JP6779668B2 - Insulation inspection equipment - Google Patents
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Description
本発明は、絶縁検査装置に関する。 The present invention relates to insulation test equipment.
太陽電池モジュールは、太陽電池パネルと、その周囲を囲んで保持するフレームとからなる。太陽電池パネルは、太陽電池素子が、封止材を介してカバーガラスとバックシートで挟み込まれラミネート処理をされたものである。太陽電池素子は、基板と、少なくとも第1の電極、半導体層及び第2の電極が基板上に積層された積層体とからなる。 The solar cell module consists of a solar cell panel and a frame that surrounds and holds the solar cell panel. In the solar cell panel, the solar cell element is sandwiched between the cover glass and the back sheet via a sealing material and laminated. The solar cell element includes a substrate and a laminate in which at least a first electrode, a semiconductor layer, and a second electrode are laminated on the substrate.
太陽電池モジュールには、雨水に曝されても漏電が生じず、経年劣化しても漏電しないような絶縁性能が求められる。太陽電池モジュールに絶縁性を持たせる方法の1つとして、基板上の積層体の外周部をデリーション(除去)することで、基板の端部と積層体の端部との間に積層体が存在しない除去領域を形成する方法がある。そして、例えば特許文献1に開示されている方法で、デリーションによって積層体を除去した除去領域の絶縁性をプローブによって検査、測定している。
The solar cell module is required to have an insulating performance that does not cause an electric leakage even when exposed to rainwater and does not cause an electric leakage even if it deteriorates over time. As one of the methods for giving the solar cell module an insulating property, the outer peripheral portion of the laminate on the substrate is deleted (removed) so that the laminate is formed between the end of the substrate and the end of the laminate. There is a way to form a removal area that does not exist. Then, for example, by the method disclosed in
例えば、図1に示すように、デリーションによって積層体を除去した除去領域100の上面に絶縁検査装置のプローブ101及び102を接触させて絶縁性を検査する場合、太陽電池モジュールに求められる電気特性によっては、プローブ101と102との間に最大8000V程度の電圧を印加する必要がある。
For example, as shown in FIG. 1, when the
しかしながら、デリーションの幅が小さい場合やプローブ間の距離が短い場合など必要な沿面距離を保てないときに、電圧印加による電離、或いは測定対象や環境の汚染度などに起因して沿面放電300が発生してしまい、精確な絶縁検査ができないことがあった。
However, when the required creepage distance cannot be maintained, such as when the depth width is small or the distance between probes is short, the
本発明は、精確な絶縁検査を行うことを目的とする。 An object of the present invention is to perform an accurate insulation inspection.
本絶縁検査装置は、第1のプローブと、第2のプローブと、第1の絶縁体と、第1のプローブと第2のプローブと第1の絶縁体とを支持する支持部と、第1のプローブと第2のプローブと第1の絶縁体とを検査面に当接または離間させる移動機構と、を有し、第1のプローブと第2のプローブと第1の絶縁体とが検査面に当接したときに、第1の絶縁体は第1のプローブと第2のプローブとの間に位置し、支持部は、第1のプローブが位置する溝と第2のプローブが位置する溝とを連通する間隙を有し、間隙の一部を塞ぐように第2の絶縁体が設けられ、第1のプローブと第2のプローブと第1の絶縁体とは、移動機構によって支持部を介して移動する。
This insulation inspection device includes a first probe, a second probe, a first insulator, a support portion for supporting the first probe, the second probe, and the first insulator, and a first insulator . The probe, the second probe, and the first insulator are brought into contact with or separated from the inspection surface, and the first probe, the second probe, and the first insulator are on the inspection surface. The first insulator is located between the first probe and the second probe, and the support portion is the groove where the first probe is located and the groove where the second probe is located. A second insulator is provided so as to have a gap for communicating with and a part of the gap, and the first probe, the second probe, and the first insulator support a support portion by a moving mechanism. Move through .
開示の技術によれば、精確な絶縁検査を行うことができる。 According to the disclosed technology, accurate insulation inspection can be performed.
以下、図面を参照して発明を実施するための形態について説明する。なお、各図面において、同一構成部分には同一符号を付し、重複した説明を省略する場合がある。 Hereinafter, modes for carrying out the invention will be described with reference to the drawings. In each drawing, the same components may be designated by the same reference numerals and duplicate description may be omitted.
〈第1の実施の形態〉
図2は、第1の実施の形態に係る絶縁検査装置の構造を例示する断面模式図であり、非検査状態(プローブが検査対象物の検査面と接触していない状態)を示している。
<First Embodiment>
FIG. 2 is a schematic cross-sectional view illustrating the structure of the insulation inspection device according to the first embodiment, and shows a non-inspection state (a state in which the probe is not in contact with the inspection surface of the inspection object).
図2を参照すると、絶縁検査装置1は、検査対象物の検査面に接して絶縁検査を行う装置であり、第1のプローブ11と、第2のプローブ12と、弾性絶縁体(第1の絶縁体)13と、支持部14と、移動機構15と、計測部16とを備えている。計測部16は、第1のプローブ11と第2のプローブ12との間に電圧を印加する電圧印加部と、第1のプローブ11と第2のプローブ12との間に流れる電流を測定する電流測定部とを含んでいる。
Referring to FIG. 2, the
第1のプローブ11と第2のプローブ12と弾性絶縁体13とは、それぞれ支持部14に支持されている。具体的には、導電体である第1のプローブ11と第2のプローブ12は、バネなどの弾性体17を介して、絶縁体である支持部14に支持されている。また、弾性絶縁体13は、第1のプローブ11と第2のプローブ12との間に位置するように直接支持部14に支持されている。弾性絶縁体13の断面形状は、例えば、矩形状とすることができる。
The
支持部14の下面側には各プローブ11、12に対応して溝が形成され、各プローブ11、12の一部は対応する溝内に位置している。また、各プローブ11、12を支持する弾性体17は、一端が支持部14に設けられた溝に固定され、他端がプローブに固定されている。これらのプローブ11、12は、電圧印加部及び電流測定部にそれぞれ電気的に接続されている。
Grooves are formed on the lower surface side of the
支持部14の上面側には移動機構15が設けられており、第1のプローブ11と第2のプローブ12と弾性絶縁体13とは、移動機構15によって支持部14を介して矢印Aで示す上下方向に移動可能である。
A
支持部14の移動に伴って、第1のプローブ11と第2のプローブ12と弾性絶縁体13とは、検査対象物の検査面に当接または離間する。また、各プローブ11、12が検査面に当接していない状態(図2の状態)では、各プローブ11、12の先端が弾性絶縁体13よりも検査面側に位置している。
As the
図3は、プローブ及び弾性絶縁体の形状及び位置関係を例示する底面図である。図3(a)に示す例では、第1のプローブ11及び第2のプローブ12は検査面に面で接する板形状であり、弾性絶縁体13を介して互いに対向している。図3(b)に示す例では、第1のプローブ11及び第2のプローブ12は検査面に点で接する針形状であり、弾性絶縁体13を介して互いに対向している。
FIG. 3 is a bottom view illustrating the shape and positional relationship of the probe and the elastic insulator. In the example shown in FIG. 3A, the
何れの場合も、弾性絶縁体13は、底面視において、第1のプローブ11と第2のプローブ12とが対向する領域内から、第1のプローブ11と第2のプローブ12とが対向する方向に対して直交する方向(B方向)の両側に突出していることが好ましい。沿面放電を効果的に防止するためである。
In either case, the
言い換えれば、図3(a)に示す板形状の弾性絶縁体13では、底面視において、弾性絶縁体13はプローブ同士の間に位置し、かつ、弾性絶縁体13のB方向の長さ(プローブが延びる方向の長さ)がプローブのB方向の長さより長いことが好ましい。図3(b)に示す針形状の弾性絶縁体13でも同様に、底面視において、弾性絶縁体13はプローブ同士の間に位置し、かつ、弾性絶縁体13のB方向の長さがプローブのB方向の長さ(プローブの直径)より長いことが好ましい。
In other words, in the plate-shaped
なお、絶縁検査装置1では、板形状及び針形状の何れの形状のプローブを用いても構わないが、板形状のプローブは針形状のプローブよりも広い範囲を一度に絶縁検査できる点で好適である。
In the
図4は、第1の実施の形態に係る絶縁検査装置の構造を例示する断面模式図であり、検査状態を示している。図4において、測定対象物は太陽電池素子30であり、基板31と、基板31上に第1の電極、半導体層、及び第2の電極が順に積層された積層体32とからなる。基板31上において積層体32の外周部がデリーションされた除去領域31aが形成されている。図4に示す例では、除去領域31aが検査面である。なお、以降の説明で検査面に符号31aを付与して説明する場合がある。
FIG. 4 is a schematic cross-sectional view illustrating the structure of the insulation inspection device according to the first embodiment, and shows an inspection state. In FIG. 4, the object to be measured is the
太陽電池素子30において、基板31はガラス等からなる絶縁性の基板である。また、積層体32を構成する半導体層は、特に限定はされないが、例えば、CIS系薄膜(銅(Cu)、インジウム(In)、及びセレン(Se)を含有する化合物からなる薄膜)である。
In the
絶縁検査装置1を用いて絶縁検査を行う際には、まず、移動機構15により、第1のプローブ11と第2のプローブ12と弾性絶縁体13とを検査面に当接させる当接ステップを実行する。
When performing an insulation inspection using the
当接ステップにおいて、移動機構15によって支持部14を下方向(検査面方向)に移動させ、支持部14を検査面31aに近接させると各プローブ11、12が検査面31aに当接する。更に支持部14を検査面31aに向けて移動させると、弾性体17が縮み、各プローブ11、12が支持部14の溝内に入り込むとともに、弾性絶縁体13が検査面31aに当接する。更に支持部14を検査面31aに向けて移動させると、弾性絶縁体13が強く検査面31aに当接、つまり検査面31aに密着する。
In the contact step, when the
当接ステップにより、第1のプローブ11と第2のプローブ12と弾性絶縁体13とが検査面31aに当接したときに、第1のプローブ11と第2のプローブ12とが対向し、弾性絶縁体13は第1のプローブ11と第2のプローブ12との間に位置する。
By the contact step, when the
ところで、除去領域31aでは、基板31の歪に起因する凹凸によって弾性絶縁体13と除去領域31aとの間の間隔の違いがある。しかし、弾性絶縁体13を除去領域31aに強く当接させることで、図5に示すように、除去領域31aの凹凸に合わせて弾性絶縁体13が変形し、弾性絶縁体13が除去領域31aに密着する。つまり、弾性絶縁体13と支持部14及び除去領域31aとの間には隙間がなくなる。
By the way, in the
また、図3及び図4からわかるように、第1のプローブ11と第2のプローブ12と弾性絶縁体13とが検査面に当接したときに、第1のプローブ11側から第2のプローブ12を見ると、弾性絶縁体13は第2のプローブ12を遮るように位置している。
Further, as can be seen from FIGS. 3 and 4, when the
そのため、第1のプローブ11と第2のプローブ12との間に例えば8000Vの高電圧を印加した場合でも、各プローブ11、12間には弾性絶縁体13が存在するため、沿面放電300の発生を防止することができる。その結果、絶縁検査装置1では、精確な絶縁検査を行うことが可能となる。
Therefore, even when a high voltage of, for example, 8000 V is applied between the
なお、検査時に検査面と第1のプローブ11と第2のプローブ12とで形成される空間が、上下方向に空間ができないように弾性絶縁体13で区切られていることが好ましい。
It is preferable that the space formed by the inspection surface, the
また、上記の説明では検査面を除去領域31aとしたが、第1のプローブ11は基板31または除去領域31aと接することができ、第2のプローブ12は除去領域31aまたは積層体32と接することができる。その結果、検査面は除去領域31aには限られず、基板31、積層体32、除去領域31aとすることができる。
Further, although the inspection surface is defined as the
すなわち、検査時において、第1のプローブ11と第2のプローブ12は、図4に示すように両方が除去領域31aと接する場合だけではなく、図6(a)に示すように、一方が積層体32に接し、他方が除去領域31aに接してもよい。この場合には、除去領域31aと積層体32とが検査面となる。
That is, at the time of inspection, one of the
或いは、図6(b)に示すように、一方が除去領域31aに接し、他方が基板31の側面に接してもよい。この場合には、除去領域31aと基板31とが検査面となる。或いは、図示は省略するが、一方が積層体32に接し、他方が基板31の側面に接してもよい。この場合には、積層体32から基板31までが検査面となる。
Alternatively, as shown in FIG. 6B, one may be in contact with the
検査面が基板31、積層体32、除去領域31aの何れであっても、弾性絶縁体13は必ず除去領域31aに接する。これにより、沿面放電を防止できる。
Regardless of whether the inspection surface is the
弾性絶縁体13としては、天然ゴム、ジエン系ゴム、非ジエン系ゴム、その他のゴムを用いると好適である。
As the
ジエン系ゴムとしては、例えば、スチレン・ブタジエンゴム(SBR)、イソプレンゴム(IR)、ブタジエンゴム(BR)、クロロプレンゴム(CR)、アクリロニトリル・ブタジエンゴム(NBR)等が挙げられる。 Examples of the diene rubber include styrene-butadiene rubber (SBR), isoprene rubber (IR), butadiene rubber (BR), chloroprene rubber (CR), and acrylonitrile-butadiene rubber (NBR).
また、非ジエン系ゴムとしては、例えば、ブチルゴム(イソブチエン・イソプレンゴム(IIR))、エチレン・プロピレンゴム(EPM、EP、EPDM)、エチレン・プロピレン・ジエンゴム(EPDM)、ウレタンゴム(PUR、U)、シリコーンゴム(Si,Q、VMQ、SR)、フッ素ゴム(FKM、FPM)等が挙げられる。 Examples of non-diene rubbers include butyl rubber (isobutyene / isoprene rubber (IIR)), ethylene / propylene rubber (EPM, EP, EPDM), ethylene / propylene / diene rubber (EPDM), and urethane rubber (PUR, U). , Silicone rubber (Si, Q, VMQ, SR), fluororubber (FKM, FPM) and the like.
また、その他のゴムとしては、例えば、クロロスルホン化ポリエチレン(CSM)、塩素化ポリエチレン(CM)、アクリルゴム(ACM,ANM)、多硫化ゴム(T)、エピクロルヒドリンゴム(CO、ECO)等が挙げられる。 Examples of other rubbers include chlorosulfonated polyethylene (CSM), chlorinated polyethylene (CM), acrylic rubber (ACM, ANM), polysulfide rubber (T), epichlorohydrin rubber (CO, ECO) and the like. Be done.
〈第1の実施の形態の変形例1〉
第1の実施の形態では、絶縁検査装置1において断面形状が矩形状の弾性絶縁体13を用いる例を示した。しかし、弾性絶縁体の断面形状は図4等に示した矩形状には限られず、以下に例示する様々な形状とすることができる。
<
In the first embodiment, an example is shown in which the
図7〜図9は、第1の実施の形態の変形例1に係る絶縁検査装置の構造を例示する断面模式図であり、検査状態を示している。 7 to 9 are schematic cross-sectional views illustrating the structure of the insulation inspection device according to the first modification of the first embodiment, and show the inspection state.
例えば、図7(a)に示す弾性絶縁体13Aのように、除去領域31a側(下面側)の両側に矩形状の切り欠きを設け、支持部14側の幅の広い矩形状部分から幅の狭い矩形状部分が除去領域31a側に突起する略T字型の断面形状としてもよい。また、図7(b)に示す弾性絶縁体13Bのように、除去領域31aと接する面(下面)の面積が支持部14側の面(上面)の面積よりも小さい台形状(例えば、等脚台形状)の断面形状としてもよい。
For example, as in the
また、図8(a)に示す弾性絶縁体13Cのように、円形状または楕円形状の断面形状としてもよい。また、図8(b)に示す弾性絶縁体13Dのように、除去領域31a側の中央部に除去領域31aと接する面側から支持部14側に窪む矩形状の溝を設けた断面形状としてもよい。
Further, as in the
また、弾性絶縁体は、1つであってもよいし、複数であってもよい。例えば、図9に示す弾性絶縁体13Eのように、弾性絶縁体は独立した矩形状の2つの部分を有していてもよい。もちろん、弾性絶縁体は独立した3つ以上の部分を有していてもよいし、矩形状の断面形状に代えて図7(a)〜図8(b)に示したような様々な断面形状を採用することができる。
Further, the number of elastic insulators may be one or a plurality. For example, as in the
〈第1の実施の形態の変形例2〉
第1の実施の形態では、絶縁検査装置1において第1のプローブ11、第2のプローブ12、及び弾性絶縁体13が同一の支持部14に支持される例を示した。しかし、これには限られず、以下に例示するように、第1のプローブ11、第2のプローブ12、及び弾性絶縁体13は別々の支持部に支持されてもよい。
<Modification 2 of the first embodiment>
In the first embodiment, an example is shown in which the
図10〜図12は、第1の実施の形態の変形例2に係る絶縁検査装置の構造を例示する断面模式図であり、検査状態を示している。 10 to 12 are schematic cross-sectional views illustrating the structure of the insulation inspection device according to the second modification of the first embodiment, and show the inspection state.
例えば、図10(a)に示すように、水平方向に離間して配置された2つの支持部14A及び14Bを設けてもよい。支持部14A及び14Bは、例えば、移動機構15によって矢印Aで示す上下方向に同時に移動可能に構成されている。
For example, as shown in FIG. 10 (a), two
図10(a)に示す例では、第1のプローブ11は弾性体17を介して支持部14Aの溝内に固定され、第2のプローブ12は弾性体17を介して支持部14Bの溝内に固定されている。また、弾性絶縁体13Fは、断面形状が矩形状であり、第1のプローブ11と第2のプローブ12との間に位置するように、支持部14Aと支持部14Bの対向する側面に固定されている。
In the example shown in FIG. 10A, the
なお、弾性絶縁体の断面形状は図10(a)等に示した矩形状には限られず、以下に例示する様々な形状とすることができる。例えば、図10(b)に示す弾性絶縁体13Gのように、除去領域31a側の両側に矩形状の切り欠きを設け、移動機構15側(上面側)の幅の広い矩形状部分から幅の狭い矩形状部分が除去領域31a側に突起する略T字型の断面形状としてもよい。
The cross-sectional shape of the elastic insulator is not limited to the rectangular shape shown in FIG. 10A and the like, and may be various shapes exemplified below. For example, as in the
また、図11(a)に示す弾性絶縁体13Hのように、支持部14Aと支持部14Bの対向する側面間から除去領域31a側に突起する部分の形状を、除去領域31aと接する面の面積が移動機構15側の面積よりも小さい台形状(例えば、等脚台形状)の断面形状としてもよい。また、図11(b)に示す弾性絶縁体13Iのように、円形状または楕円形状の断面形状としてもよい。
Further, as in the
また、図12(a)に示す弾性絶縁体13Jのように、除去領域31a側の中央部に除去領域31aと接する面側から移動機構15側に窪む矩形状の溝を設けた断面形状としてもよい。また、図12(b)に示す弾性絶縁体13Kのように、支持部14A及び14Bのそれぞれに弾性絶縁体を設けてもよい。
Further, as in the
〈第1の実施の形態の変形例3〉
第1の実施の形態の変形例3では、その他の変形例を示す。
<Modification 3 of the first embodiment>
Modification 3 of the first embodiment shows other modifications.
図13〜図15は、第1の実施の形態の変形例3に係る絶縁検査装置の構造を例示する断面模式図であり、検査状態を示している。 13 to 15 are schematic cross-sectional views illustrating the structure of the insulation inspection apparatus according to the third modification of the first embodiment, and show the inspection state.
例えば、図13(a)に示すように、支持部を複数のユニットからなる構造としてもよい。図13(a)に示す例では、支持部14C上に所定の間隙を空けて支持部14Dを配置した構造としている。第1のプローブ11及び第2のプローブ12のそれぞれの上端は、支持部14Cと支持部14Dとの間の間隙内に露出している。
For example, as shown in FIG. 13A, the support portion may have a structure composed of a plurality of units. In the example shown in FIG. 13A, the support portion 14D is arranged on the
但し、図13(a)の構造の場合、間隙を介してプローブ間に沿面放電300が生じるおそれがある。そこで、図13(b)のように、第1のプローブ11と第2のプローブ12との間隙の少なくとも一部を塞ぐように、弾性絶縁体(第2の絶縁体)23を配置することが好ましい。例えば、支持部14Cの上面と支持部14Dの下面の対向する位置に溝を設け、溝内に弾性絶縁体23を配置することができる。
However, in the case of the structure of FIG. 13A, creeping
図13(b)の構造では、プローブ同士の間を、第1のプローブ11から見たときに第2のプローブ12を遮るように弾性絶縁体13が配置されているだけではなく、同様に間隙内にも弾性絶縁体23が配置されている。そのため、プローブ間に例えば8000Vの高電圧を印加した場合でも、プローブ間には弾性絶縁体13及び23が存在するため、沿面放電300の発生を防止することができる。その結果、精確な絶縁検査を行うことが可能となる。
In the structure of FIG. 13B, not only the
なお、図13(b)のように2つの支持部が対向する面は必ずしも平面である必要はない。例えば、図14に示す支持部14Eと支持部14Fのように、支持部14Eの上面の中央部に凹部を設け、支持部14Fの下面の、支持部14Eの凹部と対向する位置に凸部を設け、支持部14Fの凸部が支持部14Eの凹部に所定の間隙を空けて嵌まり込む構造であってもよい。
It should be noted that the surfaces of the two support portions facing each other as shown in FIG. 13B do not necessarily have to be flat. For example, like the
この場合も、第1のプローブ11と第2のプローブ12との間隙の少なくとも一部を塞ぐように、凹部内に弾性絶縁体23を配置することにより、図13(b)の場合と同様に、沿面放電300の発生を防止することができる。その結果、精確な絶縁検査を行うことが可能となる。
In this case as well, as in the case of FIG. 13B, by arranging the
図15は、各プローブ11、12が配置される溝内において各プローブ11、12と接するように弾性絶縁体を配置する例である。図15に示す例では、第1のプローブ11及び第2のプローブ12のそれぞれの上端面に接するように弾性絶縁体33が支持部14G内に埋め込まれている。この構造では、弾性絶縁体13に加えて各プローブ11、12の上端面に接する弾性絶縁体33が存在するため、沿面放電300の発生を防止することができる。その結果、精確な絶縁検査を行うことが可能となる。
FIG. 15 shows an example in which the elastic insulator is arranged so as to be in contact with the
以上、好ましい実施の形態について詳説したが、上述した実施の形態に制限されることはなく、特許請求の範囲に記載された範囲を逸脱することなく、上述した実施の形態に種々の変形及び置換を加えることができる。 Although the preferred embodiment has been described in detail above, it is not limited to the above-described embodiment, and various modifications and substitutions are made to the above-described embodiment without departing from the scope of claims. Can be added.
例えば、沿面放電を抑制できるならば、弾性を有していない絶縁体を利用してもよいことは明らかである。また、弾性絶縁体は支持部に支持されている必要はなく、弾性絶縁体を支持部とは別体としてもよい。この場合、弾性絶縁体を支持部の下側に横方向から挿入するための第2の移動機構を設けてもよい。検査時には、まず、第2の移動機構により弾性絶縁体を横方向に移動させて、所定位置に配置する。その後、移動機構15により支持部14を下げて、支持部14が弾性絶縁体を上から押し付けるようにすればよい。ここで、所定位置は、弾性絶縁体が対向する第1のプローブと第2のプローブと間に配置される位置である。
For example, it is clear that an insulator having no elasticity may be used as long as creepage discharge can be suppressed. Further, the elastic insulator does not need to be supported by the support portion, and the elastic insulator may be a separate body from the support portion. In this case, a second moving mechanism for inserting the elastic insulator from the lateral direction may be provided under the support portion. At the time of inspection, first, the elastic insulator is laterally moved by the second moving mechanism and placed at a predetermined position. After that, the
1 絶縁検査装置
11 第1のプローブ
12 第2のプローブ
13、13A〜13K 弾性絶縁体(第1の絶縁体)
14、14A〜14G 支持部
15 移動機構
16 計測部
17 弾性体
23、33 弾性絶縁体(第2の絶縁体)
30 太陽電池素子
31 基板
31a 除去領域
32 積層体
1
14, 14A-
30
Claims (7)
第1のプローブと、
第2のプローブと、
第1の絶縁体と、
前記第1のプローブと前記第2のプローブと前記第1の絶縁体とを支持する支持部と、
前記第1のプローブと前記第2のプローブと前記第1の絶縁体とを検査面に当接または離間させる移動機構と、を有し、
前記第1のプローブと前記第2のプローブと前記第1の絶縁体とが前記検査面に当接したときに、前記第1の絶縁体は前記第1のプローブと前記第2のプローブとの間に位置し、
前記支持部は、前記第1のプローブが位置する溝と前記第2のプローブが位置する溝とを連通する間隙を有し、前記間隙の一部を塞ぐように第2の絶縁体が設けられ、
前記第1のプローブと前記第2のプローブと前記第1の絶縁体とは、前記移動機構によって前記支持部を介して移動する、絶縁検査装置。 It is an insulation inspection device
With the first probe
With the second probe
With the first insulator,
A support portion that supports the first probe, the second probe, and the first insulator, and
It has a moving mechanism for bringing the first probe, the second probe, and the first insulator into contact with or separated from the inspection surface.
When the first probe, the second probe, and the first insulator come into contact with the inspection surface, the first insulator is formed by the first probe and the second probe. located in between,
The support portion has a gap communicating the groove in which the first probe is located and the groove in which the second probe is located, and a second insulator is provided so as to close a part of the gap. ,
An insulation inspection device in which the first probe, the second probe, and the first insulator move via the support portion by the moving mechanism .
基板と、該基板上に第1の電極、半導体層及び第2の電極が順に積層された積層体と、該基板上であって、前記積層体の外周部に形成された除去領域と、を有する太陽電池素子である、請求項1乃至4の何れか一項に記載の絶縁検査装置。 The inspection object provided with the inspection surface is
A substrate, a laminate in which a first electrode, a semiconductor layer, and a second electrode are laminated in this order on the substrate, and a removal region formed on the outer peripheral portion of the laminate on the substrate. The insulation inspection device according to any one of claims 1 to 4 , which is a solar cell element.
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