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JP7308680B2 - Production method - Google Patents
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Description

本発明は、板状ワークを分割して角部が面取りされた矩形チップを形成する製造方法に関する。 The present invention relates to a manufacturing method for dividing a plate-shaped work to form rectangular chips with chamfered corners.

光学レンズなどは、光学ガラスから切削ブレードで矩形のレンズ等の矩形チップを切り出している。矩形チップの角部を切り落とし面取りした状態に形成するために切削装置(例えば、特許文献1参照)が用いられる場合がある。 For optical lenses and the like, rectangular chips such as rectangular lenses are cut out from optical glass with a cutting blade. A cutting device (see, for example, Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2002-100002) is sometimes used to cut off the corners of a rectangular chip and form a chamfered state.

特開2017-143098号公報Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2017-143098

しかしながら、特許文献1等に示された切削装置を用いた矩形チップの製造方法は、板状ワークを互いに交差する4方向に沿って切削することで、矩形チップを製造してきた。このために、1枚の板状ワークから得られる矩形チップの数が減少してしまうという問題があり、1枚の板状ワークから得られる矩形チップの数の減少を抑制させたいという要望がある。 However, in the method of manufacturing rectangular chips using the cutting apparatus disclosed in Patent Document 1 and the like, rectangular chips are manufactured by cutting a plate-shaped work along four mutually intersecting directions. For this reason, there is a problem that the number of rectangular chips obtained from one plate-like work is reduced, and there is a demand to suppress the decrease in the number of rectangular chips obtained from one plate-like work. .

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、1枚の板状ワークから得られる矩形チップの数の減少を抑制することができる製造方法を提供することである。 SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of such problems, and its object is to provide a manufacturing method capable of suppressing a decrease in the number of rectangular chips obtained from one plate-like work.

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の製造方法は、板状ワークを分割して角部が面取りされた矩形チップを形成する製造方法であって、スピンドルの先端に配設された切削ブレードで板状ワークを第1の方向に切削して第1分割溝を形成する第1分割ステップと、該切削ブレードで板状ワークを該第1の方向に直交する第2の方向に切削して第2分割溝を形成する第2分割ステップと、該第1分割ステップ及び該第2分割ステップにより分割されて角部を有した矩形状の矩形チップの角部の成す角度を2等分する二等分線の上方に該スピンドルの軸心を位置付けて該第1分割溝と該第2分割溝の交点で板状ワークの上方から切削ブレードを下降させて、該角部を切断して、該矩形チップのそれぞれの角部に面取りを形成する面取りステップと、を備えたことを特徴とする。 In order to solve the above-described problems and achieve the object, the manufacturing method of the present invention is a manufacturing method for dividing a plate-shaped work to form rectangular chips with chamfered corners, which are arranged at the tip of a spindle. A first dividing step of cutting a plate-like work in a first direction with a provided cutting blade to form a first dividing groove; a second dividing step of cutting in a direction to form a second dividing groove ; The axis of the spindle is positioned above the bisector that bisects the halves, and the cutting blade is lowered from above the plate-shaped work at the intersection of the first and second dividing grooves to cut the corners. and a chamfering step of cutting to form a chamfer at each corner of the rectangular chip.

前記製造方法において、該第1分割ステップと該第2分割ステップと該面取りステップとを実施する前に、板状ワークを支持部材上に配設する配設ステップと、該第1分割ステップと該第2分割ステップと該面取りステップとを実施した後、個々の該矩形チップを該支持部材から取り外す取り外しステップと、を更に備えても良い。 In the manufacturing method, before performing the first dividing step, the second dividing step, and the chamfering step, an arrangement step of arranging the plate-shaped work on the support member, the first dividing step and the chamfering step. After performing the second dividing step and the chamfering step, the step of removing the individual rectangular chips from the support member may be further included.

本願発明は、1枚の板状ワークから得られる矩形チップの数の減少を抑制することができるという効果を奏する。 Advantageous Effects of Invention The present invention has the effect of suppressing a decrease in the number of rectangular chips obtained from one plate-like work.

図1は、実施形態1に係る製造方法の加工対象の板状ワークの一例を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing an example of a plate-like work to be processed by the manufacturing method according to the first embodiment. 図2は、実施形態1に示された製造方法により製造される矩形チップの一例を示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing an example of a rectangular chip manufactured by the manufacturing method shown in Embodiment 1. FIG. 図3は、実施形態1に係る製造方法の流れを示すフローチャートである。FIG. 3 is a flow chart showing the flow of the manufacturing method according to the first embodiment. 図4は、図3に示された製造方法の配設ステップ後の板状ワークの斜視図である。4 is a perspective view of the plate-like workpiece after the disposing step of the manufacturing method shown in FIG. 3. FIG. 図5は、図3に示された製造方法の第1分割ステップ、第2分割ステップ及び面取りステップにおいて用いられる切削装置の構成例の斜視図である。5 is a perspective view of a configuration example of a cutting device used in the first division step, the second division step and the chamfering step of the manufacturing method shown in FIG. 3. FIG. 図6は、図3に示された製造方法の第1分割ステップ及び第2分割ステップ後の板状ワークの要部の平面図である。FIG. 6 is a plan view of the main part of the plate-like workpiece after the first dividing step and the second dividing step of the manufacturing method shown in FIG. 図7は、図3に示された製造方法の面取りステップの第1面取りステップを示す平面図である。7 is a plan view showing a first chamfering step of the chamfering step of the manufacturing method shown in FIG. 3. FIG. 図8は、図3に示された製造方法の面取りステップの第2面取りステップを示す平面図である。8 is a plan view showing a second chamfering step of the chamfering step of the manufacturing method shown in FIG. 3. FIG. 図9は、従来の製造方法の第1の分割溝が形成された後の板状ワークの要部の平面図である。FIG. 9 is a plan view of the main part of the plate-shaped workpiece after the first dividing grooves are formed in the conventional manufacturing method. 図10は、従来の製造方法の第2の分割溝が形成された後の板状ワークの要部の平面図である。FIG. 10 is a plan view of the main part of the plate-shaped workpiece after the second dividing grooves are formed in the conventional manufacturing method. 図11は、従来の製造方法の第3の分割溝が形成された後の板状ワークの要部の平面図である。FIG. 11 is a plan view of the main part of the plate-shaped workpiece after the third dividing grooves are formed in the conventional manufacturing method. 図12は、従来の製造方法の第4の分割溝が形成された後の板状ワークの要部の平面図である。FIG. 12 is a plan view of a main part of the plate-like work after forming the fourth dividing groove in the conventional manufacturing method.

本発明を実施するための形態(実施形態)につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。 A form (embodiment) for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The present invention is not limited by the contents described in the following embodiments. In addition, the components described below include those that can be easily assumed by those skilled in the art and those that are substantially the same. Furthermore, the configurations described below can be combined as appropriate. In addition, various omissions, substitutions, or changes in configuration can be made without departing from the gist of the present invention.

〔実施形態1〕
本発明の実施形態1に係る製造方法を図面に基づいて説明する。図1は、実施形態1に係る製造方法の加工対象の板状ワークの一例を示す斜視図である。図2は、実施形態1に示された製造方法により製造される矩形チップの一例を示す斜視図である。図3は、実施形態1に係る製造方法の流れを示すフローチャートである。
[Embodiment 1]
A manufacturing method according to Embodiment 1 of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view showing an example of a plate-like work to be processed by the manufacturing method according to the first embodiment. FIG. 2 is a perspective view showing an example of a rectangular chip manufactured by the manufacturing method shown in Embodiment 1. FIG. FIG. 3 is a flow chart showing the flow of the manufacturing method according to the first embodiment.

実施形態1に係る製造方法は、図1に板状ワーク1を分割して、図2に示す矩形チップ10を形成する矩形チップ10の製造方法である。実施形態1に係る製造方法の加工対象の板状ワーク1は、厚みが一定の光学ガラスであり、互いに平行な一対の第1外縁2と、互いに平行でかつ第1外縁2と直交する一対の第2外縁3とを備えて、平面形状が四角形に形成されている。なお、第1外縁2と平行な方向を以下、第1の方向4と記し、第2外縁3と平行な方向を以下、第2の方向5と記す。 The manufacturing method according to the first embodiment is a method for manufacturing rectangular chips 10 in which the plate-shaped workpiece 1 shown in FIG. 1 is divided to form rectangular chips 10 shown in FIG. A plate-like workpiece 1 to be processed by the manufacturing method according to the first embodiment is optical glass having a constant thickness, and includes a pair of first outer edges 2 parallel to each other and a pair of first outer edges 2 parallel to each other and perpendicular to the first outer edges 2. It has a second outer edge 3 and has a quadrangular planar shape. A direction parallel to the first outer edge 2 is hereinafter referred to as a first direction 4 , and a direction parallel to the second outer edge 3 is hereinafter referred to as a second direction 5 .

図2に示された矩形チップ10は、平面形状が矩形状のレンズである。矩形チップ10は、板状ワーク1が第1の方向4及び第2の方向5に沿って分割された後、図2中に点線で示す各角部11,12,13,14が面取り除去されて、各角部11,12,13,14に平坦な面取りである面取り面15が形成されて得られる。面取り面15は、矩形チップ10の平面視において、各角部11,12,13,14の成す角度を2等分する二等分線である仮想線16(図2中に一点鎖線で示す)に対して直交し、矩形チップ10の両表面に対して直交する方向に平坦に形成されている。 The rectangular chip 10 shown in FIG. 2 is a lens having a rectangular planar shape. After the plate-like workpiece 1 is divided along the first direction 4 and the second direction 5, the rectangular chip 10 is chamfered and removed from the corners 11, 12, 13, 14 indicated by dotted lines in FIG. As a result, the corners 11, 12, 13, and 14 are formed with chamfered surfaces 15 which are flat chamfers. The chamfered surface 15 is an imaginary line 16 (indicated by a dashed line in FIG. 2) that is a bisector that bisects the angles formed by the corners 11, 12, 13, and 14 in a plan view of the rectangular chip 10. , and is formed flat in a direction perpendicular to both surfaces of the rectangular chip 10 .

なお、以下、本明細書では、角部11,12,13,14のうち一つを第1の角部11と記し、第1の角部11と矩形チップ10の対角線上に位置するものを第2の角部12と記し、残りの矩形チップ10の対角線上に位置するもののうち一方を第3の角部13、他方を第4の角部14と記す。また、実施形態1では、矩形チップ10の対角線上に位置する第1の角部11と第2の角部12に形成された面取り面15は、互いに平行であり、矩形チップ10の対角線上に位置する第3の角部13と第4の角部14に形成された面取り面15は、互いに平行である。 In this specification, one of the corners 11, 12, 13, and 14 is hereinafter referred to as the first corner 11, and the one located on the diagonal between the first corner 11 and the rectangular chip 10 is referred to as the first corner 11. The second corner portion 12 is referred to as the second corner portion 12 , one of the corners positioned on the diagonal line of the remaining rectangular chip 10 is referred to as the third corner portion 13 , and the other is referred to as the fourth corner portion 14 . Further, in Embodiment 1, the chamfered surfaces 15 formed on the first corner 11 and the second corner 12 located on the diagonal line of the rectangular chip 10 are parallel to each other and on the diagonal line of the rectangular chip 10 . The chamfered surfaces 15 formed at the located third corner 13 and fourth corner 14 are parallel to each other.

実施形態1に係る製造方法は、図3に示すように、配設ステップST1と、第1分割ステップST2と、第2分割ステップST3と、面取りステップST4と、取り外しステップST5とを備える。 The manufacturing method according to the first embodiment includes, as shown in FIG. 3, an arrangement step ST1, a first division step ST2, a second division step ST3, a chamfering step ST4, and a removal step ST5.

(配設ステップ)
図4は、図3に示された製造方法の配設ステップ後の板状ワークの斜視図である。配設ステップST1は、第1分割ステップST2と第2分割ステップST3と面取りステップST4とを実施する前に、板状ワーク1を支持部材である粘着テープ20上に配設するステップである。
(Arrangement step)
4 is a perspective view of the plate-like workpiece after the disposing step of the manufacturing method shown in FIG. 3. FIG. The disposing step ST1 is a step of disposing the plate-like work 1 on the adhesive tape 20 as a supporting member before performing the first dividing step ST2, the second dividing step ST3 and the chamfering step ST4.

実施形態1において、配設ステップST1では、図4に示すように、板状ワーク1の平面形状よりも大きな粘着テープ20を板状ワーク1の一方の表面に貼着し、粘着テープ20の外周縁に環状フレーム21を貼着する。粘着テープ20は、絶縁性の合成樹脂により構成された基材層と、基材層の表面に積層された粘着性を有する糊層とを備える。実施形態1では、糊層は、外的刺激である紫外線の照射により硬化し、粘着力が低下するが、本発明では、外的刺激である加熱により硬化し、粘着力が低下するものでも良い。 In the first embodiment, in the disposing step ST1, as shown in FIG. An annular frame 21 is attached to the periphery. The adhesive tape 20 includes a base layer made of an insulating synthetic resin and an adhesive glue layer laminated on the surface of the base layer. In Embodiment 1, the adhesive layer is cured by irradiation with ultraviolet rays, which is an external stimulus, and the adhesive strength is reduced. .

また、実施形態1では、支持部材として板状ワーク1の平面形状よりも大きな粘着テープ20を用いるが、本発明では、支持部材は、粘着テープ20に限定されることなく、板状ワーク1の平面形状と同形でかつ基材層と糊層とを備える粘着テープでも良く、板状ワーク1の平面形状と同形な板状でかつ硬質な材料で構成されたハードプレートで良い。製造方法は、板状ワーク1の一方の表面に粘着テープ20を貼着すると、第1分割ステップST2に進む。 Further, in Embodiment 1, the adhesive tape 20 larger than the planar shape of the plate-like work 1 is used as the support member, but in the present invention, the support member is not limited to the adhesive tape 20, and the plate-like work 1 can be An adhesive tape having the same shape as the planar shape and having a base layer and a glue layer may be used, or a hard plate having the same shape as the planar shape of the plate-like work 1 and made of a hard material may be used. When the adhesive tape 20 is attached to one surface of the plate-like work 1, the manufacturing method proceeds to the first dividing step ST2.

(第1分割ステップ及び第2分割ステップ)
図5は、図3に示された製造方法の第1分割ステップ、第2分割ステップ及び面取りステップにおいて用いられる切削装置の構成例の斜視図である。図6は、図3に示された製造方法の第1分割ステップ及び第2分割ステップ後の板状ワークの要部の平面図である。
(First division step and second division step)
5 is a perspective view of a configuration example of a cutting device used in the first division step, the second division step and the chamfering step of the manufacturing method shown in FIG. 3. FIG. FIG. 6 is a plan view of the main part of the plate-like workpiece after the first dividing step and the second dividing step of the manufacturing method shown in FIG.

第1分割ステップST2は、図5に示す切削装置40のスピンドル42の先端に配設された切削ブレード41で板状ワーク1を第1の方向4に切削して図6に示す第1分割溝31を形成するステップであり、第2分割ステップST3は、切削ブレード41で板状ワーク1を第1の方向4に交差(実施形態1では、直交)する第2の方向5に切削して第2分割溝32を形成するステップである。なお、図6は、第1分割溝31及び第2分割溝32を網掛けで示している。 In the first dividing step ST2, the plate-like workpiece 1 is cut in the first direction 4 by a cutting blade 41 arranged at the tip of the spindle 42 of the cutting device 40 shown in FIG. In the second dividing step ST3, the cutting blade 41 cuts the plate-like workpiece 1 in the second direction 5 that intersects (perpendicularly in the first embodiment) the first direction 4 to form the second direction. This is the step of forming the two-divided groove 32 . In addition, FIG. 6 shows the first dividing groove 31 and the second dividing groove 32 by shading.

実施形態1において、第1分割ステップST2では、切削装置40が、図示しない入力装置を介して加工内容情報を受け付け、チャックテーブル43の保持面44に粘着テープ20を介して板状ワーク1が載置される。第1分割ステップST2では、切削装置40が、加工動作の開始指示を受け付けると、チャックテーブル43の保持面44に板状ワーク1を吸引保持し、クランプ部45で環状フレーム21をクランプする。 In the first embodiment, in the first dividing step ST2, the cutting device 40 receives processing content information via an input device (not shown), and the plate-shaped work 1 is placed on the holding surface 44 of the chuck table 43 via the adhesive tape 20. placed. In the first division step ST2, when the cutting device 40 receives an instruction to start the machining operation, the plate-like workpiece 1 is held by suction on the holding surface 44 of the chuck table 43, and the annular frame 21 is clamped by the clamping portion 45.

第1分割ステップST2では、切削装置40がX軸移動ユニット46によりチャックテーブル43を切削ユニット47に取り付けられた撮像ユニット48の下方に向かって移動して、撮像ユニット48で板状ワーク1を撮像する。第1分割ステップST2では、切削装置40が回転移動ユニット49により板状ワーク1の第1の方向4をX軸移動ユニット46がチャックテーブル43を移動させる方向であるX軸方向と平行にし、切削ユニット47の切削ブレード41を位置合わせするアライメントを遂行する。なお、X軸方向は、水平方向と平行である。 In the first division step ST2, the cutting device 40 moves the chuck table 43 downward of the imaging unit 48 attached to the cutting unit 47 by the X-axis moving unit 46, and the imaging unit 48 images the plate-like workpiece 1. do. In the first division step ST2, the cutting device 40 causes the rotary movement unit 49 to make the first direction 4 of the plate-like workpiece 1 parallel to the X-axis direction, which is the direction in which the X-axis movement unit 46 moves the chuck table 43, so that cutting is performed. Alignment to align cutting blade 41 of unit 47 is performed. Note that the X-axis direction is parallel to the horizontal direction.

第1分割ステップST2では、切削装置40が加工内容情報に基づいてX軸移動ユニット46とY軸移動ユニット50とZ軸移動ユニット51とにより、第1の方向4に沿ってチャックテーブル43と板状ワーク1とを相対的に移動させながら切削ブレード41を板状ワーク1に粘着テープ20に到達するまで切り込ませて、板状ワーク1に互いに平行な第1分割溝31を複数形成する。製造方法は、板状ワーク1に全ての第1分割溝31を形成すると、第2分割ステップST3に進む。 In the first division step ST2, the cutting device 40 moves the chuck table 43 and the plate along the first direction 4 by using the X-axis moving unit 46, the Y-axis moving unit 50, and the Z-axis moving unit 51 based on the processing content information. The cutting blade 41 is caused to cut into the plate-like work 1 until it reaches the adhesive tape 20 while moving the plate-like work 1 relatively to form a plurality of mutually parallel first dividing grooves 31 in the plate-like work 1 . When all the first dividing grooves 31 are formed in the plate-like work 1, the manufacturing method proceeds to the second dividing step ST3.

第2分割ステップST3では、切削装置40が回転移動ユニット49により板状ワーク1を軸心回りに90度回転し、板状ワーク1の第2の方向5をX軸方向と平行にする。第1分割ステップST2では、切削装置40が加工内容情報に基づいてX軸移動ユニット46とY軸移動ユニット50とZ軸移動ユニット51とにより、第2の方向5に沿ってチャックテーブル43と板状ワーク1とを相対的に移動させながら切削ブレード41を板状ワーク1に粘着テープ20に到達するまで切り込ませて、図6に示すように、板状ワーク1に互いに平行な第2分割溝32を複数形成する。こうして、板状ワーク1を図6に示す角部11,12,13,14を有した状態の矩形チップ10-1に分割する。製造方法は、板状ワーク1に全ての第2分割溝32を形成すると、面取りステップST4に進む。 In the second dividing step ST3, the cutting device 40 rotates the plate-like work 1 about the axis by the rotary movement unit 49 so that the second direction 5 of the plate-like work 1 is parallel to the X-axis direction. In the first division step ST2, the cutting device 40 moves the chuck table 43 and the plate along the second direction 5 by using the X-axis moving unit 46, the Y-axis moving unit 50, and the Z-axis moving unit 51 based on the processing content information. The cutting blade 41 is caused to cut into the plate-like work 1 until it reaches the adhesive tape 20 while moving the plate-like work 1 relatively, and as shown in FIG. A plurality of grooves 32 are formed. Thus, the plate-like workpiece 1 is divided into rectangular chips 10-1 having corners 11, 12, 13, and 14 shown in FIG. After forming all the second dividing grooves 32 in the plate-like work 1, the manufacturing method proceeds to the chamfering step ST4.

(面取りステップ)
図7は、図3に示された製造方法の面取りステップの第1面取りステップを示す平面図である。図8は、図3に示された製造方法の面取りステップの第2面取りステップを示す平面図である。
(Chamfering step)
7 is a plan view showing a first chamfering step of the chamfering step of the manufacturing method shown in FIG. 3. FIG. 8 is a plan view showing a second chamfering step of the chamfering step of the manufacturing method shown in FIG. 3. FIG.

面取りステップST4は、形成すべき矩形チップ10の角部11,12,13,14の仮想線16にスピンドル42の軸心52を位置付けて第1分割溝31と第2分割溝32の交点で板状ワーク1の上方から切削ブレード41を切り込ませ矩形チップ10のそれぞれの角部11,12,13,14に面取り面15を形成するステップである。面取りステップST4は、図3に示すように、第1面取りステップST41と、第2面取りステップST42とを備える。 In the chamfering step ST4, the axis 52 of the spindle 42 is positioned on the imaginary line 16 of the corners 11, 12, 13, 14 of the rectangular chip 10 to be formed, and the plate is chamfered at the intersection of the first dividing groove 31 and the second dividing groove 32. In this step, the chamfered surfaces 15 are formed at the respective corners 11, 12, 13 and 14 of the rectangular chip 10 by cutting the cutting blade 41 from above the workpiece 1 having the shape. The chamfering step ST4 includes a first chamfering step ST41 and a second chamfering step ST42, as shown in FIG.

第1面取りステップST41は、矩形チップ10の第1の角部11及び第2の角部12を除去して、面取り面15を形成するステップである。第1面取りステップST41では、第1の角部11を除去する際には、切削装置40が、各移動ユニット46,50,51及び回転移動ユニット49を制御して、チャックテーブル43に保持された板状ワーク1に対して切削ユニット47の切削ブレード41を矩形チップ10-1の第1の角部11の上方に位置付ける。このとき、切削ユニット47のスピンドル42の軸心52を第1の角部11を2等分する仮想線16の上方に位置付ける。第1面取りステップST41では、切削装置40が、Z軸移動ユニット51を制御して切削ブレード41を下降させて、切削ブレード41で第1の角部11を切断して、矩形チップ10-1の第1の角部11を除去して面取り面15を形成する。 The first chamfering step ST41 is a step of removing the first corner portion 11 and the second corner portion 12 of the rectangular chip 10 to form the chamfered surface 15 . In the first chamfering step ST41, when removing the first corner portion 11, the cutting device 40 controls each of the moving units 46, 50, 51 and the rotary moving unit 49 so that the cutting device 40 is held on the chuck table 43. The cutting blade 41 of the cutting unit 47 is positioned above the first corner 11 of the rectangular tip 10-1 with respect to the plate-like work 1. As shown in FIG. At this time, the axis 52 of the spindle 42 of the cutting unit 47 is positioned above the imaginary line 16 that bisects the first corner 11 . In the first chamfering step ST41, the cutting device 40 controls the Z-axis moving unit 51 to lower the cutting blade 41, cut the first corner 11 with the cutting blade 41, and form the rectangular chip 10-1. A chamfered surface 15 is formed by removing the first corner 11 .

第1面取りステップST41では、第2の角部12を除去する際には、切削装置40が、各移動ユニット46,50,51及び回転移動ユニット49を制御して、チャックテーブル43に保持された板状ワーク1に対して切削ユニット47の切削ブレード41を矩形チップ10-1の第2の角部12の上方に位置付ける。このとき、切削ユニット47のスピンドル42の軸心52を第2の角部12を2等分する仮想線16の上方に位置付ける。第1面取りステップST41では、切削装置40が、Z軸移動ユニット51を制御して、切削ブレード41を下降させて、切削ブレード41で第2の角部12を切断して、矩形チップ10-1の第2の角部12を除去して面取り面15を形成する。 In the first chamfering step ST41, when removing the second corner portion 12, the cutting device 40 controls each of the moving units 46, 50, 51 and the rotary moving unit 49 to hold the chuck table 43. The cutting blade 41 of the cutting unit 47 is positioned above the second corner 12 of the rectangular tip 10-1 with respect to the plate-shaped work 1. As shown in FIG. At this time, the axis 52 of the spindle 42 of the cutting unit 47 is positioned above the imaginary line 16 that bisects the second corner 12 . In the first chamfering step ST41, the cutting device 40 controls the Z-axis moving unit 51 to lower the cutting blade 41, cut the second corner 12 with the cutting blade 41, and cut the rectangular chip 10-1. A chamfered surface 15 is formed by removing the second corner 12 of the .

実施形態1において、第1面取りステップST41では、切削装置40が、回転移動ユニット49を制御して、仮想線16がX軸方向と直交する向きにチャックテーブル43の向きを調整し、各移動ユニット46,50,51を制御して、図7の矢印で示すように、第2の方向5に並ぶ複数の矩形チップ10-1のうち第2の方向5の一端側から他端側の矩形チップ10の第1の角部11を順に除去し、第2の方向5の他端側から一端側の矩形チップ10の第2の角部12を順に除去した後、第2の方向5に並ぶ他の列の矩形チップ10の第1の角部11と第2の角部12とを同様に除去する。製造方法は、全ての矩形チップ10-1の第1の角部11及び第2の角部12を除去して、矩形チップ10-2に形成すると、第2面取りステップST42に進む。 In the first embodiment, in the first chamfering step ST41, the cutting device 40 controls the rotary movement unit 49 to adjust the orientation of the chuck table 43 so that the virtual line 16 is perpendicular to the X-axis direction, and each movement unit By controlling 46, 50, 51, as indicated by the arrow in FIG. 7, rectangular chips 10-1 arranged in the second direction 5 from one end side to the other end side in the second direction 5 are selected. After removing the first corners 11 of the rectangular chips 10 in order and removing the second corners 12 of the rectangular chips 10 from the other end side to the one end side in the second direction 5 in order, the chips are arranged in the second direction 5 . Similarly, the first corners 11 and the second corners 12 of the rectangular chips 10 in the row are removed. After removing the first corners 11 and the second corners 12 of all the rectangular chips 10-1 to form the rectangular chips 10-2, the manufacturing method proceeds to the second chamfering step ST42.

第2面取りステップST42は、矩形チップ10の第3の角部13及び第4の角部14を除去して、面取り面15を形成するステップである。第2面取りステップST42では、第3の角部13を除去する際には、切削装置40が、各移動ユニット46,50,51及び回転移動ユニット49を制御して、チャックテーブル43に保持された板状ワーク1に対して切削ユニット47の切削ブレード41を矩形チップ10-2の第3の角部13の上方に位置付ける。このとき、切削ユニット47のスピンドル42の軸心52を第3の角部13を2等分する仮想線16の上方に位置付ける。第2面取りステップST42では、切削装置40が、Z軸移動ユニット51を制御して切削ブレード41を下降させて、切削ブレード41で第3の角部13を切断して、矩形チップ10-2の第3の角部13を除去して面取り面15を形成する。 The second chamfering step ST42 is a step of removing the third corner portion 13 and the fourth corner portion 14 of the rectangular chip 10 to form the chamfered surface 15 . In the second chamfering step ST42, when removing the third corner portion 13, the cutting device 40 controls each of the moving units 46, 50, 51 and the rotary moving unit 49 to hold the chuck table 43. The cutting blade 41 of the cutting unit 47 is positioned above the third corner 13 of the rectangular tip 10-2 with respect to the plate-like work 1. As shown in FIG. At this time, the axis 52 of the spindle 42 of the cutting unit 47 is positioned above the imaginary line 16 that bisects the third corner 13 . In the second chamfering step ST42, the cutting device 40 controls the Z-axis moving unit 51 to lower the cutting blade 41, cut the third corner 13 with the cutting blade 41, and form the rectangular tip 10-2. A chamfered surface 15 is formed by removing the third corner 13 .

第2面取りステップST42では、第4の角部14を除去する際には、切削装置40が、各移動ユニット46,50,51及び回転移動ユニット49を制御して、チャックテーブル43に保持された板状ワーク1に対して切削ユニット47の切削ブレード41を矩形チップ10-2の第4の角部14の上方に位置付ける。このとき、切削ユニット47のスピンドル42の軸心52を第4の角部14を2等分する仮想線16の上方に位置付ける。第2面取りステップST42では、切削装置40が、Z軸移動ユニット51を制御して、切削ブレード41を下降させて、切削ブレード41で第4の角部14を切断して、矩形チップ10-2の第4の角部14を除去して面取り面15を形成する。 In the second chamfering step ST42, when removing the fourth corner portion 14, the cutting device 40 controls the moving units 46, 50, 51 and the rotary moving unit 49 so that the cutting device 40 is held on the chuck table 43. The cutting blade 41 of the cutting unit 47 is positioned above the fourth corner 14 of the rectangular tip 10-2 with respect to the plate-like work 1. As shown in FIG. At this time, the axis 52 of the spindle 42 of the cutting unit 47 is positioned above the imaginary line 16 that bisects the fourth corner 14 . In the second chamfering step ST42, the cutting device 40 controls the Z-axis moving unit 51 to lower the cutting blade 41, cut the fourth corner 14 with the cutting blade 41, and cut the rectangular chip 10-2. A fourth corner 14 of is removed to form a chamfered surface 15 .

実施形態1において、第2面取りステップST42では、切削装置40が、回転移動ユニット49を制御して、第1面取りステップST41後にチャックテーブル43を90度回転して、仮想線16がX軸方向と直交する向きにチャックテーブル43の向きを調整し、各移動ユニット46,50,51を制御して、第1の方向4に並ぶ複数の矩形チップ10のうち第1の方向4の一端側から他端側の矩形チップ10の第3の角部13を順に除去し、第1の方向4の他端側から一端側の矩形チップ10の第4の角部14を順に除去した後、第1の方向4に並ぶ他の列の矩形チップ10の第3の角部13と第4の角部14とを同様に除去する。製造方法は、全ての矩形チップ10-2の第3の角部13及び第4の角部14を除去して、矩形チップ10に形成すると、取り外しステップST5に進む。なお、図7及び図8は、第1分割溝31及び第2分割溝32を網掛けで示している。 In the first embodiment, in the second chamfering step ST42, the cutting device 40 controls the rotary movement unit 49 to rotate the chuck table 43 by 90 degrees after the first chamfering step ST41 so that the imaginary line 16 is aligned with the X-axis direction. By adjusting the orientation of the chuck table 43 in the orthogonal direction and controlling each of the moving units 46 , 50 , 51 , one of the plurality of rectangular chips 10 arranged in the first direction 4 is moved from one end side in the first direction 4 to the other. The third corner 13 of the rectangular chip 10 on the end side is removed in order, and the fourth corner 14 of the rectangular chip 10 on the one end side is removed in order from the other end side in the first direction 4, and then the first corner is removed. Similarly, the third corners 13 and the fourth corners 14 of the rectangular chips 10 in another row aligned in the direction 4 are removed. When the third corners 13 and the fourth corners 14 of all the rectangular chips 10-2 are removed to form the rectangular chips 10, the manufacturing method proceeds to the removal step ST5. 7 and 8 show the first dividing groove 31 and the second dividing groove 32 by shading.

(取り外しステップ)
取り外しステップST5は、第1分割ステップST2と第2分割ステップST3と面取りステップST4とを実施した後、個々の矩形チップ10を粘着テープ20から取り外すステップである。
(removal step)
The removing step ST5 is a step of removing each rectangular chip 10 from the adhesive tape 20 after performing the first dividing step ST2, the second dividing step ST3, and the chamfering step ST4.

実施形態1において、取り外しステップST5では、粘着テープ20の糊層に紫外線を照射して、糊層を硬化し、糊層の粘着力を低下させる。実施形態1において、取り外しステップST5では、図示しないピッカーを用いて、粘着テープ20に貼着された矩形チップ10を粘着テープ20から取り外す。製造方法は、粘着テープ20から全ての矩形チップ10を取り外すと、終了する。 In the first embodiment, in the removing step ST5, the adhesive layer of the adhesive tape 20 is irradiated with ultraviolet rays to harden the adhesive layer and reduce the adhesive strength of the adhesive layer. In the first embodiment, in the removing step ST5, the rectangular chip 10 attached to the adhesive tape 20 is removed from the adhesive tape 20 using a picker (not shown). The manufacturing method ends when all the rectangular chips 10 are removed from the adhesive tape 20 .

図9、図10、図11及び図12に示す従来の製造方法は、切削装置40で図9に示すように、第1分割溝31を形成した後、図10に示すように、第2分割溝32を形成する。その後、従来の製造方法は、第1の角部11の面取り面15及び第2の角部12の面取り面15と平行な第3の方向6に沿って板状ワーク1に対して切削ブレード41を移動させながら切削ブレード41を板状ワーク1に切り込ませて、図11に示すように、第3分割溝33を形成する。 In the conventional manufacturing method shown in FIGS. 9, 10, 11 and 12, after forming the first dividing groove 31 as shown in FIG. 9 with a cutting device 40, as shown in FIG. A groove 32 is formed. After that, according to the conventional manufacturing method, the cutting blade 41 is applied to the plate-like workpiece 1 along the third direction 6 parallel to the chamfered surface 15 of the first corner 11 and the chamfered surface 15 of the second corner 12 . is moved, the cutting blade 41 is cut into the plate-like work 1 to form the third dividing groove 33 as shown in FIG.

従来の製造方法は、第3の角部13の面取り面15及び第4の角部14の面取り面15と平行な第4の方向7に沿って板状ワーク1に対して切削ブレード41を移動させながら切削ブレード41を板状ワーク1に切り込ませて、図12に示すように、第4分割溝34を形成して、板状ワーク1を個々の矩形チップ10に分割する。このように、従来の製造方法では、約半分の矩形チップ10-1に第3分割溝33及び第4分割溝34を形成してしまうために、板状ワーク1から製造できる矩形チップ10の数が減少してしまう。 In the conventional manufacturing method, the cutting blade 41 is moved with respect to the plate-like workpiece 1 along the fourth direction 7 parallel to the chamfered surface 15 of the third corner 13 and the chamfered surface 15 of the fourth corner 14. As shown in FIG. 12, the cutting blade 41 is cut into the plate-like work 1 to form the fourth dividing grooves 34 to divide the plate-like work 1 into individual rectangular chips 10 . As described above, in the conventional manufacturing method, since the third dividing grooves 33 and the fourth dividing grooves 34 are formed in about half of the rectangular chips 10-1, the number of rectangular chips 10 that can be manufactured from the plate-shaped workpiece 1 is decreases.

なお、図9は、従来の製造方法の第1の分割溝が形成された後の板状ワークの要部の平面図である。図10は、従来の製造方法の第2の分割溝が形成された後の板状ワークの要部の平面図である。図11は、従来の製造方法の第3の分割溝が形成された後の板状ワークの要部の平面図である。図12は、従来の製造方法の第4の分割溝が形成された後の板状ワークの要部の平面図である。また、図9、図10、図11及び図12は、実施形態1と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。なお、図9、図10、図11及び図12は、第1分割溝31、第2分割溝32、第3分割溝33及び第4分割溝34を網掛けで示している。 Note that FIG. 9 is a plan view of a main part of the plate-like work after the first dividing grooves are formed in the conventional manufacturing method. FIG. 10 is a plan view of the main part of the plate-shaped workpiece after the second dividing grooves are formed in the conventional manufacturing method. FIG. 11 is a plan view of the main part of the plate-shaped workpiece after the third dividing grooves are formed in the conventional manufacturing method. FIG. 12 is a plan view of a main part of the plate-like work after forming the fourth dividing groove in the conventional manufacturing method. In addition, in FIGS. 9, 10, 11 and 12, the same reference numerals are assigned to the same parts as in the first embodiment, and the description thereof is omitted. 9, 10, 11 and 12 show the first dividing groove 31, the second dividing groove 32, the third dividing groove 33 and the fourth dividing groove 34 by shading.

以上、説明した実施形態1に係る加工方法は、第1分割ステップST2及び第2分割ステップST3において、板状ワーク1を矩形に分割した後、面取りステップST4では板状ワーク1の上方から切削ブレード41を切り込ませて、面取り面15を形成するので、図9、図10、図11及び図12に示す従来の製造方法に比べ、1枚の板状ワーク1から得られる矩形チップ10の数を増加させることができる。その結果、実施形態1に係る製造方法は、1枚の板状ワーク1から得られる矩形チップ10の数の減少を抑制することができるという効果を奏する。 In the processing method according to the first embodiment described above, after dividing the plate-like work 1 into rectangles in the first dividing step ST2 and the second dividing step ST3, in the chamfering step ST4, a cutting blade is cut from above the plate-like work 1. 41 is cut to form the chamfered surface 15, the number of rectangular chips 10 obtained from one plate-shaped workpiece 1 is reduced compared to the conventional manufacturing method shown in FIGS. can be increased. As a result, the manufacturing method according to the first embodiment has the effect of suppressing a decrease in the number of rectangular chips 10 obtained from one plate-like workpiece 1 .

また、実施形態1に係る製造方法は、板状ワーク1を粘着テープ20上に配設して第1分割ステップST2、第2分割ステップST3及び面取りステップST4を実施するので、板状ワーク1を個々の矩形チップ10に分割してから面取り面15を形成する場合に比べて、板状ワーク1及び矩形チップ10のハンドリングや作業が容易になる。 Further, in the manufacturing method according to the first embodiment, the plate-like work 1 is disposed on the adhesive tape 20 and the first dividing step ST2, the second dividing step ST3 and the chamfering step ST4 are performed. Compared to the case where the chamfered surfaces 15 are formed after dividing into individual rectangular chips 10, the handling and operation of the plate-like workpiece 1 and rectangular chips 10 are facilitated.

なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。 In addition, this invention is not limited to the said embodiment. That is, various modifications can be made without departing from the gist of the present invention.

1 板状ワーク
4 第1の方向
5 第2の方向
10 矩形チップ
11 第1の角部(角部)
12 第2の角部(角部)
13 第3の角部(角部)
14 第4の角部(角部)
15 面取り面(面取り)
20 粘着テープ(支持部材)
31 第1分割溝
32 第2分割溝
41 切削ブレード
42 スピンドル
ST1 配設ステップ
ST2 第1分割ステップ
ST3 第2分割ステップ
ST4 面取りステップ
ST5 取り外しステップ
REFERENCE SIGNS LIST 1 plate-like work 4 first direction 5 second direction 10 rectangular chip 11 first corner (corner)
12 second corner (corner)
13 third corner (corner)
14 fourth corner (corner)
15 chamfered surface (chamfer)
20 Adhesive tape (support member)
31 First division groove 32 Second division groove 41 Cutting blade 42 Spindle ST1 Installation step ST2 First division step ST3 Second division step ST4 Chamfering step ST5 Removal step

Claims (2)

板状ワークを分割して角部が面取りされた矩形チップを形成する製造方法であって、
スピンドルの先端に配設された切削ブレードで板状ワークを第1の方向に切削して第1分割溝を形成する第1分割ステップと、
該切削ブレードで板状ワークを該第1の方向に直交する第2の方向に切削して第2分割溝を形成する第2分割ステップと、
該第1分割ステップ及び該第2分割ステップにより分割されて角部を有した矩形状の矩形チップの角部の成す角度を2等分する二等分線の上方に該スピンドルの軸心を位置付けて該第1分割溝と該第2分割溝の交点で板状ワークの上方から切削ブレードを下降させて、該角部を切断して、該矩形チップのそれぞれの角部に面取りを形成する面取りステップと、
を備えた製造方法。
A manufacturing method for forming rectangular chips with chamfered corners by dividing a plate-shaped work,
a first dividing step of cutting the plate-shaped work in a first direction with a cutting blade provided at the tip of the spindle to form a first dividing groove;
a second dividing step of cutting the plate-shaped work with the cutting blade in a second direction orthogonal to the first direction to form a second dividing groove;
The axis of the spindle is positioned above the bisector that bisects the angle formed by the corners of the rectangular chip divided by the first division step and the second division step and having corners. A cutting blade is lowered from above the plate-shaped work at the intersection of the first dividing groove and the second dividing groove to cut the corners and chamfer the corners of the rectangular chip. a step;
manufacturing method with
該第1分割ステップと該第2分割ステップと該面取りステップとを実施する前に、板状ワークを支持部材上に配設する配設ステップと、
該第1分割ステップと該第2分割ステップと該面取りステップとを実施した後、個々の該矩形チップを該支持部材から取り外す取り外しステップと、
を更に備えた、請求項1に記載の製造方法。
an arrangement step of arranging the plate-shaped workpiece on the support member before performing the first division step, the second division step, and the chamfering step;
a removing step of removing the individual rectangular chips from the support member after performing the first dividing step, the second dividing step and the chamfering step;
The manufacturing method of claim 1, further comprising:
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