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JP6946286B2 - Screen printing device - Google Patents
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Description

本発明は、スクリーン印刷装置に関する。 The present invention relates to a screen printing apparatus.

従来より、スクリーンマスクが取り付けられたマスク枠を基板上に固定して、スクリーン印刷を行うスクリーン印刷装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。このスクリーン印刷装置では、マスク枠を受けるマスク枠受けの位置を幅の調整装置で調整することで、スクリーンマスクの位置ずれを解消するものとしている。 Conventionally, there has been known a screen printing apparatus for performing screen printing by fixing a mask frame to which a screen mask is attached on a substrate (see, for example, Patent Document 1). In this screen printing device, the position of the mask frame receiver that receives the mask frame is adjusted by the width adjusting device to eliminate the misalignment of the screen mask.

特開2011−230353号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2011-230353

ところで、このようなスクリーン印刷装置では、基板のサイズに合わせて、幅の異なる複数サイズのスクリーンマスク(マスク枠)を用いることがある。そのようなスクリーンマスクの幅変更に対応するため、サイズ毎に用意されたアタッチメントアダプタをマスク枠受けに取り付ける場合がある。その場合、アタッチメントアダプタをサイズ数分用意しておくだけでなく、サイズを変更する度にアタッチメントアダプタの交換作業が必要となり煩わしいものとなる。また、作業者の手作業によりマスク枠受けをスライドさせる機構を設けることも考えられるが、幅を誤って設定したりするおそれがある。 By the way, in such a screen printing apparatus, screen masks (mask frames) of a plurality of sizes having different widths may be used according to the size of the substrate. In order to cope with such a change in the width of the screen mask, an attachment adapter prepared for each size may be attached to the mask frame holder. In that case, not only the number of attachment adapters prepared for each size is prepared, but also the attachment adapter needs to be replaced every time the size is changed, which is troublesome. It is also conceivable to provide a mechanism for sliding the mask frame holder manually by the operator, but there is a risk that the width may be set incorrectly.

本発明は、スクリーン印刷装置が有する幅の調整装置を利用して、スクリーンマスクの幅変更に適切に対応することを主目的とする。 An object of the present invention is to appropriately cope with a change in the width of a screen mask by utilizing a width adjusting device included in the screen printing device.

本発明は、上述の主目的を達成するために以下の手段を採った。 The present invention has taken the following measures to achieve the above-mentioned main object.

本発明のスクリーン印刷装置は、
スクリーンマスクを使用してスクリーン印刷を行うスクリーン印刷装置であって、
所定方向における前記スクリーンマスクの両端部をそれぞれ保持可能な少なくとも一対のマスクホルダと、
前記スクリーンマスクを保持している状態の前記マスクホルダを前記所定方向に移動させるよう作動することで、前記スクリーンマスクの前記所定方向における位置調整を行う調整装置と、
を備え、
前記調整装置は、前記スクリーンマスクがない状態で前記マスクホルダを前記所定方向に移動させるよう作動することで、使用が予定される前記スクリーンマスクの前記所定方向における幅に応じて前記マスクホルダの位置を変更する
ことを要旨とする。
The screen printing apparatus of the present invention
A screen printing device that performs screen printing using a screen mask.
At least a pair of mask holders capable of holding both ends of the screen mask in a predetermined direction,
An adjusting device that adjusts the position of the screen mask in the predetermined direction by operating the mask holder while holding the screen mask so as to move the mask holder in the predetermined direction.
With
The adjusting device operates to move the mask holder in the predetermined direction without the screen mask, so that the position of the mask holder is adjusted according to the width of the screen mask to be used in the predetermined direction. The gist is to change.

本発明のスクリーン印刷装置は、スクリーンマスクを保持している状態のマスクホルダを所定方向に移動させるよう作動することでスクリーンマスクの所定方向における位置調整を行う調整装置を備えており、その調整装置は、スクリーンマスクがない状態でマスクホルダを所定方向に移動させるよう作動することで使用が予定されるスクリーンマスクの所定方向における幅に応じてマスクホルダの位置を変更する。これにより、スクリーンマスクの所定方向における位置の調整装置を、スクリーンマスクの所定方向における幅に応じたマスクホルダの位置変更に兼用することができる。このため、スクリーンマスクの幅に応じて複数種のアダプタを用意したり、作業者の手作業によりマスクホルダを移動させたりする必要がなく、スクリーンマスクの幅変更に適切に対応することができる。 The screen printing device of the present invention includes an adjusting device that adjusts the position of the screen mask in a predetermined direction by operating the mask holder holding the screen mask to move it in a predetermined direction. Changes the position of the mask holder according to the width of the screen mask scheduled to be used in the predetermined direction by operating to move the mask holder in the predetermined direction in the absence of the screen mask. As a result, the device for adjusting the position of the screen mask in the predetermined direction can also be used to change the position of the mask holder according to the width of the screen mask in the predetermined direction. Therefore, it is not necessary to prepare a plurality of types of adapters according to the width of the screen mask or to manually move the mask holder, and it is possible to appropriately cope with the change in the width of the screen mask.

本発明のスクリーン印刷装置において、前記調整装置は、前記所定方向に延びるボールネジと、該ボールネジを回転させるモータと、前記マスクホルダに連結され前記ボールネジの回転により前記所定方向に移動するホルダスライダと、前記モータの回転量を検出するエンコーダとを備えるものとしてもよい。こうすれば、マスクホルダの所定方向における位置を精度よく管理することができるから、スクリーンマスクの幅変更にさらに適切に対応することができる。 In the screen printing device of the present invention, the adjusting device includes a ball screw extending in the predetermined direction, a motor for rotating the ball screw, a holder slider connected to the mask holder and moved in the predetermined direction by rotation of the ball screw. It may be provided with an encoder that detects the amount of rotation of the motor. By doing so, the position of the mask holder in a predetermined direction can be accurately managed, so that it is possible to more appropriately respond to the change in the width of the screen mask.

本発明のスクリーン印刷装置において、前記スクリーン印刷を行うための印刷ヘッドと、前記所定方向と直交する方向に延びるレールと、前記レール上を移動するレールスライダと、を備え、前記レールは、前記マスクホルダと共に前記所定方向に移動するよう構成され、前記印刷ヘッドは、前記レールスライダ上に、該レールスライダに対して前記所定方向に相対移動可能に搭載されるものとしてもよい。こうすれば、マスクホルダとレールとをスクリーンマスクの幅変更に対応して移動させるものとしても、印刷ヘッドを所定方向と直交する方向に移動させてスクリーン印刷を行うことができる。 The screen printing apparatus of the present invention includes a printing head for performing the screen printing, a rail extending in a direction orthogonal to the predetermined direction, and a rail slider moving on the rail, and the rail is the mask. The print head may be mounted on the rail slider so as to move in the predetermined direction together with the holder so as to be movable relative to the rail slider in the predetermined direction. In this way, even if the mask holder and the rail are moved in response to the change in the width of the screen mask, the print head can be moved in the direction orthogonal to the predetermined direction to perform screen printing.

本発明のスクリーン印刷装置において、前記スクリーンマスクとして、マスク板がフレームで囲まれたフレームありのマスクが使用され、前記マスクホルダは、前記フレームに前記所定方向から当接可能であり、前記調整装置は、前記スクリーン印刷中に、前記マスクホルダを前記フレームに押し付けるよう作動することで前記スクリーンマスクを保持させるものとしてもよい。こうすれば、マスクホルダがスクリーンマスク(フレーム)を下面側から保持する必要がないものとすることができる。このため、スクリーンマスクの下方に配置される印刷対象物やその印刷対象物の保持装置などにマスクホルダが干渉するのを防止することができる。 In the screen printing apparatus of the present invention, as the screen mask, a mask with a frame in which a mask plate is surrounded by a frame is used, and the mask holder can come into contact with the frame from the predetermined direction, and the adjusting device. May hold the screen mask by operating the mask holder against the frame during the screen printing. In this way, the mask holder does not need to hold the screen mask (frame) from the lower surface side. Therefore, it is possible to prevent the mask holder from interfering with the print object arranged below the screen mask or the holding device for the print object.

本発明のスクリーン印刷装置において、前記スクリーンマスクとして、マスク板がフレームで囲まれていないフレームなしのマスクが使用され、前記マスクホルダは、フレームなしの前記マスク板の縁部に係合可能であり、前記調整装置は、前記スクリーン印刷中に、前記マスクホルダが前記係合された前記マスク板を前記所定方向に引っ張るよう作動することで前記スクリーンマスクを保持させるものとしてもよい。こうすれば、フレームなしのマスクを、調整装置とマスクホルダとを用いて適切に保持してスクリーン印刷を行うことができる。 In the screen printing apparatus of the present invention, as the screen mask, a frameless mask in which the mask plate is not surrounded by a frame is used, and the mask holder can be engaged with the edge of the mask plate without a frame. The adjusting device may hold the screen mask by operating the mask holder to pull the engaged mask plate in the predetermined direction during the screen printing. In this way, the frameless mask can be appropriately held by the adjusting device and the mask holder for screen printing.

本実施形態の印刷装置10の構成の概略を示す構成図である。It is a block diagram which shows the outline of the structure of the printing apparatus 10 of this embodiment. 印刷部30と位置調整装置40の構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of the printing part 30 and the position adjusting apparatus 40. 印刷部30と位置調整装置40の構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of the printing part 30 and the position adjusting apparatus 40. XL軸調整装置42の構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of the XL axis adjustment apparatus 42. Y軸調整装置46の構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of the Y-axis adjustment device 46. 印刷装置10の制御装置70の電気的な接続関係を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the electrical connection relationship of the control device 70 of a printing device 10. マスクホルダ16a,16bの位置を微調整する様子を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the mode that the position of a mask holder 16a, 16b is fine-tuned. マスクホルダ16a,16bの位置を変更する様子を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the mode that the position of the mask holder 16a, 16b is changed. スクリーンマスクMを保持する様子を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state of holding the screen mask M. フレームレスマスクMflを保持する様子を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state which holds the frameless mask Mfl.

次に、本発明の実施の形態を図面を用いて説明する。図1は、本実施形態の印刷装置10の構成の概略を示す構成図であり、図2、図3は、印刷部30と位置調整装置40の構成を示す斜視図である。また、図4は、XL軸調整装置42の構成を示す斜視図であり、図5は、Y軸調整装置46の構成を示す斜視図であり、図6は、印刷装置10の制御装置70の電気的な接続関係を示すブロック図である。 Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a configuration diagram showing an outline of the configuration of the printing device 10 of the present embodiment, and FIGS. 2 and 3 are perspective views showing the configuration of the printing unit 30 and the position adjusting device 40. Further, FIG. 4 is a perspective view showing the configuration of the XL axis adjusting device 42, FIG. 5 is a perspective view showing the configuration of the Y axis adjusting device 46, and FIG. 6 is a perspective view showing the configuration of the control device 70 of the printing device 10. It is a block diagram which shows the electrical connection relationship.

本実施形態の印刷装置10は、矩形状のスクリーンマスクMに形成されたパターン孔に、スキージ31によりはんだを押し込んで基板Sに塗布するスクリーン印刷を行うものである。ここで、図1〜図3のY方向は、スキージ31を移動させる印刷方向であり、印刷装置10の前後方向である。また、図2,図3のX方向は、基板Sの搬送方向であり、印刷装置10の左右方向である。なお、印刷装置10は、X方向の幅(左右の幅)が異なる複数種のスクリーンマスクMを使用可能であり、作業者により基板Sのサイズに応じたスクリーンマスクMに交換される。また、印刷装置10は、周囲にフレームFのあるスクリーンマスクM(図2,図3参照)と、フレームFのないマスクとを使用可能である。 The printing apparatus 10 of the present embodiment performs screen printing in which solder is pushed into the pattern holes formed in the rectangular screen mask M by a squeegee 31 and applied to the substrate S. Here, the Y direction in FIGS. 1 to 3 is the printing direction in which the squeegee 31 is moved, and is the front-back direction of the printing device 10. Further, the X direction in FIGS. 2 and 3 is the transport direction of the substrate S, and is the left-right direction of the printing apparatus 10. The printing apparatus 10 can use a plurality of types of screen masks M having different widths in the X direction (widths on the left and right), and is replaced by a screen mask M according to the size of the substrate S by an operator. Further, the printing apparatus 10 can use a screen mask M having a frame F around it (see FIGS. 2 and 3) and a mask without a frame F.

印刷装置10は、図1〜図3に示すように、基台12と、基台12上にX方向に一対に設けられた筐体14と、基板Sを搬送する基板搬送装置22と、基板Sの側面をクランプするサイドクランプ装置23と、基板Sを下面からバックアップするバックアップ装置24と、スクリーンマスクMを保持するマスクホルダ16と、スクリーン印刷を行う印刷部30と、マスクホルダ16の位置を調整する位置調整装置40とを備える。 As shown in FIGS. 1 to 3, the printing apparatus 10 includes a base 12, a pair of housings 14 provided on the base 12 in the X direction, a substrate transport device 22 for transporting the substrate S, and a substrate. The positions of the side clamp device 23 that clamps the side surface of S, the backup device 24 that backs up the substrate S from the lower surface, the mask holder 16 that holds the screen mask M, the printing unit 30 that performs screen printing, and the mask holder 16. A position adjusting device 40 for adjusting is provided.

基板搬送装置22は、Y方向に一対のベルトコンベア22a,22bを備える。基板搬送装置22は、ベルトコンベア22a,22bの駆動により基板Sを図1の奥から手前(X方向)に搬送する。 The substrate transfer device 22 includes a pair of belt conveyors 22a and 22b in the Y direction. The substrate transfer device 22 conveys the substrate S from the back to the front (X direction) of FIG. 1 by driving the belt conveyors 22a and 22b.

サイドクランプ装置23は、Y方向に一対のサイドクランプ23a,23bを備える。一対のサイドクランプ23a,23bのうち、一方(例えば、前方のサイドクランプ23a)は固定され、他方(例えば、後方のサイドクランプ23b)はY方向にスライド可能に構成される。サイドクランプ装置23は、基板搬送装置22により基板Sが搬送された状態で、他方のサイドクランプ23bをスライドさせることで、一対のサイドクランプ23a,23bにより基板SのY方向の両サイドをクランプする。なお、サイドクランプ装置23は、サイドクランプ23a,23bの上面が基板Sの上面と同じ高さとなるよう基板Sをクランプする。また、サイドクランプ装置23は、図示しない昇降装置により、クランプした状態の基板SがスクリーンマスクMに当接するまで上昇可能となっている。 The side clamp device 23 includes a pair of side clamps 23a and 23b in the Y direction. Of the pair of side clamps 23a and 23b, one (for example, the front side clamp 23a) is fixed, and the other (for example, the rear side clamp 23b) is configured to be slidable in the Y direction. The side clamp device 23 clamps both sides of the substrate S in the Y direction by the pair of side clamps 23a and 23b by sliding the other side clamp 23b while the substrate S is conveyed by the substrate transfer device 22. .. The side clamp device 23 clamps the substrate S so that the upper surfaces of the side clamps 23a and 23b are at the same height as the upper surface of the substrate S. Further, the side clamp device 23 can be raised by an elevating device (not shown) until the substrate S in the clamped state comes into contact with the screen mask M.

バックアップ装置24は、図示しない昇降装置により昇降が可能なバックアップテーブル25と、バックアップテーブル25上に複数設置されたバックアップピン26とを備える。バックアップ装置24は、基板搬送装置22により基板Sが搬送された状態で、バックアップテーブル25を上昇させることで、バックアップピン26により基板Sを下面からバックアップする。 The backup device 24 includes a backup table 25 that can be raised and lowered by a lifting device (not shown), and a plurality of backup pins 26 that are installed on the backup table 25. The backup device 24 backs up the substrate S from the lower surface by the backup pin 26 by raising the backup table 25 in a state where the substrate S is transported by the substrate transport device 22.

マスクホルダ16は、X方向に一対のマスクホルダ16a,16bを備える。各マスクホルダ16a,16bは、略水平な上面部16uと、上面部16uに対向する略水平な下面部16wと、上面部16uと下面部16wとに直交する側面部16vとを備える。また、各マスクホルダ16a,16bの側面部16vの内側には、下面部16wに向かってピストンロッドを突出させる複数のクランプシリンダ17が設けられている。クランプシリンダ17は、スクリーンマスクMが下面部16wに載置された状態で、ピストンロッドを突出させて下面部16wとの間でスクリーンマスクM(フレームF)のX方向(所定方向)の両端部をクランプすることで、スクリーンマスクMを水平な姿勢で保持する。 The mask holder 16 includes a pair of mask holders 16a and 16b in the X direction. Each of the mask holders 16a and 16b includes a substantially horizontal upper surface portion 16u, a substantially horizontal lower surface portion 16w facing the upper surface portion 16u, and a side surface portion 16v orthogonal to the upper surface portion 16u and the lower surface portion 16w. Further, inside the side surface portions 16v of the mask holders 16a and 16b, a plurality of clamp cylinders 17 are provided so as to project the piston rod toward the lower surface portion 16w. In the clamp cylinder 17, both ends of the screen mask M (frame F) in the X direction (predetermined direction) are projected from the piston rod with the screen mask M mounted on the lower surface portion 16w. Holds the screen mask M in a horizontal position by clamping the screen mask M.

印刷部30は、スキージ31が昇降可能に取り付けられた印刷ヘッド32をY方向に移動させてスクリーン印刷を行うものである。印刷部30は、印刷ヘッド32以外に、ヘッド用ガイドレール33と、ヘッド用スライダ34と、ヘッド側レール35と、スライド受け部36と、ヘッド用モータ37と、ベルト38とを備える。ヘッド用ガイドレール33は、各マスクホルダ16a,16bの上面部16u上にY方向に沿って設けられた一対のレールであり、このレール上をヘッド用スライダ34がY方向に移動可能となっている。ヘッド側レール35は、印刷ヘッド32の下面にX方向に沿って設けられた一対のレールである。スライド受け部36は、ヘッド用スライダ34の上面にX方向に沿って設けられ、各ヘッド側レール35をスライド可能に受ける一対の受け部である。ベルト38は、ヘッド用モータ37により駆動する駆動プーリ38aと、従動プーリ38bとに掛け渡されており、X方向の一方側(図2中左側)のヘッド用ガイドレール33上を移動するヘッド用スライダ34に連結される。このため、印刷ヘッド32は、ヘッド用モータ37の駆動によりベルト38が回転すると、ベルト38に連結されたヘッド用スライダ34がY方向に移動することに伴って、Y方向に移動する。また、印刷ヘッド32は、ヘッド側レール35とスライド受け部36とを介して、ヘッド用スライダ34上にX方向に相対移動可能に搭載されている。このため、印刷ヘッド32は、各マスクホルダ16a,16bのX方向の移動に伴うヘッド用スライダ34のX方向の移動を、ヘッド側レール35とスライド受け部36とにより吸収することができる。したがって、印刷ヘッド32は、ヘッド用スライダ34がX方向に移動しても、X方向の位置が変化することなくY方向への移動が可能である。 The printing unit 30 moves the printing head 32 to which the squeegee 31 is attached so as to be able to move up and down in the Y direction to perform screen printing. In addition to the print head 32, the printing unit 30 includes a head guide rail 33, a head slider 34, a head side rail 35, a slide receiving unit 36, a head motor 37, and a belt 38. The head guide rail 33 is a pair of rails provided along the Y direction on the upper surface portions 16u of the mask holders 16a and 16b, and the head slider 34 can move in the Y direction on the rails. There is. The head-side rail 35 is a pair of rails provided on the lower surface of the print head 32 along the X direction. The slide receiving portion 36 is provided on the upper surface of the head slider 34 along the X direction, and is a pair of receiving portions that slidably receive each head side rail 35. The belt 38 is hung on a drive pulley 38a driven by a head motor 37 and a driven pulley 38b, and is for a head that moves on a head guide rail 33 on one side (left side in FIG. 2) in the X direction. It is connected to the slider 34. Therefore, when the belt 38 is rotated by the drive of the head motor 37, the print head 32 moves in the Y direction as the head slider 34 connected to the belt 38 moves in the Y direction. Further, the print head 32 is mounted on the head slider 34 so as to be relatively movable in the X direction via the head side rail 35 and the slide receiving portion 36. Therefore, the print head 32 can absorb the movement of the head slider 34 in the X direction accompanying the movement of the mask holders 16a and 16b in the X direction by the head side rail 35 and the slide receiving portion 36. Therefore, even if the head slider 34 moves in the X direction, the print head 32 can move in the Y direction without changing the position in the X direction.

位置調整装置40は、X方向左側の筐体14に搭載されるXL軸調整装置42およびY軸調整装置46と、X方向右側の筐体14に搭載されるXR軸調整装置44および従動調整装置48とを備える。なお、XL軸調整装置42とXR軸調整装置44とは、矩形状のスクリーンマスクMの一方の対角近傍となる位置に設けられ、Y軸調整装置46と従動調整装置48とは、スクリーンマスクMの他方の対角近傍となる位置に設けられる。 The position adjusting device 40 includes an XL axis adjusting device 42 and a Y-axis adjusting device 46 mounted on the housing 14 on the left side in the X direction, and an XR axis adjusting device 44 and a driven adjusting device mounted on the housing 14 on the right side in the X direction. It is equipped with 48. The XL-axis adjusting device 42 and the XR-axis adjusting device 44 are provided at positions that are diagonally close to one side of the rectangular screen mask M, and the Y-axis adjusting device 46 and the driven adjusting device 48 are screen masks. It is provided at a position near the other diagonal of M.

XL軸調整装置42は、図4に示すように、X軸ガイドレール50と、X軸スライダ51と、Y軸ガイドレール52と、Y軸スライダ53と、ベアリング54と、ホルダ連結部材55と、ボールネジ56と、X軸用モータ57と、ベルト58とを備える。X軸ガイドレール50は、筐体14の上面にX方向に沿って設けられた一対のレールであり、この一対のレール上に跨がるX軸スライダ51がX方向に移動可能となっている。X軸スライダ51は、X方向に延びるボールネジ56の回転によりX方向に移動する。Y軸ガイドレール52は、X軸スライダ51の上面にY方向に沿って設けられたレールであり、このレール上をY軸スライダ53がY方向に移動可能となっている。ホルダ連結部材55は、断面が逆L字型の部材であり、マスクホルダ16aの側面部16vに連結される側面部55aと、側面部55aの上端からX方向に略水平に延びる上面部55bとを有する。ベアリング54は、Y軸スライダ53と、ホルダ連結部材55の上面部55bとの間に配置され、ベアリング54の内外輪のうち、一方がY軸スライダ53に固定されると共に他方がホルダ連結部材55の上面部55bに固定される。このため、Y軸スライダ53とホルダ連結部材55とが相対回転可能となるから、ホルダ連結部材55は、X方向に移動するX軸スライダ51上に、Y方向に移動可能で且つ相対回転可能に搭載されることになる。ベルト58は、X軸用モータ57により駆動する駆動プーリ58aと、ボールネジ56に接続される従動プーリ58bとに掛け渡されている。即ち、X軸用モータ57の駆動軸は、ベルト58(各プーリ58a,58b)を介してボールネジ56に接続されている。 As shown in FIG. 4, the XL axis adjusting device 42 includes an X-axis guide rail 50, an X-axis slider 51, a Y-axis guide rail 52, a Y-axis slider 53, a bearing 54, a holder connecting member 55, and the like. A ball screw 56, an X-axis motor 57, and a belt 58 are provided. The X-axis guide rail 50 is a pair of rails provided on the upper surface of the housing 14 along the X direction, and the X-axis slider 51 straddling the pair of rails can move in the X direction. .. The X-axis slider 51 moves in the X direction by the rotation of the ball screw 56 extending in the X direction. The Y-axis guide rail 52 is a rail provided on the upper surface of the X-axis slider 51 along the Y direction, and the Y-axis slider 53 can move in the Y direction on the rail. The holder connecting member 55 is a member having an inverted L-shaped cross section, and includes a side surface portion 55a connected to the side surface portion 16v of the mask holder 16a and an upper surface portion 55b extending substantially horizontally in the X direction from the upper end of the side surface portion 55a. Has. The bearing 54 is arranged between the Y-axis slider 53 and the upper surface portion 55b of the holder connecting member 55, and one of the inner and outer rings of the bearing 54 is fixed to the Y-axis slider 53 and the other is the holder connecting member 55. It is fixed to the upper surface portion 55b of. Therefore, since the Y-axis slider 53 and the holder connecting member 55 can rotate relative to each other, the holder connecting member 55 can move in the Y direction and can rotate relative to the X-axis slider 51 that moves in the X direction. It will be installed. The belt 58 is hung on a drive pulley 58a driven by an X-axis motor 57 and a driven pulley 58b connected to a ball screw 56. That is, the drive shaft of the X-axis motor 57 is connected to the ball screw 56 via the belt 58 (the pulleys 58a and 58b, respectively).

このXL軸調整装置42は、X軸用モータ57の駆動によるベルト58の回転に伴ってボールネジ56が回転することにより、ホルダ連結部材55が搭載されたX軸スライダ51をX方向に移動させて、マスクホルダ16aをX方向に移動させる。本実施形態では、XL軸調整装置42のX軸スライダ51の移動可能量、即ち、マスクホルダ16aのX方向の最大移動量が約100mmとなるように、X軸ガイドレール50およびボールネジ56と、Y軸調整装置46の後述するX軸ガイドレール62とを構成するものとした。また、XL軸調整装置42のX軸用モータ57には、回転軸に回転量を検出するエンコーダ57a(図6参照)が取り付けられており、エンコーダ57aの検出値に基づいてマスクホルダ16aのX方向の位置制御が可能となっている。 In this XL axis adjusting device 42, the ball screw 56 rotates with the rotation of the belt 58 driven by the X-axis motor 57, so that the X-axis slider 51 on which the holder connecting member 55 is mounted is moved in the X direction. , The mask holder 16a is moved in the X direction. In the present embodiment, the X-axis guide rail 50 and the ball screw 56 are arranged so that the movable amount of the X-axis slider 51 of the XL-axis adjusting device 42, that is, the maximum moving amount of the mask holder 16a in the X direction is about 100 mm. It is assumed that the Y-axis adjusting device 46 constitutes the X-axis guide rail 62 described later. Further, an encoder 57a (see FIG. 6) for detecting the amount of rotation is attached to the X-axis motor 57 of the XL axis adjusting device 42, and the X of the mask holder 16a is based on the detection value of the encoder 57a. The position of the direction can be controlled.

XR軸調整装置44は、XL軸調整装置42と同様に構成されてマスクホルダ16bをX方向に移動させるものであるため、各構成要素に同様に符号を付して詳細な説明は省略する。なお、XR軸調整装置44のX軸用モータ57の回転軸には、エンコーダ57b(図6参照)が取り付けられるものとする。XR軸調整装置44は、XL軸調整装置42と同様に、マスクホルダ16bのX方向の最大移動量が約100mmとなるように構成される。このため、各マスクホルダ16a,16bの間隔は、最も狭い場合と最も広い場合との差が約200mmとなるから、マスクホルダ16a,16bで保持可能なスクリーンマスクMの幅は、最小幅Wminから最大幅Wmax(Wmin+200mm)までとなる。なお、移動量や間隔の数値は一例であり、これらの数値に限定されるものではない。 Since the XR axis adjusting device 44 is configured in the same manner as the XL axis adjusting device 42 and moves the mask holder 16b in the X direction, each component is similarly coded and detailed description thereof will be omitted. It is assumed that the encoder 57b (see FIG. 6) is attached to the rotating shaft of the X-axis motor 57 of the XR-axis adjusting device 44. Similar to the XL axis adjusting device 42, the XR axis adjusting device 44 is configured so that the maximum amount of movement of the mask holder 16b in the X direction is about 100 mm. Therefore, the distance between the mask holders 16a and 16b is about 200 mm between the narrowest case and the widest case, so that the width of the screen mask M that can be held by the mask holders 16a and 16b is from the minimum width Wmin. The maximum width is Wmax (Wmin + 200 mm). The numerical values of the movement amount and the interval are examples, and are not limited to these numerical values.

Y軸調整装置46は、図5に示すように、Y軸ガイドレール60と、Y軸スライダ61と、X軸ガイドレール62と、X軸スライダ63と、ベアリング64と、ホルダ連結部材65と、ボールネジ66と、Y軸用モータ67とを備える。Y軸ガイドレール60は、筐体14の上面にY方向に沿って設けられた一対のレールであり、この一対のレール上に跨がるY軸スライダ61がY方向に移動可能となっている。Y軸スライダ61は、Y方向に延びるボールネジ66の回転によりY方向に移動する。X軸ガイドレール62は、Y軸スライダ61の上面にX方向に沿って設けられたレールであり、このレール上をX軸スライダ63がX方向に移動可能となっている。ホルダ連結部材65は、断面が逆L字型の部材であり、マスクホルダ16(ここでは16a)の側面部16vに連結される側面部65aと、側面部65aの上端からX方向に略水平に延びる上面部65bとを有する。ベアリング64は、X軸スライダ63と、ホルダ連結部材65の上面部65bとの間に配置され、ベアリング64の内外輪のうち、一方がX軸スライダ63に固定されると共に他方がホルダ連結部材65の上面部65bに固定される。このため、X軸スライダ63とホルダ連結部材65とが相対回転可能となるから、ホルダ連結部材65は、Y方向に移動するY軸スライダ61上に、X方向に移動可能で且つ相対回転可能に搭載されることになる。また、Y軸用モータ67の回転軸は、カップリングを介してボールネジ66に接続されている。 As shown in FIG. 5, the Y-axis adjusting device 46 includes a Y-axis guide rail 60, a Y-axis slider 61, an X-axis guide rail 62, an X-axis slider 63, a bearing 64, a holder connecting member 65, and the like. A ball screw 66 and a Y-axis motor 67 are provided. The Y-axis guide rail 60 is a pair of rails provided on the upper surface of the housing 14 along the Y direction, and the Y-axis slider 61 straddling the pair of rails can move in the Y direction. .. The Y-axis slider 61 moves in the Y direction by the rotation of the ball screw 66 extending in the Y direction. The X-axis guide rail 62 is a rail provided on the upper surface of the Y-axis slider 61 along the X direction, and the X-axis slider 63 can move in the X direction on the rail. The holder connecting member 65 is a member having an inverted L-shaped cross section, and is substantially horizontal to the side surface portion 65a connected to the side surface portion 16v of the mask holder 16 (here, 16a) and the upper end of the side surface portion 65a in the X direction. It has an extending upper surface portion 65b. The bearing 64 is arranged between the X-axis slider 63 and the upper surface portion 65b of the holder connecting member 65, and one of the inner and outer rings of the bearing 64 is fixed to the X-axis slider 63 and the other is the holder connecting member 65. It is fixed to the upper surface portion 65b of. Therefore, since the X-axis slider 63 and the holder connecting member 65 can rotate relative to each other, the holder connecting member 65 can move in the X direction and can rotate relative to the Y-axis slider 61 that moves in the Y direction. It will be installed. Further, the rotating shaft of the Y-axis motor 67 is connected to the ball screw 66 via a coupling.

このY軸調整装置46は、Y軸用モータ67の駆動によりボールネジ66が回転することにより、ホルダ連結部材65が搭載されたY軸スライダ61をY方向に移動させて、マスクホルダ16aをY方向に移動させる。本実施形態では、Y軸調整装置46のY軸スライダ61の移動可能量、即ち、マスクホルダ16aのY方向の最大移動量が約100mmとなるように、Y軸調整装置46のY軸ガイドレール60およびボールネジ66と、XL軸調整装置42とXR軸調整装置44のY軸ガイドレール52とを構成するものとした。また、Y軸調整装置46のY軸用モータ67には、回転軸に回転量を検出するエンコーダ67a(図6参照)が取り付けられており、エンコーダ67aの検出値に基づいてマスクホルダ16aのY方向の位置制御が可能となっている。 In this Y-axis adjusting device 46, the ball screw 66 is rotated by driving the Y-axis motor 67, so that the Y-axis slider 61 on which the holder connecting member 65 is mounted is moved in the Y direction, and the mask holder 16a is moved in the Y direction. Move to. In the present embodiment, the Y-axis guide rail of the Y-axis adjusting device 46 is such that the movable amount of the Y-axis slider 61 of the Y-axis adjusting device 46, that is, the maximum moving amount of the mask holder 16a in the Y direction is about 100 mm. The 60 and the ball screw 66, and the XL-axis adjusting device 42 and the Y-axis guide rail 52 of the XR-axis adjusting device 44 are configured. Further, an encoder 67a (see FIG. 6) for detecting the amount of rotation is attached to the Y-axis motor 67 of the Y-axis adjusting device 46, and the Y of the mask holder 16a is based on the detection value of the encoder 67a. The position of the direction can be controlled.

従動調整装置48は、ボールネジ66やY軸用モータ67などの駆動用の構成を備えない点を除いて、Y軸調整装置46と同様に構成されているため、詳細な構成の説明は省略する。このように、XL軸調整装置42とXR軸調整装置44とY軸調整装置46と従動調整装置48とは、それぞれ、マスクホルダ16a,16bをX方向およびY方向に所定範囲(約100mm)で移動可能で且つ所定角度範囲(例えば±2度程度)で回転可能に構成される。 Since the driven adjustment device 48 has the same configuration as the Y-axis adjustment device 46 except that it does not have a drive configuration such as a ball screw 66 or a Y-axis motor 67, detailed description of the configuration will be omitted. .. As described above, the XL axis adjusting device 42, the XR axis adjusting device 44, the Y axis adjusting device 46, and the driven adjusting device 48 have the mask holders 16a and 16b set in the X direction and the Y direction in predetermined ranges (about 100 mm), respectively. It is configured to be movable and rotatable within a predetermined angle range (for example, about ± 2 degrees).

印刷装置10は、この他に、図6に示すように、タッチパネル式の表示操作パネル18と、各種マークを撮像するマークカメラ19と、装置全体を制御する制御装置70とを備える。表示操作パネル18は、各種情報を表示したり、作業者からの入力操作を受け付けたりする。作業者は、表示操作パネル18を介して、使用されるスクリーンマスクMの種類の選択や入力をしたり、使用されるスクリーンマスクMのX方向の幅(マスクホルダ16a,16bの間隔)を入力したりする。マークカメラ19は、例えば、基板搬送装置22により基板Sが搬送された状態で基板SとスクリーンマスクMとの間に移動して、基板Sに設けられた基板マークとスクリーンマスクMに設けられたマスクマークとを撮像可能に構成されている。 In addition to this, as shown in FIG. 6, the printing device 10 includes a touch panel type display operation panel 18, a mark camera 19 that captures various marks, and a control device 70 that controls the entire device. The display operation panel 18 displays various information and accepts input operations from the operator. The operator selects and inputs the type of screen mask M to be used, and inputs the width of the screen mask M to be used in the X direction (interval between mask holders 16a and 16b) through the display operation panel 18. To do. The mark camera 19 is, for example, moved between the substrate S and the screen mask M in a state where the substrate S is conveyed by the substrate conveying device 22, and is provided on the substrate mark and the screen mask M provided on the substrate S. It is configured to be able to image the mask mark.

制御装置70は、図6に示すように、CPU71と中心としたマイクロプロセッサとして構成されており、CPU71の他に、ROM72,HDD73,RAM74,入出力インタフェース75等を備える。これらは、バス76を介して互いに電気的に接続されている。制御装置70には、表示操作パネル18からの操作信号やマークカメラ19により撮像された各マーク画像、XL軸調整装置42とXR軸調整装置44とY軸調整装置46の各エンコーダ57a,57b,67aからの回転量検出信号などが入力される。一方、制御装置70からは、クランプシリンダ17への駆動信号や表示操作パネル18への表示信号、マークカメラ19への撮像指示信号、基板搬送装置22への駆動信号、サイドクランプ装置23への駆動信号、バックアップ装置24への駆動信号、印刷部30への駆動信号、XL軸調整装置42とXR軸調整装置44(各X軸用モータ57)への駆動信号、Y軸調整装置46(Y軸用モータ67)への駆動信号などが出力される。 As shown in FIG. 6, the control device 70 is configured as a microprocessor centered on the CPU 71, and includes a ROM 72, an HDD 73, a RAM 74, an input / output interface 75, and the like in addition to the CPU 71. These are electrically connected to each other via a bus 76. The control device 70 includes operation signals from the display operation panel 18, mark images captured by the mark camera 19, encoders 57a and 57b of the XL axis adjustment device 42, the XR axis adjustment device 44, and the Y axis adjustment device 46. A rotation amount detection signal or the like from 67a is input. On the other hand, from the control device 70, a drive signal to the clamp cylinder 17, a display signal to the display operation panel 18, an image pickup instruction signal to the mark camera 19, a drive signal to the substrate transfer device 22, and a drive to the side clamp device 23. Signal, drive signal to backup device 24, drive signal to printing unit 30, drive signal to XL axis adjustment device 42 and XR axis adjustment device 44 (each X-axis motor 57), Y-axis adjustment device 46 (Y-axis) A drive signal or the like to the motor 67) is output.

この制御装置70は、表示操作パネル18を介して、スクリーンマスクMの種類の選択や入力がされたり、スクリーンマスクMのX方向の幅が入力されたりすると、マスク幅に基づく駆動信号を生成してXL軸調整装置42やXR軸調整装置44に出力する。また、制御装置70は、マークカメラ19から各マーク画像が入力されると、基板SとスクリーンマスクMとを重ねた場合のX方向,Y方向,回転方向のずれ量を算出し、各ずれ量に基づいて位置調整装置40によるマスクホルダ16a,16bのX方向,Y方向,回転方向の自動調整量を算出する。そして、制御装置70は、それらの自動調整値に基づく駆動信号を生成してXL軸調整装置42やXR軸調整装置44、Y軸調整装置46に出力する。 The control device 70 generates a drive signal based on the mask width when the type of the screen mask M is selected or input or the width of the screen mask M in the X direction is input via the display operation panel 18. Is output to the XL axis adjusting device 42 and the XR axis adjusting device 44. Further, when each mark image is input from the mark camera 19, the control device 70 calculates the amount of deviation in the X direction, the Y direction, and the rotation direction when the substrate S and the screen mask M are overlapped, and each deviation amount. The amount of automatic adjustment of the mask holders 16a and 16b in the X direction, the Y direction, and the rotation direction by the position adjusting device 40 is calculated based on the above. Then, the control device 70 generates a drive signal based on these automatic adjustment values and outputs the drive signal to the XL axis adjustment device 42, the XR axis adjustment device 44, and the Y axis adjustment device 46.

次に、こうして構成された本実施形態の印刷装置10の動作について説明する。特に、印刷装置10が、スクリーンマスクMの位置を微調整(自動調整値に基づく補正)する際の動作や幅の異なるスクリーンマスクMの交換に対応する際の動作について説明する。 Next, the operation of the printing apparatus 10 of the present embodiment configured in this way will be described. In particular, the operation when the printing device 10 finely adjusts the position of the screen mask M (correction based on the automatic adjustment value) and the operation when the screen mask M having a different width is replaced will be described.

図7は、マスクホルダ16a,16bの位置を微調整する様子を示す説明図である。スクリーンマスクMの位置調整は、図7(a)に示すように、スクリーンマスクMがマスクホルダ16a,16bにセットされた状態で行われる。なお、スクリーンマスクMは、クランプシリンダ17により保持された状態とする。この状態で、制御装置70は、例えば、マスクホルダ16aを図中左側に移動させると共にマスクホルダ16bを図中左側に移動させるように、XL軸調整装置42とXR軸調整装置44への駆動信号を出力する。これにより、制御装置70は、図7(b)に示すように、スクリーンマスクMの位置をX方向左側に微調整することができる。このように、制御装置70は、XL軸調整装置42によるマスクホルダ16aの移動とXR軸調整装置44によるマスクホルダ16bの移動とを、同じ方向に同じ量だけ同期するように行うことで、スクリーンマスクMをX方向に平行移動させることができる。 FIG. 7 is an explanatory view showing how the positions of the mask holders 16a and 16b are finely adjusted. As shown in FIG. 7A, the position adjustment of the screen mask M is performed in a state where the screen mask M is set in the mask holders 16a and 16b. The screen mask M is held by the clamp cylinder 17. In this state, the control device 70 sends a drive signal to the XL axis adjusting device 42 and the XR axis adjusting device 44 so as to move the mask holder 16a to the left side in the drawing and the mask holder 16b to the left side in the drawing, for example. Is output. As a result, the control device 70 can finely adjust the position of the screen mask M to the left side in the X direction as shown in FIG. 7 (b). In this way, the control device 70 synchronizes the movement of the mask holder 16a by the XL axis adjusting device 42 and the movement of the mask holder 16b by the XR axis adjusting device 44 in the same direction by the same amount, thereby performing the screen. The mask M can be translated in the X direction.

また、制御装置70は、図7(a)の状態で、例えば、マスクホルダ16aを図中右側に移動させると共にマスクホルダ16bを図中左側に移動させるように、XL軸調整装置42とXR軸調整装置44への駆動信号を出力すると共に、マスクホルダ16aを図中上側に移動させるように、Y軸調整装置46への駆動信号を出力する。これにより、制御装置70は、図7(c)に示すように、スクリーンマスクMを回転移動させることができる。このように、制御装置70は、XL軸調整装置42によるマスクホルダ16aの移動とXR軸調整装置44によるマスクホルダ16bの移動とを互いに反対方向で同じ量だけ行い、且つ、Y軸調整装置46によるマスクホルダ16aの移動を同期して行うことで、スクリーンマスクMを回転移動させることができる。なお、図示は省略するが、制御装置70は、マスクホルダ16aをY方向に移動させるように、Y軸調整装置46への駆動信号を出力することで、スクリーンマスクMをY方向に平行移動させることができる。このように、制御装置70は、マスクホルダ16a,16bがスクリーンマスクMを保持している状態で位置調整装置40を駆動することで、スクリーンマスクMのX方向,Y方向,回転方向の位置の微調整が可能となっている。なお、このような微調整は、例えば、X方向およびY方向に±10mm程度、回転方向に±2度程度の範囲などで行われる。このため、位置調整装置40の各装置の最大移動量(例えば、X方向に約100mm程度)は、微調整に必要な範囲を大きく超える量となっている。なお、X方向およびY方向の最大移動量を同じ量としたが、異なる量としてもよく、Y方向の最大移動量をX方向の最大移動量よりも小さくして微調整に必要な量程度としてもよい。 Further, in the state of FIG. 7A, the control device 70 moves the mask holder 16a to the right side in the drawing and the mask holder 16b to the left side in the drawing, so that the XL axis adjusting device 42 and the XR axis are moved. The drive signal to the adjusting device 44 is output, and the driving signal to the Y-axis adjusting device 46 is output so as to move the mask holder 16a to the upper side in the drawing. As a result, the control device 70 can rotate and move the screen mask M as shown in FIG. 7 (c). In this way, the control device 70 moves the mask holder 16a by the XL axis adjusting device 42 and the mask holder 16b by the XR axis adjusting device 44 by the same amount in opposite directions, and the Y axis adjusting device 46. By synchronously moving the mask holder 16a according to the above method, the screen mask M can be rotated and moved. Although not shown, the control device 70 translates the screen mask M in the Y direction by outputting a drive signal to the Y-axis adjusting device 46 so as to move the mask holder 16a in the Y direction. be able to. In this way, the control device 70 drives the position adjusting device 40 in a state where the mask holders 16a and 16b hold the screen mask M, so that the positions of the screen mask M in the X direction, the Y direction, and the rotation direction can be changed. Fine adjustment is possible. Such fine adjustment is performed, for example, in a range of about ± 10 mm in the X direction and the Y direction and about ± 2 degrees in the rotation direction. Therefore, the maximum movement amount of each device of the position adjustment device 40 (for example, about 100 mm in the X direction) is an amount that greatly exceeds the range required for fine adjustment. Although the maximum movement amount in the X direction and the Y direction is the same amount, they may be different amounts, and the maximum movement amount in the Y direction is made smaller than the maximum movement amount in the X direction to be about the amount required for fine adjustment. May be good.

一方、図8は、マスクホルダ16a,16bの位置を変更する様子を示す説明図である。図8では、幅の広いスクリーンマスクM1から、幅の狭いスクリーンマスクM2に交換する際の様子を示す。制御装置70は、図8(b)に示すように、スクリーンマスクMが取り外されている状態で、例えば、マスクホルダ16aを図中右側に移動させると共にマスクホルダ16bを図中左側に移動させるように、XL軸調整装置42とXR軸調整装置44への駆動信号を出力する。これにより、制御装置70は、マスクホルダ16a,16bの位置を変更して間隔を狭くすることができる。制御装置70は、マスクホルダ16a,16bの間隔をスクリーンマスクM2の幅に応じたものとすることで、スクリーンマスクM2を確実にセットさせることができる(図8(c)参照)。なお、制御装置70は、マスクホルダ16aを図中左側に移動させると共にマスクホルダ16bを図中右側に移動させるように、XL軸調整装置42とXR軸調整装置44への駆動信号を出力することで、マスクホルダ16a,16bの間隔を広くすることができる。このように、制御装置70は、スクリーンマスクMが取り外されている状態で、XL軸調整装置42によるマスクホルダ16aの移動とXR軸調整装置44によるマスクホルダ16bの移動とを互いに反対方向とすることで、マスクホルダ16a,16bの間隔を広くしたり狭くしたりすることができるから、使用されるスクリーンマスクMに応じた幅に自動で設定することができる。また、エンコーダ57a,57bによりマスクホルダ16a,16bのX方向の位置制御を精度よく行って適切な幅に設定することができる。したがって、印刷装置10が、作業者の手作業により幅変更を行う機構を備える場合に比べて、幅の設定ミスなどを防止することができる。また、印刷装置10が、スクリーンマスクMの幅に応じてマスクホルダ16にアタッチメントアダプタを取り付けるよう構成される場合に比べて、複数のアタッチメントアダプタを用意しなくてよいものとすることができる。 On the other hand, FIG. 8 is an explanatory view showing how the positions of the mask holders 16a and 16b are changed. FIG. 8 shows a state in which the wide screen mask M1 is replaced with the narrow screen mask M2. As shown in FIG. 8B, the control device 70 moves, for example, the mask holder 16a to the right side in the drawing and the mask holder 16b to the left side in the drawing in a state where the screen mask M is removed. It outputs a drive signal to the XL axis adjusting device 42 and the XR axis adjusting device 44. As a result, the control device 70 can change the positions of the mask holders 16a and 16b to narrow the interval. The control device 70 can reliably set the screen mask M2 by setting the distance between the mask holders 16a and 16b according to the width of the screen mask M2 (see FIG. 8C). The control device 70 outputs a drive signal to the XL axis adjusting device 42 and the XR axis adjusting device 44 so as to move the mask holder 16a to the left side in the drawing and the mask holder 16b to the right side in the drawing. Therefore, the distance between the mask holders 16a and 16b can be widened. As described above, in the state where the screen mask M is removed, the control device 70 sets the movement of the mask holder 16a by the XL axis adjusting device 42 and the movement of the mask holder 16b by the XR axis adjusting device 44 in opposite directions. As a result, the distance between the mask holders 16a and 16b can be widened or narrowed, so that the width can be automatically set according to the screen mask M to be used. Further, the encoders 57a and 57b can accurately control the positions of the mask holders 16a and 16b in the X direction and set them to an appropriate width. Therefore, as compared with the case where the printing device 10 is provided with a mechanism for manually changing the width, it is possible to prevent an error in setting the width. Further, as compared with the case where the printing device 10 is configured to attach the attachment adapter to the mask holder 16 according to the width of the screen mask M, it is not necessary to prepare a plurality of attachment adapters.

ここで、本実施例の主要な要素と発明の開示の欄に記載した発明の主要な要素との対応関係について説明する。即ち、本実施形態のマスクホルダ16a,16bが本発明のマスクホルダに相当し、XL軸調整装置42およびXR軸調整装置44が調整装置に相当する。また、ボールネジ56がボールネジに相当し、X軸用モータ57がモータに相当し、X軸スライダ51とホルダ連結部材55とがホルダスライダに相当し、エンコーダ57a,57bがエンコーダに相当する。また、印刷ヘッド32が印刷ヘッドに相当し、ヘッド用ガイドレール33がレールに相当し、ヘッド用スライダ34がレールスライダに相当し、ヘッド側レール35とスライド受け部36とが「印刷ヘッドは、レールスライダ上に、レールスライダに対して所定方向に相対移動可能に搭載される」構成に相当する。 Here, the correspondence between the main elements of the present embodiment and the main elements of the invention described in the disclosure column of the invention will be described. That is, the mask holders 16a and 16b of the present embodiment correspond to the mask holder of the present invention, and the XL axis adjusting device 42 and the XR axis adjusting device 44 correspond to the adjusting device. Further, the ball screw 56 corresponds to the ball screw, the X-axis motor 57 corresponds to the motor, the X-axis slider 51 and the holder connecting member 55 correspond to the holder slider, and the encoders 57a and 57b correspond to the encoder. Further, the print head 32 corresponds to the print head, the head guide rail 33 corresponds to the rail, the head slider 34 corresponds to the rail slider, and the head side rail 35 and the slide receiving portion 36 indicate that the print head is It corresponds to the configuration of "mounted on the rail slider so as to be movable relative to the rail slider in a predetermined direction".

以上説明した本実施形態の印刷装置10は、スクリーンマスクMを保持している状態のマスクホルダ16a,16bをX方向に移動させるよう作動することでスクリーンマスクMのX方向の位置調整を行うXL軸調整装置42およびXR軸調整装置44を備える。XL軸調整装置42およびXR軸調整装置44は、スクリーンマスクMがない状態(少なくともマスクホルダ16a,16bがスクリーンマスクMを保持していない状態)でマスクホルダ16a,16bをX方向に移動させることで、使用が予定されるスクリーンマスクMのX方向の幅に応じてマスクホルダ16a,16bの位置(間隔)を変更することができる。これにより、マスクホルダ16のX方向の位置調整を行う装置を、スクリーンマスクMのX方向の幅に応じたマスクホルダ16の位置変更に兼用して、スクリーンマスクMの幅変更に適切に対応することができる。 The printing apparatus 10 of the present embodiment described above is an XL that adjusts the position of the screen mask M in the X direction by operating the mask holders 16a and 16b while holding the screen mask M so as to move them in the X direction. The axis adjusting device 42 and the XR axis adjusting device 44 are provided. The XL axis adjusting device 42 and the XR axis adjusting device 44 move the mask holders 16a and 16b in the X direction without the screen mask M (at least the mask holders 16a and 16b do not hold the screen mask M). Therefore, the positions (intervals) of the mask holders 16a and 16b can be changed according to the width of the screen mask M scheduled to be used in the X direction. As a result, the device that adjusts the position of the mask holder 16 in the X direction is also used to change the position of the mask holder 16 according to the width of the screen mask M in the X direction, and appropriately responds to the change in the width of the screen mask M. be able to.

また、XL軸調整装置42およびXR軸調整装置44は、X軸用モータ57の駆動によりX軸スライダ51を移動させることで、マスクホルダ16a,16bをX方向に移動させるよう構成され、X軸用モータ57の回転量を検出するエンコーダ57a,57bを備えるものとした。このため、マスクホルダ16のX方向における位置を精度よく管理することができるから、スクリーンマスクMの幅変更にさらに適切に対応することができる。 Further, the XL-axis adjusting device 42 and the XR-axis adjusting device 44 are configured to move the mask holders 16a and 16b in the X direction by moving the X-axis slider 51 by driving the X-axis motor 57, and the X-axis. The encoders 57a and 57b for detecting the amount of rotation of the motor 57 are provided. Therefore, since the position of the mask holder 16 in the X direction can be managed accurately, it is possible to more appropriately cope with the change in the width of the screen mask M.

また、印刷装置10は、印刷部30のヘッド用ガイドレール33は、マスクホルダ16a,16bと共にX方向に移動するよう構成され、印刷ヘッド32は、ヘッド側レール35とスライド受け部36とによりヘッド用スライダ34に対してX方向に相対移動可能である。このため、ヘッド用ガイドレール33がスクリーンマスクMの幅変更に伴って移動しても、印刷ヘッド32をY方向に移動させてスクリーン印刷を行うことができる。 Further, in the printing apparatus 10, the head guide rail 33 of the printing unit 30 is configured to move in the X direction together with the mask holders 16a and 16b, and the printing head 32 is headed by the head side rail 35 and the slide receiving unit 36. It can move relative to the slider 34 in the X direction. Therefore, even if the guide rail 33 for the head moves as the width of the screen mask M is changed, the print head 32 can be moved in the Y direction to perform screen printing.

なお、本発明は上述した実施形態に何ら限定されることはなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の態様で実施し得ることはいうまでもない。 It goes without saying that the present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be implemented in various aspects as long as it belongs to the technical scope of the present invention.

例えば、上述した実施形態では、マスクホルダ16がクランプシリンダ17を備えるものとしたが、これに限られるものではない。ここで、図9は、スクリーンマスクMを保持する様子を示す説明図である。実施形態では、図9(a)に示すように、下面部16wをマスク受けとして機能させて、クランプシリンダ17がスクリーンマスクMをクランプすることでスクリーンマスクMを保持する。一方、クランプシリンダ17を備えない変形例を図9(b)に示す。マスクホルダ160は、スクリーンマスクM(フレームF)にX方向から当接可能な側面部160vを有する。このため、制御装置70は、スクリーン印刷中に、マスクホルダ160(160a,160b)の側面部160vをスクリーンマスクMのフレームFに押し付けるようにXL軸調整装置42およびXR軸調整装置44を作動させることで、スクリーンマスクMを保持することができる。こうすれば、変形例のマスクホルダ160は、マスク受けとして機能する下面部16wとクランプシリンダ17とを省略することができる。このため、変形例では、サイドクランプ23a,23bと下面部16wとの干渉を避ける必要がないから、サイドクランプ23a,23bとの干渉を防ぐためにスクリーンマスクMを大きくする必要がない。これにより、図9(b)に示す変形例では、図9(a)に比して、同じ幅の基板Sに対するスクリーンマスクMの幅を狭くすることが可能となる。 For example, in the above-described embodiment, the mask holder 16 includes the clamp cylinder 17, but the present invention is not limited to this. Here, FIG. 9 is an explanatory diagram showing how the screen mask M is held. In the embodiment, as shown in FIG. 9A, the lower surface portion 16w functions as a mask receiver, and the clamp cylinder 17 clamps the screen mask M to hold the screen mask M. On the other hand, FIG. 9B shows a modified example in which the clamp cylinder 17 is not provided. The mask holder 160 has a side surface portion 160v capable of contacting the screen mask M (frame F) from the X direction. Therefore, the control device 70 operates the XL axis adjusting device 42 and the XR axis adjusting device 44 so as to press the side surface portions 160v of the mask holder 160 (160a, 160b) against the frame F of the screen mask M during screen printing. As a result, the screen mask M can be held. In this way, the mask holder 160 of the modified example can omit the lower surface portion 16w and the clamp cylinder 17 that function as a mask receiver. Therefore, in the modified example, it is not necessary to avoid the interference between the side clamps 23a and 23b and the lower surface portion 16w, so that it is not necessary to increase the screen mask M in order to prevent the interference with the side clamps 23a and 23b. As a result, in the modified example shown in FIG. 9B, the width of the screen mask M with respect to the substrate S having the same width can be narrowed as compared with FIG. 9A.

上述した実施形態では、フレームFのあるスクリーンマスクMを用いて説明したが、フレームFのないスクリーンマスク(フレームレスマスクMfl)を用いてもよい。ここで、図10は、フレームレスマスクMflを保持する様子を示す説明図である。このフレームレスマスクMflは、図10(a)に示すように、X方向の両縁部の近傍に複数(所定数、例えば3つずつ)の貫通孔Hが形成されている。また、変形例のマスクホルダ160a,160bは、図示しないボルトなどにより、側面部160vの下端に下面部160wを取り付け可能に構成されている。この下面部160wの上面には、フレームレスマスクMflの貫通孔Hの形成間隔に対応する位置に複数(所定数、例えば3つずつ)の着脱可能なピン160pが設けられている。制御装置70は、XL軸調整装置42およびXR軸調整装置44を作動させて、フレームレスマスクMflの貫通孔Hに、ピン160pが嵌まる位置となるようにマスクホルダ160a,160bの位置を変更する。そして、図10(b)に示すように、作業者により貫通孔Hをピン160pに嵌めることでフレームレスマスクMflをマスクホルダ160a,160bに取り付ける。また、制御装置70は、スクリーン印刷中は、マスクホルダ160a,160bを互いに遠ざかる方向にXL軸調整装置42およびXR軸調整装置44を作動させることで、スクリーンマスクMflに張力を作用させてスクリーンマスクMflを保持することができる。これにより、フレームレスマスクMflを適切に保持してスクリーン印刷を行うことができる。なお、ピン160pを用いるものに限られず、フレームレスマスクMflをマスクホルダ160に係合可能なものであればよい。 In the above-described embodiment, the screen mask M with the frame F has been used, but a screen mask without the frame F (frameless mask Mfl) may be used. Here, FIG. 10 is an explanatory diagram showing how the frameless mask Mfl is held. As shown in FIG. 10A, the frameless mask Mfl has a plurality of (predetermined number, for example, three) through holes H formed in the vicinity of both edges in the X direction. Further, the mask holders 160a and 160b of the modified example are configured so that the lower surface portion 160w can be attached to the lower end of the side surface portion 160v by a bolt or the like (not shown). On the upper surface of the lower surface portion 160w, a plurality of (predetermined number, for example, three) removable pins 160p are provided at positions corresponding to the formation intervals of the through holes H of the frameless mask Mfl. The control device 70 operates the XL axis adjusting device 42 and the XR axis adjusting device 44 to change the positions of the mask holders 160a and 160b so that the pins 160p fit into the through holes H of the frameless mask Mfl. do. Then, as shown in FIG. 10B, the frameless mask Mfl is attached to the mask holders 160a and 160b by fitting the through hole H into the pin 160p by the operator. Further, during screen printing, the control device 70 operates the XL axis adjusting device 42 and the XR axis adjusting device 44 in the direction in which the mask holders 160a and 160b are moved away from each other to apply tension to the screen mask Mfl to make the screen mask. Mfl can be retained. Thereby, the frameless mask Mfl can be appropriately held and screen printing can be performed. The frameless mask Mfl is not limited to the one using the pin 160p, as long as it can engage the mask holder 160.

上述した実施形態では、一対のマスクホルダ16a,16bがいずれも移動可能としたが、これに限られず、一対のマスクホルダ16a,16bのうち一方を移動可能とし、他方を移動不能としてもよい。また、マスクホルダ16をX方向に一対備えるものとしたが、マスクホルダをX方向に複数対備えるものとしてもよい。 In the above-described embodiment, the pair of mask holders 16a and 16b are both movable, but the present invention is not limited to this, and one of the pair of mask holders 16a and 16b may be movable and the other may be immovable. Further, although a pair of mask holders 16 are provided in the X direction, a plurality of pairs of mask holders 16 may be provided in the X direction.

上述した実施形態では、XL軸調整装置42およびXR軸調整装置44が、X軸用モータ57を用いてマスクホルダ16をX方向に移動させたが、これに限られるものではない。例えば、電動シリンダなどの他の電動式のアクチュエータや油圧式またはエア式のアクチュエータによりマスクホルダ16をX方向に移動させてもよい。また、X軸用モータ57からボールネジ56への回転の伝達が、ベルト58を介して行われるが、Y軸調整装置46のように、カップリングを介して行われてもよい。また、位置調整装置40は、Y方向の調整装置(Y軸調整装置46、従動調整装置48)を備えないものとしてもよい。その場合、XL軸調整装置42およびXR軸調整装置44が、Y軸ガイドレール52やY軸スライダ53などを備えないものなどとしてもよい。 In the above-described embodiment, the XL-axis adjusting device 42 and the XR-axis adjusting device 44 use the X-axis motor 57 to move the mask holder 16 in the X direction, but the present invention is not limited to this. For example, the mask holder 16 may be moved in the X direction by another electric actuator such as an electric cylinder or a hydraulic or pneumatic actuator. Further, although the rotation is transmitted from the X-axis motor 57 to the ball screw 56 via the belt 58, it may be transmitted via the coupling as in the Y-axis adjusting device 46. Further, the position adjusting device 40 may not include the adjusting device in the Y direction (Y-axis adjusting device 46, driven adjusting device 48). In that case, the XL-axis adjusting device 42 and the XR-axis adjusting device 44 may not be provided with the Y-axis guide rail 52, the Y-axis slider 53, or the like.

上述した実施形態では、印刷ヘッド32とヘッド用スライダ34とをX方向に相対移動可能とするために、印刷ヘッド32の下面にヘッド側レール35が設けられると共にヘッド用スライダ34上にスライド受け部36が設けられるものとしたが、これに限られるものではない。例えば、ヘッド用スライダ34上にX方向に延びるレールが設けられると共に印刷ヘッド32の下面にスライド受け部が設けられるものとしてもよい。 In the above-described embodiment, in order to allow the print head 32 and the head slider 34 to move relative to each other in the X direction, a head-side rail 35 is provided on the lower surface of the print head 32 and a slide receiving portion is provided on the head slider 34. 36 is provided, but the present invention is not limited to this. For example, a rail extending in the X direction may be provided on the slider 34 for the head, and a slide receiving portion may be provided on the lower surface of the print head 32.

上述した実施形態では、印刷ヘッド32がY方向に移動するためのヘッド用ガイドレール33がマスクホルダ16の上面部16uに設けられてX方向に移動するものとしたが、これに限られるものではない。例えば、ヘッド用ガイドレールが、筐体14に固定されるレール台などに設けられて、X方向に移動しないものとしてもよい。その場合、印刷部30が、ヘッド側レール35やスライド受け部36を備えないものとしてもよい。 In the above-described embodiment, the guide rail 33 for the head for moving the print head 32 in the Y direction is provided on the upper surface portion 16u of the mask holder 16 and moves in the X direction, but the present invention is not limited to this. No. For example, the guide rail for the head may be provided on a rail base fixed to the housing 14 and may not move in the X direction. In that case, the printing unit 30 may not include the head-side rail 35 and the slide receiving unit 36.

本発明は、印刷装置の製造産業などに利用可能である。 The present invention can be used in the manufacturing industry of printing equipment and the like.

10 印刷装置、12 基台、14 筐体、16,16a,16b,160a,160b マスクホルダ、16u 上面部、16v,160v 側面部、16w,160w 下面部、17 クランプシリンダ、18 表示操作パネル、19 マークカメラ、22 基板搬送装置、22a,22b ベルトコンベア、23 サイドクランプ装置、23a,23b サイドクランプ、24 バックアップ装置、25 バックアップテーブル、26 バックアップピン、30 印刷部、31 スキージ、32 印刷ヘッド、33 ヘッド用ガイドレール、34 ヘッド用スライダ、35 ヘッド側レール、36 スライド受け部、37 ヘッド用モータ、38 ベルト、38a 駆動プーリ、38b 従動プーリ、40 位置調整装置、42 XL軸調整装置、44 XR軸調整装置、46 Y軸調整装置、48 従動調整装置、50 X軸ガイドレール、51 X軸スライダ、52 Y軸ガイドレール、53 Y軸スライダ、54 ベアリング、55 ホルダ連結部材、55a 側面部、55b 上面部、56 ボールネジ、57 X軸用モータ、57a,57b エンコーダ、58 ベルト、58a 駆動プーリ、58b 従動プーリ、60 Y軸ガイドレール、61 Y軸スライダ、62 X軸ガイドレール、63 X軸スライダ、64 ベアリング、65 ホルダ連結部材、65a 側面部、65b 上面部、66 ボールネジ、67 Y軸用モータ、67a エンコーダ、70 制御装置、71 CPU、72 ROM、73 HDD、74 RAM、75 入出力インタフェース、76 バス、160p ピン、F フレーム、H 貫通孔、M,M1,M2 スクリーンマスク、Mfl フレームレスマスク、S 基板。 10 printing equipment, 12 bases, 14 housings, 16, 16a, 16b, 160a, 160b mask holder, 16u top surface, 16v, 160v side surface, 16w, 160w bottom surface, 17 clamp cylinder, 18 display operation panel, 19 Mark camera, 22 board transfer device, 22a, 22b belt conveyor, 23 side clamp device, 23a, 23b side clamp, 24 backup device, 25 backup table, 26 backup pin, 30 printing unit, 31 squeegee, 32 printing head, 33 head Guide rail, 34 head slider, 35 head side rail, 36 slide receiver, 37 head motor, 38 belt, 38a drive pulley, 38b driven pulley, 40 position adjustment device, 42 XL axis adjustment device, 44 XR axis adjustment Equipment, 46 Y-axis adjustment device, 48 driven adjustment device, 50 X-axis guide rail, 51 X-axis slider, 52 Y-axis guide rail, 53 Y-axis slider, 54 bearing, 55 holder connecting member, 55a side surface, 55b top surface , 56 ball screw, 57 X-axis motor, 57a, 57b encoder, 58 belt, 58a drive pulley, 58b driven pulley, 60 Y-axis guide rail, 61 Y-axis slider, 62 X-axis guide rail, 63 X-axis slider, 64 bearing , 65 holder connecting member, 65a side surface, 65b top surface, 66 ball screw, 67 Y-axis motor, 67a encoder, 70 controller, 71 CPU, 72 ROM, 73 HDD, 74 RAM, 75 input / output interface, 76 bus, 160p pin, F frame, H through hole, M, M1, M2 screen mask, Mfl frameless mask, S substrate.

Claims (5)

交換可能なスクリーンマスクを使用してスクリーン印刷を行うスクリーン印刷装置であって、
所定方向における前記スクリーンマスクの両端部をそれぞれ保持可能な少なくとも一対のマスクホルダと、
前記スクリーンマスクを保持している状態の前記マスクホルダを前記所定方向に移動させるよう作動することで、前記スクリーンマスクの前記所定方向における位置調整を行う調整装置と、
前記スクリーン印刷を行うための印刷ヘッドと、
前記所定方向と直交する方向に延びるレールと、
前記レール上を移動するレールスライダと、
を備え、
前記調整装置は、前記マスクホルダを前記所定方向に移動させるモータを、前記一対のマスクホルダの各々に対して備え、前記スクリーンマスクがない状態で、前記モータにより、前記一対のマスクホルダの一方と、前記一対のマスクホルダの他方とを互いに反対方向に移動させるよう作動することで、使用が予定される前記スクリーンマスクの前記所定方向における幅に応じて前記マスクホルダの位置を変更し、
前記レールは、前記マスクホルダと共に前記所定方向に移動するよう構成され、
前記印刷ヘッドは、前記レールスライダ上に、該レールスライダに対して前記所定方向に相対移動可能に搭載される
スクリーン印刷装置。
A screen printing device that performs screen printing using a replaceable screen mask.
At least a pair of mask holders capable of holding both ends of the screen mask in a predetermined direction,
An adjusting device that adjusts the position of the screen mask in the predetermined direction by operating the mask holder while holding the screen mask so as to move the mask holder in the predetermined direction.
A print head for performing the screen printing and
A rail extending in a direction orthogonal to the predetermined direction,
A rail slider that moves on the rail and
With
The adjusting device is provided with a motor for moving the mask holder in the predetermined direction for each of the pair of mask holders, and in the absence of the screen mask, the motor is used with one of the pair of mask holders. By operating to move the other of the pair of mask holders in opposite directions, the position of the mask holder is changed according to the width of the screen mask to be used in the predetermined direction .
The rail is configured to move in the predetermined direction together with the mask holder.
The print head is a screen printing device mounted on the rail slider so as to be relatively movable in the predetermined direction with respect to the rail slider.
交換可能なスクリーンマスクを使用してスクリーン印刷を行うスクリーン印刷装置であ
って、
所定方向における前記スクリーンマスクの両端部をそれぞれ保持可能な少なくとも一対のマスクホルダと、
前記スクリーンマスクを保持している状態の前記マスクホルダを前記所定方向に移動させるよう作動することで、前記スクリーンマスクの前記所定方向における位置調整を行う調整装置と、
前記スクリーン印刷を行うための印刷ヘッドと、
前記所定方向と直交する方向に延びるレールと、
前記レール上を移動するレールスライダと、
を備え、
前記調整装置は、前記スクリーンマスクがない状態で前記マスクホルダを前記所定方向に移動させるよう作動することで、使用が予定される前記スクリーンマスクの前記所定方向における幅に応じて前記マスクホルダの位置を変更し、
前記レールは、前記マスクホルダと共に前記所定方向に移動するよう構成され、
前記印刷ヘッドは、前記レールスライダ上に、該レールスライダに対して前記所定方向に相対移動可能に搭載される
スクリーン印刷装置。
A screen printing device that performs screen printing using a replaceable screen mask.
At least a pair of mask holders capable of holding both ends of the screen mask in a predetermined direction,
An adjusting device that adjusts the position of the screen mask in the predetermined direction by operating the mask holder while holding the screen mask so as to move the mask holder in the predetermined direction.
A print head for performing the screen printing and
A rail extending in a direction orthogonal to the predetermined direction,
A rail slider that moves on the rail and
With
The adjusting device operates to move the mask holder in the predetermined direction without the screen mask, so that the position of the mask holder is adjusted according to the width of the screen mask to be used in the predetermined direction. Change and
The rail is configured to move in the predetermined direction together with the mask holder.
The print head is a screen printing device mounted on the rail slider so as to be relatively movable in the predetermined direction with respect to the rail slider.
請求項1または2に記載のスクリーン印刷装置であって、
前記調整装置は、前記所定方向に延びるボールネジと、該ボールネジを回転させるモータと、前記マスクホルダに連結され前記ボールネジの回転により前記所定方向に移動するホルダスライダと、前記モータの回転量を検出するエンコーダとを備える
スクリーン印刷装置。
The screen printing apparatus according to claim 1 or 2.
The adjusting device detects a ball screw extending in the predetermined direction, a motor for rotating the ball screw, a holder slider connected to the mask holder and moving in the predetermined direction by the rotation of the ball screw, and a rotation amount of the motor. A screen printing device equipped with an encoder.
請求項1からのいずれか1項に記載のスクリーン印刷装置であって、
前記スクリーンマスクとして、マスク板がフレームで囲まれたフレームありのマスクが使用され、
前記マスクホルダは、前記フレームに前記所定方向から当接可能であり、
前記調整装置は、前記スクリーン印刷中に、前記マスクホルダを前記フレームに押し付けるよう作動することで前記スクリーンマスクを保持させる
スクリーン印刷装置。
The screen printing apparatus according to any one of claims 1 to 3.
As the screen mask, a mask with a frame in which the mask plate is surrounded by a frame is used.
The mask holder can come into contact with the frame from the predetermined direction.
The adjusting device is a screen printing device that holds the screen mask by operating the mask holder against the frame during the screen printing.
請求項1からのいずれか1項に記載のスクリーン印刷装置であって、
前記スクリーンマスクとして、マスク板がフレームで囲まれていないフレームなしのマスクが使用され、
前記マスクホルダは、フレームなしの前記マスク板の縁部に係合可能であり、
前記調整装置は、前記スクリーン印刷中に、前記マスクホルダが前記係合された前記マスク板を前記所定方向に引っ張るよう作動することで前記スクリーンマスクを保持させる
スクリーン印刷装置。
The screen printing apparatus according to any one of claims 1 to 4.
As the screen mask, a frameless mask in which the mask plate is not surrounded by a frame is used.
The mask holder can be engaged with the edge of the mask plate without a frame.
The adjusting device is a screen printing device that holds the screen mask by operating the mask holder to pull the engaged mask plate in the predetermined direction during the screen printing.
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