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JP6474205B2 - Adsorption surface plate and welding robot system - Google Patents
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JP6474205B2 - Adsorption surface plate and welding robot system - Google Patents

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JP6474205B2 JP2014102483A JP2014102483A JP6474205B2 JP 6474205 B2 JP6474205 B2 JP 6474205B2 JP 2014102483 A JP2014102483 A JP 2014102483A JP 2014102483 A JP2014102483 A JP 2014102483A JP 6474205 B2 JP6474205 B2 JP 6474205B2
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Description

本発明は、薄板状ワークを吸着保持する吸着定盤及びこれを用いた溶接ロボットシステムに関する。   The present invention relates to a suction surface plate for sucking and holding a thin plate workpiece and a welding robot system using the suction surface plate.

従来、大型の薄板状ワークに溶接加工や機械加工を施す際に、吸着によりワークを定盤に拘束することが行われている。例えば、特許文献1では、薄板状ワークの溶接線に沿って設けられた冷却板と、冷却板の両側に溶接線に沿って設けられた吸着装置とを備えた吸着定盤(拘束定盤)が示されている。この吸着装置は、吸着面に開口する吸引口と内部とを連通する吸引孔(貫通孔)を有する真空ボックスと、吸引口の周囲に設けられた支持部材と、支持部材の周囲に設けられた気密弾性リング部材とを備えている。   Conventionally, when welding or machining is performed on a large thin plate workpiece, the workpiece is restrained to a surface plate by suction. For example, in Patent Document 1, a suction surface plate (restraint surface plate) including a cooling plate provided along a welding line of a thin plate-like workpiece and suction devices provided along the welding line on both sides of the cooling plate. It is shown. The suction device is provided with a vacuum box having a suction hole (through hole) that communicates the suction port that opens to the suction surface and the inside, a support member that is provided around the suction port, and a support member that is provided around the support member. And an airtight elastic ring member.

上記構成の吸着定盤では、真空ボックス内が強制排気によって真空(ゲージ圧で大気圧より低い圧力)となっており、吸着定盤に載置された薄板状ワークが吸引口へ吸引される。そのとき、気密弾性リング部材は、ワークが支持部材と当接するまで弾性変形する。これにより、ワークと気密弾性リング部材とが密着して、ワークと気密弾性リング部材の間が封止される。   In the suction surface plate having the above configuration, the inside of the vacuum box is evacuated by forced exhaust (pressure lower than atmospheric pressure by gauge pressure), and the thin plate-like workpiece placed on the suction surface plate is sucked into the suction port. At that time, the airtight elastic ring member is elastically deformed until the work comes into contact with the support member. Thereby, a workpiece | work and an airtight elastic ring member closely_contact | adhere, and between a workpiece | work and an airtight elastic ring member is sealed.

特開平7−001186号公報JP-A-7-001186

吸着定盤に保持された薄板状ワークに溶接加工を施すと、入熱によりワークに歪み(変形)が生じる。例えば、特許文献1のような吸着定盤では、薄板状ワークが変形して起伏が生じると、気密弾性リング部材とワークとの間に隙間が生じ、この隙間から空気が漏れて真空破壊が生じる。たとえ1つの吸引口で真空破壊が生じたとしても、真空ボックスは他の吸引口と連通していることから、真空破壊は他の吸引口に一気に伝播し、各吸引口でワークの吸着力が低下する。その結果、ワークを吸着定盤へ適切に固定できなくなり、溶接位置ずれなどの溶接不良が生じ易くなる。   When a thin plate-like workpiece held on the suction surface plate is welded, the workpiece is distorted (deformed) by heat input. For example, in the suction surface plate as in Patent Document 1, when a thin plate-like workpiece is deformed to cause undulations, a gap is generated between the airtight elastic ring member and the workpiece, and air leaks from the gap to cause a vacuum break. . Even if a vacuum break occurs at one suction port, the vacuum box communicates with the other suction ports, so the vacuum break propagates to other suction ports at once, and the suction force of the workpiece at each suction port increases. descend. As a result, the workpiece cannot be appropriately fixed to the suction surface plate, and welding defects such as a welding position shift easily occur.

そこで、溶接ロボットで薄板状ワークを自動溶接する際には、いずれかの吸引口で真空破壊が生じると直ちにロボットを停止させて溶接を中断することにより、溶接不良を防止していた。また、溶接中断箇所から後方部分の溶接は作業者による手溶接で行われており、コスト削減等の観点から溶接の自動化率の改善が望まれていた。   Therefore, when a thin plate workpiece is automatically welded by a welding robot, if a vacuum break occurs at any of the suction ports, the robot is stopped immediately and the welding is interrupted to prevent welding failure. Further, the welding from the welding interrupted point to the rear part is performed by manual welding by an operator, and it has been desired to improve the welding automation rate from the viewpoint of cost reduction and the like.

本発明は以上の事情に鑑みてなされたものであり、吸着定盤で真空破壊が発生した場合であっても、自動溶接を継続することを可能とする、薄板状ワークの吸着定盤及びそれを備えた溶接ロボットシステムを提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and even when vacuum breakage occurs on the suction surface plate, it is possible to continue automatic welding, and a suction surface plate for a thin plate workpiece and the same It aims at providing the welding robot system provided with.

本発明の一態様に係る吸着定盤は、
複数の吸引口が設けられた吸着面を有するテーブルと、
前記吸着面において前記吸引口の周囲に設けられたシール部材と、
前記吸着面において前記シール部材の周囲に設けられた支持部材と、
圧力が大気圧より低い真空室を内部に有する真空配管と、
前記吸引口と前記真空室とを接続する吸込流路とを備え、
前記吸込流路が、接触している面同士の間隙を通じて流体の移動が許容される面接触により形成された絞り部を有し、前記絞り部が、前記吸込流路内に設けられた環状の段差面と、前記環状の段差面の内周に軸部が挿入された頭付軸体の頭部との面接触により形成されていることを特徴としている。
また、本発明の別の一態様に係る吸着定盤は、
複数の吸引口が設けられた吸着面を有するテーブルと、
前記吸着面において前記吸引口の周囲に設けられたシール部材と、
前記吸着面において前記シール部材の周囲に設けられた支持部材と、
圧力が大気圧より低い真空室を内部に有する真空配管と、
前記吸引口と前記真空室とを接続する吸込流路とを備え、
前記吸込流路が、接触している面同士の間隙を通じて流体の移動が許容される面接触により形成された絞り部を有し、
前記絞り部が、前記吸込流路を塞ぐように当該吸込流路に配置された弾性体に形成された、上流側と下流側とを連通させる微細孔により形成されていることを特徴としている。
The adsorption surface plate according to one aspect of the present invention is:
A table having a suction surface provided with a plurality of suction ports;
A seal member provided around the suction port on the suction surface;
A support member provided around the seal member on the suction surface;
A vacuum pipe having a vacuum chamber inside whose pressure is lower than atmospheric pressure;
A suction flow path connecting the suction port and the vacuum chamber;
The suction flow path has a throttle portion formed by surface contact in which fluid movement is allowed through a gap between the contacting surfaces, and the throttle portion is an annular shape provided in the suction flow path. and the step surface, the shaft portion inner periphery of the annular step surface is formed by the surface contact with the head of the inserted headed shaft is characterized in Rukoto.
In addition, the suction surface plate according to another aspect of the present invention,
A table having a suction surface provided with a plurality of suction ports;
A seal member provided around the suction port on the suction surface;
A support member provided around the seal member on the suction surface;
A vacuum pipe having a vacuum chamber inside whose pressure is lower than atmospheric pressure;
A suction flow path connecting the suction port and the vacuum chamber;
The suction flow path has a throttle portion formed by surface contact that allows fluid movement through the gap between the contacting surfaces,
The throttle portion is formed by a fine hole formed in an elastic body arranged in the suction flow path so as to block the suction flow path and communicating the upstream side and the downstream side.

上記構成の吸着定盤では、一部の吸引口で真空破壊が生じたときに、吸込流路を通じて真空室へ大気が流入するが、吸込流路に設けられた絞り部によって大気の真空室への流入が妨げられ、真空破壊が他の吸引口に伝播するまでの時間を遅延させることができる。つまり、一部の吸引口で真空破壊が発生してからワークの吸着固定が解除されるまでに、吸込流路に絞り部が無い場合と比較して長いタイムラグが生じる。このため、このタイムラグの間は、一部の吸引口で真空破壊が生じても溶接加工を継続することができる。よって、一つのパスの溶接途中で真空破壊が生じても、そのパスの自動溶接を継続することができる。その結果、作業者による手溶接箇所が減少するので、溶接の自動化率を改善することができる。   In the suction surface plate of the above configuration, when a vacuum break occurs at some suction ports, the atmosphere flows into the vacuum chamber through the suction flow path, but the air is introduced into the atmospheric vacuum chamber by the constriction provided in the suction flow path. Inflow is prevented, and the time until the vacuum break propagates to other suction ports can be delayed. That is, a longer time lag occurs than when there is no throttle part in the suction flow path after the vacuum breakage occurs at some suction ports until the workpiece is released from the suction fixation. For this reason, during this time lag, welding can be continued even if a vacuum break occurs in some suction ports. Therefore, even if a vacuum break occurs during the welding of one pass, the automatic welding of that pass can be continued. As a result, the number of manual welds by the operator is reduced, so that the welding automation rate can be improved.

上記吸着定盤において、前記絞り部を、例えば、前記吸込流路内に設けられた複数の面の流れ方向又は当該流れ方向と直交する方向の面接触により形成することができる。また、例えば、前記絞り部を、前記吸込流路内に設けられた環状の段差面と、前記環状の段差面の内周に軸部が挿入された頭付軸体の頭部との面接触により形成することができる。また、例えば、前記絞り部を、前記吸込流路を塞ぐように当該吸込流路に配置された弾性体に形成された、上流側と下流側とを連通させる微細孔により形成することができる。この場合、前記弾性体と前記シール部材として機能する吸着パッドとが一体的に形成されていてもよい。上記いずれの吸着定盤においても、真空破壊が発生してからワークの吸着固定が解除されるまでのタイムラグを設けることの可能な絞り部を実現することができる。   In the suction surface plate, the throttle portion can be formed, for example, by surface contact in a flow direction of a plurality of surfaces provided in the suction flow path or in a direction orthogonal to the flow direction. Further, for example, the throttle portion may be in surface contact with an annular step surface provided in the suction flow path and a head portion of a headed shaft body in which a shaft portion is inserted into an inner periphery of the annular step surface. Can be formed. In addition, for example, the throttle portion can be formed by a fine hole formed in an elastic body arranged in the suction flow path so as to close the suction flow path and communicating the upstream side and the downstream side. In this case, the elastic body and the suction pad functioning as the seal member may be integrally formed. In any of the above suction surface plates, it is possible to realize a throttle portion capable of providing a time lag from when the vacuum break occurs until the workpiece is fixed.

上記吸着定盤において、前記真空室に圧縮空気を供給する圧縮空気供給装置を更に備えることが望ましい。本発明に係る吸着定盤では吸込流路に絞り部が設けられることによって、敢えて真空破壊が発生し難い環境が作り出されているため、ワークの吸着固定を解除する際に自然な真空破壊が生じるために時間を要する。そこで、ワークの吸着固定を解除する際に、圧縮空気供給装置により真空室に圧縮空気を供給すれば、吸引口から圧縮空気が噴き出して真空破壊が生じ、速やかにワークの吸着固定を解除することができる。   The adsorption surface plate preferably further includes a compressed air supply device that supplies compressed air to the vacuum chamber. In the suction surface plate according to the present invention, since the throttle portion is provided in the suction flow path, an environment in which vacuum breakage is unlikely to occur is created, so that natural vacuum breakage occurs when releasing the workpiece suction fixation. Takes time. Therefore, if the compressed air is supplied to the vacuum chamber by the compressed air supply device when releasing the workpiece suction and fixing, the compressed air is ejected from the suction port, causing vacuum breakage, and quickly releasing the workpiece suction and fixing. Can do.

また、本発明の別の一態様に係る溶接ロボットシステムは、
複数の吸引口が設けられた吸着面を有するテーブル、前記吸着面において前記吸引口の周囲に設けられたシール部材、前記吸着面において前記シール部材の周囲に設けられた支持部材、圧力が大気圧より低い真空室を内部に有する真空配管、及び、前記吸引口と前記真空室とを接続する吸込流路を有し、前記吸込流路に面接触により形成された絞り部が設けられた吸着定盤と、
前記吸着定盤に吸着固定されているワークに対して溶接加工を施す溶接ロボットと、
前記吸着定盤の真空室内の圧力を検出する圧力検出手段と、
前記圧力検出手段により所定の第1基準圧力よりも大きい圧力値が溶接中に検出されると、次パス以降の加工を行わないように前記溶接ロボットを制御する停止制御手段とを備えているものである。
Moreover, a welding robot system according to another aspect of the present invention includes:
A table having a suction surface provided with a plurality of suction ports, a seal member provided around the suction port on the suction surface, a support member provided around the seal member on the suction surface, and a pressure of atmospheric pressure A suction pipe having a vacuum pipe having a lower vacuum chamber inside, and a suction flow path connecting the suction port and the vacuum chamber, and provided with a throttle portion formed by surface contact in the suction flow path. The board,
A welding robot that performs welding on a workpiece that is suction-fixed to the suction surface plate;
Pressure detecting means for detecting the pressure in the vacuum chamber of the adsorption surface plate;
And a stop control means for controlling the welding robot so as not to perform the processing after the next pass when a pressure value larger than a predetermined first reference pressure is detected by the pressure detection means during welding. It is.

上記構成の溶接ロボットシステムでは、吸着定盤の一部の吸引口で真空破壊が生じたときに、吸込流路を通じて真空室へ大気が流入するが、吸込流路に設けられた絞り部によって大気の真空室への流入が妨げられ、真空破壊が他の吸引口に伝播するまでの時間を遅延させることができる。つまり、一部の吸引口で真空破壊が発生してからワークの吸着固定が解除されるまでに、吸込流路に絞り部が無い場合と比較して長いタイムラグが生じる。このため、このタイムラグの間は、一部の吸引口で真空破壊が生じても溶接加工を継続することができる。その結果、作業者による手溶接箇所が減少するので、溶接の自動化率を改善することができる。   In the welding robot system configured as described above, when a vacuum break occurs at a part of the suction port of the suction surface plate, the atmosphere flows into the vacuum chamber through the suction channel, but the atmosphere is reduced by the constriction provided in the suction channel. Is prevented from flowing into the vacuum chamber, and the time until the vacuum break propagates to other suction ports can be delayed. That is, a longer time lag occurs than when there is no throttle part in the suction flow path after the vacuum breakage occurs at some suction ports until the workpiece is released from the suction fixation. For this reason, during this time lag, welding can be continued even if a vacuum break occurs in some suction ports. As a result, the number of manual welds by the operator is reduced, so that the welding automation rate can be improved.

上記溶接ロボットシステムが、前記圧力検出手段により所定の第2基準圧力よりも大きい圧力値が溶接中に検出されると、即時に加工を中止するように前記溶接ロボットを制御する非常停止制御手段を更に備えていてもよい。上記溶接ロボットシステムによれば、1つのパスの施工中に重度の真空破壊が発生することによりワークの吸着固定が解除されてワークが大きく変位した場合には溶接ロボットが非常停止するので、ワークを損傷させるおそれがない。   The welding robot system includes emergency stop control means for controlling the welding robot so as to immediately stop processing when a pressure value greater than a predetermined second reference pressure is detected by the pressure detection means during welding. Furthermore, you may provide. According to the welding robot system described above, if the workpiece is released and fixed due to a severe vacuum break during the construction of one pass, the welding robot will be stopped in an emergency if the workpiece is displaced greatly. There is no risk of damage.

上記溶接ロボットシステムが、前記溶接ロボットがアーク溶接ロボットであって、前記溶接ロボットのアーク電圧を測定するアーク電圧計測手段と、前記アーク電圧計測手段により所定のアーク電圧範囲から外れた電圧値が溶接中に測定されると、即時に加工を中止するように前記溶接ロボットを制御する非常停止制御手段を更に備えててもよい。上記溶接ロボットシステムによれば、1つのパスの施工中に重度の真空破壊が発生することによりワークの吸着固定が解除されてワークが大きく変位した場合には、溶接ロボットが非常停止するので、ワークを損傷させるおそれがない。また、ワークの仮付け部の割れ等の真空破壊の他の原因によって溶接中のワークが大きく変位した場合にも、溶接ロボットを非常停止させることができる。   In the welding robot system, the welding robot is an arc welding robot, an arc voltage measuring unit that measures an arc voltage of the welding robot, and a voltage value that is out of a predetermined arc voltage range by the arc voltage measuring unit is welded. An emergency stop control means may be further provided for controlling the welding robot so as to immediately stop the machining when measured inside. According to the welding robot system described above, when the workpiece is released and fixed due to a severe vacuum break during the construction of one pass, the welding robot will stop in an emergency. There is no risk of damage. Also, the welding robot can be brought to an emergency stop even when the work being welded is greatly displaced due to other causes of vacuum breakage such as cracking of the work tacking part.

本発明に係る吸着定盤及びそれを備えた溶接ロボットシステムでは、吸着定盤で真空破壊が発生した場合であっても、真空破壊が発生してからワークの吸着固定が解除されるまでにタイムラグが生じるので、そのタイムラグの間で溶接ロボットによる自動溶接を継続することが可能となる。   In the suction surface plate according to the present invention and the welding robot system equipped with the suction surface plate, even if a vacuum break occurs on the suction surface plate, a time lag occurs between the occurrence of the vacuum break and the release of the workpiece suction and fixation. Therefore, automatic welding by the welding robot can be continued during the time lag.

本発明の第1実施形態に係る吸着定盤を備えた溶接ロボットシステムの概略構成図である。It is a schematic block diagram of the welding robot system provided with the adsorption surface plate which concerns on 1st Embodiment of this invention. 溶接ロボットシステムの制御構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the control structure of a welding robot system. 吸着定盤の部分平面図である。It is a partial top view of a suction surface plate. 吸着定盤の概略構成を説明する図である。It is a figure explaining schematic structure of an adsorption surface plate. 吸着部近傍の拡大断面図である。It is an expanded sectional view near an adsorption part. ワークを吸着しているときの吸着定盤の概略構成を説明する図である。It is a figure explaining schematic structure of the adsorption surface plate when adsorbing a work. 本発明の第2実施形態に係る吸着定盤の概略構成を説明する図である。It is a figure explaining schematic structure of the adsorption surface plate which concerns on 2nd Embodiment of this invention. 吸着定盤の平面図である。It is a top view of a suction surface plate. ワークを吸着しているときの吸着定盤の概略構成を説明する図である。It is a figure explaining schematic structure of the adsorption surface plate when adsorbing a work. 第1実施形態の変形例1に係る吸着定盤を示した図である。It is the figure which showed the adsorption | suction surface plate which concerns on the modification 1 of 1st Embodiment. 第1実施形態の変形例2に係る吸着定盤を示した図である。It is the figure which showed the suction surface plate which concerns on the modification 2 of 1st Embodiment. 第1実施形態の変形例3に係る吸着定盤を示した図である。It is the figure which showed the adsorption | suction surface plate which concerns on the modification 3 of 1st Embodiment. 第2実施形態の変形例4に係る吸着定盤を示した図である。It is the figure which showed the adsorption | suction surface plate which concerns on the modification 4 of 2nd Embodiment.

[第1実施形態]
次に、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。図1は本発明の第1実施形態に係る吸着定盤2を備えた溶接ロボットシステム1の概略構成図であり、図2は溶接ロボットシステム1の制御構成を示すブロック図である。図1及び図2に示されるように、この溶接ロボットシステム1は、吸着定盤2と、溶接ロボット3と、走行装置4と、搬送装置5と、制御装置6とを備えている。溶接ロボットシステム1で加工されるワーク10は、大型薄板状ワークであって、厚みが例えば1〜5mm程度であり、一辺の長さが例えば2〜3m程度である。このようなワーク10の一例は、低温貯槽のパネルである。以下、溶接ロボットシステム1の各構成要素について説明する。
[First Embodiment]
Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a welding robot system 1 including a suction surface plate 2 according to the first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a block diagram illustrating a control configuration of the welding robot system 1. As shown in FIGS. 1 and 2, the welding robot system 1 includes an adsorption surface plate 2, a welding robot 3, a traveling device 4, a transport device 5, and a control device 6. The workpiece 10 processed by the welding robot system 1 is a large thin plate-shaped workpiece having a thickness of about 1 to 5 mm, for example, and a side length of about 2 to 3 m, for example. An example of such a workpiece 10 is a panel of a low temperature storage tank. Hereinafter, each component of the welding robot system 1 will be described.

まず、吸着定盤2について説明する。吸着定盤2は、ワーク10を溶接加工に適切な所定位置に保持する手段であって、ワーク固定冶具としての機能を有する。図3は吸着定盤2の部分平面図、図4は吸着定盤の概略構成を説明する図であり、図5は吸着部8近傍の拡大断面図であり、図6はワーク10を吸着しているときの吸着定盤の概略構成を説明する図である。   First, the adsorption surface plate 2 will be described. The suction surface plate 2 is means for holding the workpiece 10 in a predetermined position suitable for welding, and has a function as a workpiece fixing jig. 3 is a partial plan view of the suction surface plate 2, FIG. 4 is a diagram for explaining the schematic configuration of the suction surface plate, FIG. 5 is an enlarged sectional view of the vicinity of the suction portion 8, and FIG. It is a figure explaining schematic structure of the adsorption surface plate when it is.

図3〜5に示されるように、本実施形態に係る吸着定盤2は、内部に真空室85を有する真空配管(本実施形態では図6のT字型継手26とチューブ24)と、上面が吸着面21であるテーブル22と、吸着面21に設けられた複数の吸引口81と、吸引口81と真空室85とを接続する吸込流路7を形成する吸込流路形成部材(本実施形態ではテーブル22)と、吸着面21において吸引口81の周囲に設けられたシール部材82と、吸着面21においてシール部材82の周囲に設けられた支持部材83とを備えている。吸着定盤2には、更に、テーブル22上でワーク10を滑らかに移動させるためのフリーボールベアリング25が設けられている。フリーボールベアリング25は、吸着面21に穿設された孔23の内部に設けられている。そして、フリーボールベアリング25は、吸着面21から突出した使用位置と吸着面21から引っ込んだ退避位置との間を、エアシリンダなどの昇降装置20aにより昇降移動される。   As shown in FIGS. 3 to 5, the suction surface plate 2 according to this embodiment includes a vacuum pipe having a vacuum chamber 85 therein (in this embodiment, the T-shaped joint 26 and the tube 24 in FIG. 6), and an upper surface. Is a suction flow path forming member that forms a suction flow path 7 connecting the table 22, which is the suction face 21, a plurality of suction openings 81 provided on the suction face 21, and the suction openings 81 and the vacuum chamber 85. The embodiment includes a table 22), a seal member 82 provided around the suction port 81 on the suction surface 21, and a support member 83 provided around the seal member 82 on the suction surface 21. The suction surface plate 2 is further provided with a free ball bearing 25 for smoothly moving the workpiece 10 on the table 22. The free ball bearing 25 is provided inside a hole 23 formed in the suction surface 21. The free ball bearing 25 is moved up and down by a lifting device 20 a such as an air cylinder between a use position protruding from the suction surface 21 and a retracted position retracted from the suction surface 21.

吸着面21に設けられた吸引口81、シール部材82及び支持部材83は、1つの吸着部8を形成している。本実施形態に係る吸着面21には、複数の吸着部8が規則的に配置されている。各吸引口81は、それぞれ吸込流路7を介して真空室85と接続されており、吸引口81に真空吸着力が発生する。   The suction port 81, the seal member 82, and the support member 83 provided on the suction surface 21 form one suction portion 8. A plurality of suction portions 8 are regularly arranged on the suction surface 21 according to the present embodiment. Each suction port 81 is connected to the vacuum chamber 85 via the suction flow path 7, and a vacuum suction force is generated at the suction port 81.

本実施形態に係る吸込流路7は、テーブル22に穿設された貫通孔75により形成されている。この貫通孔75は吸着面21に開口しており、この開口が吸引口81となっている。但し、吸込流路7を形成する吸込流路形成部材はテーブル22に限定されず、吸込流路形成部材は例えば配管であってもよい。   The suction flow path 7 according to the present embodiment is formed by a through hole 75 formed in the table 22. The through-hole 75 opens to the suction surface 21, and this opening serves as a suction port 81. However, the suction flow path forming member forming the suction flow path 7 is not limited to the table 22, and the suction flow path forming member may be, for example, a pipe.

また、本実施形態に係る真空室85は、特に図5に詳細に示されるように、吸込流路7を形成している貫通孔に枝管26aの一つが下方から挿入されたT字型継手26と、T字型継手26間を接続するチューブ24とにより形成されている。つまり、本実施形態に係る真空配管は、T字型継手26とチューブ24である。但し、真空配管はこれらに限定されず、真空配管が例えばテーブル22に設けられた箱体を含んでいてもよい。真空室85には、真空室85内を強制排気する真空ポンプやエジェクタなどの真空源28と、真空源28と真空室85との間に設けられた切換バルブ27と、真空室85内へ圧縮空気を供給する圧縮機29(圧縮空気供給装置)とが接続されている。また、真空室85には、真空室85の内部の圧力を検出するための圧力センサ20が設けられている。なお、吸着定盤2の規模に応じて、吸着定盤2に2組以上の真空室85が設けられてもよい。   Further, the vacuum chamber 85 according to the present embodiment has a T-shaped joint in which one of the branch pipes 26a is inserted from below into the through hole forming the suction flow path 7, as shown in detail in FIG. 26 and a tube 24 connecting between the T-shaped joints 26. That is, the vacuum piping according to the present embodiment is the T-shaped joint 26 and the tube 24. However, the vacuum piping is not limited to these, and the vacuum piping may include, for example, a box provided on the table 22. The vacuum chamber 85 includes a vacuum source 28 such as a vacuum pump and an ejector forcibly evacuating the vacuum chamber 85, a switching valve 27 provided between the vacuum source 28 and the vacuum chamber 85, and compression into the vacuum chamber 85. A compressor 29 (compressed air supply device) for supplying air is connected. The vacuum chamber 85 is provided with a pressure sensor 20 for detecting the pressure inside the vacuum chamber 85. Note that two or more vacuum chambers 85 may be provided in the suction surface plate 2 according to the scale of the suction surface plate 2.

上記構成の真空室85内が真空源28の稼働により真空(ゲージ圧で大気圧より低い圧力)となれば、吸引口81から吸込流路7を通じて大気が真空室85内に吸い込まれる。この吸込流路7には、流路面積が他の部分と比較して著しく小さい絞り部71が設けられている。このような絞り部71は、吸込流路7に設けられた複数の面の流れ方向又は流れ方向と直交する方向の面接触により形成されている。このような絞り部71では、吸込流路7を形成している面同士が接触しているため、見掛け上の流路面積がゼロか微小であるが、接触している面同士の微小間隙を通じて流体(気体)の移動が可能である。   When the inside of the vacuum chamber 85 configured as described above is evacuated by the operation of the vacuum source 28 (gauge pressure is lower than atmospheric pressure), the atmosphere is sucked into the vacuum chamber 85 from the suction port 81 through the suction flow path 7. The suction flow path 7 is provided with a throttle portion 71 having a remarkably small flow path area as compared with other portions. Such a throttle portion 71 is formed by surface contact in a flow direction of a plurality of surfaces provided in the suction flow path 7 or in a direction orthogonal to the flow direction. In such a throttle portion 71, since the surfaces forming the suction flow path 7 are in contact with each other, the apparent flow path area is zero or very small, but through the minute gap between the contacting surfaces. The fluid (gas) can be moved.

特に図5に詳細に示されるように、本実施形態に係る絞り部71は、吸込流路7に内挿されたT字型継手26の枝管26aの端面26bと、その枝管26aに軸部73bが挿入された頭付軸体73の頭部73aとの面接触により形成されている。ここで、T字型継手26の枝管26aの内径は、吸込流路7を形成している貫通孔の内径よりも小さいことから、吸込流路7内には枝管26aの端面26bにより上向きで環状の段差面72が形成されている。また、頭付軸体73の頭部73aの外径は、吸込流路7を形成している貫通孔の内径よりも小さく且つ枝管26aの内径よりも大きい。更に、頭付軸体73の軸部73bの外径は、枝管26aの内径よりも小さい。上記のような枝管26aと頭付軸体73とのサイズ関係により、吸込流路7に上方から挿入された頭付軸体73の頭部73a下面と段差面72とが流体の流れ方向に面で接触している。なお、枝管26aと頭付軸体73とのサイズ関係の具体的な数値の一例として、頭付軸体73の頭部73aの外径は14mmであり、同じく軸部73bの外径は8mmであり、吸込流路7の内径が16mmであり、T字型継手26の枝管26aの内径は9〜13mmである。   In particular, as shown in detail in FIG. 5, the throttle portion 71 according to this embodiment includes an end surface 26 b of the branch pipe 26 a of the T-shaped joint 26 inserted in the suction flow path 7, and a shaft on the branch pipe 26 a. It is formed by surface contact with the head 73a of the headed shaft body 73 in which the portion 73b is inserted. Here, since the inner diameter of the branch pipe 26 a of the T-shaped joint 26 is smaller than the inner diameter of the through hole forming the suction flow path 7, the inside of the suction flow path 7 is directed upward by the end face 26 b of the branch pipe 26 a. An annular step surface 72 is formed. The outer diameter of the head 73a of the headed shaft 73 is smaller than the inner diameter of the through hole forming the suction flow path 7 and larger than the inner diameter of the branch pipe 26a. Furthermore, the outer diameter of the shaft portion 73b of the headed shaft body 73 is smaller than the inner diameter of the branch pipe 26a. Due to the size relationship between the branch pipe 26a and the headed shaft body 73 as described above, the lower surface of the head portion 73a of the headed shaft body 73 inserted into the suction flow path 7 from above and the step surface 72 in the fluid flow direction. Touching on the surface. As an example of specific numerical values of the size relationship between the branch pipe 26a and the headed shaft body 73, the outer diameter of the head portion 73a of the headed shaft body 73 is 14 mm, and the outer diameter of the shaft portion 73b is also 8 mm. The inner diameter of the suction channel 7 is 16 mm, and the inner diameter of the branch pipe 26a of the T-shaped joint 26 is 9 to 13 mm.

本実施形態に係るシール部材82は、吸引口81の周囲を囲う突起物であって、平面視において四角枠状、円環枠状などの無端枠形状を成している。シール部材82は、弾性変形可能であって通気性の小さい材料から成る。本実施形態において、シール部材82は独立気泡ゴムスポンジから成る。そのため、シール部材82は、通気性が殆どなく、少ない圧縮変形率で封止が可能である。   The seal member 82 according to the present embodiment is a protrusion that surrounds the periphery of the suction port 81 and has an endless frame shape such as a square frame shape or an annular frame shape in plan view. The seal member 82 is made of a material that can be elastically deformed and has low air permeability. In the present embodiment, the seal member 82 is made of a closed cell rubber sponge. Therefore, the sealing member 82 has almost no air permeability and can be sealed with a small compression deformation rate.

支持部材83は、真空吸着力が作用しているワーク10に押圧されても変形しない物体であって、例えば、硬質樹脂材料や金属材料で成る。本実施形態に係る支持部材83は、平面視においてシール部材82よりも一回り大きな無端枠形状を成している。但し、支持部材83の形状は本実施形態に限定されず、例えば、吸引口81の周囲に断続的に形成された一連の複数の突起物であってもよい。シール部材82と支持部材83は、共にテーブル22の上面から上向きに突出する突起物であるが、吸着面21から支持部材83の上端までの高さよりも、テーブル22の上面からシール部材82の上端の高さが大きい。つまり、シール部材82は支持部材83よりもテーブル22から上方へ大きく突出している。   The support member 83 is an object that does not deform even when pressed against the workpiece 10 on which a vacuum suction force is applied, and is made of, for example, a hard resin material or a metal material. The support member 83 according to the present embodiment has an endless frame shape that is slightly larger than the seal member 82 in plan view. However, the shape of the support member 83 is not limited to this embodiment, and may be a series of a plurality of protrusions formed intermittently around the suction port 81, for example. The seal member 82 and the support member 83 are both protrusions protruding upward from the upper surface of the table 22, but the upper end of the seal member 82 from the upper surface of the table 22 is higher than the height from the suction surface 21 to the upper end of the support member 83. The height of is large. That is, the seal member 82 protrudes larger from the table 22 than the support member 83.

次に、溶接ロボット3について説明する。溶接ロボット3は、自動溶接を行う産業用ロボットである。溶接ロボット3は、ロボットアーム31と、ロボットアーム31の手首に取り付けられた溶接トーチ32と、ロボットアーム31を制御するロボットコントローラ38と、溶接トーチ32に電気とシールドガスを供給する溶接機39とを備えている。溶接ロボット3の周囲は図示されない安全柵で囲われている。   Next, the welding robot 3 will be described. The welding robot 3 is an industrial robot that performs automatic welding. The welding robot 3 includes a robot arm 31, a welding torch 32 attached to the wrist of the robot arm 31, a robot controller 38 that controls the robot arm 31, and a welding machine 39 that supplies electricity and shielding gas to the welding torch 32. It has. The periphery of the welding robot 3 is surrounded by a safety fence (not shown).

本実施形態に係る溶接ロボット3は、例えば、TIG溶接を行うためのアーク溶接ロボットである。そのため、溶接トーチ32は電気と溶加材、及びシールドガスを溶接部へ供給するように構成されている。そして、溶接ロボット3は、溶接トーチ32の先端へワイヤ状の溶加材を供給する溶加材送給装置34や、AVC装置(Arc Voltage Controller)35などを更に備えている。   The welding robot 3 according to the present embodiment is, for example, an arc welding robot for performing TIG welding. Therefore, the welding torch 32 is configured to supply electricity, filler material, and shielding gas to the welded portion. The welding robot 3 further includes a filler material feeding device 34 that supplies a wire-like filler material to the tip of the welding torch 32, an AVC device (Arc Voltage Controller) 35, and the like.

続いて、走行装置4について説明する。走行装置4は、溶接ロボット3を移動させる手段である。走行装置4は、ワーク10の搬送方向に延びる一対の走行レール41と、一対の走行レール41に架け渡された門形状の走行架台42と、走行架台42を走行レール41に沿って走行させる走行駆動装置43と、走行架台42に設けられた横行レール44と、横行レール44を走行するスライダを備えた横行架台45と、横行架台45を横行レール44に沿って走行させる横行駆動装置46とを備えている。走行レール41と横行レール44とは平面視において略直交している。   Next, the traveling device 4 will be described. The traveling device 4 is means for moving the welding robot 3. The traveling device 4 includes a pair of traveling rails 41 extending in the conveying direction of the workpiece 10, a portal-shaped traveling platform 42 spanned between the pair of traveling rails 41, and traveling that causes the traveling platform 42 to travel along the traveling rail 41. A driving device 43, a traverse rail 44 provided on the travel stand 42, a traverse stand 45 provided with a slider that travels on the traverse rail 44, and a traverse drive device 46 that causes the traverse stand 45 to travel along the traverse rail 44. I have. The traveling rail 41 and the traversing rail 44 are substantially orthogonal in a plan view.

続いて、搬送装置5について説明する。搬送装置5は、吸着定盤2へワーク10を搬入し、また、吸着定盤2からワーク10を搬出する手段である。搬送装置5は、例えば、ローラコンベヤであって、複数のローラ52と、ローラ52を回転駆動する搬送駆動装置51とを備えている。   Next, the transport device 5 will be described. The conveying device 5 is means for carrying the workpiece 10 into the suction surface plate 2 and unloading the workpiece 10 from the suction surface plate 2. The transport device 5 is, for example, a roller conveyor, and includes a plurality of rollers 52 and a transport drive device 51 that rotationally drives the rollers 52.

続いて、制御装置6について説明する。制御装置6は、溶接ロボットシステム1の演算と制御を司る手段である。制御装置6は、CPU、ROM、RAM、I/F、I/O等を有している(いずれも図示せず)。ROMには、CPUが実行するプログラム、各種固定データ等が記憶されている。CPUが実行するプログラムは、フレキシブルディスク、CD−ROM、メモリカード等の各種記憶媒体に保存されており、これらの記憶媒体からROMにインストールされる。RAMには、プログラム実行時に必要なデータが一時的に記憶される。I/Fは、外部装置(制御装置6に接続されたパーソナルコンピュータ等)とのデータ送受信を行う。I/Oは、各種センサの検出信号の入力/出力を行う。制御装置6では、ROMに記憶されたプログラム等のソフトウェアとCPU等のハードウェアとが協働することにより、以下に説明する制御装置6の各機能を実現する処理を行うように構成されている。なお、制御装置6は単一のCPUにより各処理を実行してもよいし、複数のCPU或いはCPUと特定の処理回路の組み合わせにより各処理を実行してもよい。   Next, the control device 6 will be described. The control device 6 is means for controlling the calculation and control of the welding robot system 1. The control device 6 includes a CPU, a ROM, a RAM, an I / F, an I / O, and the like (all not shown). The ROM stores programs executed by the CPU, various fixed data, and the like. Programs executed by the CPU are stored in various storage media such as a flexible disk, a CD-ROM, and a memory card, and are installed in the ROM from these storage media. The RAM temporarily stores data necessary for program execution. The I / F performs data transmission / reception with an external device (such as a personal computer connected to the control device 6). I / O inputs / outputs detection signals of various sensors. The control device 6 is configured to perform processing for realizing each function of the control device 6 described below by cooperation of software such as a program stored in the ROM and hardware such as a CPU. . The control device 6 may execute each process by a single CPU, or may execute each process by a combination of a plurality of CPUs or CPUs and a specific processing circuit.

制御装置6は、吸着定盤2の動作を制御する定盤制御部61と、溶接ロボット3の動作を制御する溶接ロボット制御部62と、走行装置4の動作を制御する走行制御部63と、搬送装置5の動作を制御する搬送制御部64と、ロボット停止制御部65(停止制御手段)と、ロボット非常停止制御部66(非常停止制御手段)としての機能を少なくとも有する。   The control device 6 includes a surface plate control unit 61 that controls the operation of the suction surface plate 2, a welding robot control unit 62 that controls the operation of the welding robot 3, a travel control unit 63 that controls the operation of the travel device 4, It has at least functions as a transport control unit 64 that controls the operation of the transport device 5, a robot stop control unit 65 (stop control means), and a robot emergency stop control unit 66 (emergency stop control means).

定盤制御部61では、切換バルブ27、真空源28及び圧縮機29の動作を制御する。溶接ロボット制御部62では、溶加材送給装置34、AVC装置35、ロボットコントローラ38、溶接機39の動作を制御する。AVC装置35では、溶接トーチ32のアーク電圧を監視するとともに、アーク電圧が所定の値に保持されるようにワーク10に対して溶接トーチ32を移動させる。走行制御部63では走行駆動装置43と横行駆動装置46の動作を制御する。また、搬送制御部64では、搬送駆動装置51の動作を制御する。ロボット停止制御部65及びロボット非常停止制御部66については、後ほど詳述する。   The surface plate controller 61 controls operations of the switching valve 27, the vacuum source 28 and the compressor 29. The welding robot control unit 62 controls operations of the filler material feeding device 34, the AVC device 35, the robot controller 38, and the welding machine 39. The AVC device 35 monitors the arc voltage of the welding torch 32 and moves the welding torch 32 relative to the workpiece 10 so that the arc voltage is maintained at a predetermined value. The travel control unit 63 controls the operations of the travel drive device 43 and the traverse drive device 46. Further, the transport control unit 64 controls the operation of the transport driving device 51. The robot stop control unit 65 and the robot emergency stop control unit 66 will be described in detail later.

ここで、上記構成の溶接ロボットシステム1における、ワーク10の溶接の流れを説明する。以下に説明する溶接ロボットシステム1の各構成要素の動作は特に明示しないが制御装置6の制御により行われる。   Here, the flow of welding of the workpiece 10 in the welding robot system 1 having the above configuration will be described. The operation of each component of the welding robot system 1 described below is not particularly specified but is performed by the control of the control device 6.

まず、搬送装置5により、吸着定盤2へワーク10を搬入する。ワーク10を吸着定盤2へ搬入する際には、フリーボールベアリング25は使用位置にあり、ワーク10を吸着定盤2上の所定位置まで動かしてから、フリーボールベアリング25を退避位置へ移動させる。ワーク10はその自重により降下して、シール部材82と接触する。続いて、真空源28を駆動し、切換バルブ27を開放する。すると、真空室85が減圧されて真空となり、吸引口81に真空吸引力が発生する。この吸引力により、ワーク10が吸引口81に吸引されて吸着面21へ向けて移動し、この移動するワーク10から押圧力を受けたシール部材82が圧縮変形する。図6に示されるように、シール部材82が圧縮変形すると、シール部材82とワーク10とが密着して、シール部材82とワーク10との間が封止される。   First, the work 10 is carried into the suction surface plate 2 by the transport device 5. When the work 10 is carried into the suction surface plate 2, the free ball bearing 25 is in the use position, and after moving the work 10 to a predetermined position on the suction surface plate 2, the free ball bearing 25 is moved to the retracted position. . The workpiece 10 is lowered by its own weight and comes into contact with the seal member 82. Subsequently, the vacuum source 28 is driven and the switching valve 27 is opened. Then, the vacuum chamber 85 is depressurized to become a vacuum, and a vacuum suction force is generated at the suction port 81. By this suction force, the workpiece 10 is sucked by the suction port 81 and moves toward the suction surface 21, and the seal member 82 that receives the pressing force from the moving workpiece 10 is compressed and deformed. As shown in FIG. 6, when the seal member 82 is compressed and deformed, the seal member 82 and the work 10 are brought into close contact with each other, and the space between the seal member 82 and the work 10 is sealed.

なお、シール部材82は、原則として、ワーク10が支持部材83に当接してそれ以上吸着面21へ向かう移動が制限されるまで圧縮される。但し、ワーク10の平面度が低い場合は、シール部材82の圧縮変形量によってワーク10の凹凸に追随するため、一部の吸着部8ではワーク10と支持部材83とが当接していないこともある。   In principle, the seal member 82 is compressed until the workpiece 10 comes into contact with the support member 83 and further movement toward the suction surface 21 is restricted. However, when the flatness of the workpiece 10 is low, the workpiece 10 and the support member 83 may not be in contact with each other in some of the suction portions 8 because the workpiece 10 follows the unevenness of the workpiece 10 due to the amount of compressive deformation of the seal member 82. is there.

上記のようにして、シール部材82とワーク10で囲まれた真空領域88内の真空と大気との差圧により、ワーク10が大気圧に押されて吸着面21にワーク10が吸着される。このようにワーク10が吸着定盤2の吸着面21に吸着固定された状態で、溶接ロボット3による溶接作業が行われる。溶接が進行すると、ワーク10への入熱によりワーク10に歪みが生じる。そして、ワーク10の歪みがシール部材82の弾性変形で吸収可能な範囲を超えると、密着していたシール部材82とワーク10との間に微小な空隙が生じ、この空隙から真空領域88内に気体が流入して真空破壊が起こる。   As described above, the workpiece 10 is pushed to the atmospheric pressure by the pressure difference between the vacuum and the atmosphere in the vacuum region 88 surrounded by the seal member 82 and the workpiece 10, and the workpiece 10 is adsorbed to the adsorption surface 21. In this manner, the welding operation by the welding robot 3 is performed in a state where the workpiece 10 is sucked and fixed to the suction surface 21 of the suction surface plate 2. As welding progresses, the workpiece 10 is distorted by heat input to the workpiece 10. When the distortion of the workpiece 10 exceeds the range that can be absorbed by the elastic deformation of the seal member 82, a minute gap is generated between the seal member 82 and the workpiece 10 that are in close contact with each other, and the gap is formed in the vacuum region 88 from the gap. Gas breaks in and vacuum breaks up.

吸着定盤2のいずれかの吸着部8で真空破壊が起こったときに、その吸着部8から吸込流路7を通じて真空室85へ大気が吸い込まれる。しかし、吸込流路7に絞り部71が設けられていることから、吸込流路7を通じた大気の吸込量は、絞り部71が設けられていない場合と比較して小さい。そのため、一部の吸着部8で真空破壊が生じても、その真空破壊が他の吸着部8へ伝播するまでに遅延が生じる。その結果、一部の吸着部8で真空破壊が生じると直ちにワーク10が吸着面21から離れるのではなく、一部の吸着部8で真空破壊が生じてからワーク10が吸着面21から離れるまでにタイムラグが生じる。このタイムラグは吸込流路に絞り部が無い場合と比較して長いので、このタイムラグの間は吸着定盤2の一部の吸着部8で真空破壊が生じていても溶接ロボット3による自動溶接を継続することができる。   When a vacuum break occurs in any of the suction portions 8 of the suction surface plate 2, the atmosphere is sucked into the vacuum chamber 85 from the suction portion 8 through the suction flow path 7. However, since the throttle portion 71 is provided in the suction flow path 7, the amount of atmospheric suction through the suction flow path 7 is smaller than that in the case where the throttle portion 71 is not provided. Therefore, even if a vacuum break occurs in some of the suction portions 8, a delay occurs until the vacuum break propagates to other suction portions 8. As a result, when the vacuum break occurs in some of the suction portions 8, the workpiece 10 does not immediately leave the suction surface 21, but until the workpiece 10 leaves the suction surface 21 after the vacuum break occurs in some suction portions 8. Cause a time lag. Since this time lag is longer than that in the case where there is no restriction in the suction flow path, automatic welding by the welding robot 3 is performed during this time lag even if a vacuum break occurs in some suction portions 8 of the suction surface plate 2. Can continue.

圧力センサ20(圧力検出手段)では溶接中の真空室85内の圧力が計測される。制御装置6のロボット停止制御部65は、溶接中の圧力センサ20(圧力検出手段)の検出値を監視している。そして、制御装置6は、溶接中に圧力センサ20で検出された圧力値と所定の第1基準圧力とを比較して、検出された圧力値が第1基準圧力よりも大きくなれば吸着定盤2の真空破壊を検出したと判断する。   The pressure sensor 20 (pressure detection means) measures the pressure in the vacuum chamber 85 during welding. The robot stop control unit 65 of the control device 6 monitors the detection value of the pressure sensor 20 (pressure detection means) during welding. Then, the control device 6 compares the pressure value detected by the pressure sensor 20 during welding with a predetermined first reference pressure, and if the detected pressure value becomes larger than the first reference pressure, the suction surface plate It is judged that the vacuum break of 2 was detected.

制御装置6のロボット停止制御部65は、吸着定盤2の真空破壊が検出されると、表示灯69に警告信号を出力するとともに、溶接ロボット3に停止信号を出力して溶接ロボット3を停止させる。但し、一つのパスの溶接途中で真空破壊が生じた場合には、制御装置6は直ちに溶接ロボット3を停止させるのではなく、そのパスの溶接加工が終了したあとで溶接ロボット3を停止させる。言い換えれば、制御装置6は、一つのパスの溶接途中で真空破壊が生じた場合には、次パス以降の加工を行わないように溶接ロボット3を制御する。   When the vacuum stop of the suction surface plate 2 is detected, the robot stop control unit 65 of the control device 6 outputs a warning signal to the indicator lamp 69 and also outputs a stop signal to the welding robot 3 to stop the welding robot 3. Let However, when a vacuum break occurs during the welding of one pass, the control device 6 does not stop the welding robot 3 immediately, but stops the welding robot 3 after the welding process of that pass is completed. In other words, the control device 6 controls the welding robot 3 not to perform the processing after the next pass when a vacuum break occurs during the welding of one pass.

上記のように、一つのパスの溶接途中で真空破壊が生じても、そのパスの溶接が終了するまで溶接ロボット3による自動溶接を継続することができるように、真空破壊が生じてからワーク10が吸着面21から離れるまでにタイムラグが絞り部71の形状や材料などによって調整される。例えば、ワーク10が一辺が2〜3mの大型薄板状ワークである場合には、上記タイムラグが、真空破壊が生じてから一つのパスの最長長さである2〜3mを溶接するために必要な時間となるように調整される。これによって、従来のように1つのパスの途中から作業者が手溶接することがなくなる、又は、従来と比較して作業者による手溶接箇所が減少することにより、溶接の自動化率を改善することができる。   As described above, even if a vacuum break occurs during welding of one pass, the workpiece 10 is generated after the vacuum break occurs so that automatic welding by the welding robot 3 can be continued until the welding of the pass is completed. The time lag is adjusted by the shape, material, etc. of the throttle part 71 until the distance from the suction surface 21 increases. For example, when the workpiece 10 is a large thin plate workpiece having a side of 2 to 3 m, the time lag is necessary for welding 2 to 3 m, which is the longest length of one pass after the vacuum break occurs. It is adjusted to be time. This eliminates the need for manual welding from the middle of a single pass as in the past, or reduces the number of manual welding locations by the operator compared to the conventional method, thereby improving the automation rate of welding. Can do.

制御装置6のロボット非常停止制御部66もまた、溶接中の圧力センサ20(圧力検出手段)の検出値を監視している。但し、ロボット非常停止制御部66とロボット停止制御部65との機能を一つの機能部に統合させてもよい。ロボット非常停止制御部66は、圧力センサ20で検出された圧力値と所定の第2基準圧力とを比較し、検出された圧力値が第2基準圧力よりも大きい場合に、即時に加工を中止するように溶接ロボット3に非常停止信号を出力して溶接ロボット3を停止させる。なお、第2基準圧力は、第1基準圧力よりも大きな値である。1つのパスの溶接中に吸着定盤2の重度の真空破壊が発生すると、ワーク10の吸着定盤2への吸着固定が解除されて、ワーク10が大きく変位する。このように吸着定盤2で重度の真空破壊が生じた場合に、前述のようにロボット非常停止制御部66が機能することにより、溶接ロボット3が非常停止するので、ワーク10を損傷させるおそれがない。   The robot emergency stop control unit 66 of the control device 6 also monitors the detection value of the pressure sensor 20 (pressure detection means) during welding. However, the functions of the robot emergency stop control unit 66 and the robot stop control unit 65 may be integrated into one function unit. The robot emergency stop control unit 66 compares the pressure value detected by the pressure sensor 20 with a predetermined second reference pressure, and immediately stops processing when the detected pressure value is greater than the second reference pressure. In this manner, an emergency stop signal is output to the welding robot 3 to stop the welding robot 3. Note that the second reference pressure is larger than the first reference pressure. When a severe vacuum break of the suction surface plate 2 occurs during welding in one pass, the work 10 is displaced greatly because the work 10 is released from being fixed to the suction surface plate 2. In this way, when a severe vacuum break occurs on the suction surface plate 2, the robot emergency stop control unit 66 functions as described above, so that the welding robot 3 is brought to an emergency stop, which may damage the workpiece 10. Absent.

また、本実施形態に係る溶接ロボットシステム1では、上記ロボット非常停止制御部66に加えてAVC装置35も、吸着定盤2の重度の真空破壊を検出して溶接ロボット3を非常停止させる非常停止制御手段として機能する。AVC装置35は、溶接中のアーク電圧を計測する電圧計(アーク電圧計測手段)と、コントローラとを備えている。通常、AVC装置35のコントローラは、計測されたアーク電圧を予め設定されている基準電圧と比較して、ロボットアーム31の手首と溶接トーチ32との間に設けられた電動スライド(図示せず)を動作させて、アーク電圧が一定に保持されるように溶接トーチ32とワーク10との間隔を調整する。   In the welding robot system 1 according to the present embodiment, in addition to the robot emergency stop control unit 66, the AVC device 35 also detects an emergency vacuum break of the suction surface plate 2 and makes the welding robot 3 emergency stop. It functions as a control means. The AVC device 35 includes a voltmeter (arc voltage measuring means) that measures an arc voltage during welding and a controller. Usually, the controller of the AVC device 35 compares the measured arc voltage with a preset reference voltage and compares the measured arc voltage with an electric slide (not shown) provided between the wrist of the robot arm 31 and the welding torch 32. To adjust the distance between the welding torch 32 and the workpiece 10 so that the arc voltage is kept constant.

溶接中に真空破壊が生じてワーク10から吸着面21から離れると、ワーク10と溶接トーチ32との間隔が急激に小さくなり、アーク電圧が急激に変化する。そこで、AVC装置35のコントローラは、計測されたアーク電圧と所定の適切なアーク電圧範囲(上限の閾値と下限の閾値)とを比較して、アーク電圧がアーク電圧範囲から外れたことで吸着定盤2の重度の真空破壊を検出する。更に、コントローラは、吸着定盤2の重度の真空破壊が検出されると、即時に加工を中止するように溶接ロボット3に非常停止信号を出力して溶接ロボット3を停止させる。但し、この吸着定盤2の真空破壊の検出する機能、溶接ロボット3に停止信号を出力する機能は、制御装置6が担ってもよい。このように吸着定盤2で重度の真空破壊が生じた場合に、前述のようにAVC装置35が非常停止制御手段として機能することにより、溶接ロボット3が非常停止するので、ワーク10を損傷させるおそれがない。また、真空破壊の他の原因(例えば、ワーク10の仮付け部の割れなど)によって溶接中のワーク10が大きく変位した場合にも、溶接ロボット3を非常停止させることができる。   When a vacuum break occurs during welding and the workpiece 10 is separated from the suction surface 21, the distance between the workpiece 10 and the welding torch 32 is rapidly reduced, and the arc voltage is rapidly changed. Therefore, the controller of the AVC device 35 compares the measured arc voltage with a predetermined appropriate arc voltage range (upper limit threshold value and lower limit threshold value) and determines that the adsorption voltage has fallen out of the arc voltage range. Detects severe vacuum break in panel 2. Further, when a severe vacuum break of the suction surface plate 2 is detected, the controller outputs an emergency stop signal to the welding robot 3 so as to stop the processing immediately and stops the welding robot 3. However, the control device 6 may be responsible for the function of detecting vacuum breakage of the suction surface plate 2 and the function of outputting a stop signal to the welding robot 3. When a severe vacuum break occurs in the suction surface plate 2 in this way, the welding robot 3 functions as an emergency stop control means as described above, so that the welding robot 3 is emergency stopped, so that the workpiece 10 is damaged. There is no fear. Further, the welding robot 3 can also be brought to an emergency stop even when the workpiece 10 being welded is greatly displaced due to other causes of vacuum breakage (for example, cracking of a temporary attachment portion of the workpiece 10).

溶接途中で吸着定盤2で真空破壊が起こらずに溶接が終了した場合は、ワーク10の吸着を解除するために、各吸着部8の真空領域88に正圧が加えられる。本実施形態に係る吸着定盤2では、吸込流路7に絞り部71が設けられることにより敢えて真空破壊が生じにくい状況が作り出されているため、各吸着部8が自然に真空破壊するまでには時間がかかる。そこで、各吸着部8の真空領域88で強制的に真空破壊を生じさせることにより、速やかにワーク10の吸着が解除されるようにしている。ここでは、切換バルブ27が閉止されるとともに、圧縮機29により真空室85に圧縮空気が供給される。これにより、吸引口81から空気が吹き出して真空領域88の真空が破壊され、速やかにワーク10の吸着が解除される。   When welding is completed without causing vacuum breakage on the suction surface plate 2 during welding, a positive pressure is applied to the vacuum region 88 of each suction portion 8 in order to release the suction of the workpiece 10. In the suction surface plate 2 according to the present embodiment, since the suction channel 7 is provided with the throttle portion 71, a situation in which vacuum breakage is unlikely to occur is created. Takes time. Thus, the vacuum break 88 is forcibly generated in the vacuum region 88 of each suction portion 8 so that the suction of the workpiece 10 is quickly released. Here, the switching valve 27 is closed and compressed air is supplied to the vacuum chamber 85 by the compressor 29. Thereby, air blows out from the suction port 81, the vacuum in the vacuum region 88 is broken, and the suction of the workpiece 10 is quickly released.

[第2実施形態]
次に、本発明の第2実施形態を説明する。図7は本発明の第2実施形態に係る吸着定盤2の概略構成を説明する図、図8は吸着定盤の平面図、図9はワークを吸着しているときの吸着定盤2の概略構成を説明する図である。第2実施形態に係る吸着定盤2Aでは、前述の第1実施形態に係る吸着定盤2と比較して、吸着定盤2の吸着部8の態様と、絞り部71の態様とが異なる。そこで、以下の説明では、第2実施形態に係る吸着定盤2の吸着部8Aと絞り部71Aとについて詳細に説明し、前述の実施形態と同一又は類似の部材には図面に同一の符号を付して説明を省略する。
[Second Embodiment]
Next, a second embodiment of the present invention will be described. FIG. 7 is a diagram illustrating a schematic configuration of the suction surface plate 2 according to the second embodiment of the present invention, FIG. 8 is a plan view of the suction surface plate, and FIG. 9 is a view of the suction surface plate 2 when the work is being attracted. It is a figure explaining a schematic structure. The suction surface plate 2A according to the second embodiment differs from the suction surface plate 2 according to the first embodiment described above in the aspect of the suction portion 8 of the suction surface plate 2 and the aspect of the throttle portion 71. Therefore, in the following description, the suction portion 8A and the throttle portion 71A of the suction surface plate 2 according to the second embodiment will be described in detail, and the same or similar members as those of the above-described embodiment are denoted by the same reference numerals in the drawings. A description thereof will be omitted.

図7及び図8に示されるように、第2実施形態に係る吸着定盤2Aの吸着部8Aには、吸引口81の周囲に設けられた吸着パッド92と、吸着面21において吸着パッド92の周囲に設けられた支持部材83とが設けられている。吸着パッド92は、吸引口81とワーク10との間の真空領域88を封止するシール部材として機能する。   7 and 8, the suction portion 8A of the suction surface plate 2A according to the second embodiment includes a suction pad 92 provided around the suction port 81, and a suction pad 92 on the suction surface 21. A support member 83 provided around is provided. The suction pad 92 functions as a seal member that seals the vacuum region 88 between the suction port 81 and the workpiece 10.

吸着パッド92は、軸状の基部92bと、基部92bからラッパ状に広がる円錐型のパッド部92aとを有している。吸着パッド92は支持部材83よりも吸着面21から上方へ大きく突出しており、吸着面21から支持部材83の上端までの高さよりも、吸着面21から吸着パッド92の上端の高さが大きい。   The suction pad 92 has an axial base 92b and a conical pad 92a extending from the base 92b in a trumpet shape. The suction pad 92 protrudes larger from the suction surface 21 than the support member 83, and the height from the suction surface 21 to the upper end of the suction pad 92 is larger than the height from the suction surface 21 to the upper end of the support member 83.

吸着パッド92の基部92bは、テーブル22に穿設された貫通孔22aに挿入されている。吸着パッド92の基部92bには、基部92bを軸方向に貫通する貫通孔によって吸込流路7が形成されている。この貫通孔には、流路面積が極めて制限された微細孔92cを含んでいる。吸込流路7の開口部は吸引口81となっており、この吸引口81は吸着パッド92のパッド部92aのほぼ中央に開口している。吸引口81と真空室85とは吸込流路7で接続されている。   The base 92 b of the suction pad 92 is inserted into a through hole 22 a formed in the table 22. A suction flow path 7 is formed in the base portion 92b of the suction pad 92 by a through hole penetrating the base portion 92b in the axial direction. The through hole includes a micro hole 92c whose flow area is extremely limited. The opening of the suction flow path 7 is a suction port 81, and this suction port 81 is opened substantially at the center of the pad portion 92 a of the suction pad 92. The suction port 81 and the vacuum chamber 85 are connected by the suction flow path 7.

吸込流路7には、流路面積が他の部分と比較して著しく小さい絞り部71Aが設けられている。この絞り部71Aは弾性体である吸着パッド92の基部92bに設けられた微細孔92cとして形成されている。微細孔92cの内周面は微細孔92cを閉じるように面同士がほぼ接触しており、微細孔92cの見掛け上の流路面積はゼロか微小である。絞り部71Aの入口と出口との圧力差が生じると、弾性変形により拡径した微細孔92c、或いは、微細孔92cの微細流路を通じて当該微細孔92cを僅かな気体が流通する。   The suction passage 7 is provided with a throttle portion 71A having a remarkably small passage area as compared with other portions. The narrowed portion 71A is formed as a fine hole 92c provided in the base 92b of the suction pad 92 that is an elastic body. The inner peripheral surfaces of the micro holes 92c are almost in contact with each other so as to close the micro holes 92c, and the apparent flow path area of the micro holes 92c is zero or very small. When a pressure difference is generated between the inlet and the outlet of the throttle portion 71A, a small amount of gas flows through the micro hole 92c expanded through elastic deformation or the micro flow path of the micro hole 92c.

上記構成の吸着定盤2Aにおいて、吸着定盤2Aにワーク10を載置すると、ワーク10はその自重により降下して、吸着パッド92と接触する。続いて、真空源28を駆動して切換バルブ27を開放すると、真空室85が減圧されて真空となり、吸引口81に真空吸引力が発生する。この吸引力により、ワーク10が吸引口81に吸引されて吸着面21へ向けて移動し、ワーク10が吸着パッド92を押圧する。図9に示されるように、ワーク10から押圧力を受けた吸着パッド92のパッド部92aが弾性変形すると、吸着パッド92とワーク10とが密着して、吸着パッド92のパッド部92aとワーク10との間が封止される。   In the suction surface plate 2A having the above configuration, when the work 10 is placed on the suction surface plate 2A, the work 10 is lowered by its own weight and comes into contact with the suction pad 92. Subsequently, when the vacuum source 28 is driven to open the switching valve 27, the vacuum chamber 85 is depressurized to become a vacuum, and a vacuum suction force is generated at the suction port 81. With this suction force, the work 10 is sucked into the suction port 81 and moves toward the suction surface 21, and the work 10 presses the suction pad 92. As shown in FIG. 9, when the pad portion 92 a of the suction pad 92 that receives a pressing force from the workpiece 10 is elastically deformed, the suction pad 92 and the workpiece 10 are brought into close contact with each other, and the pad portion 92 a of the suction pad 92 and the workpiece 10 are brought into contact. Is sealed.

吸着パッド92のパッド部92aは、原則として、ワーク10が支持部材83に当接してそれ以上吸着面21へ向かう移動が制限されるまで圧縮される。但し、ワーク10の平面度が低い場合は、吸着パッド92の変形量によってワーク10の凹凸に追随するため、一部の吸着部8Aではワーク10と支持部材83とが当接していないこともある。   In principle, the pad portion 92a of the suction pad 92 is compressed until the workpiece 10 contacts the support member 83 and further movement toward the suction surface 21 is restricted. However, when the flatness of the work 10 is low, the work 10 and the support member 83 may not be in contact with each other in the part of the suction portion 8A because the unevenness of the work 10 follows the deformation amount of the suction pad 92. .

上記のようにして、吸着パッド92とワーク10で囲まれた真空領域88内の真空と大気との差圧により、ワーク10が大気圧に押されて吸着面21にワーク10が吸着される。このようにワーク10が吸着定盤2の吸着面21に吸着固定された状態で、溶接ロボット3による溶接作業が行われる。ワーク10への溶接入熱によりワーク10に生じた歪みが吸着パッド92の弾性変形で吸収可能な範囲を超えると、密着していた吸着パッド92とワーク10との間に微小な空隙が生じ、この空隙から真空領域88内に気体が流入して真空破壊が起こる。   As described above, the workpiece 10 is pushed to the atmospheric pressure by the pressure difference between the vacuum and the atmosphere in the vacuum region 88 surrounded by the suction pad 92 and the workpiece 10, and the workpiece 10 is sucked to the suction surface 21. In this manner, the welding operation by the welding robot 3 is performed in a state where the workpiece 10 is sucked and fixed to the suction surface 21 of the suction surface plate 2. When the distortion generated in the workpiece 10 due to welding heat input to the workpiece 10 exceeds the range that can be absorbed by the elastic deformation of the suction pad 92, a minute gap is generated between the suction pad 92 and the workpiece 10 that are in close contact with each other, A gas flows into the vacuum region 88 from this gap, and a vacuum break occurs.

上記のように吸着定盤2Aのいずれかの吸着部8Aの真空領域88で真空破壊が起こったときに、その吸着部8Aでは吸込流路7を通じて真空室85へ大気が吸い込まれる。しかし、吸込流路7に絞り部71Aが設けられていることから、吸込流路7を通じた大気の吸込量は、絞り部が設けられていない場合と比較して小さい。そのため、一部の吸着部8Aで真空破壊が生じても、その真空破壊が他の吸着部8Aへ伝播するまでに遅延が生じる。その結果、真空破壊が生じて直ちにワーク10が吸着面21から離れるのではなく、真空破壊が生じてからワーク10が吸着面21から離れるまでにタイムラグが生じる。このタイムラグは吸込流路に絞り部が無い場合と比較して長いので、このタイムラグの間は吸着定盤2Aで真空破壊が生じていても溶接ロボット3による自動溶接を継続することができる。よって、第2実施の形態に係る吸着定盤2Aを備えた溶接ロボットシステム1においても、1つのパスの溶接加工途中で真空破壊が発生しても、その1つのパスの加工が終わるまで溶接加工を継続することが可能となる。   As described above, when a vacuum break occurs in the vacuum region 88 of any suction part 8A of the suction surface plate 2A, the air is sucked into the vacuum chamber 85 through the suction flow path 7 in the suction part 8A. However, since the restricting portion 71 </ b> A is provided in the suction flow path 7, the amount of air sucked through the suction flow path 7 is smaller than that in the case where the restricting portion is not provided. Therefore, even if a vacuum break occurs in some of the suction portions 8A, there is a delay before the vacuum break propagates to the other suction portions 8A. As a result, the workpiece 10 is not immediately separated from the suction surface 21 after the vacuum break occurs, but a time lag is generated after the vacuum break occurs until the workpiece 10 is separated from the suction surface 21. Since this time lag is longer than that in the case where there is no throttle in the suction flow path, automatic welding by the welding robot 3 can be continued during this time lag even if a vacuum break occurs on the suction surface plate 2A. Therefore, even in the welding robot system 1 provided with the suction surface plate 2A according to the second embodiment, even if a vacuum break occurs during the welding process of one pass, the welding process is performed until the processing of that one pass is completed. Can be continued.

以上に本発明の好適な第1及び第2の実施の形態を説明したが、上記の構成は例えば以下のように変更することができる。   Although the preferred first and second embodiments of the present invention have been described above, the above configuration can be modified as follows, for example.

例えば、図10に示されるように、上記第1実施形態の吸着定盤2において、シール部材82に代えて吸着パッド94が用いられてもよい。この場合、吸着面21において、吸引口81の周囲に吸着パッド94が設けられ、吸着パッド94の周囲に支持部材83が設けられる。   For example, as shown in FIG. 10, a suction pad 94 may be used in place of the seal member 82 in the suction surface plate 2 of the first embodiment. In this case, on the suction surface 21, a suction pad 94 is provided around the suction port 81, and a support member 83 is provided around the suction pad 94.

また、例えば、上記第1実施形態において、頭付軸体73はT字型継手26の枝管26aに挿入されているが、吸込流路7の上下途中に環状の段差面72を形成し、この段差面72に頭付軸体73が当接するように吸込流路7に頭付軸体73が挿入されていてもよい。この場合、段差面72と頭付軸体73の頭部73a下面との面接触により絞り部71が形成される。   Further, for example, in the first embodiment, the headed shaft body 73 is inserted into the branch pipe 26a of the T-shaped joint 26, but an annular step surface 72 is formed in the middle of the suction flow path 7, The headed shaft body 73 may be inserted into the suction flow path 7 so that the headed shaft body 73 contacts the stepped surface 72. In this case, the throttle portion 71 is formed by surface contact between the stepped surface 72 and the lower surface of the head portion 73 a of the headed shaft body 73.

また、例えば、上記第1実施形態において、吸込流路7には1つの絞り部71が設けられているが、複数の絞り部71が吸込流路7に設けられていてもよい。この場合、例えば、図11に示されるように、吸込流路7を形成している貫通孔75の上下途中に軸体97が設けられる。そして、吸込流路7を形成している貫通孔75の内面と軸体97の端面との面接触により絞り部71が形成される。   Further, for example, in the first embodiment, the suction passage 7 is provided with one throttle portion 71, but a plurality of throttle portions 71 may be provided in the suction passage 7. In this case, for example, as shown in FIG. 11, a shaft body 97 is provided in the upper and lower portions of the through hole 75 that forms the suction flow path 7. The throttle portion 71 is formed by surface contact between the inner surface of the through hole 75 forming the suction flow path 7 and the end surface of the shaft body 97.

また、例えば、上記第1実施形態において、絞り部71は吸込流路7に設けられた複数の面(段差面72と頭付軸体73の下面)の流体の流れ方向の面接触により形成されている。但し、絞り部71は吸込流路7に設けられた複数の面の流体の流れ方向と直交する方向の面接触により形成されていてもよい。この場合、例えば、図12に示されるように、吸込流路7を形成している貫通孔75の上下途中に複数の充填部材96a,96bが設けられる。そして、充填部材96a,96bが流体の流れ方向と直交する方向に面接触しており、この接触面間が絞り部71となる。   Further, for example, in the first embodiment, the throttle portion 71 is formed by surface contact in the fluid flow direction of a plurality of surfaces (the step surface 72 and the lower surface of the headed shaft body 73) provided in the suction flow path 7. ing. However, the throttle portion 71 may be formed by surface contact in a direction orthogonal to the fluid flow direction of a plurality of surfaces provided in the suction flow path 7. In this case, for example, as shown in FIG. 12, a plurality of filling members 96 a and 96 b are provided in the upper and lower portions of the through hole 75 forming the suction flow path 7. The filling members 96a and 96b are in surface contact with each other in a direction perpendicular to the fluid flow direction.

また、例えば、第2実施形態に係る吸着定盤2Aでは、吸着パッド92がシール部材としての機能と吸込流路7及び絞り部71Aの形成体としての機能とを併せ備えている。但し、これらの機能をそれぞれ別体に備えることができる。この場合、例えば、図13に示されるように、吸着面21の吸引口81の周囲に吸着パッド94が設けられ、吸引口81と真空室85とを連通する吸込流路7がテーブル22に穿設され、吸込流路7に弾性体95が挿入される。吸着パッド94は、シール部材として機能する。弾性体95は弾性変形可能な材料で形成された軸状部材であって、その軸心部分に微細孔95aが設けられている。この微細孔95aが吸込流路7に設けられた絞り部71Aとなる。   Further, for example, in the suction surface plate 2A according to the second embodiment, the suction pad 92 has both a function as a seal member and a function as a forming body of the suction flow path 7 and the throttle portion 71A. However, these functions can be provided separately. In this case, for example, as shown in FIG. 13, a suction pad 94 is provided around the suction port 81 of the suction surface 21, and the suction channel 7 that communicates the suction port 81 and the vacuum chamber 85 is formed in the table 22. The elastic body 95 is inserted into the suction flow path 7. The suction pad 94 functions as a seal member. The elastic body 95 is a shaft-like member made of an elastically deformable material, and a micro hole 95a is provided in the shaft center portion. This fine hole 95 a becomes a throttle portion 71 A provided in the suction flow path 7.

1 溶接ロボットシステム
2 吸着定盤
3 溶接ロボット
4 走行装置
5 搬送装置
6 制御装置
7 吸込流路
71,71A 絞り部
72 段差面
73 頭付軸体
8 吸着部
81 吸引口
82 シール部材
83 支持部材
26 T字型継手
26a 枝管
29 圧縮機(圧縮空気供給装置)
8,8A 吸着部
92 吸着パッド
92a パッド部
92b 軸部
92c 微細孔
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Welding robot system 2 Suction surface plate 3 Welding robot 4 Traveling device 5 Conveying device 6 Control device 7 Suction flow path 71, 71A Restriction part 72 Step surface 73 Headed shaft body 8 Suction part 81 Suction port 82 Seal member 83 Support member 26 T-shaped joint 26a Branch pipe 29 Compressor (compressed air supply device)
8,8A Suction part 92 Suction pad 92a Pad part 92b Shaft part 92c Micro hole

Claims (8)

複数の吸引口が設けられた吸着面を有するテーブルと、
前記吸着面において前記吸引口の周囲に設けられたシール部材と、
前記吸着面において前記シール部材の周囲に設けられた支持部材と、
圧力が大気圧より低い真空室を内部に有する真空配管と、
前記吸引口と前記真空室とを接続する吸込流路とを備え、
前記吸込流路が、接触している面同士の間隙を通じて流体の移動が許容される面接触により形成された絞り部を有し、
前記絞り部が、前記吸込流路内に設けられた環状の段差面と、前記環状の段差面の内周に軸部が挿入された頭付軸体の頭部との面接触により形成されている、吸着定盤。
A table having a suction surface provided with a plurality of suction ports;
A seal member provided around the suction port on the suction surface;
A support member provided around the seal member on the suction surface;
A vacuum pipe having a vacuum chamber inside whose pressure is lower than atmospheric pressure;
A suction flow path connecting the suction port and the vacuum chamber;
The suction flow path has a throttle portion formed by surface contact that allows fluid movement through the gap between the contacting surfaces,
The throttle portion is formed by surface contact between an annular step surface provided in the suction flow path and a head of a headed shaft body in which a shaft portion is inserted on an inner periphery of the annular step surface. The adsorption surface plate.
複数の吸引口が設けられた吸着面を有するテーブルと、
前記吸着面において前記吸引口の周囲に設けられたシール部材と、
前記吸着面において前記シール部材の周囲に設けられた支持部材と、
圧力が大気圧より低い真空室を内部に有する真空配管と、
前記吸引口と前記真空室とを接続する吸込流路とを備え、
前記吸込流路が、接触している面同士の間隙を通じて流体の移動が許容される面接触により形成された絞り部を有し、
前記絞り部が、前記吸込流路を塞ぐように当該吸込流路に配置された弾性体に形成された、上流側と下流側とを連通させる微細孔により形成されている、吸着定盤。
A table having a suction surface provided with a plurality of suction ports;
A seal member provided around the suction port on the suction surface;
A support member provided around the seal member on the suction surface;
A vacuum pipe having a vacuum chamber inside whose pressure is lower than atmospheric pressure;
A suction flow path connecting the suction port and the vacuum chamber;
The suction flow path has a throttle portion formed by surface contact that allows fluid movement through the gap between the contacting surfaces,
An adsorption surface plate, wherein the throttle portion is formed by a fine hole formed in an elastic body arranged in the suction flow path so as to block the suction flow path and communicating the upstream side and the downstream side.
前記弾性体と前記シール部材として機能する吸着パッドとが一体的に形成されている、請求項に記載の吸着定盤。 The suction surface plate according to claim 2 , wherein the elastic body and a suction pad functioning as the seal member are integrally formed. 前記真空室に圧縮空気を供給する圧縮空気供給装置を更に備えている、請求項1に記載の吸着定盤。   The adsorption surface plate according to claim 1, further comprising a compressed air supply device that supplies compressed air to the vacuum chamber. 前記真空室に圧縮空気を供給する圧縮空気供給装置を更に備えている、請求項2に記載の吸着定盤。The adsorption surface plate according to claim 2, further comprising a compressed air supply device that supplies compressed air to the vacuum chamber. 複数の吸引口が設けられた吸着面を有するテーブル、前記吸着面において前記吸引口の周囲に設けられたシール部材、前記吸着面において前記シール部材の周囲に設けられた支持部材、圧力が大気圧より低い真空室を内部に有する真空配管、及び、前記吸引口と前記真空室とを接続する吸込流路を有し、前記吸込流路に面接触により形成された絞り部が設けられた吸着定盤と、
前記吸着定盤に吸着固定されているワークに対して溶接加工を施す溶接ロボットと、
前記吸着定盤の真空室内の圧力を検出する圧力検出手段と、
前記圧力検出手段により所定の第1基準圧力よりも大きい圧力値が溶接中に検出されると、次パス以降の加工を行わないように前記溶接ロボットを制御する停止制御手段と、を備えている、
溶接ロボットシステム。
A table having a suction surface provided with a plurality of suction ports, a seal member provided around the suction port on the suction surface, a support member provided around the seal member on the suction surface, and a pressure of atmospheric pressure A suction pipe having a vacuum pipe having a lower vacuum chamber inside, and a suction flow path connecting the suction port and the vacuum chamber, and provided with a throttle portion formed by surface contact in the suction flow path. The board,
A welding robot that performs welding on a workpiece that is suction-fixed to the suction surface plate;
Pressure detecting means for detecting the pressure in the vacuum chamber of the adsorption surface plate;
And a stop control means for controlling the welding robot so as not to perform the processing after the next pass when a pressure value larger than a predetermined first reference pressure is detected by the pressure detection means during welding. ,
Welding robot system.
前記圧力検出手段により所定の第2基準圧力よりも大きい圧力値が溶接中に検出されると、即時に加工を中止するように前記溶接ロボットを制御する非常停止制御手段を更に備えている、請求項に記載の溶接ロボットシステム。 An emergency stop control means is further provided for controlling the welding robot so as to immediately stop machining when a pressure value larger than a predetermined second reference pressure is detected by the pressure detection means during welding. Item 7. A welding robot system according to item 6 . 前記溶接ロボットがアーク溶接ロボットであって、
前記溶接ロボットのアーク電圧を測定するアーク電圧計測手段と、
前記アーク電圧計測手段により所定のアーク電圧範囲から外れた電圧値が溶接中に測定されると、即時に加工を中止するように前記溶接ロボットを制御する非常停止制御手段を更に備えている、請求項に記載の溶接ロボットシステム。
The welding robot is an arc welding robot,
Arc voltage measuring means for measuring the arc voltage of the welding robot;
An emergency stop control means is further provided for controlling the welding robot to immediately stop machining when a voltage value out of a predetermined arc voltage range is measured during welding by the arc voltage measuring means. Item 7. A welding robot system according to item 6 .
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