JP6768082B2 - 基板生産管理システムおよび基板生産管理方法 - Google Patents
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Description
実施形態の基板生産管理システム1について、図1〜図6を参考にして説明する。図1は、実施形態の基板生産管理システム1の構成、および関連部分の構成を模式的に示した図である。基板生産管理システム1は、スケジュール管理部2を含んで構成されており、基板生産拠点に設けられる。基板生産拠点は、生産エリア90、外段取りエリア94、部材倉庫95、および通路96を含む。
スケジュール管理部2の機能構成の説明に移る。スケジュール管理部2は、基板生産管理システム1の主要な役割を果たす。スケジュール管理部2は、CPUを有してソフトウェアで動作するコンピュータ装置を用いて構成される。スケジュール管理部2は、表示部21および入力部22を備える。スケジュール管理部2は、生産データベース23にアクセス可能となっている。生産管理者は、基板生産ライン(91、92、93)で生産する複数の基板種の生産順序、および、各基板種の生産開始時期の予定を生産データベース23に設定する。生産データベース23には、基板生産ライン(91、92、93)で様々な基板種の基板を生産するときの生産動作等を詳細に記述した複数のレシピデータも記憶されている。
次に、実施形態の基板生産管理システム1の動作について説明する。図3は、基板生産管理システム1が段取り開始時期Sdおよび出庫開始時期Ssを決定する動作を説明する図である。図3において、現在時期Snであり、右方に向かって時間tが経過する。生産開始時期把握部41は、基板生産ライン(91、92、93)で或る基板種の生産を開始する予定時期である生産開始時期Spを生産データベース23から把握する。
実施形態の基板生産管理システム1は、基板生産ライン(91、92、93)で基板の生産を開始する予定時期である生産開始時期Spを把握する生産開始時期把握部41と、基板を生産できるように基板生産ライン(91、92、93)を段取りする段取り作業に要する段取り時間(外段取り時間Td1、内段取り時間Td2)を推定する段取り時間推定部42と、生産開始時期Spおよび段取り時間に基づいて、段取り作業を開始する段取り開始時期Sdを決定する段取り開始時期決定部43と、基板の生産に必要な部材を部材倉庫95から受け出して、段取り作業の実施場所(外段取りエリア94)および基板生産ライン(91、92、93)の少なくとも一方まで搬送する出庫作業に要する出庫時間Tsを推定する出庫時間推定部44と、段取り開始時期Sdおよび出庫時間Tsに基づいて、出庫作業を開始する出庫開始時期Ssを決定する出庫開始時期決定部45と、を備える。
なお、基板生産管理システム1のハードウェア構成は様々に変形できる。例えば、第1基板生産ライン91の1ラインだけからなる基板生産拠点では、進捗管理部912がスケジュール管理部2の各管理機能部を兼ねることができる。また、段取りリスクマージン時間TRdおよび出庫リスクマージン時間TRsを区別せずに、1つのリスクマージン時間として運用することもできる。さらに、実施形態で説明した外段取り時間Td1、内段取り時間Td2、および出庫時間Tsの推定方法は一例であって、他の様々な推定方法を利用できる。本発明は、その他にも様々な応用や変形が可能である。
Claims (11)
- 基板生産ラインで基板の生産を開始する予定時期である生産開始時期を把握する生産開始時期把握部と、
前記基板を生産できるように前記基板生産ラインを段取りする段取り作業に要する段取り時間を推定する段取り時間推定部と、
前記生産開始時期および前記段取り時間に基づいて、前記段取り作業を開始する段取り開始時期を決定する段取り開始時期決定部と、
前記基板の生産に必要な部材を部材倉庫から受け出して、前記段取り作業の実施場所および前記基板生産ラインの少なくとも一方まで搬送する出庫作業に要する出庫時間を推定する出庫時間推定部と、
前記段取り開始時期および前記出庫時間に基づいて、前記出庫作業を開始する出庫開始時期を決定する出庫開始時期決定部と、
を備える基板生産管理システム。 - 前記段取り作業は、
前記実施場所が外段取りエリアである外段取り作業と、
前記実施場所が前記基板生産ラインであって、前記外段取り作業の後に実施する内段取り作業と、を含む請求項1に記載の基板生産管理システム。 - 前記出庫作業は、
定められた生産枚数の前記基板に必要な前記部材を一括して前記部材倉庫から受け出す一括出庫作業、または、
前記段取り作業に必要な前記部材と、前記基板の生産の進捗に伴って必要になる前記部材と、を分割して前記部材倉庫から受け出す分割出庫作業である請求項1または2に記載の基板生産管理システム。 - 前記出庫開始時期決定部および前記段取り開始時期決定部の少なくとも一方は、作業が長引くリスクに対応したリスクマージン時間を考慮する請求項1〜3のいずれか一項に記載の基板生産管理システム。
- 前記出庫開始時期よりも早い在庫確認時期に前記部材倉庫の在庫量を調査して、前記部材が不足している場合に、前記部材の調達を指示する在庫管理部をさらに備える請求項1〜4のいずれか一項に記載の基板生産管理システム。
- 前記在庫管理部は、調達する前記部材の前記部材倉庫への入庫時期が前記出庫開始時期に間に合わない場合に、前記出庫開始時期、前記段取り開始時期、および前記生産開始時期の少なくともひとつの開始時期を修正し、または、前記少なくともひとつの開始時期の修正を生産管理者に促す請求項5に記載の基板生産管理システム。
- 前記出庫作業および前記段取り作業の少なくとも一方の進捗状況を検出し、前記進捗状況に基づいて、前記出庫作業の終了時期および前記段取り作業の終了時期の少なくとも一方を予測し、予測結果を生産管理者に通知する進捗状況管理部をさらに備える請求項1〜6のいずれか一項に記載の基板生産管理システム。
- 前記進捗状況管理部は、前記予測結果に基づいて、前記段取り開始時期および前記生産開始時期の少なくとも一方の開始時期を修正し、または、前記少なくとも一方の開始時期の修正を前記生産管理者に促す請求項7に記載の基板生産管理システム。
- 前記進捗状況管理部は、前記予測結果に基づいて、前記出庫作業の作業実施計画および前記段取り作業の作業実施計画の少なくとも一方の計画を修正し、または、前記少なくとも一方の計画の修正を前記生産管理者に促す請求項7に記載の基板生産管理システム。
- 前記出庫開始時期および前記段取り開始時期の少なくとも一方が到来したことを案内する開始時期案内部をさらに備える請求項1〜9のいずれか一項に記載の基板生産管理システム。
- コンピュータ装置で構成されるスケジュール管理部を用いて、
基板生産ラインで基板の生産を開始する予定時期である生産開始時期を把握し、
前記基板を生産できるように前記基板生産ラインを段取りする段取り作業に要する段取り時間を推定し、
前記生産開始時期および前記段取り時間に基づいて、前記段取り作業を開始する段取り開始時期を決定し、
前記基板の生産に必要な部材を部材倉庫から受け出して、前記段取り作業の実施場所および前記基板生産ラインの少なくとも一方まで搬送する出庫作業に要する出庫時間を推定し、
前記段取り開始時期および前記出庫時間に基づいて、前記出庫作業を開始する出庫開始時期を決定する基板生産管理方法。
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