light (state of polarization) is configured to be outputted while being held. In other words, the polarization state of the first light output from the polarization maintaining fiber 5 1 is the same as the polarization state of the light introduced into the first polarization-maintaining fiber 5 1. In the example of FIG. 6, the excitation light EL is introduced to an input terminal 51 1. Introduced excitation light EL to the first polarization-maintaining fiber 5 1 is outputted to the output terminal 51 2 while maintaining the polarization state.

図6に示すように、第1偏波保持ファイバ5が設けられる場合、帰還光ELREを励起光ELと同軸にすることが容易となる。その上、帰還光ELREの径を励起光ELの径と同じにすることも容易となる。 As shown in FIG. 6, if the first polarization-maintaining fiber 5 1 is provided, it is easy to feedback light EL RE to the excitation light EL coaxially. In addition, it is easy to make the diameter of the feedback light EL RE the same as the diameter of the excitation light EL.

更には、第1偏波保持ファイバ5が用いられることにより、次の効果も得られる。光路(例えば、励起光供給経路OPEL)はできるだけ単純である方が良い。しかしながら、光路は、レーザ増幅システムSYS1の構成の制約を受けやすい。そのため、例えば、励起光源1及びレーザ増幅器20の双方を直線状の光路に配置することが難しい場合がある。そこで、第1偏波保持ファイバ5が設けられている。第1偏波保持ファイバ5は、光ファイバのような柔軟性を持つ。その上、第1偏波保持ファイバ5には、外部から振動(衝撃)が加わっても、偏光状態が保持されるという特色がある。そのため、例えば、非直線状の光路に励起光源1及びレーザ増幅器20の双方を配置することができる。つまり、レーザ増幅システムSYS1の設計の自由度が高まる。 Furthermore, since the first polarization-maintaining fiber 5 1 is used, the following effect can be obtained. The optical path (for example, the excitation light supply path OP EL ) should be as simple as possible. However, the optical path is likely to be restricted by the configuration of the laser amplification system SYS1. Therefore, for example, it may be difficult to arrange both the excitation light source 1 and the laser amplifier 20 in a linear optical path. Therefore, the first polarization-maintaining fiber 5 1 is provided. The first polarization maintaining fiber 5 1 has a flexibility such as an optical fiber. Moreover, in the first polarization-maintaining fiber 5 1, be applied external vibration (impacts) is, there is a feature that the polarization state is maintained. Therefore, for example, both the excitation light source 1 and the laser amplifier 20 can be arranged in a non-linear optical path. That is, the degree of freedom in designing the laser amplification system SYS1 is increased.

第1光学レンズ6は、励起光供給経路OPELにおいて、励起光源1と第1光学素子40との間に配置されている。第1光学レンズ6は、励起光源1から出力された励起光ELを集光して第1偏波保持ファイバ5の入力端51に導入する。なお、第1光学レンズ6は、励起光ELが第1偏波保持ファイバ5の入力端51に導入されるように、第1光学素子40と第1偏波保持ファイバ5の入力端51との間に配置されていてもよい。 The first optical lens 61, in the pumping light supply path OP EL, is disposed between the excitation light source 1 and the first optical element 40. The first optical lens 61 is introduced into the input end 51 1 of the first polarization-maintaining fiber 5 1 condenses the excitation light EL that has been output from the pumping light source 1. The first optical lens 61, as the excitation light EL is introduced into the input end 51 1 of the first polarization-maintaining fiber 5 1, the first optical element 40 first polarization-maintaining fiber 5 first input it may be disposed between the end 51 1.

第2光学レンズ6は、帰還経路OPREにおいて、第2ダイクロイックミラー7と第1ミラー8との間に配置されている。なお、図6の例では、第2光学レンズ6は、例えば、帰還経路OPREにおいて、第1ミラー8と第2ミラー8との間に配置されていてもよい。また、図6の例では、第2光学レンズ6は、設けられていなくてもよい。 2 the second optical lens 6, in the feedback path OP RE, is disposed between the second dichroic mirror 7 2 and the first mirror 8 1. In the example of FIG. 6, the second optical lens 6 2, for example, in the feedback path OP RE, may be disposed between the first mirror 8 1 and 2 the second mirror 8. In the example of FIG. 6, the second optical lens 6 2 may not be provided.

第3光学レンズ6は、励起光供給経路OPELにおいて、第1偏波保持ファイバ5と第1ダイクロイックミラー7との間に配置されている。第3光学レンズ6は、第1偏波保持ファイバ5の出力端51から出力された励起光ELを受光し、励起光ELを第1ダイクロイックミラー7へ導入する。簡単に言えば、第3光学レンズ6は、第1偏波保持ファイバ5から出力された励起光ELをレーザ利得媒質2へ導入する。 Third optical lens 6 3, in the excitation light supplying path OP EL, is disposed between the first polarization maintaining fiber 5 1 and the first dichroic mirror 7 1. Third optical lens 6 3, the excitation light EL that has been output from the first polarization maintaining fiber 5 first output terminal 51 2 is received, to introduce the excitation light EL to the first dichroic mirror 7 1. Briefly, the third optical lens 6 3 introduces the excitation light EL that has been output from the first polarization maintaining fiber 5 1 to the laser gain medium 2.

第4光学レンズ6は、帰還経路OPREにおいて、光偏光素子30と第1光学素子40との間に配置されている。第4光学レンズ6は、光偏光素子30から出力された帰還光ELREを受光し、帰還光ELREを集光して第1光学素子40へ導入する。なお、第4光学レンズ6は、設けられていなくてもよい。 The fourth optical lens 6 4, in the feedback path OP RE, is arranged between the light polarizing element 30 and the first optical element 40. The fourth optical lens 6 4 receives the backward light EL RE output from the light polarizing element 30 is introduced by condensing the returned light EL RE to the first optical element 40. The fourth optical lens 6 4 may not be provided.

第1ダイクロイックミラー7について述べる。基本的に、励起光ELの波長は、レーザ光Lの波長と異なる。また、図6の例では、レーザ光Lは、励起光供給経路OPELに対して垂直にY軸の正方向から負方向の向きに入射する。種光源から出力されたレーザ光Lと、励起光源1から出力された励起光ELとをレーザ増幅器20(レーザ利得媒質2)へ供給するためには、光学素子としてダイクロイックミラーが好適である。ダイクロイックミラーは、特定の波長の光を透過させ、他の波長の光を反射させる。 The first dichroic described dichroic mirror 71. Basically, the wavelength of the excitation light EL is different from the wavelength of the laser light L. In the example of FIG. 6, the laser beam L is incident in the positive direction from the negative direction orientation of the Y axis perpendicular to the excitation light supply path OP EL. In order to supply the laser light L output from the seed light source and the excitation light EL output from the excitation light source 1 to the laser amplifier 20 (laser gain medium 2), a dichroic mirror is suitable as an optical element. The dichroic mirror transmits light of a specific wavelength and reflects light of other wavelengths.

第1ダイクロイックミラー7は、レーザ光Lをレーザ増幅器20へ供給し、励起光ELを透過させる役割を持つ。具体的には、第1ダイクロイックミラー7は、第1偏波保持ファイバ5から出力された励起光ELを透過させ、種光源から出力されたレーザ光Lを反射させる。第1ダイクロイックミラー7は、レーザ光LがX軸の正方向に反射するように、励起光供給経路OPELに配置されている。 The first dichroic mirror 7 1 supplies the laser beam L to the laser amplifier 20 has a role of transmitting the excitation light EL. More specifically, the first dichroic mirror 7 1, is transmitted through the excitation light EL that has been output from the first polarization maintaining fiber 5 1 reflects the laser beam L emitted from the seed light source. The first dichroic mirror 7 1, as the laser beam L is reflected in the positive direction of the X axis, are arranged in the excitation light supply path OP EL.

第2ダイクロイックミラー7は、第1ダイクロイックミラー7と同様に、特定の波長の光を透過させ、他の波長の光を反射させる。ただし、第2ダイクロイックミラー7は、第1ダイクロイックミラー7と次の点で異なる。第2ダイクロイックミラー7は、帰還光ELREをレーザ増幅器20へ帰還させる役割を持つ。そのため、第2ダイクロイックミラー7は、帰還光ELREがY軸の負方向に反射するように、帰還経路OPREに配置されている。第2ダイクロイックミラー7は、レーザ増幅器20から出力されたレーザ光Lを透過させる。更に、第2ダイクロイックミラー7は、励起光としての帰還光ELREを第1ミラー8へ向けて反射させる。 The second dichroic mirror 7 2, like the first dichroic mirror 7 1 transmits light of a specific wavelength and reflects light of other wavelengths. However, the second dichroic mirror 7 2 differs from the first dichroic mirror 71 in the following ways. The second dichroic mirror 7 2 is responsible for feeding back the feedback light EL RE to the laser amplifier 20. Therefore, the second dichroic mirror 7 2, feedback light EL RE is to reflect the negative direction of the Y axis, it is arranged in the feedback path OP RE. The second dichroic mirror 7 2, and transmits the laser beam L emitted from the laser amplifier 20. Further, the second dichroic mirror 7 2 reflects toward the backward light EL RE as an excitation light to the first mirror 8 1.

第1ミラー8は、例えば、全反射ミラーである。第1ミラー8は、帰還経路OPREにおいて、第2ダイクロイックミラー7からY軸の負方向へ所定の距離を隔てた位置に配置されている。第1ミラー8は、第2ダイクロイックミラー7によって反射された帰還光ELREを受光し、帰還光ELREを第2ミラー8へ向けて反射させる。 The first mirror 8 1 is, for example, a total reflection mirror. The first mirror 8 1, in the feedback path OP RE, is disposed at a position at a predetermined distance in the negative direction of the Y-axis from the second dichroic mirror 7 2. The first mirror 8 1, the returned light EL RE reflected by the second dichroic mirror 7 2 receives, reflects toward the backward light EL RE to the second mirror 82.

第2ミラー8は、例えば、全反射ミラーである。第2ミラー8は、帰還経路OPREにおいて、第1ミラー8からX軸の負方向へ所定の距離を隔てた位置に配置されている。第2ミラー8は、第1ミラー8によって反射された帰還光ELREを受光し、帰還光ELREを光偏光素子30へ向けて反射させる。 The second mirror 82 is, for example, a total reflection mirror. 2 second mirror 8, in the feedback path OP RE, is disposed at a position at a predetermined distance in the negative direction of the X axis from the first mirror 8 1. 2 second mirror 8, the feedback light EL RE reflected by the first mirror 8 1 receives, is reflected toward the backward light EL RE to the optical polarizing element 30.

2.5.動作
励起光に着目し、レーザ増幅システムSYS1の動作を説明する。励起光源1から出力された励起光ELは、第1光学レンズ6を通過して第1光学素子40に導入される。そして、励起光ELは、第1光学素子40を透過して、第1偏波保持ファイバ5に導入される。第1偏波保持ファイバ5に導入された励起光ELは、偏光状態が保持されたまま出力される。第1偏波保持ファイバ5から出力された励起光ELは、第3光学レンズ6を通過して第1ダイクロイックミラー7へ導入される。そして、励起光ELは、第1ダイクロイックミラー7を透過して、レーザ増幅器20(レーザ利得媒質2)へ供給される。
2.5. Operation Focusing on the excitation light, the operation of the laser amplification system SYS1 will be described. Excitation light EL that has been output from the pumping light source 1 is introduced into the first optical element 40 passes through the first optical lens 61. Then, the excitation light EL is transmitted through the first optical element 40, it is introduced into the first polarization-maintaining fiber 5 1. Introduced excitation light EL to the first polarization-maintaining fiber 5 1, the polarization state is output while being held. Excitation light EL that has been output from the first polarization maintaining fiber 5 1 is introduced through the third optical lens 6 3 to the first dichroic mirror 7 1. Then, the excitation light EL is transmitted through the first dichroic mirror 7 1, is supplied to the laser amplifier 20 (the laser gain medium 2).

レーザ利得媒質2を透過した励起光は、帰還光ELREとしてレーザ増幅器20から出力される。帰還光ELREは、第2ダイクロイックミラー7によって反射され、帰還経路OPREに導入される。そして、帰還光ELREは、第1ミラー8及び第2ミラー8によって反射され、光偏光素子30へ導入される。例えば、帰還光ELREの偏光状態が縦偏光の場合、光偏光素子30は、帰還光ELREの偏光状態を縦偏光から横偏光に変換する。そして、第1光学素子40は、光偏光素子30によって変換された横偏光の帰還光ELREを反射させて励起光供給経路OPELへ導入する。その後、帰還光ELREは、上述の励起光ELが辿った経路と同様の経路をたどり、レーザ利得媒質2へ帰還する。 The excitation light transmitted through the laser gain medium 2 is output from the laser amplifier 20 as feedback light EL RE . Feedback light EL RE is reflected by the second dichroic mirror 7 2, it is introduced into the feedback path OP RE. The returned light EL RE is reflected by the first mirror 8 1 and the second mirror 82, it is introduced into the light polarizing element 30. For example, when the polarization state of the feedback light EL RE is longitudinal polarization, the optical polarization element 30 converts the polarization state of the feedback light EL RE from longitudinal polarization to lateral polarization. Then, the first optical element 40 reflects the laterally polarized feedback light EL RE converted by the light polarizing element 30 and introduces it into the excitation light supply path OP EL . Thereafter, the feedback light EL RE follows a path similar to the path followed by the excitation light EL and returns to the laser gain medium 2.

第1の実施の形態によれば、励起光源1の構成に依存することなく、レーザ利得媒質2を透過した励起光(ELRE)を回収して再利用することができる。 According to the first embodiment, the excitation light (EL RE ) transmitted through the laser gain medium 2 can be collected and reused without depending on the configuration of the excitation light source 1.

3.第2の実施の形態
第2の実施の形態について説明する。第1の実施の形態では、励起光の偏光状態を利用することにより、励起光を回収する例を挙げた。励起光の回収にあたっては、励起光の偏光状態の代わりに、励起光の波長を利用することができる。
3. Second Embodiment A second embodiment will be described. In 1st Embodiment, the example which collect | recovers excitation light was given by utilizing the polarization state of excitation light. In collecting the excitation light, the wavelength of the excitation light can be used instead of the polarization state of the excitation light.

図7は、レーザ増幅システムSYS1aの構成例を示す模式図である。図7に示すように、レーザ増幅システムSYS1aでは、図6に示す光偏光素子30の代替手段として、波長変換素子31が設けられている。更に、図6に示す第1光学素子40の代替手段として、第2光学素子41が設けられている。言い換えれば、図3に示す光学特性変換器(3)は、波長変換素子31を含む。図3に示す励起光合流器(4)は、第2光学素子41を含む。   FIG. 7 is a schematic diagram illustrating a configuration example of the laser amplification system SYS1a. As shown in FIG. 7, in the laser amplification system SYS1a, a wavelength conversion element 31 is provided as an alternative to the optical polarization element 30 shown in FIG. Furthermore, a second optical element 41 is provided as an alternative to the first optical element 40 shown in FIG. In other words, the optical property converter (3) shown in FIG. 3 includes the wavelength conversion element 31. The excitation light combiner (4) shown in FIG. 3 includes a second optical element 41.

励起光源1によって発生された励起光ELの波長は、励起光源1の仕様によって決まっている。以下の説明では、励起光ELが第1波長を持つと仮定する。   The wavelength of the excitation light EL generated by the excitation light source 1 is determined by the specification of the excitation light source 1. In the following description, it is assumed that the excitation light EL has the first wavelength.

波長変換素子31は、帰還光ELREの波長を第1波長から第2波長に変換する。第2波長は、第1波長より長くてもよいし、第1波長より短くてもよい。第2波長は、第1波長と異なる波長であればよい。 The wavelength conversion element 31 converts the wavelength of the feedback light EL RE from the first wavelength to the second wavelength. The second wavelength may be longer than the first wavelength or shorter than the first wavelength. The second wavelength may be a wavelength different from the first wavelength.

第2光学素子41は、励起光源1から出力された第1波長の励起光を透過させるとともに、波長変換素子31によって変換された第2波長の帰還光ELREを反射させる。 The second optical element 41 transmits the excitation light having the first wavelength output from the excitation light source 1 and reflects the feedback light EL RE having the second wavelength converted by the wavelength conversion element 31.

第1の実施の形態と同様に、帰還光ELREの光学特性を変えることにより、帰還光ELREが励起光源1から出力された励起光ELと合流する。その結果、レーザ利得媒質2には、2種類の励起光が供給される。一つは、第1波長の励起光である。もう一つは、第2波長の帰還光ELREである。レーザ利得媒質2は、2種類の励起光の各々と相互作用することで励起される。 Similar to the first embodiment, the feedback light EL RE merges with the excitation light EL output from the excitation light source 1 by changing the optical characteristics of the feedback light EL RE . As a result, two types of excitation light are supplied to the laser gain medium 2. One is excitation light of the first wavelength. The other is the second wavelength feedback light EL RE . The laser gain medium 2 is excited by interacting with each of the two types of excitation light.

第2の実施の形態においても、第1の実施の形態と同様に、励起光源1の構成に依存することなく、レーザ利得媒質2を透過した励起光を回収して再利用することができる。   Also in the second embodiment, similarly to the first embodiment, the excitation light transmitted through the laser gain medium 2 can be collected and reused without depending on the configuration of the excitation light source 1.

4.第3の実施の形態
第3の実施の形態について説明する。第1の実施の形態で説明したように、偏波保持ファイバは、レーザ増幅システムの設計の自由度を高めることに貢献する。第3の実施の形態では、レーザ増幅システムの設計の自由度が更に高まるレーザ増幅システムについて説明する。
4). Third Embodiment A third embodiment will be described. As described in the first embodiment, the polarization maintaining fiber contributes to increasing the degree of freedom in designing the laser amplification system. In the third embodiment, a laser amplification system that further increases the degree of freedom in designing the laser amplification system will be described.

図8は、レーザ増幅システムSYS1bの構成例を示す模式図である。図8に示すように、レーザ増幅システムSYS1bは、第2偏波保持ファイバ5を更に備える。第2偏波保持ファイバ5が帰還経路OPRE設けられたので、第1ミラー8及び第2ミラー8は、不要である。 FIG. 8 is a schematic diagram illustrating a configuration example of the laser amplification system SYS1b. As shown in FIG. 8, the laser amplification system SYS1b further comprises a second polarization-maintaining fiber 5 2. Since the second polarization-maintaining fiber 5 2 is provided feedback path OP RE, the first mirror 8 1 and the second mirror 82 is unnecessary.

第2偏波保持ファイバ5は、入力端52と、出力端52とを備える。第2偏波保持ファイバ5の構造自体は、第1偏波保持ファイバ5の構造と同じである。ただし、第2偏波保持ファイバ5は、帰還経路OPREに配置されている。 The second polarization-maintaining fiber 5 2 includes an input end 52 1, and an output terminal 52 2. The second structure itself of the polarization-maintaining fiber 5 2 is the same as the first polarization-maintaining fiber 5 1 structure. However, the second polarization-maintaining fiber 5 2 is placed in the feedback path OP RE.

第2光学レンズ6は、レーザ利得媒質2を透過した励起光を帰還光ELREとして、第2偏波保持ファイバ5の入力端52に導入する。 The second optical lens 6 2, the excitation light transmitted through the laser gain medium 2 as a feedback light EL RE, is introduced into the input end 52 1 of the second polarization-maintaining fiber 5 2.

第4光学レンズ6は、第2偏波保持ファイバ5の出力端52から出力された帰還光ELREを受光し、帰還光ELREを第1光学素子40へ導入する。簡単に言えば、第4光学レンズ6は、第2偏波保持ファイバ5から出力された帰還光ELREを第1光学素子40へ導入する。 The fourth optical lens 6 4 feedback light EL RE output from the output terminal 52 of the second polarization-maintaining fiber 5 2 received, to introduce a feedback light EL RE to the first optical element 40. Briefly, the fourth optical lens 6 4 introduces the backward light EL RE output from the second polarization-maintaining fiber 5 2 to the first optical element 40.

第3の実施の形態によれば、帰還経路OPREの一部が第2偏波保持ファイバ5で構成されている。したがって、励起光供給経路OPELにおいて、帰還光ELREを励起光ELと同軸にすることが更に容易となる。その上、励起光供給経路OPELにおいて、帰還光ELREの径を励起光ELの径と同じ径にすることも容易となる。また、レーザ増幅システムの設計の自由度を更に高めることができる。言うまでもなく、第1の実施の形態の効果と同様の効果を得ることができる。 According to the third embodiment, a portion of the feedback path OP RE is constituted by a second polarization maintaining fiber 5 2. Accordingly, it becomes easier to make the return light EL RE coaxial with the excitation light EL in the excitation light supply path OP EL . In addition, in the excitation light supply path OP EL , it is easy to make the diameter of the feedback light EL RE the same as the diameter of the excitation light EL. In addition, the degree of freedom in designing the laser amplification system can be further increased. Needless to say, the same effects as those of the first embodiment can be obtained.

5.第4の実施の形態
第4の実施の形態について説明する。偏波保持ファイバを励起光供給経路ではなく、帰還経路に配置することもできる。
5. Fourth Embodiment A fourth embodiment will be described. The polarization maintaining fiber can be arranged in the return path instead of the pumping light supply path.

図9は、レーザ増幅システムSYS1cの構成例を示す模式図である。図9に示すように、レーザ増幅システムSYS1cは、第2偏波保持ファイバ5を更に備える。第2偏波保持ファイバ5が帰還経路OPREに設けられている。なお、図9の例では、第1光学レンズ6及び第3光学レンズ6(図6参照)が、設けられていない。無論、第1光学レンズ6及び第3光学レンズ6が励起光供給経路OPELに設けられていてもよい。 FIG. 9 is a schematic diagram illustrating a configuration example of the laser amplification system SYS1c. As shown in FIG. 9, the laser amplification system SYS1c further comprises a second polarization-maintaining fiber 5 2. The second polarization-maintaining fiber 5 2 are provided in the feedback path OP RE. In the example of FIG. 9, the first optical lens 6 first and third optical lens 6 3 (see FIG. 6) is not provided. Of course, the first optical lens 6 first and third optical lens 6 3 may be provided to the excitation light supply path OP EL.

第2偏波保持ファイバ5は、帰還経路OPREに配置されている。第2光学レンズ6は、レーザ利得媒質2を透過した励起光を帰還光ELREとして第2偏波保持ファイバ5へ導入する。第4光学レンズ6は、第2偏波保持ファイバ5から出力された帰還光ELREを第1光学素子40へ導入する。 The second polarization-maintaining fiber 5 2 is placed in the feedback path OP RE. The second optical lens 6 2 introduces the excitation light transmitted through the laser gain medium 2 as a feedback light EL RE to the second polarization-maintaining fiber 5 2. The fourth optical lens 6 4 introduces the backward light EL RE output from the second polarization-maintaining fiber 5 2 to the first optical element 40.

第4の実施の形態によれば、帰還経路OPREの一部が第2偏波保持ファイバ5で構成されている。したがって、レーザ増幅システムの設計の自由度を高めることができる。言うまでもなく、第1の実施の形態の効果と同様の効果を得ることができる。 According to the fourth embodiment, a portion of the feedback path OP RE is constituted by a second polarization maintaining fiber 5 2. Therefore, the degree of freedom in designing the laser amplification system can be increased. Needless to say, the same effects as those of the first embodiment can be obtained.

6.第5の実施の形態
第5の実施の形態について説明する。第1の実施の形態では、励起光の回収にあたって、励起光源から出力された励起光が透過し、レーザ利得媒質2から出力された帰還光が反射される場合を例示した。第5の実施の形態では、励起光源から出力された励起光が反射し、レーザ利得媒質から出力された帰還光が透過する場合について説明する。
6). Fifth Embodiment A fifth embodiment will be described. In the first embodiment, the pump light output from the pump light source is transmitted and the feedback light output from the laser gain medium 2 is reflected when collecting the pump light. In the fifth embodiment, a case will be described in which excitation light output from an excitation light source is reflected and feedback light output from a laser gain medium is transmitted.

図10は、励起光の伝搬経路に着目したレーザ増幅システムSYS1dのブロック図である。図10において示される記号「↑」及び「↓」は、縦偏光を表している。記号「→」及び「←」は、横偏光を表している。   FIG. 10 is a block diagram of the laser amplification system SYS1d focusing on the propagation path of the excitation light. Symbols “↑” and “↓” shown in FIG. 10 represent longitudinally polarized light. The symbols “→” and “←” represent transversely polarized light.

図10に示すレーザ増幅システムSYS1dの構成は、図4に示すレーザ増幅システムSYS1の構成と次の点で異なる。なお、以下の説明では、図4の説明と同様に、励起光源1から出力された励起光ELの偏光状態が縦偏光であるとする。   The configuration of the laser amplification system SYS1d shown in FIG. 10 is different from the configuration of the laser amplification system SYS1 shown in FIG. 4 in the following points. In the following description, it is assumed that the polarization state of the excitation light EL output from the excitation light source 1 is longitudinal polarization, as in the description of FIG.

一つ目は、光偏光素子30aの機能である。光偏光素子30aは、例えば、帰還光ELREの偏光状態を縦偏光から横偏光に変換する。二つ目は、第1光学素子40aの機能である。第1光学素子40aは、光偏光素子30aによって変換された横偏光の帰還光ELREを透過させ、励起光源1から出力された縦偏光の励起光を反射させる。三つ目は、励起光源1の配置である。励起光源1から出力された励起光ELが第1光学素子40aによって反射され、反射された励起光ELが励起光供給経路OPELへ供給される位置に励起光源1は配置されている。 The first is the function of the light polarizing element 30a. For example, the optical polarization element 30a converts the polarization state of the feedback light EL RE from vertical polarization to horizontal polarization. The second is the function of the first optical element 40a. The first optical element 40 a transmits the horizontally polarized feedback light EL RE converted by the light polarizing element 30 a and reflects the vertically polarized excitation light output from the excitation light source 1. The third is the arrangement of the excitation light source 1. Excitation light EL that has been output from the pumping light source 1 is reflected by the first optical element 40a, the excitation light source 1 to the position reflected excitation light EL is supplied to the pumping light supply path OP EL are arranged.

レーザ増幅システムSYS1dの動作は、次の通りである。励起光源1から出力された縦偏光の励起光ELは、第1光学素子40aによって反射されて励起光供給経路OPELへ供給される。そして、縦偏光の励起光ELは、レーザ利得媒質2へ供給される。レーザ利得媒質2を透過した帰還光ELREは、縦偏光のままである。縦偏光の帰還光ELREは、帰還経路OPREを通って、光偏光素子30aへ導入される。光偏光素子30aは、帰還光ELREの偏光状態を縦偏光から横偏光に変換する。光偏光素子30aによって変換された横偏光の帰還光ELREは、第1光学素子40aへ導入される。第1光学素子40aは、横偏光の帰還光ELREを透過させる。第1光学素子40aを透過した横偏光の帰還光ELREは、レーザ利得媒質2へ帰還する。 The operation of the laser amplification system SYS1d is as follows. Excitation light EL of vertically polarized light output from the pumping light source 1 is supplied to reflected by pumping light supply path OP EL by the first optical element 40a. The longitudinally polarized excitation light EL is supplied to the laser gain medium 2. The feedback light EL RE transmitted through the laser gain medium 2 remains longitudinally polarized. The vertically polarized return light EL RE is introduced into the light polarization element 30a through the return path OP RE . The optical polarization element 30a converts the polarization state of the feedback light EL RE from vertical polarization to horizontal polarization. The laterally polarized feedback light EL RE converted by the light polarizing element 30a is introduced into the first optical element 40a. The first optical element 40a transmits laterally polarized feedback light EL RE . The laterally polarized feedback light EL RE transmitted through the first optical element 40a returns to the laser gain medium 2.

第5の実施の形態においても、第1の実施の形態と同様に、励起光源1の構成に依存することなく、レーザ利得媒質2を透過した励起光を回収して再利用することができる。   In the fifth embodiment, similarly to the first embodiment, the excitation light transmitted through the laser gain medium 2 can be collected and reused without depending on the configuration of the excitation light source 1.

7.第6の実施の形態
第6の実施の形態について説明する。第6の実施の形態では、励起光の波長を利用することで、励起光源から出力された励起光が反射し、レーザ利得媒質から出力された帰還光が透過する場合について説明する。
7). Sixth Embodiment A sixth embodiment will be described. In the sixth embodiment, a case will be described in which the pumping light output from the pumping light source is reflected and the feedback light output from the laser gain medium is transmitted by using the wavelength of the pumping light.

図11は、励起光の伝搬経路に着目したレーザ増幅システムSYS1eのブロック図である。図11に示すように、レーザ増幅システムSYS1eでは、図10に示す光偏光素子30aの代替手段として、波長変換素子31aが設けられている。更に、図10に示す第1光学素子40aの代替手段として、第2光学素子41aが設けられている。以下の説明では、励起光源1によって発生された励起光ELが第1波長を持つとする。   FIG. 11 is a block diagram of the laser amplification system SYS1e focusing on the propagation path of the excitation light. As shown in FIG. 11, in the laser amplification system SYS1e, a wavelength conversion element 31a is provided as an alternative to the optical polarization element 30a shown in FIG. Furthermore, a second optical element 41a is provided as an alternative to the first optical element 40a shown in FIG. In the following description, it is assumed that the excitation light EL generated by the excitation light source 1 has the first wavelength.

波長変換素子31aは、帰還光ELREの波長を第1波長から第2波長に変換する。第2光学素子41aは、励起光源1から出力された第1波長の励起光を反射させるとともに、波長変換素子31aによって変換された第2波長の帰還光ELREを透過させる。 The wavelength conversion element 31a converts the wavelength of the feedback light EL RE from the first wavelength to the second wavelength. The second optical element 41a reflects the first wavelength excitation light output from the excitation light source 1 and transmits the second wavelength feedback light EL RE converted by the wavelength conversion element 31a.

第6の実施の形態においても、第1の実施の形態と同様に、励起光源1の構成に依存することなく、レーザ利得媒質2を透過した励起光を回収して再利用することができる。   Also in the sixth embodiment, similarly to the first embodiment, the excitation light transmitted through the laser gain medium 2 can be collected and reused without depending on the configuration of the excitation light source 1.

8.第7の実施の形態
第7の実施の形態は、レーザ増幅システムが適用されたレーザシステムに関する。図12は、レーザ増幅システムSYS1が適用されたレーザシステムSYS2の構成例を示すブロック図である。
8). Seventh Embodiment The seventh embodiment relates to a laser system to which a laser amplification system is applied. FIG. 12 is a block diagram illustrating a configuration example of a laser system SYS2 to which the laser amplification system SYS1 is applied.

図12に示すように、レーザシステムSYS2は、レーザ増幅システムSYS1と、種光源9とを有する。種光源9は、レーザ光Lの発生源である。種光源9は、発生させたレーザ光Lをレーザ利得媒質2へ供給する。選択的に、第2から第6の実施の形態におけるレーザ増幅システムSYS1a−SYS1eのうちのいずれかをレーザシステムSYS2に適用してもよい。   As shown in FIG. 12, the laser system SYS2 includes a laser amplification system SYS1 and a seed light source 9. The seed light source 9 is a generation source of the laser light L. The seed light source 9 supplies the generated laser light L to the laser gain medium 2. Optionally, any one of the laser amplification systems SYS1a to SYS1e in the second to sixth embodiments may be applied to the laser system SYS2.

第7の実施の形態によれば、励起光源の構成に依存することなく、レーザ利得媒質を透過した励起光を回収して再利用するレーザシステムを提供することができる。   According to the seventh embodiment, it is possible to provide a laser system that collects and reuses the excitation light transmitted through the laser gain medium without depending on the configuration of the excitation light source.

9.第8の実施の形態
レーザ増幅システムを光共振器(レーザ発振器)として用いることができる。図13は、光共振器として用いられた場合のレーザ増幅システムSYS1fの構成例を示すブロック図である。図13に示すように、レーザ増幅システムSYS1fは、ミラー23と、ハーフミラー24とを更に備えていてもよい。例えば、ミラー23は、レーザ利得媒質2の端部に配置されている。ハーフミラー24は、ミラー23と対向するように、レーザ利得媒質2の他端部に配置されている。なお、図13において、ミラー23及びハーフミラー24の配置は、説明の便宜を図るために簡略化されて図示されている。
9. Eighth Embodiment A laser amplification system can be used as an optical resonator (laser oscillator). FIG. 13 is a block diagram illustrating a configuration example of the laser amplification system SYS1f when used as an optical resonator. As illustrated in FIG. 13, the laser amplification system SYS1f may further include a mirror 23 and a half mirror 24. For example, the mirror 23 is disposed at the end of the laser gain medium 2. The half mirror 24 is disposed at the other end of the laser gain medium 2 so as to face the mirror 23. In FIG. 13, the arrangement of the mirror 23 and the half mirror 24 is shown in a simplified manner for convenience of explanation.

図13に示すように、レーザ増幅システムを光共振器として用いる場合、レーザ光をレーザ利得媒質2へ導入する必要は無い。励起光ELがレーザ利得媒質2へ導入されると、励起光ELの一部はレーザ利得媒質2に吸収される。その結果、自然放射によって、レーザ利得媒質2から光が発生する。発生した光は、ミラー23及びハーフミラー24の間を何度も反射する。発生した光がミラー23及びハーフミラー24の間を何度も往復することにより、コヒーレントな光、つまりレーザ光が生成される。以上のように、レーザ増幅システムSYS1fを光共振器として用いることができる。   As shown in FIG. 13, when the laser amplification system is used as an optical resonator, it is not necessary to introduce laser light into the laser gain medium 2. When the excitation light EL is introduced into the laser gain medium 2, a part of the excitation light EL is absorbed by the laser gain medium 2. As a result, light is generated from the laser gain medium 2 by natural radiation. The generated light is reflected many times between the mirror 23 and the half mirror 24. The generated light reciprocates between the mirror 23 and the half mirror 24 many times, thereby generating coherent light, that is, laser light. As described above, the laser amplification system SYS1f can be used as an optical resonator.

以上、全ての実施の形態について説明した。本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で、本発明に種々の変更を加えることができる。例えば、帰還経路を工夫することによって、レーザ利得媒質を透過した励起光を2回以上回収することができる。   As described above, all the embodiments have been described. Various modifications can be made to the present invention without departing from the spirit of the present invention. For example, by devising the feedback path, it is possible to collect the excitation light transmitted through the laser gain medium twice or more.

技術的な矛盾が生じない範囲内で、全ての実施の形態を好適に組み合わせることができる。例えば、第2の実施の形態を第3の実施の形態と組み合わせてもよい。   All the embodiments can be suitably combined within a range in which no technical contradiction occurs. For example, the second embodiment may be combined with the third embodiment.

1…励起光源、2…レーザ利得媒質、3…光学特性変換器、4…励起光合流器、5…第1偏波保持ファイバ、5…第2偏波保持ファイバ、6…第1光学レンズ、6…第2光学レンズ、6…第3光学レンズ、6…第4光学レンズ、7…第1ダイクロイックミラー、7…第2ダイクロイックミラー、8…第1ミラー、8…第2ミラー、9…種光源、20…レーザ増幅器、30…光偏光素子、31…波長変換素子、40…第1光学素子、41…第2光学素子、EL…励起光、ELRE…帰還光、L…レーザ光、OPEL…励起光供給経路、OPRE…帰還経路、SYS1、SYS1a、SYS1b、SYS1c…レーザ増幅システム、SYS2…レーザシステム DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Excitation light source, 2 ... Laser gain medium, 3 ... Optical characteristic converter, 4 ... Excitation light combiner, 5 1 ... 1st polarization maintaining fiber, 5 2 ... 2nd polarization maintaining fiber, 6 1 ... 1st Optical lens, 6 2 ... 2nd optical lens, 6 3 ... 3rd optical lens, 6 4 ... 4th optical lens, 7 1 ... 1st dichroic mirror, 7 2 ... 2nd dichroic mirror, 8 1 ... 1st mirror, 8 2 ... 2nd mirror, 9 ... Seed light source, 20 ... Laser amplifier, 30 ... Light polarizing element, 31 ... Wavelength converting element, 40 ... First optical element, 41 ... Second optical element, EL ... Excitation light, EL RE ... feedback light, L ... laser light, OP EL ... excitation light supply path, OP RE ... feedback path, SYS1, SYS1a, SYS1b, SYS1c ... laser amplification system, SYS2 ... laser system

Claims (4)

励起光を出力する励起光源と、
帰還励起光と前記励起光源からの前記励起光を合成して合成励起光を生成する励起光合成器と、
前記合成励起光を用いる励起によりレーザビームを増幅し、増幅されたレーザビームと励起後の前記合成励起光とを出力するレーザ利得媒質と、
前記励起光合成器と前記レーザ利得媒質との間に配置され、前記励起光合成器からの前記合成励起光と、前記レーザビームとを受け、前記合成励起光が前記レーザビームの幅よりも広い幅を有し、且つ前記合成励起光の幅内に前記レーザビームを含むように、前記合成励起光と前記レーザビームを前記レーザ利得媒質に供給する励起光供給経路と、
前記レーザ利得媒質からの出力から前記合成励起光を取り出し、前記帰還励起光として前記励起光合成器に供給する帰還励起光経路と
を有し、
前記励起光供給経路は、
第1偏波保持ファイバと、
前記レーザビームを反射し、また前記第1偏波保持ファイバからの前記合成励起光を透過することにより、前記レーザビームと前記合成励起光を前記レーザ利得媒質に供給する第1ダイクロイックミラーと、
前記第1偏波保持ファイバと前記第1ダイクロイックミラーの間に設けられ、前記第1偏波保持ファイバから出力される前記合成励起光を、前記レーザビームより広い幅を持つように、且つ前記レーザビームを含むように、前記第1ダイクロイックミラーを介して前記レーザ利得媒質に集光する第3のレンズと
を含み、
前記励起光合成器は、
前記励起光を前記励起光源から前記励起光供給経路に透過し、前記帰還励起光を前記励起光供給経路に反射することにより前記合成励起光を生成する第1光学素子と、
前記励起光を前記第1偏波保持ファイバの入射口に、前記第1光学素子を介して集光する第1レンズと、
前記帰還励起光経路からの前記帰還励起光を、前記励起光と同じ径で前記第1光学素子により反射されて前記第1偏波保持ファイバの入射口に集光する第2レンズと
を含み、
前記帰還励起光経路は、
前記レーザ利得媒質の出力光から励起後の前記合成励起光を前記帰還励起光として取り出す第2ダイクロイックミラーを有する
レーザ増幅システム。
An excitation light source that outputs excitation light;
An excitation light synthesizer that combines the excitation light from the excitation light source and the excitation light from the excitation light source to generate synthetic excitation light;
A laser gain medium for amplifying a laser beam by excitation using the combined excitation light, and outputting the amplified laser beam and the combined excitation light after excitation ;
Wherein disposed between the pump light combiner and the laser gain medium, and the combined excitation light from the excitation light combiner, the laser beam and receiving the said synthetic excitation light the laser beam wider than And an excitation light supply path for supplying the synthetic excitation light and the laser beam to the laser gain medium so as to include the laser beam within the width of the synthetic excitation light ,
Taking out the synthesized excitation light from the output from the laser gain medium, and the excitation light combining device in supplying feedback excitation light path as the feedback excitation light
Have
The excitation light supply path is
A first polarization maintaining fiber;
A first dichroic mirror that reflects the laser beam and transmits the combined excitation light from the first polarization maintaining fiber to supply the laser beam and the combined excitation light to the laser gain medium;
The synthetic pumping light provided between the first polarization maintaining fiber and the first dichroic mirror and output from the first polarization maintaining fiber has a width wider than the laser beam and the laser. A third lens for focusing on the laser gain medium via the first dichroic mirror so as to include a beam;
Including
The excitation light synthesizer
A first optical element that transmits the excitation light from the excitation light source to the excitation light supply path and generates the synthesized excitation light by reflecting the feedback excitation light to the excitation light supply path;
A first lens for condensing the excitation light at an entrance of the first polarization maintaining fiber via the first optical element;
A second lens for reflecting the feedback pump light from the feedback pump light path by the first optical element having the same diameter as the pump light and condensing it at the entrance of the first polarization maintaining fiber;
Including
The feedback pumping light path is
A laser amplification system having a second dichroic mirror that extracts the synthesized pumping light after pumping from the output light of the laser gain medium as the feedback pumping light .
前記励起光合成器は、
前記帰還励起光経路からの前記帰還励起光の偏光状態を第1偏光状態から第2偏光状態に変換する光偏光素子を更に含み、
記第1光学素子は、
前記励起光源から出力された前記第1偏光状態の前記励起光を前記励起光源から前記励起光供給経路に透過るとともに、
記光偏光素子からの前記第2偏光状態の前記帰還励起光を前記励起光供給経路に反射
請求項1に記載のレーザ増幅システム。
The excitation light synthesizer
Further comprising a light polarizing element for converting the polarization state of the feedback excitation light from the return excitation light path from the first polarization state to a second polarization state,
Before Symbol first optical element,
The rewritable transmitting the excitation light of the first polarization state which is output from the pumping light source to said excitation light supply path from the excitation light source,
Laser amplification system as defined in claim 1 you reflecting the feedback excitation light of the second polarization state from the previous SL light polarizing element to the excitation light supply path.
前記励起光合成器は、
前記帰還励起光経路からの前記帰還励起光の波長を第1波長から第2波長に変換する波長変換素子を更に含み、
記第光学素子は、
前記励起光源から出力された前記第1波長の前記励起光を前記励起光源から前記励起光供給経路に透過るとともに、
記波長変換素子からの前記第2波長の前記帰還励起光を前記励起光供給経路に反射
請求項1に記載のレーザ増幅システム。
The excitation light synthesizer
Further comprising a wavelength conversion element for converting the second wavelength the wavelength of the feedback excitation light from the return excitation light path from the first wavelength,
Before Symbol first optical element,
The rewritable transmitting the excitation light of the first wavelength outputted from the pumping light source to said excitation light supply path from the excitation light source,
Laser amplification system as defined in claim 1 you reflecting the feedback excitation light of the second wavelength from the previous SL wavelength converting element to the excitation light supply path.
前記帰還励起光経路は、
2偏波保持ファイバと、
前記第2ダイクロイックミラーから出力される前記帰還励起光を前記第2偏波保持ファイバへ導入する第2光学レンズと
を更に有する
請求項1からのいずれか一項に記載のレーザ増幅システム。
The feedback pumping light path is
A second polarization maintaining fiber;
The laser amplification system according to any one of claims 1 to 3 , further comprising: a second optical lens that introduces the feedback pumping light output from the second dichroic mirror into the second polarization maintaining fiber.
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