JP6955753B2

JP6955753B2 - X-ray inspection equipment

Info

Publication number: JP6955753B2
Application number: JP2017141163A
Authority: JP
Inventors: 株本　隆司; 隆司株本; 堀　洋; 洋堀; 英志南; 浩太冨永
Original assignee: Ishida Co Ltd
Current assignee: Ishida Co Ltd
Priority date: 2017-07-20
Filing date: 2017-07-20
Publication date: 2021-10-27
Anticipated expiration: 2037-07-20
Also published as: JP2019020341A

Description

本発明は、被検査物にＸ線を照射して、被検査物の検査を行うＸ線検査装置に関する。 The present invention relates to an X-ray inspection apparatus that inspects an inspected object by irradiating the inspected object with X-rays.

小型荷物の検査に用いられるＸ線検査装置は、低エネルギーのＸ線を用いて被検査物を検査することがある。このようなＸ線検査装置では、特許文献１（特開２０１２−１６３４８５号公報）に開示されるように、被検査物の搬送方向において分割されている２つのコンベアを用いて、被検査物を搬送する。上流側のコンベアと下流側のコンベアとの間には隙間が開いており、当該隙間の上方にＸ線源が設けられ、当該隙間の下方に被検査物を透過したＸ線を検出するセンサが設けられている。コンベア間に隙間を設けることで、被検査物を透過したＸ線がコンベアに吸収されることが防止される。 X-ray inspection equipment used for inspecting small packages may inspect an object to be inspected using low-energy X-rays. In such an X-ray inspection apparatus, as disclosed in Patent Document 1 (Japanese Unexamined Patent Publication No. 2012-163485), the inspected object is inspected by using two conveyors divided in the transport direction of the inspected object. Transport. There is a gap between the conveyor on the upstream side and the conveyor on the downstream side, an X-ray source is provided above the gap, and a sensor that detects X-rays that have passed through the object to be inspected is located below the gap. It is provided. By providing a gap between the conveyors, it is possible to prevent the X-rays that have passed through the object to be inspected from being absorbed by the conveyor.

しかし、このようなＸ線検査装置では、コンベア間の隙間からセンサの上に埃等の異物が落下すると、センサの出力に悪影響を与えるおそれがあるため、定期的にセンサに付着した異物を除去する必要がある。そのため、センサを清掃しやすい機構を備えるＸ線検査装置が求められている。 However, in such an X-ray inspection device, if foreign matter such as dust falls on the sensor through the gap between the conveyors, the output of the sensor may be adversely affected. Therefore, the foreign matter adhering to the sensor is periodically removed. There is a need to. Therefore, there is a demand for an X-ray inspection device having a mechanism that makes it easy to clean the sensor.

本発明の目的は、センサの清掃を容易にする機構を備えるＸ線検査装置を提供することである。 An object of the present invention is to provide an X-ray inspection apparatus including a mechanism for facilitating cleaning of a sensor.

本発明に係るＸ線検査装置は、本体フレームと、搬送ユニットと、Ｘ線照射部と、Ｘ線検出部と、検査部とを備える。搬送ユニットは、本体フレームに取り付けられ、被検査物を搬送方向に搬送する。Ｘ線照射部は、搬送ユニットによって搬送されている被検査物にＸ線を照射する。Ｘ線検出部は、被検査物を透過したＸ線である透過Ｘ線を検出する。検査部は、透過Ｘ線に基づき被検査物を検査する。搬送ユニットは、第１コンベアと、第２コンベアと、支持部とを有する。第１コンベアおよび第２コンベアは、搬送方向において隙間を開けて配置されている。支持部は、第１コンベアおよび第２コンベアの少なくとも一方を支持する。Ｘ線検出部は、第１コンベアと第２コンベアとの間の隙間を通過した透過Ｘ線を検出可能な位置に配置される。支持部は、第１位置と第２位置との間を、第１コンベアおよび第２コンベアの少なくとも一方が移動可能なように設けられている。第２位置は、第１位置と比べてＸ線検出部からより離れている位置である。 The X-ray inspection apparatus according to the present invention includes a main body frame, a transport unit, an X-ray irradiation unit, an X-ray detection unit, and an inspection unit. The transport unit is attached to the main body frame and transports the object to be inspected in the transport direction. The X-ray irradiation unit irradiates the object to be inspected transported by the transport unit with X-rays. The X-ray detector detects transmitted X-rays, which are X-rays that have passed through the object to be inspected. The inspection unit inspects the object to be inspected based on transmitted X-rays. The transfer unit has a first conveyor, a second conveyor, and a support portion. The first conveyor and the second conveyor are arranged with a gap in the transport direction. The support portion supports at least one of the first conveyor and the second conveyor. The X-ray detection unit is arranged at a position where transmitted X-rays that have passed through the gap between the first conveyor and the second conveyor can be detected. The support portion is provided so that at least one of the first conveyor and the second conveyor can move between the first position and the second position. The second position is a position farther from the X-ray detector than the first position.

本発明に係るＸ線検査装置は、被検査物を透過したＸ線を検出するセンサ（Ｘ線検出部）を清掃する際に、センサの近傍に配置されているコンベアを、センサから一時的に離すための機構を備える。従って、本発明に係るＸ線検査装置は、センサの清掃を容易にする機構を備える。 In the X-ray inspection apparatus according to the present invention, when cleaning a sensor (X-ray detection unit) that detects X-rays transmitted through an object to be inspected, a conveyor arranged in the vicinity of the sensor is temporarily removed from the sensor. Equipped with a mechanism for separating. Therefore, the X-ray inspection apparatus according to the present invention includes a mechanism that facilitates cleaning of the sensor.

また、支持部は、本体フレームに対して回転可能に設けられていることが好ましい。この場合、本体フレームからコンベアを取り外すことなくセンサを清掃できるので、安全性および保守性が向上する。 Further, it is preferable that the support portion is provided so as to be rotatable with respect to the main body frame. In this case, since the sensor can be cleaned without removing the conveyor from the main body frame, safety and maintainability are improved.

また、支持部は、搬送方向に直交する方向における両端部の一方を支点にして、両端部の他方を持ち上げることができるように、本体フレームに対して回転可能に設けられていることが好ましい。この場合、本体フレームからコンベアを取り外すことなくセンサを清掃できるので、安全性および保守性が向上する。 Further, it is preferable that the support portion is rotatably provided with respect to the main body frame so that one of both end portions in a direction orthogonal to the transport direction can be used as a fulcrum and the other end portion can be lifted. In this case, since the sensor can be cleaned without removing the conveyor from the main body frame, safety and maintainability are improved.

また、支持部は、第１コンベアの隙間側端部、および、第２コンベアの隙間側端部の少なくとも一方を持ち上げることができるように、本体フレームに対して回転可能に設けられていることが好ましい。隙間側端部は、第１コンベアおよび第２コンベアの搬送方向における端部であって、第１コンベアと第２コンベアとの間の隙間に近い方の端部である。この場合、センサを清掃する際に、センサの上部に、清掃に適した広い空間を確保することができるので、センサの清掃を効率的に行うことができる。 Further, the support portion is rotatably provided with respect to the main body frame so that at least one of the gap side end portion of the first conveyor and the gap side end portion of the second conveyor can be lifted. preferable. The gap-side end is an end in the transport direction of the first conveyor and the second conveyor, which is closer to the gap between the first conveyor and the second conveyor. In this case, when cleaning the sensor, a wide space suitable for cleaning can be secured above the sensor, so that the sensor can be efficiently cleaned.

また、支持部は、本体フレームに対して平行移動可能に設けられていることが好ましい。この場合、本体フレームからコンベアを取り外すことなくセンサを清掃できるので、安全性および保守性が向上する。 Further, it is preferable that the support portion is provided so as to be movable in parallel with the main body frame. In this case, since the sensor can be cleaned without removing the conveyor from the main body frame, safety and maintainability are improved.

また、支持部は、本体フレームに対して鉛直方向に移動可能に設けられていることが好ましい。この場合、センサを清掃する際に、センサの上部に、清掃に適した広い空間を確保することができるので、センサの清掃を効率的に行うことができる。 Further, it is preferable that the support portion is provided so as to be movable in the vertical direction with respect to the main body frame. In this case, when cleaning the sensor, a wide space suitable for cleaning can be secured above the sensor, so that the sensor can be efficiently cleaned.

また、Ｘ線検出部は、搬送方向に直交する方向に延びていることが好ましい。この場合、コンベア間の隙間に沿ってセンサが延びているので、コンベアを移動させた後のセンサの清掃が容易である。 Further, it is preferable that the X-ray detection unit extends in a direction orthogonal to the transport direction. In this case, since the sensor extends along the gap between the conveyors, it is easy to clean the sensor after moving the conveyor.

また、支持部は、第１コンベアおよび第２コンベアの両方を支持することが好ましい。この場合、センサを清掃する際に、センサの近傍に配置されている両方のコンベアをセンサから一時的に離すことができる。そのため、センサを清掃する際に、センサの上部に、清掃に適した広い空間を確保することができるので、センサの清掃を効率的に行うことができる。 Further, the support portion preferably supports both the first conveyor and the second conveyor. In this case, when cleaning the sensor, both conveyors located in the vicinity of the sensor can be temporarily separated from the sensor. Therefore, when cleaning the sensor, a wide space suitable for cleaning can be secured above the sensor, so that the sensor can be efficiently cleaned.

また、Ｘ線検査装置は、禁止部をさらに備えることが好ましい。禁止部は、第１コンベアおよび第２コンベアの少なくとも一方が第１位置にない場合に、Ｘ線照射部が被検査物にＸ線を照射することを禁止する。この場合、搬送ユニットは、第１コンベアおよび第２コンベアが第１位置にある場合に、被検査物を搬送可能である。この場合、センサの清掃中にＸ線源（Ｘ線照射部）からセンサに向かってＸ線が照射されることが防止されるので、安全性が向上する。 Further, it is preferable that the X-ray inspection apparatus further includes a prohibited portion. The prohibition unit prohibits the X-ray irradiation unit from irradiating the object to be inspected with X-rays when at least one of the first conveyor and the second conveyor is not in the first position. In this case, the transport unit can transport the object to be inspected when the first conveyor and the second conveyor are in the first position. In this case, since it is prevented that X-rays are emitted from the X-ray source (X-ray irradiation unit) toward the sensor during cleaning of the sensor, safety is improved.

また、Ｘ線検査装置は、判定部と、報知部とをさらに備えることが好ましい。判定部は、Ｘ線検出部の清掃の要否を判定する。報知部は、判定部がＸ線検出部の清掃が必要であると判定した場合に、その旨を報知する。この場合、Ｘ線検査装置は、必要な時にセンサの清掃を使用者に促すことができる。 Further, it is preferable that the X-ray inspection apparatus further includes a determination unit and a notification unit. The determination unit determines whether or not the X-ray detection unit needs to be cleaned. When the determination unit determines that the X-ray detection unit needs to be cleaned, the notification unit notifies that fact. In this case, the X-ray inspection device can prompt the user to clean the sensor when necessary.

本発明に係るＸ線検査装置は、センサの清掃を容易にする機構を備える。 The X-ray inspection apparatus according to the present invention includes a mechanism that facilitates cleaning of the sensor.

本発明の一実施形態であるＸ線検査装置１０の外観を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the appearance of the X-ray inspection apparatus 10 which is one Embodiment of this invention. Ｘ線検査装置１０が組み込まれる検査ライン１００の概略図である。It is the schematic of the inspection line 100 in which the X-ray inspection apparatus 10 is incorporated. 搬送ユニット１２の概略的な側面図である。It is a schematic side view of the transport unit 12. 搬送ユニット１２の概略的な上面図である。It is a schematic top view of the transport unit 12. Ｘ線検査装置１０のシールドボックス１１の内部の概略図である。It is the schematic of the inside of the shield box 11 of the X-ray inspection apparatus 10. ラインセンサ３０によって検出される透過Ｘ線の強度の例を示すグラフである。It is a graph which shows the example of the intensity of transmitted X-rays detected by a line sensor 30. 制御装置５０のブロック図である。It is a block diagram of the control device 50. 本体フレーム１０ａおよび支持フレーム１２ｄを露出させた状態の外観図を示す。The external view of the state where the main body frame 10a and the support frame 12d are exposed is shown. 本体フレーム１０ａおよび支持フレーム１２ｄの概略的な側面図である。It is a schematic side view of the main body frame 10a and the support frame 12d. 図９の矢印Ｘから視た側面図である。通常時の支持フレーム１２ｄを示す図である。It is a side view seen from the arrow X of FIG. It is a figure which shows the support frame 12d in a normal state. 図１０と同様の側面図であって、支持フレーム１２ｄの正面側が持ち上げられた状態を示す図である。保守時の支持フレーム１２ｄを示す図である。It is the same side view as FIG. 10, and is the figure which shows the state which the front side of the support frame 12d is lifted. It is a figure which shows the support frame 12d at the time of maintenance. 変形例Ａにおける、支持フレーム１２ｄの回転機構を示す図である。通常時の支持フレーム１２ｄを示す図である。It is a figure which shows the rotation mechanism of the support frame 12d in the modification A. It is a figure which shows the support frame 12d in a normal state. 変形例Ａにおける、支持フレーム１２ｄの回転機構を示す図である。保守時の支持フレーム１２ｄを示す図である。It is a figure which shows the rotation mechanism of the support frame 12d in the modification A. It is a figure which shows the support frame 12d at the time of maintenance. 変形例Ｂにおける、支持フレーム１２ｄの平行移動機構を示す図である。通常時の支持フレーム１２ｄを示す図である。It is a figure which shows the parallel movement mechanism of the support frame 12d in the modification B. It is a figure which shows the support frame 12d in a normal state. 変形例Ｂにおける、支持フレーム１２ｄの平行移動機構を示す図である。保守時の支持フレーム１２ｄを示す図である。It is a figure which shows the parallel movement mechanism of the support frame 12d in the modification B. It is a figure which shows the support frame 12d at the time of maintenance. 変形例Ｃにおける、制御装置５０のブロック図である。It is a block diagram of the control device 50 in the modification C.

本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。以下に説明される実施形態は、本発明の具体例の一つであって、本発明の技術的範囲を限定するものではない。 An embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. The embodiments described below are one of the specific examples of the present invention and do not limit the technical scope of the present invention.

（１）Ｘ線検査装置の全体構成
図１は、本発明の一実施形態であるＸ線検査装置１０の外観を示す斜視図である。図２は、Ｘ線検査装置１０が組み込まれる検査ライン１００の概略図である。検査ライン１００は、被検査物Ａの検査を行う。被検査物Ａは、例えば、包装された食品である。検査ライン１００において、被検査物Ａは、前段コンベア６０によってＸ線検査装置１０まで搬送される。図２において、被検査物Ａの搬送方向は、矢印で示されている。 (1) Overall Configuration of X-ray Inspection Device FIG. 1 is a perspective view showing the appearance of the X-ray inspection device 10 according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a schematic view of an inspection line 100 in which the X-ray inspection apparatus 10 is incorporated. The inspection line 100 inspects the object A to be inspected. The object A to be inspected is, for example, a packaged food. In the inspection line 100, the object A to be inspected is conveyed to the X-ray inspection device 10 by the pre-stage conveyor 60. In FIG. 2, the transport direction of the object A to be inspected is indicated by an arrow.

Ｘ線検査装置１０は、前段コンベア６０によって連続的に搬送されてくる被検査物ＡにＸ線を照射することにより、被検査物Ａの良否判断を行う。具体的には、Ｘ線検査装置１０は、被検査物Ａの異物混入検査を行い、検査結果に基づいて被検査物Ａを良品または不良品に分類する。Ｘ線検査装置１０による検査結果は、Ｘ線検査装置１０の下流側に配置されている振り分け機構７０に送られる。振り分け機構７０は、Ｘ線検査装置１０において良品と判断された被検査物Ａを、良品を排出する後段コンベア８０へ送る。振り分け機構７０は、Ｘ線検査装置１０において不良品と判断された被検査物Ａを、不良品排出方向９０，９１に振分けて検査ライン１００から排出する。 The X-ray inspection device 10 determines the quality of the inspected object A by irradiating the inspected object A continuously conveyed by the pre-stage conveyor 60 with X-rays. Specifically, the X-ray inspection device 10 inspects the inspected object A for foreign matter contamination, and classifies the inspected object A as a non-defective product or a defective product based on the inspection result. The inspection result by the X-ray inspection device 10 is sent to the distribution mechanism 70 arranged on the downstream side of the X-ray inspection device 10. The sorting mechanism 70 sends the object A to be inspected, which is determined by the X-ray inspection device 10 to be a non-defective product, to the post-stage conveyor 80 that discharges the non-defective product. The sorting mechanism 70 sorts the inspected object A determined to be a defective product by the X-ray inspection device 10 in the defective product discharge directions 90 and 91 and discharges it from the inspection line 100.

（２）Ｘ線検査装置の詳細説明
Ｘ線検査装置１０は、主として、シールドボックス１１と、搬送ユニット１２と、Ｘ線照射器２０と、ラインセンサ３０と、モニタ４０と、制御装置５０とから構成される。 (2) Detailed Description of X-ray Inspection Device The X-ray inspection device 10 mainly consists of a shield box 11, a transport unit 12, an X-ray irradiator 20, a line sensor 30, a monitor 40, and a control device 50. It is composed.

（２−１）シールドボックス
シールドボックス１１は、Ｘ線検査装置１０のケーシングである。図１に示されるように、シールドボックス１１の両側面には、被検査物Ａを搬出入するための開口１１ａが形成されている。開口１１ａは、シールドボックス１１の外部から内部に被検査物Ａを搬入するため、または、シールドボックス１１の内部から外部に被検査物Ａを搬出するために用いられる。開口１１ａは、遮蔽のれん１９により塞がれている。遮蔽のれん１９は、シールドボックス１１の内部から外部へのＸ線の漏洩を抑える。遮蔽のれん１９は、タングステンシートから成形される。遮蔽のれん１９は、被検査物Ａが搬出入される時に被検査物Ａによって押しのけられる。 (2-1) Shield Box The shield box 11 is a casing of the X-ray inspection device 10. As shown in FIG. 1, openings 11a for carrying in and out the object A to be inspected are formed on both side surfaces of the shield box 11. The opening 11a is used to carry the inspected object A from the outside to the inside of the shield box 11 or to carry out the inspected object A from the inside of the shield box 11 to the outside. The opening 11a is closed by the shielding goodwill 19. The shield goodwill 19 suppresses the leakage of X-rays from the inside to the outside of the shield box 11. The shielding goodwill 19 is formed from a tungsten sheet. The shield goodwill 19 is pushed away by the inspected object A when the inspected object A is carried in and out.

シールドボックス１１の内部には、搬送ユニット１２、Ｘ線照射器２０、ラインセンサ３０および制御装置５０等が収容されている。シールドボックス１１の正面上部には、モニタ４０、入力用のキー、および、電源スイッチ等が配置されている。シールドボックス１１の一部は、取り外し可能である。 Inside the shield box 11, a transport unit 12, an X-ray irradiator 20, a line sensor 30, a control device 50, and the like are housed. A monitor 40, an input key, a power switch, and the like are arranged on the upper part of the front surface of the shield box 11. A part of the shield box 11 is removable.

（２−２）搬送ユニット
搬送ユニット１２は、シールドボックス１１の内部を通過するように被検査物Ａを搬送する。図１に示されるように、搬送ユニット１２は、シールドボックス１１の両側面に形成された開口１１ａを貫通するように配置されている。搬送ユニット１２は、Ｘ線検査装置１０の本体フレーム１０ａに取り付けられている。 (2-2) Conveying Unit The transporting unit 12 transports the object A to be inspected so as to pass through the inside of the shield box 11. As shown in FIG. 1, the transport unit 12 is arranged so as to penetrate through the openings 11a formed on both side surfaces of the shield box 11. The transport unit 12 is attached to the main body frame 10a of the X-ray inspection device 10.

図３は、搬送ユニット１２の概略的な側面図である。図４は、搬送ユニット１２の概略的な上面図である。図３および図４には、被検査物Ａの搬送方向が矢印で示されている。 FIG. 3 is a schematic side view of the transport unit 12. FIG. 4 is a schematic top view of the transport unit 12. In FIGS. 3 and 4, the transport direction of the object A to be inspected is indicated by an arrow.

搬送ユニット１２は、主として、コンベアモータ１２ａと、エンコーダ１２ｂと、タイミングベルト１２ｃと、支持フレーム１２ｄと、第１コンベア１３と、第２コンベア１４とから構成される。第１コンベア１３および第２コンベア１４は、共に、被検査物Ａを搬送方向に搬送するベルトコンベアである。第１コンベア１３は、搬送方向の上流側に設置され、第２コンベア１４は、搬送方向の下流側に設置される。第１コンベア１３と第２コンベア１４との間には、隙間が形成されている。以下、この隙間を、コンベア間隙間１５と呼ぶ。また、第１コンベア１３のコンベア間隙間１５側（下流側）の端部を、第１隙間側端部１６と呼び、第２コンベア１４のコンベア間隙間１５側（上流側）の端部を、第２隙間側端部１７と呼ぶ。 The conveyor unit 12 is mainly composed of a conveyor motor 12a, an encoder 12b, a timing belt 12c, a support frame 12d, a first conveyor 13, and a second conveyor 14. Both the first conveyor 13 and the second conveyor 14 are belt conveyors that convey the object A to be inspected in the conveying direction. The first conveyor 13 is installed on the upstream side in the transport direction, and the second conveyor 14 is installed on the downstream side in the transport direction. A gap is formed between the first conveyor 13 and the second conveyor 14. Hereinafter, this gap is referred to as a conveyor-to-conveyor gap 15. Further, the end of the first conveyor 13 on the 15 side (downstream side) of the inter-conveyor gap is called the first gap side end portion 16, and the end of the second conveyor 14 on the 15 side (upstream side) of the inter-conveyor gap is referred to as the first gap side end portion 16. It is called the second gap side end portion 17.

第１コンベア１３によって上流側の開口１１ａから第１隙間側端部１６まで搬送された被検査物Ａは、図３および図４に示されるように、コンベア間隙間１５を跨ぐように第１コンベア１３および第２コンベア１４の両方に同時に載せられている状態になる。その後、被検査物Ａは、第２コンベア１４によって第２隙間側端部１７から下流側の開口１１ａに向かって搬送される。コンベア間隙間１５の搬送方向の寸法は、被検査物Ａがコンベア間隙間１５から落下しない程度に設定されている。 The object A to be inspected, which is conveyed from the opening 11a on the upstream side to the end portion 16 on the first gap side by the first conveyor 13, is the first conveyor so as to straddle the gap 15 between the conveyors as shown in FIGS. 3 and 4. It will be in a state of being mounted on both the 13 and the second conveyor 14 at the same time. After that, the object A to be inspected is conveyed by the second conveyor 14 from the second gap side end 17 toward the downstream opening 11a. The dimensions of the inter-conveyor gap 15 in the transport direction are set so that the object A to be inspected does not fall from the inter-conveyor gap 15.

第１コンベア１３は、主として、第１上流側コンベアローラ１３ａと、第１下流側コンベアローラ１３ｂと、第１無端状ベルト１３ｃとから構成されている。第１上流側コンベアローラ１３ａは、第１下流側コンベアローラ１３ｂよりも上流側に配置される。第１無端状ベルト１３ｃは、第１上流側コンベアローラ１３ａおよび第１下流側コンベアローラ１３ｂに掛け渡されている。 The first conveyor 13 is mainly composed of a first upstream side conveyor roller 13a, a first downstream side conveyor roller 13b, and a first endless belt 13c. The first upstream side conveyor roller 13a is arranged on the upstream side of the first downstream side conveyor roller 13b. The first endless belt 13c is hung on the first upstream side conveyor roller 13a and the first downstream side conveyor roller 13b.

第２コンベア１４は、主として、第２上流側コンベアローラ１４ａと、第２下流側コンベアローラ１４ｂと、第２無端状ベルト１４ｃと、駆動ローラ１４ｄと、従動ローラ１４ｅとから構成されている。第２上流側コンベアローラ１４ａは、第２下流側コンベアローラ１４ｂよりも上流側に配置される。第２無端状ベルト１４ｃは、図３に示されるように、第２上流側コンベアローラ１４ａ、第２下流側コンベアローラ１４ｂ、駆動ローラ１４ｄおよび従動ローラ１４ｅに掛け渡されている。駆動ローラ１４ｄは、コンベアモータ１２ａによって駆動される。駆動ローラ１４ｄの駆動により、第２無端状ベルト１４ｃが回転し、第２無端状ベルト１４ｃ上の被検査物Ａが搬送される。 The second conveyor 14 is mainly composed of a second upstream side conveyor roller 14a, a second downstream side conveyor roller 14b, a second endless belt 14c, a driving roller 14d, and a driven roller 14e. The second upstream side conveyor roller 14a is arranged on the upstream side of the second downstream side conveyor roller 14b. As shown in FIG. 3, the second endless belt 14c is hung on the second upstream side conveyor roller 14a, the second downstream side conveyor roller 14b, the driving roller 14d, and the driven roller 14e. The drive roller 14d is driven by the conveyor motor 12a. By driving the drive roller 14d, the second endless belt 14c is rotated, and the object A to be inspected on the second endless belt 14c is conveyed.

第１下流側コンベアローラ１３ｂおよび第２上流側コンベアローラ１４ａは、一対のタイミングベルト１２ｃで連結されている。一対のタイミングベルト１２ｃは、図４に示されるように、第１下流側コンベアローラ１３ｂおよび第２上流側コンベアローラ１４ａの両端部において掛け渡されている。一対のタイミングベルト１２ｃにより、第２無端状ベルト１４ｃの回転運動が第１無端状ベルト１３ｃに伝達される。そのため、駆動ローラ１４ｄの駆動により、第２無端状ベルト１４ｃが回転すると、第１無端状ベルト１３ｃも回転し、第１無端状ベルト１３ｃ上の被検査物Ａが搬送される。 The first downstream side conveyor roller 13b and the second upstream side conveyor roller 14a are connected by a pair of timing belts 12c. As shown in FIG. 4, the pair of timing belts 12c are hung at both ends of the first downstream side conveyor roller 13b and the second upstream side conveyor roller 14a. The rotational movement of the second endless belt 14c is transmitted to the first endless belt 13c by the pair of timing belts 12c. Therefore, when the second endless belt 14c is rotated by the drive of the drive roller 14d, the first endless belt 13c is also rotated, and the object A to be inspected on the first endless belt 13c is conveyed.

搬送ユニット１２による被検査物Ａの搬送速度は、Ｘ線検査装置１０の操作者によって入力された設定速度に応じて変動する。制御装置５０は、設定速度に基づいてコンベアモータ１２ａをインバータ制御し、被検査物Ａの搬送速度を細かく制御する。搬送ユニット１２のエンコーダ１２ｂは、被検査物Ａの搬送速度を検出して制御装置５０に送信する。 The transport speed of the object A to be inspected by the transport unit 12 varies according to the set speed input by the operator of the X-ray inspection device 10. The control device 50 controls the conveyor motor 12a with an inverter based on the set speed, and finely controls the transport speed of the object A to be inspected. The encoder 12b of the transport unit 12 detects the transport speed of the object A to be inspected and transmits it to the control device 50.

なお、搬送ユニット１２は、搬送機構としてベルトコンベアを用いているが、ベルトコンベアの代わりにトップチェーンコンベア等を搬送機構として用いてもよい。 Although the conveyor unit 12 uses a belt conveyor as the conveyor, a top chain conveyor or the like may be used as the conveyor instead of the belt conveyor.

支持フレーム１２ｄは、第１コンベア１３および第２コンベア１４の両方を支持する部材である。支持フレーム１２ｄは、本体フレーム１０ａに取り付けられている。支持フレーム１２ｄの詳細な構成については後述する。 The support frame 12d is a member that supports both the first conveyor 13 and the second conveyor 14. The support frame 12d is attached to the main body frame 10a. The detailed configuration of the support frame 12d will be described later.

（２−３）Ｘ線照射器
図５は、Ｘ線検査装置１０のシールドボックス１１の内部の概略図である。Ｘ線照射器２０は、シールドボックス１１内部の所定の位置まで搬送ユニット１２によって搬送された被検査物ＡにＸ線を照射する。所定の位置とは、図３および図４に示されるように、被検査物Ａの搬送方向においてコンベア間隙間１５の位置である。すなわち、Ｘ線照射器２０は、コンベア間隙間１５の上にある被検査物ＡにＸ線を照射する。 (2-3) X-ray irradiator FIG. 5 is a schematic view of the inside of the shield box 11 of the X-ray inspection device 10. The X-ray irradiator 20 irradiates the object A to be inspected transported by the transport unit 12 to a predetermined position inside the shield box 11 with X-rays. The predetermined position is the position of the gap 15 between the conveyors in the transport direction of the object A to be inspected, as shown in FIGS. 3 and 4. That is, the X-ray irradiator 20 irradiates the object A to be inspected above the gap 15 between the conveyors with X-rays.

図５に示されるように、Ｘ線照射器２０は、搬送ユニット１２の上方に配置されている。Ｘ線照射器２０は、搬送ユニット１２の下方に配置されるラインセンサ３０に向けて扇状のＸ線（放射光）を照射する。Ｘ線の照射範囲Ｘは、図５に示されるように、搬送ユニット１２の搬送面に対して垂直であり、かつ、搬送ユニット１２による被検査物Ａの搬送方向に対して直交する方向に広がる。すなわち、Ｘ線照射器２０から照射されるＸ線は、ベルト１３ｃ，１４ｃの幅方向（コンベア間隙間１５の長手方向）に広がる。 As shown in FIG. 5, the X-ray irradiator 20 is arranged above the transport unit 12. The X-ray irradiator 20 irradiates a fan-shaped X-ray (synchrotron radiation) toward the line sensor 30 arranged below the transport unit 12. As shown in FIG. 5, the X-ray irradiation range X extends in a direction perpendicular to the transport surface of the transport unit 12 and orthogonal to the transport direction of the object A to be inspected by the transport unit 12. .. That is, the X-rays emitted from the X-ray irradiator 20 spread in the width direction of the belts 13c and 14c (longitudinal direction of the gap 15 between conveyors).

（２−４）ラインセンサ
ラインセンサ３０は、Ｘ線照射器２０から照射されたＸ線を検出するセンサである。具体的には、ラインセンサ３０は、搬送ユニット１２によって搬送された被検査物Ａを透過したＸ線である透過Ｘ線を検出する。透過Ｘ線は、コンベア間隙間１５を通過してラインセンサ３０に到達する。すなわち、透過Ｘ線は、第１コンベア１３および第２コンベア１４と衝突しないので、第１コンベア１３および第２コンベア１４に吸収されない。 (2-4) Line sensor The line sensor 30 is a sensor that detects X-rays emitted from the X-ray irradiator 20. Specifically, the line sensor 30 detects transmitted X-rays, which are X-rays transmitted through the object A to be inspected transported by the transport unit 12. The transmitted X-ray passes through the gap 15 between the conveyors and reaches the line sensor 30. That is, since the transmitted X-rays do not collide with the first conveyor 13 and the second conveyor 14, they are not absorbed by the first conveyor 13 and the second conveyor 14.

図５に示されるように、ラインセンサ３０は、搬送ユニット１２の下方に配置されている。ラインセンサ３０は、複数のＸ線検出素子から構成されている。複数のＸ線検出素子は、搬送ユニット１２による被検査物Ａの搬送方向に直交する方向（ベルト１３ｃ，１４ｃの幅方向）に沿って一直線に水平に配置されている。 As shown in FIG. 5, the line sensor 30 is arranged below the transport unit 12. The line sensor 30 is composed of a plurality of X-ray detection elements. The plurality of X-ray detection elements are arranged horizontally in a straight line along a direction orthogonal to the transport direction of the object A to be inspected by the transport unit 12 (width direction of the belts 13c and 14c).

ラインセンサ３０は、透過Ｘ線を検出し、検出された透過Ｘ線の強度に応じた電圧を示すＸ線透過信号を出力する。Ｘ線透過信号は、後述するように、被検査物Ａの透過画像の生成に用いられる。図６は、ラインセンサ３０によって検出される透過Ｘ線の強度の例を示すグラフである。グラフの横軸は、ラインセンサ３０上の位置を表す。グラフの縦軸は、ラインセンサ３０が検出した透過Ｘ線の強度を表す。被検査物Ａの透過画像では、透過Ｘ線の検出量の多いところが明るく（輝度が高く）表示され、透過Ｘ線の検出量が少ないところが暗く（輝度が低く）表示される。すなわち、被検査物Ａの透過画像の明暗（輝度値）は、透過Ｘ線の検出量に依存する。図６に示されるように、被検査物Ａを透過したＸ線の検出量は、被検査物Ａを透過しなかったＸ線の検出量より低い。 The line sensor 30 detects transmitted X-rays and outputs an X-ray transmitted signal indicating a voltage corresponding to the intensity of the detected transmitted X-rays. The X-ray transmission signal is used to generate a transmission image of the object A to be inspected, as will be described later. FIG. 6 is a graph showing an example of the intensity of transmitted X-rays detected by the line sensor 30. The horizontal axis of the graph represents the position on the line sensor 30. The vertical axis of the graph represents the intensity of transmitted X-rays detected by the line sensor 30. In the transmitted image of the object A to be inspected, the part where the detected amount of transmitted X-rays is large is displayed brightly (high brightness), and the part where the detected amount of transmitted X-rays is small is displayed dark (low brightness). That is, the brightness (luminance value) of the transmitted image of the object A to be inspected depends on the amount of transmitted X-rays detected. As shown in FIG. 6, the detected amount of X-rays that have passed through the inspected object A is lower than the detected amount of X-rays that have not passed through the inspected object A.

また、ラインセンサ３０は、被検査物ＡがＸ線の扇状の照射範囲Ｘ（図５参照）を通過するタイミングを検知するためのセンサとしても機能する。すなわち、ラインセンサ３０は、搬送ユニット１２によって搬送される被検査物Ａがラインセンサ３０の上方の位置（照射範囲Ｘと重なる位置）に来たとき、所定の閾値以下の電圧を示すＸ線透過信号（第１信号）を出力する。一方、ラインセンサ３０は、被検査物Ａが照射範囲Ｘを通過すると、所定の閾値を上回る電圧を示すＸ線透過信号（第２信号）を出力する。第１信号および第２信号が制御装置５０に送られることにより、照射範囲Ｘにおける被検査物Ａの有無が検出される。 The line sensor 30 also functions as a sensor for detecting the timing at which the object A to be inspected passes the X-ray fan-shaped irradiation range X (see FIG. 5). That is, the line sensor 30 transmits X-rays indicating a voltage equal to or lower than a predetermined threshold value when the object A to be transported by the transport unit 12 comes to a position above the line sensor 30 (a position overlapping the irradiation range X). Output a signal (first signal). On the other hand, when the object A to be inspected passes through the irradiation range X, the line sensor 30 outputs an X-ray transmission signal (second signal) indicating a voltage exceeding a predetermined threshold value. By sending the first signal and the second signal to the control device 50, the presence or absence of the object A to be inspected in the irradiation range X is detected.

（２−５）モニタ
モニタ４０は、タッチパネル機能付きの液晶ディスプレイである。モニタ４０は、Ｘ線検査装置１０の表示部および入力部として機能する。モニタ４０には、被検査物Ａの検査結果等が表示される。また、モニタ４０には、初期設定、および、被検査物Ａの良否判断に関するパラメータを入力するための画面等が表示される。 (2-5) Monitor The monitor 40 is a liquid crystal display with a touch panel function. The monitor 40 functions as a display unit and an input unit of the X-ray inspection device 10. The inspection result of the object A to be inspected and the like are displayed on the monitor 40. In addition, the monitor 40 displays a screen for inputting initial settings and parameters related to the quality determination of the object A to be inspected.

Ｘ線検査装置１０の操作者は、モニタ４０を操作して、検査パラメータおよび動作設定情報等を入力することができる。検査パラメータとは、被検査物Ａの良否を判定するために必要なパラメータである。具体的には、検査パラメータは、被検査物Ａに含まれる異物の有無を判定するために用いられる透過Ｘ線の強度の閾値等である。動作設定情報とは、被検査物Ａの検査速度、および、搬送ユニット１２の搬送方向等の情報である。 The operator of the X-ray inspection device 10 can operate the monitor 40 to input inspection parameters, operation setting information, and the like. The inspection parameter is a parameter necessary for determining the quality of the object A to be inspected. Specifically, the inspection parameter is a threshold value of the intensity of transmitted X-rays used for determining the presence or absence of foreign matter contained in the object A to be inspected. The operation setting information is information such as the inspection speed of the object A to be inspected and the transport direction of the transport unit 12.

モニタ４０は、制御装置５０に接続されており、制御装置５０と信号の送受信を行う。モニタ４０によって入力された検査パラメータおよび動作設定情報は、制御装置５０の記憶部５２に記憶される。 The monitor 40 is connected to the control device 50 and transmits / receives signals to / from the control device 50. The inspection parameters and operation setting information input by the monitor 40 are stored in the storage unit 52 of the control device 50.

（２−６）制御装置
制御装置５０は、主として、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭおよびＨＤＤ（ハードディスクドライブ）等によって構成されている。なお、ＨＤＤの代わりにＳＳＤ（ソリッドステートドライブ）が用いられてもよい。制御装置５０は、図示されない表示制御回路、入力回路および通信ポート等も備えている。表示制御回路は、モニタ４０の表示を制御する回路である。入力回路は、モニタ４０のタッチパネルおよび入力キーを介して操作者によって入力された入力データを取り込む回路である。通信ポートは、プリンタ等の外部機器、および、ＬＡＮ等のネットワークとの接続を可能にするポートである。 (2-6) Control device The control device 50 is mainly composed of a CPU, a ROM, a RAM, an HDD (hard disk drive), and the like. An SSD (Solid State Drive) may be used instead of the HDD. The control device 50 also includes a display control circuit (not shown), an input circuit, a communication port, and the like. The display control circuit is a circuit that controls the display of the monitor 40. The input circuit is a circuit that captures input data input by the operator via the touch panel and input keys of the monitor 40. The communication port is a port that enables connection with an external device such as a printer and a network such as a LAN.

図７は、制御装置５０のブロック図である。制御装置５０は、主として、制御部５１と、記憶部５２とを有する。制御装置５０は、コンベアモータ１２ａ、エンコーダ１２ｂ、Ｘ線照射器２０、ラインセンサ３０およびモニタ４０等に電気的に接続されている。制御装置５０は、エンコーダ１２ｂからコンベアモータ１２ａの回転数に関するデータを取得し、そのデータに基づいて被検査物Ａの移動距離を算出する。制御装置５０は、ラインセンサ３０から出力されたＸ線透過信号を受信し、搬送ユニット１２によって搬送されている被検査物ＡがＸ線の照射範囲Ｘに到達したタイミングを検出する。制御装置５０は、透過Ｘ線の強度に基づいて、被検査物Ａに含まれる異物の有無を判定して、被検査物Ａの良否を判定する。 FIG. 7 is a block diagram of the control device 50. The control device 50 mainly has a control unit 51 and a storage unit 52. The control device 50 is electrically connected to a conveyor motor 12a, an encoder 12b, an X-ray irradiator 20, a line sensor 30, a monitor 40, and the like. The control device 50 acquires data on the rotation speed of the conveyor motor 12a from the encoder 12b, and calculates the moving distance of the object A to be inspected based on the data. The control device 50 receives the X-ray transmission signal output from the line sensor 30 and detects the timing when the object A to be inspected, which is being conveyed by the transfer unit 12, reaches the X-ray irradiation range X. The control device 50 determines the presence or absence of a foreign substance contained in the inspected object A based on the intensity of the transmitted X-ray, and determines the quality of the inspected object A.

（２−６−１）制御部
制御部５１は、記憶部５２に記憶されている各種プログラムを実行することにより、様々な機能を実現する。制御部５１は、主として、検査部６１を有する。 (2-6-1) Control unit The control unit 51 realizes various functions by executing various programs stored in the storage unit 52. The control unit 51 mainly has an inspection unit 61.

検査部６１は、ラインセンサ３０が出力したＸ線透過信号に基づいて、被検査物Ａの透過画像を生成し、その透過画像に対して各種の画像処理を施し、最終画像を生成する。検査部６１は、生成された最終画像を解析して、被検査物Ａに関する良品／不良品の判定を行う。検査部６１は、被検査物Ａに異物が含まれていないと判断した場合に、被検査物Ａを良品と判定する。一方、検査部６１は、被検査物Ａに異物が含まれていると判断した場合に、被検査物Ａを不良品と判定する。検査部６１は、例えば、輝度値が所定の値以下である画素領域（異物を表す画素領域）が、最終画像に含まれている場合に、被検査物Ａに異物が含まれていると判断する。 The inspection unit 61 generates a transmission image of the object A to be inspected based on the X-ray transmission signal output by the line sensor 30, and performs various image processing on the transmission image to generate a final image. The inspection unit 61 analyzes the generated final image and determines whether the product A is a non-defective product or a defective product. When the inspection unit 61 determines that the inspected object A does not contain a foreign substance, the inspected object A determines the inspected object A as a non-defective product. On the other hand, when the inspection unit 61 determines that the inspected object A contains a foreign substance, the inspection unit 61 determines that the inspected object A is a defective product. The inspection unit 61 determines that the object A to be inspected contains a foreign substance, for example, when the final image contains a pixel area (a pixel area representing a foreign substance) whose luminance value is equal to or less than a predetermined value. do.

検査部６１は、被検査物Ａの良品／不良品を判定すると、被検査物Ａが良品／不良品のいずれかであるのかに関する信号を出力する。検査部６１によって出力された信号は、振り分け機構７０に送られる。振り分け機構７０は、検査部６１による判定結果に基づき、良品である被検査物Ａを後段コンベア８０へ送り、または、不良品である被検査物Ａを不良品排出方向９０，９１に振り分ける。 When the inspection unit 61 determines whether the inspected object A is a non-defective product or a defective product, the inspection unit 61 outputs a signal as to whether the inspected object A is a non-defective product or a defective product. The signal output by the inspection unit 61 is sent to the distribution mechanism 70. The sorting mechanism 70 sends the non-defective product A to be inspected to the subsequent conveyor 80 or sorts the defective product A in the defective product discharge directions 90 and 91 based on the determination result by the inspection unit 61.

（２−６−２）記憶部
記憶部５２は、検査パラメータ、動作設定情報、および、制御部５１が実行する各種プログラムを記憶する。検査パラメータおよび動作設定情報は、モニタ４０のタッチパネル機等を用いて操作者によって入力される。 (2-6-2) Storage unit The storage unit 52 stores inspection parameters, operation setting information, and various programs executed by the control unit 51. The inspection parameters and operation setting information are input by the operator using the touch panel machine of the monitor 40 or the like.

また、記憶部５２は、検査部６１が生成、取得または使用する様々なデータを記憶する。記憶部５２は、例えば、検査部６１が生成した被検査物Ａの透過画像および最終画像を記憶する。 Further, the storage unit 52 stores various data generated, acquired or used by the inspection unit 61. The storage unit 52 stores, for example, a transparent image and a final image of the object A to be inspected generated by the inspection unit 61.

（３）支持フレーム
次に、支持フレーム１２ｄの詳細な構成について説明する。図８は、Ｘ線検査装置１０からシールドボックス１１の一部を取り外して、本体フレーム１０ａおよび支持フレーム１２ｄを露出させた状態の外観図を示す。図９は、図８の状態における、本体フレーム１０ａおよび支持フレーム１２ｄの概略的な側面図である。図９は、図３と同じ方向から視た側面図である。図９では、分かりやすくするために、図３に示されるコンベアモータ１２ａ、タイミングベルト１２ｃおよびＸ線照射器２０は省略されている。図１０は、図９の矢印Ｘから視た側面図である。以下において、正面側とは、図１においてＸ線検査装置１０のモニタ４０が存在する側を意味する。Ｘ線検査装置１０の使用者は、Ｘ線検査装置１０の正面側からモニタ４０を操作する。また、背面側とは、搬送ユニット１２を挟んで正面側の反対側を意味する。 (3) Support Frame Next, the detailed configuration of the support frame 12d will be described. FIG. 8 shows an external view of a state in which a part of the shield box 11 is removed from the X-ray inspection device 10 to expose the main body frame 10a and the support frame 12d. FIG. 9 is a schematic side view of the main body frame 10a and the support frame 12d in the state of FIG. FIG. 9 is a side view seen from the same direction as in FIG. In FIG. 9, the conveyor motor 12a, the timing belt 12c, and the X-ray irradiator 20 shown in FIG. 3 are omitted for the sake of clarity. FIG. 10 is a side view seen from the arrow X in FIG. In the following, the front side means the side where the monitor 40 of the X-ray inspection apparatus 10 exists in FIG. The user of the X-ray inspection device 10 operates the monitor 40 from the front side of the X-ray inspection device 10. Further, the back side means the opposite side of the front side with the transport unit 12 interposed therebetween.

支持フレーム１２ｄは、第１・第２コンベア１３，１４を正面側および背面側で支持する。支持フレーム１２ｄは、本体フレーム１０ａに対して回転可能に設けられている。具体的には、Ｘ線検査装置１０の使用者は、図９および図１０に示される回転軸Ｒの周りに、支持フレーム１２ｄを回転させることができる。回転軸Ｒは、被検査物Ａの搬送方向に平行である。回転軸Ｒは、Ｘ線検査装置１０の背面側における、支持フレーム１２ｄの幅方向の端部に位置している。支持フレーム１２の正面側には、持ち手１２ｅが取り付けられている。Ｘ線検査装置１０の使用者は、持ち手１２ｅを掴み、図１０に示される矢印の方向に向かって持ち手１２ｅを持ち上げることで、支持フレーム１２ｄを回転軸Ｒ周りに回転させて、支持フレーム１２ｄの正面側を持ち上げることができる。支持フレーム１２ｄの正面側が持ち上げられた状態において、支持フレーム１２ｄの背面側は、本体フレーム１０ａに連結されている。 The support frame 12d supports the first and second conveyors 13 and 14 on the front side and the back side. The support frame 12d is rotatably provided with respect to the main body frame 10a. Specifically, the user of the X-ray inspection apparatus 10 can rotate the support frame 12d around the rotation axis R shown in FIGS. 9 and 10. The rotation axis R is parallel to the transport direction of the object A to be inspected. The rotation axis R is located at the end of the support frame 12d in the width direction on the back side of the X-ray inspection device 10. A handle 12e is attached to the front side of the support frame 12. The user of the X-ray inspection apparatus 10 grabs the handle 12e and lifts the handle 12e in the direction of the arrow shown in FIG. 10 to rotate the support frame 12d around the rotation axis R to rotate the support frame 12e. The front side of 12d can be lifted. In a state where the front side of the support frame 12d is lifted, the back side of the support frame 12d is connected to the main body frame 10a.

図１１は、図１０と同様の側面図であって、支持フレーム１２ｄの正面側が持ち上げられた状態を示す図である。図８に示されるように、本体フレーム１０ａには、引っ掛け部材１２ｆが取り付けられている。引っ掛け部材１２ｆは、正面側が持ち上げられた支持フレーム１２ｄの持ち手１２ｅを一時的に引っ掛けておくための部材である。言い換えると、引っ掛け部材１２ｆは、正面側が持ち上げられた状態に支持フレーム１２ｄを一時的に維持しておくための部材である。 FIG. 11 is a side view similar to FIG. 10, showing a state in which the front side of the support frame 12d is lifted. As shown in FIG. 8, a hooking member 12f is attached to the main body frame 10a. The hooking member 12f is a member for temporarily hooking the handle 12e of the support frame 12d whose front side is lifted. In other words, the hook member 12f is a member for temporarily maintaining the support frame 12d in a state where the front side is lifted.

図１１に示されるように、支持フレーム１２ｄの正面側が持ち上げられた状態では、ラインセンサ３０と支持フレーム１２ｄ（第１・第２コンベア１３，１４）との間に、比較的広い空間が形成されている。そのため、後述するように、この状態は、ラインセンサ３０の清掃に適している。以下、図１０に示される支持フレーム１２ｄの状態を「通常時」と呼び、図１１に示される支持フレーム１２ｄの状態を「保守時」と呼ぶ。 As shown in FIG. 11, when the front side of the support frame 12d is lifted, a relatively wide space is formed between the line sensor 30 and the support frames 12d (first and second conveyors 13, 14). ing. Therefore, as will be described later, this state is suitable for cleaning the line sensor 30. Hereinafter, the state of the support frame 12d shown in FIG. 10 is referred to as “normal time”, and the state of the support frame 12d shown in FIG. 11 is referred to as “maintenance time”.

支持フレーム１２ｄが通常時の状態における第１・第２コンベア１３，１４の位置を「第１位置」とし、支持フレーム１２ｄが保守時の状態における第１・第２コンベア１３，１４の位置を「第２位置」とする。第２位置は、第１位置と比べてラインセンサ３０からより離れている。支持フレーム１２ｄは、第１位置と第２位置との間を、第１コンベア１３および第２コンベア１４の少なくとも一方が移動可能なように設けられている。 The positions of the first and second conveyors 13 and 14 in the normal state of the support frame 12d are defined as the "first position", and the positions of the first and second conveyors 13 and 14 in the state of the support frame 12d in the maintenance state are defined as "first position". Second position ". The second position is farther away from the line sensor 30 than the first position. The support frame 12d is provided so that at least one of the first conveyor 13 and the second conveyor 14 can move between the first position and the second position.

（４）特徴
（４−１）
Ｘ線検査装置１０の搬送ユニット１２は、第１コンベア１３および第２コンベア１４を駆動させて被検査物Ａを搬送する。Ｘ線照射器２０から照射されたＸ線が搬送ユニット１２に吸収されることを防止するために、第１コンベア１３と第２コンベア１４との間には、Ｘ線照射器２０から照射されたＸ線が通過するためのコンベア間隙間１５が形成されている。しかし、コンベア間隙間１５からラインセンサ３０の上に埃等の異物が落下すると、ラインセンサ３０の出力に悪影響を与え、被検査物Ａが正常に検査されないおそれがある。そのため、ラインセンサ３０を定期的に清掃して、ラインセンサ３０に付着した異物を除去する必要がある。 (4) Features (4-1)
The transport unit 12 of the X-ray inspection device 10 drives the first conveyor 13 and the second conveyor 14 to transport the object A to be inspected. In order to prevent the X-rays emitted from the X-ray irradiator 20 from being absorbed by the transport unit 12, the X-ray irradiator 20 irradiates between the first conveyor 13 and the second conveyor 14. A gap 15 between conveyors is formed for X-rays to pass through. However, if foreign matter such as dust falls on the line sensor 30 from the gap 15 between the conveyors, the output of the line sensor 30 may be adversely affected and the object A to be inspected may not be inspected normally. Therefore, it is necessary to periodically clean the line sensor 30 to remove foreign matter adhering to the line sensor 30.

本実施形態のＸ線検査装置１０は、被検査物Ａを透過したＸ線を検出するラインセンサ３０を清掃する際に、ラインセンサ３０の近傍に配置されている第１コンベア１３および第２コンベア１４を、ラインセンサ３０から一時的に離すための機構を備える。具体的には、Ｘ線検査装置１０の使用者は、ラインセンサ３０を清掃する際に、図１０に示される通常時の支持フレーム１２ｄの正面側を持ち上げて、図１１に示される保守時の支持フレーム１２ｄとすることで、ラインセンサ３０と第１・第２コンベア１３，１４との間に比較的広い空間を確保することができる。そのため、Ｘ線検査装置１０の使用者は、支持フレーム１２ｄが保守時の状態において、ラインセンサ３０の清掃を効率的に行うことができる。一方、支持フレーム１２ｄが通常時の状態では、ラインセンサ３０と第１・第２コンベア１３，１４との間の空間が狭いので、ラインセンサ３０の清掃は困難である。従って、Ｘ線検査装置１０は、ラインセンサ３０の清掃を容易にする機構を備える。 The X-ray inspection device 10 of the present embodiment has the first conveyor 13 and the second conveyor arranged in the vicinity of the line sensor 30 when cleaning the line sensor 30 that detects the X-rays transmitted through the object A to be inspected. A mechanism for temporarily separating the 14 from the line sensor 30 is provided. Specifically, when cleaning the line sensor 30, the user of the X-ray inspection device 10 lifts the front side of the support frame 12d in the normal state shown in FIG. 10 and performs the maintenance time shown in FIG. By using the support frame 12d, a relatively wide space can be secured between the line sensor 30 and the first and second conveyors 13 and 14. Therefore, the user of the X-ray inspection device 10 can efficiently clean the line sensor 30 while the support frame 12d is in the state of maintenance. On the other hand, when the support frame 12d is in a normal state, the space between the line sensor 30 and the first and second conveyors 13 and 14 is narrow, so that it is difficult to clean the line sensor 30. Therefore, the X-ray inspection device 10 includes a mechanism that facilitates cleaning of the line sensor 30.

（４−２）
Ｘ線検査装置１０では、支持フレーム１２ｄは、本体フレーム１０ａに対して回転可能に設けられている。具体的には、図１０および図１１に示されるように、支持フレーム１２ｄは、背面側において搬送方向に沿って延びている回転軸Ｒを中心にして、正面側を持ち上げることができるように、本体フレーム１０ａに取り付けられている。そのため、支持フレーム１２ｄの状態を通常時から保守時に移行させる際に、本体フレーム１０ａから第１・第２コンベア１３，１４を取り外すことなく、第１・第２コンベア１３，１４をラインセンサ３０から一時的に離すことができる。従って、ラインセンサ３０の清掃時における安全性および保守性が向上する。 (4-2)
In the X-ray inspection apparatus 10, the support frame 12d is rotatably provided with respect to the main body frame 10a. Specifically, as shown in FIGS. 10 and 11, the support frame 12d can lift the front side around the rotation axis R extending along the transport direction on the back side. It is attached to the main body frame 10a. Therefore, when shifting the state of the support frame 12d from the normal time to the maintenance time, the first and second conveyors 13 and 14 are moved from the line sensor 30 without removing the first and second conveyors 13 and 14 from the main body frame 10a. Can be temporarily released. Therefore, the safety and maintainability of the line sensor 30 at the time of cleaning are improved.

（４−３）
Ｘ線検査装置１０では、ラインセンサ３０は、被検査物Ａの搬送方向に直交する方向に延びている。すなわち、ラインセンサ３０は、コンベア間隙間１５の長手方向に沿って延びている。そのため、支持フレーム１２ｄの状態を通常時から保守時に移行させた後において、ラインセンサ３０と第１・第２コンベア１３，１４との間には比較的広い空間が確保される。従って、Ｘ線検査装置１０の使用者は、ラインセンサ３０の各Ｘ線検出素子の上面であるＸ線検出面の清掃を容易に行うことができる。 (4-3)
In the X-ray inspection apparatus 10, the line sensor 30 extends in a direction orthogonal to the transport direction of the object A to be inspected. That is, the line sensor 30 extends along the longitudinal direction of the gap 15 between the conveyors. Therefore, after shifting the state of the support frame 12d from the normal time to the maintenance time, a relatively wide space is secured between the line sensor 30 and the first and second conveyors 13 and 14. Therefore, the user of the X-ray inspection device 10 can easily clean the X-ray detection surface which is the upper surface of each X-ray detection element of the line sensor 30.

（４−４）
Ｘ線検査装置１０では、支持フレーム１２ｄは、第１コンベア１３および第２コンベア１４の両方を支持する。そのため、ラインセンサ３０を清掃する際に、ラインセンサ３０の近傍に配置されている第１・第２コンベア１３，１４の両方を、ラインセンサ３０から一時的に離すことができる。そのため、ラインセンサ３０の清掃時において、ラインセンサ３０の周囲に、清掃の障害となる物体が存在しない空間を大きく確保することができる。従って、Ｘ線検査装置１０の使用者は、ラインセンサ３０の清掃を効率的に行うことができる。 (4-4)
In the X-ray inspection apparatus 10, the support frame 12d supports both the first conveyor 13 and the second conveyor 14. Therefore, when cleaning the line sensor 30, both the first and second conveyors 13 and 14 arranged in the vicinity of the line sensor 30 can be temporarily separated from the line sensor 30. Therefore, when cleaning the line sensor 30, it is possible to secure a large space around the line sensor 30 in which no object that hinders cleaning does not exist. Therefore, the user of the X-ray inspection device 10 can efficiently clean the line sensor 30.

（５）変形例
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。 (5) Modified Examples Although one embodiment of the present invention has been described above, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made without departing from the gist of the invention.

（５−１）変形例Ａ
実施形態では、図１０および図１１に示されるように、支持フレーム１２ｄは、背面側において搬送方向に沿って延びる回転軸Ｒを中心にして、正面側を持ち上げることができる。しかし、ラインセンサ３０の清掃時に第１・第２コンベア１３，１４をラインセンサ３０から一時的に離すことができれば、支持フレーム１２ｄは、他の機構によって、本体フレーム１０ａに対して回転可能に設けられてもよい。 (5-1) Modification A
In the embodiment, as shown in FIGS. 10 and 11, the support frame 12d can lift the front side about the rotation axis R extending along the transport direction on the back side. However, if the first and second conveyors 13 and 14 can be temporarily separated from the line sensor 30 when cleaning the line sensor 30, the support frame 12d is rotatably provided with respect to the main body frame 10a by another mechanism. May be done.

図１２および図１３は、本変形例における、支持フレーム１２ｄの回転機構を示す図である。図１２および図１３は、図９と同じ方向から視た側面図である。図１２は、通常時の支持フレーム１２ｄを示し、図１３は、保守時の支持フレーム１２ｄを示す。 12 and 13 are views showing the rotation mechanism of the support frame 12d in this modified example. 12 and 13 are side views viewed from the same direction as FIG. 9. FIG. 12 shows the support frame 12d during normal operation, and FIG. 13 shows the support frame 12d during maintenance.

本変形例の支持フレーム１２ｄは、第１コンベア１３の第１隙間側端部１６、および、第２コンベア１４の第２隙間側端部１７の両方を持ち上げることができるように、本体フレーム１０ａに対して回転可能に設けられている。本変形例では、支持フレーム１２ｄは、第１コンベア１３を支持する第１支持部１２ｄ１と、第２コンベア１４を支持する第２支持部１２ｄ２とから構成されている。第１支持部１２ｄ１および第２支持部１２ｄ２は、それぞれ独立して、本体フレーム１０ａに対して回転可能に設けられている。第１支持部１２ｄ１は、第１隙間側端部１６の側に第１持ち手１２ｅ１を有する。第２支持部１２ｄ２は、第２隙間側端部１７の側に第２持ち手１２ｅ２を有する。 The support frame 12d of this modification is attached to the main body frame 10a so that both the first gap side end portion 16 of the first conveyor 13 and the second gap side end portion 17 of the second conveyor 14 can be lifted. On the other hand, it is rotatably provided. In this modification, the support frame 12d is composed of a first support portion 12d1 that supports the first conveyor 13 and a second support portion 12d2 that supports the second conveyor 14. The first support portion 12d1 and the second support portion 12d2 are independently provided so as to be rotatable with respect to the main body frame 10a. The first support portion 12d1 has a first handle 12e1 on the side of the first gap side end portion 16. The second support portion 12d2 has a second handle 12e2 on the side of the second gap side end portion 17.

図１２および図１３に示されるように、第１コンベア１３は、第１回転軸Ｒ１を中心にして、第１隙間側端部１６の側を持ち上げることができ、第２コンベア１４は、第２回転軸Ｒ２を中心にして、第２隙間側端部１７の側を持ち上げることができる。第１回転軸Ｒ１は、搬送方向において第１隙間側端部１６の反対側の端部に位置し、かつ、第１コンベア１３の幅方向に平行な軸である。第２回転軸Ｒ２は、搬送方向において第２隙間側端部１７の反対側の端部に位置し、かつ、第２コンベア１４の幅方向に平行な軸である。 As shown in FIGS. 12 and 13, the first conveyor 13 can lift the side of the first gap side end portion 16 about the first rotation axis R1, and the second conveyor 14 has a second. The side of the second gap side end portion 17 can be lifted around the rotation shaft R2. The first rotation shaft R1 is an axis that is located at the end opposite to the first gap side end 16 in the transport direction and is parallel to the width direction of the first conveyor 13. The second rotation axis R2 is an axis located at the end opposite to the second gap side end 17 in the transport direction and parallel to the width direction of the second conveyor 14.

これにより、Ｘ線検査装置１０の使用者は、第１持ち手１２ｅ１を掴み、図１２に示される矢印の方向に向かって第１持ち手１２ｅ１を持ち上げることで、第１支持部１２ｄ１を第１回転軸Ｒ１周りに回転させて、第１隙間側端部１６の側を持ち上げることができる。また、Ｘ線検査装置１０の使用者は、第２持ち手１２ｅ２を掴み、図１２に示される矢印の方向に向かって第２持ち手１２ｅ２を持ち上げることで、第２支持部１２ｄ２を第２回転軸Ｒ２周りに回転させて、第２隙間側端部１７の側を持ち上げることができる。以上の２つの動作によって、Ｘ線検査装置１０の使用者は、支持フレーム１２ｄを通常時（図１２）から保守時（図１３）に移行させることができる。支持フレーム１２ｄが保守時の状態において、第１支持部１２ｄ１は、第１隙間側端部１６の搬送方向反対側において本体フレーム１０ａに連結され、第２支持部１２ｄ２は、第２隙間側端部１７の搬送方向反対側において本体フレーム１０ａに連結されている。なお、支持フレーム１２ｄが保守時の状態の間、タイミングベルト１２ｃは、第１コンベア１３および第２コンベア１４の少なくとも一方から取り外されている。 As a result, the user of the X-ray inspection apparatus 10 grasps the first handle 12e1 and lifts the first handle 12e1 in the direction of the arrow shown in FIG. 12, so that the first support portion 12d1 is first. The side of the first gap side end portion 16 can be lifted by rotating around the rotation shaft R1. Further, the user of the X-ray inspection apparatus 10 grabs the second handle 12e2 and lifts the second handle 12e2 in the direction of the arrow shown in FIG. 12, thereby rotating the second support portion 12d2 in the second rotation. The side of the second gap side end portion 17 can be lifted by rotating around the shaft R2. By the above two operations, the user of the X-ray inspection apparatus 10 can shift the support frame 12d from the normal time (FIG. 12) to the maintenance time (FIG. 13). In the state where the support frame 12d is in maintenance, the first support portion 12d1 is connected to the main body frame 10a on the opposite side of the first gap side end portion 16 in the transport direction, and the second support portion 12d2 is connected to the second gap side end portion. 17 is connected to the main body frame 10a on the opposite side in the transport direction. While the support frame 12d is in the maintenance state, the timing belt 12c is removed from at least one of the first conveyor 13 and the second conveyor 14.

Ｘ線検査装置１０の使用者は、ラインセンサ３０を清掃する際に、図１２に示される通常時の支持フレーム１２ｄの第１・第２コンベア１３，１４の第１・第２隙間側端部１６，１７側を持ち上げて、図１３に示される保守時の支持フレーム１２ｄとすることで、ラインセンサ３０と第１・第２コンベア１３，１４との間に比較的広い空間を確保することができる。そのため、Ｘ線検査装置１０の使用者は、支持フレーム１２ｄが保守時の状態で、ラインセンサ３０の清掃を効率的に行うことができる。 When cleaning the line sensor 30, the user of the X-ray inspection device 10 uses the first and second gap side ends of the first and second conveyors 13 and 14 of the support frame 12d in the normal state shown in FIG. By lifting the 16th and 17th sides to form the support frame 12d at the time of maintenance shown in FIG. 13, it is possible to secure a relatively wide space between the line sensor 30 and the first and second conveyors 13 and 14. can. Therefore, the user of the X-ray inspection device 10 can efficiently clean the line sensor 30 while the support frame 12d is in the state of maintenance.

なお、本変形例では、実施形態の引っ掛け部材１２ｆと同様に、支持フレーム１２ｄが保守時の状態において、第１支持部１２ｄ１の第１持ち手１２ｅ１、および、第２支持部１２ｄ２の第２持ち手１２ｅ２を一時的に引っ掛けておくための部材を、本体フレーム１０ａが有してもよい。 In this modified example, similarly to the hook member 12f of the embodiment, when the support frame 12d is in the state of maintenance, the first handle 12e1 of the first support portion 12d1 and the second handle of the second support portion 12d2 are held. The main body frame 10a may have a member for temporarily hooking the hand 12e2.

（５−２）変形例Ｂ
実施形態では、支持フレーム１２ｄは、本体フレーム１０ａに対して回転可能に設けられている。しかし、支持フレーム１２ｄは、本体フレーム１０ａに対して平行移動可能に設けられてもよい。例えば、支持フレーム１２ｄは、本体フレーム１０ａに対して鉛直方向に平行移動可能に設けられてもよい。 (5-2) Modification B
In the embodiment, the support frame 12d is rotatably provided with respect to the main body frame 10a. However, the support frame 12d may be provided so as to be able to translate with respect to the main body frame 10a. For example, the support frame 12d may be provided so as to be able to translate in the vertical direction with respect to the main body frame 10a.

図１４および図１５は、本変形例における、支持フレーム１２ｄの平行移動機構を示す図である。図１４および図１５は、図９と同じ方向から視た側面図である。図１４は、通常時の支持フレーム１２ｄを示し、図１５は、保守時の支持フレーム１２ｄを示す。 14 and 15 are views showing the translation mechanism of the support frame 12d in this modification. 14 and 15 are side views viewed from the same direction as FIG. FIG. 14 shows the support frame 12d during normal operation, and FIG. 15 shows the support frame 12d during maintenance.

本変形例の支持フレーム１２ｄは、第１コンベア１３全体、および、第２コンベア１４全体を鉛直方向に持ち上げることができるように、本体フレーム１０ａに対して平行移動可能に設けられている。例えば、支持フレーム１２ｄは、支持レール（図示せず）を介して本体フレーム１０ａに取り付けられている。支持フレーム１２ｄは、本体フレーム１０ａから取り外すことはできない。しかし、Ｘ線検査装置１０の使用者は、支持フレーム１２ｄを通常時から保守時に移行させる際に、支持フレーム１２ｄを、支持レールに沿って鉛直方向上方に向かって移動させることができる。また、支持フレーム１２ｄは、第１持ち手１２ｅ１と第２持ち手１２ｅ２とを有する。第１持ち手１２ｅ１は、第１コンベア１３の側に設けられ、第２持ち手１２ｅ２は、第２コンベア１４の側に設けられている。 The support frame 12d of this modification is provided so as to be movable in parallel with the main body frame 10a so that the entire first conveyor 13 and the entire second conveyor 14 can be lifted in the vertical direction. For example, the support frame 12d is attached to the main body frame 10a via a support rail (not shown). The support frame 12d cannot be removed from the main body frame 10a. However, the user of the X-ray inspection apparatus 10 can move the support frame 12d vertically upward along the support rail when the support frame 12d is shifted from the normal time to the maintenance time. Further, the support frame 12d has a first handle 12e1 and a second handle 12e2. The first handle 12e1 is provided on the side of the first conveyor 13, and the second handle 12e2 is provided on the side of the second conveyor 14.

これにより、Ｘ線検査装置１０の使用者は、第１持ち手１２ｅ１および第２持ち手１２ｅ２を両手で掴み、図１４に示される矢印の方向に向かって第１持ち手１２ｅ１および第２持ち手１２ｅ２を持ち上げることで、図１５に示されるように、支持フレーム１２ｄ全体を鉛直方向上方に移動させることができる。 As a result, the user of the X-ray inspection apparatus 10 grasps the first handle 12e1 and the second handle 12e2 with both hands, and the first handle 12e1 and the second handle are held in the direction of the arrow shown in FIG. By lifting 12e2, as shown in FIG. 15, the entire support frame 12d can be moved upward in the vertical direction.

Ｘ線検査装置１０の使用者は、ラインセンサ３０を清掃する際に、図１４に示される通常時の支持フレーム１２ｄを持ち上げて、図１５に示される保守時の支持フレーム１２ｄとすることで、ラインセンサ３０と第１・第２コンベア１３，１４との間に比較的広い空間を確保することができる。そのため、Ｘ線検査装置１０の使用者は、支持フレーム１２ｄが保守時の状態で、ラインセンサ３０の清掃を効率的に行うことができる。 When cleaning the line sensor 30, the user of the X-ray inspection apparatus 10 lifts the normal support frame 12d shown in FIG. 14 to obtain the maintenance support frame 12d shown in FIG. A relatively wide space can be secured between the line sensor 30 and the first and second conveyors 13 and 14. Therefore, the user of the X-ray inspection device 10 can efficiently clean the line sensor 30 while the support frame 12d is in the state of maintenance.

なお、本変形例では、実施形態の引っ掛け部材１２ｆと同様に、支持フレーム１２ｄが保守時の状態において、支持フレーム１２ｄの第１持ち手１２ｅ１および第２持ち手１２ｅ２を一時的に引っ掛けておくための部材を、本体フレーム１０ａが有してもよい。 In this modified example, similarly to the hooking member 12f of the embodiment, the first handle 12e1 and the second handle 12e2 of the support frame 12d are temporarily hooked in the state at the time of maintenance. The main body frame 10a may have the member of the above.

また、本変形例では、支持フレーム１２ｄが保守時の状態において、ラインセンサ３０と第１・第２コンベア１３，１４との間に比較的広い空間を確保することができるのであれば、支持フレーム１２ｄは、本体フレーム１０ａに対して任意の方向に平行移動可能に設けられてもよく、また、支持フレーム１２ｄは、本体フレーム１０ａに対して任意の方向に平行移動可能、かつ、回転可能に設けられてもよい。 Further, in this modification, if the support frame 12d can secure a relatively wide space between the line sensor 30 and the first and second conveyors 13 and 14 in the state at the time of maintenance, the support frame The 12d may be provided so as to be able to translate in any direction with respect to the main body frame 10a, and the support frame 12d may be provided so as to be able to translate and rotate in any direction with respect to the main body frame 10a. May be done.

（５−３）変形例Ｃ
実施形態では、制御装置５０の制御部５１は、主として、検査部６１を有する。しかし、制御部５１は、さらに、禁止部６２、判定部６３および報知部６４の少なくとも一つを有してもよい。 (5-3) Modification C
In the embodiment, the control unit 51 of the control device 50 mainly has an inspection unit 61. However, the control unit 51 may further include at least one of a prohibition unit 62, a determination unit 63, and a notification unit 64.

図１６は、本変形例における制御装置５０のブロック図である。図１６では、制御部５１は、検査部６１と、禁止部６２と、判定部６３と、報知部６４とを有する。検査部６１の機能は、実施形態のものと同じである。 FIG. 16 is a block diagram of the control device 50 in this modified example. In FIG. 16, the control unit 51 includes an inspection unit 61, a prohibition unit 62, a determination unit 63, and a notification unit 64. The function of the inspection unit 61 is the same as that of the embodiment.

禁止部６２は、第１コンベア１３および第２コンベア１４の少なくとも一方が所定の位置にない場合に、Ｘ線照射器２０が被検査物ＡにＸ線を照射することを禁止する。ここで、所定の位置とは、支持フレーム１２ｄが通常時の状態（図１０）における、第１・第２コンベア１３，１４の位置を意味する。この場合、搬送ユニット１２は、第１コンベア１３および第２コンベア１４の両方が所定の位置にある場合に、被検査物Ａを搬送可能である。言い換えると、禁止部６２は、支持フレーム１２ｄが保守時の状態の間、Ｘ線照射器２０が被検査物ＡにＸ線を照射することを禁止する。支持フレーム１２ｄが保守時の状態の間に、Ｘ線照射器２０がＸ線を照射すると、ラインセンサ３０を清掃している作業者が、Ｘ線照射器２０から照射されるＸ線に曝されるおそれがある。そのため、禁止部６２は、ラインセンサ３０の清掃中にＸ線照射器２０からＸ線が照射されることが防止されるので、安全性を向上させることができる。 The prohibition unit 62 prohibits the X-ray irradiator 20 from irradiating the object A to be inspected with X-rays when at least one of the first conveyor 13 and the second conveyor 14 is not in a predetermined position. Here, the predetermined position means the positions of the first and second conveyors 13 and 14 when the support frame 12d is in a normal state (FIG. 10). In this case, the transport unit 12 can transport the object A to be inspected when both the first conveyor 13 and the second conveyor 14 are in predetermined positions. In other words, the prohibition unit 62 prohibits the X-ray irradiator 20 from irradiating the object A to be inspected with X-rays while the support frame 12d is in the maintenance state. When the X-ray irradiator 20 irradiates X-rays while the support frame 12d is in the maintenance state, the worker cleaning the line sensor 30 is exposed to the X-rays emitted from the X-ray irradiator 20. There is a risk of Therefore, the prohibition unit 62 is prevented from being irradiated with X-rays from the X-ray irradiator 20 during the cleaning of the line sensor 30, so that the safety can be improved.

判定部６３は、ラインセンサ３０の清掃の要否を判定する。判定部６３は、例えば、ラインセンサ３０の出力の低下を監視して、ラインセンサ３０の出力が所定の値以下になった場合に、ラインセンサ３０のＸ線検出素子の上面に異物が付着したと判定する。そのため、Ｘ線検査装置１０の使用者は、ラインセンサ３０の清掃の要否を判断するために、ラインセンサ３０の状態を目視で確認する必要がない。 The determination unit 63 determines whether or not the line sensor 30 needs to be cleaned. The determination unit 63 monitors, for example, a decrease in the output of the line sensor 30, and when the output of the line sensor 30 falls below a predetermined value, foreign matter adheres to the upper surface of the X-ray detection element of the line sensor 30. Is determined. Therefore, the user of the X-ray inspection device 10 does not need to visually check the state of the line sensor 30 in order to determine whether or not the line sensor 30 needs to be cleaned.

報知部６４は、ラインセンサ３０の清掃が必要であることを、Ｘ線検査装置１０の使用者に報知する。報知部６４は、例えば、判定部６３がラインセンサ３０の清掃が必要であると判定した場合に、その旨をモニタ４０に表示する。これにより、Ｘ線検査装置１０は、必要な時にラインセンサ３０の清掃を使用者に促すことができる。 The notification unit 64 notifies the user of the X-ray inspection device 10 that the line sensor 30 needs to be cleaned. For example, when the determination unit 63 determines that the line sensor 30 needs to be cleaned, the notification unit 64 displays that fact on the monitor 40. As a result, the X-ray inspection device 10 can urge the user to clean the line sensor 30 when necessary.

（５−４）変形例Ｄ
実施形態では、支持フレーム１２ｄは、第１コンベア１３および第２コンベア１４の両方を支持する。しかし、支持フレーム１２ｄは、第１コンベア１３および第２コンベア１４の一方のみを支持してもよい。すなわち、ラインセンサ３０を清掃する際に、第１コンベア１３および第２コンベア１４の一方のみを、ラインセンサ３０から一時的に離すことができてもよい。この場合、他方のコンベアは、被検査物Ａを搬送可能な時と同じ位置にある。なお、本変形例では、支持フレーム１２ｄが保守時の状態の間、タイミングベルト１２ｃは、第１コンベア１３および第２コンベア１４の少なくとも一方から取り外されている。 (5-4) Modification D
In an embodiment, the support frame 12d supports both the first conveyor 13 and the second conveyor 14. However, the support frame 12d may support only one of the first conveyor 13 and the second conveyor 14. That is, when cleaning the line sensor 30, only one of the first conveyor 13 and the second conveyor 14 may be temporarily separated from the line sensor 30. In this case, the other conveyor is in the same position as when the object A to be inspected can be conveyed. In this modification, the timing belt 12c is removed from at least one of the first conveyor 13 and the second conveyor 14 while the support frame 12d is in the maintenance state.

なお、変形例Ａおよび変形例Ｂにおいても、支持フレーム１２ｄは、第１コンベア１３および第２コンベア１４の一方のみを支持してもよい。すなわち、ラインセンサ３０を清掃する際に、第１コンベア１３および第２コンベア１４の一方のみを、ラインセンサ３０から一時的に離すことができてもよい。 In the modified example A and the modified example B, the support frame 12d may support only one of the first conveyor 13 and the second conveyor 14. That is, when cleaning the line sensor 30, only one of the first conveyor 13 and the second conveyor 14 may be temporarily separated from the line sensor 30.

本発明に係るＸ線検査装置は、センサの清掃を容易にする機構を備えるので、保守作業を効率的に行うことができる点で有用である。 Since the X-ray inspection apparatus according to the present invention includes a mechanism that facilitates cleaning of the sensor, it is useful in that maintenance work can be performed efficiently.

１０Ｘ線検査装置
１０ａ本体フレーム
１２搬送ユニット
１２ｄ支持フレーム（支持部）
１３第１コンベア
１４第２コンベア
１５コンベア間隙間（隙間）
１６第１隙間側端部（隙間側端部）
１７第２隙間側端部（隙間側端部）
２０Ｘ線照射器（Ｘ線照射部）
３０ラインセンサ（Ｘ線検出部）
６１検査部
６２禁止部
６３判定部
６４報知部
Ａ被検査物 10 X-ray inspection device 10a Main body frame 12 Conveyance unit 12d Support frame (support part)
13 1st conveyor 14 2nd conveyor 15 Gap between conveyors (gap)
16 First gap side end (gap side end)
17 Second gap side end (gap side end)
20 X-ray irradiator (X-ray irradiator)
30 line sensor (X-ray detector)
61 Inspection unit 62 Prohibition unit 63 Judgment unit 64 Notification unit A Inspected object

特開２０１２−１６３４８５号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2012-163485

Claims

A transport unit attached to the main body frame and the main body frame to transport the object to be inspected in the transport direction, and a transport unit.
An X-ray irradiation unit that irradiates the object to be inspected, which is conveyed by the transfer unit, with X-rays.
An X-ray detector that detects transmitted X-rays that have passed through the object to be inspected,
An inspection unit that inspects the object to be inspected based on the transmitted X-rays,
With
The transport unit is
The first conveyor and the second conveyor arranged with a gap in the transport direction,
A support portion that supports at least one of the first conveyor and the second conveyor, and
Have,
The X-ray detection unit is arranged at a position where the transmitted X-ray passing through the gap can be detected.
The support portion is located between the first position and the second position, which is farther from the X-ray detector than the first position, at least of the first conveyor and the second conveyor from the main body frame. It is provided so that it can be moved without removing one,
X-ray inspection equipment.

The support portion is rotatably provided with respect to the main body frame.
The X-ray inspection apparatus according to claim 1.

The support portion is rotatably provided with respect to the main body frame so that one of both end portions in a direction orthogonal to the transport direction can be used as a fulcrum and the other end portion can be lifted.
The X-ray inspection apparatus according to claim 2.

The first conveyor and the second conveyor have a gap-side end that is an end in the transport direction and is the end closer to the gap.
The support portion is rotatably provided with respect to the main body frame so that at least one of the gap-side end of the first conveyor and the gap-side end of the second conveyor can be lifted. ing,
The X-ray inspection apparatus according to claim 2.

The support portion is provided so as to be movable in parallel with the main body frame.
The X-ray inspection apparatus according to claim 1.

The support portion is provided so as to be movable in the vertical direction with respect to the main body frame.
The X-ray inspection apparatus according to claim 5.

The X-ray detector extends in a direction orthogonal to the transport direction.
The X-ray inspection apparatus according to any one of claims 1 to 6.

The support portion supports both the first conveyor and the second conveyor.
The X-ray inspection apparatus according to any one of claims 1 to 7.

The transport unit can transport the object to be inspected when the first conveyor and the second conveyor are in the first position.
The X-ray irradiation unit further includes a prohibition unit that prohibits the X-ray irradiation unit from irradiating the object to be inspected with X-rays when at least one of the first conveyor and the second conveyor is not in the first position.
The X-ray inspection apparatus according to any one of claims 1 to 8.

A determination unit that determines the necessity of cleaning the X-ray detection unit, and
When the determination unit determines that the X-ray detection unit needs to be cleaned, a notification unit for notifying that fact and a notification unit
Further prepare,
The X-ray inspection apparatus according to any one of claims 1 to 9.