JP6696497B2 - 汚れ付着防止装置、およびそれを用いたセンサユニット - Google Patents

Description

本発明は、センサにより物体を検出する検出装置において、センサの保護のためのレンズに汚れが付着することを防止する汚れ付着防止装置、およびそれを用いたセンサユニットに関する。

鋼板に溶融金属めっき、例えば溶融亜鉛めっきを行う際には、図１２（ａ），（ｂ）に示すように、めっき槽１０１内の溶融亜鉛のような溶融金属（めっき浴）１０２内に連続的に鋼板１０３を浸漬させて、鋼板１０３に溶融金属を付着させた後、めっき槽１０１から鋼板１０３を鉛直方向に引き上げ、めっき槽１０１の上方で鋼板１０３の両面に対向して設けられた気体絞り装置（ガスワイピング装置）１０４から加圧ガスを吹き付けて、鋼板に付着した余分な溶融金属を除去し、所望のめっき付着量に調整する。

この場合に、鋼板１０３が常に最適な位置に保持されるように、鋼板１０３の位置制御が行われている。この時の鋼板の幅方向の位置の制御は、エッジセンサ１０５を用いたＥＰＣ（Ｅｄｇｅ Ｐｏｓｉｔｉｏｎ Ｃｏｎｔｒｏｌ）により行われる。ＥＰＣに用いられるエッジセンサ１０５としては、繰り返し精度が高い光学センサが多用されている。光学センサは、図１３に示すように発光素子１０５ａと受光素子１０５ｂとを有し、受光素子が発光素子からの信号を受け取るか否かによって鋼板１０３のエッジ部が検出される。

エッジセンサ１０５を構成する光学センサ（発光素子１０５ａおよび受光素子１０５ｂのそれぞれ）の手前には保護レンズが設置されている。この場合に、気体絞り装置（ガスワイピング装置）から鋼板に向けて加圧ガスが吹き付けられることにより除去された溶融金属の一部は、センサの周囲に金属ダストとして浮遊し、これが保護レンズに付着すると、保護レンズが汚れ、エッジセンサにより鋼板の位置を正確に検出することが困難となる場合がある。

このような問題は、溶融金属めっきを行う装置以外にも発生する。例えば、特許文献１には、自動車の塗装ラインでは、ボデーの車種や車型の判別を光電管を用いて行う際に、吹き付けられる塗料の一部が塗料ダストとして浮遊し、これが光電管を保護するレンズに付着すると正確な測定が行えなくなることが記載されている。特許文献１には、そのような問題を解決するために、図１４に示すような、レンズ１０６を遮蔽カバー１０７で覆い、遮蔽カバー１０７の内部に、加圧空気供給路１０９を介して加圧空気を供給し、遮蔽カバー１０７の開口端１０７ａに向けて加圧空気を流して、ダスト１０８がレンズ１０６に付着することを防止する光電管レンズの汚れ付着防止装置が開示されている。そして、特許文献１では、遮蔽カバー１０７に拡径部を設け、開口端１０７ａを最大径部とすることにより、塗料ダストなどの浮遊物の遮蔽カバー内部への巻き込みを防止できるとしている。

溶融金属めっきを行う装置においても、同様のレンズへの汚れ付着防止装置が用いられている。例えば、側面図である図１５に示すように、エッジセンサを保護する保護レンズ１１０を覆い加圧ガスの流路となるカバー部材１１１と、カバー部材１１１の内部に加圧ガスを供給する加圧ガス供給部１１２とを有し、カバー部材１１１は、保護レンズ１１０から離れた位置に設けられたガス導入部１１３と、加圧ガスを保護レンズ１１０の方向に拡散させるガス拡散部１１４と、保護レンズ１１０に対応する位置で加圧ガスを吐出するガス吐出部１１５を有しており、図１５の矢印Ａ方向から見たときに、ガス拡散部１１４が、図１６に示すようなＴ字型や、図１７に示すような三角形をなしており、ガス吐出部１１５に向けて広がるような形状を有している。

特開平１１−３３４４８号公報

ところで、ガス吐出部の開口端における加圧ガスの流速が、所定の流速より小さくなると、ダストが開口端より侵入し、保護レンズが汚れるため、幅方向のいずれの位置においてもその流速以上の流速となるようにする必要がある。

しかし、上記特許文献１や図１６、図１７に示すような、ガス導入部からガス吐出部に向けて広がるような形状のカバー部材を有する汚れ付着防止装置では、ガス吐出部の開口端での加圧ガスの幅方向の流速差が大きく、ガス吐出部の全ての位置において、ダストの侵入を防止して保護レンズの汚れを有効に防止するために、所定のガス流速以上とするには、多量の加圧ガスが必要となってしまうことが判明した。

したがって、本発明は、ガス吐出部でのガスの流速をより均一化し、より少量の供給ガス量で、保護レンズに汚れが付着することを有効に防止することができる、汚れ付着防止装置およびそれを用いたセンサユニットを提供することを課題とする。

上記課題を解決するため、本発明は、以下の（１）〜（１０）を提供する。

（１）ダストが存在する環境下で用いられるセンサの検出信号を発信または受信する面を覆うように設けられた保護レンズへの汚れ付着を防止する、汚れ付着防止装置であって、
保護レンズを覆いガス流路が形成されるカバー部材と、
前記カバー部材の内部にガスを供給するガス供給部と
を備え、
前記カバー部材は、
前記保護レンズから離れた位置に前記ガス供給部からガスが導入されるガス導入部と、
導入されたガスを前記保護レンズの方向に拡散させるガス拡散部と、
前記保護レンズに対応する位置で、前記ガス拡散部からの前記ガスを前記保護レンズから離れる方向に吐出するガス吐出部とを有し、
前記ガス拡散部は、直方体状をなしていることを特徴とする汚れ付着防止装置。

（２）前記ガス拡散部の幅と、前記ガス吐出部の幅とが同じ長さであることを特徴とする（１）に記載の汚れ付着防止装置。

（３）前記ガス導入部から前記ガス拡散部と前記ガス吐出部との接続部までの長さｈと、前記ガス吐出部の幅ｗとの比であるｈ／ｗが、ｈ／ｗ＞０．４を満たすことを特徴とする（２）に記載の汚れ付着防止装置。

（４）前記ガス吐出部の開口端での平均流速をＶ_ａｖｅ、ガス吐出部の幅ｗ、ガス吐出部の厚さｔ′、等価直径Ｄｅ＝４×ｗ×ｔ′／（２×ｗ＋２×ｔ′）、ガスの動粘性係数νを用いてＶ_ａｖｅ×Ｄｅ／νで表されるレイノルズ数Ｒｅが３００００以上であることを特徴とする（２）または（３）に記載の汚れ付着防止装置。

（５）前記ガス拡散部の厚さｔと前記ガス吐出部の厚さｔ′との比であるｔ／ｔ′が、ｔ／ｔ′＞１を満たすことを特徴とする（２）から（４）のいずれかに記載の汚れ付着防止装置。

（６）前記ガス導入部の中心から前記ガス拡散部と前記ガス吐出部との接続部までの長さｈと、前記ガス拡散部の底面からガス拡散部とガス吐出部との接続部までの長さｊとの比であるｈ／ｊが、０．５＜ｈ／ｊ＜０．８を満たすことを特徴とする（２）から（５）のいずれかに記載のレンズ汚れ防止装置。

（７）前記ガス吐出部は、直方体状をなしていることを特徴とする（２）から（６）のいずれかに記載の汚れ付着防止装置。

（８）検出信号を発信または受信するセンサと、
前記センサの検出信号を発信または受信する面を覆うように設けられた保護レンズと、
前記保護レンズへの汚れの付着を防止する、（１）から（７）のいずれかに記載の汚れ付着防止装置と
を有し、ダストが存在する環境下で用いられることを特徴とするセンサユニット。

（９）前記センサは、検出信号が光である光学センサであることを特徴とする（８）に記載のセンサユニット。

（１０）前記センサは、検出信号が超音波である超音波センサであることを特徴とする（８）に記載のセンサユニット。

本発明によれば、ガス吐出部でのガスの流速差をより均一化し、より少量の供給ガス量で、ダストが存在する環境下における保護レンズへの汚れの付着を有効に防止することができる。

本発明の一実施形態に係る汚れ付着防止装置を含むセンサユニットを示す斜視図である。 本発明の一実施形態に係る汚れ付着防止装置を含むセンサユニットを示す縦断面図である。 本発明の一実施形態に係る汚れ付着防止装置のカバー部材を示す正面図および側面図であり、（ａ）が正面図、（ｂ）が側面図である。 ガス拡散部の形状が図５に示すＴ字型の場合および図６に示す三角形の場合における、ガス吐出部の開口端のＸ軸上での加圧ガスの流速分布を示す図である。 従来のＴ字型のガス拡散部を有するカバー部材を示す正面図および側面図であり、（ａ）が正面図、（ｂ）が側面図である。 従来の三角形状のガス拡散部を有するカバー部材を示す正面図および側面図であり、（ａ）が正面図、（ｂ）が側面図である。 流速比ｒが小さいときと大きいときの流速分布と、それらのときの最低流速Ｖ_ｍｉｎを限界最低流速以上にするための平均流速を示す図である。 ガス拡散部の形状が本発明の直方体状と従来例の三角形状の場合におけるｈ／ｗの値とｒの値（％表示）との関係を示す図である。 レイノルズ数Ｒｅとｒの値（％表示）との関係を示す図である。 ｔ／ｔ′の値とｒの値（％表示）との関係を示す図である。 種々のｊの値のときのｈ／ｊの値とｒの値（％表示）との関係を示す図である。 鋼板に溶融金属めっきを行う装置を示す図である。 鋼板に溶融金属めっきを行う装置に用いられる発光素子と受光素子とからなる光学センサを用いたエッジセンサを示す図である。 特許文献１の光電管レンズの汚れ付着防止装置を示す断面図である。 溶融金属めっきを行う装置に用いられている従来へのレンズの汚れ付着防止装置を示す側面図である。 溶融金属めっきを行う装置に用いられている、ガス拡散部がＴ字型の従来のレンズへの汚れ付着防止装置のカバー部材を示す正面図である。 溶融金属めっきを行う装置に用いられている、ガス拡散部が三角形状の従来のレンズへの汚れ付着防止装置のカバー部材を示す正面図である。

以下、添付図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
図１は本発明の一実施形態に係る汚れ付着防止装置を含むセンサユニットを示す斜視図、図２はその縦断面図、図３は本発明の一実施形態に係る汚れ付着防止装置のカバー部材を示す正面図および側面図である。

センサユニット１は、センサ２と、センサ２を保護する保護レンズ３と、汚れ付着防止装置４とを有している。

センサユニット１は、物体やマーク等の検出対象を検出するためのものであり、ダストが存在する環境下で用いられる。例えば、溶融亜鉛めっき等の溶融金属めっきを行う装置における鋼板のエッジを検出するエッジセンサに用いることができる。センサ２としては光学センサを好適に用いることができる。センサユニット１を、溶融金属めっきを行う装置におけるエッジセンサとして用いる場合は、光学センサとして発光素子または受光素子を用いる。そして、光学センサとして発光素子を用いたセンサユニット１と、光学センサとして受光素子を用いたセンサユニット１を一対としてエッジセンサを構成する。光学センサとしては反射型のものであってもよい。また、センサ２としては、超音波センサを用いることもできる。

保護レンズ３は、センサ２の、検出信号を発信または受信する面を覆うように設けられている。ここで、検出信号とは、物体やマーク等の検出対象を検出するために使用され、センサユニット１から発信される、またはセンサユニット１から発信された後に検出対象に反射してセンサユニット１で受信される、あるいは発信側センサユニットから発信されて受信側センサユニットで直接受信される信号を指し、具体的には、光、超音波等が例示される。

汚れ付着防止装置４は、例えば、溶融金属めっきの際に発生する金属ダスト等のダストが保護レンズ３に付着することを防止するためのものであり、保護レンズ３を覆い加圧ガスの流路が形成されるカバー部材１１と、カバー部材１１の内部にガス、例えば加圧ガスを供給するガス供給部１２とを有する。

カバー部材１１は、保護レンズ３から離れた位置に設けられ、加圧ガス供給部１２からの加圧ガスが導入されるガス導入部２１と、加圧ガスを保護レンズ３の方向に拡散させるガス拡散部２２と、保護レンズ３に対応する位置で、ガス拡散部２２からの加圧ガスを保護レンズ３から離れる方向に吐出するガス吐出部２３とを有している。

ガス導入部２１は円筒状で図示されるが、その他の形状でもよい。また、ガス拡散部２２は、直方体状をなしており、幅がｗ、厚さがｔである。また、ガス導入部２１の中心からガス拡散部２２とガス吐出部２３との接続部までの長さがｈである。さらに、ガス拡散部２２の底面２４からガス拡散部２２とガス吐出部２３との接続部までの長さがｊである。ガス吐出部２３も直方体状をなしており、幅がガス拡散部２２と同様のｗであり、厚さがｔ′、ガス拡散部２２からの突出長さがｌである。ガス吐出部２３の開口端２３ａは長方形をなし、その開口端２３ａから加圧ガスが噴き出される。

加圧ガス供給部１２は、空気、窒素等のガスをコンプレッサー等で加圧して加圧ガスとして供給する。

このように構成されたセンサユニット１では、センサ２による光や超音波等の検出信号の発信または受信の際に、検出信号を、保護レンズ３および汚れ付着防止装置４のカバー部材１１のガス吐出部２３を通過させて発信するか、または、ガス吐出部２３および保護レンズ３を通過させて受信する。

このとき、センサユニット１は、ダストが存在する環境下で使用されるので、保護レンズ３にダストが付着して保護レンズ３が汚れないように、汚れ付着防止装置４により保護レンズ３に汚れが付着することを防止する。具体的には、加圧ガス供給部１２から加圧ガスをカバー部材１１に供給する。加圧ガスは、カバー部材１１のガス導入部２１から導入され、ガス拡散部２２内を保護レンズの方向に拡散し、保護レンズ３に対応する位置でガス吐出部２３の開口端２３ａから吐出される。このように加圧ガスがガス吐出部２３の開口端２３ａから吐出されることにより、ダストがガス吐出部２３から侵入して保護レンズ３に付着することを防止することができる。

しかし、ガス拡散部として従来のＴ字型のものおよび三角形状のものを用いた場合、ガス吐出部でのガスの流速が不均一になることが判明した。

図４は、ガス拡散部の形状が図５に示すＴ字型の場合および図６に示す三角形の場合の、ガス吐出部２３の開口端２３ａのＸ軸上での加圧ガスの流速分布を示す図である。図５および図６に示すようにＸ軸は開口端２３ａの中心線上を通る直線である。

図４に示すように、図５の従来のＴ字型のガス拡散部２２′の場合、ガス吐出部中央部の流速は端部より速くなる。これは、ガス拡散部２２′が広くなる段差部において加圧ガスが外側に広がりにくくなるためと考えられる。また、図６の三角形のガス拡散部２２″の場合、ガス吐出部端部の流速が中央部より速くなる。これは、加圧ガス導入部２１からガス拡散部２２″に供給された加圧ガスが、Ｖ字状の壁部によりガスが外側に広がるのが妨げられるためと考えられる。このように、従来のＴ字型のガス拡散部および三角形状のガス拡散部を用いた場合、ガス吐出部でのガスの流速差が大きく、流速が不均一になる。

ここで、ガス吐出部における平均流速をＶ_ａｖｅ、ガス吐出部における最低流速をＶ_ｍｉｎとし、流速比ｒ＝Ｖ_ｍｉｎ／Ｖ_ａｖｅと定義すると、流速比ｒ＝１の場合、Ｖ_ａｖｅとＶ_ｍｉｎは等しく、つまり全体として流速差がなく、一様な流速分布になる。また、流速比ｒが小さいほど、流速差が大きく、局所的に流速が小さくなる領域を有することを意味している。したがって、従来のＴ字型のガス拡散部２２′および三角形のガス拡散部２２″の場合、ｒが小さい状態である。

一方、ガス吐出部２３の開口端２３ａからの流速がある流速以下となると、ダストがガス吐出部の開口端２３ａより侵入し保護レンズ３が汚れる。その流速を図７に示すように限界最低流速とすると、保護レンズの汚れを防止するためには、最低流速Ｖ_ｍｉｎを限界最低流速を超える値とする必要があり、そのためには、平均流速を調整する必要がある。このとき平均流速は供給ガス量に比例する。ここで、図７に示すように、最低流速Ｖ_ｍｉｎを限界最低流速を超える値とするためには、流速差が大きいとき（ｒが小さいとき）は、流速差が小さいとき（ｒが大きいとき）に比べ、供給ガス量を多くして平均流速を速くする必要がある。

したがって、流速差が大きいガス拡散部の形状がＴ字型の場合および三角形の場合は、保護レンズ３の汚れを防止するために多量の供給ガスが必要となってしまう。

これに対して、本実施形態では、ガス拡散部２２の形状を直方体状とする。これにより、Ｔ字型の場合のように段差部において加圧ガスが外側に広がりにくくなることや、三角形の場合のようにＶ字状の壁部によりガスの外側への広がりが妨げられることがなく、ガス吐出部での流速をより均一化することができる。このため、より少量の供給ガスで効率的に保護レンズ３の汚れを防止することができる。

上述した流速比ｒの値（Ｖ_ｍｉｎ／Ｖ_ａｖｅの値）は、大きいほど（１に近いほど）好ましいが、０．５よりも大きければよい。これにより、効率的に保護レンズの汚れを防止することができる。ｒが０．５以下であると、流速差が大きくなるため、流速が小さい部分では、汚れが付着しやすくなる。これは、流速の小さい部分ではダストがガスから受ける力よりも、ダスト自体の慣性力の方が大きくなるためである。

ｒの値を大きくしてガス吐出部の開口端における流速差を小さくするためには、ガス導入部２１の中心からガス拡散部２２とガス吐出部２３との接続部までの長さｈとガス吐出部の幅ｗとの比（ｈ／ｗ）を大きくすることが好ましい。これは、ガス拡散部２２に流入した加圧ガスは徐々にガス拡散部２２内で拡散し、均一な流れ場となる必要があるが、そのためにはガス吐出部２３の幅ｗに対応した拡散距離（ガス導入部２１の中心からガス拡散部２２の上端までの高さ長さｈ）が必要となるからである。

図８は、ガス拡散部の形状が本発明の直方体状と従来例の三角形状の場合におけるｈ／ｗの値とｒの値（％表示）との関係を示す図である。図８から、ｒ＞５０（％）を満たすために、ガス拡散部２２が直方体状である必要があり、また、ｈ／ｗ＞０．４が好ましいことがわかる。

また、ｒの値は、ガス吐出部２３の開口端２３ａでの平均流速Ｖ_ａｖｅ、ガス吐出部の幅ｗ、ガス吐出部の厚さｔ′、等価直径Ｄｅ＝４×ｗ×ｔ′／（２×ｗ＋２×ｔ′）、加圧ガスの動粘性係数νを用いてＶ_ａｖｅ×Ｄｅ／νで表されるレイノルズ数Ｒｅに関係しており、ｒの値を大きくしてガス吐出部の開口端の流速差を小さくするためには、レイノルズ数Ｒｅを所定の値以上にする必要がある。

図９は、レイノルズ数Ｒｅとｒの値（％表示）との関係を示す図である。図９から、レイノルズ数Ｒｅが３００００以上のときにｒ＞５０（％）となることがわかる。したがって、レイノルズ数Ｒｅが３００００以上であることが好ましい。溶融亜鉛めっき装置等において、加圧ガスとしては一般的に空気や窒素が用いられ動粘性係数νはほぼ決まった値である。一方、流速やガス吐出部の等価直径はその値が小さくなるとガス吐出部の開口端で流速差が生じるため、このようにレイノルズ数Ｒｅが所定値以上であることが好ましいのである。

さらに、ｒの値は、ガス拡散部２２の厚さｔとガス吐出部２３の厚さｔ′との比、ｔ／ｔ′にも関係している。図１０は、ｔ／ｔ′の値とｒの値（％表示）との関係を示す図である。図１０から、ｔ／ｔ′＞１であればｒ＞５０（％）となることがわかる。したがって、ｔ／ｔ′＞１が好ましい。ガス吐出部の厚さｔ′が加圧ガス拡散部の厚さｔよりも大きくなると、ガス吐出部の厚さ方向（鉛直方向）の流速差が生じてしまう。

さらにまた、ｒの値はガス導入部２１の中心からガス拡散部２２とガス吐出部２３との接続部までの長さｈと、ガス拡散部の底面２４からガス拡散部２２からガス吐出部２３までの長さｊとの比（ｈ／ｊ）とも関係している。図１１は、種々のｊの値（図１１ではｗで規格化したｊの値を示している）のときのｈ／ｊの値とｒの値（％表示）との関係を示す図である。図１１からｒ＞５０％とするためには０．５＜ｈ／ｊ＜０．８であることが望ましいことがわかる。ｈ／ｊが０．８以上となると加圧ガス供給部とガス拡散部の面２４が近くなることで周辺に流れる加圧ガス量が増加する。そのため、ガス吐出部の開口端で流速差が生じてしまう。

以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限らず本発明の技術思想の範囲内で種々変形可能である。例えば、上記実施形態では、溶融亜鉛めっき等の溶融金属めっきを行う装置に本発明を適用した場合を例にとって説明したが、これに限らず、ダストが存在する雰囲気でセンサによる検出を行う場合であれば適用可能である。また、上記実施形態ではカバー部材に加圧ガスを供給する場合を例にとって説明したが、加圧ガスに限らず、ガスであればよい。

１ センサユニット
２ センサ
３ 保護レンズ
４ 汚れ付着防止装置
１１ カバー部材
１２ 加圧ガス供給部（ガス供給部）
２１ ガス導入部
２２ ガス拡散部
２３ ガス吐出部
２３ａ 開口端

Claims (9)

1. ダストが存在する環境下で用いられるセンサの検出信号を発信または受信する面を覆うように設けられた保護レンズへの汚れ付着を防止する、汚れ付着防止装置であって、
   前記保護レンズを覆いガス流路が形成されるカバー部材と、
   前記カバー部材の内部にガスを供給するガス供給部と
   を備え、
   前記カバー部材は、
   前記保護レンズから離れた位置に前記ガス供給部からガスが導入されるガス導入部と、
   導入されたガスを前記保護レンズの方向に拡散させるガス拡散部と、
   前記ガス拡散部からの前記ガスを吐出するガス吐出部とを有し、
   前記ガス拡散部は、直方体状をなしており、
   前記ガス拡散部の幅と、前記ガス吐出部の幅とが同じ長さであり、
   前記保護レンズは、前記ガス拡散部の端部の壁部から前記ガス拡散部のガス流路に臨むように設けられ、前記ガス吐出部は、前記ガス拡散部の前記保護レンズが設けられた端部から、前記ガス拡散部のガス拡散方向と直交し、かつ前記保護レンズから離れる方向にガスを吐出することを特徴とする汚れ付着防止装置。
2. 前記ガス導入部から前記ガス拡散部と前記ガス吐出部との接続部までの長さｈと、前記ガス吐出部の幅ｗとの比であるｈ／ｗが、ｈ／ｗ＞０．４を満たすことを特徴とする請求項１に記載の汚れ付着防止装置。
3. 前記ガス吐出部の開口端での平均流速をＶ_ａｖｅ、ガス吐出部の幅ｗ、ガス吐出部の厚さｔ′、等価直径Ｄｅ＝４×ｗ×ｔ′／（２×ｗ＋２×ｔ′）、ガスの動粘性係数νを用いてＶ_ａｖｅ×Ｄｅ／νで表されるレイノルズ数Ｒｅが３００００以上であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の汚れ付着防止装置。
4. 前記ガス拡散部の厚さｔと前記ガス吐出部の厚さｔ′との比であるｔ／ｔ′が、ｔ／ｔ′＞１を満たすことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の汚れ付着防止装置。
5. 前記ガス導入部の中心から前記ガス拡散部と前記ガス吐出部との接続部までの長さｈと、前記ガス拡散部の底面からガス拡散部とガス吐出部との接続部までの長さｊとの比であるｈ／ｊが、０．５＜ｈ／ｊ＜０．８を満たすことを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載のレンズ汚れ防止装置。
6. 前記ガス吐出部は、直方体状をなしていることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の汚れ付着防止装置。
7. 検出信号を発信または受信するセンサと、
   前記センサの検出信号を発信または受信する面を覆うように設けられた保護レンズと、
   前記保護レンズへの汚れの付着を防止する、請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の汚れ付着防止装置と
   を有し、ダストが存在する環境下で用いられることを特徴とするセンサユニット。
8. 前記センサは、検出信号が光である光学センサであることを特徴とする請求項７に記載のセンサユニット。
9. 前記センサは、検出信号が超音波である超音波センサであることを特徴とする請求項７に記載のセンサユニット。
   

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