JP7184510B2 - Light-transmitting conductive film for light control film and light control film - Google Patents
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Description
本発明は、調光フィルムに用いられ、光透過性を有しかつ導電性を有する調光フィルム用光透過性導電フィルムに関する。また、本発明は、上記調光フィルム用光透過性導電フィルムを用いた調光フィルムに関する。 TECHNICAL FIELD The present invention relates to a light-transmissive conductive film for a light-control film, which is used for a light-control film and has light transmission properties and electrical conductivity. The present invention also relates to a light control film using the light-transmitting conductive film for a light control film.
調光フィルム等に調光材料等が用いられている。調光材料は、特定の波長の光を遮断することにより透過率を調整したり、色調を調整したりすることを目的に利用されている。調光フィルムは、室内部材、建築部材及び電子部品等の様々な分野において利用されている。 Light control materials and the like are used in light control films and the like. Light modulating materials are used for the purpose of adjusting transmittance or adjusting color tone by blocking light of a specific wavelength. Light control films are used in various fields such as interior materials, building materials and electronic parts.
例えば、下記の特許文献1には、2つの透明導電性樹脂基材と、該2つの透明導電性樹脂基材に挟み込まれた調光層とを備える調光フィルムが開示されている。上記調光層は、樹脂マトリックスと、上記樹脂マトリックス中に分散された光調整懸濁液とを含む。上記透明導電性樹脂基材の厚みは130~500μmである。上記透明導電性樹脂基材では、透明樹脂基材上に、透明導電膜がコーティング等により形成されている。
For example,
特許文献1に記載のように、調光フィルムに、導電膜(導電層)を備える透明導電性樹脂基材(光透過性導電フィルム)が用いられている。
As described in
光透過性導電フィルムには、全光線透過率が高く、かつ導電層の表面抵抗が低いことが一般的に求められる。しかしながら、従来の光透過性導電フィルムでは、全光線透過率を効果的に高くし、更に導電層の表面抵抗を効果的に低くすることが困難である。さらに、本発明者らの検討によって、光透過性導電フィルムの導電層の表面抵抗を複数箇所で測定した場合に、表面抵抗にばらつきがあることが見出された。 A light-transmissive conductive film is generally required to have a high total light transmittance and a low surface resistance of the conductive layer. However, with conventional light-transmitting conductive films, it is difficult to effectively increase the total light transmittance and to effectively reduce the surface resistance of the conductive layer. Furthermore, the present inventors have found that the surface resistance varies when the surface resistance of the conductive layer of the light-transmitting conductive film is measured at a plurality of points.
本発明の目的は、全光線透過率を効果的に高くし、かつ導電層の表面抵抗を効果的に低くし、更に導電層の表面抵抗の均一性を高めることができる調光フィルム用光透過性導電フィルムを提供することにある。また、本発明は、上記調光フィルム用光透過性導電フィルムを用いた調光フィルムを提供することである。 An object of the present invention is to provide a light-transmitting film for a light control film that can effectively increase the total light transmittance, effectively reduce the surface resistance of the conductive layer, and further improve the uniformity of the surface resistance of the conductive layer. An object of the present invention is to provide a conductive film. Moreover, this invention is providing the light control film using the said light transmissive conductive film for light control films.
本発明者らの検討によって、全光線透過率を効果的に高くし、更に導電層の表面抵抗を効果的に低くすることができる構成が見出された。さらに、本発明者らの検討によって、導電層の表面抵抗のばらつきを効果的に小さくすることができる構成が見出された。 The present inventors have found a configuration that can effectively increase the total light transmittance and effectively reduce the surface resistance of the conductive layer. Furthermore, the present inventors have found a configuration that can effectively reduce variations in the surface resistance of the conductive layer.
本発明の広い局面によれば、調光フィルムに用いられ、光透過性を有しかつ導電性を有するフィルムであって、光透過性を有する基材フィルムと、前記基材フィルムの第1の表面側に配置されており、かつ光透過性を有する導電層とを備え、前記導電層の平均厚みが15nm以上、35nm以下であり、前記導電層の厚みの標準偏差が1.0nm未満である、調光フィルム用光透過性導電フィルム(以下、「光透過性導電フィルム」と記載することがある)が提供される。 According to a broad aspect of the present invention, a light-transmitting and electrically conductive film used for a light control film, a base film having light-transmitting properties, and a first base film of the base film and a light-transmitting conductive layer disposed on the surface side, wherein the conductive layer has an average thickness of 15 nm or more and 35 nm or less, and the standard deviation of the thickness of the conductive layer is less than 1.0 nm . A light-transmitting conductive film for a light control film (hereinafter sometimes referred to as "light-transmitting conductive film") is provided.
本発明に係る光透過性導電フィルムのある特定の局面では、前記導電層の表面抵抗が180Ω/□以下である。 In a specific aspect of the light-transmitting conductive film according to the present invention, the conductive layer has a surface resistance of 180Ω/□ or less.
本発明に係る光透過性導電フィルムのある特定の局面では、波長550nmにおける全光線透過率が86%以上である。 In a specific aspect of the light transmissive conductive film according to the present invention, the total light transmittance at a wavelength of 550 nm is 86% or more.
本発明に係る光透過性導電フィルムのある特定の局面では、ヘイズ値が1.3%以下である。 In a specific aspect of the light-transmissive conductive film according to the present invention, the haze value is 1.3% or less.
本発明の広い局面では、2つの光透過性導電フィルムと、調光層とを備え、2つの前記光透過性導電フィルムが、上述した調光フィルム用光透過性導電フィルムであり、2つの前記光透過性導電フィルムの前記導電層側の間に、前記調光層が配置されている、調光フィルムが提供される。 In a broad aspect of the present invention, it comprises two light-transmitting conductive films and a light-modulating layer, wherein the two light-transmitting conductive films are the light-transmitting conductive films for light-control films described above, and the two light-transmitting conductive films A light control film is provided in which the light control layer is arranged between the conductive layer sides of the light-transmissive conductive film.
本発明に係る調光フィルム用光透過性導電フィルムでは、全光線透過率を効果的に高くし、かつ導電層の表面抵抗を効果的に低くし、更に導電層の表面抵抗の均一性を高めることができる。 In the light-transmissive conductive film for a light control film according to the present invention, the total light transmittance is effectively increased, the surface resistance of the conductive layer is effectively decreased, and the uniformity of the surface resistance of the conductive layer is increased. be able to.
以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。 Hereinafter, the present invention will be clarified by describing specific embodiments of the present invention with reference to the drawings.
図1は、本発明の一実施形態に係る調光フィルム用光透過性導電フィルムを示す断面図である。 FIG. 1 is a cross-sectional view showing a light-transmissive conductive film for a light control film according to one embodiment of the present invention.
図1に示す光透過性導電フィルム1は、調光フィルムに用いられる。
A light-transmissive
光透過性導電フィルム1は、基材フィルム11と、導電層12とを備える。
The light-transmissive
基材フィルム11は、光透過性を有する。基材フィルム11は、光透過性の高い材料により構成されている。基材フィルム11は、第1の表面11a及び第2の表面11bを有する。第1の表面11aと、第2の表面11bとは、互いに対向している。
The
基材フィルム11の第1の表面11a側に、導電層12が配置されている。導電層12は、光透過性を有する。導電層12は、光透過性が高く、かつ導電性の高い材料により構成されている。導電層12は、基材フィルム11の第1の表面11a上に直接積層されている。導電層は、基材フィルムの第1の表面上に直接積層されていなくてもよい。例えば、導電層と基材フィルムの間に、アンダーコート層が配置されてもよい。
A
導電層12の平均厚みは、15nm以上、35nm以下である。導電層12の厚みの標準偏差は1.0nm未満である。
The average thickness of the
光透過性導電フィルム1のように、本発明に係る調光フィルム用光透過性導電フィルムは、光透過性を有する基材フィルムと、上記基材フィルムの第1の表面側に配置されており、かつ光透過性を有する導電層とを備えており、上記導電層の平均厚みが15nm以上、35nm以下であり、上記導電層の厚みの標準偏差が1.0nm未満である。
Like the light-transmitting
本発明に係る光透過性導電フィルムでは、上記の構成が備えられているので、特に上記導電層の平均厚みが15nm以上、35nm以下であり、かつ上記導電層の厚みの標準偏差が1.0nm未満であるので、全光線透過率を効果的に高くし、かつ導電層の表面抵抗を効果的に低くし、更に導電層の表面抵抗の均一性を高めることができる。更に、本発明では、透明時の調光フィルムのヘイズ値を効果的に低くすることもできる。 Since the light-transmitting conductive film according to the present invention has the above configuration, the average thickness of the conductive layer is 15 nm or more and 35 nm or less, and the standard deviation of the thickness of the conductive layer is 1.0. Since the thickness is less than nm , the total light transmittance can be effectively increased, the surface resistance of the conductive layer can be effectively decreased, and the uniformity of the surface resistance of the conductive layer can be increased. Furthermore, the present invention can effectively lower the haze value of the light control film when transparent.
全光線透過率をより一層効果的に高くし、かつ導電層の表面抵抗をより一層効果的に低くし、表面抵抗の均一性をより一層高める観点からは、上記導電層の平均厚みは、好ましくは17nm以上、好ましくは30nm以下である。また、上記導電層の平均厚みが上記下限以上であると、導電性がより一層高くなる。 From the viewpoint of further effectively increasing the total light transmittance, further effectively lowering the surface resistance of the conductive layer, and further improving the uniformity of the surface resistance, the average thickness of the conductive layer is preferably is 17 nm or more, preferably 30 nm or less. Moreover, electroconductivity becomes it still higher that the average thickness of the said conductive layer is more than the said minimum.
上記導電層の平均厚みは、10箇所の測定結果の平均値であることが好ましく、10点での平均厚みであることが好ましい。 The average thickness of the conductive layer is preferably the average value of the measurement results at 10 points, and is preferably the average thickness at 10 points.
なお、導電層の厚み及び導電層の表面抵抗を10箇所で測定する場合に、10個の測定箇所は、それぞれの測定箇所が10mm以上はなれた点であることが好ましい。 When the thickness of the conductive layer and the surface resistance of the conductive layer are measured at 10 points, it is preferable that the 10 measurement points are separated from each other by 10 mm or more.
全光線透過率をより一層効果的に高くし、かつ導電層の表面抵抗をより一層効果的に低くし、表面抵抗の均一性をより一層高める観点からは、上記導電層の厚みの標準偏差は、好ましくは0.8nm以下である。 From the viewpoint of further effectively increasing the total light transmittance, further effectively lowering the surface resistance of the conductive layer, and further improving the uniformity of the surface resistance, the standard deviation of the thickness of the conductive layer is , preferably 0.8 nm or less.
上記導電層の厚みの標準偏差は、10点での標準偏差であることが好ましい。上記導電層の厚みを10箇所で測定する場合に、上記導電層の厚みの標準偏差は、上記導電層の厚みの10箇所の測定結果の標準偏差であることが好ましい。 The standard deviation of the thickness of the conductive layer is preferably the standard deviation at 10 points. When the thickness of the conductive layer is measured at 10 points, the standard deviation of the thickness of the conductive layer is preferably the standard deviation of the results of measuring the thickness of the conductive layer at 10 points.
透明時の調光フィルムのヘイズ値を低くする観点からは、上記導電層の表面抵抗は、好ましくは180Ω/□以下、より好ましくは170Ω/□以下、更に好ましくは150Ω/□以下、特に好ましくは100Ω/□以下である。なお、上記導電層の表面抵抗は、通常0Ω/□以上である。 From the viewpoint of lowering the haze value of the light control film when transparent, the surface resistance of the conductive layer is preferably 180 Ω/□ or less, more preferably 170 Ω/□ or less, even more preferably 150 Ω/□ or less, and particularly preferably It is 100Ω/□ or less. The surface resistance of the conductive layer is usually 0Ω/□ or more.
上記導電層の表面抵抗は、上記導電層の基材フィルム側とは反対の表面側で測定される。 The surface resistance of the conductive layer is measured on the surface side of the conductive layer opposite to the substrate film side.
上記導電層の表面抵抗は、10箇所の測定結果の平均値であることが好ましく、10点での平均表面抵抗であることが好ましい。 The surface resistance of the conductive layer is preferably the average value of the measurement results at 10 points, and is preferably the average surface resistance at 10 points.
上記導電層の表面抵抗を10箇所で測定する場合に、表面抵抗の10箇所の測定結果の最大値と最小値との差の絶対値は、好ましくは15Ω/□以下、より好ましくは9Ω/□以下である。表面抵抗の10箇所の測定結果の最大値と最小値との差の絶対値が上記上限以下であると、調光フィルムの透過率を低くし、かつ調光フィルムの色味のばらつきを低くすることができる。 When the surface resistance of the conductive layer is measured at 10 points, the absolute value of the difference between the maximum value and the minimum value of the surface resistance measured at 10 points is preferably 15 Ω/□ or less, more preferably 9 Ω/□. It is below. When the absolute value of the difference between the maximum value and the minimum value of the surface resistance measurement results at 10 points is equal to or less than the above upper limit, the transmittance of the light control film is lowered and the color variation of the light control film is reduced. be able to.
上記表面抵抗は、表面抵抗計(MITSUBISHI CHEMICAL ANALYTECH社製「Loresta-EP」、又はその同等品)を用いて、4端子法により測定される。 The surface resistance is measured by a four-probe method using a surface resistance meter ("Loresta-EP" manufactured by MITSUBISHI CHEMICAL ANALYTECH, or equivalent).
光透過性をより一層高める観点からは、上記光透過性導電フィルムの波長550nmにおける全光線透過率は、好ましくは86%以上、より好ましくは88%以上、更に好ましくは89%以上である。なお、上記光透過性導電フィルムの波長550nmにおける全光線透過率は、通常100%以下である。 From the viewpoint of further increasing light transmittance, the total light transmittance of the light-transmitting conductive film at a wavelength of 550 nm is preferably 86% or more, more preferably 88% or more, and still more preferably 89% or more. In addition, the total light transmittance of the light-transmitting conductive film at a wavelength of 550 nm is usually 100% or less.
上記全光線透過率は、ヘーズメーター(日本電色工業社製「NDH 2000」、又はその同等品)を用いて、JIS K7105に基づいて、測定される。 The total light transmittance is measured according to JIS K7105 using a haze meter (“NDH 2000” manufactured by Nippon Denshoku Industries Co., Ltd., or equivalent).
光透過性をより一層高める観点からは、上記光透過性導電フィルムのヘイズ値は、好ましくは1.3%以下、より好ましくは0.8%以下、更に好ましくは0.7%以下である。なお、上記光透過性導電フィルムのヘイズ値は、通常0%以上である。 From the viewpoint of further increasing light transmittance, the haze value of the light-transmitting conductive film is preferably 1.3% or less, more preferably 0.8% or less, and even more preferably 0.7% or less. In addition, the haze value of the said light transmissive conductive film is 0 % or more normally.
上記ヘイズ値は、ヘーズメーター(日本電色工業社製「NDH 2000」、又はその同等品)を用いて、JIS K7136に基づいて、測定される。 The haze value is measured based on JIS K7136 using a haze meter (“NDH 2000” manufactured by Nippon Denshoku Industries Co., Ltd., or equivalent).
本発明に係る光透過性導電フィルムは、調光フィルムに用いられる。 The light-transmissive conductive film according to the present invention is used as a light control film.
図2は、図1に示す調光フィルム用光透過性導電フィルムを用いた調光フィルムの一例を示す断面図である。 FIG. 2 is a cross-sectional view showing an example of a light control film using the light-transmitting conductive film for a light control film shown in FIG. 1. FIG.
図2に示す調光フィルム21は、2つの光透過性導電フィルム1と、調光層31とを備える。2つの光透過性導電フィルム1の間に、調光層31が配置されている。具体的には、2つの導電層12の間に、調光層31が配置されている。2つの光透過性導電フィルム1は、第1,第2の光透過性導電フィルムである。
The
調光フィルム21のように、本発明に係る調光フィルムは、本発明に係る2つの光透過性導電フィルム(第1の光透過性導電フィルム及び第2の光透過性導電フィルム)と、調光層とを備えており、上記第1の光透過性導電フィルムと上記第2の光透過性導電フィルムとの間に、上記調光層が配置されている。
Like the
以下、本発明に係る光透過性導電フィルムの他の詳細を説明する。 Other details of the light-transmissive conductive film according to the present invention will be described below.
(基材フィルム)
基材フィルムは、高い光透過性を有することが好ましい。基材フィルムの材料としては、特に限定されないが、例えば、ポリオレフィン、ポリエーテルサルフォン、ポリスルホン、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、シクロオレフィンコポリマー、ポリアリレート、ポリアミド、ポリメチルメタクリレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、トリアセチルセルロース、及びセルロースナノファイバー等が挙げられる。基材フィルムの材料は、樹脂であることが好ましい。光透過性を効果的に高くすることができるので、基材フィルムの材料は、ポリエチレンテレフタレートであることが好ましい。基材フィルムの材料は、単独で用いてもよく、複数を併用してもよい。
(Base film)
The base film preferably has high light transmittance. Materials for the base film are not particularly limited, but examples include polyolefin, polyether sulfone, polysulfone, polycarbonate, cycloolefin polymer, cycloolefin copolymer, polyarylate, polyamide, polymethyl methacrylate, polyethylene terephthalate, polybutylene terephthalate, Examples include polyethylene naphthalate, triacetyl cellulose, and cellulose nanofiber. The material of the base film is preferably resin. The material of the base film is preferably polyethylene terephthalate because it can effectively increase the light transmittance. The materials for the base film may be used alone or in combination.
光透過性をより一層高める観点からは、基材フィルムの波長550nmにおける全光線透過率は、好ましくは88%以上、より好ましくは90%以上、更に好ましくは91%以上である。なお、基材フィルムの波長550nmにおける全光線透過率は、通常100%以下である。 From the viewpoint of further increasing light transmittance, the total light transmittance of the substrate film at a wavelength of 550 nm is preferably 88% or higher, more preferably 90% or higher, and even more preferably 91% or higher. The total light transmittance of the substrate film at a wavelength of 550 nm is usually 100% or less.
基材フィルムは、各種安定剤、紫外線吸収剤、可塑剤、滑剤又は着色剤を含んでいてもよい。 The base film may contain various stabilizers, UV absorbers, plasticizers, lubricants or colorants.
(導電層)
導電層は、光透過性を有する導電性材料により形成されている。上記導電性材料としては、特に限定されないが、例えば、IZO(インジウム亜鉛酸化物)や、ITO(インジウムスズ酸化物)などのIn系酸化物、SnO2、FTO(フッ素ドープ酸化スズ)などのSn系酸化物、AZO(アルミニウム亜鉛酸化物)、GZO(ガリウム亜鉛酸化物)などのZn系酸化物、ナトリウム、ナトリウム-カリウム合金、リチウム、マグネシウム、アルミニウム、マグネシウム-銀混合物、マグネシウム-インジウム混合物、アルミニウム-リチウム合金、Al/Al2O3混合物、Al/LiF混合物、金等の金属、CuI、Agナノワイヤー(AgNW)、カーボンナノチューブ(CNT)及び導電性透明ポリマーなどが挙げられる。上記導電性材料は、単独で用いてもよく、複数を併用してもよい。
(Conductive layer)
The conductive layer is made of a conductive material having optical transparency. Examples of the conductive material include, but are not limited to, In-based oxides such as IZO (indium zinc oxide ) and ITO (indium tin oxide); Zn-based oxides such as AZO (aluminum zinc oxide) and GZO (gallium zinc oxide), sodium, sodium-potassium alloy, lithium, magnesium, aluminum, magnesium-silver mixture, magnesium-indium mixture, aluminum - Lithium alloys, Al/Al 2 O 3 mixtures, Al/LiF mixtures, metals such as gold, CuI, Ag nanowires (AgNW), carbon nanotubes (CNT) and conductive transparent polymers. The above conductive materials may be used alone or in combination.
導電性をより一層高め、光透過性をより一層高める観点から、上記導電性材料は、IZO(インジウム亜鉛酸化物)や、ITO(インジウムスズ酸化物)などのIn系酸化物、SnO2、FTO(フッ素ドープ酸化スズ)などのSn系酸化物、AZO(アルミニウム亜鉛酸化物)、GZO(ガリウム亜鉛酸化物)などのZn系酸化物であることが好ましい。導電性を更に一層高め、光透過性を更に一層高める観点から、上記導電性材料は、AZO(アルミニウム亜鉛酸化物)又はITO(インジウムスズ酸化物)であることがより好ましく、ITO(インジウムスズ酸化物)であることが更に好ましい。 From the viewpoint of further increasing conductivity and further increasing light transmittance, the above-described conductive materials include In-based oxides such as IZO (indium zinc oxide) and ITO (indium tin oxide), SnO 2 , and FTO. Sn-based oxides such as (fluorine-doped tin oxide) and Zn-based oxides such as AZO (aluminum zinc oxide) and GZO (gallium zinc oxide) are preferred. From the viewpoint of further increasing conductivity and further increasing light transmittance, the conductive material is more preferably AZO (aluminum zinc oxide) or ITO (indium tin oxide). It is more preferable that it is a product).
導電層の形成方法は、特に限定されない。例えば、蒸着又はスパッタリングにより形成した金属膜をエッチングする方法や、スクリーン印刷又はインクジェット印刷などの各種印刷方法、並びにレジストを用いたフォトリソグラフィー法等の公知のパターニング方法等を用いることができる。形成された導電層は、アニール処理により結晶性を高めて用いられることが好ましい。 A method for forming the conductive layer is not particularly limited. For example, a method of etching a metal film formed by vapor deposition or sputtering, various printing methods such as screen printing or inkjet printing, and known patterning methods such as photolithography using a resist can be used. The formed conductive layer is preferably used after being subjected to an annealing treatment to increase the crystallinity.
以下、本発明について、具体的な実施例に基づき、更に詳しく説明する。なお、本発明は以下の実施例に限定されない。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail based on specific examples. In addition, the present invention is not limited to the following examples.
(参考例1)
厚み125μmのポリエチレンテレフタレート(PET)フィルムの一方側の表面上に、以下のようにして、導電層を形成し、光透過性導電フィルムを得た。
( Reference example 1)
A conductive layer was formed on one surface of a polyethylene terephthalate (PET) film having a thickness of 125 μm as follows to obtain a light-transmissive conductive film.
上記PETフィルム上に、酸化インジウム:93重量%及び酸化スズ:7重量%の焼結体材料をターゲット材として用いて、DCマグネトロンスパッタリング法により、透明導電層を形成した。具体的には、チャンバー内を5×10-4Pa以下となるまで真空排気した後に、チャンバー内にArガス:95%及び酸素ガス:5%の混合ガスをチャンバー圧力が0.67Paになるように導入し、表1に示す平均厚みのITO層(透明導電層)を形成した。ITO層を堆積したPETフィルムをオーブンにて150℃で、60分加熱し、光透過性導電フィルムを得た。 A transparent conductive layer was formed on the PET film by a DC magnetron sputtering method using a sintered material containing 93% by weight of indium oxide and 7% by weight of tin oxide as a target material. Specifically, after evacuating the chamber to 5×10 −4 Pa or less, a mixed gas of Ar gas: 95% and oxygen gas: 5% was introduced into the chamber so that the chamber pressure was 0.67 Pa. to form an ITO layer (transparent conductive layer) having an average thickness shown in Table 1. The PET film deposited with the ITO layer was heated in an oven at 150° C. for 60 minutes to obtain a light-transmissive conductive film.
(参考例2)
成膜時間を長くし、ITO層の平均厚みを表1に示すように変更したこと以外は参考例1と同様にして、光透過性導電フィルムを得た。
( Reference example 2)
A light-transmissive conductive film was obtained in the same manner as in Reference Example 1, except that the film formation time was lengthened and the average thickness of the ITO layer was changed as shown in Table 1.
(参考例3)
成膜時のチャンバー圧力を0.33Paになるように混合ガスの流量を変更したこと、並びにこの流量の変更に伴ってITO層の平均厚みを表1に示すように変更したこと以外は参考例1と同様にして、光透過性導電フィルムを得た。
( Reference example 3)
Reference example except that the flow rate of the mixed gas was changed so that the chamber pressure during film formation was 0.33 Pa, and the average thickness of the ITO layer was changed as shown in Table 1 along with this change in flow rate. A light-transmissive conductive film was obtained in the same manner as in 1.
(参考例4)
成膜時のチャンバー圧力を0.33Paになるように混合ガスの流量を変更したこと、並びにこの流量の変更に伴ってITO層の平均厚みを表1に示すように変更したこと以外は参考例2と同様にして、光透過性導電フィルムを得た。
( Reference example 4)
Reference example except that the flow rate of the mixed gas was changed so that the chamber pressure during film formation was 0.33 Pa, and the average thickness of the ITO layer was changed as shown in Table 1 along with this change in flow rate. A light-transmissive conductive film was obtained in the same manner as in Example 2.
(参考例5)
厚み125μmのPETフィルム上に、Si純度99.9%の多結晶Siの焼結体材料をターゲット材として用いて、ACマグネトロンスパッタリング法により、SiO2膜を形成したこと以外は参考例1と同様にして、光透過性導電フィルムを得た。具体的には、チャンバー内を5×10-4Pa以下となるまで真空排気した後に、チャンバー内にArガス:95%及び酸素ガス:5%の混合ガスを導入し、厚さ23nmのSiO2膜を堆積させ、このSiO2層の上に表1に示す平均厚みのITO層を成膜した。
( Reference example 5)
Same as Reference Example 1 except that a SiO film was formed on a PET film with a thickness of 125 μm by AC magnetron sputtering using a sintered material of polycrystalline Si with a Si purity of 99.9% as a target material. Then, a light-transmitting conductive film was obtained. Specifically, after evacuating the chamber to 5×10 −4 Pa or less, a mixed gas of Ar gas: 95% and oxygen gas: 5% was introduced into the chamber, and SiO 2 with a thickness of 23 nm was introduced. A film was deposited and an ITO layer with an average thickness shown in Table 1 was deposited on this SiO 2 layer.
(実施例6)
成膜時間を長くし、ITO層の平均厚みを表1に示すように変更したこと以外は参考例5と同様にして、光透過性導電フィルムを得た。
(Example 6)
A light-transmissive conductive film was obtained in the same manner as in Reference Example 5, except that the film formation time was lengthened and the average thickness of the ITO layer was changed as shown in Table 1.
(参考例7)
基材フィルムを厚み50μmのシクロオレフィンコポリマー(COP)フィルムに変更したこと以外は参考例1と同様にして、光透過性導電フィルムを得た。参考例7では、平均厚み15.5nmのITO層が形成された。
( Reference example 7)
A light-transmitting conductive film was obtained in the same manner as in Reference Example 1, except that the base film was changed to a cycloolefin copolymer (COP) film having a thickness of 50 µm. In Reference Example 7, an ITO layer with an average thickness of 15.5 nm was formed.
(参考例8)
酸化亜鉛:97重量%及びアルミナ:3重量%の焼結体材料をターゲット材として用いて、SiO2層の上にAZO層を成膜したこと以外は参考例5と同様にして、光透過性導電フィルムを得た。参考例8では、平均厚み30.1nmのAZO層が形成された。
( Reference example 8)
In the same manner as in Reference Example 5, except that a sintered material of zinc oxide: 97% by weight and alumina: 3% by weight was used as a target material, and an AZO layer was formed on the SiO2 layer. A conductive film was obtained. In Reference Example 8, an AZO layer having an average thickness of 30.1 nm was formed.
(参考例9)
成膜時間を長くし、AZO層の平均厚みを表1に示すように変更したこと以外は参考例8と同様にして、光透過性導電フィルムを得た。
( Reference example 9)
A light-transmitting conductive film was obtained in the same manner as in Reference Example 8, except that the film formation time was lengthened and the average thickness of the AZO layer was changed as shown in Table 1.
(比較例1)
成膜時間を短くし、ITO層の平均厚みを表1に示すように変更したこと以外は参考例1と同様にして、光透過性導電フィルムを得た。
(Comparative example 1)
A light-transmitting conductive film was obtained in the same manner as in Reference Example 1, except that the film formation time was shortened and the average thickness of the ITO layer was changed as shown in Table 1.
(比較例2)
成膜時間を長くし、ITO層の平均厚みを表1に示すように変更したこと以外は参考例1と同様にして、光透過性導電フィルムを得た。
(Comparative example 2)
A light-transmissive conductive film was obtained in the same manner as in Reference Example 1, except that the film formation time was lengthened and the average thickness of the ITO layer was changed as shown in Table 1.
(比較例3)
厚み125μmのPETフィルム上にSi純度99.9%の多結晶Siの焼結体材料をターゲット材として用いて、ACマグネトロンスパッタリング法により、SiO2膜を形成した。具体的には、チャンバー内を5×10-4Pa以下となるまで真空排気した後に、チャンバー内にArガスを導入し、厚さ1nm相当のSiO2膜を堆積させた。このSiO2膜の上に表1に示す平均厚みのITO層を成膜したこと以外は参考例1と同様にして、光透過性導電フィルムを得た。
(Comparative Example 3)
A SiO 2 film was formed on a 125 μm-thick PET film by AC magnetron sputtering using a sintered material of polycrystalline Si with a Si purity of 99.9% as a target material. Specifically, after the inside of the chamber was evacuated to 5×10 −4 Pa or less, Ar gas was introduced into the chamber to deposit a SiO 2 film equivalent to a thickness of 1 nm. A light-transmitting conductive film was obtained in the same manner as in Reference Example 1, except that an ITO layer having an average thickness shown in Table 1 was formed on this SiO 2 film.
(評価)
(1)導電層の平均厚み、及び、導電層の厚みの標準偏差
導電層の厚み(光学膜厚)は、正反射率を測定し、測定値から光学シミュレーションすることで算出した。具体的に、反射率測定に関しては、分光光度計(日立製作所社製「U4100」、又はその同等品)に付属の5°正反射ユニットを取り付け、正反射モードを用いて、入射角を5°として波長:200~800nm(測定範囲)における反射スペクトルを測定した。
(evaluation)
(1) Average Thickness of Conductive Layer and Standard Deviation of Conductive Layer Thickness The thickness (optical film thickness) of the conductive layer was calculated by measuring the specular reflectance and performing an optical simulation based on the measured value. Specifically, for reflectance measurement, a 5° regular reflection unit attached to a spectrophotometer ("U4100" manufactured by Hitachi, Ltd., or equivalent) is attached, and the incident angle is set to 5° using the regular reflection mode. As a wavelength: 200 ~ 800nm (measurement range) reflection spectrum was measured.
なお、測定に際しては、光透過性導電フィルム(サンプル)の裏面反射や裏面側からの反射を無くすために、サンプルの裏面側に黒色のテープ(ヤマト社製「NO200-50-21」)を貼り付けた。サンプルの裏面とは、光透過性導電フィルムの導電層側と反対側の表面である。光学シミュレーションソフト(J.A.Woollam社製「WVASE32」)を用いて、正反射スペクトルの形状及びピーク・バレーの位置のフィッティングを行い、導電層の厚さを算出した。 In addition, in order to eliminate the reflection from the back side of the light-transmitting conductive film (sample) and the reflection from the back side at the time of measurement, a black tape ("NO200-50-21" manufactured by Yamato Co., Ltd.) was attached to the back side of the sample. attached. The back surface of the sample is the surface opposite to the conductive layer side of the light-transmitting conductive film. Optical simulation software ("WVASE32" manufactured by JA Woollam) was used to fit the shape of the specular reflection spectrum and the positions of peaks and valleys, and the thickness of the conductive layer was calculated.
導電層の厚みを10箇所で測定した。10箇所の測定結果の平均値を、導電層の平均厚みとした。また、導電層の厚みの10箇所の測定結果から、導電層の厚みの10点での標準偏差を求めた。 The thickness of the conductive layer was measured at 10 points. The average value of the ten measurement results was taken as the average thickness of the conductive layer. In addition, the standard deviation of the thickness of the conductive layer at 10 points was obtained from the measurement results of the thickness of the conductive layer at 10 points.
(2)導電層の表面抵抗(シート抵抗)、及び、導電層の表面抵抗の10箇所の測定結果の最大値と最小値との差の絶対値
表面抵抗は、表面抵抗計(MITSUBISHI CHEMICAL ANALYTECH社製「Loresta-EP」)を用いて、4端子法により測定した。導電層の基材フィルム側とは反対の表面の表面抵抗を10箇所で測定した。10箇所の測定結果の平均値を、導電層の表面抵抗とした。また、導電層の表面抵抗の10箇所の測定結果の最大値と最小値との差の絶対値を求めた。
(2) Surface resistance of the conductive layer (sheet resistance) and the absolute value of the difference between the maximum value and the minimum value of the measurement results of the surface resistance of the conductive layer at 10 points ("Loresta-EP" manufactured by Sanyo Denki Co., Ltd.) was measured by the four-probe method. The surface resistance of the surface opposite to the base film side of the conductive layer was measured at 10 points. The average value of the ten measurement results was taken as the surface resistance of the conductive layer. In addition, the absolute value of the difference between the maximum value and the minimum value of the ten measurement results of the surface resistance of the conductive layer was obtained.
(3)光透過性導電フィルムの全光線透過率
上記全光線透過率は、ヘーズメーター(日本電色工業社製「NDH 2000」)を用いて、JIS K7105に基づいて、測定した。光透過性導電フィルムの波長550nmにおける全光線透過率を求めた。
(3) Total light transmittance of light-transmitting conductive film The total light transmittance was measured based on JIS K7105 using a haze meter (“NDH 2000” manufactured by Nippon Denshoku Industries Co., Ltd.). The total light transmittance at a wavelength of 550 nm of the light-transmitting conductive film was obtained.
(4)光透過性導電フィルムのヘイズ値
上記ヘイズ値は、ヘーズメーター(日本電色工業社製「NDH 2000」)を用いて、JIS K7136に基づいて、測定した。
(4) Haze value of light-transmitting conductive film The haze value was measured according to JIS K7136 using a haze meter (“NDH 2000” manufactured by Nippon Denshoku Industries Co., Ltd.).
結果を下記の表1に示す。 The results are shown in Table 1 below.
1…光透過性導電フィルム
11…基材フィルム
11a…第1の表面
11b…第2の表面
12…導電層
21…調光フィルム
31…調光層
DESCRIPTION OF
Claims (9)
光透過性を有する基材フィルムと、
前記基材フィルムの第1の表面側に配置されており、かつ光透過性を有する導電層と、
前記基材フィルムと前記導電層との間に配置されたアンダーコート層とを備え、
前記導電層の厚みを、それぞれの測定箇所が10mm以上はなれた10箇所で測定し、前記導電層の表面抵抗を、それぞれの測定箇所が10mm以上はなれた10箇所で測定したときに、
前記導電層の10箇所での厚みを平均した平均厚みが30.3nm以上、35nm以下であり、
前記導電層の10箇所での厚みの標準偏差が1.0nm未満であり、
前記導電層の10箇所での表面抵抗の最大値と最小値との差の絶対値が、3Ω/□以下である、調光フィルム用光透過性導電フィルム。 A light-transmissive and conductive film used for a light control film,
a base film having optical transparency;
a conductive layer disposed on the first surface side of the base film and having optical transparency;
An undercoat layer disposed between the base film and the conductive layer,
When the thickness of the conductive layer is measured at 10 points separated by 10 mm or more , and the surface resistance of the conductive layer is measured at 10 points separated by 10 mm or more,
The average thickness of the conductive layer at 10 locations is 30.3 nm or more and 35 nm or less,
The standard deviation of the thickness at 10 locations of the conductive layer is less than 1.0 nm,
A light-transmitting conductive film for a light control film, wherein the absolute value of the difference between the maximum value and the minimum value of surface resistance at 10 locations of the conductive layer is 3Ω/□ or less.
2つの前記光透過性導電フィルムが、請求項1~8のいずれか1項に記載の調光フィルム用光透過性導電フィルムであり、
2つの前記光透過性導電フィルムの前記導電層側の間に、前記調光層が配置されている、調光フィルム。 Equipped with two light-transmitting conductive films and a light control layer,
The two light-transmitting conductive films are the light-transmitting conductive film for a light control film according to any one of claims 1 to 8 ,
A light control film, wherein the light control layer is arranged between the conductive layer sides of the two light transmissive conductive films.
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