Deprecated: The each() function is deprecated. This message will be suppressed on further calls in /home/zhenxiangba/zhenxiangba.com/public_html/phproxy-improved-master/index.php on line 456
JP6696497B2 - Contamination prevention device and sensor unit using the same - Google Patents
[go: Go Back, main page]

JP6696497B2 - Contamination prevention device and sensor unit using the same - Google Patents

Contamination prevention device and sensor unit using the same Download PDF

Info

Publication number
JP6696497B2
JP6696497B2 JP2017240481A JP2017240481A JP6696497B2 JP 6696497 B2 JP6696497 B2 JP 6696497B2 JP 2017240481 A JP2017240481 A JP 2017240481A JP 2017240481 A JP2017240481 A JP 2017240481A JP 6696497 B2 JP6696497 B2 JP 6696497B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
gas
sensor
gas discharge
gas diffusion
protective lens
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2017240481A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2018103174A (en
Inventor
知之 川島
知之 川島
崇 土居
崇 土居
琢実 小山
琢実 小山
健二 礒崎
健二 礒崎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
JFE Steel Corp
Original Assignee
JFE Steel Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by JFE Steel Corp filed Critical JFE Steel Corp
Publication of JP2018103174A publication Critical patent/JP2018103174A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6696497B2 publication Critical patent/JP6696497B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Prevention Of Fouling (AREA)

Description

本発明は、センサにより物体を検出する検出装置において、センサの保護のためのレンズに汚れが付着することを防止する汚れ付着防止装置、およびそれを用いたセンサユニットに関する。   The present invention relates to a dirt adhesion prevention device that prevents dirt from adhering to a lens for protecting a sensor in a detection device that detects an object by a sensor, and a sensor unit using the dirt adhesion prevention device.

鋼板に溶融金属めっき、例えば溶融亜鉛めっきを行う際には、図12(a),(b)に示すように、めっき槽101内の溶融亜鉛のような溶融金属(めっき浴)102内に連続的に鋼板103を浸漬させて、鋼板103に溶融金属を付着させた後、めっき槽101から鋼板103を鉛直方向に引き上げ、めっき槽101の上方で鋼板103の両面に対向して設けられた気体絞り装置(ガスワイピング装置)104から加圧ガスを吹き付けて、鋼板に付着した余分な溶融金属を除去し、所望のめっき付着量に調整する。   When performing hot metal plating on a steel sheet, for example, hot dip galvanizing, as shown in FIGS. 12 (a) and 12 (b), a molten metal (plating bath) 102 such as molten zinc in a plating tank 101 is continuously supplied. After immersing the steel plate 103 in a desired manner and adhering the molten metal to the steel plate 103, the steel plate 103 is pulled up from the plating tank 101 in the vertical direction, and a gas is provided above the plating tank 101 so as to face both surfaces of the steel plate 103. Pressurized gas is blown from the expansion device (gas wiping device) 104 to remove excess molten metal adhering to the steel sheet, and adjust to a desired coating adhesion amount.

この場合に、鋼板103が常に最適な位置に保持されるように、鋼板103の位置制御が行われている。この時の鋼板の幅方向の位置の制御は、エッジセンサ105を用いたEPC(Edge Position Control)により行われる。EPCに用いられるエッジセンサ105としては、繰り返し精度が高い光学センサが多用されている。光学センサは、図13に示すように発光素子105aと受光素子105bとを有し、受光素子が発光素子からの信号を受け取るか否かによって鋼板103のエッジ部が検出される。   In this case, the position control of the steel plate 103 is performed so that the steel plate 103 is always held at the optimum position. The position control of the width direction of the steel sheet at this time is performed by EPC (Edge Position Control) using the edge sensor 105. As the edge sensor 105 used in EPC, an optical sensor having high repeatability is often used. The optical sensor has a light emitting element 105a and a light receiving element 105b as shown in FIG. 13, and the edge portion of the steel plate 103 is detected depending on whether or not the light receiving element receives a signal from the light emitting element.

エッジセンサ105を構成する光学センサ(発光素子105aおよび受光素子105bのそれぞれ)の手前には保護レンズが設置されている。この場合に、気体絞り装置(ガスワイピング装置)から鋼板に向けて加圧ガスが吹き付けられることにより除去された溶融金属の一部は、センサの周囲に金属ダストとして浮遊し、これが保護レンズに付着すると、保護レンズが汚れ、エッジセンサにより鋼板の位置を正確に検出することが困難となる場合がある。   A protective lens is installed in front of the optical sensor (each of the light emitting element 105a and the light receiving element 105b) that constitutes the edge sensor 105. In this case, a part of the molten metal removed by blowing the pressurized gas from the gas expansion device (gas wiping device) toward the steel plate floats around the sensor as metal dust, which adheres to the protective lens. Then, the protective lens may become dirty, and it may be difficult to accurately detect the position of the steel plate by the edge sensor.

このような問題は、溶融金属めっきを行う装置以外にも発生する。例えば、特許文献1には、自動車の塗装ラインでは、ボデーの車種や車型の判別を光電管を用いて行う際に、吹き付けられる塗料の一部が塗料ダストとして浮遊し、これが光電管を保護するレンズに付着すると正確な測定が行えなくなることが記載されている。特許文献1には、そのような問題を解決するために、図14に示すような、レンズ106を遮蔽カバー107で覆い、遮蔽カバー107の内部に、加圧空気供給路109を介して加圧空気を供給し、遮蔽カバー107の開口端107aに向けて加圧空気を流して、ダスト108がレンズ106に付着することを防止する光電管レンズの汚れ付着防止装置が開示されている。そして、特許文献1では、遮蔽カバー107に拡径部を設け、開口端107aを最大径部とすることにより、塗料ダストなどの浮遊物の遮蔽カバー内部への巻き込みを防止できるとしている。   Such a problem occurs not only in an apparatus for performing hot metal plating. For example, in Patent Document 1, in a coating line of an automobile, when a vehicle type and a vehicle type of a body are discriminated by using a phototube, a part of the sprayed paint floats as paint dust, which becomes a lens for protecting the phototube. It is described that if adhered, accurate measurement cannot be performed. In Patent Document 1, in order to solve such a problem, the lens 106 is covered with a shielding cover 107 as shown in FIG. 14, and pressure is applied to the inside of the shielding cover 107 via a pressurized air supply passage 109. There is disclosed a device for preventing adhesion of dirt on a photoelectric tube lens, which supplies air and causes pressurized air to flow toward the opening end 107a of the shield cover 107 to prevent dust 108 from adhering to the lens 106. Further, in Patent Document 1, it is possible to prevent entrainment of suspended matter such as paint dust into the shield cover by providing the shield cover 107 with an enlarged diameter portion and making the opening end 107a the maximum diameter portion.

溶融金属めっきを行う装置においても、同様のレンズへの汚れ付着防止装置が用いられている。例えば、側面図である図15に示すように、エッジセンサを保護する保護レンズ110を覆い加圧ガスの流路となるカバー部材111と、カバー部材111の内部に加圧ガスを供給する加圧ガス供給部112とを有し、カバー部材111は、保護レンズ110から離れた位置に設けられたガス導入部113と、加圧ガスを保護レンズ110の方向に拡散させるガス拡散部114と、保護レンズ110に対応する位置で加圧ガスを吐出するガス吐出部115を有しており、図15の矢印A方向から見たときに、ガス拡散部114が、図16に示すようなT字型や、図17に示すような三角形をなしており、ガス吐出部115に向けて広がるような形状を有している。   A similar device for preventing dirt from adhering to a lens is also used in an apparatus for performing molten metal plating. For example, as shown in FIG. 15 which is a side view, a cover member 111 that covers the protective lens 110 that protects the edge sensor and serves as a flow path of the pressurized gas, and a pressurizing gas that supplies the pressurized gas to the inside of the cover member 111. The cover member 111 includes a gas supply unit 112, a gas introduction unit 113 provided at a position distant from the protection lens 110, a gas diffusion unit 114 for diffusing the pressurized gas toward the protection lens 110, and a protection unit. It has a gas discharge part 115 that discharges a pressurized gas at a position corresponding to the lens 110, and when viewed from the direction of arrow A in FIG. 15, the gas diffusion part 114 has a T-shape as shown in FIG. Alternatively, it has a triangular shape as shown in FIG. 17 and has a shape that widens toward the gas discharge portion 115.

特開平11−33448号公報JP, 11-33448, A

ところで、ガス吐出部の開口端における加圧ガスの流速が、所定の流速より小さくなると、ダストが開口端より侵入し、保護レンズが汚れるため、幅方向のいずれの位置においてもその流速以上の流速となるようにする必要がある。   By the way, when the flow velocity of the pressurized gas at the opening end of the gas discharge portion becomes smaller than the predetermined flow velocity, dust invades from the opening end and the protective lens becomes dirty. Need to be

しかし、上記特許文献1や図16、図17に示すような、ガス導入部からガス吐出部に向けて広がるような形状のカバー部材を有する汚れ付着防止装置では、ガス吐出部の開口端での加圧ガスの幅方向の流速差が大きく、ガス吐出部の全ての位置において、ダストの侵入を防止して保護レンズの汚れを有効に防止するために、所定のガス流速以上とするには、多量の加圧ガスが必要となってしまうことが判明した。   However, in the dirt adhesion preventing device having the cover member having a shape that spreads from the gas introduction part toward the gas discharge part as shown in the above-mentioned Patent Document 1 and FIGS. 16 and 17, at the opening end of the gas discharge part. The flow velocity difference in the width direction of the pressurized gas is large, and in order to prevent dust from entering and effectively prevent the protective lens from being soiled at all positions of the gas discharge part, in order to achieve a predetermined gas flow velocity or more, It has been found that a large amount of pressurized gas is required.

したがって、本発明は、ガス吐出部でのガスの流速をより均一化し、より少量の供給ガス量で、保護レンズに汚れが付着することを有効に防止することができる、汚れ付着防止装置およびそれを用いたセンサユニットを提供することを課題とする。   Therefore, the present invention makes the gas flow rate in the gas discharge part more uniform, and can effectively prevent dirt from adhering to the protective lens with a smaller amount of supply gas, and a dirt adhesion prevention device and the same. It is an object to provide a sensor unit using the.

上記課題を解決するため、本発明は、以下の(1)〜(10)を提供する。   In order to solve the above problems, the present invention provides the following (1) to (10).

(1)ダストが存在する環境下で用いられるセンサの検出信号を発信または受信する面を覆うように設けられた保護レンズへの汚れ付着を防止する、汚れ付着防止装置であって、
保護レンズを覆いガス流路が形成されるカバー部材と、
前記カバー部材の内部にガスを供給するガス供給部と
を備え、
前記カバー部材は、
前記保護レンズから離れた位置に前記ガス供給部からガスが導入されるガス導入部と、
導入されたガスを前記保護レンズの方向に拡散させるガス拡散部と、
前記保護レンズに対応する位置で、前記ガス拡散部からの前記ガスを前記保護レンズから離れる方向に吐出するガス吐出部とを有し、
前記ガス拡散部は、直方体状をなしていることを特徴とする汚れ付着防止装置。
(1) A dirt adhesion prevention device for preventing dirt adhesion to a protective lens provided so as to cover a surface of a sensor used in an environment where dust is present to transmit or receive a detection signal,
A cover member that covers the protective lens and in which a gas flow path is formed,
A gas supply unit for supplying gas to the inside of the cover member,
The cover member is
A gas introduction unit in which gas is introduced from the gas supply unit at a position away from the protective lens,
A gas diffusion part for diffusing the introduced gas in the direction of the protective lens;
A gas discharge part for discharging the gas from the gas diffusion part in a direction away from the protection lens at a position corresponding to the protection lens,
The dirt adhesion preventing device, wherein the gas diffusion portion has a rectangular parallelepiped shape.

(2)前記ガス拡散部の幅と、前記ガス吐出部の幅とが同じ長さであることを特徴とする(1)に記載の汚れ付着防止装置。   (2) The dirt adhesion preventing device according to (1), wherein the width of the gas diffusion portion is the same as the width of the gas discharge portion.

(3)前記ガス導入部から前記ガス拡散部と前記ガス吐出部との接続部までの長さhと、前記ガス吐出部の幅wとの比であるh/wが、h/w>0.4を満たすことを特徴とする(2)に記載の汚れ付着防止装置。   (3) h / w, which is the ratio of the length w from the gas introduction part to the connection part between the gas diffusion part and the gas discharge part and the width w of the gas discharge part, is h / w> 0. .4 is satisfied, The stain | pollution | contamination adhesion prevention apparatus as described in (2) characterized by the above-mentioned.

(4)前記ガス吐出部の開口端での平均流速をVave、ガス吐出部の幅w、ガス吐出部の厚さt′、等価直径De=4×w×t′/(2×w+2×t′)、ガスの動粘性係数νを用いてVave×De/νで表されるレイノルズ数Reが30000以上であることを特徴とする(2)または(3)に記載の汚れ付着防止装置。 (4) The average flow velocity at the open end of the gas discharge part is V ave , the width w of the gas discharge part, the thickness t ′ of the gas discharge part, and the equivalent diameter De = 4 × w × t ′ / (2 × w + 2 × t ′), the Reynolds number Re represented by V ave × De / ν using the kinematic viscosity coefficient ν of the gas is 30000 or more, and the stain adhesion preventing device according to (2) or (3) ..

(5)前記ガス拡散部の厚さtと前記ガス吐出部の厚さt′との比であるt/t′が、t/t′>1を満たすことを特徴とする(2)から(4)のいずれかに記載の汚れ付着防止装置。   (5) The ratio t / t ', which is the ratio of the thickness t of the gas diffusion portion to the thickness t'of the gas discharge portion, satisfies t / t'> 1. (2) From (2) The dirt adhesion prevention device according to any one of 4).

(6)前記ガス導入部の中心から前記ガス拡散部と前記ガス吐出部との接続部までの長さhと、前記ガス拡散部の底面からガス拡散部とガス吐出部との接続部までの長さjとの比であるh/jが、0.5<h/j<0.8を満たすことを特徴とする(2)から(5)のいずれかに記載のレンズ汚れ防止装置。   (6) Length h from the center of the gas introduction part to the connection part between the gas diffusion part and the gas discharge part, and from the bottom surface of the gas diffusion part to the connection part between the gas diffusion part and the gas discharge part The lens stain prevention device according to any of (2) to (5), wherein h / j, which is the ratio to the length j, satisfies 0.5 <h / j <0.8.

(7)前記ガス吐出部は、直方体状をなしていることを特徴とする(2)から(6)のいずれかに記載の汚れ付着防止装置。   (7) The dirt adhesion prevention device according to any one of (2) to (6), wherein the gas discharge part has a rectangular parallelepiped shape.

(8)検出信号を発信または受信するセンサと、
前記センサの検出信号を発信または受信する面を覆うように設けられた保護レンズと、
前記保護レンズへの汚れの付着を防止する、(1)から(7)のいずれかに記載の汚れ付着防止装置と
を有し、ダストが存在する環境下で用いられることを特徴とするセンサユニット。
(8) A sensor that transmits or receives a detection signal,
A protective lens provided so as to cover the surface that transmits or receives the detection signal of the sensor,
A sensor unit having the dirt adhesion preventing device according to any one of (1) to (7), which prevents dirt from adhering to the protective lens, and is used in an environment where dust is present. ..

(9)前記センサは、検出信号が光である光学センサであることを特徴とする(8)に記載のセンサユニット。   (9) The sensor unit according to (8), wherein the sensor is an optical sensor whose detection signal is light.

(10)前記センサは、検出信号が超音波である超音波センサであることを特徴とする(8)に記載のセンサユニット。   (10) The sensor unit according to (8), wherein the sensor is an ultrasonic sensor whose detection signal is an ultrasonic wave.

本発明によれば、ガス吐出部でのガスの流速差をより均一化し、より少量の供給ガス量で、ダストが存在する環境下における保護レンズへの汚れの付着を有効に防止することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the difference in the flow velocity of the gas in a gas discharge part can be made more uniform, and the adhesion of dirt to a protective lens in the environment where dust exists can be effectively prevented with a smaller amount of supply gas. ..

本発明の一実施形態に係る汚れ付着防止装置を含むセンサユニットを示す斜視図である。It is a perspective view showing a sensor unit including a dirt adhesion prevention device concerning one embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態に係る汚れ付着防止装置を含むセンサユニットを示す縦断面図である。It is a longitudinal section showing a sensor unit containing a dirt adhesion prevention device concerning one embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態に係る汚れ付着防止装置のカバー部材を示す正面図および側面図であり、(a)が正面図、(b)が側面図である。It is a front view and a side view showing a cover member of a dirt adhesion prevention device concerning one embodiment of the present invention, (a) is a front view and (b) is a side view. ガス拡散部の形状が図5に示すT字型の場合および図6に示す三角形の場合における、ガス吐出部の開口端のX軸上での加圧ガスの流速分布を示す図である。FIG. 7 is a diagram showing a flow velocity distribution of the pressurized gas on the X-axis at the opening end of the gas discharge part when the shape of the gas diffusion part is the T-shape shown in FIG. 5 and the triangle shown in FIG. 6. 従来のT字型のガス拡散部を有するカバー部材を示す正面図および側面図であり、(a)が正面図、(b)が側面図である。It is the front view and side view which show the cover member which has the conventional T-shaped gas diffusion part, (a) is a front view and (b) is a side view. 従来の三角形状のガス拡散部を有するカバー部材を示す正面図および側面図であり、(a)が正面図、(b)が側面図である。It is the front view and side view which show the conventional cover member which has a triangular-shaped gas diffusion part, (a) is a front view, (b) is a side view. 流速比rが小さいときと大きいときの流速分布と、それらのときの最低流速Vminを限界最低流速以上にするための平均流速を示す図である。It is a figure which shows the flow velocity distribution when the flow velocity ratio r is small, and when it is large, and the average flow velocity for making the minimum flow velocity V min at that time more than a minimum minimum flow velocity. ガス拡散部の形状が本発明の直方体状と従来例の三角形状の場合におけるh/wの値とrの値(%表示)との関係を示す図である。It is a figure which shows the relationship between the value of h / w and the value of r (% display) in case the shape of a gas diffusion part is the rectangular parallelepiped shape of this invention, and the triangular shape of a prior art example. レイノルズ数Reとrの値(%表示)との関係を示す図である。It is a figure which shows the relationship between the Reynolds number Re and the value of r (% display). t/t′の値とrの値(%表示)との関係を示す図である。It is a figure which shows the relationship between the value of t / t 'and the value of r (% display). 種々のjの値のときのh/jの値とrの値(%表示)との関係を示す図である。It is a figure which shows the relationship between the value of h and the value of r (% display) at various values of j. 鋼板に溶融金属めっきを行う装置を示す図である。It is a figure which shows the apparatus which performs a molten metal plating on a steel plate. 鋼板に溶融金属めっきを行う装置に用いられる発光素子と受光素子とからなる光学センサを用いたエッジセンサを示す図である。It is a figure which shows the edge sensor using the optical sensor which consists of a light emitting element and a light receiving element used for the apparatus which carries out the molten metal plating to a steel plate. 特許文献1の光電管レンズの汚れ付着防止装置を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the dirt adhesion prevention apparatus of the photoelectric tube lens of patent document 1. 溶融金属めっきを行う装置に用いられている従来へのレンズの汚れ付着防止装置を示す側面図である。It is a side view which shows the conventional dirt attachment prevention apparatus of the lens used for the apparatus which performs a molten metal plating. 溶融金属めっきを行う装置に用いられている、ガス拡散部がT字型の従来のレンズへの汚れ付着防止装置のカバー部材を示す正面図である。FIG. 11 is a front view showing a cover member of a conventional device for preventing dirt from adhering to a lens having a T-shaped gas diffusion portion, which is used in an apparatus for performing molten metal plating. 溶融金属めっきを行う装置に用いられている、ガス拡散部が三角形状の従来のレンズへの汚れ付着防止装置のカバー部材を示す正面図である。FIG. 11 is a front view showing a cover member of a conventional device for preventing dirt from adhering to a lens having a triangular gas diffusion portion, which is used in an apparatus for performing molten metal plating.

以下、添付図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
図1は本発明の一実施形態に係る汚れ付着防止装置を含むセンサユニットを示す斜視図、図2はその縦断面図、図3は本発明の一実施形態に係る汚れ付着防止装置のカバー部材を示す正面図および側面図である。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings.
FIG. 1 is a perspective view showing a sensor unit including a dirt adhesion preventing device according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a longitudinal sectional view of the sensor unit, and FIG. 3 is a cover member of the dirt adhesion preventing device according to an embodiment of the present invention. It is a front view and a side view showing.

センサユニット1は、センサ2と、センサ2を保護する保護レンズ3と、汚れ付着防止装置4とを有している。   The sensor unit 1 includes a sensor 2, a protective lens 3 that protects the sensor 2, and a stain adhesion prevention device 4.

センサユニット1は、物体やマーク等の検出対象を検出するためのものであり、ダストが存在する環境下で用いられる。例えば、溶融亜鉛めっき等の溶融金属めっきを行う装置における鋼板のエッジを検出するエッジセンサに用いることができる。センサ2としては光学センサを好適に用いることができる。センサユニット1を、溶融金属めっきを行う装置におけるエッジセンサとして用いる場合は、光学センサとして発光素子または受光素子を用いる。そして、光学センサとして発光素子を用いたセンサユニット1と、光学センサとして受光素子を用いたセンサユニット1を一対としてエッジセンサを構成する。光学センサとしては反射型のものであってもよい。また、センサ2としては、超音波センサを用いることもできる。   The sensor unit 1 is for detecting a detection target such as an object or a mark, and is used in an environment where dust is present. For example, it can be used for an edge sensor that detects an edge of a steel plate in an apparatus that performs hot metal plating such as hot dip galvanizing. An optical sensor can be preferably used as the sensor 2. When the sensor unit 1 is used as an edge sensor in an apparatus for performing molten metal plating, a light emitting element or a light receiving element is used as an optical sensor. Then, the sensor unit 1 using a light emitting element as an optical sensor and the sensor unit 1 using a light receiving element as an optical sensor are paired to form an edge sensor. The optical sensor may be of a reflective type. An ultrasonic sensor may be used as the sensor 2.

保護レンズ3は、センサ2の、検出信号を発信または受信する面を覆うように設けられている。ここで、検出信号とは、物体やマーク等の検出対象を検出するために使用され、センサユニット1から発信される、またはセンサユニット1から発信された後に検出対象に反射してセンサユニット1で受信される、あるいは発信側センサユニットから発信されて受信側センサユニットで直接受信される信号を指し、具体的には、光、超音波等が例示される。   The protective lens 3 is provided so as to cover the surface of the sensor 2 that transmits or receives a detection signal. Here, the detection signal is used to detect a detection target such as an object or a mark, and is transmitted from the sensor unit 1, or is reflected by the detection target after being transmitted from the sensor unit 1 and is detected by the sensor unit 1. It refers to a signal that is received, or that is transmitted from the transmission side sensor unit and directly received by the reception side sensor unit, and specifically, light, ultrasonic waves, etc. are exemplified.

汚れ付着防止装置4は、例えば、溶融金属めっきの際に発生する金属ダスト等のダストが保護レンズ3に付着することを防止するためのものであり、保護レンズ3を覆い加圧ガスの流路が形成されるカバー部材11と、カバー部材11の内部にガス、例えば加圧ガスを供給するガス供給部12とを有する。   The dirt adhesion prevention device 4 is for preventing dust such as metal dust generated during molten metal plating from adhering to the protective lens 3, and covers the protective lens 3 and provides a flow path for a pressurized gas. It has a cover member 11 in which is formed and a gas supply unit 12 for supplying a gas, for example, a pressurized gas, inside the cover member 11.

カバー部材11は、保護レンズ3から離れた位置に設けられ、加圧ガス供給部12からの加圧ガスが導入されるガス導入部21と、加圧ガスを保護レンズ3の方向に拡散させるガス拡散部22と、保護レンズ3に対応する位置で、ガス拡散部22からの加圧ガスを保護レンズ3から離れる方向に吐出するガス吐出部23とを有している。   The cover member 11 is provided at a position apart from the protective lens 3, and a gas introducing portion 21 into which the pressurized gas from the pressurized gas supply portion 12 is introduced and a gas for diffusing the pressurized gas toward the protective lens 3. The diffusion unit 22 and the gas ejection unit 23 that ejects the pressurized gas from the gas diffusion unit 22 in a direction away from the protection lens 3 are provided at positions corresponding to the protection lens 3.

ガス導入部21は円筒状で図示されるが、その他の形状でもよい。また、ガス拡散部22は、直方体状をなしており、幅がw、厚さがtである。また、ガス導入部21の中心からガス拡散部22とガス吐出部23との接続部までの長さがhである。さらに、ガス拡散部22の底面24からガス拡散部22とガス吐出部23との接続部までの長さがjである。ガス吐出部23も直方体状をなしており、幅がガス拡散部22と同様のwであり、厚さがt′、ガス拡散部22からの突出長さがlである。ガス吐出部23の開口端23aは長方形をなし、その開口端23aから加圧ガスが噴き出される。   Although the gas introduction part 21 is illustrated as a cylindrical shape, it may have another shape. The gas diffusion portion 22 has a rectangular parallelepiped shape, and has a width w and a thickness t. Further, the length from the center of the gas introduction part 21 to the connection part between the gas diffusion part 22 and the gas discharge part 23 is h. Further, the length from the bottom surface 24 of the gas diffusion portion 22 to the connecting portion between the gas diffusion portion 22 and the gas ejection portion 23 is j. The gas discharge part 23 also has a rectangular parallelepiped shape, the width is w similar to the gas diffusion part 22, the thickness is t ′, and the projection length from the gas diffusion part 22 is l. The opening end 23a of the gas discharge part 23 has a rectangular shape, and the pressurized gas is ejected from the opening end 23a.

加圧ガス供給部12は、空気、窒素等のガスをコンプレッサー等で加圧して加圧ガスとして供給する。   The pressurized gas supply unit 12 pressurizes a gas such as air or nitrogen with a compressor or the like and supplies it as a pressurized gas.

このように構成されたセンサユニット1では、センサ2による光や超音波等の検出信号の発信または受信の際に、検出信号を、保護レンズ3および汚れ付着防止装置4のカバー部材11のガス吐出部23を通過させて発信するか、または、ガス吐出部23および保護レンズ3を通過させて受信する。   In the sensor unit 1 configured as described above, when the sensor 2 transmits or receives a detection signal such as light or ultrasonic wave, the detection signal is discharged from the protective lens 3 and the cover member 11 of the dirt adhesion prevention device 4 by gas discharge. The signal is transmitted by passing through the portion 23 or is received by passing through the gas discharge portion 23 and the protective lens 3.

このとき、センサユニット1は、ダストが存在する環境下で使用されるので、保護レンズ3にダストが付着して保護レンズ3が汚れないように、汚れ付着防止装置4により保護レンズ3に汚れが付着することを防止する。具体的には、加圧ガス供給部12から加圧ガスをカバー部材11に供給する。加圧ガスは、カバー部材11のガス導入部21から導入され、ガス拡散部22内を保護レンズの方向に拡散し、保護レンズ3に対応する位置でガス吐出部23の開口端23aから吐出される。このように加圧ガスがガス吐出部23の開口端23aから吐出されることにより、ダストがガス吐出部23から侵入して保護レンズ3に付着することを防止することができる。   At this time, since the sensor unit 1 is used in an environment in which dust is present, the dirt adhesion prevention device 4 stains the protection lens 3 so that the dust does not adhere to the protection lens 3 and the protection lens 3 does not become dirty. Prevents adhesion. Specifically, the pressurized gas is supplied from the pressurized gas supply unit 12 to the cover member 11. The pressurized gas is introduced from the gas introduction part 21 of the cover member 11, diffuses in the gas diffusion part 22 toward the protective lens, and is discharged from the opening end 23 a of the gas discharge part 23 at a position corresponding to the protective lens 3. It By discharging the pressurized gas from the opening end 23a of the gas discharge part 23 in this way, it is possible to prevent dust from entering from the gas discharge part 23 and adhering to the protective lens 3.

しかし、ガス拡散部として従来のT字型のものおよび三角形状のものを用いた場合、ガス吐出部でのガスの流速が不均一になることが判明した。   However, it has been found that when the conventional T-shaped one and the triangular one are used as the gas diffusion portion, the flow velocity of the gas in the gas discharge portion becomes non-uniform.

図4は、ガス拡散部の形状が図5に示すT字型の場合および図6に示す三角形の場合の、ガス吐出部23の開口端23aのX軸上での加圧ガスの流速分布を示す図である。図5および図6に示すようにX軸は開口端23aの中心線上を通る直線である。   FIG. 4 shows the flow velocity distribution of the pressurized gas on the X-axis of the opening end 23a of the gas discharge part 23 when the shape of the gas diffusion part is T-shaped as shown in FIG. 5 and when it is triangular as shown in FIG. FIG. As shown in FIGS. 5 and 6, the X axis is a straight line passing through the center line of the opening end 23a.

図4に示すように、図5の従来のT字型のガス拡散部22′の場合、ガス吐出部中央部の流速は端部より速くなる。これは、ガス拡散部22′が広くなる段差部において加圧ガスが外側に広がりにくくなるためと考えられる。また、図6の三角形のガス拡散部22″の場合、ガス吐出部端部の流速が中央部より速くなる。これは、加圧ガス導入部21からガス拡散部22″に供給された加圧ガスが、V字状の壁部によりガスが外側に広がるのが妨げられるためと考えられる。このように、従来のT字型のガス拡散部および三角形状のガス拡散部を用いた場合、ガス吐出部でのガスの流速差が大きく、流速が不均一になる。   As shown in FIG. 4, in the case of the conventional T-shaped gas diffusion portion 22 'of FIG. 5, the flow velocity at the central portion of the gas discharge portion is faster than that at the end portion. It is considered that this is because it is difficult for the pressurized gas to spread to the outside in the step portion where the gas diffusion portion 22 'becomes wider. Further, in the case of the triangular gas diffusion portion 22 ″ of FIG. 6, the flow velocity at the end of the gas discharge portion is higher than that at the central portion. This is because the pressure supplied from the pressurized gas introduction portion 21 to the gas diffusion portion 22 ″ is increased. It is considered that the V-shaped wall portion prevents the gas from spreading outward. As described above, when the conventional T-shaped gas diffusing portion and the triangular gas diffusing portion are used, the gas flow velocity difference at the gas discharge portion is large and the flow velocity becomes non-uniform.

ここで、ガス吐出部における平均流速をVave、ガス吐出部における最低流速をVminとし、流速比r=Vmin/Vaveと定義すると、流速比r=1の場合、VaveとVminは等しく、つまり全体として流速差がなく、一様な流速分布になる。また、流速比rが小さいほど、流速差が大きく、局所的に流速が小さくなる領域を有することを意味している。したがって、従来のT字型のガス拡散部22′および三角形のガス拡散部22″の場合、rが小さい状態である。 Here, when the average flow velocity in the gas discharge portion is V ave and the minimum flow velocity in the gas discharge portion is V min , and the flow velocity ratio r = V min / V ave is defined, when the flow velocity ratio r = 1, V ave and V min Are equal, that is, there is no flow velocity difference as a whole, and the flow velocity distribution is uniform. Further, the smaller the flow velocity ratio r is, the larger the flow velocity difference is, which means that there is a region where the flow velocity is locally reduced. Therefore, in the case of the conventional T-shaped gas diffusion portion 22 'and the triangular gas diffusion portion 22'', r is small.

一方、ガス吐出部23の開口端23aからの流速がある流速以下となると、ダストがガス吐出部の開口端23aより侵入し保護レンズ3が汚れる。その流速を図7に示すように限界最低流速とすると、保護レンズの汚れを防止するためには、最低流速Vminを限界最低流速を超える値とする必要があり、そのためには、平均流速を調整する必要がある。このとき平均流速は供給ガス量に比例する。ここで、図7に示すように、最低流速Vminを限界最低流速を超える値とするためには、流速差が大きいとき(rが小さいとき)は、流速差が小さいとき(rが大きいとき)に比べ、供給ガス量を多くして平均流速を速くする必要がある。 On the other hand, when the flow velocity from the opening end 23a of the gas discharge portion 23 becomes lower than a certain flow velocity, dust invades from the opening end 23a of the gas discharge portion and the protective lens 3 is soiled. Assuming that the flow velocity is the limit minimum flow velocity as shown in FIG. 7, the minimum flow velocity V min needs to be a value exceeding the limit minimum flow velocity in order to prevent the protective lens from being contaminated. Need to be adjusted. At this time, the average flow velocity is proportional to the supply gas amount. Here, as shown in FIG. 7, in order to set the minimum flow velocity V min to a value exceeding the limit minimum flow velocity, when the flow velocity difference is large (when r is small), when the flow velocity difference is small (when r is large). It is necessary to increase the amount of supply gas and to increase the average flow velocity compared with (1).

したがって、流速差が大きいガス拡散部の形状がT字型の場合および三角形の場合は、保護レンズ3の汚れを防止するために多量の供給ガスが必要となってしまう。   Therefore, when the shape of the gas diffusion portion having a large difference in flow velocity is T-shaped or triangular, a large amount of supply gas is required to prevent the protective lens 3 from being soiled.

これに対して、本実施形態では、ガス拡散部22の形状を直方体状とする。これにより、T字型の場合のように段差部において加圧ガスが外側に広がりにくくなることや、三角形の場合のようにV字状の壁部によりガスの外側への広がりが妨げられることがなく、ガス吐出部での流速をより均一化することができる。このため、より少量の供給ガスで効率的に保護レンズ3の汚れを防止することができる。   On the other hand, in the present embodiment, the shape of the gas diffusion portion 22 is a rectangular parallelepiped. As a result, it is difficult for the pressurized gas to spread to the outside at the stepped portion as in the case of the T-shape, and the spread of gas to the outside is prevented by the V-shaped wall portion as in the case of the triangle. Therefore, the flow velocity at the gas discharge portion can be made more uniform. Therefore, it is possible to efficiently prevent the protective lens 3 from being soiled with a smaller amount of the supplied gas.

上述した流速比rの値(Vmin/Vaveの値)は、大きいほど(1に近いほど)好ましいが、0.5よりも大きければよい。これにより、効率的に保護レンズの汚れを防止することができる。rが0.5以下であると、流速差が大きくなるため、流速が小さい部分では、汚れが付着しやすくなる。これは、流速の小さい部分ではダストがガスから受ける力よりも、ダスト自体の慣性力の方が大きくなるためである。 It is preferable that the value of the flow velocity ratio r (value of V min / V ave ) described above is larger (closer to 1), but may be larger than 0.5. As a result, it is possible to efficiently prevent the protective lens from being soiled. When r is 0.5 or less, the difference in the flow velocities becomes large, so that dirt easily adheres to the portion where the flow velocities are small. This is because the inertial force of the dust itself is larger than the force that the dust receives from the gas in the portion where the flow velocity is low.

rの値を大きくしてガス吐出部の開口端における流速差を小さくするためには、ガス導入部21の中心からガス拡散部22とガス吐出部23との接続部までの長さhとガス吐出部の幅wとの比(h/w)を大きくすることが好ましい。これは、ガス拡散部22に流入した加圧ガスは徐々にガス拡散部22内で拡散し、均一な流れ場となる必要があるが、そのためにはガス吐出部23の幅wに対応した拡散距離(ガス導入部21の中心からガス拡散部22の上端までの高さ長さh)が必要となるからである。   In order to increase the value of r and reduce the flow velocity difference at the open end of the gas discharge part, the length h from the center of the gas introduction part 21 to the connection part between the gas diffusion part 22 and the gas discharge part 23 and the gas It is preferable to increase the ratio (h / w) to the width w of the ejection portion. This is because the pressurized gas that has flowed into the gas diffusion portion 22 gradually diffuses in the gas diffusion portion 22 and needs to become a uniform flow field. For that purpose, diffusion corresponding to the width w of the gas discharge portion 23 is required. This is because a distance (height length h from the center of the gas introduction part 21 to the upper end of the gas diffusion part 22) is required.

図8は、ガス拡散部の形状が本発明の直方体状と従来例の三角形状の場合におけるh/wの値とrの値(%表示)との関係を示す図である。図8から、r>50(%)を満たすために、ガス拡散部22が直方体状である必要があり、また、h/w>0.4が好ましいことがわかる。   FIG. 8 is a diagram showing the relationship between the value of h / w and the value of r (expressed as a percentage) when the shape of the gas diffusion portion is the rectangular parallelepiped shape of the present invention and the conventional triangular shape. From FIG. 8, it is understood that the gas diffusion portion 22 needs to have a rectangular parallelepiped shape to satisfy r> 50 (%), and h / w> 0.4 is preferable.

また、rの値は、ガス吐出部23の開口端23aでの平均流速Vave、ガス吐出部の幅w、ガス吐出部の厚さt′、等価直径De=4×w×t′/(2×w+2×t′)、加圧ガスの動粘性係数νを用いてVave×De/νで表されるレイノルズ数Reに関係しており、rの値を大きくしてガス吐出部の開口端の流速差を小さくするためには、レイノルズ数Reを所定の値以上にする必要がある。 The value of r is the average flow velocity V ave at the opening end 23a of the gas discharge part 23, the width w of the gas discharge part, the thickness t ′ of the gas discharge part, and the equivalent diameter De = 4 × w × t ′ / ( 2 × w + 2 × t ′), which is related to the Reynolds number Re expressed by V ave × De / ν by using the kinematic viscosity coefficient ν of the pressurized gas. In order to reduce the flow velocity difference at the end, the Reynolds number Re needs to be equal to or greater than a predetermined value.

図9は、レイノルズ数Reとrの値(%表示)との関係を示す図である。図9から、レイノルズ数Reが30000以上のときにr>50(%)となることがわかる。したがって、レイノルズ数Reが30000以上であることが好ましい。溶融亜鉛めっき装置等において、加圧ガスとしては一般的に空気や窒素が用いられ動粘性係数νはほぼ決まった値である。一方、流速やガス吐出部の等価直径はその値が小さくなるとガス吐出部の開口端で流速差が生じるため、このようにレイノルズ数Reが所定値以上であることが好ましいのである。   FIG. 9 is a diagram showing the relationship between the Reynolds number Re and the value of r (displayed in%). From FIG. 9, it can be seen that r> 50 (%) when the Reynolds number Re is 30,000 or more. Therefore, the Reynolds number Re is preferably 30,000 or more. In hot dip galvanizing equipment and the like, air or nitrogen is generally used as a pressurized gas, and the kinematic viscosity coefficient ν is a substantially fixed value. On the other hand, the Reynolds number Re is preferably equal to or more than the predetermined value because the flow velocity and the equivalent diameter of the gas discharge portion have a difference in flow velocity at the opening end of the gas discharge portion when the value becomes small.

さらに、rの値は、ガス拡散部22の厚さtとガス吐出部23の厚さt′との比、t/t′にも関係している。図10は、t/t′の値とrの値(%表示)との関係を示す図である。図10から、t/t′>1であればr>50(%)となることがわかる。したがって、t/t′>1が好ましい。ガス吐出部の厚さt′が加圧ガス拡散部の厚さtよりも大きくなると、ガス吐出部の厚さ方向(鉛直方向)の流速差が生じてしまう。   Furthermore, the value of r is also related to the ratio of the thickness t of the gas diffusion portion 22 to the thickness t ′ of the gas discharge portion 23, t / t ′. FIG. 10 is a diagram showing the relationship between the value of t / t 'and the value of r (expressed in%). It can be seen from FIG. 10 that if t / t ′> 1, then r> 50 (%). Therefore, t / t '> 1 is preferable. If the thickness t ′ of the gas discharge portion becomes larger than the thickness t of the pressurized gas diffusion portion, a flow velocity difference in the thickness direction (vertical direction) of the gas discharge portion will occur.

さらにまた、rの値はガス導入部21の中心からガス拡散部22とガス吐出部23との接続部までの長さhと、ガス拡散部の底面24からガス拡散部22からガス吐出部23までの長さjとの比(h/j)とも関係している。図11は、種々のjの値(図11ではwで規格化したjの値を示している)のときのh/jの値とrの値(%表示)との関係を示す図である。図11からr>50%とするためには0.5<h/j<0.8であることが望ましいことがわかる。h/jが0.8以上となると加圧ガス供給部とガス拡散部の面24が近くなることで周辺に流れる加圧ガス量が増加する。そのため、ガス吐出部の開口端で流速差が生じてしまう。   Furthermore, the value of r is the length h from the center of the gas introduction part 21 to the connection part between the gas diffusion part 22 and the gas ejection part 23, and the bottom face 24 of the gas diffusion part 22 to the gas ejection part 23. It is also related to the ratio (h / j) to the length j up to. FIG. 11 is a diagram showing the relationship between the value of h / j and the value of r (expressed in%) at various values of j (in FIG. 11, the value of j standardized by w is shown). .. From FIG. 11, it can be seen that 0.5 <h / j <0.8 is desirable for r> 50%. When h / j is 0.8 or more, the pressurized gas supply portion and the surface 24 of the gas diffusion portion are close to each other, so that the amount of pressurized gas flowing around increases. Therefore, a flow velocity difference occurs at the opening end of the gas discharge portion.

以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限らず本発明の技術思想の範囲内で種々変形可能である。例えば、上記実施形態では、溶融亜鉛めっき等の溶融金属めっきを行う装置に本発明を適用した場合を例にとって説明したが、これに限らず、ダストが存在する雰囲気でセンサによる検出を行う場合であれば適用可能である。また、上記実施形態ではカバー部材に加圧ガスを供給する場合を例にとって説明したが、加圧ガスに限らず、ガスであればよい。   Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments, but can be variously modified within the scope of the technical idea of the present invention. For example, in the above-described embodiment, the case where the present invention is applied to an apparatus that performs hot metal plating such as hot dip galvanizing has been described as an example, but the present invention is not limited to this, and when performing detection by a sensor in an atmosphere in which dust is present. If applicable, it is applicable. Further, in the above-described embodiment, the case where the pressurized gas is supplied to the cover member has been described as an example, but not limited to the pressurized gas, any gas may be used.

1 センサユニット
2 センサ
3 保護レンズ
4 汚れ付着防止装置
11 カバー部材
12 加圧ガス供給部(ガス供給部)
21 ガス導入部
22 ガス拡散部
23 ガス吐出部
23a 開口端
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Sensor unit 2 Sensor 3 Protective lens 4 Contamination prevention device 11 Cover member 12 Pressurized gas supply unit (gas supply unit)
21 gas introduction part 22 gas diffusion part 23 gas discharge part 23a open end

Claims (9)

ダストが存在する環境下で用いられるセンサの検出信号を発信または受信する面を覆うように設けられた保護レンズへの汚れ付着を防止する、汚れ付着防止装置であって、
前記保護レンズを覆いガス流路が形成されるカバー部材と、
前記カバー部材の内部にガスを供給するガス供給部と
を備え、
前記カバー部材は、
前記保護レンズから離れた位置に前記ガス供給部からガスが導入されるガス導入部と、
導入されたガスを前記保護レンズの方向に拡散させるガス拡散部と、
前記ガス拡散部からの前記ガスを吐出するガス吐出部とを有し、
前記ガス拡散部は、直方体状をなしており、
前記ガス拡散部の幅と、前記ガス吐出部の幅とが同じ長さであり、
前記保護レンズは、前記ガス拡散部の端部の壁部から前記ガス拡散部のガス流路に臨むように設けられ、前記ガス吐出部は、前記ガス拡散部の前記保護レンズが設けられた端部から、前記ガス拡散部のガス拡散方向と直交し、かつ前記保護レンズから離れる方向にガスを吐出することを特徴とする汚れ付着防止装置。
A dirt adhesion prevention device for preventing dirt adhesion to a protective lens provided so as to cover a surface for transmitting or receiving a detection signal of a sensor used in an environment where dust is present,
A cover member that covers the protective lens and in which a gas flow path is formed,
A gas supply unit for supplying gas to the inside of the cover member,
The cover member is
A gas introduction unit in which gas is introduced from the gas supply unit at a position away from the protective lens,
A gas diffusion part for diffusing the introduced gas in the direction of the protective lens;
A gas discharge part for discharging the gas from the gas diffusion part,
The gas diffusion portion has a rectangular parallelepiped shape,
The width of the gas diffusion portion and the width of the gas discharge portion are the same length,
The protective lens is provided so as to face a gas flow path of the gas diffusion portion from a wall portion of an end portion of the gas diffusion portion, and the gas discharge portion is an end of the gas diffusion portion where the protective lens is provided. A dirt adhesion preventing device, characterized in that gas is discharged from a portion in a direction orthogonal to the gas diffusion direction of the gas diffusion portion and away from the protective lens.
前記ガス導入部から前記ガス拡散部と前記ガス吐出部との接続部までの長さhと、前記ガス吐出部の幅wとの比であるh/wが、h/w>0.4を満たすことを特徴とする請求項に記載の汚れ付着防止装置。 The ratio h / w, which is the ratio of the length w from the gas introduction part to the connection part between the gas diffusion part and the gas discharge part and the width w of the gas discharge part, is h / w> 0.4. The dirt adhesion preventing device according to claim 1 , wherein the device is filled. 前記ガス吐出部の開口端での平均流速をVave、ガス吐出部の幅w、ガス吐出部の厚さt′、等価直径De=4×w×t′/(2×w+2×t′)、ガスの動粘性係数νを用いてVave×De/νで表されるレイノルズ数Reが30000以上であることを特徴とする請求項または請求項に記載の汚れ付着防止装置。 The average flow velocity at the open end of the gas discharge part is V ave , the width w of the gas discharge part, the thickness t ′ of the gas discharge part, and the equivalent diameter De = 4 × w × t ′ / (2 × w + 2 × t ′). The Reynolds number Re represented by V ave × De / ν using the kinematic viscosity coefficient ν of the gas is 30000 or more, and the stain adhesion preventing device according to claim 1 or 2 . 前記ガス拡散部の厚さtと前記ガス吐出部の厚さt′との比であるt/t′が、t/t′>1を満たすことを特徴とする請求項から請求項のいずれか1項に記載の汚れ付着防止装置。 The gas wherein the thickness t of the diffusion section ', which is the ratio of the t / t' thickness t of the gas discharge portion, claim 1, characterized in that satisfy t / t '> 1 of claim 3 The dirt adhesion prevention device as set forth in any one of claims. 前記ガス導入部の中心から前記ガス拡散部と前記ガス吐出部との接続部までの長さhと、前記ガス拡散部の底面からガス拡散部とガス吐出部との接続部までの長さjとの比であるh/jが、0.5<h/j<0.8を満たすことを特徴とする請求項から請求項のいずれか1項に記載のレンズ汚れ防止装置。 A length h from the center of the gas introduction part to the connection part between the gas diffusion part and the gas discharge part, and a length j from the bottom surface of the gas diffusion part to the connection part between the gas diffusion part and the gas discharge part. the ratio of the h / j is a lens contamination preventive device according to any one of claims 1 to 4, characterized in that satisfy 0.5 <h / j <0.8. 前記ガス吐出部は、直方体状をなしていることを特徴とする請求項から請求項のいずれか1項に記載の汚れ付着防止装置。 The gas discharge section, fouling prevention apparatus according to any one of claims 1 to 5, characterized in that a rectangular parallelepiped shape. 検出信号を発信または受信するセンサと、
前記センサの検出信号を発信または受信する面を覆うように設けられた保護レンズと、
前記保護レンズへの汚れの付着を防止する、請求項1から請求項のいずれか1項に記載の汚れ付着防止装置と
を有し、ダストが存在する環境下で用いられることを特徴とするセンサユニット。
A sensor that sends or receives a detection signal,
A protective lens provided so as to cover the surface that transmits or receives the detection signal of the sensor,
It has the dirt adhesion prevention device according to any one of claims 1 to 6 for preventing adhesion of dirt to the protective lens, and is used in an environment where dust is present. Sensor unit.
前記センサは、検出信号が光である光学センサであることを特徴とする請求項に記載のセンサユニット。 The sensor unit according to claim 7 , wherein the sensor is an optical sensor whose detection signal is light. 前記センサは、検出信号が超音波である超音波センサであることを特徴とする請求項に記載のセンサユニット。
The sensor unit according to claim 7 , wherein the sensor is an ultrasonic sensor whose detection signal is an ultrasonic wave.
JP2017240481A 2016-12-26 2017-12-15 Contamination prevention device and sensor unit using the same Active JP6696497B2 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016250715 2016-12-26
JP2016250715 2016-12-26

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2018103174A JP2018103174A (en) 2018-07-05
JP6696497B2 true JP6696497B2 (en) 2020-05-20

Family

ID=62785095

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2017240481A Active JP6696497B2 (en) 2016-12-26 2017-12-15 Contamination prevention device and sensor unit using the same

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6696497B2 (en)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102161719B1 (en) * 2019-04-15 2020-10-06 주식회사 뉴파워 프라즈마 Plasma reaction apparatus for measuring pressure
KR102208815B1 (en) * 2019-05-10 2021-01-28 주식회사 뉴파워 프라즈마 Control method of substrate processing system
JP7186911B1 (en) 2022-06-24 2022-12-09 山崎 明美 Equipment antifouling device
JP7241444B1 (en) 2022-11-08 2023-03-17 株式会社シンカグループ Measuring device

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05296929A (en) * 1992-04-22 1993-11-12 Mitsubishi Electric Corp Fume transmissivity measuring instrument
JPH06167670A (en) * 1992-11-27 1994-06-14 Toshiba Corp Air-cooled dustproof camera housing
JPH08213673A (en) * 1995-02-08 1996-08-20 Kubota Corp Optical device support structure

Also Published As

Publication number Publication date
JP2018103174A (en) 2018-07-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6696497B2 (en) Contamination prevention device and sensor unit using the same
US7188781B2 (en) Method and apparatus for detecting a liquid spray pattern
JPWO2003076117A1 (en) Method and apparatus for preventing fouling on optical components in laser processing machine
CN102649624B (en) Apparatus for coating and coating process
JP5550454B2 (en) Welding sensor
TW536441B (en) Machine tool, and coolant spouting condition detecting device thereof
CN101652230B (en) crash sensing device
CN107580633A (en) The conveying device and correlation technique that can be applied in laser peening operation
CN105408050B (en) Laser machining nozzle and the laser processing device for laser processing device
CN106944742A (en) Laser processing device, laser processing and method for measuring distance
CA3009318C (en) Liquid removal device and liquid removal method
US9573172B2 (en) Gas wiping method and gas wiping apparatus
US9708702B2 (en) Wiping device and hot dip coating apparatus using the same
US7417749B1 (en) Method and apparatus for protecting an optical transmission measurement when sensing transparent materials
JP3124726B2 (en) Optical window purging device
US9168553B2 (en) Device for collecting paint, lacquer and adhesive residues out of paint, lacquer, and adhesive guns, particularly guns connectable to a hose
KR20090073597A (en) Nozzle alarm system of pretreatment facility
JP2000328218A (en) Hot-dip metal plating method and apparatus
CN110426693A (en) Laser radar and vehicle with it
JPH0631216A (en) Detecting device for condition of nozzle of painting spray gun
KR101264637B1 (en) Measuring Apparatus
WO2025140793A1 (en) Sensor device and method for protecting a sensor device
JPH05280964A (en) Contamination preventing apparatus for radiation strip thickness gage
JP2010261060A (en) Manufacturing method of hot dipped steel sheet
JPH11295441A (en) Particle-detecting device

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20180724

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20190711

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20190723

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20190912

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20200107

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20200130

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20200324

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20200406

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6696497

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250