JP7072207B2 - プラズマ処理装置 - Google Patents

Description

本発明は、グロー放電によりプラズマを発生させる電極ユニット及び発生したプラズマを利用するプラズマ処理装置に関する。

例えば、粉体等の物質の表面改質を目的にグロー放電プラズマを利用したプラズマ処理装置が提案されている（例えば特許文献１）。特許文献１に記載の装置は、中心電極と、該中心電極と所定の空隙部を介して配置された筒状の周辺電極とを有する容器と、前記空隙部の概ね全長が複数の仕切部で仕切られることで形成された複数の部屋と、前記中心電極表面若しくは前記周辺電極表面の少なくとも一方に設けられた誘電体と、前記容器の一端側に設けられ、前記部屋内に流体を注入可能に構成された流体注入手段と、前記容器の他端側に設けられ、前記部屋内から流体を排出可能に構成された流体排出手段と、前記中心電極と前記周辺電極との間に交流またはパルス電圧を印加した状態で、前記中心電極を回転の中心として前記容器を回転せしめる回転手段とを備える。

特許第５０８０７０１号

上記のプラズマ処理装置において、中心電極と周辺電極とを利用してプラズマを発生させているため、プラズマが生じにくいという問題がある。
本発明は、プラズマの発生しやすい電極ユニット等を提供することを目的とする。

本発明に係る電極ユニットは、誘電体の容器内に配され、当該容器外に配された外側電極との間のグロー放電によりプラズマを発生させるための電極ユニットにおいて、前記容器の内周面との間で沿面放電可能に配されたメッシュ構造の電極本体を有する。
本発明に係るプラズマ処理装置は、誘電体の容器の内外に配された一対の電極ユニット間のグロー放電により発生するプラズマにより物質を処理するプラズマ処理装置において、前記容器の内部に配された電極ユニットは上記の電極ユニットである。

本発明に係る電極ユニット及びプラズマ処理装置は、メッシュ構造の電極本体を沿面放電可能に有するため、プラズマが発生しやすくなる。

実施形態に係るプラズマ処理装置の側面図である。 プラズマ処理装置の正面図である。 処理ユニットの正面図である。 処理ユニットの側面図である。 処理ユニットから容器本体を取り外した状態の正面図である。

＜概要＞
実施形態の一態様に係る電極ユニットは、誘電体の容器内に配され、当該容器外に配された外側電極との間のグロー放電によりプラズマを発生させるための電極ユニットにおいて、前記容器の内周面との間で沿面放電可能に配されたメッシュ構造の電極本体を有する。
実施形態の別態様に係る電極ユニットにおいて、前記メッシュ構造は、複数本の金属線が２方向に間隔をおいて配された織り構造である。これにより効率よく面内放電が行われる。
実施形態の別態様に係る電極ユニットにおいて、前記金属線の線径は１ｍｍ以下であり、隣接する前記金属線間の隙間は６ｍｍ以下である。これにより効率よく面内放電が行われる。
実施形態の別態様に係る電極ユニットにおいて、前記メッシュ構造の電極本体は、前記容器の内面に接触する状態で、当該容器内に配されている。これにより効率よく面内放電が行われる。
実施形態の一態様に係るプラズマ処理装置は、誘電体の容器の内外に配された一対の電極ユニット間のグロー放電により発生するプラズマにより物質を処理するプラズマ処理装置において、前記容器の内部に配された電極ユニットは上記記載の電極ユニットである。これにより効率よく面内放電が行われる。

＜実施形態＞
１．プラズマ処理装置
実施形態の一態様に係るプラズマ処理装置１について図１～図３を用いて説明する。
プラズマ処理装置１は、図３に示すように、容器２と、容器２の内部に配された内側電極ユニット３と、容器２の外側に配された外側電極ユニット４とを含む処理ユニット５を備える。
プラズマ処理装置１は、例えば容器２の内部に配された（供給された）物質の表面改善のためのプラズマを発生する。プラズマは、内側電極ユニット３に高電圧を印加して、内側電極ユニット３と外側電極ユニット４との間で発生するグロー放電を利用している。
内側電極ユニット３は本発明に係る電極ユニットの一態様に相当する。なお、外側電極ユニット４の電極はアース電極であるため、外側電極ユニット４は外側アース電極ユニットとし、符号はそのまま「４」を使用する。

プラズマ処理装置１は、図１及び図２に示すように、容器２の内部に試料ガスを注入するガス注入ユニット６を備える。試料ガスとしては、ヘリウム、窒素等がある。
本実施形態のプラズマ処理装置１は、図１に示すように、処理ユニット５に電力を供給するための電気接続ユニット７を備える。電気接続ユニット７は、図外の高圧電源と内側電極ユニット３とを接続する高圧側接続ユニット７Ａと、外側アース電極ユニット４とグランド（アース）とを接続するためのアース側接続ユニット７Ｂとを有する。
プラズマ処理装置１は、図１及び図２に示すように、処理ユニット５を回転支持する支持ユニット８を備える。

容器２は、円筒状をし、その中心軸の延伸する方向を単に中心軸方向とし、容器２の径方向を単に径方向とする。また、容器２の中心軸方向において、ガス注入ユニット６が存在する側（図２において左側である。）を一端、容器２が存在する側（図２において右側である。）を他端とする。

２．各部構成
（１）処理ユニット
主に図３を用いて説明する。
（１－１）容器
容器２は絶縁性材料により構成されている。
容器２は中心軸方向の両端が塞がれた筒状をしている。ここでは、容器２が支持ユニット８により回転自在に支持されるため、容器２の横断面形状は円環形状をしている。容器２は、中心軸方向の一端に開口を有する容器本体２１と、容器本体２１の一端の開口を塞ぐ蓋体２３とを有する。

容器本体２１は中心軸方向の一端が開放する有底筒状をする。容器本体２１は、内周及び外周の直径が略一定である円筒部２１１と、円板状の底部２１３とからなる。容器本体２１は、ガラス材料により構成され、内周面に沿って内側電極ユニット３が、外周面に沿って外側アース電極ユニット４がそれぞれ配されている。なお、ガラス材料は誘電体であり、バリア放電を発生させるのを補助する。

蓋体２３は中心軸方向の他端が開放する有蓋筒状をしている。蓋体２３は絶縁材料、例えば、樹脂材料（ポリカーボネート）により構成されている。蓋体２３は、容器本体２１の中心軸方向に延伸する円筒部２３１と、円筒部２３１の一端を塞ぐ蓋部２３３とを有する。
円筒部２３１は、容器本体２１の外周面に沿って配された外側アース電極ユニット４の一端部に外嵌する。円筒部２３１はねじ部を内周面に有する。ねじ部は、雌ねじ２３１ａであり、外側アース電極ユニット４のねじ部（雄ねじ）４３ａに螺合する。これにより、蓋体２３が容器本体２１に着脱自在に装着される。なお、蓋体２３と容器本体２１との間にはリング状のパッキン２５が配される。
蓋部２３３は、ガス注入ユニット６の２重管６３を容器２内に挿入するための貫通孔２３３ａと、ガス注入ユニット６を蓋体２３に固定するためのねじ穴２３３ｂとを有する。貫通孔２３３ａは蓋部２３３の中央に存在する。ねじ穴２３３ｂは、貫通孔２３３ａの周りであって周方向に間隔（ここでは等間隔）をおいて複数個存在する。ここでは、ねじ穴２３３ｂは４個ある。
蓋部２３３は、内側電極ユニット３を蓋部２３３に固定するための貫通孔２３３ｃとねじ穴２３３ｄとを有している。貫通孔２３３ｃは１個、ねじ穴２３３ｄは３個あり、図４に示すように、周方向に間隔（ここでは等間隔）をおいて存在する。なお、ねじ穴２３３ｄは、図３に示すように、容器２の内部側から中心軸方向に沿って設けられている。

（２）内側電極ユニット
図５を用いて説明する。
内側電極ユニット３は、メッシュ構造の電極本体３１と、導電リング３３と、導電片３５とを備える。
（２－１）電極本体
電極本体３１は導電材料から構成されている。メッシュ構造として、例えば織り構造を採用できる。織り構造は、複数本の金属線が２方向に間隔をおいて配された織金網により構成されている。ここでの織り構造は平織り織タイプである。金属線として、例えば、ステンレス、鉄、アルミニウム等を利用できる。
電極本体３１は、図３に示すように、容器２の内周面、より具体的には、容器本体２１の円筒部２１１の内周面に沿って配されている。電極本体３１は円筒部２１１の内周面に接触するように配されている。
電極本体３１における中心軸方向の一端部及び他端部は、周方向に延伸する金属製の帯部３２に接続されている。

（２－２）導電リング
導電リング３３は、容器２の蓋体２３における内面（容器２の内側である）に取り付けられ、導電性材料により構成されている。導電リング３３は、換言すると、高圧電源と電極本体３１とを接続するためのものであり、高電圧導入部である。
導電リング３３は円環状をする金属板により構成されている。なお、金属板としてＳＵＳが利用されている。導電リング３３は蓋体２３への固定部を有している。固定部は、周方向に間隔（ここでは等間隔である）をおいて複数個（ここでは４個）存在する。４個のうち、１個はねじ孔３３ａであり、３個は貫通孔３３ｂである。ねじ孔３３ａには、蓋体２３の外面に導電板３７を固定するねじ３８が螺合する。貫通孔３３ｂには蓋体２３の内面側からねじ３９が挿入される。

（２－３）導電片
導電片３５は導電リング３３から電極本体３１側に延伸するように設けられている。導電片３５は、蓋体２３が容器本体２１に装着されると、電極本体３１の帯部３２に接触する。導電片３５は、導電リング３３に固定（溶接）された固定部３５１と、固定部３５１の径方向の端部から延伸する延伸部３５３とを有する。延伸部３５３は径方向に弾性変形可能に構成されている。ここでの延伸部３５３は逆「Ｖ」字状をしている。
蓋体２３が容器本体２１に取り付けられていない状態では、導電片３５の径方向の先端部は容器本体２１の円筒部２１１の内周面よりも外側にあり、蓋体２３が容器本体２１に取り付けられる際に延伸部３５３が径方向の内側に弾性変形する。

（３）外側アース電極ユニット
図３を用いて説明する。
外側アース電極ユニット４は、アルミニウム、ステンレス、鉄等の金属材料により構成されている。ここでは、アルミニウムにより構成されている。外側アース電極ユニット４は、容器２の円筒部２１１の外周に配された筒部４１を有する。筒部４１は中心軸方向の両端間にわたって円筒部２１１を被覆する。
外側アース電極ユニット４は、中心軸方向の一端外周が厚肉部４３となっており、厚肉部４３の外周が雄ねじ４３ａになっている。この雄ねじ４３ａは蓋体２３の雌ねじ２３１ａと螺合する。
外側アース電極ユニット４は、中心軸方向の他端から中心軸に向かって張り出す内鍔部４５を有する。内鍔部４５は容器２（容器本体２１）の底部２１３の外周部分に当接している。
外側アース電極ユニット４は、中心軸方向の他端から中心軸と反対側に張り出す外鍔部４７を有する。外鍔部４７は、図２に示すように、支持ユニット８のローラ部８７，８９の溝８７ａ，８９ａに挿入される。これにより、容器２を支持ユニット８上で回転させた際に、中心軸方向に容器２がずれるのを防止できる。

（４）ガス注入ユニット
主に、図２及び図５を用いて説明する。
ガス注入ユニット６はガス供給源から供給されたガスを容器２内に導入する導入機能を有する。ガス注入ユニット６は、容器２内に導入された後に内部を循環したガスを導出する導出機能を有する。ガス注入ユニット６は、図２に示す継手６９を介してガス供給源に接続される。
ここでは、継手６９として、例えばハーフユニオンを利用し、供給源に接続されるチューブの図示は省略している。なお、継手６９は、チューブに接続されるチューブ接続部６９１と、ガス注入ユニット６に接続されるユニット接続部６９３とを回転自在に備える。
ガス注入ユニット６は、継手６９に接続され且つ容器２に取り付けられる本体６１と、図５に示すように容器２内へのガスの注入路６３１と容器２からのガスの排出路６３３とを有する２重管６３とを備える。ここでガス注入ユニット６は、２重管６３の中心軸方向の他端部を支持する支持体６５を備える。ガス注入ユニット６は、２重管６３から容器２内に注入されるガスに含まれる不要物を除去するためのフィルタ６７を備える。

（４－１）本体
本体６１は、継手６９と接続する接続部６１０と、継手６９の内部と注入路６３１とを接続する導入孔６１１と、本体６１の外部と排出路６３３とを接続する排出孔６１２と、容器２に固定される固定部６１３とを有する。
本体６１は円柱部６１４と円板部６１５とを有する。
円柱部６１４は、中心軸方向の一端から他端に向かうねじ穴を有している。このねじ穴は接続部６１０を構成する。このねじ穴の符号も「６１０」とする。
本体６１は円柱部６１４及び円板部６１５の中心軸に貫通孔を有する。この貫通孔は導入孔６１１を構成する。この貫通孔の符号も「６１１」とする。
円柱部６１４及び円板部６１５は円柱部６１４の周面と円板部６１５の他端側の面とを繋ぐ貫通孔を有する。この貫通孔は排出孔６１２を構成する。この貫通孔の符号も「６１２」とする。
円板部６１５は、中心軸の一端側から見たときに、図４に示すように、円柱部６１４の外側部分に貫通孔６１５ａを有している。貫通孔６１５ａは、周方向に間隔（等間隔）をおいて複数個（ここでは４個である）ある。円板部６１５における貫通孔６１５ａと貫通孔６１５ａの周辺部分が固定部６１３を構成する。
図５に示すように、円板部６１５の貫通孔６１５ａにはねじ６１９が挿通し、当該ねじ６１９が容器２の蓋体２３のねじ穴２３３ｂに螺合する。これにより、本体６１が容器２の蓋体２３に装着される。なお、本体６１と容器２との間には円環板状のパッキン６２が配されている。

（４－２）２重管
２重管６３は細管６３５と太管６３７とを備える。細管６３５の管軸と太管６３７の管軸とが設計上一致するように、太管６３７内に細管６３５が配される。
細管６３５の内部の空間は注入路６３１を構成している。細管６３５における中心軸方向の一端は本体６１の円板部６１５に接続されている。細管６３５の一端部は貫通孔６１１の他端側の段差６１６に挿入されている。挿入状態では、本体６１の貫通孔６１１の周面と細管６３５の内周面とは面一状となっている。
太管６３７と細管６３５との間の空間は排出路６３３を構成している。太管６３７は中心軸方向に沿って複数個の貫通孔６３７ａを有している。太管６３７における中心軸方向の一端は本体６１の円板部６１５の他面に取り付けられている。この際、本体６１の円板部６１５の貫通孔６１２が太管６３７の内径内に位置するように太管６３７が円板部６１５に接続されている。ここでは、接続に溶接等が利用されている。

（４－３）支持体
支持体６５は、細管６３５と接続する細管接続部６５１と、太管６３７と接続する太管接続部６５３とを有する。支持体６５は、段付き筒状をし、中心軸に貫通孔を有している。この貫通孔に細管６３５が挿入され接続される。この貫通孔は細管接続部６５１を構成する。この貫通孔の符号も「６５１」とする。
支持体６５は、中心軸方向の一端部が他端部よりも拡径して（太くなって）おり、大径部６５７と小径部６５９とを有し、大径部６５７と小径部６５９との間に段差が形成されている。
大径部６５７の一端部には、一端側が細い（径の小さな）段差があり、この段差に太管６３７が外嵌する。大径部６５７の段差が太管接続部６５３を構成する。この段差の符号も「６５３」とする。
太管６３７が外嵌する状態では、太管の６３７の中心軸方向の他端は塞がれる。排出ガスは、太管６３７の貫通孔６３７ａ、太管６３７と細管６３５との間（排出路６３３）、本体６１の貫通孔６１２を通って容器２の外部へと排出される。なお、注入ガスとして圧縮ガスを利用することで、排出ガスに真空引き等を要しない。

小径部６５９の他端側開口にはフィルタ６７がフィルタ固定体６８により取り付けられている。フィルタ固定体６８は、小径部６５９の外周の雄ねじ６５９ａに螺合するナットが利用されている。なお、ナットの符号も６８とする。ナット６８は、孔付き袋ナットが利用され、貫通孔６８ａの周辺部６８ｂによりフィルタ６７が支持されている。なお、注入ガスは、本体６１のねじ穴６１０、貫通孔６１１、細管６３５の内部（注入路６３１）、支持体６５の貫通孔６５５、フィルタ６７、ナット６８の貫通孔６８ａを通って容器２の内部空間へと導入される。

（５）電気接続ユニット
図１及び図２を用いて説明する。
電気接続ユニット７は、上述したように、高電位の内側電極ユニット３側に接続される高圧側接続ユニット７Ａと、外側アース電極ユニット４に接続されるアース側接続ユニット７Ｂとを備える。
内側電極ユニット３は、上述した通り、金属製のねじ３８を介して容器２の外部の導電板３７に接続されている。導電板３７はガス注入ユニット６の金属製の本体６１に接続されている。
高圧側接続ユニット７Ａは、本体６１の外周面に接触（接続）する導電性材料からなる高圧側接続部７１と、ベース９に取付けられ且つ高圧側接続部７１を支持する高圧側支持部７２と、一端が図外の高圧電源に接続され且つ他端が高圧側接続部７１に接続される電源ケーブル７３とを備える。
アース側接続ユニット７Ｂは、外側アース電極ユニット４の筒部４１に接触するアース側接続部７５と、ベース９に取付けられ且つアース側接続部７５を支持するアース側支持部７６とを備える。なお、アース側支持部７６は、ベース９から立設する立設板７６１と、立設板７６１に対して揺動自在に取付けられた揺動板７６３とを有し、揺動板７６３にアース側接続部７５が設けられている。

（６）支持ユニット
主に図１及び図２を用いて説明する。
支持ユニット８は、１対の回転軸８１，８２と、回転軸８１，８２に設けられたローラ８３，８４とを備え、一方の回転軸８１がベース９に設けられた駆動モータ８５により駆動される。
一対の回転軸８１，８２は、容器２の中心軸と平行な状態で、図１に示すように容器２の中心軸と直交する方向に間隔をおいて設けられている。
ローラ８３は、回転軸８１に設けられ、軸方向に間隔をおいた２個のローラ部８６，８７から構成される。
ローラ８４は、回転軸８２に設けられ、軸方向に間隔をおいた２個のローラ部８８，８９から構成される。
４つのローラ部８６，８７，８８，８９は、容器２の外周に配された外側アース電極ユニット４と当接する。これにより、回転軸８１の回転により、処理ユニット５が回転する。なお、ローラ部８７は便宜上図面には現れていない。
各ローラ８３，８４における中心軸方向の他端側に配されたローラ部８７，８９は、容器２の外鍔部４７が嵌る溝８７ａ，８９ａを全周に亘って有している。これにより、処理ユニット５を回転させても、容器２の中心軸方向の移動を抑制できる。

３．使用
実施形態のプラズマ処理装置１では、内側電極ユニット３の電極本体３１をメッシュ構造とし、当該電極本体３１を誘電体である容器２の円筒部２１１の内周面に接触するように設けている。これにより、電極本体３１と円筒部２１１との間で沿面放電（グロー放電）が生じ、プラズマを生じやすくできる。
電極本体３１として、線径が０．６［ｍｍ］のＳＵＳ材の金属線を用いて、網目（隣接する金属線の間隔（金属線は含まない）である）が３．６［ｍｍ］の平織りの織金網を利用した場合、容器２内の雰囲気を窒素ガスだけにしてもプラズマが生じることを確認している。
なお、内側電極を容器の円筒部から離した場合、容器内の雰囲気を窒素ガスだけにすると、グロー放電が生じにくく、ヘリウムガスを注入することでプラズマが発生することを確認している。

また、粉体の表面処理を行う場合、容器２内に対象の粉体を供給して容器２を回転させている。この回転で粉体が容器２の内周面に沿って撹拌されるため、容器２の内周面で発生したプラズマにさらされることとなり、効率よく表面処理される。なお、粉体の表面処理としては、例えば、親水化、疎水化、官能基の付加等がある。

４．内側電極ユニット
（１）メッシュ構造
電極本体は、容器２の円筒部２１１との間で沿面放電が生じればよく、織金網の他、例えばパンチングメタルを利用することもできる。つまり、電極本体は、円筒部と接触又は近接して配され、円筒部の厚み方向に貫通する孔を有し、孔の周縁と円筒部との間で沿面放電が生じるような構成であればよい。この場合、電極本体の孔の形状は、円形状、楕円形状、長円形状、正方形状（角が丸くなった形状を含む）、長方形状（角が丸くなった形状を含む）、三角形状等の多角形状（角が丸くなった形状を含む）等ある。
（２）織り構造
内側電極ユニット３の電極本体３１は平織りタイプの織金網であったが、電極本体は他の織り構造の織金網であってもよい。他の織り構造としては、綾織り、平畳織り、トンキャップ織、プラットトップ織り等がある。
電極本体は織金網以外の金網構造であってもよい。他の金網構造としては、亀甲金網、クリンプ金網、菱形金網等がある。
また、２種類の金属線（例えば、横糸、縦糸である）を用いた織り構造において、２種類の金属線の材料、直径、横断面形状等が同じであってよいし、異なってもよい。例えば、一方の金属線を導電路としての機能を重視させ、他方の金属線を電極としての機能を重視させてもよい。

（３）金属線
実施形態での試験では金属線の横断面形状は円形状をしているが、金属線は他の横断面形状であってもよい。他の横断面形状としては、正方形、長方形、長円、楕円等がある。
実施形態では網金網を利用したが、導電性材料によりメッシュ構造を構成してもよく、例えば銀ペースト等の導電ペーストや導電性樹脂等を容器本体に塗布して構成してもよいし、金属箔を容器本体に貼り付けてもよい。
（４）配置
電極本体３１は円筒部２１１と設計上接触する状態で円筒部２１１の内周面に沿って配されている。しかしながら、電極本体は、容器において外側アース電極と対向する部分の内面であって当該内面との間で沿面放電が生じればよく、沿面放電可能な範囲内であれば容器の内面と接触していなくてもよい。
沿面放電可能な範囲は、容器内のガス雰囲気（ヘリウムガスの注入量等）や、印加電圧の大きさ、電極本体の材質、メッシュの構造、等によって変動し、一義的に定義できない。
（５）具体的仕様
実施形態での試験では、線径（直径）が０．６［ｍｍ］、網目が３．０［ｍｍ］の平織構造を採用している。容器内面側の沿面放電の広がりを考慮すると、線径は細いほどよく、２［ｍｍ］以下の範囲が好ましく、１［ｍｍ］以下の範囲がより好ましい。下限は、メッシュ構造にできる線径である。網目は、容器内面側での沿面放電の拡がりを考慮すると、２．０［ｍｍ］以上、６［ｍｍ］以下の範囲内がよい。

以上、実施形態を説明したが、この実施形態に限られるものではなく、例えば、以下のような変形例であってもよい。また、実施形態と変形例、変形例同士を組み合わせたものであってよい。
また、実施形態や変形例に記載していていない例や、要旨を逸脱しない範囲の設計変更があっても本発明に含まれる。

＜変形例＞
（１）実施形態における内側電極ユニット３は、導電リング３３と電極本体３１との接続に薄肉の金属板により構成された弾性変形可能な導電片３５により行っている。しかしながら、導電リング３３と電極本体３１とを接続できればよく、例えば導電片３５が電極本体側にあってもよいし、他の構造で接続してもよい。
（２）実施形態における内側電極ユニット３の電極本体３１は容器２の容器本体２１（円筒部２１１）に設けられているが、電極本体３１と容器２との接触（沿面放電）が確保されれば、電極本体を蓋体側に設けてもよい。
（３）実施形態における内側電極ユニット３の導電片３５は、周方向に間隔をおいて４か所に設けられているが、電極本体３１に均一に電力を供給できれば、３か所でもよいし、５か所以上でもよい。
（４）実施形態における内側電極ユニット３の電極本体３１は全体形状として筒状（円筒状）をしているが、１個の電極本体の形状をメッシュ構造の板状にし、複数個の電極本体を周方向に間隔をおいて配するようにしてもよい。
また、電極本体３１は全体形状として筒状（円筒状）をしているが、１個の電極本体の形状をメッシュ構造のリング状（中心軸方向の長さが短い）にし、複数個の電極本体を中心軸方向に間隔をおいて配するようにしてもよい。
（５）実施形態の電極本体３１は中心軸方向の両端で板状の帯部３２に接続されているが、帯部にかえて、横断面形状が円形状のリング部としてもよい。

（６）実施形態における内側電極ユニット３は、ガス注入ユニット６の本体６１に対して、導電板３７を介して接続しているが、例えば、ガス注入ユニット６の２重管６３を介して接続するようにしてもよい。つまり、本体６１から電極本体３１に導電路が形成されればよく、その経路は特に限定するものではない。
（７）実施形態における外側アース電極ユニット４は金属製の筒部４１を備えているが、グロー放電を利用したプラズマを発生できれば、例えば棒状の電極を利用してもよい。
（８）実施形態のガス注入ユニット６は、２重管６３を利用し、細管６３５内を注入路６３１とし、細管６３５と太管６３７との間を排出路６３３としているが、容器２の内部にガスを注入し・排出できればよく、例えば、細管内を排出路となるようにしてもよい。
（９）実施形態における容器２の容器本体２１に内側電極ユニット３の電極本体３１が配されているが、有底筒状の容器本体の底部に内側電極ユニットやガス注入ユニットを設け、蓋にはこれらのユニットを設けないようにしてもよい。
（１０）実施形態の容器２は、円筒状（中空円柱状）をしているが、横断面が、三角形等の多角形状、長円形、楕円形等の環状でもよい。回転させる場合は、中心軸方向の両側から支持・回転することで実施できる。
（１１）実施形態では、内側電極ユニット３と高圧電源とを接続していたが、内側電極ユニットと外側電極ユニットに交流電源を接続するようにしてもよい。
（１２）電気接続ユニット７、ガス注入ユニット６、支持ユニット８等は、各ユニットの機能を達成できる構造であればよく、実施形態で説明したユニットの構造でなくてもよい。

１ プラズマ処理装置
２ 容器
３ 内側電極ユニット
４ 外側アース電極ユニット（外側電極ユニット）
３１ 電極本体

Claims (5)

1. 誘電体の容器の内外に配された一対の電極ユニット間のグロー放電により発生するプラズマにより物質を処理するプラズマ処理装置において、
   前記容器は、前記物質が内部に配される容器であって両端が塞がれた筒状をし、
   前記容器の内部に配された電極ユニットは、前記容器の内周面との間で沿面放電可能に配されたメッシュ構造の電極本体を有する
   プラズマ処理装置。
2. 誘電体の容器の内外に配された一対の電極ユニット間のグロー放電により発生するプラズマにより物質を処理するプラズマ処理装置において、
   前記容器は、前記物質が内部に配される容器であって中心軸周りに回転可能に支持され、
   前記容器の内部に配された電極ユニットは、前記容器の内周面との間で沿面放電可能に配されたメッシュ構造の電極本体を有する
   プラズマ処理装置。
3. 前記容器は、中心軸方向の一端に開口を有する有底筒状の容器本体と、前記容器本体の前記開口を塞ぐ蓋体とを有し、前記蓋体が前記容器本体に着脱自在に装着される
   請求項１に記載のプラズマ処理装置。
4. 前記メッシュ構造の電極本体は、前記容器の内周面に接触する状態で、当該容器内に配され、
   前記容器は、前記処理中、前記物質が前記容器の内周面に沿って攪拌するように回転される
   請求項２に記載のプラズマ処理装置。
5. 前記容器内に試料ガスを注入するガス注入ユニットと、
   前記容器の外側に配された電極ユニットに接続される接続ユニットと、
   前記容器の内部に配される電極ユニットに接続される接続ユニットと
   を備える
   請求項１～４の何れか１項に記載のプラズマ処理装置。
   

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