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JP6658048B2 - Inspection device, method of manufacturing inspection device - Google Patents
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Description

本発明は、検査装置、検査装置の製造方法に関する。   The present invention relates to an inspection device and a method for manufacturing the inspection device.

特許文献1には、プローブピンの先端部を被検査基板に接触させて、被検査基板の電気的な検査を行う基板検査装置が開示されている。   Patent Literature 1 discloses a board inspection apparatus that performs an electrical inspection of a board to be inspected by bringing a tip portion of a probe pin into contact with the board to be inspected.

特開2012−88065号公報JP 2012-88065 A

被検査基板のパッド等の接触部に先端部が接触するプローブピン等の通電体を、電気的な検査のための信号を接触部に送信等する基板に、線材によって接続する構成では、線材にノイズがのる場合がある。   In a configuration in which a conductor, such as a probe pin, whose tip contacts a contact portion such as a pad of a substrate to be inspected, is connected by a wire to a substrate that transmits a signal for electrical inspection to the contact portion, the wire is connected to the wire. Noise may occur.

本発明は、通電体を線材によって基板と接続する構成に比べ、ノイズによる検査不良を抑制することを目的とする。   An object of the present invention is to suppress inspection defects due to noise as compared with a configuration in which a current conductor is connected to a substrate by a wire.

請求項1の発明は、接触部を有する被検査基板を位置決めする位置決め部と、該位置決め部に位置決めされた被検査基板に対して、接近離間する方向に移動する移動体であって、圧入穴が形成された絶縁板、及び該圧入穴よりも径が大きい大径穴が該圧入穴の同軸上で形成された他の絶縁板を重ねた移動体と、軸方向の中間部において全周で径方向外側に張り出した鍔状の張出部が形成された通電体であって、該張出部を該絶縁板の該圧入穴に圧入することで該移動体に固定され、一端部が該接触部に接触する通電体と、該通電体の他端部が、導電性を有する接合材により接合され、該通電体を介して該接触部に対して信号を送信又は受信する基板と、を備え、該他の絶縁板は、該絶縁板における該通電体の突出が少ない側に重ねられている。 The invention according to claim 1 is a positioning portion for positioning a substrate to be inspected having a contact portion, and a moving body that moves in a direction approaching and separating from the substrate to be inspected positioned by the positioning portion , the press-fit hole Is formed, and a moving body in which a large-diameter hole having a diameter larger than the press-fitting hole is overlapped with another insulating plate formed coaxially with the press-fitting hole, and at an intermediate portion in the axial direction around the entire circumference. A current-carrying body formed with a flange-shaped protrusion protruding outward in the radial direction, wherein the protrusion is fixed to the movable body by press-fitting the protrusion into the press-fitting hole of the insulating plate , and one end of the current-carrying body is fixed to the moving body. The current-carrying body that contacts the contact portion, the other end of the current-carrying member is joined by a conductive bonding material, and a substrate that transmits or receives a signal to the contact portion through the current-carrying member, provided, said other insulating plate that are superimposed on the side projecting little vent collector in the insulating plate

請求項2の発明では、前記通電体の他端部は、前記基板を貫通する穴に差し込まれた状態で、前記接合材により前記基板に接合されている。   In the invention of claim 2, the other end of the current-carrying member is joined to the substrate by the joining material in a state of being inserted into a hole penetrating the substrate.

請求項3の発明では、前記通電体は、開口を有する有底の第一筒体と、前記第一筒体の内部に挿入された弾性体と、先端部が前記開口から突出した状態で前記第一筒体の内部に挿入され、前記弾性体の弾性力によって前記被検査基板側へ押される軸体と、一端部に開口を有し、他端部が有底とされた第二筒体であって、軸方向の中間部に形成された前記張出部が前記移動体の前記絶縁板に固定され、前記他端部が前記基板に接合された第二筒体と、を有し、前記第二筒体の開口から前記第二筒体に対して前記第一筒体が嵌め合わされている。 In the invention according to claim 3, the current-carrying body has a bottomed first cylindrical body having an opening, an elastic body inserted inside the first cylindrical body, and a tip part protruding from the opening. A shaft inserted into the first cylinder and pushed toward the substrate to be inspected by the elastic force of the elastic body, and a second cylinder having an opening at one end and a bottom at the other end Wherein the overhanging portion formed at the axial intermediate portion is fixed to the insulating plate of the moving body , and the other end portion is joined to the substrate, a second cylindrical body, The first cylinder is fitted to the second cylinder from an opening of the second cylinder.

請求項4の発明では、前記通電体は、一端部に開口を有し、他端部が有底とされた筒体であって、軸方向の中間部に形成された前記張出部が前記移動体の前記絶縁板に固定され、前記他端部が前記基板に接合された筒体と、前記筒体の内部に挿入された弾性体と、先端部が前記開口から突出した状態で前記筒体の内部に挿入され、前記弾性体の弾性力によって前記被検査基板側へ押される軸体と、を有する。 In the invention according to claim 4, the current-carrying body is a cylindrical body having an opening at one end and a bottom at the other end, and the projecting portion formed at an intermediate portion in the axial direction is provided with the projecting portion. A cylinder fixed to the insulating plate of the moving body, the other end of which is joined to the substrate, an elastic body inserted into the interior of the cylinder, and the cylinder having a tip protruding from the opening; A shaft inserted into the body and pushed toward the substrate to be inspected by the elastic force of the elastic body.

請求項5の発明は、請求項2を引用する請求項3に記載の第二筒体における前記中間部に形成された前記張出部を前記移動体における前記絶縁板の前記圧入穴に圧入する工程と、前記移動体における前記絶縁板の前記圧入穴に圧入した前記第二筒体の他端部を前記基板の前記穴に差し込む工程と、前記基板の穴に差し込んだ前記第二筒体を前記接合材により前記基板に接合する工程と、を有する。 According to a fifth aspect of the present invention, the projecting portion formed at the intermediate portion of the second cylindrical body according to the third aspect of the present invention is press-fitted into the press- fitting hole of the insulating plate of the moving body . And inserting the other end of the second cylinder press-fitted into the press- fitting hole of the insulating plate in the moving body into the hole of the substrate; and inserting the second cylinder inserted into the hole of the substrate. Bonding to the substrate with the bonding material.

請求項6の発明は、請求項2を引用する請求項4に記載の筒体における前記中間部に形成された前記張出部を前記移動体における前記絶縁板の前記圧入穴に圧入する工程と、前記移動体における前記絶縁板の前記圧入穴に圧入した前記筒体の他端部を前記基板の前記穴に差し込む工程と、前記基板の穴に差し込んだ前記筒体を前記接合材により前記基板に接合する工程と、を有する。 According to a sixth aspect of the present invention, a step of press- fitting the projecting portion formed at the intermediate portion of the cylindrical body according to claim 4 into the press-fitting hole of the insulating plate of the moving body . A step of inserting the other end of the cylindrical body press-fitted into the press- fitting hole of the insulating plate in the moving body into the hole of the substrate; and bonding the cylindrical body inserted into the hole of the substrate with the bonding material. Bonding to the substrate.

本発明の請求項1の構成によれば、通電体を線材によって基板と接続する構成に比べ、ノイズによる検査不良を抑制できる。
また、本発明の請求項1の構成によれば、圧入穴よりも大径とされた大径穴が圧入穴の同軸上で形成されていない構成に比べ、第二筒体を交換する際に第二筒体を把持する工具を入れる穴として大径穴を用いることができ、交換作業性を向上できる。
According to the configuration of claim 1 of the present invention, inspection failure due to noise can be suppressed as compared with the configuration in which the current-carrying body is connected to the substrate by a wire.
Further, according to the configuration of claim 1 of the present invention, when replacing the second cylindrical body, compared with a configuration in which a large-diameter hole larger in diameter than the press-fit hole is not formed coaxially with the press-fit hole. A large-diameter hole can be used as a hole into which a tool for gripping the second cylindrical body is inserted, so that replacement workability can be improved.

本発明の請求項2の構成によれば、基板における通電体の一端部側の表面に通電体の他端部の端面を接触させた状態で通電体の他端部が接合される構成に比べ、基板の背面(通電体の一端部側とは反対側の面)と通電体との電気的な接続がとりやすい。   According to the configuration of claim 2 of the present invention, compared to a configuration in which the other end of the current-carrying body is joined while the end surface of the other end of the current-carrying body is in contact with the surface of the substrate on the one end side of the current-carrying body. In addition, it is easy to make an electrical connection between the back surface of the substrate (the surface opposite to one end of the current-carrying body) and the current-carrying body.

本発明の請求項3の構成によれば、第一筒体が基板に接合される構成に比べ、軸体及び弾性体を含む第一筒体を交換しやすい。   According to the configuration of the third aspect of the present invention, the first cylindrical body including the shaft body and the elastic body can be easily replaced as compared with the configuration in which the first cylindrical body is joined to the substrate.

本発明の請求項4の構成によれば、弾性体を有さない構成に比べ、接触部に通電部の一端部が接触した際の衝撃が、基板に伝わりにくい。   According to the configuration of claim 4 of the present invention, the impact when one end of the current-carrying portion comes into contact with the contact portion is less likely to be transmitted to the substrate as compared with the configuration having no elastic body.

本発明の請求項5の構成によれば、第二筒体の他端部を基板の穴に差し込んでから移動体に圧入する場合に比べ、通電体の位置決め精度を確保しつつ、通電体を基板に対して接合して検査装置を製造できる。   According to the configuration of claim 5 of the present invention, compared to the case where the other end of the second cylindrical body is inserted into the hole of the substrate and then press-fitted into the moving body, the positioning accuracy of the conductive body is ensured while maintaining the positioning accuracy of the conductive body. An inspection device can be manufactured by bonding to a substrate.

本発明の請求項6の構成によれば、筒体の他端部を基板の穴に差し込んでから移動体に圧入する場合に比べ、通電体の位置決め精度を確保しつつ、通電体を基板に対して接合して検査装置を製造できる。   According to the configuration of claim 6 of the present invention, compared with the case where the other end of the cylindrical body is inserted into the hole of the substrate and then press-fitted into the moving body, the positioning accuracy of the conductive body is ensured, and the conductive body is attached to the substrate. Inspection devices can be manufactured by joining the two.

第一実施形態に係る検査装置の構成を示す概略図である。It is a schematic diagram showing the composition of the inspection device concerning a first embodiment. 第一実施形態に係る通電体の構成を示す概略図である。FIG. 2 is a schematic diagram illustrating a configuration of an electric conductor according to the first embodiment. 第一実施形態に係る検査装置の製造方法における圧入工程を示す概略図である。It is a schematic diagram showing a press fitting process in a manufacturing method of an inspection device concerning a first embodiment. 第一実施形態に係る検査装置の製造方法における差込工程を示す概略図である。It is a schematic diagram showing an insertion process in a manufacturing method of an inspection device concerning a first embodiment. 第一実施形態に係る検査装置の製造方法における差込工程を示す概略図である。It is a schematic diagram showing an insertion process in a manufacturing method of an inspection device concerning a first embodiment. 第一実施形態に係る検査装置の製造方法における接合工程を示す概略図である。It is a schematic diagram showing a joining process in a manufacturing method of an inspection device concerning a first embodiment. 第二実施形態に係る検査装置の構成を示す概略図である。It is a schematic diagram showing the composition of the inspection device concerning a second embodiment. 第二実施形態に係る通電体の構成を示す概略図である。It is the schematic which shows the structure of the electric conduction body which concerns on 2nd embodiment. 第二実施形態に係る検査装置の製造方法における圧入工程を示す概略図である。It is a schematic diagram showing a press fitting process in a manufacturing method of an inspection device concerning a second embodiment. 第二実施形態に係る検査装置の製造方法における差込工程を示す概略図である。It is a schematic diagram showing an insertion process in a manufacturing method of an inspection device concerning a second embodiment. 第二実施形態に係る検査装置の製造方法における差込工程を示す概略図である。It is a schematic diagram showing an insertion process in a manufacturing method of an inspection device concerning a second embodiment. 第二実施形態に係る検査装置の製造方法における接合工程を示す概略図である。It is a schematic diagram showing a joining process in a manufacturing method of an inspection device concerning a second embodiment. 変形例に係る検査装置の構成を示す概略図である。It is a schematic diagram showing the composition of the inspection device concerning a modification.

以下に、本発明に係る実施形態の一例を図面に基づき説明する。   Hereinafter, an example of an embodiment according to the present invention will be described with reference to the drawings.

〈第一実施形態〉
(検査装置10の構成)
まず、検査装置10の構成を説明する。図1は、第一実施形態に係る検査装置10の構成を示す概略図である。
<First embodiment>
(Configuration of the inspection device 10)
First, the configuration of the inspection device 10 will be described. FIG. 1 is a schematic diagram illustrating a configuration of an inspection device 10 according to the first embodiment.

検査装置10は、検査対象となるプリント基板100(被検査基板の一例)に対して、電気的な検査をする装置である。電気的な検査としては、例えば、インサーキット検査、ファンクション検査などがある。検査対象となるプリント基板100は、その表面(図1における上面)に形成されたパッド102(接触部の一例)と、後述の位置決めピン24が差し込まれる3つ以上の位置決め穴104と、を有している。   The inspection apparatus 10 is an apparatus that performs an electrical inspection on a printed board 100 (an example of a board to be inspected) to be inspected. Examples of the electrical inspection include an in-circuit inspection and a function inspection. The printed circuit board 100 to be inspected has a pad 102 (an example of a contact portion) formed on a surface thereof (an upper surface in FIG. 1) and three or more positioning holes 104 into which positioning pins 24 described later are inserted. are doing.

検査装置10は、具体的には、図1に示されるように、位置決め部20と、移動体30と、通電体40と、治具基板50(基板の一例)と、を有している。   The inspection apparatus 10 has, specifically, as shown in FIG. 1, a positioning section 20, a moving body 30, a conducting body 40, and a jig substrate 50 (an example of a substrate).

位置決め部20は、プリント基板100を位置決めするものである。具体的には、位置決め部20は、プリント基板100が載せられる台22と、台22から上方へ突出する3つ以上の位置決めピン24と、を有している。   The positioning section 20 is for positioning the printed circuit board 100. Specifically, the positioning section 20 includes a table 22 on which the printed circuit board 100 is mounted, and three or more positioning pins 24 projecting upward from the table 22.

位置決め部20では、プリント基板100の3つ以上の位置決め穴104のそれぞれに、位置決めピン24が差し込まれた状態で、プリント基板100が台22に載せられる。これにより、プリント基板100が台22上で、図1における左右方向及び前後方向に位置決めされる。また、台22には、プリント基板100が台22上から浮き上がらないように、プリント基板100を保持する保持部(図示省略)が設けられている。   In the positioning section 20, the printed circuit board 100 is placed on the table 22 with the positioning pins 24 inserted into the three or more positioning holes 104 of the printed circuit board 100. Thus, the printed circuit board 100 is positioned on the table 22 in the left-right direction and the front-rear direction in FIG. The table 22 is provided with a holding unit (not shown) for holding the printed circuit board 100 so that the printed circuit board 100 does not rise from above the table 22.

移動体30は、位置決め部20に位置決めされたプリント基板100に対して、プリント基板100の厚み方向に沿って接近離間する方向に移動するものである。移動体30は、具体的には、駆動部32によって、上方(離間する方向)及び下方(接近する方向)へ移動可能に構成されている。   The moving body 30 moves in a direction approaching and separating from the printed circuit board 100 positioned by the positioning section 20 along the thickness direction of the printed circuit board 100. Specifically, the moving body 30 is configured to be able to move upward (in the direction of separation) and downward (in the direction of approach) by the drive unit 32.

また、移動体30は、樹脂等で構成された絶縁板34、36を重ねることで形成されている。絶縁板34には、通電体40が圧入される圧入穴35が形成されている。この圧入穴35は、絶縁板34の厚み方向に貫通している。具体的には、圧入穴35に対して、通電体40における後述の第二筒体42の張出部42Bが圧入されるようになっている。なお、圧入穴35の内径は、張出部42Bの外径よりも小径とされている。   The moving body 30 is formed by stacking insulating plates 34 and 36 made of resin or the like. A press-fit hole 35 into which the current-carrying member 40 is press-fitted is formed in the insulating plate 34. The press-fit hole 35 penetrates in the thickness direction of the insulating plate 34. Specifically, a projecting portion 42 </ b> B of the second cylindrical body 42, which will be described later, in the conductive body 40 is press-fitted into the press-fit hole 35. The inner diameter of the press-fitting hole 35 is smaller than the outer diameter of the overhang portion 42B.

また、絶縁板36には、圧入穴35よりも大径とされた大径穴37が圧入穴35の同軸上で形成されている。大径穴37は、下方へ向かって徐々に径が小さくなるテーパ形状をしている。大径穴37は、例えば、後述の第二筒体42を移動体30から取り外して交換する際に、第二筒体42を把持する工具を入れる穴として用いられる。なお、第二筒体42の移動体30からの取り外しは、後述のはんだ59を溶かして除去した後に行われる。   A large-diameter hole 37 having a larger diameter than the press-fit hole 35 is formed on the insulating plate 36 on the same axis as the press-fit hole 35. The large diameter hole 37 has a tapered shape whose diameter gradually decreases downward. The large-diameter hole 37 is used, for example, as a hole for inserting a tool for gripping the second cylinder 42 when the second cylinder 42 described below is removed from the moving body 30 and replaced. The removal of the second cylindrical body 42 from the moving body 30 is performed after melting and removing solder 59 described later.

通電体40は、プリント基板100に通電するものであり、上下方向に長さを有している。この通電体40は、金属等の導電性を有する材料で形成されている。また、通電体40は、長手方向の中間部が移動体30の圧入穴35に圧入されることで、移動体30に固定されている。移動体30に固定された通電体40は、移動体30が下方へ移動することで、下端部(一端部の一例)が、プリント基板100のパッド102に接触する。   The conductive body 40 supplies current to the printed circuit board 100 and has a length in the vertical direction. The current conductor 40 is formed of a conductive material such as a metal. Further, the current-carrying body 40 is fixed to the moving body 30 by press-fitting an intermediate portion in the longitudinal direction into the press-fit hole 35 of the moving body 30. The lower end (one example of one end) of the current-carrying body 40 fixed to the moving body 30 contacts the pad 102 of the printed circuit board 100 as the moving body 30 moves downward.

具体的には、図2に示されるように、通電体40は、第一筒体41と、弾性体43と、ピン44(軸体の一例)と、第二筒体42と、を有している。第一筒体41は、下端部(一端部の一例)に開口41Aを有し、上端部(他端部の一例)が有底とされた円筒体で構成されている。弾性体43は、第一筒体41の内部に挿入された圧縮コイルバネで構成されている。   Specifically, as shown in FIG. 2, the current-carrying body 40 includes a first cylindrical body 41, an elastic body 43, a pin 44 (an example of a shaft body), and a second cylindrical body 42. ing. The first cylindrical body 41 has an opening 41A at a lower end (an example of one end), and is formed of a cylindrical body having a bottom at an upper end (an example of the other end). The elastic body 43 is configured by a compression coil spring inserted inside the first cylindrical body 41.

ピン44は、先端部が開口41Aから突出した状態で、且つ、軸方向(上下方向)に移動可能に、第一筒体41の内部に挿入されている。このピン44は、弾性体43の弾性力によって、下方(プリント基板100側)へ押されている。また、ピン44は、先端(下方)に向けて尖った先細りの形状をしている。なお、第一筒体41には、ピン44が開口41Aから抜け出ないようにするための抜け止め(図示省略)が設けられている。   The pin 44 is inserted inside the first cylindrical body 41 such that the tip end protrudes from the opening 41A and is movable in the axial direction (vertical direction). The pin 44 is pressed downward (toward the printed circuit board 100) by the elastic force of the elastic body 43. The pin 44 has a tapered shape that is pointed toward the tip (downward). The first cylindrical body 41 is provided with a stopper (not shown) for preventing the pin 44 from coming out of the opening 41A.

第二筒体42は、下端部(一端部の一例)に開口42Aを有し、上端部(他端部の一例)が有底とされた円筒体で構成されている。第二筒体42の開口42Aから第一筒体41の上端部側が挿入されることで、第一筒体41は第二筒体42に対して取外可能に嵌め合わされている。なお、第一筒体41は、第二筒体42の内部に設けられた位置決め部(図示省略)によって、先端部(開口41A側の端部)が開口42Aから突出する位置で位置決めされた状態で、第二筒体42に嵌め合わされている。   The second cylindrical body 42 has an opening 42A at a lower end (an example of one end), and is formed of a cylindrical body having a bottom at an upper end (an example of the other end). By inserting the upper end side of the first cylinder 41 from the opening 42A of the second cylinder 42, the first cylinder 41 is removably fitted to the second cylinder 42. Note that the first cylindrical body 41 is positioned by a positioning portion (not shown) provided inside the second cylindrical body 42 at a position where the tip (the end on the side of the opening 41A) protrudes from the opening 42A. And is fitted to the second cylindrical body 42.

また、第二筒体42の外周における軸方向の中間部には、径方向外側に張り出した張出部42Bが形成されている。張出部42Bは、第二筒体42の全周で径方向外側に張り出して鍔状に形成されている。また、張出部42Bは、第二筒体42の軸方向に沿った2カ所に形成されている。第二筒体42は、張出部42Bが絶縁板34の圧入穴35に圧入されることで、絶縁板34に固定されている。   A protruding portion 42B that protrudes radially outward is formed at an intermediate portion in the axial direction on the outer periphery of the second cylindrical body 42. The projecting portion 42B projects radially outward over the entire circumference of the second cylindrical body 42 and is formed in a flange shape. Further, the overhang portions 42B are formed at two places along the axial direction of the second cylindrical body 42. The second cylindrical body 42 is fixed to the insulating plate 34 by press-fitting the protruding portion 42B into the press-fitting hole 35 of the insulating plate 34.

治具基板50は、通電体40を介してパッド102に対して信号を送信又は受信する基板(プリント基板)である。治具基板50には、治具基板50を貫通する貫通穴としてのスルーホール52(穴の一例)が形成されている。スルーホール52には、パッド部54が形成されている。パッド部54は、例えば、スルーホール52の内周に円筒状に形成された円筒部分54Aと、治具基板50の背面(上面)においてスルーホール52の開口縁に環状に形成された環状部54Bと、を有している。なお、スルーホール52(パッド部54の円筒部分54A)の内径は、第二筒体42の外径よりも大径とされている。   The jig board 50 is a board (printed board) that transmits or receives a signal to or from the pad 102 via the conductor 40. In the jig substrate 50, a through hole 52 (an example of a hole) is formed as a through hole penetrating the jig substrate 50. The pad portion 54 is formed in the through hole 52. The pad portion 54 includes, for example, a cylindrical portion 54A formed in a cylindrical shape on the inner periphery of the through hole 52 and an annular portion 54B formed annularly on the opening edge of the through hole 52 on the back surface (upper surface) of the jig substrate 50. And The inner diameter of the through hole 52 (the cylindrical portion 54A of the pad portion 54) is larger than the outer diameter of the second cylindrical body 42.

通電体40の上端部(他端部の一例)がスルーホール52に差し込まれた状態で、はんだ59(導電性を有する接合材の一例)により接合されている。具体的には、通電体40の第二筒体42の上端部が円筒部分54Aの内部に差し込まれた状態で、パッド部54の環状部54Bに塗布されたはんだ59により接合されている。これにより、治具基板50のパッド部54と通電体40とが電気的に接続される。治具基板50は、複数のスペーサ60を介して、移動体30の絶縁板36の上面に固定されている。   The upper end (an example of the other end) of the current-carrying body 40 is joined with the solder 59 (an example of a conductive joining material) in a state of being inserted into the through hole 52. Specifically, with the upper end of the second cylindrical body 42 of the electric conductor 40 inserted into the cylindrical portion 54A, the second cylindrical body 42 is joined by the solder 59 applied to the annular portion 54B of the pad portion 54. As a result, the pad portion 54 of the jig substrate 50 and the conductor 40 are electrically connected. The jig substrate 50 is fixed to the upper surface of the insulating plate 36 of the moving body 30 via a plurality of spacers 60.

(第一実施形態に係る作用)
次に、第一実施形態に係る作用を説明する。
(Operation according to the first embodiment)
Next, an operation according to the first embodiment will be described.

第一実施形態では、通電体40の上端部が、治具基板50に対してはんだ59で接合されている。すなわち、通電体40の上端部が、治具基板50に対して、導線等の線材を用いずに、直接的に接合されている。   In the first embodiment, the upper end of the current-carrying body 40 is joined to the jig substrate 50 with the solder 59. That is, the upper end of the current-carrying body 40 is directly joined to the jig substrate 50 without using a wire such as a conductive wire.

ここで、通電体40を線材によって治具基板50と接続する構成(第一比較例)では、線材にノイズがのる場合がある。   Here, in the configuration in which the conductor 40 is connected to the jig substrate 50 by a wire (first comparative example), noise may be added to the wire.

これに対して、第一実施形態では、前述のように、通電体40の上端部が、治具基板50に対して、導線等の線材を用いずに、直接的に接合されているため、第一比較例に比べ、ノイズが発生しにくく、ノイズによる検査不良が抑制される。   On the other hand, in the first embodiment, as described above, since the upper end of the current-carrying body 40 is directly joined to the jig substrate 50 without using a wire such as a conductive wire, Noise is less likely to occur than in the first comparative example, and inspection failure due to noise is suppressed.

また、第一実施形態では、通電体40の上端部がスルーホール52に差し込まれた状態で、はんだ59により接合されている。このため、治具基板50における通電体40の下端部側の表面(下面)に通電体40の上端部の端面が接触された状態で該上端部が接合される構成(第二比較例)に比べ、治具基板50の背面(上面)と通電体40との電気的な接続がとりやすい。   Further, in the first embodiment, the electric conductor 40 is joined by the solder 59 in a state where the upper end is inserted into the through hole 52. For this reason, a configuration (second comparative example) is employed in which the upper end of the electric conductor 40 is joined to the surface (lower surface) on the lower end side of the electric conductor 40 of the jig substrate 50 while the end surface of the upper end of the electric conductor 40 is in contact therewith. In comparison, the electrical connection between the back surface (upper surface) of the jig substrate 50 and the conductor 40 is easier.

また、第一実施形態では、治具基板50に接合された第二筒体42に対して、第一筒体41が取外可能に嵌め合わされている。このため、第一筒体41が治具基板50に接合される構成に比べ、ピン44及び弾性体43を含む第一筒体41を交換しやすい。   In the first embodiment, the first cylinder 41 is removably fitted to the second cylinder 42 joined to the jig substrate 50. For this reason, the first cylindrical body 41 including the pins 44 and the elastic body 43 can be easily replaced as compared with the configuration in which the first cylindrical body 41 is joined to the jig substrate 50.

また、第一実施形態では、通電体40が治具基板50に直接的に接合されているため、通電体40を線材によって治具基板50と接続する第一比較例に比べ、通電体40の先端部がプリント基板100のパッド102に接触したときの衝撃が、治具基板50に伝わりやすくなっている。   In the first embodiment, since the current-carrying body 40 is directly joined to the jig substrate 50, the current-carrying body 40 is compared with the first comparative example in which the current-carrying body 40 is connected to the jig board 50 by a wire. The impact when the tip portion contacts the pad 102 of the printed circuit board 100 is easily transmitted to the jig substrate 50.

しかしながら、第一実施形態では、弾性体43が第一筒体41の内部に挿入されているため、弾性体43を有さない構成に比べ、パッド102への接触による衝撃が弾性体43で吸収され、治具基板50に伝わりにくい。   However, in the first embodiment, since the elastic body 43 is inserted into the inside of the first cylindrical body 41, the impact due to the contact with the pad 102 is absorbed by the elastic body 43 as compared with the configuration without the elastic body 43. Therefore, it is difficult to transmit to the jig substrate 50.

(検査装置10の製造方法)
次に、検査装置10の製造方法について説明する。
(Method of Manufacturing Inspection Apparatus 10)
Next, a method for manufacturing the inspection device 10 will be described.

検査装置10の製造方法は、圧入工程と、差込工程と、接合工程と、を有している。圧入工程、差込工程及び接合工程は、この順で、実行される。   The manufacturing method of the inspection device 10 includes a press-fitting process, a plug-in process, and a joining process. The press-fitting step, the inserting step, and the joining step are performed in this order.

圧入工程では、図3に示されるように、第二筒体42の軸方向の中間部に形成された張出部42Bを、絶縁板34の圧入穴35に圧入する。このとき、通電体40の移動体30に対する上下方向位置が、予め定められた位置に位置するように、第二筒体42の張出部42Bが圧入される。   In the press-fitting step, as shown in FIG. 3, the projecting portion 42 </ b> B formed at the axially intermediate portion of the second cylindrical body 42 is press-fitted into the press-fitting hole 35 of the insulating plate 34. At this time, the projecting portion 42B of the second cylindrical body 42 is press-fitted such that the vertical position of the current-carrying body 40 with respect to the moving body 30 is located at a predetermined position.

当該予め定められた位置とは、例えば、移動体30が下方へ移動した際に、弾性体43が予め定められた変形量で、ピン44の先端部がプリント基板100のパッド102に接触する位置である。   The predetermined position is, for example, a position at which the elastic body 43 contacts the pad 102 of the printed circuit board 100 by a predetermined amount of deformation when the moving body 30 moves downward. It is.

差込工程では、図4及び図5に示されるように、移動体30に圧入した第二筒体42の上端部を治具基板50のスルーホール52に差し込む。なお、治具基板50は、スルーホール52に第二筒体42の上端部が差し込まれた状態で、スペーサ60に固定される。   In the insertion step, as shown in FIGS. 4 and 5, the upper end of the second cylinder 42 pressed into the moving body 30 is inserted into the through hole 52 of the jig substrate 50. The jig substrate 50 is fixed to the spacer 60 with the upper end of the second cylindrical body 42 inserted into the through hole 52.

接合工程では、図6に示されるように、治具基板50のスルーホール52に差し込んだ第二筒体42の上端部をはんだ59により治具基板50に接合する。具体的には、第二筒体42の上端部が円筒部分54Aの内部に差し込まれた状態で、パッド部54の環状部54Bに塗布されたはんだ59により治具基板50に接合する。   In the joining step, as shown in FIG. 6, the upper end of the second cylindrical body 42 inserted into the through hole 52 of the jig board 50 is joined to the jig board 50 by solder 59. Specifically, with the upper end of the second cylindrical body 42 inserted into the cylindrical portion 54A, the second cylindrical body 42 is joined to the jig substrate 50 by the solder 59 applied to the annular portion 54B of the pad portion 54.

ここで、スルーホール52(パッド部54の円筒部分54A)の内径が第二筒体42の外径よりも大径とされているため、差込工程の後に圧入工程を実行する場合(比較例)では、差込工程が実行された時点において、通電体40の予め定められた位置に位置決めされず、圧入工程を実行することで、通電体40が予め定められた位置に位置決めされる。また、第二筒体42の上端部がスルーホール52に差し込まれた状態で、圧入工程を実行すると、通電体40が傾くなどして、通電体40の位置決めがしにくくなる。   Here, since the inner diameter of the through hole 52 (the cylindrical portion 54A of the pad portion 54) is larger than the outer diameter of the second cylindrical body 42, the case where the press-fitting step is performed after the inserting step (comparative example) In (2), when the insertion step is performed, the current-carrying member 40 is not positioned at the predetermined position of the current-carrying member 40, but is positioned at the predetermined position by performing the press-fitting process. Further, if the press-fitting process is performed in a state where the upper end of the second cylindrical body 42 is inserted into the through hole 52, the positioning of the conductive body 40 becomes difficult because the conductive body 40 is inclined.

これに対して、第一実施形態では、圧入工程の後に差込工程が実行されるので、差込工程が実行される前に、通電体40が予め定められた位置に位置決めされる。このため、第一実施形態は、前述の比較例に比べ、通電体40の位置決め精度を確保しつつ、通電体40を治具基板50に対して接合して検査装置が製造される。   On the other hand, in the first embodiment, since the insertion step is performed after the press-fitting step, the electric conductor 40 is positioned at a predetermined position before the insertion step is performed. For this reason, in the first embodiment, the inspection device is manufactured by bonding the current-carrying body 40 to the jig substrate 50 while ensuring the positioning accuracy of the current-carrying body 40 as compared with the comparative example described above.

〈第二実施形態〉
(検査装置200の構成)
第二実施形態に係る検査装置200では、図7に示されるように、通電体40に替えて、通電体240が用いられている。この点で、検査装置200は、検査装置10と異なっている。
<Second embodiment>
(Configuration of the inspection device 200)
In the inspection device 200 according to the second embodiment, as shown in FIG. 7, an electric conductor 240 is used instead of the electric conductor 40. In this respect, the inspection device 200 differs from the inspection device 10.

通電体240は、第二筒体42を有していない点で、通電体40と異なっている。通電体240は、具体的には、図8に示されるように、筒体241と、弾性体243と、ピン244(軸体の一例)と、を有している。   The current-carrying body 240 differs from the current-carrying body 40 in that the current-carrying body 240 does not include the second cylindrical body 42. As shown in FIG. 8, specifically, the current-carrying body 240 has a cylindrical body 241, an elastic body 243, and a pin 244 (an example of a shaft body).

筒体241は、下端部(一端部の一例)に開口241Aを有し、上端部(他端部の一例)が有底とされた円筒体で構成されている。また、筒体241の外周における軸方向の中間部には、径方向外側に張り出した張出部241Bが形成されている。張出部241Bは、筒体241の全周で径方向外側に張り出して鍔状に形成されている。また、張出部241Bは、筒体241の軸方向に沿った2カ所に形成されている。筒体241は、張出部241Bが絶縁板34の圧入穴35に圧入されることで、絶縁板34に固定されている。なお、圧入穴35の内径は、張出部241Bの外径よりも小径とされている。   The cylindrical body 241 has an opening 241A at a lower end (an example of one end) and is formed of a cylindrical body having a bottom at an upper end (an example of the other end). Further, a projecting portion 241B that projects radially outward is formed at an intermediate portion in the axial direction on the outer periphery of the cylindrical body 241. The overhang portion 241B extends radially outward around the entire circumference of the cylindrical body 241 and is formed in a flange shape. Further, the overhang portions 241B are formed at two positions along the axial direction of the cylindrical body 241. The cylindrical body 241 is fixed to the insulating plate 34 by press-fitting the overhang portion 241B into the press-fitting hole 35 of the insulating plate 34. Note that the inner diameter of the press-fit hole 35 is smaller than the outer diameter of the overhang portion 241B.

弾性体243は、筒体241の内部に挿入された圧縮コイルバネで構成されている。ピン244は、先端部が開口241Aから突出した状態で、且つ、軸方向(上下方向)に移動可能に、筒体241の内部に挿入されている。このピン244は、弾性体243の弾性力によって、下方(プリント基板100側)へ押されている。また、ピン244は、先端(下方)に向けて尖った先細りの形状をしている。なお、筒体241には、ピン244が筒体241から抜け出ないようにするための抜け止め(図示省略)が設けられている。   The elastic body 243 is configured by a compression coil spring inserted inside the cylindrical body 241. The pin 244 is inserted into the cylindrical body 241 with its tip protruding from the opening 241A and movably in the axial direction (vertical direction). The pin 244 is pressed downward (toward the printed circuit board 100) by the elastic force of the elastic body 243. The pin 244 has a tapered shape that is pointed toward the tip (downward). The cylinder 241 is provided with a stopper (not shown) for preventing the pin 244 from falling out of the cylinder 241.

通電体240の上端部(他端部の一例)がスルーホール52に差し込まれた状態で、はんだ59(導電性を有する接合材の一例)により接合されている。具体的には、通電体240の筒体241の上端部が円筒部分54Aの内部に差し込まれた状態で、パッド部54の環状部54Bに塗布されたはんだ59により接合されている。スルーホール52に差し込まれた状態で、はんだ59により接合されている。これにより、治具基板50のパッド部54と通電体240とが電気的に接続される。なお、スルーホール52(パッド部54の円筒部分54A)の内径は、筒体241の外径よりも大径とされている。   The upper end portion (an example of the other end portion) of the conductor 240 is inserted into the through hole 52 and joined by the solder 59 (an example of a conductive bonding material). Specifically, in a state where the upper end of the cylindrical body 241 of the current-carrying body 240 is inserted into the cylindrical portion 54A, it is joined by the solder 59 applied to the annular portion 54B of the pad portion 54. It is joined by the solder 59 while being inserted into the through hole 52. As a result, the pad portion 54 of the jig substrate 50 and the conductor 240 are electrically connected. The inner diameter of the through hole 52 (the cylindrical portion 54A of the pad portion 54) is larger than the outer diameter of the cylindrical body 241.

(第二実施形態に係る作用)
第二実施形態では、通電体240の上端部が、治具基板50に対してはんだ59で接合されている。すなわち、通電体240の上端部が、治具基板50に対して、導線等の線材を用いずに、直接的に接合されている。
(Operation according to the second embodiment)
In the second embodiment, the upper end of the current-carrying body 240 is joined to the jig substrate 50 by the solder 59. That is, the upper end of the current-carrying body 240 is directly joined to the jig substrate 50 without using a wire such as a conductive wire.

ここで、通電体240を線材によって治具基板50と接続する構成(第一比較例)では、線材にノイズがのる場合がある。   Here, in the configuration in which the conductor 240 is connected to the jig substrate 50 by a wire (first comparative example), noise may be applied to the wire.

これに対して、第二実施形態では、前述のように、通電体240の上端部が、治具基板50に対して、導線等の線材を用いずに、直接的に接合されているため、第一比較例に比べ、ノイズが発生しにくく、ノイズによる検査不良が抑制される。   On the other hand, in the second embodiment, as described above, the upper end of the current-carrying body 240 is directly joined to the jig substrate 50 without using a wire such as a conductive wire. Noise is less likely to occur than in the first comparative example, and inspection failure due to noise is suppressed.

また、第二実施形態では、通電体240の上端部がスルーホール52に差し込まれた状態で、はんだ59により接合されている。このため、治具基板50における通電体240の下端部側の表面(下面)に通電体240の上端部の端面が接触された状態で該上端部が接合される構成(第二比較例)に比べ、治具基板50の背面(上面)と通電体240との電気的な接続がとりやすい。   Further, in the second embodiment, the conductor 59 is joined by the solder 59 in a state where the upper end of the conductor 240 is inserted into the through hole 52. For this reason, a configuration (second comparative example) is employed in which the upper end portion of the conductor 240 is in contact with the surface (lower surface) on the lower end side of the conductor 240 of the jig substrate 50 while the end surface of the upper end portion is in contact with the surface. In comparison, electrical connection between the back surface (upper surface) of the jig substrate 50 and the conductive body 240 is easier.

また、第二実施形態では、通電体240が治具基板50に直接的に接合されているため、通電体240を線材によって治具基板50と接続する第一比較例に比べ、通電体240の先端部がプリント基板100のパッド102に接触したときの衝撃が、治具基板50に伝わりやすくなっている。   In the second embodiment, since the current-carrying body 240 is directly joined to the jig substrate 50, the current-carrying body 240 is compared with the first comparative example in which the current-carrying body 240 is connected to the jig board 50 by a wire. The impact when the tip portion contacts the pad 102 of the printed circuit board 100 is easily transmitted to the jig substrate 50.

しかしながら、第二実施形態では、弾性体243は、筒体241の内部に挿入されているため、弾性体243を有さない構成に比べ、パッド102への接触による衝撃が弾性体243で吸収され、治具基板50に伝わりにくい。   However, in the second embodiment, since the elastic body 243 is inserted into the inside of the cylindrical body 241, the impact due to the contact with the pad 102 is absorbed by the elastic body 243 as compared with the configuration without the elastic body 243. Is hardly transmitted to the jig substrate 50.

(検査装置200の製造方法)
検査装置200の製造方法は、圧入工程と、差込工程と、接合工程と、を有している。圧入工程、差込工程及び接合工程は、この順で、実行される。
(Method of Manufacturing Inspection Apparatus 200)
The manufacturing method of the inspection device 200 includes a press-fitting step, a inserting step, and a joining step. The press-fitting step, the inserting step, and the joining step are performed in this order.

圧入工程では、図9に示されるように、筒体241の軸方向の中間部に形成された張出部241Bを、絶縁板34の圧入穴35に圧入する。このとき、通電体240の移動体30に対する上下方向位置が、予め定められた位置に位置するように、筒体241の張出部241Bが圧入される。   In the press-fitting step, as shown in FIG. 9, the projecting portion 241 </ b> B formed at the axially intermediate portion of the cylindrical body 241 is press-fitted into the press-fitting hole 35 of the insulating plate 34. At this time, the projecting portion 241B of the cylindrical body 241 is press-fitted such that the vertical position of the conductive body 240 with respect to the moving body 30 is located at a predetermined position.

当該予め定められた位置とは、例えば、移動体30が下方へ移動した際に、弾性体243が予め定められた変形量で、ピン244の先端部がプリント基板100のパッド102に接触する位置である。   The predetermined position is, for example, a position at which the tip of the pin 244 contacts the pad 102 of the printed circuit board 100 by a predetermined amount of deformation when the moving body 30 moves downward. It is.

差込工程では、図10及び図11に示されるように、移動体30に圧入した筒体241の上端部を治具基板50のスルーホール52に差し込む。なお、治具基板50は、スルーホール52に筒体241の上端部が差し込まれた状態で、スペーサ60に固定される。   In the insertion step, as shown in FIGS. 10 and 11, the upper end of the cylinder 241 pressed into the moving body 30 is inserted into the through hole 52 of the jig substrate 50. The jig substrate 50 is fixed to the spacer 60 with the upper end of the cylindrical body 241 inserted into the through hole 52.

接合工程では、図12に示されるように、治具基板50のスルーホール52に差し込んだ筒体241の上端部をはんだ59により治具基板50に接合する。具体的には、通電体240の筒体241の上端部が円筒部分54Aの内部に差し込まれた状態で、パッド部54の環状部54Bに塗布されたはんだ59により治具基板50に接合する。   In the joining step, as shown in FIG. 12, the upper end of the cylindrical body 241 inserted into the through hole 52 of the jig board 50 is joined to the jig board 50 by the solder 59. Specifically, in a state where the upper end of the cylindrical body 241 of the electric conductor 240 is inserted into the cylindrical portion 54A, the cylindrical body 241 is joined to the jig substrate 50 by the solder 59 applied to the annular portion 54B of the pad portion 54.

ここで、スルーホール52(パッド部54の円筒部分54A)の内径が筒体241の外径よりも大径とされているため、差込工程の後に圧入工程を実行する場合(比較例)では、差込工程が実行された時点において、通電体240の予め定められた位置に位置決めされず、圧入工程を実行することで、通電体240が予め定められた位置に位置決めされる。また、筒体241の上端部がスルーホール52に差し込まれた状態で、圧入工程を実行すると、通電体240が傾くなどして、通電体240の位置決めがしにくくなる。   Here, since the inner diameter of the through hole 52 (the cylindrical portion 54A of the pad portion 54) is larger than the outer diameter of the cylindrical body 241, when the press-fitting process is performed after the insertion process (comparative example). When the insertion process is performed, the current-carrying body 240 is not positioned at the predetermined position of the current-carrying body 240, but is positioned at the predetermined position by performing the press-fitting process. Further, if the press-fitting process is performed in a state where the upper end of the cylindrical body 241 is inserted into the through hole 52, the conductive body 240 is difficult to position because the conductive body 240 is inclined.

これに対して、第二実施形態では、圧入工程の後に差込工程が実行されるので、差込工程が実行される前に、通電体240が予め定められた位置に位置決めされる。このため、第二実施形態は、前述の比較例に比べ、通電体240の位置決め精度を確保しつつ、通電体240を治具基板50に対して接合して検査装置が製造される。   On the other hand, in the second embodiment, since the insertion step is performed after the press-fitting step, before the insertion step is performed, the conductive body 240 is positioned at a predetermined position. For this reason, in the second embodiment, the inspection device is manufactured by joining the current-carrying body 240 to the jig substrate 50 while ensuring the positioning accuracy of the current-carrying body 240 as compared with the comparative example described above.

(変形例)
第一実施形態の通電体40は、スルーホール52に差し込まれた状態で、はんだ59により接合されていたが、これに限られない。例えば、図13に示されるように、治具基板50における通電体40の下端部側の表面(下面)に形成されたパッド151に、通電体40の上端部の端面を接触させた状態ではんだ159により接合されていてもよい。なお、第二実施形態に係る通電体240においても、同様に、治具基板50における通電体240の下端部側の表面(下面)にはんだ59により接合される構成を採用してもよい。
(Modification)
Although the current-carrying member 40 of the first embodiment is joined by the solder 59 in a state of being inserted into the through-hole 52, the present invention is not limited to this. For example, as shown in FIG. 13, soldering is performed in a state in which the end surface of the upper end of the conductor 40 is in contact with a pad 151 formed on the lower surface (lower surface) of the conductor 40 on the jig substrate 50. 159. In the same manner, in the conductive body 240 according to the second embodiment, a configuration in which the lower surface side (lower surface) of the conductive body 240 of the jig substrate 50 is joined by the solder 59 may be adopted.

また、プリント基板100の下面にパッド102(接触部の一例)が配置される場合には、移動体30、通電体40(通電体240)及び治具基板50は、上下が反転した状態で、位置決め部20の下側に配置される構成であってもよい。この構成では、通電体40(通電体240)が通過する穴が台22に形成される。そして、移動体30が上方へ移動することで、当該穴を通過した通電体40(通電体240)の先端部が、パッド102に接触する。   When the pad 102 (an example of a contact portion) is arranged on the lower surface of the printed circuit board 100, the movable body 30, the conductive body 40 (the conductive body 240), and the jig substrate 50 are turned upside down. A configuration that is arranged below the positioning unit 20 may be used. In this configuration, a hole through which the conductive body 40 (conductive body 240) passes is formed in the base 22. When the moving body 30 moves upward, the tip of the current-carrying body 40 (current-carrying body 240) that has passed through the hole comes into contact with the pad 102.

通電体40(通電体240)が接触する接触部としては、パッド102に限られず、例えば、プリント基板100に配設された電子部品のリードなどであってもよい。また、接触部の配置場所などに対応して、ピン44(ピン244)の先端の形状を変更してもよい。   The contact portion with which the conductor 40 (the conductor 240) contacts is not limited to the pad 102, but may be, for example, a lead of an electronic component provided on the printed circuit board 100. Further, the shape of the tip of the pin 44 (pin 244) may be changed in accordance with the location of the contact portion or the like.

本発明は、上記の実施形態に限るものではなく、その主旨を逸脱しない範囲内において種々の変形、変更、改良が可能である。例えば、上記に示した変形例は、適宜、複数を組み合わせて構成してもよい。   The present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications, changes, and improvements can be made without departing from the gist of the present invention. For example, the above-described modifications may be appropriately combined with each other.

10 検査装置
20 位置決め部
30 移動体
40 通電体
41 第一筒体
41A 開口
42 第二筒体
42A 開口
43 弾性体
44 ピン(軸体の一例)
50 治具基板(基板の一例)
52 スルーホール(穴の一例)
59 はんだ(接合材の一例)
100 プリント基板(被検査基板の一例)
102 パッド(接触部の一例)
159 はんだ(接合材の一例)
200 検査装置
240 通電体
241 筒体
241A 開口
243 弾性体
244 ピン(軸体の一例)
Reference Signs List 10 inspection device 20 positioning unit 30 moving body 40 conducting body 41 first cylindrical body 41A opening 42 second cylindrical body 42A opening 43 elastic body 44 pin (an example of a shaft body)
50 Jig substrate (an example of substrate)
52 through hole (example of hole)
59 Solder (an example of joining material)
100 Printed circuit board (example of inspected board)
102 pad (an example of a contact part)
159 Solder (an example of joining material)
200 inspection device 240 conducting body 241 cylindrical body 241A opening 243 elastic body 244 pin (an example of a shaft body)

Claims (6)

接触部を有する被検査基板を位置決めする位置決め部と、
該位置決め部に位置決めされた被検査基板に対して、接近離間する方向に移動する移動体であって、圧入穴が形成された絶縁板、及び該圧入穴よりも径が大きい大径穴が該圧入穴の同軸上で形成された他の絶縁板を重ねた移動体と、
軸方向の中間部において全周で径方向外側に張り出した鍔状の張出部が形成された通電体であって、該張出部を該絶縁板の該圧入穴に圧入することで該移動体に固定され、一端部が該接触部に接触する通電体と、
該通電体の他端部が、導電性を有する接合材により接合され、該通電体を介して該接触部に対して信号を送信又は受信する基板と、
を備え
該他の絶縁板は、該絶縁板における該通電体の突出が少ない側に重ねられている検査装置。
A positioning portion for positioning the substrate to be inspected having a contact portion,
A moving body that moves in a direction approaching and moving away from the substrate to be inspected positioned at the positioning portion, the insulating plate having a press-fit hole formed therein, and a large-diameter hole having a diameter larger than the press-fit hole. A moving body on which another insulating plate formed on the same axis as the press-fit hole is stacked ,
A current-carrying body in which a flange-shaped overhanging portion that projects radially outward over the entire circumference is formed at an intermediate portion in the axial direction, and the movement is performed by press-fitting the overhang into the press-in hole of the insulating plate. A current-carrying body fixed to the body, one end of which contacts the contact portion;
The other end of the current-carrying member is joined by a bonding material having conductivity, and a substrate that transmits or receives a signal to the contact portion through the current-carrying member,
Equipped with a,
It said other of the insulating plate, the inspection device that has been superimposed on the side projecting little vent collector in the insulating plate.
前記通電体の他端部は、前記基板を貫通する穴に差し込まれた状態で、前記接合材により前記基板に接合されている
請求項1に記載の検査装置。
The inspection device according to claim 1, wherein the other end of the current-carrying body is joined to the substrate by the joining material in a state of being inserted into a hole penetrating the substrate.
前記通電体は、
開口を有する有底の第一筒体と、
前記第一筒体の内部に挿入された弾性体と、
先端部が前記開口から突出した状態で前記第一筒体の内部に挿入され、前記弾性体の弾性力によって前記被検査基板側へ押される軸体と、
一端部に開口を有し、他端部が有底とされた第二筒体であって、軸方向の中間部に形成された前記張出部が前記移動体の前記絶縁板に固定され、前記他端部が前記基板に接合された第二筒体と、を有し、
前記第二筒体の開口から前記第二筒体に対して前記第一筒体が嵌め合わされている
請求項1又は2に記載の検査装置。
The energizer is
A bottomed first cylindrical body having an opening,
An elastic body inserted inside the first cylindrical body,
A shaft body that is inserted into the first cylindrical body in a state where a tip end protrudes from the opening, and is pushed toward the substrate to be inspected by an elastic force of the elastic body;
One end has an opening, the other end is a second cylindrical body with a bottom, the overhang formed in the axially intermediate portion is fixed to the insulating plate of the moving body, The second end has a second cylindrical body joined to the substrate,
The inspection device according to claim 1, wherein the first cylinder is fitted to the second cylinder from an opening of the second cylinder.
前記通電体は、
一端部に開口を有し、他端部が有底とされた筒体であって、軸方向の中間部に形成された前記張出部が前記移動体の前記絶縁板に固定され、前記他端部が前記基板に接合された筒体と、
前記筒体の内部に挿入された弾性体と、
先端部が前記開口から突出した状態で前記筒体の内部に挿入され、前記弾性体の弾性力によって前記被検査基板側へ押される軸体と、を有する
請求項1又は2に記載の検査装置。
The energizer is
A cylindrical body having an opening at one end and a bottom at the other end , wherein the overhanging portion formed at an intermediate portion in the axial direction is fixed to the insulating plate of the moving body; A cylindrical body whose end is joined to the substrate,
An elastic body inserted inside the cylindrical body,
The inspection device according to claim 1, further comprising: a shaft body that is inserted into the cylindrical body with a front end portion protruding from the opening, and that is pushed toward the substrate to be inspected by an elastic force of the elastic body. .
請求項2を引用する請求項3に記載の第二筒体における前記中間部に形成された前記張出部を前記移動体における前記絶縁板の前記圧入穴に圧入する工程と、
前記移動体における前記絶縁板の前記圧入穴に圧入した前記第二筒体の他端部を前記基板の前記穴に差し込む工程と、
前記基板の穴に差し込んだ前記第二筒体を前記接合材により前記基板に接合する工程と、
を有する検査装置の製造方法。
A step of press- fitting the projecting portion formed at the intermediate portion in the second cylindrical body according to claim 3 to the press-fitting hole of the insulating plate in the moving body;
Inserting the other end of the second cylindrical body press-fitted into the press- fitting hole of the insulating plate in the moving body into the hole of the substrate;
Bonding the second cylindrical body inserted into the hole of the substrate to the substrate by the bonding material,
A method for manufacturing an inspection apparatus having:
請求項2を引用する請求項4に記載の筒体における前記中間部に形成された前記張出部を前記移動体における前記絶縁板の前記圧入穴に圧入する工程と、
前記移動体における前記絶縁板の前記圧入穴に圧入した前記筒体の他端部を前記基板の前記穴に差し込む工程と、
前記基板の穴に差し込んだ前記筒体を前記接合材により前記基板に接合する工程と、
を有する検査装置の製造方法。
A step of press- fitting the projecting portion formed in the intermediate portion of the cylindrical body according to claim 4 to the press-fitting hole of the insulating plate in the moving body;
Inserting the other end of the cylindrical body press-fitted into the press- fitting hole of the insulating plate in the moving body into the hole of the substrate;
Bonding the tubular body inserted into the hole of the substrate to the substrate by the bonding material;
A method for manufacturing an inspection apparatus having:
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