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JP6653065B2 - Resin sheet and printed wiring board - Google Patents
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Description

本発明は、プリント配線板の絶縁層の材料として有用な樹脂シート及びプリント配線板に関する。   The present invention relates to a resin sheet and a printed wiring board useful as a material for an insulating layer of the printed wiring board.

近年、電子機器の小型化、高性能化が進んでいる。多層プリント配線板は、電子部品の実装密度を向上させるため、導体配線の微細化が進んでおり、その配線形成技術が望まれている。絶縁層上に高密度の微細配線を形成する方法としては、無電解めっきのみで導体層を形成するアディティブ法や、無電解めっきで全面に薄い銅層を形成した後に電解めっきで導体層を形成し、そのあとに薄い銅層をフラッシュエッチングするセミアディティブ法などが知られている。   In recent years, miniaturization and high performance of electronic devices have been advanced. In the multilayer printed wiring board, in order to increase the mounting density of electronic components, finer conductor wiring has been advanced, and a wiring forming technique is desired. As a method of forming high-density fine wiring on the insulating layer, there are an additive method of forming a conductor layer only by electroless plating, and a conductor layer formed by electrolytic plating after forming a thin copper layer on the entire surface by electroless plating Then, a semi-additive method of flash etching a thin copper layer is known.

絶縁層表面の粗度は、後工程のフラッシュエッチング処理において、物理アンカー深部のめっきを除去できなくなってしまうため、極力小さくすることが望ましい。一方、絶縁層表面の粗度が小さいことで導体層と絶縁層間の密着強度は小さくなる傾向にある。よって、絶縁層表面の粗度が小さくても導体層との界面密着強度が高い絶縁層樹脂組成物が求められている。   The roughness of the surface of the insulating layer is desirably made as small as possible because plating in the deep portion of the physical anchor cannot be removed in a flash etching process in a later step. On the other hand, because the roughness of the surface of the insulating layer is small, the adhesion strength between the conductor layer and the insulating layer tends to be small. Therefore, there is a demand for an insulating layer resin composition having a high interface adhesion strength to a conductor layer even if the surface roughness of the insulating layer is small.

また、多層プリント配線板の小型化、高密度化により、多層プリント配線板に用いられる積層板を薄型化する検討が盛んに行なわれている。多層プリント配線板の薄型化に伴い、絶縁層についても薄型化が求められ、ガラスクロスを含まない樹脂シートの検討が求められている。一方、実装信頼性の低下及び多層プリント配線板の反りの拡大という問題が生じるため、絶縁層の材料となる樹脂組成物には、高密着性、低熱膨張性が求められている。   Also, due to the miniaturization and high density of the multilayer printed wiring board, studies to reduce the thickness of the laminated board used for the multilayer printed wiring board have been actively conducted. As the thickness of the multilayer printed wiring board has been reduced, the thickness of the insulating layer has also been required to be reduced. On the other hand, problems such as a decrease in mounting reliability and an increase in warpage of the multilayer printed wiring board arise. Therefore, a resin composition used as a material of the insulating layer is required to have high adhesion and low thermal expansion.

これに対して各種取り組みがなされてきた。例えば特許文献1にはエポキシ樹脂、硬化剤及びアミノビス(アルコキシシラン)で表面処理された無機充填材を含有することを特徴とする樹脂組成物により、湿式粗化工程後の絶縁層表面の算術平均粗さが低いのみならず、二乗平均平方根粗さも小さく、その上に十分なピール強度を有するメッキ導体層を形成することができる技術が記載されている。   Various efforts have been made for this. For example, Patent Document 1 discloses an arithmetic average of the surface of an insulating layer after a wet roughening process by using a resin composition containing an epoxy resin, a curing agent, and an inorganic filler surface-treated with aminobis (alkoxysilane). A technique is described which not only has a low roughness but also has a small root-mean-square roughness and can form a plated conductor layer having a sufficient peel strength thereon.

特許文献2には、エポキシ樹脂(A)と、硬化剤(B)と、シリカ粒子がシランカップリング剤により表面処理されたシリカ成分(C)を含有する樹脂組成物により、粗化処理された硬化体に微細な粗面を形成でき、かつ硬化体と金属層との接着強度を高めることができる技術が記載されている。   In Patent Document 2, a roughening treatment is performed with a resin composition containing an epoxy resin (A), a curing agent (B), and a silica component (C) in which silica particles are surface-treated with a silane coupling agent. There is described a technique capable of forming a fine rough surface on a cured product and increasing the adhesive strength between the cured product and a metal layer.

特許文献3には、熱硬化性樹脂、硬化剤および第1のシランカップリングで表面処理された第1の無機充填材と、第2のシランカップリング剤で表面処理された第2の無機充填材を含有する樹脂組成物により、硬化物の粗化後の表面粗さを小さくすることができ、さらに硬化物の表面に金属層を形成した場合に硬化物と金属層の接着強度を高めることができる技術が記載されている。   Patent Literature 3 discloses a thermosetting resin, a curing agent, a first inorganic filler surface-treated with a first silane coupling agent, and a second inorganic filler surface-treated with a second silane coupling agent. By the resin composition containing the material, the surface roughness of the cured product after roughening can be reduced, and when a metal layer is formed on the surface of the cured product, the adhesion strength between the cured product and the metal layer is increased. Techniques that can be used are described.

特開2014−15606号公報JP 2014-15606 A 特許4686750号公報Japanese Patent No. 4868750 国際公開第2014/038534号パンフレットWO 2014/038534 pamphlet

しかしながら、特許文献1に記載の方法では、表面粗さ及びめっきにより形成される導体層との密着性は満足いくものでは無かった。   However, in the method described in Patent Document 1, the surface roughness and the adhesion to the conductor layer formed by plating are not satisfactory.

また、特許文献2に記載の方法についても、表面粗さ及びめっきにより形成される導体層との密着性は満足いくものでは無かった。   Also, with the method described in Patent Document 2, the surface roughness and the adhesion to the conductor layer formed by plating were not satisfactory.

さらに、特許文献3に記載の方法についても、シランカップリング剤の変更によって微細な凹凸は形成されず、表面粗さ及びめっきにより形成される導体層との密着性は満足いくものでは無かった。   Furthermore, even in the method described in Patent Document 3, fine irregularities were not formed by changing the silane coupling agent, and the surface roughness and the adhesion to the conductor layer formed by plating were not satisfactory.

本発明は上記の課題に鑑みてなされたもので、その目的は、プリント配線板材料における絶縁層に使用した場合に、絶縁層とその表面にめっき形成される導体層との密着性に優れ、完全硬化した際の熱膨張率が低い樹脂シートを得ることであり、これを用いたプリント配線板を提供することである。   The present invention has been made in view of the above problems, the purpose thereof, when used for an insulating layer in a printed wiring board material, excellent adhesion between the insulating layer and a conductive layer plated on the surface thereof, An object of the present invention is to obtain a resin sheet having a low coefficient of thermal expansion when completely cured, and to provide a printed wiring board using the resin sheet.

本発明者らは鋭意検討した結果、高分子フィルム、金属箔及び金属フィルムからなる群から選択される、いずれか一種である外層と、当該外層上に積層された絶縁層とを含む樹脂シートであって、当該絶縁層が、エポキシ化合物(A)、シアン酸エステル化合物(B)、アミノシラン処理されたシリカ(C)及び酸に可溶な無機充填材(D)を含有する樹脂シートにより、上記課題が解決されることを見出し本発明に到達した。
[1]高分子フィルム、金属箔及び金属フィルムからなる群から選択される、いずれか一種である外層と、当該外層上に積層された絶縁層とを含む樹脂シートであって、
当該絶縁層が、エポキシ化合物(A)、シアン酸エステル化合物(B)、アミノシラン処理されたシリカ(C)及び酸に可溶な無機充填材(D)を含有する、樹脂シート。
[2]前記アミノシラン処理されたシリカ(C)の絶縁層における含有量が、樹脂固形分100質量部に対し、50〜350質量部である、[1]に記載の樹脂シート。
[3]前記酸に可溶な無機充填材(D)の絶縁層における含有量が、樹脂固形分100質量部に対し、20〜150質量部である、[1]又は[2]に記載の樹脂シート。
[4]前記酸に可溶な無機充填材(D)が、水酸化マグネシウム又は酸化マグネシウムである、[1]〜[3]のいずれか一項に記載の樹脂シート。
[5]前記樹脂組成物が、マレイミド化合物(E)をさらに含む、[1]〜[4]のいずれか一項に記載の樹脂シート。
[6]前記高分子フィルムが、ポリエステル、ポリイミド及びポリアミドからなる群から選択される、いずれか一種である、[1]〜[5]のいずれか一項に記載の樹脂シート。
[7]前記絶縁層が、前記成分(A)〜(D)を含む組成物を外層上に塗布した後、加熱又は減圧下で乾燥し、固化して得られるものである[1]〜[6]のいずれか一項に記載の樹脂シート。
[8]コア基材とコア基材上に形成された導体回路とを有する回路基板上に積層された、[1]〜[7]のいずれか一項に記載の絶縁層を備える、プリント配線板。
[9]前記絶縁層が表面処理されており、当該表面の上にパターン形成された導体層を備える、[8]のプリント配線板。
[10]前記表面処理が、膨潤剤及びアルカリ性酸化剤による粗化処理、並びに酸性還元剤による中和処理を含むデスミア処理である、[9]に記載のプリント配線板。
[11]前記導体層が、セミアディティブ法により形成された導体層又はサブトラクティブ法により形成された導体層を含む、[9]又は[10]に記載のプリント配線板。
[12]前記導体層が、[1]に記載の金属箔又は金属フィルムからなる外層をエッチングして得られた導体層を含む、[9]又は[10]に記載のプリント配線板。
The present inventors have conducted intensive studies and found that a polymer sheet, a metal foil and a metal sheet selected from the group consisting of any one of an outer layer and a resin sheet including an insulating layer laminated on the outer layer. The insulating layer is made of a resin sheet containing an epoxy compound (A), a cyanate ester compound (B), an aminosilane-treated silica (C), and an acid-soluble inorganic filler (D). The inventors have found that the problem is solved and arrived at the present invention.
[1] A resin sheet including an outer layer of any one kind selected from the group consisting of a polymer film, a metal foil and a metal film, and an insulating layer laminated on the outer layer,
A resin sheet in which the insulating layer contains an epoxy compound (A), a cyanate ester compound (B), an aminosilane-treated silica (C), and an acid-soluble inorganic filler (D).
[2] The resin sheet according to [1], wherein the content of the aminosilane-treated silica (C) in the insulating layer is 50 to 350 parts by mass based on 100 parts by mass of the resin solid content.
[3] The content according to [1] or [2], wherein the content of the acid-soluble inorganic filler (D) in the insulating layer is 20 to 150 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the resin solid content. Resin sheet.
[4] The resin sheet according to any one of [1] to [3], wherein the inorganic filler (D) soluble in an acid is magnesium hydroxide or magnesium oxide.
[5] The resin sheet according to any one of [1] to [4], wherein the resin composition further includes a maleimide compound (E).
[6] The resin sheet according to any one of [1] to [5], wherein the polymer film is any one selected from the group consisting of polyester, polyimide and polyamide.
[7] The insulating layer is obtained by applying a composition containing the components (A) to (D) on an outer layer, drying the composition under heating or reduced pressure, and solidifying the composition. 6] The resin sheet according to any one of the above.
[8] A printed wiring comprising the insulating layer according to any one of [1] to [7], which is laminated on a circuit board having a core substrate and a conductor circuit formed on the core substrate. Board.
[9] The printed wiring board according to [8], wherein the insulating layer has been subjected to a surface treatment, and includes a conductor layer patterned on the surface.
[10] The printed wiring board according to [9], wherein the surface treatment is a desmear treatment including a roughening treatment with a swelling agent and an alkaline oxidizing agent, and a neutralization treatment with an acidic reducing agent.
[11] The printed wiring board according to [9] or [10], wherein the conductor layer includes a conductor layer formed by a semi-additive method or a conductor layer formed by a subtractive method.
[12] The printed wiring board according to [9] or [10], wherein the conductor layer includes a conductor layer obtained by etching an outer layer made of the metal foil or metal film according to [1].

本発明のシートは、以下の(1)〜(3)の効果の少なくとも何れか、好ましくは全てを発揮する。
(1)絶縁層とその表面にめっき形成される導体層との密着性に優れる。
(2)基材表面粗度が小さい。
(3)低い熱膨張率を有する。
The sheet of the present invention exhibits at least one, and preferably all of the following effects (1) to (3).
(1) Excellent adhesion between the insulating layer and the conductor layer formed on the surface of the insulating layer.
(2) The surface roughness of the substrate is small.
(3) It has a low coefficient of thermal expansion.

本発明の一態様は、高分子フィルム、金属箔及び金属フィルムからなる群から選択される、いずれか一種である外層と、当該外層上に積層された絶縁層とを含む樹脂シートであって、当該絶縁層が、エポキシ化合物(A)、シアン酸エステル化合物(B)、アミノシラン処理されたシリカ(C)及び酸に可溶な無機充填材(D)を含有する、樹脂シートである。   One embodiment of the present invention is a resin sheet including an outer layer of any one kind selected from the group consisting of a polymer film, a metal foil and a metal film, and an insulating layer laminated on the outer layer, The insulating layer is a resin sheet containing an epoxy compound (A), a cyanate ester compound (B), an aminosilane-treated silica (C), and an acid-soluble inorganic filler (D).

以下、本発明を詳細に説明する。本発明において「X〜Y」はその端値であるX及びYを含む。また「X又はY」はX、Yのいずれか、或いは双方を意味する。   Hereinafter, the present invention will be described in detail. In the present invention, “X to Y” includes the end values X and Y. “X or Y” means either X or Y, or both.

本発明において、成分(A)〜(D)及び必要に応じて後述する他の成分を含む組成物を「樹脂組成物」という。外層の上に設けられた層であって、樹脂組成物を含み室温で流動性を持たない層を「絶縁層」という。後述するように当該絶縁層は溶媒を含む場合がある。また、当該絶縁層は他の材料と接着されて使用されるので硬化可能である必要がある。具体的には、当該絶縁層中の硬化性樹脂は未硬化、または一部が反応しているが硬化可能な状態にある。前記樹脂組成物と溶媒を含み、室温で外層に塗布できる流動性を有する液体を「ワニス」という。以下、各成分について説明する。   In the present invention, a composition containing the components (A) to (D) and, if necessary, other components described below is referred to as a “resin composition”. A layer provided on the outer layer and containing a resin composition and having no fluidity at room temperature is referred to as an “insulating layer”. As described later, the insulating layer may include a solvent. In addition, the insulating layer needs to be curable because it is used by being bonded to another material. Specifically, the curable resin in the insulating layer is uncured, or partially cured but in a curable state. A liquid containing the resin composition and a solvent and having fluidity that can be applied to the outer layer at room temperature is referred to as “varnish”. Hereinafter, each component will be described.

〔I−1.エポキシ化合物(A)〕
本発明に使用されるエポキシ化合物(A)は、少なくとも1個のエポキシ基を有する有機化合物である。エポキシ化合物(A)の1分子当たりのエポキシ基の数は、1以上である。該エポキシ基の数は2以上であることがより好ましい。
[I-1. Epoxy compound (A)]
The epoxy compound (A) used in the present invention is an organic compound having at least one epoxy group. The number of epoxy groups per molecule of the epoxy compound (A) is one or more. More preferably, the number of the epoxy groups is two or more.

エポキシ化合物(A)は、従来公知のエポキシ樹脂を用いることができる。エポキシ化合物(A)は、1種類のみが用いられてもよく、2種類以上が併用されてもよい。   As the epoxy compound (A), a conventionally known epoxy resin can be used. As the epoxy compound (A), only one type may be used, or two or more types may be used in combination.

エポキシ化合物(A)としては、例えば、ビフェニルアラルキル型エポキシ化合物(エポキシ基含有ビフェニルアラルキル樹脂)、ナフタレン型エポキシ化合物(ナフタレン骨格を有するエポキシ基含有化合物:ナフタレン2官能型エポキシ化合物)、ビスナフタレン型エポキシ化合物(ビスナフタレン骨格を有するエポキシ基含有化合物:ナフタレン4官能型エポキシ化合物)、芳香族炭化水素ホルムアルデヒド型エポキシ化合物(エポキシ基含有芳香族炭化水素ホルムアルデヒド樹脂)、アントラキノン型エポキシ化合物(アントラキノン骨格を有するエポキシ基含有化合物)、ナフトールアラルキル型エポキシ化合物(エポキシ基含有ナフトールアラルキル樹脂)、ザイロック型エポキシ化合物(エポキシ基含有ザイロック樹脂)、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキ樹脂、ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂、3官能フェノール型エポキシ化合物(3官能フェノール骨格を有するエポキシ基含有化合物)、4官能フェノール型エポキシ化合物(4官能フェノール骨格を有するエポキシ基含有化合物)、ビフェニル型エポキシ樹脂(ビフェニル骨格を有するエポキシ基含有化合物)、アラルキルノボラック型エポキシ樹脂、トリアジン骨格エポキシ化合物(トリアジン骨格含有エポキシ樹脂)脂環式エポキシ樹脂、ポリオール型エポキシ樹脂、グリシジルアミン、グリシジルエステル、ブタジエン等の二重結合含有化合物の二重結合をエポキシ化した化合物、及び、水酸基含有シリコーン樹脂類とエピクロルヒドリンとの反応により得られる化合物、等が挙げられる。   Examples of the epoxy compound (A) include a biphenyl aralkyl type epoxy compound (epoxy group-containing biphenyl aralkyl resin), a naphthalene type epoxy compound (an epoxy group-containing compound having a naphthalene skeleton: a naphthalene bifunctional epoxy compound), and a bisnaphthalene type epoxy compound Compound (epoxy group-containing compound having bisnaphthalene skeleton: naphthalene tetrafunctional epoxy compound), aromatic hydrocarbon formaldehyde type epoxy compound (epoxy group-containing aromatic hydrocarbon formaldehyde resin), anthraquinone type epoxy compound (epoxy having anthraquinone skeleton) Group-containing compound), naphthol aralkyl type epoxy compound (epoxy group-containing naphthol aralkyl resin), ziloc type epoxy compound (epoxy group-containing zyloc resin), Phenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol A novolak type epoxy resin, trifunctional phenol type epoxy compound (epoxy group-containing compound having trifunctional phenol skeleton), tetrafunctional phenol type epoxy compound (tetrafunctional phenol skeleton An epoxy group-containing compound having), a biphenyl type epoxy resin (an epoxy group-containing compound having a biphenyl skeleton), an aralkyl novolak type epoxy resin, a triazine skeleton epoxy compound (an epoxy resin having a triazine skeleton), an alicyclic epoxy resin, a polyol type epoxy resin, Compounds obtained by epoxidizing double bonds of double bond-containing compounds such as glycidylamine, glycidyl ester, and butadiene, and those obtained by reacting hydroxyl-containing silicone resins with epichlorohydrin. Compounds, and the like.

なお、上記例示に記すように、本明細書では、ある樹脂又は化合物をエポキシ化して得られる構造を有するエポキシ化合物を、その樹脂又は化合物の名称に「〜型エポキシ化合物」との記載を付して表す場合がある。   In addition, as described in the above examples, in this specification, an epoxy compound having a structure obtained by epoxidizing a certain resin or compound is given a description of "-type epoxy compound" in the name of the resin or compound. May be represented.

これらの中でも、エポキシ化合物(A)としては、絶縁層とめっき導体層との密着性及び難燃性等の観点から、ビフェニルアラルキル型エポキシ化合物、ナフタレン型エポキシ化合物、ビスナフタレン型エポキシ化合物、芳香族炭化水素ホルムアルデヒド型エポキシ化合物(好ましい例としては、ベンゼン、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素をホルムアルデヒドと重合して得られた芳香族炭化水素ホルムアルデヒド樹脂を、フェノール、キシレノール等の水酸基含有芳香族炭化水素で変性し、更に当該水酸基をエポキシ化した化合物や、フェノール、キシレノール等の水酸基含有芳香族炭化水素をホルムアルデヒドと重合して得られた芳香族炭化水素ホルムアルデヒド樹脂の当該水酸基をエポキシ化した化合物等)、アントラキノン型エポキシ化合物、ナフトールアラルキル型エポキシ化合物、及びザイロック型エポキシ化合物、からなる群から選択される1種又は2種以上であることが好ましい。   Among them, epoxy compounds (A) include biphenyl aralkyl type epoxy compounds, naphthalene type epoxy compounds, bisnaphthalene type epoxy compounds, and aromatic compounds from the viewpoints of adhesion between the insulating layer and the plated conductor layer and flame retardancy. Hydrocarbon formaldehyde type epoxy compound (preferably, aromatic hydrocarbon formaldehyde resin obtained by polymerizing aromatic hydrocarbon such as benzene, toluene, xylene and the like with formaldehyde is converted to a hydroxyl group-containing aromatic hydrocarbon such as phenol and xylenol. Compounds which are modified with hydrogen and further epoxidized the hydroxyl groups, and compounds in which the hydroxyl groups of an aromatic hydrocarbon formaldehyde resin obtained by polymerizing a hydroxyl group-containing aromatic hydrocarbon such as phenol and xylenol with formaldehyde are epoxidized. ), Anthraquinone type Epoxy compounds, naphthol aralkyl-type epoxy compounds, and xylok type epoxy compound is preferably one or more members selected from the group consisting of.

ビフェニルアラルキル型エポキシ化合物としては、式(1)で表される化合物が好ましい。この好ましいビフェニルアラルキル型エポキシ化合物樹脂の使用により絶縁層の耐燃焼性を向上することができる。   As the biphenylaralkyl type epoxy compound, a compound represented by the formula (1) is preferable. The use of this preferred biphenyl aralkyl type epoxy compound resin can improve the combustion resistance of the insulating layer.

Figure 0006653065
(式中、Rは各々独立に、水素原子又はメチル基を表す。nは1以上の整数を示す。)
Figure 0006653065
(In the formula, R 1 each independently represents a hydrogen atom or a methyl group. N 1 represents an integer of 1 or more.)

本発明におけるエポキシ化合物(A)の含有量は特に限定されないが、耐熱性及び硬化性の観点から、絶縁層の樹脂固形分100質量部に対し、20〜80質量部範囲が好ましく、30〜70質量部の範囲が特に好適である。ここで「絶縁層の樹脂固形分」とは、絶縁層における、溶剤、アミノシラン処理されたシリカ(C)及び酸に可溶な無機充填材(D)を除いた成分である。後述するように、ワニスで絶縁層が製造された場合、絶縁層は溶媒を含みうる。この場合、絶縁層中の樹脂固形分はシリカ(C)、無機充填材(D)および溶媒を除いた成分である。よって、樹脂固形分100質量部とは、絶縁層におけるアミノシラン処理されたシリカ(C)及び酸に可溶な無機充填材(D)、並びに溶媒を含む場合はさらに当該溶媒を除いた成分の合計が100質量部であることをいう。   The content of the epoxy compound (A) in the present invention is not particularly limited, but is preferably in the range of 20 to 80 parts by mass, and more preferably 30 to 70 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the resin solid content of the insulating layer from the viewpoint of heat resistance and curability. The range of parts by weight is particularly preferred. Here, the “resin solid content of the insulating layer” is a component excluding the solvent, the aminosilane-treated silica (C), and the acid-soluble inorganic filler (D) in the insulating layer. As described below, when the insulating layer is manufactured using varnish, the insulating layer may include a solvent. In this case, the resin solid content in the insulating layer is a component excluding the silica (C), the inorganic filler (D), and the solvent. Therefore, the resin solid content of 100 parts by mass is the sum of the aminosilane-treated silica (C) and the acid-soluble inorganic filler (D) in the insulating layer, and the component excluding the solvent when the solvent is contained. Means 100 parts by mass.

エポキシ化合物(A)としては、様々な構造の既製品が市販されており、それらを適宜入手して用いることができる。また、公知の種々の製法を用いて、エポキシ化合物(A)を製造してもよい。斯かる製法の例としては、所望の骨格を有する水酸基含有化合物を入手又は合成し、当該水酸基を公知の手法により修飾してエポキシ化(エポキシ基導入)する方法等が挙げられる。   As the epoxy compound (A), ready-made products having various structures are commercially available, and these can be appropriately obtained and used. Moreover, you may manufacture an epoxy compound (A) using various well-known manufacturing methods. Examples of such a production method include a method of obtaining or synthesizing a hydroxyl group-containing compound having a desired skeleton, modifying the hydroxyl group by a known method, and epoxidizing (introducing an epoxy group).

〔I−2.シアン酸エステル化合物(B)〕
本発明に使用されるシアン酸エステル化合物(B)は、シアナト基(シアン酸エステル基)を有する化合物であれば特に限定されない。具体的には、ナフトールアラルキル型シアン酸エステル化合物(シアナト基含有ナフトールアラルキル樹脂)、芳香族炭化水素ホルムアルデヒド型シアン酸エステル化合物(シアナト基含有芳香族炭化水素ホルムアルデヒド樹脂)、ビフェニルアラルキル型シアン酸エステル化合物(シアナト基含有ビフェニルアラルキル樹脂)、及びノボラック型シアン酸エステル化合物(シアナト基含有ノボラック樹脂)、等が挙げられる。
[I-2. Cyanate compound (B)]
The cyanate ester compound (B) used in the present invention is not particularly limited as long as it has a cyanato group (cyanate ester group). Specifically, naphthol aralkyl type cyanate compound (cyanato group-containing naphthol aralkyl resin), aromatic hydrocarbon formaldehyde type cyanate compound (cyanato group-containing aromatic hydrocarbon formaldehyde resin), biphenyl aralkyl type cyanate compound (Cyanato group-containing biphenyl aralkyl resin), and novolak type cyanate compound (cyanato group-containing novolak resin).

これらのシアン酸エステル化合物(B)は、本発明の絶縁層において高耐薬品性、高ガラス転移温度、低熱膨張性等の優れた特性を付与するので、本発明の樹脂組成物の成分として好適に使用することができる。   Since these cyanate ester compounds (B) impart excellent properties such as high chemical resistance, high glass transition temperature, and low thermal expansion property to the insulating layer of the present invention, they are suitable as components of the resin composition of the present invention. Can be used for

なお、上記例示に記すように、本明細書では、ある樹脂又は化合物をシアナト化(シアン酸エステル化)して得られる構造を有するシアン酸エステル化合物(B)を、その樹脂又は化合物の名称に「〜型シアン酸エステル化合物」との記載を付して表す場合がある。   As described in the above examples, in this specification, a cyanate ester compound (B) having a structure obtained by cyanating a certain resin or compound (cyanate esterification) is referred to as the resin or compound name. In some cases, the description may be given with a description of “-type cyanate compound”.

これらの中でも、シアン酸エステル化合物(B)としては、難燃性に優れ、硬化性が高く、かつ硬化物のガラス転移温度が高い本発明の絶縁層を提供するという観点から、ナフトールアラルキル型シアン酸エステル化合物、芳香族炭化水素ホルムアルデヒド型シアン酸エステル化合物(好ましい例としては、ベンゼン、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素をホルムアルデヒドと重合して得られた芳香族炭化水素ホルムアルデヒド樹脂を、フェノール、キシレノール等の水酸基含有芳香族炭化水素で変性し、更に当該水酸基をシアナト化した化合物や、フェノール、キシレノール等の水酸基含有芳香族炭化水素をホルムアルデヒドと重合して得られた水酸基含有芳香族炭化水素ホルムアルデヒド樹脂の当該水酸基をシアナト化した化合物等)、及びビフェニルアラルキル型シアン酸エステル化合物からなる群から選択される1種又は2種以上が特に好ましい。   Among these, as the cyanate ester compound (B), naphthol aralkyl cyanide is preferred from the viewpoint of providing the insulating layer of the present invention having excellent flame retardancy, high curability, and high glass transition temperature of the cured product. Acid ester compound, aromatic hydrocarbon formaldehyde-type cyanate ester compound (preferably, aromatic hydrocarbon formaldehyde resin obtained by polymerizing aromatic hydrocarbon such as benzene, toluene, xylene and the like with phenol, phenol, Compounds obtained by denaturing with a hydroxyl group-containing aromatic hydrocarbon such as xylenol and further converting the hydroxyl group to a cyanate, or phenol or a hydroxyl group-containing aromatic hydrocarbon formaldehyde obtained by polymerizing a hydroxyl group-containing aromatic hydrocarbon such as xylenol with formaldehyde. Compounds in which the hydroxyl group of the resin is cyanated , And one or more members selected from the group consisting of biphenyl aralkyl type cyanate ester compounds are particularly preferred.

ナフトールアラルキル型シアン酸エステル化合物としては、式(2)で表される化合物が好ましい。   As the naphthol aralkyl cyanate compound, a compound represented by the formula (2) is preferable.

Figure 0006653065
(式中、Rは各々独立に水素原子又はメチル基を表し、中でも水素原子が好ましい。nは1以上の整数を示す。)
Figure 0006653065
(In the formula, R 2 each independently represents a hydrogen atom or a methyl group, and among them, a hydrogen atom is preferable. N 2 represents an integer of 1 or more.)

ノボラック型シアン酸エステル化合物としては、式(3)又は式(4)で表される化合物が好ましい。   As the novolak type cyanate compound, a compound represented by the formula (3) or (4) is preferable.

Figure 0006653065
(式中、Rは水素原子又はメチル基を表し、中でも水素原子が好ましい。nは1以上の整数を示す。)
Figure 0006653065
(In the formula, R 3 represents a hydrogen atom or a methyl group, and among them, a hydrogen atom is preferable. N 3 represents an integer of 1 or more.)

Figure 0006653065
(式中、Rは水素原子又はメチル基を表し、中でも水素原子が好ましい。nは1以上の整数を示す。)
Figure 0006653065
(In the formula, R 4 represents a hydrogen atom or a methyl group, and among them, a hydrogen atom is preferable. N 4 represents an integer of 1 or more.)

本発明におけるシアン酸エステル化合物(B)の含有量は特に限定されないが、耐熱性及び硬化性の観点から、絶縁層の樹脂固形分100質量部に対し、20〜40質量部の範囲が好ましく、25〜35質量部の範囲が特に好適である。   The content of the cyanate ester compound (B) in the present invention is not particularly limited, but is preferably in the range of 20 to 40 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the resin solid content of the insulating layer from the viewpoint of heat resistance and curability. A range from 25 to 35 parts by weight is particularly preferred.

シアン酸エステル化合物(B)としては、様々な構造の既製品が市販されており、それら適宜入手して用いることができる。また、公知の種々の製法を用いて、シアン酸エステル化合物(B)を製造してもよい。斯かる製法の例としては、所望の骨格を有する水酸基含有化合物を入手又は合成し、当該水酸基を公知の手法により修飾してシアナト化する方法等が挙げられる。水酸基をシアナト化する手法としては、例えば、Ian Hamerton,“Chemistry and Technology of Cyanate Ester Resins,” Blackie Academic & Professionalに記載の手法が挙げられる。   As the cyanate ester compound (B), ready-made products having various structures are commercially available, and can be appropriately obtained and used. Moreover, you may manufacture a cyanate ester compound (B) using various well-known manufacturing methods. Examples of such a production method include a method of obtaining or synthesizing a hydroxyl group-containing compound having a desired skeleton, modifying the hydroxyl group by a known method, and converting the compound to a cyanate. As a technique for cyanating a hydroxyl group, for example, a technique described in Ian Hamerton, "Chemistry and Technology of Cyanate Ester Resins," Blackie Academic & Professional.

〔I−3.アミノシラン処理されたシリカ(C)〕
本発明におけるアミノシラン処理されたシリカ(C)は、シリカ粒子にアミノシラン系のシランカップリング剤を処理させて得ることができる。以下、詳述する。
[I-3. Aminosilane treated silica (C)]
The aminosilane-treated silica (C) in the present invention can be obtained by treating silica particles with an aminosilane-based silane coupling agent. The details will be described below.

〔I−3−1.アミノシラン処理されたシリカ(C)におけるシリカ粒子〕
本発明で使用されるアミノシラン処理されたシリカ(C)におけるシリカ粒子としては、特に制限されないが、例としては、天然シリカ、溶融シリカ、アモルファスシリカ、中空シリカ、などが挙げられる。低熱膨張化の観点から、その中でも溶融シリカが特に好ましい。溶融シリカの具体例としては、電気化学工業(株)製のSFP−130MC等、(株)アドマテックス製のSC2050、SC2500、SC4500等が挙げられる。
[I-3-1. Silica particles in aminosilane-treated silica (C)]
The silica particles in the aminosilane-treated silica (C) used in the present invention are not particularly limited, and examples include natural silica, fused silica, amorphous silica, and hollow silica. Among them, fused silica is particularly preferable from the viewpoint of low thermal expansion. Specific examples of the fused silica include SFP-130MC manufactured by Denki Kagaku Kogyo Co., Ltd. and SC2050, SC2500, SC4500 manufactured by Admatechs Co., Ltd.

シリカの平均粒子径は、限定されないが、樹脂シートの製造性向上の観点からは、0.01〜5.0μmが好ましく、0.2〜2.0μmがより好ましい。なお、本明細書においてアミノシラン処理されたシリカ(C)の「平均粒子径」とは、シリカのメジアン径を意味する。ここでメジアン径とは、ある粒子径を基準として粉体の粒度分布を2つに分けた場合に、より粒径が大きい側の粒子の質量と、より粒径が小さい側の質量が、全粉体の夫々50%を占めるような粒子径を意味する。アミノシラン処理されたシリカ(C)の平均粒子径(メジアン径)は、湿式レーザー回折・散乱法により測定される。   The average particle diameter of the silica is not limited, but is preferably 0.01 to 5.0 μm, more preferably 0.2 to 2.0 μm, from the viewpoint of improving the productivity of the resin sheet. In this specification, the “average particle diameter” of the aminosilane-treated silica (C) means a median diameter of the silica. Here, the median diameter means that when the particle size distribution of the powder is divided into two based on a certain particle size, the mass of the larger particle size and the mass of the smaller particle size are all It means a particle diameter that occupies 50% of each of the powders. The average particle size (median size) of the aminosilane-treated silica (C) is measured by a wet laser diffraction / scattering method.

〔I−3−2.アミノシラン処理されたシリカ(C)におけるシランカップリング剤〕
上記アミノシラン系のシランカップリング剤としては、例えばγ−アミノプロピルトリエトキシシラン、N−β−(アミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、フェニルアミノシラン等、が挙げられる。特に吸湿耐熱性向上の観点から、フェニルアミノシラン(KBM−573、信越化学工業(株)製)が特に好ましい。
[I-3-2. Silane coupling agent in aminosilane-treated silica (C)]
Examples of the aminosilane-based silane coupling agent include γ-aminopropyltriethoxysilane, N-β- (aminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane, phenylaminosilane, and the like. In particular, phenylaminosilane (KBM-573, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) is particularly preferable from the viewpoint of improving moisture absorption heat resistance.

その含有量は限定されないが、吸湿耐熱性向上の観点からは、シリカに対して、シランカップリング剤の比率を0.05〜5質量%とすることが好ましく、0.1〜3質量%とすることがより好ましい。なお、2種以上のシランカップリング剤を併用する場合には、これらの合計量が上記比率を満たすことが好ましい。これらのアミノシラン処理されたシリカ(C)は、1種を単独で使用してもよく、2種以上を任意の組み合わせ及び比率で併用してもよい。   Although the content is not limited, the ratio of the silane coupling agent to silica is preferably 0.05 to 5% by mass, and 0.1 to 3% by mass from the viewpoint of improving the heat resistance to moisture absorption. Is more preferable. When two or more silane coupling agents are used in combination, the total amount thereof preferably satisfies the above ratio. One of these silicas (C) treated with aminosilane may be used alone, or two or more thereof may be used in any combination and in any ratio.

上記のアミノシラン処理されたシリカ(C)の製造方法としては、例えば、以下の方法が挙げられる。   Examples of a method for producing the above-mentioned aminosilane-treated silica (C) include the following method.

第一の方法としては、乾式法が挙げられる。乾式法としては、例えば、前記任意のシリカ粒子に前記任意のシランカップリング剤を直接付着させる方法等が挙げられる。ミキサーにシリカ粒子を仕込んで、攪拌しながらシランカップリング剤のアルコール溶液又は水溶液を滴下又は噴霧した後、さらに攪拌し、ふるいにより分級する。その後、加熱によりシランカップリング剤とシリカ粒子とを脱水縮合ことにより、アミノシラン処理されたシリカ(C)を得ることができる。   The first method includes a dry method. Examples of the dry method include a method of directly attaching the optional silane coupling agent to the optional silica particles. A silica particle is charged into a mixer, and an alcohol solution or an aqueous solution of a silane coupling agent is dropped or sprayed with stirring, and then the mixture is further stirred and classified by a sieve. Thereafter, the silane coupling agent and the silica particles are dehydrated and condensed by heating to obtain the aminosilane-treated silica (C).

第二の方法としては、湿式法が挙げられる。湿式法では、未処理のスラリーシリカを攪拌しながら任意のシランカップリング剤を添加し、攪拌した後、濾過、乾燥及びふるいによる分級を行う。次に、加熱によりシランカップリング剤とシリカ粒子とを脱水縮合させることにより、アミノシラン処理されたシリカ(C)を得ることができる。   The second method is a wet method. In the wet method, an optional silane coupling agent is added while stirring untreated slurry silica, and after stirring, filtration, drying, and classification by sieving are performed. Next, aminosilane-treated silica (C) can be obtained by dehydrating and condensing the silane coupling agent and the silica particles by heating.

第三の方法としては、未処理のスラリーシリカを攪拌しながら、任意のシランカップリング剤を添加した後、加熱還流処理により脱水縮合を進行させることにより、アミノシラン処理されたシリカ(C)を得る方法が挙げられる。   As a third method, an aminosilane-treated silica (C) is obtained by adding an arbitrary silane coupling agent while stirring untreated slurry silica and then proceeding dehydration condensation by heating and refluxing. Method.

第四の方法としては、絶縁層を製造するためのワニスを調製する際に、他の成分と共にシリカとアミノシラン系のシランカップリング剤を添加し、絶縁層を形成する工程においてアミノシラン処理されたシリカ(C)を生成する方法が挙げられる。   As a fourth method, when preparing a varnish for producing an insulating layer, silica and an aminosilane-based silane coupling agent are added together with other components, and silica that has been subjected to aminosilane treatment in the step of forming an insulating layer. There is a method of generating (C).

本発明の樹脂組成物に使用されるアミノシラン処理されたシリカ(C)としては、上記の製造方法に加え、市販品を用いることもできる。市販品としては、フェニルアミノシラン(KBM−573、信越化学工業(株)製)が処理されたスラリーシリカ(SC2050−MTX、アドマテックス(株)製)が挙げられる。   As the aminosilane-treated silica (C) used in the resin composition of the present invention, a commercially available product can be used in addition to the above-mentioned production method. Commercially available products include slurry silica (SC2050-MTX, manufactured by Admatechs Co., Ltd.) treated with phenylaminosilane (KBM-573, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.).

これらの中でも、絶縁層の熱膨張率を低減しながら高いめっきピール強度を得る観点から、第一〜第三の方法が好ましい。これらの方法は、予めシリカをアミノシラン処理するため、シリカ表面のアミノ基濃度が高くなり、絶縁層のマトリックスとの接着性が良好になるためと推察される。しかし、絶縁層は通常、硬化されているので前記濃度を定量することは現実的ではない。   Among these, the first to third methods are preferred from the viewpoint of obtaining high plating peel strength while reducing the coefficient of thermal expansion of the insulating layer. It is presumed that in these methods, the silica is preliminarily treated with aminosilane, so that the amino group concentration on the silica surface is increased, and the adhesion of the insulating layer to the matrix is improved. However, since the insulating layer is usually cured, it is not practical to determine the concentration.

本発明におけるアミノシラン処理されたシリカ(C)の含有量は、特に限定されないが、絶縁層の熱膨張率を低減しながら高いめっきピール強度を得る観点からは、絶縁層の樹脂固形分100質量部に対し、50〜350質量部とすることが好ましく、70〜300質量部とすることが好ましい。なお、2種類以上のアミノシラン処理されたシリカ(C)を併用する場合には、これらの合計量が上記比率を満たすことが好ましい。   The content of the aminosilane-treated silica (C) in the present invention is not particularly limited, but from the viewpoint of obtaining high plating peel strength while reducing the coefficient of thermal expansion of the insulating layer, the resin solid content of the insulating layer is 100 parts by mass. Is preferably 50 to 350 parts by mass, more preferably 70 to 300 parts by mass. When two or more aminosilane-treated silicas (C) are used in combination, the total amount thereof preferably satisfies the above ratio.

〔I−4.酸に可溶な無機充填材(D)〕
本発明に使用される成分(D)としては、酸に可溶な無機充填材であれば特に限定されないが、水酸化マグネシウム、酸化マグネシウムが挙げられる。前記酸は、塩酸または硫酸であることが好ましい。これらは絶縁層表面のデスミア処理において中和液に溶出し、均一な粗化面を形成してめっきピール強度を向上させる効果がある。具体的には、水酸化マグネシウムとしてタテホ化学工業(株)製のエコーマグZ−10、エコーマグPZ−1、神島化学工業(株)製のマグシーズN、マグシーズS、マグシーズEP、マグシーズEP2−A、堺化学工業(株)製のMGZ−1、MGZ−3、MGZ−6R、協和化学工業(株)製のキスマ5、キスマ5A、キスマ5P等が挙げられる。酸化マグネシウムとしてタテホ化学工業(株)製のFNM−G、堺化学工業(株)製のSMO、SMO−0.1、SMO−S−0.5等が挙げられる。これらの酸に可溶な無機充填材(D)は、1種を単独で使用してもよく、2種以上を任意の組み合わせ及び比率で併用してもよい。
[I-4. Inorganic filler soluble in acid (D)]
The component (D) used in the present invention is not particularly limited as long as it is an inorganic filler soluble in an acid, and examples thereof include magnesium hydroxide and magnesium oxide. Preferably, the acid is hydrochloric acid or sulfuric acid. These are eluted into the neutralizing solution during the desmear treatment of the surface of the insulating layer, and have the effect of forming a uniform roughened surface and improving the plating peel strength. Specifically, as magnesium hydroxide, Echomag Z-10 and Echomag PZ-1 manufactured by Tateho Chemical Industry Co., Ltd .; Examples include MGZ-1, MGZ-3, and MGZ-6R manufactured by Chemical Industry Co., Ltd., and Kisuma 5, Kisuma 5A, and Kisuma 5P manufactured by Kyowa Chemical Industry Co., Ltd. Examples of magnesium oxide include FNM-G manufactured by Tateho Chemical Industry Co., Ltd., and SMO, SMO-0.1, SMO-S-0.5 manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd. As the inorganic filler (D) soluble in these acids, one kind may be used alone, or two or more kinds may be used in optional combination and ratio.

前記酸に可溶な無機充填材(D)の平均粒子径としては、デスミア処理後に均一な表面粗度を得る観点から0.1〜2.0μmであることが好ましい。平均粒子径とは前述のとおりメジアン径である。   The average particle diameter of the acid-soluble inorganic filler (D) is preferably from 0.1 to 2.0 μm from the viewpoint of obtaining a uniform surface roughness after the desmear treatment. The average particle diameter is a median diameter as described above.

前記酸に可溶な無機充填材(D)の含有量は、デスミア処理後に均一な表面粗度を得る観点、高いめっきピール強度を得る観点からは、絶縁層の樹脂固形分100質量部に対し、20〜150質量部とすることが好ましく、30〜130質量部とすることが好ましい。   The content of the inorganic filler (D) soluble in the acid is determined based on 100 parts by mass of the resin solid content of the insulating layer from the viewpoint of obtaining uniform surface roughness after desmearing and obtaining high plating peel strength. , Preferably from 20 to 150 parts by mass, more preferably from 30 to 130 parts by mass.

また、前記酸に可溶な無機充填材(D)は、吸湿耐熱性、耐薬品性の観点から表面処理されたものであることが好ましい。表面処理剤としては、シランカップリング剤が好ましい。シランカップリング剤の具体例としては、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、N−β−(アミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシランなどのアミノシラン系、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシランなどのエポキシシラン系、γ−メタアクリロキシプロピルトリメトキシシランなどのビニルシラン系、N−β−(N−ビニルベンジルアミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン塩酸塩などのカチオニックシラン系、フェニルシラン系などが挙げられ、1種もしくは2種以上を適宜組み合わせて使用することも可能である。具体的には、エポキシシラン(KBM−403、信越化学工業(株)製)で処理したものが好ましい。   Moreover, it is preferable that the inorganic filler (D) soluble in the acid is surface-treated from the viewpoints of moisture absorption heat resistance and chemical resistance. As the surface treatment agent, a silane coupling agent is preferable. Specific examples of the silane coupling agent include aminosilanes such as γ-aminopropyltriethoxysilane, N-β- (aminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane, and γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane. Epoxysilanes, vinylsilanes such as γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane, cationic silanes such as N-β- (N-vinylbenzylaminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane hydrochloride, and phenylsilanes And the like, and one or more of them can be used in an appropriate combination. Specifically, those treated with epoxysilane (KBM-403, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) are preferable.

シランカップリング剤を使用する場合、その含有量は限定されないが、吸湿耐熱性向上の観点からは、成分(D)に対して、シランカップリング剤の比率を0.05〜5質量%とすることが好ましく、0.1〜3質量%とすることがより好ましい。なお、2種以上のシランカップリング剤を併用する場合には、これらの合計量が上記比率を満たすことが好ましい。   When a silane coupling agent is used, its content is not limited, but from the viewpoint of improving moisture absorption heat resistance, the ratio of the silane coupling agent to the component (D) is set to 0.05 to 5% by mass. And more preferably 0.1 to 3% by mass. When two or more silane coupling agents are used in combination, the total amount thereof preferably satisfies the above ratio.

〔I−5.マレイミド化合物(E)〕
本発明においては、プリント配線板の絶縁層の吸湿耐熱性を向上させる場合に、マレイミド化合物(E)を使用することが好ましい。使用されるマレイミド化合物(E)としてはマレイミド基を有する化合物であれば、特に限定されず、具体的には、ビス(4−マレイミドフェニル)メタン、2,2−ビス{4−(4−マレイミドフェノキシ)−フェニル}プロパン、ビス(3,5−ジメチル−4−マレイミドフェニル)メタン、ビス(3−エチル−5−メチル−4−マレイミドフェニル)メタン、ビス(3,5−ジエチル−4−マレイミドフェニル)メタン、トリス(4−マレイミドフェニル)メタン、式(5)で表されるマレイミド化合物、式(6)で表される長鎖アルキルビスマレイミドなどが挙げられる。
[I-5. Maleimide compound (E)]
In the present invention, it is preferable to use a maleimide compound (E) in order to improve the moisture absorption and heat resistance of the insulating layer of the printed wiring board. The maleimide compound (E) used is not particularly limited as long as it has a maleimide group. Specifically, bis (4-maleimidophenyl) methane, 2,2-bis {4- (4-maleimide) Phenoxy) -phenyl} propane, bis (3,5-dimethyl-4-maleimidophenyl) methane, bis (3-ethyl-5-methyl-4-maleimidophenyl) methane, bis (3,5-diethyl-4-maleimide) Phenyl) methane, tris (4-maleimidophenyl) methane, a maleimide compound represented by the formula (5), a long-chain alkylbismaleimide represented by the formula (6), and the like.

この中でも吸湿耐熱性、耐燃性の観点から式(5)で表されるマレイミド化合物が好ましい。該化合物は市販品を用いることができ、そのような例としては、ケイ・アイ化成(株)製、BMI−2300等がある。   Among them, the maleimide compound represented by the formula (5) is preferable from the viewpoints of moisture absorption heat resistance and flame resistance. As the compound, a commercially available product can be used, and examples of such a compound include BMI-2300 manufactured by K-I Kasei Corporation.

Figure 0006653065
(式中、Rは各々独立に、水素原子又はメチル基を表す。nは平均値として1〜10の範囲である。)
Figure 0006653065
(In the formula, R 5 each independently represents a hydrogen atom or a methyl group. N 5 ranges from 1 to 10 as an average value.)

また、高いめっきピール強度を得る観点からは、式(6)で表される長鎖アルキルビスマレイミドを用いることが好ましい。該化合物は市販品を用いることができ、そのようなものとしては、ケイ・アイ化成(株)製BMI−1000P等がある。   From the viewpoint of obtaining high plating peel strength, it is preferable to use a long-chain alkyl bismaleimide represented by the formula (6). As the compound, a commercially available product can be used, and examples of such a compound include BMI-1000P manufactured by K-I Kasei Corporation.

Figure 0006653065
(式中nは、1以上30以下の整数を示す。)
Figure 0006653065
(In the formula, n 6 represents an integer of 1 or more and 30 or less.)

なお、これらマレイミド化合物のプレポリマー、もしくはマレイミド化合物とアミン化合物のプレポリマーなどの形で配合することもでき、1種もしくは2種以上を適宜混合して使用することも可能である。   It is to be noted that these may be blended in the form of a prepolymer of a maleimide compound or a prepolymer of a maleimide compound and an amine compound, and one or more of them may be used as appropriate.

本発明におけるマレイミド化合物(E)の含有量は、エポキシ化合物(A)、シアン酸エステル化合物(B)及びマレイミド化合物(E)成分の合計100質量部に対し、5〜50質量部が好ましく、より好ましくは、5〜20質量部である。マレイミド化合物の配合量が5〜50質量部の範囲であれば、良好な吸湿耐熱性を得ることができる。   The content of the maleimide compound (E) in the present invention is preferably 5 to 50 parts by mass based on 100 parts by mass of the total of the epoxy compound (A), the cyanate ester compound (B) and the maleimide compound (E). Preferably, it is 5 to 20 parts by mass. When the amount of the maleimide compound is in the range of 5 to 50 parts by mass, good heat resistance to moisture absorption can be obtained.

〔I−6.その他の成分〕
本発明においては、エポキシ化合物(A)、シアン酸エステル化合物(B)、アミノシラン処理されたシリカ(C)及び酸に可溶な無機充填材(D)及びマレイミド化合物(E)の他に、以下に例示するようなその他の1種以上の成分を含有していてもよい。
[I-6. Other components)
In the present invention, in addition to the epoxy compound (A), the cyanate ester compound (B), the silica (C) treated with aminosilane, the inorganic filler (D) soluble in acid and the maleimide compound (E), May contain one or more other components.

本発明の絶縁層は、樹脂シートのハンドリング性向上の観点から、ゴムを添加しても良い。ゴムとしては、一般に使用されているゴムであれば、限定されない。具体例としては、天然ゴム(NR)、スチレン−ブタジエンゴム(SBR)、イソプレンゴム(IR)、ブタジエンゴム(BR)、クロロプレンゴム(CR)、アクリロニトリルブタジエンゴム(NBR)、ブチルゴム(IIR)、エチレン−プロピレンゴム(EPM)、エチレン−プロピレン−ジエンゴム(EPDM)、ウレタンゴム(U)、シリコーンゴム、フッ素ゴム(FKM)が挙げられる。これらのゴムは、1種を単独で使用してもよく、2種以上を任意の組み合わせ及び比率で併用してもよい。特に、均一性の観点から、アクリロニトリルブタジエンゴム(NBR)が好ましい。   Rubber may be added to the insulating layer of the present invention from the viewpoint of improving the handleability of the resin sheet. The rubber is not limited as long as it is a commonly used rubber. Specific examples include natural rubber (NR), styrene-butadiene rubber (SBR), isoprene rubber (IR), butadiene rubber (BR), chloroprene rubber (CR), acrylonitrile butadiene rubber (NBR), butyl rubber (IIR), and ethylene. -Propylene rubber (EPM), ethylene-propylene-diene rubber (EPDM), urethane rubber (U), silicone rubber, fluorine rubber (FKM). One type of these rubbers may be used alone, or two or more types may be used in any combination and in any ratio. In particular, acrylonitrile butadiene rubber (NBR) is preferable from the viewpoint of uniformity.

本発明の樹脂シートは、樹脂シート製造性向上等の観点から湿潤分散剤を含有してもよい。湿潤分散剤としては、一般に塗料等に使用されている湿潤分散剤であれば、限定されない。具体例としては、ビッグケミー・ジャパン(株)製のDisperbyk−110、同−111、同−180、同−161、BYK−W996、同−W9010、同−W903等が挙げられる。これらの湿潤分散剤は、1種を単独で使用してもよく、2種以上を任意の組み合わせ及び比率で併用してもよい。   The resin sheet of the present invention may contain a wet dispersant from the viewpoint of improving the productivity of the resin sheet. The wetting and dispersing agent is not limited as long as it is a wetting and dispersing agent generally used for paints and the like. Specific examples include Disperbyk-110, -111, -180, -161, BYK-W996, -W9010, and -W903 manufactured by Big Chemie Japan KK. One of these wetting and dispersing agents may be used alone, or two or more thereof may be used in an optional combination and ratio.

湿潤分散剤を使用する場合、その含有量は限定されないが、樹脂シート製造性向上の観点からは、アミノシラン処理されたシリカ(C)及び酸に可溶な無機充填材(D)の合計量に対して、湿潤分散剤の比率を0.1〜5質量%とすることが好ましく、0.5〜3質量%とすることがより好ましい。なお、2種以上の湿潤分散剤を併用する場合には、これらの合計量が上記比率を満たすことが好ましい。   When a wetting and dispersing agent is used, its content is not limited, but from the viewpoint of improving the productivity of the resin sheet, the total amount of the aminosilane-treated silica (C) and the acid-soluble inorganic filler (D) is preferably On the other hand, the proportion of the wetting and dispersing agent is preferably 0.1 to 5% by mass, more preferably 0.5 to 3% by mass. When two or more types of wet dispersants are used in combination, it is preferable that the total amount thereof satisfies the above ratio.

本発明の絶縁層は、硬化速度の調整等の目的で、硬化促進剤を含有してもよい。硬化促進剤としては、エポキシ化合物やシアン酸エステル化合物等の硬化促進剤として公知であり、一般に使用されるものであれば、特に限定されない。具体例としては、銅、亜鉛、コバルト、ニッケル、マンガン等の金属を含む有機金属塩類(例えばオクチル酸亜鉛、ナフテン酸コバルト、オクチル酸ニッケル、オクチル酸マンガン等)、イミダゾール類及びその誘導体(例えば2−エチル−4−メチルイミダゾール、1−ベンジル−2−フェニルイミダゾール、2,4,5−トリフェニルイミダゾール等)、第3級アミン(例えばトリエチルアミン、トリブチルアミン等)等が挙げられる。これらの硬化促進剤は、1種を単独で使用してもよく、2種以上を任意の組み合わせ及び比率で併用してもよい。   The insulating layer of the present invention may contain a curing accelerator for the purpose of adjusting the curing speed and the like. The curing accelerator is known as a curing accelerator such as an epoxy compound or a cyanate ester compound, and is not particularly limited as long as it is generally used. Specific examples include organic metal salts containing metals such as copper, zinc, cobalt, nickel and manganese (eg, zinc octylate, cobalt naphthenate, nickel octylate, manganese octylate), imidazoles and derivatives thereof (eg, -Ethyl-4-methylimidazole, 1-benzyl-2-phenylimidazole, 2,4,5-triphenylimidazole and the like, and tertiary amines (for example, triethylamine, tributylamine and the like). One of these curing accelerators may be used alone, or two or more thereof may be used in an optional combination and ratio.

硬化促進剤を使用する場合、その含有量は限定されないが、高いガラス転移温度を得る観点からは、絶縁層の樹脂固形分100質量部に対し、硬化促進剤の比率を0.01〜5質量部とすることが好ましく、0.05〜4質量部とすることがより好ましい。なお、2種以上の硬化促進剤を併用する場合には、これらの合計量が上記比率を満たすことが好ましい。   When using a curing accelerator, the content is not limited, but from the viewpoint of obtaining a high glass transition temperature, the ratio of the curing accelerator to 0.01 to 5 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the resin solid content of the insulating layer. Part by mass, more preferably 0.05 to 4 parts by mass. When two or more curing accelerators are used in combination, the total amount thereof preferably satisfies the above ratio.

本発明の絶縁層は、所期の特性が損なわれない範囲において、その他の種々の高分子化合物又は難燃性化合物等を含有してもよい。高分子化合物及び難燃性化合物としては、一般に使用されているものであれば限定されない。高分子化合物の例としては、各種の熱硬化性樹脂及び熱可塑性樹脂並びにそのオリゴマー、エラストマー類等が挙げられる。難燃性化合物の例としては、リン含有化合物(例えばリン酸エステル、リン酸メラミン、リン含有エポキシ樹脂等)、窒素含有化合物(例えばメラミン、ベンゾグアナミン等)、オキサジン環含有化合物、シリコーン系化合物等が挙げられる。これらの高分子化合物又は難燃性化合物は、1種を単独で使用してもよく、2種以上を任意の組み合わせ及び比率で併用してもよい。   The insulating layer of the present invention may contain other various polymer compounds or flame-retardant compounds as long as the desired properties are not impaired. The polymer compound and the flame retardant compound are not limited as long as they are commonly used. Examples of the polymer compound include various thermosetting resins and thermoplastic resins, and oligomers and elastomers thereof. Examples of the flame-retardant compound include a phosphorus-containing compound (for example, phosphate ester, melamine phosphate, phosphorus-containing epoxy resin, etc.), a nitrogen-containing compound (for example, melamine, benzoguanamine, etc.), an oxazine ring-containing compound, a silicone compound, and the like. No. One of these polymer compounds or flame retardant compounds may be used alone, or two or more thereof may be used in any combination and in any ratio.

また、本発明の絶縁層は、所期の特性が損なわれない範囲において、種々の目的により、各種の添加剤を含有していてもよい。添加剤の例としては、紫外線吸収剤、酸化防止剤、光重合開始剤、蛍光増白剤、光増感剤、染料、顔料、増粘剤、滑剤、消泡剤、分散剤、レベリング剤、光沢剤等が挙げられる。これらの添加剤は、1種を単独で使用してもよく、2種以上を任意の組み合わせ及び比率で併用してもよい。   Further, the insulating layer of the present invention may contain various additives for various purposes as long as the desired properties are not impaired. Examples of additives include ultraviolet absorbers, antioxidants, photopolymerization initiators, fluorescent brighteners, photosensitizers, dyes, pigments, thickeners, lubricants, defoamers, dispersants, leveling agents, And a brightener. One of these additives may be used alone, or two or more thereof may be used in an optional combination and ratio.

〔I−7.ワニス〕
前記成分(A)〜(D)及び必要に応じて前記のその他の成分を溶媒に溶解又は分散させてワニスとすることができる。斯かるワニスは、後述する本発明の樹脂シートを作製する際のワニスとして、好適に使用することができる。溶媒としては、上述の成分を各々好適に溶解又は分散させることができ、且つ、本発明の所期の効果を損なわないものであれば限定されない。具体例としては、アルコール類(メタノール、エタノール、プロパノール等)、ケトン類(例えばアセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン等)、アミド類(例えばジメチルアセトアミド、ジメチルホルムアミド等)、芳香族炭化水素類(例えばトルエン、キシレン等)等が挙げられる。これらの有機溶剤は、1種を単独で使用してもよく、2種以上を任意の組み合わせ及び比率で併用してもよい。
[I-7. varnish〕
The components (A) to (D) and, if necessary, the other components described above can be dissolved or dispersed in a solvent to form a varnish. Such a varnish can be suitably used as a varnish for producing a resin sheet of the present invention described below. The solvent is not limited as long as it can suitably dissolve or disperse each of the above-mentioned components and does not impair the intended effect of the present invention. Specific examples include alcohols (methanol, ethanol, propanol, etc.), ketones (eg, acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, etc.), amides (eg, dimethylacetamide, dimethylformamide, etc.), aromatic hydrocarbons (eg, toluene , Xylene, etc.). One of these organic solvents may be used alone, or two or more thereof may be used in an optional combination and ratio.

〔II−1.樹脂シート〕
本発明の樹脂シートは、外層上に、上述した本発明の絶縁層を有する。当該樹脂シートを用いてプリント配線板を製造する場合等は必要に応じて、外層を樹脂シートから剥離又はエッチングしてもよい。
[II-1. Resin sheet)
The resin sheet of the present invention has the above-described insulating layer of the present invention on an outer layer. When a printed wiring board is manufactured using the resin sheet, the outer layer may be separated or etched from the resin sheet as necessary.

上記外層としては、特に限定されないが、高分子フィルム、金属箔又は金属フィルムを使用することができる。高分子フィルムの具体例としては、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリブテン、ポリブタジエン、ポリウレタン、エチレン‐酸化ビニル共重合体、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート及びポリブチレンテレフタレート等のポリエステル、ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン‐プロピレン共重合体、ポリメチルペンテン、ポリイミド及びポリアミドからなる群より選ばれる少なくとも1種以上の樹脂を含有するフィルム、並びにこれらのフィルムの表面に離型剤を塗布した離型フィルムが挙げられ、これらの中でも、特にポリエステル、ポリイミド、ポリアミドが好ましく、その中でもポリエステルの一種である、ポリエチレンテレフタレートが特に好ましい。   The outer layer is not particularly limited, but may be a polymer film, a metal foil or a metal film. Specific examples of the polymer film include polyvinyl chloride, polyvinylidene chloride, polybutene, polybutadiene, polyurethane, ethylene-vinyl oxide copolymer, polyethylene terephthalate, polyester such as polyethylene naphthalate and polybutylene terephthalate, polyethylene, polypropylene, ethylene -Propylene copolymer, polymethylpentene, films containing at least one resin selected from the group consisting of polyimide and polyamide, and release films coated with a release agent on the surface of these films, Among these, polyester, polyimide and polyamide are particularly preferred, and among them, polyethylene terephthalate, which is a kind of polyester, is particularly preferred.

また、高分子フィルムの厚さは特に限定されず、例えば、0.002〜0.1mmであってもよい。金属箔又は金属フィルムの具体例としては、銅やアルミニウム等の金属からなる箔又はフィルムが挙げられ、中でも銅箔又は銅フィルムが好ましく、特に電解銅箔、圧延銅箔、銅合金フィルム等が好適に使用できる。金属箔又は金属フィルムには、例えばニッケル処理やコバルト処理等、公知の表面処理が施されていてもよい。金属箔又は金属フィルムの厚さは、使用用途によって適宜調整することができるが、例えば5〜70μmの範囲が好適である。   The thickness of the polymer film is not particularly limited, and may be, for example, 0.002 to 0.1 mm. Specific examples of the metal foil or the metal film include a foil or a film made of a metal such as copper or aluminum, among which a copper foil or a copper film is preferable, and particularly, an electrolytic copper foil, a rolled copper foil, and a copper alloy film are preferable. Can be used for A known surface treatment such as a nickel treatment or a cobalt treatment may be applied to the metal foil or the metal film. The thickness of the metal foil or metal film can be appropriately adjusted depending on the intended use, but is preferably, for example, in the range of 5 to 70 μm.

上述の外層上に、本発明の絶縁層を形成して本発明の樹脂シートを製造する方法は、限定されない。例としては、前述のワニスを、上述の外層の表面に塗布し、加熱又は減圧下で乾燥し、溶媒を除去してワニスを固化させる手法等が挙げられる。乾燥条件は特に限定されないが、このようにして形成された絶縁層の総量に対する溶媒の含有比率が通常10質量部以下、好ましくは5質量部以下となるように乾燥させる。斯かる乾燥を達成する条件は、ワニス中の有機溶媒量によっても異なるが、例えば30〜60質量部の有機溶剤を含むワニスの場合、50〜160℃の加熱条件下で3〜10分程度乾燥させればよい。本発明の樹脂シートにおける絶縁層の厚さは限定されないが、乾燥時に軽揮発分をより良好に除去する観点、及び樹脂シートとしての機能をより有効かつ確実に奏する観点から、0.1〜500μmの範囲が好適である。樹脂組成物が溶媒を含まずとも流動性を有する場合は、当該樹脂組成物をワニスのように使用して絶縁層を形成してもよい。   The method for producing the resin sheet of the present invention by forming the insulating layer of the present invention on the outer layer described above is not limited. As an example, a method of applying the above-described varnish to the surface of the above-mentioned outer layer, drying under heating or reduced pressure, and removing the solvent to solidify the varnish may be mentioned. Drying conditions are not particularly limited, but drying is performed so that the content ratio of the solvent to the total amount of the insulating layer thus formed is usually 10 parts by mass or less, preferably 5 parts by mass or less. The conditions for achieving such drying vary depending on the amount of the organic solvent in the varnish. It should be done. The thickness of the insulating layer in the resin sheet of the present invention is not limited, but from the viewpoint of better removal of light volatile components during drying, and from the viewpoint of more effectively and reliably exhibiting the function as a resin sheet, 0.1 to 500 μm. Is suitable. When the resin composition has fluidity without containing a solvent, the resin composition may be used like a varnish to form an insulating layer.

なお、ワニスまたは流動性を有する樹脂組成物から形成された絶縁層と、これとは異なる方法(樹脂を溶融してプレスする等)で形成された方法とを比較すると、前者の方が層の均一性や外層との密着性に優れる。   When comparing an insulating layer formed from a varnish or a resin composition having fluidity with a method formed by a different method (such as melting and pressing a resin), the former is better in the layer. Excellent in uniformity and adhesion to the outer layer.

本発明の樹脂シートは、プリント配線板のビルドアップ材料として使用可能である。本発明の樹脂シートを用いて形成されたプリント配線板においては、本発明の絶縁層がプリント配線板における絶縁層を構成することになる。プリント配線板における絶縁層は通常は硬化されている。プリント配線板については以下に詳述する。   The resin sheet of the present invention can be used as a build-up material for a printed wiring board. In a printed wiring board formed using the resin sheet of the present invention, the insulating layer of the present invention constitutes an insulating layer in the printed wiring board. The insulating layer in the printed wiring board is usually hardened. The printed wiring board will be described in detail below.

〔II−2.プリント配線板〕
本発明のプリント配線板は、コア基材に対し、本発明の樹脂シートをビルドアップ材として用いることにより得ることができる。コア基材とはビルドアップ工法において芯となる基板であり、樹脂絶縁層が完全硬化した金属箔張積層板である。コア基材の表面には通常当業界で用いられる金属箔張積層板の金属箔、又は金属箔を剥離した後にめっきするなどして得られる導体層により導体回路を形成する。
[II-2. (Printed wiring board)
The printed wiring board of the present invention can be obtained by using the resin sheet of the present invention as a build-up material for a core base material. The core substrate is a substrate serving as a core in the build-up method, and is a metal foil-clad laminate in which the resin insulating layer is completely cured. On the surface of the core substrate, a conductor circuit is formed by a metal foil of a metal foil-clad laminate generally used in the art or a conductor layer obtained by peeling and plating the metal foil.

コア基材とは、主として、ガラスエポキシ基板、金属基板、ポリエステル基板、ポリイミド基板、BTレジン基板、熱硬化型ポリフェニレンエーテル基板等の基板の片面又は両面にパターン加工された導体層(回路)が形成されたものをいう。また、多層プリント配線板を製造する際に、さらに絶縁層又は導体層が形成されるべき中間製造物の内層回路基板も本発明でいう回路基板に含まれる。なお、導体層(回路)表面は黒化処理等により予め粗化処理が施されていることが絶縁層の回路基板への密着性の観点から好ましい。   The core substrate is mainly formed of a patterned conductor layer (circuit) on one or both surfaces of a substrate such as a glass epoxy substrate, a metal substrate, a polyester substrate, a polyimide substrate, a BT resin substrate, and a thermosetting polyphenylene ether substrate. What was done. Further, when a multilayer printed wiring board is manufactured, an inner layer circuit board of an intermediate product on which an insulating layer or a conductor layer is to be further formed is also included in the circuit board according to the present invention. The surface of the conductor layer (circuit) is preferably subjected to a roughening treatment in advance by a blackening treatment or the like from the viewpoint of the adhesion of the insulating layer to the circuit board.

本発明の樹脂シートの絶縁層が硬化されて、プリント配線板における絶縁層を構成することになる。   The insulating layer of the resin sheet of the present invention is cured to form the insulating layer in the printed wiring board.

具体的に、本発明の樹脂シートをビルドアップ材料として用いる場合は、常法により、当該樹脂シートの絶縁層を表面処理し、絶縁層表面にめっきにより配線パターン(導体層)を形成することにより、本発明のプリント配線板が得られる。   Specifically, when the resin sheet of the present invention is used as a build-up material, the surface of the insulating layer of the resin sheet is treated by a conventional method, and a wiring pattern (conductor layer) is formed on the surface of the insulating layer by plating. Thus, the printed wiring board of the present invention is obtained.

必要に応じてその他の各種の工程(例えば、ビアホール、スルーホール等を形成する穴加工処理等)を加えてもよい。   Other various steps (for example, a hole processing for forming a via hole, a through hole, and the like) may be added as necessary.

以下、本発明のプリント配線板を製造するための各工程について説明する。   Hereinafter, each process for manufacturing the printed wiring board of the present invention will be described.

1)表面処理
絶縁層に対する表面処理は、絶縁層とめっき導体層との密着性の向上や、スミア除去等の観点から実施される。表面処理としては、デスミア処理、シランカップリング処理等がある。デスミア処理は膨潤化、表面粗化及びスミア溶解、及び中和処理を含むことが好ましい。粗化処理は膨潤剤及びアルカリ性酸化剤によって実施され、中和処理は酸性の還元剤により実施されることが好ましい。本発明では、アミノシラン系カップリング剤で処理したシリカを用いることで、崩落痕を小さくすることができ、低表面粗度を達成できる。
1) Surface treatment The surface treatment of the insulating layer is performed from the viewpoint of improving the adhesion between the insulating layer and the plated conductor layer, removing smear, and the like. Examples of the surface treatment include desmear treatment and silane coupling treatment. The desmear treatment preferably includes swelling, surface roughening and smear dissolution, and neutralization treatment. Preferably, the roughening treatment is performed with a swelling agent and an alkaline oxidizing agent, and the neutralization treatment is performed with an acidic reducing agent. In the present invention, by using silica treated with an aminosilane-based coupling agent, a collapse mark can be reduced and a low surface roughness can be achieved.

粗化処理は、孔あけ工程により生じたスミアの除去も兼ねることがより好ましい。この場合、絶縁層の硬化度の違いにより、粗化状態が異なるため、後述の積層成形の条件は、その後の粗化処理条件やめっき条件との組み合わせで最適な条件を選ぶことが好ましい。   More preferably, the roughening treatment also serves to remove smears generated in the drilling step. In this case, since the roughening state is different depending on the degree of curing of the insulating layer, it is preferable to select the optimum conditions for the lamination molding described later in combination with the subsequent roughening treatment conditions and plating conditions.

好ましい態様において粗化処理は、まず膨潤剤を用いて表面絶縁層を膨潤させる。膨潤剤としては、表面絶縁層の濡れ性が向上し、次の表面粗化及びスミア溶解処理において酸化分解が促進される程度にまで表面絶縁層を膨潤させることができるものであれば、制限されない。例としては、アルカリ溶液、界面活性剤溶液等が挙げられる。   In a preferred embodiment, the roughening treatment first swells the surface insulating layer using a swelling agent. The swelling agent is not limited as long as it improves the wettability of the surface insulating layer and can swell the surface insulating layer to the extent that oxidative decomposition is promoted in the next surface roughening and smear dissolution treatment. . Examples include alkaline solutions, surfactant solutions and the like.

次いで膨潤した表面を酸化剤で処理して、表面を酸化分解し粗化する。このとき当該処理で生じたスミアも除去する。酸化剤としては、例えばアルカリ性の過マンガン酸塩溶液等が挙げられ、好適な具体例としては、過マンガン酸カリウム水溶液、過マンガン酸ナトリウム水溶液等が挙げられる。斯かる酸化剤処理はウェットデスミアと呼ばれるが、当該ウェットデスミアに加えて、プラズマ処理やUV処理によるドライデスミア、バフ等による機械研磨、サンドブラスト等の他の公知の粗化処理を、適宜組み合わせて実施してもよい。   Next, the swollen surface is treated with an oxidizing agent to oxidatively decompose and roughen the surface. At this time, smear generated in the processing is also removed. Examples of the oxidizing agent include an alkaline permanganate solution, and specific examples thereof include a potassium permanganate aqueous solution and a sodium permanganate aqueous solution. Such an oxidizing agent treatment is called wet desmearing. In addition to the wet desmearing, dry desmearing by plasma treatment or UV treatment, mechanical polishing by buff, etc., and other known roughening treatments such as sand blasting are appropriately combined and performed. May be.

さらに中和処理によって、前処理で使用した酸化剤を還元剤で中和する。還元剤としては、アミン系還元剤が挙げられ、好適な具体例としては、ヒドロキシルアミン硫酸塩水溶液、エチレンジアミン四酢酸水溶液、ニトリロ三酢酸水溶液等の酸性水溶液が挙げられる。   Further, by the neutralization treatment, the oxidizing agent used in the pretreatment is neutralized with the reducing agent. Examples of the reducing agent include an amine-based reducing agent, and specific preferred examples thereof include an acidic aqueous solution such as an aqueous solution of hydroxylamine sulfate, an aqueous solution of ethylenediaminetetraacetic acid, and an aqueous solution of nitrilotriacetic acid.

微細配線パターンを形成する上で、粗化処理後の絶縁層の表面凹凸は小さい方が好ましい。具体的には、Rz値で4.0μm以下が好ましく、より好ましくは2.0μm以下である。粗化処理後の表面凹凸は、絶縁層の硬化度や粗化処理の条件等に応じて決まるため、所望の表面凹凸を得るための最適条件を選ぶことが好ましい。特に、本発明の絶縁層は、表面粗度が低くても、めっき導体層との密着性を確保することができ、極めて好適である。   In forming a fine wiring pattern, it is preferable that the surface unevenness of the insulating layer after the roughening treatment is small. Specifically, the Rz value is preferably 4.0 μm or less, more preferably 2.0 μm or less. Since the surface irregularities after the roughening treatment are determined according to the degree of hardening of the insulating layer, the conditions of the roughening treatment, and the like, it is preferable to select optimal conditions for obtaining desired surface irregularities. In particular, the insulating layer of the present invention can secure the adhesion to the plated conductor layer even if the surface roughness is low, and is extremely suitable.

2)導体層の形成
めっきにより配線パターン(導体層)を形成する方法としては、セミアディティブ法、フルアディティブ法、サブトラクティブ法等が挙げられる。中でも、微細配線パターンを形成する観点からは、セミアディティブ法が好ましい。
2) Formation of Conductive Layer As a method of forming a wiring pattern (conductive layer) by plating, a semi-additive method, a full-additive method, a subtractive method, and the like can be given. Among them, the semi-additive method is preferable from the viewpoint of forming a fine wiring pattern.

セミアディティブ法でパターン形成する手法の例としては、絶縁層表面に無電解めっき等により薄い導体層を形成した後、めっきレジストを用いて選択的に電解めっきを施し(パターンめっき)、その後めっきレジストを剥離し、全体を適量エッチングして配線パターン形成する手法が挙げられる。   As an example of a method of forming a pattern by the semi-additive method, a thin conductor layer is formed on an insulating layer surface by electroless plating or the like, and then selectively electrolytically plated using a plating resist (pattern plating), and then a plating resist is formed. And a method of forming a wiring pattern by etching the whole by an appropriate amount.

フルアディティブ法でパターン形成する手法の例としては、絶縁層表面にめっきレジストを用いて予めパターン形成を行い、選択的に無電解めっき等を付着させることにより配線パターンを形成する手法が挙げられる。   As an example of a method of forming a pattern by the full additive method, there is a method of forming a wiring pattern by previously forming a pattern on a surface of an insulating layer using a plating resist and selectively attaching electroless plating or the like.

サブトラクティブ法でパターン形成する手法の例としては、絶縁層表面にめっきにより導体層を形成した後、エッチングレジストを用いて選択的に導体層を除去することにより、配線パターンを形成する手法が挙げられる。あるいは、樹脂シートの外層が金属箔又は金属フィルムである場合、これらをエッチングして配線パターンを形成することもできる。   As an example of a method of forming a pattern by a subtractive method, a method of forming a wiring pattern by forming a conductive layer on a surface of an insulating layer by plating and then selectively removing the conductive layer using an etching resist is cited. Can be Alternatively, when the outer layer of the resin sheet is a metal foil or a metal film, these may be etched to form a wiring pattern.

めっきにより配線パターンを形成する際に、絶縁層と導体層との密着強度を向上させる観点から、めっきの後に乾燥を行うことが好ましい。セミアディティブ法によるパターン形成では、無電解めっきと電解めっきとを組み合わせて行うが、その際、無電解めっきの後と、電解めっきの後に、それぞれ乾燥を行うことが好ましい。無電解めっき後の乾燥は、例えば80〜180℃で10〜120分に亘って行うことが好ましく、電解めっき後の乾燥は、例えば130〜220℃で10〜120分に亘って行うことが好ましい。無電解めっき層は電界めっき層に比べて層の均一性に優れるので、両者の識別は可能である。   When a wiring pattern is formed by plating, it is preferable to perform drying after plating, from the viewpoint of improving the adhesion strength between the insulating layer and the conductor layer. In the pattern formation by the semi-additive method, the electroless plating and the electrolytic plating are performed in combination. In this case, it is preferable to perform drying after the electroless plating and after the electrolytic plating, respectively. Drying after electroless plating is preferably performed at, for example, 80 to 180 ° C for 10 to 120 minutes, and drying after electrolytic plating is preferably performed at, for example, 130 to 220 ° C for 10 to 120 minutes. . Since the electroless plating layer has better layer uniformity than the electroplating layer, the two can be distinguished.

3)その他
プリント配線板を製造するために、本発明の樹脂シートには穴加工処理がなされてもよい。当該処理はビアホール、スルーホール等の形成のために実施される。穴加工処理は、NCドリル、炭酸ガスレーザー、UVレーザー、YAGレーザー、プラズマ等の公知の方法のうち何れか1種を用い、或いは必要により2種以上を組み合わせて行う。
3) Others In order to manufacture a printed wiring board, the resin sheet of the present invention may be subjected to hole processing. This processing is performed to form via holes, through holes, and the like. The hole processing is performed using any one of known methods such as an NC drill, a carbon dioxide laser, a UV laser, a YAG laser, and plasma, or a combination of two or more as necessary.

本発明のプリント配線板は、多層プリント配線板とすることも可能である。例えば、めっき処理を実施した本発明の積層板を形成した後、これに内層回路を形成し、得られた回路に黒化処理を実施して、内層回路板とする。こうして得られた内層回路板の片面又は両面に、本発明の樹脂シートを配置し、更に金属箔(例えば銅やアルミニウム等)又は離型フィルム(ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリカーボネートフィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、エチレンテトラフルオロエチレン共重合体フィルム、ポリエステルフィルム、ポリイミドフィルム、ポリアミドフィルム等の表面に離型剤を塗布したフィルム)をその外側に配置する、という操作を繰り返し、積層成形することにより、多層プリント配線板が製造される。   The printed wiring board of the present invention can be a multilayer printed wiring board. For example, after forming a laminated board of the present invention that has been subjected to a plating process, an inner layer circuit is formed thereon, and a blackening process is performed on the obtained circuit to obtain an inner layer circuit board. On one or both sides of the inner layer circuit board thus obtained, the resin sheet of the present invention is arranged, and further a metal foil (eg, copper or aluminum) or a release film (polyethylene film, polypropylene film, polycarbonate film, polyethylene terephthalate film, Multilayered printed wiring by repeatedly laminating and forming a film having a release agent applied to the surface thereof, such as an ethylene tetrafluoroethylene copolymer film, a polyester film, a polyimide film, or a polyamide film. A board is manufactured.

積層成形は、通常のプリント配線板用積層板の積層成形に一般に使用される手法、例えば、多段プレス、多段真空プレス、ラミネーター、真空ラミネーター、オートクレーブ成形機等を使用し、温度は例えば100〜300℃、圧力は例えば0.1〜100kgf/cm(約9.8kPa〜約38MPa)、加熱時間は例えば30秒〜5時間の範囲で適宜選択して行う。また、必要に応じて、例えば150〜300℃の温度で後硬化を行い、硬化度を調整してもいい。Lamination molding is a method generally used for lamination molding of a normal printed wiring board laminate, for example, using a multi-stage press, a multi-stage vacuum press, a laminator, a vacuum laminator, an autoclave molding machine, and the like. The temperature and the pressure are, for example, 0.1 to 100 kgf / cm 2 (about 9.8 kPa to about 38 MPa), and the heating time is appropriately selected, for example, in the range of 30 seconds to 5 hours. If necessary, post-curing may be performed at a temperature of, for example, 150 to 300 ° C. to adjust the degree of curing.

以下に合成例、実施例及び比較例を示し、本発明を詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されない。   Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to Synthesis Examples, Examples, and Comparative Examples, but the present invention is not limited thereto.

〔シアン酸エステル化合物の製造〕
合成例1:α−ナフトールアラルキル型シアン酸エステル化合物(7)の合成
(Production of cyanate compound)
Synthesis Example 1: Synthesis of α-naphthol aralkyl cyanate compound (7)

Figure 0006653065
(式中、nは平均値として3から4までの範囲である。)
Figure 0006653065
(Where n 7 ranges from 3 to 4 as an average)

温度計、攪拌器、滴下漏斗及び還流冷却器を取りつけた反応器を予め食塩水により0〜5℃に冷却しておき、そこへ塩化シアン7.47g(0.122mol)、35%塩酸9.75g(0.0935mol)、水76ml、及び塩化メチレン44mlを仕込んだ。   The reactor equipped with a thermometer, a stirrer, a dropping funnel and a reflux condenser was previously cooled to 0 to 5 ° C. with a saline solution, and 7.47 g (0.122 mol) of cyanogen chloride and 35% hydrochloric acid were added thereto. 75 g (0.0935 mol), 76 ml of water and 44 ml of methylene chloride were charged.

この反応器内の温度を−5〜+5℃、pHを1以下に保ちながら、撹拌下、下記式(8)で表されるα−ナフトールアラルキル樹脂(SN485、OH基当量:214g/eq.軟化点:86℃、新日鐵化学(株)製)20g(0.0935mol)、及びトリエチルアミン14.16g(0.14mol)を塩化メチレン92mlに溶解した溶液を滴下漏斗により1時間かけて滴下し、滴下終了後、更にトリエチルアミン4.72g(0.047mol)を15分間かけて滴下した。   The α-naphthol aralkyl resin represented by the following formula (8) (SN485, OH equivalent weight: 214 g / eq. Softening) is stirred and maintained at a temperature in the reactor of -5 to + 5 ° C. and a pH of 1 or less. Point: 86 ° C., a solution of 20 g (0.0935 mol) of Nippon Steel Chemical Co., Ltd. and 14.16 g (0.14 mol) of triethylamine dissolved in 92 ml of methylene chloride was added dropwise using a dropping funnel over 1 hour. After completion of the dropwise addition, 4.72 g (0.047 mol) of triethylamine was further added dropwise over 15 minutes.

Figure 0006653065
(式中、nは平均値として3から4までの範囲である。)
Figure 0006653065
(Wherein, n 8 ranges from 3 as an average value up to 4.)

滴下終了後、同温度で15分間撹拌後、反応液を分液し、有機相を分取した。得られた有機相を水100mlで2回洗浄した後、エバポレーターにより減圧下で塩化メチレンを留去し、最終的に80℃で1時間濃縮乾固させて、上記化合物7で表されるα−ナフトールアラルキル樹脂のシアン酸エステル化物(α−ナフトールアラルキル型シアン酸エステル化合物)23.5gを得た。   After completion of the dropwise addition, the mixture was stirred at the same temperature for 15 minutes, then, the reaction solution was separated, and the organic phase was separated. After the obtained organic phase was washed twice with 100 ml of water, methylene chloride was distilled off under reduced pressure by an evaporator, and finally, it was concentrated and dried at 80 ° C. for 1 hour to obtain α- represented by the above-mentioned compound 7. 23.5 g of a cyanate ester of an naphthol aralkyl resin (α-naphthol aralkyl-type cyanate compound) was obtained.

〔樹脂組成物及び樹脂シートの作製〕
実施例1
エポキシ化合物(A)として、ビフェニルアラルキル型エポキシ化合物(NC−3000−FH、エポキシ当量:320g/eq.、日本化薬(株)製)のMEK溶液(不揮発分70質量%)85.7質量部(不揮発分換算で60質量部)、シアン酸エステル化合物(B)として、合成例1により得られたα−ナフトールアラルキル型シアン酸エステル化合物(シアネート当量:261g/eq.)のメチルエチルケトン(以下「MEK」と略す場合がある。)溶液(不揮発分50質量%)60質量部(不揮発分換算で30質量部)、アミノシラン処理されたシリカ(C)として、フェニルアミノシラン処理シリカMEKスラリー(SC2050−MTX、アドマテックス(株)製、平均粒子径0.5μm、不揮発性成分70質量%)107.1質量部(不揮発分換算で75質量部)、酸に可溶な無機充填材(D)として、酸化マグネシウムMEKスラリー(SMO−0.4 、堺化学工業(株)製、平均粒子径0.4μm、不揮発性成分70質量%)21.4質量部(不揮発分換算で15質量部)、マレイミド化合物(E)として、下記式(5)で表されるノボラック型マレイミド化合物(BMI−2300、ケイ・アイ化成(株)製)5.0質量部、ビスマレイミド化合物(BMI−1000P、ケイ・アイ化成(株)製)5.0質量部、硬化促進剤として2,4,5−トリフェニルイミダゾール(和光純薬製)のDMAc溶液(不揮発分20質量%)15質量部(不揮発分換算で3質量部)及びオクチル酸亜鉛のMEK溶液(不揮発分10質量%)0.8質量部(不揮発分換算で0.08質量部)をMEK溶液に添加した。添加後、高速攪拌装置を用いて30分間攪拌して、エポキシ化合物(A)、シアン酸エステル化合物(B)、アミノシラン処理されたシリカ(C)、酸に可溶な無機充填材(D)、マレイミド化合物(E)を含むワニスを得た。このワニスを、表面に離型剤をコートした厚さ38μmのポリエチレンテレフタレートフィルム(TR1−38、ユニチカ(株)製)に塗布し、100℃で3分間加熱乾燥して絶縁層を形成し、ポリエチレンテレフタレートフィルムを外層とした樹脂シートを得た。
(Preparation of resin composition and resin sheet)
Example 1
As the epoxy compound (A), 85.7 parts by mass of a MEK solution of a biphenylaralkyl type epoxy compound (NC-3000-FH, epoxy equivalent: 320 g / eq., Manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) (nonvolatile content: 70% by mass) (60 parts by mass in terms of non-volatile content) and methyl ethyl ketone (hereinafter referred to as “MEK”) of the α-naphthol aralkyl-type cyanate ester compound (cyanate equivalent: 261 g / eq.) Obtained in Synthesis Example 1 as the cyanate ester compound (B). The solution may be abbreviated.) 60 parts by mass of the solution (nonvolatile content 50% by mass) (30 parts by mass in terms of nonvolatile content), and as the aminosilane-treated silica (C), phenylaminosilane-treated silica MEK slurry (SC2050-MTX, 107, manufactured by Admatechs Co., Ltd., average particle diameter 0.5 μm, nonvolatile component 70 mass%) 1 part by mass (75 parts by mass in terms of nonvolatile content), as an inorganic filler (D) soluble in acid, magnesium oxide MEK slurry (SMO-0.4, manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd .; As a maleimide compound (E), a novolak-type maleimide compound (BMI-2300, silicon carbide) represented by the following formula (5) was used. 5.0 parts by mass of bismaleimide compound (BMI-1000P, manufactured by K-I Kasei Corporation), 5.0 parts by mass of 2,4,5-triphenylimidazole as a curing accelerator 15 parts by mass of DMAc solution (manufactured by Wako Pure Chemical) (3% by mass in terms of nonvolatile content) and 0.8 parts by mass of MEK solution of zinc octylate (10% by mass in nonvolatile content) In conversion The .08 parts by weight) was added to the MEK solution. After the addition, the mixture is stirred for 30 minutes using a high-speed stirrer to obtain an epoxy compound (A), a cyanate ester compound (B), aminosilane-treated silica (C), an acid-soluble inorganic filler (D), A varnish containing the maleimide compound (E) was obtained. The varnish was applied to a 38 μm-thick polyethylene terephthalate film (TR1-38, manufactured by Unitika Ltd.) having a surface coated with a release agent, and heated and dried at 100 ° C. for 3 minutes to form an insulating layer. A resin sheet having a terephthalate film as an outer layer was obtained.

Figure 0006653065
(式中、Rは各々独立に、水素原子又はメチル基を表す。nは平均値として1〜10の範囲である。)
Figure 0006653065
(In the formula, R 5 each independently represents a hydrogen atom or a methyl group. N 5 ranges from 1 to 10 as an average value.)

〔内層回路基板の作製〕
内層回路を形成したガラス布基材BT樹脂両面銅張積層板(銅箔厚さ18μm、基板厚み0.2mm、三菱ガス化学(株)製CCL−HL832NX type A)の両面をメック(株)製CZ8100にて1μmエッチングして銅表面の粗化処理をおこない内層回路基板を得た。
(Preparation of inner layer circuit board)
Both sides of a glass cloth base material BT resin double-sided copper-clad laminate (copper foil thickness 18 μm, substrate thickness 0.2 mm, CCL-HL832NX type A, manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd.) on which an inner layer circuit is formed are manufactured by Mec Corporation. The copper layer was roughened by etching at 1 μm with CZ8100 to obtain an inner circuit board.

〔プリント配線板の作製〕
得られた樹脂シートの絶縁層面を内層回路基板上に配置し、真空ラミネーター(ニチゴー・モートン製)を用いて、30秒間真空引き(5.0MPa以下)を行った後、圧力10kgf/cm、温度100℃で30秒間の積層成形を行った。さらに圧力10kgf/cm、温度100℃で60秒間の積層成形を行うことでプリント配線板を得た。得られたプリント配線板を180℃で60分間乾燥することで、硬化を十分に進行させプリント配線板を得た。
[Production of printed wiring board]
After placing the insulating layer surface of the obtained resin sheet on the inner layer circuit board and performing evacuation (5.0 MPa or less) for 30 seconds using a vacuum laminator (manufactured by Nichigo Morton), a pressure of 10 kgf / cm 2 was applied . Laminate molding was performed at a temperature of 100 ° C. for 30 seconds. Further, a laminate was formed at a pressure of 10 kgf / cm 2 at a temperature of 100 ° C. for 60 seconds to obtain a printed wiring board. By drying the obtained printed wiring board at 180 ° C. for 60 minutes, curing was sufficiently advanced to obtain a printed wiring board.

実施例2
酸化マグネシウムMEKスラリー(SMO−0.4、不揮発分70質量%)の使用量を42.9質量部(不揮発分換算で30.0質量部)とした以外は、実施例1と同様にしてワニス(樹脂組成物の溶液)を調整し、樹脂シート及びそれを用いたプリント配線板を得た。
Example 2
A varnish was prepared in the same manner as in Example 1 except that the amount of the magnesium oxide MEK slurry (SMO-0.4, nonvolatile content: 70% by mass) was changed to 42.9 parts by mass (30.0 parts by mass in terms of nonvolatile content). (Solution of resin composition) was prepared to obtain a resin sheet and a printed wiring board using the same.

実施例3
酸化マグネシウムMEKスラリー(SMO−0.4、不揮発分70質量%)の使用量を85.7質量部(不揮発分換算で60.0質量部)とした以外は、実施例1と同様にしてワニス(樹脂組成物の溶液)を調整し、樹脂シート及びそれを用いたプリント配線板を得た。
Example 3
A varnish was prepared in the same manner as in Example 1, except that the amount of the magnesium oxide MEK slurry (SMO-0.4, nonvolatile content: 70% by mass) was changed to 85.7 parts by mass (60.0 parts by mass in terms of nonvolatile content). (Solution of resin composition) was prepared to obtain a resin sheet and a printed wiring board using the same.

実施例4
酸化マグネシウムMEKスラリー(SMO−0.4、不揮発分70質量%)の使用量を178.6質量部(不揮発分換算で125.0質量部)とした以外は、実施例1と同様にしてワニス(樹脂組成物の溶液)を調整し、樹脂シート及びそれを用いたプリント配線板を得た。
Example 4
A varnish was prepared in the same manner as in Example 1 except that the amount of the magnesium oxide MEK slurry (SMO-0.4, nonvolatile content: 70% by mass) was changed to 178.6 parts by mass (125.0 parts by mass in terms of nonvolatile content). (Solution of resin composition) was prepared to obtain a resin sheet and a printed wiring board using the same.

実施例5
酸化マグネシウムMEKスラリー(SMO−0.4、不揮発分70質量%)の使用量を85.7質量部(不揮発分換算で60.0質量部)、フェニルアミノシラン処理シリカMEKスラリー(SC2050−MTX、不揮発性成分70質量%)の使用量を285.7質量部(不揮発分換算で200質量部)とした以外は、実施例1と同様にしてワニス(樹脂組成物の溶液)を調整し、樹脂シート及びそれを用いたプリント配線板を得た。
Example 5
The amount of magnesium oxide MEK slurry (SMO-0.4, nonvolatile content 70% by mass) used was 85.7 parts by mass (60.0 parts by mass in terms of nonvolatile content), and phenylaminosilane-treated silica MEK slurry (SC2050-MTX, nonvolatile content) A varnish (resin of a resin composition) was prepared in the same manner as in Example 1 except that the amount of the active component (70% by mass) was changed to 285.7 parts by mass (200 parts by mass in terms of nonvolatile components), and a resin sheet was prepared. And a printed wiring board using the same.

実施例6
酸化マグネシウムMEKスラリー(SMO−0.4、不揮発分70質量%)の使用量を85.7質量部(不揮発分換算で60.0質量部)、フェニルアミノシラン処理シリカMEKスラリー(SC2050−MTX、不揮発性成分70質量%)の使用量を428.6質量部(不揮発分換算で300質量部)とした以外は、実施例1と同様にしてワニス(樹脂組成物の溶液)を調整し、樹脂シート及びそれを用いたプリント配線板を得た。
Example 6
The amount of magnesium oxide MEK slurry (SMO-0.4, nonvolatile content 70% by mass) used was 85.7 parts by mass (60.0 parts by mass in terms of nonvolatile content), and phenylaminosilane-treated silica MEK slurry (SC2050-MTX, nonvolatile content) A varnish (resin of a resin composition) was prepared in the same manner as in Example 1 except that the amount of the active ingredient (70% by mass) was changed to 428.6 parts by mass (300 parts by mass in terms of nonvolatile components). And a printed wiring board using the same.

実施例7
アミノシラン処理シリカ(SC2050−MTX、不揮発分70質量部)を無処理シリカMEKスラリー(SO−C2、不揮発分70質量部)に全置換し、ワニス中にフェニルアミノシラン(KBM−573、信越化学製)を後添加した以外は、実施例1と同様にしてワニス(樹脂組成物の溶液)を調整し、樹脂シート及びそれを用いたプリント配線板を得た。
Example 7
Aminosilane-treated silica (SC2050-MTX, non-volatile content 70 parts by mass) was completely replaced with untreated silica MEK slurry (SO-C2, non-volatile content 70 parts by mass), and phenylaminosilane (KBM-573, Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) was contained in the varnish. A varnish (solution of a resin composition) was prepared in the same manner as in Example 1 except that was added later, to obtain a resin sheet and a printed wiring board using the same.

比較例1
酸化マグネシウムMEKスラリー(SMO−0.4、不揮発分70質量%)の使用量を0質量部とした以外は、実施例1と同様にしてワニス(樹脂組成物の溶液)を調整し、樹脂シート及びそれを用いたプリント配線板を得た。
Comparative Example 1
A varnish (solution of a resin composition) was prepared in the same manner as in Example 1 except that the amount of magnesium oxide MEK slurry (SMO-0.4, nonvolatile content: 70% by mass) was changed to 0 parts by mass, and a resin sheet was prepared. And a printed wiring board using the same.

比較例2
酸化マグネシウムMEKスラリー(SMO−0.4、不揮発分70質量%)の使用量を178.6質量部(不揮発分換算で125.0質量部)、フェニルアミノシラン処理シリカMEKスラリー(SC2050−MTX、不揮発性成分70質量%)の使用量を0質量部とした以外は、実施例1と同様にしてワニス(樹脂組成物の溶液)を調整し、樹脂シート及びそれを用いたプリント配線板を得た。
Comparative Example 2
The amount of magnesium oxide MEK slurry (SMO-0.4, nonvolatile content 70% by mass) used was 178.6 parts by mass (125.0 parts by mass in terms of nonvolatile content), and phenylaminosilane-treated silica MEK slurry (SC2050-MTX, nonvolatile content) Varnish (solution of the resin composition) was prepared in the same manner as in Example 1 except that the amount of the active ingredient (70% by mass) was changed to 0 parts by mass, to obtain a resin sheet and a printed wiring board using the same. .

比較例3
アミノシラン処理シリカMEKスラリー(SC2050−MTX、不揮発分70質量%)をエポキシシラン処理シリカMEKスラリー(SC2050−MB、不揮発分70質量%)に全置換した以外は、実施例1と同様にしてワニス(樹脂組成物の溶液)を調整し、樹脂シート及びそれを用いたプリント配線板を得た。
Comparative Example 3
The varnish was prepared in the same manner as in Example 1 except that the aminosilane-treated silica MEK slurry (SC2050-MTX, nonvolatile content 70% by mass) was completely replaced with the epoxysilane-treated silica MEK slurry (SC2050-MB, nonvolatile content 70% by mass). A solution of the resin composition) was prepared to obtain a resin sheet and a printed wiring board using the same.

比較例4
アミノシラン処理シリカMEKスラリー(SC2050−MTX、不揮発分70質量部)をビニルシラン処理シリカMEKスラリー(SC2050−MNU、不揮発分70質量部)に全置換した以外は、実施例1と同様にしてワニス(樹脂組成物の溶液)を調整し、樹脂シート及びそれを用いたプリント配線板を得た。
Comparative Example 4
A varnish (resin) was prepared in the same manner as in Example 1 except that the aminosilane-treated silica MEK slurry (SC2050-MTX, nonvolatile content: 70 parts by mass) was completely replaced with the vinylsilane-treated silica MEK slurry (SC2050-MNU, nonvolatile content: 70 parts by mass). A solution of the composition) was prepared to obtain a resin sheet and a printed wiring board using the same.

〔プリント配線板の評価〕
プリント配線板の湿式粗化処理と導体層めっき:
実施例1〜6及び比較例1〜4で得られたプリント配線板外層を剥離した。露出した絶縁層に対し、上村工業製の無電解銅めっきプロセス(使用薬液名:MCD−PL、MDP−2、MAT−SP、MAB−4−C、MEL−3−APEA ver.2)にて、約0.8μmの無電解銅めっきを施し、130℃で1時間の乾燥を行った。続いて、電解銅めっきをめっき銅の厚みが18μmになるように施し、180℃で1時間の乾燥を行った。こうして、絶縁層上に厚さ18μmの導体層(めっき銅)が形成されたサンプルを作製し、以下の評価に供した。
(1)めっき銅接着力
上記手順により作製されたサンプルを用い、めっき銅の接着力をJIS C6481に準じて3回測定し、平均値を求めた。電解銅めっき後の乾燥で膨れが発生したサンプルに関してはめっき後膨れが「有」、膨れが発生しなかったサンプルに関してはめっき後膨れが「無」とした。めっき膨れ「有」のサンプルに関しては、膨れていない部分を用いて評価を行った。結果を表1に示した。
(2)表面粗さ
上記手順により作製されたサンプルの表層めっき銅をエッチング後、レーザー顕微鏡(キーエンス製VK−9500)を用いて、3000倍の画像により、絶縁層表面のRz(10点平均粗さ)およびRa(算術平均粗さ)を求めた。結果を表1に示した。
(3)熱膨張率(CTE)
180℃、2時間硬化させた絶縁層厚さ0.05mmの樹脂シートを用い、熱機械分析装置(TAインスツルメント製Q400)で25℃から250℃まで毎分10℃で昇温し、25℃から150℃における熱膨張率を測定した。結果を表1に示した。
[Evaluation of printed wiring boards]
Wet roughening treatment of printed wiring boards and conductor layer plating:
The printed wiring board outer layers obtained in Examples 1 to 6 and Comparative Examples 1 to 4 were peeled off. The exposed insulating layer is subjected to an electroless copper plating process manufactured by Uemura Kogyo (chemical name: MCD-PL, MDP-2, MAT-SP, MAB-4-C, MEL-3-APEA ver. 2). And about 0.8 μm of electroless copper plating, and dried at 130 ° C. for 1 hour. Subsequently, electrolytic copper plating was performed so that the thickness of the plated copper became 18 μm, and drying was performed at 180 ° C. for 1 hour. Thus, a sample in which a conductor layer (plated copper) having a thickness of 18 μm was formed on the insulating layer was prepared and subjected to the following evaluation.
(1) Adhesive strength of plated copper Using the sample prepared by the above procedure, the adhesive strength of plated copper was measured three times according to JIS C6481, and an average value was obtained. For samples that had swelled by drying after electrolytic copper plating, the swelling after plating was “Yes”, and for samples that did not swell, the swelling after plating was “No”. With respect to the sample having “swelling” of plating, evaluation was performed using a portion that did not swell. The results are shown in Table 1.
(2) Surface Roughness After etching the surface-plated copper of the sample prepared by the above procedure, using a laser microscope (VK-9500, manufactured by KEYENCE), the Rz (10-point average roughness) of the surface of the insulating layer was determined by a 3000-fold image. ) And Ra (arithmetic average roughness). The results are shown in Table 1.
(3) Thermal expansion coefficient (CTE)
Using a resin sheet having an insulating layer thickness of 0.05 mm cured at 180 ° C. for 2 hours, the temperature was raised from 25 ° C. to 250 ° C. at a rate of 10 ° C. per minute by a thermomechanical analyzer (Q400 manufactured by TA Instruments). The coefficient of thermal expansion was measured at a temperature between 150C and 150C. The results are shown in Table 1.

Figure 0006653065
Figure 0006653065

本発明の樹脂シートは、上述のように、プリント配線板の絶縁層の材料として用いた場合、樹脂シートのハンドリング性に優れ、絶縁層とめっき導体層との密着性に優れる等、各種の効果を発揮することから、プリント配線板の絶縁層の材料として極めて有用である。
As described above, the resin sheet of the present invention, when used as a material for the insulating layer of a printed wiring board, has various effects such as excellent handling properties of the resin sheet and excellent adhesion between the insulating layer and the plated conductor layer. Is extremely useful as a material for an insulating layer of a printed wiring board.

Claims (12)

高分子フィルム、金属箔及び金属フィルムからなる群から選択される、いずれか一種である外層と、当該外層上に積層された絶縁層とを含む樹脂シートであって、
当該絶縁層が、エポキシ化合物(A)、シアン酸エステル化合物(B)、アミノシラン処理されたシリカ(C)及び酸に可溶な無機充填材(D)を含有する、樹脂シート。
Polymer film, selected from the group consisting of metal foil and metal film, an outer layer of any one type, and a resin sheet including an insulating layer laminated on the outer layer,
A resin sheet in which the insulating layer contains an epoxy compound (A), a cyanate ester compound (B), an aminosilane-treated silica (C), and an acid-soluble inorganic filler (D).
前記アミノシラン処理されたシリカ(C)の絶縁層における含有量が、樹脂固形分100質量部に対し、50〜350質量部である、請求項1に記載の樹脂シート。   The resin sheet according to claim 1, wherein the content of the aminosilane-treated silica (C) in the insulating layer is 50 to 350 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the resin solid content. 前記酸に可溶な無機充填材(D)の絶縁層における含有量が、樹脂固形分100質量部に対し、20〜150質量部である、請求項1又は2に記載の樹脂シート。   The resin sheet according to claim 1, wherein the content of the acid-soluble inorganic filler (D) in the insulating layer is 20 to 150 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the resin solid content. 前記酸に可溶な無機充填材(D)が、水酸化マグネシウム又は酸化マグネシウムである、請求項1〜3のいずれか一項に記載の樹脂シート。   The resin sheet according to any one of claims 1 to 3, wherein the acid-soluble inorganic filler (D) is magnesium hydroxide or magnesium oxide. 前記樹脂組成物が、マレイミド化合物(E)をさらに含む、請求項1〜4のいずれか一項に記載の樹脂シート。   The resin sheet according to any one of claims 1 to 4, wherein the resin composition further includes a maleimide compound (E). 前記高分子フィルムが、ポリエステル、ポリイミド及びポリアミドからなる群から選択される、いずれか一種である、請求項1〜5のいずれか一項に記載の樹脂シート。   The resin sheet according to any one of claims 1 to 5, wherein the polymer film is any one selected from the group consisting of polyester, polyimide, and polyamide. 前記絶縁層が、前記成分(A)〜(D)を含む樹脂組成物を外層上に塗布した後、加熱又は減圧下で乾燥し、固化して得られるものである、請求項1〜6のいずれか一項に記載の樹脂シート。   7. The insulating layer according to claim 1, wherein the insulating layer is obtained by applying a resin composition containing the components (A) to (D) on an outer layer, followed by drying under heating or reduced pressure and solidification. 8. The resin sheet according to claim 1. コア基材とコア基材上に形成された導体回路とを有する回路基板上に積層された、請求項1〜7のいずれか一項に記載の絶縁層を備える、プリント配線板。   A printed wiring board comprising the insulating layer according to any one of claims 1 to 7, laminated on a circuit board having a core substrate and a conductor circuit formed on the core substrate. 前記絶縁層が表面処理されており、当該表面の上にパターン形成された導体層を備える、請求項8のプリント配線板。   9. The printed wiring board according to claim 8, wherein the insulating layer is surface-treated, and includes a conductor layer patterned on the surface. 前記表面処理が、膨潤剤及びアルカリ性酸化剤による粗化処理、並びに酸性還元剤による中和処理を含むデスミア処理である、請求項9に記載のプリント配線板。   The printed wiring board according to claim 9, wherein the surface treatment is a desmear treatment including a roughening treatment with a swelling agent and an alkaline oxidizing agent, and a neutralization treatment with an acidic reducing agent. 前記導体層が、セミアディティブ法により形成された導体層又はサブトラクティブ法により形成された導体層を含む、請求項9又は10に記載のプリント配線板。   The printed wiring board according to claim 9, wherein the conductor layer includes a conductor layer formed by a semi-additive method or a conductor layer formed by a subtractive method. 前記導体層が、請求項1に記載の金属箔又は金属フィルムからなる外層をエッチングして得られた導体層を含む、請求項9又は10に記載のプリント配線板。
The printed wiring board according to claim 9, wherein the conductor layer includes a conductor layer obtained by etching an outer layer made of the metal foil or the metal film according to claim 1.
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