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JP6479534B2 - Separation membrane structure and method for producing the same - Google Patents
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Description

本発明は、分離膜構造体とその製造方法に関する。   The present invention relates to a separation membrane structure and a method of manufacturing the same.

従来、複数の貫通孔を有する多孔質支持体と、各貫通孔の内表面に形成された炭素膜とを備える分離膜構造体が知られている(例えば、特許文献1参照)。炭素膜の形成工程は、ポリアミド酸溶液を各貫通孔の内表面に付着させる工程と、各貫通孔に通風して乾燥させることによってポリアミド酸をポリイミド膜にイミド化させる工程と、不活性雰囲気での熱分解によってポリイミド膜を炭化させる工程とを含む。   Conventionally, a separation membrane structure is known that includes a porous support having a plurality of through holes and a carbon membrane formed on the inner surface of each through hole (see, for example, Patent Document 1). The carbon film forming step includes a step of adhering a polyamic acid solution to the inner surface of each through hole, a step of ventilating through each through hole and drying to imidize the polyamic acid to the polyimide film, and an inert atmosphere. Carbonizing the polyimide film by thermal decomposition of

特開2010−110704号公報Unexamined-Japanese-Patent No. 2010-110704

しかしながら、各貫通孔に通風する工程では、中心軸から離れた貫通孔における風速は、多孔質支持体の中心軸に近い貫通孔に比べて遅いため、中心軸から離れた貫通孔ではポリアミド酸の付着厚みが厚くなりやすい。その結果、中心軸から離れた貫通孔に形成される炭素膜が厚くなってクラックや剥離が生じてしまうという問題がある。このような問題は、ポリアミド酸溶液の粘度が高い場合に顕著となる。   However, in the process of ventilating each through hole, the wind speed in the through hole distant from the central axis is slower than the through hole close to the central axis of the porous support, so the through holes distant from the central axis The adhesion thickness tends to be large. As a result, there is a problem that the carbon film formed in the through hole distant from the central axis becomes thick and cracks and peeling occur. Such problems are significant when the viscosity of the polyamic acid solution is high.

上述の問題は、炭素膜を形成するためのポリアミド酸溶液を用いる場合に限らず、MF膜やUF膜を形成するためのセラミックゾル液、ゼオライト膜を形成するための種付け用スラリー、或いはシリカ膜を形成するためのシリカゾル液などの分離膜形成用溶液を用いる場合にも同様に生じる。   The above problems are not limited to the case of using a polyamic acid solution for forming a carbon film, but a ceramic sol solution for forming an MF film or a UF film, a seeding slurry for forming a zeolite film, or a silica film The same problem occurs when using a separation membrane forming solution such as silica sol solution for forming

本発明は、上述の状況に鑑みてなされたものであり、分離膜のクラックを抑制可能な分離膜構造体及びその製造方法を提供することを目的とする。   This invention is made in view of the above-mentioned situation, and it aims at providing the separation membrane structure which can control the crack of a separation membrane, and its manufacturing method.

本発明に係る分離膜構造体は、多孔質支持体と複数の分離膜とを備える。多孔質支持体は、第1端面と第2端面にそれぞれ連なる複数の貫通孔を有する。複数の分離膜は、複数の貫通孔の内表面に形成される。複数の貫通孔は、多孔質支持体の中心軸から所定距離内に位置する第1貫通孔と、中心軸から所定距離外に位置する第2貫通孔とを含む。複数の分離膜は、第1貫通孔の内表面に形成される第1分離膜と、第2貫通孔の内表面に形成される第2分離膜とを含む。第1分離膜の平均厚みに対する第2分離膜の平均厚みの厚み比は37.5以下である。   The separation membrane structure according to the present invention comprises a porous support and a plurality of separation membranes. The porous support has a plurality of through holes respectively connected to the first end face and the second end face. The plurality of separation membranes are formed on the inner surfaces of the plurality of through holes. The plurality of through holes includes a first through hole located within a predetermined distance from the central axis of the porous support, and a second through hole located outside the predetermined distance from the central axis. The plurality of separation membranes include a first separation membrane formed on the inner surface of the first through hole and a second separation membrane formed on the inner surface of the second through hole. The thickness ratio of the average thickness of the second separation membrane to the average thickness of the first separation membrane is 37.5 or less.

本発明によれば、分離膜のクラックを抑制可能な分離膜構造体及びその製造方法を提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the separation-membrane structure which can suppress the crack of a separation membrane, and its manufacturing method can be provided.

分離膜構造体の斜視図Perspective view of separation membrane structure 図1のA−A断面図A-A sectional view of FIG. 1 図1のB−B断面図B-B sectional view of FIG. 1 分離膜形成用溶液の乾燥工程を説明するための図Figure for explaining the drying process of the separation membrane formation solution

次に、図面を参照しながら、本発明の実施形態について説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には、同一又は類似の符号を付している。ただし、図面は模式的なものであり、各寸法の比率等は現実のものとは異なっている場合がある。従って、具体的な寸法等は以下の説明を参酌して判断すべきものである。又、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることは勿論である。   Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following description of the drawings, the same or similar parts are denoted by the same or similar reference numerals. However, the drawings are schematic, and ratios of respective dimensions may be different from actual ones. Therefore, specific dimensions and the like should be determined in consideration of the following description. Moreover, it is needless to say that parts having different dimensional relationships and proportions are included among the drawings.

(分離膜構造体100の構成)
図1は、分離膜構造体100の斜視図である。図2は、図1のA−A断面図である。
(Configuration of separation membrane structure 100)
FIG. 1 is a perspective view of the separation membrane structure 100. FIG. FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line A-A of FIG.

分離膜構造体100は、多孔質支持体10と複数の分離膜20と第1シール30と第2シール40とを備える。分離膜構造体100は、いわゆるモノリス型の構造体である。モノリスとは、長手方向に形成された複数の孔を有する形状を意味し、ハニカム形状を含む概念である。   The separation membrane structure 100 comprises a porous support 10, a plurality of separation membranes 20, a first seal 30 and a second seal 40. The separation membrane structure 100 is a so-called monolithic structure. The monolith means a shape having a plurality of holes formed in the longitudinal direction, and is a concept including a honeycomb shape.

多孔質支持体10は、中心軸AX1を中心として長手方向に延びる棒状部材である。本実施形態において多孔質支持体10は円柱状であるが、多角柱状や楕円柱状などであってもよい。長手方向における多孔質支持体10の長さは150〜2000mmとすることができ、短手方向における多孔質支持体10の直径は30〜220mmとすることができる。   The porous support 10 is a rod-shaped member extending in the longitudinal direction centering on the central axis AX1. In the present embodiment, the porous support 10 has a cylindrical shape, but may have a polygonal columnar shape, an elliptical columnar shape, or the like. The length of the porous support 10 in the longitudinal direction can be 150 to 2000 mm, and the diameter of the porous support 10 in the lateral direction can be 30 to 220 mm.

多孔質支持体10は、多孔質材料によって構成される。多孔質材料としては、セラミックス材料、金属材料及び樹脂材料などを用いることができる。セラミックス材料としては、アルミナ(Al)、チタニア(TiO)、ムライト(Al・SiO)、セルベン及びコージェライト(MgAlSi18)などを用いることができる。 The porous support 10 is made of a porous material. As the porous material, ceramic materials, metal materials, resin materials and the like can be used. As the ceramic material, alumina (Al 2 O 3 ), titania (TiO 2 ), mullite (Al 2 O 3 · SiO 2 ), selben, cordierite (Mg 2 Al 4 Si 5 O 18 ), etc. can be used. .

多孔質支持体10は、無機結合材を含んでいてもよい。無機結合材としては、チタニア、ムライト、易焼結性アルミナ、シリカ、ガラスフリット、粘土鉱物、易焼結性コージェライトのうち少なくとも一つを用いることができる。   The porous support 10 may contain an inorganic binder. As the inorganic binder, at least one of titania, mullite, sinterable alumina, silica, glass frit, clay mineral, and sinterable cordierite can be used.

多孔質支持体10の気孔率は、例えば25%〜50%とすることができる。多孔質支持体10の平均細孔径は、例えば5μm〜25μmとすることができる。多孔質支持体10の気孔率及び平均細孔径は、水銀ポロシメータによって測定することができる。多孔質支持体10の平均粒径は、10μm〜100μmとすることができる。多孔質支持体10の平均粒径は、SEM(Scanning Electron Microscope)を用いた断面微構造観察によって測定される30個の測定対象粒子の最大直径の算術平均値である。   The porosity of the porous support 10 can be, for example, 25% to 50%. The average pore size of the porous support 10 can be, for example, 5 μm to 25 μm. The porosity and average pore size of the porous support 10 can be measured by a mercury porosimeter. The average particle size of the porous support 10 can be 10 μm to 100 μm. The average particle diameter of the porous support 10 is an arithmetic mean value of the maximum diameters of the 30 particles to be measured, which are measured by cross-sectional microstructure observation using a scanning electron microscope (SEM).

多孔質支持体10は、第1端面S1と第2端面S2と側面S3と複数の貫通孔11とを有する。第1端面S1は、第2端面S2の反対に設けられる。側面S3は、第1端面S1の外縁と第2端面S2の外縁に連なる。本実施形態において第1端面S1と第2端面S2は円形であるが、多角形や楕円形などであってもよい。   The porous support 10 has a first end face S1, a second end face S2, a side face S3, and a plurality of through holes 11. The first end face S1 is provided opposite to the second end face S2. The side surface S3 is continuous with the outer edge of the first end surface S1 and the outer edge of the second end surface S2. In the present embodiment, the first end face S1 and the second end face S2 are circular, but may be polygonal or elliptical.

複数の貫通孔11は、第1端面S1から第2端面S2まで連なる。複数の貫通孔11は、多孔質支持体10を貫通する。本実施形態において各貫通孔11の断面形状は円形であるが、多角形や楕円形などであってもよい。各貫通孔11の内径は1〜5mmとすることができる。貫通孔11の本数は適宜設定可能である。   The plurality of through holes 11 extend from the first end surface S1 to the second end surface S2. The plurality of through holes 11 penetrate the porous support 10. Although the cross-sectional shape of each through hole 11 in the present embodiment is circular, it may be polygonal or elliptical. The inner diameter of each through hole 11 can be 1 to 5 mm. The number of through holes 11 can be set as appropriate.

ここで、複数の貫通孔11は、図2に示すように、多孔質支持体10の中心軸AX1を中心とする径方向において中心軸AX1から所定距離Lの範囲内にその中心が位置する複数の第1貫通孔11Aと、中心軸AX1から所定距離Lの範囲外にその中心が位置する複数の第2貫通孔11Bとを含む。第1貫通孔11Aの一部は中心軸AX1から所定距離Lの範囲外に位置していてもよいが、第1貫通孔11Aの全体が中心軸AX1から所定距離Lの範囲内に位置していることが好ましい。第2貫通孔11Bの一部は中心軸AX1から所定距離Lの範囲内に位置していてもよいが、第2貫通孔11Bの全体が中心軸AX1から所定距離Lの範囲外に位置していることが好ましい。   Here, as shown in FIG. 2, the plurality of through holes 11 have their centers located within a predetermined distance L from central axis AX 1 in the radial direction centering on central axis AX 1 of porous support 10. And a plurality of second through holes 11B whose centers are located outside the range of a predetermined distance L from the central axis AX1. A portion of the first through hole 11A may be located outside the range of the predetermined distance L from the center axis AX1, but the whole of the first through hole 11A is located within the range of the predetermined distance L from the center axis AX1 Is preferred. A portion of the second through hole 11B may be located within the range of the predetermined distance L from the central axis AX1, but the entire second through hole 11B is located outside the range of the predetermined distance L from the central axis AX1 Is preferred.

所定距離Lは、後述するように、分離膜形成用溶液の乾燥工程で用いるマスクのサイズに応じて設定することができる。本実施形態において、第1貫通孔11Aと第2貫通孔11Bは同じ構成である。   The predetermined distance L can be set according to the size of the mask used in the step of drying the separation membrane forming solution, as described later. In the present embodiment, the first through holes 11A and the second through holes 11B have the same configuration.

複数の分離膜20は、複数の貫通孔11の内表面上に形成される。各分離膜20は、筒状に形成されている。分離膜20の内側の空間は、混合流体を流通させるためのセルCである。セルCの内径は、例えば0.5mm〜5mmとすることができる。   The plurality of separation membranes 20 are formed on the inner surfaces of the plurality of through holes 11. Each separation membrane 20 is formed in a cylindrical shape. A space inside the separation membrane 20 is a cell C for circulating the mixed fluid. The inner diameter of the cell C can be, for example, 0.5 mm to 5 mm.

分離膜20としては、公知のMF膜、UF膜、ガス分離膜、浸透気化膜、或いは蒸気透過膜などを用いることができる。分離膜20は、分離膜形成用溶液を用いて形成される膜であればよい。具体的に、分離膜20としては、セラミック膜(例えば、特開平3−267129号公報、特開2008−246304号公報参照)、一酸化炭素分離膜(例えば、特許第4006107号公報参照)、ヘリウム分離膜(例えば、特許第3953833号公報参照)、水素分離膜(例えば、特許第3933907号公報参照)、炭素膜(例えば、特開2003−286018号公報参照)、ゼオライト膜(例えば、特開2004−66188号公報参照)、シリカ膜(例えば、国際公開第2008/050812号パンフレット参照)、有機無機ハイブリッドシリカ膜(特開2013−203618号公報)、p−トリル基含有シリカ膜(特開2013−226541号公報)などが挙げられる。   As the separation membrane 20, a known MF membrane, UF membrane, gas separation membrane, pervaporation membrane, vapor permeable membrane, or the like can be used. The separation membrane 20 may be any membrane formed using a separation membrane forming solution. Specifically, as the separation membrane 20, a ceramic membrane (for example, see JP-A-3-267129, JP-A-2008-246304), a carbon monoxide separation membrane (for example, see JP4006107), helium Separation membrane (see, for example, patent 3953833), hydrogen separation membrane (see, for example, patent 3933907), carbon membrane (see, for example, JP 2003-286018 A), zeolite membrane ( -66188), silica membrane (see, for example, WO 2008/050812), organic-inorganic hybrid silica membrane (JP 2013-203618), p-tolyl group-containing silica membrane (JP 2013-dan) 226541) and the like.

ここで、複数の分離膜20は、径方向において中心軸AX1から所定距離Lの範囲内に位置する複数の第1分離膜20Aと、中心軸AX1から所定距離Lの範囲外に位置する複数の第2分離膜20Bとを含む。第1分離膜20Aは、第1貫通孔11A内に配置される。第2分離膜20Bは、第2貫通孔11B内に配置される。   Here, the plurality of separation membranes 20 are a plurality of first separation membranes 20A positioned within a predetermined distance L from the central axis AX1 in the radial direction, and a plurality of first separation membranes 20 positioned outside the predetermined distance L from the central axis AX1. And a second separation membrane 20B. The first separation film 20A is disposed in the first through hole 11A. The second separation film 20B is disposed in the second through hole 11B.

第1分離膜20Aの平均膜厚T1は、0.5μm以上50μmとすることができる。第2分離膜20Bの平均膜厚T2は、1μm以上10μmとすることができる。第1分離膜20Aの平均厚みT1に対する第2分離膜20Bの平均厚みT2の厚み比(T2/T1)は、37.5以下である。厚み比(T2/T1)は、0.30以上3.31以下であることがより好ましい。このように、厚み比(T2/T1)を小さくすることによって、第2分離膜20Bに剥離やクラックが生じることを抑制できる。   The average film thickness T1 of the first separation film 20A can be set to 0.5 μm or more and 50 μm. The average film thickness T2 of the second separation film 20B can be set to 1 μm or more and 10 μm. The thickness ratio (T2 / T1) of the average thickness T2 of the second separation film 20B to the average thickness T1 of the first separation film 20A is 37.5 or less. The thickness ratio (T2 / T1) is more preferably 0.30 or more and 3.31 or less. By thus reducing the thickness ratio (T2 / T1), it is possible to suppress the occurrence of peeling and cracking in the second separation film 20B.

本実施形態において「分離膜20の平均厚み」とは、貫通孔11の中心軸に垂直な断面において、中心軸周りに90度ずつ離れた4箇所における測定値を算術平均した値である。「分離膜20の厚み」を測定する長手方向の位置は特に制限されないが、第1シール30に近接する位置であることが好ましい。   In the present embodiment, the “average thickness of the separation film 20” is a value obtained by arithmetically averaging measurement values at four locations separated by 90 degrees around the central axis in a cross section perpendicular to the central axis of the through hole 11. The position in the longitudinal direction to measure “the thickness of the separation membrane 20” is not particularly limited, but is preferably a position close to the first seal 30.

第1シール30は、多孔質支持体10の第1端面S1を覆う。ただし、第1シール30は、後述するセルCの開口を塞がないように形成されている。第1シール30は、セルCに流入する混合流体が第1端面S1に浸潤することを抑制する。本実施形態において第1シール30は側面S3の一端部を覆っているが、側面S3を覆っていなくてもよい。第1シール30は、ガラス材料や樹脂材料などによって構成される。   The first seal 30 covers the first end surface S1 of the porous support 10. However, the first seal 30 is formed so as not to close the opening of the cell C described later. The first seal 30 suppresses the infiltration of the mixed fluid flowing into the cell C into the first end face S1. Although the first seal 30 covers one end of the side surface S3 in the present embodiment, the first seal 30 may not cover the side surface S3. The first seal 30 is made of a glass material, a resin material, or the like.

第2シール40は、多孔質支持体10の第2端面S2を覆う。ただし、第2シール40は、セルCの開口を塞がないように形成されている。第2シール40は、混合流体が第2端面S2に浸潤することを抑制する。本実施形態において第2シール40は側面S3の一端部を覆っているが、側面S3を覆っていなくてもよい。第2シール40は、ガラス材料や樹脂材料などによって構成される。   The second seal 40 covers the second end face S2 of the porous support 10. However, the second seal 40 is formed so as not to close the opening of the cell C. The second seal 40 suppresses the infiltration of the mixed fluid into the second end surface S2. In the present embodiment, the second seal 40 covers one end of the side surface S3, but may not cover the side surface S3. The second seal 40 is made of a glass material, a resin material, or the like.

(第1及び第2シール30,40の構成)
第1及び第2シール30,40の構成について説明する。第1シール30と第2シール40は同じ構成であるため、以下においては第1シール30の構成について説明する。また、第1貫通孔11A周辺と第2貫通孔11B周辺における第1シール30の構成は同じであるため、以下においては第2貫通孔11B周辺における第1シール30の構成について説明する。
(Configuration of first and second seals 30, 40)
The configuration of the first and second seals 30 and 40 will be described. Since the first seal 30 and the second seal 40 have the same configuration, the configuration of the first seal 30 will be described below. Further, since the configuration of the first seal 30 around the first through hole 11A and the periphery of the second through hole 11B is the same, the configuration of the first seal 30 around the second through hole 11B will be described below.

図3は、図1のB−B断面図である。第1シール30は、本体部31と延在部32とを有する。   FIG. 3 is a cross-sectional view taken along line B-B of FIG. The first seal 30 has a main body 31 and an extension 32.

本体部31は、多孔質支持体10の第1端面S1上に配置されており、第1端面S1を覆っている。本体部31は、第1端面S1の平面視において第2貫通孔11Bの外側に位置する。   The main body portion 31 is disposed on the first end surface S1 of the porous support 10, and covers the first end surface S1. The main body portion 31 is located outside the second through hole 11B in a plan view of the first end surface S1.

延在部32は、本体部31と一体形成される。延在部32は、円環状に形成される。延在部32は、第1端面S1の平面視において第2貫通孔11Bの内側に位置する。延在部32は、第1端面S1上に配置されておらず、第1端面S1を覆っていない。   The extension portion 32 is integrally formed with the main body portion 31. The extension portion 32 is formed in an annular shape. The extension portion 32 is located inside the second through hole 11B in a plan view of the first end surface S1. The extension portion 32 is not disposed on the first end surface S1 and does not cover the first end surface S1.

第2貫通孔11Bの中心軸AX2を中心とする径方向における延在部32の厚みW1は30μmより小さいことが好ましく、20μmより小さいことがより好ましい。このように、延在部32の厚みW1を小さくすることによって通風乾燥がより効率的に行なわれ厚膜化が抑制されるため、第2分離膜20Bに剥離やクラックが生じにくくなる。   The thickness W1 of the extending portion 32 in the radial direction centering on the central axis AX2 of the second through hole 11B is preferably smaller than 30 μm, and more preferably smaller than 20 μm. As described above, by reducing the thickness W1 of the extending portion 32, the through-air drying is more efficiently performed and the thickening is suppressed, so that peeling and cracking are less likely to occur in the second separation film 20B.

第2貫通孔11Bの中心軸AX2に平行な長手方向における延在部32の深さW2は1000μmより大きいことが好ましく、1500μmより大きいことがより好ましい。このように、延在部32の厚みW2を大きくすることによって通風乾燥がより効率的に行なわれ特に第1シール30と膜界面の厚膜化が抑制されるため、第2分離膜20Bに剥離やクラックが生じにくくなる。   The depth W2 of the extending portion 32 in the longitudinal direction parallel to the central axis AX2 of the second through hole 11B is preferably greater than 1000 μm, and more preferably greater than 1500 μm. As described above, by increasing the thickness W2 of the extending portion 32, the through-air drying is more efficiently performed, and in particular, the thickening of the interface between the first seal 30 and the film is suppressed. And cracking is less likely to occur.

(分離膜構造体100の製造方法)
次に、分離膜構造体100の製造方法について説明する。図4は、分離膜構造体100の製造方法を説明するための模式図である。
(Method of manufacturing separation membrane structure 100)
Next, a method of manufacturing the separation membrane structure 100 will be described. FIG. 4 is a schematic view for explaining the method for producing the separation membrane structure 100. As shown in FIG.

まず、多孔質材料を含む坏土を用いて、複数の貫通孔11を有する多孔質支持体10の成形体を形成する。多孔質支持体10の成形体を作製する方法としては、真空押出成形機を用いた押出成形法のほかプレス成型法や鋳込み成型法を用いることができる。   First, a green body including a porous material is used to form a compact of the porous support 10 having a plurality of through holes 11. As a method of producing the molded object of the porous support 10, a press molding method or a cast molding method can be used besides the extrusion molding method using a vacuum extrusion molding machine.

次に、多孔質支持体10の成形体を焼成(例えば、900℃〜1450℃、1時間〜100時間)して多孔質支持体10を形成する。   Next, the molded body of the porous support 10 is fired (for example, 900 ° C. to 1450 ° C., 1 hour to 100 hours) to form the porous support 10.

次に、ガラスフリットに水と有機バインダを混合してシール用スラリーを調製する。   Next, water and an organic binder are mixed in a glass frit to prepare a sealing slurry.

次に、多孔質支持体10の第1端面S1と第2端面S2にシール用スラリーを塗布して第1シール30と第2シール40の成形体を形成する。この際、シール用スラリーの粘性を下げることによって延在部32の厚みW1を小さくすることができ、スプレー用スラリーへの支持体のディップ深さを大きくすることによって延在部32の深さW2を大きくすることができる。   Next, a sealing slurry is applied to the first end face S1 and the second end face S2 of the porous support 10 to form a molded body of the first seal 30 and the second seal 40. At this time, the thickness W1 of the extension portion 32 can be reduced by lowering the viscosity of the sealing slurry, and the depth W2 of the extension portion 32 can be increased by increasing the dip depth of the support to the spray slurry. Can be increased.

次に、第1シール30と第2シール40の成形体を焼成(800〜1000℃、1時間〜100時間)して第1シール30と第2シール40を形成する。   Next, the compact of the first seal 30 and the second seal 40 is fired (800 to 1000 ° C., 1 hour to 100 hours) to form the first seal 30 and the second seal 40.

次に、多孔質支持体10の各貫通孔11の内表面に分離膜20を形成する。以下、分離膜20としてチタニア膜(UF膜の一例)を形成する場合について説明する。   Next, the separation membrane 20 is formed on the inner surface of each through hole 11 of the porous support 10. Hereinafter, the case where a titania film (an example of a UF film) is formed as the separation film 20 will be described.

まず、UF膜を形成するためのコーティング液(セラミックゾル液)20aを用意する。コーティング液20aは、ゾル原液をイソプロピルアルコールまたはその水溶液で希釈して得ることができる。ゾル原液は金属アルコキシド(例えばチタンテトライソプロポキシド)と硝酸、または塩酸の混合液を2℃〜10℃に保持しながら水と混合し、さらに保持温度を10℃〜40℃にし、予め硝酸と混合しておいたイソプロピルアルコールと混合して得られる。コーティング液20aの粘度は4.0×10−4Pa・s以上とすることができる。 First, a coating solution (ceramic sol solution) 20a for forming a UF film is prepared. The coating solution 20a can be obtained by diluting the sol stock solution with isopropyl alcohol or an aqueous solution thereof. The sol stock solution is mixed with water while maintaining a mixture of metal alkoxide (for example, titanium tetraisopropoxide) and nitric acid or hydrochloric acid at 2 ° C to 10 ° C, and the holding temperature is further adjusted to 10 ° C to 40 ° C. It is obtained by mixing with isopropyl alcohol which has been mixed. The viscosity of the coating liquid 20 a can be 4.0 × 10 −4 Pa · s or more.

次に、コーティング液20aを各貫通孔11に流し入れる。コーティング液20aは自重で流下しながら各貫通孔11の内表面に付着する。余分なコーティング液20aは各貫通孔11から流れ出る。   Next, the coating solution 20 a is poured into each through hole 11. The coating liquid 20a adheres to the inner surface of each through hole 11 while flowing down by its own weight. Excess coating solution 20 a flows out from each through hole 11.

次に、各貫通孔11に通風してコーティング液20aを乾燥させる。この乾燥工程は、第1貫通孔11Aよりも第2貫通孔11Bにおける風速を速くする第1乾燥工程と、第1貫通孔11Aにおける風速を第1乾燥工程より速くする第2乾燥工程とを含む。   Next, the through holes 11 are ventilated to dry the coating solution 20 a. The drying step includes a first drying step of making the wind speed in the second through hole 11B faster than that of the first through hole 11A, and a second drying step of making the wind speed in the first through hole 11A faster than the first drying step. .

第1乾燥工程では、図4に示すように、複数の第1貫通孔11Aの開口(入り口)をマスク50で覆って通風する。これによって、第2貫通孔11Bにおける風速が第1貫通孔11Aにおける風速より速くなり、第2貫通孔11Bの内表面に付着した余分なコーティング液20aが効率的に排出される。   In the first drying step, as shown in FIG. 4, the openings (entrances) of the plurality of first through holes 11A are covered with a mask 50 and ventilated. As a result, the wind velocity in the second through hole 11B becomes faster than the wind velocity in the first through hole 11A, and the excess coating liquid 20a attached to the inner surface of the second through hole 11B is efficiently discharged.

第1乾燥工程における供給風速は、2m/秒より速く30m/秒より遅いことが好ましい。風速を2m/秒より速くすることによって、膜が緻密化されるため細孔径が大きくなりすぎることを抑制できる。風速を30m/秒より遅くすることによって、膜表面にクラックが発生することを抑制できる。風の温度は、10℃〜60℃程度であることが好ましい。風の温度を10℃以上とすることによって、膜が緻密化されるため細孔径が大きくなるすぎることを抑制できる。風の温度を60℃以下とすることによって、膜表面にクラックが発生することを抑制できる。通風時間は、0.5時間〜15時間程度とすることができる。通風向きは、コーティング液20aを流した向きと同じであってもよいし、コーティング液20aを流した向きと逆であってもよい   The feed air velocity in the first drying step is preferably faster than 2 m / sec and slower than 30 m / sec. By making the wind speed faster than 2 m / sec, it is possible to suppress that the pore diameter becomes too large because the film is densified. By making the wind speed slower than 30 m / sec, it is possible to suppress the occurrence of cracks on the film surface. The temperature of the wind is preferably about 10 ° C to 60 ° C. By setting the temperature of the wind to 10 ° C. or higher, the membrane is densified, and it is possible to suppress an excessively large pore diameter. By setting the temperature of the wind to 60 ° C. or less, generation of cracks on the film surface can be suppressed. Ventilation time can be about 0.5 hours to 15 hours. The ventilation direction may be the same as the flow direction of the coating solution 20a, or may be opposite to the flow direction of the coating solution 20a.

マスク50は第1シール30に密着していてもよいし、第1シール30から微小に離れていてもよい。マスク50による被覆率は、複数の貫通孔11の全開口面積の50%以上が好ましく、70%以上がさらに好ましい。また、マスク50による被覆率は、全開口面積の90%以下が好ましい。マスク50による被覆率は、多孔質支持体10の第1端面S1又は第2端面S2を平面視した場合に、全開口のうちマスク50と重なっている開口の面積を全開口面積で割った値である。本実施形態では、37本の貫通孔11のうち19本の第1貫通孔11Aが塞がれているため、マスク50による被覆率は51%である。   The mask 50 may be in close contact with the first seal 30 or may be slightly separated from the first seal 30. The coverage by the mask 50 is preferably 50% or more of the total opening area of the plurality of through holes 11, and more preferably 70% or more. The coverage by the mask 50 is preferably 90% or less of the total opening area. The coverage by the mask 50 is a value obtained by dividing the area of the opening overlapping the mask 50 among the total openings by the total opening area when the first end face S1 or the second end face S2 of the porous support 10 is viewed in plan. It is. In the present embodiment, since 19 first through holes 11A of the 37 through holes 11 are closed, the coverage by the mask 50 is 51%.

マスク50の材質は、風の抵抗となり、風温で変形及び変質しないものであれば制限されないが、耐酸性や耐アルカリ性を有することが好ましい。マスク50としては、例えば、テフロン(登録商標)シート、ステンレス板、ステンレス板にシリコンやバイトンゴムを貼り付けた複合体などが好適である。   The material of the mask 50 is not limited as long as it becomes wind resistance and does not deform and deteriorate due to air temperature, but it is preferable to have acid resistance and alkali resistance. As the mask 50, for example, a Teflon (registered trademark) sheet, a stainless steel plate, a composite in which silicon or viton rubber is attached to a stainless steel plate, or the like is preferable.

マスク50の形態は、風を完全にブロックできる緻密質状に限られず、多孔質状やメッシュ状などのように風の一部を遮るものであってもよい。多孔質状やメッシュ状のマスク50を用いる場合には、第1及び第2貫通孔11A,11Bそれぞれにおける風速を独立して調整することができる。   The form of the mask 50 is not limited to the dense form which can completely block the wind, but may be a part of the wind such as a porous form or a mesh form. When the porous or mesh mask 50 is used, the wind speed in each of the first and second through holes 11A and 11B can be adjusted independently.

第2乾燥工程では、マスク50を取り外して通風する。これによって、第1乾燥工程に比べて第1貫通孔11Aにおける風速は速くなり、第1貫通孔11Aの内表面に付着したコーティング液20aは効率的に乾燥する。この際、第1乾燥工程に比べて第2貫通孔11Bにおける風速は遅くなるがゾル20aを乾燥させるには十分な風速が維持される。   In the second drying step, the mask 50 is removed and ventilated. As a result, the air velocity in the first through hole 11A is faster than in the first drying step, and the coating liquid 20a attached to the inner surface of the first through hole 11A is efficiently dried. At this time, the wind speed in the second through holes 11B is slower than in the first drying step, but a wind speed sufficient to dry the sol 20a is maintained.

次に、100℃/hrで350℃〜950℃まで昇温して1時間保持した後、100℃/hrで降温する。多孔質支持体10のサイズが大きい場合には、昇温速度及び降温速度は小さくしてもよい。   Next, the temperature is raised to 350 ° C. to 950 ° C. at 100 ° C./hr and held for 1 hour, and then the temperature is lowered at 100 ° C./hr. When the size of the porous support 10 is large, the temperature increase rate and the temperature decrease rate may be reduced.

以上のコーティング液20aの流し込み、乾燥、昇温及び降温の操作を1回〜5回繰り返すことによってチタニア膜が形成される。   The titania film is formed by repeating the above-described operations of pouring the coating solution 20a, drying, temperature raising and temperature lowering one to five times.

(その他の実施形態)
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
(Other embodiments)
As mentioned above, although one Embodiment of this invention was described, this invention is not limited to the said embodiment, A various change is possible in the range which does not deviate from the summary of invention.

上記実施形態では、マスク50は、多孔質支持体10の中心軸AX1から所定距離Lの範囲内にある全ての貫通孔を塞ぎ、かつ、所定距離Lの範囲外にある全ての貫通孔を塞がないこととしたが、これに限られるものではない。   In the above embodiment, the mask 50 closes all the through holes within the range of the predetermined distance L from the central axis AX1 of the porous support 10 and blocks all the through holes outside the range of the predetermined distance L. There is no, but it is not limited to this.

マスク50は、複数の貫通孔11のうち少なくとも1つの貫通孔11を塞ぎ、かつ、塞がれた貫通孔11よりも中心軸AX1から離れた位置に位置する貫通孔11を塞いでいなければよい。この場合、マスク50によって塞がれた貫通孔11は、中心軸AX1から所定距離内の第1貫通孔11Aに該当し、マスク50によって塞がれていない貫通孔11は、中心軸AX1から所定距離外の第2貫通孔11Bに該当する。この場合であっても、第1乾燥工程において第1貫通孔11Aよりも第2貫通孔11Bの風速を速くすることができる。   The mask 50 closes at least one through hole 11 of the plurality of through holes 11 and does not close the through hole 11 located at a position farther from the central axis AX1 than the closed through holes 11. Good. In this case, the through holes 11 closed by the mask 50 correspond to the first through holes 11A within a predetermined distance from the central axis AX1, and the through holes 11 not closed by the mask 50 are predetermined from the central axis AX1. It corresponds to the second through hole 11B outside the distance. Even in this case, the wind speed of the second through hole 11B can be made faster than that of the first through hole 11A in the first drying step.

従って、マスク50には切り欠きや穴が形成されていてもよいし、マスク50は真円状以外の形状であってもよい。例えば、第1及び第2端面S1,S2が非真円形である場合には、マスク50を第1及び第2端面S1,S2の相似形にしてもよい。   Therefore, a notch or a hole may be formed in the mask 50, and the mask 50 may have a shape other than a perfect circle. For example, in the case where the first and second end faces S1 and S2 are non-circular, the mask 50 may be similar in shape to the first and second end faces S1 and S2.

上記実施形態では、第1乾燥工程において、第2貫通孔11Bの入り口の開口をマスク50で塞ぐこととしたが、出口の開口をマスク50で塞いでもよい。この場合であっても第2貫通孔11Bにおける風速を遅くすることができる。   In the above embodiment, in the first drying step, the opening at the entrance of the second through hole 11B is closed by the mask 50, but the opening at the exit may be closed by the mask 50. Even in this case, the wind speed in the second through hole 11B can be reduced.

上記実施形態では、分離膜形成用溶液として、チタニア膜を形成するためのコーティング液を例に挙げて説明したが、これに限られるものではない。分離膜形成用溶液としては、ゼオライト膜の形成に用いられる種付け用スラリー(種結晶を含有する懸濁液)、シリカ膜の形成に用いられるシリカゾル液(コーティング液)、炭素膜の形成に用いられるポリアミド酸溶液、有機無機ハイブリッドシリカを形成するためのゾル液、p−トリル基含有シリカ膜の形成に用いられるゾル液などが挙げられる。   Although the coating liquid for forming a titania film was mentioned as an example and demonstrated in the said embodiment as a solution for separation film formation, it is not restricted to this. As a solution for forming a separation membrane, it is used for forming a seeding slurry (suspension containing a seed crystal) used for forming a zeolite membrane, a silica sol solution (coating liquid) used for forming a silica membrane, and a carbon membrane A polyamic acid solution, a sol solution for forming an organic-inorganic hybrid silica, a sol solution used for forming a p-tolyl group-containing silica film, and the like can be mentioned.

上記実施形態では、チタニア膜を形成するためのコーティング液を流下法で付着させることとしたがディップ法などを用いてもよい。   In the above embodiment, the coating solution for forming the titania film is deposited by the flow-down method, but the dip method or the like may be used.

上記実施形態では特に触れていないが、分離膜構造体100は、多孔質支持体10と分離膜20の間に中間層を有していてもよい。中間層については、国際公開第2013/059146号に詳細が記載されている。なお、分離膜構造体100が中間層を有する場合には中間層の内側が貫通孔11となる。   Although not particularly mentioned in the above embodiment, the separation membrane structure 100 may have an intermediate layer between the porous support 10 and the separation membrane 20. The middle class is described in detail in WO 2013/059146. When the separation membrane structure 100 has an intermediate layer, the inside of the intermediate layer is the through hole 11.

以下において本発明の実施例について説明する。ただし、本発明は以下に説明する実施例に限定されるものではない。   Examples of the present invention will be described below. However, the present invention is not limited to the embodiments described below.

(サンプルNo.1,2の作製)
以下のようにして、サンプルNo.1,2に係る分離膜構造体を作製した。
(Preparation of sample Nos. 1 and 2)
As in the following, sample no. The separation membrane structure concerning 1, 2 was produced.

まず、55本の貫通孔が形成された多孔質の支持体(直径30mm×長さ160mm、平均細孔径0.10μm)を準備した。   First, a porous support (diameter 30 mm × length 160 mm, average pore diameter 0.10 μm) in which 55 through holes were formed was prepared.

次に、ガラスフリットに水と有機バインダを混合してシール用スラリーを調製した。   Next, water and an organic binder were mixed in a glass frit to prepare a sealing slurry.

次に、支持体の両端面にシール用スラリーを付着させた後に乾燥(30℃、12時間)して一対のシールの成形体を形成した。   Next, the sealing slurry was attached to both end surfaces of the support, and then dried (30 ° C., 12 hours) to form a pair of sealed compacts.

次に、一対のシールの成形体を950℃で焼成して一対のシールを形成した。   Next, the compact of the pair of seals was fired at 950 ° C. to form a pair of seals.

次に、チタンテトライソプロポキシドと硝酸を5℃に保持しながら水と混合し、さらに保持温度を20℃にした状態で、予め硝酸と混合しておいたイソプロピルアルコール(IPA)と混合することによって、チタニアを含むゾル原液を調製した。 Next, mix titanium tetraisopropoxide and nitric acid with water while maintaining the temperature at 5 ° C, and further mix with isopropyl alcohol (IPA) previously mixed with nitric acid in a state where the holding temperature is 20 ° C. Thus, a sol stock solution containing titania was prepared.

次に、ゾル原液をIPAで希釈することによって、IPA濃度が99wt%のコーティング液を得た。コーティング液の粘度は1.5×10−4Pa・sであった。 Next, the sol stock solution was diluted with IPA to obtain a coating solution with an IPA concentration of 99 wt%. The viscosity of the coating liquid was 1.5 × 10 −4 Pa · s.

次に、縦置きした支持体の上方に配置した広口ロートにコーティング液を注いで、各貫通孔にコーティング液を流し込んだ。   Next, the coating solution was poured into a wide-mouthed funnel disposed above the vertically placed support, and the coating solution was poured into each through hole.

次に、25℃の空気を風速10m/秒で30分間通風した(第1乾燥工程)。サンプルNo.1では全ての貫通孔の開口を開放させた状態で通風し、サンプルNo.2では被覆面積率が50%となるように中央付近をマスクで塞いで通風した。   Next, air at 25 ° C. was ventilated at a wind speed of 10 m / sec for 30 minutes (first drying step). Sample No. In No. 1, ventilating in a state where the openings of all through holes are open, sample No. In the case of No. 2, the area around the center was closed with a mask so that the coverage area ratio was 50%, and ventilation was performed.

次に、25℃の空気を風速10m/秒で30分間通風した(第2乾燥工程)。サンプルNo.1では被覆面積率が50%となるように中央付近をマスクで塞いで通風し、サンプルNo.2では全ての貫通孔の開口を開放させた状態で通風した。   Next, air was blown at 25 ° C. for 30 minutes at a wind speed of 10 m / sec (second drying step). Sample No. In the case of No. 1, the area around the center is closed with a mask so that the coverage area ratio is 50%, and ventilation is performed. In 2, the air was ventilated in a state in which the openings of all the through holes were opened.

次に、80℃で静置乾燥した後に500℃で焼成することによって、分離膜としてのチタニア膜を形成した。   Next, after standing-drying at 80 ° C., baking was performed at 500 ° C. to form a titania film as a separation film.

(サンプルNo.3〜21の作製)
まず、サンプルNo.1,2と同じ支持体を準備した。
(Preparation of samples No. 3 to 21)
First, sample no. The same support as 1 and 2 was prepared.

次に、ガラスフリットに水と有機バインダを混合してシール用スラリーを調製した。   Next, water and an organic binder were mixed in a glass frit to prepare a sealing slurry.

次に、支持体の両端面にシール用スラリーを付着させた後に乾燥(30℃、12時間)して一対のシールの成形体を形成した。この際、サンプルNo.15,16では、シール用スラリーの粘性を大きくすることによって延在部32の厚みW1を他のサンプルより大きくした。サンプルNo.17,18では、シール用スラリーへの支持体のディップ深さを小さくすることによって延在部32の深さW2を他のサンプルより小さくした。   Next, the sealing slurry was attached to both end surfaces of the support, and then dried (30 ° C., 12 hours) to form a pair of sealed compacts. At this time, sample no. In 15, 16, the thickness W 1 of the extension 32 was made larger than that of the other samples by increasing the viscosity of the sealing slurry. Sample No. At 17 and 18, the depth W2 of the extension 32 was made smaller than that of the other samples by reducing the dip depth of the support into the sealing slurry.

次に、一対のシールの成形体を950℃で焼成することによって、一対のシールを形成した。   Next, the pair of seals was formed by firing the pair of seals at 950 ° C.

次に、チタニウムイソプロポキシドをイオン交換水に添加して約85℃の温度で0.5時間加水分解した。   Next, titanium isopropoxide was added to deionized water to hydrolyze at a temperature of about 85 ° C. for 0.5 hours.

次に、加水分解した溶液に硝酸を添加してチタニアをコロイド粒子とするゾル液とした。   Next, nitric acid was added to the hydrolyzed solution to obtain a sol solution in which titania was used as colloidal particles.

次に、ゾル液を加熱してイソプロピルアルコールを飛散させるとともに、これを希釈してゾル液に調整した。   Next, the sol solution was heated to disperse isopropyl alcohol and diluted to prepare a sol solution.

次に、ゾル液を原液として、水分、原料粒子、有機バインダであるポリビニルアルコール、消泡剤であるn−オクチルアルコールのコーティング液を調整した。コーティング液の粘度は4.0×10−4Pa・sであった。 Next, using the sol solution as a stock solution, a coating solution of water, raw material particles, polyvinyl alcohol as an organic binder, and n-octyl alcohol as an antifoamer was prepared. The viscosity of the coating solution was 4.0 × 10 −4 Pa · s.

次に、縦置きした支持体の上方に配置した広口ロートにコーティング液を注いで、各貫通孔にコーティング液を流し込んだ。   Next, the coating solution was poured into a wide-mouthed funnel disposed above the vertically placed support, and the coating solution was poured into each through hole.

次に、25℃の空気を表1に示す風速で30分間通風した(第1乾燥工程)。サンプルNo.4,21では全ての貫通孔の開口を開放させた状態で通風し、サンプルNo.3,5〜20では表1に示す被覆面積率となるように中央付近をマスクで塞いで通風した。   Next, air at 25 ° C. was ventilated for 30 minutes at the wind speed shown in Table 1 (first drying step). Sample No. In 4,21, ventilation was carried out in a state in which the openings of all the through holes were open, and sample Nos. In 3 and 5 to 20, the area around the center was covered with a mask and ventilated so as to obtain the coverage area ratio shown in Table 1.

次に、25℃の空気を風速10m/秒で30分間通風した(第2乾燥工程)。サンプルNo.4では被覆面積率が70%となるように中央付近をマスクで塞いで通風し、サンプルNo.3,5〜21では全ての貫通孔の開口を開放させた状態で通風した。   Next, air was blown at 25 ° C. for 30 minutes at a wind speed of 10 m / sec (second drying step). Sample No. In No. 4, the area around the center was closed with a mask and ventilated so that the coverage area ratio was 70%. In 3, 5 to 21, ventilation was performed with the openings of all through holes opened.

次に、100℃/hrで500℃まで昇温して1時間保持した後、100℃/hrで降温した。   Next, the temperature was raised to 500 ° C. at 100 ° C./hr and held for 1 hour, and then the temperature was lowered at 100 ° C./hr.

そして、以上のコーティング液の流し込み、乾燥、昇降温の操作を2回繰り返すことによって、分離膜としてのチタニア膜を形成した。   Then, the operation of pouring the coating solution, drying, and temperature raising and lowering was repeated twice to form a titania film as a separation film.

(分離膜の厚み測定)
以下のようにして、サンプルNo.3,4,9〜16,21の分離膜の厚みを測定した。ここでは、厚み差が最も大きくなりやすい最外周に位置する分離膜(以下、「最外周分離膜」という。)と中央に位置する分離膜(以下、「中央分離膜」という。)の厚みを測定して比較した。
(Measurement of thickness of separation membrane)
As in the following, sample no. The thickness of the separation membrane of 3, 4, 9 to 16, 21 was measured. Here, the thickness of the separation membrane (hereinafter referred to as "the outermost circumference separation membrane") located at the outermost periphery where the thickness difference tends to be the largest and the thickness of the separation membrane (hereinafter referred to as the "central separation membrane") located at the center are described. It measured and compared.

まず、分離膜のうちシールの延在部に近接する位置で支持体ごと切断した。   First, the whole support was cut at a position close to the extension of the seal in the separation membrane.

次に、切断面を走査型電子顕微鏡で観察して、最外周に位置する1つの分離膜(以下、「最外周分離膜」という。)において、貫通孔の中心軸周りに90度ずつ離れた4箇所における測定値の算術平均値を平均厚みとして算出した。   Next, the cut surface is observed with a scanning electron microscope, and one separation film located at the outermost periphery (hereinafter referred to as "the outermost periphery separation film") is separated by 90 degrees around the central axis of the through hole The arithmetic mean value of the measured values at four locations was calculated as the average thickness.

次に、切断面を走査型電子顕微鏡で観察して、中央に位置する1つの分離膜(以下、「中央分離膜」という。)において、貫通孔の中心軸周りに90度ずつ離れた4箇所における測定値の算術平均値を平均厚みとして算出した。   Next, the cut surface is observed with a scanning electron microscope, and in one central separation film (hereinafter referred to as “central separation film”), four points separated by 90 degrees around the central axis of the through hole The arithmetic mean value of the measured values in was calculated as the average thickness.

(シールの延在部のサイズ測定)
サンプルNo.1〜21それぞれについて、最外周に位置する1つの貫通孔の中心軸に沿って支持体を切断し、シールの延在部の厚み及び深さ(図3参照)を測定した。
(Measurement of the size of the extension of the seal)
Sample No. For each of 1 to 21, the support was cut along the central axis of one through hole located at the outermost periphery, and the thickness and depth (see FIG. 3) of the extension of the seal were measured.

シールの延在部とは、支持体端面の平面視において貫通孔の内側に位置する部分である。   The extension of the seal is a portion located inside the through hole in a plan view of the end face of the support.

(真空度の測定)
分離膜の欠陥量を調べるために、セルの真空度を測定した。
(Measurement of degree of vacuum)
In order to check the amount of defects in the separation membrane, the degree of vacuum of the cell was measured.

まず、セルの一端から真空ポンプ(アルバック機工(株)製:直結型油回転真空ポンプ、型番:G−20DA、排気速度24L/min、到達圧力1.3×10-1Pa、2段式)で吸引し、セルの他端に接続した真空計(GE Sensing社製:キャリブレーター、型番:DPI800)でセル内の到達真空度を測定した。 First, from one end of the cell to a vacuum pump (manufactured by ULVAC KIKO, Inc .: direct-coupled oil rotary vacuum pump, model number: G-20DA, exhaust speed 24 L / min, ultimate pressure 1.3 × 10 -1 Pa, two-stage type) The final vacuum degree in the cell was measured with a vacuum gauge (manufactured by GE Sensing, Inc .: calibrator, model number: DPI 800) connected to the other end of the cell.

真空度が−25kPaより大きいものを×(不可)と評価し、−25kPa以下−40kPaより大きいものを△(可)と評価し、−40kPa以下−70kPaより大きいものを○(良)と評価し、−70kPa以下のものを◎(優)と評価した。   Those with a degree of vacuum greater than -25 kPa are evaluated as x (improper), those with -25 kPa or less greater than -40 kPa are evaluated as Δ (acceptable), those with a degree of vacuum less than -40 kPa are evaluated as ○ (good). And those below -70 kPa were evaluated as ◎ (excellent).

Figure 0006479534
Figure 0006479534

表1に示すように、サンプルNo.1,2では、コーティング液の粘度が1.5×10−4Pa・sと低かったため、マスクの有無に関わらず良好な結果が得られた。 As shown in Table 1, sample nos. In 1 and 2, since the viscosity of the coating liquid was as low as 1.5 * 10 <-4> Pa.s, the favorable result was obtained irrespective of the presence or absence of a mask.

最外周分離膜の平均厚みに対する中央分離膜の平均厚みの厚み比が40以上であるサンプルNo.4,21では、最外周分離膜に欠陥があったため真空度が低かった。これは、膜形成用溶液の粘度が4.0×10−4Pa・sと高いにも関わらず第1乾燥工程においてマスクをせずに通風したため、最外周の貫通孔に付着した余分なコーティング液を吹き飛ばすことができなかったからである。 Sample No. 1 in which the thickness ratio of the average thickness of the central separation membrane to the average thickness of the outermost separation membranes is 40 or more. In 4, 21, the degree of vacuum was low because the outermost peripheral separation film had a defect. This is because, although the viscosity of the solution for film formation was as high as 4.0 × 10 −4 Pa · s, ventilation was performed without using a mask in the first drying step, so extra coating adhered to the outermost through holes It is because the liquid could not be blown away.

一方、厚み比が37.5以下のサンプルNo.3,9〜16では、最外周分離膜の欠陥が抑えられたため真空度を向上させることができた。これは、第1乾燥工程においてマスクをして通風したため、最外周の貫通孔に付着した余分なコーティング液を吹き飛ばすことができたからである。特に、厚み比を0.30以上3.31以下としたサンプルNo.3,10,15,16では更に真空度を向上させることができた。   On the other hand, sample No. 3 with a thickness ratio of 37.5 or less. In 3, 9 to 16, since the defect of the outermost peripheral separation film was suppressed, the degree of vacuum could be improved. This is because the mask was used to ventilate in the first drying step, so that the excess coating liquid attached to the outermost through holes could be blown away. In particular, sample No. 1 in which the thickness ratio was 0.30 or more and 3.31 or less. For 3, 10, 15, and 16, the degree of vacuum could be further improved.

また、サンプルNo.3,9〜16の比較から、最外周分離膜の平均厚みは1μm以上10μm以下が好ましいことが分かった。   Also, for sample no. From the comparison of 3, 9 to 16, it was found that the average thickness of the outermost peripheral separation membrane is preferably 1 μm to 10 μm.

また、サンプルNo.3,5,6の比較から、第1乾燥工程では全開口面積の50%以上をマスクで塞ぐことが好ましく、70%以上をマスクで塞ぐことがさらに好ましいことが分かった。   Also, for sample no. From the comparison of 3, 5, and 6, it was found that in the first drying step, it is preferable to close 50% or more of the total opening area with a mask, and it is more preferable to close 70% or more with a mask.

また、サンプルNo.3,7,8の比較から、第1乾燥工程において供給される空気の風速は2m/秒より速く30m/秒より遅いことが好ましいことが分かった。   Also, for sample no. From the comparison of 3, 7, and 8, it was found that the wind speed of the air supplied in the first drying step is preferably faster than 2 m / sec and slower than 30 m / sec.

また、サンプルNo.3,17,18の比較から、シールの延在部の厚みは30μmより小さいことが好ましく、20μmより小さいことがさらに好ましいことが分かった。   Also, for sample no. From the comparison of 3, 17 and 18, it was found that the thickness of the extension of the seal is preferably less than 30 μm, and more preferably less than 20 μm.

また、サンプルNo.3,19,20の比較から、シールの延在部の深さは1000μmより大きいことが好ましく、1500μmより大きいことがさらに好ましいことが分かった。   Also, for sample no. From a comparison of 3, 19, 20, it was found that the depth of the extension of the seal is preferably greater than 1000 μm, and more preferably greater than 1500 μm.

100 分離膜構造体
10 多孔質支持体
11 貫通孔
11A 第1貫通孔
11B 第2貫通孔
20 分離膜
20A 第1分離膜
20B 第2分離膜
30 第1シール
31 本体部
32 延在部
40 第2シール
100 separation membrane structure 10 porous support 11 through hole 11A first through hole 11B second through hole 20 separation membrane 20A first separation membrane 20B second separation membrane 30 first seal 31 main body portion 32 extension portion 40 second portion seal

Claims (6)

第1端面と第2端面にそれぞれ連なる複数の貫通孔を有する多孔質支持体を形成する支持体形成工程と、
前記複数の貫通孔それぞれの内表面に粘度4.0×10-4Pa・s以上の分離膜形成用溶液を付着させる付着工程と、
前記複数の貫通孔に通風して前記分離膜形成用溶液を乾燥させる乾燥工程と、
を備え、
前記乾燥工程は、
前記複数の貫通孔のうち前記多孔質支持体の中心軸から所定距離内に位置する第1貫通孔に比べて、前記中心軸から前記所定距離外に位置する第2貫通孔における風速を速くする第1乾燥工程と、
前記第1乾燥工程の後、前記第1乾燥工程に比べて前記第1貫通孔における風速を速くする第2乾燥工程と、
を含む、
分離膜構造体の製造方法。
A support forming step of forming a porous support having a plurality of through holes respectively connected to the first end face and the second end face;
Attaching a solution for forming a separation membrane having a viscosity of 4.0 × 10 −4 Pa · s or more on the inner surface of each of the plurality of through holes;
A drying step of ventilating the plurality of through holes to dry the separation membrane forming solution;
Equipped with
The drying step is
The wind speed in the second through hole located outside the predetermined distance from the central axis is made faster than the first through hole located in the predetermined distance from the central axis of the porous support among the plurality of through holes A first drying step,
After the first drying step, a second drying step in which the wind speed in the first through hole is made faster than in the first drying step;
including,
Method for producing separation membrane structure.
前記第1乾燥工程において、供給する風速を2m/秒より速く30m/秒より遅くする、
請求項に記載の分離膜構造体の製造方法。
In the first drying step, the supplied wind speed is made faster than 2 m / s and slower than 30 m / s,
The manufacturing method of the separation membrane structure according to claim 1 .
前記第1乾燥工程において、前記複数の貫通孔のうち前記中心軸から前記所定距離内の貫通孔の開口をマスクで覆うことによって、前記複数の貫通孔の全開口面積の50%以上を塞ぐ、
請求項又はに記載の分離膜構造体の製造方法。
In the first drying step, by covering the opening of the through hole within the predetermined distance from the central axis among the plurality of through holes with a mask, 50% or more of the total opening area of the plurality of through holes is closed.
The manufacturing method of the separation membrane structure of Claim 1 or 2 .
前記第1乾燥工程において、前記複数の貫通孔のうち前記中心軸から前記所定距離内の貫通孔の開口をマスクで覆うことによって、前記複数の貫通孔の全開口面積の70%以上を塞ぐ、
請求項又はに記載の分離膜構造体の製造方法。
In the first drying step, by covering the opening of the through hole within the predetermined distance from the central axis among the plurality of through holes with a mask, 70% or more of the total opening area of the plurality of through holes is closed.
The manufacturing method of the separation membrane structure of Claim 1 or 2 .
前記支持体形成工程と前記付着工程の間において、前記第1端面を覆う本体部と、前記第1端面の平面視において前記第2貫通孔の内側に位置する延在部とを有するシールを形成するシール形成工程を備え、
前記シール形成工程において、前記第2貫通孔の中心軸を中心とする径方向における前記延在部の平均厚みを30μmより小さくする、
請求項乃至のいずれかに記載の分離膜構造体の製造方法。
Between the support forming step and the attaching step, a seal having a main body portion covering the first end surface and an extending portion positioned inside the second through hole in plan view of the first end surface is formed. Seal forming process,
In the seal forming step, an average thickness of the extension in a radial direction centering on a central axis of the second through hole is made smaller than 30 μm.
The manufacturing method of the separation membrane structure according to any one of claims 1 to 4 .
前記支持体形成工程と前記付着工程の間において、前記第1端面を覆う本体部と、前記第1端面の平面視において前記第2貫通孔の内側に位置する延在部とを有するシールを形成するシール形成工程を備え、
前記シール形成工程において、前記第2貫通孔の中心軸に平行な軸方向における前記延在部の平均深さを1000μmより大きくする、
請求項乃至のいずれかに記載の分離膜構造体の製造方法。
Between the support forming step and the attaching step, a seal having a main body portion covering the first end surface and an extending portion positioned inside the second through hole in plan view of the first end surface is formed. Seal forming process,
In the seal formation step, the average depth of the extension in an axial direction parallel to the central axis of the second through hole is made larger than 1000 μm.
A manufacturing method of the separation membrane structure according to any one of claims 1 to 5 .
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