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JP6843367B2 - Resin sheet, printed wiring board and board with built-in parts - Google Patents
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Resin sheet, printed wiring board and board with built-in parts Download PDF

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Description

本発明は、樹脂シート、プリント配線板及び部品内蔵基板に関する。 The present invention relates to a resin sheet, a printed wiring board, and a component-embedded substrate.

近年、電子機器の小型化、高性能化が進んでいる。そこで、様々な機能を有するモジュールが実装されたSiP(System−in−Package)基板の開発が進められてきた。さらに実装部品の省スペース化を図るために、現在では樹脂基板の内部に、ICやコンデンサー等の部品を内蔵した部品内蔵基板が注目されている。 In recent years, electronic devices have become smaller and more sophisticated. Therefore, the development of a SiP (System-in-Package) substrate on which modules having various functions are mounted has been promoted. Further, in order to save space for mounted components, a component-embedded substrate in which components such as an IC and a capacitor are embedded inside a resin substrate is currently attracting attention.

各種部品は、コアとなる樹脂基板や銅基板に、任意のキャビティを形成し、キャビティに部品を配置した後、キャビティに対し、熱硬化性樹脂を熱圧着することで部品は内蔵されるが、該熱硬化性樹脂にはキャビティの埋め込み性、部品との密着性が求められる。 For various parts, an arbitrary cavity is formed on the core resin substrate or copper substrate, the parts are placed in the cavity, and then the thermosetting resin is thermocompression bonded to the cavity to incorporate the parts. The thermosetting resin is required to have a cavity embedding property and adhesion to a component.

これに対して各種取り組みがなされていた。例えば特許文献1には電子部品モジュール及びこれを内蔵した部品内蔵基板の構成について、埋め込み樹脂に要求される硬化後のパラメーターが記載されている。 Various efforts have been made in response to this. For example, Patent Document 1 describes the parameters after curing required for the embedded resin with respect to the configuration of the electronic component module and the component-embedded substrate incorporating the electronic component module.

特許文献2には、液状封止用樹脂組成物について、流動性を発現するために液状エポキシ樹脂を使用した樹脂組成物が記載されている。 Patent Document 2 describes a resin composition for liquid encapsulation using a liquid epoxy resin in order to exhibit fluidity.

特許文献3には、部品埋め込み用である樹脂シートについて、150〜250℃の熱膨張係数α2の値を向上させることで、部品と樹脂間のクラック性が改善すると記載されている。 Patent Document 3 describes that, for a resin sheet for embedding a part, the crack property between the part and the resin is improved by improving the value of the coefficient of thermal expansion α2 at 150 to 250 ° C.

特開2008−159973号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2008-159973 国際公開第2012/157665号パンフレットInternational Publication No. 2012/157665 Pamphlet 特開2016−8279号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2016-8279

特許文献1について、樹脂シートに要求されるパラメーターの記載はあるが、実施例の記載は無く、最適な材料について不明瞭であった。 Regarding Patent Document 1, although there is a description of parameters required for a resin sheet, there is no description of examples, and it is unclear about the optimum material.

特許文献2について、液状成分として液状エポキシが用いられているが、ガラス転移温度は約230℃に留まっていた。 Regarding Patent Document 2, a liquid epoxy is used as a liquid component, but the glass transition temperature remains at about 230 ° C.

特許文献3について、熱膨張係数α2を向上させることで、熱時の部品とのクラックを改善しているが、熱膨張係数や応力に関する記載は無い。 Regarding Patent Document 3, the coefficient of thermal expansion α2 is improved to improve the cracks with the parts during heat, but there is no description about the coefficient of thermal expansion and stress.

本発明は上記の課題に鑑みてなされたもので、その目的は、部品内蔵基板を作成するために、キャビティへの良好な埋め込み性及び部品との良好な接着性を備え、硬化物のガラス転移温度が高い樹脂シートを得ることであり、これを用いたプリント配線板及び部品内蔵基板を提供することである。 The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a good embedding property in a cavity and a good adhesiveness to a component in order to prepare a component-embedded substrate, and to transfer a cured product to glass. It is to obtain a resin sheet having a high temperature, and to provide a printed wiring board and a component-embedded substrate using the resin sheet.

すなわち、本発明はプリント配線板材料における絶縁層及び部品内蔵基板における部品埋め込み用材料に使用した場合に、Bステージ状態における可撓性に優れ、溶融時の粘度が低く、部品埋め込み成形性に優れ、Cステージ状態において部品との密着性に優れ、完全硬化した際のガラス転移温度が高い樹脂シートを得、これを用いたプリント配線板及び部品内蔵基板を提供することである。 That is, the present invention is excellent in flexibility in the B stage state, low viscosity at the time of melting, and excellent component embedding moldability when used as an insulating layer in a printed wiring board material and a material for embedding a component in a component-embedded substrate. It is an object of the present invention to obtain a resin sheet having excellent adhesion to a component in the C stage state and a high glass transition temperature when completely cured, and to provide a printed wiring board and a component-embedded substrate using the resin sheet.

本発明者らは鋭意検討した結果、高分子フィルム、金属箔及び金属フィルムからなる群から選択される、いずれか一種である外層と、該外層上に積層された樹脂組成物からなる絶縁層とを含む樹脂シートであって、該樹脂組成物が、二官能シアン酸エステル化合物(A)、無機充填材(B)及びシリコーン複合パウダー(C)を含有し、該樹脂組成物をCステージ状態まで硬化させた硬化物のヤング率をE(GPa)、熱膨張係数をα(ppm/K)とし、ヤング率Eと熱膨張係数αを掛け合わせた熱応力係数をXとした際に、熱応力係数Xの値が150〜204GPa・ppm/Kとなるものである、樹脂シートにより、上記課題が解決されることを見出し本発明に到達した。 As a result of diligent studies, the present inventors have obtained an outer layer, which is one of the groups selected from the group consisting of a polymer film, a metal foil, and a metal film, and an insulating layer composed of a resin composition laminated on the outer layer. The resin composition contains a bifunctional cyanate ester compound (A), an inorganic filler (B) and a silicone composite powder (C), and the resin composition is brought into a C stage state. When the Young ratio of the cured product is E (GPa), the thermal expansion coefficient is α (ppm / K), and the thermal stress coefficient obtained by multiplying the Young ratio E and the thermal expansion coefficient α is X, the thermal stress We have found that the above-mentioned problems can be solved by a resin sheet having a coefficient X of 150 to 204 GPa · ppm / K, and arrived at the present invention.

すなわち、本発明は下記の通りである。
[1]
高分子フィルム、金属箔及び金属フィルムからなる群から選択される、いずれか一種である外層と、該外層上に積層された樹脂組成物からなる絶縁層とを含む樹脂シートであって、該樹脂組成物が、二官能シアン酸エステル化合物(A)、無機充填材(B)及びシリコーン複合パウダー(C)を含有し、該樹脂組成物をCステージ状態まで硬化させた硬化物のヤング率をE(GPa)、熱膨張係数をα(ppm/K)とし、ヤング率Eと熱膨張係数αを掛け合わせた熱応力係数をXとした際に、熱応力係数Xの値が150〜204GPa・ppm/Kとなるものである、樹脂シート。
[2]
樹脂組成物がマレイミド化合物(D)をさらに含有する、[1]に記載の樹脂シート。
[3]
樹脂組成物がエポキシ化合物(E)をさらに含有する、[1]又は[2]に記載の樹脂シート。
[4]
樹脂組成物が多官能シアン酸エステル化合物(F)をさらに含有する、[1]〜[3]のいずれか一項に記載の樹脂シート。
[5]
樹脂組成物中の二官能シアン酸エステル化合物(A)の含有量が、樹脂組成物における樹脂固形分100質量部に対し、5質量部以上である、請求項[1]〜[4]のいずれか一項に記載の樹脂シート。
[6]
樹脂組成物中の無機充填材(B)の含有量が、樹脂組成物における樹脂固形分100質量部に対し、200質量部以上である、[1]〜[5]のいずれか一項に記載の樹脂シート。
[7]
樹脂組成物中のシリコーン複合パウダー(C)の含有量が、樹脂組成物における樹脂固形分100質量部に対し、15質量部以上である、[1]〜[6]のいずれか一項に記載の樹脂シート。
[8]
前記金属箔又は金属フィルムが、銅又はアルミニウムの箔又はフィルムである、[1]〜[7]のいずれか一項に記載の樹脂シート。
[9]
前記高分子フィルムが、ポリエステル、ポリイミド及びポリアミドからなる群から選択される、いずれか一種である、[1]〜[7]のいずれか一項に記載の樹脂シート。
[10]
前記樹脂組成物からなる絶縁層が、Bステージ状態のものである、[1]〜[9]のいずれか一項に記載の樹脂シート。
[11]
前記Bステージ状態の絶縁層の最低溶融粘度が1,000Pa・s以下である、[10]に記載の樹脂シート。
[12]
[1]〜[11]に記載の樹脂シートを含有する、プリント配線板。
[13]
[1]〜[11]に記載の樹脂シートを含有する、部品内蔵基板。
That is, the present invention is as follows.
[1]
A resin sheet comprising an outer layer, which is one of any kind, selected from the group consisting of a polymer film, a metal foil, and a metal film, and an insulating layer composed of a resin composition laminated on the outer layer. The young ratio of the cured product in which the composition contains the bifunctional cyanate ester compound (A), the inorganic filler (B) and the silicone composite powder (C) and the resin composition is cured to the C stage state is E. (GPa), when the thermal expansion coefficient is α (ppm / K) and the thermal stress coefficient obtained by multiplying the Young's ratio E and the thermal expansion coefficient α is X, the value of the thermal stress coefficient X is 150 to 204 GPa · ppm. A resin sheet that is / K.
[2]
The resin sheet according to [1], wherein the resin composition further contains the maleimide compound (D).
[3]
The resin sheet according to [1] or [2], wherein the resin composition further contains the epoxy compound (E).
[4]
The resin sheet according to any one of [1] to [3], wherein the resin composition further contains the polyfunctional cyanate ester compound (F).
[5]
Any of claims [1] to [4], wherein the content of the bifunctional cyanate ester compound (A) in the resin composition is 5 parts by mass or more with respect to 100 parts by mass of the resin solid content in the resin composition. The resin sheet described in item 1.
[6]
The item according to any one of [1] to [5], wherein the content of the inorganic filler (B) in the resin composition is 200 parts by mass or more with respect to 100 parts by mass of the resin solid content in the resin composition. Resin sheet.
[7]
The item according to any one of [1] to [6], wherein the content of the silicone composite powder (C) in the resin composition is 15 parts by mass or more with respect to 100 parts by mass of the resin solid content in the resin composition. Resin sheet.
[8]
The resin sheet according to any one of [1] to [7], wherein the metal foil or metal film is a copper or aluminum foil or film.
[9]
The resin sheet according to any one of [1] to [7], wherein the polymer film is any one selected from the group consisting of polyester, polyimide and polyamide.
[10]
The resin sheet according to any one of [1] to [9], wherein the insulating layer made of the resin composition is in the B stage state.
[11]
The resin sheet according to [10], wherein the minimum melt viscosity of the insulating layer in the B stage state is 1,000 Pa · s or less.
[12]
A printed wiring board containing the resin sheet according to [1] to [11].
[13]
A component-embedded substrate containing the resin sheet according to [1] to [11].

本発明の樹脂シートは、以下の(1)〜(4)の効果の少なくとも何れか、好ましくは全てを発揮する。
(1)Bステージ状態にある樹脂シートの可撓性に優れる。
(2)樹脂の溶融粘度が低く、成形性及び部品埋め込み性に優れる。
(3)Cステージ状態における樹脂硬化物と部品の密着性に優れる。
(4)高いガラス転移温度を有する。
本明細書において、Bステージ状態とは、樹脂組成物が半硬化状態であり、加熱及び加圧により溶融成形可能な状態を指し、Cステージ状態とは、樹脂組成物が完全に硬化した状態を指す。
The resin sheet of the present invention exerts at least, preferably all of the following effects (1) to (4).
(1) The resin sheet in the B stage state is excellent in flexibility.
(2) The melt viscosity of the resin is low, and the moldability and component embedding property are excellent.
(3) Excellent adhesion between the cured resin product and parts in the C stage state.
(4) Has a high glass transition temperature.
In the present specification, the B stage state refers to a state in which the resin composition is in a semi-cured state and can be melt-molded by heating and pressurizing, and the C stage state refers to a state in which the resin composition is completely cured. Point to.

本発明の一態様は、高分子フィルム、金属箔及び金属フィルムからなる群から選択される、いずれか一種である外層と、該外層上に積層された樹脂組成物からなる絶縁層とを含む樹脂シートであって、該樹脂組成物が、二官能シアン酸エステル化合物(A)、無機充填材(B)及びシリコーン複合パウダー(C)を含有し、該樹脂組成物をCステージ状態まで硬化させた硬化物のヤング率をE(GPa)、熱膨張係数をα(ppm/K)とし、ヤング率Eと熱膨張係数αを掛け合わせた熱応力係数をXとした際に、熱応力係数Xの値が150〜204GPa・ppm/K以下となるものである、樹脂シートである。
熱応力係数Xの値をこのような範囲のものとすることで、樹脂組成物をCステージ状態まで硬化させた硬化物と部品間の接着性が良好で、硬化物の低熱膨張性及び耐熱性を優れたものとすることができる。
One aspect of the present invention is a resin containing an outer layer, which is one of a group selected from the group consisting of a polymer film, a metal foil, and a metal film, and an insulating layer composed of a resin composition laminated on the outer layer. In the sheet, the resin composition contained a bifunctional cyanate ester compound (A), an inorganic filler (B) and a silicone composite powder (C), and the resin composition was cured to a C stage state. When the Young ratio of the cured product is E (GPa), the thermal expansion coefficient is α (ppm / K), and the thermal stress coefficient obtained by multiplying the Young ratio E and the thermal expansion coefficient α is X, the thermal stress coefficient X is It is a resin sheet having a value of 150 to 204 GPa · ppm / K or less.
By setting the value of the thermal stress coefficient X in such a range, the adhesiveness between the cured product obtained by curing the resin composition to the C stage state and the component is good, and the cured product has low thermal expansion and heat resistance. Can be made excellent.

〔I−1.二官能シアン酸エステル化合物(A)〕
本発明に使用される二官能シアン酸エステル化合物(A)は、シアナト基(シアン酸エステル基)を有する化合物であって、その官能基数が2つであれば特に限定されない。
二官能性シアン酸エステル化合物(A)によって、Bステージ状態の溶融粘度を低減し、部品埋め込み成形性を向上させることが出来る。
二官能シアン酸エステル化合物(A)として具体的には、ビスフェノールA型シアン酸エステル化合物、ビスフェノールAP型シアン酸エステル化合物、ビスフェノールAF型シアン酸エステル化合物、ビスフェノールB型シアン酸エステル化合物、ビスフェノールBP型シアン酸エステル化合物、ビスフェノールC型シアン酸エステル化合物、ビスフェノールE型シアン酸エステル化合物、ビスフェノールF型シアン酸エステル化合物、ビスフェノールG型シアン酸エステル化合物、ビスフェノールM型シアン酸エステル化合物、ビスフェノールS型シアン酸エステル、ビスフェノールP型シアン酸エステル化合物、ビスフェノールPH型シアン酸エステル化合物、ビスフェノールTMC型シアン酸エステル化合物、ビスフェノールZ型シアン酸エステル化合物、ジアリルビスフェノールA型シアン酸エステル等が挙げられる。二官能シアン酸エステル化合物(A)は、1種もしくは2種以上を適宜混合して使用することも可能である。
[I-1. Bifunctional cyanate ester compound (A)]
The bifunctional cyanate ester compound (A) used in the present invention is a compound having a cyanato group (cyanic acid ester group), and is not particularly limited as long as the number of functional groups is two.
The bifunctional cyanate ester compound (A) can reduce the melt viscosity in the B stage state and improve the part embedding moldability.
Specifically, the bifunctional cyanate ester compound (A) is a bisphenol A type cyanate ester compound, a bisphenol AP type cyanate ester compound, a bisphenol AF type cyanate ester compound, a bisphenol B type cyanate ester compound, or a bisphenol BP type. Cyanic acid ester compound, bisphenol C type cyanate ester compound, bisphenol E type cyanic acid ester compound, bisphenol F type cyanic acid ester compound, bisphenol G type cyanate ester compound, bisphenol M type cyanic acid ester compound, bisphenol S type cyanic acid Examples thereof include esters, bisphenol P-type cyanate ester compounds, bisphenol PH-type cyanate ester compounds, bisphenol TMC-type cyanate ester compounds, bisphenol Z-type cyanate ester compounds, diallyl bisphenol A-type cyanate ester, and the like. The bifunctional cyanate ester compound (A) can be used alone or in admixture of two or more.

これらの二官能シアン酸エステル化合物(A)は、本発明の樹脂シートにおいて、Bステージ状態における可撓性を改善し、また最低溶融粘度を低減させて成形性及び埋め込み性を優れたものとし、Cステージ状態における耐薬品性、高ガラス転移温度、低熱膨張性等に優れた特性を付与することができる。
さらに、二官能シアン酸エステル化合物(A)は、室温下で液状のものであれば、上記特性をより発揮するため、より好ましい。
なお、上記例示に記すように、本明細書では、ある樹脂又は化合物をシアナト化(シアン酸エステル化)して得られる構造を有するシアン酸エステル化合物(A)を、その樹脂又は化合物の名称に「〜型シアン酸エステル化合物」との記載を付して表す場合がある。
These bifunctional cyanate ester compounds (A) improve the flexibility in the B stage state and reduce the minimum melt viscosity in the resin sheet of the present invention to improve moldability and embedding property. It is possible to impart excellent properties such as chemical resistance, high glass transition temperature, and low thermal expansion property in the C stage state.
Further, the bifunctional cyanate ester compound (A) is more preferable if it is liquid at room temperature because it exhibits the above-mentioned characteristics.
As described in the above example, in the present specification, the cyanate ester compound (A) having a structure obtained by cyanating (cyanic acid esterification) a certain resin or compound is referred to as the name of the resin or compound. It may be expressed with the description of "~ type cyanate ester compound".

ジアリルビスフェノールA型シアン酸エステル化合物としては、式(1)で表される化合物を指す。

Figure 0006843367
The diallyl bisphenol A type cyanate ester compound refers to a compound represented by the formula (1).
Figure 0006843367

本発明における二官能シアン酸エステル化合物(A)の樹脂組成物における含有量は特に限定されないが、Bステージ状態における樹脂の可撓性の観点から、樹脂組成物の樹脂固形分100質量部に対し、5質量部以上が好ましく、10質量部以上が特に好適である。特に制限されないが、タック性を抑制する観点から、30質量部以下であることが好ましい。 The content of the bifunctional cyanate ester compound (A) in the resin composition in the present invention is not particularly limited, but from the viewpoint of the flexibility of the resin in the B stage state, the content of the bifunctional cyanate ester compound (A) is relative to 100 parts by mass of the resin solid content of the resin composition. 5, 5 parts by mass or more is preferable, and 10 parts by mass or more is particularly preferable. Although not particularly limited, it is preferably 30 parts by mass or less from the viewpoint of suppressing tackiness.

〔I−2.無機充填材(B)〕
本発明に使用される無機充填材(B)は、当業界で用いられるものであれば特に制限されないが、例としては、シリカ(例えば天然シリカ、溶融シリカ、アモルファスシリカ、中空シリカ等)、アルミニウム化合物(例えばベーマイト、水酸化アルミニウム、アルミナ等)、マグネシウム化合物(例えば酸化マグネシウム、水酸化マグネシウム等)、カルシウム化合物(例えば炭酸カルシウム等)、モリブデン化合物(例えば酸化モリブデン、モリブデン酸亜鉛等)、タルク(例えば天然タルク、焼成タルク等)、マイカ(雲母)、ガラス(例えば短繊維状ガラス、球状ガラス、微粉末ガラス(例えばEガラス、Tガラス、Dガラス等)等)、チタン(例えば酸化チタン、チタン酸バリウム等)、ジルコニア化合物(例えば酸化ジルコニウム等)、などが挙げられる。無機充填材(B)は、1種もしくは2種以上を適宜混合して使用することも可能である。
[I-2. Inorganic filler (B)]
The inorganic filler (B) used in the present invention is not particularly limited as long as it is used in the art, and examples thereof include silica (for example, natural silica, molten silica, amorphous silica, hollow silica, etc.) and aluminum. Compounds (eg boehmite, aluminum hydroxide, alumina, etc.), magnesium compounds (eg magnesium oxide, magnesium hydroxide, etc.), calcium compounds (eg calcium carbonate, etc.), molybdenum compounds (eg molybdenum oxide, zinc molybdate, etc.), talc (eg, molybdenum oxide, zinc molybdenate, etc.) For example, natural talc, fired talc, etc.), mica (mica), glass (for example, short fibrous glass, spherical glass, fine powder glass (for example, E glass, T glass, D glass, etc.), etc.), titanium (for example, titanium oxide, titanium). Examples thereof include barium acid acid) and zirconia compounds (for example, zirconium oxide). As the inorganic filler (B), one kind or two or more kinds may be appropriately mixed and used.

これらの中でも、シリカ、水酸化アルミニウム、アルミナ、ベーマイト、酸化マグネシウム及び水酸化マグネシウムからなる群から選択される1種又は2種以上が好適である。 Among these, one or more selected from the group consisting of silica, aluminum hydroxide, alumina, boehmite, magnesium oxide and magnesium hydroxide is preferable.

特に、低熱膨張性の観点から、シリカが好ましく、その中でも溶融シリカが特に好ましい。溶融シリカの具体例としては、電気化学工業(株)製のSFP−130MC等、(株)アドマテックス製のSC2050―MB、SC2500―SQ、SC4500−SQ等が挙げられる。 In particular, silica is preferable from the viewpoint of low thermal expansion, and molten silica is particularly preferable. Specific examples of the molten silica include SFP-130MC manufactured by Denki Kagaku Kogyo Co., Ltd., SC2050-MB, SC2500-SQ, SC4500-SQ manufactured by Admatex Co., Ltd., and the like.

無機充填材(B)の平均粒子径は、限定されるものではないが、樹脂シートの製造性向上の観点からは、0.01〜5.0μmが好ましく、0.2〜2.0μmがより好ましい。なお、本明細書において無機充填材(B)の「平均粒子径」とは、無機充填材(B)のメジアン径を意味するものとする。ここでメジアン径とは、ある粒子径を基準として粉体の粒度分布を2つに分けた場合に、より粒径が大きい側の粒子の個数又は質量と、より粒径が小さい側の個数又は質量とが、全粉体の夫々50%を占めるような粒子径を意味する。無機充填材(B)の平均粒子径(メジアン径)は、湿式レーザー回折・散乱法により測定される。 The average particle size of the inorganic filler (B) is not limited, but is preferably 0.01 to 5.0 μm, more preferably 0.2 to 2.0 μm, from the viewpoint of improving the manufacturability of the resin sheet. preferable. In the present specification, the "average particle size" of the inorganic filler (B) means the median diameter of the inorganic filler (B). Here, the median diameter refers to the number or mass of particles on the larger particle size side and the number or mass on the smaller particle size side when the particle size distribution of the powder is divided into two based on a certain particle size. The mass means a particle size such that each occupies 50% of the total powder. The average particle diameter (median diameter) of the inorganic filler (B) is measured by a wet laser diffraction / scattering method.

本発明における無機充填材(B)の樹脂組成物における含有量は、硬化物の熱膨張係数αを低減し、熱応力係数Xを低減することで、部品との密着性を得るという観点から、樹脂組成物の樹脂固形分100質量部に対し、200質量部以上とすることが好ましく、250質量部以上とすることが好ましい。また、最低限の成形性を発現させる観点から、1000質量部以下とすることが好ましい。 The content of the inorganic filler (B) in the resin composition in the present invention is from the viewpoint of obtaining adhesion to parts by reducing the coefficient of thermal expansion α of the cured product and the coefficient of thermal stress X. It is preferably 200 parts by mass or more, and preferably 250 parts by mass or more, based on 100 parts by mass of the resin solid content of the resin composition. Further, from the viewpoint of exhibiting the minimum moldability, the content is preferably 1000 parts by mass or less.

〔I−3.シリコーン複合パウダー(C)〕
シリコーン複合パウダーとは、ビニル基含有ジメチルポリシロキサンとメチルハイドロジェンポリシロキサンの付加重合物による微粉末にシリコーンレジンで表面を被覆して分散性を向上させたものである。シリコーン複合パウダー(C)は、分散性の観点から、平均粒子径が1〜15μmの範囲であることが好ましい。
[I-3. Silicone composite powder (C)]
The silicone composite powder is a fine powder made of an addition polymer of vinyl group-containing dimethylpolysiloxane and methylhydrogenpolysiloxane, whose surface is coated with a silicone resin to improve dispersibility. From the viewpoint of dispersibility, the silicone composite powder (C) preferably has an average particle size in the range of 1 to 15 μm.

シリコーン複合パウダー(C)としては、前記したように製造して得る他に、市販品を利用することもできる。市販品としては、例えば信越化学工業(株)製のKMP−600、KMP−601、KMP−602、KMP−605、X−52−7030等が挙げられる。 As the silicone composite powder (C), in addition to being produced as described above, a commercially available product can also be used. Examples of commercially available products include KMP-600, KMP-601, KMP-602, KMP-605, and X-52-7030 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.

シリコーン複合パウダー(C)は、硬化物のヤング率E及び熱膨張係数αを低減し、熱応力係数Xを低減することで、部品との密着性を得るという観点から、樹脂組成物の樹脂固形分100質量部に対し、15質量部以上含まれることが好ましい。良好な埋め込み性を得るという観点からは、40質量部以下であることが好ましい。 The silicone composite powder (C) is a resin solid of a resin composition from the viewpoint of obtaining adhesion to parts by reducing Young's modulus E and thermal expansion coefficient α of the cured product and reducing thermal stress coefficient X. It is preferably contained in an amount of 15 parts by mass or more with respect to 100 parts by mass. From the viewpoint of obtaining good embedding property, it is preferably 40 parts by mass or less.

〔I−4.マレイミド化合物(D)〕
本発明においては、樹脂シートの絶縁層の吸湿耐熱性を向上させる場合に、マレイミド化合物(D)を使用することが好ましい。使用されるマレイミド化合物(D)としてはマレイミド基を有する化合物であれば、特に限定されず、具体的には、ビス(4−マレイミドフェニル)メタン、2,2−ビス{4−(4−マレイミドフェノキシ)−フェニル}プロパン、ビス(3,5−ジメチル−4−マレイミドフェニル)メタン、ビス(3−エチル−5−メチル−4−マレイミドフェニル)メタン、ビス(3,5−ジエチル−4−マレイミドフェニル)メタン、トリス(4−マレイミドフェニル)メタン、長鎖アルキルビスマレイミド、式(2)で表されるマレイミド化合物、などが挙げられる。
この中でも吸湿耐熱性、耐燃性の観点から式(2)で表されるマレイミド化合物が好ましい。該化合物は市販品を用いることができ、そのようなものとしては、ケイ・アイ化成(株)製、BMI−2300等がある。

Figure 0006843367
(式中、Rは各々独立に、水素原子又はメチル基を表す。nは平均値として1〜10の範囲である。)
なお、これらマレイミド化合物(D)は、プレポリマー、又はマレイミド化合物とアミン化合物のプレポリマーなどの形で用いることができる。マレイミド化合物(D)及びそのプレポリマーは、1種もしくは2種以上を適宜混合して使用することも可能である。 [I-4. Maleimide compound (D)]
In the present invention, it is preferable to use the maleimide compound (D) when improving the hygroscopic heat resistance of the insulating layer of the resin sheet. The maleimide compound (D) used is not particularly limited as long as it is a compound having a maleimide group, and specifically, bis (4-maleimidephenyl) methane and 2,2-bis {4- (4-maleimide). Phenoxy) -phenyl} propane, bis (3,5-dimethyl-4-maleimidephenyl) methane, bis (3-ethyl-5-methyl-4-maleimidephenyl) methane, bis (3,5-diethyl-4-maleimide) Examples thereof include phenyl) methane, tris (4-maleimidephenyl) methane, long-chain alkylbismaleimide, and a maleimide compound represented by the formula (2).
Among these, the maleimide compound represented by the formula (2) is preferable from the viewpoint of moisture absorption heat resistance and flame resistance. Commercially available products can be used for the compound, and examples thereof include BMI-2300 manufactured by KI Kasei Co., Ltd.
Figure 0006843367
(In the formula, R 2 independently represents a hydrogen atom or a methyl group. N 2 has an average value in the range of 1 to 10.)
The maleimide compound (D) can be used in the form of a prepolymer, a prepolymer of a maleimide compound and an amine compound, and the like. The maleimide compound (D) and its prepolymer can be used alone or in admixture of two or more.

〔I−5.エポキシ化合物(E)〕
本発明に使用されるエポキシ化合物(E)は、例えば樹脂シートにおいて吸湿耐熱性、基板・銅箔との密着性、絶縁性、電気特性等を求められる場合には、それぞれの特性に応じた構造を有するものを用いることができ、好適に使用することができる。
エポキシ化合物(E)としては、少なくとも1個のエポキシ基を有する有機化合物であれば特に限定されないが、例えば、ビフェニルアラルキル型エポキシ化合物(エポキシ基含有ビフェニルアラルキル樹脂)、ナフタレン型エポキシ化合物(ナフタレン骨格を有するエポキシ基含有化合物:ナフタレン2官能型エポキシ化合物)、ビスナフタレン型エポキシ化合物(ビスナフタレン骨格を有するエポキシ基含有化合物:ナフタレン4官能型エポキシ化合物)、芳香族炭化水素ホルムアルデヒド型エポキシ化合物(エポキシ基含有芳香族炭化水素ホルムアルデヒド樹脂)、アントラキノン型エポキシ化合物(アントラキノン骨格を有するエポキシ基含有化合物)、ナフトールアラルキル型エポキシ化合物(エポキシ基含有ナフトールアラルキル樹脂)、ザイロック型エポキシ化合物(エポキシ基含有ザイロック樹脂)、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキ樹脂、ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂、3官能フェノール型エポキシ化合物(3官能フェノール骨格を有するエポキシ基含有化合物)、4官能フェノール型エポキシ化合物(4官能フェノール骨格を有するエポキシ基含有化合物)、ビフェニル型エポキシ樹脂(ビフェニル骨格を有するエポキシ基含有化合物)、アラルキルノボラック型エポキシ樹脂、トリアジン骨格エポキシ化合物(トリアジン骨格含有エポキシ樹脂)脂環式エポキシ樹脂、ポリオール型エポキシ樹脂、グリシジルアミン、グリシジルエステル、ブタジエン等の二重結合含有化合物の二重結合をエポキシ化した化合物、及び水酸基含有シリコーン樹脂類とエピクロルヒドリンとの反応により得られる化合物等が挙げられる。
これらのエポキシ化合物(E)は、樹脂シートとして求められる特性に応じ、1種もしくは2種以上を適宜混合して使用することも可能である。
[I-5. Epoxy compound (E)]
The epoxy compound (E) used in the present invention has a structure corresponding to each of the properties, for example, when moisture absorption and heat resistance, adhesion to a substrate / copper foil, insulation, electrical properties, etc. are required for a resin sheet. Can be used, and can be preferably used.
The epoxy compound (E) is not particularly limited as long as it is an organic compound having at least one epoxy group, and for example, a biphenyl aralkyl type epoxy compound (epoxy group-containing biphenyl aralkyl resin) and a naphthalene type epoxy compound (naphthalene skeleton) are used. Epoxy group-containing compound having: naphthalene bifunctional epoxy compound), bisnaphthalene type epoxy compound (epoxy group-containing compound having a bisnaphthalene skeleton: naphthalene tetrafunctional epoxy compound), aromatic hydrocarbon formaldehyde type epoxy compound (epoxy group containing) Aromatic hydrocarbon formaldehyde resin), anthraquinone type epoxy compound (epoxy group-containing compound having an anthraquinone skeleton), naphthol aralkyl type epoxy compound (epoxy group-containing naphthol aralkyl resin), zylock type epoxy compound (epoxy group-containing zyrock resin), bisphenol A-type epoxy resin, bisphenol F-type epoki resin, bisphenol A novolak-type epoxy resin, trifunctional phenol-type epoxy compound (epoxy group-containing compound having a trifunctional phenol skeleton), tetrafunctional phenol-type epoxy compound (having a tetrafunctional phenol skeleton) Epoxy group-containing compound), biphenyl type epoxy resin (epoxy group-containing compound having a biphenyl skeleton), aralkylnovolac type epoxy resin, triazine skeleton epoxy compound (triazine skeleton-containing epoxy resin) alicyclic epoxy resin, polyol type epoxy resin, glycidyl Examples thereof include a compound obtained by epoxidizing a double bond of a double bond-containing compound such as amine, glycidyl ester, and butadiene, and a compound obtained by reacting a hydroxyl group-containing silicone resin with epichlorohydrin.
These epoxy compounds (E) can be used alone or in admixture of two or more, depending on the properties required for the resin sheet.

なお、上記例示に記すように、本明細書では、ある樹脂又は化合物をエポキシ化して得られる構造を有するエポキシ化合物を、その樹脂又は化合物の名称に「〜型エポキシ化合物」との記載を付して表す場合がある。 As described in the above example, in the present specification, an epoxy compound having a structure obtained by epoxidizing a certain resin or compound is described as "-type epoxy compound" in the name of the resin or compound. May be expressed as.

これらの中でも、エポキシ化合物(E)としては、絶縁層とめっき導体層との密着性及び難燃性等の観点から、ビフェニルアラルキル型エポキシ化合物、ナフタレン型エポキシ化合物、ビスナフタレン型エポキシ化合物、芳香族炭化水素ホルムアルデヒド型エポキシ化合物(好ましい例としては、ベンゼン、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素をホルムアルデヒドと重合して得られた芳香族炭化水素ホルムアルデヒド樹脂を、フェノール、キシレノール等の水酸基含有芳香族炭化水素で変性し、更に当該水酸基をエポキシ化した化合物や、フェノール、キシレノール等の水酸基含有芳香族炭化水素をホルムアルデヒドと重合して得られた芳香族炭化水素ホルムアルデヒド樹脂の当該水酸基をエポキシ化した化合物等)、アントラキノン型エポキシ化合物、ナフトールアラルキル型エポキシ化合物、及びザイロック型エポキシ化合物、からなる群から選択される1種又は2種以上であることが好ましい。 Among these, the epoxy compound (E) includes a biphenylaralkyl type epoxy compound, a naphthalene type epoxy compound, a bisnaphthalene type epoxy compound, and an aromatic from the viewpoint of adhesion between the insulating layer and the plated conductor layer and flame retardancy. Carbide formaldehyde type epoxy compound (preferably, aromatic hydrocarbon formaldehyde resin obtained by polymerizing aromatic hydrocarbons such as benzene, toluene and xylenol with formaldehyde, and hydroxyl group-containing aromatic carbonic acid such as phenol and xylenol. Compounds that have been modified with hydrogen and further epoxidized with the hydroxyl groups, compounds with the hydroxyl groups of the aromatic hydrocarbon formaldehyde resin obtained by polymerizing hydroxyl group-containing aromatic hydrocarbons such as phenol and xylenol with formaldehyde, and the like. ), Anthraquinone type epoxy compound, naphthol aralkyl type epoxy compound, and Zyroc type epoxy compound, one or more selected from the group.

エポキシ化合物(E)としては、様々な構造の既製品が市販されており、それらを適宜入手して用いることができる。また、公知の種々の製法を用いて、エポキシ化合物(E)を製造してもよい。斯かる製法の例としては、所望の骨格を有する水酸基含有化合物を入手又は合成し、当該水酸基を公知の手法により修飾してエポキシ化(エポキシ基導入)する方法等が挙げられる。 As the epoxy compound (E), ready-made products having various structures are commercially available, and they can be appropriately obtained and used. Further, the epoxy compound (E) may be produced by using various known production methods. Examples of such a production method include a method of obtaining or synthesizing a hydroxyl group-containing compound having a desired skeleton, modifying the hydroxyl group by a known method, and epoxidizing (introducing an epoxy group).

〔I−6.多官能シアン酸エステル化合物(F)〕
本発明においては、樹脂シートの絶縁層の耐薬品性、高ガラス転移温度、低熱膨張性を向上させる場合に、多官能シアン酸エステル化合物(F)を用いることが好ましい多官能シアン酸エステル化合物(F)としては、シアナト基(シアン酸エステル基)を3つ以上有する化合物であれば特に限定されない。具体的には、ナフトールアラルキル型シアン酸エステル化合物(シアナト基含有ナフトールアラルキル樹脂)、芳香族炭化水素ホルムアルデヒド型シアン酸エステル化合物(シアナト基含有芳香族炭化水素ホルムアルデヒド樹脂)、ビフェニルアラルキル型シアン酸エステル化合物(シアナト基含有ビフェニルアラルキル樹脂)、及びノボラック型シアン酸エステル化合物(シアナト基含有ノボラック樹脂)等が挙げられ、多官能シアン酸エステル化合物(F)は、1種もしくは2種以上を適宜混合して使用することも可能である。
[I-6. Polyfunctional cyanate ester compound (F)]
In the present invention, the polyfunctional cyanate ester compound (F) is preferably used when improving the chemical resistance, high glass transition temperature, and low thermal expansion of the insulating layer of the resin sheet (a polyfunctional cyanate ester compound (F). The F) is not particularly limited as long as it is a compound having three or more cyanato groups (cyanic acid ester groups). Specifically, naphthol aralkyl type cyanate ester compound (cyanato group-containing naphthol aralkyl resin), aromatic hydrocarbon formaldehyde type cyanate ester compound (cyanato group-containing aromatic hydrocarbon formaldehyde resin), biphenyl aralkyl type cyanate ester compound. (Cyanato group-containing biphenyl aralkyl resin), novolak-type cyanate ester compound (cyanato group-containing novolak resin), and the like, and the polyfunctional cyanate ester compound (F) is appropriately mixed with one or more. It is also possible to use it.

ナフトールアラルキル型シアン酸エステル化合物としては、式(3)で表される化合物が好ましい。

Figure 0006843367
(式中、Rは各々独立に水素原子又はメチル基を表し、中でも水素原子が好ましい。nは1以上の整数を示す。) As the naphthol aralkyl type cyanate ester compound, the compound represented by the formula (3) is preferable.
Figure 0006843367
(In the formula, R 3 independently represents a hydrogen atom or a methyl group, and among them, a hydrogen atom is preferable. N 3 represents an integer of 1 or more.)

ノボラック型シアン酸エステル化合物としては、式(4)で表される化合物が好ましい。

Figure 0006843367
(式中、Rは水素原子又はメチル基を表し、中でも水素原子が好ましい。nは1以上の整数を示す。) As the novolak type cyanate ester compound, the compound represented by the formula (4) is preferable.
Figure 0006843367
(In the formula, R 4 represents a hydrogen atom or a methyl group, and among them, a hydrogen atom is preferable. N 4 represents an integer of 1 or more.)

ビフェニルアラルキル型シアン酸エステル化合物としては、式(5)で表される化合物が好ましい。

Figure 0006843367
(式中、Rは水素原子又はメチル基を表し、中でも水素原子が好ましい。nは1以上の整数を示す。) As the biphenyl aralkyl type cyanate ester compound, the compound represented by the formula (5) is preferable.
Figure 0006843367
(In the formula, R 5 represents a hydrogen atom or a methyl group, and among them, a hydrogen atom is preferable. N 5 represents an integer of 1 or more.)

多官能シアン酸エステル化合物(F)としては、様々な構造の既製品が市販されており、それら適宜入手して用いることができる。また、公知の種々の製法を用いて、シアン酸エステル化合物(F)を製造してもよい。斯かる製法の例としては、所望の骨格を有する水酸基含有化合物を入手又は合成し、当該水酸基を公知の手法により修飾してシアナト化する方法等が挙げられる。水酸基をシアナト化する手法としては、例えば、Ian Hamerton,“Chemistry and Technology of Cyanate Ester Resins,”Blackie Academic & Professionalに記載の手法が挙げられる。 As the polyfunctional cyanate ester compound (F), ready-made products having various structures are commercially available, and they can be appropriately obtained and used. Further, the cyanate ester compound (F) may be produced by using various known production methods. Examples of such a production method include a method of obtaining or synthesizing a hydroxyl group-containing compound having a desired skeleton and modifying the hydroxyl group by a known method to form cyanato. Examples of the method for cyanating a hydroxyl group include the methods described in Ian Hamerton, “Chemistry and Technology of Cynate Ester Resins,” Blackie Academic & Professional.

〔I−7.その他の成分〕
本発明の樹脂シートにおいては、二官能シアン酸エステル化合物(A)、無機充填材(B)、シリコーン複合パウダー(C)、マレイミド化合物(D)、エポキシ化合物(E)、多官能シアン酸エステル化合物(F)の他に、その他の1又は2種以上の成分を含有していてもよい。
[I-7. Other ingredients]
In the resin sheet of the present invention, a bifunctional cyanate ester compound (A), an inorganic filler (B), a silicone composite powder (C), a maleimide compound (D), an epoxy compound (E), and a polyfunctional cyanate ester compound In addition to (F), it may contain one or more other components.

例えば、本発明の絶縁層に用いられる樹脂組成物は、吸湿耐熱性向上の目的で、シランカップリング剤を含有してもよい。シランカップリング剤としては、一般に無機物の表面処理に使用されているシランカップリング剤であれば、限定されない。具体例としては、アミノシラン系シランカップリング剤(例えばγ−アミノプロピルトリエトキシシラン、N−β−(アミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン等)、エポキシシラン系シランカップリング剤(例えばγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン等)、ビニルシラン系シランカップリング剤(例えばγ−メタアクリロキシプロピルトリメトキシシラン等)、カチオン性シラン系シランカップリング剤(例えばN−β−(N−ビニルベンジルアミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン塩酸塩等)、フェニルシラン系シランカップリング剤等が挙げられる。これらのシランカップリング剤は、1種を単独で使用してもよく、2種以上を任意の組み合わせ及び比率で併用してもよい。 For example, the resin composition used for the insulating layer of the present invention may contain a silane coupling agent for the purpose of improving moisture absorption and heat resistance. The silane coupling agent is not limited as long as it is a silane coupling agent generally used for surface treatment of inorganic substances. Specific examples include aminosilane-based silane coupling agents (for example, γ-aminopropyltriethoxysilane, N-β- (aminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane, etc.) and epoxysilane-based silane coupling agents (for example, γ). -Glysidoxypropyltrimethoxysilane, etc.), Vinylsilane-based silane coupling agents (eg, γ-methacryloxipropyltrimethoxysilane, etc.), Cationic silane-based silane coupling agents (eg, N-β- (N-vinylbenzyl, etc.) Aminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane hydrochloride, etc.), phenylsilane-based silane coupling agent, etc. can be mentioned. One of these silane coupling agents may be used alone, or two or more thereof may be used in any combination and ratio.

シランカップリング剤を使用する場合、その含有量は限定されるものではないが、吸湿耐熱性向上の観点からは、無機充填材(B)に対して、シランカップリング剤の比率を0.05〜5質量%とするのが好ましく、0.1〜3質量%とするのがより好ましい。なお、2種以上のシランカップリング剤を併用する場合には、これらの合計量が上記比率を満たすことが好ましい。 When a silane coupling agent is used, its content is not limited, but from the viewpoint of improving moisture absorption and heat resistance, the ratio of the silane coupling agent to the inorganic filler (B) is 0.05. It is preferably ~ 5% by mass, more preferably 0.1 to 3% by mass. When two or more kinds of silane coupling agents are used in combination, it is preferable that the total amount of these silane coupling agents satisfies the above ratio.

また、本発明の絶縁層に用いられる樹脂組成物は、樹脂シートの製造性向上等の目的で、湿潤分散剤を含有してもよい。湿潤分散剤としては、一般に塗料等に使用されている湿潤分散剤であれば、限定されない。具体例としては、ビッグケミー・ジャパン(株)製のDisperbyk−110、同−111、同−180、同−161、BYK−W996、同−W9010、同−W903等が挙げられる。これらの湿潤分散剤は、1種を単独で使用してもよく、2種以上を任意の組み合わせ及び比率で併用してもよい。 Further, the resin composition used for the insulating layer of the present invention may contain a wetting dispersant for the purpose of improving the manufacturability of the resin sheet. The wet dispersant is not limited as long as it is a wet dispersant generally used for paints and the like. Specific examples thereof include Disperbyk-110, -111, -180, -161, BYK-W996, -W9010, and -W903 manufactured by Big Chemy Japan Co., Ltd. These wet dispersants may be used alone or in combination of two or more in any combination and ratio.

湿潤分散剤を使用する場合、樹脂組成物におけるその含有量は限定されるものではないが、樹脂シートの製造性向上の観点からは、無機充填材(B)に対して、湿潤分散剤の比率を0.1〜5質量%とするのが好ましく、0.5〜3質量%とするのがより好ましい。なお、2種以上の湿潤分散剤を併用する場合には、これらの合計量が上記比率を満たすことが好ましい。 When a wet dispersant is used, its content in the resin composition is not limited, but from the viewpoint of improving the manufacturability of the resin sheet, the ratio of the wet dispersant to the inorganic filler (B) Is preferably 0.1 to 5% by mass, more preferably 0.5 to 3% by mass. When two or more kinds of wet dispersants are used in combination, it is preferable that the total amount thereof satisfies the above ratio.

また、本発明の絶縁層に用いられる樹脂組成物は、硬化速度の調整等の目的で、硬化促進剤を含有してもよい。硬化促進剤としては、エポキシ化合物やシアン酸エステル化合物等の硬化促進剤として公知であり、一般に使用されるものであれば、特に限定されない。具体例としては、銅、亜鉛、コバルト、ニッケル、マンガン等の金属を含む有機金属塩類(例えばオクチル酸亜鉛、ナフテン酸コバルト、オクチル酸ニッケル、オクチル酸マンガン等)、イミダゾール類及びその誘導体(例えば2−エチル−4−メチルイミダゾール、1−ベンジル−2−フェニルイミダゾール、2,4,5−トリフェニルイミダゾール等)、第3級アミン(例えばトリエチルアミン、トリブチルアミン等)等が挙げられる。これらの硬化促進剤は、1種を単独で使用してもよく、2種以上を任意の組み合わせ及び比率で併用してもよい。 Further, the resin composition used for the insulating layer of the present invention may contain a curing accelerator for the purpose of adjusting the curing rate or the like. The curing accelerator is known as a curing accelerator such as an epoxy compound or a cyanate ester compound, and is not particularly limited as long as it is generally used. Specific examples include organic metal salts containing metals such as copper, zinc, cobalt, nickel and manganese (for example, zinc octylate, cobalt naphthenate, nickel octylate, manganese octylate and the like), imidazoles and derivatives thereof (for example, 2). -Ethyl-4-methylimidazole, 1-benzyl-2-phenylimidazole, 2,4,5-triphenylimidazole, etc.), tertiary amines (eg, triethylamine, tributylamine, etc.) and the like can be mentioned. These curing accelerators may be used alone or in combination of two or more in any combination and ratio.

硬化促進剤を使用する場合、樹脂組成物におけるその含有量は限定されるものではないが、高いガラス転移温度を得る観点からは、樹脂組成物の樹脂固形分100質量部に対し、硬化促進剤の比率を0.01〜5質量部とするのが好ましく、0.05〜4質量部とするのがより好ましい。なお、2種以上の硬化促進剤を併用する場合には、これらの合計量が上記比率を満たすことが好ましい。 When a curing accelerator is used, its content in the resin composition is not limited, but from the viewpoint of obtaining a high glass transition temperature, the curing accelerator is used with respect to 100 parts by mass of the resin solid content of the resin composition. The ratio of the above is preferably 0.01 to 5 parts by mass, and more preferably 0.05 to 4 parts by mass. When two or more kinds of curing accelerators are used in combination, it is preferable that the total amount thereof satisfies the above ratio.

また、本発明の絶縁層に用いられる樹脂組成物は、所期の特性が損なわれない範囲において、その他の種々の高分子化合物及び/又は難燃性化合物等を含有してもよい。高分子化合物及び難燃性化合物としては、一般に使用されているものであれば限定されない。高分子化合物の例としては、各種の熱硬化性樹脂及び熱可塑性樹脂並びにそのオリゴマー、エラストマー類等が挙げられる。難燃性化合物の例としては、リン含有化合物(例えばリン酸エステル、リン酸メラミン、リン含有エポキシ樹脂等)、窒素含有化合物(例えばメラミン、ベンゾグアナミン等)、オキサジン環含有化合物、シリコーン系化合物等が挙げられる。これらの高分子化合物及び/又は難燃性化合物は、1種を単独で使用してもよく、2種以上を任意の組み合わせ及び比率で併用してもよい。 Further, the resin composition used for the insulating layer of the present invention may contain various other polymer compounds and / or flame-retardant compounds as long as the desired properties are not impaired. The polymer compound and the flame-retardant compound are not limited as long as they are generally used. Examples of the polymer compound include various thermosetting resins and thermoplastic resins, their oligomers, and elastomers. Examples of flame-retardant compounds include phosphorus-containing compounds (for example, phosphoric acid ester, melamine phosphate, phosphorus-containing epoxy resin, etc.), nitrogen-containing compounds (for example, melamine, benzoguanamine, etc.), oxazine ring-containing compounds, silicone-based compounds, and the like. Can be mentioned. One of these polymer compounds and / or flame-retardant compounds may be used alone, or two or more thereof may be used in any combination and ratio.

また、本発明の絶縁層に用いられる樹脂組成物には、所期の特性が損なわれない範囲において、種々の目的により、各種の添加剤を含有していてもよい。添加剤の例としては、紫外線吸収剤、酸化防止剤、光重合開始剤、蛍光増白剤、光増感剤、染料、顔料、増粘剤、滑剤、消泡剤、分散剤、レベリング剤、光沢剤等が挙げられる。これらの添加剤は、1種を単独で使用してもよく、2種以上を任意の組み合わせ及び比率で併用してもよい。 Further, the resin composition used for the insulating layer of the present invention may contain various additives for various purposes as long as the desired characteristics are not impaired. Examples of additives include UV absorbers, antioxidants, photopolymerization initiators, optical brighteners, photosensitizers, dyes, pigments, thickeners, lubricants, defoamers, dispersants, leveling agents, etc. Examples include brighteners. One of these additives may be used alone, or two or more of these additives may be used in any combination and ratio.

〔I−8.樹脂組成物〕
本発明の絶縁層に用いられる樹脂組成物は、二官能シアン酸エステル化合物(A)、無機充填材(B)、シリコーン複合パウダー(C)の他に、その他の1又は2種以上の成分を混合することにより調製される。必要に応じて、これらの成分を有機溶剤に溶解させた溶液の形態(ワニス)としてもよい。斯かる溶液は、後述する本発明の樹脂シートを作製する際のワニスとして、好適に使用することができる。有機溶剤としては、上述の成分を各々好適に溶解又は分散させることができ、且つ、本発明の樹脂組成物の所期の効果を損なわないものであれば限定されない。具体例としては、アルコール類(メタノール、エタノール、プロパノール等)、ケトン類(例えばアセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン等)、アミド類(例えばジメチルアセトアミド、ジメチルホルムアミド等)、芳香族炭化水素類(例えばトルエン、キシレン等)等が挙げられる。これらの有機溶剤は、1種を単独で使用してもよく、2種以上を任意の組み合わせ及び比率で併用してもよい。
[I-8. Resin composition]
The resin composition used for the insulating layer of the present invention contains one or more other components in addition to the bifunctional cyanate ester compound (A), the inorganic filler (B), and the silicone composite powder (C). Prepared by mixing. If necessary, it may be in the form of a solution (varnish) in which these components are dissolved in an organic solvent. Such a solution can be suitably used as a varnish for producing the resin sheet of the present invention described later. The organic solvent is not limited as long as it can suitably dissolve or disperse each of the above-mentioned components and does not impair the desired effect of the resin composition of the present invention. Specific examples include alcohols (methanol, ethanol, propanol, etc.), ketones (eg, acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, etc.), amides (eg, dimethylacetamide, dimethylformamide, etc.), aromatic hydrocarbons (eg, toluene). , Xylene, etc.) and the like. One of these organic solvents may be used alone, or two or more of these organic solvents may be used in any combination and ratio.

〔II−1.樹脂シート〕
本発明の樹脂シートは、外層上に、上述した樹脂組成物からなる絶縁層が積層されたものである。
[II-1. Resin sheet]
The resin sheet of the present invention is obtained by laminating an insulating layer made of the above-mentioned resin composition on an outer layer.

上記外層は、高分子フィルム、金属箔及び金属フィルムから選択される。
高分子フィルムの具体例としては、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリブテン、ポリブタジエン、ポリウレタン、エチレン‐酸化ビニル共重合体、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート及びポリブチレンテレフタレート等のポリエステル、ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン‐プロピレン共重合体、ポリメチルペンテン、ポリイミド及びポリアミドからなる群より選ばれる少なくとも1種以上の樹脂を含有するフィルム、並びにこれらのフィルムの表面に離型剤を塗布した離型フィルムが挙げられ、これらの中でも、特にポリエステル、ポリイミド、ポリアミドが好ましく、その中でもポリエステルの一種である、ポリエチレンテレフタレートが特に好ましい。
また、高分子フィルムの厚さは特に限定されず、例えば、0.002〜0.1mmであってもよい。
金属箔、金属フィルムの具体例としては、銅やアルミニウム等の金属からなる箔又はフィルムが挙げられ、中でも銅箔又は銅フィルムが好ましく、特に電解銅箔、圧延銅箔、銅合金フィルム等が好適に使用できる。金属箔又は金属フィルムには、例えばニッケル処理やコバルト処理等、公知の表面処理が施されていてもよい。金属箔又は金属フィルムの厚さは、使用用途によって適宜調整することができるが、例えば5〜70μmの範囲が好適である。
The outer layer is selected from a polymer film, a metal foil and a metal film.
Specific examples of the polymer film include polyesters such as polyvinyl chloride, polyvinylidene chloride, polybutene, polybutadiene, polyurethane, ethylene-vinyl oxide copolymer, polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate and polybutylene terephthalate, polyethylene, polypropylene and ethylene. Examples thereof include a film containing at least one resin selected from the group consisting of a propylene copolymer, polymethylpentene, polyimide and polyamide, and a release film in which a release agent is applied to the surface of these films. Among these, polyester, polyimide, and polyamide are particularly preferable, and among them, polyethylene terephthalate, which is a kind of polyester, is particularly preferable.
The thickness of the polymer film is not particularly limited, and may be, for example, 0.002 to 0.1 mm.
Specific examples of the metal foil and the metal film include foils or films made of metals such as copper and aluminum. Among them, copper foils or copper films are preferable, and electrolytic copper foils, rolled copper foils, copper alloy films and the like are particularly preferable. Can be used for. The metal foil or the metal film may be subjected to a known surface treatment such as nickel treatment or cobalt treatment. The thickness of the metal foil or the metal film can be appropriately adjusted depending on the intended use, but is preferably in the range of 5 to 70 μm, for example.

上述の外層上に、上述した樹脂組成物からなる絶縁層を形成して本発明の樹脂シートを製造するが、その方法は特に限定されるものではない。例としては、樹脂組成物を有機溶剤に溶解又は分散させた溶液(ワニス)を、上述の外層の表面に塗布し、加熱及び/又は減圧下で乾燥し、溶媒を除去して樹脂組成物を固化させ、絶縁層を形成する手法等が挙げられる。乾燥条件は特に限定されないが、絶縁層に対する有機溶剤の含有比率が絶縁層の総量に対して、通常10質量部以下、好ましくは5質量部以下となるように乾燥させる。斯かる乾燥を達成する条件は、ワニス中の有機溶媒量によっても異なるが、例えば30〜60質量部の有機溶剤を含むワニスの場合、50〜160℃の加熱条件下で3〜10分程度乾燥させればよい。本発明の樹脂シートにおける樹脂組成物層の厚さは限定されないが、樹脂組成物層の乾燥時に軽揮発分をより良好に除去する観点、及び樹脂シートとしての機能をより有効かつ確実に奏する観点から、0.1〜500μmの範囲が好適である。 The resin sheet of the present invention is produced by forming an insulating layer made of the above-mentioned resin composition on the above-mentioned outer layer, but the method is not particularly limited. As an example, a solution (varnish) in which a resin composition is dissolved or dispersed in an organic solvent is applied to the surface of the above-mentioned outer layer, dried under heating and / or reduced pressure, and the solvent is removed to obtain the resin composition. Examples thereof include a method of solidifying and forming an insulating layer. The drying conditions are not particularly limited, but the drying is performed so that the content ratio of the organic solvent to the insulating layer is usually 10 parts by mass or less, preferably 5 parts by mass or less, based on the total amount of the insulating layer. The conditions for achieving such drying vary depending on the amount of the organic solvent in the varnish. For example, in the case of a varnish containing 30 to 60 parts by mass of an organic solvent, it is dried for about 3 to 10 minutes under heating conditions of 50 to 160 ° C. Just let me do it. The thickness of the resin composition layer in the resin sheet of the present invention is not limited, but from the viewpoint of better removing light volatile components when the resin composition layer is dried, and from the viewpoint of more effectively and surely performing the function as a resin sheet. Therefore, a range of 0.1 to 500 μm is preferable.

本発明の樹脂シートは、プリント配線板のビルドアップ材料及び部品内蔵基板の部品埋め込み用材料として使用可能である。プリント配線板及び部品内蔵基板については後述する。 The resin sheet of the present invention can be used as a build-up material for a printed wiring board and a material for embedding a component in a component-embedded substrate. The printed wiring board and the component built-in board will be described later.

〔II−2.プリント配線板及び部品内蔵基板〕
本発明のプリント配線板は、コア基材と呼ばれる樹脂絶縁層が完全硬化した金属箔張積層板に対し、本発明の樹脂シートをビルドアップ材として用いることにより得ることができる。コア基材の表面には通常当業界で用いられる金属箔張積層板の金属箔、又は金属箔を剥離した後にめっきするなどして得られる導体層により導体回路を形成する。
コア基材とは、主として、ガラスエポキシ基板、金属基板、ポリエステル基板、ポリイミド基板、BTレジン基板、熱硬化型ポリフェニレンエーテル基板等の基板の片面又は両面にパターン加工された導体層(回路)が形成されたものをいう。また、多層プリント配線板を製造する際に、さらに絶縁層及び/又は導体層が形成されるべき中間製造物の内層回路基板も本発明でいうプリント配線板に含まれる。なお、導体層(回路)表面は黒化処理等により予め粗化処理が施されていた方が絶縁層の回路基板への密着性の観点から好ましい。
[II-2. Printed circuit board and board with built-in components]
The printed wiring board of the present invention can be obtained by using the resin sheet of the present invention as a build-up material for a metal foil-clad laminate in which a resin insulating layer called a core base material is completely cured. A conductor circuit is formed on the surface of the core base material by a metal foil of a metal foil-clad laminate usually used in the art, or a conductor layer obtained by peeling and then plating the metal foil.
The core base material mainly forms a conductor layer (circuit) patterned on one or both sides of a substrate such as a glass epoxy substrate, a metal substrate, a polyester substrate, a polyimide substrate, a BT resin substrate, or a thermosetting polyphenylene ether substrate. It means what was done. Further, the printed wiring board of the present invention also includes an inner layer circuit board of an intermediate product in which an insulating layer and / or a conductor layer should be further formed when the multilayer printed wiring board is manufactured. It is preferable that the surface of the conductor layer (circuit) is roughened in advance by a blackening treatment or the like from the viewpoint of adhesion of the insulating layer to the circuit board.

具体的に、本発明の樹脂シートをビルドアップ材料又は、部品内蔵基板の部品埋め込み用材料として用いる場合は、常法により、導体回路及び/又は部品に対し、当該樹脂シートを積層した後(積層成形)、当該樹脂シートの樹脂組成物層(絶縁層)を表面処理し、絶縁層表面にめっきにより配線パターン(導体層)を形成することにより、本発明のプリント配線板又は、部品内蔵基板が得られる。
必要に応じてその他の各種の工程(例えば、ビアホール、スルーホール等を形成する穴加工処理等)を加えてもよい。
Specifically, when the resin sheet of the present invention is used as a build-up material or a material for embedding a component in a component-embedded substrate, the resin sheet is laminated on a conductor circuit and / or a component by a conventional method (lamination). By surface-treating the resin composition layer (insulating layer) of the resin sheet and forming a wiring pattern (conductor layer) on the surface of the insulating layer by plating, the printed wiring board of the present invention or the component-embedded substrate can be obtained. can get.
If necessary, various other steps (for example, hole processing for forming via holes, through holes, etc.) may be added.

以下、本発明のプリント配線板を製造するための各工程について説明する。
積層成形は、通常のプリント配線板用積層板の積層成形に一般に使用される手法、例えば、多段プレス、多段真空プレス、ラミネーター、真空ラミネーター、オートクレーブ成形機等を使用し、温度は例えば100〜300℃、圧力は例えば0.1〜100kgf/cm(約9.8kPa〜約38MPa)、加熱時間は例えば30秒〜5時間の範囲で適宜選択して行う。また、必要に応じて、例えば150〜300℃の温度で後硬化を行い、硬化度を調整してもいい。
Hereinafter, each step for manufacturing the printed wiring board of the present invention will be described.
Laminate molding uses a method generally used for laminating molding of ordinary laminated boards for printed wiring boards, for example, a multi-stage press, a multi-stage vacuum press, a laminator, a vacuum laminator, an autoclave molding machine, etc., and the temperature is, for example, 100 to 300. The temperature and pressure are, for example, 0.1 to 100 kgf / cm 2 (about 9.8 kPa to about 38 MPa), and the heating time is appropriately selected in the range of, for example, 30 seconds to 5 hours. Further, if necessary, post-curing may be performed at a temperature of, for example, 150 to 300 ° C. to adjust the degree of curing.

穴加工処理は、ビアホール、スルーホール等の形成のために実施される。穴加工処理は、NCドリル、炭酸ガスレーザー、UVレーザー、YAGレーザー、プラズマ等の公知の方法のうち何れか1種を用い、或いは必要により2種以上を組み合わせて行う。 The hole processing is carried out for the formation of via holes, through holes and the like. The hole drilling treatment is performed by using any one of known methods such as NC drill, carbon dioxide laser, UV laser, YAG laser, and plasma, or in combination of two or more if necessary.

絶縁層に対する表面処理は、スミア除去の観点から実施される。表面処理としては、粗化処理、シランカップリング処理等がある。粗化処理は、孔あけ工程により生じたスミアの除去も兼ねる。この場合、樹脂組成物の硬化度の違いにより、粗化状態が異なるため、後述の積層成形の条件は、その後の粗化処理条件やめっき条件との組み合わせで最適な条件を選ぶことが好ましい。 The surface treatment of the insulating layer is carried out from the viewpoint of removing smear. Surface treatment includes roughening treatment, silane coupling treatment and the like. The roughening process also removes smear generated by the drilling process. In this case, since the roughened state differs depending on the difference in the degree of curing of the resin composition, it is preferable to select the optimum condition for the lamination molding described later in combination with the subsequent roughening treatment condition and the plating condition.

粗化処理は、膨潤工程、表面粗化および及びスミア溶解工程、および及び中和工程からなる。膨潤工程は、膨潤剤を用いて表面絶縁層を膨潤させることにより行う。膨潤剤としては、表面絶縁層の濡れ性が向上し、次の表面粗化および及びスミア溶解工程において酸化分解が促進される程度にまで表面絶縁層を膨潤させることができるものであれば、制限されない。例としては、アルカリ溶液、界面活性剤溶液等が挙げられる。
表面粗化および及びスミア溶解工程は、酸化剤を用いて行う。酸化剤としては、例えばアルカリ性の過マンガン酸塩溶液等が挙げられ、好適な具体例としては、過マンガン酸カリウム水溶液、過マンガン酸ナトリウム水溶液等が挙げられる。斯かる酸化剤処理はウェットデスミアと呼ばれるが、当該ウェットデスミアに加えて、プラズマ処理やUV処理によるドライデスミア、バフ等による機械研磨、サンドブラスト等の他の公知の粗化処理を、適宜組み合わせて実施してもよい。
中和工程は、前工程で使用した酸化剤を還元剤で中和するものである。還元剤としては、アミン系還元剤が挙げられ、好適な具体例としては、ヒドロキシルアミン硫酸塩水溶液、エチレンジアミン四酢酸水溶液、ニトリロ三酢酸水溶液等の酸性水溶液が挙げられる。
The roughening treatment comprises a swelling step, a surface roughening and and a smear melting step, and a neutralization step. The swelling step is performed by swelling the surface insulating layer with a swelling agent. The swelling agent is limited as long as it can swell the surface insulating layer to the extent that the wettability of the surface insulating layer is improved and oxidative decomposition is promoted in the next surface roughness and smear dissolution step. Not done. Examples include an alkaline solution, a surfactant solution and the like.
The surface roughness and smear dissolution steps are carried out using an oxidizing agent. Examples of the oxidizing agent include an alkaline permanganate solution and the like, and suitable specific examples thereof include an aqueous solution of potassium permanganate and an aqueous solution of sodium permanganate. Such an oxidant treatment is called wet desmear, and in addition to the wet desmear, other known roughening treatments such as plasma treatment, dry desmear by UV treatment, mechanical polishing by buffing, and sandblasting are appropriately combined. You may.
The neutralization step is to neutralize the oxidizing agent used in the previous step with a reducing agent. Examples of the reducing agent include amine-based reducing agents, and suitable specific examples thereof include acidic aqueous solutions such as an aqueous solution of hydroxylamine sulfate, an aqueous solution of ethylenediaminetetraacetic acid, and an aqueous solution of nitrilotriacetic acid.

めっきにより配線パターン(導体層)を形成する方法としては、セミアディティブ法、フルアディティブ法、サブトラクティブ法等が挙げられる。
サブトラクティブ法でパターン形成する手法の例としては、当該樹脂シートの支持体である銅箔、もしくは絶縁層表面にめっきにより形成した導体層に対し、エッチングレジストを用いて選択的に銅箔、もしくは導体層を除去することにより、配線パターンを形成する手法が挙げられる。
セミアディティブ法でパターン形成する手法の例としては、絶縁層表面に無電解めっき等により薄い導体層を形成した後、めっきレジストを用いて選択的に電解めっきを施し(パターンめっき)、その後めっきレジストを剥離し、全体を適量エッチングして配線パターン形成する手法が挙げられる。
フルアディティブ法でパターン形成する手法の例としては、絶縁層表面にめっきレジストを用いて予めパターン形成を行い、選択的に無電解めっき等を付着させることにより配線パターンを形成する手法が挙げられる。
Examples of the method for forming the wiring pattern (conductor layer) by plating include a semi-additive method, a full additive method, and a subtractive method.
As an example of the method of forming a pattern by the subtractive method, a copper foil that is a support of the resin sheet or a conductor layer formed by plating on the surface of the insulating layer is selectively copper foil or a copper foil using an etching resist. A method of forming a wiring pattern by removing the conductor layer can be mentioned.
As an example of the method of forming a pattern by the semi-additive method, a thin conductor layer is formed on the surface of the insulating layer by electroless plating or the like, and then selectively electrolytically plated using a plating resist (pattern plating), and then the plating resist is applied. An appropriate amount of plating is used to form a wiring pattern.
As an example of the method of forming a pattern by the full additive method, there is a method of forming a wiring pattern by preliminarily forming a pattern on the surface of an insulating layer using a plating resist and selectively adhering electroless plating or the like.

本発明のプリント配線板は、多層プリント配線板とすることも可能である。例えば、めっき処理を実施した本発明の積層板を形成した後、これに内層回路を形成し、得られた回路に黒化処理を実施して、内層回路板とする。こうして得られた内層回路板の片面又は両面に、本発明の樹脂シートを配置し、更に金属箔(例えば銅やアルミニウム等)又は離型フィルム(ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリカーボネートフィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、エチレンテトラフルオロエチレン共重合体フィルム等の表面に離型剤を塗布したフィルム)をその外側に配置する、という操作を繰り返し、積層成形することにより、多層プリント配線板が製造される。 The printed wiring board of the present invention can also be a multilayer printed wiring board. For example, after forming the laminated board of the present invention that has been plated, an inner layer circuit is formed therein, and the obtained circuit is blackened to obtain an inner layer circuit board. The resin sheet of the present invention is arranged on one side or both sides of the inner layer circuit board thus obtained, and a metal foil (for example, copper, aluminum, etc.) or a release film (polyethylene film, polypropylene film, polycarbonate film, polyethylene terephthalate film, etc.) is further arranged. A multilayer printed wiring board is manufactured by repeating the operation of arranging (a film in which a mold release agent is applied on the surface of an ethylene tetrafluoroethylene copolymer film or the like) on the outside thereof and laminating and molding.

本発明の部品内蔵基板は、キャビティを形成したコア基材に、任意の部品を配置し、当該樹脂シートを部品埋め込み用材料として積層成形することにより、製造される。
部品とは、主として、ICチップ、コンデンサー、センサー等の、モジュールを形成するための構成要素のことを指す。
The component-embedded substrate of the present invention is manufactured by arranging an arbitrary component on a core base material having a cavity formed therein and laminating and molding the resin sheet as a material for embedding the component.
The component mainly refers to a component for forming a module such as an IC chip, a capacitor, and a sensor.

当該樹脂シートを積層することで、部品内蔵基板を形成した後、前項に記載したプリント配線板の製造工程と同様に、穴加工処理や配線パターンを形成することが可能である。 By laminating the resin sheets, after forming the component-embedded substrate, it is possible to form a hole processing and a wiring pattern in the same manner as in the manufacturing process of the printed wiring board described in the previous section.

以下に合成例、実施例及び比較例を示し、本発明を詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。 Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to Synthesis Examples, Examples and Comparative Examples, but the present invention is not limited thereto.

シアン酸エステル化合物の製造
・合成例1 α−ナフトールアラルキル型シアン酸エステル化合物(6)の合成:

Figure 0006843367
(式中、nは平均値として3から4までの範囲である。) Production / Synthesis Example of Cyanic Acid Ester Compound 1 Synthesis of α-naphthol aralkyl type cyanate ester compound (6):
Figure 0006843367
(In the formula, n 6 is a range of 3 to 4 as an average value.)

温度計、攪拌器、滴下漏斗及び還流冷却器を取りつけた反応器を予め食塩水により0〜5℃に冷却しておき、そこへ塩化シアン7.47g(0.122mol)、35%塩酸9.75g(0.0935mol)、水76ml、及び塩化メチレン44mlを仕込んだ。 A reactor equipped with a thermometer, a stirrer, a dropping funnel and a reflux condenser was previously cooled to 0 to 5 ° C. with a saline solution, and 7.47 g (0.122 mol) of cyanogen chloride and 35% hydrochloric acid 9. 75 g (0.0935 mol), 76 ml of water, and 44 ml of methylene chloride were charged.

この反応器内の温度を−5〜+5℃、pHを1以下に保ちながら、撹拌下、下記式(7)で表されるα−ナフトールアラルキル樹脂(SN485、OH基当量:214g/eq.軟化点:86℃、新日鐵化学(株)製)20g(0.0935mol)、及びトリエチルアミン14.16g(0.14mol)を塩化メチレン92mlに溶解した溶液を滴下漏斗により1時間かけて滴下し、滴下終了後、更にトリエチルアミン4.72g(0.047mol)を15分間かけて滴下した。

Figure 0006843367
(式中、nは平均値として3から4までの範囲である。) Α-naphthol aralkyl resin (SN485, OH group equivalent: 214 g / eq. Softening) represented by the following formula (7) under stirring while keeping the temperature in the reactor at −5 to + 5 ° C. and pH at 1 or less. Point: A solution prepared by dissolving 20 g (0.0935 mol) of triethylamine (manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd.) and 14.16 g (0.14 mol) of triethylamine in 92 ml of methylene chloride was added dropwise at 86 ° C. over 1 hour using a dropping reactor. After completion of the dropping, 4.72 g (0.047 mol) of triethylamine was further added dropwise over 15 minutes.
Figure 0006843367
(In the formula, n 7 is a range of 3 to 4 as an average value.)

滴下終了後、同温度で15分間撹拌後、反応液を分液し、有機層を分取した。得られた有機層を水100mlで2回洗浄した後、エバポレーターにより減圧下で塩化メチレンを留去し、最終的に80℃で1時間濃縮乾固させて、上記化合物(6)で表されるα−ナフトールアラルキル樹脂のシアン酸エステル化物(α−ナフトールアラルキル型シアン酸エステル化合物)23.5gを得た。 After completion of the dropping, the mixture was stirred at the same temperature for 15 minutes, the reaction solution was separated, and the organic layer was separated. The obtained organic layer was washed twice with 100 ml of water, methylene chloride was distilled off under reduced pressure with an evaporator, and finally the mixture was concentrated to dryness at 80 ° C. for 1 hour and represented by the above compound (6). 23.5 g of a cyanate esterified product of α-naphthol aralkyl resin (α-naphthol aralkyl type cyanate ester compound) was obtained.

樹脂組成物及び樹脂シートの作製
・実施例1:
二官能シアン酸エステル化合物(A)として、ビスフェノールA型シアン酸エステル(TA、シアン酸エステル当量:139g/eq.、三菱瓦斯化学(株)製)のメチルエチルケトン(以下「MEK」と略す場合がある。)溶液(不揮発分40質量%)50質量部(不揮発分換算で20質量部)、無機充填材(B)として、溶融シリカ(SFP−330MC、電気化学工業(株)製、平均粒子径0.7μm)150質量部、溶融シリカ(SC−4053SQ、アドマテックス(株)製、平均粒子径1.1μm)150質量部、シリコーン複合パウダー(C)として、シリコーン複合パウダー(KMP−605M、信越化学(株)製、平均粒子径3μm)15質量部、マレイミド化合物(D)として、ノボラック型マレイミド(BMI−2300、マレイミド当量:186g/eq.、大和化成工業(株)製)40質量部、エポキシ化合物(E)として、ナフタレン骨格含有エポキシ化合物(HP−9500、エポキシ当量:230g/eq.、DIC(株)製)30質量部、多官能シアン酸エステル化合物(F)として、合成例1によって得られたα−ナフトールアラルキル型シアン酸エステル化合物(シアン酸エステル当量:261g/eq.)のMEK溶液20質量部(不揮発分換算で10質量部)、硬化促進剤としてオクチル酸マンガンのMEK溶液1.0質量部(不揮発分換算で0.1質量部)をMEKに溶解又は分散させた。その後、高速攪拌装置を用いて30分間攪拌して、二官能シアン酸エステル化合物(A)、無機充填材(B)、シリコーン複合パウダー(C)、マレイミド化合物(D)、エポキシ化合物(E)、多官能シアン酸エステル化合物(F)を含む樹脂組成物の溶液を得た。このワニスを、銅箔(MT−Ex、三井金属鉱業(株)製)のマット面に対して塗布し、平均温度110℃で5分間加熱乾燥して、銅箔を支持体とした、樹脂厚100μmの樹脂シートを得た。該樹脂シートの硬化物の熱応力係数Xは200であり、請求項1記載の範囲内に該当する。
Preparation of Resin Composition and Resin Sheet- Example 1:
As the bifunctional cyanate ester compound (A), methyl ethyl ketone of bisphenol A type cyanate ester (TA, cyanate ester equivalent: 139 g / eq., Manufactured by Mitsubishi Gas Chemicals Corporation) (hereinafter, may be abbreviated as "MEK"). 50 parts by mass of solution (40% by mass of non-volatile content) (20 parts by mass in terms of non-volatile content), molten silica (SFP-330MC, manufactured by Electrochemical Industry Co., Ltd., average particle size 0) as inorganic filler (B) .7 μm) 150 parts by mass, fused silica (SC-4053SQ, manufactured by Admatex Co., Ltd., average particle size 1.1 μm) 150 parts by mass, as silicone composite powder (C), silicone composite powder (KMP-605M, Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) 15 parts by mass of maleimide compound (D), manufactured by Daiwa Kasei Kogyo Co., Ltd., 40 parts by mass of novolac type maleimide (BMI-2300, maleimide equivalent: 186 g / eq., Manufactured by Daiwa Kasei Kogyo Co., Ltd.) Obtained as compound (E) as a naphthalene skeleton-containing epoxy compound (HP-9500, epoxy equivalent: 230 g / eq., Manufactured by DIC Co., Ltd.) as 30 parts by mass, as a polyfunctional cyanate ester compound (F) according to Synthesis Example 1. 20 parts by mass of MEK solution (10 parts by mass in terms of non-volatile content) of the obtained α-naphthol aralkyl type cyanate ester compound (cyanic acid ester equivalent: 261 g / eq.), MEK solution of manganese octylate as a curing accelerator 1. 0 parts by mass (0.1 parts by mass in terms of non-volatile content) was dissolved or dispersed in MEK. Then, the mixture is stirred for 30 minutes using a high-speed stirrer to prepare a bifunctional cyanate ester compound (A), an inorganic filler (B), a silicone composite powder (C), a maleimide compound (D), and an epoxy compound (E). A solution of the resin composition containing the polyfunctional cyanate ester compound (F) was obtained. This varnish was applied to the matte surface of a copper foil (MT-Ex, manufactured by Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd.), heated and dried at an average temperature of 110 ° C. for 5 minutes, and the resin thickness was obtained by using the copper foil as a support. A 100 μm resin sheet was obtained. The thermal stress coefficient X of the cured product of the resin sheet is 200, which falls within the range according to claim 1.

密着性評価基板の作製
シリコンウエハの片面に、該樹脂シートの樹脂塗布面を配置し、圧力30kgf/cm2、温度220℃で120分間の積層成形を行ない、銅箔を除去することで、絶縁層30μmの評価基板を得た。
Preparation of Adhesion Evaluation Substrate An insulating layer is formed by arranging a resin-coated surface of the resin sheet on one side of a silicon wafer, performing laminating molding at a pressure of 30 kgf / cm2 and a temperature of 220 ° C. for 120 minutes, and removing the copper foil. An evaluation substrate of 30 μm was obtained.

ヤング率評価基板の作製
任意のプリプレグを積層成形した後、銅箔又は高分子フィルム等の外層を除去した樹脂基板(330mm*330mm*0.8mmt)の中央に、キャビティ(200mm*200mm*0.8mmt)を形成し、キャビティに該樹脂シートの樹脂部のみを粉体として配置し、圧力30kgf/cm2、温度220℃で120分間の積層成形を行うことで、厚さ0.8mmtの評価基板を得た。
Preparation of Young Rate Evaluation Substrate A cavity (200 mm * 200 mm * 0.) Is located in the center of a resin substrate (330 mm * 330 mm * 0.8 mmt) from which an outer layer such as a copper foil or a polymer film has been removed after laminating and molding an arbitrary prepreg. 8 mmt) is formed, only the resin part of the resin sheet is placed in the cavity as a powder, and laminating molding is performed at a pressure of 30 kgf / cm2 and a temperature of 220 ° C. for 120 minutes to obtain an evaluation substrate having a thickness of 0.8 mmt. Obtained.

埋め込み性評価基板の作製
アンクラッド板(520mm*345mm*0.2mmt)に対し、直径100μm、直径200μmのビアを形成し、ビア形成したアンクラッド板の片面に、該樹脂シートの樹脂塗布面を配置し、任意の積層成形を行なうことで、評価基板を得た。
Preparation of Embedability Evaluation Substrate A via having a diameter of 100 μm and a diameter of 200 μm was formed on an unclad plate (520 mm * 345 mm * 0.2 mmt), and a resin-coated surface of the resin sheet was formed on one side of the via-formed unclad plate. An evaluation substrate was obtained by arranging and performing arbitrary laminating molding.

・実施例2:
シリコーン複合パウダー(C)としてのシリコーン複合パウダー(KMP−605M、平均粒子径3μm)の使用量を20質量部とした以外は、実施例1と同様にしてワニス(樹脂組成物の溶液)を調整し、樹脂シート及びそれを用いた各種評価基板を得た。該樹脂シートの硬化物の熱応力係数Xは165であり、請求項1記載の範囲内に該当する。
-Example 2:
The varnish (solution of the resin composition) was adjusted in the same manner as in Example 1 except that the amount of the silicone composite powder (KMP-605M, average particle diameter 3 μm) used as the silicone composite powder (C) was 20 parts by mass. Then, a resin sheet and various evaluation substrates using the resin sheet were obtained. The thermal stress coefficient X of the cured product of the resin sheet is 165, which falls within the range according to claim 1.

・実施例3:
二官能シアン酸エステル化合物(A)として、ビスフェノールA型シアン酸エステル(TA、シアン酸エステル当量:139g/eq.、三菱瓦斯化学(株)製)のMEK溶液(不揮発分40質量%)12.5質量部(不揮発分換算で5質量部)、多官能シアン酸エステル化合物(F)として、α−ナフトールアラルキル型シアン酸エステル化合物(シアン酸エステル当量:261g/eq.)のMEK溶液の使用量を50質量部(不揮発分換算で25質量部)とした以外は、実施例1と同様にしてワニス(樹脂組成物の溶液)を調整し、樹脂シート及びそれを用いた各種評価基板を得た。該樹脂シートの硬化物の熱応力係数Xは198であり、請求項1記載の範囲内に該当する。
-Example 3:
As the bifunctional cyanate ester compound (A), a MEK solution (nonvolatile content 40% by mass) of a bisphenol A type cyanate ester (TA, cyanate ester equivalent: 139 g / eq., Manufactured by Mitsubishi Gas Chemicals Corporation) 12. 5 parts by mass (5 parts by mass in terms of non-volatile content), as the polyfunctional cyanate ester compound (F), the amount of the MEK solution of the α-naphthol aralkyl type cyanate ester compound (cyanic acid ester equivalent: 261 g / eq.) The varnish (solution of the resin composition) was adjusted in the same manner as in Example 1 except that 50 parts by mass (25 parts by mass in terms of non-volatile content) was used to obtain a resin sheet and various evaluation substrates using the same. .. The thermal stress coefficient X of the cured product of the resin sheet is 198, which falls within the range according to claim 1.

・実施例4:
二官能シアン酸エステル化合物(A)として、ビスフェノールA型シアン酸エステル(TA、シアン酸エステル当量:139g/eq.、三菱瓦斯化学(株)製)のMEK溶液(不揮発分40質量%)62.5質量部(不揮発分換算で25質量部)、多官能シアン酸エステル化合物(F)として、α−ナフトールアラルキル型シアン酸エステル化合物(シアン酸エステル当量:261g/eq.)のMEK溶液の使用量を10質量部(不揮発分換算で5質量部)とした以外は、実施例1と同様にしてワニス(樹脂組成物の溶液)を調整し、樹脂シート及びそれを用いた各種評価基板を得た。該樹脂シートの硬化物の熱応力係数Xは199であり、請求項1記載の範囲内に該当する。
-Example 4:
As the bifunctional cyanate ester compound (A), a MEK solution (nonvolatile content 40% by mass) of bisphenol A type cyanate ester (TA, cyanate ester equivalent: 139 g / eq., Manufactured by Mitsubishi Gas Chemicals Corporation) 62. 5 parts by mass (25 parts by mass in terms of non-volatile content), as the polyfunctional cyanate ester compound (F), the amount of the MEK solution of the α-naphthol aralkyl type cyanate ester compound (cyanic acid ester equivalent: 261 g / eq.) The varnish (solution of the resin composition) was adjusted in the same manner as in Example 1 except that 10 parts by mass (5 parts by mass in terms of non-volatile content) was used to obtain a resin sheet and various evaluation substrates using the same. .. The thermal stress coefficient X of the cured product of the resin sheet is 199, which falls within the range according to claim 1.

・実施例5:
二官能シアン酸エステル化合物(A)として、ビスフェノールA型シアン酸エステル(TA、シアン酸エステル当量:139g/eq.、三菱瓦斯化学(株)製)のMEK溶液(不揮発分40質量%)75質量部(不揮発分換算で30質量部)とした以外は、実施例1と同様にしてワニス(樹脂組成物の溶液)を調整し、樹脂シート及びそれを用いた各種評価基板を得た。該樹脂シートの硬化物の熱応力係数Xは200であり、請求項1記載の範囲内に該当する。
Example 5:
As the bifunctional cyanate ester compound (A), a MEK solution (nonvolatile content 40% by mass) of bisphenol A type cyanate ester (TA, cyanate ester equivalent: 139 g / eq., Manufactured by Mitsubishi Gas Chemicals Corporation) 75 mass. The varnish (solution of the resin composition) was adjusted in the same manner as in Example 1 except for the portion (30 parts by mass in terms of non-volatile content) to obtain a resin sheet and various evaluation substrates using the resin sheet. The thermal stress coefficient X of the cured product of the resin sheet is 200, which falls within the range according to claim 1.

・比較例1:
シリコーン複合パウダー(C)(KMP−605M、平均粒子径3μm)の使用量を0質量部とした以外は、実施例1と同様にしてワニス(樹脂組成物の溶液)を調整し、樹脂シート及びそれを用いた評価基板を得た。該樹脂シートの硬化物の熱応力係数Xは206であり、請求項1記載の範囲外である。
-Comparative example 1:
The varnish (solution of the resin composition) was adjusted in the same manner as in Example 1 except that the amount of the silicone composite powder (C) (KMP-605M, average particle diameter 3 μm) was 0 parts by mass, and the resin sheet and the resin sheet and An evaluation substrate using it was obtained. The thermal stress coefficient X of the cured product of the resin sheet is 206, which is outside the range according to claim 1.

・比較例2:
無機充填材(B)として、溶融シリカ(SFP−330MC、電気化学工業(株)製、平均粒子径0.7μm)50質量部、溶融シリカ(SC−4053SQ 、アドマテックス(株)製、平均粒子径1.1μm)50質量部とした以外は、比較例1と同様にしてワニス(樹脂組成物の溶液)を調整し、樹脂シート及びそれを用いた各種評価基板を得た。該樹脂シートの硬化物の熱応力係数Xは228であり、請求項1記載の範囲外である。
-Comparative example 2:
As the inorganic filler (B), 50 parts by mass of fused silica (SFP-330MC, manufactured by Denki Kagaku Kogyo Co., Ltd., average particle diameter 0.7 μm), molten silica (SC-4053SQ, manufactured by Admatex Co., Ltd., average particles). A varnish (solution of the resin composition) was prepared in the same manner as in Comparative Example 1 except that the diameter was 1.1 μm) and 50 parts by mass, and a resin sheet and various evaluation substrates using the resin sheet were obtained. The thermal stress coefficient X of the cured product of the resin sheet is 228, which is outside the range according to claim 1.

・比較例3:
無機充填材(B)として、溶融シリカ(SFP−330MC、電気化学工業(株)製、平均粒子径0.7μm)100質量部、溶融シリカ(SC−4053SQ 、アドマテックス(株)製、平均粒子径1.1μm)100質量部とした以外は、比較例1と同様にしてワニス(樹脂組成物の溶液)を調整し、樹脂シート及びそれを用いた各種評価基板を得た。該樹脂シートの硬化物の熱応力係数Xは206であり、請求項1記載の範囲外である。
-Comparative example 3:
As the inorganic filler (B), 100 parts by mass of fused silica (SFP-330MC, manufactured by Denki Kagaku Kogyo Co., Ltd., average particle diameter 0.7 μm), molten silica (SC-4053SQ, manufactured by Admatex Co., Ltd., average particles). A varnish (solution of the resin composition) was prepared in the same manner as in Comparative Example 1 except that the diameter was 1.1 μm) and 100 parts by mass, and a resin sheet and various evaluation substrates using the same were obtained. The thermal stress coefficient X of the cured product of the resin sheet is 206, which is outside the range according to claim 1.

・比較例4:
二官能シアン酸エステル化合物(A)として、ビスフェノールA型シアン酸エステル(TA、シアン酸エステル当量:139g/eq.、三菱瓦斯化学(株)製)のMEK溶液(不揮発分40質量%)の使用量を0質量部とし、多官能シアン酸エステル化合物(F)として、α−ナフトールアラルキル型シアン酸エステル化合物(シアン酸エステル当量:261g/eq.)のMEK溶液の使用量を40質量部(不揮発分換算で20質量部)とした以外は、実施例1と同様にしてワニス(樹脂組成物の溶液)を調整し、樹脂シート及びそれを用いた各種評価基板を得た。該樹脂シートの硬化物の熱応力係数Xは206であり、請求項1記載の範囲外である。
-Comparative example 4:
Use of MEK solution (nonvolatile content 40% by mass) of bisphenol A type cyanate ester (TA, cyanate ester equivalent: 139 g / eq., Manufactured by Mitsubishi Gas Chemicals Corporation) as the bifunctional cyanate ester compound (A). The amount is 0 parts by mass, and the amount of the MEK solution of the α-naphthol aralkyl type cyanate ester compound (cyanic acid ester equivalent: 261 g / eq.) As the polyfunctional cyanate ester compound (F) is 40 parts by mass (nonvolatile). The varnish (solution of the resin composition) was prepared in the same manner as in Example 1 except that the amount was 20 parts by mass in terms of minutes), and a resin sheet and various evaluation substrates using the same were obtained. The thermal stress coefficient X of the cured product of the resin sheet is 206, which is outside the range according to claim 1.

・比較例5:
二官能シアン酸エステル化合物(A)として、ビスフェノールA型シアン酸エステル(TA、シアン酸エステル当量:139g/eq.、三菱瓦斯化学(株)製)のMEK溶液(不揮発分40質量%)の使用量を0質量部とし、エポキシ化合物(E)として、ナフタレン骨格含有エポキシ化合物(HP−9500、エポキシ当量:230g/eq.、DIC(株)製)の10質量部を、液状エポキシ化合物(828、エポキシ当量:189g/eq.、DIC(株)製)10質量部に置換し、多官能シアン酸エステル化合物(F)として、α−ナフトールアラルキル型シアン酸エステル化合物(シアン酸エステル当量:261g/eq.)のMEK溶液の使用量を40質量部(不揮発分換算で20質量部)とした以外は、実施例1と同様にしてワニス(樹脂組成物の溶液)を調整し、樹脂シート及びそれを用いた各種評価基板を得た。該樹脂シートの硬化物の熱応力係数Xは203であり、請求項1記載の範囲外である。
-Comparative example 5:
Use of MEK solution (nonvolatile content 40% by mass) of bisphenol A type cyanate ester (TA, cyanate ester equivalent: 139 g / eq., Manufactured by Mitsubishi Gas Chemicals Co., Ltd.) as the bifunctional cyanate ester compound (A). The amount is 0 parts by mass, and as the epoxy compound (E), 10 parts by mass of a naphthalene skeleton-containing epoxy compound (HP-9500, epoxy equivalent: 230 g / eq., Manufactured by DIC Co., Ltd.) is used as a liquid epoxy compound (828, Epoxy equivalent: 189 g / eq., DIC Co., Ltd.) Substituted with 10 parts by mass to prepare an α-naphthol aralkyl type cyanate ester compound (cyanic acid ester equivalent: 261 g / eq) as a polyfunctional cyanate ester compound (F). The varnish (solution of the resin composition) was prepared in the same manner as in Example 1 except that the amount of the MEK solution used in (.) Was 40 parts by mass (20 parts by mass in terms of non-volatile content), and the resin sheet and the resin sheet were prepared in the same manner as in Example 1. Various evaluation substrates used were obtained. The thermal stress coefficient X of the cured product of the resin sheet is 203, which is outside the range according to claim 1.

樹脂シートの評価
(1)可撓性:
実施例1〜5及び比較例1〜7の手順により作製された樹脂シートを用い、樹脂シートの可撓性を確認するため、得られた樹脂シート30mm×100mmの短冊状サンプルを、直径10mm及び直径20mmの棒に巻きつけて、クラックの発生有無を目視で観察した。直径10mmの棒に巻きつけた際に、クラックが発生してないものを「○」とした。続いてクラックが発生したものについては、φ20mmの棒に樹脂シートを巻きつけた際にクラックが発生するかどうかを目視で観察した。クラックが発生してないものを「△」とした。上記全ての評価でクラックが発生してしまったものを「×」とした。結果を表1に示した。
Evaluation of resin sheet (1) Flexibility:
Using the resin sheets produced by the procedures of Examples 1 to 5 and Comparative Examples 1 to 7, in order to confirm the flexibility of the resin sheet, a strip-shaped sample of the obtained resin sheet of 30 mm × 100 mm having a diameter of 10 mm and It was wound around a rod having a diameter of 20 mm, and the presence or absence of cracks was visually observed. When wound around a rod having a diameter of 10 mm, those without cracks were marked with “◯”. Subsequently, for those in which cracks were generated, it was visually observed whether or not cracks were generated when the resin sheet was wound around a rod having a diameter of 20 mm. Those without cracks were marked with "Δ". Those in which cracks occurred in all the above evaluations were marked with "x". The results are shown in Table 1.

(2)Bステージ状態における樹脂シートの最低溶融粘度:
樹脂シートから採取した樹脂粉1gをサンプルとして使用し、レオメータ(TAインスツルメンツ社製ARES−G2)により、最低溶融粘度を測定した。ここでは、プレート径25mmのディスポーサブルプレートを使用し、40℃から180℃の範囲において、昇温速度2℃/分、周波数10.0rad/秒、歪0.1%の条件下で、樹脂の最低溶融粘度を測定した。結果を表1に示した。
(2) Minimum melt viscosity of the resin sheet in the B stage state:
Using 1 g of resin powder collected from the resin sheet as a sample, the minimum melt viscosity was measured with a rheometer (ARES-G2 manufactured by TA Instruments). Here, a disposable plate having a plate diameter of 25 mm is used, and the minimum resin is used under the conditions of a heating rate of 2 ° C./min, a frequency of 10.0 rad / sec, and a strain of 0.1% in the range of 40 ° C. to 180 ° C. The melt viscosity was measured. The results are shown in Table 1.

(3)ビア埋め込み性:
直径100μm、直径200μmのビアを開口した厚さ0.2mmtのアンクラッド板の片面に、該樹脂シートを積層し、真空多段プレスによって成形し、得られた基板の断面を観察することで、十分にビアを埋めることが可能かどうかを確認した。直径100μmのビアを、十分に樹脂で充填出来ている場合は「○」とした。続いて充填が不十分なものについては、直径200μmのビアに対して、同様の評価を行い、十分に樹脂で充填出来ている場合は「△」とした。上記全ての評価で、十分に樹脂を充填出来なかった場合は「×」とした。結果を表1に示した。
(3) Via embedding property:
It is sufficient to laminate the resin sheet on one side of an unclad plate having a thickness of 0.2 mmt with vias having a diameter of 100 μm and a diameter of 200 μm opened, mold the resin sheet by a vacuum multi-stage press, and observe the cross section of the obtained substrate. I checked if it was possible to fill the vias. A via having a diameter of 100 μm was marked with “◯” when it was sufficiently filled with resin. Subsequently, for those with insufficient filling, the same evaluation was performed on a via having a diameter of 200 μm, and when the via was sufficiently filled with resin, it was evaluated as “Δ”. In all the above evaluations, when the resin could not be sufficiently filled, it was evaluated as "x". The results are shown in Table 1.

(4)シリコンウエハとの密着性:
シリコンウエハに、該樹脂シートを積層し、真空多段プレスによって成形した後、4cm角にダイシングしたサンプルを、121℃−0.2MPa下で96hr吸湿させ、樹脂面に対してクロスカット試験を行い、密着性を判断した。具体的には、樹脂面に対し、幅1mm間隔で、縦6本、横6本の切込みを入れ、25マスの碁盤目を形成し、セロハン粘着テープを貼り付けた後、1分間経過後に、樹脂面に対し垂直に瞬時に引き剥がした。判定基準に従い、基準値0〜1のものを「○」、基準値2〜3のものを「△」、基準値4〜5のものを「×」とした。結果を表1に示した。
(4) Adhesion with silicon wafer:
The resin sheet was laminated on a silicon wafer, molded by a vacuum multi-stage press, and then a sample diced into a 4 cm square was absorbed for 96 hours at 121 ° C.-0.2 MPa, and a cross-cut test was performed on the resin surface. Adhesion was judged. Specifically, 6 vertical and 6 horizontal cuts are made in the resin surface at 1 mm width intervals to form a grid of 25 squares, and after 1 minute has passed after attaching the cellophane adhesive tape, It was instantly peeled off perpendicular to the resin surface. According to the judgment criteria, those with reference values 0 to 1 were designated as "○", those with reference values 2 to 3 were designated as "Δ", and those with reference values 4 to 5 were designated as "x". The results are shown in Table 1.

(5)ヤング率E:
厚み0.8mmtの樹脂硬化物について、オートグラフ((株)島津製作所製 AG−Xplus)を用いて、引張試験により測定した。結果を表1に示した。
(5) Young's modulus E:
A cured resin product having a thickness of 0.8 mmt was measured by a tensile test using an autograph (AG-Xplus manufactured by Shimadzu Corporation). The results are shown in Table 1.

(6)熱膨張係数α:
厚み0.8mmtの樹脂硬化物について、30mm角の試験片を作製し、熱機械分析装置(TAインスツルメント製)で40℃から340℃まで毎分10℃で昇温し、60℃から120℃での線膨張係数αを測定した。結果を表1に示した。
(6) Coefficient of thermal expansion α:
For a cured resin product having a thickness of 0.8 mmt, a 30 mm square test piece was prepared, and the temperature was raised from 40 ° C. to 340 ° C. at 10 ° C. The coefficient of linear expansion α at ° C was measured. The results are shown in Table 1.

(7)熱応力係数X:
得られたヤング率Eと、熱膨張係数αを掛け合わせることでXを算出した。結果を表1に示した。
(7) Thermal stress coefficient X:
X was calculated by multiplying the obtained Young's modulus E by the coefficient of thermal expansion α. The results are shown in Table 1.

(8)ガラス転移温度Tg:
厚み0.8mmtの樹脂硬化物について、12mm×25mmの試験片を作製し、DMA測定装置(TAインスツルメント社製動的粘弾性測定装置DMA Q400)を用いて10℃/min.で昇温し、LossModulusのピーク位置をガラス転移温度とした。結果を表1に示した。
(8) Glass transition temperature Tg:
For a cured resin product having a thickness of 0.8 mmt, a test piece having a thickness of 12 mm × 25 mm was prepared and measured at 10 ° C./min using a DMA measuring device (dynamic viscoelasticity measuring device DMA Q400 manufactured by TA Instruments). The temperature was raised with, and the peak position of Loss Modulus was defined as the glass transition temperature. The results are shown in Table 1.

Figure 0006843367
Figure 0006843367

本発明の樹脂組成物は、上述のように、プリント配線板の絶縁層の材料及び部品内蔵基板の部品埋め込み用の材料として用いた場合、樹脂シートの可撓性に優れ、埋め込み性に優れ、部品との密着性に優れ、高い耐熱性を発揮することから、プリント配線板の絶縁層の材料及び部品内蔵基板の部品埋め込み用材料として極めて有用である。 As described above, when the resin composition of the present invention is used as a material for an insulating layer of a printed wiring board and a material for embedding a component of a component-embedded substrate, the resin sheet has excellent flexibility and embedding property. Since it has excellent adhesion to parts and exhibits high heat resistance, it is extremely useful as a material for an insulating layer of a printed wiring board and a material for embedding parts in a component-embedded substrate.

Claims (10)

高分子フィルム、金属箔及び金属フィルムからなる群から選択される、いずれか一種である外層と、該外層上に積層された樹脂組成物からなる絶縁層とを含む樹脂シートであって、該樹脂組成物が、二官能シアン酸エステル化合物(A)、無機充填材(B)シリコーン複合パウダー(C)、マレイミド化合物(D)、エポキシ化合物(E)、及び多官能シアン酸エステル化合物(F)を含有し、該樹脂組成物をCステージ状態まで硬化させた硬化物の、引張試験で測定されたヤング率をE(GPa)、熱分析(昇温速度:10℃/分、昇温範囲:40℃から340℃まで)で測定された60℃〜120℃における熱膨張係数をα(ppm/K)とし、ヤング率Eと熱膨張係数αを掛け合わせた熱応力係数をXとした際に、熱応力係数Xの値が150〜204GPa・ppm/Kとなるものである、樹脂シート。 A resin sheet comprising an outer layer, which is one of any kind, selected from the group consisting of a polymer film, a metal foil, and a metal film, and an insulating layer composed of a resin composition laminated on the outer layer. The composition is a bifunctional cyanate ester compound (A), an inorganic filler (B) , a silicone composite powder (C) , a maleimide compound (D), an epoxy compound (E), and a polyfunctional cyanate ester compound (F). The Young's modulus of the cured product obtained by curing the resin composition to the C stage state was measured by E (GPa) and thermal analysis (heating rate: 10 ° C./min, temperature rising range:). When the thermal expansion coefficient at 60 ° C to 120 ° C measured at (40 ° C to 340 ° C) is α (ppm / K) and the thermal stress coefficient obtained by multiplying Young's modulus E and the thermal expansion coefficient α is X. , A resin sheet having a thermal stress coefficient X of 150 to 204 GPa · ppm / K. 樹脂組成物中の二官能シアン酸エステル化合物(A)の含有量が、樹脂組成物における樹脂固形分100質量部に対し、5質量部以上である、請求項1に記載の樹脂シート。 The resin sheet according to claim 1, wherein the content of the bifunctional cyanate ester compound (A) in the resin composition is 5 parts by mass or more with respect to 100 parts by mass of the resin solid content in the resin composition. 樹脂組成物中の無機充填材(B)の含有量が、樹脂組成物における樹脂固形分100質量部に対し、200質量部以上である、請求項1又は2に記載の樹脂シート。 The resin sheet according to claim 1 or 2 , wherein the content of the inorganic filler (B) in the resin composition is 200 parts by mass or more with respect to 100 parts by mass of the resin solid content in the resin composition. 樹脂組成物中のシリコーン複合パウダー(C)の含有量が、樹脂組成物における樹脂固形分100質量部に対し、15質量部以上である、請求項1〜のいずれか一項に記載の樹脂シート。 The resin according to any one of claims 1 to 3 , wherein the content of the silicone composite powder (C) in the resin composition is 15 parts by mass or more with respect to 100 parts by mass of the resin solid content in the resin composition. Sheet. 前記金属箔又は金属フィルムが、銅又はアルミニウムの箔又はフィルムである、請求項1〜のいずれか一項に記載の樹脂シート。 The resin sheet according to any one of claims 1 to 4 , wherein the metal foil or metal film is a copper or aluminum foil or film. 前記高分子フィルムが、ポリエステル、ポリイミド及びポリアミドからなる群から選択される、いずれか一種である、請求項1〜のいずれか一項に記載の樹脂シート。 The resin sheet according to any one of claims 1 to 4 , wherein the polymer film is any one selected from the group consisting of polyester, polyimide and polyamide. 前記樹脂組成物からなる絶縁層が、Bステージ状態のものである、請求項1〜のいずれか一項に記載の樹脂シート。 The resin sheet according to any one of claims 1 to 6 , wherein the insulating layer made of the resin composition is in a B stage state. 前記Bステージ状態の絶縁層の以下の条件によってレオメータによって測定された最低溶融粘度が1,000Pa・s以下である、
[測定条件]
プレート径:25mm
昇温速度:2℃/分
昇温範囲:40℃から180℃まで
周波数:10.0rad/秒
歪:0.1%
請求項に記載の樹脂シート。
The minimum melt viscosity measured by a rheometer under the following conditions of the insulating layer in the B stage state is 1,000 Pa · s or less.
[Measurement condition]
Plate diameter: 25 mm
Temperature rise rate: 2 ° C / min Temperature range: From 40 ° C to 180 ° C Frequency: 10.0 rad / sec Distortion: 0.1%
The resin sheet according to claim 7.
請求項1〜のいずれか一項に記載の樹脂シートを含有する、プリント配線板。 A printed wiring board containing the resin sheet according to any one of claims 1 to 8. 請求項1〜のいずれか一項に記載の樹脂シートを含有する、部品内蔵基板。 A component-embedded substrate containing the resin sheet according to any one of claims 1 to 8.
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