JP7250600B2 - Photosensitive resin composition - Google Patents
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- Materials For Photolithography (AREA)
- Polymerisation Methods In General (AREA)
- Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)
Description
本発明は、感光性樹脂組成物に関する。 The present invention relates to a photosensitive resin composition.
感光性樹脂組成物は、フォトリソグラフィ法に用いられ、露光の有無により、現像液に対する溶解性が変化する材料であり、これを用いて所定パターンの成形体を得ることができる。フォトリソグラフィ法は、画像表示装置の部材製造、電子機器の回路基板製造、半導体素子製造等に多用される。このような技術分野においては、成形体が微細なパターンで得られること、現像速度が速いこと等が求められる。 A photosensitive resin composition is used in photolithography, and is a material whose solubility in a developing solution changes depending on whether or not it is exposed to light. The photolithography method is frequently used in the manufacture of members for image display devices, the manufacture of circuit boards for electronic equipment, the manufacture of semiconductor elements, and the like. In such a technical field, it is required that a molded article can be obtained with a fine pattern and that the developing speed is high.
感光性樹脂組成物の用途のひとつとして、液晶表示装置等の画像表示装置に用いられるカラーフィルターの材料が挙げられる。カラーフィルターは、通常、顔料等の色材と光硬化性の樹脂とを含む感光性樹脂組成物を透明基板に塗布した後、露光工程、現像工程および熱処理(ポストベーク)工程を含むフォトリソグラフィ法等によって製造されている。従来、透明基板としてはガラス板が多用されているが、今後は、樹脂製の透明基板を用いたカラーフィルターが増加することが考えられる。また、近年、耐熱性の低い色材を用いてカラーフィルターを形成することも増えている。このように、樹脂製の透明基板、耐熱性の低い色材を用いる場合には、低い熱処理温度で成形し得る感光性樹脂組成物が求められる。 One of the applications of the photosensitive resin composition is a material for color filters used in image display devices such as liquid crystal display devices. A color filter is usually produced by applying a photosensitive resin composition containing a coloring material such as a pigment and a photocurable resin to a transparent substrate, followed by an exposure step, a development step, and a heat treatment (post-baking) step. Manufactured by etc. Conventionally, glass plates have been widely used as transparent substrates, but it is conceivable that color filters using transparent substrates made of resin will increase in the future. In recent years, the use of coloring materials with low heat resistance to form color filters has also increased. Thus, when using a resin-made transparent substrate and a coloring material with low heat resistance, a photosensitive resin composition that can be molded at a low heat treatment temperature is required.
本発明は上記の課題を解決するためになされたものであり、その目的とするところは、
低い温度により熱処理(ポストベーク)の効果が得られ、かつ、耐溶剤性に優れる成形体を形成し得る感光性樹脂組成物を提供することにある。
The present invention has been made to solve the above problems, and the purpose thereof is to:
An object of the present invention is to provide a photosensitive resin composition which can obtain the effect of heat treatment (post-baking) at a low temperature and which can form a molded article having excellent solvent resistance.
本発明の感光性樹脂組成物は、アルカリ可溶性樹脂と、色材と、多官能モノマーと、光重合開始剤と、溶剤とを含み、該アルカリ可溶性樹脂が、側鎖にアクリレート基を有する構成単位と、側鎖に酸基を有する構成単位と、主鎖に環構造を有する構成単位とを含む。
1つの実施形態においては、上記アルカリ可溶性樹脂の二重結合当量が、200g/eq~1000g/eqである。
1つの実施形態においては、上記側鎖に酸基を有する構成単位の含有割合が、アルカリ可溶性樹脂100重量部(質量部)に対して、10重量部(質量部)~70重量部(質量部)である。
1つの実施形態においては、上記主鎖に環構造を有する構成単位の含有割合が、アルカリ可溶性樹脂100重量部に対して、5重量部~50重量部である。
本発明の別の局面によれば、アルカリ可溶性樹脂が提供される。このアルカリ可溶性樹脂は、側鎖にアクリレート基を有する構成単位と、側鎖に酸基を有する構成単位と、主鎖に環構造を有する構成単位とを含む。
1つの実施形態においては、上記アルカリ可溶性樹脂は、二重結合当量が、200g/eq~1000g/eqである。
1つの実施形態においては、上記側鎖に酸基を有する構成単位の含有割合が、アルカリ可溶性樹脂100重量部に対して、10重量部~70重量部である。
1つの実施形態においては、上記主鎖に環構造を有する構成単位の含有割合が、アルカリ可溶性樹脂100重量部に対して、5重量部~50重量部である。
本発明の別の局面によれば、成形体の製造方法が提供される。この成形体の製造方法は、上記感光性樹脂組成物を、樹脂製の基材に塗布して塗布層を形成すること、および、該塗布層を硬化させ、200℃以下で加熱することを含む。
The photosensitive resin composition of the present invention comprises an alkali-soluble resin, a coloring material, a polyfunctional monomer, a photopolymerization initiator, and a solvent, and the alkali-soluble resin is a constituent unit having an acrylate group in its side chain. , a structural unit having an acid group in the side chain, and a structural unit having a ring structure in the main chain.
In one embodiment, the alkali-soluble resin has a double bond equivalent weight of 200 g/eq to 1000 g/eq.
In one embodiment, the content of the structural unit having an acid group in the side chain is 10 parts by weight (parts by weight) to 70 parts by weight (parts by weight) with respect to 100 parts by weight (parts by weight) of the alkali-soluble resin. ).
In one embodiment, the content of the structural unit having a ring structure in the main chain is 5 parts by weight to 50 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the alkali-soluble resin.
According to another aspect of the invention, an alkali-soluble resin is provided. This alkali-soluble resin contains a structural unit having an acrylate group in its side chain, a structural unit having an acid group in its side chain, and a structural unit having a ring structure in its main chain.
In one embodiment, the alkali-soluble resin has a double bond equivalent of 200 g/eq to 1000 g/eq.
In one embodiment, the content of the structural unit having an acid group in the side chain is 10 parts by weight to 70 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the alkali-soluble resin.
In one embodiment, the content of the structural unit having a ring structure in the main chain is 5 parts by weight to 50 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the alkali-soluble resin.
According to another aspect of the present invention, a method for manufacturing a molded body is provided. The method for producing the molded article includes applying the photosensitive resin composition to a resin substrate to form a coating layer, and curing the coating layer and heating at 200° C. or less. .
本発明によれば、低い温度により熱処理(ポストベーク)の効果が得られ、かつ、耐溶剤性に優れる成形体を形成し得る感光性樹脂組成物を提供することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the effect of heat processing (post-baking) is acquired by low temperature, and the photosensitive resin composition which can form the molded object excellent in solvent resistance can be provided.
A.感光性樹脂組成物の概要
本発明の感光性樹脂組成物は、アルカリ可溶性樹脂と、色材と、多官能モノマーと、光重合開始剤と、溶剤とを含む。上記アルカリ可溶性樹脂は、側鎖にアクリレート基を有する構成単位、側鎖に酸基を有する構成単位、および主鎖に環構造を有する構成単位を含む。
A. Outline of Photosensitive Resin Composition The photosensitive resin composition of the present invention contains an alkali-soluble resin, a coloring material, a polyfunctional monomer, a photopolymerization initiator, and a solvent. The alkali-soluble resin includes a structural unit having an acrylate group in its side chain, a structural unit having an acid group in its side chain, and a structural unit having a ring structure in its main chain.
本発明においては、側鎖にアクリレート基(側鎖アクリレート基)を有する構成単位を含むアルカリ可溶性樹脂を含むことにより、低い温度(例えば、200℃以下)により熱処理(ポストベーク)の効果が得られ、かつ、耐溶剤性に優れる成形体を形成し得る感光性樹脂組成物を提供することができる。一般に、アクリレート基とメタクリレート基は、特性に大きな相違がなく、アクリレート基を有する樹脂とメタクリレート基を有する樹脂とは、同じ用途に使用されていることが多い。一方、本発明においては、メタクリレート基を有するアルカリ可溶性樹脂と区別してアクリレート基を有するアルカリ可溶性樹脂を用いることを特徴とし、これにより、上記のような効果を得たことは、本発明の大きな成果である。1つの実施形態においては、上記アルカリ可溶性樹脂は、側鎖にメタクリレート基を有さない。 In the present invention, by containing an alkali-soluble resin containing a structural unit having an acrylate group (side chain acrylate group) in the side chain, the effect of heat treatment (post-baking) can be obtained at a low temperature (for example, 200 ° C. or less). Moreover, it is possible to provide a photosensitive resin composition capable of forming a molded article having excellent solvent resistance. In general, acrylate groups and methacrylate groups do not have much difference in properties, and resins having acrylate groups and resins having methacrylate groups are often used for the same purposes. On the other hand, the present invention is characterized by using an alkali-soluble resin having an acrylate group, as distinguished from an alkali-soluble resin having a methacrylate group. is. In one embodiment, the alkali-soluble resin does not have a methacrylate group in its side chain.
上記アルカリ可溶性樹脂における側鎖アクリレート基含有量は、二重結合当量で表され得る。上記アルカリ可溶性樹脂の二重結合当量は、好ましくは200g/eq~1000g/eqであり、より好ましくは300g/eq~1000g/eqであり、さらに好ましくは500g/eq~900g/eqであり、特に好ましくは550g/eq~700g/eqである。このような範囲であれば、上記効果はより顕著となる。なお、二重結合当量とは、アルカリ可溶性樹脂における二重結合(アクリレート基)1個あたりの重量平均分子量であり、下記式により算出することができる。
二重結合当量(g/eq)=アルカリ可溶性樹脂(アクリレート基を有する化合物を付加した後の重合体)に使用したモノマー総量(g)/付加したアクリレート基を有する化合物のmol
The side chain acrylate group content in the alkali-soluble resin can be expressed in terms of double bond equivalent. The double bond equivalent of the alkali-soluble resin is preferably 200 g/eq to 1000 g/eq, more preferably 300 g/eq to 1000 g/eq, still more preferably 500 g/eq to 900 g/eq, especially It is preferably 550 g/eq to 700 g/eq. Within such a range, the above effects are more pronounced. The double bond equivalent is the weight average molecular weight per double bond (acrylate group) in the alkali-soluble resin, and can be calculated by the following formula.
Double bond equivalent (g/eq) = total monomer amount (g) used in alkali-soluble resin (polymer after addition of compound having acrylate group)/mol of added compound having acrylate group
また、本発明においては、上記アルカリ可溶性樹脂が主鎖に環構造を有することにより、色材として顔料を用いた場合に、当該色材(顔料)の分散性に優れ、経時においても色材(顔料)が凝集し難い感光性樹脂組成物を得ることができる。また、主鎖に環構造を有することにより、アルカリに対する溶解性が高いアルカリ可溶性樹脂を得ることができる。 In addition, in the present invention, the alkali-soluble resin has a ring structure in the main chain, so that when a pigment is used as a coloring material, the coloring material (pigment) has excellent dispersibility, and the coloring material ( A photosensitive resin composition in which the pigment) is difficult to aggregate can be obtained. Moreover, by having a ring structure in the main chain, an alkali-soluble resin having high solubility in alkali can be obtained.
図1は、本発明の1つの実施形態による感光性樹脂組成物から形成された成形体の概略断面図である。本発明の感光性樹脂組成物によれば、側鎖に酸基を有する構成単位および主鎖に環構造を有する構成単位を有するアルカリ可溶性樹脂を含むことにより、テーパー型の成形体10を形成し得る。テーパー型の成形体とは、図1に示すように、断面視において、下部より上部の方が細い成形体を意味し、また、高さ方向で実質的に径差のない成形体も含む概念である。上記成形体のテーパー角(図1における角度a)は、好ましくは90°以下であり、より好ましくは85°以下であり、さらに好ましくは60°~80°である。テーパー型の成形体は、基材に対する密着性に優れるという利点を有する。また、上記感光性樹脂組成物を用いて、テーパー型のカラーフィルター、フォトスペーサー等を形成した場合、塗布により電極を形成する際の断線を防止し得たり、基材/成形体間に不要な空隙が形成されて液晶内に気泡が生じることを防止し得るという点で有利である。
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a molded body formed from a photosensitive resin composition according to one embodiment of the present invention. According to the photosensitive resin composition of the present invention, the tapered molded
1つの実施形態においては、本発明の感光性樹脂組成物は、色材と分散剤とを含む色材分散組成物(ミルベース)と、多官能モノマーと光重合開始剤を含むクリアレジストの混合物として提供される。上記アルカリ可溶性樹脂は、色材分散組成物に含まれていてもよく、クリアレジストに含まれていてもよく、色材分散組成物およびクリアレジストの両方に含まれていてもよい。1つの実施形態においては、上記アルカリ可溶性樹脂は、色材分散組成物に含まれる。上記アルカリ可溶性樹脂を含む色材分散組成物は、色材(例えば、顔料)の分散安定性が非常に優れ、経時において色材が凝集し難い点で有利である。上記色材分散組成物および/またはクリアレジストは、任意の適切な溶剤を含む。 In one embodiment, the photosensitive resin composition of the present invention is a mixture of a coloring material dispersion composition (mill base) containing a coloring material and a dispersing agent and a clear resist containing a polyfunctional monomer and a photopolymerization initiator. provided. The alkali-soluble resin may be contained in the colorant-dispersed composition, may be contained in the clear resist, or may be contained in both the colorant-dispersed composition and the clear resist. In one embodiment, the alkali-soluble resin is contained in the colorant-dispersed composition. The coloring material dispersion composition containing the above alkali-soluble resin is advantageous in that the coloring material (for example, pigment) has very excellent dispersion stability and the coloring material hardly aggregates over time. The colorant-dispersed composition and/or clear resist contain any appropriate solvent.
本発明の感光性樹脂組成物は、主としてネガ型感光性樹脂組成物として用いられ、例えば、カラーフィルター、フォトスペーサー、オーバーコート、ブラックマトリックス、ブラックカラムスペーサー、インク、塗料、シール剤等に好適に用いられ得る。本発明の感光性樹脂組成物は、上記のとおり、低温で熱処理(ポストベーク)の効果が得られるため、樹脂製基材(例えば、PETフィルム)上に塗工する用途に特に好適である。 The photosensitive resin composition of the present invention is mainly used as a negative photosensitive resin composition, and is suitable for, for example, color filters, photospacers, overcoats, black matrices, black column spacers, inks, paints, sealants and the like. can be used. As described above, the photosensitive resin composition of the present invention can obtain the effect of heat treatment (post-baking) at a low temperature, so it is particularly suitable for coating on resin substrates (for example, PET film).
B.アルカリ可溶性樹脂
上記のとおり、アルカリ可溶性樹脂は、側鎖にアクリレート基を有する構成単位(A)、側鎖に酸基を有する構成単位(I)、および主鎖に環構造を有する構成単位(II)を含む。上記アルカリ可溶性樹脂は、代表的には、(メタ)アクリル系樹脂である。なお、(メタ)アクリル系樹脂とは、(メタ)アクリル酸エステル等の(メタ)アクリル系モノマーを少なくとも10重量%(質量%)以上含有するモノマー組成物を重合した樹脂であれば特に限定されず、該モノマー組成物は、(メタ)アクリル系モノマーと共重合可能な他のモノマーを含んでいてもよい。
B. Alkali-Soluble Resin As described above, the alkali-soluble resin includes structural units (A) having an acrylate group in the side chain, structural units (I) having an acid group in the side chain, and structural units (II) having a ring structure in the main chain. )including. The alkali-soluble resin is typically a (meth)acrylic resin. The (meth)acrylic resin is not particularly limited as long as it is a resin obtained by polymerizing a monomer composition containing at least 10% by weight (mass%) or more of a (meth)acrylic monomer such as a (meth)acrylic acid ester. First, the monomer composition may contain other monomers copolymerizable with the (meth)acrylic monomer.
上記アルカリ可溶性樹脂は、側鎖に酸基を有するモノマー(i)、ならびに、主鎖に環構造を有するモノマー(ii)および/または環構造を形成し得るモノマー(ii’)を含むモノマー組成物を重合して重合体Xを形成し、さらに、重合体Xが有する酸基(モノマー(i)由来の酸基)の一部を反応点として、重合体Xにアクリレート基を有する化合物(a)を付加することにより得ることができる。また、側鎖に酸基を有するモノマー(i)に代えて、あるいは、当該モノマー(i)と併用して、上記モノマー組成物に、酸基を導入し得るモノマー(i’)を含有させてもよい。さらに、上記モノマー組成物は、その他の構成単位(III)を構成するその他のモノマー(iii)をさらに含んでいてもよい。1つの実施形態においては、モノマー(i)、モノマー(i’)および/またはモノマー(iii)は(メタ)アクリル系モノマーであり、好ましくはアクリル系モノマーである。 The alkali-soluble resin is a monomer composition containing a monomer (i) having an acid group in the side chain, and a monomer (ii) having a ring structure in the main chain and/or a monomer (ii') capable of forming a ring structure. to form a polymer X, and a compound (a) having an acrylate group in the polymer X with a part of the acid groups (acid groups derived from the monomer (i)) of the polymer X as reaction sites can be obtained by adding Further, instead of the monomer (i) having an acid group in the side chain, or in combination with the monomer (i), the monomer composition may contain a monomer (i') capable of introducing an acid group. good too. Furthermore, the monomer composition may further contain other monomers (iii) constituting other structural units (III). In one embodiment, monomer (i), monomer (i') and/or monomer (iii) are (meth)acrylic monomers, preferably acrylic monomers.
B-1.側鎖に酸基を有する構成単位(I)
アルカリ可溶性樹脂が側鎖に酸基を有する構成単位(I)を有していれば、アルカリ現像性に優れる感光性樹脂組成物を得ることができる。側鎖に酸基を有する構成単位(I)を構成するモノマー(酸基を有するモノマー(i))としては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、2-(メタ)アクリロイロキシエチルコハク酸、イタコン酸、ω-カルボキシ-ポリカプロラクトンモノアクリレート等のカルボキシル基を有するモノマー;無水マレイン酸、無水イタコン酸等のカルボン酸無水物基を有するモノマー等が挙げられる。なかでも好ましくはアクリル酸である。これらのモノマーは、単独で、または2種以上組み合わせて用いてもよい。
B-1. Structural unit (I) having an acid group in the side chain
If the alkali-soluble resin has the structural unit (I) having an acid group in its side chain, it is possible to obtain a photosensitive resin composition having excellent alkali developability. Examples of the monomer constituting the structural unit (I) having an acid group in the side chain (monomer (i) having an acid group) include acrylic acid, methacrylic acid, 2-(meth)acryloyloxyethyl succinic acid, itacon Acids, monomers having a carboxyl group such as ω-carboxy-polycaprolactone monoacrylate; monomers having a carboxylic acid anhydride group such as maleic anhydride and itaconic anhydride. Among them, acrylic acid is preferred. These monomers may be used alone or in combination of two or more.
側鎖に酸基を有する構成単位(I)を構成するモノマーとして、酸基を導入し得るモノマー(i’)を用いてもよい。モノマー(i’)は、重合後の酸基付与を可能とするモノマーである。モノマー(i’)としては、例えば、2-ヒドロキシエチルアクリレート、2-ヒドロキシエチルメタクリレート等の水酸基を有するモノマー、グリシジルアクリレート、グリシジルメタクリレート等のエポキシ基を有するモノマー、2-イソシアナートエチルアクリレート、2-イソシアナートエチルメタクリレート等のイソシアネート基を有するモノマー等が挙げられる。これらのモノマーは、単独で、または2種以上組み合わせて用いてもよい。好ましくは、モノマー(i’)として、アクリル系モノマーが用いられる。酸基を付与するための後処理は、用いるモノマー(i’)の種類によって異なるが、水酸基を有するモノマー(i’)を用いた場合には、例えば、コハク酸無水物、テトラヒドロフタル酸無水物、マレイン酸無水物等の酸無水物を付加させればよい。エポキシ基を有するモノマー(i’)を用いた場合には、例えば、N-メチルアミノ安息香酸、N-メチルアミノフェノール等のアミノ基と酸基を有する化合物を付加するか、もしくは、(メタ)アクリル酸等の酸を付加させた後に生じた水酸基に、酸無水物(例えば、コハク酸無水物、テトラヒドロフタル酸無水物、マレイン酸無水物)を付加させればよい。また、イソシアネート基を有するモノマー(i’)を用いた場合には、例えば、2-ヒドロキシ酪酸等の水酸基と酸基を有する化合物を付加させればよい。 A monomer (i') into which an acid group can be introduced may be used as a monomer constituting the structural unit (I) having an acid group in its side chain. Monomer (i') is a monomer capable of imparting an acid group after polymerization. Examples of the monomer (i′) include monomers having a hydroxyl group such as 2-hydroxyethyl acrylate and 2-hydroxyethyl methacrylate; monomers having an epoxy group such as glycidyl acrylate and glycidyl methacrylate; Examples thereof include monomers having an isocyanate group such as isocyanatoethyl methacrylate. These monomers may be used alone or in combination of two or more. Preferably, an acrylic monomer is used as the monomer (i'). The post-treatment for imparting an acid group varies depending on the type of the monomer (i') used. , an acid anhydride such as maleic anhydride may be added. When the monomer (i') having an epoxy group is used, for example, a compound having an amino group and an acid group such as N-methylaminobenzoic acid or N-methylaminophenol is added, or (meth) An acid anhydride (eg, succinic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, maleic anhydride) may be added to the hydroxyl group formed after addition of an acid such as acrylic acid. Further, when the monomer (i') having an isocyanate group is used, a compound having a hydroxyl group and an acid group such as 2-hydroxybutyric acid may be added.
側鎖に酸基を有する構成単位(I)の含有割合は、アルカリ可溶性樹脂100重量部に対して、好ましくは10重量部~70重量部であり、より好ましくは15重量部~65重量部であり、さらに好ましくは15重量部~60重量部である。 The content of the structural unit (I) having an acid group in the side chain is preferably 10 parts by weight to 70 parts by weight, more preferably 15 parts by weight to 65 parts by weight, with respect to 100 parts by weight of the alkali-soluble resin. and more preferably 15 to 60 parts by weight.
アルカリ可溶性樹脂を形成する上記モノマー組成物中、酸基を有するモノマー(i)の含有割合は、モノマー組成物中の全モノマー100重量部に対して、好ましくは10重量部~70重量部であり、より好ましくは15重量部~65重量部であり、さらに好ましくは15重量部~60重量部である。また、アルカリ可溶性樹脂を形成する上記モノマー組成物中、酸基を導入し得るモノマー(i’)の含有割合は、モノマー組成物中の全モノマー100重量部に対して、好ましくは10重量部~70重量部であり、より好ましくは15重量部~65重量部であり、さらに好ましくは15重量部~60重量部である。 In the monomer composition forming the alkali-soluble resin, the content of the monomer (i) having an acid group is preferably 10 parts by weight to 70 parts by weight with respect to 100 parts by weight of all the monomers in the monomer composition. , more preferably 15 to 65 parts by weight, more preferably 15 to 60 parts by weight. Further, the content of the monomer (i') capable of introducing an acid group in the monomer composition forming the alkali-soluble resin is preferably from 10 parts by weight to 100 parts by weight of all the monomers in the monomer composition. 70 parts by weight, more preferably 15 to 65 parts by weight, even more preferably 15 to 60 parts by weight.
B-2.側鎖にアクリレート基を有する構成単位(A)
側鎖にアクリレート基を有する構成単位(A)は、側鎖に酸基を有する構成単位(I)の酸基の一部を反応点として、アクリレート基を有する化合物を付加することにより、得ることができる。
B-2. Structural unit (A) having an acrylate group in the side chain
The structural unit (A) having an acrylate group in its side chain can be obtained by adding a compound having an acrylate group using a part of the acid group of the structural unit (I) having an acid group in its side chain as a reaction point. can be done.
側鎖に酸基を有する構成単位(I)の酸基がカルボキシル基である場合、アクリレート基を有する化合物として、エポキシ基とアクリレート基とを有する化合物、イソシアネート基とアクリレート基とを有する化合物等が用いられ得る。エポキシ基とアクリレート基とを有する化合物としては、例えば、グリシジルアクリレート、4-ヒドロキシブチルアクリレートグリシジルエーテル、3,4-エポキシシクロヘキシルメチルアクリレート等が挙げられる。なかでも、グリシジルアクリレートおよび/または4-ヒドロキシブチルアクリレートグリシジルエーテルが好ましく用いられ得る。イソシアネート基と二重結合とを有する化合物としては2-イソシアナートエチルアクリレート等が挙げられる。側鎖に酸基を有する構成単位(I)の酸基がカルボン酸無水物基である場合、アクリレート基を有する化合物として、水酸基とアクリレート基とを有する化合物が用いられ得る。水酸基と二重結合とを有する化合物としては、例えば、2-ヒドロキシエチルアクリレート等が挙げられる。 When the acid group of the structural unit (I) having an acid group in its side chain is a carboxyl group, examples of the compound having an acrylate group include a compound having an epoxy group and an acrylate group, a compound having an isocyanate group and an acrylate group, and the like. can be used. Examples of compounds having an epoxy group and an acrylate group include glycidyl acrylate, 4-hydroxybutyl acrylate glycidyl ether, and 3,4-epoxycyclohexylmethyl acrylate. Among them, glycidyl acrylate and/or 4-hydroxybutyl acrylate glycidyl ether can be preferably used. Compounds having an isocyanate group and a double bond include 2-isocyanatoethyl acrylate and the like. When the acid group of the structural unit (I) having an acid group in its side chain is a carboxylic anhydride group, a compound having a hydroxyl group and an acrylate group can be used as the compound having an acrylate group. Examples of compounds having a hydroxyl group and a double bond include 2-hydroxyethyl acrylate.
上記アクリレート基を有する化合物の付加量は、上記重合体X(すなわち、アクリレート基を有する化合物を付加する前の重合体)100重量部に対して、好ましくは15重量部以上であり、より好ましくは20重量部以上であり、さらに好ましくは25重量部以上である。このような範囲であれば、低温で熱処理(ポストベーク)の効果が得られ、かつ、耐溶剤性に優れる成形体を型性し得る感光性樹脂組成物を得ることができる。また、露光感度に優れる感光性樹脂組成物を得ることができる。このような感光性樹脂組成物を用いれば、緻密な硬化塗膜を形成して、基板密着性に優れ、強度が高い成形体を形成することができる。また、アクリレート基を有する化合物の付加量が上記範囲であれば、アクリレート基を有する化合物の付加により水酸基が十分に生成され、アルカリ現像液に対する溶解性に優れる感光性樹脂組成物を得ることができる。上記アクリレート基を有する化合物の付加量の上限は、上記重合体X100重量部に対して、好ましくは150重量部以下であり、より好ましくは100重量部以下であり、さらに好ましくは80重量部以下である。 The amount of the compound having an acrylate group added is preferably 15 parts by weight or more, more preferably 100 parts by weight of the polymer X (that is, the polymer before addition of the compound having an acrylate group). It is 20 parts by weight or more, more preferably 25 parts by weight or more. Within such a range, it is possible to obtain the effect of heat treatment (post-baking) at a low temperature and to obtain a photosensitive resin composition capable of forming a molded article having excellent solvent resistance. Also, a photosensitive resin composition having excellent exposure sensitivity can be obtained. By using such a photosensitive resin composition, it is possible to form a dense cured coating film, which is excellent in adhesion to substrates, and to form a molded article having high strength. Further, when the addition amount of the compound having an acrylate group is within the above range, sufficient hydroxyl groups are generated by the addition of the compound having an acrylate group, and a photosensitive resin composition having excellent solubility in an alkaline developer can be obtained. . The upper limit of the added amount of the compound having an acrylate group is preferably 150 parts by weight or less, more preferably 100 parts by weight or less, and still more preferably 80 parts by weight or less with respect to 100 parts by weight of the polymer X. be.
B-3.主鎖に環構造を有する構成単位(II)
主鎖に環構造を有する構成単位(II)としては、例えば、マレイミド構造、N-置換マレイミド構造、ラクトン環構造、グルタル酸無水物構造、無水マレイン酸構造等を有する構成単位が挙げられる。なかでも好ましくは、マレイミド構造またはN-置換マレイミド構造である。主鎖にマレイミド構造またはN-置換マレイミド構造を有する構成単位を有するアルカリ可溶性樹脂を用いることにより、アルカリに対する溶解性が高い樹脂を得ることができる。具体的には、主鎖に環構造を有する構成単位(II)は、一般式(1)~(3)で表される構成単位から選ばれる少なくとも1種であることが好ましく、一般式(1)で表される構成単位であることがより好ましい。一般式(1)で表される構成単位を有するアルカリ可溶性樹脂(好ましくは、(メタ)アクリル系樹脂)を用いれば、強度が高い成形体を形成し得る感光性樹脂組成物を得ることができる。
Examples of the structural unit (II) having a ring structure in the main chain include structural units having a maleimide structure, an N-substituted maleimide structure, a lactone ring structure, a glutaric anhydride structure, a maleic anhydride structure, and the like. Of these, a maleimide structure or an N-substituted maleimide structure is preferred. By using an alkali-soluble resin having a structural unit having a maleimide structure or an N-substituted maleimide structure in its main chain, a resin having high alkali solubility can be obtained. Specifically, the structural unit (II) having a ring structure in the main chain is preferably at least one selected from structural units represented by general formulas (1) to (3). ) is more preferred. By using an alkali-soluble resin (preferably a (meth)acrylic resin) having a structural unit represented by the general formula (1), it is possible to obtain a photosensitive resin composition capable of forming a molded article having high strength. .
主鎖に環構造を有する構成単位(II)は、一般式(4)~(7)で表される構成単位から選ばれる少なくとも1種であってもよい。なかでも好ましくは、一般式(4)または(7)で表される構成単位である。
主鎖に環構造を有する構成単位(II)は、主鎖に環構造を有するモノマー(ii)により構成され得る。主鎖に環構造を有するモノマー(ii)としては、例えば、マレイミド、ベンジルマレイミド、フェニルマレイミド、ナフチルマレイミド、N-o-ヒドロキシフェニルマレイミド、N-m-ヒドロキシフェニルマレイミド、N-p-ヒドロキシフェニルマレイミド、N-o-クロロフェニルマレイミド、N-m-クロロフェニルマレイミド、N-p-クロロフェニルマレイミド、N-o-メチルフェニルマレイミド、N-m-メチルフェニルマレイミド、N-p-メチルフェニルマレイミド、N-o-メトキシフェニルマレイミド、N-m-メトキシフェニルマレイミド、N-p-メトキシフェニルマレイミド等の芳香族置換マレイミド類;シクロヘキシルマレイミド、メチルマレイミド、エチルマレイミド、プロピルマレイミド、イソプロピルマレイミド等のアルキル置換マレイミド類等が挙げられる。なかでも好ましくは、マレイミド、ベンジルマレイミド、フェニルマレイミド、シクロヘキシルマレイミドであり、より好ましくはベンジルマレイミド、フェニルマレイミド、シクロヘキシルマレイミドであり、さらに好ましくはベンジルマレイミドである。上記モノマーは、単独で、または2種以上組み合わせて用いてもよい。 The structural unit (II) having a ring structure in its main chain can be composed of the monomer (ii) having a ring structure in its main chain. Monomer (ii) having a ring structure in the main chain includes, for example, maleimide, benzylmaleimide, phenylmaleimide, naphthylmaleimide, No-hydroxyphenylmaleimide, Nm-hydroxyphenylmaleimide, Np-hydroxyphenylmaleimide. , No-chlorophenylmaleimide, Nm-chlorophenylmaleimide, Np-chlorophenylmaleimide, No-methylphenylmaleimide, Nm-methylphenylmaleimide, Np-methylphenylmaleimide, No- Aromatic-substituted maleimides such as methoxyphenylmaleimide, Nm-methoxyphenylmaleimide and Np-methoxyphenylmaleimide; alkyl-substituted maleimides such as cyclohexylmaleimide, methylmaleimide, ethylmaleimide, propylmaleimide and isopropylmaleimide; be done. Of these, maleimide, benzylmaleimide, phenylmaleimide and cyclohexylmaleimide are preferred, benzylmaleimide, phenylmaleimide and cyclohexylmaleimide are more preferred, and benzylmaleimide is even more preferred. The above monomers may be used alone or in combination of two or more.
主鎖に環構造を有する構成単位(II)を構成するモノマーとして、分子内環化工程によって環構造を形成し得るモノマー(ii’)を用いてもよい。モノマー(ii’)によれば、一般式(4)~(7)で表される構成単位が形成される。モノマー(ii’)としては、例えば、一般式(8)または(9)で表される1,6-ジエン類が挙げられる。
主鎖に環構造を有する構成単位(II)の含有割合は、アルカリ可溶性樹脂100重量部に対して、好ましくは5重量部~50重量部であり、より好ましくは8重量部~30重量部であり、さらに好ましくは10重量部~25重量部である。 The content of the structural unit (II) having a ring structure in the main chain is preferably 5 parts by weight to 50 parts by weight, more preferably 8 parts by weight to 30 parts by weight, with respect to 100 parts by weight of the alkali-soluble resin. and more preferably 10 to 25 parts by weight.
アルカリ可溶性樹脂を形成する上記モノマー組成物中、主鎖に環構造を有するモノマー(ii)の含有割合は、モノマー組成物中の全モノマー100重量部に対して、好ましくは5重量部~50重量部であり、より好ましくは8重量部~30重量部であり、さらに好ましくは10重量部~25重量部である。また、アルカリ可溶性樹脂を形成する上記モノマー組成物中、環構造を形成し得るモノマー(ii’)の含有割合は、モノマー組成物中の全モノマー100重量部に対して、好ましくは5重量部~50重量部であり、より好ましくは8重量部~30重量部であり、さらに好ましくは10重量部~25重量部である。 In the monomer composition forming the alkali-soluble resin, the content of the monomer (ii) having a ring structure in the main chain is preferably 5 parts by weight to 50 parts by weight with respect to 100 parts by weight of all the monomers in the monomer composition. parts, more preferably 8 to 30 parts by weight, still more preferably 10 to 25 parts by weight. Further, the content of the monomer (ii') capable of forming a ring structure in the monomer composition forming the alkali-soluble resin is preferably from 5 parts by weight to 100 parts by weight of the total monomers in the monomer composition. 50 parts by weight, more preferably 8 to 30 parts by weight, still more preferably 10 to 25 parts by weight.
B-4.その他の構成単位(III)
上記アルカリ可溶性樹脂は、その他の構成単位(III)をさらに有していてもよい。その他の構成単位としては、側鎖に2以上のオキシアルキレン基を有する構成単位(III-1);側鎖にビフェニル基を有する構成単位(III-2);上記モノマー(i)、モノマー(i’)、モノマー(ii)、モノマー(ii’)のいずれかと重合可能なその他のモノマー(iii-3)由来の構成単位(III-3)等が挙げられる。
B-4. Other structural units (III)
The alkali-soluble resin may further have another structural unit (III). Other structural units include a structural unit (III-1) having two or more oxyalkylene groups in a side chain; a structural unit (III-2) having a biphenyl group in a side chain; '), monomer (ii), structural unit (III-3) derived from other monomer (iii-3) polymerizable with any of monomer (ii'), and the like.
(側鎖に2以上のオキシアルキレン基を有する構成単位(III-1))
上記アルカリ可溶性樹脂が、側鎖に2以上のオキシアルキレン基を有する構成単位(III-1)を有することにより、架橋密度が高く、破壊強度が高い成形体を形成し得る感光性樹脂組成物を得ることができる。また、色材分散性に特に優れる感光性樹脂組成物を得ることができる。
(Structural unit (III-1) having two or more oxyalkylene groups in side chains)
The alkali-soluble resin has a structural unit (III-1) having two or more oxyalkylene groups in the side chain, thereby forming a photosensitive resin composition having a high crosslink density and a high breaking strength. Obtainable. Moreover, a photosensitive resin composition having particularly excellent colorant dispersibility can be obtained.
側鎖に2以上のオキシアルキレン基を有する構成単位(III-1)としては、例えば、一般式(10)で表される構成単位が挙げられる。
側鎖に2以上のオキシアルキレン基を有する構成単位(III-1)は、側鎖に2以上のオキシアルキレン基を有するモノマー(iii-1)により構成される。モノマー(iii-1)としては、例えば、エトキシ化o-フェニルフェノール(メタ)アクリレート(EO2モル)、フェノキシジエチレングリコール(メタ)アクリレート、フェノキシポリエチレングリコール(メタ)アクリレート(EO4モル)、メトキシポリエチレングリコール(メタ)アクリレート(EO9モル)、メトキシポリエチレングリコール(メタ)アクリレート(EO13モル)、メトキシトリエチレングリコール(メタ)アクリレート、エトキシジエチレングリコール(メタ)アクリレート、ブトキシジエチレングリコール(メタ)アクリレート、2-エチルヘキシルジエチレングリコール(メタ)アクリレート、メトキシジプロピレングリコール(メタ)アクリレート、メトキシポリプロピレングリコール(メタ)アクリレート、ノニルフェノキシポリエチレングリコール(メタ)アクリレート(EO4―17モル)、ノニルフェノキシポリプロピレングリコール(メタ)アクリレート(PO5モル)、EO変性クレゾール(メタ)アクリレート(EO2モル)等が挙げられる。これらのモノマーは、単独で、または2種以上組み合わせて用いてもよい。なお、本明細書において、例えば「EO2モル」、「PO5モル」等の表記は、オキシアルキレン基の平均付加モル数を表す。 The structural unit (III-1) having two or more oxyalkylene groups in its side chain is composed of the monomer (iii-1) having two or more oxyalkylene groups in its side chain. Examples of the monomer (iii-1) include ethoxylated o-phenylphenol (meth)acrylate (2 mol of EO), phenoxydiethylene glycol (meth)acrylate, phenoxypolyethylene glycol (meth)acrylate (4 mol of EO), methoxypolyethylene glycol (meth)acrylate (4 mol of EO), ) acrylate (9 mol of EO), methoxypolyethylene glycol (meth)acrylate (13 mol of EO), methoxytriethylene glycol (meth) acrylate, ethoxydiethylene glycol (meth) acrylate, butoxydiethylene glycol (meth) acrylate, 2-ethylhexyl diethylene glycol (meth) acrylate , methoxy dipropylene glycol (meth) acrylate, methoxy polypropylene glycol (meth) acrylate, nonylphenoxy polyethylene glycol (meth) acrylate (EO4-17 mol), nonylphenoxy polypropylene glycol (meth) acrylate (PO5 mol), EO-modified cresol ( meth)acrylate (2 mol of EO) and the like. These monomers may be used alone or in combination of two or more. In the present specification, notations such as "EO 2 mol" and "PO 5 mol" represent the average number of added moles of oxyalkylene groups.
(側鎖にビフェニル基を有する構成単位(III-2))
上記アルカリ可溶性樹脂が、側鎖にビフェニル基を有する構成単位(A)を有することにより、色材の分散安定性に優れる感光性樹脂組成物を得ることができる。また、側鎖にビフェニル基を有する構成単位(A)を有するアルカリ可溶性樹脂を用いれば、現像速度に優れる感光性樹脂組成物を得ることができる。
(Structural unit (III-2) having a biphenyl group in the side chain)
When the alkali-soluble resin has a structural unit (A) having a biphenyl group in its side chain, it is possible to obtain a photosensitive resin composition having excellent dispersion stability of the coloring material. Moreover, by using an alkali-soluble resin having a structural unit (A) having a biphenyl group in its side chain, a photosensitive resin composition having excellent development speed can be obtained.
好ましくは、側鎖にビフェニル基を有する構成単位(III-2)は、(メタ)アクリル系モノマー由来の構成単位である。 Preferably, the structural unit (III-2) having a biphenyl group in its side chain is a structural unit derived from a (meth)acrylic monomer.
側鎖にビフェニル基を有する構成単位(III-2)としては、例えば、ビフェニル(メタ)アクリレート、o-ビフェニルオキシエチル(メタ)アクリレート(エトキシ化o-フェニルフェノール(メタ)アクリレート)、o-ビフェニルオキシエトキシエチル(メタ)アクリレート、m-ビフェニルオキシエチルアクリレート、p-ビフェニルオキシエチル(メタ)アクリレート、o-ビフェニルオキシ-2-ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、p-ビフェニルオキシ-2-ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、m-ビフェニルオキシ-2-ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、N-(メタ)アクリロイルオキシエチル-o-ビフェニル=カルバマート、N-(メタ)アクリロイルオキシエチル-p-ビフェニル=カルバマート、N-(メタ)アクリロイルオキシエチル-m-ビフェニル=カルバマート、o-フェニルフェノールグリシジルエーテルアクリレート、o-ビフェニルオキシプロピル(メタ)アクリレート等の側鎖にビフェニル基を有するモノマー(iii-2)由来の構成単位が挙げられる。なかでも好ましくは、アクリル系モノマー由来の構成単位である。二重結合部分にメチル基を有さないアクリル系モノマーを用いれば、現像速度が速い感光性樹脂組成物の材料となり得る感光性樹脂を得ることができる。1つの実施形態において、側鎖にビフェニル基を有する構成単位(III-2)は、一般式(11)または(12)で表されるモノマー(iii-2)由来の構成単位である。より好ましくは、側鎖にビフェニル基を有する構成単位(III-2)は、一般式(12)で表されるモノマー(iii-2)由来の構成単位である。なお、上記モノマーは、単独で、または2種以上組み合わせて用いてもよい。
(その他のモノマー(iii-3)由来の構成単位(III-3))
上記その他のモノマー(iii-3)由来の構成単位(III-3)は、例えば、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、n-プロピル(メタ)アクリレート、イソプロピル(メタ)アクリレート、n-ブチル(メタ)アクリレート、イソブチル(メタ)アクリレート、t-ブチル(メタ)アクリレート、2-エチルヘキシル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレート、ステアリル(メタ)アクリレート、フェニル(メタ)アクリレート、メトキシエチル(メタ)アクリレート、エトキシエチル(メタ)アクリレート、ブトキシエチレングリコール(メタ)アクリレート、2-エチルヘキシルエチレングリコール(メタ)アクリレート、メトキシプロピレングリコール(メタ)アクリレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレート、ビフェノキシエチル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニル(メタ)アクリレート、トリシクロデシル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニルオキシエチル(メタ)アクリレート、トリシクロデシルオキシエチル(メタ)アクリレート、ノニルフェノキシエチレングリコール(メタ)アクリレート、ノニルフェノキシプロピレングリコール、ベンジル(メタ)アクリレート、2-ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート等の(メタ)アクリル酸エステル類、(メタ)アクリロイルモルホリン(モルホリノ(メタ)アクリレート)、(メタ)アクリルアミド、N-メチル(メタ)アクリルアミド、N-イソプロピル(メタ)アクリルアミド、N-ブチル(メタ)アクリルアミド、N-イソブチル(メタ)アクリルアミド、N-t-ブチル(メタ)アクリルアミド、N-t-オクチル(メタ)アクリルアミド、ダイアセトン(メタ)アクリルアミド、N-ヒドロキシメチル(メタ)アクリルアミド、N-ヒドロキシエチル(メタ)アクリルアミド、N-シクロヘキシル(メタ)アクリルアミド、N-フェニル(メタ)アクリルアミド、N-ベンジル(メタ)アクリルアミド、N-トリフェニルメチル(メタ)アクリルアミド、N,N-ジメチル(メタ)アクリルアミド等の(メタ)アクリル酸アミド類、スチレン、ビニルトルエン、α-メチルスチレン等の芳香族ビニル化合物、ブタジエン、イソプレン等のブタジエンまたは置換ブタジエン化合物、エチレン、プロピレン、塩化ビニル、アクリロニトリル等のエチレンまたは置換エチレン化合物;酢酸ビニル等のビニルエステル類等のモノマー(iii-3)由来の構成単位が挙げられる。これらのモノマーは、単独で、または2種以上組み合わせて用いてもよい。
(Structural unit (III-3) derived from other monomer (iii-3))
Structural units (III-3) derived from the other monomer (iii-3) are, for example, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, n-propyl (meth) acrylate, isopropyl (meth) acrylate, n- Butyl (meth)acrylate, isobutyl (meth)acrylate, t-butyl (meth)acrylate, 2-ethylhexyl (meth)acrylate, cyclohexyl (meth)acrylate, lauryl (meth)acrylate, stearyl (meth)acrylate, phenyl (meth)acrylate acrylate, methoxyethyl (meth)acrylate, ethoxyethyl (meth)acrylate, butoxyethylene glycol (meth)acrylate, 2-ethylhexylethylene glycol (meth)acrylate, methoxypropylene glycol (meth)acrylate, phenoxyethyl (meth)acrylate, vinyl Phenoxyethyl (meth)acrylate, dicyclopentanyl (meth)acrylate, tricyclodecyl (meth)acrylate, dicyclopentanyloxyethyl (meth)acrylate, tricyclodecyloxyethyl (meth)acrylate, nonylphenoxyethylene glycol ( (Meth)acrylates, nonylphenoxypropylene glycol, benzyl (meth)acrylate, 2-hydroxyethyl (meth)acrylate and other (meth)acrylates, (meth)acryloylmorpholine (morpholino (meth)acrylate), (meth)acrylamide , N-methyl (meth)acrylamide, N-isopropyl (meth)acrylamide, N-butyl (meth)acrylamide, N-isobutyl (meth)acrylamide, Nt-butyl (meth)acrylamide, Nt-octyl (meth) ) acrylamide, diacetone (meth)acrylamide, N-hydroxymethyl (meth)acrylamide, N-hydroxyethyl (meth)acrylamide, N-cyclohexyl (meth)acrylamide, N-phenyl (meth)acrylamide, N-benzyl (meth) (Meth)acrylic acid amides such as acrylamide, N-triphenylmethyl (meth)acrylamide, N,N-dimethyl(meth)acrylamide, aromatic vinyl compounds such as styrene, vinyltoluene, α-methylstyrene, butadiene, isoprene ethylene or substituted ethylene compounds such as butadiene or substituted butadiene compounds such as ethylene, propylene, vinyl chloride and acrylonitrile; and structural units derived from monomers (iii-3) such as vinyl esters such as vinyl acetate. These monomers may be used alone or in combination of two or more.
上記構成単位(III)の含有割合は、アルカリ可溶性樹脂100重量部に対して、好ましくは85重量部以下であり、より好ましくは70重量部以下であり、さらに好ましくは5重量部~55重量部である。 The content of the structural unit (III) is preferably 85 parts by weight or less, more preferably 70 parts by weight or less, and still more preferably 5 parts by weight to 55 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the alkali-soluble resin. is.
B-5.アルカリ可溶性樹脂の重合
上記のとおり、上記アルカリ可溶性樹脂は、上記モノマーを含むモノマー組成物を重合して重合体Xを形成し、さらに、重合体Xが有する酸基(モノマー(i)由来の酸基)の一部を反応点として、重合体Xにアクリレート基を有する化合物(a)を付加することにより得ることができる。重合方法としては、例えば、溶液重合法が挙げられる。
B-5. Polymerization of Alkali-Soluble Resin As described above, the alkali-soluble resin polymerizes the monomer composition containing the monomer to form the polymer X, and furthermore, the acid group possessed by the polymer X (the acid derived from the monomer (i) group) can be obtained by adding the compound (a) having an acrylate group to the polymer X using a part of the group) as a reaction point. Examples of the polymerization method include a solution polymerization method.
上記モノマー組成物は、任意の適切な溶媒を含み得る。溶媒としては、例えば、テトラヒドロフラン、ジオキサン、エチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル等のエーテル類;アセトン、メチルエチルケトン等のケトン類;酢酸エチル、酢酸ブチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、3-メトキシブチルアセテート等のエステル類;メタノール、エタノール等のアルコール類;トルエン、キシレン、エチルベンゼン等の芳香族炭化水素類;クロロホルム;ジメチルスルホキシド等が挙げられる。これらの溶媒は、単独で、または2種以上組み合わせて用いてもよい。上記モノマー組成物を重合する際の重合濃度は、好ましくは5重量%~90重量%であり、より好ましくは5重量%~50重量%であり、さらに好ましくは10重量%~50重量%である。 The monomer composition may contain any suitable solvent. Examples of solvents include ethers such as tetrahydrofuran, dioxane, ethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, and propylene glycol monomethyl ether; ketones such as acetone and methyl ethyl ketone; ethyl acetate, butyl acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, and 3-methoxybutyl. esters such as acetate; alcohols such as methanol and ethanol; aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene and ethylbenzene; chloroform; These solvents may be used alone or in combination of two or more. The polymerization concentration when polymerizing the monomer composition is preferably 5% to 90% by weight, more preferably 5% to 50% by weight, and still more preferably 10% to 50% by weight. .
上記モノマー組成物は、任意の適切な重合開始剤を含み得る。重合開始剤としては、例えば、クメンハイドロパーオキサイド、ジイソプロピルベンゼンハイドロパーオキサイド、ジ-t-ブチルパーオキサイド、ラウロイルパーオキサイド、ベンゾイルパーオキサイド、t-ブチルパーオキシイソプロピルカーボネート、t-アミルパーオキシ-2-エチルヘキサノエート、t-ブチルパーオキシ-2-エチルヘキサノエート等の有機過酸化物;2,2’-アゾビス(イソブチロニトリル)、1,1’-アゾビス(シクロヘキサンカルボニトリル)、2,2’-アゾビス(2,4-ジメチルバレロニトリル)、ジメチル2,2’-アゾビス(2-メチルプロピオネート)等のアゾ化合物等が挙げられる。重合開始剤の含有割合は、モノマー組成物中の全モノマー100重量部に対して、好ましくは0.1重量部~15重量部、より好ましくは0.2重量部~10重量部である。 The monomer composition may contain any suitable polymerization initiator. Examples of polymerization initiators include cumene hydroperoxide, diisopropylbenzene hydroperoxide, di-t-butyl peroxide, lauroyl peroxide, benzoyl peroxide, t-butylperoxyisopropyl carbonate, t-amylperoxy-2. -organic peroxides such as ethylhexanoate and t-butylperoxy-2-ethylhexanoate; 2,2'-azobis(isobutyronitrile), 1,1'-azobis(cyclohexanecarbonitrile), azo compounds such as 2,2'-azobis(2,4-dimethylvaleronitrile) and dimethyl 2,2'-azobis(2-methylpropionate); The content of the polymerization initiator is preferably 0.1 to 15 parts by weight, more preferably 0.2 to 10 parts by weight, based on 100 parts by weight of all the monomers in the monomer composition.
上記モノマー組成物は、任意の適切な連鎖移動剤を含み得る。連鎖移動剤としては、例えば、n-ドデシルメルカプタン、β―メルカプトプロピオン酸等の単官能チオール化合物;両末端メルカプト変性ポリシロキサン等の2官能チオール化合物;側鎖がメルカプト変性された側鎖多官能メルカプト変性ポリシロキサン等が挙げられる。連鎖移動剤の含有割合は、モノマー組成物中の全モノマー100重量部に対して、好ましくは0.1重量部~15重量部、より好ましくは0.5重量部~10重量部である。 The monomer composition may contain any suitable chain transfer agent. Examples of chain transfer agents include monofunctional thiol compounds such as n-dodecylmercaptan and β-mercaptopropionic acid; bifunctional thiol compounds such as mercapto-modified polysiloxane at both ends; side chain polyfunctional mercapto whose side chains are mercapto-modified. modified polysiloxane and the like. The content of the chain transfer agent is preferably 0.1 to 15 parts by weight, more preferably 0.5 to 10 parts by weight, based on 100 parts by weight of all the monomers in the monomer composition.
上記モノマー組成物を重合した後、得られた重合体Xに上記アクリレート基を有する化合物(a)を付加する。アクリレート基を有する化合物(a)を付加する方法としては、任意の適切な方法が採用され得る。例えば、重合禁止剤および触媒の存在下で、アクリレート基を有する化合物を、側鎖に酸基を有する構成単位(I)の酸基の一部に反応させて付加することにより、側鎖にアクリレート基を有する構成単位(A)を形成させることができる。 After polymerizing the monomer composition, the compound (a) having an acrylate group is added to the obtained polymer X. Any appropriate method can be adopted as a method for adding the compound (a) having an acrylate group. For example, in the presence of a polymerization inhibitor and a catalyst, a compound having an acrylate group is reacted with a portion of the acid group of the structural unit (I) having an acid group in the side chain to add the acrylate to the side chain. A structural unit (A) having a group can be formed.
重合禁止剤としては、例えば、6-tert-ブチル-2,4-キシレノール等のアルキルフェノール化合物が挙げられる。触媒としては、例えば、ジメチルベンジルアミン、トリエチルアミン等の3級アミンが挙げられる。 Examples of polymerization inhibitors include alkylphenol compounds such as 6-tert-butyl-2,4-xylenol. Examples of catalysts include tertiary amines such as dimethylbenzylamine and triethylamine.
上記アルカリ可溶性樹脂を溶液重合法により重合する際の重合温度は、好ましくは40℃~150℃であり、より好ましくは60℃~130℃である。 The polymerization temperature for polymerizing the alkali-soluble resin by a solution polymerization method is preferably 40°C to 150°C, more preferably 60°C to 130°C.
上記アルカリ可溶性樹脂は、ランダム共重合体であってもよく、ブロック共重合体であってもよい。 The alkali-soluble resin may be a random copolymer or a block copolymer.
上記アルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量は、好ましくはテトラヒドロフラン(THF)溶媒によるゲル・パーミエーション・クロマトグラフ法(GPC)で測定した値が、好ましくは3,000~200,000であり、より好ましくは4,000~100,000であり、さらに好ましくは5,000~50,000である。このような範囲であれば、耐熱性を確保し、かつ、塗膜形成に適切な粘度を有する感光性樹脂組成物を得ることができる。 The weight average molecular weight of the alkali-soluble resin is preferably 3,000 to 200,000, more preferably measured by gel permeation chromatography (GPC) using tetrahydrofuran (THF) solvent. 4,000 to 100,000, more preferably 5,000 to 50,000. Within such a range, it is possible to obtain a photosensitive resin composition that ensures heat resistance and has a viscosity suitable for coating film formation.
上記アルカリ可溶性樹脂の酸価は、好ましくは20mgKOH/g~300mgKOH/gであり、より好ましくは25mgKOH/g~200mgKOH/gであり、さらに好ましくは30mgKOH/g~150mgKOH/gである。このような範囲であれば、アルカリ現像性に優れ、現像残渣の発生が少なく、かつ、密着性に優れる成形体を形成し得る感光性樹脂組成物を得ることができる。 The acid value of the alkali-soluble resin is preferably 20 mgKOH/g to 300 mgKOH/g, more preferably 25 mgKOH/g to 200 mgKOH/g, still more preferably 30 mgKOH/g to 150 mgKOH/g. Within such a range, it is possible to obtain a photosensitive resin composition that is excellent in alkali developability, produces little development residue, and is capable of forming a molded article that is excellent in adhesion.
本発明の感光性樹脂組成物中におけるアルカリ可溶性樹脂の含有量としては、該組成物の全固形分に対して、1重量%~50重量%が好ましく、より好ましくは5重量%~40重量%である。 The content of the alkali-soluble resin in the photosensitive resin composition of the present invention is preferably 1% by weight to 50% by weight, more preferably 5% by weight to 40% by weight, based on the total solid content of the composition. is.
C.色材
1つの実施形態においては、色材として、顔料が用いられる。顔料としては、任意の適切な顔料が用いられ得る。顔料は、有機顔料であってもよく、無機顔料であってもよい。有機顔料としては、例えば、アゾ系顔料、フタロシアニン系顔料、多環式顔料(キナクリドン系、ペリレン系、ペリノン系、イソインドリノン系、イソインドリン系、ジオキサジン系、チオインジゴ系、アントラキノン系、キノフタロン系、金属錯体系、ジケトピロロピロール系等)、染料レーキ系顔料等が挙げられる。無機顔料としては、例えば、白色・体質顔料(酸化チタン、酸化亜鉛、硫化亜鉛、クレー、タルク、硫酸バリウム、炭酸カルシウム等)、有彩顔料(黄鉛、カドミニウム系、クロムバーミリオン、ニッケルチタン、クロムチタン、黄色酸化鉄、ベンガラ、ジンククロメート、鉛丹、群青、紺青、コバルトブルー、クロムグリーン、酸化クロム、バナジン酸ビスマス等)、黒色顔料(カーボンブラック、ボーンブラック、グラファイト、鉄黒、チタンブラック等)、光輝材顔料(パール顔料、アルミ顔料、ブロンズ顔料等)、蛍光顔料(硫化亜鉛、硫化ストロンチウム、アルミン酸ストロンチウム等)等が挙げられる。顔料は、目的、用途に応じて、ロジン処理、界面活性剤処理、樹脂系分散剤処理、顔料誘導体処理、酸化皮膜処理、シリカコーティング、ワックスコーティングなどの表面処理がなされていてもよい。
C. Colorant In one embodiment, a pigment is used as the colorant. Any appropriate pigment can be used as the pigment. The pigment may be an organic pigment or an inorganic pigment. Examples of organic pigments include azo-based pigments, phthalocyanine-based pigments, polycyclic pigments (quinacridone-based, perylene-based, perinone-based, isoindolinone-based, isoindoline-based, dioxazine-based, thioindigo-based, anthraquinone-based, quinophthalone-based, metal complex-based, diketopyrrolopyrrole-based, etc.), dye lake-based pigments, and the like. Examples of inorganic pigments include white and extender pigments (titanium oxide, zinc oxide, zinc sulfide, clay, talc, barium sulfate, calcium carbonate, etc.), chromatic pigments (yellow, cadmium-based, chromium vermilion, nickel-titanium, Chrome titanium, yellow iron oxide, red iron oxide, zinc chromate, red lead, ultramarine blue, Prussian blue, cobalt blue, chrome green, chromium oxide, bismuth vanadate, etc.), black pigments (carbon black, bone black, graphite, iron black, titanium black) etc.), luster pigments (pearl pigments, aluminum pigments, bronze pigments, etc.), fluorescent pigments (zinc sulfide, strontium sulfide, strontium aluminate, etc.), and the like. The pigment may be subjected to surface treatments such as rosin treatment, surfactant treatment, resin-based dispersant treatment, pigment derivative treatment, oxide film treatment, silica coating, and wax coating, depending on the purpose and application.
顔料の数平均1次粒径は、顔料の種類に応じて、任意の適切な粒径とし得る。顔料の数平均1次粒径は、好ましくは100nm以下であり、より好ましくは50nm以下である。顔料の数平均1次粒径の下限は、例えば、10nmである。本発明においては、上記アルカリ可溶性樹脂を含有させることにより、顔料分散性が向上し、粒径の小さい顔料を使用することが可能となる。 The number average primary particle size of the pigment can be any appropriate particle size depending on the type of pigment. The number average primary particle size of the pigment is preferably 100 nm or less, more preferably 50 nm or less. The lower limit of the number average primary particle size of the pigment is, for example, 10 nm. In the present invention, by including the alkali-soluble resin, the dispersibility of the pigment is improved, making it possible to use a pigment with a small particle size.
感光性樹脂組成物を調製した直後の顔料の数平均2次粒径(初期粒径)は、好ましくは200nm以下であり、より好ましくは150nm以下であり、さらに好ましくは120nm以下であり、特に好ましくは100nm以下である。なお、粒径は動的光散乱式粒径分布測定装置を用いて測定することができる。 The number average secondary particle size (initial particle size) of the pigment immediately after preparing the photosensitive resin composition is preferably 200 nm or less, more preferably 150 nm or less, still more preferably 120 nm or less, and particularly preferably is 100 nm or less. The particle size can be measured using a dynamic light scattering particle size distribution analyzer.
感光性樹脂組成物を調製し、40℃の環境下で7日間経過した後の顔料の数平均2次粒径の上記初期粒径に対する変化率(7日経過後の粒径/初期粒径)は、好ましくは150%以下であり、より好ましくは130%以下であり、さらに好ましくは110%以下であり、特に好ましくは105%以下であり、最も好ましくは100%未満である。該変化率の下限は、例えば、90%である。本発明においては、顔料分散の安定性に優れ、経時における顔料の凝集を効果的に抑制することができる。 A photosensitive resin composition was prepared, and after 7 days in an environment at 40°C, the rate of change of the number average secondary particle size of the pigment with respect to the initial particle size (particle size after 7 days/initial particle size) was , preferably 150% or less, more preferably 130% or less, still more preferably 110% or less, particularly preferably 105% or less, and most preferably less than 100%. The lower limit of the rate of change is, for example, 90%. In the present invention, the stability of pigment dispersion is excellent, and aggregation of pigment over time can be effectively suppressed.
顔料の含有割合は、感光性樹脂組成物中のアルカリ可溶性樹脂100重量部に対して、好ましくは5重量部~500重量部であり、より好ましくは8重量部~200重量部である。 The content of the pigment is preferably 5 parts by weight to 500 parts by weight, more preferably 8 parts by weight to 200 parts by weight, with respect to 100 parts by weight of the alkali-soluble resin in the photosensitive resin composition.
別の実施形態においては、色材として染料が用いられる。染料としては、例えば、アゾ系染料、アントラキノン系染料、フタロシアニン系染料、キノンイミン系染料、キノリン系染料、ニトロ系染料、カルボニル系染料、メチン系染料等が挙げられる。 In another embodiment, a dye is used as the colorant. Examples of dyes include azo dyes, anthraquinone dyes, phthalocyanine dyes, quinoneimine dyes, quinoline dyes, nitro dyes, carbonyl dyes, and methine dyes.
染料の含有割合は、感光性樹脂組成物中のアルカリ可溶性樹脂100重量部に対して、好ましくは20重量部~500重量部であり、より好ましくは30重量部~200重量部である。 The content of the dye is preferably 20 to 500 parts by weight, more preferably 30 to 200 parts by weight, per 100 parts by weight of the alkali-soluble resin in the photosensitive resin composition.
上記顔料と染料を併用してもよい、この場合、顔料および染料の合計含有割合(色材の含有割合)は、感光性樹脂組成物中のアルカリ可溶性樹脂100重量部に対して、好ましくは20重量部~500重量部であり、より好ましくは40重量部~200重量部である。 The pigment and the dye may be used in combination. In this case, the total content of the pigment and the dye (the content of the coloring material) is preferably 20 parts per 100 parts by weight of the alkali-soluble resin in the photosensitive resin composition. It is from 40 parts by weight to 500 parts by weight, more preferably from 40 parts by weight to 200 parts by weight.
D.多官能モノマー
本発明の感光性樹脂組成物は、多官能モノマーを含み得る。多官能モノマーとしては、例えば、ジビニルベンゼン、ジアリルフタレート、ジアリルベンゼンホスホネート等の多官能芳香族ビニル系モノマー;(ジ)エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールヘプタ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールオクタ(メタ)アクリレート、トリス(ヒドロキシエチル)イソシアヌレートのトリ(メタ)アクリレート等の多官能(メタ)アクリレート類;これらのモノマーをカプロラクトン変性またはアルキレンオキサイド変性した多官能モノマー等が挙げられる。なかでも好ましくは、ジペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールヘプタ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールオクタ(メタ)アクリレート、トリス(ヒドロキシエチル)イソシアヌレートのトリ(メタ)アクリレート等が好ましい。これらの多官能モノマーを用いれば、官能基数が多いので架橋密度の高い成形体を得ることができる。本発明では、上記のとおりオキシアルキレン基を有するバインダーポリマーが用いられる一方、上記多官能モノマーについては、オキシアルキレン基を有していてもよく、有していなくてもよい。好ましくは、オキシアルキレン基を有さない多官能モノマーが用いられる。
D. Polyfunctional Monomer The photosensitive resin composition of the present invention may contain a polyfunctional monomer. Examples of polyfunctional monomers include polyfunctional aromatic vinyl-based monomers such as divinylbenzene, diallyl phthalate, and diallylbenzene phosphonate; (di)ethylene glycol di(meth)acrylate, propylene glycol di(meth)acrylate, trimethylolpropane (Meth)acrylates, trimethylolpropane tri(meth)acrylate, pentaerythritol di(meth)acrylate, pentaerythritol tri(meth)acrylate, pentaerythritol tetra(meth)acrylate, dipentaerythritol di(meth)acrylate, dipentaerythritol Tri(meth)acrylate, dipentaerythritol tetra(meth)acrylate, dipentaerythritol penta(meth)acrylate, dipentaerythritol hexa(meth)acrylate, tripentaerythritol di(meth)acrylate, tripentaerythritol tri(meth)acrylate , tripentaerythritol tetra(meth)acrylate, tripentaerythritol penta(meth)acrylate, tripentaerythritol hexa(meth)acrylate, tripentaerythritol hepta(meth)acrylate, tripentaerythritol octa(meth)acrylate, tris(hydroxyethyl) ) polyfunctional (meth)acrylates such as isocyanurate tri(meth)acrylate; and polyfunctional monomers obtained by modifying these monomers with caprolactone or alkylene oxide. Among these, dipentaerythritol tetra(meth)acrylate, dipentaerythritol penta(meth)acrylate, dipentaerythritol hexa(meth)acrylate, tripentaerythritol hepta(meth)acrylate, tripentaerythritol octa(meth)acrylate, Tri(meth)acrylate of tris(hydroxyethyl)isocyanurate and the like are preferred. By using these polyfunctional monomers, it is possible to obtain a molded article with a high cross-linking density due to the large number of functional groups. In the present invention, a binder polymer having an oxyalkylene group is used as described above, while the polyfunctional monomer may or may not have an oxyalkylene group. Preferably, polyfunctional monomers having no oxyalkylene groups are used.
上記多官能モノマーの含有割合は、感光性樹脂組成物中のアルカリ可溶性樹脂100重量部に対して、好ましくは5重量部~200重量部であり、より好ましくは10重量部~150重量部であり、さらに好ましくは30重量部~120重量部であり、特に好ましくは35重量部~100重量部である。 The content of the polyfunctional monomer is preferably 5 parts by weight to 200 parts by weight, more preferably 10 parts by weight to 150 parts by weight, with respect to 100 parts by weight of the alkali-soluble resin in the photosensitive resin composition. , more preferably 30 to 120 parts by weight, and particularly preferably 35 to 100 parts by weight.
E.光重合開始剤
上記光重合開始剤としては、任意の適切な光重合開始剤が用いられ得る。代表的には、ラジカル光重合開始剤が用いられる。光重合開始剤としては、例えば、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル等のベンゾインとそのアルキルエーテル類;アセトフェノン、2,2-ジメトキシ-2-フェニルアセトフェノン、1,1-ジクロロアセトフェノン等のアセトフェノン類;2-メチルアントラキノン、2-アミルアントラキノン、2-t-ブチルアントラキノン、1-クロロアントラキノン等のアントラキノン類;2,4-ジメチルチオキサントン、2,4-ジイソプロピルチオキサントン、2-クロロチオキサントン等のチオキサントン類;アセトフェノンジメチルケタール、ベンジルジメチルケタール等のケタール類;ベンゾフェノン等のベンゾフェノン類;2-メチル-1-[4-(メチルチオ)フェニル]-2-モルホリノ-プロパン-1-オン、2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-(4-モルホリノフェニル)-ブタノン-1等のα―アミノケトン類;2-ヒドロキシ-1-{4-[4-(2-ヒドロキシー2-メチル-プロピオニル)-ベンジル]-フェニル}-2-メチル-プロパン-1-オン等のα―ヒドロキシケトン類;1,2-オクタンジオン、1-[4-(フェニルチオ)-,2-,(O-ベンゾイルオキシム)]、エタノン、1-[9-エチル-6-(2-メチルベンゾイル)-9H-カルバゾール-3-イル]-,1-(O-アセチルオキシム)、IRGACUREOXE03、IRGACUREOXE04(BASF製)等のオキシム・エステル類;アシルホスフィンオキサイド類およびキサントン類等が挙げられる。これらの光重合開始剤は単独で、または2種類以上組み合わせて用いてもよい。
E. Photopolymerization Initiator Any appropriate photopolymerization initiator can be used as the photopolymerization initiator. A radical photopolymerization initiator is typically used. Examples of photopolymerization initiators include benzoin and its alkyl ethers such as benzoin, benzoin methyl ether and benzoin ethyl ether; acetophenones such as acetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone and 1,1-dichloroacetophenone; anthraquinones such as 2-methylanthraquinone, 2-amylanthraquinone, 2-t-butylanthraquinone and 1-chloroanthraquinone; thioxanthones such as 2,4-dimethylthioxanthone, 2,4-diisopropylthioxanthone and 2-chlorothioxanthone; Ketals such as acetophenone dimethyl ketal and benzyl dimethyl ketal; Benzophenones such as benzophenone; 2-methyl-1-[4-(methylthio)phenyl]-2-morpholino-propan-1-one, 2-benzyl-2-dimethyl α-aminoketones such as amino-1-(4-morpholinophenyl)-butanone-1; 2-hydroxy-1-{4-[4-(2-hydroxy-2-methyl-propionyl)-benzyl]-phenyl}- α-hydroxyketones such as 2-methyl-propan-1-one; 1,2-octanedione, 1-[4-(phenylthio)-,2-,(O-benzoyloxime)], ethanone, 1-[ 9-ethyl-6-(2-methylbenzoyl)-9H-carbazol-3-yl]-,1-(O-acetyloxime), oxime esters such as IRGACUREOXE03 and IRGACUREOXE04 (manufactured by BASF); acylphosphine oxides and xanthones. These photopolymerization initiators may be used alone or in combination of two or more.
上記光重合開始剤の含有割合は、感光性樹脂組成物中のアルカリ可溶性樹脂100重量部に対して、好ましくは5重量部~50重量部であり、より好ましくは10重量部~40重量部である。 The content of the photopolymerization initiator is preferably 5 parts by weight to 50 parts by weight, more preferably 10 parts by weight to 40 parts by weight, with respect to 100 parts by weight of the alkali-soluble resin in the photosensitive resin composition. be.
また、光重合開始剤に加えて光重合開始助剤を組み合わせて用いてもよい。光重合開始助剤を複数の組み合わせで用いることもできる。光重合開始助剤の具体例としては、1,3,5-トリス(3-メルカプトプロピオニルオキシエチル)-イソシアヌレート、1,3,5-トリス(3-メルカプトブチルオキシエチル)-イソシアヌレート(昭和電工社製、カレンズMT(登録商標)NR1)、トリメチロールプロパントリス(3-メルカプトプロピオネート等の3官能チオール化合物;ペンタエリスリトールテトラキス(3-メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3-メルカプトブチレート)(昭和電工社製、カレンズMT(登録商標)PE1)等の4官能チオール化合物;ジペンタエリスリトールヘキサキス(3-プロピオネート)等の6官能チオール化合物等の多官能チオールが挙げられる。 Further, in addition to the photopolymerization initiator, a photopolymerization initiation aid may be used in combination. Photopolymerization initiation aids can also be used in combination. Specific examples of photopolymerization initiation aids include 1,3,5-tris(3-mercaptopropionyloxyethyl)-isocyanurate and 1,3,5-tris(3-mercaptobutyloxyethyl)-isocyanurate (Showa Denko Co., Ltd., Karenz MT (registered trademark) NR1), trimethylolpropane tris (trifunctional thiol compounds such as 3-mercaptopropionate; pentaerythritol tetrakis (3-mercaptopropionate), pentaerythritol tetrakis (3-mercapto butyrate) (manufactured by Showa Denko Co., Ltd., Karenz MT (registered trademark) PE1) and other tetrafunctional thiol compounds; dipentaerythritol hexakis (3-propionate) and other hexafunctional thiol compounds.
F.溶剤
本発明の感光性樹脂組成物は、任意の適切な溶剤を含み得る。溶剤としては、例えば、テトラヒドロフラン、ジオキサン、エチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル等のエーテル類;アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類;酢酸エチル、酢酸ブチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、3-メトキシブチルアセテート等のエステル類;メタノール、エタノール、イソプロパノール、n-ブタノール、エチレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル等のアルコール類;トルエン、キシレン、エチルベンゼン等の芳香族炭化水素類;クロロホルム、ジメチルスルホキシド等が挙げられる。溶剤の量は、所望とする感光性樹脂組成物の粘度に応じて、任意の適切な量に設定され得る。例えば、溶剤は、感光性樹脂組成物中、50重量%~90重量%の割合で含まれることが好ましく、60重量%~90重量%の割合で含まれることがより好ましい。
F. Solvent The photosensitive resin composition of the present invention may contain any suitable solvent. Examples of solvents include ethers such as tetrahydrofuran, dioxane, ethylene glycol dimethyl ether and diethylene glycol dimethyl ether; ketones such as acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone and cyclohexanone; ethyl acetate, butyl acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, 3-methoxy esters such as butyl acetate; alcohols such as methanol, ethanol, isopropanol, n-butanol, ethylene glycol monomethyl ether and propylene glycol monomethyl ether; aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene and ethylbenzene; mentioned. The amount of solvent can be set to any appropriate amount depending on the desired viscosity of the photosensitive resin composition. For example, the solvent is preferably contained in a proportion of 50% to 90% by weight, more preferably 60% to 90% by weight, in the photosensitive resin composition.
G.添加剤
本発明の感光性樹脂組成物は、必要に応じて、任意の適切なその他の添加剤をさらに含み得る。その他の添加剤としては、例えば、水酸化アルミニウム、タルク、クレー、硫酸バリウム等の充填材、消泡剤、カップリング剤、レベリング剤、増感剤、離型剤、滑剤、可塑剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、難燃剤、重合抑制剤、増粘剤、有機微粒子、無機微粒子(酸化亜鉛系、酸化ケイ素系、ジルコニア系、チタン系)、シリカ等の多孔質微粒子、シリカ等の中空微粒子等が挙げられる。また、側鎖にアクリレート基を有する構成単位を含むアルカリ可溶性樹脂以外のその他樹脂を含んでいてもよい。その他の樹脂を含む場合、上記アルカリ可溶性樹脂の含有割合は、樹脂の総重量100重量部に対して、好ましくは30重量部以上であり、より好ましくは50重量部以上であり、さらに好ましくは65重量部以上であり、特に好ましくは65重量部以上100重量部未満である。
G. Additives The photosensitive resin composition of the present invention may further contain any other suitable additives as required. Other additives include, for example, aluminum hydroxide, talc, clay, fillers such as barium sulfate, antifoaming agents, coupling agents, leveling agents, sensitizers, release agents, lubricants, plasticizers, antioxidants. agent, UV absorber, flame retardant, polymerization inhibitor, thickener, organic fine particles, inorganic fine particles (zinc oxide, silicon oxide, zirconia, titanium), porous fine particles such as silica, hollow fine particles such as silica etc. Moreover, other resins than the alkali-soluble resin containing a structural unit having an acrylate group in the side chain may be included. When other resins are included, the content of the alkali-soluble resin is preferably 30 parts by weight or more, more preferably 50 parts by weight or more, and still more preferably 65 parts by weight, with respect to 100 parts by weight of the total resin. It is at least 65 parts by weight and less than 100 parts by weight.
(分散剤)
1つの実施形態においては、上記感光性樹脂組成物は、分散剤を含み得る。
(dispersant)
In one embodiment, the photosensitive resin composition may contain a dispersant.
上記分散剤としては、本発明の効果が得られる限りにおいて、任意の適切な分散剤が用いられ得る。1つの実施形態においては、上記分散剤として、アニオン性分散剤、非イオン性分散剤、カチオン性分散剤、高分子(樹脂型)分散剤等が用いられる。なかでも好ましくは、高分子(樹脂型)分散剤である。 Any appropriate dispersant can be used as the dispersant as long as the effects of the present invention can be obtained. In one embodiment, an anionic dispersant, a nonionic dispersant, a cationic dispersant, a polymer (resin type) dispersant, or the like is used as the dispersant. Among them, a polymer (resin type) dispersant is preferred.
高分子(樹脂型)分散剤の具体例としては、例えば、ポリアクリル系ポリマー、ポリエーテル系ポリマー、ポリエステル系ポリマー、ポリウレタン系ポリマー、ポリリン酸エステル系ポリマー、ポリエチレンイミン系ポリマー、ポリアリルアミン系ポリマー、アミノ基を持つモノマーとマクロモノマーとから構成されるポリマー、ポリオキシエチレンアルキルエーテル系ポリマー、ポリオキシエチレンジエステル系ポリマー、ポリエーテルリン酸系ポリマー、ポリエステルリン酸系ポリマー、ソルビタン脂肪族エステル系ポリマー、脂肪族変性ポリエステル系ポリマー等が挙げられる。また、高分子(樹脂型)分散剤として、ポリウレタン、ポリアクリレートなどのポリカルボン酸エステル、不飽和ポリアミド、ポリカルボン酸、ポリカルボン酸アミン塩、ポリカルボン酸アンモニウム塩、ポリカルボン酸アルキルアミン塩、ポリシロキサン、長鎖ポリアミノアマイドリン酸塩、水素基含有ポリカルボン酸エステル、ポリ(低級アルキレンイミン)と遊離のカルボキシル基を有するポリエステルとの反応により形成されたアミドやその塩、(メタ)アクリル酸-スチレン共重合体、(メタ)アクリル酸-(メタ)アクリル酸エステル共重合体、スチレン-マレイン酸共重合体、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、ポリエステル系、変性ポリアクリレート、エチレンオキサイド/ポリプロピレンオキサイド付加物等を用いてもよい。上記共重合体としては、ブロック共重合体が好ましく用いられる。 Specific examples of polymer (resin type) dispersants include polyacrylic polymers, polyether polymers, polyester polymers, polyurethane polymers, polyphosphate polymers, polyethyleneimine polymers, polyallylamine polymers, Polymers composed of amino group-containing monomers and macromonomers, polyoxyethylene alkyl ether-based polymers, polyoxyethylene diester-based polymers, polyether phosphate-based polymers, polyester phosphate-based polymers, sorbitan aliphatic ester-based polymers, Aliphatic-modified polyester-based polymers and the like are included. Polycarboxylic acid esters such as polyurethanes and polyacrylates, unsaturated polyamides, polycarboxylic acids, polycarboxylic acid amine salts, polycarboxylic acid ammonium salts, polycarboxylic acid alkylamine salts, as polymeric (resin type) dispersants, Polysiloxane, long-chain polyaminoamide phosphate, hydrogen group-containing polycarboxylic acid ester, amide formed by reaction of poly(lower alkyleneimine) with polyester having free carboxyl group and its salt, (meth)acrylic acid -Styrene copolymer, (meth)acrylic acid-(meth)acrylic acid ester copolymer, styrene-maleic acid copolymer, polyvinyl alcohol, polyvinylpyrrolidone, polyester, modified polyacrylate, ethylene oxide/polypropylene oxide adduct etc. may be used. A block copolymer is preferably used as the copolymer.
上記の分散剤のなかでも、アクリル系ポリマー、ブロック共重合体、ウレタン系ポリマーが好ましく用いられる。 Among the above dispersants, acrylic polymers, block copolymers, and urethane polymers are preferably used.
上記分散剤として市販品を用いてもよい。市販品の具体例としては、ビックケミー・ジャパン社製の商品名「Disperbyk-103」、「Disperbyk-108」、「Disperbyk-109」、「Disperbyk-112」、「Disperbyk-116」、「Disperbyk-130」、「Disperbyk-161」、「Disperbyk-162」、「Disperbyk-163」、「Disperbyk-164」、「Disperbyk-166」、「Disperbyk-167」、「Disperbyk-168」、「Disperbyk-170」、「Disperbyk-171」、「Disperbyk-182」、「Disperbyk-183」、「Disperbyk-185」、「Disperbyk-184」、「Disperbyk-2000」、「Disperbyk-2001」、「Disperbyk-2050」、「Disperbyk-2070」、「Disperbyk-2096」、「Disperbyk-2150」、BYK-9077」;味の素社製の商品名「アジスパーPB822」、「アジスパーPN411」;楠本化成社製の商品名「ディスパロンDA-375」、「ディスパロンED-251」;エレメンティス社製の商品名「ヌースパース657NA」;TEGO社製の商品名「TEG Disper650」、「TEG Disper652」、「TEG Disper662C」、「TEG Disper670」、「TEG Disper710」、「TEG Disper740W」、「TEG Disper752W」等が挙げられる。 A commercially available product may be used as the dispersant. Specific examples of commercially available products include trade names “Disperbyk-103”, “Disperbyk-108”, “Disperbyk-109”, “Disperbyk-112”, “Disperbyk-116”, and “Disperbyk-130” manufactured by BYK Japan. ", "Disperbyk-161", "Disperbyk-162", "Disperbyk-163", "Disperbyk-164", "Disperbyk-166", "Disperbyk-167", "Disperbyk-168", "Disperbyk-170", "Disperbyk-171", "Disperbyk-182", "Disperbyk-183", "Disperbyk-185", "Disperbyk-184", "Disperbyk-2000", "Disperbyk-2001", "Disperbyk-2050", "Disperbyk" -2070", "Disperbyk-2096", "Disperbyk-2150", BYK-9077"; trade names "Ajisper PB822" and "Ajisper PN411" manufactured by Ajinomoto Co., Ltd.; trade names "Disperlon DA-375" manufactured by Kusumoto Kasei Co., Ltd. , “Disparon ED-251”; trade name “Nuspers 657NA” manufactured by Elementis; trade names manufactured by TEGO “TEG Disper650”, “TEG Disper652”, “TEG Disper662C”, “TEG Disper670”, “TEG Disper710” , “TEG Disper740W”, “TEG Disper752W” and the like.
また、構造としては、主鎖が色材への相互作用部位を有するアンカー鎖で、グラフト鎖が分散媒への相互作用性を有する相溶性鎖であるようなグラフト構造の樹脂や、アンカー鎖と相溶性鎖がブロック構造になっている樹脂が、特に好ましく用いられる。 As for the structure, resins having a graft structure in which the main chain is an anchor chain having an interaction site with the coloring material and the graft chain is a compatible chain having interaction with the dispersion medium, or a resin with an anchor chain and A resin in which the compatible chain has a block structure is particularly preferably used.
分散剤の含有割合は、アルカリ可溶性樹脂100重量部に対して、好ましくは100重量部以下であり、より好ましくは5重量部~100重量部であり、より好ましくは5重量部~70重量部であり、さらに好ましくは5重量部~50重量部であり、特に好ましくは7重量部~40重量部である。 The content of the dispersant is preferably 100 parts by weight or less, more preferably 5 parts by weight to 100 parts by weight, and more preferably 5 parts by weight to 70 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the alkali-soluble resin. more preferably 5 to 50 parts by weight, particularly preferably 7 to 40 parts by weight.
また、分散剤の含有割合は、色材100重量部に対して、好ましくは80重量部以下であり、より好ましくは1重量部~80重量部であり、より好ましくは1重量部~50重量部であり、さらに好ましくは1重量部~30重量部である。 The content of the dispersant is preferably 80 parts by weight or less, more preferably 1 part by weight to 80 parts by weight, and more preferably 1 part by weight to 50 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the coloring material. and more preferably 1 to 30 parts by weight.
H.成形体の製造方法
本発明の成形体の製造方法は、上記感光性樹脂組成物を樹脂製の基材に塗布して塗布層を形成し、当該塗布層を硬化させ、加熱することを含む。当該加熱時の加熱温度は200℃以下である。
H. Molded Article Production Method The molded article production method of the present invention comprises applying the photosensitive resin composition to a resin substrate to form a coating layer, curing the coating layer, and heating the coating layer. The heating temperature during the heating is 200° C. or lower.
1つの実施形態においては、上記成形体は、フォトリソグラフィにより形成することができる。具体的には、上記塗布層上にフォトマスクを配置して露光して塗布層を硬化させ、その後、現像し、さらに得られた前駆成形体を加熱(ポストベーク)することにより、成形体を形成することができる。フォトリソグラフィによれば、微細なパターンにて成形体(例えば、カラーフィルター)を形成することができる。本発明の感光性樹脂組成物を用いれば、微細なパターンで形成されていても、基板の密着性に優れる成形体を得ることができる。 In one embodiment, the molded body can be formed by photolithography. Specifically, a photomask is placed on the coating layer and exposed to light to cure the coating layer, then developed, and the resulting preformed body is heated (post-baked) to obtain a molded body. can be formed. According to photolithography, a compact (for example, a color filter) can be formed with a fine pattern. By using the photosensitive resin composition of the present invention, it is possible to obtain a molded article that is excellent in adhesion to a substrate even if it is formed in a fine pattern.
上記基材としては、任意の適切な樹脂から構成される基材が用いられ得る。基材を構成する樹脂としては、例えば、ポリエチレン、ポリ塩化ビニル、ポリエチレンテレフタレート、ポリ塩化ビニリデン、ポリプロピレン、ポリビニルアルコール、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリスチレン、ポリアクリロニトリル、エチレン酢酸ビニル共重合体、エチレン-ビニルアルコール共重合体、エチレン-メタクリル酸共重合体、ポリアミド系樹脂、セルロース、シリコーン系樹脂等が挙げられる。1つの実施形態においては、基材を構成する樹脂のガラス転移温度は、100℃以下である。 As the base material, a base material composed of any appropriate resin can be used. Examples of resins constituting the base material include polyethylene, polyvinyl chloride, polyethylene terephthalate, polyvinylidene chloride, polypropylene, polyvinyl alcohol, polyester, polycarbonate, polystyrene, polyacrylonitrile, ethylene vinyl acetate copolymer, ethylene-vinyl alcohol copolymer. Polymers, ethylene-methacrylic acid copolymers, polyamide resins, cellulose, silicone resins and the like can be mentioned. In one embodiment, the glass transition temperature of the resin forming the substrate is 100° C. or lower.
1つの実施形態においては、上記アルカリ可溶性樹脂と上記色材とを含む色材分散組成物(以下、ミルベースともいう)、および上記アルカリ可溶性樹脂と上記多官能モノマーとを含むクリアレジストを混合して、上記感光性樹脂組成物が調製される。上記ミルベースは、分散剤をさらに含み得る。また、上記クリアレジストは、光重合開始剤をさらに含み得る。また、ミルベースおよび/またはクリアレジストは、任意の適切な溶剤を含み得る。 In one embodiment, a coloring material dispersion composition (hereinafter also referred to as a millbase) containing the alkali-soluble resin and the coloring material, and a clear resist containing the alkali-soluble resin and the polyfunctional monomer are mixed. , the above photosensitive resin composition is prepared. The millbase may further comprise a dispersing agent. Also, the clear resist may further contain a photopolymerization initiator. Also, the millbase and/or clear resist may contain any suitable solvent.
上記ミルベースにおいて、色材の含有割合は、ミルベース中のアルカリ可溶性樹脂100重量部に対して、好ましくは15重量部~500重量部であり、より好ましくは20重量部~400重量部であり、さらに好ましくは20重量部~350重量部である。 In the mill base, the content of the coloring material is preferably 15 parts by weight to 500 parts by weight, more preferably 20 parts by weight to 400 parts by weight, with respect to 100 parts by weight of the alkali-soluble resin in the mill base. It is preferably 20 to 350 parts by weight.
上記ミルベースにおいて、分散剤の含有割合は、ミルベース中のアルカリ可溶性樹脂100重量部に対して、好ましくは2重量部~80重量部であり、より好ましくは5重量部~60重量部であり、さらに好ましくは10重量部~50重量部である。 In the mill base, the content of the dispersant is preferably 2 parts by weight to 80 parts by weight, more preferably 5 parts by weight to 60 parts by weight, with respect to 100 parts by weight of the alkali-soluble resin in the mill base. It is preferably 10 to 50 parts by weight.
上記クリアレジストにおいて、多官能モノマーの含有割合は、クリアレジスト中のアルカリ可溶性樹脂100重量部に対して、好ましくは50重量部~400重量部であり、より好ましくは100重量部~350重量部であり、さらに好ましくは150重量部~300重量部である。 In the clear resist, the content of the polyfunctional monomer is preferably 50 parts by weight to 400 parts by weight, more preferably 100 parts by weight to 350 parts by weight, with respect to 100 parts by weight of the alkali-soluble resin in the clear resist. and more preferably 150 to 300 parts by weight.
上記クリアレジストにおいて、光重合開始剤の含有割合は、クリアレジスト中のアルカリ可溶性樹脂100重量部に対して、好ましくは5重量部~200重量部であり、より好ましくは10重量部~150重量部であり、さらに好ましくは10重量部~120重量部である。 In the clear resist, the content of the photopolymerization initiator is preferably 5 parts by weight to 200 parts by weight, more preferably 10 parts by weight to 150 parts by weight, with respect to 100 parts by weight of the alkali-soluble resin in the clear resist. and more preferably 10 to 120 parts by weight.
上記感光性樹脂組成物の塗布方法としては、例えば、スピンコーター、バーコーター、グラビアコーター、ロールコーター、ナイフコーター、アプリケーター等を用いる方法が挙げられる。乾燥温度は、好ましくは40℃~200℃であり、より好ましくは70℃~120℃である。乾燥時間は、好ましくは1分間~30分間であり、より好ましくは2分間~10分間である。 Examples of the method of applying the photosensitive resin composition include methods using a spin coater, bar coater, gravure coater, roll coater, knife coater, applicator, and the like. The drying temperature is preferably 40°C to 200°C, more preferably 70°C to 120°C. The drying time is preferably 1 minute to 30 minutes, more preferably 2 minutes to 10 minutes.
上記フォトマスクの配置位置は、所望とする成形体(例えば、カラーフィルター)のサイズに応じて、任意の適切な位置に配置される。フォトマスクは塗膜の上部に配置され、塗膜とフォトマスクとの距離は、好ましくは0μm~500μmであり、より好ましく10μm~400μmであり、さらに好ましくは20μm~300μmであり、特に好ましくは30μm~200μmである。 The photomask is arranged at any appropriate position according to the desired size of the molded body (for example, color filter). The photomask is placed on top of the coating film, and the distance between the coating film and the photomask is preferably 0 μm to 500 μm, more preferably 10 μm to 400 μm, still more preferably 20 μm to 300 μm, particularly preferably 30 μm. ~200 μm.
上記露光時のUV照射強度(365nm照度換算)は、好ましくは10mJ/cm2~200mJ/cm2であり、より好ましくは20mJ/cm2~150mJ/cm2であり、さらに好ましくは30mJ/cm2~100mJ/cm2である。 The UV irradiation intensity (converted to illuminance at 365 nm) during the exposure is preferably 10 mJ/cm 2 to 200 mJ/cm 2 , more preferably 20 mJ/cm 2 to 150 mJ/cm 2 , still more preferably 30 mJ/cm 2 . ˜100 mJ/cm 2 .
上記現像に際しては、アルカリ水溶液を用いることが好ましい。環境への負荷が少なく高感度の現像を行うことができるからである。アルカリ成分としては、例えば、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム等が用いられる。アルカリ水溶液のアルカリ濃度は、好ましくは0.01重量%~5重量%であり、より好ましくは0.02重量%~3重量%であり、さらに好ましくは0.03重量%~1重量%である。このような範囲であれば、上記感光性樹脂組成物を適切に溶解して、現像性よく成形体を形成することができる。アルカリ水溶液には界面活性剤をさらに添加してもよい。 At the time of the development, it is preferable to use an alkaline aqueous solution. This is because high-sensitivity development can be carried out with little burden on the environment. As the alkali component, for example, potassium hydroxide, sodium hydroxide, sodium carbonate and the like are used. The alkali concentration of the alkaline aqueous solution is preferably 0.01 wt% to 5 wt%, more preferably 0.02 wt% to 3 wt%, still more preferably 0.03 wt% to 1 wt%. . If it is such a range, the said photosensitive resin composition can be melt|dissolved appropriately and a molded object can be formed with good developability. A surfactant may be further added to the alkaline aqueous solution.
ポストベーク時の加熱温度は、好ましくは90℃~200℃である、より好ましくは100℃~180℃であり、さらに好ましくは100℃~150℃である。加熱時間は、好ましくは10分~90分であり、より好ましくは20分~60分である。上記感光性樹脂組成物を用い、ポストベーク工程を経ることにより、テーパー形状の成形体を得ることができる。 The heating temperature during post-baking is preferably 90°C to 200°C, more preferably 100°C to 180°C, still more preferably 100°C to 150°C. The heating time is preferably 10 to 90 minutes, more preferably 20 to 60 minutes. A tapered molded body can be obtained by using the photosensitive resin composition and subjecting it to a post-baking step.
1つの実施形態においては、上記の製造方法により、カラーフィルターが得られ得る。 In one embodiment, a color filter can be obtained by the manufacturing method described above.
以下に、実施例により、本発明をさらに具体的に説明するが、本発明はこれらにより何ら限定されるものではない。製造例および実施例における各特性値の測定方法は以下のとおりである。 EXAMPLES The present invention will be described in more detail with reference to examples below, but the present invention is not limited by these examples. The method for measuring each characteristic value in Production Examples and Examples is as follows.
(1)重量平均分子量:Mw
GPC(HLC-8220GPC、東ソー社製)にてTHFを溶離液とし、カラムにTSKgel SuperHZM-N(東ソー社製)を用いて測定し、標準ポリスチレン換算にて算出した。
(2)固形分
製造例で調製した共重合体溶液をアルミカップに約0.3gはかり取り、アセトン約1gを加えて溶解させた後、常温で自然乾燥させた。その後、熱風乾燥機(商品名:PHH-101、エスペック株社製)を用い、140℃で3時間乾燥した後、デシケータ内で放冷し、重量を測定した。その重量減少量から、ポリマー溶液の固形分(樹脂)の重量を計算した。
(3)酸価
製造例で調製した共重合体溶液を1.5g精秤し、アセトン90gと水10gの混合溶媒に溶解させ、0.1NのKOH水溶液で滴定した。滴定は、自動滴定装置(商品名:COM-555、平沼産業社製)を用いて行い、固形分濃度から、ポリマー1g当たりの酸価を求めた(mgKOH/g)。
(4)二重結合当量
下記計算式にて算出した。
二重結合当量(g/eq)=アルカリ可溶性樹脂(アクリレート基を有する化合物を付加した後の重合体)に使用したモノマー総量(g)/付加したアクリレート基を有する化合物のmol
(1) Weight average molecular weight: Mw
Measurement was performed by GPC (HLC-8220GPC, manufactured by Tosoh Corporation) using THF as an eluent, using TSKgel SuperHZM-N (manufactured by Tosoh Corporation) as a column, and calculated in terms of standard polystyrene.
(2) Solid Content About 0.3 g of the copolymer solution prepared in Production Example was weighed into an aluminum cup, and about 1 g of acetone was added to dissolve the solution, followed by natural drying at room temperature. Then, using a hot air dryer (trade name: PHH-101, manufactured by ESPEC Co., Ltd.), it was dried at 140° C. for 3 hours, allowed to cool in a desiccator, and weighed. The weight of the solid content (resin) in the polymer solution was calculated from the amount of weight loss.
(3) Acid value 1.5 g of the copolymer solution prepared in Production Example was precisely weighed, dissolved in a mixed solvent of 90 g of acetone and 10 g of water, and titrated with a 0.1N KOH aqueous solution. Titration was performed using an automatic titrator (trade name: COM-555, manufactured by Hiranuma Sangyo Co., Ltd.), and the acid value per 1 g of polymer was obtained from the solid content concentration (mgKOH/g).
(4) Double bond equivalent Calculated by the following formula.
Double bond equivalent (g/eq) = total monomer amount (g) used in alkali-soluble resin (polymer after addition of compound having acrylate group)/mol of added compound having acrylate group
[製造例1]
反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備した。他方、モノマー滴下槽中に、モノマー組成物として、(α-アリルオキシメチル)アクリル酸メチル(AOMA)15g、メタクリル酸(MAA)31g、ベンジルメタクリレート(BzMA)54g、t-ブチルパーオキシ-2-エチルヘキサノエート(商品名「パーブチル(登録商標)O」、日本油脂社製、以下PBOともいう)2gを投入し、撹拌混合した。また、連鎖移動剤滴下槽中に、連鎖移動剤溶液として、ドデシルメルカプタン(nDM)2.0g、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート(PGMEA)30gを投入し、撹拌混合した。
反応槽にPGMEA100gとプロピレングリコールモノメチルエーテル(PGME)55.7gを仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定してから、モノマー組成物および連鎖移動剤溶液を滴下した。モノマー組成物および連鎖移動剤溶液は、それぞれ温度を90℃に保ちながら、180分間かけて滴下した。滴下が終了してから30分後にPBO0.5gを加えた。さらに30分後、反応槽を115℃に昇温した。1.5時間、115℃を維持した後、セパラブルフラスコにガス導入管を付け、酸素/窒素=7/93(v/v)混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応槽に、アクリル酸グリシジル(GA)30g、重合禁止剤として6-tert-ブチル-2,4-キシレノール(商品名「トパノール」、東京化成工業社製)0.3g、触媒としてジメチルベンジルアミン(DMBA)0.5gを仕込み、110℃で1時間、115℃で7時間反応させた。その後、室温まで冷却し、アルカリ可溶性樹脂40.1重量%を含む共重合体溶液(A-1)を得た。アルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量(Mw)は13000、酸価は78mgKOH/g、二重結合当量は560g/eqであった。共重合体溶液の製造条件、固形分濃度、重量平均分子量(Mw)、酸価および二重結合当量を、製造例2~10とともに、表1に示す。
[Production Example 1]
A separable flask equipped with a cooling tube was prepared as a reactor. On the other hand, in the monomer dropping tank, 15 g of (α-allyloxymethyl) methyl acrylate (AOMA), 31 g of methacrylic acid (MAA), 54 g of benzyl methacrylate (BzMA), t-butylperoxy-2- 2 g of ethyl hexanoate (trade name “Perbutyl (registered trademark) O”, manufactured by NOF Corporation, hereinafter also referred to as PBO) was added and mixed with stirring. In addition, 2.0 g of dodecyl mercaptan (nDM) and 30 g of propylene glycol methyl ether acetate (PGMEA) as a chain transfer agent solution were put into a chain transfer agent dropping tank and stirred and mixed.
A reaction vessel was charged with 100 g of PGMEA and 55.7 g of propylene glycol monomethyl ether (PGME), purged with nitrogen, and heated with an oil bath while stirring to raise the temperature of the reaction vessel to 90°C. After the temperature of the reactor was stabilized at 90° C., the monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise. The monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise over 180 minutes while maintaining the temperature at 90°C. Thirty minutes after the dropping was completed, 0.5 g of PBO was added. After an additional 30 minutes, the reactor was heated to 115°C. After maintaining the temperature at 115° C. for 1.5 hours, a gas introduction tube was attached to the separable flask, and oxygen/nitrogen=7/93 (v/v) mixed gas bubbling was started. Next, 30 g of glycidyl acrylate (GA), 0.3 g of 6-tert-butyl-2,4-xylenol (trade name “Topanol”, manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) as a polymerization inhibitor, and dimethylbenzyl as a catalyst were added to the reactor. 0.5 g of amine (DMBA) was charged and reacted at 110° C. for 1 hour and at 115° C. for 7 hours. Thereafter, the mixture was cooled to room temperature to obtain a copolymer solution (A-1) containing 40.1% by weight of an alkali-soluble resin. The weight average molecular weight (Mw) of the alkali-soluble resin was 13000, the acid value was 78 mgKOH/g, and the double bond equivalent was 560 g/eq. Production conditions, solid content concentration, weight average molecular weight (Mw), acid value and double bond equivalent of the copolymer solution are shown in Table 1 together with Production Examples 2-10.
[製造例2]
反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備した。他方、モノマー滴下槽中に、モノマー組成物として、AOMA15g、MAA31g、BzMA54g、PBO2gを投入し、撹拌混合した。また、連鎖移動剤滴下槽中に、連鎖移動剤溶液として、nDM2.0g、PGMEA30gを投入し、撹拌混合した。
反応槽にPGMEA100gとPGME55.7gを仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定してから、モノマー組成物および連鎖移動剤溶液を滴下した。モノマー組成物および連鎖移動剤溶液は、それぞれ温度を90℃に保ちながら、180分間かけて滴下した。滴下が終了してから30分後にPBO0.5gを加えた。さらに30分後、反応槽を115℃に昇温した。1.5時間、115℃を維持した後、セパラブルフラスコにガス導入管を付け、酸素/窒素=7/93(v/v)混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応槽に、4-ヒドロキシブチルアクリル酸グリシジルエーテル(4HBAGE)47g、トパノール0.3g、DMBA0.5gを仕込み、110℃で1時間、115℃で7時間反応させた。その後、室温まで冷却し、アルカリ可溶性樹脂41.7重量%を含む共重合体溶液(A-2)を得た。アルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量(Mw)は13300、酸価は64mgKOH/g、二重結合当量は630g/eqであった。共重合体溶液の製造条件、固形分濃度、重量平均分子量(Mw)、酸価および二重結合当量を表1に示す。
[Production Example 2]
A separable flask equipped with a cooling tube was prepared as a reactor. On the other hand, 15 g of AOMA, 31 g of MAA, 54 g of BzMA, and 2 g of PBO were put into the monomer dropping tank as a monomer composition, and mixed with stirring. In addition, 2.0 g of nDM and 30 g of PGMEA were added as a chain transfer agent solution into a chain transfer agent dropping tank, and stirred and mixed.
A reactor was charged with 100 g of PGMEA and 55.7 g of PGME, and after purging with nitrogen, the temperature of the reactor was raised to 90° C. by heating with an oil bath while stirring. After the temperature of the reactor was stabilized at 90° C., the monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise. The monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise over 180 minutes while maintaining the temperature at 90°C. Thirty minutes after the dropping was completed, 0.5 g of PBO was added. After an additional 30 minutes, the reactor was heated to 115°C. After maintaining the temperature at 115° C. for 1.5 hours, a gas introduction tube was attached to the separable flask, and oxygen/nitrogen=7/93 (v/v) mixed gas bubbling was started. Then, 47 g of 4-hydroxybutyl acrylate glycidyl ether (4HBAGE), 0.3 g of topanol, and 0.5 g of DMBA were charged into the reactor and reacted at 110° C. for 1 hour and at 115° C. for 7 hours. Thereafter, the mixture was cooled to room temperature to obtain a copolymer solution (A-2) containing 41.7% by weight of an alkali-soluble resin. The weight average molecular weight (Mw) of the alkali-soluble resin was 13300, the acid value was 64 mgKOH/g, and the double bond equivalent was 630 g/eq. Table 1 shows the production conditions, solid content concentration, weight average molecular weight (Mw), acid value and double bond equivalent of the copolymer solution.
[製造例3]
反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備した。他方、モノマー滴下槽中に、モノマー組成物として、ジメチル-2、2’-[オキシビス(メチレン)]ビス-2-プロペノエート(MD)15g、MAA31g、BzMA54g、PBO2gを投入し、撹拌混合した。また、連鎖移動剤滴下槽中に、連鎖移動剤溶液として、nDM2.0g、PGMEA30gを投入し、撹拌混合した。
反応槽にPGMEA100gとPGME55.7gを仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定してから、モノマー組成物および連鎖移動剤溶液を滴下した。モノマー組成物および連鎖移動剤溶液は、それぞれ温度を90℃に保ちながら、180分間かけて滴下した。滴下が終了してから30分後にPBO0.5gを加えた。さらに30分後、反応槽を115℃に昇温した。1.5時間、115℃を維持した後、セパラブルフラスコにガス導入管を付け、酸素/窒素=7/93(v/v)混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応槽に、GA30g、トパノール0.3g、DMBA0.5gを仕込み、110℃で1時間、115℃で7時間反応させた。その後、室温まで冷却し、アルカリ可溶性樹脂39.8重量%を含む共重合体溶液(A-3)を得た。アルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量(Mw)は12800、酸価は79mgKOH/g、二重結合当量は560g/eqであった。共重合体溶液の製造条件、固形分濃度、重量平均分子量(Mw)、酸価および二重結合当量を表1に示す。
[Production Example 3]
A separable flask equipped with a cooling tube was prepared as a reactor. On the other hand, 15 g of dimethyl-2,2'-[oxybis(methylene)]bis-2-propenoate (MD), 31 g of MAA, 54 g of BzMA, and 2 g of PBO were charged into the monomer dropping tank as a monomer composition and mixed with stirring. In addition, 2.0 g of nDM and 30 g of PGMEA were added as a chain transfer agent solution into a chain transfer agent dropping tank, and stirred and mixed.
A reactor was charged with 100 g of PGMEA and 55.7 g of PGME, and after purging with nitrogen, the temperature of the reactor was raised to 90° C. by heating with an oil bath while stirring. After the temperature of the reactor was stabilized at 90° C., the monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise. The monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise over 180 minutes while maintaining the temperature at 90°C. Thirty minutes after the dropping was completed, 0.5 g of PBO was added. After an additional 30 minutes, the reactor was heated to 115°C. After maintaining the temperature at 115° C. for 1.5 hours, a gas introduction tube was attached to the separable flask, and oxygen/nitrogen=7/93 (v/v) mixed gas bubbling was started. Then, 30 g of GA, 0.3 g of topanol, and 0.5 g of DMBA were charged into the reactor and reacted at 110° C. for 1 hour and at 115° C. for 7 hours. Thereafter, the mixture was cooled to room temperature to obtain a copolymer solution (A-3) containing 39.8% by weight of an alkali-soluble resin. The weight average molecular weight (Mw) of the alkali-soluble resin was 12800, the acid value was 79 mgKOH/g, and the double bond equivalent was 560 g/eq. Table 1 shows the production conditions, solid content concentration, weight average molecular weight (Mw), acid value and double bond equivalent of the copolymer solution.
[製造例4]
反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備した。他方、モノマー滴下槽中に、モノマー組成物として、ベンジルマレイミド(BzMI)15g、MAA31g、BzMA54g、PBO2g、PGMEA14gとPGME5.7gを投入し、撹拌混合した。また、連鎖移動剤滴下槽中に、連鎖移動剤溶液として、nDM2.0g、PGMEA30gを投入し、撹拌混合した。
反応槽にPGMEA86gとPGME50gを仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定してから、モノマー組成物および連鎖移動剤溶液を滴下した。モノマー組成物および連鎖移動剤溶液は、それぞれ温度を90℃に保ちながら、180分間かけて滴下した。滴下が終了してから30分後にPBO0.5gを加えた。さらに30分後、反応槽を115℃に昇温した。1.5時間、115℃を維持した後、セパラブルフラスコにガス導入管を付け、酸素/窒素=7/93(v/v)混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応槽に、GA30g、トパノール0.3g、DMBA0.5gを仕込み、110℃で1時間、115℃で7時間反応させた。その後、室温まで冷却し、アルカリ可溶性樹脂40.2重量%を含む共重合体溶液(A-4)を得た。アルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量(Mw)は12700、酸価は77mgKOH/g、二重結合当量は560g/eqであった。共重合体溶液の製造条件、固形分濃度、重量平均分子量(Mw)、酸価および二重結合当量を表1に示す。
[Production Example 4]
A separable flask equipped with a cooling tube was prepared as a reactor. On the other hand, 15 g of benzylmaleimide (BzMI), 31 g of MAA, 54 g of BzMA, 2 g of PBO, 14 g of PGMEA, and 5.7 g of PGME were added as a monomer composition into the monomer dropping tank and mixed with stirring. In addition, 2.0 g of nDM and 30 g of PGMEA were added as a chain transfer agent solution into a chain transfer agent dropping tank, and stirred and mixed.
A reactor was charged with 86 g of PGMEA and 50 g of PGME, purged with nitrogen, and heated in an oil bath while stirring to raise the temperature of the reactor to 90°C. After the temperature of the reactor was stabilized at 90° C., the monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise. The monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise over 180 minutes while maintaining the temperature at 90°C. Thirty minutes after the dropping was completed, 0.5 g of PBO was added. After an additional 30 minutes, the reactor was heated to 115°C. After maintaining the temperature at 115° C. for 1.5 hours, a gas introduction tube was attached to the separable flask, and oxygen/nitrogen=7/93 (v/v) mixed gas bubbling was started. Then, 30 g of GA, 0.3 g of topanol, and 0.5 g of DMBA were charged into the reactor and reacted at 110° C. for 1 hour and at 115° C. for 7 hours. Thereafter, the mixture was cooled to room temperature to obtain a copolymer solution (A-4) containing 40.2% by weight of an alkali-soluble resin. The weight average molecular weight (Mw) of the alkali-soluble resin was 12700, the acid value was 77 mgKOH/g, and the double bond equivalent was 560 g/eq. Table 1 shows the production conditions, solid content concentration, weight average molecular weight (Mw), acid value and double bond equivalent of the copolymer solution.
[製造例5]
反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備した。他方、モノマー滴下槽中に、モノマー組成物として、AOMA15g、MAA32g、BzMA53g、PBO2gを投入し、撹拌混合した。また、連鎖移動剤滴下槽中に、連鎖移動剤溶液として、nDM2.0g、PGMEA30gを投入し、撹拌混合した。
反応槽にPGMEA100gとPGME55.7gを仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定してから、モノマー組成物および連鎖移動剤溶液を滴下した。モノマー組成物および連鎖移動剤溶液は、それぞれ温度を90℃に保ちながら、180分間かけて滴下した。滴下が終了してから30分後にPBO0.5gを加えた。さらに30分後、反応槽を115℃に昇温した。1.5時間、115℃を維持した後、セパラブルフラスコにガス導入管を付け、酸素/窒素=7/93(v/v)混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応槽に、GA15g、トパノール0.3g、DMBA0.5gを仕込み、110℃で1時間、115℃で7時間反応させた。その後、室温まで冷却し、アルカリ可溶性樹脂37.5重量%を含む共重合体溶液(A-5)を得た。アルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量(Mw)は10400、酸価は130mgKOH/g、二重結合当量は985g/eqであった。共重合体溶液の製造条件、固形分濃度、重量平均分子量(Mw)、酸価および二重結合当量を表1に示す。
[Production Example 5]
A separable flask equipped with a cooling tube was prepared as a reactor. On the other hand, 15 g of AOMA, 32 g of MAA, 53 g of BzMA, and 2 g of PBO were put into the monomer dropping tank as a monomer composition, and mixed with stirring. In addition, 2.0 g of nDM and 30 g of PGMEA were added as a chain transfer agent solution into a chain transfer agent dropping tank, and stirred and mixed.
A reactor was charged with 100 g of PGMEA and 55.7 g of PGME, and after purging with nitrogen, the temperature of the reactor was raised to 90° C. by heating with an oil bath while stirring. After the temperature of the reactor was stabilized at 90° C., the monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise. The monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise over 180 minutes while maintaining the temperature at 90°C. Thirty minutes after the dropping was completed, 0.5 g of PBO was added. After an additional 30 minutes, the reactor was heated to 115°C. After maintaining the temperature at 115° C. for 1.5 hours, a gas introduction tube was attached to the separable flask, and oxygen/nitrogen=7/93 (v/v) mixed gas bubbling was started. Then, 15 g of GA, 0.3 g of topanol, and 0.5 g of DMBA were charged into the reactor and reacted at 110° C. for 1 hour and at 115° C. for 7 hours. Thereafter, the mixture was cooled to room temperature to obtain a copolymer solution (A-5) containing 37.5% by weight of an alkali-soluble resin. The weight average molecular weight (Mw) of the alkali-soluble resin was 10400, the acid value was 130 mgKOH/g, and the double bond equivalent was 985 g/eq. Table 1 shows the production conditions, solid content concentration, weight average molecular weight (Mw), acid value and double bond equivalent of the copolymer solution.
[製造例6]
反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備した。他方、モノマー滴下槽中に、モノマー組成物として、AOMA15g、MAA48g、BzMA37g、PBO2gを投入し、撹拌混合した。また、連鎖移動剤滴下槽中に、連鎖移動剤溶液として、nDM2.0g、PGMEA30gを投入し、撹拌混合した。
反応槽にPGMEA100gとPGME55.7gを仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定してから、モノマー組成物および連鎖移動剤溶液を滴下した。モノマー組成物および連鎖移動剤溶液は、それぞれ温度を90℃に保ちながら、180分間かけて滴下した。滴下が終了してから30分後にPBO0.5gを加えた。さらに30分後、反応槽を115℃に昇温した。1.5時間、115℃を維持した後、セパラブルフラスコにガス導入管を付け、酸素/窒素=7/93(v/v)混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応槽に、GA60g、トパノール0.3g、DMBA0.5g、PGMEA31g、PGME13gを仕込み、110℃で1時間、115℃で7時間反応させた。その後、室温まで冷却し、アルカリ可溶性樹脂40.3重量%を含む共重合体溶液(A-6)を得た。アルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量(Mw)は17000、酸価は40mgKOH/g、二重結合当量は340g/eqであった。共重合体溶液の製造条件、固形分濃度、重量平均分子量(Mw)、酸価および二重結合当量を表1に示す。
[Production Example 6]
A separable flask equipped with a cooling tube was prepared as a reactor. On the other hand, 15 g of AOMA, 48 g of MAA, 37 g of BzMA, and 2 g of PBO were put into the monomer dropping tank as a monomer composition and mixed with stirring. In addition, 2.0 g of nDM and 30 g of PGMEA were added as a chain transfer agent solution into a chain transfer agent dropping tank, and stirred and mixed.
A reactor was charged with 100 g of PGMEA and 55.7 g of PGME, and after purging with nitrogen, the temperature of the reactor was raised to 90° C. by heating with an oil bath while stirring. After the temperature of the reactor was stabilized at 90° C., the monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise. The monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise over 180 minutes while maintaining the temperature at 90°C. Thirty minutes after the dropping was completed, 0.5 g of PBO was added. After an additional 30 minutes, the reactor was heated to 115°C. After maintaining the temperature at 115° C. for 1.5 hours, a gas introduction tube was attached to the separable flask, and oxygen/nitrogen=7/93 (v/v) mixed gas bubbling was started. Then, 60 g of GA, 0.3 g of topanol, 0.5 g of DMBA, 31 g of PGMEA, and 13 g of PGME were charged into the reactor and reacted at 110° C. for 1 hour and at 115° C. for 7 hours. Thereafter, the mixture was cooled to room temperature to obtain a copolymer solution (A-6) containing 40.3% by weight of an alkali-soluble resin. The weight average molecular weight (Mw) of the alkali-soluble resin was 17000, the acid value was 40 mgKOH/g, and the double bond equivalent was 340 g/eq. Table 1 shows the production conditions, solid content concentration, weight average molecular weight (Mw), acid value and double bond equivalent of the copolymer solution.
[製造例7]
反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備した。他方、モノマー滴下槽中に、モノマー組成物として、MAA31g、BzMA69g、PBO2gを投入し、撹拌混合した。また、連鎖移動剤滴下槽中に、連鎖移動剤溶液として、nDM2.0g、PGMEA30gを投入し、撹拌混合した。
反応槽にPGMEA100gとPGME55.7gを仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定してから、モノマー組成物および連鎖移動剤溶液を滴下した。モノマー組成物および連鎖移動剤溶液は、それぞれ温度を90℃に保ちながら、180分間かけて滴下した。滴下が終了してから30分後にPBO0.5gを加えた。さらに30分後、反応槽を115℃に昇温した。1.5時間、115℃を維持した後、セパラブルフラスコにガス導入管を付け、酸素/窒素=7/93(v/v)混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応槽に、メタクリル酸グリシジル(GMA)33g、トパノール0.3g、DMBA0.5gを仕込み、110℃で1時間、115℃で7時間反応させた。その後、室温まで冷却し、アルカリ可溶性樹脂40.0重量%を含む共重合体溶液(A-7)を得た。アルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量(Mw)は12500、酸価は75mgKOH/g、二重結合当量は575g/eqであった。共重合体溶液の製造条件、固形分濃度、重量平均分子量(Mw)、酸価および二重結合当量を表1に示す。
[Production Example 7]
A separable flask equipped with a cooling tube was prepared as a reactor. On the other hand, 31 g of MAA, 69 g of BzMA, and 2 g of PBO were put into the monomer dropping tank as a monomer composition, and stirred and mixed. In addition, 2.0 g of nDM and 30 g of PGMEA were added as a chain transfer agent solution into a chain transfer agent dropping tank, and stirred and mixed.
A reactor was charged with 100 g of PGMEA and 55.7 g of PGME, and after purging with nitrogen, the temperature of the reactor was raised to 90° C. by heating with an oil bath while stirring. After the temperature of the reactor was stabilized at 90° C., the monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise. The monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise over 180 minutes while maintaining the temperature at 90°C. Thirty minutes after the dropping was completed, 0.5 g of PBO was added. After an additional 30 minutes, the reactor was heated to 115°C. After maintaining the temperature at 115° C. for 1.5 hours, a gas introduction tube was attached to the separable flask, and oxygen/nitrogen=7/93 (v/v) mixed gas bubbling was started. Then, 33 g of glycidyl methacrylate (GMA), 0.3 g of topanol, and 0.5 g of DMBA were charged into the reactor and reacted at 110° C. for 1 hour and at 115° C. for 7 hours. Thereafter, the mixture was cooled to room temperature to obtain a copolymer solution (A-7) containing 40.0% by weight of an alkali-soluble resin. The weight average molecular weight (Mw) of the alkali-soluble resin was 12500, the acid value was 75 mgKOH/g, and the double bond equivalent was 575 g/eq. Table 1 shows the production conditions, solid content concentration, weight average molecular weight (Mw), acid value and double bond equivalent of the copolymer solution.
[製造例8]
反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備した。他方、モノマー滴下槽中に、モノマー組成物として、MAA11g、BzMA89g、PBO2gを投入し、撹拌混合した。また、連鎖移動剤滴下槽中に、連鎖移動剤溶液として、nDM1.3g、PGMEA30gを投入し、撹拌混合した。
反応槽にPGMEA100gとPGME55.7gを仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定してから、モノマー組成物および連鎖移動剤溶液を滴下した。モノマー組成物および連鎖移動剤溶液は、それぞれ温度を90℃に保ちながら、180分間かけて滴下した。滴下が終了してから30分後にPBO0.5gを加えた。さらに30分後、反応槽を115℃に昇温した。1.5時間、115℃を維持した後、室温まで冷却し、アルカリ可溶性樹脂35.1重量%を含む共重合体溶液(A-8)を得た。アルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量(Mw)は12000、酸価は76mgKOH/gであった。共重合体溶液の製造条件、固形分濃度、重量平均分子量(Mw)および酸価を表1に示す。
[Production Example 8]
A separable flask equipped with a cooling tube was prepared as a reactor. On the other hand, 11 g of MAA, 89 g of BzMA, and 2 g of PBO were put into the monomer dropping tank as a monomer composition and mixed with stirring. Further, 1.3 g of nDM and 30 g of PGMEA were added as a chain transfer agent solution into a chain transfer agent dropping tank, and mixed with stirring.
A reactor was charged with 100 g of PGMEA and 55.7 g of PGME, and after purging with nitrogen, the temperature of the reactor was raised to 90° C. by heating with an oil bath while stirring. After the temperature of the reactor was stabilized at 90° C., the monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise. The monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise over 180 minutes while maintaining the temperature at 90°C. Thirty minutes after the dropping was completed, 0.5 g of PBO was added. After an additional 30 minutes, the reactor was heated to 115°C. After maintaining the temperature at 115° C. for 1.5 hours, it was cooled to room temperature to obtain a copolymer solution (A-8) containing 35.1% by weight of an alkali-soluble resin. The weight average molecular weight (Mw) of the alkali-soluble resin was 12000, and the acid value was 76 mgKOH/g. Table 1 shows the production conditions, solid content concentration, weight average molecular weight (Mw) and acid value of the copolymer solution.
[製造例9]
反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備した。他方、モノマー滴下槽中に、モノマー組成物として、MAA31g、BzMA69g、PBO2gを投入し、撹拌混合した。また、連鎖移動剤滴下槽中に、連鎖移動剤溶液として、nDM2.0g、PGMEA30gを投入し、撹拌混合した。
反応槽にPGMEA100gとPGME55.7gを仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定してから、モノマー組成物および連鎖移動剤溶液を滴下した。モノマー組成物および連鎖移動剤溶液は、それぞれ温度を90℃に保ちながら、180分間かけて滴下した。滴下が終了してから30分後にPBO0.5gを加えた。さらに30分後、反応槽を115℃に昇温した。1.5時間、115℃を維持した後、セパラブルフラスコにガス導入管を付け、酸素/窒素=7/93(v/v)混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応槽に、4HBAGE47g、トパノール0.3g、DMBA0.5gを仕込み、110℃で1時間、115℃で7時間反応させた。その後、室温まで冷却し、アルカリ可溶性樹脂41.5重量%を含む共重合体溶液(A-9)を得た。アルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量(Mw)は13500、酸価は64mgKOH/g、二重結合当量は630g/eqであった。共重合体溶液の製造条件、固形分濃度、重量平均分子量(Mw)、酸価および二重結合当量を表1に示す。
[Production Example 9]
A separable flask equipped with a cooling tube was prepared as a reactor. On the other hand, 31 g of MAA, 69 g of BzMA, and 2 g of PBO were put into the monomer dropping tank as a monomer composition, and stirred and mixed. In addition, 2.0 g of nDM and 30 g of PGMEA were added as a chain transfer agent solution into a chain transfer agent dropping tank, and stirred and mixed.
A reactor was charged with 100 g of PGMEA and 55.7 g of PGME, and after purging with nitrogen, the temperature of the reactor was raised to 90° C. by heating with an oil bath while stirring. After the temperature of the reactor was stabilized at 90° C., the monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise. The monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise over 180 minutes while maintaining the temperature at 90°C. Thirty minutes after the dropping was completed, 0.5 g of PBO was added. After an additional 30 minutes, the reactor was heated to 115°C. After maintaining the temperature at 115° C. for 1.5 hours, a gas introduction tube was attached to the separable flask, and oxygen/nitrogen=7/93 (v/v) mixed gas bubbling was started. Then, 47 g of 4HBAGE, 0.3 g of topanol, and 0.5 g of DMBA were charged into the reactor and reacted at 110° C. for 1 hour and at 115° C. for 7 hours. Thereafter, the mixture was cooled to room temperature to obtain a copolymer solution (A-9) containing 41.5% by weight of an alkali-soluble resin. The weight average molecular weight (Mw) of the alkali-soluble resin was 13500, the acid value was 64 mgKOH/g, and the double bond equivalent was 630 g/eq. Table 1 shows the production conditions, solid content concentration, weight average molecular weight (Mw), acid value and double bond equivalent of the copolymer solution.
[製造例10]
反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備した。他方、モノマー滴下槽中に、モノマー組成物として、メチルマレイミド(MMI)15g、MAA31g、BzMA54g、PBO2gを投入し、撹拌混合した。また、連鎖移動剤滴下槽中に、連鎖移動剤溶液として、nDM2.0g、PGMEA30gを投入し、撹拌混合した。
反応槽にPGMEA100gとPGME55.7gを仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定してから、モノマー組成物および連鎖移動剤溶液を滴下した。モノマー組成物および連鎖移動剤溶液は、それぞれ温度を90℃に保ちながら、180分間かけて滴下した。滴下が終了してから30分後にPBO0.5gを加えた。さらに30分後、反応槽を115℃に昇温した。1.5時間、115℃を維持した後、セパラブルフラスコにガス導入管を付け、酸素/窒素=7/93(v/v)混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応槽に、GMA33g、トパノール0.3g、DMBA0.5gを仕込み、110℃で1時間、115℃で7時間反応させた。その後、室温まで冷却し、アルカリ可溶性樹脂40.2重量%を含む共重合体溶液(A-10)を得た。アルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量(Mw)は12700、酸価は74mgKOH/g、二重結合当量は575g/eqであった。共重合体溶液の製造条件、固形分濃度、重量平均分子量(Mw)、酸価および二重結合当量を表1に示す。
[Production Example 10]
A separable flask equipped with a cooling tube was prepared as a reactor. On the other hand, 15 g of methylmaleimide (MMI), 31 g of MAA, 54 g of BzMA, and 2 g of PBO were charged as a monomer composition into a monomer dropping tank and mixed with stirring. In addition, 2.0 g of nDM and 30 g of PGMEA were added as a chain transfer agent solution into a chain transfer agent dropping tank, and stirred and mixed.
A reactor was charged with 100 g of PGMEA and 55.7 g of PGME, and after purging with nitrogen, the temperature of the reactor was raised to 90° C. by heating with an oil bath while stirring. After the temperature of the reactor was stabilized at 90° C., the monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise. The monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise over 180 minutes while maintaining the temperature at 90°C. Thirty minutes after the dropping was completed, 0.5 g of PBO was added. After an additional 30 minutes, the reactor was heated to 115°C. After maintaining the temperature at 115° C. for 1.5 hours, a gas introduction tube was attached to the separable flask, and oxygen/nitrogen=7/93 (v/v) mixed gas bubbling was started. Then, 33 g of GMA, 0.3 g of topanol, and 0.5 g of DMBA were charged into the reactor and reacted at 110° C. for 1 hour and at 115° C. for 7 hours. Thereafter, the mixture was cooled to room temperature to obtain a copolymer solution (A-10) containing 40.2% by weight of an alkali-soluble resin. The weight average molecular weight (Mw) of the alkali-soluble resin was 12700, the acid value was 74 mgKOH/g, and the double bond equivalent was 575 g/eq. Table 1 shows the production conditions, solid content concentration, weight average molecular weight (Mw), acid value and double bond equivalent of the copolymer solution.
[実施例1]
アルカリ可溶性樹脂として上記共重合体溶液(A-1)8.73g(すなわち、樹脂3.5g)、分散剤としてDISPERBYK-2001(ビックケミー・ジャパン社製、以下byk2001と表す)2.83g(不揮発分1.3g)、色材として顔料のC.I.ピグメントバイオレット23(Clariant製、以下PV23と表す)1.6g、および染料のC.I.ソルベントブルー35(MP Biomnedicals製、以下SB35と表す)6.4gを225mlマヨネーズ瓶にはかり取り、不揮発分濃度が20重量%となるようPGMEAで希釈した。これに径1.0mmのジルコニアビーズ64gを加え、フタをした。これをペイントシェーカーで3時間振とうして、顔料分散組成物(ミルベース)を得た。
この顔料分散組成物に多官能モノマーとしてDPHA12.8g、バインダー樹脂として上記共重合体溶液(A-1)37.2g(すなわち、樹脂14.9g)、および光重合開始剤としてエタノン,1-[9-エチル-6-(2-メチルベンゾイル)-9H-カルバゾール-3-イル]-,1-(O-アセチルオキシム)(商品名「IRGACURE(登録商標)OXE02」、BASFジャパン社製、以下OXE02と表す)2.1gを含むクリアレジストを加え、不揮発分濃度が20重量%となるようにPGMEAで希釈した。ジルコニアビーズを除去した後、孔径1.0μmのフィルタでろ過し、感光性樹脂組成物B1を調製した。
[Example 1]
8.73 g of the above copolymer solution (A-1) as an alkali-soluble resin (that is, 3.5 g of resin), DISPERBYK-2001 as a dispersant (manufactured by BYK-Chemie Japan, hereinafter referred to as byk2001) 2.83 g (non-volatile 1.3 g), pigment C.I. I. Pigment Violet 23 (manufactured by Clariant, hereinafter referred to as PV23) 1.6 g, and the dye C.I. I. 6.4 g of Solvent Blue 35 (manufactured by MP Biomedicals, hereinafter referred to as SB35) was weighed into a 225 ml mayonnaise bottle and diluted with PGMEA so that the non-volatile content concentration was 20% by weight. 64 g of zirconia beads with a diameter of 1.0 mm were added to this, and the lid was closed. This was shaken with a paint shaker for 3 hours to obtain a pigment dispersion composition (millbase).
To this pigment dispersion composition were added 12.8 g of DPHA as a polyfunctional monomer, 37.2 g of the above copolymer solution (A-1) as a binder resin (that is, 14.9 g of resin), and ethanone, 1-[, as a photopolymerization initiator. 9-ethyl-6-(2-methylbenzoyl)-9H-carbazol-3-yl]-,1-(O-acetyloxime) (trade name “IRGACURE (registered trademark) OXE02” manufactured by BASF Japan, hereinafter OXE02 ) was added and diluted with PGMEA so that the concentration of non-volatile matter was 20% by weight. After removing the zirconia beads, the mixture was filtered through a filter with a pore size of 1.0 μm to prepare a photosensitive resin composition B1.
[実施例2~6、比較例1~4]
顔料分散組成物およびクリアレジストに含有させるアルカリ可溶性樹脂(共重合体溶液)を、表2に示す樹脂としたこと以外は、実施例1と同様にして感光性樹脂組成物B2~B10を得た。
[Examples 2 to 6, Comparative Examples 1 to 4]
Photosensitive resin compositions B2 to B10 were obtained in the same manner as in Example 1, except that the resins shown in Table 2 were used as the alkali-soluble resin (copolymer solution) contained in the pigment dispersion composition and the clear resist. .
<評価>
10cm角のガラス基板上に、感光性樹脂組成物B1~9をスピンコーターにより塗布し、オーブンで90℃3分間乾燥した。乾燥後、塗膜から100μmの距離に2~20μmφのドットパターンを有するフォトマスクを配置して2.0kWの超高圧水銀ランプを装着したUVアライナ(商品名「TME-150RNS」、TOPCON社製)によって60mJ/cm2の強度(365nm照度換算)で紫外線を照射した。紫外線照射後、塗膜に0.05%の水酸化カリウム水溶液をスピン現像機にて散布し、未露光部を溶解、除去し、残った露光部を純水で10秒間水洗することにより現像して、ドットパターンを形成した。当該操作により、感光性樹脂組成物B1~9について、下記(a)~(c)の評価を行った。結果を表2に示す。
さらに、ドットパターンを100℃で加熱して、成形体を得、当該成形体の断面形状を観察した。結果を表2に示す。
また、上記方法によりドットパターンを形成し、当該ドットパターンを150℃で加熱して、成形体を得、当該成形体の断面形状を観察した。結果を表2に示す。
(a)ブレイクタイム(BT)
現像した際、パターンが形成可能な最短時間をBTとして、当該BTにより現像速度を評価した。
(b)密着性
BT+10秒の現像時間で、基板に密着し得る最小マスク径により、密着性を評価した。表2中、当該最小マスク系を記載する。
(c)断面形状
ドットパターンおよび成形体の形状はFE-SEM(商品名「JSM-7600FA」、日本電子製)を用いて観察した。
<Evaluation>
The photosensitive resin compositions B1 to B9 were applied onto a 10 cm square glass substrate using a spin coater and dried in an oven at 90° C. for 3 minutes. After drying, a UV aligner (trade name “TME-150RNS”, manufactured by TOPCON Co., Ltd.) equipped with a 2.0 kW ultra-high pressure mercury lamp with a photomask having a dot pattern of 2 to 20 μmφ placed at a distance of 100 μm from the coating film. was irradiated with ultraviolet rays at an intensity of 60 mJ/cm 2 (converted to illuminance at 365 nm). After the ultraviolet irradiation, a 0.05% potassium hydroxide aqueous solution was sprayed on the coating film using a spin developing machine to dissolve and remove the unexposed areas, and the remaining exposed areas were developed by washing with pure water for 10 seconds. to form a dot pattern. By this operation, the following evaluations (a) to (c) were performed on the photosensitive resin compositions B1 to B9. Table 2 shows the results.
Furthermore, the dot pattern was heated at 100° C. to obtain a molded body, and the cross-sectional shape of the molded body was observed. Table 2 shows the results.
Also, a dot pattern was formed by the above method, the dot pattern was heated at 150° C. to obtain a molded body, and the cross-sectional shape of the molded body was observed. Table 2 shows the results.
(a) Break time (BT)
BT was defined as the shortest time in which a pattern could be formed during development, and the development speed was evaluated by the BT.
(b) Adhesion Adhesion was evaluated from the minimum mask diameter that can adhere to the substrate with a developing time of BT + 10 seconds. Table 2 lists the minimum mask system.
(c) Cross-Sectional Shape The dot pattern and the shape of the compact were observed using an FE-SEM (trade name “JSM-7600FA”, manufactured by JEOL Ltd.).
(d)耐溶剤性(100℃加熱による耐MNP評価)
5cm角のガラス基板上に、感光性樹脂組成物B1~9をスピンコーターにより塗布し、オーブンで100℃5分間乾燥した。乾燥後、高圧水銀灯によって60mJ/cm2の強度(365nm照度換算)で紫外線を照射した。その後、100℃で40分間、加熱処理を行い、膜厚5μmの塗膜を得た。
その後、塗膜を、N-メチル-2-ピロリドン(NMP)20gに40℃で10分間浸漬し、塗膜から溶出したNMPの色相を分光光度計UV3100(島津製作所社製)で測定し、595nmの吸光度を求めた。
このようにして、試験後のNMP浸漬液の吸光度を測ることによって塗膜からの顔料成分の染み出し量を評価した。結果を表2に示す。なお、吸光度が小さいほど、顔料成分の染み出しが少なく、すなわち、感光性樹脂組成物により形成された成形体(塗膜)が耐溶剤性に優れる。
(d) Solvent resistance (MNP resistance evaluation by heating at 100 ° C.)
The photosensitive resin compositions B1 to B9 were applied onto a 5 cm square glass substrate using a spin coater and dried in an oven at 100° C. for 5 minutes. After drying, ultraviolet rays were irradiated with an intensity of 60 mJ/cm 2 (365 nm illumination conversion) from a high-pressure mercury lamp. After that, heat treatment was performed at 100° C. for 40 minutes to obtain a coating film having a thickness of 5 μm.
Thereafter, the coating film is immersed in 20 g of N-methyl-2-pyrrolidone (NMP) at 40° C. for 10 minutes, and the hue of NMP eluted from the coating film is measured with a spectrophotometer UV3100 (manufactured by Shimadzu Corporation) at 595 nm. was determined.
By measuring the absorbance of the NMP immersion solution after the test in this manner, the amount of pigment component exuding from the coating film was evaluated. Table 2 shows the results. Incidentally, the smaller the absorbance, the less the pigment component oozes out, that is, the molded article (coating film) formed from the photosensitive resin composition has excellent solvent resistance.
(e)耐溶剤性(150℃加熱による耐MNP評価)
紫外線照射後の加熱処理を150℃としたこと以外は、上記(d)と同様にして、塗膜を得た。当該塗膜を上記(d)と同様の評価に供した。結果を表2に示す。
(e) Solvent resistance (MNP resistance evaluation by heating at 150 ° C.)
A coating film was obtained in the same manner as in (d) above, except that the heat treatment after the ultraviolet irradiation was performed at 150°C. The coating film was subjected to the same evaluation as in (d) above. Table 2 shows the results.
(f)顔料粒径
感光性樹脂組成物に含まれる顔料の粒径(メジアン径)を動的光散乱式粒径分布測定装置(LB-500、堀場製作所製)により測定した。
分散直後(感光性樹脂組成物調製直後)の顔料粒径と当該感光性樹脂組成物を40℃で7日間保存した後の顔料粒径とを比較した。結果を表2に示す。
表2の変化率は下記計算式により算出した。
変化率=40℃7日保存後の測定値/分散直後の測定値
(f) Pigment Particle Size The particle size (median size) of the pigment contained in the photosensitive resin composition was measured using a dynamic light scattering type particle size distribution analyzer (LB-500, manufactured by Horiba, Ltd.).
The pigment particle size immediately after dispersion (immediately after preparing the photosensitive resin composition) and the pigment particle size after storing the photosensitive resin composition at 40° C. for 7 days were compared. Table 2 shows the results.
The rate of change in Table 2 was calculated by the following formula.
Rate of change = Measured value after storage at 40°C for 7 days/Measured value immediately after dispersion
表2から明らかなように、本発明の感光性樹脂組成物を用いれば、紫外線照射後の加熱処理(ポストベーク)により、テーパー形状の成形体を得ることができる。また、本発明の感光性樹脂組成物は、低い温度により加熱処理(ポストベーク)の効果が得られ、かつ、耐溶剤性に優れる成形体を形成し得る。
As is clear from Table 2, when the photosensitive resin composition of the present invention is used, a tapered molded body can be obtained by heat treatment (post-baking) after UV irradiation. Moreover, the photosensitive resin composition of the present invention can obtain the effect of heat treatment (post-baking) at a low temperature and can form a molded article having excellent solvent resistance.
Claims (11)
該アルカリ可溶性樹脂が、側鎖にアクリレート基を有する構成単位と、側鎖に酸基を有する構成単位と、主鎖に環構造を有する構成単位とを含み、
主鎖に環構造を有する構成単位が、一般式(4)~(7)で表される構成単位から選ばれる少なくとも1種である、
The alkali-soluble resin comprises a structural unit having an acrylate group in the side chain, a structural unit having an acid group in the side chain, and a structural unit having a ring structure in the main chain,
The structural unit having a ring structure in the main chain is at least one selected from structural units represented by general formulas (4) to (7),
主鎖に環構造を有する構成単位が、一般式(4)~(7)で表される構成単位から選ばれる少なくとも1種である、
The structural unit having a ring structure in the main chain is at least one selected from structural units represented by general formulas (4) to (7),
該塗布層を硬化させ、200℃以下で加熱することを含む、
成形体の製造方法。 Forming a coating layer by applying the photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 4 to a resin substrate, and
Curing the coating layer and heating at 200 ° C. or less,
A method for producing a molded article.
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