JP7072207B2

JP7072207B2 - Plasma processing equipment

Info

Publication number: JP7072207B2
Application number: JP2017197417A
Authority: JP
Inventors: 剛鈴木; 知宏安達
Original assignee: 株式会社ジェイ・サイエンス・ラボ
Priority date: 2017-10-11
Filing date: 2017-10-11
Publication date: 2022-05-20
Anticipated expiration: 2037-10-11
Also published as: JP2019071243A

Description

本発明は、グロー放電によりプラズマを発生させる電極ユニット及び発生したプラズマを利用するプラズマ処理装置に関する。 The present invention relates to an electrode unit that generates plasma by glow discharge and a plasma processing device that utilizes the generated plasma.

例えば、粉体等の物質の表面改質を目的にグロー放電プラズマを利用したプラズマ処理装置が提案されている（例えば特許文献１）。特許文献１に記載の装置は、中心電極と、該中心電極と所定の空隙部を介して配置された筒状の周辺電極とを有する容器と、前記空隙部の概ね全長が複数の仕切部で仕切られることで形成された複数の部屋と、前記中心電極表面若しくは前記周辺電極表面の少なくとも一方に設けられた誘電体と、前記容器の一端側に設けられ、前記部屋内に流体を注入可能に構成された流体注入手段と、前記容器の他端側に設けられ、前記部屋内から流体を排出可能に構成された流体排出手段と、前記中心電極と前記周辺電極との間に交流またはパルス電圧を印加した状態で、前記中心電極を回転の中心として前記容器を回転せしめる回転手段とを備える。 For example, a plasma processing apparatus using glow discharge plasma has been proposed for the purpose of surface modification of a substance such as powder (for example, Patent Document 1). The apparatus described in Patent Document 1 is a container having a center electrode, a cylindrical peripheral electrode arranged via the center electrode and a predetermined gap portion, and a partition portion having a plurality of partitions having a substantially total length of the gap portion. A plurality of chambers formed by partitioning, a dielectric provided on the surface of the center electrode or at least one of the surfaces of the peripheral electrodes, and a dielectric provided on one end side of the container so that fluid can be injected into the chamber. An alternating or pulsed voltage between the center electrode and the peripheral electrode is provided between the configured fluid injection means, the fluid discharge means provided on the other end side of the container and capable of discharging fluid from the inside of the chamber, and the center electrode and the peripheral electrode. Is provided, the container is provided with a rotating means for rotating the container with the center electrode as the center of rotation.

特許第５０８０７０１号Patent No. 50870101

上記のプラズマ処理装置において、中心電極と周辺電極とを利用してプラズマを発生させているため、プラズマが生じにくいという問題がある。
本発明は、プラズマの発生しやすい電極ユニット等を提供することを目的とする。 In the above plasma processing apparatus, since plasma is generated by using the center electrode and the peripheral electrode, there is a problem that plasma is unlikely to be generated.
An object of the present invention is to provide an electrode unit or the like in which plasma is likely to be generated.

本発明に係る電極ユニットは、誘電体の容器内に配され、当該容器外に配された外側電極との間のグロー放電によりプラズマを発生させるための電極ユニットにおいて、前記容器の内周面との間で沿面放電可能に配されたメッシュ構造の電極本体を有する。
本発明に係るプラズマ処理装置は、誘電体の容器の内外に配された一対の電極ユニット間のグロー放電により発生するプラズマにより物質を処理するプラズマ処理装置において、前記容器の内部に配された電極ユニットは上記の電極ユニットである。 The electrode unit according to the present invention is an electrode unit arranged in a dielectric container and for generating plasma by glow discharge between an outer electrode arranged outside the container, and the inner peripheral surface of the container. It has an electrode body with a mesh structure arranged so that it can be discharged along the surface.
The plasma processing apparatus according to the present invention is a plasma processing apparatus that processes a substance by plasma generated by glow discharge between a pair of electrode units arranged inside and outside the dielectric container, and the electrodes arranged inside the container. The unit is the above-mentioned electrode unit.

本発明に係る電極ユニット及びプラズマ処理装置は、メッシュ構造の電極本体を沿面放電可能に有するため、プラズマが発生しやすくなる。 Since the electrode unit and the plasma processing apparatus according to the present invention have a mesh-structured electrode body capable of creeping discharge, plasma is likely to be generated.

実施形態に係るプラズマ処理装置の側面図である。It is a side view of the plasma processing apparatus which concerns on embodiment. プラズマ処理装置の正面図である。It is a front view of the plasma processing apparatus. 処理ユニットの正面図である。It is a front view of a processing unit. 処理ユニットの側面図である。It is a side view of a processing unit. 処理ユニットから容器本体を取り外した状態の正面図である。It is a front view of the state which the container body is removed from a processing unit.

＜概要＞
実施形態の一態様に係る電極ユニットは、誘電体の容器内に配され、当該容器外に配された外側電極との間のグロー放電によりプラズマを発生させるための電極ユニットにおいて、前記容器の内周面との間で沿面放電可能に配されたメッシュ構造の電極本体を有する。
実施形態の別態様に係る電極ユニットにおいて、前記メッシュ構造は、複数本の金属線が２方向に間隔をおいて配された織り構造である。これにより効率よく面内放電が行われる。
実施形態の別態様に係る電極ユニットにおいて、前記金属線の線径は１ｍｍ以下であり、隣接する前記金属線間の隙間は６ｍｍ以下である。これにより効率よく面内放電が行われる。
実施形態の別態様に係る電極ユニットにおいて、前記メッシュ構造の電極本体は、前記容器の内面に接触する状態で、当該容器内に配されている。これにより効率よく面内放電が行われる。
実施形態の一態様に係るプラズマ処理装置は、誘電体の容器の内外に配された一対の電極ユニット間のグロー放電により発生するプラズマにより物質を処理するプラズマ処理装置において、前記容器の内部に配された電極ユニットは上記記載の電極ユニットである。これにより効率よく面内放電が行われる。 <Overview>
The electrode unit according to one aspect of the embodiment is an electrode unit for generating plasma by glow discharge between the electrode unit and the outer electrode arranged outside the container, which is arranged inside the container. It has an electrode body with a mesh structure arranged so that it can be discharged along the peripheral surface.
In the electrode unit according to another embodiment of the embodiment, the mesh structure is a woven structure in which a plurality of metal wires are arranged at intervals in two directions. As a result, in-plane discharge is efficiently performed.
In the electrode unit according to another embodiment of the embodiment, the wire diameter of the metal wire is 1 mm or less, and the gap between adjacent metal wires is 6 mm or less. As a result, in-plane discharge is efficiently performed.
In the electrode unit according to another embodiment of the embodiment, the electrode body having the mesh structure is arranged in the container in a state of being in contact with the inner surface of the container. As a result, in-plane discharge is efficiently performed.
The plasma processing device according to one embodiment is a plasma processing device that processes a substance by plasma generated by glow discharge between a pair of electrode units arranged inside and outside the dielectric container, and is arranged inside the container. The electrode unit is the electrode unit described above. As a result, in-plane discharge is efficiently performed.

＜実施形態＞
１．プラズマ処理装置
実施形態の一態様に係るプラズマ処理装置１について図１～図３を用いて説明する。
プラズマ処理装置１は、図３に示すように、容器２と、容器２の内部に配された内側電極ユニット３と、容器２の外側に配された外側電極ユニット４とを含む処理ユニット５を備える。
プラズマ処理装置１は、例えば容器２の内部に配された（供給された）物質の表面改善のためのプラズマを発生する。プラズマは、内側電極ユニット３に高電圧を印加して、内側電極ユニット３と外側電極ユニット４との間で発生するグロー放電を利用している。
内側電極ユニット３は本発明に係る電極ユニットの一態様に相当する。なお、外側電極ユニット４の電極はアース電極であるため、外側電極ユニット４は外側アース電極ユニットとし、符号はそのまま「４」を使用する。 <Embodiment>
1. 1. Plasma processing device The plasma processing device 1 according to one embodiment will be described with reference to FIGS. 1 to 3.
As shown in FIG. 3, the plasma processing apparatus 1 includes a container 2, an inner electrode unit 3 arranged inside the container 2, and an outer electrode unit 4 arranged outside the container 2. Be prepared.
The plasma processing apparatus 1 generates plasma for improving the surface of a substance (supplied) arranged inside the container 2, for example. The plasma utilizes a glow discharge generated between the inner electrode unit 3 and the outer electrode unit 4 by applying a high voltage to the inner electrode unit 3.
The inner electrode unit 3 corresponds to one aspect of the electrode unit according to the present invention. Since the electrode of the outer electrode unit 4 is a ground electrode, the outer electrode unit 4 is an outer ground electrode unit, and the reference numeral is "4" as it is.

プラズマ処理装置１は、図１及び図２に示すように、容器２の内部に試料ガスを注入するガス注入ユニット６を備える。試料ガスとしては、ヘリウム、窒素等がある。
本実施形態のプラズマ処理装置１は、図１に示すように、処理ユニット５に電力を供給するための電気接続ユニット７を備える。電気接続ユニット７は、図外の高圧電源と内側電極ユニット３とを接続する高圧側接続ユニット７Ａと、外側アース電極ユニット４とグランド（アース）とを接続するためのアース側接続ユニット７Ｂとを有する。
プラズマ処理装置１は、図１及び図２に示すように、処理ユニット５を回転支持する支持ユニット８を備える。 As shown in FIGS. 1 and 2, the plasma processing apparatus 1 includes a gas injection unit 6 for injecting a sample gas into the inside of the container 2. Examples of the sample gas include helium and nitrogen.
As shown in FIG. 1, the plasma processing apparatus 1 of the present embodiment includes an electrical connection unit 7 for supplying electric power to the processing unit 5. The electrical connection unit 7 includes a high-voltage side connection unit 7A for connecting a high-voltage power supply (not shown) and the inner electrode unit 3, and a ground side connection unit 7B for connecting the outer ground electrode unit 4 and the ground (earth). Have.
As shown in FIGS. 1 and 2, the plasma processing apparatus 1 includes a support unit 8 that rotationally supports the processing unit 5.

容器２は、円筒状をし、その中心軸の延伸する方向を単に中心軸方向とし、容器２の径方向を単に径方向とする。また、容器２の中心軸方向において、ガス注入ユニット６が存在する側（図２において左側である。）を一端、容器２が存在する側（図２において右側である。）を他端とする。 The container 2 has a cylindrical shape, and the extending direction of the central axis thereof is simply the central axis direction, and the radial direction of the container 2 is simply the radial direction. Further, in the direction of the central axis of the container 2, the side where the gas injection unit 6 is present (the left side in FIG. 2) is one end, and the side where the container 2 is present (the right side in FIG. 2) is the other end. ..

２．各部構成
（１）処理ユニット
主に図３を用いて説明する。
（１－１）容器
容器２は絶縁性材料により構成されている。
容器２は中心軸方向の両端が塞がれた筒状をしている。ここでは、容器２が支持ユニット８により回転自在に支持されるため、容器２の横断面形状は円環形状をしている。容器２は、中心軸方向の一端に開口を有する容器本体２１と、容器本体２１の一端の開口を塞ぐ蓋体２３とを有する。 2. 2. Configuration of each part (1) Processing unit This will be described mainly with reference to FIG.
(1-1) Container The container 2 is made of an insulating material.
The container 2 has a cylindrical shape with both ends closed in the central axial direction. Here, since the container 2 is rotatably supported by the support unit 8, the cross-sectional shape of the container 2 is an annular shape. The container 2 has a container main body 21 having an opening at one end in the central axial direction, and a lid 23 that closes the opening at one end of the container main body 21.

容器本体２１は中心軸方向の一端が開放する有底筒状をする。容器本体２１は、内周及び外周の直径が略一定である円筒部２１１と、円板状の底部２１３とからなる。容器本体２１は、ガラス材料により構成され、内周面に沿って内側電極ユニット３が、外周面に沿って外側アース電極ユニット４がそれぞれ配されている。なお、ガラス材料は誘電体であり、バリア放電を発生させるのを補助する。 The container body 21 has a bottomed cylinder shape in which one end in the central axial direction is open. The container body 21 includes a cylindrical portion 211 having a substantially constant inner and outer peripheral diameters, and a disk-shaped bottom portion 213. The container body 21 is made of a glass material, and an inner electrode unit 3 is arranged along the inner peripheral surface, and an outer ground electrode unit 4 is arranged along the outer peripheral surface. The glass material is a dielectric, which assists in generating a barrier discharge.

蓋体２３は中心軸方向の他端が開放する有蓋筒状をしている。蓋体２３は絶縁材料、例えば、樹脂材料（ポリカーボネート）により構成されている。蓋体２３は、容器本体２１の中心軸方向に延伸する円筒部２３１と、円筒部２３１の一端を塞ぐ蓋部２３３とを有する。
円筒部２３１は、容器本体２１の外周面に沿って配された外側アース電極ユニット４の一端部に外嵌する。円筒部２３１はねじ部を内周面に有する。ねじ部は、雌ねじ２３１ａであり、外側アース電極ユニット４のねじ部（雄ねじ）４３ａに螺合する。これにより、蓋体２３が容器本体２１に着脱自在に装着される。なお、蓋体２３と容器本体２１との間にはリング状のパッキン２５が配される。
蓋部２３３は、ガス注入ユニット６の２重管６３を容器２内に挿入するための貫通孔２３３ａと、ガス注入ユニット６を蓋体２３に固定するためのねじ穴２３３ｂとを有する。貫通孔２３３ａは蓋部２３３の中央に存在する。ねじ穴２３３ｂは、貫通孔２３３ａの周りであって周方向に間隔（ここでは等間隔）をおいて複数個存在する。ここでは、ねじ穴２３３ｂは４個ある。
蓋部２３３は、内側電極ユニット３を蓋部２３３に固定するための貫通孔２３３ｃとねじ穴２３３ｄとを有している。貫通孔２３３ｃは１個、ねじ穴２３３ｄは３個あり、図４に示すように、周方向に間隔（ここでは等間隔）をおいて存在する。なお、ねじ穴２３３ｄは、図３に示すように、容器２の内部側から中心軸方向に沿って設けられている。 The lid 23 has a covered cylinder shape in which the other end in the central axis direction is open. The lid 23 is made of an insulating material, for example, a resin material (polycarbonate). The lid 23 has a cylindrical portion 231 extending in the central axial direction of the container body 21, and a lid portion 233 that closes one end of the cylindrical portion 231.
The cylindrical portion 231 is fitted onto one end of the outer ground electrode unit 4 arranged along the outer peripheral surface of the container body 21. The cylindrical portion 231 has a threaded portion on the inner peripheral surface. The threaded portion is a female screw 231a and is screwed into the threaded portion (male screw) 43a of the outer ground electrode unit 4. As a result, the lid 23 is detachably attached to the container body 21. A ring-shaped packing 25 is arranged between the lid 23 and the container body 21.
The lid portion 233 has a through hole 233a for inserting the double pipe 63 of the gas injection unit 6 into the container 2, and a screw hole 233b for fixing the gas injection unit 6 to the lid 23. The through hole 233a exists in the center of the lid portion 233. There are a plurality of screw holes 233b around the through holes 233a at intervals in the circumferential direction (here, equal intervals). Here, there are four screw holes 233b.
The lid portion 233 has a through hole 233c and a screw hole 233d for fixing the inner electrode unit 3 to the lid portion 233. There is one through hole 233c and three screw holes 233d, and as shown in FIG. 4, they exist at intervals (here, equal intervals) in the circumferential direction. As shown in FIG. 3, the screw hole 233d is provided along the central axis direction from the inner side of the container 2.

（２）内側電極ユニット
図５を用いて説明する。
内側電極ユニット３は、メッシュ構造の電極本体３１と、導電リング３３と、導電片３５とを備える。
（２－１）電極本体
電極本体３１は導電材料から構成されている。メッシュ構造として、例えば織り構造を採用できる。織り構造は、複数本の金属線が２方向に間隔をおいて配された織金網により構成されている。ここでの織り構造は平織り織タイプである。金属線として、例えば、ステンレス、鉄、アルミニウム等を利用できる。
電極本体３１は、図３に示すように、容器２の内周面、より具体的には、容器本体２１の円筒部２１１の内周面に沿って配されている。電極本体３１は円筒部２１１の内周面に接触するように配されている。
電極本体３１における中心軸方向の一端部及び他端部は、周方向に延伸する金属製の帯部３２に接続されている。 (2) Inner electrode unit This will be described with reference to FIG.
The inner electrode unit 3 includes an electrode body 31 having a mesh structure, a conductive ring 33, and a conductive piece 35.
(2-1) Electrode body The electrode body 31 is made of a conductive material. As the mesh structure, for example, a woven structure can be adopted. The woven structure is composed of a woven wire mesh in which a plurality of metal wires are arranged at intervals in two directions. The woven structure here is a plain weave type. As the metal wire, for example, stainless steel, iron, aluminum and the like can be used.
As shown in FIG. 3, the electrode body 31 is arranged along the inner peripheral surface of the container 2, more specifically, the inner peripheral surface of the cylindrical portion 211 of the container body 21. The electrode body 31 is arranged so as to come into contact with the inner peripheral surface of the cylindrical portion 211.
One end and the other end of the electrode body 31 in the central axial direction are connected to a metal band 32 extending in the circumferential direction.

（２－２）導電リング
導電リング３３は、容器２の蓋体２３における内面（容器２の内側である）に取り付けられ、導電性材料により構成されている。導電リング３３は、換言すると、高圧電源と電極本体３１とを接続するためのものであり、高電圧導入部である。
導電リング３３は円環状をする金属板により構成されている。なお、金属板としてＳＵＳが利用されている。導電リング３３は蓋体２３への固定部を有している。固定部は、周方向に間隔（ここでは等間隔である）をおいて複数個（ここでは４個）存在する。４個のうち、１個はねじ孔３３ａであり、３個は貫通孔３３ｂである。ねじ孔３３ａには、蓋体２３の外面に導電板３７を固定するねじ３８が螺合する。貫通孔３３ｂには蓋体２３の内面側からねじ３９が挿入される。 (2-2) Conductive Ring The conductive ring 33 is attached to the inner surface (inside of the container 2) of the lid 23 of the container 2 and is made of a conductive material. In other words, the conductive ring 33 is for connecting the high voltage power supply and the electrode main body 31, and is a high voltage introduction unit.
The conductive ring 33 is made of an annular metal plate. SUS is used as a metal plate. The conductive ring 33 has a fixing portion to the lid 23. There are a plurality of fixed portions (here, four) at intervals in the circumferential direction (here, they are evenly spaced). Of the four, one is a screw hole 33a and three are through holes 33b. A screw 38 for fixing the conductive plate 37 is screwed into the screw hole 33a on the outer surface of the lid 23. A screw 39 is inserted into the through hole 33b from the inner surface side of the lid 23.

（２－３）導電片
導電片３５は導電リング３３から電極本体３１側に延伸するように設けられている。導電片３５は、蓋体２３が容器本体２１に装着されると、電極本体３１の帯部３２に接触する。導電片３５は、導電リング３３に固定（溶接）された固定部３５１と、固定部３５１の径方向の端部から延伸する延伸部３５３とを有する。延伸部３５３は径方向に弾性変形可能に構成されている。ここでの延伸部３５３は逆「Ｖ」字状をしている。
蓋体２３が容器本体２１に取り付けられていない状態では、導電片３５の径方向の先端部は容器本体２１の円筒部２１１の内周面よりも外側にあり、蓋体２３が容器本体２１に取り付けられる際に延伸部３５３が径方向の内側に弾性変形する。 (2-3) Conductive piece The conductive piece 35 is provided so as to extend from the conductive ring 33 toward the electrode main body 31. When the lid 23 is attached to the container body 21, the conductive piece 35 comes into contact with the band portion 32 of the electrode body 31. The conductive piece 35 has a fixing portion 351 fixed (welded) to the conductive ring 33 and an extending portion 353 extending from the radial end portion of the fixing portion 351. The stretched portion 353 is configured to be elastically deformable in the radial direction. The stretched portion 353 here has an inverted "V" shape.
When the lid 23 is not attached to the container body 21, the radial tip of the conductive piece 35 is outside the inner peripheral surface of the cylindrical portion 211 of the container body 21, and the lid 23 is attached to the container body 21. When attached, the stretched portion 353 elastically deforms inward in the radial direction.

（３）外側アース電極ユニット
図３を用いて説明する。
外側アース電極ユニット４は、アルミニウム、ステンレス、鉄等の金属材料により構成されている。ここでは、アルミニウムにより構成されている。外側アース電極ユニット４は、容器２の円筒部２１１の外周に配された筒部４１を有する。筒部４１は中心軸方向の両端間にわたって円筒部２１１を被覆する。
外側アース電極ユニット４は、中心軸方向の一端外周が厚肉部４３となっており、厚肉部４３の外周が雄ねじ４３ａになっている。この雄ねじ４３ａは蓋体２３の雌ねじ２３１ａと螺合する。
外側アース電極ユニット４は、中心軸方向の他端から中心軸に向かって張り出す内鍔部４５を有する。内鍔部４５は容器２（容器本体２１）の底部２１３の外周部分に当接している。
外側アース電極ユニット４は、中心軸方向の他端から中心軸と反対側に張り出す外鍔部４７を有する。外鍔部４７は、図２に示すように、支持ユニット８のローラ部８７，８９の溝８７ａ，８９ａに挿入される。これにより、容器２を支持ユニット８上で回転させた際に、中心軸方向に容器２がずれるのを防止できる。 (3) Outer ground electrode unit This will be described with reference to FIG.
The outer ground electrode unit 4 is made of a metal material such as aluminum, stainless steel, and iron. Here, it is made of aluminum. The outer ground electrode unit 4 has a tubular portion 41 arranged on the outer periphery of the cylindrical portion 211 of the container 2. The cylindrical portion 41 covers the cylindrical portion 211 over both ends in the central axial direction.
In the outer ground electrode unit 4, the outer periphery of one end in the central axis direction is a thick portion 43, and the outer circumference of the thick portion 43 is a male screw 43a. The male screw 43a is screwed with the female screw 231a of the lid 23.
The outer ground electrode unit 4 has an inner flange portion 45 that projects from the other end in the central axis direction toward the central axis. The inner flange portion 45 is in contact with the outer peripheral portion of the bottom portion 213 of the container 2 (container body 21).
The outer ground electrode unit 4 has an outer flange portion 47 projecting from the other end in the central axis direction to the side opposite to the central axis. As shown in FIG. 2, the outer flange portion 47 is inserted into the grooves 87a, 89a of the roller portions 87, 89 of the support unit 8. This makes it possible to prevent the container 2 from shifting in the central axial direction when the container 2 is rotated on the support unit 8.

（４）ガス注入ユニット
主に、図２及び図５を用いて説明する。
ガス注入ユニット６はガス供給源から供給されたガスを容器２内に導入する導入機能を有する。ガス注入ユニット６は、容器２内に導入された後に内部を循環したガスを導出する導出機能を有する。ガス注入ユニット６は、図２に示す継手６９を介してガス供給源に接続される。
ここでは、継手６９として、例えばハーフユニオンを利用し、供給源に接続されるチューブの図示は省略している。なお、継手６９は、チューブに接続されるチューブ接続部６９１と、ガス注入ユニット６に接続されるユニット接続部６９３とを回転自在に備える。
ガス注入ユニット６は、継手６９に接続され且つ容器２に取り付けられる本体６１と、図５に示すように容器２内へのガスの注入路６３１と容器２からのガスの排出路６３３とを有する２重管６３とを備える。ここでガス注入ユニット６は、２重管６３の中心軸方向の他端部を支持する支持体６５を備える。ガス注入ユニット６は、２重管６３から容器２内に注入されるガスに含まれる不要物を除去するためのフィルタ６７を備える。 (4) Gas injection unit This will be described mainly with reference to FIGS. 2 and 5.
The gas injection unit 6 has an introduction function of introducing the gas supplied from the gas supply source into the container 2. The gas injection unit 6 has a derivation function for deriving the gas that has circulated inside after being introduced into the container 2. The gas injection unit 6 is connected to the gas supply source via the joint 69 shown in FIG.
Here, for example, a half-union is used as the joint 69, and the tube connected to the supply source is not shown. The joint 69 is rotatably provided with a tube connecting portion 691 connected to the tube and a unit connecting portion 693 connected to the gas injection unit 6.
The gas injection unit 6 has a main body 61 connected to a joint 69 and attached to the container 2, and a gas injection path 631 into the container 2 and a gas discharge path 633 from the container 2 as shown in FIG. A double tube 63 is provided. Here, the gas injection unit 6 includes a support 65 that supports the other end of the double pipe 63 in the central axial direction. The gas injection unit 6 includes a filter 67 for removing unnecessary substances contained in the gas injected into the container 2 from the double pipe 63.

（４－１）本体
本体６１は、継手６９と接続する接続部６１０と、継手６９の内部と注入路６３１とを接続する導入孔６１１と、本体６１の外部と排出路６３３とを接続する排出孔６１２と、容器２に固定される固定部６１３とを有する。
本体６１は円柱部６１４と円板部６１５とを有する。
円柱部６１４は、中心軸方向の一端から他端に向かうねじ穴を有している。このねじ穴は接続部６１０を構成する。このねじ穴の符号も「６１０」とする。
本体６１は円柱部６１４及び円板部６１５の中心軸に貫通孔を有する。この貫通孔は導入孔６１１を構成する。この貫通孔の符号も「６１１」とする。
円柱部６１４及び円板部６１５は円柱部６１４の周面と円板部６１５の他端側の面とを繋ぐ貫通孔を有する。この貫通孔は排出孔６１２を構成する。この貫通孔の符号も「６１２」とする。
円板部６１５は、中心軸の一端側から見たときに、図４に示すように、円柱部６１４の外側部分に貫通孔６１５ａを有している。貫通孔６１５ａは、周方向に間隔（等間隔）をおいて複数個（ここでは４個である）ある。円板部６１５における貫通孔６１５ａと貫通孔６１５ａの周辺部分が固定部６１３を構成する。
図５に示すように、円板部６１５の貫通孔６１５ａにはねじ６１９が挿通し、当該ねじ６１９が容器２の蓋体２３のねじ穴２３３ｂに螺合する。これにより、本体６１が容器２の蓋体２３に装着される。なお、本体６１と容器２との間には円環板状のパッキン６２が配されている。 (4-1) Main body The main body 61 has a connection portion 610 connected to the joint 69, an introduction hole 611 connecting the inside of the joint 69 and the injection path 631, and a discharge connecting the outside of the main body 61 and the discharge path 633. It has a hole 612 and a fixing portion 613 fixed to the container 2.
The main body 61 has a cylindrical portion 614 and a disk portion 615.
The cylindrical portion 614 has a screw hole extending from one end in the central axial direction to the other end. This screw hole constitutes the connection portion 610. The sign of this screw hole is also set to "610".
The main body 61 has a through hole in the central axis of the cylindrical portion 614 and the disk portion 615. This through hole constitutes the introduction hole 611. The sign of this through hole is also set to "611".
The columnar portion 614 and the disk portion 615 have a through hole connecting the peripheral surface of the columnar portion 614 and the other end surface of the disk portion 615. This through hole constitutes the discharge hole 612. The sign of this through hole is also set to "612".
As shown in FIG. 4, the disk portion 615 has a through hole 615a in the outer portion of the columnar portion 614 when viewed from one end side of the central axis. There are a plurality of through holes 615a (here, four) at intervals (equal intervals) in the circumferential direction. The through hole 615a and the peripheral portion of the through hole 615a in the disk portion 615 form the fixing portion 613.
As shown in FIG. 5, a screw 619 is inserted into the through hole 615a of the disk portion 615, and the screw 619 is screwed into the screw hole 233b of the lid 23 of the container 2. As a result, the main body 61 is attached to the lid 23 of the container 2. An annular plate-shaped packing 62 is arranged between the main body 61 and the container 2.

（４－２）２重管
２重管６３は細管６３５と太管６３７とを備える。細管６３５の管軸と太管６３７の管軸とが設計上一致するように、太管６３７内に細管６３５が配される。
細管６３５の内部の空間は注入路６３１を構成している。細管６３５における中心軸方向の一端は本体６１の円板部６１５に接続されている。細管６３５の一端部は貫通孔６１１の他端側の段差６１６に挿入されている。挿入状態では、本体６１の貫通孔６１１の周面と細管６３５の内周面とは面一状となっている。
太管６３７と細管６３５との間の空間は排出路６３３を構成している。太管６３７は中心軸方向に沿って複数個の貫通孔６３７ａを有している。太管６３７における中心軸方向の一端は本体６１の円板部６１５の他面に取り付けられている。この際、本体６１の円板部６１５の貫通孔６１２が太管６３７の内径内に位置するように太管６３７が円板部６１５に接続されている。ここでは、接続に溶接等が利用されている。 (4-2) Double pipe The double pipe 63 includes a thin pipe 635 and a thick pipe 637. The thin tube 635 is arranged in the thick tube 637 so that the tube axis of the thin tube 635 and the tube axis of the thick tube 637 match in design.
The space inside the capillary tube 635 constitutes the injection path 631. One end of the thin tube 635 in the central axial direction is connected to the disk portion 615 of the main body 61. One end of the thin tube 635 is inserted into the step 616 on the other end side of the through hole 611. In the inserted state, the peripheral surface of the through hole 611 of the main body 61 and the inner peripheral surface of the thin tube 635 are flush with each other.
The space between the thick pipe 637 and the thin pipe 635 constitutes the discharge path 633. The thick pipe 637 has a plurality of through holes 637a along the central axis direction. One end of the thick pipe 637 in the central axial direction is attached to the other surface of the disk portion 615 of the main body 61. At this time, the thick pipe 637 is connected to the disc portion 615 so that the through hole 612 of the disc portion 615 of the main body 61 is located within the inner diameter of the thick pipe 637. Here, welding or the like is used for connection.

（４－３）支持体
支持体６５は、細管６３５と接続する細管接続部６５１と、太管６３７と接続する太管接続部６５３とを有する。支持体６５は、段付き筒状をし、中心軸に貫通孔を有している。この貫通孔に細管６３５が挿入され接続される。この貫通孔は細管接続部６５１を構成する。この貫通孔の符号も「６５１」とする。
支持体６５は、中心軸方向の一端部が他端部よりも拡径して（太くなって）おり、大径部６５７と小径部６５９とを有し、大径部６５７と小径部６５９との間に段差が形成されている。
大径部６５７の一端部には、一端側が細い（径の小さな）段差があり、この段差に太管６３７が外嵌する。大径部６５７の段差が太管接続部６５３を構成する。この段差の符号も「６５３」とする。
太管６３７が外嵌する状態では、太管の６３７の中心軸方向の他端は塞がれる。排出ガスは、太管６３７の貫通孔６３７ａ、太管６３７と細管６３５との間（排出路６３３）、本体６１の貫通孔６１２を通って容器２の外部へと排出される。なお、注入ガスとして圧縮ガスを利用することで、排出ガスに真空引き等を要しない。 (4-3) Support The support 65 has a thin tube connecting portion 651 connected to the thin tube 635 and a thick tube connecting portion 653 connected to the thick tube 637. The support 65 has a stepped cylindrical shape and has a through hole in the central axis. A thin tube 635 is inserted into this through hole and connected. This through hole constitutes a thin tube connecting portion 651. The sign of this through hole is also set to "651".
The support 65 has one end portion in the central axial direction having a larger diameter (thicker) than the other end portion, has a large diameter portion 657 and a small diameter portion 659, and has a large diameter portion 657 and a small diameter portion 659. A step is formed between the two.
At one end of the large diameter portion 657, there is a step with a narrow end side (small diameter), and the thick pipe 637 fits externally into this step. The step of the large diameter portion 657 constitutes the thick pipe connecting portion 653. The sign of this step is also set to "653".
In the state where the thick pipe 637 is fitted outward, the other end of the thick pipe 637 in the central axial direction is closed. The exhaust gas is discharged to the outside of the container 2 through the through hole 637a of the thick pipe 637, between the thick pipe 637 and the thin pipe 635 (discharge passage 633), and through the through hole 612 of the main body 61. By using compressed gas as the injection gas, the exhaust gas does not need to be evacuated.

小径部６５９の他端側開口にはフィルタ６７がフィルタ固定体６８により取り付けられている。フィルタ固定体６８は、小径部６５９の外周の雄ねじ６５９ａに螺合するナットが利用されている。なお、ナットの符号も６８とする。ナット６８は、孔付き袋ナットが利用され、貫通孔６８ａの周辺部６８ｂによりフィルタ６７が支持されている。なお、注入ガスは、本体６１のねじ穴６１０、貫通孔６１１、細管６３５の内部（注入路６３１）、支持体６５の貫通孔６５５、フィルタ６７、ナット６８の貫通孔６８ａを通って容器２の内部空間へと導入される。 A filter 67 is attached to the other end opening of the small diameter portion 659 by a filter fixing body 68. As the filter fixing body 68, a nut screwed into the male screw 659a on the outer circumference of the small diameter portion 659 is used. The code of the nut is also 68. As the nut 68, a cap nut with a hole is used, and the filter 67 is supported by the peripheral portion 68b of the through hole 68a. The injection gas of the container 2 passes through the screw hole 610 of the main body 61, the through hole 611, the inside of the thin tube 635 (injection path 631), the through hole 655 of the support 65, the filter 67, and the through hole 68a of the nut 68. Introduced into the internal space.

（５）電気接続ユニット
図１及び図２を用いて説明する。
電気接続ユニット７は、上述したように、高電位の内側電極ユニット３側に接続される高圧側接続ユニット７Ａと、外側アース電極ユニット４に接続されるアース側接続ユニット７Ｂとを備える。
内側電極ユニット３は、上述した通り、金属製のねじ３８を介して容器２の外部の導電板３７に接続されている。導電板３７はガス注入ユニット６の金属製の本体６１に接続されている。
高圧側接続ユニット７Ａは、本体６１の外周面に接触（接続）する導電性材料からなる高圧側接続部７１と、ベース９に取付けられ且つ高圧側接続部７１を支持する高圧側支持部７２と、一端が図外の高圧電源に接続され且つ他端が高圧側接続部７１に接続される電源ケーブル７３とを備える。
アース側接続ユニット７Ｂは、外側アース電極ユニット４の筒部４１に接触するアース側接続部７５と、ベース９に取付けられ且つアース側接続部７５を支持するアース側支持部７６とを備える。なお、アース側支持部７６は、ベース９から立設する立設板７６１と、立設板７６１に対して揺動自在に取付けられた揺動板７６３とを有し、揺動板７６３にアース側接続部７５が設けられている。 (5) Electrical connection unit This will be described with reference to FIGS. 1 and 2.
As described above, the electrical connection unit 7 includes a high-voltage side connection unit 7A connected to the high-potential inner electrode unit 3 side and a ground side connection unit 7B connected to the outer ground electrode unit 4.
As described above, the inner electrode unit 3 is connected to the outer conductive plate 37 of the container 2 via the metal screw 38. The conductive plate 37 is connected to the metal main body 61 of the gas injection unit 6.
The high-voltage side connection unit 7A includes a high-voltage side connection portion 71 made of a conductive material that contacts (connects) the outer peripheral surface of the main body 61, and a high-voltage side support portion 72 that is attached to the base 9 and supports the high-voltage side connection portion 71. A power cable 73 is provided, one end of which is connected to a high-voltage power supply (not shown) and the other end of which is connected to a high-voltage side connection portion 71.
The ground side connection unit 7B includes a ground side connection portion 75 that contacts the tubular portion 41 of the outer ground electrode unit 4, and a ground side support portion 76 that is attached to the base 9 and supports the ground side connection portion 75. The ground side support portion 76 has a vertical plate 761 erected from the base 9 and a rocking plate 763 swingably attached to the vertical plate 761, and is grounded to the rocking plate 763. A side connection portion 75 is provided.

（６）支持ユニット
主に図１及び図２を用いて説明する。
支持ユニット８は、１対の回転軸８１，８２と、回転軸８１，８２に設けられたローラ８３，８４とを備え、一方の回転軸８１がベース９に設けられた駆動モータ８５により駆動される。
一対の回転軸８１，８２は、容器２の中心軸と平行な状態で、図１に示すように容器２の中心軸と直交する方向に間隔をおいて設けられている。
ローラ８３は、回転軸８１に設けられ、軸方向に間隔をおいた２個のローラ部８６，８７から構成される。
ローラ８４は、回転軸８２に設けられ、軸方向に間隔をおいた２個のローラ部８８，８９から構成される。
４つのローラ部８６，８７，８８，８９は、容器２の外周に配された外側アース電極ユニット４と当接する。これにより、回転軸８１の回転により、処理ユニット５が回転する。なお、ローラ部８７は便宜上図面には現れていない。
各ローラ８３，８４における中心軸方向の他端側に配されたローラ部８７，８９は、容器２の外鍔部４７が嵌る溝８７ａ，８９ａを全周に亘って有している。これにより、処理ユニット５を回転させても、容器２の中心軸方向の移動を抑制できる。 (6) Support unit This will be described mainly with reference to FIGS. 1 and 2.
The support unit 8 includes a pair of rotating shafts 81, 82 and rollers 83, 84 provided on the rotating shafts 81, 82, and one rotating shaft 81 is driven by a drive motor 85 provided on the base 9. To.
The pair of rotating shafts 81 and 82 are provided in a state parallel to the central axis of the container 2 and at intervals in a direction orthogonal to the central axis of the container 2 as shown in FIG.
The roller 83 is provided on the rotating shaft 81, and is composed of two roller portions 86, 87 that are spaced apart from each other in the axial direction.
The roller 84 is provided on the rotating shaft 82, and is composed of two roller portions 88, 89 spaced apart from each other in the axial direction.
The four roller portions 86, 87, 88, 89 come into contact with the outer ground electrode unit 4 arranged on the outer periphery of the container 2. As a result, the processing unit 5 rotates due to the rotation of the rotation shaft 81. The roller portion 87 does not appear in the drawing for convenience.
The roller portions 87 and 89 arranged on the other end side of the rollers 83 and 84 in the central axial direction have grooves 87a and 89a into which the outer flange portion 47 of the container 2 is fitted over the entire circumference. As a result, even if the processing unit 5 is rotated, the movement of the container 2 in the central axis direction can be suppressed.

３．使用
実施形態のプラズマ処理装置１では、内側電極ユニット３の電極本体３１をメッシュ構造とし、当該電極本体３１を誘電体である容器２の円筒部２１１の内周面に接触するように設けている。これにより、電極本体３１と円筒部２１１との間で沿面放電（グロー放電）が生じ、プラズマを生じやすくできる。
電極本体３１として、線径が０．６［ｍｍ］のＳＵＳ材の金属線を用いて、網目（隣接する金属線の間隔（金属線は含まない）である）が３．６［ｍｍ］の平織りの織金網を利用した場合、容器２内の雰囲気を窒素ガスだけにしてもプラズマが生じることを確認している。
なお、内側電極を容器の円筒部から離した場合、容器内の雰囲気を窒素ガスだけにすると、グロー放電が生じにくく、ヘリウムガスを注入することでプラズマが発生することを確認している。 3. 3. In the plasma processing apparatus 1 of the embodiment, the electrode body 31 of the inner electrode unit 3 has a mesh structure, and the electrode body 31 is provided so as to be in contact with the inner peripheral surface of the cylindrical portion 211 of the container 2 which is a dielectric. .. As a result, creeping discharge (glow discharge) is generated between the electrode body 31 and the cylindrical portion 211, and plasma can be easily generated.
As the electrode body 31, a metal wire made of SUS material having a wire diameter of 0.6 [mm] is used, and the mesh (interval between adjacent metal wires (excluding metal wires)) is 3.6 [mm]. It has been confirmed that when a plain woven wire mesh is used, plasma is generated even if the atmosphere in the container 2 is only nitrogen gas.
It has been confirmed that when the inner electrode is separated from the cylindrical portion of the container, if the atmosphere inside the container is only nitrogen gas, glow discharge is unlikely to occur, and plasma is generated by injecting helium gas.

また、粉体の表面処理を行う場合、容器２内に対象の粉体を供給して容器２を回転させている。この回転で粉体が容器２の内周面に沿って撹拌されるため、容器２の内周面で発生したプラズマにさらされることとなり、効率よく表面処理される。なお、粉体の表面処理としては、例えば、親水化、疎水化、官能基の付加等がある。 Further, when the surface treatment of the powder is performed, the target powder is supplied into the container 2 to rotate the container 2. Since the powder is agitated along the inner peripheral surface of the container 2 by this rotation, it is exposed to the plasma generated on the inner peripheral surface of the container 2, and the surface is efficiently treated. The surface treatment of the powder includes, for example, hydrophilization, hydrophobicization, addition of a functional group, and the like.

４．内側電極ユニット
（１）メッシュ構造
電極本体は、容器２の円筒部２１１との間で沿面放電が生じればよく、織金網の他、例えばパンチングメタルを利用することもできる。つまり、電極本体は、円筒部と接触又は近接して配され、円筒部の厚み方向に貫通する孔を有し、孔の周縁と円筒部との間で沿面放電が生じるような構成であればよい。この場合、電極本体の孔の形状は、円形状、楕円形状、長円形状、正方形状（角が丸くなった形状を含む）、長方形状（角が丸くなった形状を含む）、三角形状等の多角形状（角が丸くなった形状を含む）等ある。
（２）織り構造
内側電極ユニット３の電極本体３１は平織りタイプの織金網であったが、電極本体は他の織り構造の織金網であってもよい。他の織り構造としては、綾織り、平畳織り、トンキャップ織、プラットトップ織り等がある。
電極本体は織金網以外の金網構造であってもよい。他の金網構造としては、亀甲金網、クリンプ金網、菱形金網等がある。
また、２種類の金属線（例えば、横糸、縦糸である）を用いた織り構造において、２種類の金属線の材料、直径、横断面形状等が同じであってよいし、異なってもよい。例えば、一方の金属線を導電路としての機能を重視させ、他方の金属線を電極としての機能を重視させてもよい。 4. Inner electrode unit (1) Mesh structure As long as creeping discharge occurs between the electrode body and the cylindrical portion 211 of the container 2, punching metal, for example, can be used in addition to the woven wire mesh. That is, if the electrode body is arranged in contact with or close to the cylindrical portion, has a hole penetrating in the thickness direction of the cylindrical portion, and a creeping discharge occurs between the peripheral edge of the hole and the cylindrical portion. good. In this case, the shape of the hole in the electrode body is circular, elliptical, oval, square (including rounded corners), rectangular (including rounded corners), triangular, etc. Polygonal shape (including shape with rounded corners), etc.
(2) Woven structure The electrode body 31 of the inner electrode unit 3 is a plain weave type woven wire mesh, but the electrode body may be a woven wire mesh having another woven structure. Other woven structures include twill weave, flat tatami mat weave, ton cap weave, and platform weave.
The electrode body may have a wire mesh structure other than the woven wire mesh. Other wire mesh structures include hexagonal wire mesh, crimp wire mesh, and rhombic wire mesh.
Further, in a woven structure using two types of metal wires (for example, weft and warp), the materials, diameters, cross-sectional shapes, etc. of the two types of metal wires may be the same or may be different. For example, one metal wire may be emphasized as a conductive path, and the other metal wire may be emphasized as an electrode.

（３）金属線
実施形態での試験では金属線の横断面形状は円形状をしているが、金属線は他の横断面形状であってもよい。他の横断面形状としては、正方形、長方形、長円、楕円等がある。
実施形態では網金網を利用したが、導電性材料によりメッシュ構造を構成してもよく、例えば銀ペースト等の導電ペーストや導電性樹脂等を容器本体に塗布して構成してもよいし、金属箔を容器本体に貼り付けてもよい。
（４）配置
電極本体３１は円筒部２１１と設計上接触する状態で円筒部２１１の内周面に沿って配されている。しかしながら、電極本体は、容器において外側アース電極と対向する部分の内面であって当該内面との間で沿面放電が生じればよく、沿面放電可能な範囲内であれば容器の内面と接触していなくてもよい。
沿面放電可能な範囲は、容器内のガス雰囲気（ヘリウムガスの注入量等）や、印加電圧の大きさ、電極本体の材質、メッシュの構造、等によって変動し、一義的に定義できない。
（５）具体的仕様
実施形態での試験では、線径（直径）が０．６［ｍｍ］、網目が３．０［ｍｍ］の平織構造を採用している。容器内面側の沿面放電の広がりを考慮すると、線径は細いほどよく、２［ｍｍ］以下の範囲が好ましく、１［ｍｍ］以下の範囲がより好ましい。下限は、メッシュ構造にできる線径である。網目は、容器内面側での沿面放電の拡がりを考慮すると、２．０［ｍｍ］以上、６［ｍｍ］以下の範囲内がよい。 (3) Metal wire In the test in the embodiment, the cross-sectional shape of the metal wire is circular, but the metal wire may have another cross-sectional shape. Other cross-sectional shapes include squares, rectangles, ellipses, ellipses and the like.
In the embodiment, a wire mesh is used, but a mesh structure may be formed of a conductive material, for example, a conductive paste such as silver paste or a conductive resin may be applied to the container body to form a mesh structure, or a metal. The foil may be attached to the container body.
(4) Arrangement The electrode main body 31 is arranged along the inner peripheral surface of the cylindrical portion 211 in a state of being in contact with the cylindrical portion 211 by design. However, the electrode body is the inner surface of the portion of the container facing the outer ground electrode, and it is sufficient that creeping discharge occurs between the inner surface and the inner surface, and the electrode body is in contact with the inner surface of the container as long as it is within the range where creeping discharge is possible. It does not have to be.
The range in which creeping discharge is possible varies depending on the gas atmosphere (helium gas injection amount, etc.) in the container, the magnitude of the applied voltage, the material of the electrode body, the mesh structure, etc., and cannot be uniquely defined.
(5) Specific specifications In the test in the embodiment, a plain weave structure having a wire diameter (diameter) of 0.6 [mm] and a mesh of 3.0 [mm] is adopted. Considering the spread of creeping discharge on the inner surface side of the container, the smaller the wire diameter, the better, preferably a range of 2 [mm] or less, and more preferably a range of 1 [mm] or less. The lower limit is the wire diameter that can be formed in the mesh structure. The mesh should be in the range of 2.0 [mm] or more and 6 [mm] or less in consideration of the spread of creeping discharge on the inner surface side of the container.

以上、実施形態を説明したが、この実施形態に限られるものではなく、例えば、以下のような変形例であってもよい。また、実施形態と変形例、変形例同士を組み合わせたものであってよい。
また、実施形態や変形例に記載していていない例や、要旨を逸脱しない範囲の設計変更があっても本発明に含まれる。 Although the embodiment has been described above, the embodiment is not limited to this embodiment, and for example, the following modification may be used. Further, the embodiment, the modified example, and the modified example may be combined.
Further, the present invention includes examples not described in the embodiments and modifications, and design changes within a range not deviating from the gist.

＜変形例＞
（１）実施形態における内側電極ユニット３は、導電リング３３と電極本体３１との接続に薄肉の金属板により構成された弾性変形可能な導電片３５により行っている。しかしながら、導電リング３３と電極本体３１とを接続できればよく、例えば導電片３５が電極本体側にあってもよいし、他の構造で接続してもよい。
（２）実施形態における内側電極ユニット３の電極本体３１は容器２の容器本体２１（円筒部２１１）に設けられているが、電極本体３１と容器２との接触（沿面放電）が確保されれば、電極本体を蓋体側に設けてもよい。
（３）実施形態における内側電極ユニット３の導電片３５は、周方向に間隔をおいて４か所に設けられているが、電極本体３１に均一に電力を供給できれば、３か所でもよいし、５か所以上でもよい。
（４）実施形態における内側電極ユニット３の電極本体３１は全体形状として筒状（円筒状）をしているが、１個の電極本体の形状をメッシュ構造の板状にし、複数個の電極本体を周方向に間隔をおいて配するようにしてもよい。
また、電極本体３１は全体形状として筒状（円筒状）をしているが、１個の電極本体の形状をメッシュ構造のリング状（中心軸方向の長さが短い）にし、複数個の電極本体を中心軸方向に間隔をおいて配するようにしてもよい。
（５）実施形態の電極本体３１は中心軸方向の両端で板状の帯部３２に接続されているが、帯部にかえて、横断面形状が円形状のリング部としてもよい。 <Modification example>
(1) The inner electrode unit 3 in the embodiment is formed by connecting the conductive ring 33 and the electrode main body 31 with an elastically deformable conductive piece 35 made of a thin metal plate. However, it suffices if the conductive ring 33 and the electrode main body 31 can be connected, and for example, the conductive piece 35 may be on the electrode main body side or may be connected by another structure.
(2) Although the electrode body 31 of the inner electrode unit 3 in the embodiment is provided on the container body 21 (cylindrical portion 211) of the container 2, contact (crevice discharge) between the electrode body 31 and the container 2 is ensured. For example, the electrode body may be provided on the lid side.
(3) The conductive pieces 35 of the inner electrode unit 3 in the embodiment are provided at four places at intervals in the circumferential direction, but may be at three places as long as the electric power can be uniformly supplied to the electrode main body 31. It may be 5 or more places.
(4) The electrode main body 31 of the inner electrode unit 3 in the embodiment has a tubular shape (cylindrical shape) as a whole, but the shape of one electrode main body is made into a plate shape having a mesh structure, and a plurality of electrode main bodies are formed. May be arranged at intervals in the circumferential direction.
Further, although the electrode body 31 has a tubular shape (cylindrical shape) as a whole, the shape of one electrode body is made into a ring shape (short in the central axis direction) of a mesh structure, and a plurality of electrodes are formed. The main bodies may be arranged at intervals in the central axis direction.
(5) The electrode main body 31 of the embodiment is connected to the plate-shaped band portion 32 at both ends in the central axis direction, but instead of the band portion, a ring portion having a circular cross-sectional shape may be used.

（６）実施形態における内側電極ユニット３は、ガス注入ユニット６の本体６１に対して、導電板３７を介して接続しているが、例えば、ガス注入ユニット６の２重管６３を介して接続するようにしてもよい。つまり、本体６１から電極本体３１に導電路が形成されればよく、その経路は特に限定するものではない。
（７）実施形態における外側アース電極ユニット４は金属製の筒部４１を備えているが、グロー放電を利用したプラズマを発生できれば、例えば棒状の電極を利用してもよい。
（８）実施形態のガス注入ユニット６は、２重管６３を利用し、細管６３５内を注入路６３１とし、細管６３５と太管６３７との間を排出路６３３としているが、容器２の内部にガスを注入し・排出できればよく、例えば、細管内を排出路となるようにしてもよい。
（９）実施形態における容器２の容器本体２１に内側電極ユニット３の電極本体３１が配されているが、有底筒状の容器本体の底部に内側電極ユニットやガス注入ユニットを設け、蓋にはこれらのユニットを設けないようにしてもよい。
（１０）実施形態の容器２は、円筒状（中空円柱状）をしているが、横断面が、三角形等の多角形状、長円形、楕円形等の環状でもよい。回転させる場合は、中心軸方向の両側から支持・回転することで実施できる。
（１１）実施形態では、内側電極ユニット３と高圧電源とを接続していたが、内側電極ユニットと外側電極ユニットに交流電源を接続するようにしてもよい。
（１２）電気接続ユニット７、ガス注入ユニット６、支持ユニット８等は、各ユニットの機能を達成できる構造であればよく、実施形態で説明したユニットの構造でなくてもよい。 (6) The inner electrode unit 3 in the embodiment is connected to the main body 61 of the gas injection unit 6 via the conductive plate 37, but is connected via, for example, the double pipe 63 of the gas injection unit 6. You may try to do it. That is, it is sufficient that a conductive path is formed from the main body 61 to the electrode main body 31, and the path is not particularly limited.
(7) The outer ground electrode unit 4 in the embodiment includes a metal tubular portion 41, but a rod-shaped electrode may be used, for example, as long as plasma using glow discharge can be generated.
(8) In the gas injection unit 6 of the embodiment, the double pipe 63 is used, the inside of the thin tube 635 is an injection path 631, and the space between the thin tube 635 and the thick tube 637 is a discharge path 633, but the inside of the container 2 is provided. It suffices if the gas can be injected and discharged into the pipe, and for example, the inside of the capillary tube may be used as a discharge passage.
(9) Although the electrode body 31 of the inner electrode unit 3 is arranged on the container body 21 of the container 2 in the embodiment, the inner electrode unit and the gas injection unit are provided on the bottom of the bottomed cylindrical container body, and the lid is covered with the inner electrode unit and the gas injection unit. May not provide these units.
(10) The container 2 of the embodiment has a cylindrical shape (hollow columnar shape), but the cross section may be a polygonal shape such as a triangle, an oval shape, or an elliptical shape. When rotating, it can be carried out by supporting and rotating from both sides in the central axis direction.
(11) In the embodiment, the inner electrode unit 3 and the high voltage power supply are connected, but an AC power supply may be connected to the inner electrode unit and the outer electrode unit.
(12) The electrical connection unit 7, the gas injection unit 6, the support unit 8, and the like may have a structure that can achieve the functions of each unit, and may not have the structure of the unit described in the embodiment.

１プラズマ処理装置
２容器
３内側電極ユニット
４外側アース電極ユニット（外側電極ユニット）
３１電極本体 1 Plasma processing device 2 Container 3 Inner electrode unit 4 Outer ground electrode unit (outer electrode unit)
31 Electrode body

Claims

In a plasma processing device that processes a substance by plasma generated by glow discharge between a pair of electrode units arranged inside and outside a dielectric container.
The container is a container in which the substance is arranged and has a cylindrical shape with both ends closed.
The electrode unit arranged inside the container has an electrode body having a mesh structure arranged so as to be dischargeable along the inner peripheral surface of the container.
Plasma processing equipment.

In a plasma processing device that processes a substance by plasma generated by glow discharge between a pair of electrode units arranged inside and outside a dielectric container.
The container is a container in which the substance is arranged and is rotatably supported around a central axis.
The electrode unit arranged inside the container has an electrode body having a mesh structure arranged so as to be dischargeable along the inner peripheral surface of the container.
Plasma processing equipment.

The container has a bottomed cylindrical container body having an opening at one end in the central axial direction and a lid body that closes the opening of the container body, and the lid body is detachably attached to the container body. The plasma processing apparatus according to claim 1.

The electrode body having the mesh structure is arranged in the container in a state of being in contact with the inner peripheral surface of the container.
The plasma processing apparatus according to claim 2, wherein the container is rotated so that the substance is agitated along the inner peripheral surface of the container during the processing.

A gas injection unit that injects sample gas into the container,
A connection unit connected to an electrode unit arranged on the outside of the container, and a connection unit.
With a connection unit connected to the electrode unit arranged inside the container
The plasma processing apparatus according to any one of claims 1 to 4.