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JP6779668B2 - Insulation inspection equipment - Google Patents
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Description

本発明は、絶縁検査装置に関する。 The present invention relates to insulation test equipment.

太陽電池モジュールは、太陽電池パネルと、その周囲を囲んで保持するフレームとからなる。太陽電池パネルは、太陽電池素子が、封止材を介してカバーガラスとバックシートで挟み込まれラミネート処理をされたものである。太陽電池素子は、基板と、少なくとも第1の電極、半導体層及び第2の電極が基板上に積層された積層体とからなる。 The solar cell module consists of a solar cell panel and a frame that surrounds and holds the solar cell panel. In the solar cell panel, the solar cell element is sandwiched between the cover glass and the back sheet via a sealing material and laminated. The solar cell element includes a substrate and a laminate in which at least a first electrode, a semiconductor layer, and a second electrode are laminated on the substrate.

太陽電池モジュールには、雨水に曝されても漏電が生じず、経年劣化しても漏電しないような絶縁性能が求められる。太陽電池モジュールに絶縁性を持たせる方法の1つとして、基板上の積層体の外周部をデリーション(除去)することで、基板の端部と積層体の端部との間に積層体が存在しない除去領域を形成する方法がある。そして、例えば特許文献1に開示されている方法で、デリーションによって積層体を除去した除去領域の絶縁性をプローブによって検査、測定している。 The solar cell module is required to have an insulating performance that does not cause an electric leakage even when exposed to rainwater and does not cause an electric leakage even if it deteriorates over time. As one of the methods for giving the solar cell module an insulating property, the outer peripheral portion of the laminate on the substrate is deleted (removed) so that the laminate is formed between the end of the substrate and the end of the laminate. There is a way to form a removal area that does not exist. Then, for example, by the method disclosed in Patent Document 1, the insulation property of the removal region from which the laminate has been removed by the deletion is inspected and measured by a probe.

特開2014−99425号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2014-99425

例えば、図1に示すように、デリーションによって積層体を除去した除去領域100の上面に絶縁検査装置のプローブ101及び102を接触させて絶縁性を検査する場合、太陽電池モジュールに求められる電気特性によっては、プローブ101と102との間に最大8000V程度の電圧を印加する必要がある。 For example, as shown in FIG. 1, when the probes 101 and 102 of the insulation inspection device are brought into contact with the upper surface of the removal region 100 from which the laminate has been removed by deletion to inspect the insulation, the electrical characteristics required for the solar cell module. Depending on the case, it is necessary to apply a voltage of up to about 8000 V between the probes 101 and 102.

しかしながら、デリーションの幅が小さい場合やプローブ間の距離が短い場合など必要な沿面距離を保てないときに、電圧印加による電離、或いは測定対象や環境の汚染度などに起因して沿面放電300が発生してしまい、精確な絶縁検査ができないことがあった。 However, when the required creepage distance cannot be maintained, such as when the depth width is small or the distance between probes is short, the creepage discharge 300 is caused by ionization due to voltage application or the degree of pollution of the measurement target or environment. In some cases, accurate insulation inspection could not be performed.

本発明は、精確な絶縁検査を行うことを目的とする。 An object of the present invention is to perform an accurate insulation inspection.

本絶縁検査装置は、第1のプローブと、第2のプローブと、第1の絶縁体と、第1のプローブと第2のプローブと第1の絶縁体とを支持する支持部と、第1のプローブと第2のプローブと第1の絶縁体とを検査面に当接または離間させる移動機構と、を有し、第1のプローブと第2のプローブと第1の絶縁体とが検査面に当接したときに、第1の絶縁体は第1のプローブと第2のプローブとの間に位置し、支持部は、第1のプローブが位置する溝と第2のプローブが位置する溝とを連通する間隙を有し、間隙の一部を塞ぐように第2の絶縁体が設けられ、第1のプローブと第2のプローブと第1の絶縁体とは、移動機構によって支持部を介して移動する

This insulation inspection device includes a first probe, a second probe, a first insulator, a support portion for supporting the first probe, the second probe, and the first insulator, and a first insulator . The probe, the second probe, and the first insulator are brought into contact with or separated from the inspection surface, and the first probe, the second probe, and the first insulator are on the inspection surface. The first insulator is located between the first probe and the second probe, and the support portion is the groove where the first probe is located and the groove where the second probe is located. A second insulator is provided so as to have a gap for communicating with and a part of the gap, and the first probe, the second probe, and the first insulator support a support portion by a moving mechanism. Move through .

開示の技術によれば、精確な絶縁検査を行うことができる。 According to the disclosed technology, accurate insulation inspection can be performed.

従来の絶縁検査装置について説明する図である。It is a figure explaining the conventional insulation inspection apparatus. 第1の実施の形態に係る絶縁検査装置の構造を例示する断面模式図(非検査状態)である。It is sectional drawing (non-inspection state) which illustrates the structure of the insulation inspection apparatus which concerns on 1st Embodiment. プローブ及び弾性絶縁体の形状及び位置関係を例示する底面図である。It is a bottom view which illustrates the shape and positional relationship of a probe and an elastic insulator. 第1の実施の形態に係る絶縁検査装置の構造を例示する断面模式図(検査状態)である。It is sectional drawing (inspection state) which illustrates the structure of the insulation inspection apparatus which concerns on 1st Embodiment. 第1の実施の形態に係る絶縁検査装置の効果について説明する図である。It is a figure explaining the effect of the insulation inspection apparatus which concerns on 1st Embodiment. 各プローブが接する位置について説明する図である。It is a figure explaining the position where each probe contacts. 第1の実施の形態の変形例1に係る絶縁検査装置の構造を例示する断面模式図1(検査状態)である。FIG. 1 is a schematic cross-sectional view 1 (inspection state) illustrating the structure of the insulation inspection apparatus according to the first modification of the first embodiment. 第1の実施の形態の変形例1に係る絶縁検査装置の構造を例示する断面模式図2(検査状態)である。FIG. 2 is a schematic cross-sectional view 2 (inspection state) illustrating the structure of the insulation inspection apparatus according to the first modification of the first embodiment. 第1の実施の形態の変形例1に係る絶縁検査装置の構造を例示する断面模式図3(検査状態)である。FIG. 3 is a schematic cross-sectional view 3 (inspection state) illustrating the structure of the insulation inspection device according to the first modification of the first embodiment. 第1の実施の形態の変形例2に係る絶縁検査装置の構造を例示する断面模式図1(検査状態)である。FIG. 1 is a schematic cross-sectional view 1 (inspection state) illustrating the structure of the insulation inspection apparatus according to the second modification of the first embodiment. 第1の実施の形態の変形例2に係る絶縁検査装置の構造を例示する断面模式図2(検査状態)である。FIG. 2 is a schematic cross-sectional view 2 (inspection state) illustrating the structure of the insulation inspection apparatus according to the second modification of the first embodiment. 第1の実施の形態の変形例2に係る絶縁検査装置の構造を例示する断面模式図3(検査状態)である。FIG. 3 is a schematic cross-sectional view 3 (inspection state) illustrating the structure of the insulation inspection device according to the second modification of the first embodiment. 第1の実施の形態の変形例3に係る絶縁検査装置の構造を例示する断面模式図1(検査状態)である。FIG. 1 is a schematic cross-sectional view 1 (inspection state) illustrating the structure of the insulation inspection apparatus according to the third modification of the first embodiment. 第1の実施の形態の変形例3に係る絶縁検査装置の構造を例示する断面模式図2(検査状態)である。FIG. 2 is a schematic cross-sectional view 2 (inspection state) illustrating the structure of the insulation inspection apparatus according to the third modification of the first embodiment. 第1の実施の形態の変形例3に係る絶縁検査装置の構造を例示する断面模式図3(検査状態)である。FIG. 3 is a schematic cross-sectional view 3 (inspection state) illustrating the structure of the insulation inspection device according to the third modification of the first embodiment.

以下、図面を参照して発明を実施するための形態について説明する。なお、各図面において、同一構成部分には同一符号を付し、重複した説明を省略する場合がある。 Hereinafter, modes for carrying out the invention will be described with reference to the drawings. In each drawing, the same components may be designated by the same reference numerals and duplicate description may be omitted.

〈第1の実施の形態〉
図2は、第1の実施の形態に係る絶縁検査装置の構造を例示する断面模式図であり、非検査状態(プローブが検査対象物の検査面と接触していない状態)を示している。
<First Embodiment>
FIG. 2 is a schematic cross-sectional view illustrating the structure of the insulation inspection device according to the first embodiment, and shows a non-inspection state (a state in which the probe is not in contact with the inspection surface of the inspection object).

図2を参照すると、絶縁検査装置1は、検査対象物の検査面に接して絶縁検査を行う装置であり、第1のプローブ11と、第2のプローブ12と、弾性絶縁体(第1の絶縁体)13と、支持部14と、移動機構15と、計測部16とを備えている。計測部16は、第1のプローブ11と第2のプローブ12との間に電圧を印加する電圧印加部と、第1のプローブ11と第2のプローブ12との間に流れる電流を測定する電流測定部とを含んでいる。 Referring to FIG. 2, the insulation inspection device 1 is a device that performs an insulation inspection in contact with the inspection surface of the inspection object, and is a first probe 11, a second probe 12, and an elastic insulator (first probe). It includes an insulator) 13, a support portion 14, a moving mechanism 15, and a measuring portion 16. The measuring unit 16 measures a current that applies a voltage between the first probe 11 and the second probe 12 and a current that flows between the first probe 11 and the second probe 12. Includes a measuring unit.

第1のプローブ11と第2のプローブ12と弾性絶縁体13とは、それぞれ支持部14に支持されている。具体的には、導電体である第1のプローブ11と第2のプローブ12は、バネなどの弾性体17を介して、絶縁体である支持部14に支持されている。また、弾性絶縁体13は、第1のプローブ11と第2のプローブ12との間に位置するように直接支持部14に支持されている。弾性絶縁体13の断面形状は、例えば、矩形状とすることができる。 The first probe 11, the second probe 12, and the elastic insulator 13 are each supported by the support portion 14. Specifically, the first probe 11 and the second probe 12, which are conductors, are supported by a support portion 14, which is an insulator, via an elastic body 17 such as a spring. Further, the elastic insulator 13 is directly supported by the support portion 14 so as to be located between the first probe 11 and the second probe 12. The cross-sectional shape of the elastic insulator 13 can be, for example, a rectangular shape.

支持部14の下面側には各プローブ11、12に対応して溝が形成され、各プローブ11、12の一部は対応する溝内に位置している。また、各プローブ11、12を支持する弾性体17は、一端が支持部14に設けられた溝に固定され、他端がプローブに固定されている。これらのプローブ11、12は、電圧印加部及び電流測定部にそれぞれ電気的に接続されている。 Grooves are formed on the lower surface side of the support portion 14 corresponding to the probes 11 and 12, and a part of the probes 11 and 12 is located in the corresponding grooves. Further, the elastic body 17 that supports the probes 11 and 12 has one end fixed to the groove provided in the support portion 14 and the other end fixed to the probe. These probes 11 and 12 are electrically connected to a voltage application unit and a current measurement unit, respectively.

支持部14の上面側には移動機構15が設けられており、第1のプローブ11と第2のプローブ12と弾性絶縁体13とは、移動機構15によって支持部14を介して矢印Aで示す上下方向に移動可能である。 A moving mechanism 15 is provided on the upper surface side of the support portion 14, and the first probe 11, the second probe 12, and the elastic insulator 13 are indicated by an arrow A via the support portion 14 by the moving mechanism 15. It can move up and down.

支持部14の移動に伴って、第1のプローブ11と第2のプローブ12と弾性絶縁体13とは、検査対象物の検査面に当接または離間する。また、各プローブ11、12が検査面に当接していない状態(図2の状態)では、各プローブ11、12の先端が弾性絶縁体13よりも検査面側に位置している。 As the support portion 14 moves, the first probe 11, the second probe 12, and the elastic insulator 13 come into contact with or separate from the inspection surface of the inspection object. Further, in the state where the probes 11 and 12 are not in contact with the inspection surface (the state shown in FIG. 2), the tips of the probes 11 and 12 are located closer to the inspection surface than the elastic insulator 13.

図3は、プローブ及び弾性絶縁体の形状及び位置関係を例示する底面図である。図3(a)に示す例では、第1のプローブ11及び第2のプローブ12は検査面に面で接する板形状であり、弾性絶縁体13を介して互いに対向している。図3(b)に示す例では、第1のプローブ11及び第2のプローブ12は検査面に点で接する針形状であり、弾性絶縁体13を介して互いに対向している。 FIG. 3 is a bottom view illustrating the shape and positional relationship of the probe and the elastic insulator. In the example shown in FIG. 3A, the first probe 11 and the second probe 12 have a plate shape in contact with the inspection surface on the surface, and face each other via the elastic insulator 13. In the example shown in FIG. 3B, the first probe 11 and the second probe 12 have a needle shape in contact with the inspection surface at a point, and face each other via the elastic insulator 13.

何れの場合も、弾性絶縁体13は、底面視において、第1のプローブ11と第2のプローブ12とが対向する領域内から、第1のプローブ11と第2のプローブ12とが対向する方向に対して直交する方向(B方向)の両側に突出していることが好ましい。沿面放電を効果的に防止するためである。 In either case, the elastic insulator 13 is in the direction in which the first probe 11 and the second probe 12 face each other from within the region where the first probe 11 and the second probe 12 face each other in the bottom view. It is preferable that the protrusions are projected on both sides in the direction orthogonal to the (B direction). This is to effectively prevent creeping discharge.

言い換えれば、図3(a)に示す板形状の弾性絶縁体13では、底面視において、弾性絶縁体13はプローブ同士の間に位置し、かつ、弾性絶縁体13のB方向の長さ(プローブが延びる方向の長さ)がプローブのB方向の長さより長いことが好ましい。図3(b)に示す針形状の弾性絶縁体13でも同様に、底面視において、弾性絶縁体13はプローブ同士の間に位置し、かつ、弾性絶縁体13のB方向の長さがプローブのB方向の長さ(プローブの直径)より長いことが好ましい。 In other words, in the plate-shaped elastic insulator 13 shown in FIG. 3A, the elastic insulator 13 is located between the probes in the bottom view, and the length of the elastic insulator 13 in the B direction (probe). The length in the extending direction) is preferably longer than the length in the B direction of the probe. Similarly, in the needle-shaped elastic insulator 13 shown in FIG. 3B, the elastic insulator 13 is located between the probes in the bottom view, and the length of the elastic insulator 13 in the B direction is the length of the probe. It is preferably longer than the length in the B direction (probe diameter).

なお、絶縁検査装置1では、板形状及び針形状の何れの形状のプローブを用いても構わないが、板形状のプローブは針形状のプローブよりも広い範囲を一度に絶縁検査できる点で好適である。 In the insulation inspection device 1, a probe having either a plate shape or a needle shape may be used, but the plate shape probe is preferable in that it can inspect a wider range at once than the needle shape probe. is there.

図4は、第1の実施の形態に係る絶縁検査装置の構造を例示する断面模式図であり、検査状態を示している。図4において、測定対象物は太陽電池素子30であり、基板31と、基板31上に第1の電極、半導体層、及び第2の電極が順に積層された積層体32とからなる。基板31上において積層体32の外周部がデリーションされた除去領域31aが形成されている。図4に示す例では、除去領域31aが検査面である。なお、以降の説明で検査面に符号31aを付与して説明する場合がある。 FIG. 4 is a schematic cross-sectional view illustrating the structure of the insulation inspection device according to the first embodiment, and shows an inspection state. In FIG. 4, the object to be measured is the solar cell element 30, which includes a substrate 31 and a laminate 32 in which a first electrode, a semiconductor layer, and a second electrode are sequentially laminated on the substrate 31. A removal region 31a is formed on the substrate 31 in which the outer peripheral portion of the laminated body 32 is deleted. In the example shown in FIG. 4, the removal region 31a is the inspection surface. In the following description, reference numerals 31a may be added to the inspection surface for description.

太陽電池素子30において、基板31はガラス等からなる絶縁性の基板である。また、積層体32を構成する半導体層は、特に限定はされないが、例えば、CIS系薄膜(銅(Cu)、インジウム(In)、及びセレン(Se)を含有する化合物からなる薄膜)である。 In the solar cell element 30, the substrate 31 is an insulating substrate made of glass or the like. The semiconductor layer constituting the laminate 32 is not particularly limited, but is, for example, a CIS-based thin film (thin film composed of a compound containing copper (Cu), indium (In), and selenium (Se)).

絶縁検査装置1を用いて絶縁検査を行う際には、まず、移動機構15により、第1のプローブ11と第2のプローブ12と弾性絶縁体13とを検査面に当接させる当接ステップを実行する。 When performing an insulation inspection using the insulation inspection device 1, first, a contact step is performed in which the first probe 11, the second probe 12, and the elastic insulator 13 are brought into contact with the inspection surface by the moving mechanism 15. Run.

当接ステップにおいて、移動機構15によって支持部14を下方向(検査面方向)に移動させ、支持部14を検査面31aに近接させると各プローブ11、12が検査面31aに当接する。更に支持部14を検査面31aに向けて移動させると、弾性体17が縮み、各プローブ11、12が支持部14の溝内に入り込むとともに、弾性絶縁体13が検査面31aに当接する。更に支持部14を検査面31aに向けて移動させると、弾性絶縁体13が強く検査面31aに当接、つまり検査面31aに密着する。 In the contact step, when the support portion 14 is moved downward (inspection surface direction) by the moving mechanism 15 and the support portion 14 is brought close to the inspection surface 31a, the probes 11 and 12 come into contact with the inspection surface 31a. Further, when the support portion 14 is moved toward the inspection surface 31a, the elastic body 17 contracts, the probes 11 and 12 enter the groove of the support portion 14, and the elastic insulator 13 comes into contact with the inspection surface 31a. Further, when the support portion 14 is moved toward the inspection surface 31a, the elastic insulator 13 strongly abuts on the inspection surface 31a, that is, adheres to the inspection surface 31a.

当接ステップにより、第1のプローブ11と第2のプローブ12と弾性絶縁体13とが検査面31aに当接したときに、第1のプローブ11と第2のプローブ12とが対向し、弾性絶縁体13は第1のプローブ11と第2のプローブ12との間に位置する。 By the contact step, when the first probe 11, the second probe 12, and the elastic insulator 13 come into contact with the inspection surface 31a, the first probe 11 and the second probe 12 face each other and are elastic. The insulator 13 is located between the first probe 11 and the second probe 12.

ところで、除去領域31aでは、基板31の歪に起因する凹凸によって弾性絶縁体13と除去領域31aとの間の間隔の違いがある。しかし、弾性絶縁体13を除去領域31aに強く当接させることで、図5に示すように、除去領域31aの凹凸に合わせて弾性絶縁体13が変形し、弾性絶縁体13が除去領域31aに密着する。つまり、弾性絶縁体13と支持部14及び除去領域31aとの間には隙間がなくなる。 By the way, in the removal region 31a, there is a difference in the distance between the elastic insulator 13 and the removal region 31a due to the unevenness caused by the distortion of the substrate 31. However, when the elastic insulator 13 is strongly brought into contact with the removal region 31a, as shown in FIG. 5, the elastic insulator 13 is deformed according to the unevenness of the removal region 31a, and the elastic insulator 13 becomes the removal region 31a. In close contact. That is, there is no gap between the elastic insulator 13, the support portion 14, and the removal region 31a.

また、図3及び図4からわかるように、第1のプローブ11と第2のプローブ12と弾性絶縁体13とが検査面に当接したときに、第1のプローブ11側から第2のプローブ12を見ると、弾性絶縁体13は第2のプローブ12を遮るように位置している。 Further, as can be seen from FIGS. 3 and 4, when the first probe 11, the second probe 12, and the elastic insulator 13 come into contact with the inspection surface, the first probe 11 side to the second probe Looking at 12, the elastic insulator 13 is positioned so as to block the second probe 12.

そのため、第1のプローブ11と第2のプローブ12との間に例えば8000Vの高電圧を印加した場合でも、各プローブ11、12間には弾性絶縁体13が存在するため、沿面放電300の発生を防止することができる。その結果、絶縁検査装置1では、精確な絶縁検査を行うことが可能となる。 Therefore, even when a high voltage of, for example, 8000 V is applied between the first probe 11 and the second probe 12, the elastic insulator 13 exists between the probes 11 and 12, so that the creepage discharge 300 is generated. Can be prevented. As a result, the insulation inspection device 1 can perform an accurate insulation inspection.

なお、検査時に検査面と第1のプローブ11と第2のプローブ12とで形成される空間が、上下方向に空間ができないように弾性絶縁体13で区切られていることが好ましい。 It is preferable that the space formed by the inspection surface, the first probe 11 and the second probe 12 at the time of inspection is separated by an elastic insulator 13 so that no space is formed in the vertical direction.

また、上記の説明では検査面を除去領域31aとしたが、第1のプローブ11は基板31または除去領域31aと接することができ、第2のプローブ12は除去領域31aまたは積層体32と接することができる。その結果、検査面は除去領域31aには限られず、基板31、積層体32、除去領域31aとすることができる。 Further, although the inspection surface is defined as the removal region 31a in the above description, the first probe 11 can be in contact with the substrate 31 or the removal region 31a, and the second probe 12 is in contact with the removal region 31a or the laminate 32. Can be done. As a result, the inspection surface is not limited to the removal region 31a, but can be the substrate 31, the laminate 32, and the removal region 31a.

すなわち、検査時において、第1のプローブ11と第2のプローブ12は、図4に示すように両方が除去領域31aと接する場合だけではなく、図6(a)に示すように、一方が積層体32に接し、他方が除去領域31aに接してもよい。この場合には、除去領域31aと積層体32とが検査面となる。 That is, at the time of inspection, one of the first probe 11 and the second probe 12 is laminated not only when both of them are in contact with the removal region 31a as shown in FIG. 4 but also as shown in FIG. 6 (a). It may be in contact with the body 32 and the other may be in contact with the removal region 31a. In this case, the removal region 31a and the laminated body 32 serve as inspection surfaces.

或いは、図6(b)に示すように、一方が除去領域31aに接し、他方が基板31の側面に接してもよい。この場合には、除去領域31aと基板31とが検査面となる。或いは、図示は省略するが、一方が積層体32に接し、他方が基板31の側面に接してもよい。この場合には、積層体32から基板31までが検査面となる。 Alternatively, as shown in FIG. 6B, one may be in contact with the removal region 31a and the other may be in contact with the side surface of the substrate 31. In this case, the removal region 31a and the substrate 31 serve as inspection surfaces. Alternatively, although not shown, one may be in contact with the laminate 32 and the other may be in contact with the side surface of the substrate 31. In this case, the laminated body 32 to the substrate 31 are the inspection surfaces.

検査面が基板31、積層体32、除去領域31aの何れであっても、弾性絶縁体13は必ず除去領域31aに接する。これにより、沿面放電を防止できる。 Regardless of whether the inspection surface is the substrate 31, the laminated body 32, or the removal region 31a, the elastic insulator 13 always comes into contact with the removal region 31a. As a result, creeping discharge can be prevented.

弾性絶縁体13としては、天然ゴム、ジエン系ゴム、非ジエン系ゴム、その他のゴムを用いると好適である。 As the elastic insulator 13, it is preferable to use natural rubber, diene-based rubber, non-diene-based rubber, or other rubber.

ジエン系ゴムとしては、例えば、スチレン・ブタジエンゴム(SBR)、イソプレンゴム(IR)、ブタジエンゴム(BR)、クロロプレンゴム(CR)、アクリロニトリル・ブタジエンゴム(NBR)等が挙げられる。 Examples of the diene rubber include styrene-butadiene rubber (SBR), isoprene rubber (IR), butadiene rubber (BR), chloroprene rubber (CR), and acrylonitrile-butadiene rubber (NBR).

また、非ジエン系ゴムとしては、例えば、ブチルゴム(イソブチエン・イソプレンゴム(IIR))、エチレン・プロピレンゴム(EPM、EP、EPDM)、エチレン・プロピレン・ジエンゴム(EPDM)、ウレタンゴム(PUR、U)、シリコーンゴム(Si,Q、VMQ、SR)、フッ素ゴム(FKM、FPM)等が挙げられる。 Examples of non-diene rubbers include butyl rubber (isobutyene / isoprene rubber (IIR)), ethylene / propylene rubber (EPM, EP, EPDM), ethylene / propylene / diene rubber (EPDM), and urethane rubber (PUR, U). , Silicone rubber (Si, Q, VMQ, SR), fluororubber (FKM, FPM) and the like.

また、その他のゴムとしては、例えば、クロロスルホン化ポリエチレン(CSM)、塩素化ポリエチレン(CM)、アクリルゴム(ACM,ANM)、多硫化ゴム(T)、エピクロルヒドリンゴム(CO、ECO)等が挙げられる。 Examples of other rubbers include chlorosulfonated polyethylene (CSM), chlorinated polyethylene (CM), acrylic rubber (ACM, ANM), polysulfide rubber (T), epichlorohydrin rubber (CO, ECO) and the like. Be done.

〈第1の実施の形態の変形例1〉
第1の実施の形態では、絶縁検査装置1において断面形状が矩形状の弾性絶縁体13を用いる例を示した。しかし、弾性絶縁体の断面形状は図4等に示した矩形状には限られず、以下に例示する様々な形状とすることができる。
<Modification 1 of the first embodiment>
In the first embodiment, an example is shown in which the elastic insulator 13 having a rectangular cross section is used in the insulation inspection device 1. However, the cross-sectional shape of the elastic insulator is not limited to the rectangular shape shown in FIG. 4 and the like, and may be various shapes exemplified below.

図7〜図9は、第1の実施の形態の変形例1に係る絶縁検査装置の構造を例示する断面模式図であり、検査状態を示している。 7 to 9 are schematic cross-sectional views illustrating the structure of the insulation inspection device according to the first modification of the first embodiment, and show the inspection state.

例えば、図7(a)に示す弾性絶縁体13Aのように、除去領域31a側(下面側)の両側に矩形状の切り欠きを設け、支持部14側の幅の広い矩形状部分から幅の狭い矩形状部分が除去領域31a側に突起する略T字型の断面形状としてもよい。また、図7(b)に示す弾性絶縁体13Bのように、除去領域31aと接する面(下面)の面積が支持部14側の面(上面)の面積よりも小さい台形状(例えば、等脚台形状)の断面形状としてもよい。 For example, as in the elastic insulator 13A shown in FIG. 7A, rectangular notches are provided on both sides of the removal region 31a side (lower surface side), and the width is wide from the wide rectangular portion on the support portion 14 side. A substantially T-shaped cross section may be formed in which a narrow rectangular portion protrudes toward the removal region 31a. Further, like the elastic insulator 13B shown in FIG. 7 (b), the area of the surface (lower surface) in contact with the removal region 31a is smaller than the area of the surface (upper surface) on the support portion 14 side (for example, an equileg). The cross-sectional shape may be trapezoidal).

また、図8(a)に示す弾性絶縁体13Cのように、円形状または楕円形状の断面形状としてもよい。また、図8(b)に示す弾性絶縁体13Dのように、除去領域31a側の中央部に除去領域31aと接する面側から支持部14側に窪む矩形状の溝を設けた断面形状としてもよい。 Further, as in the elastic insulator 13C shown in FIG. 8A, the cross-sectional shape may be circular or elliptical. Further, as in the elastic insulator 13D shown in FIG. 8B, the cross-sectional shape is provided with a rectangular groove recessed from the surface side in contact with the removal region 31a to the support portion 14 side in the central portion on the removal region 31a side. May be good.

また、弾性絶縁体は、1つであってもよいし、複数であってもよい。例えば、図9に示す弾性絶縁体13Eのように、弾性絶縁体は独立した矩形状の2つの部分を有していてもよい。もちろん、弾性絶縁体は独立した3つ以上の部分を有していてもよいし、矩形状の断面形状に代えて図7(a)〜図8(b)に示したような様々な断面形状を採用することができる。 Further, the number of elastic insulators may be one or a plurality. For example, as in the elastic insulator 13E shown in FIG. 9, the elastic insulator may have two independent rectangular portions. Of course, the elastic insulator may have three or more independent portions, and instead of the rectangular cross-sectional shape, various cross-sectional shapes as shown in FIGS. 7 (a) to 8 (b) Can be adopted.

〈第1の実施の形態の変形例2〉
第1の実施の形態では、絶縁検査装置1において第1のプローブ11、第2のプローブ12、及び弾性絶縁体13が同一の支持部14に支持される例を示した。しかし、これには限られず、以下に例示するように、第1のプローブ11、第2のプローブ12、及び弾性絶縁体13は別々の支持部に支持されてもよい。
<Modification 2 of the first embodiment>
In the first embodiment, an example is shown in which the first probe 11, the second probe 12, and the elastic insulator 13 are supported by the same support portion 14 in the insulation inspection device 1. However, the present invention is not limited to this, and as illustrated below, the first probe 11, the second probe 12, and the elastic insulator 13 may be supported by separate supports.

図10〜図12は、第1の実施の形態の変形例2に係る絶縁検査装置の構造を例示する断面模式図であり、検査状態を示している。 10 to 12 are schematic cross-sectional views illustrating the structure of the insulation inspection device according to the second modification of the first embodiment, and show the inspection state.

例えば、図10(a)に示すように、水平方向に離間して配置された2つの支持部14A及び14Bを設けてもよい。支持部14A及び14Bは、例えば、移動機構15によって矢印Aで示す上下方向に同時に移動可能に構成されている。 For example, as shown in FIG. 10 (a), two support portions 14A and 14B arranged horizontally separated from each other may be provided. The support portions 14A and 14B are configured to be simultaneously movable in the vertical direction indicated by the arrow A by, for example, the moving mechanism 15.

図10(a)に示す例では、第1のプローブ11は弾性体17を介して支持部14Aの溝内に固定され、第2のプローブ12は弾性体17を介して支持部14Bの溝内に固定されている。また、弾性絶縁体13Fは、断面形状が矩形状であり、第1のプローブ11と第2のプローブ12との間に位置するように、支持部14Aと支持部14Bの対向する側面に固定されている。 In the example shown in FIG. 10A, the first probe 11 is fixed in the groove of the support portion 14A via the elastic body 17, and the second probe 12 is fixed in the groove of the support portion 14B via the elastic body 17. It is fixed to. Further, the elastic insulator 13F has a rectangular cross section and is fixed to the opposite side surfaces of the support portion 14A and the support portion 14B so as to be located between the first probe 11 and the second probe 12. ing.

なお、弾性絶縁体の断面形状は図10(a)等に示した矩形状には限られず、以下に例示する様々な形状とすることができる。例えば、図10(b)に示す弾性絶縁体13Gのように、除去領域31a側の両側に矩形状の切り欠きを設け、移動機構15側(上面側)の幅の広い矩形状部分から幅の狭い矩形状部分が除去領域31a側に突起する略T字型の断面形状としてもよい。 The cross-sectional shape of the elastic insulator is not limited to the rectangular shape shown in FIG. 10A and the like, and may be various shapes exemplified below. For example, as in the elastic insulator 13G shown in FIG. 10B, rectangular cutouts are provided on both sides of the removal region 31a side, and the width is wide from the wide rectangular portion on the moving mechanism 15 side (upper surface side). A substantially T-shaped cross section may be formed in which a narrow rectangular portion protrudes toward the removal region 31a.

また、図11(a)に示す弾性絶縁体13Hのように、支持部14Aと支持部14Bの対向する側面間から除去領域31a側に突起する部分の形状を、除去領域31aと接する面の面積が移動機構15側の面積よりも小さい台形状(例えば、等脚台形状)の断面形状としてもよい。また、図11(b)に示す弾性絶縁体13Iのように、円形状または楕円形状の断面形状としてもよい。 Further, as in the elastic insulator 13H shown in FIG. 11A, the shape of the portion protruding from between the opposite side surfaces of the support portion 14A and the support portion 14B toward the removal region 31a is the area of the surface in contact with the removal region 31a. May be a cross-sectional shape having a trapezoidal shape (for example, an isobaric trapezoidal shape) smaller than the area on the moving mechanism 15 side. Further, as in the elastic insulator 13I shown in FIG. 11B, the cross-sectional shape may be circular or elliptical.

また、図12(a)に示す弾性絶縁体13Jのように、除去領域31a側の中央部に除去領域31aと接する面側から移動機構15側に窪む矩形状の溝を設けた断面形状としてもよい。また、図12(b)に示す弾性絶縁体13Kのように、支持部14A及び14Bのそれぞれに弾性絶縁体を設けてもよい。 Further, as in the elastic insulator 13J shown in FIG. 12A, the cross-sectional shape is provided with a rectangular groove recessed from the surface side in contact with the removal region 31a to the moving mechanism 15 side in the central portion on the removal region 31a side. May be good. Further, as in the elastic insulator 13K shown in FIG. 12B, elastic insulators may be provided in each of the support portions 14A and 14B.

〈第1の実施の形態の変形例3〉
第1の実施の形態の変形例3では、その他の変形例を示す。
<Modification 3 of the first embodiment>
Modification 3 of the first embodiment shows other modifications.

図13〜図15は、第1の実施の形態の変形例3に係る絶縁検査装置の構造を例示する断面模式図であり、検査状態を示している。 13 to 15 are schematic cross-sectional views illustrating the structure of the insulation inspection apparatus according to the third modification of the first embodiment, and show the inspection state.

例えば、図13(a)に示すように、支持部を複数のユニットからなる構造としてもよい。図13(a)に示す例では、支持部14C上に所定の間隙を空けて支持部14Dを配置した構造としている。第1のプローブ11及び第2のプローブ12のそれぞれの上端は、支持部14Cと支持部14Dとの間の間隙内に露出している。 For example, as shown in FIG. 13A, the support portion may have a structure composed of a plurality of units. In the example shown in FIG. 13A, the support portion 14D is arranged on the support portion 14C with a predetermined gap. The upper ends of each of the first probe 11 and the second probe 12 are exposed in the gap between the support portion 14C and the support portion 14D.

但し、図13(a)の構造の場合、間隙を介してプローブ間に沿面放電300が生じるおそれがある。そこで、図13(b)のように、第1のプローブ11と第2のプローブ12との間隙の少なくとも一部を塞ぐように、弾性絶縁体(第2の絶縁体)23を配置することが好ましい。例えば、支持部14Cの上面と支持部14Dの下面の対向する位置に溝を設け、溝内に弾性絶縁体23を配置することができる。 However, in the case of the structure of FIG. 13A, creeping discharge 300 may occur between the probes through the gap. Therefore, as shown in FIG. 13B, the elastic insulator (second insulator) 23 can be arranged so as to close at least a part of the gap between the first probe 11 and the second probe 12. preferable. For example, a groove can be provided at a position where the upper surface of the support portion 14C and the lower surface of the support portion 14D face each other, and the elastic insulator 23 can be arranged in the groove.

図13(b)の構造では、プローブ同士の間を、第1のプローブ11から見たときに第2のプローブ12を遮るように弾性絶縁体13が配置されているだけではなく、同様に間隙内にも弾性絶縁体23が配置されている。そのため、プローブ間に例えば8000Vの高電圧を印加した場合でも、プローブ間には弾性絶縁体13及び23が存在するため、沿面放電300の発生を防止することができる。その結果、精確な絶縁検査を行うことが可能となる。 In the structure of FIG. 13B, not only the elastic insulator 13 is arranged between the probes so as to block the second probe 12 when viewed from the first probe 11, but also a gap is similarly provided. An elastic insulator 23 is also arranged inside. Therefore, even when a high voltage of, for example, 8000 V is applied between the probes, the elastic insulators 13 and 23 are present between the probes, so that the occurrence of creepage discharge 300 can be prevented. As a result, it becomes possible to perform an accurate insulation inspection.

なお、図13(b)のように2つの支持部が対向する面は必ずしも平面である必要はない。例えば、図14に示す支持部14Eと支持部14Fのように、支持部14Eの上面の中央部に凹部を設け、支持部14Fの下面の、支持部14Eの凹部と対向する位置に凸部を設け、支持部14Fの凸部が支持部14Eの凹部に所定の間隙を空けて嵌まり込む構造であってもよい。 It should be noted that the surfaces of the two support portions facing each other as shown in FIG. 13B do not necessarily have to be flat. For example, like the support portion 14E and the support portion 14F shown in FIG. 14, a concave portion is provided in the center of the upper surface of the support portion 14E, and a convex portion is provided on the lower surface of the support portion 14F at a position facing the concave portion of the support portion 14E. A structure may be provided in which the convex portion of the support portion 14F is fitted into the concave portion of the support portion 14E with a predetermined gap.

この場合も、第1のプローブ11と第2のプローブ12との間隙の少なくとも一部を塞ぐように、凹部内に弾性絶縁体23を配置することにより、図13(b)の場合と同様に、沿面放電300の発生を防止することができる。その結果、精確な絶縁検査を行うことが可能となる。 In this case as well, as in the case of FIG. 13B, by arranging the elastic insulator 23 in the recess so as to close at least a part of the gap between the first probe 11 and the second probe 12. , It is possible to prevent the occurrence of creeping discharge 300. As a result, it becomes possible to perform an accurate insulation inspection.

図15は、各プローブ11、12が配置される溝内において各プローブ11、12と接するように弾性絶縁体を配置する例である。図15に示す例では、第1のプローブ11及び第2のプローブ12のそれぞれの上端面に接するように弾性絶縁体33が支持部14G内に埋め込まれている。この構造では、弾性絶縁体13に加えて各プローブ11、12の上端面に接する弾性絶縁体33が存在するため、沿面放電300の発生を防止することができる。その結果、精確な絶縁検査を行うことが可能となる。 FIG. 15 shows an example in which the elastic insulator is arranged so as to be in contact with the probes 11 and 12 in the groove in which the probes 11 and 12 are arranged. In the example shown in FIG. 15, the elastic insulator 33 is embedded in the support portion 14G so as to be in contact with the upper end surfaces of the first probe 11 and the second probe 12. In this structure, in addition to the elastic insulator 13, the elastic insulator 33 in contact with the upper end surfaces of the probes 11 and 12 is present, so that the occurrence of creepage discharge 300 can be prevented. As a result, it becomes possible to perform an accurate insulation inspection.

以上、好ましい実施の形態について詳説したが、上述した実施の形態に制限されることはなく、特許請求の範囲に記載された範囲を逸脱することなく、上述した実施の形態に種々の変形及び置換を加えることができる。 Although the preferred embodiment has been described in detail above, it is not limited to the above-described embodiment, and various modifications and substitutions are made to the above-described embodiment without departing from the scope of claims. Can be added.

例えば、沿面放電を抑制できるならば、弾性を有していない絶縁体を利用してもよいことは明らかである。また、弾性絶縁体は支持部に支持されている必要はなく、弾性絶縁体を支持部とは別体としてもよい。この場合、弾性絶縁体を支持部の下側に横方向から挿入するための第2の移動機構を設けてもよい。検査時には、まず、第2の移動機構により弾性絶縁体を横方向に移動させて、所定位置に配置する。その後、移動機構15により支持部14を下げて、支持部14が弾性絶縁体を上から押し付けるようにすればよい。ここで、所定位置は、弾性絶縁体が対向する第1のプローブと第2のプローブと間に配置される位置である。 For example, it is clear that an insulator having no elasticity may be used as long as creepage discharge can be suppressed. Further, the elastic insulator does not need to be supported by the support portion, and the elastic insulator may be a separate body from the support portion. In this case, a second moving mechanism for inserting the elastic insulator from the lateral direction may be provided under the support portion. At the time of inspection, first, the elastic insulator is laterally moved by the second moving mechanism and placed at a predetermined position. After that, the support portion 14 may be lowered by the moving mechanism 15 so that the support portion 14 presses the elastic insulator from above. Here, the predetermined position is a position where the elastic insulator is arranged between the first probe and the second probe facing each other.

1 絶縁検査装置
11 第1のプローブ
12 第2のプローブ
13、13A〜13K 弾性絶縁体(第1の絶縁体)
14、14A〜14G 支持部
15 移動機構
16 計測部
17 弾性体
23、33 弾性絶縁体(第2の絶縁体)
30 太陽電池素子
31 基板
31a 除去領域
32 積層体
1 Insulation inspection device 11 1st probe 12 2nd probe 13, 13A to 13K Elastic insulator (1st insulator)
14, 14A-14G Support part 15 Moving mechanism 16 Measuring part 17 Elastic body 23, 33 Elastic insulator (second insulator)
30 Solar cell element 31 Substrate 31a Removal area 32 Laminate

Claims (7)

絶縁検査装置であって、
第1のプローブと、
第2のプローブと、
第1の絶縁体と、
前記第1のプローブと前記第2のプローブと前記第1の絶縁体とを支持する支持部と、
前記第1のプローブと前記第2のプローブと前記第1の絶縁体とを検査面に当接または離間させる移動機構と、を有し、
前記第1のプローブと前記第2のプローブと前記第1の絶縁体とが前記検査面に当接したときに、前記第1の絶縁体は前記第1のプローブと前記第2のプローブとの間に位置し
前記支持部は、前記第1のプローブが位置する溝と前記第2のプローブが位置する溝とを連通する間隙を有し、前記間隙の一部を塞ぐように第2の絶縁体が設けられ、
前記第1のプローブと前記第2のプローブと前記第1の絶縁体とは、前記移動機構によって前記支持部を介して移動する、絶縁検査装置。
It is an insulation inspection device
With the first probe
With the second probe
With the first insulator,
A support portion that supports the first probe, the second probe, and the first insulator, and
It has a moving mechanism for bringing the first probe, the second probe, and the first insulator into contact with or separated from the inspection surface.
When the first probe, the second probe, and the first insulator come into contact with the inspection surface, the first insulator is formed by the first probe and the second probe. located in between,
The support portion has a gap communicating the groove in which the first probe is located and the groove in which the second probe is located, and a second insulator is provided so as to close a part of the gap. ,
An insulation inspection device in which the first probe, the second probe, and the first insulator move via the support portion by the moving mechanism .
前記第1のプローブと前記第2のプローブと前記第1の絶縁体とが前記検査面に当接したときに、前記第1のプローブ側から前記第2のプローブを見ると、前記第1の絶縁体は、前記第2のプローブを遮るように位置している、請求項1に記載の絶縁検査装置。 When the first probe, the second probe, and the first insulator come into contact with the inspection surface, the second probe is viewed from the first probe side. The insulation inspection device according to claim 1, wherein the insulator is positioned so as to block the second probe. 前記第1のプローブと前記第2のプローブは弾性体を介して前記支持部に支持され、前記第1の絶縁体は直接前記支持部に支持されている、請求項1又は2に記載の絶縁検査装置。 The insulation according to claim 1 or 2 , wherein the first probe and the second probe are supported by the support portion via an elastic body, and the first insulator is directly supported by the support portion. Inspection device. 前記第1の絶縁体は、底面視において、前記第1のプローブと前記第2のプローブとが対向する領域内から、前記第1のプローブと前記第2のプローブとが対向する方向に対して直交する方向の両側に突出している、請求項1乃至の何れか一項に記載の絶縁検査装置。 The first insulator is used in a direction in which the first probe and the second probe face each other from within a region where the first probe and the second probe face each other in bottom view. The insulation inspection apparatus according to any one of claims 1 to 3 , which protrudes on both sides in the orthogonal direction. 前記検査面を備えた検査対象物は、
基板と、該基板上に第1の電極、半導体層及び第2の電極が順に積層された積層体と、該基板上であって、前記積層体の外周部に形成された除去領域と、を有する太陽電池素子である、請求項1乃至の何れか一項に記載の絶縁検査装置。
The inspection object provided with the inspection surface is
A substrate, a laminate in which a first electrode, a semiconductor layer, and a second electrode are laminated in this order on the substrate, and a removal region formed on the outer peripheral portion of the laminate on the substrate. The insulation inspection device according to any one of claims 1 to 4 , which is a solar cell element.
前記検査面は前記基板、前記積層体、前記除去領域であり、前記第1のプローブは前記基板または前記除去領域と接することができ、前記第2のプローブは前記除去領域または前記積層体と接することができ、前記第1の絶縁体は前記除去領域と接する、請求項に記載の絶縁検査装置。 The inspection surface is the substrate, the laminate, and the removal region, the first probe can be in contact with the substrate or the removal region, and the second probe is in contact with the removal region or the laminate. The insulation inspection apparatus according to claim 5 , wherein the first insulator is in contact with the removal region. 前記第1の絶縁体は弾性を有している、請求項1乃至の何れか一項に記載の絶縁検査装置。 The insulation inspection device according to any one of claims 1 to 6 , wherein the first insulator has elasticity.
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