JP6912909B2 - Photosensitive resin composition - Google Patents
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Description
本発明は、感光性樹脂組成物に関する。 The present invention relates to a photosensitive resin composition.
感光性樹脂組成物は、フォトリソグラフィ法に用いられ、露光の有無により、現像液に対する溶解性が変化する材料であり、これを用いて所定パターンの成形体を得ることができる。フォトリソグラフィ法は、画像表示装置の部材製造、電子機器の回路基板製造、半導体素子製造等に多用される。このような技術分野においては、成形体が微細なパターンで得られること、現像速度が速いこと等が求められる。 The photosensitive resin composition is a material used in a photolithography method and whose solubility in a developing solution changes depending on the presence or absence of exposure, and a molded product having a predetermined pattern can be obtained by using this material. The photolithography method is often used in the manufacture of members for image display devices, the manufacture of circuit boards for electronic devices, the manufacture of semiconductor devices, and the like. In such a technical field, it is required that the molded product can be obtained in a fine pattern, the developing speed is high, and the like.
感光性樹脂組成物の用途のひとつとして、液晶表示装置等の画像表示装置に用いられるカラーフィルターの材料が挙げられる。カラーフィルターは、通常、顔料等の色材と光硬化性の樹脂とを含む感光性樹脂組成物を透明基板に塗布した後、フォトリソグラフィ法等によって製造されている。そして、近年、画像表示装置の高性能化の要求に伴い、輝度、コントラスト等の向上に寄与し得るよう、微細なパターンで形成されたカラーフィルターを形成し得る感光性樹脂組成物が求められている。また、加工性向上のため、適切な現像時間でカラーフィルターを形成し得る感光性樹脂組成物が求められている。 One of the uses of the photosensitive resin composition is a material for a color filter used in an image display device such as a liquid crystal display device. A color filter is usually manufactured by a photolithography method or the like after applying a photosensitive resin composition containing a coloring material such as a pigment and a photocurable resin to a transparent substrate. In recent years, with the demand for higher performance of image display devices, a photosensitive resin composition capable of forming a color filter formed of a fine pattern has been required so as to contribute to improvement of brightness, contrast and the like. There is. Further, in order to improve processability, there is a demand for a photosensitive resin composition capable of forming a color filter in an appropriate development time.
輝度およびコントラストの向上に寄与し得るカラーフィルターを形成する方法としては、感光性樹脂組成物中の色材としての顔料を微細化する方法、色材として染料を用いる方法等が挙げられる。しかしながら、このような方法を採用すると、現像マージン(現像時にパターン形成が可能な最短現像時間と、欠損させずにパターンを形成することが可能な最長現像時間との差)が短くなり、加工する上での問題が生じる。また、形成されたパターンの断面視形状が、下部ほど細い逆テーパー型となり、電極材料塗布時に断線を生じたり、液晶材料を適用した場合に気泡が生じたり等の問題が生じる。 Examples of the method of forming a color filter that can contribute to the improvement of brightness and contrast include a method of refining a pigment as a coloring material in a photosensitive resin composition, a method of using a dye as a coloring material, and the like. However, when such a method is adopted, the development margin (the difference between the shortest development time that allows pattern formation during development and the longest development time that allows pattern formation without loss) becomes short, and processing is performed. The above problem arises. Further, the cross-sectional shape of the formed pattern becomes a reverse taper type that is thinner toward the lower part, which causes problems such as disconnection when the electrode material is applied and bubbles when the liquid crystal material is applied.
本発明は上記の課題を解決するためになされたものであり、その目的とするところは、現像マージンが長く、かつ、テーパー型(下部ほど太い)の成形体を形成し得る感光性樹脂組成物を提供することにある。 The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is a photosensitive resin composition having a long development margin and capable of forming a tapered (thicker lower part) molded body. Is to provide.
本発明の感光性樹脂組成物は、アルカリ可溶性樹脂と、色材と、分散剤と、多官能モノマーと、光重合開始剤と、溶剤とを含み、該アルカリ可溶性樹脂が、側鎖にビフェニル基を有する構成単位を含み、該分散剤の酸価が、15mgKOH/g以下である。
1つの実施形態においては、上記分散剤のアミン価が、25mgKOH/g以下である。
1つの実施形態においては、上記アルカリ可溶性樹脂が、(メタ)アクリル系樹脂である。
1つの実施形態においては、上記側鎖にビフェニル基を有する構成単位が、一般式(1)または(2)で表されるモノマー由来の構成単位である。
1つの実施形態においては、上記アルカリ可溶性樹脂が、主鎖に環構造を有する構成単位(B)をさらに含む。
1つの実施形態においては、上記アルカリ可溶性樹脂が、側鎖に酸基を有する構成単位をさらに含む。
1つの実施形態においては、上記アルカリ可溶性樹脂が、側鎖に炭素二重結合を有する構成単位をさらに含む。
本発明の別の局面によれば、硬化物が提供される。この硬化物は、上記感光性樹脂組成物を硬化してなることを特徴とする。
本発明のさらに別の局面によれば、カラーフィルターが提供される。このカラーフィルターは、基板と上記硬化物を有することを特徴とする。
The photosensitive resin composition of the present invention contains an alkali-soluble resin, a coloring material, a dispersant, a polyfunctional monomer, a photopolymerization initiator, and a solvent, and the alkali-soluble resin has a biphenyl group in the side chain. The acid value of the dispersant is 15 mgKOH / g or less.
In one embodiment, the amine value of the dispersant is 25 mgKOH / g or less.
In one embodiment, the alkali-soluble resin is a (meth) acrylic resin.
In one embodiment, the structural unit having a biphenyl group in the side chain is a structural unit derived from a monomer represented by the general formula (1) or (2).
In one embodiment, the alkali-soluble resin further comprises a structural unit (B) having a ring structure in the main chain.
In one embodiment, the alkali-soluble resin further comprises a structural unit having an acid group in the side chain.
In one embodiment, the alkali-soluble resin further comprises a building block having a carbon double bond in the side chain.
According to another aspect of the invention, a cured product is provided. This cured product is characterized in that the photosensitive resin composition is cured.
According to yet another aspect of the present invention, a color filter is provided. This color filter is characterized by having a substrate and the cured product.
本発明によれば、現像マージンが長く、かつ、テーパー型(下部ほど太い)の成形体を形成し得る感光性樹脂組成物を提供することができる。また、該感光性樹脂組成物を用いれば、表面平滑性に優れる成形体を得ることができる。 According to the present invention, it is possible to provide a photosensitive resin composition having a long development margin and capable of forming a tapered type (thicker toward the lower part) molded body. Further, by using the photosensitive resin composition, a molded product having excellent surface smoothness can be obtained.
A.感光性樹脂組成物の概要
本発明の感光性樹脂組成物は、アルカリ可溶性樹脂と、色材と、分散剤と、多官能モノマーと、光重合開始剤と、溶剤とを含む。上記アルカリ可溶性樹脂は、側鎖にビフェニル基を有する構成単位を含む。上記分散剤は、その酸価が15mgKOH/g以下である。本発明においては、側鎖にビフェニル基を有する構成単位を含むアルカリ可溶性樹脂と、酸価が15mgKOH/g以下である分散剤とを組み合わせて用いることにより、現像マージンが長く生産性に優れ、かつ、テーパー型の成形体(硬化物ともいう)を形成し得る感光性樹脂組成物を得ることができる。また、該感光性樹脂組成物により得られた成形体は、表面平滑性に優れる。本発明の感光性樹脂組成物においては、色材として微細な顔料または染料を用いても、現像マージンを十分に確保することができ、テーパー型の成形体を得ることができる。微細な顔料または染料を用いても、このような性能を発揮することから、本発明の感光性樹脂組成物を用いれば、微細なパターンで成形体を形成することが可能となる。なお、テーパー型の成形体とは、断面視において、下部より上部の方が細い成形体を意味し、また、高さ方向で実質的に径差のない成形体も含む概念である。
A. Outline of Photosensitive Resin Composition The photosensitive resin composition of the present invention contains an alkali-soluble resin, a coloring material, a dispersant, a polyfunctional monomer, a photopolymerization initiator, and a solvent. The alkali-soluble resin contains a structural unit having a biphenyl group in the side chain. The dispersant has an acid value of 15 mgKOH / g or less. In the present invention, by using an alkali-soluble resin containing a structural unit having a biphenyl group in the side chain and a dispersant having an acid value of 15 mgKOH / g or less in combination, the development margin is long and the productivity is excellent. , A photosensitive resin composition capable of forming a tapered molded product (also referred to as a cured product) can be obtained. In addition, the molded product obtained from the photosensitive resin composition has excellent surface smoothness. In the photosensitive resin composition of the present invention, even if a fine pigment or dye is used as the coloring material, a sufficient development margin can be secured and a tapered molded product can be obtained. Since such performance is exhibited even when a fine pigment or dye is used, the photosensitive resin composition of the present invention can be used to form a molded product in a fine pattern. The tapered molded body means a molded body in which the upper part is thinner than the lower part in a cross-sectional view, and is a concept including a molded body having substantially no diameter difference in the height direction.
1つの実施形態においては、本発明の感光性樹脂組成物は、色材と分散剤とを含む色材分散組成物(ミルベース)と、多官能モノマーと光重合開始剤を含むクリアレジストの混合物として提供される。上記側鎖にビフェニル基を有する構成単位を含むアルカリ可溶性樹脂は、色材分散組成物に含まれていてもよく、クリアレジストに含まれていてもよく、色材分散組成物およびクリアレジストの両方に含まれていてもよい。好ましくは、上記アルカリ可溶性樹脂は、色材分散組成物に含まれる。上記アルカリ可溶性樹脂を含む色材分散組成物は、色材(例えば、顔料)の分散安定性が非常に優れ、経時において色材が凝集し難い点で有利である。このような色材分散組成物においては、色材を微細化しても、分散性悪化を抑制することができる。また、上記色材分散組成物および/またはクリアレジストは、任意の適切な溶剤を含む。 In one embodiment, the photosensitive resin composition of the present invention is a mixture of a color material dispersion composition (mil base) containing a color material and a dispersant, and a clear resist containing a polyfunctional monomer and a photopolymerization initiator. Provided. The alkali-soluble resin containing a structural unit having a biphenyl group in the side chain may be contained in the color material dispersion composition or the clear resist, and both the color material dispersion composition and the clear resist. May be included in. Preferably, the alkali-soluble resin is included in the colorant dispersion composition. The color material dispersion composition containing the alkali-soluble resin is advantageous in that the dispersion stability of the color material (for example, pigment) is very excellent and the color material is less likely to aggregate over time. In such a color material dispersion composition, deterioration of dispersibility can be suppressed even if the color material is made finer. In addition, the colorant dispersion composition and / or clear resist contains any suitable solvent.
本発明の感光性樹脂組成物は、主としてネガ型感光性樹脂組成物として用いられ、例えば、カラーフィルター、フォトスペーサー、オーバーコート、ブラックマトリックス、ブラックカラムスペーサー、インク、塗料、シール剤等に好適に用いられ得る。1つの実施形態においては、上記感光性樹脂組成物を硬化することにより硬化物を提供することができる。本発明の感光性樹脂組成物によれば、上記のとおり、微細なパターンで成形体を形成することが可能となるため、例えば、カラーフィルターの材料として該感光性樹脂組成物を用いれば、輝度およびコントラストの向上に寄与し得るカラーフィルターを形成することができる。 The photosensitive resin composition of the present invention is mainly used as a negative photosensitive resin composition, and is suitable for, for example, color filters, photo spacers, overcoats, black matrices, black column spacers, inks, paints, sealants and the like. Can be used. In one embodiment, a cured product can be provided by curing the photosensitive resin composition. According to the photosensitive resin composition of the present invention, as described above, it is possible to form a molded body with a fine pattern. Therefore, for example, when the photosensitive resin composition is used as a material for a color filter, the brightness is increased. And a color filter that can contribute to the improvement of contrast can be formed.
B.アルカリ可溶性樹脂
上記のとおり、アルカリ可溶性樹脂は、側鎖にビフェニル基を有する構成単位を含む。上記アルカリ可溶性樹脂が、側鎖にビフェニル基を有する構成単位(A)を有することにより、色材の分散安定性に優れる感光性樹脂組成物を得ることができる。また、側鎖にビフェニル基を有する構成単位(A)を有するアルカリ可溶性樹脂を用いれば、現像速度に優れる感光性樹脂組成物を得ることができる。また、側鎖にビフェニル基を有する構成単位(A)を有するアルカリ可溶性樹脂を含む感光性樹脂組成物を用いて作製された成形体(例えば、カラーフィルター)は、基板との密着性に優れ、かつ、平滑性にも優れる。上記アルカリ可溶性樹脂は、代表的には、(メタ)アクリル系樹脂である。なお、(メタ)アクリル系樹脂とは、(メタ)アクリル酸エステル等の(メタ)アクリル系モノマーを少なくとも10重量%(質量%)以上含有するモノマー組成物を重合した樹脂であれば特に限定されず、該モノマー組成物は、(メタ)アクリル系モノマーと共重合可能な他のモノマーを含んでいてもよい。
B. Alkali-soluble resin As described above, the alkali-soluble resin contains a structural unit having a biphenyl group in the side chain. When the alkali-soluble resin has a structural unit (A) having a biphenyl group in the side chain, a photosensitive resin composition having excellent dispersion stability of the coloring material can be obtained. Further, if an alkali-soluble resin having a structural unit (A) having a biphenyl group in the side chain is used, a photosensitive resin composition having an excellent developing speed can be obtained. Further, a molded product (for example, a color filter) produced by using a photosensitive resin composition containing an alkali-soluble resin having a structural unit (A) having a biphenyl group in the side chain has excellent adhesion to a substrate. Moreover, it is also excellent in smoothness. The alkali-soluble resin is typically a (meth) acrylic resin. The (meth) acrylic resin is particularly limited as long as it is a resin obtained by polymerizing a monomer composition containing at least 10% by weight (mass%) or more of a (meth) acrylic monomer such as a (meth) acrylic acid ester. However, the monomer composition may contain other monomers copolymerizable with the (meth) acrylic monomer.
1つの実施形態においては、上記アルカリ可溶性樹脂は、主鎖に環構造を有する構成単位(B)をさらに含み得る。また、上記アルカリ可溶性樹脂は、側鎖に酸基を有する構成単位(C)をさらに含んでいてもよい。また、上記アルカリ可溶性樹脂は、必要に応じて、その他の構成単位(D)をさらに含んでいてもよい。 In one embodiment, the alkali-soluble resin may further comprise a structural unit (B) having a ring structure in the main chain. Further, the alkali-soluble resin may further contain a structural unit (C) having an acid group in the side chain. Further, the alkali-soluble resin may further contain another structural unit (D), if necessary.
上記アルカリ可溶性樹脂は、側鎖にビフェニル基を有するモノマー(a)を含むモノマー組成物Iを重合して得ることができる。また、上記アルカリ可溶性樹脂が、主鎖に環構造を有する構成単位(B)を有する場合、該アルカリ可溶性樹脂は、側鎖にビフェニル基を有するモノマー(a)と、主鎖に環構造を有するモノマー(b)および/または環構造を形成し得るモノマー(b’)を含むモノマー組成物Iを重合して得ることができる。上記モノマー組成物Iは、側鎖に酸基を有する構成単位(C)を構成するモノマー(酸基を有するモノマー(c)、酸基を導入し得るモノマー(c’))および/またはその他の構成単位(D)を構成するその他のモノマー(d)をさらに含んでいてもよい。1つの実施形態においては、モノマー(a)、モノマー(c)、モノマー(c’)および/またはモノマー(d)は(メタ)アクリル系モノマーであり、好ましくはアクリル系モノマーである。 The alkali-soluble resin can be obtained by polymerizing a monomer composition I containing a monomer (a) having a biphenyl group in the side chain. When the alkali-soluble resin has a structural unit (B) having a ring structure in the main chain, the alkali-soluble resin has a monomer (a) having a biphenyl group in the side chain and a ring structure in the main chain. It can be obtained by polymerizing a monomer composition I containing a monomer (b) and / or a monomer (b') capable of forming a ring structure. The above-mentioned monomer composition I includes a monomer (monomer (c) having an acid group, a monomer (c') into which an acid group can be introduced) and / or other monomers constituting the structural unit (C) having an acid group in the side chain. Other monomers (d) constituting the structural unit (D) may be further contained. In one embodiment, the monomer (a), monomer (c), monomer (c') and / or monomer (d) are (meth) acrylic monomers, preferably acrylic monomers.
B−1.側鎖にビフェニル基を有する構成単位(A)
上記アルカリ可溶性樹脂が、側鎖にビフェニル基を有する構成単位(A)を有することにより、色材の分散安定性に優れる感光性樹脂組成物を得ることができる。好ましくは、側鎖にビフェニル基を有する構成単位(A)は、(メタ)アクリル系モノマー由来の構成単位である。
B-1. Constituent unit (A) having a biphenyl group in the side chain
When the alkali-soluble resin has a structural unit (A) having a biphenyl group in the side chain, a photosensitive resin composition having excellent dispersion stability of the coloring material can be obtained. Preferably, the structural unit (A) having a biphenyl group in the side chain is a structural unit derived from a (meth) acrylic monomer.
側鎖にビフェニル基を有する構成単位(A)としては、例えば、ビフェニル(メタ)アクリレート、o−ビフェニルオキシエチル(メタ)アクリレート(エトキシ化o−フェニルフェノール(メタ)アクリレート)、o−ビフェニルオキシエトキシエチル(メタ)アクリレート、m−ビフェニルオキシエチルアクリレート、p−ビフェニルオキシエチル(メタ)アクリレート、o−ビフェニルオキシ−2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、p−ビフェニルオキシ−2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、m−ビフェニルオキシ−2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、N−(メタ)アクリロイルオキシエチル−o−ビフェニル=カルバマート、N−(メタ)アクリロイルオキシエチル−p−ビフェニル=カルバマート、N−(メタ)アクリロイルオキシエチル−m−ビフェニル=カルバマート、o−フェニルフェノールグリシジルエーテルアクリレート、o−ビフェニルオキシプロピル(メタ)アクリレート等の側鎖にビフェニル基を有するモノマー(a)由来の構成単位が挙げられる。なかでも好ましくは、アクリル系モノマー由来の構成単位である。二重結合部分にメチル基を有さないアクリル系モノマーを用いれば、現像速度が速い感光性樹脂組成物の材料となり得る感光性樹脂組成物を得ることができる。1つの実施形態において、側鎖にビフェニル基を有する構成単位(A)は、一般式(1)または(2)で表されるモノマー(a)由来の構成単位である。より好ましくは、側鎖にビフェニル基を有する構成単位(A)は、一般式(2)で表されるモノマー(a)由来の構成単位である。なお、上記モノマーは、単独で、または2種以上組み合わせて用いてもよい。
側鎖にビフェニル基を有する構成単位(A)の含有割合は、アルカリ可溶性樹脂100重量部(質量部)に対して、好ましくは10重量部〜80重量部であり、より好ましくは15重量部〜70重量部であり、さらに好ましくは20重量部〜65重量部である。このような範囲であれば、本発明の効果はより顕著となる。 The content ratio of the structural unit (A) having a biphenyl group in the side chain is preferably 10 parts by weight to 80 parts by weight, and more preferably 15 parts by weight to 100 parts by weight with respect to 100 parts by weight (mass part) of the alkali-soluble resin. It is 70 parts by weight, more preferably 20 parts by weight to 65 parts by weight. Within such a range, the effect of the present invention becomes more remarkable.
アルカリ可溶性樹脂を形成する上記モノマー組成物I中、側鎖にビフェニル基を有するモノマー(a)の含有割合は、モノマー組成物I中の全モノマー100重量部に対して、好ましくは20重量部〜80重量部であり、より好ましくは30重量部〜70重量部であり、さらに好ましくは40重量部〜65重量部である。このような範囲であれば、本発明の効果はより顕著となる。 In the above-mentioned monomer composition I forming the alkali-soluble resin, the content ratio of the monomer (a) having a biphenyl group in the side chain is preferably 20 parts by weight to 20 parts by weight with respect to 100 parts by weight of all the monomers in the monomer composition I. It is 80 parts by weight, more preferably 30 parts by weight to 70 parts by weight, and further preferably 40 parts by weight to 65 parts by weight. Within such a range, the effect of the present invention becomes more remarkable.
B−2.主鎖に環構造を有する構成単位(B)
上記アルカリ可溶性樹脂が、主鎖に環構造を有する構成単位(B)を有することにより、アルカリに対する溶解性が高い樹脂を得ることができる。
B-2. Structural unit (B) having a ring structure in the main chain
When the alkali-soluble resin has a structural unit (B) having a ring structure in the main chain, a resin having high solubility in alkali can be obtained.
主鎖に環構造を有する構成単位(B)としては、例えば、マレイミド構造、N−置換マレイミド構造、ラクトン環構造、グルタル酸無水物構造、無水マレイン酸構造等を有する構成単位が挙げられる。なかでも好ましくは、マレイミド構造またはN−置換マレイミド構造である。主鎖にマレイミド構造またはN−置換マレイミド構造を有する構成単位を有するアルカリ可溶性樹脂を用いることにより、アルカリに対する溶解性が高い樹脂を得ることができる。具体的には、主鎖に環構造を有する構成単位(B)は、一般式(3)〜(5)で表される構成単位から選ばれる少なくとも1種であることが好ましく、一般式(3)で表される構成単位であることがより好ましい。一般式(3)で表される構成単位を有するアルカリ可溶性樹脂(好ましくは、(メタ)アクリル系樹脂)を用いれば、強度が高い硬化物を形成し得る感光性樹脂組成物を得ることができる。
主鎖に環構造を有する構成単位(B)は、一般式(6)〜(9)で表される構成単位から選ばれる少なくとも1種であってもよい。なかでも好ましくは、一般式(6)または(9)で表される構成単位である。
主鎖に環構造を有する構成単位(B)は、主鎖に環構造を有するモノマー(b)により構成され得る。主鎖に環構造を有するモノマー(b)としては、例えば、マレイミド、ベンジルマレイミド、フェニルマレイミド、ナフチルマレイミド、N−o−ヒドロキシフェニルマレイミド、N−m−ヒドロキシフェニルマレイミド、N−p−ヒドロキシフェニルマレイミド、N−o−クロロフェニルマレイミド、N−m−クロロフェニルマレイミド、N−p−クロロフェニルマレイミド、N−o−メチルフェニルマレイミド、N−m−メチルフェニルマレイミド、N−p−メチルフェニルマレイミド、N−o−メトキシフェニルマレイミド、N−m−メトキシフェニルマレイミド、N−p−メトキシフェニルマレイミド等の芳香族置換マレイミド類;シクロヘキシルマレイミド、メチルマレイミド、エチルマレイミド、プロピルマレイミド、イソプロピルマレイミド等のアルキル置換マレイミド類等が挙げられる。なかでも好ましくは、マレイミド、ベンジルマレイミド、フェニルマレイミド、シクロヘキシルマレイミドであり、より好ましくはベンジルマレイミド、フェニルマレイミド、シクロヘキシルマレイミドであり、さらに好ましくはベンジルマレイミドである。上記モノマーは、単独で、または2種以上組み合わせて用いてもよい。 The structural unit (B) having a ring structure in the main chain may be composed of the monomer (b) having a ring structure in the main chain. Examples of the monomer (b) having a ring structure in the main chain include maleimide, benzylmaleimide, phenylmaleimide, naphthylmaleimide, NO-hydroxyphenylmaleimide, Nm-hydroxyphenylmaleimide, and Np-hydroxyphenylmaleimide. , NO-Chlorophenylmaleimide, Nm-chlorophenylmaleimide, Np-chlorophenylmaleimide, NO-methylphenylmaleimide, Nm-methylphenylmaleimide, Np-methylphenylmaleimide, NO- Aromatic substituted maleimides such as methoxyphenyl maleimide, Nm-methoxyphenyl maleimide, Np-methoxyphenyl maleimide; alkyl substituted maleimides such as cyclohexyl maleimide, methyl maleimide, ethyl maleimide, propyl maleimide, isopropyl maleimide and the like. Be done. Of these, maleimide, benzylmaleimide, phenylmaleimide, and cyclohexylmaleimide are preferable, benzylmaleimide, phenylmaleimide, and cyclohexylmaleimide are more preferable, and benzylmaleimide is more preferable. The above-mentioned monomers may be used alone or in combination of two or more.
主鎖に環構造を有する構成単位(B)を構成するモノマーとして、分子内環化工程によって環構造を形成し得るモノマー(b’)を用いてもよい、モノマー(b’)によれば、一般式(6)〜(9)で表される構成単位が形成される。モノマー(b’)としては、例えば、一般式(10)または(11)で表される1,6−ジエン類が挙げられる。
主鎖に環構造を有する構成単位(B)の含有割合は、アルカリ可溶性樹脂100重量部に対して、好ましくは5重量部〜50重量部であり、より好ましくは8重量部〜30重量部であり、さらに好ましくは10重量部〜25重量部である。 The content ratio of the structural unit (B) having a ring structure in the main chain is preferably 5 parts by weight to 50 parts by weight, and more preferably 8 parts by weight to 30 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the alkali-soluble resin. Yes, more preferably 10 to 25 parts by weight.
アルカリ可溶性樹脂を形成する上記モノマー組成物I中、主鎖に環構造を有するモノマー(b)の含有割合は、モノマー組成物I中の全モノマー100重量部に対して、好ましくは5重量部〜50重量部であり、より好ましくは8重量部〜30重量部であり、さらに好ましくは10重量部〜25重量部である。また、アルカリ可溶性樹脂を形成する上記モノマー組成物I中、環構造を形成し得るモノマー(b’)の含有割合は、モノマー組成物I中の全モノマー100重量部に対して、好ましくは5重量部〜50重量部であり、より好ましくは8重量部〜30重量部であり、さらに好ましくは10重量部〜25重量部である。 In the above-mentioned monomer composition I forming the alkali-soluble resin, the content ratio of the monomer (b) having a ring structure in the main chain is preferably 5 parts by weight to 5 parts by weight with respect to 100 parts by weight of all the monomers in the monomer composition I. It is 50 parts by weight, more preferably 8 parts by weight to 30 parts by weight, and further preferably 10 parts by weight to 25 parts by weight. Further, in the above-mentioned monomer composition I for forming the alkali-soluble resin, the content ratio of the monomer (b') capable of forming a ring structure is preferably 5% by weight with respect to 100 parts by weight of all the monomers in the monomer composition I. It is parts to 50 parts by weight, more preferably 8 parts by weight to 30 parts by weight, and further preferably 10 parts by weight to 25 parts by weight.
B−3.側鎖に酸基を有する構成単位(C)
好ましくは、上記アルカリ可溶性樹脂は、側鎖に酸基を有する構成単位(C)を有する。アルカリ可溶性樹脂が側鎖に酸基を有する構成単位(C)を有していれば、アルカリ現像性に優れる感光性樹脂組成物を得ることができる。側鎖に酸基を有する構成単位(C)を構成するモノマー(酸基を有するモノマー(c))としては、例えば、(メタ)アクリル酸、2−(メタ)アクリロイロキシエチルコハク酸、イタコン酸、ω−カルボキシ−ポリカプロラクトンモノアクリレート等のカルボキシル基を有するモノマー;無水マレイン酸、無水イタコン酸等のカルボン酸無水物基を有するモノマー等が挙げられる。なかでも好ましくは(メタ)アクリル酸である。これらのモノマーは、単独で、または2種以上組み合わせて用いてもよい。
B-3. Constituent unit (C) having an acid group in the side chain
Preferably, the alkali-soluble resin has a structural unit (C) having an acid group in the side chain. If the alkali-soluble resin has a structural unit (C) having an acid group in the side chain, a photosensitive resin composition having excellent alkali developability can be obtained. Examples of the monomer (monomer (c) having an acid group) constituting the structural unit (C) having an acid group in the side chain include (meth) acrylic acid, 2- (meth) acryloyloxyethyl succinic acid, and itaconic acid. Monomers having a carboxyl group such as acid and ω-carboxy-polycaprolactone monoacrylate; monomers having a carboxylic acid anhydride group such as maleic anhydride and itaconic anhydride can be mentioned. Of these, (meth) acrylic acid is preferable. These monomers may be used alone or in combination of two or more.
側鎖に酸基を有する構成単位(C)を構成するモノマーとして、酸基を導入し得るモノマー(c’)を用いてもよい。モノマー(c’)は、重合後の酸基付与を可能とするモノマーである。モノマー(c’)としては、例えば、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート等の水酸基を有するモノマー、グリシジル(メタ)アクリレート等のエポキシ基を有するモノマー、2−イソシアナートエチル(メタ)アクリレート等のイソシアネート基を有するモノマー等が挙げられる。これらのモノマーは、単独で、または2種以上組み合わせて用いてもよい。酸基を付与するための後処理は、用いるモノマー(c’)の種類によって異なるが、水酸基を有するモノマー(c’)を用いた場合には、例えば、コハク酸無水物、テトラヒドロフタル酸無水物、マレイン酸無水物等の酸無水物を付加させればよい。エポキシ基を有するモノマー(c’)を用いた場合には、例えば、N−メチルアミノ安息香酸、N−メチルアミノフェノール等のアミノ基と酸基を有する化合物を付加するか、もしくは、(メタ)アクリル酸等の酸を付加させた後に生じた水酸基に、酸無水物(例えば、コハク酸無水物、テトラヒドロフタル酸無水物、マレイン酸無水物)を付加させればよい。また、イソシアネート基を有するモノマー(c’)を用いた場合には、例えば、2−ヒドロキシ酪酸等の水酸基と酸基を有する化合物を付加させればよい。 As the monomer constituting the structural unit (C) having an acid group in the side chain, a monomer (c') into which an acid group can be introduced may be used. The monomer (c') is a monomer capable of imparting an acid group after polymerization. Examples of the monomer (c') include a monomer having a hydroxyl group such as 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, a monomer having an epoxy group such as glycidyl (meth) acrylate, and an isocyanate such as 2-isocyanatoethyl (meth) acrylate. Examples thereof include monomers having a group. These monomers may be used alone or in combination of two or more. The post-treatment for imparting an acid group differs depending on the type of monomer (c') used, but when a monomer (c') having a hydroxyl group is used, for example, succinic anhydride and tetrahydrophthalic anhydride , Maleic anhydride and other acid anhydrides may be added. When a monomer (c') having an epoxy group is used, for example, a compound having an amino group and an acid group such as N-methylaminobenzoic acid and N-methylaminophenol is added, or (meth). An acid anhydride (for example, succinic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, maleic anhydride) may be added to the hydroxyl group generated after the addition of an acid such as acrylic acid. When a monomer (c') having an isocyanate group is used, for example, a compound having a hydroxyl group and an acid group such as 2-hydroxybutyric acid may be added.
側鎖に酸基を有する構成単位(C)の含有割合は、アルカリ可溶性樹脂100重量部に対して、好ましくは10重量部〜60重量部であり、より好ましくは15重量部〜50重量部であり、さらに好ましくは15重量部〜45重量部である。 The content ratio of the structural unit (C) having an acid group in the side chain is preferably 10 parts by weight to 60 parts by weight, more preferably 15 parts by weight to 50 parts by weight, based on 100 parts by weight of the alkali-soluble resin. Yes, more preferably 15 to 45 parts by weight.
アルカリ可溶性樹を脂形成する上記モノマー組成物I中、酸基を有するモノマー(c)の含有割合は、モノマー組成物I中の全モノマー100重量部に対して、好ましくは15重量部〜60重量部であり、より好ましくは20重量部〜50重量部であり、さらに好ましくは20重量部〜45重量部である。また、アルカリ可溶性樹脂を形成する上記モノマー組成物I中、酸基を導入し得るモノマー(c’)の含有割合は、モノマー組成物I中の全モノマー100重量部に対して、好ましくは15重量部〜60重量部であり、より好ましくは20重量部〜50重量部であり、さらに好ましくは20重量部〜45重量部である。 The content ratio of the monomer (c) having an acid group in the above-mentioned monomer composition I for fat-forming an alkali-soluble tree is preferably 15 parts by weight to 60 parts by weight with respect to 100 parts by weight of all the monomers in the monomer composition I. It is, more preferably 20 parts by weight to 50 parts by weight, and further preferably 20 parts by weight to 45 parts by weight. Further, in the above-mentioned monomer composition I forming the alkali-soluble resin, the content ratio of the monomer (c') into which an acid group can be introduced is preferably 15% by weight with respect to 100 parts by weight of all the monomers in the monomer composition I. It is parts to 60 parts by weight, more preferably 20 parts by weight to 50 parts by weight, and further preferably 20 parts by weight to 45 parts by weight.
B−4.その他の構成単位(D)
上記アルカリ可溶性樹脂は、その他の構成単位(D)をさらに有していてもよい。その他の構成単位としては、側鎖に2以上のオキシアルキレン基を有する構成単位(D1)、上記モノマー(a)、モノマー(a’)、モノマー(b)、モノマー(c)および/またはモノマー(c’)と重合可能なその他のモノマー(d2)由来の構成単位(D2)等が挙げられる。
B-4. Other structural units (D)
The alkali-soluble resin may further have another structural unit (D). Other structural units include a structural unit (D1) having two or more oxyalkylene groups in the side chain, the above-mentioned monomer (a), monomer (a'), monomer (b), monomer (c) and / or monomer ( Examples thereof include a structural unit (D2) derived from another monomer (d2) that can be polymerized with c').
(側鎖に2以上のオキシアルキレン基を有する構成単位(D1))
上記アルカリ可溶性樹脂が、側鎖に2以上のオキシアルキレン基を有する構成単位(D1)を有することにより、架橋密度が高く、破壊強度が高いカラーフィルターを形成し得る感光性樹脂組成物を得ることができる。また、色材分散性に特に優れる感光性樹脂組成物を得ることができる。構成単位(D1)を有するアルカリ可溶性樹脂と、後述の多官能モノマー(好ましくは、オキシアルキレン基を有さない多官能モノマー)とを組み合わせて感光性樹脂組成物を構成する場合に、上記効果は特に顕著となる。
(Constituent unit (D1) having two or more oxyalkylene groups in the side chain)
When the alkali-soluble resin has a structural unit (D1) having two or more oxyalkylene groups in the side chain, a photosensitive resin composition capable of forming a color filter having high crosslink density and high breaking strength can be obtained. Can be done. In addition, a photosensitive resin composition having particularly excellent color material dispersibility can be obtained. When an alkali-soluble resin having a structural unit (D1) and a polyfunctional monomer described later (preferably a polyfunctional monomer having no oxyalkylene group) are combined to form a photosensitive resin composition, the above effect is obtained. This is especially noticeable.
側鎖に2以上のオキシアルキレン基を有する構成単位(D1)としては、例えば、一般式(12)で表される構成単位が挙げられる。
側鎖に2以上のオキシアルキレン基を有する構成単位(D1)は、側鎖に2以上のオキシアルキレン基を有するモノマー(d1)により構成される。モノマー(d1)としては、例えば、エトキシ化o−フェニルフェノール(メタ)アクリレート(EO2モル)、フェノキシジエチレングリコール(メタ)アクリレート、フェノキシポリエチレングリコール(メタ)アクリレート(EO4モル)、メトキシポリエチレングリコール(メタ)アクリレート(EO9モル)、メトキシポリエチレングリコール(メタ)アクリレート(EO13モル)、メトキシトリエチレングリコール(メタ)アクリレート、エトキシジエチレングリコール(メタ)アクリレート、ブトキシジエチレングリコール(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシルジエチレングリコール(メタ)アクリレート、メトキシジプロピレングリコール(メタ)アクリレート、メトキシポリプロピレングリコール(メタ)アクリレート、ノニルフェノキシポリエチレングリコール(メタ)アクリレート(EO4―17モル)、ノニルフェノキシポリプロピレングリコール(メタ)アクリレート(PO5モル)、EO変性クレゾール(メタ)アクリレート(EO2モル)等が挙げられる。これらのモノマーは、単独で、または2種以上組み合わせて用いてもよい。なお、本明細書において、例えば「EO2モル」、「PO5モル」等の表記は、オキシアルキレン基の平均付加モル数を表す。 The structural unit (D1) having two or more oxyalkylene groups in the side chain is composed of the monomer (d1) having two or more oxyalkylene groups in the side chain. Examples of the monomer (d1) include ethoxylated o-phenylphenol (meth) acrylate (EO2 mol), phenoxydiethylene glycol (meth) acrylate, phenoxypolyethylene glycol (meth) acrylate (EO4 mol), and methoxypolyethylene glycol (meth) acrylate. (EO 9 mol), methoxypolyethylene glycol (meth) acrylate (EO 13 mol), methoxytriethylene glycol (meth) acrylate, ethoxydiethylene glycol (meth) acrylate, butoxydiethylene glycol (meth) acrylate, 2-ethylhexyldiethylene glycol (meth) acrylate, methoxy Dipropylene glycol (meth) acrylate, methoxypolypropylene glycol (meth) acrylate, nonylphenoxypolyethylene glycol (meth) acrylate (EO4-17 mol), nonylphenoxypolyethylene glycol (meth) acrylate (PO5 mol), EO-modified cresol (meth) Examples thereof include acrylate (2 mol of EO). These monomers may be used alone or in combination of two or more. In the present specification, for example, notations such as "EO 2 mol" and "PO 5 mol" represent the average number of moles of oxyalkylene groups added.
側鎖に2以上のオキシアルキレン基を有する構成単位(D1)の含有割合は、アルカリ可溶性樹脂100重量部に対して、好ましくは0.1重量部〜10重量部であり、より好ましくは0.5重量部〜5重量部である。 The content ratio of the structural unit (D1) having two or more oxyalkylene groups in the side chain is preferably 0.1 part by weight to 10 parts by weight, more preferably 0 parts by weight, based on 100 parts by weight of the alkali-soluble resin. It is 5 parts by weight to 5 parts by weight.
アルカリ可溶性樹脂を形成する上記モノマー組成物I中、側鎖に2以上のオキシアルキレン基を有するモノマー(d1)の含有割合は、モノマー組成物I中の全モノマー100重量部に対して、好ましくは1重量部〜10重量部であり、より好ましくは2重量部〜5重量部である。 In the above-mentioned monomer composition I forming the alkali-soluble resin, the content ratio of the monomer (d1) having two or more oxyalkylene groups in the side chain is preferably with respect to 100 parts by weight of all the monomers in the monomer composition I. It is 1 part by weight to 10 parts by weight, more preferably 2 parts by weight to 5 parts by weight.
(その他のモノマー(d2)由来の構成単位(D2))
上記その他のモノマー(d2)由来の構成単位(D2)は、例えば、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、n−プロピル(メタ)アクリレート、イソプロピル(メタ)アクリレート、n−ブチル(メタ)アクリレート、イソブチル(メタ)アクリレート、t−ブチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレート、ステアリル(メタ)アクリレート、フェニル(メタ)アクリレート、ビフェニル(メタ)アクリレート、メトキシエチル(メタ)アクリレート、エトキシエチル(メタ)アクリレート、ブトキシエチレングリコール(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシルエチレングリコール(メタ)アクリレート、メトキシプロピレングリコール(メタ)アクリレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレート、ビフェノキシエチル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニル(メタ)アクリレート、トリシクロデシル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニルオキシエチル(メタ)アクリレート、トリシクロデシルオキシエチル(メタ)アクリレート、ノニルフェノキシエチレングリコール(メタ)アクリレート、ノニルフェノキシプロピレングリコール、ベンジル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート等の(メタ)アクリル酸エステル類、(メタ)アクリロイルモルホリン(モルホリノ(メタ)アクリレート)、(メタ)アクリルアミド、N−メチル(メタ)アクリルアミド、N−イソプロピル(メタ)アクリルアミド、N−ブチル(メタ)アクリルアミド、N−イソブチル(メタ)アクリルアミド、N−t−ブチル(メタ)アクリルアミド、N−t−オクチル(メタ)アクリルアミド、ダイアセトン(メタ)アクリルアミド、N−ヒドロキシメチル(メタ)アクリルアミド、N−ヒドロキシエチル(メタ)アクリルアミド、N−シクロヘキシル(メタ)アクリルアミド、N−フェニル(メタ)アクリルアミド、N−ベンジル(メタ)アクリルアミド、N−トリフェニルメチル(メタ)アクリルアミド、N,N−ジメチル(メタ)アクリルアミド等の(メタ)アクリル酸アミド類、スチレン、ビニルトルエン、α−メチルスチレン等の芳香族ビニル化合物、ブタジエン、イソプレン等のブタジエンまたは置換ブタジエン化合物、エチレン、プロピレン、塩化ビニル、アクリロニトリル等のエチレンまたは置換エチレン化合物;酢酸ビニル等のビニルエステル類等のモノマー(d2)由来の構成単位が挙げられる。これらのモノマーは、単独で、または2種以上組み合わせて用いてもよい。
(Constituent unit (D2) derived from other monomer (d2))
The structural unit (D2) derived from the other monomer (d2) is, for example, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, n-propyl (meth) acrylate, isopropyl (meth) acrylate, n-butyl (meth). Acrylate, isobutyl (meth) acrylate, t-butyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, lauryl (meth) acrylate, stearyl (meth) acrylate, phenyl (meth) acrylate, biphenyl ( Meta) acrylate, methoxyethyl (meth) acrylate, ethoxyethyl (meth) acrylate, butoxyethylene glycol (meth) acrylate, 2-ethylhexylethylene glycol (meth) acrylate, methoxypropylene glycol (meth) acrylate, phenoxyethyl (meth) acrylate , Biphenoxyethyl (meth) acrylate, dicyclopentanyl (meth) acrylate, tricyclodecyl (meth) acrylate, dicyclopentanyloxyethyl (meth) acrylate, tricyclodecyloxyethyl (meth) acrylate, nonylphenoxyethylene (Meta) acrylic acid esters such as glycol (meth) acrylate, nonylphenoxypropylene glycol, benzyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, (meth) acryloylmorpholin (morpholino (meth) acrylate), (meth) ) Acrylate, N-methyl (meth) acrylamide, N-isopropyl (meth) acrylamide, N-butyl (meth) acrylamide, N-isobutyl (meth) acrylamide, N-t-butyl (meth) acrylamide, N-t-octyl (Meta) acrylamide, diacetone (meth) acrylamide, N-hydroxymethyl (meth) acrylamide, N-hydroxyethyl (meth) acrylamide, N-cyclohexyl (meth) acrylamide, N-phenyl (meth) acrylamide, N-benzyl ( (Meta) Acrylate amides such as meta) acrylamide, N-triphenylmethyl (meth) acrylamide, N, N-dimethyl (meth) acrylamide, aromatic vinyl compounds such as styrene, vinyltoluene, α-methylstyrene, butadiene , Acrylate or substituted butadiene compounds such as isoprene, ethylene, propylene, vinyl chloride, Examples thereof include ethylene or substituted ethylene compounds such as acrylonitrile; and constituent units derived from a monomer (d2) such as vinyl esters such as vinyl acetate. These monomers may be used alone or in combination of two or more.
上記構成単位(D2)の含有割合は、アルカリ可溶性樹脂100重量部に対して、好ましくは0重量部〜55重量部であり、より好ましくは5重量部〜50重量部であり、さらに好ましくは10重量部〜45重量部である。 The content ratio of the structural unit (D2) is preferably 0 parts by weight to 55 parts by weight, more preferably 5 parts by weight to 50 parts by weight, and further preferably 10 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the alkali-soluble resin. It is a part by weight to 45 parts by weight.
B−5.アルカリ可溶性樹脂の重合
上記アルカリ可溶性樹脂は、上記モノマーを含むモノマー組成物を、任意の適切な方法で重合して得ることができる。重合方法としては、例えば、溶液重合法が挙げられる。
B-5. Polymerization of Alkali-Soluble Resin The alkali-soluble resin can be obtained by polymerizing a monomer composition containing the above-mentioned monomer by any suitable method. Examples of the polymerization method include a solution polymerization method.
上記モノマー組成物は、任意の適切な溶媒を含み得る。溶媒としては、例えば、テトラヒドロフラン、ジオキサン、エチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル等のエーテル類;アセトン、メチルエチルケトン等のケトン類;酢酸エチル、酢酸ブチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、3−メトキシブチルアセテート等のエステル類;メタノール、エタノール等のアルコール類;トルエン、キシレン、エチルベンゼン等の芳香族炭化水素類;クロロホルム;ジメチルスルホキシド等が挙げられる。これらの溶媒は、単独で、または2種以上組み合わせて用いてもよい。上記モノマー組成物を重合する際の重合濃度は、好ましくは5重量%(質量%)〜90重量%であり、より好ましくは5重量%〜50重量%であり、さらに好ましくは10重量%〜50重量%である。 The monomer composition may contain any suitable solvent. Examples of the solvent include ethers such as tetrahydrofuran, dioxane, ethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether and propylene glycol monomethyl ether; ketones such as acetone and methyl ethyl ketone; ethyl acetate, butyl acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate and 3-methoxybutyl. Examples include esters such as acetate; alcohols such as methanol and ethanol; aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene and ethylbenzene; chloroform; dimethylsulfoxide and the like. These solvents may be used alone or in combination of two or more. The polymerization concentration when polymerizing the above-mentioned monomer composition is preferably 5% by weight (mass%) to 90% by weight, more preferably 5% by weight to 50% by weight, and further preferably 10% by weight to 50% by weight. Weight%.
上記モノマー組成物は、任意の適切な重合開始剤を含み得る。重合開始剤としては、例えば、クメンハイドロパーオキサイド、ジイソプロピルベンゼンハイドロパーオキサイド、ジ−t−ブチルパーオキサイド、ラウロイルパーオキサイド、ベンゾイルパーオキサイド、t−ブチルパーオキシイソプロピルカーボネート、t−アミルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート、t−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート等の有機過酸化物;2,2’−アゾビス(イソブチロニトリル)、1,1’−アゾビス(シクロヘキサンカルボニトリル)、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)、ジメチル2,2’−アゾビス(2−メチルプロピオネート)等のアゾ化合物等が挙げられる。重合開始剤の含有割合は、モノマー組成物中の全モノマー100重量部に対して、好ましくは0.1重量部〜15重量部、より好ましくは0.2重量部〜10重量部である。 The monomer composition may contain any suitable polymerization initiator. Examples of the polymerization initiator include cumene hydroperoxide, diisopropylbenzene hydroperoxide, di-t-butyl peroxide, lauroyl peroxide, benzoyl peroxide, t-butylperoxyisopropyl carbonate, and t-amylperoxy-2. Organic peroxides such as -ethylhexanoate, t-butylperoxy-2-ethylhexanoate; 2,2'-azobis (isobutyronitrile), 1,1'-azobis (cyclohexanecarbonitrile), Examples thereof include azo compounds such as 2,2'-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) and dimethyl 2,2'-azobis (2-methylpropionate). The content ratio of the polymerization initiator is preferably 0.1 parts by weight to 15 parts by weight, more preferably 0.2 parts by weight to 10 parts by weight, based on 100 parts by weight of all the monomers in the monomer composition.
上記モノマー組成物は、任意の適切な連鎖移動剤を含み得る。連鎖移動剤としては、例えば、n−ドデシルメルカプタン、β―メルカプトプロピオン酸等の単官能チオール化合物;両末端メルカプト変性ポリシロキサン等の2官能チオール化合物;側鎖がメルカプト変性された側鎖多官能メルカプト変性ポリシロキサン等が挙げられる。連鎖移動剤の含有割合は、モノマー組成物中の全モノマー100重量部に対して、好ましくは0.1重量部〜15重量部、より好ましくは0.5重量部〜10重量部である。 The monomer composition may comprise any suitable chain transfer agent. Examples of the chain transfer agent include monofunctional thiol compounds such as n-dodecyl mercaptoethanol and β-mercaptopropionic acid; bifunctional thiol compounds such as both-terminal mercapto-modified polysiloxane; side chain polyfunctional mercapto having mercapto-modified side chains. Examples include modified polysiloxane. The content ratio of the chain transfer agent is preferably 0.1 parts by weight to 15 parts by weight, more preferably 0.5 parts by weight to 10 parts by weight, based on 100 parts by weight of all the monomers in the monomer composition.
上記アルカリ可溶性樹脂を溶液重合法により重合する際の重合温度は、好ましくは40℃〜150℃であり、より好ましくは60℃〜130℃である。 The polymerization temperature when the alkali-soluble resin is polymerized by the solution polymerization method is preferably 40 ° C. to 150 ° C., more preferably 60 ° C. to 130 ° C.
上記アルカリ可溶性樹脂は、ランダム共重合体であってもよく、ブロック共重合体であってもよい。 The alkali-soluble resin may be a random copolymer or a block copolymer.
上記アルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量は、好ましくはテトラヒドロフラン(THF)溶媒によるゲル・パーミエーション・クロマトグラフ法(GPC)で測定した値が、好ましくは3,000〜200,000であり、より好ましくは4,000〜100,000であり、さらに好ましくは5,000〜50,000である。このような範囲であれば、耐熱性を確保し、かつ、塗膜形成に適切な粘度を有する感光性樹脂組成物を得ることができる。 The weight average molecular weight of the alkali-soluble resin is preferably a value measured by gel permeation chromatography (GPC) in a tetrahydrofuran (THF) solvent, preferably 3,000 to 200,000, more preferably. It is 4,000 to 100,000, more preferably 5,000 to 50,000. Within such a range, it is possible to obtain a photosensitive resin composition that ensures heat resistance and has an appropriate viscosity for forming a coating film.
上記アルカリ可溶性樹脂の酸価は、好ましくは20mgKOH/g〜300mgKOH/gであり、より好ましくは25mgKOH/g〜200mgKOH/gであり、さらに好ましくは30mgKOH/g〜150mgKOH/gである。このような範囲であれば、アルカリ現像性に優れ、現像残渣の発生が少なく、かつ、密着性に優れるカラーフィルターを形成し得る感光性樹脂組成物を得ることができる。 The acid value of the alkali-soluble resin is preferably 20 mgKOH / g to 300 mgKOH / g, more preferably 25 mgKOH / g to 200 mgKOH / g, and even more preferably 30 mgKOH / g to 150 mgKOH / g. Within such a range, it is possible to obtain a photosensitive resin composition capable of forming a color filter having excellent alkali developability, less generation of development residue, and excellent adhesion.
本発明の感光性樹脂組成物中におけるアルカリ可溶性樹脂の含有量としては、該組成物の全固形分に対して、1重量%〜50重量%が好ましく、より好ましくは5重量%〜40重量%である。 The content of the alkali-soluble resin in the photosensitive resin composition of the present invention is preferably 1% by weight to 50% by weight, more preferably 5% by weight to 40% by weight, based on the total solid content of the composition. Is.
B−6.側鎖に炭素二重結合を有する構成単位(E)を有するアルカリ可溶性樹脂
1つの実施形態においては、上記アルカリ可溶性樹脂は、側鎖に炭素二重結合を有する構成単位(E)を有する。アルカリ可溶性樹脂が側鎖に炭素二重結合を有する構成単位(E)を有していれば、強度に優れるカラーフィルターを形成し得、かつ、露光感度が高い感光性樹脂組成物を得ることができる。側鎖に炭素二重結合を有する構成単位(E)は、側鎖に酸基を有する構成単位(C)の酸基の一部または全部(好ましくは、一部)を反応点として、炭素二重結合を有する化合物を付加することにより、得ることができる。
B-6. Alkali-soluble resin having a structural unit (E) having a carbon double bond in the side chain In one embodiment, the alkali-soluble resin has a structural unit (E) having a carbon double bond in the side chain. If the alkali-soluble resin has a structural unit (E) having a carbon double bond in the side chain, it is possible to form a color filter having excellent strength and obtain a photosensitive resin composition having high exposure sensitivity. can. The structural unit (E) having a carbon double bond in the side chain is composed of a part or all (preferably a part) of the acid group of the structural unit (C) having an acid group in the side chain as a reaction point. It can be obtained by adding a compound having a double bond.
側鎖に酸基を有する構成単位(C)の酸基がカルボキシル基である場合、炭素二重結合を有する化合物として、エポキシ基と二重結合とを有する化合物、イソシアネート基と二重結合とを有する化合物等が用いられ得る。エポキシ基と二重結合とを有する化合物としては、例えば、グリシジル(メタ)アクリレート、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレート、o−ビニルベンジルグリシジルエーテル、m−ビニルベンジルグリシジルエーテル、p−ビニルベンジルグリシジルエーテル、4−ヒドロキシブチルアクリレートグリシジルエーテル等が挙げられる。イソシアネート基と二重結合とを有する化合物としては2−イソシアナートエチル(メタ)アクリレート等が挙げられる。側鎖に酸基を有する構成単位(C)の酸基がカルボン酸無水物基である場合、炭素二重結合を有する化合物として、水酸基と二重結合とを有する化合物が用いられ得る。水酸基と二重結合とを有する化合物としては、例えば、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート等が挙げられる。 When the acid group of the structural unit (C) having an acid group in the side chain is a carboxyl group, the compound having a carbon double bond includes a compound having an epoxy group and a double bond, and an isocyanate group and a double bond. Compounds and the like can be used. Examples of the compound having an epoxy group and a double bond include glycidyl (meth) acrylate, 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth) acrylate, o-vinylbenzyl glycidyl ether, m-vinylbenzyl glycidyl ether, and p-vinyl. Benzyl glycidyl ether, 4-hydroxybutyl acrylate glycidyl ether and the like can be mentioned. Examples of the compound having an isocyanate group and a double bond include 2-isocyanatoethyl (meth) acrylate. When the acid group of the structural unit (C) having an acid group in the side chain is a carboxylic acid anhydride group, a compound having a hydroxyl group and a double bond can be used as the compound having a carbon double bond. Examples of the compound having a hydroxyl group and a double bond include 2-hydroxyethyl (meth) acrylate.
側鎖に炭素二重結合を有する構成単位(E)を有するアルカリ可溶性樹脂を得る場合、上記モノマー組成物を重合した後、得られた樹脂に上記炭素二重結合を有する化合物を付加する。上記炭素二重結合としてはエチレン性不飽和二重結合が好ましい。炭素二重結合を有する化合物を付加する方法としては、任意の適切な方法が採用され得る。例えば、重合禁止剤および触媒の存在下で、炭素二重結合を有する化合物を、側鎖に酸基を有する構成単位(C)の酸基の一部または全部(好ましくは、一部)に反応させて付加することにより、側鎖に炭素二重結合を有する構成単位(E)を形成させることができる。 When an alkali-soluble resin having a structural unit (E) having a carbon double bond in the side chain is obtained, the above-mentioned monomer composition is polymerized, and then the compound having the above-mentioned carbon double bond is added to the obtained resin. As the carbon double bond, an ethylenically unsaturated double bond is preferable. Any suitable method can be adopted as the method for adding the compound having a carbon double bond. For example, in the presence of a polymerization inhibitor and a catalyst, a compound having a carbon double bond is reacted with a part or all (preferably a part) of the acid group of the structural unit (C) having an acid group in the side chain. By adding the mixture, a structural unit (E) having a carbon double bond in the side chain can be formed.
上記炭素二重結合を有する化合物の付加量は、上記重合後のアルカリ可溶性樹脂(すなわち、炭素二重結合を有する化合物を付加する前のアルカリ可溶性樹脂)100重量部に対して、好ましくは5重量部以上であり、より好ましくは10重量部以上であり、さらに好ましくは15重量部以上であり、特に好ましくは20重量部以上である。このような範囲であれば、露光感度に優れる感光性樹脂組成物を得ることができる。このような感光性樹脂組成物を用いれば、緻密な硬化塗膜を形成して、基板密着性に優れ、強度が高いカラーフィルターを形成することができる。また、炭素二重結合を有する化合物の付加量が上記範囲であれば、炭素二重結合を有する化合物の付加により水酸基が十分に生成され、アルカリ現像液に対する溶解性に優れる感光性樹脂組成物を得ることができる。上記炭素二重結合を有する化合物の付加量の上限は、上記重合後のアルカリ可溶性樹脂(すなわち、炭素二重結合を有する化合物を付加する前のアルカリ可溶性樹脂)100重量部に対して、好ましくは150重量部以下であり、より好ましくは100重量部以下であり、さらに好ましくは80重量部以下である。 The addition amount of the compound having a carbon double bond is preferably 5 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the alkali-soluble resin after the polymerization (that is, the alkali-soluble resin before adding the compound having a carbon double bond). It is 10 parts by weight or more, more preferably 15 parts by weight or more, and particularly preferably 20 parts by weight or more. Within such a range, a photosensitive resin composition having excellent exposure sensitivity can be obtained. By using such a photosensitive resin composition, it is possible to form a dense cured coating film, and to form a color filter having excellent substrate adhesion and high strength. Further, when the addition amount of the compound having a carbon double bond is within the above range, a photosensitive resin composition in which hydroxyl groups are sufficiently generated by the addition of the compound having a carbon double bond and has excellent solubility in an alkaline developer can be obtained. Obtainable. The upper limit of the addition amount of the compound having a carbon double bond is preferably with respect to 100 parts by weight of the alkali-soluble resin after the polymerization (that is, the alkali-soluble resin before adding the compound having a carbon double bond). It is 150 parts by weight or less, more preferably 100 parts by weight or less, and further preferably 80 parts by weight or less.
重合禁止剤としては、例えば、6−tert−ブチル−2,4−キシレノール等のアルキルフェノール化合物が挙げられる。触媒としては、例えば、ジメチルベンジルアミン、トリエチルアミン等の3級アミンが挙げられる。 Examples of the polymerization inhibitor include alkylphenol compounds such as 6-tert-butyl-2,4-xylenol. Examples of the catalyst include tertiary amines such as dimethylbenzylamine and triethylamine.
C.色材
1つの実施形態においては、色材として、顔料が用いられる。顔料としては、任意の適切な顔料が用いられ得る。顔料は、有機顔料であってもよく、無機顔料であってもよい。有機顔料としては、例えば、アゾ系顔料、フタロシアニン系顔料、多環式顔料(キナクリドン系、ペリレン系、ペリノン系、イソインドリノン系、イソインドリン系、ジオキサジン系、チオインジゴ系、アントラキノン系、キノフタロン系、金属錯体系、ジケトピロロピロール系等)、染料レーキ系顔料等が挙げられる。無機顔料としては、例えば、白色・体質顔料(酸化チタン、酸化亜鉛、硫化亜鉛、クレー、タルク、硫酸バリウム、炭酸カルシウム等)、有彩顔料(黄鉛、カドミニウム系、クロムバーミリオン、ニッケルチタン、クロムチタン、黄色酸化鉄、ベンガラ、ジンククロメート、鉛丹、群青、紺青、コバルトブルー、クロムグリーン、酸化クロム、バナジン酸ビスマス等)、黒色顔料(カーボンブラック、ボーンブラック、グラファイト、鉄黒、チタンブラック等)、光輝材顔料(パール顔料、アルミ顔料、ブロンズ顔料等)、蛍光顔料(硫化亜鉛、硫化ストロンチウム、アルミン酸ストロンチウム等)等が挙げられる。顔料は、目的、用途に応じて、ロジン処理、界面活性剤処理、樹脂系分散剤処理、顔料誘導体処理、酸化皮膜処理、シリカコーティング、ワックスコーティングなどの表面処理がなされていてもよい。
C. Coloring material In one embodiment, a pigment is used as the coloring material. As the pigment, any suitable pigment can be used. The pigment may be an organic pigment or an inorganic pigment. Examples of organic pigments include azo pigments, phthalocyanine pigments, and polycyclic pigments (quinacridone-based, perylene-based, perinone-based, isoindolinone-based, isoindolin-based, dioxazine-based, thioindigo-based, anthraquinone-based, and quinophthalone-based pigments. Metal complex type, diketopyrrolopyrrole type, etc.), dye lake type pigment and the like. Examples of inorganic pigments include white / extender pigments (titanium oxide, zinc oxide, zinc sulfide, clay, talc, barium sulfate, calcium carbonate, etc.) and chromatic pigments (yellow lead, cadmium, chromium vermillion, nickel titanium, etc.). Chromium titanium, yellow iron oxide, red iron oxide, zinc chromate, lead tan, ultramarine, dark blue, cobalt blue, chrome green, chromium oxide, bismuth vanadate, etc.), black pigments (carbon black, bone black, graphite, iron black, titanium black, etc.) Etc.), bright material pigments (pearl pigments, aluminum pigments, bronze pigments, etc.), fluorescent pigments (zinc oxide, strontium sulfide, strontium aluminate, etc.) and the like. The pigment may be subjected to surface treatment such as rosin treatment, surfactant treatment, resin-based dispersant treatment, pigment derivative treatment, oxide film treatment, silica coating, wax coating, etc., depending on the purpose and application.
顔料の数平均1次粒径は、顔料の種類に応じて、任意の適切な粒径とし得る。顔料の数平均1次粒径は、好ましくは100nm以下であり、より好ましくは50nm以下である。顔料の数平均1次粒径の下限は、例えば、10nmである。本発明においては、上記アルカリ可溶性樹脂を含有させることにより、顔料分散性が向上し、粒径の小さい顔料を使用することが可能となる。 The number average primary particle size of the pigment may be any suitable particle size depending on the type of pigment. The number average primary particle size of the pigment is preferably 100 nm or less, more preferably 50 nm or less. The lower limit of the number average primary particle size of the pigment is, for example, 10 nm. In the present invention, by containing the alkali-soluble resin, the dispersibility of the pigment is improved, and it becomes possible to use a pigment having a small particle size.
感光性樹脂組成物を調製した直後の顔料の数平均2次粒径(初期粒径)は、好ましくは200nm以下であり、より好ましくは150nm以下であり、さらに好ましくは120nm以下であり、特に好ましくは100nm以下である。なお、粒径は動的光散乱式粒径分布測定装置を用いて測定することができる。 The number average secondary particle size (initial particle size) of the pigment immediately after preparing the photosensitive resin composition is preferably 200 nm or less, more preferably 150 nm or less, still more preferably 120 nm or less, and particularly preferably. Is 100 nm or less. The particle size can be measured using a dynamic light scattering type particle size distribution measuring device.
感光性樹脂組成物を調製し、40℃の環境下で7日間経過した後の顔料の数平均2次粒径の上記初期粒径に対する変化率(7日経過後の粒径/初期粒径)は、好ましくは150%以下であり、より好ましくは130%以下であり、さらに好ましくは110%以下であり、特に好ましくは105%以下であり、最も好ましくは100%未満である。該変化率の下限は、例えば、90%である。本発明においては、顔料分散の安定性に優れ、経時における顔料の凝集を効果的に抑制することができる。 The rate of change (particle size after 7 days / initial particle size) of the number average secondary particle size of the pigment after 7 days in an environment of 40 ° C. after preparing the photosensitive resin composition is It is preferably 150% or less, more preferably 130% or less, further preferably 110% or less, particularly preferably 105% or less, and most preferably less than 100%. The lower limit of the rate of change is, for example, 90%. In the present invention, the stability of pigment dispersion is excellent, and the aggregation of pigments over time can be effectively suppressed.
顔料の含有割合は、感光性樹脂組成物中のアルカリ可溶性樹脂100重量部に対して、好ましくは20重量部〜500重量部であり、より好ましくは50重量部〜400重量部であり、さらに好ましくは80重量部〜300重量部であり、特に好ましくは100重量部〜200重量部である。本発明においては、分散性よく顔料を添加することが可能であるため、顔料の含有割合を多くすることができる。顔料含有量が多い感光性樹脂組成物を用いれば、所望の特性を有しながらも、厚みの薄いカラーフィルターを形成することができる。 The content ratio of the pigment is preferably 20 parts by weight to 500 parts by weight, more preferably 50 parts by weight to 400 parts by weight, still more preferably, based on 100 parts by weight of the alkali-soluble resin in the photosensitive resin composition. Is 80 parts by weight to 300 parts by weight, and particularly preferably 100 parts by weight to 200 parts by weight. In the present invention, since the pigment can be added with good dispersibility, the content ratio of the pigment can be increased. By using a photosensitive resin composition having a high pigment content, it is possible to form a color filter having desired properties but having a thin thickness.
別の実施形態においては、色材として染料が用いられる。染料としては、例えば、アゾ系染料、アントラキノン系染料、フタロシアニン系染料、キノンイミン系染料、キノリン系染料、ニトロ系染料、カルボニル系染料、メチン系染料等が挙げられる。 In another embodiment, a dye is used as the coloring material. Examples of the dye include azo dyes, anthraquinone dyes, phthalocyanine dyes, quinoneimine dyes, quinoline dyes, nitro dyes, carbonyl dyes, methine dyes and the like.
染料の含有割合は、感光性樹脂組成物中のアルカリ可溶性樹脂100重量部に対して、好ましくは20重量部〜500重量部であり、より好ましくは50重量部〜400重量部であり、さらに好ましくは80重量部〜300重量部であり、特に好ましくは100重量部〜200重量部である。 The content ratio of the dye is preferably 20 parts by weight to 500 parts by weight, more preferably 50 parts by weight to 400 parts by weight, still more preferably, based on 100 parts by weight of the alkali-soluble resin in the photosensitive resin composition. Is 80 parts by weight to 300 parts by weight, and particularly preferably 100 parts by weight to 200 parts by weight.
上記顔料と染料を併用してもよい、この場合、顔料および染料の合計含有割合(色材の含有割合は)、感光性樹脂組成物中のアルカリ可溶性樹脂100重量部に対して、好ましくは20重量部〜500重量部であり、より好ましくは50重量部〜400重量部であり、さらに好ましくは80重量部〜300重量部であり、特に好ましくは100重量部〜200重量部である。 The pigment and the dye may be used in combination. In this case, the total content of the pigment and the dye (the content of the coloring material) is preferably 20 based on 100 parts by weight of the alkali-soluble resin in the photosensitive resin composition. It is by weight to 500 parts by weight, more preferably 50 parts by weight to 400 parts by weight, further preferably 80 parts by weight to 300 parts by weight, and particularly preferably 100 parts by weight to 200 parts by weight.
D.分散剤
上記分散剤の酸価は、15mgKOH/g以下であり、好ましくは13mgKOH/g以下であり、より好ましくは10mgKOH/g以下であり、さらに好ましくは8mgKOH/g以下であり、最も好ましくは5mgKOH/g以下である。このような範囲であれば、色材の分散安定性に優れる感光性樹脂組成物を得ることができる。酸価の測定方法は後述する。
D. Dispersant The acid value of the dispersant is 15 mgKOH / g or less, preferably 13 mgKOH / g or less, more preferably 10 mgKOH / g or less, still more preferably 8 mgKOH / g or less, and most preferably 5 mgKOH or less. It is less than / g. Within such a range, a photosensitive resin composition having excellent dispersion stability of the coloring material can be obtained. The method for measuring the acid value will be described later.
上記分散剤のアミン価は、好ましくは25mgKOH/g以下であり、より好ましくは20mgKOH/g以下であり、さらに好ましくは15mgKOH/g以下である。このような範囲であれば、分散安定性がより優れる感光性樹脂組成物を得ることができる。アミン価の測定方法は後述する。 The amine value of the dispersant is preferably 25 mgKOH / g or less, more preferably 20 mgKOH / g or less, and even more preferably 15 mgKOH / g or less. Within such a range, a photosensitive resin composition having more excellent dispersion stability can be obtained. The method for measuring the amine value will be described later.
上記分散剤としては、本発明の効果が得られる限りにおいて、任意の適切な分散剤が用いられ得る。1つの実施形態においては、上記分散剤として、アニオン性分散剤、非イオン性分散剤、カチオン性分散剤、高分子(樹脂型)分散剤等が用いられる。なかでも好ましくは、高分子(樹脂型)分散剤である。 As the dispersant, any suitable dispersant can be used as long as the effects of the present invention can be obtained. In one embodiment, as the dispersant, an anionic dispersant, a nonionic dispersant, a cationic dispersant, a polymer (resin type) dispersant and the like are used. Of these, a polymer (resin type) dispersant is preferable.
高分子(樹脂型)分散剤の具体例としては、例えば、ポリアクリル系ポリマー、ポリエーテル系ポリマー、ポリエステル系ポリマー、ポリウレタン系ポリマー、ポリリン酸エステル系ポリマー、ポリエチレンイミン系ポリマー、ポリアリルアミン系ポリマー、アミノ基を持つモノマーとマクロモノマーとから構成されるポリマー、ポリオキシエチレンアルキルエーテル系ポリマー、ポリオキシエチレンジエステル系ポリマー、ポリエーテルリン酸系ポリマー、ポリエステルリン酸系ポリマー、ソルビタン脂肪族エステル系ポリマー、脂肪族変性ポリエステル系ポリマー等が挙げられる。また、高分子(樹脂型)分散剤として、ポリウレタン、ポリアクリレートなどのポリカルボン酸エステル、不飽和ポリアミド、ポリカルボン酸、ポリカルボン酸アミン塩、ポリカルボン酸アンモニウム塩、ポリカルボン酸アルキルアミン塩、ポリシロキサン、長鎖ポリアミノアマイドリン酸塩、水素基含有ポリカルボン酸エステル、ポリ(低級アルキレンイミン)と遊離のカルボキシル基を有するポリエステルとの反応により形成されたアミドやその塩、(メタ)アクリル酸−スチレン共重合体、(メタ)アクリル酸−(メタ)アクリル酸エステル共重合体、スチレン−マレイン酸共重合体、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、ポリエステル系、変性ポリアクリレート、エチレンオキサイド/ポリプロピレンオキサイド付加物等を用いてもよい。上記共重合体としては、ブロック共重合体が好ましく用いられる。 Specific examples of the polymer (resin type) dispersant include polyacrylic polymers, polyether polymers, polyester polymers, polyurethane polymers, polyphosphate ester polymers, polyethyleneimine polymers, and polyallylamine polymers. Polymers composed of monomers having amino groups and macromonomers, polyoxyethylene alkyl ether-based polymers, polyoxyethylene diester-based polymers, polyether phosphoric acid-based polymers, polyester phosphoric acid-based polymers, sorbitan aliphatic ester-based polymers, Examples thereof include aliphatic modified polyester polymers. Further, as a polymer (resin type) dispersant, polycarboxylic acid esters such as polyurethane and polyacrylate, unsaturated polyamides, polycarboxylic acids, polycarboxylic acid amine salts, polycarboxylic acid ammonium salts, and polycarboxylic acid alkyl amine salts, Polysiloxane, long-chain polyaminoamide phosphate, hydrogen group-containing polycarboxylic acid ester, amide and its salt formed by the reaction of poly (lower alkyleneimine) with polyester having a free carboxyl group, (meth) acrylic acid. -Sterene copolymer, (meth) acrylic acid- (meth) acrylic acid ester copolymer, styrene-maleic acid copolymer, polyvinyl alcohol, polyvinylpyrrolidone, polyester-based, modified polyacrylate, ethylene oxide / polypropylene oxide adduct Etc. may be used. As the copolymer, a block copolymer is preferably used.
上記の分散剤のなかでも、アクリル系ポリマー、ブロック共重合体、ウレタン系ポリマーが好ましく用いられる。 Among the above dispersants, acrylic polymers, block copolymers, and urethane polymers are preferably used.
上記分散剤として市販品を用いてもよい。市販品の具体例としては、ビックケミー・ジャパン社製の商品名「Disperbyk−103」、「Disperbyk−108」、「Disperbyk−109」、「Disperbyk−112」、「Disperbyk−116」、「Disperbyk−130」、「Disperbyk−161」、「Disperbyk−162」、「Disperbyk−163」、「Disperbyk−164」、「Disperbyk−166」、「Disperbyk−167」、「Disperbyk−168」、「Disperbyk−170」、「Disperbyk−171」、「Disperbyk−182」、「Disperbyk−183」、「Disperbyk−185」、「Disperbyk−184」、「Disperbyk−2000」、「Disperbyk−2050」、「Disperbyk−2070」、「Disperbyk−2096」、「Disperbyk−2150」、BYK−9077」;味の素社製の商品名「アジスパーPB822」、「アジスパーPN411」;楠本化成社製の商品名「ディスパロンDA−375」、「ディスパロンED−251」;エレメンティス社製の商品名「ヌースパース657NA」;TEGO社製の商品名「TEG Disper650」、「TEG Disper652」、「TEG Disper662C」、「TEG Disper670」、「TEG Disper710」、「TEG Disper740W」、「TEG Disper752W」等が挙げられる。なかでも、耐熱性、電気信頼性、分散性の点から、「Disperbyk−161」、「Disperbyk−162」、「Disperbyk−163」、「Disperbyk−164」、「Disperbyk−166」、「Disperbyk−167」、「Disperbyk−168」、「Disperbyk−170」、「Disperbyk−171」、「Disperbyk−182」、「Disperbyk−183」、「Disperbyk−185」、「Disperbyk−184」、「Disperbyk−2000」または「ディスパロンED−251」が好ましい。 A commercially available product may be used as the dispersant. Specific examples of commercially available products include the trade names "Disperbyk-103", "Disperbyk-108", "Disperbyk-109", "Disperbyk-112", "Disperbyk-116", and "Disperbyk-130" manufactured by Big Chemie Japan. , "Disperbyk-161", "Disperbyk-162", "Disperbyk-163", "Disperbyk-164", "Disperbyk-166", "Disperbyk-167", "Disperbyk-168", "Disperbyk-170" "Disperbyk-171", "Disperbyk-182", "Disperbyk-183", "Disperbyk-185", "Disperbyk-184", "Disperbyk-2000", "Disperbyk-2050", "Discerbyk-2050" -2096 "," Disperbyk-2150 ", BYK-9077"; Ajinomoto's product names "Ajispar PB822", "Ajisper PN411"; Kusumoto Kasei's product names "Disparon DA-375", "Disparon ED-251" "; Product name" Nusperth 657NA "manufactured by Elementis; Product name" TEG Disper 650 "," TEG Disper 652 "," TEG Disper 662C "," TEG Disper 670 "," TEG Disper 710 "," TEG Disper 710 "," TEG Disper 670 " Examples thereof include "TEG Disper 752W". Among them, from the viewpoint of heat resistance, electrical reliability, and dispersibility, "Disperbyk-161", "Disperbyk-162", "Disperbyk-163", "Disperbyk-164", "Disperbyk-166", and "Disperbyk-167" , "Disperbyk-168", "Disperbyk-170", "Disperbyk-171", "Disperbyk-182", "Disperbyk-183", "Disperbyk-185", "Disperbyk-184", "Disperbyk-2000" "Disparon ED-251" is preferable.
また、構造としては、主鎖が色材への相互作用部位を有するアンカー鎖で、グラフト鎖が分散媒への相互作用性を有する相溶性鎖であるようなグラフト構造の樹脂や、アンカー鎖と相溶性鎖がブロック構造になっている樹脂が、特に好ましく用いられる。 Further, as a structure, a resin having a graft structure in which the main chain is an anchor chain having an interaction site with a coloring material and the graft chain is a compatible chain having an interaction with a dispersion medium, or an anchor chain. A resin having a block structure of compatible chains is particularly preferably used.
分散剤の含有割合は、アルカリ可溶性樹脂100重量部に対して、好ましくは5重量部〜100重量部であり、より好ましくは10重量部〜70重量部であり、さらに好ましくは10重量部〜50重量部であり、特に好ましくは20重量部〜40重量部である。 The content ratio of the dispersant is preferably 5 parts by weight to 100 parts by weight, more preferably 10 parts by weight to 70 parts by weight, and further preferably 10 parts by weight to 50 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the alkali-soluble resin. It is a part by weight, and particularly preferably 20 parts by weight to 40 parts by weight.
また、分散剤の含有割合は、色材100重量部に対して、好ましくは1重量部〜80重量部であり、より好ましくは1重量部〜60重量部であり、さらに好ましくは1重量部〜50重量部である。 The content ratio of the dispersant is preferably 1 part by weight to 80 parts by weight, more preferably 1 part by weight to 60 parts by weight, and further preferably 1 part by weight to 100 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the coloring material. 50 parts by weight.
C.多官能モノマー
本発明のカラーフィルター用感光性樹脂組成物は、多官能モノマーを含み得る。多官能モノマーとしては、例えば、ジビニルベンゼン、ジアリルフタレート、ジアリルベンゼンホスホネート等の多官能芳香族ビニル系モノマー;(ジ)エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールヘプタ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールオクタ(メタ)アクリレート、トリス(ヒドロキシエチル)イソシアヌレートのトリ(メタ)アクリレート等の多官能(メタ)アクリレート類;これらのモノマーをカプロラクトン変性またはアルキレンオキサイド変性した多官能モノマー等が挙げられる。なかでも好ましくは、ジペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールヘプタ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールオクタ(メタ)アクリレート、トリス(ヒドロキシエチル)イソシアヌレートのトリ(メタ)アクリレート等が好ましい。これらの多官能モノマーを用いれば、官能基数が多いので架橋密度の高いカラーフィルターを得ることができる。本発明では、上記のとおりオキシアルキレン基を有するバインダーポリマーが用いられる一方、上記多官能モノマーについては、オキシアルキレン基を有していてもよく、有していなくてもよい。好ましくは、オキシアルキレン基を有さない多官能モノマーが用いられる。
C. Polyfunctional Monomer The photosensitive resin composition for a color filter of the present invention may contain a polyfunctional monomer. Examples of the polyfunctional monomer include polyfunctional aromatic vinyl-based monomers such as divinylbenzene, diallylphthalate, and diallylbenzenephosphonate; (di) ethylene glycol di (meth) acrylate, propylene glycol di (meth) acrylate, and trimethyl propanedi. (Meta) Acrylate, Trimethylol Propanetri (Meta) Acrylate, Pentaerythritol Di (Meta) Acrylate, Pentaerythritol Tri (Meta) Acrylate, Pentaerythritol Tetra (Meta) Acrylate, Dipentaerythritol Di (Meta) Acrylate, Dipentaerythritol Tri (meth) acrylate, dipentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, tripentaerythritol di (meth) acrylate, tripentaerythritol tri (meth) acrylate , Tripenta erythritol tetra (meth) acrylate, tripenta erythritol penta (meth) acrylate, tripenta erythritol hexa (meth) acrylate, tripenta erythritol hepta (meth) acrylate, tripenta erythritol octa (meth) acrylate, tris (hydroxyethyl) ) Polyfunctional (meth) acrylates such as tri (meth) acrylate of isocyanurate; polyfunctional monomers in which these monomers are caprolactone-modified or alkylene oxide-modified can be mentioned. Of these, dipentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, tripentaerythritol hepta (meth) acrylate, tripentaerythritol octa (meth) acrylate, Tri (meth) acrylate of tris (hydroxyethyl) isocyanurate is preferable. By using these polyfunctional monomers, a color filter having a high crosslink density can be obtained because the number of functional groups is large. In the present invention, the binder polymer having an oxyalkylene group is used as described above, while the polyfunctional monomer may or may not have an oxyalkylene group. Preferably, a polyfunctional monomer having no oxyalkylene group is used.
上記多官能モノマーの含有割合は、感光性樹脂組成物中のアルカリ可溶性樹脂100重量部に対して、好ましくは5重量部〜200重量部であり、より好ましくは10重量部〜150重量部であり、さらに好ましくは30重量部〜120重量部であり、特に好ましくは35重量部〜100重量部である。 The content ratio of the polyfunctional monomer is preferably 5 parts by weight to 200 parts by weight, and more preferably 10 parts by weight to 150 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the alkali-soluble resin in the photosensitive resin composition. It is more preferably 30 parts by weight to 120 parts by weight, and particularly preferably 35 parts by weight to 100 parts by weight.
D.光重合開始剤
上記光重合開始剤としては、任意の適切な光重合開始剤が用いられ得る。代表的には、ラジカル光重合開始剤が用いられる。光重合開始剤としては、例えば、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル等のベンゾインとそのアルキルエーテル類;アセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、1,1−ジクロロアセトフェノン等のアセトフェノン類;2−メチルアントラキノン、2−アミルアントラキノン、2−t−ブチルアントラキノン、1−クロロアントラキノン等のアントラキノン類;2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン、2−クロロチオキサントン等のチオキサントン類;アセトフェノンジメチルケタール、ベンジルジメチルケタール等のケタール類;ベンゾフェノン等のベンゾフェノン類;2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルホリノ−プロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタノン−1等のα―アミノケトン類;2−ヒドロキシ−1−{4−[4−(2−ヒドロキシー2−メチル−プロピオニル)−ベンジル]−フェニル}−2−メチル−プロパン−1−オン等のα―ヒドロキシケトン類;1,2−オクタンジオン、1−[4−(フェニルチオ)−,2−,(O-ベンゾイルオキシム)]、エタノン、1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)、IRGACUREOXE03、IRGACUREOXE04(BASF製)等のオキシム・エステル類;アシルホスフィンオキサイド類およびキサントン類等が挙げられる。これらの光重合開始剤は単独で、または2種類以上組み合わせて用いてもよい。
D. Photopolymerization Initiator As the photopolymerization initiator, any suitable photopolymerization initiator can be used. Typically, a radical photopolymerization initiator is used. Examples of the photopolymerization initiator include benzoins such as benzoin, benzoin methyl ether and benzoin ethyl ether and their alkyl ethers; acetophenones such as acetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone and 1,1-dichloroacetophenone. Anthraquinones such as 2-methylanthraquinone, 2-amyl anthraquinone, 2-t-butyl anthraquinone, 1-chloroanthraquinone; thioxanthones such as 2,4-dimethylthioxanthone, 2,4-diisopropylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone; Ketals such as acetophenone dimethyl ketal and benzyl dimethyl ketal; benzophenones such as benzophenone; 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholino-propane-1-one, 2-benzyl-2-dimethyl Α-Aminoketones such as amino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1; 2-hydroxy-1- {4- [4- (2-hydroxy-2-methyl-propionyl) -benzyl] -phenyl}- Α-Hydroxyketones such as 2-methyl-propane-1-one; 1,2-octanedione, 1- [4- (phenylthio)-, 2-, (O-benzoyloxime)], ethanone, 1-[ Oxime esters such as 9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazole-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime), IRGACUREOXE03, IRGACUREOXE04 (manufactured by BASF); acylphosphine oxides And xanthones and the like. These photopolymerization initiators may be used alone or in combination of two or more.
上記光重合開始剤の含有割合は、感光性樹脂組成物中のアルカリ可溶性樹脂100重量部に対して、好ましくは5重量部〜50重量部であり、より好ましくは10重量部〜40重量部である。 The content ratio of the photopolymerization initiator is preferably 5 parts by weight to 50 parts by weight, more preferably 10 parts by weight to 40 parts by weight, based on 100 parts by weight of the alkali-soluble resin in the photosensitive resin composition. be.
また、光重合開始剤に加えて光重合開始助剤を組み合わせて用いてもよい。光重合開始助剤を複数の組み合わせで用いることもできる。光重合開始助剤の具体例としては、1,3,5−トリス(3−メルカプトプロピオニルオキシエチル)−イソシアヌレート、1,3,5−トリス(3−メルカプトブチルオキシエチル)−イソシアヌレート(昭和電工社製、カレンズMT(登録商標)NR1)、トリメチロールプロパントリス(3−メルカプトプロピオネート等の3官能チオール化合物;ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトブチレート)(昭和電工社製、カレンズMT(登録商標)PE1)等の4官能チオール化合物;ジペンタエリスリトールヘキサキス(3−プロピオネート)等の6官能チオール化合物等の多官能チオールが挙げられる。 Further, a photopolymerization initiator may be used in combination with the photopolymerization initiator. A plurality of combinations of photopolymerization initiators can also be used. Specific examples of the photopolymerization initiator include 1,3,5-tris (3-mercaptopropionyloxyethyl) -isocyanurate and 1,3,5-tris (3-mercaptobutyloxyethyl) -isocyanurate (Showa). Trifunctional thiol compounds such as Karens MT (registered trademark) NR1) and trimethylol propanthris (3-mercaptopropionate) manufactured by Denkosha; pentaerythritol tetrakis (3-mercaptopropionate), pentaerythritol tetrakis (3-mercapto). Butylate) (manufactured by Showa Denko, Inc., Karenz MT (registered trademark) PE1) and other tetrafunctional thiol compounds; and polyfunctional thiols such as dipentaerythritol hexakis (3-propionate) and other hexafunctional thiol compounds can be mentioned.
E.溶剤
本発明の感光性樹脂組成物は、任意の適切な溶剤を含み得る。溶剤としては、例えば、テトラヒドロフラン、ジオキサン、エチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル等のエーテル類;アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類;酢酸エチル、酢酸ブチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、3−メトキシブチルアセテート等のエステル類;メタノール、エタノール、イソプロパノール、n−ブタノール、エチレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル等のアルコール類;トルエン、キシレン、エチルベンゼン等の芳香族炭化水素類;クロロホルム、ジメチルスルホキシド等が挙げられる。溶剤の量は、所望とする感光性樹脂組成物の粘度に応じて、任意の適切な量に設定され得る。例えば、溶剤は、感光性樹脂組成物中、50重量%〜90重量%の割合で含まれることが好ましく、60重量%〜90重量%の割合で含まれることがより好ましい。
E. Solvent The photosensitive resin composition of the present invention may contain any suitable solvent. Examples of the solvent include ethers such as tetrahydrofuran, dioxane, ethylene glycol dimethyl ether and diethylene glycol dimethyl ether; ketones such as acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone and cyclohexanone; ethyl acetate, butyl acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate and 3-methoxy. Esters such as butyl acetate; alcohols such as methanol, ethanol, isopropanol, n-butanol, ethylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether; aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene, ethylbenzene; chloroform, dimethylsulfoxide, etc. Can be mentioned. The amount of solvent can be set to any suitable amount depending on the desired viscosity of the photosensitive resin composition. For example, the solvent is preferably contained in the photosensitive resin composition in a proportion of 50% by weight to 90% by weight, more preferably in a proportion of 60% by weight to 90% by weight.
G.添加剤
本発明の感光性樹脂組成物は、必要に応じて、任意の適切なその他の添加剤をさらに含み得る。その他の添加剤としては、例えば、水酸化アルミニウム、タルク、クレー、硫酸バリウム等の充填材、消泡剤、カップリング剤、レベリング剤、増感剤、離型剤、滑剤、可塑剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、難燃剤、重合抑制剤、増粘剤、有機微粒子、無機微粒子(酸化亜鉛系、酸化ケイ素系、ジルコニア系、チタン系)、シリカ等の多孔質微粒子、シリカ等の中空微粒子等が挙げられる。また、側鎖にビフェニル基を有する構成単位を含むアルカリ可溶性樹脂以外のその他樹脂を含んでいてもよい。その他の樹脂を含む場合、側鎖にビフェニル基を有する構成単位を含むアルカリ可溶性樹脂の含有割合は、樹脂の総重量100重量部に対して、好ましくは30重量部以上であり、より好ましくは50重量部以上であり、さらに好ましくは65重量部以上であり、特に好ましくは65重量部以上100重量部未満である。
G. Additives The photosensitive resin compositions of the present invention may further comprise any suitable other additives, if desired. Other additives include, for example, fillers such as aluminum hydroxide, talc, clay, barium sulfate, defoaming agents, coupling agents, leveling agents, sensitizers, mold release agents, lubricants, plasticizers, antioxidants. Agents, UV absorbers, flame retardants, polymerization inhibitors, thickeners, organic fine particles, inorganic fine particles (zinc oxide-based, silicon oxide-based, talconia-based, titanium-based), porous fine particles such as silica, hollow fine particles such as silica And so on. Further, other resins other than the alkali-soluble resin containing a structural unit having a biphenyl group in the side chain may be contained. When other resins are included, the content ratio of the alkali-soluble resin containing a structural unit having a biphenyl group in the side chain is preferably 30 parts by weight or more, more preferably 50 parts by weight, based on 100 parts by weight of the total weight of the resin. It is 5 parts by weight or more, more preferably 65 parts by weight or more, and particularly preferably 65 parts by weight or more and less than 100 parts by weight.
H.カラーフィルター
上記感光性樹脂組成物を用いてカラーフィルターを得ることができる。1つの実施形態においては、カラーフィルターは、感光性樹脂組成物の硬化物を含み、基板と該基板上に形成された硬化物とを有する。本発明の感光性樹脂組成物を用いれば、平滑性に優れ、かつ、基板との密着性にも優れるカラーフィルターを形成することができる。
H. Color filter A color filter can be obtained by using the above photosensitive resin composition. In one embodiment, the color filter comprises a cured product of the photosensitive resin composition and has a substrate and a cured product formed on the substrate. By using the photosensitive resin composition of the present invention, it is possible to form a color filter having excellent smoothness and adhesion to a substrate.
上記カラーフィルターは、フォトリソグラフィにより形成することができる。具体的には、上記感光性樹脂組成物を基板に塗布した後に乾燥させ、得られた塗膜上にフォトマスクを配置して露光し、塗膜を硬化させ、その後、現像することにより、カラーフィルターを形成することができる。フォトリソグラフィによれば、微細なパターンにてカラーフィルターを形成することができる。本発明の感光性樹脂組成物を用いれば、微細なパターンで形成されていても、基板の密着性に優れるカラーフィルターを得ることができる。 The color filter can be formed by photolithography. Specifically, the photosensitive resin composition is applied to a substrate and then dried, and a photomask is placed on the obtained coating film for exposure, the coating film is cured, and then the coating film is developed to obtain a color. A filter can be formed. According to photolithography, a color filter can be formed with a fine pattern. By using the photosensitive resin composition of the present invention, it is possible to obtain a color filter having excellent adhesion to the substrate even if it is formed in a fine pattern.
1つの実施形態においては、上記アルカリ可溶性樹脂と上記色材とを含む色材分散組成物(以下、ミルベースともいう)、および上記アルカリ可溶性樹脂と上記多官能モノマーとを含むクリアレジストを混合して、上記感光性樹脂組成物が調製される。上記ミルベースは、分散剤をさらに含み得る。また、上記クリアレジストは、光重合開始剤をさらに含み得る。また、ミルベースおよび/またはクリアレジストは、任意の適切な溶剤を含み得る。A項で説明したとおり、側鎖に側鎖にビフェニル基を有する構成単位を含むアルカリ可溶性樹脂は、ミルベースまたはクリアレジストの両方、あるいは、いずれか一方に含まれ得る。 In one embodiment, a color material dispersion composition containing the alkali-soluble resin and the color material (hereinafter, also referred to as mill base) and a clear resist containing the alkali-soluble resin and the polyfunctional monomer are mixed. , The above photosensitive resin composition is prepared. The mill base may further contain a dispersant. In addition, the clear resist may further contain a photopolymerization initiator. Also, the mill base and / or clear resist may contain any suitable solvent. As described in Section A, the alkali-soluble resin containing a structural unit having a biphenyl group in the side chain in the side chain can be contained in both the mill base and / or the clear resist.
上記ミルベースにおいて、色材の含有割合は、ミルベース中のアルカリ可溶性樹脂100重量部に対して、好ましくは15重量部〜500重量部であり、より好ましくは20重量部〜400重量部であり、さらに好ましくは20重量部〜350重量部である。 In the above mill base, the content ratio of the coloring material is preferably 15 parts by weight to 500 parts by weight, more preferably 20 parts by weight to 400 parts by weight, and further, with respect to 100 parts by weight of the alkali-soluble resin in the mill base. It is preferably 20 parts by weight to 350 parts by weight.
上記ミルベースにおいて、分散剤の含有割合は、ミルベース中のアルカリ可溶性樹脂100重量部に対して、好ましくは2重量部〜80重量部であり、より好ましくは5重量部〜60重量部であり、さらに好ましくは10重量部〜50重量部である。 In the above mill base, the content ratio of the dispersant is preferably 2 parts by weight to 80 parts by weight, more preferably 5 parts by weight to 60 parts by weight, and further, with respect to 100 parts by weight of the alkali-soluble resin in the mill base. It is preferably 10 parts by weight to 50 parts by weight.
上記クリアレジストにおいて、多官能モノマーの含有割合は、クリアレジスト中のアルカリ可溶性樹脂100重量部に対して、好ましくは50重量部〜400重量部であり、より好ましくは100重量部〜350重量部であり、さらに好ましくは150重量部〜300重量部である。 In the above clear resist, the content ratio of the polyfunctional monomer is preferably 50 parts by weight to 400 parts by weight, more preferably 100 parts by weight to 350 parts by weight, based on 100 parts by weight of the alkali-soluble resin in the clear resist. Yes, more preferably 150 parts by weight to 300 parts by weight.
上記クリアレジストにおいて、光重合開始剤の含有割合は、クリアレジスト中のアルカリ可溶性樹脂100重量部に対して、好ましくは5重量部〜200重量部であり、より好ましくは10重量部〜150重量部であり、さらに好ましくは10重量部〜120重量部である。 In the above clear resist, the content ratio of the photopolymerization initiator is preferably 5 parts by weight to 200 parts by weight, more preferably 10 parts by weight to 150 parts by weight, based on 100 parts by weight of the alkali-soluble resin in the clear resist. It is more preferably 10 parts by weight to 120 parts by weight.
上記感光性樹脂組成物の塗布方法としては、例えば、スピンコーター、バーコーター、グラビアコーター、ロールコーター、ナイフコーター、アプリケーター等を用いる方法が挙げられる。乾燥温度は、好ましくは40℃〜200℃であり、より好ましくは70℃〜120℃である。乾燥時間は、好ましくは1分間〜30分間であり、より好ましくは2分間〜10分間である。 Examples of the method for applying the photosensitive resin composition include a method using a spin coater, a bar coater, a gravure coater, a roll coater, a knife coater, an applicator and the like. The drying temperature is preferably 40 ° C. to 200 ° C., more preferably 70 ° C. to 120 ° C. The drying time is preferably 1 minute to 30 minutes, more preferably 2 minutes to 10 minutes.
上記フォトマスクの配置位置は、所望とするカラーフィルターのサイズに応じて、任意の適切な位置に配置される。フォトマスクは塗膜の上部に配置され、塗膜とフォトマスクとの距離は、好ましくは0μm〜500μmであり、より好ましく10μm〜400μmであり、さらに好ましくは20μm〜300μmであり、特に好ましくは30μm〜200μmである。 The position of the photomask is arranged at an arbitrary appropriate position according to the size of the desired color filter. The photomask is arranged on top of the coating film, and the distance between the coating film and the photomask is preferably 0 μm to 500 μm, more preferably 10 μm to 400 μm, still more preferably 20 μm to 300 μm, and particularly preferably 30 μm. It is ~ 200 μm.
上記露光時のUV照射強度(365nm照度換算)は、好ましくは10mJ/cm2〜200mJ/cm2であり、より好ましくは20mJ/cm2〜150mJ/cm2であり、さらに好ましくは30mJ/cm2〜100mJ/cm2である。 UV radiation intensity during the exposure (365 nm intensity equivalent), preferably 10mJ / cm 2 ~200mJ / cm 2 , more preferably 20mJ / cm 2 ~150mJ / cm 2 , more preferably 30 mJ / cm 2 ~ 100 mJ / cm 2 .
上記現像に際しては、アルカリ水溶液を用いることが好ましい。環境への負荷が少なく高感度の現像を行うことができるからである。アルカリ成分としては、例えば、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム等が用いられる。アルカリ水溶液のアルカリ濃度は、好ましくは0.01重量%〜5重量%であり、より好ましくは0.02重量%〜3重量%であり、さらに好ましくは0.03重量%〜1重量%である。このような範囲であれば、上記感光性樹脂組成物を適切に溶解して、現像性よくカラーフィルターを形成することができる。アルカリ水溶液には界面活性剤をさらに添加してもよい。 In the above development, it is preferable to use an alkaline aqueous solution. This is because the load on the environment is small and high-sensitivity development can be performed. As the alkaline component, for example, potassium hydroxide, sodium hydroxide, sodium carbonate and the like are used. The alkali concentration of the alkaline aqueous solution is preferably 0.01% by weight to 5% by weight, more preferably 0.02% by weight to 3% by weight, and further preferably 0.03% by weight to 1% by weight. .. Within such a range, the photosensitive resin composition can be appropriately dissolved to form a color filter with good developability. A surfactant may be further added to the alkaline aqueous solution.
現像後に、ポストベークを行ってもよい。ポストベーク時の加熱温度は、好ましくは150℃〜300℃である、より好ましくは180℃〜250℃である。加熱時間は、好ましくは10分〜90分であり、より好ましくは20分〜60分である。感光性樹脂組成物が、側鎖に2以上のオキシアルキレン基を有する構成単位(D1)を有する(メタ)アクリル系樹脂を含んでいれば、ポストベークにより、架橋密度の高いカラーフィルターを形成することができる。 Post-baking may be performed after development. The heating temperature during post-baking is preferably 150 ° C. to 300 ° C., more preferably 180 ° C. to 250 ° C. The heating time is preferably 10 minutes to 90 minutes, more preferably 20 minutes to 60 minutes. If the photosensitive resin composition contains a (meth) acrylic resin having a structural unit (D1) having two or more oxyalkylene groups in the side chain, a color filter having a high crosslink density is formed by post-baking. be able to.
以下に、実施例により、本発明をさらに具体的に説明するが、本発明はこれらにより何ら限定されるものではない。製造例および実施例における各特性値の測定方法は以下のとおりである。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to Examples, but the present invention is not limited thereto. The measurement method of each characteristic value in the production example and the example is as follows.
(a)重量平均分子量:Mw
GPC(HLC−8220GPC、東ソー社製)にてTHFを溶離液とし、カラムにTSKgel SuperHZM−N(東ソー社製)を用いて測定し、標準ポリスチレン換算にて算出した。
(b)固形分
製造例で調製した共重合体溶液をアルミカップに約0.3gはかり取り、アセトン約1gを加えて溶解させた後、常温で自然乾燥させた。その後、熱風乾燥機(商品名:PHH−101、エスペック社製)を用い、140℃で3時間乾燥した後、デシケータ内で放冷し、重量を測定した。その重量減少量から、ポリマー溶液の固形分(樹脂)の重量を計算した。
(3)酸価、アミン価
アルカリ可溶性樹脂の酸価:製造例で調製したアルカリ可溶性樹脂を1.5g精秤し、アセトン90gと水10gの混合溶媒に溶解させ、0.1NのKOH水溶液で滴定した。滴定は、自動滴定装置(商品名:COM−555、平沼産業社製)を用いて行い、固形分濃度から、ポリマー1g当たりの酸価を求めた(mgKOH/g)。
顔料分散剤の酸価:顔料分散剤を1.5g精秤し、アセトン90gと水10gの混合溶媒に溶解させ、0.1NのKOH水溶液で滴定した。滴定は、自動滴定装置(商品名:COM−555、平沼産業社製)を用いて行い、固形分濃度から、顔料分散剤1g当たりの酸価を求めた(mgKOH/g)。
アミン価:試料(顔料分散剤不揮発分)5gを精秤し、エタノール50ml及びブロモフェノールブルー試薬1mlを加えて溶かし、0.5mol/L塩酸で液が緑色を呈するまで滴定した。下記式によりアミン価を算出した(mgKOH/g)。
アミン価=28.05×b/c
b:滴定で消費された0.5mol/L塩酸の量(ml)
c:試料の量(g)
(A) Weight average molecular weight: Mw
The measurement was carried out using GPC (HLC-8220 GPC, manufactured by Tosoh Corporation) using THF as an eluent and TSKgel SuperHZM-N (manufactured by Tosoh Corporation) on the column, and calculated in terms of standard polystyrene.
(B) Solid content About 0.3 g of the copolymer solution prepared in the production example was weighed in an aluminum cup, about 1 g of acetone was added to dissolve the solution, and then the solution was naturally dried at room temperature. Then, using a hot air dryer (trade name: PHH-101, manufactured by ESPEC), the mixture was dried at 140 ° C. for 3 hours, allowed to cool in a desiccator, and weighed. The weight of the solid content (resin) of the polymer solution was calculated from the weight loss.
(3) Acid value, amine value Acid value of alkali-soluble resin: 1.5 g of the alkali-soluble resin prepared in the production example is precisely weighed, dissolved in a mixed solvent of 90 g of acetone and 10 g of water, and with a 0.1 N KOH aqueous solution. Titrated. The titration was carried out using an automatic titration device (trade name: COM-555, manufactured by Hiranuma Sangyo Co., Ltd.), and the acid value per 1 g of the polymer was determined from the solid content concentration (mgKOH / g).
Acid value of pigment dispersant: 1.5 g of pigment dispersant was precisely weighed, dissolved in a mixed solvent of 90 g of acetone and 10 g of water, and titrated with a 0.1 N KOH aqueous solution. The titration was carried out using an automatic titration device (trade name: COM-555, manufactured by Hiranuma Sangyo Co., Ltd.), and the acid value per 1 g of the pigment dispersant was determined from the solid content concentration (mgKOH / g).
Amine value: 5 g of a sample (pigment dispersant non-volatile content) was precisely weighed, 50 ml of ethanol and 1 ml of a bromophenol blue reagent were added to dissolve the sample, and the solution was titrated with 0.5 mol / L hydrochloric acid until the solution turned green. The amine value was calculated by the following formula (mgKOH / g).
Amine value = 28.05 x b / c
b: Amount of 0.5 mol / L hydrochloric acid consumed by titration (ml)
c: Amount of sample (g)
[製造例1]
反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備した。他方、モノマー滴下槽中に、モノマー組成物として、ベンジルマレイミド(BzMI)15g、アクリル酸(AA)32g、1モルエトキシ化フェニルフェノールアクリレート(商品名「HRD−01」、日本蒸溜社製、以下HRD−01ともいう)53g、t−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート(商品名「パーブチル(登録商標)O」、日本油脂社製、以下PBOともいう)2g、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート(PGMEA)42gおよびプロピレングリコールモノメチルエーテル(PGME)18gを投入し、撹拌混合した。また、連鎖移動剤滴下槽中に、連鎖移動剤溶液として、ドデシルメルカプタン(nDM)2.0g、PGMEA18.2gおよびPGME7.8gを投入し、撹拌混合した。
反応槽にPGMEA98gとPGME42gを仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定してから、モノマー組成物および連鎖移動剤溶液を滴下した。モノマー組成物および連鎖移動剤溶液は、それぞれ温度を90℃に保ちながら、180分間かけて滴下した。滴下が終了してから30分後にPBO0.5gを加えた。さらに30分後、反応槽を115℃に昇温した。1.5時間、115℃を維持した後、セパラブルフラスコにガス導入管を付け、酸素/窒素=7/93(v/v)混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応槽に、メタクリル酸グリシジル(GMA)41g、重合禁止剤として6−tert−ブチル−2,4−キシレノール(商品名「トパノール」、東京化成工業社製)0.3g、触媒としてジメチルベンジルアミン(DMBA)0.5gを仕込み、110℃で1時間、115℃で7時間反応させた。その後、室温まで冷却し、アクリル系樹脂38.6重量%を含む共重合体溶液(A−1)を得た。アクリル系樹脂の重量平均分子量(Mw)は15000、酸価は70mgKOH/gであった。共重合体溶液の製造条件、固形分濃度、重量平均分子量(Mw)および酸価を、製造例2〜9とともに、表1に示す。
[Manufacturing Example 1]
A separable flask equipped with a cooling tube was prepared as a reaction vessel. On the other hand, in the monomer dropping tank, as the monomer composition, benzylmaleimide (BzMI) 15 g, acrylic acid (AA) 32 g, 1 molethoxylated phenylphenol acrylate (trade name "HRD-01", manufactured by Nippon Distillery Co., Ltd., hereinafter HRD- 53 g (also referred to as 01), t-butylperoxy-2-ethylhexanoate (trade name "Perbutyl (registered trademark) O", manufactured by Nippon Oil & Fats Co., Ltd., hereinafter also referred to as PBO) 2 g, propylene glycol methyl ether acetate (PGMEA) 42 g and 18 g of propylene glycol monomethyl ether (PGME) were added and mixed by stirring. Further, 2.0 g of dodecyl mercaptan (nDM), 18.2 g of PGMEA and 7.8 g of PGMEA were added as a chain transfer agent solution into the chain transfer agent dropping tank, and the mixture was stirred and mixed.
98 g of PGMEA and 42 g of PGME were charged into the reaction vessel, replaced with nitrogen, and then heated in an oil bath with stirring to raise the temperature of the reaction vessel to 90 ° C. After the temperature of the reaction vessel became stable at 90 ° C., the monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise. The monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise over 180 minutes while maintaining the temperature at 90 ° C., respectively. 0.5 g of PBO was added 30 minutes after the completion of the dropping. After another 30 minutes, the temperature of the reaction vessel was raised to 115 ° C. After maintaining 115 ° C. for 1.5 hours, a gas introduction tube was attached to the separable flask, and bubbling of the oxygen / nitrogen = 7/93 (v / v) mixed gas was started. Next, in the reaction vessel, 41 g of glycidyl methacrylate (GMA), 0.3 g of 6-tert-butyl-2,4-xylenol (trade name "Topanol", manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) as a polymerization inhibitor, and dimethylbenzyl as a catalyst. 0.5 g of amine (DMBA) was charged and reacted at 110 ° C. for 1 hour and at 115 ° C. for 7 hours. Then, it cooled to room temperature, and obtained the copolymer solution (A-1) containing 38.6% by weight of the acrylic resin. The weight average molecular weight (Mw) of the acrylic resin was 15,000, and the acid value was 70 mgKOH / g. The production conditions, solid content concentration, weight average molecular weight (Mw), and acid value of the copolymer solution are shown in Table 1 together with Production Examples 2 to 9.
[製造例2]
反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備した。他方、モノマー滴下槽中に、モノマー組成物として、BzMI15g、AA21g、HRD−01を64g、PBO2g、PGMEA40gを投入し、撹拌混合した。また、連鎖移動剤滴下槽中に、連鎖移動剤溶液として、nDM0.5g、PGMEA10gを投入し、撹拌混合した。
反応槽にPGMEA100gを仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定してから、モノマー組成物および連鎖移動剤溶液を滴下した。モノマー組成物および連鎖移動剤溶液は、それぞれ温度を90℃に保ちながら、180分間かけて滴下した。滴下が終了してから30分後にPBO0.5gを加えた。さらに30分後、反応槽を115℃に昇温した。1.5時間、115℃を維持した後、セパラブルフラスコにガス導入管を付け、酸素/窒素=7/93(v/v)混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応槽に、GMA14g、重合禁止剤としてトパノール0.3g、触媒としてDMBA0.5g、PGMEA21gを仕込み、110℃で1時間、115℃で7時間反応させた。その後、室温まで冷却し、アクリル系樹脂39.4重量%を含む共重合体溶液(A−2)を得た。アクリル系樹脂の重量平均分子量(Mw)は27000、酸価は97mgKOH/gであった。共重合体溶液の製造条件、固形分濃度、重量平均分子量(Mw)および酸価を表1に示す。
[Manufacturing Example 2]
A separable flask equipped with a cooling tube was prepared as a reaction vessel. On the other hand, as a monomer composition, 64 g of BzMI, 21 g of AA, and 64 g of HRD-01, 2 g of PBO, and 40 g of PGMEA were put into the monomer dropping tank, and the mixture was stirred and mixed. Further, 0.5 g of nDM and 10 g of PGMEA were added as a chain transfer agent solution into the chain transfer agent dropping tank, and the mixture was stirred and mixed.
After charging 100 g of PGMEA into the reaction vessel and substituting with nitrogen, the temperature of the reaction vessel was raised to 90 ° C. by heating with an oil bath while stirring. After the temperature of the reaction vessel became stable at 90 ° C., the monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise. The monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise over 180 minutes while maintaining the temperature at 90 ° C., respectively. 0.5 g of PBO was added 30 minutes after the completion of the dropping. After another 30 minutes, the temperature of the reaction vessel was raised to 115 ° C. After maintaining 115 ° C. for 1.5 hours, a gas introduction tube was attached to the separable flask, and bubbling of the oxygen / nitrogen = 7/93 (v / v) mixed gas was started. Next, 14 g of GMA, 0.3 g of topanol as a polymerization inhibitor, 0.5 g of DMBA and 21 g of PGMEA as a catalyst were charged in the reaction vessel and reacted at 110 ° C. for 1 hour and at 115 ° C. for 7 hours. Then, it cooled to room temperature, and obtained the copolymer solution (A-2) containing 39.4% by weight of the acrylic resin. The weight average molecular weight (Mw) of the acrylic resin was 27,000, and the acid value was 97 mgKOH / g. Table 1 shows the production conditions, solid content concentration, weight average molecular weight (Mw), and acid value of the copolymer solution.
[製造例3]
反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備した。他方、モノマー滴下槽中に、モノマー組成物として、BzMI15g、AA42g、HRD−0を143g、PBO2g、PGMEA42gおよびPGME18gを投入し、撹拌混合した。また、連鎖移動剤滴下槽中に、連鎖移動剤溶液として、nDM2.0g、PGMEA18.2gおよびPGME7.8gを投入し、撹拌混合した。
反応槽にPGMEA98gとPGME42gを仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定してから、モノマー組成物および連鎖移動剤溶液を滴下した。モノマー組成物および連鎖移動剤溶液は、それぞれ温度を90℃に保ちながら、180分間かけて滴下した。滴下が終了してから30分後にPBO0.5gを加えた。さらに30分後、反応槽を115℃に昇温した。1.5時間、115℃を維持した後、セパラブルフラスコにガス導入管を付け、酸素/窒素=7/93(v/v)混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応槽に、GMA41g、重合禁止剤としてトパノール0.3g、触媒としてDMBA0.5gを仕込み、110℃で1時間、115℃で7時間反応させた。その後、室温まで冷却し、アクリル系樹脂38.5重量%を含む共重合体溶液(A−3)を得た。アクリル系樹脂の重量平均分子量(Mw)は16000、酸価は125mgKOH/gであった。共重合体溶液の製造条件、固形分濃度、重量平均分子量(Mw)および酸価を表1に示す。
[Manufacturing Example 3]
A separable flask equipped with a cooling tube was prepared as a reaction vessel. On the other hand, 143 g of BzMI, 42 g of AA and 143 g of HRD-0, 2 g of PBO, 42 g of PGMEA and 18 g of PGMEA were put into the monomer dropping tank as the monomer composition, and the mixture was stirred and mixed. Further, 2.0 g of nDM, 18.2 g of PGMEA and 7.8 g of PGMEA were added as a chain transfer agent solution into the chain transfer agent dropping tank, and the mixture was stirred and mixed.
98 g of PGMEA and 42 g of PGME were charged into the reaction vessel, replaced with nitrogen, and then heated in an oil bath with stirring to raise the temperature of the reaction vessel to 90 ° C. After the temperature of the reaction vessel became stable at 90 ° C., the monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise. The monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise over 180 minutes while maintaining the temperature at 90 ° C., respectively. 0.5 g of PBO was added 30 minutes after the completion of the dropping. After another 30 minutes, the temperature of the reaction vessel was raised to 115 ° C. After maintaining 115 ° C. for 1.5 hours, a gas introduction tube was attached to the separable flask, and bubbling of the oxygen / nitrogen = 7/93 (v / v) mixed gas was started. Next, 41 g of GMA, 0.3 g of topanol as a polymerization inhibitor, and 0.5 g of DMBA as a catalyst were charged in the reaction vessel and reacted at 110 ° C. for 1 hour and at 115 ° C. for 7 hours. Then, it cooled to room temperature, and the copolymer solution (A-3) containing 38.5% by weight of the acrylic resin was obtained. The weight average molecular weight (Mw) of the acrylic resin was 16000, and the acid value was 125 mgKOH / g. Table 1 shows the production conditions, solid content concentration, weight average molecular weight (Mw), and acid value of the copolymer solution.
[製造例4]
反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備した。他方、モノマー滴下槽中に、モノマー組成物として、BzMI15g、AA42g、HRD−01を43g、PBO2g、PGMEA42gおよびPGME18gを投入し、撹拌混合した。また、連鎖移動剤滴下槽中に、連鎖移動剤溶液として、nDM2.0g、PGMEA18.2gおよびPGME7.8gを投入し、撹拌混合した。
反応槽にPGMEA98gとPGME42gを仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定してから、モノマー組成物および連鎖移動剤溶液を滴下した。モノマー組成物および連鎖移動剤溶液は、それぞれ温度を90℃に保ちながら、180分間かけて滴下した。滴下が終了してから30分後にPBO0.5gを加えた。さらに30分後、反応槽を115℃に昇温した。1.5時間、115℃を維持した後、セパラブルフラスコにガス導入管を付け、酸素/窒素=7/93(v/v)混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応槽に、GMA69g、重合禁止剤としてトパノール0.3g、触媒としてDMBA0.5g、PGMEA19g、PGME8.5gを仕込み、110℃で1時間、115℃で8時間反応させた。その後、室温まで冷却し、アクリル系樹脂39.0重量%を含む共重合体溶液(A−4)を得た。アクリル系樹脂の重量平均分子量(Mw)は18200、酸価は45mgKOH/gであった。共重合体溶液の製造条件、固形分濃度、重量平均分子量(Mw)および酸価を表1に示す。
[Manufacturing Example 4]
A separable flask equipped with a cooling tube was prepared as a reaction vessel. On the other hand, as a monomer composition, 43 g of BzMI, 42 g of AA and 43 g of HRD-01, 2 g of PBO, 42 g of PGMEA and 18 g of PGMEA were put into the monomer dropping tank and mixed by stirring. Further, 2.0 g of nDM, 18.2 g of PGMEA and 7.8 g of PGMEA were added as a chain transfer agent solution into the chain transfer agent dropping tank, and the mixture was stirred and mixed.
98 g of PGMEA and 42 g of PGME were charged into the reaction vessel, replaced with nitrogen, and then heated in an oil bath with stirring to raise the temperature of the reaction vessel to 90 ° C. After the temperature of the reaction vessel became stable at 90 ° C., the monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise. The monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise over 180 minutes while maintaining the temperature at 90 ° C., respectively. 0.5 g of PBO was added 30 minutes after the completion of the dropping. After another 30 minutes, the temperature of the reaction vessel was raised to 115 ° C. After maintaining 115 ° C. for 1.5 hours, a gas introduction tube was attached to the separable flask, and bubbling of the oxygen / nitrogen = 7/93 (v / v) mixed gas was started. Next, 69 g of GMA, 0.3 g of topanol as a polymerization inhibitor, 0.5 g of DMBA as a catalyst, 19 g of PGMEA and 8.5 g of PGMEA were charged in a reaction vessel, and the reaction was carried out at 110 ° C. for 1 hour and 115 ° C. for 8 hours. Then, it cooled to room temperature, and obtained the copolymer solution (A-4) containing 39.0% by weight of the acrylic resin. The weight average molecular weight (Mw) of the acrylic resin was 18200, and the acid value was 45 mgKOH / g. Table 1 shows the production conditions, solid content concentration, weight average molecular weight (Mw), and acid value of the copolymer solution.
[製造例5]
反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備した。他方、モノマー滴下槽中に、モノマー組成物として、BzMI15g、AA32g、HRD−01を53g、PBO2g、PGMEA42gおよびPGME18gを投入し、撹拌混合した。また、連鎖移動剤滴下槽中に、連鎖移動剤溶液として、nDM5.0g、PGMEA18.2gおよびPGME7.8gを投入し、撹拌混合した。
反応槽にPGMEA98gとPGME42gを仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定してから、モノマー組成物および連鎖移動剤溶液を滴下した。モノマー組成物および連鎖移動剤溶液は、それぞれ温度を90℃に保ちながら、180分間かけて滴下した。滴下が終了してから30分後にPBO0.5gを加えた。さらに30分後、反応槽を115℃に昇温した。1.5時間、115℃を維持した後、セパラブルフラスコにガス導入管を付け、酸素/窒素=7/93(v/v)混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応槽に、GMA41g、重合禁止剤としてトパノール0.3g、触媒としてDMBA0.5gを仕込み、110℃で1時間、115℃で7時間反応させた。その後、室温まで冷却し、アクリル系樹脂38.5重量%を含む共重合体溶液(A−5)を得た。アクリル系樹脂の重量平均分子量(Mw)は10400、酸価は69mgKOH/gであった。共重合体溶液の製造条件、固形分濃度、重量平均分子量(Mw)および酸価を表1に示す。
[Manufacturing Example 5]
A separable flask equipped with a cooling tube was prepared as a reaction vessel. On the other hand, as a monomer composition, 53 g of BzMI, 32 g of AA and 53 g of HRD-01, 2 g of PBO, 42 g of PGMEA and 18 g of PGMEA were put into the monomer dropping tank and mixed by stirring. Further, 5.0 g of nDM, 18.2 g of PGMEA and 7.8 g of PGMEA were added as a chain transfer agent solution into the chain transfer agent dropping tank, and the mixture was stirred and mixed.
98 g of PGMEA and 42 g of PGME were charged into the reaction vessel, replaced with nitrogen, and then heated in an oil bath with stirring to raise the temperature of the reaction vessel to 90 ° C. After the temperature of the reaction vessel became stable at 90 ° C., the monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise. The monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise over 180 minutes while maintaining the temperature at 90 ° C., respectively. 0.5 g of PBO was added 30 minutes after the completion of the dropping. After another 30 minutes, the temperature of the reaction vessel was raised to 115 ° C. After maintaining 115 ° C. for 1.5 hours, a gas introduction tube was attached to the separable flask, and bubbling of the oxygen / nitrogen = 7/93 (v / v) mixed gas was started. Next, 41 g of GMA, 0.3 g of topanol as a polymerization inhibitor, and 0.5 g of DMBA as a catalyst were charged in the reaction vessel and reacted at 110 ° C. for 1 hour and at 115 ° C. for 7 hours. Then, it cooled to room temperature, and obtained the copolymer solution (A-5) containing 38.5% by weight of the acrylic resin. The weight average molecular weight (Mw) of the acrylic resin was 10400, and the acid value was 69 mgKOH / g. Table 1 shows the production conditions, solid content concentration, weight average molecular weight (Mw), and acid value of the copolymer solution.
[製造例6]
反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備した。他方、モノマー滴下槽中に、モノマー組成物として、ジメチル−2、2’−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート(MD)15g、AA32g、HRD−0を153g、PBO2g、PGMEA42gおよびPGME18gを投入し、撹拌混合した。また、連鎖移動剤滴下槽中に、連鎖移動剤溶液として、nDM2.0g、PGMEA18.2gおよびPGME7.8gを投入し、撹拌混合した。
反応槽にPGMEA98gとPGME42gを仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定してから、モノマー組成物および連鎖移動剤溶液を滴下した。モノマー組成物および連鎖移動剤溶液は、それぞれ温度を90℃に保ちながら、180分間かけて滴下した。滴下が終了してから30分後にPBO0.5gを加えた。さらに30分後、反応槽を115℃に昇温した。1.5時間、115℃を維持した後、セパラブルフラスコにガス導入管を付け、酸素/窒素=7/93(v/v)混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応槽に、GMA41g、重合禁止剤としてトパノール0.3g、触媒としてDMBA0.5gを仕込み、110℃で1時間、115℃で7時間反応させた。その後、室温まで冷却し、アクリル系樹脂38.5重量%を含む共重合体溶液(A−6)を得た。アクリル系樹脂の重量平均分子量(Mw)は15200、酸価は70mgKOH/gであった。共重合体溶液の製造条件、固形分濃度、重量平均分子量(Mw)および酸価を表1に示す。
[Manufacturing Example 6]
A separable flask equipped with a cooling tube was prepared as a reaction vessel. On the other hand, in the monomer dropping tank, as the monomer composition, 15 g of dimethyl-2, 2'-[oxybis (methylene)] bis-2-propenoate (MD), 32 g of AA, 153 g of HRD-0, 2 g of PBO, 42 g of PGMEA and 18 g of PGMEA were added. It was charged and mixed with stirring. Further, 2.0 g of nDM, 18.2 g of PGMEA and 7.8 g of PGMEA were added as a chain transfer agent solution into the chain transfer agent dropping tank, and the mixture was stirred and mixed.
98 g of PGMEA and 42 g of PGME were charged into the reaction vessel, replaced with nitrogen, and then heated in an oil bath with stirring to raise the temperature of the reaction vessel to 90 ° C. After the temperature of the reaction vessel became stable at 90 ° C., the monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise. The monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise over 180 minutes while maintaining the temperature at 90 ° C., respectively. 0.5 g of PBO was added 30 minutes after the completion of the dropping. After another 30 minutes, the temperature of the reaction vessel was raised to 115 ° C. After maintaining 115 ° C. for 1.5 hours, a gas introduction tube was attached to the separable flask, and bubbling of the oxygen / nitrogen = 7/93 (v / v) mixed gas was started. Next, 41 g of GMA, 0.3 g of topanol as a polymerization inhibitor, and 0.5 g of DMBA as a catalyst were charged in the reaction vessel and reacted at 110 ° C. for 1 hour and at 115 ° C. for 7 hours. Then, it cooled to room temperature, and obtained the copolymer solution (A-6) containing 38.5% by weight of the acrylic resin. The weight average molecular weight (Mw) of the acrylic resin was 15200, and the acid value was 70 mgKOH / g. Table 1 shows the production conditions, solid content concentration, weight average molecular weight (Mw), and acid value of the copolymer solution.
[製造例7]
反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備した。他方、モノマー滴下槽中に、モノマー組成物として、(α−アリルオキシメチル)アクリル酸メチル(AMA)15g、AA32g、HRD−01を53g、PBO2g、PGMEA42gおよびPGME18gを投入し、撹拌混合した。また、連鎖移動剤滴下槽中に、連鎖移動剤溶液として、nDM2.0g、PGMEA18.2gおよびPGME7.8gを投入し、撹拌混合した。
反応槽にPGMEA98gとPGME42gを仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定してから、モノマー組成物および連鎖移動剤溶液を滴下した。モノマー組成物および連鎖移動剤溶液は、それぞれ温度を90℃に保ちながら、180分間かけて滴下した。滴下が終了してから30分後にPBO0.5gを加えた。さらに30分後、反応槽を115℃に昇温した。1.5時間、115℃を維持した後、セパラブルフラスコにガス導入管を付け、酸素/窒素=7/93(v/v)混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応槽に、GMA41g、重合禁止剤としてトパノール0.3g、触媒としてDMBA0.5gを仕込み、110℃で1時間、115℃で7時間反応させた。その後、室温まで冷却し、アクリル系樹脂38.6重量%を含む共重合体溶液(A−7)を得た。アクリル系樹脂の重量平均分子量(Mw)は14900、酸価は71mgKOH/gであった。共重合体溶液の製造条件、固形分濃度、重量平均分子量(Mw)および酸価を表1に示す。
[Manufacturing Example 7]
A separable flask equipped with a cooling tube was prepared as a reaction vessel. On the other hand, as a monomer composition, 15 g of methyl (α-allyloxymethyl) acrylate (AMA), 32 g of AA, 53 g of HRD-01, 2 g of PBO, 42 g of PGMEA and 18 g of PGMEA were put into the monomer dropping tank and mixed by stirring. Further, 2.0 g of nDM, 18.2 g of PGMEA and 7.8 g of PGMEA were added as a chain transfer agent solution into the chain transfer agent dropping tank, and the mixture was stirred and mixed.
98 g of PGMEA and 42 g of PGME were charged into the reaction vessel, replaced with nitrogen, and then heated in an oil bath with stirring to raise the temperature of the reaction vessel to 90 ° C. After the temperature of the reaction vessel became stable at 90 ° C., the monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise. The monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise over 180 minutes while maintaining the temperature at 90 ° C., respectively. 0.5 g of PBO was added 30 minutes after the completion of the dropping. After another 30 minutes, the temperature of the reaction vessel was raised to 115 ° C. After maintaining 115 ° C. for 1.5 hours, a gas introduction tube was attached to the separable flask, and bubbling of the oxygen / nitrogen = 7/93 (v / v) mixed gas was started. Next, 41 g of GMA, 0.3 g of topanol as a polymerization inhibitor, and 0.5 g of DMBA as a catalyst were charged in the reaction vessel and reacted at 110 ° C. for 1 hour and at 115 ° C. for 7 hours. Then, it cooled to room temperature, and obtained the copolymer solution (A-7) containing 38.6% by weight of the acrylic resin. The weight average molecular weight (Mw) of the acrylic resin was 14900, and the acid value was 71 mgKOH / g. Table 1 shows the production conditions, solid content concentration, weight average molecular weight (Mw), and acid value of the copolymer solution.
[製造例8]
反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備した。他方、モノマー滴下槽中に、モノマー組成物として、BzMI15g、AA32g、ベンジルアクリレート(BzA)53g、PBO2g、PGMEA42gおよびPGME18gを投入し、撹拌混合した。また、連鎖移動剤滴下槽中に、連鎖移動剤溶液として、nDM2.0g、PGMEA18.2gおよびPGME7.8gを投入し、撹拌混合した。
反応槽にPGMEA98gとPGME42gを仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定してから、モノマー組成物および連鎖移動剤溶液を滴下した。モノマー組成物および連鎖移動剤溶液は、それぞれ温度を90℃に保ちながら、180分間かけて滴下した。滴下が終了してから30分後にPBO0.5gを加えた。さらに30分後、反応槽を115℃に昇温した。1.5時間、115℃を維持した後、セパラブルフラスコにガス導入管を付け、酸素/窒素=7/93(v/v)混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応槽に、GMA41g、重合禁止剤としてトパノール0.3g、触媒としてDMBA0.5gを仕込み、110℃で1時間、115℃で7時間反応させた。その後、室温まで冷却し、アクリル系樹脂38.7重量%を含む共重合体溶液(A−8)を得た。アクリル系樹脂の重量平均分子量(Mw)は15600、酸価は71mgKOH/gであった。共重合体溶液の製造条件、固形分濃度、重量平均分子量(Mw)および酸価を表1に示す。
[Manufacturing Example 8]
A separable flask equipped with a cooling tube was prepared as a reaction vessel. On the other hand, 15 g of BzMI, 32 g of AA, 53 g of benzyl acrylate (BzA), 2 g of PBO, 42 g of PGMEA and 18 g of PGMEA were put into the monomer dropping tank and mixed by stirring. Further, 2.0 g of nDM, 18.2 g of PGMEA and 7.8 g of PGMEA were added as a chain transfer agent solution into the chain transfer agent dropping tank, and the mixture was stirred and mixed.
98 g of PGMEA and 42 g of PGME were charged into the reaction vessel, replaced with nitrogen, and then heated in an oil bath with stirring to raise the temperature of the reaction vessel to 90 ° C. After the temperature of the reaction vessel became stable at 90 ° C., the monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise. The monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise over 180 minutes while maintaining the temperature at 90 ° C., respectively. 0.5 g of PBO was added 30 minutes after the completion of the dropping. After another 30 minutes, the temperature of the reaction vessel was raised to 115 ° C. After maintaining 115 ° C. for 1.5 hours, a gas introduction tube was attached to the separable flask, and bubbling of the oxygen / nitrogen = 7/93 (v / v) mixed gas was started. Next, 41 g of GMA, 0.3 g of topanol as a polymerization inhibitor, and 0.5 g of DMBA as a catalyst were charged in the reaction vessel and reacted at 110 ° C. for 1 hour and at 115 ° C. for 7 hours. Then, it cooled to room temperature, and obtained the copolymer solution (A-8) containing 38.7% by weight of the acrylic resin. The weight average molecular weight (Mw) of the acrylic resin was 15600, and the acid value was 71 mgKOH / g. Table 1 shows the production conditions, solid content concentration, weight average molecular weight (Mw), and acid value of the copolymer solution.
[製造例9]
反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備した。他方、モノマー滴下槽中に、モノマー組成物として、AA32g、シクロヘキシルメタクリレート(CHMA)68g、PBO2g、PGMEA42gおよびPGME18gを投入し、撹拌混合した。また、連鎖移動剤滴下槽中に、連鎖移動剤溶液として、nDM2.0g、PGMEA18.2gおよびPGME7.8gを投入し、撹拌混合した。
反応槽にPGMEA98gとPGME42gを仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定してから、モノマー組成物および連鎖移動剤溶液を滴下した。モノマー組成物および連鎖移動剤溶液は、それぞれ温度を90℃に保ちながら、180分間かけて滴下した。滴下が終了してから30分後にPBO0.5gを加えた。さらに30分後、反応槽を115℃に昇温した。1.5時間、115℃を維持した後、セパラブルフラスコにガス導入管を付け、酸素/窒素=7/93(v/v)混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応槽に、GMA41g、重合禁止剤としてトパノール0.3g、触媒としてDMBA0.5gを仕込み、110℃で1時間、115℃で7時間反応させた。その後、室温まで冷却し、アクリル系樹脂38.8重量%を含む共重合体溶液(A−9)を得た。アクリル系樹脂の重量平均分子量(Mw)は15500、酸価は72mgKOH/gであった。共重合体溶液の製造条件、固形分濃度、重量平均分子量(Mw)および酸価を表1に示す。
[Manufacturing Example 9]
A separable flask equipped with a cooling tube was prepared as a reaction vessel. On the other hand, 32 g of AA, 68 g of cyclohexyl methacrylate (CHMA), 2 g of PBO, 42 g of PGMEA and 18 g of PGMEA were put into the monomer dropping tank as the monomer composition, and the mixture was stirred and mixed. Further, 2.0 g of nDM, 18.2 g of PGMEA and 7.8 g of PGMEA were added as a chain transfer agent solution into the chain transfer agent dropping tank, and the mixture was stirred and mixed.
98 g of PGMEA and 42 g of PGME were charged into the reaction vessel, replaced with nitrogen, and then heated in an oil bath with stirring to raise the temperature of the reaction vessel to 90 ° C. After the temperature of the reaction vessel became stable at 90 ° C., the monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise. The monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise over 180 minutes while maintaining the temperature at 90 ° C., respectively. 0.5 g of PBO was added 30 minutes after the completion of the dropping. After another 30 minutes, the temperature of the reaction vessel was raised to 115 ° C. After maintaining 115 ° C. for 1.5 hours, a gas introduction tube was attached to the separable flask, and bubbling of the oxygen / nitrogen = 7/93 (v / v) mixed gas was started. Next, 41 g of GMA, 0.3 g of topanol as a polymerization inhibitor, and 0.5 g of DMBA as a catalyst were charged in the reaction vessel and reacted at 110 ° C. for 1 hour and at 115 ° C. for 7 hours. Then, it cooled to room temperature, and obtained the copolymer solution (A-9) containing 38.8% by weight of the acrylic resin. The weight average molecular weight (Mw) of the acrylic resin was 15500, and the acid value was 72 mgKOH / g. Table 1 shows the production conditions, solid content concentration, weight average molecular weight (Mw), and acid value of the copolymer solution.
[実施例1]
アルカリ可溶性樹脂として、上記共重合体溶液(A−1)9.07g(すなわち、樹脂3.5g)、分散剤としてDISPERBYK−2000(不揮発分1.3g、酸価:0mgKOH/g、アミン価:4mgKOH/g;ビックケミー・ジャパン社製、以下byk2000と表す)3.25g、色材として顔料のC.I.ピグメントレッド254(チバスペシャリティケミカルズ製、以下PR254と表す)8.0gを225mlマヨネーズ瓶にはかり取り、不揮発分濃度が20重量%となるようPGMEAで希釈した。これに径1.0mmのジルコニアビーズ64gを加え、フタをした。これをペイントシェーカーで3時間振とうし、3時間後、顔料分散組成物とジルコニアビーズを分別し、0.5mmのジルコニアビーズ64gを加え、ペイントシェーカーでさらに3時間振とうした。その後、顔料分散組成物とジルコニアビーズを分別し、0.3mmのジルコニアビーズ64gを加え、ペイントシェーカーでさらに3時間振とうして、顔料分散組成物r(ミルベース)を得た。
この顔料分散組成物rに、多官能モノマーとしてジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(共栄社化学社製、以下DPHAと表す)3.5g、アルカリ可溶性樹脂として上記共重合体溶液(A−1)4.66g(すなわち、樹脂1.8g)、および光重合開始剤として2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルホリノ−プロパン−1−オン(IRGACURE907、BASFジャパン社製、以下Irg907と表す)1.9gを含むクリアレジストIを加え、不揮発分濃度が20重量%となるようにPGMEAで希釈した。その後、ジルコニアビーズを除去し、孔径1.0μmのフィルタでろ過し、感光性樹脂組成物R1を調製した。
[Example 1]
As an alkali-soluble resin, 9.07 g of the above-mentioned copolymer solution (A-1) (that is, 3.5 g of resin), and as a dispersant, DISPERBYK-2000 (nonvolatile content 1.3 g, acid value: 0 mgKOH / g, amine value: 4 mgKOH / g; manufactured by Big Chemie Japan Co., Ltd., hereinafter referred to as byk2000) 3.25 g, C.I. I. 8.0 g of Pigment Red 254 (manufactured by Chivas Specialty Chemicals, hereinafter referred to as PR254) was weighed in a 225 ml mayonnaise bottle and diluted with PGMEA so that the non-volatile content concentration was 20% by weight. 64 g of zirconia beads having a diameter of 1.0 mm was added thereto, and the lid was closed. This was shaken with a paint shaker for 3 hours, and after 3 hours, the pigment dispersion composition and the zirconia beads were separated, 64 g of 0.5 mm zirconia beads were added, and the mixture was shaken with a paint shaker for another 3 hours. Then, the pigment dispersion composition and the zirconia beads were separated, 64 g of 0.3 mm zirconia beads were added, and the mixture was further shaken with a paint shaker for 3 hours to obtain a pigment dispersion composition r (mil base).
To this pigment dispersion composition r, 3.5 g of dipentaerythritol hexaacrylate (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd., hereinafter referred to as DPHA) as a polyfunctional monomer, and 4.66 g of the above-mentioned copolymer solution (A-1) as an alkali-soluble resin (A-1). That is, resin 1.8 g) and 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholino-propane-1-one (IRGACURE907, manufactured by BASF Japan, Inc., hereinafter referred to as Irg907) as a photopolymerization initiator. ) Clear resist I containing 1.9 g was added, and the mixture was diluted with PGMEA so that the non-volatile content concentration was 20% by weight. Then, the zirconia beads were removed and filtered through a filter having a pore size of 1.0 μm to prepare a photosensitive resin composition R1.
[実施例2〜10、比較例1、2]
顔料分散組成物に含有するアルカリ可溶性樹脂および分散剤、ならびにクリアレジストに含有するアルカリ可溶性樹脂を表2に示す樹脂としたこと以外は、実施例1と同様にして感光性樹脂組成物R2〜R12を得た。なお、表中の「byk2001」は、ビックケミー・ジャパン社製の商品名「DISPERBYK−2001」であり、当該分散剤の酸価は19mgKOH/gであり、アミン価は29mgKOH/gである。
[Examples 2 to 10, Comparative Examples 1 and 2]
The photosensitive resin compositions R2 to R12 are the same as in Example 1 except that the alkali-soluble resin and dispersant contained in the pigment dispersion composition and the alkali-soluble resin contained in the clear resist are the resins shown in Table 2. Got In the table, "byk2001" is a trade name "DISPERBYK-2001" manufactured by Big Chemie Japan Co., Ltd., the acid value of the dispersant is 19 mgKOH / g, and the amine value is 29 mgKOH / g.
[実施例11]
アルカリ可溶性樹脂として、上記共重合体溶液(A−1)9.07g(すなわち、樹脂3.5g)、分散剤としてbyk2000を3.25g(不揮発分1.3g)、色材として顔料のC.I.ピグメントグリーン36(Heubach製、以下PG36と表す)4.8gとC.I.ピグメントイエロー150(Lanxess製、以下PY150と表す)3.2gを225mlマヨネーズ瓶にはかり取り、不揮発分濃度が20重量%となるようPGMEAで希釈した。これに径1.0mmのジルコニアビーズ64gを加え、フタをした。これをペイントシェーカーで3時間振とうし、3時間後、顔料分散組成物とジルコニアビーズを分別し、0.5mmのジルコニアビーズ64gを加え、ペイントシェーカーでさらに3時間振とうした。その後、顔料分散組成物とジルコニアビーズを分別し、0.3mmのジルコニアビーズ64gを加え、ペイントシェーカーでさらに3時間振とうして、顔料分散組成物gを得た。
この顔料分散組成物gに多官能モノマーとしてDPHA3.5g、バインダー樹脂として上記共重合体溶液(A−1)4.66g(すなわち、樹脂1.8g)、および光重合開始剤として2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1(商品名「IRGACURE(登録商標)369」、BASFジャパン社製、以下Irg369と表す)1.9gを含むクリアレジストIIを加え、不揮発分濃度が20重量%となるようにPGMEAで希釈した。ジルコニアビーズを除去した後、孔径1.0μmのフィルタでろ過し、感光性樹脂組成物G1を調製した。
[Example 11]
As an alkali-soluble resin, 9.07 g of the above-mentioned copolymer solution (A-1) (that is, 3.5 g of resin), 3.25 g of byk2000 as a dispersant (1.3 g of non-volatile content), and C.I. I. Pigment Green 36 (manufactured by Heubach, hereinafter referred to as PG36) 4.8 g and C.I. I. 3.2 g of Pigment Yellow 150 (manufactured by Lanxess, hereinafter referred to as PY150) was weighed in a 225 ml mayonnaise bottle and diluted with PGMEA so that the non-volatile content concentration was 20% by weight. 64 g of zirconia beads having a diameter of 1.0 mm was added thereto, and the lid was closed. This was shaken with a paint shaker for 3 hours, and after 3 hours, the pigment dispersion composition and the zirconia beads were separated, 64 g of 0.5 mm zirconia beads were added, and the mixture was shaken with a paint shaker for another 3 hours. Then, the pigment dispersion composition and the zirconia beads were separated, 64 g of 0.3 mm zirconia beads were added, and the mixture was further shaken with a paint shaker for 3 hours to obtain a pigment dispersion composition g.
The pigment dispersion composition g contains 3.5 g of DPHA as a polyfunctional monomer, 4.66 g of the above-mentioned copolymer solution (A-1) as a binder resin (that is, 1.8 g of a resin), and 2-benzyl- as a photopolymerization initiator. Add 1.9 g of 2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1 (trade name "IRGACURE (registered trademark) 369", manufactured by BASF Japan, hereinafter referred to as Irg369). , Diluted with PGMEA so that the non-volatile content concentration was 20% by weight. After removing the zirconia beads, the mixture was filtered through a filter having a pore size of 1.0 μm to prepare a photosensitive resin composition G1.
[実施例12〜20、比較例3、4]
顔料分散組成物に含有するアルカリ可溶性樹脂および分散剤、ならびにクリアレジストに含有するアルカリ可溶性樹脂を表3に示す樹脂としたこと以外は、実施例11と同様にして感光性樹脂組成物G2〜12を得た。
[Examples 12 to 20, Comparative Examples 3 and 4]
The photosensitive resin compositions G2-12 are the same as in Example 11 except that the alkali-soluble resin and dispersant contained in the pigment dispersion composition and the alkali-soluble resin contained in the clear resist are the resins shown in Table 3. Got
[実施例21]
アルカリ可溶性樹脂として、上記共重合体溶液(A−1)9.07g(すなわち、樹脂3.5g)、分散剤としてbyk2000を3.25g(不揮発分1.3g)、色材として顔料のC.I.ピグメントバイオレット23(Clariant製、以下PV23と表す)1.6g、染料のC.I.ソルベントブルー35(MP Biomnedicals製、以下SB35と表す)6.4gを225mlマヨネーズ瓶にはかり取り、不揮発分濃度が20重量%となるようPGMEAで希釈した。これに径1.0mmのジルコニアビーズ64gを加え、フタをした。これをペイントシェーカーで3時間振とうし、3時間後顔料分散組成物とジルコニアビーズを分別し、0.5mmのジルコニアビーズ64gを加え、ペイントシェーカーでさらに3時間振とうした。その後、顔料分散組成物とジルコニアビーズを分別し、0.3mmのジルコニアビーズ64gを加え、ペイントシェーカーでさらに3時間振とうして、顔料分散組成物bを得た。
この顔料分散組成物bに多官能モノマーとしてDPHA3.5g、バインダー樹脂として上記共重合体溶液(A−1)4.66g(すなわち、樹脂1.8g)、および光重合開始剤(Irg369)1.9gを含むクリアレジストIIを加え、不揮発分濃度が20重量%となるようにPGMEAで希釈した。ジルコニアビーズを除去した後、孔径1.0μmのフィルタでろ過し、感光性樹脂組成物B1を調製した。
[Example 21]
As an alkali-soluble resin, 9.07 g of the above-mentioned copolymer solution (A-1) (that is, 3.5 g of resin), 3.25 g of byk2000 as a dispersant (1.3 g of non-volatile content), and C.I. I. Pigment Violet 23 (manufactured by Clariant, hereinafter referred to as PV23) 1.6 g, dye C.I. I. 6.4 g of Solvent Blue 35 (manufactured by MP Biomnicals, hereinafter referred to as SB35) was weighed in a 225 ml mayonnaise bottle and diluted with PGMEA so that the non-volatile content concentration was 20% by weight. 64 g of zirconia beads having a diameter of 1.0 mm was added thereto, and the lid was closed. This was shaken with a paint shaker for 3 hours, and after 3 hours, the pigment dispersion composition and the zirconia beads were separated, 64 g of 0.5 mm zirconia beads were added, and the mixture was shaken with a paint shaker for another 3 hours. Then, the pigment dispersion composition and the zirconia beads were separated, 64 g of 0.3 mm zirconia beads were added, and the mixture was further shaken with a paint shaker for 3 hours to obtain a pigment dispersion composition b.
The pigment dispersion composition b contains 3.5 g of DPHA as a polyfunctional monomer, 4.66 g of the above-mentioned copolymer solution (A-1) as a binder resin (that is, 1.8 g of resin), and a photopolymerization initiator (Irg369). Clear resist II containing 9 g was added and diluted with PGMEA so that the non-volatile content concentration was 20% by weight. After removing the zirconia beads, the photosensitive resin composition B1 was prepared by filtering through a filter having a pore size of 1.0 μm.
[実施例22〜30、比較例5、6]
顔料分散組成物に含有するアルカリ可溶性樹脂および分散剤、ならびにクリアレジストに含有するアルカリ可溶性樹脂を表4に示す樹脂としたこと以外は、実施例21と同様にして感光性樹脂組成物B2〜12を得た。
[Examples 22 to 30, Comparative Examples 5 and 6]
The photosensitive resin compositions B2 to 12 are the same as in Example 21 except that the alkali-soluble resin and dispersant contained in the pigment dispersion composition and the alkali-soluble resin contained in the clear resist are the resins shown in Table 4. Got
[実施例31]
アルカリ可溶性樹脂として、上記共重合体溶液(A−1)9.07g(すなわち、樹脂3.5g)、分散剤としてDISPERBYK−164(不揮発分1.3g、酸価:0mgKOH/g、アミン価:18mgKOH/g;ビックケミー・ジャパン社製、以下byk164と表す)を2.17g、色材として顔料のプリンテックス45(オリオン・エンジニアドカーボンズ製、以下PT45と表す)8.0gを225mlマヨネーズ瓶にはかり取り、不揮発分濃度が20重量%となるようPGMEAで希釈した。これに径1.0mmのジルコニアビーズ64gを加え、ペイントシェーカーで3時間振とうした。3時間後顔料分散組成物とジルコニアビーズを分別し、0.5mmのジルコニアビーズ64gを加え、ペイントシェーカーでさらに3時間振とうした。その後、顔料分散組成物とジルコニアビーズを分別し、0.3mmのジルコニアビーズ64gを加え、ペイントシェーカーでさらに3時間振とうして、顔料分散組成物kを得た。
この顔料分散組成物kに多官能モノマーとしてDPHA3.5g、バインダー樹脂として上記共重合体溶液(A−1)4.66g(すなわち、樹脂1.8g)、および光重合開始剤としてエタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)(商品名「IRGACUREOXE02」、BASFジャパン社製、以下OXE02と表す)1.9gを含むクリアレジストIIIを加え、不揮発分濃度が20重量%となるようにPGMEAで希釈した。ジルコニアビーズを除去した後、孔径1.0μmのフィルタでろ過し、感光性樹脂組成物K1を調製した。
[Example 31]
As an alkali-soluble resin, 9.07 g of the above-mentioned copolymer solution (A-1) (that is, 3.5 g of resin), and as a dispersant, DISPERBYK-164 (nonvolatile content 1.3 g, acid value: 0 mgKOH / g, amine value: 18 mgKOH / g; manufactured by Big Chemie Japan, hereinafter referred to as byk164) is 2.17 g, and 8.0 g of pigment Printex 45 (manufactured by Orion Engineered Carbons, hereinafter referred to as PT45) as a coloring material is placed in a 225 ml mayonnaise bottle. It was weighed and diluted with PGMEA so that the non-volatile content concentration was 20% by weight. To this, 64 g of zirconia beads having a diameter of 1.0 mm was added, and the mixture was shaken with a paint shaker for 3 hours. After 3 hours, the pigment dispersion composition and the zirconia beads were separated, 64 g of 0.5 mm zirconia beads were added, and the mixture was shaken with a paint shaker for another 3 hours. Then, the pigment dispersion composition and the zirconia beads were separated, 64 g of 0.3 mm zirconia beads were added, and the mixture was further shaken with a paint shaker for 3 hours to obtain a pigment dispersion composition k.
In this pigment dispersion composition k, 3.5 g of DPHA as a polyfunctional monomer, 4.66 g of the above-mentioned copolymer solution (A-1) as a binder resin (that is, 1.8 g of a resin), and etanone, 1- as a photopolymerization initiator. [9-Ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazole-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime) (trade name "IRGACUREOXE02", manufactured by BASF Japan, hereinafter referred to as OXE02) 1 Clear resist III containing .9 g was added and diluted with PGMEA so that the non-volatile content concentration was 20% by weight. After removing the zirconia beads, the mixture was filtered through a filter having a pore size of 1.0 μm to prepare a photosensitive resin composition K1.
[実施例32〜40、比較例7]
顔料分散組成物に含有するアルカリ可溶性樹脂および分散剤、ならびにクリアレジストに含有するアルカリ可溶性樹脂を表5に示す樹脂としたこと以外は、実施例31と同様にして感光性樹脂組成物K2〜11を得た。
[Examples 32 to 40, Comparative Example 7]
The photosensitive resin composition K2-11 is the same as in Example 31 except that the alkali-soluble resin and dispersant contained in the pigment dispersion composition and the alkali-soluble resin contained in the clear resist are the resins shown in Table 5. Got
[実施例41]
アルカリ可溶性樹脂として、上記共重合体溶液(A−1)9.07g(すなわち、樹脂3.5g)、分散剤としてDISPERBYK-182(不揮発分1.3g、酸価:0mgKOH/g、アミン価:13mgKOH/g;ビックケミー・ジャパン社製、以下byk182と表す)3.02g、色材として酸化チタンTTO―51(石原産業製、以下TTO―51と表す)8.0gを225mlマヨネーズ瓶にはかり取り、不揮発分濃度が20重量%となるようPGMEAで希釈した。これに径1.0mmのジルコニアビーズ64gを加え、ペイントシェーカーで3時間振とうした。3時間後、顔料分散組成物とジルコニアビーズを分別し、0.5mmのジルコニアビーズ64gを加え、ペイントシェーカーでさらに3時間振とうした。その後、顔料分散組成物とジルコニアビーズを分別し、0.3mmのジルコニアビーズ64gを加え、ペイントシェーカーでさらに3時間振とうして、顔料分散組成物wを得た。
この顔料分散組成物wに多官能モノマーとしてDPHA3.5g、バインダー樹脂として上記共重合体溶液(A−1)4.66g(すなわち、樹脂1.8g)、および光重合開始剤(Irg907)1.9gを含むクリアレジストIを加え、不揮発分濃度が20重量%となるようにPGMEAで希釈した。ジルコニアビーズを除去した後、孔径1.0μmのフィルタでろ過し、感光性樹脂組成物W1を調製した。
[Example 41]
As an alkali-soluble resin, 9.07 g of the above-mentioned copolymer solution (A-1) (that is, 3.5 g of resin), and as a dispersant, DISPERBYK-182 (nonvolatile content 1.3 g, acid value: 0 mgKOH / g, amine value: 13 mgKOH / g; manufactured by Big Chemie Japan, hereinafter referred to as byk182) 3.02 g, and as a coloring material, titanium oxide TTO-51 (manufactured by Ishihara Sangyo, hereinafter referred to as TTO-51) 8.0 g was weighed into a 225 ml mayonnaise bottle. It was diluted with PGMEA so that the non-volatile content concentration was 20% by weight. To this, 64 g of zirconia beads having a diameter of 1.0 mm was added, and the mixture was shaken with a paint shaker for 3 hours. After 3 hours, the pigment dispersion composition and the zirconia beads were separated, 64 g of 0.5 mm zirconia beads were added, and the mixture was shaken with a paint shaker for another 3 hours. Then, the pigment dispersion composition and the zirconia beads were separated, 64 g of 0.3 mm zirconia beads were added, and the mixture was further shaken with a paint shaker for 3 hours to obtain a pigment dispersion composition w.
In this pigment dispersion composition w, 3.5 g of DPHA as a polyfunctional monomer, 4.66 g of the above-mentioned copolymer solution (A-1) as a binder resin (that is, 1.8 g of resin), and a photopolymerization initiator (Irg907) 1. Clear resist I containing 9 g was added and diluted with PGMEA so that the non-volatile content concentration was 20% by weight. After removing the zirconia beads, the mixture was filtered through a filter having a pore size of 1.0 μm to prepare a photosensitive resin composition W1.
[実施例42〜50、比較例8、9]
顔料分散組成物に含有するアルカリ可溶性樹脂および分散剤、ならびにクリアレジストに含有するアルカリ可溶性樹脂を表6に示す樹脂としたこと以外は、実施例41と同様にして感光性樹脂組成物W2〜12を得た。
[Examples 42 to 50, Comparative Examples 8 and 9]
The photosensitive resin compositions W2-12 are the same as in Example 41, except that the alkali-soluble resin and dispersant contained in the pigment dispersion composition and the alkali-soluble resin contained in the clear resist are the resins shown in Table 6. Got
<評価>
実施例および比較例で得られた感光性樹脂組成物を用い、下記現像方法にしたがいラインアンドペースのパターンを形成し、下記(1)〜(4)の評価を行った。結果を表2〜6に示す。
(現像方法)
10cm角のガラス基板上に、感光性樹脂組成物をスピンコーターにより塗布し、オーブンで90℃3分間乾燥した。乾燥後、塗膜から100μmの距離に15μmのラインアンドスペースを有するフォトマスクを配置して2.0kWの超高圧水銀ランプを装着したUVアライナ(商品名「TME−150RNS」、TOPCON社製)によって100mJ/cm2の強度(365nm照度換算)で紫外線を照射した。紫外線照射後、塗膜に0.05%の水酸化カリウム水溶液をスピン現像機にて散布し、未露光部を溶解、除去し、残った露光部を純水で10秒間水洗することにより現像して、ラインアンドスペースのパターンを形成した。
(1)ブレイク時間
現像時、パターン形成が可能な最短現像時間(水酸化カリウム水溶液散布時間)をブレイク時間として、評価した。
(2)剥がれの生じる時間
現像時、水酸化カリウム水溶液散布の散布を続け、パターンに剥がれの生じ始めるまでの時間を評価した。
(3)現像マージン
上記剥がれの生じ始める現像時間からブレイク時間を引いた時間を現像マージンとして評価した。
(4)パターン断面形状
パターンの形状はFE−SEM(商品名「JSM−7600FA」、日本電子製)を用いて測定した。15μmのラインアンドスペースフォトマスクで得られたパターンをガラス面の水平方向から測定を行い、パターン上底幅をX、パターン下底幅をYとしたとき、X/Yが1以上である場合をテーパー型、1未満である場合を逆テーパー型とした。
この評価においては、感光性樹脂組成物R1〜12、感光性樹脂組成物G1〜12、感光性樹脂組成物B1〜12、感光性樹脂組成物W1〜12はアルカリ現像時間40秒後のサンプルを測定し、感光性樹脂組成物K1〜11はアルカリ現像時間60秒後のサンプルを測定した。
<Evaluation>
Using the photosensitive resin compositions obtained in Examples and Comparative Examples, line-and-pace patterns were formed according to the following developing methods, and the following evaluations (1) to (4) were performed. The results are shown in Tables 2-6.
(Development method)
The photosensitive resin composition was applied on a 10 cm square glass substrate with a spin coater, and dried in an oven at 90 ° C. for 3 minutes. After drying, a UV aligner (trade name "TME-150RNS", manufactured by TOPCON) equipped with a 2.0 kW ultra-high pressure mercury lamp by arranging a photomask having a line and space of 15 μm at a distance of 100 μm from the coating film is used. Ultraviolet rays were irradiated at an intensity of 100 mJ / cm 2 (converted to 365 nm illuminance). After irradiation with ultraviolet rays, a 0.05% potassium hydroxide aqueous solution is sprayed on the coating film with a spin developing machine to dissolve and remove the unexposed part, and the remaining exposed part is washed with pure water for 10 seconds to develop. And formed a line-and-space pattern.
(1) Break time The shortest development time (potassium hydroxide aqueous solution spraying time) at which pattern formation was possible during development was evaluated as the break time.
(2) Time at which peeling occurs During development, spraying of potassium hydroxide aqueous solution was continued, and the time until peeling began to occur in the pattern was evaluated.
(3) Development Margin The time obtained by subtracting the break time from the development time at which the peeling starts to occur was evaluated as the development margin.
(4) Pattern cross-sectional shape The shape of the pattern was measured using FE-SEM (trade name "JSM-7600FA", manufactured by JEOL Ltd.). When the pattern obtained with a 15 μm line-and-space photomask is measured from the horizontal direction of the glass surface and the upper base width of the pattern is X and the lower base width of the pattern is Y, the case where X / Y is 1 or more is determined. The taper type was defined as the reverse taper type when it was less than 1.
In this evaluation, the photosensitive resin compositions R1 to 12, the photosensitive resin compositions G1 to 12, the photosensitive resin compositions B1 to 12, and the photosensitive resin compositions W1 to 12 were samples after an alkaline development time of 40 seconds. The photosensitive resin compositions K1 to 11 were measured, and samples were measured after an alkaline development time of 60 seconds.
(5)面内均一性
10cm角のガラス基板上に、感光性樹脂組成物をスピンコーターにより塗布し、オーブンで90℃3分間乾燥した。乾燥後、塗膜全面に2.0kWの超高圧水銀ランプを装着したUVアライナ(商品名「TME−150RNS」、TOPCON社製)によって100mJ/cm2の強度(365nm照度換算)で紫外線を照射した。紫外線照射後、塗膜に0.05%の水酸化カリウム水溶液をスピン現像機にて20秒散布後、純水で10秒間水洗した。その後、オーブンで230℃ 30分加熱した。
上記のようにして得られたサンプルの算術平均表面粗さRaを、レーザー顕微鏡(商品名「VK−9700」、キーエンス社製)を用いて測定し、面内均一性を評価した。測定範囲は、1400μm×1050μmとした。結果を表2〜6に示す。
(5) In-plane uniformity A photosensitive resin composition was applied on a 10 cm square glass substrate with a spin coater, and dried in an oven at 90 ° C. for 3 minutes. After drying, ultraviolet rays were irradiated at an intensity of 100 mJ / cm 2 (365 nm illuminance conversion) with a UV aligner (trade name "TME-150RNS", manufactured by TOPCON) equipped with a 2.0 kW ultra-high pressure mercury lamp on the entire surface of the coating film. .. After irradiation with ultraviolet rays, a 0.05% aqueous potassium hydroxide solution was sprayed on the coating film with a spin developer for 20 seconds, and then washed with pure water for 10 seconds. Then, it was heated in an oven at 230 ° C. for 30 minutes.
The arithmetic mean surface roughness Ra of the sample obtained as described above was measured using a laser microscope (trade name "VK-9700", manufactured by KEYENCE CORPORATION), and the in-plane uniformity was evaluated. The measurement range was 1400 μm × 1050 μm. The results are shown in Tables 2-6.
表2〜6から明らかなように、本願発明の感光性樹脂組成物は、現像マージンが長く、かつ、テーパー型の成形体を形成し得る。 As is clear from Tables 2 to 6, the photosensitive resin composition of the present invention has a long development margin and can form a tapered molded product.
Claims (8)
該アルカリ可溶性樹脂が、側鎖にビフェニル基を有する構成単位、主鎖に環構造を有する構成単位(B)、および、側鎖に炭素二重結合を有する構成単位を含み、
該側鎖にビフェニル基を有する構成単位が、一般式(1)または(2)で表されるモノマー由来の構成単位であり、
該主鎖に環構造を有する構成単位(B)が、一般式(3)、および(6)〜(9)で表される構成単位から選ばれる少なくとも1種であり、
該分散剤の酸価が、0mgKOH/gである、
感光性樹脂組成物:
The alkali-soluble resin contains a structural unit having a biphenyl group in the side chain, a structural unit (B) having a ring structure in the main chain, and a structural unit having a carbon double bond in the side chain .
The structural unit having a biphenyl group in the side chain is a structural unit derived from a monomer represented by the general formula (1) or (2).
The structural unit (B) having a ring structure in the main chain is at least one selected from the structural units represented by the general formulas (3) and (6) to (9).
The acid value of the dispersant is 0 mgKOH / g.
Photosensitive resin composition:
A color filter comprising a substrate and the cured product according to claim 7, which is arranged on the substrate.
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