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JP6765816B2 - Flexible metal laminate and manufacturing method of flexible metal laminate - Google Patents
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Description

本発明は、絶縁層と金属層とを備えるフレキシブル金属積層板、及びフレキシブル金属積層板の製造方法に関する。 The present invention relates to a flexible metal laminated plate including an insulating layer and a metal layer , and a method for manufacturing the flexible metal laminated plate .

絶縁層と金属層とが接着されたフレキシブル金属積層板は、例えば、フレキシブルプリント配線基板を製造するための材料として用いられている。
ところで、フレキシブル金属積層板の絶縁層にピンホールが存在すると、その部分において絶縁層の耐電圧が著しく低下して、内部短絡が発生しやすくなる。こうした絶縁層におけるピンホールの発生を抑制する技術として、例えば、特許文献1に開示される技術が知られている。
A flexible metal laminate in which an insulating layer and a metal layer are bonded is used, for example, as a material for manufacturing a flexible printed wiring board.
By the way, if a pinhole is present in the insulating layer of the flexible metal laminate, the withstand voltage of the insulating layer is remarkably lowered in that portion, and an internal short circuit is likely to occur. As a technique for suppressing the occurrence of pinholes in such an insulating layer, for example, a technique disclosed in Patent Document 1 is known.

特許文献1に開示される技術は、フレキシブル金属積層板の製造段階において工夫をすることにより、ピンホールの発生を抑制するものである。具体的には、樹脂材料を付着させて絶縁層を積層する工程と、金属薄膜を積層する工程とを一単位とし、これを周回する支持体上で繰り返すことによってフレキシブル金属積層板を製造する製造方法において、支持体上に絶縁層を積層するに先立って、支持体上に帯状物を走行させる。この方法によれば、支持体上に存在する異物が帯状物に付着して除去されて、絶縁層を形成時において、支持体上の異物を原因として絶縁層にピンホールが生じることが抑制される。その結果、ピンホールに起因する内部短絡を抑制することができる。 The technique disclosed in Patent Document 1 suppresses the occurrence of pinholes by devising at the manufacturing stage of the flexible metal laminated plate. Specifically, a process of adhering a resin material and laminating an insulating layer and a step of laminating a metal thin film are set as one unit, and the process is repeated on a supporting support to manufacture a flexible metal laminated plate. In the method, a strip is run on the support prior to laminating the insulating layer on the support. According to this method, foreign matter existing on the support adheres to the strip and is removed, and when the insulating layer is formed, pinholes are suppressed in the insulating layer due to the foreign matter on the support. To. As a result, an internal short circuit caused by a pinhole can be suppressed.

特開平11−251181号公報JP-A-11-251181

この発明の目的は、特許文献1とは異なる技術によって、フレキシブル金属積層板における、絶縁層内のピンホールに起因する内部短絡を抑制することにある。 An object of the present invention is to suppress an internal short circuit caused by a pinhole in an insulating layer in a flexible metal laminated plate by a technique different from that of Patent Document 1.

上記の目的を達成するためのフレキシブル金属積層板は、厚みが25〜50μmである絶縁層と、前記絶縁層の片面又は両面に接着された金属層とを備え、前記絶縁層は、複数枚の熱可塑性樹脂フィルムが厚み方向に重なる構造を有する。 The flexible metal laminate for achieving the above object includes an insulating layer having a thickness of 25 to 50 μm and a metal layer adhered to one side or both sides of the insulating layer, and the insulating layer has a plurality of sheets. It has a structure in which thermoplastic resin films overlap in the thickness direction.

上記フレキシブル金属積層板において、前記絶縁層を構成する複数枚の熱可塑性樹脂フィルムにおける融点の差が150℃以下であることが好ましい。 In the flexible metal laminated plate, the difference in melting point between the plurality of thermoplastic resin films constituting the insulating layer is preferably 150 ° C. or less.

本発明によれば、フレキシブル金属積層板における、絶縁層内のピンホールに起因する内部短絡を抑制することができる。 According to the present invention, it is possible to suppress an internal short circuit caused by a pinhole in the insulating layer in the flexible metal laminated plate.

フレキシブル金属積層板の側面図。Side view of flexible metal laminate.

以下、本発明の一実施形態を説明する。
図1に示すように、フレキシブル金属積層板は、絶縁層10と、絶縁層10の片面又は両面に接着された金属層20とを備えている。なお、図1においては、絶縁層10の片面のみに金属層20を備えるフレキシブル金属積層板を図示している。
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described.
As shown in FIG. 1, the flexible metal laminated plate includes an insulating layer 10 and a metal layer 20 bonded to one or both sides of the insulating layer 10. Note that FIG. 1 illustrates a flexible metal laminate having a metal layer 20 on only one side of the insulating layer 10.

絶縁層10は、複数枚の熱可塑性樹脂フィルム11が厚み方向に重なる構造を有する積層体であり、隣接する熱可塑性樹脂フィルム11同士は互いに接着されている。積層体を構成する熱可塑性樹脂フィルム11の枚数は特に限定されるものではないが、例えば、2〜5枚とすることが好ましい。本実施形態においては、第1の熱可塑性樹脂フィルム11a及び第2の熱可塑性樹脂フィルム11bの2枚の熱可塑性樹脂フィルム11の積層体によって絶縁層10が構成されている。なお、詳細は後述するが、本実施形態のフレキシブル金属積層板では、絶縁層10を熱可塑性樹脂フィルム11の積層体とすることによって、絶縁層10内のピンホールに起因する内部短絡を抑制している。 The insulating layer 10 is a laminate having a structure in which a plurality of thermoplastic resin films 11 are overlapped in the thickness direction, and the adjacent thermoplastic resin films 11 are adhered to each other. The number of the thermoplastic resin films 11 constituting the laminate is not particularly limited, but is preferably 2 to 5, for example. In the present embodiment, the insulating layer 10 is composed of a laminate of two thermoplastic resin films 11 of a first thermoplastic resin film 11a and a second thermoplastic resin film 11b. Although details will be described later, in the flexible metal laminate of the present embodiment, the insulating layer 10 is a laminate of the thermoplastic resin film 11 to suppress an internal short circuit caused by a pinhole in the insulating layer 10. ing.

熱可塑性樹脂フィルム11の種類としては、フレキシブル金属積層板において絶縁層に用いられる公知の熱可塑性樹脂フィルムを用いることができる。また、熱可塑性樹脂フィルム11は、単層構造の熱可塑性樹脂フィルムであってもよいし、多層の熱可塑性樹脂フィルムであってもよい。また、熱可塑性樹脂フィルム11は、金属層20に対して、及び重なり合う熱可塑性樹脂フィルム11に対して熱圧着可能なものが好ましく、更に熱圧着に際して寸法安定性が良好なものがより好ましい。 As the type of the thermoplastic resin film 11, a known thermoplastic resin film used for the insulating layer in the flexible metal laminate can be used. Further, the thermoplastic resin film 11 may be a single-layer structure thermoplastic resin film or a multi-layered thermoplastic resin film. The thermoplastic resin film 11 is preferably thermocompression-bonded to the metal layer 20 and to the overlapping thermoplastic resin film 11, and more preferably has good dimensional stability during thermocompression bonding.

熱可塑性樹脂フィルム11の具体例としては、多層芳香族ポリイミドフィルム、単層のポリイミドフィルム、ポリエステルフィルム(液晶フィルムを含む)、ポリアミドフィルム(アラミドフィルムを含む)、ビニルエステルフィルム、フッ素樹脂フィルム等が挙げられる。多層芳香族ポリイミドフィルムは、非圧着性の芳香族ポリイミドフィルムの両面に、熱圧着性を有するポリイミド層が形成されたものであり、例えば宇部興産株式会社製のユーピレックス(商品名)VT等の市販品を用いることができる。こうした多層芳香族ポリイミドフィルムについては、例えば、特許文献(特開2001−270033号公報)に記載されている。 Specific examples of the thermoplastic resin film 11 include a multilayer aromatic polyimide film, a single-layer polyimide film, a polyester film (including a liquid crystal film), a polyamide film (including an aramid film), a vinyl ester film, and a fluororesin film. Can be mentioned. The multilayer aromatic polyimide film is a non-crimpable aromatic polyimide film in which a polyimide layer having thermocompression bonding property is formed on both sides, and is commercially available, for example, Upirex (trade name) VT manufactured by Ube Industries, Ltd. Goods can be used. Such a multilayer aromatic polyimide film is described in, for example, Patent Document (Japanese Patent Laid-Open No. 2001-27033).

絶縁層10は、全てが同じ種類の熱可塑性樹脂フィルム11から構成される積層体であってもよいし、異なる種類の熱可塑性樹脂フィルム11を含む積層体であってもよい。同じ種類の熱可塑性樹脂フィルム11を含む積層体である場合において、単層構造の熱可塑性樹脂フィルムである場合を含め、同じ種類の熱可塑性樹脂フィルム11が連続して重なっていてもよい。また、異なる種類の熱可塑性樹脂フィルム11を含む積層体である場合には、各熱可塑性樹脂フィルム11間における融点の差が150℃以下となる熱可塑性樹脂フィルム11の組み合わせとすることが好ましい。 The insulating layer 10 may be a laminate composed of all the same type of thermoplastic resin film 11, or may be a laminate containing different types of thermoplastic resin film 11. In the case of a laminate containing the same type of thermoplastic resin film 11, the same type of thermoplastic resin film 11 may be continuously overlapped, including the case of a single-layer structure thermoplastic resin film. Further, in the case of a laminate containing different types of thermoplastic resin films 11, it is preferable to use a combination of the thermoplastic resin films 11 in which the difference in melting point between the thermoplastic resin films 11 is 150 ° C. or less.

熱可塑性樹脂フィルム11の積層体として構成される絶縁層10の厚みは、25〜50μmである。絶縁層10の厚みを25μm以上に設定することにより、絶縁層10の耐電圧を好適に確保することができる。絶縁層10の厚みを50μm以下に設定することにより、フレキシブル金属積層板の柔軟性を好適に確保することができる。 The thickness of the insulating layer 10 formed as a laminated body of the thermoplastic resin film 11 is 25 to 50 μm. By setting the thickness of the insulating layer 10 to 25 μm or more, the withstand voltage of the insulating layer 10 can be suitably secured. By setting the thickness of the insulating layer 10 to 50 μm or less, the flexibility of the flexible metal laminate can be suitably ensured.

絶縁層10を構成する各熱可塑性樹脂フィルム11の厚みは、例えば、9〜25μmであって、絶縁層10の厚みの1/2以下であることが好ましい。つまり、絶縁層10における1枚の熱可塑性樹脂フィルム11が占める厚みの割合を1/2以下とすることが好ましい。熱可塑性樹脂フィルム11の厚みを上記範囲に設定することにより、絶縁層10内のピンホールに起因する内部短絡を抑制する効果を好適に発現させることができる。 The thickness of each thermoplastic resin film 11 constituting the insulating layer 10 is preferably, for example, 9 to 25 μm, which is ½ or less of the thickness of the insulating layer 10. That is, it is preferable that the ratio of the thickness occupied by one thermoplastic resin film 11 in the insulating layer 10 is 1/2 or less. By setting the thickness of the thermoplastic resin film 11 in the above range, the effect of suppressing an internal short circuit caused by a pinhole in the insulating layer 10 can be suitably exhibited.

金属層20は、金属箔等の金属材料からなり、フレキシブル金属積層板における導電性部分(導電層)を構成する部位である。金属層20を構成する金属は特に限定されるものではないが、当該金属としては、例えば、銅及び銅合金、ステンレス鋼及びその合金、ニッケル及びニッケル合金(42合金を含む)、アルミニウム及びアルミニウム合金等が挙げられる。また、これらの金属表面に防錆層や耐熱層(例えば、クロム、亜鉛等のメッキ処理)、シランカップリング剤等を形成したものも利用できる。 The metal layer 20 is made of a metal material such as a metal foil, and is a portion constituting a conductive portion (conductive layer) in the flexible metal laminated plate. The metal constituting the metal layer 20 is not particularly limited, and examples of the metal include copper and copper alloys, stainless steel and alloys thereof, nickel and nickel alloys (including 42 alloys), and aluminum and aluminum alloys. And so on. Further, those having a rust preventive layer, a heat resistant layer (for example, plating treatment of chromium, zinc, etc.), a silane coupling agent, or the like formed on these metal surfaces can also be used.

金属層20の厚みは、例えば、1μm〜1mmである。なお、フレキシブル金属積層板の柔軟性の観点においては、金属層20の厚みを薄く設定することが好ましい。また、金属層20における絶縁層10と接する側の表面粗さは、例えば、十点平均粗さ(Rz)が5μm以下であることが好ましく、2μm以下であることがより好ましい。 The thickness of the metal layer 20 is, for example, 1 μm to 1 mm. From the viewpoint of the flexibility of the flexible metal laminated plate, it is preferable to set the thickness of the metal layer 20 to be thin. Further, the surface roughness of the metal layer 20 on the side in contact with the insulating layer 10 is, for example, preferably a ten-point average roughness (Rz) of 5 μm or less, and more preferably 2 μm or less.

また、絶縁層10の両面に金属層20を備える場合において、各金属層20を構成する金属の種類や各金属層20の厚みは、同じであってもよいし、異なっていてもよい。
本実施形態のフレキシブル金属積層板は、例えば、金属層20を構成する金属箔、絶縁層10を構成する複数枚の熱可塑性樹脂フィルム11を積層した状態として、金属箔と熱可塑性樹脂フィルム11とを熱圧着させるとともに、熱可塑性樹脂フィルム11同士を熱圧着させることによって製造することができる。図1に示す例においては、金属層20を構成する金属箔と、第1の熱可塑性樹脂フィルム11aと、第2の熱可塑性樹脂フィルム11bとを積層した状態として熱圧着させることによって製造することができる。
Further, when the metal layers 20 are provided on both sides of the insulating layer 10, the types of metals constituting each metal layer 20 and the thickness of each metal layer 20 may be the same or different.
The flexible metal laminated plate of the present embodiment is, for example, in a state where a metal foil constituting the metal layer 20 and a plurality of thermoplastic resin films 11 constituting the insulating layer 10 are laminated, and the metal foil and the thermoplastic resin film 11 are combined. Can be produced by heat-bonding the thermoplastic resin films 11 to each other. In the example shown in FIG. 1, it is manufactured by thermocompression bonding a metal foil constituting the metal layer 20, a first thermoplastic resin film 11a, and a second thermoplastic resin film 11b in a laminated state. Can be done.

なお、金属箔と熱可塑性樹脂フィルム11との熱圧着と、熱可塑性樹脂フィルム11同士の熱圧着は同時に行ってもよいし、別々に行ってもよい。例えば、絶縁層10を構成する複数枚の熱可塑性樹脂フィルム11のみを積層した状態として、熱可塑性樹脂フィルム11同士を熱圧着させて絶縁層10としての積層体を製造した後に、この積層体と金属箔を積層した状態として、積層体と金属箔とを熱圧着させてもよい。 The thermocompression bonding between the metal foil and the thermoplastic resin film 11 and the thermocompression bonding between the thermoplastic resin films 11 may be performed at the same time or separately. For example, in a state where only a plurality of thermoplastic resin films 11 constituting the insulating layer 10 are laminated, the thermoplastic resin films 11 are thermally pressure-bonded to each other to produce a laminated body as the insulating layer 10, and then the laminated body is combined with the laminated body. The laminated body and the metal foil may be thermally pressure-bonded in a state where the metal foils are laminated.

上記熱圧着の具体的方法は特に限定されるものではなく、フレキシブル金属積層板の製造に用いられる公知の方法、例えば、ロール式ラミネート装置を用いた方法、及びダブルベルトプレス装置を用いた方法を用いることができる。 The specific method of thermocompression bonding is not particularly limited, and a known method used for manufacturing a flexible metal laminated plate, for example, a method using a roll laminating apparatus and a method using a double belt pressing apparatus can be used. Can be used.

本実施形態のフレキシブル金属積層板は、例えば、FPC(Flexible Printed Circuits)に用いられ、TAB(Tape Automated Bonding)方式、COF(Chip on Film)方式等の実装方式に用いられるテープにも用いることができる。特に、本実施形態のフレキシブル金属積層板は、耐電圧に優れたものであることから、パワーモジュール等の高電圧が印加される用途に適している。なお、フレキシブル金属積層体の装備された製品としては、例えば、カメラ、パソコン、液晶ディスプレイ、プリンタ、携帯機器等の電子機器が挙げられる。 The flexible metal laminate of the present embodiment is used for, for example, FPC (Flexible Printed Circuits), and can also be used for tapes used for mounting methods such as TAB (Tape Automated Bonding) method and COF (Chip on Film) method. it can. In particular, since the flexible metal laminate of the present embodiment has an excellent withstand voltage, it is suitable for applications such as power modules to which a high voltage is applied. Examples of products equipped with a flexible metal laminate include electronic devices such as cameras, personal computers, liquid crystal displays, printers, and mobile devices.

次に、本実施形態の作用及び効果について説明する。
(1)フレキシブル金属積層板は、厚みが25〜50μmである絶縁層10と、絶縁層10の片面又は両面に接着された金属層20とを備える。絶縁層10は、複数枚の熱可塑性樹脂フィルム11が厚み方向に重なる構造を有する。すなわち、熱可塑性樹脂フィルム11の積層体によって絶縁層10が構成されている。
Next, the operation and effect of this embodiment will be described.
(1) The flexible metal laminated plate includes an insulating layer 10 having a thickness of 25 to 50 μm, and a metal layer 20 bonded to one or both sides of the insulating layer 10. The insulating layer 10 has a structure in which a plurality of thermoplastic resin films 11 are overlapped in the thickness direction. That is, the insulating layer 10 is composed of a laminate of the thermoplastic resin films 11.

図1に示すように、上記構成によれば、絶縁層10を構成する熱可塑性樹脂フィルム11にピンホール12が存在していたとしても、絶縁層10を構成する全ての熱可塑性樹脂フィルム11のピンホール12が重ならない限りは、絶縁層10に貫通孔が形成されることはない。つまり、一枚の熱可塑性樹脂フィルム11に存在するピンホール12は、絶縁層10における当該部分の厚みを減少させる要素となるのみで、そのまま絶縁層10の貫通孔になることはない。したがって、絶縁層10を構成する一方の熱可塑性樹脂フィルム11にピンホール12が存在していたとしても、他方の熱可塑性樹脂フィルム11における、ピンホール12に重なる部分によって、少なくとも一枚の熱可塑性樹脂フィルム11の厚み分に相当する耐電圧は確保される。これにより、絶縁層10内のピンホール12に起因する内部短絡を抑制することができる。 As shown in FIG. 1, according to the above configuration, even if pinholes 12 are present in the thermoplastic resin film 11 constituting the insulating layer 10, all the thermoplastic resin films 11 constituting the insulating layer 10 As long as the pinholes 12 do not overlap, no through hole is formed in the insulating layer 10. That is, the pinhole 12 existing in one thermoplastic resin film 11 is only an element for reducing the thickness of the portion of the insulating layer 10, and does not become a through hole of the insulating layer 10 as it is. Therefore, even if the pinhole 12 is present in one of the thermoplastic resin films 11 constituting the insulating layer 10, at least one piece of thermoplastic is formed by the portion of the other thermoplastic resin film 11 that overlaps with the pinhole 12. A withstand voltage corresponding to the thickness of the resin film 11 is secured. As a result, an internal short circuit caused by the pinhole 12 in the insulating layer 10 can be suppressed.

(2)絶縁層10を構成する各熱可塑性樹脂フィルム11の厚みは、絶縁層10の厚みの1/2以下であることが好ましい。
この場合には、一枚の熱可塑性樹脂フィルム11に存在するピンホール12が、絶縁層10の耐電圧に与える影響を小さくすることができる。
(2) The thickness of each thermoplastic resin film 11 constituting the insulating layer 10 is preferably 1/2 or less of the thickness of the insulating layer 10.
In this case, it is possible to reduce the influence of the pinholes 12 existing on one thermoplastic resin film 11 on the withstand voltage of the insulating layer 10.

(3)絶縁層10を構成する複数枚の樹脂フィルムとして、熱可塑性樹脂フィルム11を用いている。
上記構成によれば、熱可塑性樹脂フィルム11同士を熱圧着させる際に、熱可塑性樹脂フィルム11が軟化して流動性を得る。そのため、熱可塑性樹脂フィルム11にピンホール12が存在する場合、流動性を得た樹脂がピンホール12内に流れ込む。ここで、熱可塑性樹脂フィルム11の積層体によって絶縁層10が構成されていることにより、ピンホール12が存在する熱可塑性樹脂フィルム11に重なる他の熱可塑性樹脂フィルム11の樹脂もピンホール12内に流れ込む。このようにピンホール12内に多量の樹脂が流れ込む結果、流れ込んだ樹脂によりピンホール12が埋められて、ピンホール12が消失する又はピンホール12の大きさが小さくなる。
(3) The thermoplastic resin film 11 is used as the plurality of resin films constituting the insulating layer 10.
According to the above configuration, when the thermoplastic resin films 11 are thermocompression bonded to each other, the thermoplastic resin films 11 are softened to obtain fluidity. Therefore, when the pinhole 12 is present in the thermoplastic resin film 11, the fluidized resin flows into the pinhole 12. Here, since the insulating layer 10 is formed by the laminated body of the thermoplastic resin film 11, the resin of the other thermoplastic resin film 11 that overlaps the thermoplastic resin film 11 in which the pinhole 12 is present is also inside the pinhole 12. Flow into. As a result of a large amount of resin flowing into the pinhole 12 in this way, the pinhole 12 is filled with the flowed resin, and the pinhole 12 disappears or the size of the pinhole 12 becomes smaller.

ピンホール12が消失した場合には、絶縁層10内のピンホール12に起因する内部短絡をより確実に抑制しつつ厚み分の絶縁耐力を保持することができる。また、ピンホール12が完全に消失せずとも、ピンホール12の大きさが小さくなることにより、全ての熱可塑性樹脂フィルム11のピンホール12が重なる可能性が低減される。なお、ピンホール12が消失するか否かは、ピンホール12の大きさ(直径)によって変化する。例えば、ピンホール12の大きさが、ピンホール12が存在する熱可塑性樹脂フィルム11の厚み以下である場合、ピンホール12が消失しやすい。 When the pinhole 12 disappears, the dielectric strength corresponding to the thickness can be maintained while more reliably suppressing the internal short circuit caused by the pinhole 12 in the insulating layer 10. Further, even if the pinholes 12 are not completely eliminated, the possibility that the pinholes 12 of all the thermoplastic resin films 11 overlap is reduced by reducing the size of the pinholes 12. Whether or not the pinhole 12 disappears depends on the size (diameter) of the pinhole 12. For example, when the size of the pinhole 12 is smaller than or equal to the thickness of the thermoplastic resin film 11 in which the pinhole 12 is present, the pinhole 12 is likely to disappear.

(4)絶縁層10を構成する複数枚の熱可塑性樹脂フィルム11における融点の差が150℃以下であることが好ましい。
融点の近い熱可塑性樹脂フィルム11を採用することにより、熱可塑性樹脂フィルム11同士を熱圧着させる際に、一方の熱可塑性樹脂フィルム11は流動性を得ているものの、他方の熱可塑性樹脂フィルム11は流動性を得ていない、という状況が生じ難くなる。これにより、熱可塑性樹脂フィルム11同士を熱圧着させる際に、ピンホール12が存在する熱可塑性樹脂フィルム11に重なる他の熱可塑性樹脂フィルム11からピンホール12内に樹脂が流れ込む現象を好適に発現させることができる。
(4) It is preferable that the difference in melting point between the plurality of thermoplastic resin films 11 constituting the insulating layer 10 is 150 ° C. or less.
By adopting the thermoplastic resin film 11 having a similar melting point, when the thermoplastic resin films 11 are thermally pressure-bonded to each other, one of the thermoplastic resin films 11 obtains fluidity, but the other thermoplastic resin film 11 is obtained. Is less likely to be in a situation where it is not fluid. As a result, when the thermoplastic resin films 11 are thermally pressure-bonded to each other, the phenomenon that the resin flows into the pinholes 12 from another thermoplastic resin film 11 that overlaps with the thermoplastic resin film 11 in which the pinholes 12 are present is suitably exhibited. Can be made to.

上記実施形態から把握できる技術的思想について以下に記載する。
(イ)厚みが25〜50μmである絶縁層と、前記絶縁層の片面又は両面に接着された金属層とを備え、前記絶縁層は、厚み方向に重なる複数枚の熱可塑性樹脂フィルムが互いに接着してなることを特徴とするフレキシブル金属積層板。
The technical ideas that can be grasped from the above embodiments are described below.
(A) An insulating layer having a thickness of 25 to 50 μm and a metal layer adhered to one or both sides of the insulating layer are provided, and the insulating layer is formed by bonding a plurality of thermoplastic resin films overlapping in the thickness direction to each other. A flexible metal laminated board characterized by being made of

(ロ)厚みが25〜50μmである絶縁層と、前記絶縁層の片面又は両面に接着された金属層とを備え、前記絶縁層は、少なくとも、第1の熱可塑性樹脂フィルムからなる第1層と、前記第1の熱可塑性樹脂フィルムに接着された前記第2の熱可塑性樹脂フィルムからなる第2層とを有することを特徴とするフレキシブル金属積層板。 (B) An insulating layer having a thickness of 25 to 50 μm and a metal layer adhered to one or both sides of the insulating layer are provided, and the insulating layer is at least a first layer made of a first thermoplastic resin film. A flexible metal laminate having a second layer made of the second thermoplastic resin film adhered to the first thermoplastic resin film.

(ハ)前記絶縁層を構成する複数枚の熱可塑性樹脂フィルムのうち、厚み方向に重なる少なくとも二枚の熱可塑性樹脂フィルムは、同種又は異種の熱可塑性樹脂フィルムである前記フレキシブル金属積層板。 (C) Of the plurality of thermoplastic resin films constituting the insulating layer, at least two thermoplastic resin films overlapping in the thickness direction are the same type or different types of thermoplastic resin films.

(ニ)厚みが25〜50μmである絶縁層と、前記絶縁層の片面又は両面に接着された金属層とを備え、前記絶縁層は、第1の熱可塑性樹脂フィルムからなる第1層と、前記第1の熱可塑性樹脂フィルムに接着された前記第2の熱可塑性樹脂フィルムからなる第2層とを有するフレキシブル金属積層板の製造方法であって、金属箔と、前記第1の熱可塑性樹脂フィルムと、前記第2の熱可塑性樹脂フィルムとを積層して熱圧着させることを特徴とするフレキシブル金属積層板の製造方法。 (D) An insulating layer having a thickness of 25 to 50 μm and a metal layer adhered to one or both sides of the insulating layer are provided, and the insulating layer is a first layer made of a first thermoplastic resin film. A method for producing a flexible metal laminated plate having a second layer made of the second thermoplastic resin film adhered to the first thermoplastic resin film, wherein the metal foil and the first thermoplastic resin are used. A method for producing a flexible metal laminated plate, which comprises laminating a film and the second thermoplastic resin film and heat-bonding them.

次に、試験例を挙げて実施形態をさらに具体的に説明する。
<フレキシブル金属積層板の作製>
(試験例1〜2)
表1に示す金属箔及び熱可塑性樹脂フィルムを用いて、一枚の熱可塑性樹脂フィルムからなる絶縁層と、絶縁層の片面に接着された金属箔からなる金属層とを備えるフレキシブル金属積層板をダブルベルトプレス装置により作製した。なお、試験例2においては、熱可塑性樹脂フィルムとして、意図的にピンホール(貫通孔)を設けた熱可塑性樹脂フィルムを用いた。
Next, the embodiment will be described more specifically with reference to a test example.
<Manufacturing of flexible metal laminate>
(Test Examples 1-2)
Using the metal foil and the thermoplastic resin film shown in Table 1, a flexible metal laminated plate including an insulating layer made of one thermoplastic resin film and a metal layer made of a metal foil bonded to one side of the insulating layer is formed. It was manufactured by a double belt press device. In Test Example 2, a thermoplastic resin film having pinholes (through holes) intentionally provided was used as the thermoplastic resin film.

(試験例3〜11)
表1及び表2に示す金属箔及び熱可塑性樹脂フィルムを用いて、二枚の熱可塑性樹脂フィルムからなり、両フィルムが厚み方向に重なる構造を有する絶縁層と、絶縁層の片面に接着された金属箔からなる金属層とを備えるフレキシブル金属積層板をダブルベルトプレス装置により作製した。なお、試験例4〜8,10においては、一方又は両方の熱可塑性樹脂フィルムとして、意図的にピンホール(貫通孔)を設けた熱可塑性樹脂フィルムを用いた。
(Test Examples 3 to 11)
Using the metal foils and thermoplastic resin films shown in Tables 1 and 2, an insulating layer composed of two thermoplastic resin films having a structure in which both films overlap in the thickness direction was bonded to one side of the insulating layer. A flexible metal laminated plate including a metal layer made of a metal foil was produced by a double belt press device. In Test Examples 4 to 8 and 10, a thermoplastic resin film having pinholes (through holes) intentionally provided was used as one or both of the thermoplastic resin films.

(試験例12)
表2に示す金属箔及び熱可塑性樹脂フィルムを用いて、二枚の熱可塑性樹脂フィルムからなり、両フィルムが厚み方向に重なる構造を有する絶縁層と、絶縁層の両面に接着された金属箔からなる金属層とを備えるフレキシブル金属積層板をダブルベルトプレス装置により作製した。なお、両方の熱可塑性樹脂フィルムとして、意図的にピンホール(貫通孔)を設けた熱可塑性樹脂フィルムを用いた。
(Test Example 12)
Using the metal foil and the thermoplastic resin film shown in Table 2, the insulating layer is composed of two thermoplastic resin films and has a structure in which both films overlap in the thickness direction, and the metal foil bonded to both sides of the insulating layer. A flexible metal laminated plate provided with a metal layer was produced by a double belt press device. As both thermoplastic resin films, a thermoplastic resin film having pinholes (through holes) intentionally provided was used.

なお、フレキシブル金属積層板の作製に用いた金属箔及び熱可塑性樹脂フィルムは以下のとおりである。
圧延銅箔:GHY5−93F−HA−V2(JX金属株式会社製)
電解銅箔:TQ−M4−VSP(三井金属鉱業株式会社製)
SUS箔:SUS304−H−TA(日新製鋼株式会社製)
PI:ユーピレックスVT(宇部興産株式会社製)
LCP:ベクスターCTZ−25K(株式会社クラレ製)
PFA:ネオフロンAF−0025(ダイキン工業株式会社製)
(耐電圧の評価)
各試験例のフレキシブル金属積層板の金属層に所定の回路加工を施して、測定用サンプルを作製した。これらの測定用サンプルの絶縁抵抗値(耐電圧)を、JIS C2110−1(交流、50Hz)に準拠した測定方法を用いて測定した。その結果を表1及び表2の「絶縁抵抗値」欄に示す。なお、表1及び表2に示す絶縁抵抗値は5回の測定の平均値である。試験例2については、昇圧開始直後に絶縁破壊を起こしてしまったため、測定不能とした。また、本測定の測定条件は以下のとおりである。
The metal foil and the thermoplastic resin film used for producing the flexible metal laminated plate are as follows.
Rolled copper foil: GHY5-93F-HA-V2 (manufactured by JX Nippon Mining & Metals Co., Ltd.)
Electrolytic copper foil: TQ-M4-VSP (manufactured by Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd.)
SUS foil: SUS304-H-TA (manufactured by Nisshin Steel Co., Ltd.)
PI: Upirex VT (manufactured by Ube Industries, Ltd.)
LCP: Vexter CTZ-25K (manufactured by Kuraray Co., Ltd.)
PFA: Neophron AF-0025 (manufactured by Daikin Industries, Ltd.)
(Evaluation of withstand voltage)
A predetermined circuit processing was performed on the metal layer of the flexible metal laminated plate of each test example to prepare a measurement sample. The insulation resistance value (withstand voltage) of these measurement samples was measured using a measurement method compliant with JIS C2110-1 (AC, 50 Hz). The results are shown in the "Insulation resistance value" column of Tables 1 and 2. The insulation resistance values shown in Tables 1 and 2 are average values of five measurements. Test Example 2 was made unmeasurable because dielectric breakdown occurred immediately after the start of boosting. The measurement conditions for this measurement are as follows.

昇圧方法:短時間法
昇圧速度:0.5kV/s
測定温度:23℃
周囲媒質:シリコーン油
電極 :φ25円柱/φ25円柱
測定環境:23±2℃、50±5%RH
(ピンホールの観察)
熱可塑性樹脂フィルムとして、ピンホールを設けた熱可塑性樹脂フィルムを用いた試験例2,4〜8,10のフレキシブル金属積層板について、ピンホールの状態を観察した。具体的には、フレキシブル金属積層板から25mm角の試験片を切り出し、この試験片の金属層をエッチングにより除去した。その後、マイクロスコープ(株式会社キーエンス製VHX−1000)を用いて、絶縁層を構成する各熱可塑性樹脂フィルムに設けられていたピンホールを観察した。その結果を表1及び表2の「ピンホールの状態」欄に示す。ここでは、ピンホールが確認されなかった場合を「消失」、ピンホールが確認された場合を「有」としている。
Boosting method: Short-time method Boosting speed: 0.5 kV / s
Measurement temperature: 23 ° C
Ambient medium: Silicone oil Electrode: φ25 cylinder / φ25 cylinder Measurement environment: 23 ± 2 ° C, 50 ± 5% RH
(Observation of pinhole)
The state of pinholes was observed in the flexible metal laminated plates of Test Examples 2, 4 to 8 and 10 using a thermoplastic resin film provided with pinholes as the thermoplastic resin film. Specifically, a 25 mm square test piece was cut out from the flexible metal laminated plate, and the metal layer of the test piece was removed by etching. Then, using a microscope (VHX-1000 manufactured by KEYENCE CORPORATION), pinholes provided in each thermoplastic resin film constituting the insulating layer were observed. The results are shown in the "Pinhole status" column of Tables 1 and 2. Here, the case where the pinhole is not confirmed is defined as “disappearing”, and the case where the pinhole is confirmed is defined as “yes”.

試験例1及び試験例2の評価結果に示されるように、一枚の熱可塑性樹脂フィルムからなる絶縁層を採用する構成においては、用いた熱可塑性樹脂フィルムにピンホールが存在する場合、フレキシブル金属積層板の絶縁抵抗値が略零にまで大きく低下した。一方、試験例3〜6の耐電圧の評価結果に示されるように、二枚の熱可塑性樹脂フィルムからなる絶縁層を採用する構成においては、用いた熱可塑性樹脂フィルムの一方又は両方にピンホールが存在する場合であっても、試験例2と比較して、絶縁抵抗値が大きくは低下しなかった。これらの結果から、フレキシブル金属積層板の絶縁層を複数枚の熱可塑性樹脂フィルムから構成することによって、絶縁層内のピンホールに起因する絶縁層の内部短絡を抑制できることが分かる。 As shown in the evaluation results of Test Example 1 and Test Example 2, in the configuration in which the insulating layer made of one thermoplastic resin film is adopted, when the thermoplastic resin film used has pinholes, the flexible metal The insulation resistance value of the laminated board dropped to almost zero. On the other hand, as shown in the evaluation results of the withstand voltage of Test Examples 3 to 6, in the configuration in which the insulating layer composed of two thermoplastic resin films is adopted, pinholes are formed in one or both of the used thermoplastic resin films. Even in the presence of, the insulation resistance value did not decrease significantly as compared with Test Example 2. From these results, it can be seen that by forming the insulating layer of the flexible metal laminate from a plurality of thermoplastic resin films, it is possible to suppress an internal short circuit of the insulating layer due to pinholes in the insulating layer.

また、小さいピンホールが設けられた熱可塑性樹脂フィルムを用いた試験例4及び試験例5の絶縁抵抗値は、ピンホールのない試験例3と同等であるのに対して、大きいピンホールが設けられた熱可塑性樹脂フィルムを用いた試験例6の絶縁抵抗値は、ピンホールのない試験例3の半分程度であった。そして、試験例4及び試験例5のフレキシブル金属積層板においては、ピンホールが確認されなかったのに対して、試験例6のフレキシブル金属積層板においては、ピンホールが確認された。 Further, the insulation resistance values of Test Example 4 and Test Example 5 using the thermoplastic resin film provided with small pinholes are the same as those of Test Example 3 without pinholes, whereas large pinholes are provided. The insulation resistance value of Test Example 6 using the obtained thermoplastic resin film was about half that of Test Example 3 without pinholes. Then, pinholes were not confirmed in the flexible metal laminates of Test Example 4 and Test Example 5, whereas pinholes were confirmed in the flexible metal laminates of Test Example 6.

これらの結果から、試験例4及び試験例5の場合には、フレキシブル金属積層板の製造段階において、熱可塑性樹脂フィルムの樹脂がピンホール内に流れ込み、ピンホールが埋められたことによって、ピンホールのない試験例3と同等の絶縁抵抗値を示したものと考えられる。試験例6の場合には、ピンホールが十分に埋められなかったことにより、ピンホールのない試験例3の半分程度の絶縁抵抗値、即ちピンホールのない熱可塑性樹脂フィルム一層分の絶縁抵抗値を示したものと考えられる。 From these results, in the case of Test Example 4 and Test Example 5, the resin of the thermoplastic resin film flowed into the pinhole at the manufacturing stage of the flexible metal laminated plate, and the pinhole was filled, so that the pinhole was filled. It is probable that the insulation resistance value was equivalent to that of Test Example 3 without the above. In the case of Test Example 6, since the pinholes were not sufficiently filled, the insulation resistance value was about half that of Test Example 3 without pinholes, that is, the insulation resistance value for one layer of the thermoplastic resin film without pinholes. It is probable that it showed.

また、試験例2においては、熱可塑性樹脂フィルムに設けられたピンホールの大きさは試験例4及び試験例5と同じであるが、ピンホールが確認された。この結果から、フレキシブル金属積層板の製造段階において、熱可塑性樹脂フィルムの樹脂がピンホール内に流れ込み、ピンホールが埋められるという現象は、フレキシブル金属積層板の絶縁層を複数枚の熱可塑性樹脂フィルムから構成した場合に特有の現象であると考えられる。 Further, in Test Example 2, the size of the pinholes provided on the thermoplastic resin film was the same as that of Test Example 4 and Test Example 5, but pinholes were confirmed. From this result, in the manufacturing stage of the flexible metal laminate, the phenomenon that the resin of the thermoplastic resin film flows into the pinhole and the pinhole is filled is that the insulating layer of the flexible metal laminate is formed by a plurality of thermoplastic resin films. It is considered to be a peculiar phenomenon when it is composed of.

また、試験例7〜12の結果から、金属層を構成する金属の種類や、絶縁層を構成する熱可塑性樹脂フィルムの種類を変更した場合にも、同様の効果が得られることが分かる。 Further, from the results of Test Examples 7 to 12, it can be seen that the same effect can be obtained even when the type of the metal constituting the metal layer or the type of the thermoplastic resin film constituting the insulating layer is changed.

10…絶縁層、11…熱可塑性樹脂フィルム、11a…第1の熱可塑性樹脂フィルム、11b…第2の熱可塑性樹脂フィルム、12…ピンホール、20…金属層。 10 ... Insulation layer, 11 ... Thermoplastic resin film, 11a ... First thermoplastic resin film, 11b ... Second thermoplastic resin film, 12 ... Pinhole, 20 ... Metal layer.

Claims (3)

厚みが25〜50μmである絶縁層と、
前記絶縁層の片面又は両面に接着された金属層とを備え、
前記絶縁層は、厚み方向に重なる複数枚の熱可塑性樹脂フィルム(ただし、複数枚の全てが熱可塑性液晶ポリマーフィルムである場合を除く。)が互いに接着してなる構造を有し、
前記絶縁層を構成する各熱可塑性樹脂フィルムの厚みは、前記絶縁層の厚みの1/2以下であることを特徴とするフレキシブル金属積層板。
An insulating layer having a thickness of 25 to 50 μm and
A metal layer adhered to one side or both sides of the insulating layer is provided.
The insulating layer, a plurality of thermoplastic resin films that overlaps in the thickness direction (however,. That unless all of the plurality is a thermoplastic liquid crystal polymer film) having a structure which is formed by bonding together,
A flexible metal laminated plate characterized in that the thickness of each thermoplastic resin film constituting the insulating layer is ½ or less of the thickness of the insulating layer.
前記絶縁層を構成する複数枚の熱可塑性樹脂フィルムにおける融点の差が150℃以下であることを特徴とする請求項1に記載のフレキシブル金属積層板。 The flexible metal laminated plate according to claim 1, wherein the difference in melting points between the plurality of thermoplastic resin films constituting the insulating layer is 150 ° C. or less. 請求項1又は請求項2に記載のフレキシブル金属積層板の製造方法であって、 The method for manufacturing a flexible metal laminate according to claim 1 or 2.
前記複数枚の熱可塑性樹脂フィルムを積層した状態として、前記複数枚の熱可塑性樹脂フィルム同士を熱圧着させる工程を有することを特徴とするフレキシブル金属積層板の製造方法。 A method for producing a flexible metal laminated plate, which comprises a step of thermocompression bonding the plurality of thermoplastic resin films to each other in a state where the plurality of thermoplastic resin films are laminated.
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